KR101927733B1 - 수분 및 온도 통합 센서, 이를 이용한 측정장치 - Google Patents

수분 및 온도 통합 센서, 이를 이용한 측정장치 Download PDF

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Abstract

수분 및 온도 통합 센서, 이를 이용한 측정장치가 개시된다. 본 발명의 일실시예에 따른 수분 및 온도 통합 센서는 매질의 수분과 온도에 따라 저항값이 가변되는 센싱부와, 센싱부의 전압신호를 측정하는 측정부와, 센싱부와 측정부사이에 마련된 한 쌍의 전극 및 측정부에 의해 측정된 전압신호를 신호 처리하여 출력하는 신호처리부를 포함하고, 센싱부는 매질의 온도에 따라 저항값이 가변되는 서미스터 소자를 포함하고, 센싱부의 저항값은 매질의 수분에 따라 서미스터 소자의 저항값 또는 서미스터 소자의 저항값보다 감소된 저항값으로 가변된다.

Description

수분 및 온도 통합 센서, 이를 이용한 측정장치{INTEGRATED WATER AND TEMPERATURE SENSOR, AND MEASURING DEVICE USING THEREOF}
본 발명은 수분 및 온도 통합 센서, 이를 이용한 측정장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 수분 센서와 온도 센서가 통합된 수분 및 온도 통합 센서, 이를 이용한 측정장치에 관한 것이다.
일반적으로, 수분 센서는 특정 매질 내의 밀도차로 인하여 매질과 분리되어 있는 물을 측정한다. 예를 들면, 수분 센서는 연료 계통 기기의 손상을 방지할 수 있도록 디젤 연료 필터 측에 마련되어 이물질인 물을 검출하는 데 사용된다.
수분 센서는 매질에 노출된 전극 사이의 전도도(Conductivity)(또는 저항)를 측정하고, 측정된 신호를 출력한다.
온도 센서는 매질의 온도 변화에 따른 저항 변화를 측정한다. 온도 센서는 매질에 노출되어 저항을 측정하고, 측정된 신호를 출력한다.
최근의 연료 계통 기기는 기기 손상을 방지하기 위하여 매질에 포함된 물을 검출하며, 동시에 정확한 연료 제어를 위하여 매질의 온도도 측정할 필요가 있다.
하지만, 기존에는 수분 센서와 온도 센서를 별개로 장착해야 하기 때문에 설치 공간과 제조 비용이 증가하는 문제점이 있다.
대한민국 공개특허공보 제10-2015-0014063호 대한민국 등록특허공보 제10-0612203호
본 발명의 실시예는 매질의 수분과 매질의 온도를 함께 측정할 수 있도록 수분 감지 기능 및 온도 감지 기능을 통합적으로 갖는 수분 및 온도 통합 센서, 이를 이용한 측정장치를 제공하고자 한다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 매질의 수분과 온도에 따라 저항값이 가변되는 센싱부; 상기 센싱부의 전압신호를 측정하는 측정부; 상기 센싱부와 상기 측정부사이에 마련된 한 쌍의 전극; 및 상기 측정부에 의해 측정된 전압신호를 신호 처리하여 출력하는 신호처리부를 포함하고, 상기 센싱부는 상기 매질의 온도에 따라 저항값이 가변되는 서미스터 소자를 포함하고, 상기 센싱부의 저항값은 상기 매질의 수분에 따라 상기 서미스터 소자의 저항값 또는 상기 서미스터 소자의 저항값보다 감소된 저항값으로 가변되는 수분 및 온도 통합 센서가 제공될 수 있다.
또한, 상기 센싱부의 저항값은, 상기 매질에 수분이 없을 경우 상기 매질의 온도에 의해 상기 서미스터 소자의 저항값이 가변된 저항값이고, 상기 매질에 수분이 있을 경우 상기 매질의 온도에 의해 가변된 상기 서미스터 소자의 저항값보다 감소된 저항값으로 가변될 수 있다.
또한, 상기 감소된 저항값은 상기 매질의 저항값과 상기 매질의 온도에 의해 가변된 상기 서미스터 소자 저항값의 병렬 저항값일 수 있다.
본 발명의 다른 측면에 따르면, 매질의 수분과 온도에 따라 저항값이 가변되는 센싱부; 상기 센싱부의 전압신호를 측정하는 측정부; 상기 센싱부와 상기 측정부사이에 마련된 한 쌍의 전극; 및 상기 측정부에 의해 측정된 전압신호를 신호 처리하는 신호처리부를 포함하고, 상기 센싱부는 상기 매질의 온도에 따라 저항값이 가변되는 서미스터 소자를 포함하고, 상기 센싱부의 저항값은, 상기 매질에 수분이 없을 경우 상기 매질의 온도에 따라 가변된 상기 서미스터 소자의 저항값으로 가변되고, 상기 매질에 수분이 있을 경우 수분이 함유된 매질의 저항값과 상기 수분이 함유된 매질의 온도에 따라 가변된 상기 서미스터 소자의 저항값의 병렬 저항값으로 가변되는 수분 및 온도 통합 센서가 제공될 수 있다.
본 발명의 또 다른 측면에 따르면, 수분과 온도를 검출하는 수분 및 온도 통합 센서; 및 상기 수분 및 온도 통합 센서로부터 출력된 전압신호에 따라 매질의 수분과 온도를 판단하는 제어부를 포함하고, 상기 수분 및 온도 통합 센서는, 매질의 수분과 온도에 따라 저항값이 가변되는 센싱부; 상기 센싱부의 양단전압을 측정하는 측정부; 상기 센싱부와 상기 측정부사이에 마련된 한 쌍의 전극; 및 상기 측정부에 의해 측정된 전압신호를 신호처리하는 신호처리부를 포함하고, 상기 센싱부는 상기 매질의 온도에 따라 저항값이 가변되는 서미스터 소자를 포함하고, 상기 센싱부의 저항값은, 상기 매질에 수분이 없을 경우 상기 매질의 온도에 따라 가변된 상기 서미스터 소자의 저항값으로 가변되고, 상기 매질에 수분이 있을 경우 수분이 함유된 매질의 저항값과 상기 수분이 함유된 매질의 온도에 따라 가변된 상기 서미스터 소자의 저항값의 병렬 저항값으로 가변되는 수분 및 온도 통합 센서를 이용한 측정장치가 제공될 수 있다.
또한, 상기 제어부는 상기 수분 및 온도 통합 센서로부터 출력된 전압신호의 출력구간을 전압레벨에 따라 2개의 출력구간으로 구분하고, 구분된 어느 하나의 출력구간에서는 수분값을, 다른 출력구간에서는 온도값을 판단할 수 있다.
본 발명의 실시예는 수분 센서와 온도 센서를 단일 센서로 통합할 수 있어 센싱 전극 및 회로 공용화를 통해 설치공간 및 제조비용을 줄일 수 있다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 수분 및 온도 통합 센서의 구성도이다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 수분 및 온도 통합 센서의 센싱부와 측정부를 설명하기 위한 등가 회로도이다.
도 3은 도 2에서 매질에 수분이 없을 경우 센싱부 저항을 설명하기 위한 도면이다.
도 4는 도 2에서 매질에 수분이 있을 경우 센싱부 저항을 설명하기 위한 도면이다.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 수분 및 온도 통합 센서를 이용한 측정장치의 제어블록도이다.
도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 수분 및 온도 통합 센서의 전압-온도 특성 곡선을 보인 그래프이다.
이하에서는 본 발명의 실시예들을 첨부 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 이하에 소개되는 실시예들은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명의 사상을 충분히 전달할 수 있도록 하기 위해 예로서 제공하는 것이다. 본 발명은 이하 설명되는 실시예들에 한정하지 않고 다른 형태로 구체화할 수도 있다. 본 발명을 명확하게 설명하기 위하여 설명과 관계없는 부분은 도면에서 생략하였으며 도면들에 있어서, 구성요소의 폭, 길이, 두께 등은 편의를 위하여 과장하여 표현할 수 있다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 수분 및 온도 통합 센서의 구성도이다.
도 1을 참조하면, 수분 및 온도 통합 센서는 센싱부(10), 측정부(20), 한 쌍의 전극(30) 및 신호처리부(40)를 포함할 수 있다.
센싱부(10)는 매질과 접촉 가능하도록 매질에 직접 노출된다. 센싱부(10)는 매질의 수분과 온도에 따라 저항값이 가변된다.
측정부(20)는 센싱부(10)의 전압신호를 측정한다.
한 쌍의 전극(30)은 센싱부(10)와 측정부(20)사이에는 마련된다. 한 쌍의 전극(30)은 센싱부(10)와 측정부(20)를 전기적으로 연결한다.
신호처리부(40)는 측정부(20)에 의해 측정된 전압신호를 신호 처리하여 출력한다. 신호처리부(40)는 오프셋 조정, 증폭, 선형화 처리 등을 수행할 수 있다.
측정부(20)와 신호처리부(40)는 PCB 기판에 마련될 수 있다.
센싱부(10)는 매질의 온도에 따라 저항값이 가변되는 서미스터 소자를 포함한다. 서미스터 소자는 포지티브 온도 계수(Positive Temperature Coefficient, PTC) 서미스터 소자 또는 네거티브 온도 계수(Negative Temperature Coefficient, NTC) 서미스터 소자이다. PTC 서미스터 소자는 매질의 온도가 상승함에 따라 서미스터 소자의 저항값이 정(+)의 특성을 갖고 지속적으로 증가한다. NTC 서미스터 소자는 이와 반대로 매질의 온도가 상승함에 따라 부(-)의 특성을 갖는다. 일반적으로, -45°에서 120°에 이르는 범위에서 안정적으로 동작하여야 하는 자동차의 경우, NTC 서미스터를 이용하여 온도를 측정한다.
센싱부(10)는 센싱부(10)의 저항값이 매질의 온도에 따라 서미스터 소자의 저항값 또는 서미스터 소자의 저항값보다 감소된 저항값으로 가변되도록 마련되어 있다.
매질에 수분이 없을 경우, 센싱부(10)의 저항값은 매질의 온도에 의해 서미스터 소자의 저항값이 가변된 저항값이다.
매질에 수분이 있을 경우 센싱부(10)의 저항값은 매질의 온도에 의해 서미스터 소자의 저항값이 가변된 저항값보다 감소된 저항값으로 가변된다.
센싱부(10)는 센싱부(10)의 저항값이 매질의 온도에 따라 서미스터 소자의 저항값, 또는 서미스터 소자의 저항값과 매질의 저항값의 병렬 저항값으로 가변되도록 마련되어 있다.
이러한 센싱부(10)의 저항값 변화를 이용하면, 매질의 온도를 검출할 수 있고 수분 여부도 검출할 수 있다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 수분 및 온도 통합 센서의 센싱부와 측정부를 설명하기 위한 등가 회로도이다.
도 2를 참조하면, 센싱부(10)의 저항은 매질의 저항(Rm)과 서미스터 소자 저항(Rt)의 병렬 저항(Rs)일 수 있다.
센싱부 저항(Rs)의 측정전압(Vs)은 Rs / (R1 + Rs) * V 값을 갖는다.
여기서, R1은 기준저항, V는 공급전압이다.
V+/V- 전압은 Rs에 의해서 결정된다. Rs는 Rt 뿐만 아니라 Rm에 의해서 결정된다. 즉, Rs는 Rm * Rt / (Rm + Rt)이다.
도 3은 도 2에서 매질에 수분이 없을 경우 센싱부 저항을 설명하기 위한 도면이다.
도 3을 참조하면, 매질에 수분이 없을 경우, Rm은 무한대(∞)에 가까워 Rs는 Rt와 동일하다(Rs = Rt). 따라서, 매질의 온도에 따라 가변되는 Rt의 저항값이 Rs의 저항값이므로, 일반적인 온도 센서 기능을 수행할 수 있다.
도 4는 도 2에서 매질에 수분이 있을 경우 센싱부 저항을 설명하기 위한 도면이다.
도 4를 참조하면, 매질에 수분이 있을 경우, Rm은 약 200kΩ에 가까워 Rs는 Rt와 다른 값을 갖는다(Rs ≠ Rt). 즉, Rs의 저항값은 Rm * Rt / (Rm + Rt)으로 매질의 온도에 따라 가변되는 Rt의 저항값보다 감소된 저항값을 갖는다. 따라서, V+/V- 전압, 즉 센싱부 저항(Rs)의 측정전압(Vs)은 매질에 수분이 없을 경우와 구별되는 값을 갖는다. 따라서, 수분 센서 기능을 수행할 수 있다(아래의 표 1 참조).
Rs 전압(Vs)(V+/V-간 전압) 온도[℃]
1V 이하 Water Detection
2V 120
3V 40
4V -40
이와 같이, 매질의 수분과 매질의 온도를 함께 측정할 수 있도록 수분 감지 기능 및 온도 감지 기능을 통합적으로 갖는 수분 및 온도 통합 센서를 구성함으로써 수분 센서와 온도 센서를 단일 센서로 통합할 수 있어 센싱 전극 및 회로 공용화를 통해 설치공간 및 제조비용을 줄일 수 있다.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 수분 및 온도 통합 센서를 이용한 측정장치의 제어블록도이다.
도 5를 참조하면, 수분 및 온도 통합 센서를 이용한 측정장치는 수분 및 온도 통합 센서(100)와 전기적으로 연결된 제어부(110)를 포함한다.
수분 및 온도 통합 센서(100)는 매질의 수분과 온도를 검출한다. 수분 및 온도 통합 센서(100)는 검출된 전압신호를 제어부(110)로 출력한다.
제어부(110)는 수분 및 온도 통합 센서(100)로부터 출력된 전압신호에 따라 매질의 수분값과 온도값을 판단한다.
제어부(110)는 수분 및 온도 통합 센서(100)로부터 출력된 전압신호의 출력구간을 전압레벨에 따라 온도판단구간과 수분판단구간으로 구분한다.
제어부(110)는 온도판단구간에서는 그 구간의 전압값에 따라 매질의 온도값을 판단한다.
제어부(110)는 수분판단구간에서는 그 구간의 전압값에 따라 매질의 수분여부를 판단한다.
도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 수분 및 온도 통합 센서의 전압-온도 특성 곡선을 보인 그래프이다.
도 6을 참조하면, 센서전압이 온도에 반비례하는 특성을 가진다고 가정하면, 센서전압은 매질의 온도가 -40℃에서는 약 4V 정도로 형성되고, 40℃에서는 약 3V 정도로 형성되며, 120℃에서는 약 2V로 형성된다. 또한, 매질에 물이 포함되어 있을 경우 센서전압은 약 1V 이하로 형성된다. 일예로, 센서전압이 0.8V이면 물 검출(Water Detection)로 판단할 수 있다.
이와 같이, 온도판단구간에서는 센서전압이 증가함에 따라 매질의 온도의 선형적으로 증가하므로 이를 이용하여 센서전압에 따라 매질의 온도를 검출 가능하다.
수분판단구간에서는 센서전압이 매질의 온도를 검출 가능한 전압범위보다 높게 출력되므로, 이를 이용하여 센서전압에 따라 매질의 수분여부를 검출할 수 있다.
한편, 도 6에서는 센서전압이 온도에 반비례하는 특성을 가진 경우를 가정하여 설명하고 있지만, 이에 한정되지 않으며, 센서전압이 온도에 비례하는 특성을 가진 경우에도 적용 가능하다. 즉, 온도판단구간에서는 센서전압이 증가함에 따라 매질의 온도의 선형적으로 증가하므로 이를 이용하여 센서전압에 따라 매질의 온도를 검출 가능하다. 수분판단구간에서는 센서전압이 매질의 온도를 검출 가능한 전압범위보다 높게 출력되므로, 이를 이용하여 센서전압에 따라 매질의 수분여부를 검출할 수 있다.
10 : 센싱부 20 : 측정부
30 : 전극 40 : 신호처리부
100 : 수분 및 온도 통합 센서 110 : 제어부

Claims (6)

  1. 매질의 수분과 온도에 따라 저항값이 가변되는 센싱부;
    상기 센싱부의 전압신호를 측정하는 측정부;
    상기 센싱부와 상기 측정부사이에 마련된 한 쌍의 전극; 및
    상기 측정부에 의해 측정된 전압신호를 신호 처리하여 출력하는 신호처리부를 포함하고,
    상기 센싱부는 상기 매질의 온도에 따라 저항값이 가변되는 서미스터 소자를 포함하고,
    상기 센싱부의 저항값은 상기 매질의 수분에 따라 상기 서미스터 소자의 저항값 또는 상기 서미스터 소자의 저항값보다 감소된 저항값으로 가변되는 수분 및 온도 통합 센서.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 센싱부의 저항값은, 상기 매질에 수분이 없을 경우 상기 매질의 온도에 의해 상기 서미스터 소자의 저항값이 가변된 저항값이고, 상기 매질에 수분이 있을 경우 상기 매질의 온도에 의해 가변된 상기 서미스터 소자의 저항값보다 감소된 저항값으로 가변되는 수분 및 온도 통합 센서.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 감소된 저항값은 상기 매질의 저항값과 상기 매질의 온도에 의해 가변된 상기 서미스터 소자 저항값의 병렬 저항값인 수분 및 온도 통합 센서.
  4. 매질의 수분과 온도에 따라 저항값이 가변되는 센싱부;
    상기 센싱부의 전압신호를 측정하는 측정부;
    상기 센싱부와 상기 측정부사이에 마련된 한 쌍의 전극; 및
    상기 측정부에 의해 측정된 전압신호를 신호 처리하는 신호처리부를 포함하고,
    상기 센싱부는 상기 매질의 온도에 따라 저항값이 가변되는 서미스터 소자를 포함하고,
    상기 센싱부의 저항값은, 상기 매질에 수분이 없을 경우 상기 매질의 온도에 따라 가변된 상기 서미스터 소자의 저항값으로 가변되고, 상기 매질에 수분이 있을 경우 수분이 함유된 매질의 저항값과 상기 수분이 함유된 매질의 온도에 따라 가변된 상기 서미스터 소자의 저항값의 병렬 저항값으로 가변되는 수분 및 온도 통합 센서.
  5. 수분과 온도를 검출하는 수분 및 온도 통합 센서; 및
    상기 수분 및 온도 통합 센서로부터 출력된 전압신호에 따라 매질의 수분과 온도를 판단하는 제어부를 포함하고,
    상기 수분 및 온도 통합 센서는,
    매질의 수분과 온도에 따라 저항값이 가변되는 센싱부;
    상기 센싱부의 양단전압을 측정하는 측정부;
    상기 센싱부와 상기 측정부사이에 마련된 한 쌍의 전극; 및
    상기 측정부에 의해 측정된 전압신호를 신호처리하는 신호처리부를 포함하고,
    상기 센싱부는 상기 매질의 온도에 따라 저항값이 가변되는 서미스터 소자를 포함하고, 상기 센싱부의 저항값은, 상기 매질에 수분이 없을 경우 상기 매질의 온도에 따라 가변된 상기 서미스터 소자의 저항값으로 가변되고, 상기 매질에 수분이 있을 경우 수분이 함유된 매질의 저항값과 상기 수분이 함유된 매질의 온도에 따라 가변된 상기 서미스터 소자의 저항값의 병렬 저항값으로 가변되는 수분 및 온도 통합 센서를 이용한 측정장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 제어부는 상기 수분 및 온도 통합 센서로부터 출력된 전압신호의 출력구간을 전압레벨에 따라 2개의 출력구간으로 구분하고, 구분된 어느 하나의 출력구간에서는 수분값을, 다른 출력구간에서는 온도값을 판단하는 수분 및 온도 통합 센서를 이용한 측정장치.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114544716A (zh) * 2020-11-24 2022-05-27 娄底市安地亚斯电子陶瓷有限公司 一种城市管道淤泥检测设备、检测方法和制作方法

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010025755A (ja) 2008-07-18 2010-02-04 Nippon Soken Inc 液面レベル検出装置

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010025755A (ja) 2008-07-18 2010-02-04 Nippon Soken Inc 液面レベル検出装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114544716A (zh) * 2020-11-24 2022-05-27 娄底市安地亚斯电子陶瓷有限公司 一种城市管道淤泥检测设备、检测方法和制作方法

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