KR101926058B1 - Quantum-yield measurement device - Google Patents

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KR101926058B1
KR101926058B1 KR1020170154056A KR20170154056A KR101926058B1 KR 101926058 B1 KR101926058 B1 KR 101926058B1 KR 1020170154056 A KR1020170154056 A KR 1020170154056A KR 20170154056 A KR20170154056 A KR 20170154056A KR 101926058 B1 KR101926058 B1 KR 101926058B1
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KR
South Korea
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sample
spherical chamber
gas
vacuum
chamber
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KR1020170154056A
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Korean (ko)
Inventor
장원석
소혜미
정소희
정준호
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한국기계연구원
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    • G01N21/62Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
    • G01N21/63Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
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    • G01N21/64Fluorescence; Phosphorescence
    • G01N21/645Specially adapted constructive features of fluorimeters

Abstract

According to one embodiment of the present invention, a quantum efficiency measurement device comprises: a spherical chamber; a sample mounting unit installed in the spherical chamber and on which a sample is mounted; a light radiation unit connected to the spherical chamber and radiating excitation light to the sample; a light detection unit connected to the spherical chamber and detecting the light generated from the sample; a vacuum unit connected to the spherical chamber and forming the inside of the spherical chamber into a vacuum state; and a gas supply unit connected to the spherical chamber and enabling inert gas to be introduced into the spherical chamber.

Description

양자 효율 측정 장치{QUANTUM-YIELD MEASUREMENT DEVICE}QUANTUM-YIELD MEASUREMENT DEVICE

본 발명은 양자 효율 측정 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus for measuring quantum efficiency.

양자 효율 측정 장치는 발광 재료 등의 시료에 여기광(勵起光)을 조사하고 시료로부터 방출된 형광을 반사율이 높은 물질로 코팅된 적분구 내에서 다중 반사시켜 시료의 양자 효율을 측정하는 장치이다.The quantum efficiency measurement device is a device that irradiates excitation light to a sample such as a light emitting material and multiplexes the fluorescence emitted from the sample in an integral sphere coated with a material having a high reflectance to measure the quantum efficiency of the sample .

이러한 양자 효율 측정 장치는 주로 가시광 영역을 측정하였으나, 최근 근적외선 영역의 태양전지 및 광 센서 응용을 위한 양자 소재에 대한 활발한 연구 개발이 진행됨에 따라 신뢰성 있는 근적외선 영역의 양자 효율 측정 장치가 필요하게 되었다.The quantum efficiency measuring apparatus mainly measures the visible light region. However, as the quantum materials for the solar cell and the optical sensor application in the near-infrared region are actively researched and developed, a reliable apparatus for measuring the quantum efficiency in the near-infrared region is required.

그러나, 물 분자는 가시광 영역의 빛은 흡수하지 않지만 적외선은 흡수하므로 대기 중에 존재하는 수분의 양이 시료의 양자 효율에 영향을 미쳐 양자 효율의 측정 결과가 부정확할 수 있다. However, since water molecules do not absorb light in the visible light region but absorb infrared rays, the amount of water present in the atmosphere affects the quantum efficiency of the sample, so that the measurement result of quantum efficiency may be inaccurate.

본 발명은 근적외선 및 적외선 영역에서 신뢰성 있고 정확하게 양자 효율을 측정할 수 있는 양자 효율 측정 장치를 제공하고자 한다.An object of the present invention is to provide a quantum efficiency measuring apparatus capable of reliably and accurately measuring quantum efficiency in the near-infrared and infrared regions.

본 발명의 일 실시예에 따른 양자 효율 측정 장치는 구형 챔버, 상기 구형 챔버에 설치되며 시료가 장착되는 시료 장착부, 상기 구형 챔버에 연결되며 상기 시료에 여기광을 조사하는 광 조사부, 상기 구형 챔버에 연결되며 상기 시료에서 발생한 광을 검출하는 광 검출부, 상기 구형 챔버에 연결되며 상기 구형 챔버 내부를 진공 상태로 만드는 진공부, 그리고 상기 구형 챔버에 연결되며 상기 구형 챔버 내부에 비활성 가스를 유입시키는 가스 공급부를 포함한다.The apparatus for measuring quantum efficiency according to an embodiment of the present invention includes a spherical chamber, a sample mounting part installed in the spherical chamber, a sample mounting part connected to the spherical chamber, a light irradiating part for irradiating the excitation light to the sample, And a gas supply unit connected to the spherical chamber and connected to the spherical chamber for supplying inert gas into the spherical chamber, and a gas supply unit for supplying inert gas into the spherical chamber, .

상기 진공부는 상기 구형 챔버를 관통하는 진공 유입부, 상기 진공 유입부와 연결되며 상기 구형 챔버에 제1 진공 압력을 제공하는 제1 진공 펌프, 그리고The vacuum unit may include a vacuum inflow part passing through the spherical chamber, a first vacuum pump connected to the vacuum inflow part and providing a first vacuum pressure to the spherical chamber,

상기 진공 유입부에 위치하며 상기 제1 진공 압력을 조절하는 제1 압력 조절 밸브를 포함할 수 있다.And a first pressure regulating valve located in the vacuum inflow portion and regulating the first vacuum pressure.

상기 구형 챔버 내부의 제1 진공 압력은 10-1 Torr 내지 10-3 Torr일 수 있다.The first vacuum pressure in the spherical chamber may be 10 -1 Torr to 10 -3 Torr.

상기 가스 공급부는 상기 구형 챔버를 관통하며 상기 구형 챔버 내부에 비활성 가스를 유입시키는 가스 유입부, 상기 비활성 가스를 저장하는 가스 저장부, 그리고 상기 가스 저장부에서 상기 구형 챔버로 유입되는 가스의 양을 조절하는 가스 조절부를 포함할 수 있다.The gas supply unit may include a gas inlet for passing the inert gas through the spherical chamber and for introducing the inert gas into the spherical chamber, a gas storage for storing the inert gas, and an amount of gas flowing into the spherical chamber And a gas regulating part for regulating the gas.

상기 구형 챔버에 연결되며 상기 구형 챔버 내부의 온도 및 습도를 측정하는 온도 및 습도 측정기를 더 포함할 수 있다.And a temperature and humidity meter connected to the spherical chamber and measuring temperature and humidity inside the spherical chamber.

상기 온도 및 습도 측정기에 의해 측정된 온도 및 습도에 따라 상기 가스 조절부를 제어하는 제어부를 더 포함할 수 있다.And a controller for controlling the gas regulator according to the temperature and humidity measured by the temperature and humidity meter.

상기 시료는 고체 시료이고, 상기 시료 장착부는 상기 구형 챔버 내부에 위치하며 상기 시료를 지지하는 시료 지지부, 상기 시료 지지부에 제2 진공 압력을 제공하는 제2 진공 펌프, 그리고 상기 제2 진공 압력을 조절하는 제2 압력 조절 밸브를 포함할 수 있다.Wherein the sample is a solid sample, and the sample mounting part includes a sample supporting part located inside the spherical chamber and supporting the sample, a second vacuum pump providing a second vacuum pressure to the sample supporting part, The second pressure regulating valve.

상기 제2 진공 펌프의 제2 진공 압력은 상기 구형 챔버 내부의 제1 진공 압력보다 낮을 수 있다.The second vacuum pressure of the second vacuum pump may be lower than the first vacuum pressure inside the spherical chamber.

상기 시료는 액체 시료이고, 상기 시료 장착부는 상기 시료를 공급하는 시료 공급부, 상기 시료를 담는 시료 용기, 그리고 상기 시료 용기와 상기 시료 공급부를 연결하는 연결부를 포함할 수 있다.The sample may be a liquid sample, and the sample mounting part may include a sample supply part for supplying the sample, a sample container for containing the sample, and a connection part for connecting the sample container and the sample supply part.

상기 연결부는 상기 구형 챔버를 관통할 수 있다.The connection part may pass through the spherical chamber.

본 발명의 일 실시예에 따른 양자 효율 측정 장치는 구형 챔버에 진공부 및 가스 공급부를 설치하여 구형 챔버 내부를 진공으로 유지하고, 비활성 가스로 구형 챔버 내부를 채움으로써, 구형 챔버 내부의 수분이 시료에서 발생한 광의 근적외선 및 적외선 영역을 흡수하는 것을 최소화할 수 있다. 즉, 구형 챔버 내부에서 수분의 영향을 최소화할 수 있다. The apparatus for measuring quantum efficiency according to an embodiment of the present invention is characterized in that the chamber is provided with a vacuum chamber and a gas supply unit to maintain the inside of the vacuum chamber in a vacuum state and fill the inside of the vacuum chamber with an inert gas, It is possible to minimize the absorption of the near infrared rays and the infrared rays of the light generated by the light source. That is, the influence of moisture inside the spherical chamber can be minimized.

따라서, 근적외선 및 적외선 영역에서 신뢰성 있고 정확하게 시료의 양자 효율을 측정할 수 있다. Therefore, it is possible to reliably and accurately measure the quantum efficiency of the sample in the near-infrared and infrared regions.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 양자 효율 측정 장치의 개략적인 도면이다.
도 2는 본 발명의 다른 실시예에 따른 양자 효율 측정 장치의 개략적인 도면이다.
1 is a schematic diagram of an apparatus for measuring quantum efficiency according to an embodiment of the present invention.
2 is a schematic diagram of an apparatus for measuring quantum efficiency according to another embodiment of the present invention.

이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 여러 실시예들에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예들에 한정되지 않는다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The present invention may be embodied in many different forms and is not limited to the embodiments described herein.

본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙이도록 한다.In order to clearly illustrate the present invention, parts not related to the description are omitted, and the same or similar components are denoted by the same reference numerals throughout the specification.

그러면 본 발명의 일 실시예에 따른 양자 효율 측정 장치에 대하여 도 1을 참고로 상세하게 설명한다.An apparatus for measuring quantum efficiency according to an embodiment of the present invention will now be described in detail with reference to FIG.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 양자 효율 측정 장치의 개략적인 도면이다.1 is a schematic diagram of an apparatus for measuring quantum efficiency according to an embodiment of the present invention.

도 1에 도시한 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 양자 효율 측정 장치는 구형 챔버(10), 시료 장착부(20), 광 조사부(31), 광 검출부(32), 진공부(60) 그리고 가스 공급부(40)를 포함한다.1, the apparatus for measuring quantum efficiency according to an embodiment of the present invention includes a spherical chamber 10, a sample mounting unit 20, a light irradiation unit 31, a light detection unit 32, a vacuum 60, And a gas supply unit 40.

구형 챔버(10)는 그 내면에 황산 바륨 등의 고확산 반사제가 도포되거나, 반사율이 높도록 테프론(PTFE) 또는 스펙트라론(spectraron) 등의 재료로 제조 될 수 있다. The spherical chamber 10 may be made of a material such as Teflon (PTFE) or spectralon such that a high-diffusing reflector such as barium sulfate is coated on the inner surface thereof or a high reflectivity is applied thereto.

진공부(60)는 구형 챔버(10)에 연결되며 구형 챔버(10) 내부를 진공 상태로 만든다. 이러한 진공부(60)는 구형 챔버(10)를 관통하는 진공 유입부(61), 진공 유입부(61)와 연결되며 구형 챔버(10)에 제1 진공 압력을 제공하는 제1 진공 펌프(62), 그리고 진공 유입부(61)에 위치하며 제1 진공 압력을 조절하는 제1 압력 조절 밸브(63)를 포함할 수 있다.The vacuum chamber 60 is connected to the spherical chamber 10, and the inside of the spherical chamber 10 is evacuated. This vacuum 60 has a vacuum inflow part 61 penetrating the spherical chamber 10 and a first vacuum pump 62 connected to the vacuum inflow part 61 and providing a first vacuum pressure to the spherical chamber 10 ), And a first pressure control valve (63) located in the vacuum inflow part (61) and controlling the first vacuum pressure.

진공부(60)에 의해 조절된 구형 챔버(10) 내부의 제1 진공 압력은 10-1 Torr 내지 10-3 Torr일 수 있다.The first vacuum pressure inside the spherical chamber 10 controlled by the vacuum 60 may be 10 -1 Torr to 10 -3 Torr.

시료 장착부(20)는 구형 챔버(10)에 설치되며 시료(1)가 장착된다. 시료(1)는 형광 등을 방출하는 고체 시료일 수 있다.The sample mounting portion 20 is installed in the spherical chamber 10 and the sample 1 is mounted. The sample (1) may be a solid sample emitting fluorescence or the like.

시료 장착부(20)는 구형 챔버(10) 내부에 위치하며 시료(1)를 지지하는 시료 지지부(21), 시료 지지부(21)에 제2 진공 압력을 제공하는 제2 진공 펌프(22), 그리고 제2 진공 압력을 조절하는 제2 압력 조절 밸브(23)를 포함할 수 있다.The sample mounting portion 20 includes a sample supporting portion 21 which is located inside the spherical chamber 10 and supports the sample 1, a second vacuum pump 22 which provides a second vacuum pressure to the sample supporting portion 21, And a second pressure regulating valve 23 for regulating the second vacuum pressure.

제2 진공 펌프(22)의 제2 진공 압력은 구형 챔버(10) 내부의 제1 진공 압력보다 낮을 수 있다. 따라서, 시료 지지부(21)가 시료(1)를 잡아당기게 되므로, 시료(1)가 제1 진공 압력에 의해 구형 챔버(10)의 중앙부로 빨려 들어가는 것을 방지할 수 있다. The second vacuum pressure of the second vacuum pump 22 may be lower than the first vacuum pressure inside the spherical chamber 10. Therefore, since the sample support portion 21 pulls the sample 1, it is possible to prevent the sample 1 from being sucked into the center portion of the spherical chamber 10 by the first vacuum pressure.

광 조사부(31)는 구형 챔버(10)에 연결되며 시료(1)에 여기광을 조사하고, 광 검출부(32)는 구형 챔버(10)에 연결되며 시료(1)에서 발생한 광을 검출한다. 광 조사부(31)는 크세논 램프(xenon lamp) 또는 분광기 등에 의해 구성된 여기 광원으로서, 여기광을 발생시켜 시료(1)에 조사시킨다. 광 검출부(32)는 분광기나 CCD 센서 등에 의해 구성된 멀티 채널 검출기로서, 시료(1)에서 발생한 광을 검출한다.The light irradiation unit 31 is connected to the spherical chamber 10 and irradiates excitation light to the sample 1. The light detection unit 32 is connected to the spherical chamber 10 and detects light generated in the sample 1. [ The light irradiation unit 31 is an excitation light source constituted by a xenon lamp or a spectroscope, and generates excitation light to irradiate the sample 1. The photodetector 32 is a multi-channel detector configured by a spectrometer, a CCD sensor, or the like, and detects light generated in the sample 1.

가스 공급부(40)는 구형 챔버(10)에 연결되며 구형 챔버(10) 내부에 비활성 가스를 유입시킨다. 비활성 가스는 질소 가스(N2) 또는 아르곤 가스(Ar)를 포함할 수 있다. The gas supply unit 40 is connected to the spherical chamber 10 and introduces an inert gas into the spherical chamber 10. The inert gas may include nitrogen gas (N 2 ) or argon gas (Ar).

가스 공급부(40)는 구형 챔버(10)를 관통하며 구형 챔버(10) 내부에 비활성 가스를 유입시키는 가스 유입부(41), 비활성 가스를 저장하는 가스 저장부(42, 43), 그리고 가스 저장부(42, 43)에서 구형 챔버(10)로 유입되는 가스의 양을 조절하는 가스 조절부(44, 45)를 포함할 수 있다. 가스 저장부(42, 43)는 질소 가스를 저장하는 제1 가스 저장부(42), 그리고 아르곤 가스를 저장하는 제2 가스 저장부(43)를 포함할 수 있다. 그리고 가스 조절부(44, 45)는 제1 가스 저장부(42)에 연결되는 제1 가스 조절부(44), 그리고, 제2 가스 저장부(43)에 연결되는 제2 가스 조절부(45)를 포함할 수 있다. The gas supply unit 40 includes a gas inlet 41 for passing an inert gas into the spherical chamber 10 through the spherical chamber 10, gas storage units 42 and 43 for storing an inert gas, And gas regulating portions 44 and 45 for regulating the amount of the gas flowing into the spherical chamber 10 from the portions 42 and 43. The gas storage portions 42 and 43 may include a first gas storage portion 42 for storing nitrogen gas and a second gas storage portion 43 for storing argon gas. The gas control units 44 and 45 include a first gas control unit 44 connected to the first gas storage unit 42 and a second gas control unit 45 connected to the second gas storage unit 43 ).

본 실시예에서는 가스 저장부로 제1 가스 저장부 및 제2 가스 저장부만을 도시하였으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니며 다양한 변형이 가능하다. In the present embodiment, the first gas storage portion and the second gas storage portion are shown as the gas storage portion, but the present invention is not limited thereto and various modifications are possible.

가스 조절부(44, 45)를 이용하여 구형 챔버(10) 내부의 제1 진공 압력을 대기압보다 낮은 10-1 Torr 내지 10-3 Torr로 유지할 수 있다. The first vacuum pressure inside the spherical chamber 10 can be maintained at 10 -1 Torr to 10 -3 Torr which is lower than the atmospheric pressure by using the gas adjusting portions 44 and 45.

구형 챔버(10)에 온도 및 습도 측정기(51)가 연결될 수 있다. 온도 및 습도 측정기(51)는 구형 챔버(10) 내부의 온도 및 습도를 측정할 수 있다. 그리고, 온도 및 습도 측정기(51)에 의해 측정된 온도 및 습도에 따라 가스 조절부(44, 45)를 제어하는 제어부(52)가 설치될 수 있다. 즉, 제어부(52)는 구형 챔버(10) 내부의 온도를 상온으로 유지하고, 습도를 10% 이하가 되도록 가스 조절부(44, 45)를 제어하여 구형 챔버(10) 내부로 유입되는 비활성 가스의 양을 제어한다.The temperature and humidity meter 51 may be connected to the spherical chamber 10. The temperature and humidity meter 51 can measure the temperature and humidity inside the spherical chamber 10. The control unit 52 may be provided to control the gas control units 44 and 45 according to the temperature and humidity measured by the temperature and humidity measuring unit 51. That is, the control unit 52 controls the gas control units 44 and 45 to maintain the temperature of the inside of the spherical chamber 10 at room temperature and the humidity to be less than 10% .

이와 같이, 진공부(60)를 이용하여 구형 챔버(10) 내부를 진공으로 만든 후, 가스 공급부(40)를 이용하여 구형 챔버(10) 내부를 비활성 가스로 채우게 된다. 따라서, 구형 챔버(10) 내부의 습도는 낮아지게 되므로, 시료(1)와 물분자 또는 산소와의 반응을 최소화할 수 있다. 따라서, 광 검출부(32)에서는 물분자의 영향을 제거한 시료(1) 본연의 근적외선 및 적외선 영역의 양자 효율을 측정할 수 있다. After the inside of the spherical chamber 10 is evacuated by using the vacuum 60, the inside of the spherical chamber 10 is filled with the inert gas by using the gas supply unit 40. Therefore, the humidity inside the spherical chamber 10 becomes low, so that the reaction of the sample 1 with water molecules or oxygen can be minimized. Therefore, the photodetector 32 can measure the quantum efficiency of the near-infrared and infrared regions originally of the sample 1 from which the influence of water molecules is removed.

따라서, 시료(1)의 발광 특성이 변화되지 않도록 하여 근적외선 및 적외선 영역의 양자 효율을 정확하게 측정할 수 있다.Therefore, the quantum efficiency of the near infrared and infrared regions can be accurately measured by preventing the emission characteristics of the sample 1 from being changed.

한편, 상기 일 실시예에서는 시료 장착부에 장착된 시료가 고체 시료였으나, 액체 시료가 시료 장착부에 장착되는 다른 실시예도 가능하다.Meanwhile, in the above embodiment, the sample mounted on the sample mounting portion is a solid sample, but another embodiment in which the liquid sample is mounted on the sample mounting portion is also possible.

이하에서, 도 2를 참고하여, 본 발명의 다른 실시예에 따른 양자 효율 측정 장치에 대해 상세히 설명한다.Hereinafter, a quantum efficiency measuring apparatus according to another embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIG.

도 2는 본 발명의 다른 실시예에 따른 양자 효율 측정 장치의 개략적인 도면이다.2 is a schematic diagram of an apparatus for measuring quantum efficiency according to another embodiment of the present invention.

도 2에 도시된 다른 실시예는 도 1에 도시된 일 실시예와 비교하여 시료 장착부의 구조만을 제외하고 실질적으로 동일한 바 반복되는 설명은 생략한다.The other embodiment shown in FIG. 2 is substantially the same except for the structure of the sample mounting portion, as compared with the embodiment shown in FIG.

도 2에 도시한 바와 같이, 본 발명의 다른 실시예에 따른 양자 효율 측정 장치는 구형 챔버(10), 시료 장착부(70), 광 조사부(31), 광 검출부(32), 진공부(60) 그리고 가스 공급부(40)를 포함할 수 있다. 2, the apparatus for measuring quantum efficiency according to another embodiment of the present invention includes a spherical chamber 10, a sample mounting unit 70, a light irradiation unit 31, a light detection unit 32, a vacuum 60, And a gas supply unit 40.

구형 챔버(10) 내부에 위치하는 시료(2)는 액체 시료일 수 있다. 이 경우, 시료 장착부(70)는 구형 챔버(10) 외부에 위치하며 시료(2)를 공급하는 시료 공급부(73), 구형 챔버(10) 내부에 위치하며 시료(2)를 담는 시료 용기(71), 그리고 시료 용기(71)와 시료 공급부(73)를 연결하는 연결부(72)를 포함할 수 있다. 시료 용기(71)는 여기광이 조사될 수 있도록 투명한 재질로 만들어질 수 있다. The sample (2) located inside the spherical chamber (10) may be a liquid sample. In this case, the sample mounting portion 70 is disposed outside the spherical chamber 10, and includes a sample supply portion 73 for supplying the sample 2, a sample container 71 for storing the sample 2, which is located inside the spherical chamber 10, And a connection portion 72 for connecting the sample container 71 and the sample supply portion 73. The sample container 71 can be made of a transparent material so that the excitation light can be irradiated.

연결부(72)는 구형 챔버(10) 내부에 위치하는 시료 용기(71)와 구형 챔버(10) 내부에 위치하는 시료 공급부(73)를 연결하므로, 구형 챔버(10)를 관통하게 된다. 구형 챔버(10) 내부를 진공으로 유지하기 위해 시료 공급부(73)는 구형 챔버(10)의 외부에 위치하며, 연결부(72)를 통해 시료 용기(71)와 연결될 수 있다.The connection part 72 connects the sample container 71 located inside the spherical chamber 10 and the sample supply part 73 located inside the spherical chamber 10 and thus passes through the spherical chamber 10. The sample supply part 73 is located outside the spherical chamber 10 and can be connected to the sample container 71 through the connection part 72 to keep the inside of the spherical chamber 10 under vacuum.

본 발명을 앞서 기재한 바에 따라 바람직한 실시예를 통해 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되지 않으며 다음에 기재하는 특허청구범위의 개념과 범위를 벗어나지 않는 한, 다양한 수정 및 변형이 가능하다는 것을 본 발명이 속하는 기술 분야에 종사하는 자들은 쉽게 이해할 것이다.While the invention has been shown and described with reference to certain preferred embodiments thereof, it will be understood by those skilled in the art that various changes and modifications may be made therein without departing from the spirit and scope of the following claims. Those who are engaged in the technology field will understand easily.

10: 구형 챔버 20: 시료 장착부
31: 광 조사부 32: 광 검출부
40: 가스 공급부 51: 온도 및 습도 측정기
52: 제어부 60: 진공부
10: spherical chamber 20: sample mounting part
31: light irradiation part 32:
40: gas supply part 51: temperature and humidity measuring instrument
52: control unit 60:

Claims (10)

구형 챔버,
상기 구형 챔버에 설치되며 시료가 장착되는 시료 장착부,
상기 구형 챔버에 연결되며 상기 시료에 여기광을 조사하는 광 조사부,
상기 구형 챔버에 연결되며 상기 시료에서 발생한 광을 검출하는 광 검출부,
상기 구형 챔버에 연결되며 상기 구형 챔버 내부를 진공 상태로 만드는 진공부,
상기 구형 챔버에 연결되며 상기 구형 챔버 내부에 비활성 가스를 유입시키는 가스 공급부, 그리고
상기 구형 챔버에 연결되며 상기 구형 챔버 내부의 온도 및 습도를 측정하는 온도 및 습도 측정기를 포함하고,
상기 가스 공급부는 상기 구형 챔버를 관통하며 상기 구형 챔버 내부에 비활성 가스를 유입시키는 가스 유입부를 포함하고,
상기 가스 유입부는 상기 광 조사부와 이격되어 위치하며,
상기 가스 유입부를 통해 상기 구형 챔버 내부로 유입되는 비활성 가스의 양은 상기 온도 및 습도 측정기에 의해 측정된 습도에 따라 변동되는 양자 효율 측정 장치.
Spherical chamber,
A sample mounting part installed in the spherical chamber and mounted with a sample,
A light irradiation unit connected to the spherical chamber and irradiating excitation light to the sample,
A photodetector connected to the spherical chamber for detecting light generated in the sample,
A vacuum chamber connected to the spherical chamber, for evacuating the inside of the spherical chamber,
A gas supply unit connected to the spherical chamber and introducing an inert gas into the spherical chamber,
And a temperature and humidity meter connected to the spherical chamber and measuring temperature and humidity inside the spherical chamber,
Wherein the gas supply portion includes a gas inlet portion passing through the spherical chamber and introducing an inert gas into the spherical chamber,
The gas inflow portion is located apart from the light irradiation portion,
Wherein an amount of the inert gas introduced into the spherical chamber through the gas inlet varies according to the humidity measured by the temperature and humidity meter.
제1항에서,
상기 진공부는
상기 구형 챔버를 관통하는 진공 유입부,
상기 진공 유입부와 연결되며 상기 구형 챔버에 제1 진공 압력을 제공하는 제1 진공 펌프, 그리고
상기 진공 유입부에 위치하며 상기 제1 진공 압력을 조절하는 제1 압력 조절 밸브를 포함하는 양자 효율 측정 장치.
The method of claim 1,
The vacuum section
A vacuum inflow portion passing through the spherical chamber,
A first vacuum pump connected to the vacuum inlet and providing a first vacuum pressure to the spherical chamber,
And a first pressure regulating valve located in the vacuum inflow part and regulating the first vacuum pressure.
제2항에서,
상기 구형 챔버 내부의 제1 진공 압력은 10-1 Torr 내지 10-3 Torr인 양자 효율 측정 장치.
3. The method of claim 2,
Wherein the first vacuum pressure in the spherical chamber is 10 < -1 > Torr to 10 < -3 > Torr.
제1항에서,
상기 가스 공급부는
상기 비활성 가스를 저장하는 가스 저장부, 그리고
상기 가스 저장부에서 상기 구형 챔버로 유입되는 가스의 양을 조절하는 가스 조절부
를 포함하는 양자 효율 측정 장치.
The method of claim 1,
The gas supply part
A gas storage for storing the inert gas,
A gas regulator for regulating the amount of gas flowing into the spherical chamber in the gas reservoir,
And a quantum efficiency measuring device.
삭제delete 제4항에서,
상기 온도 및 습도 측정기에 의해 측정된 온도 및 습도에 따라 상기 가스 조절부를 제어하는 제어부를 더 포함하는 양자 효율 측정 장치.
5. The method of claim 4,
And a controller for controlling the gas regulator according to the temperature and humidity measured by the temperature and humidity meter.
제2항에서,
상기 시료는 고체 시료이고,
상기 시료 장착부는
상기 구형 챔버 내부에 위치하며 상기 시료를 지지하는 시료 지지부,
상기 시료 지지부에 제2 진공 압력을 제공하는 제2 진공 펌프, 그리고
상기 제2 진공 압력을 조절하는 제2 압력 조절 밸브를 포함하는 양자 효율 측정 장치.
3. The method of claim 2,
The sample is a solid sample,
The sample mounting portion
A sample supporting part located inside the spherical chamber and supporting the sample,
A second vacuum pump for providing a second vacuum pressure to the sample support, and
And a second pressure regulating valve for regulating the second vacuum pressure.
제7항에서,
상기 제2 진공 펌프의 제2 진공 압력은 상기 구형 챔버 내부의 제1 진공 압력보다 낮은 양자 효율 측정 장치.
8. The method of claim 7,
Wherein the second vacuum pressure of the second vacuum pump is lower than the first vacuum pressure inside the spherical chamber.
제2항에서,
상기 시료는 액체 시료이고,
상기 시료 장착부는
상기 시료를 공급하는 시료 공급부,
상기 시료를 담는 시료 용기, 그리고
상기 시료 용기와 상기 시료 공급부를 연결하는 연결부를 포함하는 양자 효율 측정 장치.
3. The method of claim 2,
Wherein the sample is a liquid sample,
The sample mounting portion
A sample supply unit for supplying the sample,
A sample container containing the sample, and
And a connection part connecting the sample container and the sample supply part.
제9항에서,
상기 연결부는 상기 구형 챔버를 관통하는 양자 효율 측정 장치.
The method of claim 9,
And the connection portion passes through the spherical chamber.
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