KR101915535B1 - Gas sensing device - Google Patents

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KR101915535B1
KR101915535B1 KR1020170158587A KR20170158587A KR101915535B1 KR 101915535 B1 KR101915535 B1 KR 101915535B1 KR 1020170158587 A KR1020170158587 A KR 1020170158587A KR 20170158587 A KR20170158587 A KR 20170158587A KR 101915535 B1 KR101915535 B1 KR 101915535B1
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gas
receiving groove
inner tube
gas receiving
inner pipe
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KR1020170158587A
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Inventor
이상열
오정은
봉하경
김경은
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주식회사 센트리
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Abstract

Provided is a gas measurement device capable of accurately and effectively measure target gas. The gas measurement device includes: a gas measurement block including a gas inlet and a gas outlet formed on the outer side, and a gas receiving groove storing gas therein and formed by being recessed; a gas measurement module including a shield plate which is in close contact with the gas measurement block to seal the gas receiving groove, and a measurement sensor unit formed on one side of the shield plate and inserted into the gas receiving groove; a first inner pipe extending from the gas inlet to the inside of the gas measurement block and facing one side of the gas receiving groove; a second inner pipe extending from the gas outlet to the inside of the gas measurement block and facing the other side of the gas receiving groove; an orifice unit disposed between the gas receiving groove and the first inner pipe to connect the gas receiving groove and the first inner pipe, and formed of a passage which has a diameter smaller than that of the first inner pipe; and a connection pipe disposed between the gas receiving groove and the second inner pipe to connect the gas receiving groove and the second inner pipe, and formed of a passage which has a larger diameter than the orifice unit.

Description

가스측정장치{Gas sensing device}Gas sensing device

본 발명은 가스측정장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 측정 대상 가스를 보다 정확하고 효과적으로 측정 가능한 가스측정장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a gas measurement apparatus, and more particularly, to a gas measurement apparatus capable of measuring a measurement target gas more accurately and effectively.

가스상 물질들은 다른 물질들을 합성하는 원료가 되기도 하며 여타 반응을 통해 생성되기도 한다. 또한 원치 않는 부산물로 만들어져 적절히 처리되기도 한다. 이러한 가스상 물질들을 보다 정확하고 원활하게 취급하거나 처리하기 위해 해당 가스상 물질의 성분, 농도 등 다양한 물리량을 측정하고 검사할 필요가 있다.Gaseous materials may be the raw materials for synthesizing other materials and may be generated by other reactions. It is also made of unwanted byproducts and handled appropriately. In order to treat or handle these gaseous substances more accurately and smoothly, it is necessary to measure and check various physical quantities such as the composition and concentration of the gaseous substance.

가스측정장치는 이러한 가스상 물질을 측정 및 검사하기 위해 사용될 수 있다. 가스상 물질은 유동성이 높고 확산이 빠른 특성이 있으므로 이를 챔버 등 한정된 공간을 만들어 가두어 측정할 수 있다. 예를 들어, 대한민국실용신안 20-0475653 등에 개시된 배기가스 측정장치와 같이 가스가 유동하는 유로 상에 챔버 구조 등을 포함하는 측정장치를 배치하여 가스상 물질의 농도 등을 측정할 수 있다.Gas measuring devices can be used to measure and inspect such gaseous materials. Since the gaseous material has high fluidity and fast diffusion characteristics, it can be confined by making a limited space such as a chamber. For example, a measuring apparatus including a chamber structure may be disposed on a flow path through which a gas flows, such as an exhaust gas measuring apparatus disclosed in Korean Utility Model Publication No. 20-0475653, to measure the concentration of a gaseous substance.

그러나 가스상 물질은 유동성이 높고 상대적으로 밀도도 낮아 유로 내 작은 압력 변화에도 민감하게 반응할 수 있고, 따라서 유로 내에서 유속이나 유량이 크게 변동되는 등 상대적으로 다루기 어려운 문제가 있다. 특히 가스측정장치의 챔버 내에 이러한 가스상 물질을 도입할 때 유속이나 유량 등이 일정하지 않고 변화하는 경우 센서를 통해 정확한 측정결과를 얻기는 매우 어려울 수 있다.However, since the gaseous material has a high flowability and a relatively low density, it can respond sensitively to small pressure changes in the flow path, and therefore, there is a relatively difficult problem in that the flow rate or the flow rate fluctuates greatly in the flow path. Especially, when introducing such a gaseous substance into the chamber of the gas measuring apparatus, it is very difficult to obtain accurate measurement results through the sensor when the flow rate or the flow rate is not constant.

대한민국등록실용신안공보 제20-0475653호, (2014. 12. 19), 명세서Korean Utility Model Registration No. 20-0475653, (December 19, 2014), specification

본 발명의 기술적 과제는, 이러한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 측정 대상 가스를 보다 정확하고 효과적으로 측정 가능한 구조의 가스측정장치를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and it is an object of the present invention to provide a gas measuring device having a structure capable of more accurately and effectively measuring gas to be measured.

본 발명의 기술적 과제는 이상에서 언급한 과제로 제한되지 않으며 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The technical problem of the present invention is not limited to the above-mentioned problems and other technical problems which are not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

본 발명에 의한 가스측정장치는, 외측에 가스유입구 및 가스배출구가 형성되고, 내측에 가스를 수용하는 가스수용홈이 만입되어 형성된 가스측정블록; 상기 가스측정블록에 밀착되어 상기 가스수용홈을 밀폐하는 차단판과, 상기 차단판의 일 측에 형성되어 상기 가스수용홈에 삽입되는 측정센서부를 포함하는 가스측정모듈; 상기 가스유입구로부터 상기 가스측정블록의 내부로 연장되어 상기 가스수용홈의 일 측에 면하는 제1내관; 상기 가스배출구로부터 상기 가스측정블록의 내부로 연장되어 상기 가스수용홈의 타 측에 면하는 제2내관; 상기 가스수용홈과 상기 제1내관 사이에 배치되어 상기 가스수용홈과 상기 제1내관을 연통시키며 상기 제1내관보다 직경이 작은 통로로 이루어진 오리피스부; 및 상기 가스수용홈과 상기 제2내관 사이에 배치되어 상기 가스수용홈과 상기 제2내관을 연통시키며 상기 오리피스부보다 직경이 큰 통로로 이루어진 연결관을 포함한다.A gas measuring apparatus according to the present invention comprises: a gas measuring block having a gas inlet and a gas outlet formed on an outer side thereof and a gas receiving groove formed therein for receiving a gas; A gas measurement module including a blocking plate that is in close contact with the gas measurement block to seal the gas receiving groove and a measurement sensor unit that is formed on one side of the blocking plate and inserted into the gas receiving groove; A first inner tube extending from the gas inlet to the inside of the gas measurement block and facing one side of the gas receiving groove; A second inner tube extending from the gas outlet into the gas measurement block and facing the other side of the gas receiving groove; An orifice portion which is disposed between the gas receiving groove and the first inner tube and communicates with the gas receiving groove and the first inner tube and has a diameter smaller than that of the first inner tube; And a connection pipe disposed between the gas receiving groove and the second inner pipe and communicating the gas receiving groove and the second inner pipe with a passage having a larger diameter than the orifice portion.

상기 제1내관 및 상기 제2내관은 서로 평행하며, 상기 가스수용홈은 상기 제1내관 및 상기 제2내관의 연장선상에 복수 개가 배치되어 각각 상기 오리피스부를 통해 상기 제1내관의 가스를 분산 수용하며, 상기 측정센서부는 복수 개의 상기 가스수용홈 각각에 삽입되어 가스와 접촉할 수 있다.The first inner tube and the second inner tube are parallel to each other, and the gas receiving grooves are disposed on an extension of the first inner tube and the second inner tube to distribute the gas of the first inner tube through the orifice portion, respectively And the measurement sensor unit may be inserted into each of the plurality of gas receiving grooves to contact the gas.

상기 가스측정장치는, 상기 가스유입구 및 상기 가스배출구 중 어느 하나를 통해 압력을 전달하여 상기 제1내관의 가스를 복수 개의 상기 가스수용홈으로 분배하는 펌프를 더 포함할 수 있다.The gas measuring apparatus may further include a pump for delivering pressure through the gas inlet and the gas outlet to distribute the gas in the first inner tube to the plurality of gas receiving grooves.

상기 제1내관 및 상기 제2내관은 각각 상기 가스유입구 및 상기 가스배출구의 반대편에 위치한 일단부가 막힌 비관통관으로 형성될 수 있다.The first inner pipe and the second inner pipe may be formed of a non-pervious pipe which is closed at one end located on the opposite side of the gas inlet and the gas outlet.

상기 제1내관 및 상기 제2내관은 서로 같은 높이에 배치되고, 상기 오리피스부 및 상기 연결관은 상기 제1내관 및 상기 제2내관에 직교하는 수직선상에 배치될 수 있다.The first inner tube and the second inner tube are disposed at the same height from each other, and the orifice portion and the connection tube can be disposed on a vertical line orthogonal to the first inner tube and the second inner tube.

상기 제1내관 및 상기 제2내관은 상기 가스수용홈의 직경보다 작은 간격으로 이격되어 가스수용홈의 저면 아래에 배치되고, 상기 오리피스부 및 상기 연결관은 상기 가스수용홈의 저면을 관통하는 통로로 이루어질 수 있다.Wherein the first inner pipe and the second inner pipe are spaced apart from each other by a distance smaller than the diameter of the gas receiving groove and are disposed below the bottom surface of the gas receiving groove and the orifice portion and the connecting pipe are communicated with each other through a passage ≪ / RTI >

상기 오리피스부는 상기 연결관보다 상기 측정센서부의 중심에 가깝게 배치될 수 있다.The orifice portion may be disposed closer to the center of the measurement sensor portion than the connection pipe.

상기 측정센서부는 상기 가스수용홈과 중심을 공유하는 원통형상으로 형성될 수 있다.The measurement sensor unit may be formed in a cylindrical shape having a center which is in common with the gas receiving groove.

상기 가스측정장치는, 상기 차단판과 상기 가스측정블록 사이에 상기 가스수용홈의 외곽을 둘러싸며 개재되는 오링을 더 포함할 수 있다.The gas measurement device may further include an O-ring interposed between the shield plate and the gas measurement block so as to surround the outer periphery of the gas receiving groove.

본 발명에 의하면, 측정 대상 가스의 유속이나 유량 변동 등을 억제하여 매우 정확한 측정이 가능하다. 특히 보다 효과적이고 효율적인 설계로 인해 가스가 유동하는 단일 유로 상에서 하나 또는 하나 이상의 복수 개의 센서를 활용하여 원하는 측정을 매우 정확하게 진행할 수 있다. 특히 본 발명은 하나 또는 하나 이상의 복수 개의 센서를 배치한 어느 경우에도 측정 대상 가스의 유속, 유량 변동 등을 일정하게 유지할 수 있는 구조적 특징을 갖추고 있으며 이를 매우 간결하고 컴팩트하게 구현한 특징이 있다. 이러한 본 발명의 가스측정장치를 다양한 분야에 매우 손쉽게 적용하여 원하는 측정값을 매우 정확하게 얻을 수 있다.According to the present invention, it is possible to perform highly accurate measurement by suppressing the flow rate and flow rate fluctuation of the gas to be measured. Particularly, a more efficient and efficient design allows one to use one or more sensors on a single flow path through which the gas flows, so that the desired measurement can be carried out very accurately. Particularly, the present invention has a structural characteristic capable of keeping constant the flow velocity, the flow rate fluctuation, etc. of the gas to be measured even in the case where one or more sensors are arranged, and it is characterized by being very compact and compact. Such a gas measuring apparatus of the present invention can be easily applied to various fields to obtain a desired measurement value very accurately.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 의한 가스측정장치의 사시도이다.
도 2는 도 1의 가스측정장치의 평면도이다.
도 3은 도 2의 가스측정장치의 A-A' 단면도이다.
도 4는 도 2의 가스측정장치의 B-B' 단면도이다.
도 5는 도 1의 가스측정장치의 분해도이다.
도 6은 도 1의 가스측정장치의 작동도이다.1 is a perspective view of a gas measuring apparatus according to an embodiment of the present invention.
Fig. 2 is a plan view of the gas measurement device of Fig. 1;
3 is a sectional view taken along the line AA 'of the gas measurement device of FIG. 2;
4 is a cross-sectional view taken along line BB 'of the gas measurement device of FIG. 2;
5 is an exploded view of the gas measurement device of FIG.
6 is an operational view of the gas measurement apparatus of FIG.

본 발명의 이점 및 특징 그리고 그것들을 달성하기 위한 방법들은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 단지 청구항에 의해 정의될 뿐이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The advantages and features of the present invention and methods for achieving them will become apparent with reference to the embodiments described in detail below with reference to the accompanying drawings. The present invention may, however, be embodied in many different forms and should not be construed as limited to the embodiments set forth herein. Rather, these embodiments are provided so that this disclosure will be thorough and complete, and will fully convey the scope of the invention to those skilled in the art. Is provided to fully convey the scope of the invention to those skilled in the art, and the present invention is only defined by the claims.

이하, 도 1 내지 도 6을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 의한 가스측정장치에 대해서 상세히 설명한다.Hereinafter, a gas measuring apparatus according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 1 to 6. FIG.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 의한 가스측정장치의 사시도이고, 도 2는 도 1의 가스측정장치의 평면도이고, 도 3은 도 2의 가스측정장치의 A-A' 단면도이며, 도 4는 도 2의 가스측정장치의 B-B' 단면도이고, 도 5는 도 1의 가스측정장치의 분해도이다. FIG. 1 is a perspective view of a gas measuring apparatus according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a plan view of the gas measuring apparatus of FIG. 1, 2 is a BB 'sectional view of the gas measurement device, and Fig. 5 is an exploded view of the gas measurement device of Fig.

도 1 내지 도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 의한 가스측정장치(1)는 블록 형상으로 컴팩트하게 형성된 장치 내부에 매우 유기적으로 구조 배치된 유로들을 포함한다. 이러한 유로는 제1내관(120), 제2내관(130), 오리피스부(121), 및 연결관(131) 등을 포함하는 구조로서 가스를 유동시키며, 유동경로를 변경하고, 센서가 배치된 가스수용홈(11)과 연결된다. 특히 제1내관(120)과 제2내관(130)을 기초로 가스를 유출입하는 구조가 만들어지며 이러한 토대 위에 가스수용홈(11), 오리피스부(121), 연결관(131)이 연결 접속되어 가스를 하나 또는 하나 이상의 가스수용홈(11)에 효과적으로 제공할 수 있도록 형성된다. 또한 제1내관(120)과 가스수용홈(11) 사이의 오리피스부(121)로 가스의 유량 및 유속을 조절할 수 있어 펌프 등의 작동에 의해 압력 변동이 있더라도, 가스의 유량 및 유속을 적정 수준으로 유지하여 센서가 배치된 가스수용홈(11)에 제공하는 것이 가능하다.Referring to FIGS. 1 to 5, a gas measuring apparatus 1 according to an embodiment of the present invention includes channels arranged in a highly organized structure inside a compactly formed unit. This flow path is a structure including the first inner tube 120, the second inner tube 130, the orifice portion 121, and the connection tube 131 and the like, changes the flow path, And is connected to the gas receiving groove 11. In particular, a structure is formed in which the gas flows in and out on the basis of the first inner pipe 120 and the second inner pipe 130. The gas receiving groove 11, the orifice portion 121, and the connecting pipe 131 are connected and connected to the base Is formed so as to effectively supply the gas to one or more gas receiving grooves (11). The flow rate and the flow rate of the gas can be adjusted by the orifice portion 121 between the first inner tube 120 and the gas receiving groove 11 so that the flow rate and the flow rate of the gas can be adjusted to an appropriate level To the gas receiving groove 11 in which the sensor is disposed.

특히 본 실시예에서와 같이, 가스수용홈(11)을 복수 개 형성하여 각각의 내부에서 측정작업을 진행하기 위한 구조로서, 상기 제1내관(120), 제2내관(130), 오리피스부(121), 및 연결관(131) 등을 포함하는 유기적인 유로 배치는 매우 효과적이다. 즉, 제1내관(120) 및 제2내관(130)으로 가스의 유입 및 유출이 일정한 경로를 따라 이루어지도록 형성하고, 이들 사이에 연속하여 복수 개의 가스수용홈(11)을 연결하여 각각의 가스수용홈(11)으로 가스가 분배되며 복수 개의 센서로 서로 다른 물리량 등을 측정할 수 있는 구조를 구현할 수 있다. 이를 통해 단일 경로로 유입된 가스라도, 서로 다른 복수 개의 측정공간[즉, 가스수용홈(11)]으로 매우 효과적으로 분배할 수 있고 각 측정공간에서 독립적인 측정작업을 매우 용이하게 진행할 수 있다. 또한, 각 가스수용홈(11)의 연결지점에 배치되는 오리피스부(121)로 분배점에서 가스의 유속 및 유량을 조절하여 적정 수준으로 유지할 수 있는바 분배된 가스의 흐름들로부터 역시 보다 정확하고 효과적인 센싱이 가능하다.In particular, as in this embodiment, a plurality of gas receiving grooves 11 are formed and the measuring process is performed in each of the gas receiving grooves 11. The first inner pipe 120, the second inner pipe 130, the orifice portion 121, and the connection pipe 131 and the like are very effective. That is, the gas is introduced into and discharged from the first inner tube 120 and the second inner tube 130 along a predetermined path, and a plurality of gas receiving grooves 11 are continuously connected between the first inner tube 120 and the second inner tube 130, It is possible to realize a structure in which gas is distributed to the receiving groove 11 and different physical quantities can be measured by a plurality of sensors. As a result, the gas introduced into the single path can be very effectively distributed to a plurality of different measurement spaces (i.e., the gas receiving grooves 11), and independent measurement work can be performed very easily in each measurement space. Further, the flow rate and flow rate of the gas can be adjusted and maintained at appropriate levels by the orifice portion 121 disposed at the connection point of each gas receiving groove 11, so that the flow of the divided gas is also more accurate Effective sensing is possible.

구체적으로 가스측정장치(1)는, 외측에 가스유입구(12) 및 가스배출구(13)가 형성되고, 내측에 가스를 수용하는 가스수용홈(11)이 만입되어 형성된 가스측정블록(10), 가스측정블록(10)에 밀착되어 가스수용홈(11)을 밀폐하는 차단판(21)과, 차단판(21)의 일 측에 형성되어 가스수용홈(11)에 삽입되는 측정센서부(22)를 포함하는 가스측정모듈(20), 가스유입구(12)로부터 가스측정블록(10)의 내부로 연장되어 가스수용홈(11)의 일 측에 면하는 제1내관(120), 가스배출구(13)로부터 가스측정블록(10)의 내부로 연장되어 가스수용홈(11)의 타 측에 면하는 제2내관(130), 가스수용홈(11)과 제1내관(120) 사이에 배치되어 가스수용홈(11)과 제1내관(120)을 연통시키며 제1내관(120)보다 직경이 작은 통로로 이루어진 오리피스부(121), 및 가스수용홈(11)과 제2내관(130) 사이에 배치되어 가스수용홈(11)과 제2내관(130)을 연통시키며 오리피스부(121)보다 직경이 큰 통로로 이루어진 연결관(131)을 포함한다.Specifically, the gas measuring device 1 includes a gas measuring block 10 having a gas inlet 12 and a gas outlet 13 formed on an outer side thereof, a gas receiving groove 11 for receiving a gas therein, And a measuring sensor portion 22 formed on one side of the blocking plate 21 and inserted into the gas receiving groove 11 so as to seal the gas receiving groove 11 in close contact with the gas measuring block 10, A first inner tube 120 extending from the gas inlet 12 to the inside of the gas measurement block 10 and facing one side of the gas receiving groove 11, A second inner tube 130 extending from the inner tube 13 to the inside of the gas measurement block 10 and facing the other side of the gas receiving groove 11 is disposed between the gas receiving groove 11 and the first inner tube 120 An orifice portion 121 having a diameter smaller than that of the first inner tube 120 and communicating the gas receiving groove 11 with the first inner tube 120 and an orifice portion 121 formed between the gas receiving groove 11 and the second inner tube 130 And the gas And a connection pipe 131 communicating the receiving groove 11 and the second inner pipe 130 and having a diameter larger than that of the orifice portion 121.

본 발명의 일 실시예에 의해, 제1내관(120) 및 제2내관(130)은 도 1 내지 도 5와 같이 서로 평행하며, 가스수용홈(11)은 제1내관(120) 및 제2내관(130)의 연장선상에 복수 개가 배치되어 각각 오리피스부(121)를 통해 제1내관(120)의 가스를 분산 수용하며(도 6참조), 측정센서부(22)는 복수 개의 가스수용홈(11) 각각에 삽입되어 가스와 접촉한다. 즉, 서로 평행한 제1내관(120) 및 제2내관(130)의 사이에, 제1내관(120)과 제2내관(130)의 배열에 맞추어 복수 개의 가스수용홈(11)을 제1내관(120) 및 제2내관(130) 각각에 독립적으로 연결된 구조로 형성할 수 있다. 이를 통해 전술한 바와 같이 제1내관(120)의 가스를 복수 개의 가스수용홈(11)으로 분배하여 수용하고 각각의 가스수용홈(11)에서 측정작업을 매우 원활하게 진행 가능한 구조를 구현할 수 있다.1 through 5, the gas receiving grooves 11 are formed in the first inner tube 120 and the second inner tube 130 in parallel to each other, A plurality of gas receiving grooves 130 are provided on the extension of the inner tube 130 to distribute the gas of the first inner tube 120 through the respective orifice portions 121 (11) and contact with the gas. That is, a plurality of gas receiving grooves 11 are formed between the first inner tube 120 and the second inner tube 130, which are parallel to each other, in correspondence to the arrangement of the first inner tube 120 and the second inner tube 130, The inner tube 120 and the second inner tube 130 may be independently connected to each other. As described above, it is possible to realize a structure in which the gas in the first inner tube 120 is distributed into the plurality of gas receiving grooves 11 and the measuring operation can be performed very smoothly in each of the gas receiving grooves 11 .

이하, 본 발명의 일 실시예에 의한 가스측정장치(1)의 구조 및 작용효과 등에 대해서 각각의 도면을 참조하여 좀더 상세히 설명한다.Hereinafter, the structure, operation and effect of the gas measuring device 1 according to one embodiment of the present invention will be described in more detail with reference to the respective drawings.

가스측정장치(1)는 크게 가스측정블록(10)과 가스측정모듈(20)로 구분될 수 있다. 가스측정블록(10)과 가스측정모듈(20)은 도 5에 도시된 바와 같이 서로 분리될 수 있으며 결합되면 도 1에 도시된 바와 같이 전체가 통합된 하나의 가스측정장치(1)를 형성한다. 가스측정블록(10)은 가스수용홈(11), 제1내관(120), 제2내관(130), 오리피스부(121), 및 연결관(131) 등을 포함하는 유로구조가 내부에 형성되며, 외측에는 제1내관(120)과 연통되는 가스유입구(12)와, 제2내관(130)과 연통되는 가스배출구(13)가 형성된다. 즉, 가스측정블록(10)은 가스유입구(12) 및 가스배출구(13)를 통해서 측정 대상 가스를 유입하고, 내부로 통과시켜 다시 외부로 배출할 수 있는 구조로 이루어진다. 가스측정모듈(20)은 이러한 가스측정블록(10)에 결합되어 가스측정블록(10)을 통과하는 가스와 측정센서부(22)로 접촉하며 측정작업을 진행할 수 있다.The gas measuring device 1 can be largely divided into a gas measuring block 10 and a gas measuring module 20. The gas measurement block 10 and the gas measurement module 20 can be separated from each other as shown in FIG. 5, and when combined, form a single integrated gas measurement device 1 as shown in FIG. 1 . The gas measuring block 10 is formed with a flow path structure including a gas receiving groove 11, a first inner tube 120, a second inner tube 130, an orifice portion 121, a connecting tube 131, And a gas inlet 12 communicating with the first inner tube 120 and a gas outlet 13 communicating with the second inner tube 130 are formed on the outer side. That is, the gas measurement block 10 has a structure in which a gas to be measured is introduced through the gas inlet 12 and the gas outlet 13, passed through the inside thereof, and then discharged to the outside. The gas measurement module 20 is coupled to the gas measurement block 10 and is in contact with the gas passing through the gas measurement block 10 and the measurement sensor section 22,

도 1 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 가스측정블록(10)의 외측에 가스유입구(12) 및 가스배출구(13)가 형성된다. 가스유입구(12)와 가스배출구(13)는 가스측정블록(10)의 서로 반대편에 위치할 수 있다. 가스유입구(12) 및 가스배출구(13)는 각각 가스측정블록(10)의 외측 일부분이 개구되어 형성될 수 있다. 가스유입구(12) 및 가스배출구(13)에는 각 도면에 도시된 바와 같은 연결플러그(31)를 결합하여 장치 외부의 가스관(도 6의 32참조)과 연결할 수 있다. 즉, 가스측정블록(10)은 가스유입구(12) 및 가스배출구(13)를 통해 가스관(32)과 같은 단일 관로 상에 가스 유출입이 가능하게 연결될 수 있다. 연결플러그(31)는 예를 들어 나사 결합방식 등으로 결합될 수 있으며 도시되지 않았지만, 연결플러그(31)와 가스측정블록(10)의 결합부위에는 하나 또는 그 이상의 오링(미도시) 등을 삽입하여 밀폐구조를 형성할 수 있다.As shown in Figs. 1 to 5, a gas inlet 12 and a gas outlet 13 are formed outside the gas measuring block 10. The gas inlet 12 and the gas outlet 13 may be located on opposite sides of the gas measurement block 10. The gas inlet 12 and the gas outlet 13 may be formed by opening an outer portion of the gas measuring block 10, respectively. The gas inlet 12 and the gas outlet 13 can be connected to a gas pipe (see 32 in FIG. 6) outside the apparatus by connecting the connection plug 31 as shown in the respective drawings. That is, the gas measuring block 10 can be connected to the gas inlet 32 and the gas outlet 33 so as to be gas-flowable on a single pipe, such as the gas pipe 32. The connection plug 31 may be coupled by, for example, a screw connection method or the like. Although not shown, one or more O-rings (not shown) may be inserted into the connection portion between the connection plug 31 and the gas measurement block 10 Thereby forming a closed structure.

가스측정블록(10)은 전체적으로 장방형의 입체적인 형상으로 형성될 수 있다. 도시된 바와 같이 직육면체 형상으로 가스측정블록(10)을 형성할 수 있다. 그러나 이와 같이 형상이 한정될 필요는 없으며 필요에 따라 가스측정블록(10)의 적어도 일부를 적절히 변형할 수 있다. 내부에 가스를 통과시키고, 유동경로를 변경하고, 가스수용홈(11) 등에 연결되는 유로 또는 관로구조를 포함하는 한도 내에서, 가스측정블록(10)은 여러 가지 적절한 형태로 변형될 수 있다. 특히 가스측정블록(10)은 가스측정장치(1)의 전체적인 형상을 결정할 수 있는바, 도시된 바와 같이 상대적으로 복잡한 유로구조는 내부에 형성하고, 외형상으로는 간결한 블록 형상을 유지하도록 하여, 장치 전체를 취급하기 편리하고 다양한 시스템에 원활하게 적용이 가능한 등의 이점도 얻을 수 있다.The gas measurement block 10 may be formed as a generally rectangular, three-dimensional shape. The gas measurement block 10 can be formed in a rectangular parallelepiped shape as shown in FIG. However, this shape need not be limited, and at least a part of the gas measuring block 10 can be suitably modified as necessary. The gas measurement block 10 can be modified into various suitable forms to the extent that it includes a passage or a duct structure that passes gas inside, changes the flow path, and is connected to the gas receiving groove 11 or the like. In particular, since the gas measuring block 10 can determine the overall shape of the gas measuring device 1, it is possible to form a relatively complicated flow path structure inside and maintain a simple block shape on the outside, It is easy to handle and can be smoothly applied to various systems.

가스측정블록(10)의 내측에는 가스를 수용하는 가스수용홈(11)이 만입되어 형성된다. 도 1 내지 도 5에 도시된 바와 같이 가스측정블록(10)의 외면으로부터 내측으로 만입되어 형성된 하나 또는 하나 이상의 가스수용홈(11)을 형성할 수 있다. 가스수용홈(11)은 도시된 바와 같이 원통형상으로 형성될 수 있으며 후술하는 측정센서부(22)는 가스수용홈(11)과 중심을 공유하는 원통형상으로 형성되어 가스수용홈(11) 내에 보다 용이하게 삽입될 수 있다. 가스수용홈(11)은 전술한 가스유입구(12) 및 가스배출구(13)가 형성된 면과 다른 면으로부터 가스측정블록(10)의 내측으로 만입될 수 있다. 가스수용홈(11)은 복수 개로 형성될 수 있으나, 필요에 따라서는 단독으로 형성될 수도 있다. 복수 개인 경우, 가스수용홈(11)의 개수는 도시된 바와 같이 한정될 필요는 없으며 원하는 만큼의 가스수용홈(11)을 가스측정블록(10)에 형성할 수 있다. 그러한 경우 가스측정블록(10)의 크기 역시 대응하여 증감될 수 있다.A gas receiving groove (11) for receiving a gas is formed inside the gas measuring block (10). As shown in FIGS. 1 to 5, one or more gas receiving grooves 11 formed inwardly from the outer surface of the gas measuring block 10 may be formed. The gas sensing groove 11 may be formed in a cylindrical shape as shown in the figure and the measurement sensor portion 22 to be described later may be formed in a cylindrical shape having the same center as the gas receiving groove 11, It can be inserted more easily. The gas receiving grooves 11 may be recessed into the gas measuring block 10 from a surface different from the surface on which the gas inlet 12 and the gas outlet 13 described above are formed. The plurality of gas receiving grooves 11 may be formed, but they may be formed independently. In the case of a plurality of gas receiving grooves 11, the number of gas receiving grooves 11 need not be limited as shown in the drawings, and a desired number of gas receiving grooves 11 may be formed in the gas measuring block 10. In such a case, the size of the gas measurement block 10 may also be correspondingly increased or decreased.

가스측정모듈(20)은 차단판(21)과 차단판(21)의 일 측에 형성되는 측정센서부(22)를 포함한다. 차단판(21)은 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이 가스측정블록(10)에 밀착되어 가스수용홈(11)을 밀폐한다. 차단판(21)은 가스측정모듈(20)의 외면에 대응하는 평면으로 형성될 수 있으며 가스수용홈(11)이 만입되는 면에 밀착되어 가스수용홈(11)을 밀폐할 수 있다. 도시된 바와 같이 차단판(21)과 가스측정블록(10) 사이에는 가스수용홈(11)의 외곽을 둘러싸며 개재되는 오링(111)을 형성하여 가스 누출을 방지하고 보다 면밀한 차폐구조를 형성할 수 있다. 오링(111)은 예를 들어, 탄성체로 형성된 것일 수 있으며 압력에 의해 탄성 변형되며 차단판(21)과 가스측정블록(10) 사이에 압착될 수 있다.The gas measurement module 20 includes a shutoff plate 21 and a measurement sensor unit 22 formed on one side of the shutoff plate 21. The blocking plate 21 is brought into close contact with the gas measurement block 10 to seal the gas receiving groove 11 as shown in Figs. The blocking plate 21 may be formed in a plane corresponding to the outer surface of the gas measurement module 20 and may be in close contact with the surface where the gas receiving groove 11 is recessed to seal the gas receiving groove 11. As shown in the figure, an O-ring 111 which surrounds the outer periphery of the gas receiving groove 11 is formed between the blocking plate 21 and the gas measurement block 10 to prevent gas leakage and form a more detailed shielding structure . The O-ring 111 may be formed of, for example, an elastic body and is elastically deformed by pressure and may be pressed between the shield plate 21 and the gas measurement block 10.

차단판(21)의 일 측에는 측정센서부(22)가 형성된다. 측정센서부(22)는 말단[가스수용홈(11)의 저면을 향하는 끝부분일 수 있다]에 측정센서가 배치된 것일 수 있다. 측정센서는 도면 상에 별도로 도시되지는 않았으나 측정센서부(22)의 상기한 말단에 위치할 수 있다. 측정센서부(22)는 측정센서를 포함하는 구조로서 차단판(21)으로부터 돌출되어 형성될 수 있다. 차단판(21)과 측정센서부(22)는 전기적으로 결선되어 있을 수 있으며 차단판(21)은 측정센서부(22)에 동작전력이나 측정신호를 입출할 수 있는 전송선로를 포함하여 형성될 수 있다. 예를 들어, 차단판(21)은 IC기판 등을 포함하여 형성될 수 있다. 차단판(21)에는 도시된 바와 같이 복수 개의 측정센서부(22)가 형성될 수도 있고 필요에 따라 측정센서부(22)와 차단판(21)을 일대일 대응시켜 단위 모듈로 형성할 수도 있다. 차단판(21)을 포함하는 가스측정모듈(20)은 예를 들어, 홈과 돌기와 같은 구조로 가스측정블록(10)과 결합될 수 있다. 예를 들어, 차단판(21)과 가스측정모듈(20)의 양 측에 도 1, 도 2, 및 도 5에 도시된 바와 같은 체결부(14, 23)[서로 체결되는 홈과 돌기로 이루어질 수 있다] 등을 형성하여 서로를 견고하게 결합할 수 있다.A measurement sensor portion 22 is formed on one side of the blocking plate 21. The measurement sensor portion 22 may be one in which the measurement sensor is disposed at the end (it may be the end portion toward the bottom surface of the gas receiving groove 11). The measurement sensor may be located at the above-mentioned one end of the measurement sensor portion 22, though not separately shown in the drawing. The measurement sensor unit 22 may include a measurement sensor and may be formed so as to protrude from the shield plate 21. The blocking plate 21 and the measurement sensor unit 22 may be electrically connected to each other and the blocking plate 21 may be formed to include a transmission line through which the operating power and the measurement signal can be inputted to and outputted from the measurement sensor unit 22 . For example, the blocking plate 21 may be formed including an IC substrate or the like. The blocking plate 21 may be formed with a plurality of measurement sensor units 22 or may be formed as a unit module by connecting the measurement sensor unit 22 and the blocking plate 21 in a one-to-one correspondence. The gas measurement module 20 including the blocking plate 21 can be combined with the gas measurement block 10 in a structure such as, for example, a groove and a projection. For example, on both sides of the shielding plate 21 and the gas measurement module 20, fastening portions 14, 23 (as shown in Figs. 1, 2, and 5 And the like can be formed to firmly couple each other.

이하, 가스측정블록 내부의 유로구조에 대해서 좀 더 상세히 설명한다.Hereinafter, the flow path structure inside the gas measurement block will be described in more detail.

가스측정블록(10) 내부에는 전술한 바와 같이 제1내관(120), 제2내관(130), 오리피스부(121), 및 연결관(131) 등을 포함하는 유로가 유기적으로 배치된다. 제1내관(120)은 도 3 및 도 5에 도시된 바와 같이 가스유입구(12)로부터 가스측정블록(10)의 내부로 연장되어 가스수용홈(11)의 일 측에 면하며, 제2내관(130)은 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이 가스배출구(13)로부터 가스측정블록(10)의 내부로 연장되어 가스수용홈(11)의 타 측에 면하도록 배치된다. 특히 도 2에 도시된 바와 같이 제1내관(120)과 제2내관(130)은 서로 평행하며, 가스수용홈(11)은 제1내관(120) 및 제2내관(130)의 연장선상에 복수 개가 배치될 수 있다. 제1내관(120)은 가스유입구(12)를 통해 외부의 가스를 가스측정블록(10) 내부로 유입하는 유입관으로 기능하고, 제2내관(130)은 가스배출구(13)를 통해 가스측정블록(10) 내부의 가스를 외부로 배출하는 배출관으로 기능하는 바, 복수 개의 가스수용홈(11)이 이들과 병렬 연결되어 각각 독립적으로 가스를 유출입하는 구조를 형성할 수 있다.The flow path including the first inner pipe 120, the second inner pipe 130, the orifice portion 121, and the connection pipe 131 is disposed in the gas measurement block 10 as described above. The first inner tube 120 extends from the gas inlet 12 to the interior of the gas measurement block 10 and faces one side of the gas receiving groove 11 as shown in Figures 3 and 5, The gas sensor 130 is disposed so as to extend from the gas outlet 13 to the inside of the gas measurement block 10 and face the other side of the gas receiving groove 11 as shown in Figs. 2, the first inner tube 120 and the second inner tube 130 are parallel to each other, and the gas receiving groove 11 is formed on an extension of the first inner tube 120 and the second inner tube 130 And a plurality of them may be disposed. The first inner tube 120 functions as an inlet tube for introducing an external gas into the gas measurement block 10 through the gas inlet 12 and the second inner tube 130 functions as a gas measurement And functions as a discharge pipe for discharging the gas inside the block 10 to the outside. A plurality of gas receiving grooves 11 may be connected in parallel with the gas receiving grooves 11 to form a structure in which gas flows in and out independently of each other.

제1내관(120) 및 제2내관(130)은 서로 평행한 직선상의 관로로 형성될 수 있다. 제1내관(120) 및 제2내관(130)이 연장된 길이에 따라서 이들 사이에 배치 가능한 가스수용홈(11)의 개수도 달라질 수 있다. 즉 제1내관(120) 및 제2내관(130)의 길이를 상대적으로 길게 또는 상대적으로 짧게 변경함으로써 적절한 수의 가스수용홈(11)을 배치할 수 있다. 제1내관(120) 및 제2내관(130)은 각각 가스유입구(12) 및 가스배출구(13)의 반대편에 위치한 일단부가 막힌 비관통관으로 형성되어 후술하는 오리피스부(121) 및 연결관(131)을 통해서만 가스수용홈(11)과 연통될 수 있다. 따라서 가스는 제1내관(120) 및 제2내관(130)에서는 서로 평행하게 유동하되 오리피스부(121) 및 연결관(131)이 형성된 지점에서 유동방향을 바꾸어 가스수용홈(11)으로 입출될 수 있다.The first inner tube 120 and the second inner tube 130 may be formed as a straight line parallel to each other. The number of the gas receiving grooves 11 that can be disposed between the first inner tube 120 and the second inner tube 130 along the length of the first inner tube 120 and the second inner tube 130 may vary. That is, by changing the lengths of the first inner tube 120 and the second inner tube 130 relatively long or relatively short, an appropriate number of the gas receiving grooves 11 can be arranged. The first inner tube 120 and the second inner tube 130 are formed of non-permeable tubes each having one end located on the opposite side of the gas inlet 12 and the gas outlet 13 so as to be connected to the orifice portion 121 and the connection tube 131 (Not shown). The gas flows in parallel to each other in the first inner pipe 120 and the second inner pipe 130 and flows into the gas receiving groove 11 by changing the flow direction at the point where the orifice portion 121 and the connecting pipe 131 are formed .

각 도면에 도시된 바와 같이, 오리피스부(121)는 가스수용홈(11)과 제1내관(120) 사이에 배치되어 가스수용홈(11)과 제1내관(120)을 연통시키는 구조이다. 특히 오리피스부(121)는 도 3 등에 도시된 바와 같이 제1내관(120)보다 직경이 작은 통로로 이루어져 양단 사이의 유속 변화와 그에 따른 압력 차를 유도할 수 있다. 즉, 오리피스부(121)로 인해 유속의 변화가 유도되며 말단에서 유속이 완전히 회복되지 않는 등의 이유로 압력 강하가 발생할 수 있다. 이와 같은 압력 변화를 이용하여 가스수용홈(11) 내 유입되는 가스의 압력이나 유속 등을 조절할 수 있다. 특히, 제1내관(120)보다 직경이 충분히 작은 통로로 이루어진 오리피스부(121)를 이용하여 오리피스부(121)를 통해 이동 가능한 유체 유량의 한계를 설정할 수 있고, 이를 이용하여 유로 내 과도한 압력이 인가되거나 불규칙하게 압력이 변동하더라도 한계 유량 내의 가스만을 통과시켜 가스수용홈(11)에 균일하게 공급할 수 있다. 즉, 제1내관(120)보다 직경이 작은 통로로 이루어진 오리피스부(121)를 제1내관(120)과 가스수용홈(11) 사이에 배치하여, 가스의 유속, 유량 등을 적절히 조절하고 가스수용홈(11) 내 유입되는 균일한 가스흐름을 형성할 수 있다.The orifice portion 121 is disposed between the gas receiving groove 11 and the first inner tube 120 so as to communicate the gas receiving groove 11 and the first inner tube 120 with each other. In particular, the orifice portion 121 may be formed of a passage having a diameter smaller than that of the first inner tube 120, as shown in FIG. 3 and the like, to induce a change in the flow rate between the both ends and a pressure difference therebetween. That is, a pressure drop may occur due to the change of the flow velocity due to the orifice portion 121 and the flow velocity at the end is not completely recovered. The pressure and flow rate of the gas introduced into the gas receiving groove 11 can be adjusted by using such a pressure change. Particularly, it is possible to set the limit of the fluid flow rate which can be moved through the orifice portion 121 by using the orifice portion 121 having a passage sufficiently smaller than the diameter of the first inner tube 120, and by using this, It is possible to uniformly supply only the gas within the critical flow rate to the gas receiving groove 11 even if the pressure is applied or irregularly changed. That is, the orifice portion 121 having a smaller diameter than the first inner tube 120 is disposed between the first inner tube 120 and the gas receiving groove 11 to adjust the gas flow rate, flow rate, It is possible to form a uniform gas flow flowing into the receiving groove 11. [

따라서 가스수용홈(11) 내 배치된 측정센서부(22)의 측정센서를 이용하여 보다 정확한 측정이 가능하다. 또한 복수 개의 가스수용홈(11) 각각은 모두 제1내관(120)에 오리피스부(121)를 통해 연결되어 있으므로 오리피스부(121)를 통해 제1내관(120)의 가스를 분산 수용하고 각각의 가스수용홈(11) 내 유입되는 가스의 유량, 유속 등도 모두 균일하게 유지할 수 있다. 따라서 서로 다른 가스수용홈(11) 내에서 서로 다른 종류의 측정센서 등으로 매우 원활하게 측정작업을 진행할 수 있다. 가스측정장치(1)의 작동과정 등에 대해서는 후술하여 좀 더 상세히 설명한다.Therefore, more accurate measurement can be performed by using the measurement sensor of the measurement sensor portion 22 disposed in the gas receiving groove 11. [ Each of the plurality of gas receiving grooves 11 is connected to the first inner tube 120 through the orifice portion 121 so that the gas in the first inner tube 120 is dispersed and received through the orifice portion 121, The flow rate and the flow rate of gas flowing into the gas receiving groove 11 can be maintained uniformly. Therefore, the measuring operation can be carried out very smoothly with different kinds of measuring sensors or the like in different gas receiving grooves 11. The operation of the gas measuring device 1 will be described later in more detail.

연결관(131)은 가스수용홈(11)과 제2내관(130) 사이에 배치되어 가스수용홈(11)과 제2내관(130)을 연통시킨다. 연결관(131)은 오리피스부(121)보다 직경이 큰 통로로 이루어져 통과 가능한 유량 등의 제한은 줄이도록 형성될 수 있다. 바람직하게는, 연결관(131)은 제2내관(130)과 동일한 직경으로 형성될 수 있다. 따라서 유로를 통해 인가되는 압력[펌프(도 6의 33참조)에 의해 유로 내 전달되는 것일 수 있다]이 연결관(131)과 가스수용홈(11)을 거쳐 오리피스부(121)까지 보다 용이하게 전달되도록 형성할 수 있다. 그러나 필요에 따라 오리피스부(121)보다 직경이 큰 한도 내에서 연결관(131)의 직경을 적절히 조절하여 연결관(131)의 양단에서도 필요한 만큼의 압력 차나 유속변화가 발생하도록 할 수도 있다. 이와 같은 오리피스부(121)와 연결관(131)의 상호작용을 통해서 가스수용홈(11) 내 가스의 체류시간 등을 변경하거나 가스수용홈(11) 내 가스의 확산 등을 유도하고 분포를 균일하게 하는 등 측정센서부(22)를 통한 측정이 보다 유리한 환경을 조성할 수 있다.The connection tube 131 is disposed between the gas receiving groove 11 and the second inner tube 130 to communicate the gas receiving groove 11 and the second inner tube 130 with each other. The connection pipe 131 may be formed to have a larger diameter than the orifice portion 121 and may be formed so as to reduce a limit of a flow rate or the like that can pass therethrough. Preferably, the connecting tube 131 may have the same diameter as the second inner tube 130. Therefore, the pressure applied through the flow path (which may be transmitted in the flow path by the pump (see 33 in FIG. 6)) is more easily transmitted to the orifice portion 121 through the connection pipe 131 and the gas receiving groove 11 To be transferred. However, if necessary, the diameter of the connection pipe 131 may be appropriately adjusted within a range that the diameter of the connection pipe 131 is larger than the diameter of the orifice portion 121, so that a pressure difference or a flow velocity change may be generated as necessary. Through the interaction between the orifice portion 121 and the coupling pipe 131, the residence time of the gas in the gas receiving groove 11 is changed or the diffusion of the gas in the gas receiving groove 11 is induced, So that the measurement through the measurement sensor unit 22 is more favorable.

이러한 가스측정블록(10) 내 유로 배치는 가스수용홈(11)의 위치, 가스분배 효과, 유속 및 유량의 조절효과 등을 극대화하도록 좀 더 면밀하게 고려하여 정해질 수 있다. 예를 들어, 도 3 내지 도 5에 도시된 바와 같이 제1내관(120) 및 제2내관(130)은 서로 같은 높이에 배치되고, 오리피스부(121) 및 연결관(131)은 도 2에 도시된 바와 같이 제1내관(120) 및 제2내관(130)에 직교하는 수직선상에 배치될 수 있다. 이로 인해 제1내관(120) 및 제2내관(130)에서 가스는 서로 평행한 방향으로 유동하되, 가스수용홈(11)과 연결되는 오리피스부(121)와 연결관(131) 사이에서는 그와 교차하는 방향으로 유동방향이 바뀌며 유속이 조절될 수 있다. 이러한 효과는 전술한 오리피스부(121)에 의한 효과와 시너지를 형성하여 가스수용홈(11) 내 가스 유량과 유속을 균일하게 하는 상승효과를 만들어 낼 수 있다.The arrangement of the flow paths in the gas measurement block 10 can be determined more closely in order to maximize the position of the gas receiving grooves 11, the effect of controlling the gas distribution, the flow rate, and the flow rate. 3 and 5, the first inner tube 120 and the second inner tube 130 are disposed at the same height, and the orifice portion 121 and the connection tube 131 are arranged at the same height as shown in FIG. 2 And may be disposed on a vertical line orthogonal to the first inner tube 120 and the second inner tube 130 as shown. The gas flows in parallel to each other in the first inner tube 120 and the second inner tube 130 and flows between the orifice portion 121 and the connection tube 131 connected to the gas receiving groove 11, The flow direction is changed in the cross direction and the flow rate can be adjusted. Such an effect can create a synergistic effect with the effect of the orifice portion 121 described above, thereby making the gas flow rate and the flow velocity in the gas receiving groove 11 uniform.

또한, 도 2에 도시된 바와 같이 제1내관(120) 및 제2내관(130)은 가스수용홈(11)의 직경보다 작은 간격으로 이격되어 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이 가스수용홈(11)의 저면 아래에 배치되고, 오리피스부(121) 및 연결관(131)은 가스수용홈(11)의 저면을 관통하는 통로로 이루어질 수 있다. 이를 통해 가스수용홈(11)의 저면을 효과적으로 활용한 유체 이동경로를 형성하여 가스수용홈(11)에 삽입되어 가스수용홈(11)의 저면을 향하는 측정센서부(22)의 말단에 보다 효과적으로 가스를 공급해 줄 수 있다. 특히 도 2 및 도 5에 도시된 바와 같이 오리피스부(121)는 연결관(131)보다 측정센서부(22)의 중심에 가깝게 배치되어 유량 및 유속 등이 균일하게 조정된 가스를 측정센서부(22)에 더욱 효율적으로 공급해 줄 수 있다. 도 2에 도시된 바와 같이 측정센서부(22)는 가스수용홈(11)과 중심을 공유하는 원통형상(즉, 도면과 같이 외주부가 동심원을 이루는 원통 형상)으로 형성될 수 있으며 오리피스부(121)는 도시된 바와 같이 이러한 중심에 상대적으로 가깝게 배치되어 측정대상 가스를 측정센서부(22) 측에 보다 효과적으로 접촉시킬 수 있다. 연결관(131)은 이와 반대로 중심으로부터 상대적으로 멀리 배치되어 오리피스부(121)로부터 측정센서부(22)로 제공되는 가스의 흐름을 방해하지 않도록 형성될 수 있으며, 전술한 바와 같이 오리피스부(121)보다 직경이 큰 통로로 이루어져 측정센서부(22)와 접촉된 가스를 제2내관(130)으로 보다 용이하게 배기하도록 형성될 수 있다.2 and 3, the first inner tube 120 and the second inner tube 130 are spaced apart from each other by a distance smaller than the diameter of the gas receiving groove 11, The orifice portion 121 and the connection pipe 131 may be formed as a passage extending through the bottom surface of the gas receiving groove 11. [ A fluid movement path that effectively utilizes the bottom surface of the gas receiving groove 11 is formed so as to be inserted into the gas receiving groove 11 and to be more effectively attached to the end of the measuring sensor portion 22 that faces the bottom surface of the gas receiving groove 11 Gas can be supplied. 2 and 5, the orifice part 121 is disposed closer to the center of the measurement sensor part 22 than the connection pipe 131, and the gas whose flow rate and flow rate are uniformly adjusted is connected to the measurement sensor part 22) in a more efficient manner. 2, the measurement sensor unit 22 may be formed in a cylindrical shape having a center with the gas receiving groove 11 (i.e., a cylindrical shape having a concentric outer periphery as shown in the drawing), and the orifice portion 121 Can be disposed relatively close to the center as shown so that the gas to be measured can more effectively contact the measurement sensor unit 22 side. The connection pipe 131 may be formed so as not to interfere with the flow of the gas provided from the orifice portion 121 to the measurement sensor portion 22 and may be formed in the orifice portion 121 So that the gas in contact with the measurement sensor unit 22 can be easily exhausted to the second inner tube 130. [

도 6은 도 1의 가스측정장치의 작동도이다.6 is an operational view of the gas measurement apparatus of FIG.

이와 같은 가스측정장치(1)의 작동과정을 도 6을 참조하여 설명하면 다음과 같다. 가스측정장치(1)는 전술한 바와 같이 연결플러그(31)를 각각 가스유입구(12) 및 가스배출구(13)에 결합하여 가스관(32)과 연결할 수 있다. 즉, 가스유입구(12) 및 가스배출구(13)를 가스관(32)에 각각 연결하여 가스관(32)과 같이 단일한 관로로 형성된 가스 유동경로 상에 가스측정장치(1)를 배치할 수 있다. 가스관(32)에는 도시된 바와 같이 펌프(33)가 연결되어 가스를 유동시키는 압력을 제공하며, 이로 인해 가스관(32) 내 가스(G)가 도 6의 (a)에 도시된 바와 같이 가스측정장치(1) 내부로 도입된다. 펌프(33)는 가스유입구(12) 및 가스배출구(13) 중 어느 하나를 통해 압력을 전달하며 이를 통해 도 6의 (b)에 도시된 바와 같이 제1내관(120)의 가스를 복수 개의 가스수용홈(11)으로 분배한다. 즉, 가스관(32) 상에 단일하게 설치된 펌프(33)를 이용하여 가스관(32) 내 가스(G)를 가스측정장치(1)로 공급하고, 다시 가스측정장치(1) 내부의 복수 개의 가스수용홈(11)으로 용이하게 분배할 수 있다. 펌프(33)는 가스관(32) 내 압력 변화를 유도하여 가스(G)를 유동시키는 것으로 여러 가지 다양한 형태로 구현될 수 있다. 펌프(33)는 가스측정장치(1)의 유입측 또는 배출측 중 어느 한 측의 가스관(32)에 설치할 수 있으며 펌프(33)의 구현형태에 따라서 설치위치를 적절히 바꾸어 줄 수 있다.The operation of the gas measuring device 1 will be described with reference to FIG. The gas measuring device 1 can be connected to the gas pipe 32 by connecting the connection plug 31 to the gas inlet 12 and the gas outlet 13, respectively, as described above. That is, the gas measuring device 1 can be arranged on the gas flow path formed by a single pipe like the gas pipe 32 by connecting the gas inlet 12 and the gas outlet 13 to the gas pipe 32, respectively. The gas pipe 32 is connected to a pump 33 as shown to provide a pressure to flow the gas so that the gas G in the gas pipe 32 can be measured by gas measurement Is introduced into the device (1). The pump 33 delivers pressure through either the gas inlet 12 or the gas outlet 13 to allow the gas in the first inner tube 120 to pass through the plurality of gases Into the receiving groove (11). That is, the gas (G) in the gas pipe (32) is supplied to the gas measuring device (1) by using the pump (33) provided on the gas pipe (32) It can be easily distributed to the receiving groove 11. The pump 33 may be implemented in various forms by inducing a pressure change in the gas pipe 32 to flow the gas G. [ The pump 33 can be installed in the gas pipe 32 on either the inflow side or the discharge side of the gas measuring device 1 and can appropriately change the installation position according to the embodiment of the pump 33. [

특히, 도시된 바와 같이 단일 펌프(33)로 가스(G)를 유동시키더라도, 제1내관(120)과 각 가스수용홈(11) 사이에 배치된 오리피스부(121)를 이용하여 제1내관(120)으로부터 각각의 가스수용홈(11)으로 제공되는 가스(G)의 유속, 유량 등을 조절하고 균일하게 유지하여 공급할 수 있는바, 복수 개의 가스수용홈(11)으로 분산된 균일한 가스(G) 흐름으로부터 각각의 가스수용홈(11)에서 매우 정확하고 효과적으로 측정 작업을 진행할 수 있다. 또한, 가스관(32)에 과도한 압력이 인가되거나 불규칙한 압력 변동 등이 발생하는 경우라도, 전술한 바와 같이 오리피스부(121)를 통해 설정된 한계 유량 내의 가스만을 통과시켜 가스수용홈(11)에 균일하게 공급할 수 있으므로 가스관(32) 내 압력을 전달하는 펌프(33) 등의 작동상태나 운전상황, 오작동 등에 의한 영향을 최소화하고 각 가스수용홈(11)에 균일하게 공급된 가스(G) 흐름으로부터 매우 정확하고 효과적으로 측정 작업을 진행할 수 있다. 가스수용홈(11) 내에서 측정센서부(22)와 접촉한 가스(G)들은 연결관(131)을 통해 제2내관(130)으로 합류되어 일괄적으로 배출된다.Particularly, even if the gas G is caused to flow by the single pump 33 as shown in the drawing, the orifice portion 121 disposed between the first inner tube 120 and each gas receiving groove 11 is used, The flow rate and the flow rate of the gas G supplied to the respective gas receiving grooves 11 can be controlled and uniformly supplied from the gas supplying groove 120 to the gas receiving grooves 11. As a result, It is possible to carry out the measurement operation very accurately and effectively in the respective gas receiving grooves 11 from the (G) flow. Even when excessive pressure is applied to the gas pipe 32 or irregular pressure fluctuations occur, only the gas within the predetermined flow rate set through the orifice portion 121 is passed through the gas receiving groove 11 to uniformly It is possible to minimize the influence of an operation state, a driving state, a malfunction, and the like of the pump 33 or the like which transfers the pressure in the gas pipe 32, The measurement can be performed accurately and effectively. The gases G that come into contact with the measurement sensor unit 22 in the gas receiving groove 11 are joined to the second inner tube 130 through the connecting pipe 131 and are collectively discharged.

이와 같이, 본 발명의 일 실시예에 의한 가스측정장치(1)를 이용하여 가스 흐름을 조정하고 매우 원활하게 측정 작업을 진행할 수 있다. 특히 복수 개의 서로 다른 측정센서 등을 이용하는 경우에도 매우 효과적으로 측정을 진행할 수 있으며, 관로 내 인가된 압력 등이 과도하거나 불규칙한 등의 문제가 있더라도 측정이 이루어지는 공간 내에 유속, 유량 등이 균일하게 조정된 상태로 가스를 분배하여 그에 관계없이 매우 정확하고 효과적인 측정이 가능하다. 이러한 구조를 장치 내 유기적인 유로 구조배치를 통해 매우 편리하게 구현할 수 있다.Thus, the gas flow can be adjusted using the gas measuring device 1 according to the embodiment of the present invention, and the measuring operation can be performed very smoothly. In particular, even when a plurality of different measurement sensors are used, the measurement can be performed very effectively, and even if there is a problem such as excessive or irregular pressure applied to the pipeline, the flow rate and flow rate are uniformly adjusted It is possible to measure very accurately and effectively regardless of the distribution of the gas. This structure can be implemented very conveniently through the arrangement of the organic flow path structure in the apparatus.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.While the present invention has been described in connection with what is presently considered to be practical exemplary embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, You will understand. It is therefore to be understood that the above-described embodiments are illustrative in all aspects and not restrictive.

1: 가스측정장치 10: 가스측정블록
11: 가스수용홈 111: 오링
12: 가스유입구 13: 가스배출구
14, 23: 체결부 20: 가스측정모듈
21: 차단판 22: 측정센서부
120: 제1내관 121: 오리피스부
130: 제2내관 131: 연결관
31: 연결플러그 32: 가스관
33: 펌프 G: 가스1: gas measuring device 10: gas measuring block
11: gas receiving groove 111: O-ring
12: gas inlet 13: gas outlet
14, 23: fastening part 20: gas measuring module
21: blocking plate 22: measuring sensor unit
120: first inner tube 121: orifice part
130: second inner pipe 131: connecting pipe
31: connection plug 32: gas pipe
33: Pump G: Gas

Claims (9)

외측에 가스유입구 및 가스배출구가 형성되고, 내측에 가스를 수용하는 가스수용홈이 만입되어 형성된 가스측정블록;
상기 가스측정블록에 밀착되어 상기 가스수용홈을 밀폐하는 차단판과, 상기 차단판의 일 측에 형성되어 상기 가스수용홈에 삽입되는 측정센서부를 포함하는 가스측정모듈;
상기 가스유입구로부터 상기 가스측정블록의 내부로 연장되어 상기 가스수용홈의 일 측에 면하는 제1내관;
상기 가스배출구로부터 상기 가스측정블록의 내부로 연장되어 상기 가스수용홈의 타 측에 면하는 제2내관;
상기 가스수용홈과 상기 제1내관 사이에 배치되어 상기 가스수용홈과 상기 제1내관을 연통시키며 상기 제1내관보다 직경이 작은 통로로 이루어진 오리피스부; 및
상기 가스수용홈과 상기 제2내관 사이에 배치되어 상기 가스수용홈과 상기 제2내관을 연통시키며 상기 오리피스부보다 직경이 큰 통로로 이루어진 연결관을 포함하고,
상기 제1내관 및 상기 제2내관은 서로 평행하며,
상기 가스수용홈은 상기 제1내관 및 상기 제2내관의 연장선상에 복수 개가 배치되어 각각 상기 오리피스부를 통해 상기 제1내관의 가스를 분산 수용하며,
상기 측정센서부는 복수 개의 상기 가스수용홈 각각에 삽입되어 가스와 접촉하고,
상기 가스유입구 및 상기 가스배출구 중 어느 하나를 통해 압력을 전달하여 상기 제1내관의 가스를 복수 개의 상기 가스수용홈으로 분배하는 펌프를 더 포함하고,
상기 제1내관 및 상기 제2내관은 서로 같은 높이에 배치되고, 상기 오리피스부 및 상기 연결관은 상기 제1내관 및 상기 제2내관에 직교하는 수직선상에 배치된 가스측정장치.A gas measurement block having a gas inlet and a gas outlet formed on the outer side thereof and a gas receiving groove formed therein to receive the gas therein;
A gas measurement module including a blocking plate that is in close contact with the gas measurement block to seal the gas receiving groove and a measurement sensor unit that is formed on one side of the blocking plate and inserted into the gas receiving groove;
A first inner tube extending from the gas inlet to the inside of the gas measurement block and facing one side of the gas receiving groove;
A second inner tube extending from the gas outlet into the gas measurement block and facing the other side of the gas receiving groove;
An orifice portion which is disposed between the gas receiving groove and the first inner tube and communicates with the gas receiving groove and the first inner tube and has a diameter smaller than that of the first inner tube; And
And a connection pipe which is disposed between the gas receiving groove and the second inner pipe and communicates the gas receiving groove and the second inner pipe with a passage having a larger diameter than the orifice portion,
The first inner tube and the second inner tube are parallel to each other,
A plurality of the gas receiving grooves are disposed on the extension of the first inner pipe and the second inner pipe to distribute the gas of the first inner pipe through the orifice portion,
Wherein the measurement sensor portion is inserted into each of the plurality of gas receiving grooves and is in contact with the gas,
Further comprising a pump for delivering a pressure through one of the gas inlet and the gas outlet to distribute the gas in the first inner tube to the plurality of gas receiving grooves,
Wherein the first inner pipe and the second inner pipe are disposed at the same height as each other, and the orifice portion and the connection pipe are disposed on a vertical line orthogonal to the first inner pipe and the second inner pipe. 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 제1내관 및 상기 제2내관은 각각 상기 가스유입구 및 상기 가스배출구의 반대편에 위치한 일단부가 막힌 비관통관으로 형성된 가스측정장치.The method according to claim 1,
Wherein the first inner pipe and the second inner pipe are formed by the gas inlet and the non-pervious through-pipe closed at one end located on the opposite side of the gas outlet. 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 제1내관 및 상기 제2내관은 상기 가스수용홈의 직경보다 작은 간격으로 이격되어 가스수용홈의 저면 아래에 배치되고,
상기 오리피스부 및 상기 연결관은 상기 가스수용홈의 저면을 관통하는 통로로 이루어진 가스측정장치.The method according to claim 1,
Wherein the first inner pipe and the second inner pipe are disposed below the bottom of the gas receiving groove at a distance smaller than the diameter of the gas receiving groove,
Wherein the orifice portion and the connection pipe comprise a passage penetrating the bottom surface of the gas receiving groove. 제1항에 있어서,
상기 오리피스부는 상기 연결관보다 상기 측정센서부의 중심에 가깝게 배치된 가스측정장치.The method according to claim 1,
And the orifice portion is disposed closer to the center of the measurement sensor portion than the connection pipe. 제7항에 있어서,
상기 측정센서부는 상기 가스수용홈과 중심을 공유하는 원통형상으로 형성된 가스측정장치.8. The method of claim 7,
Wherein the measurement sensor unit is formed in a cylindrical shape having a center which is common to the gas receiving groove. 제1항에 있어서,
상기 차단판과 상기 가스측정블록 사이에 상기 가스수용홈의 외곽을 둘러싸며 개재되는 오링을 더 포함하는 가스측정장치.The method according to claim 1,
Further comprising an O-ring interposed between the shield plate and the gas measurement block and surrounding an outer periphery of the gas receiving groove.
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