KR101883845B1 - apparatus for measuring beam profile - Google Patents
apparatus for measuring beam profile Download PDFInfo
- Publication number
- KR101883845B1 KR101883845B1 KR1020120047917A KR20120047917A KR101883845B1 KR 101883845 B1 KR101883845 B1 KR 101883845B1 KR 1020120047917 A KR1020120047917 A KR 1020120047917A KR 20120047917 A KR20120047917 A KR 20120047917A KR 101883845 B1 KR101883845 B1 KR 101883845B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- resolution
- optical fiber
- tip
- core
- resolution adjusting
- Prior art date
Links
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims abstract description 116
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 55
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 55
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 55
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 18
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 6
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 5
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 5
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 4
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005315 distribution function Methods 0.000 description 1
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 description 1
- 239000002952 polymeric resin Substances 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000003892 spreading Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0275—Details making use of sensor-related data, e.g. for identification of sensor parts or optical elements
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/10—Photometry, e.g. photographic exposure meter by comparison with reference light or electric value provisionally void
- G01J1/20—Photometry, e.g. photographic exposure meter by comparison with reference light or electric value provisionally void intensity of the measured or reference value being varied to equalise their effects at the detectors, e.g. by varying incidence angle
- G01J1/22—Photometry, e.g. photographic exposure meter by comparison with reference light or electric value provisionally void intensity of the measured or reference value being varied to equalise their effects at the detectors, e.g. by varying incidence angle using a variable element in the light-path, e.g. filter, polarising means
- G01J1/24—Photometry, e.g. photographic exposure meter by comparison with reference light or electric value provisionally void intensity of the measured or reference value being varied to equalise their effects at the detectors, e.g. by varying incidence angle using a variable element in the light-path, e.g. filter, polarising means using electric radiation detectors
- G01J1/26—Photometry, e.g. photographic exposure meter by comparison with reference light or electric value provisionally void intensity of the measured or reference value being varied to equalise their effects at the detectors, e.g. by varying incidence angle using a variable element in the light-path, e.g. filter, polarising means using electric radiation detectors adapted for automatic variation of the measured or reference value
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/10—Photometry, e.g. photographic exposure meter by comparison with reference light or electric value provisionally void
- G01J1/20—Photometry, e.g. photographic exposure meter by comparison with reference light or electric value provisionally void intensity of the measured or reference value being varied to equalise their effects at the detectors, e.g. by varying incidence angle
- G01J1/28—Photometry, e.g. photographic exposure meter by comparison with reference light or electric value provisionally void intensity of the measured or reference value being varied to equalise their effects at the detectors, e.g. by varying incidence angle using variation of intensity or distance of source
- G01J1/30—Photometry, e.g. photographic exposure meter by comparison with reference light or electric value provisionally void intensity of the measured or reference value being varied to equalise their effects at the detectors, e.g. by varying incidence angle using variation of intensity or distance of source using electric radiation detectors
- G01J1/32—Photometry, e.g. photographic exposure meter by comparison with reference light or electric value provisionally void intensity of the measured or reference value being varied to equalise their effects at the detectors, e.g. by varying incidence angle using variation of intensity or distance of source using electric radiation detectors adapted for automatic variation of the measured or reference value
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
빔 프로파일을 측정하기 위한 장치에 관한 것으로, 입사되는 빔을 전송하는 광 파이버와, 광 파이버에 결합되고 측정하고자 하는 빔의 해상도를 조정하는 해상도 조정 팁(resolution adjustment tip)을 포함하고, 측정하고자 하는 빔의 해상도는 해상도 조정 팁의 길이에 따라 조정되며, 해상도 조정 팁의 길이는 하기 수학식 1에 의해 결정될 수 있다.
[수학식 1]
θφ = Tan-1 (φs/L)
(여기서, θφ는 광 파이버로 수광되는 광의 총 입사각, φs는 해상도 조정 팁의 내경, L은 해상도 조정 팁의 길이)An apparatus for measuring a beam profile, comprising: an optical fiber for transmitting an incident beam; and a resolution adjustment tip coupled to the optical fiber for adjusting a resolution of the beam to be measured, The resolution of the beam is adjusted according to the length of the resolution adjustment tip, and the length of the resolution adjustment tip can be determined by the following equation (1).
[Equation 1]
&thetas;ϕ = Tan- 1 ( s / L)
(Where ? Is the total incident angle of light received by the optical fiber,? S is the inner diameter of the resolution adjusting tip, and L is the length of the resolution adjusting tip)
Description
실시예는 빔 프로파일을 측정하기 위한 장치에 관한 것이다.An embodiment relates to an apparatus for measuring a beam profile.
일반적으로, 분광계 광학 시스템에서, 사용상 편의를 위하여 광 파이버(optical fiber)가 많이 사용되고 있다.In general, in optical systems for spectrometers, optical fibers are often used for convenience of use.
광 파이버는 빔(beam)을 용이하게 전달할 뿐만 아니라, 크기가 작기 때문에 많은 장점을 가지고 있다.Optical fibers not only transmit beams easily but also have many advantages because they are small in size.
또한, 광 파이버는 빔 전달을 위한 코어(core)와 클래드(clad)로 구성될 수 있는데, 적절한 입사각에 해당하는 빔을 받아들이기 때문에, 작은 직경임에도 불구하고, 상당히 많은 광량을 받아들일 수 있다.In addition, the optical fiber can be composed of a core and a clad for beam transmission. Since the optical fiber receives a beam corresponding to an appropriate incident angle, a considerably large amount of light can be received despite the small diameter.
예를 들면, NA(Numerical Appature)가 0.22인 광 파이버는 전체 수광각(acceptance angle)이 약 25.4도가 될 수 있다.For example, an optical fiber with an NA (Numerical Appature) of 0.22 may have an overall acceptance angle of about 25.4 degrees.
이러한 수광각을 갖는 광 파이버를 이용하여, 빔 프로파일(beam profile)을 측정할 경우, 빔의 방사각과 FWHM(Full Width at Half Maximum)의 프로파일 상태에 따라서, 정확도가 저하될 수 있다.When the beam profile is measured using such an optical fiber having a light receiving angle, the accuracy may be degraded depending on the radiation angle of the beam and the profile state of FWHM (Full Width at Half Maximum).
특히, 동일한 빔이 주어진 물체의 표면에 다른 입사각으로 입사될 때, 빔의 확산 정도(확산 분포)를 측정하면, FWHM의 정확도나 전체 산란 누적량(TIS; Total Integrated Scatter)의 정확도 측정이 용이하지 않을 수 있다.In particular, when the same beam is incident on the surface of a given object at different incidence angles, it is not easy to measure the accuracy of the FWHM or the total integrated scatter (TIS) .
따라서, 향후, 백라이트 유닛 등과 같은 조명 장치 개발시, 반사 및 투과에 대한 광학면의 빔 확산 분포 함수를 실험적으로 측정할 경우, 빔의 입사각, 특히 빔의 고입사각에 대한 확산 분포를 정확하고 쉽게 측정할 수 있는 빔 프로파일 측정 장치의 개발이 필요할 것이다.Therefore, in the future, when the illuminating device such as a backlight unit is experimentally measured the beam spreading distribution function of the optical surface for reflection and transmission, it is possible to accurately and easily measure the angle of incidence of the beam, It is necessary to develop a beam profile measuring device capable of measuring the beam profile.
실시예는 기하 광학적 특수 구조체인 해상도 조정 팁(resolution adjustment tip)을 광 파이버에 결합함으로써, 광학면의 빔 확산 분포를 정확하게 측정할 수 있는 빔 프로파일 측정 장치를 제공하고자 한다.An embodiment of the present invention is to provide a beam profile measuring apparatus capable of precisely measuring a beam diffusion distribution on an optical surface by coupling a resolution adjustment tip, which is a geometric optics special structure, to an optical fiber.
실시예는, 입사되는 빔을 전송하는 광 파이버와, 광 파이버에 결합되고, 측정하고자 하는 빔의 해상도를 조정하는 해상도 조정 팁(resolution adjustment tip)을 포함하고, 측정하고자 하는 빔의 해상도는 해상도 조정 팁의 길이에 따라 조정되며, 해상도 조정 팁의 길이는 하기 수학식 1에 의해 결정될 수 있다.An embodiment includes an optical fiber for transmitting an incident beam and a resolution adjustment tip coupled to the optical fiber for adjusting the resolution of the beam to be measured, And the length of the resolution adjustment tip may be determined by the following equation (1).
[수학식 1][Equation 1]
θφ = Tan-1 (φs/L)&thetas;ϕ = Tan- 1 ( s / L)
(여기서, θφ는 광 파이버로 수광되는 광의 총 입사각, φs는 해상도 조정 팁의 내경, L은 해상도 조정 팁의 길이)(Where ? Is the total incident angle of light received by the optical fiber,? S is the inner diameter of the resolution adjusting tip, and L is the length of the resolution adjusting tip)
여기서, 해상도 조정 팁은, 측정하고자 하는 빔이 입사하는 빔 입사면과 입사된 빔을 광 파이버로 출사하는 빔 출사면을 포함하고, 빔 입사면과 빔 출사면 사이의 내부에 관통 홀(via hole)을 갖는 바디부와, 바디부의 빔 출사면에 배치되고, 광 파이버와 결합되는 결합부를 포함할 수 있다.Here, the resolution adjusting tip includes a beam incident surface on which a beam to be measured is incident and a beam emitting surface for emitting an incident beam to an optical fiber, and a via hole (not shown) is formed in the space between the beam incident surface and the beam emitting surface. And a coupling part which is disposed on the beam output surface of the body part and is coupled with the optical fiber.
그리고, 바디부의 내부 면에는 광 흡수층이 배치될 수 있다.The light absorbing layer may be disposed on the inner surface of the body part.
또한, 바디부의 내부 면에는 요철 패턴이 형성될 수도 있다.An irregular pattern may be formed on the inner surface of the body portion.
다음, 바디부의 관통 홀의 직경은 빔 입사면으로부터 빔 출사면까지 동일할 수 있다.Next, the diameter of the through hole of the body portion may be the same from the beam incident surface to the beam exit surface.
이어, 바디부의 관통 홀의 직경은 빔 입사면으로부터 빔 출사면으로 갈수록 감소할 수도 있다.Then, the diameter of the through hole of the body portion may decrease from the beam incident surface to the beam exit surface.
그리고, 바디부의 관통 홀의 직경은 빔 입사면에 인접한 영역과 빔 출사면에 인접한 영역이 서로 다를 수도 있다.The diameter of the through hole of the body part may be different from the area adjacent to the beam incident surface and the area adjacent to the beam exit surface.
또한, 바디부의 관통 홀의 직경은 광 파이버의 코어(core)의 직경과 동일할 수 있다.The diameter of the through-hole of the body portion may be the same as the diameter of the core of the optical fiber.
그리고, 바디부의 빔 입사면과 빔 출사면 사이의 거리는 바디부의 관통 홀의 직경이 클수록 증가할 수 있다.The distance between the beam incident surface of the body portion and the beam emerging surface can be increased as the diameter of the through hole of the body portion is larger.
이어, 결합부는 광 파이버의 코어의 외면을 둘러싸도록 배치될 수 있다.Then, the coupling portion may be arranged to surround the outer surface of the core of the optical fiber.
다음, 해상도 조정 팁은 내부에 관통 홀을 갖는 튜브이고, 광 파이버는 해상도 조정 팁의 관통 홀 내에 일부가 삽입될 수 있다.Next, the resolution adjusting tip is a tube having a through hole therein, and the optical fiber can be partially inserted into the through hole of the resolution adjusting tip.
또한, 광 파이버는, 빔이 입사되는 코어(core)와, 코어를 둘러싸는 클래드(clad)를 포함하고, 광 파이버의 코어는 해상도 조정 팁 내부에 삽입될 수 있다.Further, the optical fiber includes a core into which the beam is incident and a clad surrounding the core, and the core of the optical fiber can be inserted into the resolution adjustment tip.
실시예는 기하 광학적 특수 구조체인 해상도 조정 팁(resolution adjustment tip)을 광 파이버에 결함함으로써, 광학면의 빔 확산 분포를 정확하게 측정할 수 있다.The embodiment can precisely measure the beam diffusion distribution on the optical surface by deflecting the resolution adjustment tip, which is a geometric optics special structure, on the optical fiber.
특히, 빔의 고입사각에 대한 확산 분포를 정확하고 쉽게 측정할 수 있으므로, 측정 장치에 대한 신뢰성이 높다.Particularly, since the diffusion distribution with respect to the high incident angle of the beam can be accurately and easily measured, the reliability of the measuring apparatus is high.
또한, 실시예는 기하 광학적 특수 구조체인 해상도 조정 팁을 광 파이버에 쉽고 간단하게 연결할 수 있으므로, 무게가 가볍고, 제작단가가 저렴하며, 정확한 측정이 가능하다.In addition, the embodiment can easily and simply connect the resolution adjusting tip, which is a geometric optic special structure, to the optical fiber, so that the weight is light, the manufacturing cost is low, and accurate measurement is possible.
따라서, 빔 프로파일 측정 장치의 경제성 및 신뢰성이 향상될 수 있다.Therefore, the economical efficiency and reliability of the beam profile measuring apparatus can be improved.
도 1a 및 도 1b는 실시예에 따른 빔 프로파일 측정 장치를 보여주는 사시도
도 2는 도 1b의 Ⅰ-Ⅰ 선상에 따른 구조 단면도
도 3a 및 도 3b는 해상도 조정 팁의 탈착에 따른 빔의 해상도를 보여주는 단면도
도 4a 내지 도 4c는 광 흡수층을 갖는 해상도 조정 팁을 보여주는 단면도
도 5a 내지 도 5c는 요철 패턴을 갖는 해상도 조정 팁을 보여주는 단면도
도 6a 내지 도 6c는 해상도 조정 팁의 관통 홀을 보여주는 단면도
도 7a 및 도 7b는 해상도 조정 팁의 관통 홀의 직경을 보여주는 단면도
도 8a 및 도 8b는 해상도 조정 팁의 바디부의 길이에 따른 관통 홀의 직경을 보여주는 단면도
도 9a 내지 도 9c는 해상도 조정 팁과 광 파이버의 결합 관계를 보여주는 단면도
도 10은 해상도 조정 팁에 결합되는 광 파이버를 보여주는 단면도Figs. 1A and 1B are perspective views showing a beam profile measuring apparatus according to an embodiment
Fig. 2 is a cross-sectional view taken along the line I-I in Fig. 1
FIGS. 3A and 3B are cross-sectional views showing the resolution of the beam according to the detachment /
4A to 4C are cross-sectional views showing a resolution adjusting tip having a light absorbing layer
5A to 5C are cross-sectional views showing a resolution adjustment tip having a concavo-convex pattern
6A to 6C are cross-sectional views showing through-holes of the resolution adjusting tip
7A and 7B are cross-sectional views showing the diameter of the through hole of the resolution adjusting tip
8A and 8B are cross-sectional views showing the diameter of the through hole according to the length of the body portion of the resolution adjusting tip
Figs. 9A to 9C are cross-sectional views showing the coupling relation between the resolution adjusting tip and the optical fiber
10 is a cross-sectional view showing an optical fiber coupled to a resolution adjusting tip
이하 실시예들을 첨부한 도면을 참조하여 설명한다. Hereinafter, embodiments will be described with reference to the accompanying drawings.
실시예들의 설명에 있어서, 각 층(막), 영역, 패턴 또는 구조물들이 기판, 각 층(막), 영역, 패드 또는 패턴들의 "위(on)"에 또는 "아래(under)"에 형성되는 것으로 기재되는 경우에 있어, "위(on)"와 "아래(under)"는 "직접(directly)" 또는 "다른 층을 개재하여 (indirectly)" 형성되는 것을 모두 포함한다. 또한 각 층의 위 또는 아래에 대한 기준은 도면을 기준으로 설명한다.In the description of the embodiments, it is to be understood that each layer (film), region, pattern or structure is formed "on" or "under" a substrate, each layer The terms " on "and " under " encompass both being formed" directly "or" indirectly " In addition, the criteria for above or below each layer will be described with reference to the drawings.
도면에서 각층의 두께나 크기는 설명의 편의 및 명확성을 위하여 과장되거나 생략되거나 또는 개략적으로 도시되었다. 또한 각 구성요소의 크기는 실제크기를 전적으로 반영하는 것은 아니다.The thickness and size of each layer in the drawings are exaggerated, omitted, or schematically shown for convenience and clarity of explanation. Also, the size of each component does not entirely reflect the actual size.
도 1a 및 도 1b는 실시예에 따른 빔 프로파일 측정 장치를 보여주는 사시도로서, 도 1a는 광 파이버와 해상도 조정 팁이 분리된 사시도이고, 도 1b는 광 파이버와 해상도 조정 팁이 결합된 사시도이다.1A and 1B are perspective views showing an apparatus for measuring a beam profile according to an embodiment, wherein FIG. 1A is a perspective view in which an optical fiber and a resolution adjusting tip are separated, and FIG. 1B is a perspective view in which an optical fiber and a resolution adjusting tip are combined.
도 1a 및 도 1b에 도시된 바와 같이, 빔 프로파일 측정 장치는 광 파이버(optical fiber)(100)와 해상도 조정 팁(resolution adjustment tip)(200)을 포함할 수 있다.As shown in FIGS. 1A and 1B, the beam profile measuring apparatus may include an
여기서, 광 파이버(100)는 입사되는 빔을 전송하는데, 빔 전달을 위한 코어(core)와 클래드(clad)로 구성될 수 있다.Here, the
이러한, 광 파이버(100)는 작은 직경을 가짐에도 불구하고, 많은 광량을 받아들일 수 있다.Such an
예를 들면, NA(Numerical Appature)가 0.22인 광 파이버(100)는 광 파이버로 수광되는 광의 총 입사각(acceptance angle)이 약 25.4도가 될 수 있다.For example, the
즉, NA가 0.22인 광 파이버(100)는 빔의 해상도(resolution), 즉 광 파이버로 수광되는 광의 총 입사각이 약 25.4도이므로, 빔 프로파일(beam profile)을 측정할 경우, 저 입사각에서의 넓은 분포 영역을 갖는 빔 프로파일은 적은 오차로 어느 정도 정확한 측정이 가능하지만, 고 입사각에서의 좁은 분포 영역을 갖는 빔 프로파일은 많은 오차로 인하여 정확한 측정이 불가능할 수 있다.That is, since the
따라서, 저 입사각에서의 넓은 분포 영역을 갖는 빔 프로파일 뿐만 아니라, 고 입사각에서의 좁은 분포 영역을 갖는 빔 프로파일까지도 정확한 측정이 가능하도록, 해상도 조정 팁(200)을 광 파이버(100)에 결합할 수 있다.Therefore, it is possible to couple the
여기서, 해상도 조정 팁(200)은 내부 영역에 관통 홀(via hole)(300)이 형성된 튜브(tube) 형상을 가질 수 있다.Here, the
그리고, 해상도 조정 팁(200)의 관통 홀(300)내에 광 파이버(100)의 일부분이 삽입됨으로써, 해상도 조정 팁(200)과 광 파이버(100)가 서로 결합될 수 있다.A part of the
즉, 해상도 조정 팁(200)은 내부에 관통 홀(via hole)(300)을 갖는 바디부와, 광 파이버(100)와 결합되는 결합부를 포함할 수 있다.That is, the
또한, 해상도 조정 팁(resolution adjustment tip)(200)은 측정하고자 하는 빔의 해상도를 조정할 수 있는데, 측정하고자 하는 빔의 해상도는 해상도 조정 팁(200)의 길이에 따라 조정될 수 있다.In addition, the
따라서, 해상도 조정 팁(200)의 길이는 하기 수학식 1에 의해 결정될 수 있다.Therefore, the length of the
[수학식 1][Equation 1]
θφ = Tan-1 (φs/L)&thetas;ϕ = Tan- 1 ( s / L)
여기서, θφ는 광 파이버로 수광되는 광의 총 입사각이고, φs는 해상도 조정 팁의 내경이며, L은 해상도 조정 팁의 길이를 의미한다.Here ,? Is the total incident angle of light received by the optical fiber,? S is the inner diameter of the resolution adjusting tip, and L is the length of the resolution adjusting tip.
이어, 해상도 조정 팁(200)은 고분자 수지 또는 금속 재질 등 다양한 재질로 이루어질 수 있다.The
이와 같이, 구성되는 실시예는, 측정하고자 하는 빔 프로파일의 분포 영역에 따라, 해상도 조정 팁(200)의 길이를 조절함으로써, 원하는 빔의 해상도를 정확하게 측정할 수 있어, 빔 프로파일 측정 장치의 신뢰도가 크게 향상될 수 있다.In this embodiment, the resolution of the desired beam can be accurately measured by adjusting the length of the
도 2는 도 1b의 Ⅰ-Ⅰ 선상에 따른 구조 단면도이다.Fig. 2 is a structural cross-sectional view taken along the line I-I in Fig. 1B.
도 2에 도시된 바와 같이, 빔 프로파일 측정 장치는 광 파이버(optical fiber)(100)와 해상도 조정 팁(resolution adjustment tip)(200)을 포함할 수 있다.As shown in FIG. 2, the beam profile measuring apparatus may include an
여기서, 해상도 조정 팁(200)은 바디부(210)와 결합부(220)를 포함할 수 있다.Here, the
이때, 해상도 조정 팁(200)의 바디부(210)는, 측정하고자 하는 빔이 입사하는 빔 입사면(210a)과 입사된 빔을 광 파이버(100)로 출사하는 빔 출사면(210b)을 포함할 수 있다.The
그리고, 해상도 조정 팁(200)의 바디부(210)는, 빔 입사면(210a)과 빔 출사면(210b) 사이의 내부에 관통 홀(via hole)(300)을 포함할 수 있다.The
이어, 해상도 조정 팁(200)의 결합부(220)는, 해상도 조정 팁(200)의 바디부(210)의 빔 출사면(210b)에 인접하여 배치되는데, 광 파이버(100)와 결합될 수 있다.The
여기서, 해상도 조정 팁(200)의 결합부(220)는, 광 파이버(100)의 외면을 둘러싸도록 배치될 수 있다.Here, the
또한, 광 파이버(100)는, 빔이 입사되는 코어(core)와, 코어를 둘러싸는 클래드(clad)를 포함할 수 있는데, 광 파이버(100)의 코어가 해상도 조정 팁(200)의 내부에 삽입될 수 있다.The
여기서, 광 파이버(100)의 코어는, 해상도 조정 팁(200)의 결합부(220)에 접촉될 수 있다.Here, the core of the
하지만, 경우에 따라, 광 파이버(100)의 코어는, 해상도 조정 팁(200)의 결합부(220)로부터 일정 간격 이격되어 배치될 수도 있다.In some cases, however, the core of the
또 다른 경우로서, 광 파이버(100)의 코어(core) 및 클래드(clad)가 모두 해상도 조정 팁(200)의 내부에 삽입될 수도 있다.As another example, both the core and the clad of the
이러한 다양한 실시예들은, 광 파이버(100)와 해상도 조정 팁(200)의 결합 방법 및 결합 형태에 따라, 변형이 가능하다.These various embodiments can be modified depending on the method of coupling and combining the
도 3a 및 도 3b는 해상도 조정 팁의 탈착에 따른 빔의 해상도를 보여주는 단면도로서, 도 3a는 해상도 조정 팁이 제거된 실시예에 따른 빔의 해상도를 보여주는 도면이고, 도 3b는 해상도 조정 팁이 장착된 실시예에 따른 빔의 해상도를 보여주는 도면이다.3A and 3B are cross-sectional views showing the resolution of the beam according to the detachment of the resolution adjusting tip, wherein FIG. 3A is a view showing the resolution of the beam according to the embodiment in which the resolution adjusting tip is removed, Lt; RTI ID = 0.0 > beam < / RTI >
도 3a에 도시된 바와 같이, 해상도 조정 팁이 제거되고, 광 파이버만을 이용하여, 빔 프로파일을 측정할 경우, 직경 φ를 갖는 광 파이버의 코어(110)로 입사되는 빔의 해상도 θφ는 NA(Numerical Appature)에 따라 달라질 수 있다.As shown in Figure 3a, the resolution adjustment tip is removed, when using only an optical fiber, to measure a beam profile, resolution θ φ of the beam incident on the
여기서, 빔의 해상도 θφ는 광 파이버가 수광할 수 있는 광의 총 입사각을 의미한다.Here, the beam resolution θ φ refers to the angle of incidence of light in total of the optical fiber can be received.
예를 들면, NA(Numerical Appature)가 0.22인 광 파이버의 코어(110)로 입사되는 빔의 해상도(resolution)는 약 25.4도일 수 있다.For example, the resolution of the beam incident on the
이 경우, 빔 프로파일(beam profile)을 측정할 경우, 저 입사각에서의 넓은 분포 영역을 갖는 빔 프로파일은 적은 오차로 어느 정도 정확한 측정이 가능하지만, 고 입사각에서의 좁은 분포 영역을 갖는 빔 프로파일은 많은 오차로 인하여 정확한 측정이 불가능할 수 있다.In this case, when a beam profile is measured, a beam profile having a wide distribution area at a low incident angle can be measured to some extent with a small error, but a beam profile having a narrow distribution area at a high incident angle Accurate measurement may not be possible due to errors.
따라서, 저 입사각에서의 넓은 분포 영역을 갖는 빔 프로파일 뿐만 아니라, 고 입사각에서의 좁은 분포 영역을 갖는 빔 프로파일까지도 정확한 측정이 가능하도록, 해상도 조정 팁(200)을 광 파이버(100)에 결합할 수 있다.Therefore, it is possible to couple the
도 3b에 도시된 바와 같이, 광 파이버의 코어(110)에 해상도 조정 팁(200)을 장착하여, 빔 프로파일을 측정할 경우, 해상도 조정 팁(200)의 길이에 따라, 측정하고자 하는 빔의 해상도를 조정할 수 있다.3B, when the
여기서, 해상도 조정 팁(200)은 바디부(210)와 결합부(220)를 포함할 수 있다.Here, the
이때, 해상도 조정 팁(200)의 바디부(210)는, 측정하고자 하는 빔이 입사하는 빔 입사면(210a)과 입사된 빔을 광 파이버의 코어(110)로 출사하는 빔 출사면(210b)을 포함할 수 있다.The
그리고, 해상도 조정 팁(200)의 바디부(210)는, 빔 입사면(210a)과 빔 출사면(210b) 사이의 내부에 관통 홀(via hole)(300)을 포함할 수 있다.The
이어, 해상도 조정 팁(200)의 결합부(220)는, 해상도 조정 팁(200)의 바디부(210)의 빔 출사면(210b)에 인접하여 배치되는데, 광 파이버의 코어(110)와 결합될 수 있다.The
이와 같이, 구성되는 해상도 조정 팁(200)은, 광 파이버의 코어(110)로 수광되는 광의 총 입사각을 필터링(filing)하여, 원하는 입사각의 범위 내에서만 입사되는 광을 광 파이버의 코어(110)로 전송하는 역할을 수행할 수 있다.The
여기서, 해상도 조정 팁(200)은 측정하고자 하는 빔의 해상도, 즉 광 파이버의 코어(110)로 수광되는 광의 총 입사각을 조정할 수 있는데, 측정하고자 하는 빔의 해상도는 해상도 조정 팁(200)의 길이에 따라 조정될 수 있다.Here, the
따라서, 해상도 조정 팁(200)의 길이는 하기 수학식 1에 의해 결정될 수 있다.Therefore, the length of the
[수학식 1][Equation 1]
θφ = Tan-1 (φs/L)&thetas;&phiv; = Tan- 1 ( s / L)
여기서, θφ는 빔의 해상도, 즉 광 파이버의 코어(110)로 수광되는 광의 총 입사각이고, φs는 해상도 조정 팁(200)의 내경, 즉 관통 홀(300)의 직경이며, L은 해상도 조정 팁의 길이, 즉 바디부(210)의 빔 입사면(210a)과 빔 출사면(210b) 사이의 거리를 의미한다.Here, θ φ is the beam resolution, that is, a light gun angle of incidence of light received by the optical fiber core (110), φ s is the inner diameter of the
예를 들면, 1도의 빔의 해상도를 측정하고자 하는 경우, 직경이 약 400um이고, NA(Numerical Appature)가 0.22인 광 파이버의 코어(110)에 장착되는 해상도 조정 팁(200)의 길이는 다음과 같다.For example, when the resolution of the beam of 1 degree is to be measured, the length of the
빔의 해상도, 즉 광 파이버의 코어(110)로 수광되는 광의 총 입사각인 θφ는 1도이고, 해상도 조정 팁(200)의 내경, 즉 관통 홀(300)의 직경 φs는 약 0.4mm이므로, 이들 변수를 수학식 1에 적용하면,Beam resolution, that is, the diameter φ s of the inner diameter, that is, the through-
θφ = Tan-1 (0.4mm/L) < 1도, ?? = tan -1 (0.4 mm / L) <1,
0.4 < L tan 1도,0.4 < L tan 1 degree,
0.4/tan 1도 < L,0.4 / tan 1 degrees < L,
22.9mm < L이다.22.9 mm < L.
따라서, 직경이 약 400um이고, NA(Numerical Appature)가 0.22인 광 파이버의 코어(110)를 통해, 1도의 빔의 해상도를 측정하고자 하는 경우, 관통 홀(300)의 직경 φs이 약 0.4mm이고, 길이가 22.9mm 이상인 해상도 조정 팁(200)을 광 파이버의 코어(110)에 장착함으로써, 원하는 해상도를 갖는 빔을 정확하게 측정할 수 있다.Therefore, when the resolution of the beam of 1 degree is to be measured through the
이와 같이, 실시예는, 측정하고자 하는 빔 프로파일의 분포 영역에 따라, 해상도 조정 팁(200)의 길이를 조절함으로써, 원하는 해상도를 갖는 빔을 정확하게 측정할 수 있어, 빔 프로파일 측정 장치의 신뢰도가 크게 향상될 수 있다.As described above, according to the embodiment, the beam having the desired resolution can be accurately measured by adjusting the length of the
따라서, 저 입사각에서의 넓은 분포 영역을 갖는 빔 프로파일 뿐만 아니라, 고 입사각에서의 좁은 분포 영역을 갖는 빔 프로파일까지도 정확한 측정이 가능하도록, 해상도 조정 팁(200)의 길이를 조정하여 광 파이버의 코어(110)에 결합할 수 있다.Therefore, the length of the
도 4a 내지 도 4c는 광 흡수층을 갖는 해상도 조정 팁을 보여주는 단면도이다.4A to 4C are cross-sectional views showing a resolution adjusting tip having a light absorbing layer.
도 4a 내지 도 4c에 도시된 바와 같이, 해상도 조정 팁(200)은 바디부(210)와 결합부(220)를 포함할 수 있다.4A to 4C, the
이때, 해상도 조정 팁(200)의 바디부(210)는, 측정하고자 하는 빔이 입사하는 빔 입사면(210a)과 입사된 빔을 광 파이버의 코어(110)로 출사하는 빔 출사면(210b)을 포함할 수 있다.The
그리고, 해상도 조정 팁(200)의 바디부(210)는, 빔 입사면(210a)과 빔 출사면(210b) 사이의 내부에 관통 홀(via hole)(300)을 포함할 수 있다.The
이어, 해상도 조정 팁(200)의 결합부(220)는, 해상도 조정 팁(200)의 바디부(210)의 빔 출사면(210b)에 인접하여 배치되는데, 광 파이버의 코어(110)와 결합될 수 있다.The
또한, 해상도 조정 팁(200)의 바디부(210)의 내부 면(210c)에는 광 흡수층(400)이 배치될 수 있다.The light
여기서, 광 흡수층(400)은 해상도 조정 팁(200)의 바디부(210)의 내부 면(210c) 전체에 배치될 수도 있고, 경우에 따라서는 해상도 조정 팁(200)의 바디부(210)의 내부 면(210c) 일부분에만 배치될 수도 있다.The light
이때, 광 흡수층(400)은, 예를 들면, Si나 Ge 등의 반도체 재료, 카본이나 염료 등을 포함하는 폴리머 재료 등을 사용하여 형성할 수 있다.At this time, the
그리고, 도 4a와 같이, 해상도 조정 팁(200)의 바디부(210)의 빔 입사면(210a)에 인접하는 광 흡수층(400)의 제 1 두께 t1은, 해상도 조정 팁(200)의 바디부(210)의 빔 출사면(210b)에 인접하는 광 흡수층(400)의 제 2 두께 t2와 서로 동일할 수 있다.4A, the first thickness t1 of the
즉, 광 흡수층(400)의 두께는 바디부(210)의 빔 입사면(210a)으로부터 바디부(210)의 빔 출사면(210b)까지 전체 영역에서 동일할 수 있다.That is, the thickness of the
경우에 따라, 도 4b와 같이, 해상도 조정 팁(200)의 바디부(210)의 빔 입사면(210a)에 인접하는 광 흡수층(400)의 제 1 두께 t1은, 해상도 조정 팁(200)의 바디부(210)의 빔 출사면(210b)에 인접하는 광 흡수층(400)의 제 2 두께 t2보다 더 얇을 수 있다.4B, the first thickness t1 of the
즉, 광 흡수층(400)의 두께는 바디부(210)의 빔 입사면(210a)으로부터 바디부(210)의 빔 출사면(210b)으로 갈수록 점차 증가할 수 있다.That is, the thickness of the
또 다른 경우로서, 도 4c와 같이, 해상도 조정 팁(200)의 바디부(210)의 빔 입사면(210a)에 인접하는 광 흡수층(400)의 제 1 두께 t1은, 해상도 조정 팁(200)의 바디부(210)의 빔 출사면(210b)에 인접하는 광 흡수층(400)의 제 2 두께 t2보다 더 얇을 수 있다.4c, the first thickness t1 of the
즉, 광 흡수층(400)의 두께는 바디부(210)의 빔 입사면(210a)에 인접한 영역과 바디부(210)의 빔 출사면(210b)에 인접한 영역이 서로 다를 수 있다.That is, the thickness of the
이와 같이, 해상도 조정 팁(200)의 바디부(210)의 내부 면(210c)에 광 흡수층(400)을 형성하는 이유는, 원하는 입사각의 범위 내에서만 입사되는 광을 광 파이버의 코어(110)로 전송할 때, 발생하는 노이즈(noize)를 제거하기 위함이다.The reason why the
도 5a 내지 도 5c는 요철 패턴을 갖는 해상도 조정 팁을 보여주는 단면도이다.5A to 5C are cross-sectional views showing a resolution adjusting tip having a concavo-convex pattern.
도 5a 내지 도 5c에 도시된 바와 같이, 해상도 조정 팁(200)은 바디부(210)와 결합부(220)를 포함할 수 있다.5A to 5C, the
이때, 해상도 조정 팁(200)의 바디부(210)는, 측정하고자 하는 빔이 입사하는 빔 입사면(210a)과 입사된 빔을 광 파이버의 코어(110)로 출사하는 빔 출사면(210b)을 포함할 수 있다.The
그리고, 해상도 조정 팁(200)의 바디부(210)는, 빔 입사면(210a)과 빔 출사면(210b) 사이의 내부에 관통 홀(via hole)(300)을 포함할 수 있다.The
이어, 해상도 조정 팁(200)의 결합부(220)는, 해상도 조정 팁(200)의 바디부(210)의 빔 출사면(210b)에 인접하여 배치되는데, 광 파이버의 코어(110)와 결합될 수 있다.The
또한, 해상도 조정 팁(200)의 바디부(210)의 내부 면(210c)에는 요철 패턴(450)이 배치될 수 있다.The concavo-
여기서, 요철 패턴(450)은 해상도 조정 팁(200)의 바디부(210)의 내부 면(210c) 전체에 배치될 수도 있고, 경우에 따라서는 해상도 조정 팁(200)의 바디부(210)의 내부 면(210c) 일부분에만 배치될 수도 있다.The concavo-
그리고, 도 5a와 같이, 해상도 조정 팁(200)의 바디부(210)의 빔 입사면(210a)에 인접하는 요철 패턴(450)의 크기는, 해상도 조정 팁(200)의 바디부(210)의 빔 출사면(210b)에 인접하는 요철 패턴(450)의 크기가 서로 동일할 수 있다.5A, the size of the concavo-
즉, 요철 패턴(450)의 두께는 바디부(210)의 빔 입사면(210a)으로부터 바디부(210)의 빔 출사면(210b)까지 전체 영역에서 동일할 수 있다.That is, the thickness of the concavo-
경우에 따라, 도 5b와 같이, 해상도 조정 팁(200)의 바디부(210)의 빔 입사면(210a)에 인접하는 요철 패턴(450)의 크기는, 해상도 조정 팁(200)의 바디부(210)의 빔 출사면(210b)에 인접하는 요철 패턴(450)의 크기보다 더 작을 수 있다.5B, the size of the concave-
즉, 요철 패턴(450)의 크기는 바디부(210)의 빔 입사면(210a)으로부터 바디부(210)의 빔 출사면(210b)으로 갈수록 점차 커질 수 있다.That is, the size of the concavo-
또 다른 경우로서, 도 5c와 같이, 해상도 조정 팁(200)의 바디부(210)의 빔 입사면(210a)에 인접하는 요철 패턴(450)의 크기는, 해상도 조정 팁(200)의 바디부(210)의 빔 출사면(210b)에 인접하는 요철 패턴(450)의 크기보다 더 작을 수 있다.5C, the size of the concavo-
즉, 요철 패턴(450)의 크기는 바디부(210)의 빔 입사면(210a)에 인접한 영역과 바디부(210)의 빔 출사면(210b)에 인접한 영역이 서로 다를 수 있다.That is, the size of the concavo-
이와 같이, 해상도 조정 팁(200)의 바디부(210)의 내부 면(210c)에 요철 패턴(450)을 형성하는 이유는, 원하는 입사각의 범위 내에서만 입사되는 광을 광 파이버의 코어(110)로 전송할 때, 발생하는 노이즈(noize)를 제거하기 위함이다.The reason why the
도 6a 내지 도 6c는 해상도 조정 팁의 관통 홀을 보여주는 단면도이다.6A to 6C are cross-sectional views showing through-holes of the resolution adjusting tip.
도 6a 내지 도 6c에 도시된 바와 같이, 해상도 조정 팁(200)은 바디부(210)와 결합부(220)를 포함할 수 있다.6A to 6C, the
이때, 해상도 조정 팁(200)의 바디부(210)는, 측정하고자 하는 빔이 입사하는 빔 입사면(210a)과 입사된 빔을 광 파이버의 코어(110)로 출사하는 빔 출사면(210b)을 포함할 수 있다.The
그리고, 해상도 조정 팁(200)의 바디부(210)는, 빔 입사면(210a)과 빔 출사면(210b) 사이의 내부에 관통 홀(via hole)(300)을 포함할 수 있다.The
이어, 해상도 조정 팁(200)의 결합부(220)는, 해상도 조정 팁(200)의 바디부(210)의 빔 출사면(210b)에 인접하여 배치되는데, 광 파이버의 코어(110)와 결합될 수 있다.The
또한, 해상도 조정 팁(200)에서, 바디부(210)의 관통 홀(300)의 직경은 빔 입사면(210a)으로부터 빔 출사면(210b)까지 동일할 수도 있고, 경우에 따라 서로 다를 수도 있다.In the
도 6a와 같이, 해상도 조정 팁(200)의 바디부(210)의 빔 입사면(210a)에 인접하는 관통 홀(300)의 직경 φ1은, 해상도 조정 팁(200)의 바디부(210)의 빔 출사면(210b)에 인접하는 관통 홀(300)의 직경 φ2이 서로 동일할 수 있다.6A, the diameter? 1 of the through
즉, 관통 홀(300)의 직경은 바디부(210)의 빔 입사면(210a)으로부터 바디부(210)의 빔 출사면(210b)까지 전체 영역에서 동일할 수 있다.That is, the diameter of the through-
경우에 따라, 도 6b와 같이, 해상도 조정 팁(200)의 바디부(210)의 빔 입사면(210a)에 인접하는 관통 홀(300)의 직경 φ1은, 해상도 조정 팁(200)의 바디부(210)의 빔 출사면(210b)에 인접하는 관통 홀(300)의 직경 φ2보다 더 클 수 있다.6B, the diameter? 1 of the through
즉, 관통 홀(300)의 직경은 바디부(210)의 빔 입사면(210a)으로부터 바디부(210)의 빔 출사면(210b)으로 갈수록 점차 작아질 수 있다.That is, the diameter of the through-
이때, 해상도 조정 팁(200)의 바디부(210)의 두께는, 빔 입사면(210a)에 인접하는 영역에서 빔 출사면(210b)으로 갈수록 점차 두꺼워질 수 있다.At this time, the thickness of the
또 다른 경우로서, 도 6c와 같이, 해상도 조정 팁(200)의 바디부(210)의 빔 입사면(210a)에 인접하는 관통 홀(300)의 직경 φ1은, 해상도 조정 팁(200)의 바디부(210)의 빔 출사면(210b)에 인접하는 관통 홀(300)의 직경 φ2보다 더 작을 수 있다.6C, the diameter? 1 of the through
즉, 관통 홀(300)의 직경은 바디부(210)의 빔 입사면(210a)에 인접한 영역과 바디부(210)의 빔 출사면(210b)에 인접한 영역이 서로 다를 수 있다.That is, the diameter of the through-
이때, 해상도 조정 팁(200)의 바디부(210)의 두께는, 빔 입사면(210a)에 인접하는 영역의 두께 t11과 빔 출사면(210b)에 인접하는 영역의 두께 t12가 서로 다를 수 있다.At this time, the thickness t11 of the region adjacent to the
이와 같이, 해상도 조정 팁(200)에서, 바디부(210)의 관통 홀(300)의 직경을 다양하게 제작하는 이유는, 원하는 입사각의 범위 내에서만 입사되는 광을 광 파이버의 코어(110)로 전송할 때, 발생하는 노이즈(noize)를 제거함으로써, 빔 확산 분포 측정시, 정확성과 신뢰성을 높이기 위함이다.The reason why the diameter of the through
도 7a 및 도 7b는 해상도 조정 팁의 관통 홀의 직경을 보여주는 단면도이다.7A and 7B are cross-sectional views showing the diameter of the through hole of the resolution adjusting tip.
도 7a 및 도 7b에 도시된 바와 같이, 해상도 조정 팁(200)은 바디부(210)와 결합부(220)를 포함할 수 있다.7A and 7B, the
이때, 해상도 조정 팁(200)의 바디부(210)는, 측정하고자 하는 빔이 입사하는 빔 입사면(210a)과 입사된 빔을 광 파이버의 코어(110)로 출사하는 빔 출사면(210b)을 포함할 수 있다.The
그리고, 해상도 조정 팁(200)의 바디부(210)는, 빔 입사면(210a)과 빔 출사면(210b) 사이의 내부에 관통 홀(via hole)(300)을 포함할 수 있다.The
이어, 해상도 조정 팁(200)의 결합부(220)는, 해상도 조정 팁(200)의 바디부(210)의 빔 출사면(210b)에 인접하여 배치되는데, 광 파이버의 코어(110)와 결합될 수 있다.The
또한, 해상도 조정 팁(200)에서, 바디부(210)의 관통 홀(300)의 직경 φs은, 광 파이버의 코어(core)(110)의 직경 φ과 동일할 수도 있고, 경우에 따라 서로 다를 수도 있다.In the
도 7a와 같이, 해상도 조정 팁(200)에서, 바디부(210)의 관통 홀(300)의 직경 φs은, 광 파이버의 코어(core)(110)의 직경 φ과 동일할 수 있다.7A, the diameter phi s of the through
여기서, 광 파이버의 코어(110)는, 해상도 조정 팁(200)의 결합부(220)에 접촉될 수 있다.Here, the
다른 경우로서, 도 7b와 같이, 해상도 조정 팁(200)에서, 바디부(210)의 관통 홀(300)의 직경 φs은, 광 파이버의 코어(core)(110)의 직경 φ과 다를 수 있다.7b, the diameter phi s of the through
즉, 바디부(210)의 관통 홀(300)의 직경 φs은, 광 파이버의 코어(110)의 직경 φ보다 더 클 수 있다.That is, the diameter phi s of the through
여기서, 광 파이버의 코어(110)는, 해상도 조정 팁(200)의 결합부(220)로부터 일정 간격 이격되어 배치될 수도 있다.Here, the
또 다른 경우로서, 해상도 조정 팁(200)의 내부에는, 광 파이버의 코어(core)(110) 뿐만 아니라, 코어(110)을 둘러싸는 클래드(clad)(미도시)가 모두 삽입될 수도 있다.As another example, not only the
이때, 광 파이버의 코어(110)는, 해상도 조정 팁(200)의 결합부(220)로부터 일정 간격 이격되어 배치되고, 광 파이버의 클래드(미도시)는, 해상도 조정 팁(200)의 결합부(220)에 접촉될 수 있다.At this time, the
도 8a 및 도 8b는 해상도 조정 팁의 바디부의 길이에 따른 관통 홀의 직경을 보여주는 단면도이다.8A and 8B are cross-sectional views showing the diameter of the through hole according to the length of the body portion of the resolution adjusting tip.
도 8a 및 도 8b에 도시된 바와 같이, 해상도 조정 팁(200)은 바디부(210)와 결합부(220)를 포함할 수 있다.8A and 8B, the
이때, 해상도 조정 팁(200)의 바디부(210)는, 측정하고자 하는 빔이 입사하는 빔 입사면(210a)과 입사된 빔을 광 파이버의 코어(110)로 출사하는 빔 출사면(210b)을 포함할 수 있다.The
그리고, 해상도 조정 팁(200)의 바디부(210)는, 빔 입사면(210a)과 빔 출사면(210b) 사이의 내부에 관통 홀(via hole)(300)을 포함할 수 있다.The
이어, 해상도 조정 팁(200)의 결합부(220)는, 해상도 조정 팁(200)의 바디부(210)의 빔 출사면(210b)에 인접하여 배치되는데, 광 파이버의 코어(110)와 결합될 수 있다.The
또한, 해상도 조정 팁(200)에서, 바디부(210)의 빔 입사면(210a)과 빔 출사면(210b) 사이의 거리는 바디부(210)의 관통 홀(300)의 직경 φs이 클수록 증가할 수 있다.The distance between the
도 8a와 같이, 해상도 조정 팁(200)에서, 바디부(210)의 관통 홀(300)의 직경이 제 1 직경 φs1일 경우, 바디부(210)의 빔 입사면(210a)과 빔 출사면(210b) 사이의 거리, 즉 바디부(210)의 길이는 제 1 길이 L1을 가질 수 있다.8A, when the diameter of the through
그리고, 도 8b와 같이, 해상도 조정 팁(200)에서, 바디부(210)의 관통 홀(300)의 직경이 제 1 직경 φs1보다 더 큰 제 2 직경 φs2일 경우, 바디부(210)의 빔 입사면(210a)과 빔 출사면(210b) 사이의 거리, 즉 바디부(210)의 길이는, 제 1 길이 L1보다 더 긴 제 2 길이 L2을 가질 수 있다.8B, in the
이와 같이, 해상도 조정 팁(200)의 바디부(210)의 빔 입사면(210a)과 빔 출사면(210b) 사이의 거리는 바디부(210)의 관통 홀(300)의 직경 φs이 클수록 증가할 수 있다.The distance between the
예를 들면, 관통 홀(300)의 직경 φs이 약 0.4mm를 갖는 해상도 조정 팁(200)으로 약 1도인 빔의 해상도를 측정하고자 하는 경우, 해상도 조정 팁(200)의 바디부(210)의 빔 입사면(210a)과 빔 출사면(210b) 사이의 거리는, 최소 약 22.9mm일 수 있다.For example, when it is desired to measure the resolution of the beam of about 1 degree with the
그러나, 관통 홀(300)의 직경 φs이 약 4mm를 갖는 해상도 조정 팁(200)으로 약 1도인 빔의 해상도를 측정한다면, 해상도 조정 팁(200)의 바디부(210)의 빔 입사면(210a)과 빔 출사면(210b) 사이의 거리는, 최소 약 229mm일 수 있다.However, if the resolution of the beam which is approximately 1 degree is measured by the
따라서, 해상도 조정 팁(200)의 길이는 해상도 조정 팁(200)의 내경 크기에 따라 달라질 수 있다.Therefore, the length of the
도 9a 내지 도 9c는 해상도 조정 팁과 광 파이버의 결합 관계를 보여주는 단면도이다.9A to 9C are cross-sectional views showing a coupling relation between the resolution adjusting tip and the optical fiber.
도 9a 내지 도 9c에 도시된 바와 같이, 해상도 조정 팁(200)은 바디부(210)와 결합부(220)를 포함할 수 있다.9A to 9C, the
여기서, 해상도 조정 팁(200)의 결합부(220)는, 광 파이버의 코어(110)와 결합될 수 있다.Here, the
그리고, 해상도 조정 팁(200)의 결합부(220)는, 광 파이버의 코어(110)의 외면(110a)을 둘러싸도록 배치될 수 있다.The
즉, 광 파이버의 코어(110)는, 해상도 조정 팁(200)의 결합부(220)에 접촉되도록, 해상도 조정 팁(200)의 결합부(220) 내에 삽입될 수 있다.That is, the
도 9a와 같이, 해상도 조정 팁은, 광 파이버의 코어(110)를 해상도 조정 팁(200)의 결합부(220) 내에 끼워 삽입함으로써, 광 파이버를 결합시킬 수 있다.As shown in FIG. 9A, the resolution adjusting tip can insert the optical fiber by inserting the
이때, 해상도 조정 팁(200)의 결합부(220)는 탄성을 갖는 재질이기 때문에, 광 파이버의 코어(110)의 외면(110a)을 탄성의 힘으로 눌러줄 수 있어, 소정의 힘으로도 쉽게 분리되지 않을 수 있다.Since the
경우에 따라, 도 9b에 같이, 해상도 조정 팁(200)의 결합부(220)에 체결 부재(500)를 장착함으로써, 광 파이버의 코어(110)를 고정시킬 수도 있다.The
즉, 체결 나사 등과 같은 체결 부재(500)를 이용하여, 광 파이버의 코어(110)를 해상도 조정 팁(200)의 결합부(220)에 고정시킬 수 있다.That is, the
또 다른 경우로서, 도 9c와 같이, 광 파이버의 코어(110)의 외면(110a)을 결합 돌기(111)를 형성하고, 해상도 조정 팁(200)의 결합부(220)의 내면(220a)에 결합 홈을 형성함으로써, 광 파이버의 코어(110)를 해상도 조정 팁(200)의 결합부(220)에 고정시킬 수 있다.9C, the
즉, 광 파이버의 코어(110)의 외면(110a)에 형성된 결합 돌기(111)가 해상도 조정 팁(200)의 결합부(220)의 내면(220a)에 형성된 결합 홈 내에 삽입됨으로써, 광 파이버의 코어(110)와 해상도 조정 팁(200)의 결합부(220)가 서로 결합될 수 있다.That is, the
도 10은 해상도 조정 팁에 결합되는 광 파이버를 보여주는 단면도이다.10 is a cross-sectional view showing an optical fiber coupled to the resolution adjusting tip;
도 10에 도시된 바와 같이, 해상도 조정 팁(200)은 바디부(210)와 결합부(220)를 포함할 수 있다.10, the
여기서, 해상도 조정 팁(200)은 내부에 관통 홀(300)을 갖는 튜브(tube)이고, 광 파이버(100)는 해상도 조정 팁(200)의 관통 홀(300) 내에 일부가 삽입되어 결합할 수 있다.Here, the
그리고, 광 파이버(100)는, 빔이 입사되는 코어(core)(110)와, 코어(110)를 둘러싸는 클래드(clad)(120)를 포함할 수 있다.The
여기서, 광 파이버(100)의 코어(110)는 해상도 조정 팁(200) 내부에 삽입될 수 있고, 광 파이버(100)의 클래드(120)는 해상도 조정 팁(200) 외부에 위치할 수 있다.The
이와 같이, 실시예는 기하 광학적 특수 구조체인 해상도 조정 팁(resolution adjustment tip)을 광 파이버에 결함함으로써, 광학면의 빔 확산 분포를 정확하게 측정할 수 있다.As described above, the embodiment can accurately measure the beam diffusion distribution on the optical surface by deflecting the resolution adjustment tip, which is a geometrical-optical special structure, on the optical fiber.
특히, 빔의 고입사각에 대한 확산 분포를 정확하고 쉽게 측정할 수 있으므로, 측정 장치에 대한 신뢰성이 높다.Particularly, since the diffusion distribution with respect to the high incident angle of the beam can be accurately and easily measured, the reliability of the measuring apparatus is high.
또한, 실시예는 기하 광학적 특수 구조체인 해상도 조정 팁을 광 파이버에 쉽고 간단하게 연결할 수 있으므로, 무게가 가볍고, 제작단가가 저렴하며, 정확한 측정이 가능하다.In addition, the embodiment can easily and simply connect the resolution adjusting tip, which is a geometric optic special structure, to the optical fiber, so that the weight is light, the manufacturing cost is low, and accurate measurement is possible.
따라서, 빔 프로파일 측정 장치의 경제성 및 신뢰성이 향상될 수 있다.Therefore, the economical efficiency and reliability of the beam profile measuring apparatus can be improved.
이상에서 실시예들에 설명된 특징, 구조, 효과 등은 본 발명의 적어도 하나의 실시예에 포함되며, 반드시 하나의 실시예에만 한정되는 것은 아니다. 나아가, 각 실시예에서 예시된 특징, 구조, 효과 등은 실시예들이 속하는 분야의 통상의 지식을 가지는 자에 의해 다른 실시예들에 대해서도 조합 또는 변형되어 실시 가능하다. 따라서 이러한 조합과 변형에 관계된 내용들은 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.The features, structures, effects and the like described in the embodiments are included in at least one embodiment of the present invention and are not necessarily limited to only one embodiment. Furthermore, the features, structures, effects and the like illustrated in the embodiments can be combined and modified by other persons skilled in the art to which the embodiments belong. Therefore, it should be understood that the present invention is not limited to these combinations and modifications.
또한, 이상에서 실시예를 중심으로 설명하였으나 이는 단지 예시일 뿐 본 발명을 한정하는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 실시예의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 실시예에 구체적으로 나타난 각 구성 요소는 변형하여 실시할 수 있는 것이다. 그리고 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부된 청구 범위에서 규정하는 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is clearly understood that the same is by way of illustration and example only and is not to be taken by way of illustration, It can be seen that various modifications and applications are possible. For example, each component specifically shown in the embodiments can be modified and implemented. It is to be understood that all changes and modifications that come within the meaning and range of equivalency of the claims are therefore intended to be embraced therein.
100 : 광 파이버 200 : 해상도 조정 팁
210 : 바디부 220 : 결합부
300 : 관통 홀 400 : 광 흡수층
450 : 요철 패턴 500 : 체결 부재100: Optical fiber 200: Resolution adjustment tips
210: Body part 220:
300: Through hole 400: Light absorbing layer
450: concave / convex pattern 500: fastening member
Claims (12)
상기 광 파이버에 결합되고, 측정하고자 하는 빔의 해상도를 조정하는 해상도 조정 팁(resolution adjustment tip)을 포함하고,
상기 측정하고자 하는 빔의 해상도는 상기 해상도 조정 팁의 길이에 따라 조정되며,
상기 해상도 조정 팁의 길이는 하기 수학식 1에 의해 결정되는 빔 프로파일 측정 장치.
[수학식 1]
θφ = Tan-1 (φs/L)
(여기서, θφ는 광 파이버로 수광되는 광의 총 입사각, φs는 해상도 조정 팁의 내경, L은 해상도 조정 팁의 길이)An optical fiber for transmitting an incident beam; And
A resolution adjustment tip coupled to the optical fiber and adapted to adjust a resolution of a beam to be measured,
The resolution of the beam to be measured is adjusted according to the length of the resolution adjustment tip,
And the length of the resolution adjusting tip is determined by the following equation (1).
[Equation 1]
&thetas;&phiv; = Tan- 1 ( s / L)
(Where ? Is the total incident angle of light received by the optical fiber,? S is the inner diameter of the resolution adjusting tip, and L is the length of the resolution adjusting tip)
상기 측정하고자 하는 빔이 입사하는 빔 입사면과 상기 입사된 빔을 상기 광 파이버로 출사하는 빔 출사면을 포함하고, 상기 빔 입사면과 빔 출사면 사이의 내부에 관통 홀(via hole)을 갖는 바디부;
상기 바디부의 빔 출사면에 배치되고, 상기 광 파이버와 결합되는 결합부를 포함하는 빔 프로파일 측정 장치.The image display apparatus according to claim 1,
A beam incident surface on which the beam to be measured is incident and a beam exit surface for emitting the incident beam to the optical fiber, and a via hole is formed between the beam incident surface and the beam exit surface Body part;
And a coupling portion which is disposed on a beam output surface of the body portion and is coupled to the optical fiber.
빔이 입사되는 코어(core)와,
상기 코어를 둘러싸는 클래드(clad)를 포함하고,
상기 광 파이버의 코어는 상기 해상도 조정 팁 내부에 삽입되는 빔 프로파일 측정 장치.The optical fiber according to claim 1,
A core for receiving a beam,
And a clad surrounding the core,
And the core of the optical fiber is inserted into the resolution adjusting tip.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020120047917A KR101883845B1 (en) | 2012-05-07 | 2012-05-07 | apparatus for measuring beam profile |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020120047917A KR101883845B1 (en) | 2012-05-07 | 2012-05-07 | apparatus for measuring beam profile |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20130124650A KR20130124650A (en) | 2013-11-15 |
KR101883845B1 true KR101883845B1 (en) | 2018-08-01 |
Family
ID=49853346
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020120047917A KR101883845B1 (en) | 2012-05-07 | 2012-05-07 | apparatus for measuring beam profile |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR101883845B1 (en) |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004294636A (en) | 2003-03-26 | 2004-10-21 | Enplas Corp | Optical module and optical connector provided therewith |
JP2012024113A (en) | 2010-07-19 | 2012-02-09 | National Institute Of Information & Communication Technology | Optical measuring probe device for organism |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5016963A (en) * | 1989-08-08 | 1991-05-21 | E-Tek Dynamics, Inc. | Fiber optic coupler and method of making same |
KR20040055520A (en) * | 2002-12-21 | 2004-06-26 | 한국전자통신연구원 | Optical fiber Module for use in PL Measurement Apparatus |
-
2012
- 2012-05-07 KR KR1020120047917A patent/KR101883845B1/en active IP Right Grant
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004294636A (en) | 2003-03-26 | 2004-10-21 | Enplas Corp | Optical module and optical connector provided therewith |
JP2012024113A (en) | 2010-07-19 | 2012-02-09 | National Institute Of Information & Communication Technology | Optical measuring probe device for organism |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20130124650A (en) | 2013-11-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7491957B2 (en) | Optical displacement sensor | |
JP5582588B2 (en) | Fiber optic interconnect device | |
US7474822B2 (en) | Optical fiber collimator | |
US7421161B2 (en) | Optical power monitor and its manufacturing method | |
US20110305249A1 (en) | Fiber Laser System with Controllably Alignable Optical Components Thereof | |
EP1975551B1 (en) | Chromatic confocal sensor fiber interface | |
US9662020B2 (en) | Probe | |
JP2013506871A (en) | Angle-cleaved optical fiber and method for manufacturing and using the same | |
TWI451073B (en) | Measuring the optical system and the use of its brightness meter, color brightness meter and color meter | |
US20070268805A1 (en) | Apparatus and Method for Adjusting an Optical Rotating Data Transmission Device | |
US6785441B2 (en) | Optical fiber collimator | |
US6654518B1 (en) | Tap output collimator | |
US20080030867A1 (en) | Collimator array | |
US20110051454A1 (en) | Light-transmission apparatus and method to produce same | |
JP4900563B2 (en) | Optical element fixing method and optical element fixing structure manufacturing method | |
KR101883845B1 (en) | apparatus for measuring beam profile | |
CN112050746B (en) | Optical sensor for measuring properties of elongated textile in a uniform light field | |
JP5156979B2 (en) | How to attach an optical fiber to an optical fiber coupler | |
US7860355B2 (en) | ATR-probe | |
JPH11125723A (en) | Measuring probe | |
US20230305232A1 (en) | Method and system for aligning and positioning an optical fiber and microlens array | |
JP2021043052A (en) | Optical fiber sensor | |
GB2338569A (en) | Fixing plate for optic fibres and lens array | |
US20230408770A1 (en) | Optical waveguide element and optical axis adjustment method | |
US8284500B2 (en) | Laser line-generator and laser line-generator module |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant |