KR101879176B1 - Coil component - Google Patents

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Abstract

본 개시에 의하면, 수지벽의 강도 향상을 도모할 수 있는 코일 부품이 제공된다. 코일 부품(1)에 의하면, 수지벽(18)은 상단부의 폭(d2’)이 하단부의 폭(d2”)보다 좁고, 기판측의 단면적이 큰 안정된 단면 형상을 갖는다. 그러므로, 수지벽(18)은 강도의 향상을 도모할 수 있고, 이러한 코일 부품(1)에서는 기판(11)의 두께 방향(도 5의 상하 방향)이나 면 방향(도 5의 좌우 방향)으로부터의 압력에 기인하는 수지벽(18)의 변형이나 붕괴가 억제된다.According to the present disclosure, a coil part capable of improving the strength of the resin wall is provided. According to the coil component 1, the resin wall 18 has a stable sectional shape in which the width d2 'of the upper end portion is smaller than the width d2' of the lower end portion and the sectional area on the substrate side is larger. 5) and the surface direction (the left-right direction in Fig. 5) of the substrate 11 in the coil component 1, Deformation or collapse of the resin wall 18 due to pressure is suppressed.

Description

코일 부품{COIL COMPONENT}Coil Components {COIL COMPONENT}

본 개시는 코일 부품에 관한 것이다.The present disclosure relates to coil components.

종래, 표면 실장형의 평면 코일 소자 등의 코일 부품이 민간용 기기, 산업용 기기 등의 전기 제품에 폭넓게 이용되고 있다. 그 중에서도 소형 휴대 기기에서는 기능의 충실화에 따라, 각각의 디바이스를 구동시키기 위해서 단일의 전원에서 복수의 전압을 얻을 필요가 생겼다. 그래서, 이러한 전원 용도 등에도 표면 실장형의 평면 코일 소자가 사용되고 있다.BACKGROUND ART Conventionally, coil parts such as surface mount type flat coil elements are widely used for electric appliances such as civil appliances and industrial appliances. In particular, in the case of a small-sized portable device, it is necessary to obtain a plurality of voltages from a single power source in order to drive each device in accordance with enhancement of functions. Therefore, surface-mount type planar coil elements are also used for such power supply applications.

이러한 코일 부품은 예를 들면, 특허문헌 1(일본 공개특허공보 특개2005-210010호)에 개시되어 있다. 이 문헌에 개시된 코일 부품은 기판의 안쪽 및 바깥쪽 면에 각각 평면 소용돌이상의 공심 코일이 설치되고, 공심 코일의 자심 부분에서 기판을 관통하도록 설치된 스루홀 도체에 의해 공심 코일들이 접속되어 있다.Such coil parts are disclosed, for example, in Patent Document 1 (Japanese Patent Application Laid-Open No. 2005-210010). The coil parts disclosed in this document are provided with planar spiral air-core coils on the inner and outer surfaces of the substrate, respectively, and air-core coils are connected by through-hole conductors provided so as to penetrate the substrate from the magnetic core portion of the coin-

일본 공개특허공보 특개2005-210010호Japanese Patent Application Laid-Open No. 2005-210010

상술한 공심 코일은 기판 위에 설치된 시드 패턴에, Cu 등의 도체 재료를 도금 성장시킴으로써 형성되지만, 기판의 면 방향으로의 도금 성장에 의해 코일의 권회부의 간격이 좁아진다. 코일의 권회부의 간격이 좁은 경우에는, 코일의 절연성 저하가 걱정되기 때문에 더 확실하게 절연하는 기술이 요구되고 있다.The above-mentioned air-core coil is formed by plating and growing a conductor material such as Cu on a seed pattern provided on a substrate, but the gap between the winding portions of the coil is narrowed by plating growth in the plane direction of the substrate. When the interval between the turns of the coil is narrow, there is a concern that the insulation of the coil is lowered, so that a technology for insuring the insulation more surely is required.

그래서, 코일이 서로 이웃하는 권회부의 사이에 수지벽을 설치하여 확실한 절연을 도모하는 기술 개발이 진행되고 있다. 다만, 코일 부품에는, 기판 두께 방향이나 면 방향에서의 압력이 부가되는 것이 고려되고, 상기 압력에 기인하는 변형이나 붕괴가 생기지 않을 정도의 충분한 강도가 상기 수지벽에는 요구된다.Therefore, development of technology for insuring reliable insulation by providing a resin wall between winding sections adjacent to each other by a coil is underway. However, it is considered that pressure is applied to the coil part in the thickness direction of the substrate and in the plane direction, and sufficient strength is required for the resin wall so that deformation or collapse caused by the pressure does not occur.

본 개시의 일측면에 따른 코일 부품은 기판과, 기판의 주면 위에 도금 성장으로 설치된 코일과, 기판의 주면 위에 설치되고, 코일의 권회부가 사이에 연장되는 복수의 수지벽을 갖는 수지체와, 자성분 함유 수지로 이루어지고, 기판의 주면의 코일과 수지체를 일체로 덮는 피복 수지를 구비하고, 수지벽은 상단부의 폭이 하단부의 폭보다 좁다.According to an aspect of the present disclosure, a coil component includes a substrate, a coil provided on the main surface of the substrate by plating growth, a resin member provided on the main surface of the substrate and having a plurality of resin walls extending between the turns of the coil, And a covering resin which is made of a resin containing a magnetic component and covers the coil on the main surface of the substrate and the resin body integrally, and the width of the upper end portion of the resin wall is narrower than the width of the lower end portion.

이러한 코일 부품에서는 수지벽은 상단부의 폭이 하단부의 폭보다 좁고, 기판측의 단면적이 큰 안정된 단면 형상을 갖는다. 그러므로, 수지벽은 강도의 향상을 도모할 수 있고, 이러한 코일 부품에서는 기판 두께 방향이나 면 방향에서의 압력에 기인하는 수지벽의 변형이나 붕괴가 억제된다.In such a coil part, the resin wall has a stable sectional shape in which the width of the upper end portion is narrower than the width of the lower end portion and the sectional area on the substrate side is larger. Therefore, the strength of the resin wall can be improved, and deformation and collapse of the resin wall due to the pressure in the thickness direction and the surface direction of the substrate can be suppressed in such a coil part.

수지벽의 폭은 상기 수지벽의 측면이 경사면이 되도록, 상단부에서 하단부를 향하여 점차 넓어지는 형태라도 좋고, 또한 상기 수지벽의 측면에 계단부가 형성되도록, 상단부에서 하단부를 향하여 단계적으로 넓어지는 형태라도 좋다.The width of the resin wall may be gradually widened from the upper end portion to the lower end portion so that the side surface of the resin wall becomes an inclined surface or may be formed in a stepwise manner from the upper end portion toward the lower end portion so as to form a step portion on the side surface of the resin wall good.

또한, 수지체의 수지벽의 단면 형상이 사각형상인 형태라도 좋다. 이때, 수지체의 수지벽의 단면은 저변의 길이에 대한 높이의 비가 1보다 크고, 상기 수지벽이 기판의 주면의 법선 방향을 따라 길게 연장되어 있는 형태라도 좋다.The cross-sectional shape of the resin wall of the resin body may be a rectangular shape. At this time, the cross section of the resin wall of the resin body may have a height ratio to the length of the bottom side larger than 1, and the resin wall may be elongated along the normal direction of the main surface of the substrate.

또한, 코일의 권회부의 단면 형상이 사각형상인 형태라도 좋다. 이때, 코일의 권회부의 단면은 저변의 길이에 대한 높이의 비가 1보다 크고, 상기 권회부의 단면이 기판의 주면의 법선 방향을 따라 길게 연장되어 있는 형태라도 좋다.The winding section of the coil may have a rectangular cross-sectional shape. At this time, the end face of the winding portion of the coil may have a height ratio to the length of the bottom side of greater than 1, and the end face of the winding portion may be elongated along the normal direction of the main surface of the substrate.

또한, 수지체의 수지벽의 높이가 코일의 권회부의 높이보다 높은 형태라도 좋다. 이 경우, 권회부는 높이 방향에 걸쳐 설계 치수대로의 두께가 될 수 있다. 또한, 권회부들이 수지벽을 넘어 접하는 사태가 의미있게로 회피된다.The height of the resin wall of the resin body may be higher than the height of the winding portion of the coil. In this case, the winding portion can have a thickness according to the designed dimension over the height direction. In addition, a situation in which the winding portions touch the resin wall is significantly avoided.

또한, 수지체는 기판의 주면 위에 코일이 도금 성장되기 전에 설치되고, 코일의 권회부는 수지체의 수지벽에 접착되어 있지 않은 형태라도 좋다.Further, the resin body may be provided before the coil is plated and grown on the main surface of the substrate, and the winding portion of the coil may not be bonded to the resin wall of the resin body.

또한, 기판의 주면 위에 복수 늘어선 수지벽 중, 가장 밖에 위치하는 수지벽의 두께가 내측에 위치하는 수지벽의 두께보다 두꺼운 형태라도 좋다.The thickness of the resin wall located most out of the plurality of resin walls arranged on the main surface of the substrate may be thicker than the thickness of the resin wall located on the inner side.

본 개시에 의하면, 수지벽의 강도 향상을 도모할 수 있는 코일 부품이 제공된다.According to the present disclosure, a coil part capable of improving the strength of the resin wall is provided.

도 1은 본 개시의 실시형태에 따른 코일 부품의 개략적인 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시한 코일 부품의 제조에 사용되는 기판을 도시한 사시도이다.
도 3은 도 2에 도시한 기판의 시드 패턴을 도시한 평면도이다.
도 4는 도 1에 도시한 코일 부품의 제조 방법의 1공정을 도시한 사시도이다.
도 5는 도 4의 V-V선 단면도이다.
도 6은 코일의 권회부 위에 설치되는 절연체를 나타낸 단면도이다.
도 7은 도 1에 도시한 코일 부품의 제조 방법의 1공정을 도시한 사시도이다.
도 8은 도 1에 도시한 코일 부품의 제조 방법의 1공정을 도시한 사시도이다.
도 9는 수지벽의 변형예를 도시한 단면도이다.1 is a schematic perspective view of a coil component according to an embodiment of the present disclosure;
2 is a perspective view showing a substrate used for manufacturing the coil component shown in Fig.
3 is a plan view showing a seed pattern of the substrate shown in Fig.
4 is a perspective view showing one step of a method of manufacturing the coil component shown in Fig.
5 is a sectional view taken along the line VV in Fig.
6 is a cross-sectional view showing an insulator provided on the winding portion of the coil.
7 is a perspective view showing one step of a method of manufacturing the coil component shown in Fig.
Fig. 8 is a perspective view showing one step of the manufacturing method of the coil component shown in Fig. 1; Fig.
9 is a cross-sectional view showing a modified example of the resin wall.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 개시의 실시형태에 대하여 상세하게 설명한다. 또한, 설명에서 동일 요소 또는 동일 기능을 갖는 요소에는 동일한 부호를 사용하는 것으로 하고, 중복되는 설명은 생략한다.Hereinafter, embodiments of the present disclosure will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the description, the same reference numerals are used for the same elements or elements having the same function, and redundant explanations are omitted.

우선, 본 개시의 실시형태에 따른 코일 부품의 구조에 대하여 도 1 내지 4를 참조하면서 설명한다. 설명의 편의상, 도시와 같이 XYZ 좌표를 설정한다. 즉, 평면 코일 소자의 두께 방향을 Z 방향, 외부 단자 전극의 대면 방향을 Y 방향, Z 방향과 Y 방향에 직교하는 방향을 X 방향으로 설정한다.First, the structure of the coil component according to the embodiment of the present disclosure will be described with reference to Figs. 1 to 4. Fig. For convenience of explanation, XYZ coordinates are set as shown in the figure. That is, the thickness direction of the plane coil element is set to the Z direction, the facing direction of the external terminal electrode is set to the Y direction, and the direction orthogonal to the Z direction and the Y direction is set to the X direction.

코일 부품(1)은 대략 직방체 형상을 나타내는 본체부(10)와, 본체부(10)의 대향하는 한 쌍의 단면을 덮도록 하여 설치된 한 쌍의 외부 단자 전극(30A,30B)으로 구성되어 있다. 코일 부품(1)은 일례로서, 긴 변 2.0mm, 짧은 변 1.6mm, 높이 0.9mm의 치수로 설계된다.The coil component 1 is composed of a main body portion 10 having a substantially rectangular parallelepiped shape and a pair of external terminal electrodes 30A and 30B provided so as to cover a pair of opposing end faces of the main body portion 10 . The coil component 1 is, for example, designed to have dimensions of 2.0 mm long, 1.6 mm short, 0.9 mm high.

이하에서는 본체부(10)를 제작하는 순서를 나타내면서, 또한 코일 부품(1)의 구조에 대해서도 설명한다.Hereinafter, the procedure of manufacturing the main body 10 and the structure of the coil component 1 will be described.

본체부(10)는 도 2에 도시한 기판(11)을 포함하고 있다. 기판(11)은 비자성의 절연 재료로 구성된 평판 직사각형상의 부재이다. 기판(11)의 중앙 부분에는 주면(11a,1lb) 사이를 연결하도록 관통된 대략 원형의 개구(12)가 설치되어 있다. 기판(11)로서는, 글래스 클로스(Glass Gloth)에 시아네이트 수지(BT(비스말레이미드·트리아진) 레진:등록상표)가 함침된 기판으로, 판 두께 60㎛인 것을 사용할 수 있다. 또한, BT레진 이외에 폴리이미드, 아라미드 등을 사용할 수도 있다. 기판(11)의 재료로서는 세라믹이나 유리를 사용할 수도 있다. 기판(11)의 재료로서는 대량 생산되고 있는 프린트 기판 재료가 바람직하고, 특히 BT 프린트 기판, FR4 프린트 기판, 또는 FR5 프린트 기판에 사용되는 수지 재료가 가장 바람직하다.The main body 10 includes the substrate 11 shown in Fig. The substrate 11 is a flat rectangular-shaped member made of a non-magnetic insulating material. In the central portion of the substrate 11, a substantially circular opening 12 is formed so as to connect between the main surfaces 11a and 11b. As the substrate 11, a substrate having a thickness of 60 占 퐉 can be used as a substrate in which a glass cloth is impregnated with cyanate resin (BT (bismaleimide triazine) resin: registered trademark). In addition to the BT resin, polyimide, aramid and the like may be used. As the material of the substrate 11, ceramics or glass may be used. As a material for the substrate 11, a printed substrate material which is mass-produced is preferable, and a resin material used for a BT printed substrate, an FR4 printed substrate, or an FR5 printed substrate is most preferable.

기판(11)에는 도 3에 도시한 바와 같이, 각각의 주면(11a,1lb)에 후술하는 코일(13)을 도금 성장시키기 위한 시드 패턴(13A)이 형성되어 있다. 시드 패턴(13A)은 기판(11)의 개구(12) 주변을 회전하는 나선 패턴(14A)과, 기판(11)의 Y 방향에 관한 단부에 형성된 단부 패턴(15A)을 갖고, 이들 패턴(14A,15A)이 연속적 또한 일체적으로 형성되어 있다. 또한, 한쪽의 주면(11a) 측에 설치되는 코일(13)과 다른 쪽의 주면(1lb) 측에 설치되는 코일(13)에서는 전극 인출 방향이 반대이고, 그러므로, 한쪽의 주면(11a) 측의 단부 패턴(15A)과 다른 쪽의 주면(1lb) 측의 단부 패턴은, 기판(11)의 Y 방향에 관한 서로 다른 단부에 형성되어 있다.3, a seed pattern 13A for plating and growing a coil 13, which will be described later, is formed on each of the main surfaces 11a and 11b. The seed pattern 13A has a helical pattern 14A that rotates around the opening 12 of the substrate 11 and an end pattern 15A formed at an end portion of the substrate 11 with respect to the Y direction, , 15A are continuously and integrally formed. The coil 13 provided on one main surface 11a side and the coil 13 provided on the other main surface 11b side are opposite to each other in the direction in which the electrodes are drawn out. The end pattern 15A and the end pattern on the other main surface 11b side are formed at different end portions of the substrate 11 in the Y direction.

도 2로 돌아가, 기판(11)의 각 주면(11a,1lb) 위에는 수지체(17)가 설치되어 있다. 수지체(17)는 공지된 포트리소그래피에 의해 패터닝된 후막 레지스트이다. 수지체(17)는 코일(13)의 권회부(14)의 성장 영역을 획정하는 수지벽(18)과, 코일(13)의 인출 전극부(15)의 성장 영역을 획정하는 수지벽(19)을 갖는다.2, a resin body 17 is provided on each of the main surfaces 11a and 11b of the substrate 11. The resin body 17 is a thick film resist patterned by known photolithography. The resin body 17 has a resin wall 18 defining a growth region of the winding section 14 of the coil 13 and a resin wall 19 defining a growth region of the drawing electrode section 15 of the coil 13 ).

도 4는 시드 패턴(13A)을 사용하여 코일(13)을 도금 성장시켰을 때의 기판(11)의 상태를 도시한 것이다. 코일(13)의 도금 성장에는 공지된 도금 성장 방법을 채용할 수 있다.Fig. 4 shows the state of the substrate 11 when the coil 13 is plated and grown using the seed pattern 13A. A well-known plating growth method can be adopted for the plating growth of the coil 13.

코일(13)은 구리로 구성되고 있고, 시드 패턴(13A)의 나선 패턴(14A) 위에 형성된 권회부(14)와, 시드 패턴(13A)의 단부 패턴(15A) 위에 형성된 인출 전극부(15)를 갖는다. 코일(13)은 평면에서 보았을 때에, 시드 패턴(13A)과 같이 기판(11)의 주면(11a,1lb)에 평행하게 연재(延在)하는 평면 소용돌이상의 공심 코일의 형상으로 되어 있다. 보다 자세하게는, 기판 상면(11a)의 권회부(14)는 상면측에서 보아 외측을 향하는 방향을 따라 좌회전의 소용돌이이고, 기판 하면(1lb)의 권회부(14)는 하면측에서 보아 외측을 향하는 방향을 따라 좌회전의 소용돌이이다. 기판 상면(11a) 및 기판 하면(1lb)의 양쪽 코일(13)은 예를 들면, 개구(12)의 근방에 별도 설치된 관통공을 통하여 단부들이 접속된다. 양쪽 코일(13)에 일 방향으로 전류를 흘렸을 때에는, 양쪽 코일(13)의 전류가 흐르는 회전 방향이 동일하게 되기 때문에, 코일(13)에서 발생하는 자속이 중첩되어 서로 강화한다.The coil 13 is made of copper and has a winding section 14 formed on the spiral pattern 14A of the seed pattern 13A and a lead electrode section 15 formed on the end pattern 15A of the seed pattern 13A. . The coil 13 is in the form of a planar vortex air-core coil extending in parallel to the main surfaces 11a and 11b of the substrate 11 like the seed pattern 13A when seen in plan view. More specifically, the winding section 14 of the upper surface 11a of the substrate is a left-turn vortex along the direction toward the outer side as seen from the upper surface side, and the winding section 14 of the lower surface 11b of the substrate 11 is directed toward the outer side It is a whirl of left turn along the direction. The upper ends of the coils 13 on the upper surface 11a of the substrate and the lower surface 11b of the substrate are connected to each other through through holes provided separately in the vicinity of the openings 12, for example. When a current is supplied to both the coils 13 in one direction, the rotating directions of the currents flowing through the coils 13 are the same, so that the magnetic fluxes generated by the coils 13 are superimposed to reinforce each other.

도 5는 도 4에 도시한 도금 성장 후의 기판(11)의 상태를 나타낸 것이고, 도 4의 V-V선 단면도이다.Fig. 5 shows the state of the substrate 11 after plating growth shown in Fig. 4, and is a sectional view taken along the line V-V in Fig.

도 5에 도시한 바와 같이, 기판(11) 위에는 기판(11)의 법선 방향(Z 방향)을 따라 길게 연장되는 사각형상 단면(도 5에서는 사다리꼴형상 단면)의 수지벽(18)이 형성되어 있고, 이들 수지벽(18) 사이에서 코일(13)의 권회부(14)가 Z 방향으로 성장한다. 코일(13)의 권회부(14)는 그 성장 영역이 도금 성장 전에 기판(11) 위에 형성된 수지벽(18)에 의해 미리 획정되어 있다.5, a resin wall 18 having a rectangular cross section (a trapezoidal cross section in FIG. 5) extending along the normal direction (Z direction) of the substrate 11 is formed on the substrate 11 , And the winding portion 14 of the coil 13 grows in the Z direction between these resin walls 18. The winding region 14 of the coil 13 is previously defined by the resin wall 18 formed on the substrate 11 before the growth of the growth region thereof.

코일(13)의 권회부(14)는 나선 패턴(14A)의 일부인 시드부(14a)와, 시드부(14a) 위에 도금 성장시킨 도금부(14b)로 구성되어 있고, 시드부(14a) 주변에 도금부(14b)가 서서히 성장해 감으로써 형성된다. 이때, 코일(13)의 권회부(14)는 서로 이웃하는 2개의 수지벽(18) 사이에 구획 형성된 공간을 채우도록 성장하여, 수지벽(18) 사이에 구획 형성된 공간과 동일한 형상으로 형성되고, 그 결과, 코일(13)의 권회부(14)는 기판(11)의 법선 방향(Z 방향)을 따라 길게 연장되는 형상이 된다. 즉, 수지벽(18) 사이에 구획 형성되는 공간의 형상을 조정함으로써, 코일(13)의 권회부(14)의 형상이 조정되고, 설계한 대로의 형상으로 코일(13)의 권회부(14)를 형성할 수 있다.The winding section 14 of the coil 13 is composed of a seed section 14a which is a part of the helical pattern 14A and a plating section 14b which is plated and grown on the seed section 14a, And the plating portion 14b gradually grows. At this time, the winding section 14 of the coil 13 is formed to have the same shape as the space defined between the resin walls 18 so as to fill the space defined between the adjacent two resin walls 18 As a result, the winding section 14 of the coil 13 has a shape elongated along the normal direction (Z direction) of the substrate 11. That is, by adjusting the shape of the space formed between the resin walls 18, the shape of the winding part 14 of the coil 13 is adjusted, and the shape of the coil 13 of the coil 13 ) Can be formed.

코일(13)의 권회부(14)는 서로 이웃하는 2개의 수지벽(18) 사이를 성장할 때, 성장 영역을 획정하는 수지벽(18)의 내측면에 접하면서 성장해 간다. 이때, 코일(13)의 권회부(14)와 수지벽(18) 사이에는 기계적 결합도 화학적 결합도 생기지 않는다. 즉, 코일(13)의 권회부(14)는 수지벽(18)과 접착되지 않은 채 도금 성장하고, 비접착 상태에서 수지벽(18) 사이에 개재한다. 본 명세서에 있어서 「비접착 상태」란, 앵커 효과 등의 기계적 결합 및 공유 결합 등의 화학적 결합이 생기지 않는 상태를 말한다.The winding portion 14 of the coil 13 grows while contacting the inner side surface of the resin wall 18 defining the growth region when the two adjacent resin walls 18 are grown. At this time, there is neither mechanical nor chemical bonding between the winding part 14 of the coil 13 and the resin wall 18. [ That is, the winding section 14 of the coil 13 is plated and grown without adhering to the resin wall 18, and interposed between the resin walls 18 in the non-adhered state. In the present specification, the term " unbonded state " refers to a state in which chemical bonding such as an anchor effect or a chemical bond such as a covalent bond does not occur.

수지벽(18)은 도 5에 도시한 바와 같이, 상저(上底)보다도 하저(下底)가 긴 사다리꼴형상 단면을 갖고, 상단부의 폭(d2’)이 하단부의 폭(d2”)보다 좁게 되어 있다. 수지벽(18), 더 구체적으로는 수지벽(18)의 측면(18a)이 경사면이 되도록, 상단부에서 하단부를 향하여 점차 넓어져 있다. 수지벽(18)의 단면 치수는 일례로서, 높이 50 내지 300㎛, 상단부의 폭(두께) 5 내지 30㎛, 하단부의 폭(두께) 5 내지 30㎛, 하단부의 폭(저변)에 대한 높이의 비 5 내지 30이다. 수지벽(18)의 단면 치수는 높이 180 내지 300㎛, 상단부의 폭(두께) 5 내지 12㎛, 하단부의 폭(두께) 5 내지 12㎛, 하단부의 폭에 대한 높이의 비 15 내지 30이라도 좋다. 또한, 수지벽(18)의 상단측의 폭(d2’)은 하단부의 폭(d2”)의 80% 내지 30%로 할 수 있다. 수지벽(18)의 상단부의 폭(d2’)을 하단부의 폭(d2”)에 대하여 좁게 하는 것은, 예를 들면, 포토리소그래피의 노광 조건을 조정함으로써 실현할 수 있다.5, the resin wall 18 has a trapezoidal cross section with a lower bottom than the upper bottom and the width d2 'of the upper end is narrower than the width d2 "of the lower end . The resin wall 18 is gradually widened from the upper end to the lower end so that the side surface 18a of the resin wall 18, more specifically, the side wall 18a of the resin wall 18, becomes an inclined surface. The width of the resin wall 18 is, for example, 50 to 300 占 퐉 in height, 5 to 30 占 퐉 in width at the upper end, 5 to 30 占 퐉 in width at the lower end, The ratio is 5 to 30. The cross-sectional dimension of the resin wall 18 may be 180 to 300 占 퐉 in height, 5 to 12 占 퐉 in the width of the upper end portion (thickness), 5 to 12 占 퐉 in the width of the lower end portion and 15 to 30 in height ratio with respect to the width of the lower end portion . The width d2 'of the upper end of the resin wall 18 may be 80% to 30% of the width d2' of the lower end. The width d2 'of the upper end of the resin wall 18 may be made narrower than the width d2' of the lower end by, for example, adjusting exposure conditions for photolithography.

코일(13)의 권회부(14)는 사각형상 단면(도 5에서는 상저보다도 하저가 짧은 사다리꼴형상 단면)을 갖고, 그 단면 치수는 일례로서, 높이 80 내지 260㎛, 폭(두께) 40 내지 260㎛, 하단부의 폭(저변)에 대한 높이의 비 1 내지 5이다. 코일(13)의 권회부(14)의 하단부의 폭에 대한 높이의 비는 2 내지 5라도 좋다.The winding portion 14 of the coil 13 has a rectangular cross section (a trapezoidal cross section whose lower edge is shorter than the upper portion in FIG. 5), and the cross section dimensions are, for example, 80 to 260 占 퐉 in height and 40 to 260 Mu m, and the ratio of the height to the width of the lower end portion (base). The ratio of the height of the coil 13 to the width of the lower end of the winding section 14 may be 2 to 5.

또한, 도 5에 도시한 바와 같이, 코일(13)의 권회부(14)의 상면(14c)은 상측에 돌출한 형상으로 되어 있다. 보다 자세하게는, 코일(13)의 권회부(14)의 상면(14c)은 중앙부에서는 기판(11)의 주면(11a)에 대하여 대략 평행하게 되어 있지만, 수지벽(18) 근방의 단부에서는 곡선 형상으로 점차 하강하고 있다. 그리고, 코일(13)의 권회부(14)의 상면(14c)에서는 기판(11)의 주면(11a)에 대한 상대 위치 에 관하여, 상면(14c)의 수지벽(18)과 접하는 높이 위치가, 상면(14c)의 중앙부에 위치하는 최고의 높이 위치보다도 낮게 되어 있다.5, the upper surface 14c of the winding section 14 of the coil 13 has a shape projecting upward. More specifically, the upper surface 14c of the winding portion 14 of the coil 13 is substantially parallel to the main surface 11a of the substrate 11 at the central portion, but at the end near the resin wall 18, . In the upper surface 14c of the winding section 14 of the coil 13, the height position of the upper surface 14c in contact with the resin wall 18, relative to the main surface 11a of the substrate 11, And is lower than the highest height position located at the center of the upper surface 14c.

도 5에 도시한 바와 같이, 코일(13)의 권회부(14)의 높이(h)는 수지벽(18)의 높이(H)보다도 낮은 것(h<H)이 바람직하다. 즉, 코일(13)의 권회부(14)의 도금 성장이 수지벽(18)의 높이(H)보다도 낮은 위치에서 멈추도록 조정하는 것이 바람직하다. 코일(13)의 권회부(14)의 높이(h)가 수지벽(18)의 높이(H)보다도 낮으면, 권회부(14)는 높이 방향에 걸쳐 설계 치수대로의 두께가 된다. 또한, 코일(13)의 권회부(14)의 높이(h)가 수지벽(18)의 높이(H)보다 높으면, 서로 이웃하는 권회부(14)들이 접촉하거나 후술하는 절연체(40)나 접합층(41)의 두께를 충분히 확보할 수 없게 되는 사태가 생기고, 코일(13)의 내압 저항이 저하되기 때문이다.The height h of the winding portion 14 of the coil 13 is preferably lower than the height H of the resin wall 18 (h < H), as shown in Fig. That is, it is preferable to adjust the plating growth of the winding section 14 of the coil 13 to stop at a position lower than the height H of the resin wall 18. [ When the height h of the winding portion 14 of the coil 13 is lower than the height H of the resin wall 18, the winding portion 14 has a thickness according to the designed dimension throughout the height direction. When the height h of the winding section 14 of the coil 13 is higher than the height H of the resin wall 18, adjacent winding sections 14 contact each other, The thickness of the layer 41 can not be sufficiently secured, and the resistance to breakdown of the coil 13 decreases.

또한, 수지벽(18)에 의해 구성된 공간은 상단이 개방되어 있고, 수지벽(18)의 상단부가 권회부(14)의 상측을 덮도록 돌아 들어가지 않기 때문에, 권회부(14)의 상측의 설계 자유도가 높다. 즉, 권회부(14) 위에 임의의 층을 형성하는 형태도 어떤 층도 형성하지 않는 형태도 선택할 수 있다.Since the upper end of the space formed by the resin wall 18 is opened and the upper end of the resin wall 18 does not cover the upper side of the winding section 14, Design freedom is high. That is, it is also possible to select a form in which an arbitrary layer is not formed on the winding section 14, or a form in which no layer is formed.

권회부(14) 위에 층을 형성할 경우에는, 각종의 층 형태나 층 재료를 선택할 수 있다. 예를 들면, 도 6에 도시한 바와 같이, 권회부(14) 위에, 후술하는 피복 수지(21)에 포함되는 금속 자성분과 권회부(14) 사이의 절연성을 높이기 위해서, 절연체(40)를 설치할 수 있다. 절연체(40)는 절연 수지 또는 절연 자성 재료로 구성할 수 있다. 또한, 절연체(40)는 권회부(14)의 상면(14c)에 직접적 또는 간접적으로 접하는 동시에, 권회부(14)와 수지벽(18)을 일체로 덮고 있다. 또한, 절연체(40)는 권회부(14)만을 선택적으로 덮는 구성으로 할 수도 있다. 또한, 권회부(14)와 절연체(40) 사이의 접합성을 높이기 위해서, 소정의 접합층(예를 들면, 산화에 의한 구리 도금의 흑화층)(41)을 설치할 수 있다.When the layer is formed on the winding section 14, various layer types and layer materials can be selected. For example, as shown in Fig. 6, an insulator 40 is provided on the winding section 14 in order to improve the insulation between the metal component contained in the cover resin 21 described later and the winding section 14 Can be installed. The insulator 40 may be composed of an insulating resin or an insulating magnetic material. The insulator 40 directly or indirectly contacts the upper surface 14c of the winding section 14 and integrally covers the winding section 14 and the resin wall 18. [ In addition, the insulator 40 may be configured to selectively cover only the winding section 14. In addition, a predetermined bonding layer (for example, a blackening layer of copper plating by oxidation) 41 may be provided in order to improve the bonding property between the winding section 14 and the insulator 40.

또한, 도 5에 도시한 바와 같이, 복수의 수지벽(18) 중, 가장 밖에 위치하는 수지벽(18)의 두께(d1)가 내측에 위치하는 수지벽(18)의 두께(d2)보다 두꺼운 것(d1>d2)이 바람직하다. 이 경우, 코일 부품(1)의 제작시나 사용시에 받는 Z 방향의 압력에 대하여 강성이 부여된다. 두께가 두꺼운 수지벽(18)을 가장 밖의 위치에 배치함으로써, 이 부분에서 주로 상기 압력을 받아낸다. 강성의 관점에서는, 양단에 위치하는 수지벽(18)의 양쪽이 내측에 위치하는 수지벽(18)의 두께보다 두꺼운 것이 바람직하다.5, the thickness d1 of the outermost resin wall 18 among the plurality of resin walls 18 is larger than the thickness d2 of the resin wall 18 located on the inner side, (D1 > d2). In this case, rigidity is given to the pressure in the Z direction which is applied when the coil component 1 is manufactured or used. By placing the thick resin wall 18 at the outermost position, the pressure is mainly received at this portion. From the viewpoint of stiffness, it is preferable that both sides of the resin wall 18 located at both ends are thicker than the thickness of the resin wall 18 located inside.

또한, 상술한 코일(13)의 도금 성장은 기판(11)의 양쪽 주면(11a,1lb)에서 행해진다. 양쪽 주면(11a,1lb)의 코일(13)들은 기판(11)의 개구에서 각각의 단부들이 접속되어 도통된다.Plating growth of the above-described coil 13 is performed on both main surfaces 11a and 11b of the substrate 11. [ The coils 13 of the two main surfaces 11a and 11b are connected to each other at the openings of the substrate 11 to be conductive.

기판(11) 위에 코일(13)을 도금 성장시킨 후, 도 7에 도시한 바와 같이, 기판(11)은 피복 수지(21)로 전체적으로 덮인다. 즉, 피복 수지(21)가 기판(11)의 주면(11a,1lb)의 코일(13)과 수지체(17)를 일체로 덮는다. 수지체(17)는 피복 수지(21) 안에 남은 채 코일 부품(1)의 일부를 구성한다. 피복 수지(21)는 금속 자성분 함유 수지로 이루어지고, 웨이퍼 상태의 기판(11) 위에 형성되며, 그 후에 경화됨으로써 형성된다.After the coil 13 is plated and grown on the substrate 11, the substrate 11 is entirely covered with the covering resin 21 as shown in Fig. That is, the cover resin 21 integrally covers the coil 13 of the main surfaces 11a and 11b of the substrate 11 and the resin body 17. [ The resin member 17 constitutes a part of the coil component 1 while remaining in the coating resin 21. [ The covering resin 21 is made of a resin containing a metal magnetic component, is formed on the substrate 11 in a wafer state, and then formed by curing.

피복 수지(21)를 구성하는 금속 자성분 함유 수지는 금속 자성분이 분산된 수지로 구성되어 있다. 금속 자성분은 예를 들면 철 니켈 합금(퍼멀로이 합금), 카르보닐 철, 아몰퍼스, 비정질 또는 결정질의 FeSiCr계 합금, 샌더스트 등으로 구성될 수 있다. 금속 자성분 함유 수지에 사용되는 수지는 예를 들면 열경화성의 에폭시 수지이다. 금속 자성분 함유 수지에 포함되는 금속 자성분의 함유량은 일례로서 90 내지 99wt%이다.The metal magnetic-component-containing resin constituting the coating resin (21) is composed of a resin in which the magnetic metal component is dispersed. The metal magnetic component may be composed of, for example, iron nickel alloy (permalloy alloy), carbonyl iron, amorphous, amorphous or crystalline FeSiCr-based alloy, sandust and the like. The resin used for the resin containing the metal magnetic component is, for example, a thermosetting epoxy resin. The content of the metal magnetic component contained in the metal magnetic-component-containing resin is, for example, 90 to 99 wt%.

또한, 다이싱하여 칩화함으로써 도 8에 도시한 본체부(10)를 얻을 수 있다. 칩화한 후, 필요에 따라 바렐 연마 등에 의해 엣지의 모따기를 행하여도 좋다.Further, the main body 10 shown in Fig. 8 can be obtained by dicing and dicing. After the chip is formed, chamfering of the edge may be performed by barrel polishing or the like as necessary.

마지막으로, 본체부(10)의 단부 패턴(15A)이 노출된 단면(Y 방향에서 대향하는 단면)에, 단부 패턴(15A)과 전기적으로 접속되도록 외부 단자 전극(30A,30B)을 설치함으로써, 코일 부품(1)이 완성된다. 외부 단자 전극(30A,30B)은 코일 부품을 탑재하는 기판의 회로에 접속하기 위한 전극이며, 복수층 구조로 할 수 있다. 예를 들면, 외부 단자 전극(30A,30B)은 단면에 수지 전극 재료를 도포한 후, 그 수지 전극 재료에 금속 도금을 행함으로써 형성할 수 있다. 외부 단자 전극(30A,30B)의 금속 도금에는 Cr, Cu, Ni, Sn, Au, 납땜 등을 사용할 수 있다.Lastly, by providing the external terminal electrodes 30A and 30B so as to be electrically connected to the end pattern 15A at the exposed end surface (the end surface facing in the Y direction) of the end portion pattern 15A of the main body portion 10, The coil component 1 is completed. The external terminal electrodes 30A and 30B are electrodes for connecting to a circuit of a substrate on which coil components are mounted, and may have a multiple layer structure. For example, the external terminal electrodes 30A and 30B can be formed by applying a resin electrode material to an end face, and then performing metal plating on the resin electrode material. For metal plating of the external terminal electrodes 30A and 30B, Cr, Cu, Ni, Sn, Au, or solder may be used.

상술한 코일 부품(1)에 의하면, 도 5에 도시한 바와 같이, 수지벽(18)은 상단부의 폭(d2’)이 하단부의 폭(d2”)보다 좁고, 기판(11) 측의 단면적이 큰 안정된 단면 형상을 갖는다. 그러므로, 수지벽(18)은 강도의 향상을 도모할 수 있고, 이러한 코일 부품(1)에서는 기판(11)의 두께 방향(도 5의 상하 방향)이나 면 방향(도 5의 좌우 방향)으로부터의 압력에 기인하는 수지벽(18)의 변형이나 붕괴가 억제된다.5, the width d2 'of the upper end portion of the resin wall 18 is narrower than the width d2' of the lower end portion, and the cross-sectional area of the side of the substrate 11 And has a large stable cross-sectional shape. 5) and the surface direction (the left-right direction in Fig. 5) of the substrate 11 in the coil component 1, Deformation or collapse of the resin wall 18 due to pressure is suppressed.

특히, 수지벽(18)은 그 측면(18a)이 경사면이 되도록, 상단부에서 하단부를 향하여 점차 넓어져 있기 때문에, 응력이 부가되었을 때에 측면의 어느 부분에도 응력이 집중하기 어렵게 되어 있다. 그러므로, 수지벽(18)은 기판(11)의 두께 방향이나 면 방향에서의 압력에 대한 강도 향상을 더욱 도모할 수 있다.In particular, since the resin wall 18 is gradually widened from the upper end portion to the lower end portion so that the side face 18a thereof becomes an inclined face, the stress is hardly concentrated on any portion of the side face when stress is applied. Therefore, the resin wall 18 can further improve the strength against the pressure in the thickness direction and the surface direction of the substrate 11. [

또한, 수지벽(18)의 상단부의 폭(d2’)이 하단부의 폭(d2”)보다 좁게 되어 있음으로써 서로 이웃하는 2개의 수지벽(18) 사이에 구획 형성된 공간의 상부 개구의 확대를 도모할 수 있다. 그러므로, 상기 공간의 내부에서 코일(13)의 권회부(14)를 도금 성장시킬 때에, 상기 공간의 내부에 도금액이 유입하기 쉬게 되어 있다. 이에 따라, 도금의 석출 속도 향상을 도모할 수 있다.In addition, since the width d2 'of the upper end of the resin wall 18 is narrower than the width d2' of the lower end portion, the upper opening of the partitioned space between the adjacent two resin walls 18 is enlarged can do. Therefore, when the winding portion 14 of the coil 13 is plated and grown in the space, the plating liquid easily flows into the space. Thus, the deposition rate of the plating can be improved.

또한, 코일 부품(1)에 의하면, 코일(13)의 권회부(14)의 상면(14c)이 수지벽(18)과 접하는 높이 위치가, 상면(14c)에서의 최고의 높이 위치보다도 낮게 되어 있다. 그러므로, 권회부(14)로부터, 수지벽(18)을 통하여 서로 이웃하는 권회부(14)까지의 연면 거리의 연장을 도모할 수 있고, 서로 이웃하는 권회부(14) 사이에서 내압이 향상된다.According to the coil component 1, the height position at which the upper surface 14c of the winding section 14 of the coil 13 contacts the resin wall 18 is lower than the highest height position at the upper surface 14c . Therefore, the creepage distance from the winding section 14 to the adjacent winding sections 14 through the resin wall 18 can be extended, and the breakdown voltage between the neighboring winding sections 14 is improved .

또한, 코일 부품(1)에 의하면, 복수의 수지벽(18) 사이에 코일(13)의 권회부(14)가 비접착 상태로 개재하기 때문에, 코일(13)의 권회부(14)와 수지벽(18)이 서로에 대하여 변위 가능하다. 그러므로, 코일 부품(1)의 사용 환경이 고온이 되었을 때 등의 주변 온도에 변화가 있어, 코일(13)의 권회부(14)와 수지벽(18) 사이의 열팽창 계수의 차이에 기인하는 응력이 생긴 경우에도, 코일(13)의 권회부(14)와 수지벽(18)이 상대적으로 이동함으로써 그 응력이 완화된다.Since the winding part 14 of the coil 13 intervenes between the resin walls 18 in a non-adhered state between the winding part 14 of the coil 13 and the resin 14, The walls 18 are displaceable relative to one another. Therefore, there is a change in the ambient temperature, such as when the use environment of the coil component 1 becomes high, and the stress due to the difference in thermal expansion coefficient between the winding portion 14 of the coil 13 and the resin wall 18 The winding portion 14 of the coil 13 and the resin wall 18 move relative to each other, so that the stress is relaxed.

또한, 코일 부품(1)의 제조 방법에 의하면, 수지체(17)의 수지벽(18) 사이에 개재하도록, 코일(13)의 권회부(14)가 도금 성장되어 있다. 즉, 피복 수지(21)로 코일(13)을 덮기 전에, 코일(13)의 권회부(14) 사이에는 이미 수지벽(18)이 개재하고 있다. 그러므로, 코일(13)의 권회부(14) 사이에 수지를 별도로 충전할 필요가 없고, 수지벽(18)에 의해 코일(13)의 권회부(14) 사이의 수지의 치수 정밀도의 안정화를 도모할 수 있다.According to the manufacturing method of the coil component 1, the winding portion 14 of the coil 13 is plated and grown so as to be interposed between the resin walls 18 of the resin body 17. That is, before covering the coil 13 with the covering resin 21, the resin wall 18 is already interposed between the winding portions 14 of the coil 13. Therefore, it is not necessary to separately charge the resin between the winding portions 14 of the coil 13 and the dimensional accuracy of the resin between the winding portions 14 of the coil 13 can be stabilized by the resin wall 18 can do.

또한, 코일 부품(1)은 상술한 형태에 한하지 않고, 다양한 형태를 채용할 수 있다.Further, the coil component 1 is not limited to the above-described one, and various forms can be adopted.

예를 들면, 수지벽의 단면 형상은 도 9 에 도시한 바와 같은 단면 형상이라도 좋다. 도 9에 도시한 수지벽(18A)은 측면(18a)에 단부(18b)가 형성되도록, 상단부에서 하단부를 향하여 단계적으로 넓어져 있다. 수지벽(18A)도 상술한 수지벽(18)과 같이 상단부의 폭(d2’)이 하단부의 폭(d2”)보다 좁고, 기판측의 단면적이 큰 안정된 단면 형상을 갖는다. 그러므로, 수지벽(18A)은 강도의 향상을 도모할 수 있고, 이러한 코일 부품(1)에서는 기판(11)의 두께 방향(도 9의 상하 방향)이나 면 방향(도 9의 좌우 방향)으로부터의 압력에 기인하는 수지벽(18A)의 변형이나 붕괴가 억제된다.For example, the cross-sectional shape of the resin wall may be a cross-sectional shape as shown in Fig. The resin wall 18A shown in Fig. 9 is gradually widened from the upper end portion toward the lower end portion so that the end portion 18b is formed on the side surface 18a. The resin wall 18A also has a stable cross-sectional shape such that the width d2 'of the upper end portion is narrower than the width d2' of the lower end portion and the cross-sectional area of the substrate side is larger like the resin wall 18 described above. Therefore, the strength of the resin part 18 can be improved. In such a coil part 1, the thickness of the resin part 18 in the thickness direction (the up-and-down direction in Fig. 9) Deformation or collapse of the resin wall 18A due to the pressure is suppressed.

Claims (10)

기판과,
상기 기판의 주면 위에 도금 성장으로 설치된 코일과,
상기 기판의 주면 위에 설치되고, 상기 코일의 권회부가 사이에 연장되는 복수의 수지벽을 갖는 수지체와,
자성분 함유 수지로 이루어지고, 상기 기판의 주면의 상기 코일과 상기 수지체를 일체로 덮는 피복 수지를 구비하고,
상기 수지벽은 상단부의 폭이 하단부의 폭보다 좁고,
상기 코일이 나선 패턴을 포함하는 시드부를 갖고,
상기 수지체의 수지벽의 높이가 상기 코일의 권회부의 높이보다 높은, 코일 부품.A substrate;
A coil provided on the main surface of the substrate by plating growth,
A resin member provided on a main surface of the substrate and having a plurality of resin walls in which the winding portions of the coils extend,
And a covering resin made of a resin containing a magnetic component and covering the coil on the main surface of the substrate and the resin body integrally,
The width of the upper end portion of the resin wall is narrower than the width of the lower end portion,
Wherein the coil has a seed portion including a spiral pattern,
And the height of the resin wall of the resin body is higher than the height of the winding part of the coil. 제 1 항에 있어서,
상기 수지벽의 폭은 상기 수지벽의 측면이 경사면이 되도록, 상단부에서 하단부를 향하여 점차 넓어지는, 코일 부품.The method according to claim 1,
Wherein a width of the resin wall is gradually widened from an upper end portion toward a lower end portion so that a side surface of the resin wall becomes an inclined surface. 제 1 항에 있어서,
상기 수지벽의 폭은 상기 수지벽의 측면에 계단부가 형성되도록, 상단부에서 하단부를 향하여 단계적으로 넓어지는, 코일 부품.The method according to claim 1,
Wherein a width of the resin wall is gradually widened from an upper end portion toward a lower end portion so that a step portion is formed on a side surface of the resin wall. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 수지체의 수지벽의 단면 형상이 사각형상인, 코일 부품.4. The method according to any one of claims 1 to 3,
Wherein a cross-sectional shape of the resin wall of the resin body is a rectangular shape. 제 4 항에 있어서,
상기 수지체의 수지벽의 단면은 저변의 길이에 대한 높이의 비가 1보다 크고, 상기 수지벽이 상기 기판의 주면의 법선 방향을 따라 길게 연장되어 있는, 코일 부품.5. The method of claim 4,
Wherein a cross section of the resin wall of the resin body has a height ratio to a length of the bottom side greater than 1 and the resin wall extends long along the normal direction of the main surface of the substrate. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 코일의 권회부의 단면 형상이 사각형상인, 코일 부품.4. The method according to any one of claims 1 to 3,
Wherein a coil section of the coil has a rectangular cross-sectional shape. 제 6 항에 있어서,
상기 코일의 권회부의 단면은 저변의 길이에 대한 높이의 비가 1보다 크고, 상기 권회부의 단면이 상기 기판의 주면의 법선 방향을 따라 길게 연장되어 있는, 코일 부품.The method according to claim 6,
Wherein a cross section of the winding section of the coil has a height ratio to a length of the bottom side greater than 1 and an end face of the winding section is elongated along the normal direction of the main surface of the substrate. 삭제delete 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 수지체는 상기 기판의 주면 위에 상기 코일이 도금 성장되기 전에 설치되고,
상기 코일의 권회부는 상기 수지체의 수지벽에 접착되어 있지 않은, 코일 부품.4. The method according to any one of claims 1 to 3,
Wherein the resin body is provided on the main surface of the substrate before the coil is plated and grown,
Wherein the winding portion of the coil is not bonded to the resin wall of the resin body. 기판과,
상기 기판의 주면 위에 도금 성장으로 설치된 코일과,
상기 기판의 주면 위에 설치되고, 상기 코일의 권회부가 사이에 연장되는 복수의 수지벽을 갖는 수지체와,
자성분 함유 수지로 이루어지고, 상기 기판의 주면의 상기 코일과 상기 수지체를 일체로 덮는 피복 수지를 구비하고,
상기 수지벽은 상단부의 폭이 하단부의 폭보다 좁고,
상기 코일이 나선 패턴을 포함하는 시드부를 갖고,
상기 기판의 주면 위에 복수 늘어선 수지벽 중, 가장 밖에 위치하는 수지벽의 두께가 내측에 위치하는 수지벽의 두께보다 두꺼운, 코일 부품.A substrate;
A coil provided on the main surface of the substrate by plating growth,
A resin member provided on a main surface of the substrate and having a plurality of resin walls in which the winding portions of the coils extend,
And a covering resin made of a resin containing a magnetic component and covering the coil on the main surface of the substrate and the resin body integrally,
The width of the upper end portion of the resin wall is narrower than the width of the lower end portion,
Wherein the coil has a seed portion including a spiral pattern,
Wherein a thickness of the outermost resin wall among the plurality of resin walls arranged on the main surface of the substrate is thicker than a thickness of the resin wall located inside.
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