KR101870806B1 - A plane plasma device for generating to a ionization hydrogen peroxide aerosol - Google Patents

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Abstract

본 발명은 이온화된 과산화수소 에어로졸을 생성하기 위한 면 플라즈마 장치에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 이온화된 과산화수소 에어로졸(IHPA)을 생성하기 위한 면 플라즈마 장치로서, 과산화수소 용액을 저장하고 공급하기 위한 과산화수소 용액 저장 공급부; 에어 펌프를 구비하며, 외부 에어를 유입하여 가압된 에어를 공급하기 위한 에어 공급부; 분무 노즐을 구비하며, 상기 과산화수소 용액 저장 공급부와 상기 에어 공급부로부터 과산화수소 용액과 가압된 에어를 공급받아 상기 분무 노즐을 통해 연무 형태로 과산화수소 용액을 분무하기 위한 분무 장치부; 상기 분무 장치부의 분무 노즐에 근접하여 설치되며, 연무 형태로 분무되는 과산화수소가 이온화된 과산화수소 에어로졸(IHPA) 형태로 분산되도록 플라즈마 방전을 발생시키기 위한 플라즈마 전극을 구비하는 플라즈마 발생 장치부; 및 상기 플라즈마 발생 장치부에서 플라즈마 방전을 일으킬 수 있도록 상기 플라즈마 발생 장치부의 플라즈마 전극으로 전원을 공급하기 위한 플라즈마 전원공급부를 포함하는 것을 그 구성상의 특징으로 한다.
본 발명에서 제안하고 있는 이온화된 과산화수소 에어로졸을 생성하기 위한 면 플라즈마 장치에 따르면, 이온화된 과산화수소 에어로졸을 생성하기 위한 면 플라즈마 장치를 구성함에 있어, 플라즈마 전극을 면 전극의 형태로 구성함으로써, 분무 노즐에서 분무되는 물방울 연무와 플라즈마 전극의 접촉 면적을 넓혀 과산화수소의 이온화 효율 및 IHPA 량을 증대시킬 수 있도록 할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 플라즈마 전극을 면 전극 형태로 구성하여 평탄한 플라즈마 방전이 발생 가능하도록 함으로써, 미세한 입자 크기와 함께 증대된 과산화수소의 이온화 효율 및 IHPA 량을 통해 룸 내부 및 장비 사이사이의 미세한 공간에 존재할 수 있는 미생물, 박테리아 및 곰팡이 등을 효과적으로 멸균하여 제거할 수 있도록 하는 공간 침투의 원활성 및 분자구조의 운동성이 더욱 향상될 수 있도록 할 수 있다.
The present invention relates to a cotton plasma apparatus for producing an ionized hydrogen peroxide aerosol, and more particularly to a cotton plasma apparatus for producing an ionized hydrogen peroxide aerosol (IHPA), comprising a hydrogen peroxide solution storage and supply unit ; An air supply unit provided with an air pump for introducing external air and supplying pressurized air; A spray device for spraying the hydrogen peroxide solution in the form of mist through the spray nozzle by receiving the hydrogen peroxide solution and pressurized air from the hydrogen peroxide solution storage and supply part and the air supply part; A plasma generator disposed in proximity to a spray nozzle of the sprayer unit and having a plasma electrode for generating a plasma discharge so that hydrogen peroxide sprayed in a mist form is dispersed in the form of ionized hydrogen peroxide aerosol (IHPA); And a plasma power supply unit for supplying power to a plasma electrode of the plasma generator unit to cause a plasma discharge in the plasma generator unit.
According to the surface plasma apparatus for generating the ionized hydrogen peroxide aerosol proposed in the present invention, in the construction of the surface plasma apparatus for generating the ionized hydrogen peroxide aerosol, by constituting the plasma electrode in the form of the surface electrode, It is possible to increase the ionization efficiency of hydrogen peroxide and the amount of IHPA by widening the contact area between the spray droplet mist and the plasma electrode.
In addition, according to the present invention, by forming a plasma electrode in the form of a surface electrode so that a flat plasma discharge can be generated, the ionization efficiency of hydrogen peroxide and the amount of IHPA, which are increased together with the fine particle size, It is possible to further improve the original activity of the space penetration and the mobility of the molecular structure, which enable sterilization and removal of microorganisms, bacteria and fungi which may exist in the microorganism.

Description

이온화된 과산화수소 에어로졸을 생성하기 위한 면 플라즈마 장치{A PLANE PLASMA DEVICE FOR GENERATING TO A IONIZATION HYDROGEN PEROXIDE AEROSOL}TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to a surface plasmatic device for generating an ionized hydrogen peroxide aerosol,

본 발명은 면 플라즈마 장치에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 이온화된 과산화수소 에어로졸을 생성하기 위한 면 플라즈마 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a cotton plasma apparatus, and more particularly to a cotton plasma apparatus for producing an ionized hydrogen peroxide aerosol.

일반적으로 실험실, 동물 사육 시설, 우수의약품 제조시설(GMP, Good Manufacturing Practice), 생물학적 안전등급(BSL-3등급, Biological Safety Level-3) 등의 생물 안전, 식품과 제약 등의 무균 조제 및 제조 시설에서 내부 실험실 및 생산 룸들은 청정한 멸균 상태의 관리가 요구된다. 이러한 멸균은 세척(cleaning) 또는 소독(disinfection) 등과는 달리 물리적, 화학적 작용을 통하여 살아있는 모든 종류의 미생물을 완전히 제거하는 것을 의미하는 점에서 높은 수준의 처리를 의미한다. 현재 멸균 방법으로는 EO(산화에틸렌, Ethylene Oxide) 가스, 증기, 과산화수소, 플라즈마 등을 사용하여 이루어지고 있다.
Generally, there is a need to establish a sterilization and manufacturing facility for biological safety, food and pharmaceuticals such as laboratories, animal breeding facilities, Good Manufacturing Practice (GMP), biological safety level (BSL-3 grade, Biological Safety Level-3) Internal laboratory and production rooms require clean, sterile management. Unlike cleaning or disinfection, this sterilization means a high level of treatment in that it means completely eliminating all living microorganisms through physical and chemical action. Currently, EO (ethylene oxide, ethylene oxide) gas, steam, hydrogen peroxide, and plasma are used for the sterilization method.

EO 가스를 사용하는 멸균은 그 자체로 폭발의 위험이 높고, 돌연변이를 일으키는 유전 독성물질로서 작용한다는 보고가 있다. 증기 멸균기는 멸균력을 일정 수준까지 충족시키면서도 안전한 방법 중 하나인 것으로 평가되고 있다. 증기 멸균기는 독성이 없고, 값이 비교적 싸고, 빠른 멸균이 가능한 장점이 있으나, 습기 및 고온에 노출되어도 부작용이 없는 의료기구에만 사용이 가능하다는 단점이 있다. 과산화수소, 오존 및 플라즈마 발생장치를 적절히 조합하여 사용하는 것이 공지되어 있다. 예를 들어, 과산화수소를 멸균 챔버에 공급하고 멸균 챔버 내에서 플라즈마를 발생시켜 멸균을 행하는 방법, 플라즈마와 멸균제를 멸균 챔버에 동시에 공급하는 방법, 멸균 챔버에 산소를 공급한 상태에서 플라즈마를 발생시켜 오존으로 변환시켜 멸균하는 방법, 및 과산화수소 및 오존을 함께 공급하여 멸균 챔버 내의 피멸균체를 멸균하는 방법 등이 공지되어 있다.
It has been reported that sterilization using EO gas, by itself, has a high risk of explosion and acts as a genotoxic substance causing mutation. Steam sterilizers are considered to be one of the safest ways to meet sterilization power to a certain level. The steam sterilizer is advantageous in that it is not toxic, its price is comparatively cheap, and it is possible to sterilize quickly. However, it is disadvantageous in that it can be used only in a medical apparatus which has no side effects even when exposed to moisture and high temperature. Hydrogen peroxide, ozone, and a plasma generator are appropriately used in combination. For example, there are a method of supplying hydrogen peroxide to the sterilization chamber and generating sterilization by generating plasma in the sterilization chamber, a method of simultaneously supplying plasma and sterilant to the sterilization chamber, a method of generating plasma in a state where oxygen is supplied to the sterilization chamber A method in which sterilization is performed by converting into ozone, and a method in which hydrogen peroxide and ozone are supplied together to sterilize a subject to be sterilized in a sterilization chamber.

즉, 종래의 과산화수소와 플라즈마를 이용하는 멸균 장치는 과산화수소 장비로 멸균을 진행할 시 기존 제품의 경우 연무 분자 입자 사이즈(15 micron)가 크기 때문에 미세한 공간의 침투가 안 되고, 룸 내부 전체에 완벽한 멸균이 이루어지지 못하는 경우가 종종 발생하게 되는 문제가 있었다. 이에 따라 종래의 멸균 장치는 룸 내부 및 장비 사이사이의 미세한 공간의 멸균 처리가 어렵게 되므로, 멸균 효율이 저하되는 단점이 있었다. 또한, 종래의 단일 노즐 및 막대전극 방식의 대기압 플라즈마 방식은 물방울과 플라즈마의 접촉 면적이 좁아 이온화 효율 및 IHPA 량을 늘이는데 제약이 따르는 문제가 있었다. 대한민국 등록특허공보 제10-0782040호는 과산화수소 및 오존을 사용하는 멸균방법 및 그 방법에 따른 장치를 선행기술 문헌으로 개시하고 있으며, 대한민국 등록실용신안공보 제20-0438487호는 복수의 멸균 챔버를 구비한 멸균 장치를 선행기술 문헌으로 개시하고 있다.In other words, conventional sterilization apparatus using hydrogen peroxide and plasma, when sterilization is performed with hydrogen peroxide equipment, can not penetrate fine space because the size of fume molecular particle (15 micron) in conventional products is not enough, There is a problem in that it is often impossible to prevent the problem. As a result, the conventional sterilization apparatus has a disadvantage in that the sterilization efficiency is lowered because it is difficult to sterilize a minute space between the inside of the room and the equipment. In addition, the conventional single nozzle and bar electrode type atmospheric pressure plasma method has a problem in that the contact area between the water droplet and the plasma is narrow and the ionization efficiency and the amount of IHPA are increased. Korean Patent Registration No. 10-0782040 discloses a sterilization method using hydrogen peroxide and ozone and an apparatus according to the method, and Korean Utility Model Registration No. 20-0438487 of Korean Registered Patent Publication No. 10-0782040 has a plurality of sterilization chambers A sterilization apparatus is disclosed in the prior art document.

본 발명은 기존에 제안된 방법들의 상기와 같은 문제점들을 해결하기 위해 제안된 것으로서, 이온화된 과산화수소 에어로졸을 생성하기 위한 면 플라즈마 장치를 구성함에 있어, 플라즈마 전극을 면 전극의 형태로 구성함으로써, 분무 노즐에서 분무되는 물방울 연무와 플라즈마 전극의 접촉 면적을 넓혀 과산화수소의 이온화 효율 및 IHPA 량을 증대시킬 수 있도록 하는, 이온화된 과산화수소 에어로졸을 생성하기 위한 면 플라즈마 장치를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
The present invention has been proposed in order to solve the above-mentioned problems of the previously proposed methods. In constituting the surface plasma apparatus for generating the ionized hydrogen peroxide aerosol, by constituting the plasma electrode in the form of the surface electrode, Which is capable of increasing the ionization efficiency of hydrogen peroxide and the amount of IHPA by widening the contact area between the droplet mist sprayed on the surface electrode and the plasma electrode, and to provide an ionized hydrogen peroxide aerosol.

또한, 본 발명은, 플라즈마 전극을 면 전극 형태로 구성하여 평탄한 플라즈마 방전이 발생 가능하도록 함으로써, 미세한 입자 크기와 함께 증대된 과산화수소의 이온화 효율 및 IHPA 량을 통해 룸 내부 및 장비 사이사이의 미세한 공간에 존재할 수 있는 미생물, 박테리아 및 곰팡이 등을 효과적으로 멸균하여 제거할 수 있도록 하는 공간 침투의 원활성 및 분자구조의 운동성이 더욱 향상될 수 있도록 하는, 이온화된 과산화수소 에어로졸을 생성하기 위한 면 플라즈마 장치를 제공하는 것을 또 다른 목적으로 한다.The present invention also provides a method of manufacturing a plasma display panel in which a plasma electrode is formed in the form of a surface electrode so that a flat plasma discharge can be generated to increase the ionization efficiency of hydrogen peroxide along with the fine particle size and the amount of IHPA, There is provided a cotton plasma apparatus for producing an ionized hydrogen peroxide aerosol, which can further improve the original activity of the spatial infiltration and the mobility of the molecular structure so that microorganisms, bacteria and fungi that may be present can be effectively sterilized and removed It is another purpose.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 따른 이온화된 과산화수소 에어로졸을 생성하기 위한 면 플라즈마 장치는,According to an aspect of the present invention, there is provided a surface plasma apparatus for generating an ionized hydrogen peroxide aerosol,

이온화된 과산화수소 에어로졸(IHPA)을 생성하기 위한 면 플라즈마 장치로서,A cotton plasma apparatus for producing an ionized hydrogen peroxide aerosol (IHPA)

과산화수소 용액을 저장하고 공급하기 위한 과산화수소 용액 저장 공급부;A hydrogen peroxide solution storage and supply unit for storing and supplying the hydrogen peroxide solution;

에어 펌프를 구비하며, 외부 에어를 유입하여 가압된 에어를 공급하기 위한 에어 공급부;An air supply unit provided with an air pump for introducing external air and supplying pressurized air;

분무 노즐을 구비하며, 상기 과산화수소 용액 저장 공급부와 상기 에어 공급부로부터 과산화수소 용액과 가압된 에어를 공급받아 상기 분무 노즐을 통해 연무 형태로 과산화수소 용액을 분무하기 위한 분무 장치부;A spray device for spraying the hydrogen peroxide solution in the form of mist through the spray nozzle by receiving the hydrogen peroxide solution and pressurized air from the hydrogen peroxide solution storage and supply part and the air supply part;

상기 분무 장치부의 분무 노즐에 근접하여 설치되며, 연무 형태로 분무되는 과산화수소가 이온화된 과산화수소 에어로졸(IHPA) 형태로 분산되도록 플라즈마 방전을 발생시키기 위한 플라즈마 전극을 구비하는 플라즈마 발생 장치부; 및A plasma generator disposed in proximity to a spray nozzle of the sprayer unit and having a plasma electrode for generating a plasma discharge so that hydrogen peroxide sprayed in a mist form is dispersed in the form of ionized hydrogen peroxide aerosol (IHPA); And

상기 플라즈마 발생 장치부에서 플라즈마 방전을 일으킬 수 있도록 상기 플라즈마 발생 장치부의 플라즈마 전극으로 전원을 공급하기 위한 플라즈마 전원공급부를 포함하는 것을 그 구성상의 특징으로 한다.
And a plasma power supply unit for supplying power to the plasma electrode of the plasma generator so as to cause a plasma discharge in the plasma generator.

바람직하게는, 상기 과산화수소 용액 저장 공급부는,Preferably, the hydrogen peroxide solution storage /

과산화수소 용액을 저장 및 공급하되, 사용되는 과산화수소 용액은 일반적인 노출에 있어서도 안전한 0.5 ~ 7.5%의 저 농도 과산화수소를 사용할 수 있다.
The hydrogen peroxide solution used can be a low concentration of hydrogen peroxide of 0.5 to 7.5%, which is safe for general exposure.

더욱 바람직하게는, 상기 분무 장치부는,More preferably,

상기 분무 노즐을 통해 분무되는 과산화수소 및 이온 입자의 크기는 0.3 ~ 3 micron의 크기를 가지도록 구성할 수 있다.
The size of the hydrogen peroxide and the ion particles sprayed through the spray nozzle may be 0.3-3 micron.

더욱 더 바람직하게는, 상기 플라즈마 발생 장치부는,Still more preferably, the plasma generating apparatus section includes:

상기 분무 노즐로부터 분무되는 과산화수소 용액의 물방울 연무와 플라즈마 접촉 면적이 넓어지고, 평탄한 플라즈마 방전이 발생될 수 있도록 상기 플라즈마 전극을 마주하는 한 쌍의 면 전극 형태로 구성할 수 있다.A pair of surface electrodes facing the plasma electrode may be formed so that the droplet mist of the hydrogen peroxide solution sprayed from the spray nozzle and the plasma contact area are widened and a flat plasma discharge is generated.

본 발명에서 제안하고 있는 이온화된 과산화수소 에어로졸을 생성하기 위한 면 플라즈마 장치에 따르면, 이온화된 과산화수소 에어로졸을 생성하기 위한 면 플라즈마 장치를 구성함에 있어, 플라즈마 전극을 면 전극의 형태로 구성함으로써, 분무 노즐에서 분무되는 물방울 연무와 플라즈마 전극의 접촉 면적을 넓혀 과산화수소의 이온화 효율 및 IHPA 량을 증대시킬 수 있도록 할 수 있다.
According to the surface plasma apparatus for generating the ionized hydrogen peroxide aerosol proposed in the present invention, in the construction of the surface plasma apparatus for generating the ionized hydrogen peroxide aerosol, by constituting the plasma electrode in the form of the surface electrode, It is possible to increase the ionization efficiency of hydrogen peroxide and the amount of IHPA by widening the contact area between the spray droplet mist and the plasma electrode.

또한, 본 발명에 따르면, 플라즈마 전극을 면 전극 형태로 구성하여 평탄한 플라즈마 방전이 발생 가능하도록 함으로써, 미세한 입자 크기와 함께 증대된 과산화수소의 이온화 효율 및 IHPA 량을 통해 룸 내부 및 장비 사이사이의 미세한 공간에 존재할 수 있는 미생물, 박테리아 및 곰팡이 등을 효과적으로 멸균하여 제거할 수 있도록 하는 공간 침투의 원활성 및 분자구조의 운동성이 더욱 향상될 수 있도록 할 수 있다.In addition, according to the present invention, by forming a plasma electrode in the form of a surface electrode so that a flat plasma discharge can be generated, the ionization efficiency of hydrogen peroxide and the amount of IHPA, which are increased together with the fine particle size, It is possible to further improve the original activity of the space penetration and the mobility of the molecular structure, which enable sterilization and removal of microorganisms, bacteria and fungi which may exist in the microorganism.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 이온화된 과산화수소 에어로졸을 생성하기 위한 면 플라즈마 장치의 구성을 기능블록으로 도시한 도면.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 이온화된 과산화수소 에어로졸을 생성하기 위한 면 플라즈마 장치에 적용되는 면 전극 형태의 플라즈마 전극의 구성을 도시한 도면.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 이온화된 과산화수소 에어로졸을 생성하기 위한 면 플라즈마 장치를 통해 분산되는 이온화된 활성산소종을 포함한 양(+)극의 물방울 구성을 도시한 도면.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 이온화된 과산화수소 에어로졸을 생성하기 위한 면 플라즈마 장치의 플라즈마 전극의 구성을 설명하기 위해 도시한 도면.
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Figure 1 is a functional block diagram of a configuration of a surface plasma apparatus for generating an ionized hydrogen peroxide aerosol according to one embodiment of the present invention.
2 is a view showing a configuration of a surface electrode type plasma electrode applied to a surface plasma apparatus for producing an ionized hydrogen peroxide aerosol according to an embodiment of the present invention.
Figure 3 illustrates a positive (+) pole droplet configuration comprising ionized reactive oxygen species dispersed through a cotton plasma apparatus to produce an ionized hydrogen peroxide aerosol according to one embodiment of the present invention.
4 is a view illustrating a configuration of a plasma electrode of a surface plasma apparatus for generating an ionized hydrogen peroxide aerosol according to an embodiment of the present invention;

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있도록 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 다만, 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 유사한 기능 및 작용을 하는 부분에 대해서는 도면 전체에 걸쳐 동일한 부호를 사용한다.
Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, in order that those skilled in the art can easily carry out the present invention. In the following detailed description of the preferred embodiments of the present invention, a detailed description of known functions and configurations incorporated herein will be omitted when it may make the subject matter of the present invention rather unclear. In the drawings, like reference numerals are used throughout the drawings.

덧붙여, 명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 ‘연결’ 되어 있다고 할 때, 이는 ‘직접적으로 연결’ 되어 있는 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 소자를 사이에 두고 ‘간접적으로 연결’ 되어 있는 경우도 포함한다. 또한, 어떤 구성요소를 ‘포함’ 한다는 것은, 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있다는 것을 의미한다.
In addition, in the entire specification, when a part is referred to as being 'connected' to another part, it may be referred to as 'indirectly connected' not only with 'directly connected' . Also, to "include" an element means that it may include other elements, rather than excluding other elements, unless specifically stated otherwise.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 이온화된 과산화수소 에어로졸을 생성하기 위한 면 플라즈마 장치의 구성을 기능블록으로 도시한 도면이고, 도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 이온화된 과산화수소 에어로졸을 생성하기 위한 면 플라즈마 장치에 적용되는 면 전극 형태의 플라즈마 전극의 구성을 도시한 도면이며, 도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 이온화된 과산화수소 에어로졸을 생성하기 위한 면 플라즈마 장치를 통해 분산되는 이온화된 활성산소종을 포함한 양(+)극의 물방울 구성을 도시한 도면이고, 도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 이온화된 과산화수소 에어로졸을 생성하기 위한 면 플라즈마 장치의 플라즈마 전극의 구성을 설명하기 위해 도시한 도면이다. 도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일실시예에 따른 이온화된 과산화수소 에어로졸을 생성하기 위한 면 플라즈마 장치(100)는, 과산화수소 용액 저장 공급부(110), 에어 공급부(120), 분무 장치부(130), 플라즈마 발생 장치부(140), 및 플라즈마 전원공급부(150)를 포함하여 구성될 수 있다.
FIG. 1 is a functional block diagram illustrating a configuration of a surface plasma apparatus for generating an ionized hydrogen peroxide aerosol according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a cross-sectional view of an ionized hydrogen peroxide aerosol produced according to an embodiment of the present invention FIG. 3 is a cross-sectional view showing the structure of a surface electrode type plasma electrode applied to a surface plasma apparatus for ionized hydrogen peroxide aerosol according to an embodiment of the present invention. FIG. 4 is a view showing a water droplet configuration of a positive electrode including an active oxygen species, and FIG. 4 is a graph showing the structure of a plasma electrode of a surface plasma apparatus for producing an ionized hydrogen peroxide aerosol according to an embodiment of the present invention Fig. 1, a cotton plasma apparatus 100 for producing an ionized hydrogen peroxide aerosol according to an embodiment of the present invention includes a hydrogen peroxide solution storage and supply unit 110, an air supply unit 120, a spray device unit 130, a plasma generator unit 140, and a plasma power supply unit 150.

과산화수소 용액 저장 공급부(110)는, 과산화수소 용액을 저장하고 공급하기 위한 구성이다. 이러한 과산화수소 용액 저장 공급부(110)는 실험실, 우수의약품 제조시설(GMP), 동물 사육 시설, 생물학적 안전 등급(BSL 3등급)의 생물 안전과, 식품 및 제약 등의 무균 조제 및 제조 시설에서 내부 실험실 및 생산 룸의 멸균을 위해 사용하기 위한 세척 용액으로서 과산화수소 용액을 저장 및 공급하되, 사용되는 과산화수소 액은 일반적인 노출에 있어서도 안전한 0.5 ~ 7.5%의 저 농도 과산화수소를 사용한다. 여기서, 0.5 ~ 7.5%의 저 농도 과산화수소는 약국에서 처방 없이 판매되는 약의 농도와 유사하며, 일반적 노출에 있어 안전하고, 일반 노출이 되어도 건강상으로는 아무런 위험이 없는 농도이다. 참고로, 8% 이상의 과산화수소는 위험물질로 구분되고 있다.
The hydrogen peroxide solution storage and supply unit 110 is a structure for storing and supplying the hydrogen peroxide solution. This hydrogen peroxide solution storage and supply unit 110 can be used in a laboratory, an excellent medicine manufacturing facility (GMP), an animal breeding facility, a biological safety level of a biological safety grade (BSL grade 3) Hydrogen peroxide solution is stored and supplied as a cleaning solution for sterilization of the production room. The hydrogen peroxide solution used is a low concentration hydrogen peroxide of 0.5 to 7.5%, which is safe for general exposure. Here, a low concentration of hydrogen peroxide (0.5 to 7.5%) is similar to that of a prescription-free drug in a pharmacy and is safe at normal exposures and has no health hazard at normal exposures. For reference, more than 8% of hydrogen peroxide is classified as dangerous.

에어 공급부(120)는, 에어 펌프(121)를 구비하며, 외부 에어를 유입하여 가압된 에어를 공급하기 위한 구성이다. 이러한 에어 공급부(120)는 후술하게 될 분무 장치부(130)에 가압된 에어를 공급하게 됨으로써, 분무 노즐(131)을 통해 분무되어지는 과산화수소 및 이온 입자 사이즈를 더욱 미세한 입자 크기로 분무가 이루어지도록 한다.
The air supply unit 120 includes an air pump 121, and is configured to supply the pressurized air by introducing external air. The air supply unit 120 supplies the pressurized air to the spray unit 130 to be described later so that the hydrogen peroxide and the ion particle size sprayed through the spray nozzle 131 are sprayed with a finer particle size do.

분무 장치부(130)는, 분무 노즐(131)을 구비하며, 과산화수소 용액 저장 공급부(110)와 에어 공급부(120)로부터 과산화수소 용액과 가압된 에어를 공급받아 분무 노즐(131)을 통해 연무 형태로 과산화수소 용액을 분무하기 위한 구성이다. 이러한 분무 장치부(130)는 공급받은 과산화수소 용액과 가압된 에어를 이용하여 연무 형태로 과산화수소 용액을 분무 노즐(131)을 통해 분무하고, 플라즈마 전극(141)의 면 전극 전체로 확대되어 접촉되도록 한다. 여기서, 분무 장치부(130)는 분무 노즐(131)을 통해 분무되는 과산화수소 및 이온 입자의 크기는 0.3 ~ 3 micron의 크기를 가지도록 구성할 수 있다. 이때, 분무 장치부(130)의 분무 노즐(131)은 후술하게 될 플라즈마 발생 장치부(140)의 면 전극 형태의 플라즈마 전극(141)에 대응하는 선형노즐 형태로 구성됨이 바람직하나, 이에 제한을 두지는 않으며, 단일 노즐 또는 제트 노즐을 포함한 다양한 형태가 적용되는 것으로 이해될 수 있다.
The spray device unit 130 includes a spray nozzle 131. The spray device unit 130 receives the hydrogen peroxide solution and the pressurized air from the hydrogen peroxide solution storage and supply unit 110 and the air supply unit 120, Hydrogen peroxide solution. The sprayer unit 130 sprays the hydrogen peroxide solution through the spray nozzle 131 in the form of mist using the supplied hydrogen peroxide solution and the pressurized air and enlarges and contacts the entire surface electrode of the plasma electrode 141 . Here, the size of the hydrogen peroxide and ion particles sprayed through the spray nozzle 131 may be 0.3 to 3 microns. At this time, it is preferable that the spray nozzle 131 of the spray device unit 130 is formed in the shape of a linear nozzle corresponding to the plasma electrode 141 of the surface electrode type of the plasma generating device unit 140 to be described later, It is understood that various shapes including a single nozzle or a jet nozzle are applied.

플라즈마 발생 장치부(140)는, 분무 장치부(130)의 분무 노즐(131)에 근접하여 설치되며, 연무 형태로 분무되는 과산화수소가 이온화된 과산화수소 에어로졸(IHPA; Ionized Hydrogen Peroxide Aerosol) 형태로 분산되도록 플라즈마 방전을 발생시키기 위한 플라즈마 전극(141)을 구비하는 구성이다. 이러한 플라즈마 발생 장치부(140)는 분무 노즐(131)로부터 분무되는 과산화수소 용액의 물방울 연무와 플라즈마 접촉 면적이 넓어지고, 평탄한 플라즈마 방전이 발생될 수 있도록 플라즈마 전극(141)을 마주하는 한 쌍의 면 전극 형태로 구성할 수 있다. 여기서, 플라즈마 발생 장치부(140)는 17,000 볼트의 플라즈마 방전을 발생시켜, 분무 장치부(130)의 분무 노즐(131)을 통해 분무되는 과산화수소 연무가 이온화된 과산화수소 에어로존(IHPA)으로 룸 내에 빠르게 확산되도록 할 수 있다. 즉, 플라즈마 발생 장치부(140)는 면 전극 형태의 플라즈마 전극(141)에 생성된 플라즈마 방전을 통해 이온화된 과산화수소 분자를 생성시키고, 그물 형태의 강한 양전하 장을 생성하며, 에너지 장을 통하여 멸균을 위한 룸 내부로 이동이 가능하게 한다. 이와 같이, 이온화된 과산화수소 에어로존(IHPA)은 OH-, H+, O2-로 이온화되어, 룸 내의 멸균을 처리하게 되고, 이온 처리되지 않은 입자는 분해되거나 공기 중으로 사라지게 된다. 과산화수소를 통해 이온화된 과산화수소 에어로존(IHPA)에서 살균에 직접 관여하는 이온은 수산화 이온(OH-, 일명 Hydroxyl Radical)이며, 그와 동반하여 활성 산소(O2-, Radical Oxygen)가 지질, 단백질, DNA 등 세포 구성 물질을 멸균 처리하게 된다.
The plasma generator 140 is installed in the vicinity of the spray nozzle 131 of the sprayer 130 so that the hydrogen peroxide sprayed in the mist form is dispersed in the form of ionized hydrogen peroxide aerosol (IHPA) And a plasma electrode 141 for generating a plasma discharge. The plasma generator 140 includes a pair of planes 141 facing the plasma electrode 141 so that the droplet mist of the hydrogen peroxide solution sprayed from the spray nozzle 131 and the plasma contact area are widened and a flat plasma discharge is generated. It can be configured in the form of an electrode. The plasma generator 140 generates a plasma discharge of 17,000 volts so that the hydrogen peroxide aerosol sprayed through the spray nozzle 131 of the sprayer unit 130 is ionized and hydrogen peroxide aerosol (IHPA) To be diffused. That is, the plasma generator 140 generates ionized hydrogen peroxide molecules through the plasma discharge generated in the plasma electrode 141 in the form of a surface electrode, generates a strong positive charge field in the form of a net, To the inside of the room. Thus, the ionized hydrogen peroxide aerosol (IHPA) is ionized to OH-, H +, O2-, to treat the sterilization in the room, and the un-ionized particles are decomposed or disappear into the air. The ion that is directly involved in sterilization in the hydrogen peroxide aerosol (IHPA) ionized through hydrogen peroxide is hydroxide ion (OH-, aka Hydroxyl Radical), and the active oxygen (O2-, Radical Oxygen) And the sterilizing treatment of the cell-forming material.

플라즈마 전원공급부(150)는, 플라즈마 발생 장치부(140)에서 플라즈마 방전을 일으킬 수 있도록 플라즈마 발생 장치부(140)의 면 전극 형태의 플라즈마 전극(141)으로 전원을 공급하기 위한 구성이다.
The plasma power supply unit 150 is configured to supply power to the plasma electrode 141 in the form of a surface electrode of the plasma generator unit 140 so as to cause a plasma discharge in the plasma generator unit 140.

도 2는 플라즈마 발생 장치부(140)에 구비되는 플라즈마 전극(141)의 면 전극 형태의 구성을 나타내고 있다. 도 3은 본 발명의 면 플라즈마 장치(100)를 통해 분산되는 이온화된 활성산소종을 포함한 양(+)극의 물방울 구성을 나타낸다. 즉, 도 3에 도시된 바와 같이, 플라즈마 발생 장치부(140)의 면 전극 형태의 플라즈마 전극(141)을 통해 플라즈마 에너지를 받은 물방물의 내부 과산화수소는 활성산소종(ROS)으로 이온화되고, 물방울 자체는 양전하화 된다. 도 4의 (a)는 플라즈마 전극(141)을 마주하는 한 쌍의 면 전극 형태의 구성으로 나타내고 있으며, 도 4의 (b)는 도 4의 (a)의 면 전극 형태의 플라즈마 전극(141)에 대비되는 종래의 막대 전극 형태의 구성을 나타내고 있다. 즉, 기존의 막대 전극 방식의 대기압 플라즈마 방식은 물방울과 플라즈마의 접촉 면적이 좁아 이온화 효율 및 IHPA 량을 늘이는데 제약이 따르는 문제가 있다. 이에 반해 본 발명은 플라즈마 전극(141)을 면 전극 형태로 구성함으로써, 평탄한 플라즈마 방전이 발생되고, 물방울 연무와 플라즈마 접촉면을 넓혀 과산화수소의 이온화 효율 및 IHPA 량을 늘일 수 있도록 할 수 있다.
2 shows a configuration of the surface electrode type of the plasma electrode 141 provided in the plasma generating device unit 140. In FIG. FIG. 3 shows a positive (+) pole configuration including ionized reactive oxygen species dispersed through the cotton plasma apparatus 100 of the present invention. 3, the internal hydrogen peroxide in the water that receives the plasma energy through the plasma electrode 141 in the form of the surface electrode of the plasma generator 140 is ionized into reactive oxygen species (ROS), and the water droplet itself Is positively charged. 4 (a) shows a pair of surface electrodes facing the plasma electrode 141, and FIG. 4 (b) shows a surface electrode type plasma electrode 141 of FIG. 4 (a) Which is a conventional bar electrode type configuration. That is, the conventional bar electrode type atmospheric pressure plasma method has a problem that the contact area between the water droplet and the plasma is narrow, thereby increasing the ionization efficiency and the amount of IHPA. On the other hand, according to the present invention, a flat plasma discharge is generated by forming the plasma electrode 141 in the form of a surface electrode, and the ionization efficiency and the amount of IHPA of the hydrogen peroxide can be increased by enlarging the water droplet mist and the plasma contact surface.

상술한 바와 같이 본 발명의 일실시예에 따른 이온화된 과산화수소 에어로졸을 생성하기 위한 면 플라즈마 장치는 기존의 막대 전극 방식의 대기압 플라즈마 방식이 갖는 분무 물방울과 플라즈마의 접촉 면적이 좁은 문제를 개선할 수 있도록 플라즈마 전극을 면 전극의 형태로 구성하여 플라즈마 접촉면적을 넓혀 효율을 높일 수 있도록 하고, 플라즈마 전극의 면 전극 형태를 이용한 평탄한 플라즈마 방전이 발생되도록 하며, 이를 통한 물방울 연무와 플라즈마 접촉면의 증대를 통한 과산화수소의 이온화 효율 및 IHPA 량이 증대될 수 있도록 하는 등의 성능 개선이 가능하도록 한다.
As described above, the surface plasma apparatus for generating the ionized hydrogen peroxide aerosol according to an embodiment of the present invention can improve the narrow contact area between the spray droplet and the plasma of the conventional bar electrode type atmospheric pressure plasma system A plasma electrode is formed in the form of a surface electrode to increase the efficiency of the plasma by increasing the contact area of the plasma and to generate a flat plasma discharge using the shape of the surface electrode of the plasma electrode and to generate hydrogen peroxide So that the ionization efficiency and the amount of IHPA can be increased.

이상 설명한 본 발명은 본 발명이 속한 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 다양한 변형이나 응용이 가능하며, 본 발명에 따른 기술적 사상의 범위는 아래의 특허청구범위에 의하여 정해져야 할 것이다.The present invention may be embodied in many other specific forms without departing from the spirit or essential characteristics and scope of the invention.

100: 본 발명의 일실시예에 따른 면 플라즈마 장치
110: 과산화수소 용액 저장 공급부 120: 에어 공급부
121: 에어 펌프 130: 분무 장치부
131: 분무 노즐 140: 플라즈마 발생 장치부
141: 플라즈마 전극(면 전극) 150: 플라즈마 전원공급부
100: A cotton plasma apparatus according to an embodiment of the present invention
110: hydrogen peroxide solution storage supply part 120: air supply part
121: Air pump 130: Spraying unit
131: Spray nozzle 140: Plasma generator unit
141: Plasma electrode (surface electrode) 150: Plasma power supply

Claims (4)

이온화된 과산화수소 에어로졸(IHPA)을 생성하기 위한 면 플라즈마 장치(100)로서,
과산화수소 용액을 저장하고 공급하기 위한 과산화수소 용액 저장 공급부(110);
에어 펌프(121)를 구비하며, 외부 에어를 유입하여 가압된 에어를 공급하기 위한 에어 공급부(120);
분무 노즐(131)을 구비하며, 상기 과산화수소 용액 저장 공급부(110)와 상기 에어 공급부(120)로부터 과산화수소 용액과 가압된 에어를 공급받아 상기 분무 노즐(131)을 통해 연무 형태로 과산화수소 용액을 분무하기 위한 분무 장치부(130);
상기 분무 장치부(130)의 분무 노즐(131)에 근접하여 설치되며, 연무 형태로 분무되는 과산화수소가 이온화된 과산화수소 에어로졸(IHPA) 형태로 분산되도록 플라즈마 방전을 발생시키기 위한 플라즈마 전극(141)을 구비하는 플라즈마 발생 장치부(140); 및
상기 플라즈마 발생 장치부(140)에서 플라즈마 방전을 일으킬 수 있도록 상기 플라즈마 발생 장치부(140)의 플라즈마 전극(141)으로 전원을 공급하기 위한 플라즈마 전원공급부(150)를 포함하되,
상기 플라즈마 발생 장치부(140)는,
상기 분무 노즐(131)로부터 분무되는 과산화수소 용액의 물방울 연무와 플라즈마 접촉 면적이 넓어지고, 평탄한 플라즈마 방전이 발생될 수 있도록 상기 플라즈마 전극(141)을 마주하는 한 쌍의 면 전극 형태로 구성하고,
상기 분무 장치부(130)의 분무 노즐(131)은,
상기 플라즈마 발생 장치부(140)의 면 전극 형태의 플라즈마 전극(141)에 대응하는 선형노즐 형태로 구성하는 것을 특징으로 하는, 이온화된 과산화수소 에어로졸을 생성하기 위한 면 플라즈마 장치.
A cotton plasma apparatus (100) for producing an ionized hydrogen peroxide aerosol (IHPA)
A hydrogen peroxide solution storage and supply unit 110 for storing and supplying the hydrogen peroxide solution;
An air supply unit 120 having an air pump 121 for supplying external air and supplying pressurized air;
The hydrogen peroxide solution is supplied from the hydrogen peroxide solution storage and supply unit 110 and the air supply unit 120 and sprayed with the hydrogen peroxide solution in the form of mist through the spray nozzle 131, A sprayer unit 130 for spraying the water;
A plasma electrode 141 is provided in proximity to the spray nozzle 131 of the spray device unit 130 and generates a plasma discharge so that hydrogen peroxide sprayed in a mist form is dispersed in the form of ionized hydrogen peroxide aerosol (IHPA) A plasma generator 140 for generating plasma; And
And a plasma power supply unit 150 for supplying power to the plasma electrode 141 of the plasma generator unit 140 to cause a plasma discharge in the plasma generator unit 140,
The plasma generator 140 includes:
A pair of surface electrodes facing the plasma electrode 141 are formed so as to increase the contact area of the droplet of the hydrogen peroxide solution sprayed from the spray nozzle 131 and the plasma contact area and to generate a flat plasma discharge,
The spray nozzle 131 of the spray device unit 130 is connected to the spray nozzle 130,
Characterized in that it is configured in the form of a linear nozzle corresponding to a plasma electrode (141) in the form of a face electrode of the plasma generating device part (140).
제1항에 있어서, 상기 과산화수소 용액 저장 공급부(110)는,
과산화수소 용액을 저장 및 공급하되, 사용되는 과산화수소 용액은 일반적인 노출에 있어서도 안전한 0.5 ~ 7.5%의 저 농도 과산화수소를 사용하는 것을 특징으로 하는, 이온화된 과산화수소 에어로졸을 생성하기 위한 면 플라즈마 장치.
The method of claim 1, wherein the hydrogen peroxide solution storage and supply unit (110)
Characterized in that the hydrogen peroxide solution used is stored and supplied with a hydrogen peroxide solution with a low concentration of hydrogen peroxide of 0.5 to 7.5% which is also safe for normal exposure.
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 분무 장치부(130)는,
상기 분무 노즐(131)을 통해 분무되는 과산화수소 및 이온 입자의 크기는 0.3 ~ 3 micron의 크기를 가지는 것을 특징으로 하는, 이온화된 과산화수소 에어로졸을 생성하기 위한 면 플라즈마 장치.
[3] The apparatus according to claim 1 or 2, wherein the atomizer unit (130)
Characterized in that the size of the hydrogen peroxide and ion particles sprayed through the spray nozzle (131) has a size of 0.3 to 3 microns.
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