KR101864513B1 - Manufacturing device of composite metal particle and method of preparing the same - Google Patents

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Abstract

Provided are a metal composite particle production apparatus and a manufacturing method thereof. The present invention can produce the metal composite particle of uniform size by using microwaves and microwaves which are classified according to the size of a hybrid droplet. Further, the present invention is widely applicable to bio-functional materials which can be applied in a medical health field, including production of catalyst particles for energy synthesis or for environmental purification.

Description

금속복합체 입자 제조장치 및 제조방법{MANUFACTURING DEVICE OF COMPOSITE METAL PARTICLE AND METHOD OF PREPARING THE SAME}TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to a metal composite particle manufacturing apparatus and a manufacturing method thereof. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0002]

본 발명은 금속복합체 입자 제조장치 및 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus and a method for manufacturing a metal composite particle.

코어-쉘 나노 입자는 중심에 존재하는 코어 물질을 쉘을 형성하는 물질이 둘러싼 구조로 이루어져있다. 이러한 구조를 갖는 코어-쉘 나노입자는 2가지 이상의 물질이 단순히 혼합되어 있는 경우나, 합금으로 존재하는 경우와 구분되며, 각각의 코어와 쉘에 어떤 특성을 갖는 물질을 사용하는가에 따라서, 적어도 2가지 이상의 특성을 나타내는 복합 기능의 나노소재를 제공할 수 있어, 금속-금속, 금속-세라믹, 금속-유기물, 유기물-유기물 구조를 비롯한 다양한 조합에 의한 코어-쉘 구조의 나노입자에 대한 연구개발이 이루어지고 있다.The core-shell nanoparticles consist of the core material in the center and the shell-forming material surrounding it. The core-shell nanoparticles having such a structure are distinguished from the case where two or more materials are simply mixed or existing as an alloy, and depending on whether a material having a specific property is used for each core and shell, at least two The research and development of nanoparticles of core-shell structure by various combinations including metal-metal, metal-ceramic, metal-organic, organic-organic structure can be provided. .

일반적으로 나노 금속복합체는 에너지환경 및 의료보건 분야 등 광범위하게 활용 가능 하여 요구가 증대 되고 있는 실정이다. 이에 따라 다양한 제조방법이 개발되고 있으나, 대부분 물리화학적 공정(Physicochemical Process Under Critical Operation Condition) 또는 액상화학공정(Liquid Chemical Process)에 한정되고 있다.In general, nano metal complexes can be widely used in the fields of energy environment and medical health, and the demand is increasing. Accordingly, various manufacturing methods have been developed, but most of them are limited to physicochemical process under critical operating condition or liquid chemical process.

종래의 경우, 액상 화학공정 또는 임계조건에 기반한 공정이 반드시 수반되어야 하므로 공정이 복잡하고 고비용이 소모되고, 폐수, 폐기물 등의 유해성분이 발생되어 친환경적이지 못할 뿐만 아니라 연속적인 처리에 한계가 있는 문제점이 있다.Conventionally, there is a problem that the process is complicated, the cost is high, the harmful components such as wastewater and waste are generated due to the necessity of the liquid chemical process or the process based on the critical condition, have.

KR 등록 제10-0860590호KR Registration No. 10-0860590

본 발명은 하이브리드 액적이 크기에 따라 분류되는 미세유로 및 마이크로파를 이용하여, 균일한 크기의 금속복합체 입자를 제조할 수 있고, 에너지 합성용 또는 환경정화용 촉매입자 제조를 포함하여, 의료보건 분야에 적용될 수 있는 생기능성 물질에 이르는 광범위하게 활용 가능한 금속복합체 입자 제조장치 및 제조방법을 제공한다.INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention can produce metal composite particles of uniform size using micro flow paths and microwaves classified according to the size of the hybrid droplet and can be applied to the medical health field including the production of catalyst particles for energy synthesis or environmental purification The present invention provides an apparatus and a method for manufacturing a metal composite particle which can be widely used for bio-functional materials.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 코어 금속 입자를 생성하는 코어 입자 생성부; 상기 코어 금속 입자의 흐름에, 금속 전구체 물질을 포함하는 액체를 분사하여, 하이브리드 액적을 생성하도록 마련된 액적 생성부; 상기 액적 생성부에서 생성된 하이브리드 액적을 크기에 따라 분류하여, 소정 크기 범위 내의 하이브리드 액적을 배출시키도록 마련된 분류부; 및 상기 분류부에서 배출된 상기 하이브리드 액적에 마이크로파를 인가하기 위한 마이크로파 가열부를 포함하는, 금속 복합체 입자 제조장치를 제공한다.According to an embodiment of the present invention, there is provided a core particle generator comprising: a core particle generator for generating core metal particles; A droplet generation unit configured to generate a hybrid droplet by jetting a liquid containing a metal precursor material into the flow of the core metal particles; A sorting unit arranged to classify the hybrid droplets generated by the droplet generating unit according to sizes and to discharge hybrid droplets within a predetermined size range; And a microwave heating unit for applying a microwave to the hybrid droplet discharged from the separating unit.

또한, 상기 코어 금속 입자 생성부는, 스파크 용발(Spark Ablation), 화염, 고온로 및 분사 건조 장치로 이루어진 군에서 선택되는 어느 하나일 수 있다.The core metal particle generating unit may be any one selected from the group consisting of spark ablation, flame, high temperature furnace, and spray drying apparatus.

또한, 상기 코어 금속 입자는 금(Au), 팔라듐(Pd), 백금(Pt), 은(Ag)을 포함한 전이금속(Transition Metals), 희토류 금속(Rare-Earth Metals), 다른 금속(Other Metals) 및 비금속(Non-Metals)으로 이루어진 군으로부터 선택되는 하나 이상을 포함할 수 있다.The core metal particles may be formed of transition metals including rare earth metals such as gold (Au), palladium (Pd), platinum (Pt), silver (Ag) (Non-Metals).

또한, 상기 액적 생성부는, 분무 또는 액적미립화(Atomization) 방식으로 상기 코어 금속 입자와 액체를 분무할 수 있다.The droplet generating unit may spray the liquid with the core metal particles by a spraying or droplet atomization method.

또한, 상기 액체는 금속 전구체 물질의 환원제 및 용매를 포함할 수 있다.In addition, the liquid may comprise a reducing agent and a solvent of the metal precursor material.

또한, 상기 용매는 물, 알코올, 탄화수소, 산-염기 및 오일로 이루어진 군으로부터 선택되는 하나 이상을 포함할 수 있다.In addition, the solvent may include at least one member selected from the group consisting of water, alcohol, hydrocarbon, acid-base and oil.

또한, 상기 하이브리드 액적은, 내부에 상기 코어 금속 입자가 형성되고, 외부에 상기 액체가 둘러싸는 구조를 이룰 수 있다.In addition, the hybrid droplet may have a structure in which the core metal particles are formed inside and the liquid surrounds the outside.

또한, 상기 금속 전구체 물질은, 상기 코어 금속 입자와 다른 금속일 수 있다.In addition, the metal precursor material may be a metal other than the core metal particles.

또한, 상기 분류부는, 크기에 따라 하이브리드 액적의 유동이 분류되는 서로 다른 방향의 복수 개의 미세 유로를 포함할 수 있다.In addition, the classifier may include a plurality of micro flow paths in different directions in which the flow of the hybrid droplet is classified according to the size.

또한, 상기 마이크로파 가열부는, 상기 하이브리드 액적이 유동하는 유동 채널을 포함하고, 상기 유동 채널에는, 시스(Sheath)가스로서 공기(Air), 질소(N2), 수소(H2), 헬륨(He), 아르곤(Ar), 산소(O2) 및 이들의 혼합으로 이루어진 군으로부터 선택되는 하나 이상이 주입될 수 있다.The microwave heating unit may include a flow channel through which the hybrid droplet flows, and air, nitrogen (N2), hydrogen (H2), helium (He) At least one selected from the group consisting of argon (Ar), oxygen (O2), and a mixture thereof may be implanted.

또한, 상기 마이크로파 가열부의 주파수는 0.5 내지 500 MHz로 인가될 수 있다.Also, the frequency of the microwave heating unit may be 0.5 to 500 MHz.

또한, 상기 마이크로파 가열부는 유동 채널 내 마이크로파 조사 집중도가 조절되도록 마련될 수 있다.In addition, the microwave heating unit may be arranged to control microwave irradiation concentration in the flow channel.

한편, 본 발명의 다른 실시예에 따르면, 코어 금속 입자를 생성하는 단계; 상기 코어 금속 입자의 흐름에 금속 전구체 물질을 포함하는 액체를 분사하여, 하이브리드 액적을 생성하는 단계; 상기 하이브리드 액적을 크기에 따라 분류하여, 소정 크기 범위 내의 상기 하이브리드 액적을 배출시키도록 마련된 분류부를 통과하는 단계; 상기 분류부에서 배출된 상기 하이브리드 액적에 마이크로파를 인가하는 단계; 를 포함하는 금속 복합체 입자 제조방법을 제공한다.According to another embodiment of the present invention, there is provided a method of manufacturing a core metal particle, Spraying a liquid comprising a metal precursor material into the stream of core metal particles to produce a hybrid droplet; Passing the hybrid droplet by size and passing through a separator arranged to discharge the hybrid droplet within a predetermined size range; Applying a microwave to the hybrid droplet discharged from the separator; And a metal complex particle.

또한, 상기 상기 코어 금속 입자를 생성하는 단계는, 스파크 용발(Spark Ablation), 화염, 고온로 및 분사 건조 장치로 이루어진 군에서 선택되는 어느 하나를 이용하여 생성할 수 있다.The step of forming the core metal particles may be performed using any one selected from the group consisting of spark ablation, flame, high temperature furnace, and spray drying apparatus.

또한, 상기 하이브리드 액적을 생성하는 단계는, 분무 또는 액적미립화(Atomization) 방식으로 상기 코어 금속 입자와 금속 전구체 물질을 포함하는 액체를 분무하여 생성할 수 있다.In addition, the step of generating the hybrid droplet may be performed by spraying a liquid containing the core metal particles and the metal precursor material by spraying or droplet atomization.

또한, 상기 하이브리드 액적은, 내부에 상기 코어 입자가 형성되고, 외부에 상기 액체가 둘러싸는 구조를 이룰 수 있다.In addition, the hybrid droplet may have a structure in which the core particles are formed inside and the liquid surrounds the outside.

또한, 상기 마이크로파를 인가하는 단계에서, 마이크로파 조사 집중도가 조절될 수 있다.Further, in the step of applying the microwave, the microwave irradiation concentration can be adjusted.

예시적인 본 발명의 금속복합체 입자 제조장치 및 제조방법에 의하면 균일한 크기의 금속복합체 입자를 제조할 수 있고, 에너지 합성용 또는 환경정화용 촉매입자 제조를 포함하여, 의료보건 분야에 적용될 수 있는 생기능성 물질에 이르는 광범위하게 활용 가능한 금속복합체 입자를 제조할 수 있다.Exemplary embodiments of the apparatus and method for producing a metal composite particle of the present invention can produce metal composite particles of uniform size and can be used for bio- It is possible to produce widely available metal composite particles.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 금속복합체 입자 제조 장치를 모식적으로 나타낸 도면이다.
도 2는 본 발명의 코어 입자 생성부의 일 실시예인 스파크 방전을 나타낸 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 하이브리드 액적 제조 장치를 나타낸 모식도이다.
도 4 및 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 미세유로 분배부를 나타낸 모식도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 미세유로채널을 나타낸 모식도이다.
1 is a view schematically showing an apparatus for manufacturing a metal composite particle according to an embodiment of the present invention.
2 is a view showing a spark discharge which is an embodiment of the core particle generator of the present invention.
3 is a schematic diagram showing an apparatus for manufacturing a hybrid droplet according to an embodiment of the present invention.
FIGS. 4 and 5 are schematic views illustrating a micro-channel distributor according to an embodiment of the present invention.
6 is a schematic view illustrating a microchannel channel according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 일 실시예를 상세히 설명하도록 한다. 이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Prior to this, terms and words used in the present specification and claims should not be construed as limited to ordinary or dictionary terms, and the inventor should appropriately interpret the concepts of the terms appropriately It should be interpreted in accordance with the meaning and concept consistent with the technical idea of the present invention based on the principle that it can be defined.

또한, 도면 부호에 관계없이 동일하거나 대응되는 구성요소는 동일 또는 유사한 참조번호를 부여하고 이에 대한 중복 설명은 생략하기로 하며, 설명의 편의를 위하여 도시된 각 구성 부재의 크기 및 형상은 과장되거나 축소될 수 있다.In addition, the same or corresponding reference numerals are given to the same or corresponding reference numerals regardless of the reference numerals, and redundant description thereof will be omitted. For convenience of explanation, the size and shape of each constituent member shown in the drawings are exaggerated or reduced .

따라서, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형 예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.Therefore, the embodiments described in this specification and the configurations shown in the drawings are merely the most preferred embodiments of the present invention and do not represent all the technical ideas of the present invention. Therefore, It is to be understood that equivalents and modifications are possible.

본 발명은 금속복합체 입자 제조장치 및 그 제조방법에 관한 것이다. 예시적인 본 발명의 금속복합체 입자 제조장치에 의하면 균일한 크기의 금속복합체 입자를 제조할 수 있고, 에너지 합성용 또는 환경정화용 촉매입자 제조를 포함하여, 의료보건 분야에 적용될 수 있는 생기능성 물질에 이르는 광범위하게 활용 가능한 금속복합체 입자를 제조할 수 있다. TECHNICAL FIELD The present invention relates to an apparatus for producing metal composite particles and a manufacturing method thereof. According to the exemplary metal composite particle production apparatus of the present invention, it is possible to produce metal composite particles of uniform size, and it is possible to produce a metal composite particle of uniform size, which can be used for energy synthesis or environmental purification, Widely available metal composite particles can be produced.

본 출원에서 사용되는 용어 「스파크 방전」은 상압에서 kV-mA 모드로 수행되는 고주파 방전 방식을 의미하는 것으로, 예를 들어, 0.5 내지 500kHz로 인가되는 것을 의미할 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 또한, 본 출원에서 용어 「나노」는 나노미터(nm) 단위의 크기로서, 예를 들면, 1 nm 내지 1000 nm의 크기를 의미할 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 또한, 본 출원에서 용어 「에어로졸 입자」 또는 「코어 금속 입자」, 「나노 입자」는 나노미터(nm) 단위의 크기, 예를 들면, 1nm 내지 1000 nm의 평균 입경을 갖는 입자를 의미할 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.The term " spark discharge " used in the present application means a high-frequency discharge method performed in the kV-mA mode at atmospheric pressure. For example, the spark discharge may be applied at 0.5 to 500 kHz, but is not limited thereto. The term " nano " in this application is meant to indicate a size in nanometers (nm), for example, a size of 1 nm to 1000 nm, but is not limited thereto. The term " aerosol particles " or " core metal particles ", " nanoparticles " in the present application may mean particles having a size in nanometers (nm), for example, an average particle size of 1 nm to 1000 nm , But is not limited thereto.

도 1은 본 발명의 예시적인 금속복합체 입자 제조장치를 모식적으로 나타낸 도면이다BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a schematic view of an exemplary metal composite particle production apparatus of the present invention

도 1에 나타낸 바와 같이, 본 발명의 금속복합체 입자 제조장치(10)는 코어 금속 입자를 생성하는 코어 입자 생성부(100), 상기 코어 금속 입자(510)의 흐름에, 금속 전구체 물질을 포함하는 액체(520)를 분사하여, 하이브리드 액적(530)을 생성하도록 마련된 액적 생성부(200), 상기 액적 생성부에서 생성된 하이브리드 액적을 배출시키도록 마련된 분류부(300), 및 상기 분류부에서 배출된 상기 하이브리드 액적에 마이크로파를 인가하기 위한 마이크로파 가열부(400)를 포함한다.1, the apparatus 10 for producing a metal composite particle of the present invention comprises a core particle producing portion 100 for producing core metal particles, A droplet generating unit 200 configured to jet the liquid 520 to generate a hybrid droplet 530, a classifying unit 300 configured to discharge the hybrid droplet generated in the droplet generating unit, And a microwave heating unit 400 for applying a microwave to the hybrid droplet.

여기서, 본 발명의 금속 복합체 입자는, 상기 코어 입자 생성부(100) 및 액적 생성부(200)를 통해 생성된 내부는 금속입자(510)와 외부는 내부와 다른 금속 전구체 물질(521) 및 환원제를 포함하는 용매(522)로 구성되는 하이브리드 액적(530)이 마이크로파에 의해 상기 금속 전구체 물질이 환원됨으로써 내외부가 서로 다른 금속으로 이루어지는 금속 복합체 입자(500)를 생성할 수 있다.The metal composite particle of the present invention is characterized in that the interior generated through the core particle generator 100 and the droplet generator 200 is composed of metal particles 510 and a metal precursor material 521, The metal droplet 530 composed of the solvent 522 containing the metal precursor 530 is reduced by the microwave to produce the metal composite particles 500 in which the inside and the outside are made of different metals.

상기 코어 입자 생성부(100)는, 본 발명의 하이브리드 액적(Hybrid Droplet, 530)의 내부 입자인 코어 금속 입자(510)를 생성시키기 위한 부분으로서, 그 내부가 에어로졸 금속 입자(Aerosol Metal Particle, 510)가 구성되도록 입자를 생성할 수 있다.The core particle generator 100 is a part for generating the core metal particles 510 which are internal particles of the hybrid droplet 530 of the present invention and has an aerosol metal particle 510 ) Can be formed.

보다 구체적으로, 상기 에어로졸 금속 입자(510)는 스파크 방전 또는 용발(Spark Ablation), 화염(Flame), 고온 로(Furnace) 및 분사-건조 장치로 생성할 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.More specifically, the aerosol metal particles 510 may be produced by spark discharge, flame, high temperature furnace, and spray-drying apparatus, but are not limited thereto.

하나의 예시에서, 도 2를 참조하면, 상기 코어 입자 생성부(100)는, 스파크 방전(Spark Ablation)에 의해 코어 입자를 생성할 수 있으며, 공기(Air), 질소(N2), 수소(H2), 헬륨(He), 아르곤(Ar), 산소(O2) 및 이들의 혼합으로 이루어진 군으로부터 선택되는 하나 이상 이상을 포함하는 압축가스가 흐르는 채널부(110)를 포함할 수 있다. 여기서, 상기 압축가스는 후술할 금속 복합체 입자 제조 시, 금속 산화물 입자로 생성하기 위해 산소(O2)를 더 포함 할 수 있다.Referring to FIG. 2, the core particle generator 100 may generate core particles by spark ablation. The core particle generator 100 generates air, nitrogen (N 2), hydrogen (H 2 ), Helium (He), argon (Ar), oxygen (O2), and a mixture thereof. Here, the compressed gas may further contain oxygen (O 2) to produce metal oxide particles at the time of producing the metal composite particles to be described later.

이에 더하여, 상기 코어 입자 생성부(100)는, 소정 간격을 두고 이격 배치되는 한 쌍의 금속전극(121)을 포함하며, 스파크 방전에 의해 상기 금속전극의 간극(Gap)으로부터 코어 금속 입자를 발생시키는 방전부(120), 및 상기 금속전극에 전원을 인가하는 전원부(130)를 포함할 수 있다.In addition, the core particle generation unit 100 includes a pair of metal electrodes 121 spaced apart at a predetermined interval, and generates core metal particles from a gap of the metal electrode by a spark discharge And a power supply unit 130 for applying power to the metal electrode.

보다 구체적으로, 상기 코어 입자 생성부(100)에서는, 상기 압축가스가 공급되는 분위기에서 전원부(130)로부터 인가된 전원에 의해 상기 금속전극(121)에 스파크 방전(Spark Ablation)이 발생할 수 있다. More specifically, in the core particle generator 100, a spark discharge may be generated in the metal electrode 121 by a power source applied from the power source 130 in an atmosphere where the compressed gas is supplied.

여기서, 상기 스파크 방전에 의해 높은 전기장에서 분자들이 전리되어 이온이나 라디칼이 생성되고 전자와 이온은 빠른 속도로 전기장을 이동하여 금속전극 표면에 충돌한다. 이때, 국부적으로 금속전극 표면의 온도가 녹는점 이상으로 높아지면 금속전극의 일부가 기화되고, 기화된 직후 응축됨으로써 에어로졸 금속 입자, 즉 코어 금속 입자가 생성된다.Here, due to the spark discharge, molecules are ionized in a high electric field to generate ions or radicals, and electrons and ions move at high speed in the electric field and collide with the surface of the metal electrode. At this time, if the temperature of the surface of the metal electrode is locally higher than the melting point of the surface of the metal electrode, a part of the metal electrode is vaporized and condensed immediately after vaporization, thereby forming aerosol metal particles, that is, core metal particles.

상기 금속전극(121)으로부터 발생된 코어 금속 입자(510)는 금(Au), 팔라듐(Pd), 백금(Pt), 은(Ag)을 포함한 전이금속(Transition Metals), 희토류 금속(Rare-Earth Metals), 다른 금속(Other Metals) 및 비금속(Non-Metals)으로 이루어진 군으로부터 선택되는 하나 이상을 포함할 수 있다.The core metal particles 510 generated from the metal electrode 121 may be formed of transition metals including gold (Au), palladium (Pd), platinum (Pt), silver (Ag) Metals, Other Metals, and Non-Metals.

또한, 상기 한 쌍의 금속전극(121)에 인가되는 전압은 0.5 내지 20 kV, 예를 들어, 3 내지 10kV이고, 전류량은 0.5 내지 50 mA 로 정량 제어 될 수 있다. The voltage applied to the pair of metal electrodes 121 may be 0.5 to 20 kV, for example, 3 to 10 kV, and the amount of current may be controlled to be 0.5 to 50 mA.

비록 도시되지는 않았지만, 상기 본 발명의 금속 복합체 입자 제조장치(10)의 코어 입자 생성부(100)는 캐리어 기체 공급 시스템(Carrier Air Supply System) 등의 기체 공급 장치와, MFC(Mass Flow Controller) 등의 유량계를 포함할 수 있다. 또한, 상기 기체 공급 장치 및 유량계에 의해 공기(Air), 질소(N2), 수소(H2), 헬륨(He), 아르곤(Ar), 산소(O2) 및 이들의 혼합으로 이루어진 캐리어 기체가 상기 금속전극(121) 사이의 간격으로 정량적으로 공급될 수 있다.Although not shown, the core particle generator 100 of the metal composite particle production apparatus 10 of the present invention includes a gas supply device such as a carrier air supply system, a mass flow controller (MFC) And the like. The carrier gas composed of air, nitrogen (N2), hydrogen (H2), helium (He), argon (Ar), oxygen (O2) And can be supplied quantitatively at the interval between the electrodes 121.

보다 구체적으로, 상기 금속전극(121)에 전압이 인가되면, 스파크로 발생되는 고열에 의해 상기 한 쌍의 금속전극(121) 사이의 간격에서 상기 금속이 승화되며, 상기 캐리어 기체를 따라 이동한 승화된 금속은, 상기 간격을 벗어남에 따라, 응축되고, 이에 따라, 에어로졸 금속입자(510)가 형성된다.More specifically, when a voltage is applied to the metal electrode 121, the metal sublimates at an interval between the pair of metal electrodes 121 due to the high temperature generated by the spark, The metal is condensed out of the gap, thus forming the aerosol metal particles 510.

여기서, 상기 압축가스 내에 일정량의 산소가 존재하는 경우, 금속산화물 입자가 생성될 수 있다. Here, when a certain amount of oxygen exists in the compressed gas, metal oxide particles may be generated.

상기 코어 입자 생성부(100)로부터 생성되는 에어로졸 금속입자(510)의 입경은, 상기 캐리어 기체의 유량 또는 유속에 따라, 수 나노미터 단위에서 수백 나노미터 단위로 광범위하게 조절될 수 있다.The particle size of the aerosol metal particles 510 generated from the core particle generator 100 can be widely controlled from several nanometers to hundreds of nanometers in accordance with the flow rate or flow rate of the carrier gas.

예를 들어, 상기 공급되는 캐리어 기체의 유량 또는 유속이 증가 되는 경우, 상기 에어로졸 금속입자의 농도가 감소 됨에 따라 입자간의 응집현상 또한 감소하게 되며, 이러한 과정을 통해 금속 에어로졸 입자의 크기가 감소 될 수 있다. 또한, 상기 금속 에어로졸 입자의 입경, 형상 및 밀도는, 인가전압, 주파수, 전류, 저항, 커패시턴스 값 등의 스파크 생성 조건, 상기 비활성 기체의 종류 및 유량, 또는 스파크 전극의 형상 등에 의해 변경될 수 있다.For example, when the flow rate or the flow rate of the supplied carrier gas is increased, as the concentration of the aerosol metal particles is decreased, the phenomenon of agglomeration among the particles is also decreased. Through this process, the size of the metal aerosol particles can be reduced have. The particle size, shape, and density of the metal aerosol particles can be changed by spark generation conditions such as applied voltage, frequency, current, resistance, and capacitance, kind and flow rate of the inert gas, shape of the spark electrode, and the like .

상기에서 전술한 바와 같이, 상기 코어 입자 생성부(100)로부터 생성된 코어 금속 입자(510)는 상기 압축가스에 부유(Suspended)된 상태로 액적 생성부(200)로 유입될 수 있다.As described above, the core metal particles 510 generated from the core particle generator 100 may be introduced into the droplet generator 200 while being suspended in the compressed gas.

이에 더하여, 상기 액적 생성부(200)는, 상기 하이브리드 액적(530)의 코어 입자를 둘러싸는 외부 액적(520)을 생성시키기 위한 부분으로서, 상기 외부 액적(520)은 상기 에어로졸 금속 입자(510)와 다른 금속 전구체 물질(521) 및 그 환원제를 포함하는 용매(522)로부터 생성될 수 있다.In addition, the droplet generating portion 200 is a portion for generating an outer droplet 520 surrounding the core particle of the hybrid droplet 530, and the outer droplet 520 is a portion of the aerosol metal particle 510, And another metal precursor material 521 and a solvent 522 containing the reducing agent.

여기서, 상기 금속 전구체 물질(521)은 전이금속(Transition Metals) 전구체, 희토류 금속(Rare-Earth Metals) 전구체, 다른 금속(Other Metals) 전구체 및 비금속(Non-Metals) 전구체로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상을 포함할 수 있다.Here, the metal precursor material 521 may include one selected from the group consisting of a transition metal precursor, a rare-earth metal precursor, another metal precursor, and a non-metal precursor. Or more.

예를 들어, 상기 전구체는 나이트레이트(Nitrate)계, 클로라이드(Chloride)계, 브로마이드(Bromide)계, 아세테이트(Acetate)계, 아세틸아세토네이트(Acetylacetonate)계 등으로 이루어진 군에서 선택될 수 있으며, 이미 종래에 공지된 증착 전구체 용액(Solution Deposition Precursors)을 포함 할 수 있다.For example, the precursor may be selected from the group consisting of nitrate, chloride, bromide, acetate, acetylacetonate, and the like. And may include conventionally known deposition deposition precursors.

일 예로, 시안화 금(AuCN), 질산은(AgNO3), 염화팔라듐(PdCl2), 팔라듐 아세테이트(Palladium Acetate), 실버 아세테이트(Silver Acetate) 등이 포함 될 수 있다.For example, gold (AuCN), silver nitrate (AgNO3), palladium chloride (PdCl2), palladium acetate (Palladium Acetate), silver acetate (Silver Acetate) and the like may be included.

또한, 상기 용매(522)는 물, 알코올, 탄화수소, 산-염기 및 오일로 이루어진 군으로부터 선택되는 하나 이상을 포함할 수 있다. In addition, the solvent 522 may include at least one member selected from the group consisting of water, alcohol, hydrocarbon, acid-base and oil.

보다 구체적으로, 상기 액적 생성부(200)는 분무(Spray) 또는 액적미립화(Atomization) 장치일 수 있으며, 상기 에어로졸 금속입자(510)가 상기 압축가스에 부유된 상태로 상기 분무 또는 액적미립화 장치로 유입되어 상기 용매와 함께 분무됨으로써 하이브리드 액적(530)을 생성할 수 있다.More specifically, the droplet generating unit 200 may be a spray or an atomizing device, and the aerosol metal particles 510 may be suspended in the compressed gas to the spray or droplet atomizer And may be sprayed together with the solvent to generate the hybrid droplet 530.

도 3에 나타낸 바와 같이, 일 예로, 스파크 방전을 통해 생성된 제1 금속은 에어로졸 금속 입자(510)가 압축가스에 부유하며 가스의 흐름에 따라 액적 생성부(200)로 이동하게 되고, 제2 금속 이온(521)과 환원제를 포함하는 용매(522)가 상기 에어로졸 금속 입자(510)와 함께 상기 액적 생성부(200)에서 분무 되어, 내부는 제1 금속으로 이루어진 에어로졸 금속입자(510)가 형성되고 외부는 제2 금속이온과 환원제를 포함하는 용매가 액적(520)을 형성함으로써, 하이브리드 액적(530)을 생성할 수 있다. 여기서, 상기 제1 금속과 제2 금속은 서로 다른 금속 일 수 있다.As shown in FIG. 3, in one example, the first metal generated through the spark discharge floats the aerosol metal particles 510 in the compressed gas and moves to the droplet generating portion 200 according to the flow of the gas, A solvent 522 including a metal ion 521 and a reducing agent is sprayed together with the aerosol metal particles 510 in the droplet generating portion 200 to form an aerosol metal particle 510 made of a first metal And a solvent containing a second metal ion and a reducing agent externally forms a droplet 520 to generate a hybrid droplet 530. [ Here, the first metal and the second metal may be different metals.

한편, 상기에서 서술한 바와 같이 생성된 하이브리드 액적(530)은 크기에 따라 유동이 분류되는 서로 다른 방향의 복수 개의 미세 유로를 포함하는 분류부(300)를 통과할 수 있다.Meanwhile, the hybrid droplet 530 generated as described above may pass through the classifier 300 including a plurality of microchannels in different directions in which the flow is classified depending on the size.

도 4에 나타낸 바와 같이, 분류부(300)는 십자형 미세유로일 수 있으며, 다분산(Polydisperse) 크기의 분포를 갖는 하이브리드 액적(530)이 미세유로 유입포트(310)로 유입되어 원하는 크기의 액적 만 선별되는 미세유로 주포트(320)로 유출될 수 있다. 4, the classifier 300 may be a cruciform microchannel, and a hybrid droplet 530 having a polydisperse size distribution may be introduced into the microchannel inlet port 310, Can be discharged to the fine flow path port 320 selectively.

또한, 상기 분류부(300)에서 선별되지 못한 하이브리드 액적(532)은 부포트(330)를 통해 배출될 수 있다.In addition, the hybrid droplet 532 that can not be sorted by the sorting unit 300 may be discharged through the subsidiary port 330.

상기 분류부(300)를 통과하는 하이브리드 액적(530) 중 크기가 큰 입자는 큰 관성으로 인해 직선운동을 유지하여 부포트(330)로 이동하게 되고, 크기가 작은 입자는 작은 관성으로 인해 미세 유로의 분사방향으로부터 90도 꺾인 주포트(320)로 대부분의 유량이 이동되면서 입자의 크기에 따른 분류가 가능하게 된다.Particles having a large size among the hybrid droplets 530 passing through the partition 300 maintain a linear motion due to a large inertia and move to the sub port 330. Particles having a small size are moved to the sub- So that the flow can be classified according to the size of the particles.

여기서, 상기 주포트(320)를 통과한 하이브리드 액적(531)은 도 4의 (A)와 같이, 준단분산(Quasi-Monidisperse) 또는 단분산(Monodisperse) 크기의 분포를 가질 수 있으며, 부포트(330)를 통과한 하이브리드 액적(532)의 분포는 도 4의 (B)와 같다.4 (A), the hybrid droplet 531 having passed through the main port 320 may have a quasi-monidisperse or monodisperse size distribution, and the sub port The distribution of the hybrid droplets 532 that have passed through the flow paths 330 and 330 is shown in FIG.

이에 더하여, 도 4의 (C)는 상기 분류부(300)를 통과하기 전 다분산 크기의 분포를 갖는 하이브리드 액적(530) 사진이며, (D)는 미세유로 분배부(300)를 통과 한 후 준단분산 또는 단분산 크기의 분포를 갖는 하이브리드 액적(530)의 사진을 나타낸다.4C is a photograph of a hybrid droplet 530 having a polydisperse size distribution before passing through the dividing unit 300. FIG. 4D is a photograph of the hybrid droplet 530 after passing through the fine channel distributor 300 Figure 5 shows a photograph of a hybrid droplet 530 having a distribution of quasi-dispersed or monodisperse sizes.

한편, 도 5의 (A)를 참조하면, 상기 분류부(300)에서 분류하고자 하는 하이브리드 액적(531)의 크기는, 미세유로의 유입포트(310) 너비 W, 주포트(320) 너비 S, 미세유로 두께 t의 설계인자의 조합에 의해 조절 될 수 있다.5A, the size of the hybrid droplet 531 to be classified by the sorter 300 is determined by the width W of the inlet port 310 of the microchannel, the width S of the main port 320, Can be controlled by a combination of design factors of the fine channel thickness t.

상기에서 서술한 바와 같이, 설계인자 S, W, t를 변경함으로써 하이브리드 액적(530)의 크기를 조절 할 수 있으며, 제조된 분류부(300)에서 상기 하이브리드 액적(530)은 도 5의 (B)와 같은 흐름으로 이동하게 된다.As described above, the size of the hybrid droplet 530 can be adjusted by changing the design factors S, W, and t, and in the manufactured sorter 300, the hybrid droplet 530 can be divided into (B ). ≪ / RTI >

한편, 상기와 같이 제조된 하이브리드 액적(530)은 통상적으로 넓은 크기 범위의 가우시간 분포를 갖게 된다. 따라서 최종적으로 제조되는 금속복합체 입자(500)의 크기를 보다 균일하게 하기 위해, 특정 크기를 분류할 수 있는 분류부(300) 즉, 십자형 미세유로에 하이브리드 액적을 통과시킴으로써, 후술할 마이크로파 조건반응에 보다 균일한 하이브리드 액적만 선별되어 주입될 수 있도록 할 수 있다.Meanwhile, the hybrid droplet 530 manufactured as described above usually has a Gaussian time distribution in a wide size range. Therefore, in order to make the sizes of the finally produced metal composite particles 500 more uniform, by passing a hybrid droplet through the classifier 300, that is, a cruciform microchannel capable of classifying a specific size, So that only a more uniform hybrid droplet can be selectively injected.

이에 더하여, 상기 분류부(300)에서 선별된 하이브리드 액적(531)은 유동 채널을 포함하는 마이크로파 가열부(400)로부터 인가된 마이크로파 반응에 의해 보다 균일한 금속 복합체 입자(500)가 생성될 수 있다.In addition, more uniform metal composite particles 500 can be generated by the microwave reaction applied from the microwave heating unit 400 including the flow channel, in the hybrid droplet 531 selected in the classifying unit 300 .

보다 구체적으로, 도 6을 참조하면, 크기 분포가 균일화된 하이브리드 액적(531)은 이후 직렬로 연결되어 마이크로파가 인가되는 유동 채널(410)에 시스(Sheath)가스와 함께 유입될 수 있다.More specifically, referring to FIG. 6, the hybrid droplets 531 having a uniform size distribution may be connected in series to flow along with the sheath gas to the flow channel 410 to which the microwave is applied.

상기 시스 가스 및 하이브리드 액적은 국부적으로 마이크로파가 조사되는 유동 채널(410) 내를 통과하며, 일정 시간 특정 주파수의 조사(Irradiation) 조건에서, 액적 내 에어로졸 금속입자 표면에서 금속이온이 환원제에 의해 금속입자화 됨으로써 최종적으로 금속복합체 입자(500)가 생성될 수 있다.The sheath gas and the hybrid droplet pass through a flow channel 410 to which microwaves are locally irradiated. Under the condition of Irradiation at a certain frequency for a certain time, metal ions are adsorbed on the surface of the aerosol metal particles in the droplets by the reducing agent So that finally the metal composite particles 500 can be produced.

여기서, 마이크로파가 인가되는 시간은 0.01초 내지 15초 일수 있으며, 상기 마이크로파의 전원의 온오프(ON-OFF) 조작을 통해, 예를 들어, 5초동안 턴온(Turn-On) 상태를 유지한 후 3초동안 턴오프(Turn-Off) 상태를 유지하는 동작을 반복적으로 수행함으로써, 상기 마이크로파를 조사할 수 있다. 상기와 같은 조작을 수행함으로써, 제조되는 입자의 입경분포 및 형상을 조절할 수 있게 된다.Here, the time for applying the microwaves may be 0.01 second to 15 seconds, and the turn-on state may be maintained for 5 seconds, for example, through ON / OFF operation of the microwave power The microwave can be irradiated by repeatedly performing the operation of maintaining the turn-off state for 3 seconds. By performing the above-described operation, it becomes possible to control the particle size distribution and shape of the particles to be produced.

상기 마이크로파의 주파수는 0.5 내지 500MHz 일 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. The frequency of the microwave may be 0.5 to 500 MHz, but is not limited thereto.

또한, 시스 가스 내에 일정량의 산소를 주입하는 경우, 금속산화물 입자가 생성될 수 있다.Further, when a certain amount of oxygen is injected into the sheath gas, metal oxide particles may be generated.

금속복합체 입자의 크기분포 균일도(Standard Deviation)는, 십자형 미세유로를 적용하여 균일하게 할 수 있을 뿐만 아니라, 마이크로파 조사 집중도(Irradiation Stiffness)에 의해서도 조절될 수 있다.The standard deviation of the size distribution of the metal composite particles can be controlled not only by uniformly applying a cross-shaped micro flow path, but also by the intensity of irradiation of the microwave (Irradiation Stiffness).

보다 구체적으로, 상기 마이크로파 가열부(400) 유동 채널(410) 내 마이크로파 조사 집중도(Irradiation Stiffness)의 조절해 의해서 균일도를 조절할 수 있다.More specifically, the uniformity can be controlled by controlling the microwave irradiation intensity (Irradiation Stiffness) in the flow channel 410 of the microwave heating unit 400.

본 발명은 또한, 금속 복합체 입자 제조방법을 제공한다.The present invention also provides a method for producing a metal composite particle.

예를 들어, 상기 금속 복합체 입자 제조방법은, 전술한 금속 복합체 입자 제조장치를 통해 금속 복합체 입자를 제조하는 방법에 관한 것이다. 따라서, 후술하는 금속 복합체 입자에 대한 구체적인 사항은 금속 복합체 입자 제조장치에서 기술한 내용이 동일하게 적용될 수 있다.For example, the metal composite particle production method relates to a method for producing metal composite particles through the above-described metal composite particle production apparatus. Therefore, details of the metal complex particles to be described later can be applied equally to those described in the metal complex particle production apparatus.

예시적인 본 발명의 금속 복합체 입자 제조방법은, 코어 금속 입자를 생성하는 단계, 하이브리드 액적을 생성하는 단계, 분류부를 통과하는 단계 및 마이크로파를 인가하는 단계를 포함한다.Exemplary methods for producing metal composite particles of the present invention include the steps of producing core metal particles, generating hybrid droplets, passing through a sorbent, and applying microwaves.

보다 구체적으로, 상기 코어 금속 입자를 생성하는 단계는, 스파크 용발(Spark Ablation), 화염, 고온로 및 분사 건조 장치 중 어느 하나를 이용하여 코어 금속 입자를 생성할 수 있다.More specifically, the step of producing the core metal particles can produce core metal particles using any one of Spark Ablation, flame, high temperature furnace, and spray drying apparatus.

상기 하이브리드 액적을 생성하는 단계는, 상기 코어 금속 입자를 생성하는 단계에서 생성된 코어 금속 입자의 흐름에 금속 전구체 물질을 포함하는 액체를 분사하여 하이브리드 액적을 생성할 수 있다.The step of generating the hybrid droplet may generate a hybrid droplet by spraying a liquid containing a metal precursor material to the stream of core metal particles produced in the step of producing the core metal particles.

여기서, 상기 하이브리드 액적은 분무 또는 액적미립화(Atomization) 방식으로 생성할 수 있다.Here, the hybrid droplet may be generated by spraying or droplet atomization.

보다 구체적으로, 상기의 과정을 통해 생성된 하이브리드 액적은 내부가 코어 금속 입자로 구성되고, 외부가 상기 내부 금속 입자와 다른 금속 전구체 물질 및 환원제를 포함하는 용매로 구성될 수 있다.More specifically, the hybrid droplet produced through the above process may be composed of core metal particles, and the solvent may include a metal precursor material other than the inner metal particles and a reducing agent.

상기 분류부를 통과하는 단계는, 상기에서 생성된 하이브리드 액적이 상기 분류부의 미세 유로를 통과하며 크기에 따라 분류되어 소정 크기 범위 내의 균일한 크기의 하이브리드 액적이 배출 될 수 있다.The step of passing through the dividing section may include passing the hybrid droplet generated in the dividing section through the fine flow path of the dividing section and classifying the droplet according to the size to discharge a hybrid droplet of a uniform size within a predetermined size range.

상기 마이크로파 인가 단계는, 상기 분류부를 통과하며 배출된 균일한 크기의 하이브리드 액적에 마이크로파를 인가에 의해, 상기 금속 전구체 물질이 환원제에 의해 금속 입자화됨으로써, 내부 및 외부가 서로 다른 금속으로 이루어진 금속 복합체 입자를 생성할 수 있게 된다.The microwave application step may include a step of applying a microwave to a hybrid droplet of a uniform size that has passed through the separation section and is converted into metal particles by a reducing agent, So that particles can be generated.

10: 금속 복합체 입자 제조장치
100: 코어 입자 생성부
110: 채널부
120: 방전부
121: 금속전극
130: 전원부
200: 액적 생성부
300: 분류부
310: 유입포트
320: 주포트
330: 부포트
400: 마이크로파 가열부
500: 금속 복합체 입자
510: 코어 금속 입자
520: 액적
530: 하이브리드 액적
10: Metal composite particle manufacturing apparatus
100: Core particle generator
110:
120: discharge unit
121: metal electrode
130:
200:
300:
310: incoming port
320: Main port
330:
400: Microwave heating unit
500: metal composite particle
510: Core metal particles
520: Droplet
530: Hybrid droplet

Claims (17)

코어 금속 입자를 생성하는 코어 입자 생성부;
상기 코어 금속 입자의 흐름에, 금속 전구체 물질을 포함하는 액체를 분사하여, 하이브리드 액적을 생성하도록 마련된 액적 생성부;
상기 액적 생성부에서 생성된 하이브리드 액적을 크기에 따라 분류하여, 소정 크기 범위 내의 하이브리드 액적을 배출시키도록 마련된 분류부; 및
상기 분류부에서 배출된 상기 하이브리드 액적에 마이크로파를 인가하기 위한 마이크로파 가열부를 포함하며,
상기 코어입자 생성부는, 소정 간격을 두고 이격 배치되는 한 쌍의 금속전극, 스파크 방전에 의해 국부적으로 상기 금속 전극 표면의 온도가 높아지면 금속 전극의 일부가 기화되고, 기화된 직후 응축된 에어로졸 금속입자인 코어 금속 입자를 상기 금속전극의 간극으로부터 발생시키는 방전부 및 상기 금속 전극에 전원을 인가하는 전원부를 포함하고,
상기 액적 생성부의 하이브리드 액적은, 내부는 에어로졸 금속입자가 형성되고 외부는 금속이온과 환원제를 포함하는 용매가 액적을 형성하며,
상기 분류부는, 크기에 따라 하이브리드 액적의 유동이 분류되는 서로 다른 방향의 복수 개의 미세유로를 포함하고, 상기 액적 생성부에서 생성된 다분산 크기의 분포를 갖는 하이브리드 액적이 미세유로 유입포트로 유입되어 원하는 크기의 액적만 선별되는 미세유로 주포트로 유출되어 상기 마이크로파 가열부로 유입되고, 분류부에서 선별되지 못한 하이브리드 액적은 부포트를 통해 배출되도록 마련되고,
상기 마이크로파 가열부는, 마이크로파가 인가되는 유동 채널을 포함하고, 시스 가스 및 하이브리드 액적이 유동 채널 내를 통과하며, 마이크로파 주파수는 0.5 내지 500MHz이고, 마이크로파 인가 시간이 0.01초 내지 15초 범위 내에서 상기 마이크로파의 전원의 온오프 조작을 반복적으로 수행하며 마이크로파를 조사하는, 금속 복합체 입자 제조장치.
A core particle generator for generating core metal particles;
A droplet generation unit configured to generate a hybrid droplet by jetting a liquid containing a metal precursor material into the flow of the core metal particles;
A sorting unit arranged to classify the hybrid droplets generated by the droplet generating unit according to sizes and to discharge hybrid droplets within a predetermined size range; And
And a microwave heating unit for applying a microwave to the hybrid droplet discharged from the separation unit,
The core particle generation unit includes a pair of metal electrodes spaced apart at a predetermined interval, a part of the metal electrode is vaporized when the temperature of the surface of the metal electrode is locally increased by the spark discharge, and the condensed aerosol metal particles Core metal particles from the gap of the metal electrode, and a power supply unit for applying power to the metal electrode,
Wherein a hybrid droplet of the droplet generating portion forms droplets in which an aerosol metal particle is formed inside and a solvent containing a metal ion and a reducing agent on the outside,
The classifier includes a plurality of microchannels in different directions in which the flow of the hybrid droplet is classified depending on the size, and the hybrid droplet having the distribution of the polydispersion magnitudes generated by the droplet generating unit flows into the microchannel inlet port Only a droplet of a desired size flows out to the selected micro flow path port and flows into the microwave heating part, and the hybrid solution that can not be sorted by the fractionation part is discharged through the sub port,
Wherein the microwave heating unit includes a flow channel to which a microwave is applied, the sheath gas and the hybrid droplet pass through a flow channel, the microwave frequency is 0.5 to 500 MHz, and the microwave application time is in the range of 0.01 to 15 seconds. And repeatedly performing on / off operation of the power supply of the metal composite particles.
삭제delete 제 1항에 있어서,
상기 코어 금속 입자는 금(Au), 팔라듐(Pd), 백금(Pt), 은(Ag)을 포함한 전이금속(Transition Metals), 희토류 금속(Rare-Earth Metals), 다른 금속(Other Metals) 및 비금속(Non-Metals)으로 이루어진 군으로부터 선택되는 하나 이상을 포함하는 금속 복합체 입자 제조장치.
The method according to claim 1,
The core metal particles may be selected from the group consisting of transition metals including gold (Au), palladium (Pd), platinum (Pt), silver (Ag), rare earth metals (Rare-Earth Metals) (Non-Metals). ≪ / RTI >
제 1항에 있어서,
상기 액적 생성부는,
분무 또는 액적미립화(Atomization) 방식으로 상기 코어 금속 입자와 액체를 분무하는 것을 특징으로 하는 금속 복합체 입자 제조장치.
The method according to claim 1,
Wherein the droplet generating unit comprises:
Wherein the core metal particles and the liquid are sprayed by spraying or droplet atomization.
삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 용매는 물, 알코올, 탄화수소, 산-염기 및 오일로 이루어진 군으로부터 선택되는 하나 이상을 포함하는 금속 복합체 입자 제조장치.
The method according to claim 1,
Wherein the solvent comprises at least one selected from the group consisting of water, an alcohol, a hydrocarbon, an acid-base and an oil.
삭제delete 제 1항에 있어서,
상기 금속 전구체 물질은, 상기 코어 금속 입자와 다른 금속인 것을 특징으로 하는 금속 복합체 입자 제조장치.
The method according to claim 1,
Wherein the metal precursor material is a metal different from the core metal particles.
삭제delete 제 1항에 있어서,
상기 마이크로파 가열부는,
상기 유동 채널에는, 시스(Sheath)가스로서 공기(Air), 질소(N2), 수소(H2), 헬륨(He), 아르곤(Ar), 산소(O2) 및 이들의 혼합으로 이루어진 군으로부터 선택되는 하나 이상이 주입되는 것을 특징으로 하는 금속 복합체 입자 제조장치.
The method according to claim 1,
The microwave heating unit includes:
Wherein the flow channel is selected from the group consisting of air, nitrogen (N2), hydrogen (H2), helium (He), argon (Ar), oxygen (O2) Wherein at least one of the metal particles is injected.
삭제delete 삭제delete 소정 간격을 두고 이격 배치되는 한 쌍의 금속전극, 스파크 방전에 의해 국부적으로 상기 금속 전극 표면의 온도가 높아지면 금속 전극의 일부가 기화되고, 기화된 직후 응축된 에어로졸 금속입자인 코어 금속 입자를 상기 금속전극의 간극으로부터 발생시키는 방전부 및 상기 금속 전극에 전원을 인가하는 전원부에 의해 코어 금속 입자를 생성하는 단계; 상기 코어 금속 입자의 흐름에 금속 전구체 물질을 포함하는 액체를 분사하여, 내부는 에어로졸 금속입자가 형성되고 외부는 금속이온과 환원제를 포함하는 용매가 액적을 형성하는 하이브리드 액적을 생성하는 단계; 상기 하이브리드 액적을 크기에 따라 분류하여, 소정 크기 범위 내의 상기 하이브리드 액적을 배출시키도록 크기에 따라 하이브리드 액적의 유동이 분류되는 서로 다른 방향의 복수 개의 미세유로에서 액적 생성부에서 생성된 다분산 크기의 분포를 갖는 하이브리드 액적이 미세유로 유입포트로 유입되어 원하는 크기의 액적만 선별되는 미세유로 주포트로 유출되어 마이크로파 가열부로 유입되고, 분류부에서 선별되지 못한 하이브리드 액적은 부포트를 통해 배출되도록 마련된 분류부를 통과하는 단계; 및 상기 분류부에서 배출된 상기 하이브리드 액적에 시스 가스와 함께 유동 채널 내를 통과하며, 마이크로파 주파수는 0.5 내지 500MHz이고, 마이크로파 인가 시간은 0.01초 내지 15초 범위 내에서 상기 마이크로파의 전원의 온오프 조작을 반복적으로 수행하며 마이크로파를 조사하도록 마이크로파를 인가하는 단계; 를 포함하는 금속 복합체 입자 제조방법.
A pair of metal electrodes which are spaced apart from each other at a predetermined interval, a part of the metal electrode is vaporized locally when the temperature of the surface of the metal electrode is raised by spark discharge, and the core metal particles, which are condensed aerosol metal particles, Generating core metal particles by a discharging portion generated from the gap of the metal electrode and a power supply portion applying power to the metal electrode; Spraying a liquid comprising a metal precursor material to the stream of core metal particles to produce a hybrid droplet wherein the aerosol metal particles are formed therein and the solvent comprising the metal ion and the reducing agent forms droplets; The hybrid droplet is classified according to its size so that the hybrid droplet flow is classified according to the size so as to discharge the hybrid droplet within a predetermined size range. The hybrid droplet having the distribution is introduced into the micro-channel inlet port, and only the droplet of the desired size flows out to the micro-channel port to be sorted, and the hybrid droplet that can not be sorted by the classification section is discharged through the sub- Passing through the part; And the microwave frequency is in a range of 0.5 to 500 MHz and the microwave application time is in a range of 0.01 second to 15 seconds, And applying a microwave to irradiate the microwave; ≪ / RTI >
삭제delete 제 13항에 있어서,
상기 하이브리드 액적을 생성하는 단계는,
분무 또는 액적미립화(Atomization) 방식으로 상기 코어 금속 입자와 금속 전구체 물질을 포함하는 액체를 분무하여 생성하는 것을 특징으로 하는 금속 복합체 입자 제조방법.

14. The method of claim 13,
Wherein the step of generating the hybrid droplet comprises:
Wherein the core metal particles and the metal precursor material are sprayed or atomized to form a liquid containing the metal precursor material.

삭제delete 삭제delete
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