KR101854186B1 - Photonic crystal structure, method of manufacturing the same, reflective color filter and display apparatus employing the photonic crystal structure - Google Patents

Photonic crystal structure, method of manufacturing the same, reflective color filter and display apparatus employing the photonic crystal structure Download PDF

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Abstract

광결정 구조체가 개시된다. 개시된 광결정 구조체는 광결정 구조체는 기판; 상기 기판 상에 마련된 것으로, 랜덤한 크기를 가지며 서로 거리를 두어 이격 배치된 다수의 돔형(dome type) 나노 구조물: 상기 다수의 돔형 나노 구조물 위에 위에 형성된 것으로, 비평탄한 표면을 가지며, 소정 파장의 광을 반사시키도록 설계된 광결정층;을 포함한다.
상기 광결정 구조체는 시야각이 넓은 컬러 필터링 성능을 가지며, 반사형 컬러필터, 디스플레이 장치에 응용될 수 있다.A photonic crystal structure is disclosed. The disclosed photonic crystal structure includes a photonic crystal structure comprising a substrate; A plurality of dome type nanostructures provided on the substrate, the plurality of dome type nanostructures having a random size and spaced apart from each other, the plurality of dome type nanostructures being formed on the non-planar surface, And a photonic crystal layer designed to reflect light.
The photonic crystal structure has a wide color filter performance and can be applied to a reflective color filter and a display device.

Description

광결정 구조체, 이의 제조방법, 광결정 구조체를 채용한 반사형 컬러필터 및 디스플레이 장치. {Photonic crystal structure, method of manufacturing the same, reflective color filter and display apparatus employing the photonic crystal structure}A photonic crystal structure, a manufacturing method thereof, a reflective color filter employing a photonic crystal structure, and a display device. {Photonic crystal structure, method of manufacturing the same, reflective color filter and display apparatus employing the photonic crystal structure}

본 개시는 광결정 구조체, 이의 제조방법, 광결정 구조체를 채용한 반사형 컬러필터 및 디스플레이 장치에 관한 것이다.The present disclosure relates to a photonic crystal structure, a manufacturing method thereof, a reflective color filter employing a photonic crystal structure, and a display device.

광결정(photonic crystal)은 빛을 제어할 수 있는 결정구조의 물질을 말하는 것으로, 빛의 파장 크기 수준의 주기로 굴절률이 반복되는 결정구조를 만들면 특정파장의 빛만 보강간섭이 일어나고 나머지 파장의 빛은 상쇄간섭을 일으켜 특정한 컬러를 구현할 수 있다. 이와 같이, 빛의 반사 및 간섭을 이용하여 색을 구현하는 일명 '구조색(structural color)' 기술은 안료에 의한 빛의 흡수를 이용하여 색을 구현하는 기술에 비해 고효율의 색 구현이 가능하고 색도(chromaticity) 제어가 용이하다는 점에서 장점이 있다. Photonic crystals are materials with a crystal structure capable of controlling light. When a crystal structure in which the refractive index is repeated in a period of a wavelength level of light is made, only the light of a specific wavelength is interfered with, and the light of the remaining wavelength is canceled So that a specific color can be realized. As described above, the so-called 'structural color' technique of implementing color using reflection and interference of light enables a high-efficiency color to be realized as compared with a technique of implementing color using light absorption by a pigment, it is advantageous in that chromaticity control is easy.

일반적으로 가장 용이하게 만들 수 있는 광결정은 1차원 광결정으로, 각각 저굴절률과 고굴절률을 가지는 투명절연막들을 교차 적층하여, 반사되는 빛의 컬러를 제어할 수 있다. 그러나, 1차원 광결정의 경우, 입사각이 수직인 빛에 대해서만, 설계된 컬러를 나타내며 입사각이 작아질수록 브래그 법칙에 의하여 짧은 파장대역으로 컬러가 쉬프트하게 되는 현상을 나타낸다. 시야각 측면에서 보면 5도 이하의 시야각을 가지고 있어, 높은 색재현성과 반사특성에도 불구하고 디스플레이와 같은 디바이스에 적용에 어려움이 있다. In general, a photonic crystal which can be most easily made is a one-dimensional photonic crystal, and transparent insulating films having a low refractive index and a high refractive index can be cross-laminated to control the color of reflected light. However, in the case of a one-dimensional photonic crystal, the color is designed only for light having a vertical incident angle, and the color shifts to a shorter wavelength band according to Bragg's law as the incident angle becomes smaller. In view of the viewing angle, it has a viewing angle of 5 degrees or less, which is difficult to apply to devices such as a display, despite its high color reproducibility and reflection characteristics.

본 개시는 넓은 시야각의 컬러 필터링 성능을 가지는 광결정 구조체 및 이의 제조방법을 제시하며, 또한, 이러한 광결정 구조체를 이용한 반사형 컬러필터 및 디스플레이 장치를 제시하고자 한다.The present disclosure discloses a photonic crystal structure having a color filtering performance with a wide viewing angle and a method of manufacturing the same, and also to provide a reflection type color filter and a display device using the photonic crystal structure.

일 유형에 따르는 광결정 구조체는 기판; 상기 기판 상에 마련된 것으로, 랜덤한 크기를 가지며 서로 거리를 두어 이격 배치된 다수의 돔형(dome type) 나노 구조물: 상기 다수의 돔형 나노 구조물 위에 위에 형성된 것으로, 비평탄한 표면을 가지며, 소정 파장의 광을 반사시키도록 설계된 광결정층;을 포함한다. A photonic crystal structure according to one type includes a substrate; A plurality of dome type nanostructures provided on the substrate, the plurality of dome type nanostructures having a random size and spaced apart from each other, the plurality of dome type nanostructures being formed on the non-planar surface, And a photonic crystal layer designed to reflect light.

상기 다수의 돔형 나노 구조물은 상기 기판 상에 단층막을 이루는 형태로 배치될 수 있다. The plurality of dome-shaped nanostructures may be arranged in a form of a monolayer film on the substrate.

상기 광결정층은 제1굴절률을 가지는 제1물질층과, 상기 제1굴절률과 다른 제2굴절률을 가지는 제2물질층이 교번 적층되어 이루어질 수 있다. The photonic crystal layer may be formed by alternately stacking a first material layer having a first refractive index and a second material layer having a second refractive index different from the first refractive index.

상기 제1물질층 및 제2물질층은 투광성의 절연물질로 이루어질 수 있다. The first material layer and the second material layer may be made of a light-transmitting insulating material.

상기 제1물질층 및 제2물질층은 SiO2, TiO2, Si3N4, CaF2, LiF, MgF2 중 어느 하나를 포함하여 이루어질 수 있다. The first material layer and the second material layer may include any one of SiO 2 , TiO 2 , Si 3 N 4 , CaF 2 , LiF, and MgF 2 .

상기 제1물질층 및 제2물질층 중 어느 하나는 금속물질로, 다른 하나는 절연물질로 이루어질 수 있다. Either the first material layer or the second material layer may be made of a metal material and the other may be an insulating material.

상기 다수의 돔형 나노 구조물은 열에 의해 리플로우(reflow) 되는 물질로 이루어질 수 있다. The plurality of dome-shaped nanostructures may be made of a material that is reflowed by heat.

상기 다수의 돔형 나노 구조물은 감광성 물질로 이루어질 수 있다. The plurality of dome-shaped nanostructures may be formed of a photosensitive material.

또한, 일 유형에 따르는 광결정 구조체 제조방법은 기판 상에, 나노구조용 박막을 형성하는 단계; 상기 나노구조용 박막을 패터닝하여 다수의, 랜덤한 크기를 가지는 제1형상의 제1형 나노 구조물을 형성하는 단계; 열처리(thermal reflow) 공정을 이용하여, 상기 제1형상을 돔 형상으로 변형하여, 돔형 나노 구조물을 형성하는 단계; 상기 다수의 나노 구조물 위에, 비평탄한 표면을 가지며, 소정 파장의 광을 반사시키도록 설계된 광결정층을 형성하는 단계;를 포함한다. According to one aspect of the present invention, there is provided a method for fabricating a photonic crystal structure, including: forming a nanostructured thin film on a substrate; Patterning the nanostructure thin film to form a plurality of first-type nanostructures of a first shape having a random size; Forming a dome-shaped nanostructure by deforming the first shape into a dome shape using a thermal reflow process; Forming a photonic crystal layer on the plurality of nanostructures, the photonic crystal layer having a non-planar surface and designed to reflect light of a predetermined wavelength.

상기 나노구조용 박막을 열에 의해 리플로우(reflow) 되는 물질로 형성할 수 있으며, 또한, 상기 나노구조용 박막을 감광성 물질로 형성할 수 있다. The nanostructured thin film may be formed of a material reflowed by heat, and the nanostructure thin film may be formed of a photosensitive material.

상기 제1형상은 원기둥, 원뿔대 또는 다각기둥 형상일 수 있다. The first shape may be a cylindrical shape, a truncated cone, or a polygonal columnar shape.

상기 광결정층을 형성하는 단계는 제1굴절률을 가지는 제1물질층과, 상기 제1굴절률과 다른 제2굴절률을 가지는 제2물질층을 교번 적층하는 단계;를 포함한다. The forming of the photonic crystal layer includes alternately stacking a first material layer having a first refractive index and a second material layer having a second refractive index different from the first refractive index.

상기 제1물질층과 제2물질층을 스퍼터를 이용한 증착 공정으로 형성할 수 있다. The first material layer and the second material layer may be formed by a deposition process using sputtering.

또한, 일 유형의 반사형 컬러 필터는 상술한 광결정 구조체로서 상기 광결정층이 제1파장의 광을 반사시키도록 설계된 다수의 제1컬러유닛; 상술한 광결정 구조체로서 상기 광결정층이 제2파장의 광을 반사시키도록 설계된 다수의 제2컬러유닛; 상술한 광결정 구조체로서, 상기 광결정층이 제3파장의 광을 반사시키도록 설계된 다수의 제3컬러유닛;을 포함하며, 상기 다수의 제1컬러유닛, 제2컬러유닛, 제3컬러유닛이 2차원 어레이로 교번 배열되어 있다. Also, one type of reflective color filter is a photonic crystal structure as described above, in which the photonic crystal layer is designed to reflect light of a first wavelength; A plurality of second color units designed to reflect light of a second wavelength in the photonic crystal layer as the photonic crystal structure; The photonic crystal structure described above, wherein the photonic crystal layer includes a plurality of third color units designed to reflect light of a third wavelength, wherein the plurality of first color units, the second color unit, Dimensional arrays.

또한, 일 유형에 따르는 디스플레이 장치는 상기 반사형 컬러 필터; 상기 다수의 제1컬러유닛, 제2컬러유닛, 제3컬러유닛에 각각 대응하는 영역을 가지며, 각 영역에 입사된 광을 화상 정보에 따라 변조하는 디스플레이 패널;을 포함한다. Further, a display device according to one type includes the reflective color filter; And a display panel having an area corresponding to each of the plurality of first color units, a second color unit and a third color unit, and modulating light incident on each area according to image information.

상기 디스플레이 패널은 액정 표시 소자(liquid crystal display device), 전기 영동 표시 소자 (electrophoresis display device), 전기 습윤 표시 소자(electrowetting display device) 또는 전기 변색 표시 소자(electrochromic display device)를 포함하여 이루어질 수 있다. The display panel may include a liquid crystal display device, an electrophoresis display device, an electrowetting display device, or an electrochromic display device.

상기 디스플레이 장치는 상기 반사형 컬러필터를 투과한 광을 흡수하는 흡수부를 더 포함할 수 있다. The display device may further include an absorption unit that absorbs light transmitted through the reflective color filter.

상술한 광결정 구조체는 시야각이 넓은 컬러 필터링 성능을 가지며, 따라서, 이를 채용한 반사형 컬러필터, 디스플레이 장치는 광 효율이 높고 색도 재현이 용이하면서도 시야각이 넓은 영상을 제공할 수 있다.The photonic crystal structure described above has a wide color filter performance and thus a reflective color filter and a display device employing the same can provide an image having high light efficiency and easy color reproduction while having a wide viewing angle.

또한, 상술한 광결정 구조체의 제조방법에 따르면, 랜덤한 크기와 간격을 가지는 다수의 돔형 나노 구조물을 용이하게 제조할 수 있고, 이러한 나노 구조물 위로 형성되는 다층 구조의 광결정층은 표면의 비평탄도가 잘 유지된다. According to the manufacturing method of the photonic crystal structure described above, it is possible to easily manufacture a plurality of dome-shaped nanostructures having a random size and an interval, and the multi-layered photonic crystal layer formed on such a nanostructure has a non- maintain.

도 1은 실시예에 따른 광결정 구조체의 개략적인 구조를 보이는 단면도이다.
도 2는 일반적인 1차원 광결정 구조를 보이며, 입사각에 따른 컬러 쉬프트가 일어남을 설명하는 도면이다.
도 3a 및 도 3b는 다수의 돔형 나노 구조물들 간의 간격 형성 유/무에 따른 광결정층의 표면 경사각 정도를 비교하는 전산모사 도면이다.
도 4는 다수의 돔형 나노 구조물들간의 간격 및 광결정층을 구성하는 층수에 따라 광결정층 표면의 경사각을 보이는 전산모사 그래프이다.
도 5a 내지 도 5e는 실시예에 따른 광결정 구조체 제조방법을 설명하는 도면들이다.
도 6은 광결정층을 형성할 때, 스퍼터(sputter) 또는 진공증착기(evaporator) 사용 및 광결정층을 구성하는 층수에 따라 광결정층 표면의 경사각을 보이는 전산모사 그래프이다.
도 7은 실시예에 따른 반사형 컬러필터의 개략적인 구조를 보이는 단면도이다.
도 8은 실시예에 따른 디스플레이 장치의 개략적인 구조를 보이는 단면도이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
100, 200...광결정 구조체 110, 210, 310...기판
120, 240...돔형 나노 구조물 140, 270, 340, 350, 360...광결정층
141, 271, 341, 351,361...제1물질층
142, 272, 342, 352, 362...제2물질층
220...나노구조용 박막 230...제1형 나노구조물
300...반사형 컬러필터 381..제1컬러유닛
382...제2컬러유닛 383..제1컬러유닛
400...디스플레이 장치 410..흡수부 450...디스플레이 패널 1 is a cross-sectional view showing a schematic structure of a photonic crystal structure according to an embodiment.
FIG. 2 is a diagram illustrating a general one-dimensional photonic crystal structure and illustrating a color shift according to an incident angle.
FIGS. 3A and 3B are computational simulation diagrams for comparing the inclination angle of the surface of the photonic crystal layer with the presence / absence of spacing between a plurality of dome-shaped nanostructures.
4 is a computer simulation graph showing the inclination angle of the surface of the photonic crystal layer according to the interval between the dome-shaped nanostructures and the number of layers constituting the photonic crystal layer.
5A to 5E are views for explaining a method of manufacturing a photonic crystal structure according to an embodiment.
FIG. 6 is a computer simulation graph showing the inclination angle of the surface of the photonic crystal layer according to the number of layers constituting the photonic crystal layer, using a sputter or a vacuum evaporator when forming the photonic crystal layer.
7 is a cross-sectional view showing a schematic structure of a reflective color filter according to an embodiment.
8 is a cross-sectional view showing a schematic structure of a display device according to an embodiment.
Description of the Related Art
100, 200, ... photonic crystal structures 110, 210, 310,
120, 240 ... dome-shaped nano structure 140, 270, 340, 350, 360 ... photonic crystal layer
141, 271, 341, 351, 361 ... First material layer
142, 272, 342, 352, 362 ... the second material layer
220 ... Nano structured thin film 230 ... First type nano structure
300 ... reflective color filter 381 .. first color unit
382 ... second color unit 383 .. first color unit
400 ... display device 410 .. absorber 450 ... display panel

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 이하의 도면들에서 동일한 참조부호는 동일한 구성요소를 지칭하며, 도면상에서 각 구성요소의 크기는 설명의 명료성과 편의상 과장되어 있을 수 있다. Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the following drawings, like reference numerals refer to like elements, and the size of each element in the drawings may be exaggerated for clarity and convenience of explanation.

도 1은 실시예에 따른 광결정 구조체의 개략적인 구조를 보이는 단면도이다.1 is a cross-sectional view showing a schematic structure of a photonic crystal structure according to an embodiment.

도면을 참조하면, 광결정 구조체(100)는 랜덤한 크기를 가지는 다수의 돔형 나나 구조물(120)을 포함하며, 다수의 돔형 나노 구조물(120)들이 서로 거리를 두어 이격 배치되어 있다. 돔형 나노 구조물(120)들 위에는 비평탄한 표면(140a)을 가지며, 소정 파장의 광을 반사시키도록 설계된 광결정층(140)이 형성되어 있다. Referring to FIG. 1, a photonic crystal structure 100 includes a plurality of dome-shaped structures 120 having a random size, and a plurality of dome-shaped nanostructures 120 are spaced apart from each other. On the dome-shaped nanostructures 120, a photonic crystal layer 140 having a non-flat surface 140a and designed to reflect light of a predetermined wavelength is formed.

다수의 돔형 나노구조물(120)들은 이 위로 형성되는 광결정층(140)의 표면이 평탄하지 않고 소정 경사각을 가질 수 있도록 제시되는 것이다. 즉, 이러한 나노 구조물(120)들에 의해 랜덤한 높이 분포를 가지는 광결정층(140)을 형성될 수 있고, 이에 의해, 보는 각도에 따라 색이 다르게 보이는 색변화를 줄일 수 있다. The plurality of dome-shaped nanostructures 120 are provided so that the surface of the photonic crystal layer 140 formed thereon is not flat but has a predetermined inclination angle. That is, the photonic crystal layer 140 having a random height distribution can be formed by the nanostructures 120, thereby reducing a color change in which the color is different depending on the viewing angle.

보다 상세한 구조를 살펴보기로 한다.A more detailed structure will be described.

기판(110)의 재질로는 실리콘, 실리콘 산화물, 사파이어, 실리콘 카바이드. 글래스 등이 사용될 수 있다. The substrate 110 may be made of silicon, silicon oxide, sapphire, or silicon carbide. Glass or the like can be used.

기판(110) 상에는 다수의 돔형 나노 구조물(120)들이 이격 배치되어 있으며, 다수의 돔형 나노 구조물(120)들은 랜덤한 크기 분포를 갖는다. 다수의 돔형 나노 구조물(120)간 거리는 광결정층(140)에 구비되어야 할 적층수 및 광결정층(140)의 표면(140a)에서 구현하고자 하는 경사각 정도를 고려하여 적절히 정할 수 있으며, 일정하거나 랜덤한 간격을 가질 수 있다. A plurality of dome-shaped nanostructures 120 are spaced apart from each other on a substrate 110, and a plurality of dome-shaped nanostructures 120 have a random size distribution. The distance between the plurality of dome-shaped nanostructures 120 can be appropriately determined in consideration of the number of layers to be provided in the photonic crystal layer 140 and the degree of inclination to be implemented on the surface 140a of the photonic crystal layer 140, Spacing.

돔형 나노 구조물(120)은 열에 의해 리플로우(reflow)되는 물질로 이루어질 수 있다. 후술하겠지만, 도시된 바와 같이, 각이 없고 곡면을 가지는 돔 형상은 열처리 공정에 의해 형성되기 때문이다. 돔형 나노 구조물(120)은 또한, 감광성 물질로 이루어질 수 있다. The dome-shaped nanostructure 120 may be made of a material that is reflowed by heat. As will be described later, as shown, the dome shape having no angle and a curved surface is formed by the heat treatment process. The dome-shaped nanostructure 120 may also be made of a photosensitive material.

다수의 돔형 나노 구조물(120)는 단층막(monolayer) 형태로 배열될 수 있으며, 다만, 이에 제한되는 것은 아니다. 돔형 나노 구조물(120)의 직경은 대략 수십 nm 내지 수백 nm 정도일 수 있다. The plurality of dome-shaped nanostructures 120 may be arranged in the form of a monolayer, but is not limited thereto. The diameter of the dome-shaped nanostructure 120 may be about several tens nm to several hundreds of nanometers.

광결정층(140)은 소정 파장의 광을 반사하도록 설계된 1차원 광결정으로, 제1굴절률을 가지는 제1물질층(141)과, 상기 제1굴절률과 다른 제2굴절률을 가지는 제2물질층(142)이 교번 적층되어 있다. 반사 파장 대역은 제1물질층(141), 제2물질층(142) 각각의 굴절률, 각 층의 두께에 따라 정해진다. 적층수는 반사 효율을 고려하여 정해지며, 일반적으로 층수가 많을수록 반사 효율이 좋아진다. The photonic crystal layer 140 is a one-dimensional photonic crystal designed to reflect light of a predetermined wavelength and includes a first material layer 141 having a first refractive index and a second material layer 142 having a second refractive index different from the first refractive index ) Are alternately stacked. The reflection wavelength band is determined according to the refractive index of each of the first material layer 141 and the second material layer 142, and the thickness of each layer. The number of laminated layers is determined in consideration of the reflection efficiency. In general, the reflection efficiency increases as the number of layers increases.

제1물질층(141) 및 제2물질층(142)은 투광성의 절연물질로 이루어질 수 있다. 제1물질층(141) 및 제2물질층(142)은 SiO2, TiO2, Si3N4, CaF2, LiF, MgF2 중 어느 하나를 포함하여 이루어질 수 있다. The first material layer 141 and the second material layer 142 may be made of a light-transmitting insulating material. The first material layer 141 and the second material layer 142 may comprise any one of SiO 2 , TiO 2 , Si 3 N 4 , CaF 2 , LiF, and MgF 2 .

또한, 제1물질층(141) 및 제2물질층(142) 중 어느 하나는 절연물질로, 어느 하나는 금속물질로 이루어질 수 있다. 금속물질로 이루어지게 되는 제1물질층(141) 또는 제2물질층(142)층은 빛의 흡수가 최소화되도록 가능한 얇게 형성할 수 있으며, 예를 들어, 약 50nm이하의 두께로 형성할 수 있다.In addition, any one of the first material layer 141 and the second material layer 142 may be made of an insulating material, and one of the first material layer 141 and the second material layer 142 may be made of a metal material. The first material layer 141 or the second material layer 142 made of a metal material may be formed as thin as possible so as to minimize light absorption and may be formed to a thickness of about 50 nm or less, for example .

광결정층(140)의 표면(140a)은 평탄하지 않고 랜덤한 높이 분포를 가진다. 이것은 랜덤한 크기를 가지는 다수의 돔형 나노 구조물(120)들 위로 광결정층(140)을 형성함에 따른 것이다. 또한, 반사 효율을 고려하여 정해지는 적층수가 많아질수록, 광결정층(140) 표면(140a)의 비평탄 정도, 예를 들어, 수평면에 대한 경사각은 작아지는데, 실시예에서는 다수의 돔형 나노 구조물 (120)간에 간격을 형성함으로써, 적층수가 많아짐에 따라 경사각이 작아지는 경향을 완화하고 있다. The surface 140a of the photonic crystal layer 140 is not flat but has a random height distribution. This is due to the formation of the photonic crystal layer 140 over a plurality of dome-shaped nanostructures 120 having a random size. The degree of unevenness of the surface 140a of the photonic crystal layer 140, for example, the inclination angle with respect to the horizontal plane, decreases as the number of stacked layers determined in consideration of the reflection efficiency increases. In the embodiment, a plurality of dome- 120, the tendency that the inclination angle becomes smaller as the number of stacked layers is reduced is alleviated.

상술한 구조의 광결정 구조체(100)는 광결정층(140)의 제1물질층(141), 제2물질층(142)의 재질, 두께, 적층수에 의해 정해지는 파장 대역의 광(Lc)을 반사시킴에 있어, 보는 각도에 따른 색변화가 매우 적어, 넓은 시야각이 구현된다. The photonic crystal structure 100 of the above structure has a structure in which light Lc of a wavelength band determined by the material, thickness, and number of layers of the first material layer 141 and the second material layer 142 of the photonic crystal layer 140 In the reflection, a very small color change due to viewing angle, and a wide viewing angle are realized.

도 2를 함께 참조하여 설명하면 다음과 같다. 도 2는 일반적인 1차원 광결정 구조(100')를 보이며, 입사광의 입사각에 따라 반사광의 컬러 쉬프트가 일어남을 설명하는 도면이다. Referring to FIG. 2 together, the following will be described. FIG. 2 shows a general one-dimensional photonic crystal structure 100 ', illustrating a color shift of reflected light according to an incident angle of incident light.

기판(110') 상에 평탄한 구조로 제1굴절률층(141')과 제2굴절률층(142')이 교번 적층된 광결정층(140')이 형성된 경우, 이러한 광결정층(140')은 수직 입사된 광에 대해서만 설계된 파장 대역의 광이 반사된다. 예를 들어, 광결정층(140')이 녹색 파장 대역의 광(LG)을 반사하도록 제1굴절률층(141'), 제2굴절률층(142')의 재질, 두께를 설계한 경우, 백색광(LW)이 수직 입사된 경우, 녹색 파장 대역의 광(LG)이 반사되지만, 백색광(Lw)이 소정 각도(θ)로 입사되는 경우, 각도(θ)에 따라 청색 파장 대역으로 쉬프트되어 녹색과 청색의 혼합색을 나타내는 광(LGB), 청색 파장 대역의 광(LB)이 반사되게 된다.When the photonic crystal layer 140 'in which the first refractive index layer 141' and the second refractive index layer 142 'are alternately stacked is formed on the substrate 110' in a flat structure, the photonic crystal layer 140 ' The light of the designed wavelength band is reflected only for the incident light. For example, when the material and thickness of the first refractive index layer 141 'and the second refractive index layer 142' are designed so that the photonic crystal layer 140 'reflects the light L G in the green wavelength band, (L W) in this case, the normal incidence, in the green wavelength band light (L G) is, but the reflection, the white-light (Lw) is then shifted in the blue wavelength band in accordance with an angle (θ) when incident at a predetermined angle (θ) Light (L GB ) representing a mixed color of green and blue and light (L B ) of a blue wavelength band are reflected.

한편, 도 1과 같은 광결정 구조체(100)의 경우, 광결정 구조체(140)에 입사된 백색광(Lw) 중, 광결정층(140)의 설계 파장 대역의 광(Lc)이 반사되며, 이 때, 랜덤한 높이 분포를 갖는 광결정층(140) 표면(140a)의 경사각에 의해 회절 간섭 효과가 유발된다. 즉, 다양한 높이에서 다양한 각도로 빛이 반사, 회절 및 산란될 수 있어 보는 각도에 따른 색의 변화가 줄어들고, 보다 넓은 시야각 범위에서 설계 파장 대역의 광(Lc)이 인지된다. 1, the light Lc in the design wavelength band of the photonic crystal layer 140 is reflected among the white light Lw incident on the photonic crystal structure 140, and at this time, The diffraction interference effect is caused by the inclination angle of the surface 140a of the photonic crystal layer 140 having a height distribution. That is, the light can be reflected, diffracted, and scattered at various angles at various heights, so that the change in color depending on the viewing angle is reduced and the light Lc in the design wavelength band is recognized in a wider viewing angle range.

도 3a 및 도 3b는 다수의 돔형 나노 구조물들 간의 간격 형성 유/무에 따른 광결정층의 표면 경사각 정도를 비교하는 전산모사 도면이다.FIGS. 3A and 3B are computational simulation diagrams for comparing the inclination angle of the surface of the photonic crystal layer with the presence / absence of spacing between a plurality of dome-shaped nanostructures.

도면들을 참조하면, 돔형 나노 구조물들간 간격이 형성되지 않은 도 3a에 비해, 돔형 나노 구조물들간 소정 간격이 확보된 도 3b의 경우, 광결정층 표면의 경사각이 보다 크게 나타남을 볼 수 있다. 전산모사는 편의상, 일정한 크기를 가지며, 반구형상의 돔형 나노 구조물에 대해 행해졌지만, 랜덤한 크기의 다른 곡면 형상을 가지는 돔형 나노 구조물에 대해서도 유사한 결과를 예측할 수 있다.Referring to FIG. 3, in the case of FIG. 3B in which a predetermined distance is secured between the dome-shaped nanostructures, the inclination angle of the surface of the photonic crystal layer is larger than that of FIG. 3A in which no gap is formed between the dome-shaped nanostructures. Computational simulation has been performed for hemispherical dome-shaped nanostructures with a uniform size for convenience, but similar results can be expected for dome-shaped nanostructures having random curved shapes.

도 4는 다수의 돔형 나노 구조물들간의 간격 및 광결정층을 구성하는 층수에 따라 광결정층 표면의 경사각을 보이는 전산모사 그래프이다.4 is a computer simulation graph showing the inclination angle of the surface of the photonic crystal layer according to the interval between the dome-shaped nanostructures and the number of layers constituting the photonic crystal layer.

광결정층을 구성하는 제1물질층, 제2물질층의 적층수는 반사 효율이 높아지도록 많아질 수 있으며, 이 때, 적층수가 많을수록 광결정층 표면은 평탄해진다. 즉, 반사 효율을 고려하여 광결정층을 구성하는 층수를 증가시킬 경우, 시야각은 상대적으로 작아지게 된다. 다만, 돔형 나노 구조물들간 적정의 간격을 확보하는 경우, 광결정층의 적층수가 증가됨에 따른 광결정층 표면의 경사각 감소를 완화시킬 수 있으며, 적정의 시야각을 확보할 수 있다. The number of stacked layers of the first material layer and the second material layer constituting the photonic crystal layer may be increased to enhance the reflection efficiency. At this time, the surface of the photonic crystal layer becomes more flat as the number of stacked layers increases. That is, when the number of layers constituting the photonic crystal layer is increased in consideration of the reflection efficiency, the viewing angle becomes relatively small. However, when securing proper spacing between the dome-shaped nanostructures, it is possible to alleviate the decrease in the inclination angle of the surface of the photonic crystal layer as the number of stacked photonic crystal layers increases, and a proper viewing angle can be ensured.

도 5a 내지 도 5e는 실시예에 따른 광결정 구조체 제조방법을 설명하는 도면들이고, 도 6은 광결정층을 형성할 때, 스퍼터(sputter) 또는 진공증착기(evaporator) 사용 및 광결정층을 구성하는 층수에 따라 광결정층 표면의 경사각을 보이는 전산모사 그래프이다. FIGS. 5A to 5E are diagrams for explaining a method of manufacturing a photonic crystal structure according to an embodiment. FIG. 6 is a cross-sectional view illustrating a method of manufacturing a photonic crystal structure according to an embodiment using a sputter or a vacuum evaporator, This is a computer simulation graph showing the inclination angle of the surface of the photonic crystal layer.

도 5a를 참조하면, 먼저, 기판(210) 상에 나노구조용 박막(220)을 형성한다. 나노구조용 박막(220)은 열에 의해 리플로우(reflow)되는 물질로 이루어질 수 있다. 후술할 열처리 공정에서 리플로우에 의한 변형이 이루어져야 하기 때문이다. 또한, 나노구조용 박막(220)은 감광성 물질, 예를 들어, 포토 리지스트로 이루어질 수 있다. Referring to FIG. 5A, a nanostructured thin film 220 is formed on a substrate 210. The nanostructured thin film 220 may be made of a material that is reflowed by heat. This is because deformation due to reflow must be performed in a heat treatment step to be described later. In addition, the nanostructured thin film 220 may be formed of a photosensitive material, for example, a photoresist.

다음, 도 5b와 같이 다수의 랜덤한 크기의 개구가 형성된 마스크(M)를 이용하여 노광, 현상 공정을 진행하여 나노구조용 박막(220)을 패터닝한다. 이에 따라, 도 5c와 같이 하여 다수의, 랜덤한 크기를 가지는 제1형상을 가지는 제1형 나노 구조물(230)이 형성된다. 제1형상은 원기둥, 원뿔대 또는 다각기둥 형상일 수 있다. Next, as shown in FIG. 5B, the nanostructured thin film 220 is patterned by performing exposure and development processes using a mask M having openings having a plurality of random sizes. Accordingly, as shown in FIG. 5C, a plurality of first nanostructures 230 having a first shape having a random size are formed. The first shape may be a cylindrical shape, a frustum or a polygonal shape.

설명된 공정은 나노구조용 박막(220)이 감광성 물질로 이루어진 경우를 예시한 것이고, 다른 물질로 형성된 경우, 나노구조용 박막(220) 위에 포토리지스트층을 형성하고, 포토리지스트층을 노광 현상한 후, 식각등의 공정을 사용하여 제1형 나노 구조물(230)을 형성하는 것도 가능하다. The illustrated process is a case in which the nanostructured thin film 220 is formed of a photosensitive material. When the nanostructured thin film 220 is formed of another material, a photoresist layer is formed on the nanostructure thin film 220, and a photoresist layer is exposed and developed After that, the first-type nanostructure 230 may be formed using a process such as etching.

다음, 열처리 공정을 이용하여 도 5d와 같이 돔 형상을 가지는 돔형 나노구조물(240)을 형성한다. 열에 의한 리플로우에 따라 제1형 나노 구조물(230)의 모서리 부분이 곡면 형태로 완만해지는 것이다. Next, a dome-shaped nanostructure 240 having a dome shape is formed as shown in FIG. 5D by using a heat treatment process. The edge portion of the first-type nanostructure 230 becomes gently curved in accordance with reflow by heat.

이 때, 열처리 전후의 나노구조물 체적, 즉, 제1형 나노 구조물(230)과 돔형 나노 구조물(240)의 체적은 같으며, 이를 이용하여, 형성하고자 하는 돔형 나노구조물(240)간 간격, 크기를 고려하여, 제1형 나노구조물(230)간 간격, 크기를 설계할 수 있다. 즉, 도 5a의 단계에서 나노구조용 박막(220)의 두께, 도 5b의 단계에서 마스크(M) 설계안을 정할 수 있다. In this case, the volumes of the nanostructures before and after the heat treatment, that is, the volumes of the first-type nanostructure 230 and the dome-shaped nanostructure 240 are the same, and the gap between the dome-shaped nanostructures 240 to be formed, The spacing and size of the first-type nanostructures 230 can be designed. That is, the thickness of the nanostructured thin film 220 may be determined in the step of FIG. 5A, and the design of the mask M may be determined in the step of FIG. 5B.

다음, 도 5e와 같이, 다수의 돔형 나노 구조물(240) 위로 비평탄한 표면을 가지며, 소정 파장의 광을 반사시키도록 설계된 광결정층(270)을 형성한다. 즉, 제1굴절률을 가지는 제1물질층(271)과, 상기 제1굴절률과 다른 제2굴절률을 가지는 제2물질층(272)을 교번 적층하여 광결정층(270)을 형성한다. 제1물질층(2741), 제2물질층(272)의 재질, 두께 및 층수는 원하는 반사 파장 대역 및 반사 효율을 고려하여 정할 수 있다. 예를 들어, 제1물질층(271) 및 제2물질층(272)은 SiO2, TiO2, Si3N4, CaF2, LiF, MgF2 중 어느 하나를 포함하여 이루어질 수 있다. 또한, 제1물질층(271) 및 제2물질층(272) 중 어느 하나는 절연물질로, 어느 하나는 금속물질로 형성할 수 있다. Next, as shown in FIG. 5E, a photonic crystal layer 270 having a non-planar surface on the plurality of dome-shaped nanostructures 240 and designed to reflect light of a predetermined wavelength is formed. That is, the photonic crystal layer 270 is formed by alternately stacking a first material layer 271 having a first refractive index and a second material layer 272 having a second refractive index different from the first refractive index. The material, thickness, and number of layers of the first material layer 2741 and the second material layer 272 can be determined in consideration of a desired reflection wavelength band and reflection efficiency. For example, the first material layer 271 and the second material layer 272 may comprise any one of SiO 2 , TiO 2 , Si 3 N 4 , CaF 2 , LiF, and MgF 2 . In addition, any one of the first material layer 271 and the second material layer 272 may be formed of an insulating material, and one of the first material layer 271 and the second material layer 272 may be formed of a metal material.

제1물질층(272)과 제2물질층(272)은 스퍼터(sputter) 또는 진공증착기(evaporator)를 사용하여 형성할 수 있다. 도 6을 참조하면, 스퍼터(sputter)를 사용한 경우, 광결정층(270) 표면 경사각이 층수에 따른 감소하는 정도가 줄어들기 때문에, 스퍼터를 이용하여 광결정층(270)을 형성하는 것이 바람직할 것이다. 또한, 광결정층(270) 표면의 경사각을 가능한 크게 유지할 수 있도록, 스퍼터 증착 조건은 평균 자유 행정(mean free path)을 최대로 하고, 기판(210)의 타겟과의 거리를 최소로 할 수 있다. 평균 자유 행정은 기판(210)을 향하는 타겟 입자들간에 충돌이 일어나기 전 비행거리의 평균을 의미하며, 일반적으로 스퍼터 내 기압이 낮아질수록 평균 자유 행정은 커진다. 여기서, 최대, 최소의 의미는 스퍼터 장비가 제공하는 범위에서의 최대, 최소를 의미한다. The first material layer 272 and the second material layer 272 may be formed using a sputter or a vacuum evaporator. Referring to FIG. 6, in the case of using a sputter, it is preferable to form the photonic crystal layer 270 by using a sputtering because the degree of decrease of the surface inclination angle of the photonic crystal layer 270 according to the number of layers decreases. In order to keep the inclination angle of the surface of the photonic crystal layer 270 as large as possible, the sputter deposition conditions can maximize the mean free path and minimize the distance between the substrate 210 and the target. The average free stroke means the average of the flying distance before the collision between the target particles toward the substrate 210. Generally, as the air pressure in the sputter decreases, the average free stroke becomes larger. Here, the maximum and minimum meanings are maximum and minimum in the range provided by the sputtering equipment.

도 7은 실시예에 따른 반사형 컬러필터(300)의 개략적인 구조를 보이는 단면도이다.7 is a cross-sectional view showing a schematic structure of a reflective color filter 300 according to an embodiment.

반사형 컬러필터(300)는 제1파장의 광을 선택적으로 반사시키는 제1컬러유닛(381), 제2파장의 광을 선택적으로 반사시키는 제2컬러유닛(382), 제3파장의 광을 선택적으로 반사시키는 제3컬러유닛(383)을 포함한다. 도면에는 편의상, 하나의 제1컬러유닛(381), 제2컬러유닛(382), 제3컬러유닛(383)이 도시되어 있지만 반사형 컬러필터(300)는 다수의 제1컬러유닛(381), 제2컬러유닛(382), 제3컬러유닛(383)을 포함하며, 이들은 2차원 어레이로 교번 배열되어 있다. The reflective color filter 300 includes a first color unit 381 for selectively reflecting light of a first wavelength, a second color unit 382 for selectively reflecting light of a second wavelength, And a third color unit 383 for selectively reflecting light. The reflective color filter 300 includes a plurality of first color units 381, while the first color unit 381, the second color unit 382, and the third color unit 383 are shown for convenience in the drawing. A second color unit 382, and a third color unit 383, which are alternately arranged in a two-dimensional array.

제1컬러유닛(381), 제2컬러유닛(382), 제3컬러유닛(383)으로는 전술한 구조의 광결정 구조체(100, 101, 200)가 채용될 수 있다. 즉, 제1컬러유닛(381), 제2컬러유닛(382), 제3컬러유닛(383)은 다수의 이격 배치된 돔형 나노 구조물 (320)를 포함하며, 다수의 돔형 나노 구조물 (320)들 위에 비평탄한 표면을 가지도록 설계된 각각의 광결정층(340)350)(360)은 각각 제1파장, 제2파장, 제3파장의 광을 반사시키도록 설계된다. 예를 들어, 광결정층(340)은 제1파장의 광을 반사하도록 두께 d1, d2로 설계된 제1물질층(341), 제2물질층(342)을 포함하며, 광결정층(350)은 제2파장의 광을 반사하도록 두께 d3, d4로 설계된 제1물질층(351), 제2물질층(352)을 포함하며, 광결정층(360)은 제3파장의 광을 반사하도록 두께 d5, d6로 설계된 제1물질층(361), 제2물질층(362)을 포함한다. 제1파장의 광, 제2파장의 광, 제3파장의 광은 예를 들어, 각각 적색광, 녹색광, 청색광일 수 있다.As the first color unit 381, the second color unit 382, and the third color unit 383, the photonic crystal structures 100, 101, and 200 having the above-described structures may be employed. That is, the first color unit 381, the second color unit 382, and the third color unit 383 include a plurality of spaced-apart dome-shaped nanostructures 320, and the plurality of dome-shaped nanostructures 320 Each of the photonic crystal layers 340, 350, and 360, designed to have a non-planar surface, is designed to reflect light of a first wavelength, a second wavelength, and a third wavelength, respectively. For example, the photonic crystal layer 340 includes a first material layer 341 and a second material layer 342 designed to have thicknesses d1 and d2 to reflect light of a first wavelength, A first material layer 351 and a second material layer 352 designed to have a thickness d3 and d4 to reflect light of two wavelengths and the photonic crystal layer 360 has thicknesses d5 and d6 A first material layer 361, a second material layer 362, The light of the first wavelength, the light of the second wavelength, and the light of the third wavelength may be, for example, red light, green light and blue light, respectively.

도 8은 실시예에 따른 디스플레이 장치(400)의 개략적인 구조를 보이는 단면도이다. 8 is a cross-sectional view showing a schematic structure of a display device 400 according to an embodiment.

도면을 참조하면, 디스플레이 장치(400)는 예를 들어, 도 7과 같은 구조의 제1컬러유닛(481), 제2컬러유닛(382), 제3컬러유닛(383)이 구비된 반사형 컬러 필터(300)와, 제1컬러유닛(381), 제2컬러유닛(382), 제3컬러유닛(383)에 각각 대응하는 영역을 가지며 각 영역에 입사된 광을 화상 정보에 따라 변조하는 디스플레이 패널(450)을 포함한다.Referring to the drawings, the display device 400 includes a reflective color display device having a first color unit 481, a second color unit 382, a third color unit 383, A filter 300 and a display 300 having an area corresponding to each of the first color unit 381, the second color unit 382 and the third color unit 383 and modulating light incident on each area according to image information, Panel 450 as shown in FIG.

디스플레이 패널(450)은 입사광을 온/오프 제어 또는 투과율을 조절하는 광 셔터의 기능을 할 수 있는 다양한 구조가 채용될 수 있으며, 예를 들어, 액정 표시 소자(liquid crystal display device), 전기 영동 표시 소자 (electrophoresis display device), 전기 습윤 표시 소자(electrowetting display device) 또는 전기 변색 표시 소자(electrochromic display device)를 포함하여 이루어질 수 있다. The display panel 450 may have various structures capable of controlling on / off of incident light or functioning as an optical shutter for adjusting the transmittance. For example, a liquid crystal display device, an electrophoretic display An electrophoresis display device, an electrowetting display device, or an electrochromic display device.

디스플레이 장치(400)는 반사형 컬러필터(300)에서 반사되지 않은 파장 대역의 광, 즉, 반사형 컬러필터(300)를 통과한 광을 흡수하는 흡수부(410)를 더 포함할 수 있다. The display device 400 may further include an absorption part 410 that absorbs light in a wavelength band not reflected by the reflective color filter 300, that is, light that has passed through the reflective color filter 300.

반사형 컬러필터(300)에 입사되는 백색광(Lw)은 제1컬러유닛(381), 제2컬러유닛(382), 제3컬러유닛(383)에서, 적색광(LR), 녹색광(LG), 청색광(LB)으로 반사된다. 반사된 적색광(LR), 녹색광(LG), 청색광(LB)은 디스플레이 패널(450)의 각 영역에서 화상 정보에 따라 변조되어 영상을 형성하게 된다. The white light Lw incident on the reflection type color filter 300 is converted into red light L R and green light L G in the first color unit 381, the second color unit 382 and the third color unit 383. [ ) And blue light (L B ). The reflected red light L R , green light L G and blue light L B are modulated according to image information in each area of the display panel 450 to form an image.

이러한 본원 발명은 이해를 돕기 위하여 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 분야에서 통상적 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위에 의해 정해져야 할 것이다.While the present invention has been described with reference to exemplary embodiments thereof, it will be understood by those of ordinary skill in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims. I will understand. Accordingly, the true scope of the present invention should be determined by the appended claims.

Claims (23)

기판;
상기 기판 상에 마련된 것으로, 랜덤한 크기를 가지며 랜덤한 간격으로 이격 배치된 다수의 돔형(dome type) 나노 구조물:
상기 다수의 나노 구조물 위에 형성된 것으로, 비평탄한 표면을 가지며, 소정 파장의 광을 반사시키도록 설계된 광결정층;을 포함하는 광결정 구조체.Board;
A plurality of dome type nanostructures provided on the substrate and randomly spaced apart at random intervals,
And a photonic crystal layer formed on the plurality of nanostructures, the photonic crystal layer having a non-planar surface and designed to reflect light of a predetermined wavelength. 제1항에 있어서,
상기 다수의 돔형 나노 구조물은 상기 기판 상에 단층막을 이루는 형태로 배치된 광결정 구조체.The method according to claim 1,
Wherein the plurality of dome-shaped nanostructures are arranged in a form of a monolayer film on the substrate. 제1항에 있어서,
상기 광결정층은 제1굴절률을 가지는 제1물질층과, 상기 제1굴절률과 다른 제2굴절률을 가지는 제2물질층이 교번 적층되어 이루어진 광결정 구조체.The method according to claim 1,
Wherein the photonic crystal layer is formed by alternately stacking a first material layer having a first refractive index and a second material layer having a second refractive index different from the first refractive index. 제3항에 있어서,
상기 제1물질층 및 제2물질층은 투광성의 절연물질로 이루어지는 광결정 구조체.The method of claim 3,
Wherein the first material layer and the second material layer are made of a light-transmitting insulating material. 제3항에 있어서,
상기 제1물질층 및 제2물질층은 SiO2, TiO2, Si3N4, CaF2, LiF, MgF2 중 어느 하나를 포함하여 이루어지는 광결정 구조체.The method of claim 3,
Wherein the first material layer and the second material layer comprise any one of SiO 2 , TiO 2 , Si 3 N 4 , CaF 2 , LiF, and MgF 2 . 제3항에 있어서,
상기 제1물질층 및 제2물질층 중 어느 하나는 금속물질로, 다른 하나는 절연물질로 이루어지는 광결정 구조체.The method of claim 3,
Wherein one of the first material layer and the second material layer is made of a metal material and the other is made of an insulating material. 제1항에 있어서,
상기 다수의 돔형 나노 구조물은 열에 의해 리플로우(reflow) 되는 물질로 이루어지는 광결정 구조체.The method according to claim 1,
Wherein the plurality of dome-shaped nanostructures are made of a material that is reflowed by heat. 제7항에 있어서,
상기 다수의 돔형 나노 구조물은 감광성 물질로 이루어지는 광결정 구조체.8. The method of claim 7,
Wherein the plurality of dome-shaped nanostructures are made of a photosensitive material. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 제1항의 광결정 구조체로서 상기 광결정층이 제1파장의 광을 반사시키도록 설계된 다수의 제1컬러유닛;
제1항의 광결정 구조체로서 상기 광결정층이 제2파장의 광을 반사시키도록 설계된 다수의 제2컬러유닛;
제1항의 광결정 구조체로서, 상기 광결정층이 제3파장의 광을 반사시키도록 설계된 다수의 제3컬러유닛;을 포함하며,
상기 다수의 제1컬러유닛, 제2컬러유닛, 제3컬러유닛이 2차원 어레이로 교번 배열된 반사형 컬러 필터.A photonic crystal structure according to claim 1, wherein said photonic crystal layer is a plurality of first color units designed to reflect light of a first wavelength;
A photonic crystal structure according to claim 1, wherein said photonic crystal layer is a plurality of second color units designed to reflect light of a second wavelength;
The photonic crystal structure of claim 1, wherein the photonic crystal layer includes a plurality of third color units designed to reflect light of a third wavelength,
Wherein the plurality of first color units, the second color unit, and the third color unit are alternately arranged in a two-dimensional array. 제15항에 있어서,
상기 다수의 돔형 나노 구조물은 상기 기판 상에 단층막을 이루는 형태로 배치된 반사형 컬러 필터.16. The method of claim 15,
Wherein the plurality of dome-shaped nanostructures are arranged in a form of a single layer on the substrate. 제15항에 있어서,
상기 광결정층은 제1굴절률을 가지는 제1물질층과, 상기 제1굴절률과 다른 제2굴절률을 가지는 제2물질층이 교번 적층되어 이루어진 반사형 컬러 필터.16. The method of claim 15,
Wherein the photonic crystal layer is formed by alternately stacking a first material layer having a first refractive index and a second material layer having a second refractive index different from the first refractive index. 제17항에 있어서,
상기 제1물질층 및 제2물질층은 투광성의 절연물질로 이루어지는 반사형 컬러 필터.18. The method of claim 17,
Wherein the first material layer and the second material layer are made of a light-transmitting insulating material. 제17항에 있어서,
상기 제1물질층 및 제2물질층은 SiO2, Si3N4,TiO2, CaF2, LiF, MgF2 중 어느 하나를 포함하여 이루어지는 반사형 컬러 필터.18. The method of claim 17,
Wherein the first material layer and the second material layer comprise any one of SiO 2 , Si 3 N 4, TiO 2 , CaF 2 , LiF, and MgF 2 . 제17항에 있어서,
상기 제1물질층 및 제2물질층 중 어느 하나는 금속물질로, 다른 하나는 절연물질로 이루어지는 반사형 컬러 필터.18. The method of claim 17,
Wherein one of the first material layer and the second material layer is made of a metal material and the other is made of an insulating material. 제15항의 반사형 컬러 필터;
상기 다수의 제1컬러유닛, 제2컬러유닛, 제3컬러유닛에 각각 대응하는 영역을 가지며, 각 영역에 입사된 광을 화상 정보에 따라 변조하는 디스플레이 패널;을 포함하는 디스플레이 장치. A reflective color filter according to claim 15;
And a display panel having an area corresponding to each of the plurality of first color units, a second color unit and a third color unit, and modulating light incident on each area according to image information. 제21항에 있어서,
상기 디스플레이 패널은
액정 표시 소자(liquid crystal display device), 전기 영동 표시 소자 (electrophoresis display device), 전기 습윤 표시 소자(electrowetting display device) 또는 전기 변색 표시 소자(electrochromic display device)를 포함하여 이루어진 디스플레이 장치. 22. The method of claim 21,
The display panel
A display device comprising a liquid crystal display device, an electrophoresis display device, an electrowetting display device or an electrochromic display device. 제21항에 있어서,
상기 반사형 컬러필터를 투과한 광을 흡수하는 흡수부가 더 마련된 디스플레이 장치. 22. The method of claim 21,
And an absorber for absorbing the light transmitted through the reflective color filter.
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