KR101843827B1 - Static electricity test apparatus for strip - Google Patents

Static electricity test apparatus for strip Download PDF

Info

Publication number
KR101843827B1
KR101843827B1 KR1020160147598A KR20160147598A KR101843827B1 KR 101843827 B1 KR101843827 B1 KR 101843827B1 KR 1020160147598 A KR1020160147598 A KR 1020160147598A KR 20160147598 A KR20160147598 A KR 20160147598A KR 101843827 B1 KR101843827 B1 KR 101843827B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
strip
static electricity
measuring
mounting
thickness
Prior art date
Application number
KR1020160147598A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
권혁
오진석
강귀원
Original Assignee
멤프로 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 멤프로 주식회사 filed Critical 멤프로 주식회사
Priority to KR1020160147598A priority Critical patent/KR101843827B1/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101843827B1 publication Critical patent/KR101843827B1/en

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R29/00—Arrangements for measuring or indicating electric quantities not covered by groups G01R19/00 - G01R27/00
    • G01R29/12—Measuring electrostatic fields or voltage-potential
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/02—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B7/06—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness
    • G01B7/10—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness using magnetic means, e.g. by measuring change of reluctance
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/12—Testing dielectric strength or breakdown voltage ; Testing or monitoring effectiveness or level of insulation, e.g. of a cable or of an apparatus, for example using partial discharge measurements; Electrostatic testing
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05F—STATIC ELECTRICITY; NATURALLY-OCCURRING ELECTRICITY
    • H05F3/00—Carrying-off electrostatic charges
    • H05F3/06—Carrying-off electrostatic charges by means of ionising radiation

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Toxicology (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)

Abstract

A static electricity test apparatus for a strip is disclosed. The static electricity test apparatus for a strip includes: a strip mounting part for mounting a strip; a static electricity elimination part capable of removing the static electricity of the strip; a static electricity measuring part capable of measuring the static electricity of the strip; a static electricity generation part which touches the strip and rubs against the strip to generate static electricity in the strip; a thickness measuring part capable of measuring the thickness of the strip mounted on the strip mounting part; a strip contact part for moving the static electricity generation part to touch the strip; and a strip moving part capable of moving the strip mounting part.

Description

스트립용 정전기 테스트 장치{STATIC ELECTRICITY TEST APPARATUS FOR STRIP}[0001] STATIC ELECTRICITY TEST APPARATUS FOR STRIP [0002]

본 발명은 정전기 테스트 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 스트립을 마찰시켜 스트립에 발생되는 정전기를 측정할 수 있는 스트립용 정전기 테스트 장치에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electrostatic testing apparatus, and more particularly, to an electrostatic testing apparatus for strips capable of measuring static electricity generated on a strip by rubbing the strip.

스트립과 반도체 칩의 패키징 공정 중에 스트립에 잔류하는 정전기로 인한 품질 불량이 발생되는 것이 현실이다. 이와 같은 불량을 제거하기 위하여는 정전기가 어느 공정에서 발생되어 영향을 미치게 된 것인지 원인조사가 반드시 필요하다. Quality defects due to static electricity remaining on the strip occur during the packaging process of the strip and the semiconductor chip. In order to eliminate such defects, it is necessary to investigate the causes of the static electricity generated in the process.

특히, 기술의 발달로 반도체 칩의 경박단소(輕薄短小)화로 인한 패키징 공정에서 잔류 정전기로 인한 패키징 불량이 크게 문제화 되어 가고 있는 상황이다. Particularly, due to the development of the technology, poor packaging due to residual static electricity in the packaging process due to thinning of the semiconductor chip is becoming a serious problem.

따라서, 잔류 정전기의 발생에 대한 원인조사를 철저히 규명하기 위하여는 패키징 공정 전, 즉 스트립 자체에 잔류 정전기가 남아 있어서 불량이 발생되는 것인지, 패키징 공정 중에 외부로부터 정전기가 유입되거나, 공정 자체에서 발생하는 정전기에 의하여 스트립에 잔류 정전기가 남게 되어 불량이 발생되는 것인지에 대한 철저한 규명이 필요하다. Therefore, in order to thoroughly investigate the cause of the occurrence of residual static electricity, it is necessary to determine whether the residual static electricity remains before the packaging process, that is, the static electricity is left in the strip itself or static electricity flows from the outside during the packaging process, It is necessary to thoroughly investigate whether the residual static electricity remains on the strip due to the static electricity to cause defects.

그러나, 현재까지 스트립 자체에 대한 정전기의 검사는 스트립의 출하 전 스트립에 대한 정전기를 측정하는 것에 머물러 있는 실정이고, 출하된 스트립을 이용하여 패키징 공정을 수행하는 업체에서는 별도의 정전기를 테스트하지 않고 있기 때문에 정전기가 어디에서 발생되는 것인지 정확한 원인을 파악하지 못하는 문제점이 있다. However, until now, the inspection of the static electricity against the strip itself has been made to measure the static electricity against the strip before shipment of the strip, and the company that performs the packaging process using the strip is not testing the static electricity Therefore, there is a problem that the exact cause of static electricity is not known.

이에 본 발명자는 스트립에 정전기를 발생시켜 스트립에서 발생하는 정전기를 측정할 수 있고, 측정된 정전기에 대한 정보 등을 저장하고 데이터 베이스화 함으로써 정전기가 발생되는 원인을 규명할 수 있는 기초자료를 제공할 수 있는 정전기 테스트 장치를 개발하기에 이르렀다. Accordingly, the inventor of the present invention has been able to provide basic data that can identify the cause of static electricity by storing static data of the static electricity generated by the strip by generating static electricity in the strip, To develop an electrostatic testing device.

본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는, 스트립에 발생되는 정전기를 테스트할 수 있는 스트립용 테스트 장치를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a test apparatus for a strip capable of testing static electricity generated in a strip.

상기와 같은 기술적 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 실시예에 따른 스트립용 정전기 테스트 장치는 스트립을 장착할 수 있는 스트립 장착부; 상기 스트립이 가지는 정전기를 제거할 수 있는 정전기 제거부; 상기 스트립의 정전기를 측정할 수 있는 정전기 측정부; 상기 스트립과 접촉하고 상기 스트립과 마찰하여 상기 스트립에 정전기를 발생시키는 정전기 발생부; 상기 스트립 장착부에 장착된 상기 스트립의 두께를 측정할 수 있는 두께 측정부; 상기 정전기 발생부를 이동시켜 상기 스트립과 접촉시키는 스트립 접촉부; 및 상기 스트립 장착부를 이동시킬 수 있는 스트립 이동부를 포함하고, 상기 스트립 이동부는 상기 스트립 장착부를 상기 정전기 제거부로 이동시켜 상기 정전기 제거부가 상기 스트립의 정전기를 제거하고, 상기 스트립 이동부는 상기 스트립 장착부를 상기 정전기 측정부로 이동시켜 상기 정전기 측정부가 상기 스트립의 정전기를 측정하며, 상기 스트립 이동부는 상기 스트립 장착부를 상기 두께 측정부로 이동시켜 상기 두께 측정부가 상기 스트립의 두께를 측정하고, 상기 스트립 이동부는 상기 스트립 장착부를 상기 정전기 발생부로 이동시키고, 상기 스트립 접촉부는 상기 장착 두께에 기초하여 상기 정전기 발생부를 이동시켜 상기 스트립과 상기 정전기 발생부가 서로 접촉되도록 하며, 상기 정전기 발생부는 상기 스트립과 마찰하여 상기 스트립에 정전기를 발생시키고, 상기 스트립 이동부는 상기 스트립 장착부를 상기 정전기 측정부로 이동시켜 상기 정전기 측정부가 상기 스트립에 발생된 정전기를 측정할 수 있다. According to an aspect of the present invention, there is provided an electrostatic testing apparatus for a strip, including: a strip mounting unit for mounting a strip; A static eliminator capable of removing static electricity of the strip; An electrostatic measuring unit capable of measuring static electricity of the strip; A static electricity generator which contacts the strip and rubs against the strip to generate static electricity in the strip; A thickness measuring unit capable of measuring a thickness of the strip mounted on the strip mounting unit; A strip contact portion for moving the static electricity generating portion to contact the strip; And a strip moving part capable of moving the strip mounting part, wherein the strip moving part moves the strip mounting part to the electrostatic charge removing part so that the static eliminating part removes the static electricity of the strip, and the strip moving part moves the strip mounting part The strip moving part moves the strip mounting part to the thickness measuring part, and the thickness measuring part measures the thickness of the strip, and the strip moving part measures the thickness of the strip, The strip contacting portion moves the static electricity generating portion based on the mounting thickness so that the strip and the static electricity generating portion come into contact with each other, and the static electricity generating portion rubs against the strip, And the strip moving part moves the strip mounting part to the static electricity measuring part so that the static electricity measuring part can measure the static electricity generated in the strip.

여기에서 스트립(strip)은 PCB(printed circuit board)와 대응하는 의미로 사용되는 용어이다. Here, a strip is a term used in a corresponding meaning to a printed circuit board (PCB).

본 발명의 실시예에 따른 스트립용 정전기 테스트 장치는 상기 스트립 장착부에 장착되는 상기 스트립에 대한 정보, 측정된 상기 스트립의 두께 및 상기 스트립에 발생된 정전기에 대한 정보를 저장할 수 있는 저장부를 더 포함할 수 있다. The electrostatic testing apparatus for strip according to an embodiment of the present invention may further include a storage unit capable of storing information on the strip mounted on the strip mounting unit, thickness of the strip measured, and information on static electricity generated on the strip .

하나의 실시예로 상기 스트립은 상기 스트립 장착부에 진공 흡착 방식을 통하여 장착될 수 있다. In one embodiment, the strip may be attached to the strip mounting portion via a vacuum adsorption method.

하나의 실시예로 상기 정전기 제거부는 고주파를 이용하여 제전(除電)할 수 있는 이온아이저(ionizer)를 포함할 수 있다. In one embodiment, the static eliminator may include an ionizer capable of discharging electricity using a high frequency.

하나의 실시예로 상기 정전기 발생부는, 회전이 가능하도록 구성된 롤브러쉬(roll-brush)를 포함할 수 있다. In one embodiment, the static electricity generator may include a roll-brush configured to be rotatable.

하나의 실시예로 상기 두께 측정부는, 접촉식 리니어 센서(linear sensor)를 포함할 수 있다. 리니어 센서는 홀효과(Hall effect)를 이용한 홀소자를 사용하여 피감지대상의 변위에 따른 자기장 변화를 감지하여 피감지대상의 변위를 계측하는 부품이다. In one embodiment, the thickness measuring unit may include a contact type linear sensor. The linear sensor is a part for measuring the displacement of the object to be detected by detecting the change of the magnetic field due to the displacement of the object to be detected by using the hall effect using the Hall effect.

본 발명의 실시예에 따른 스트립용 정전기 테스트 장치는 상기 스트립 장착부, 상기 정전기 제거부, 상기 정전기 측정부, 상기 정전기 발생부, 상기 두께 측정부, 상기 스트립 접촉부 및 상기 스트립 이동부를 내부에 수용할 수 있는 커버부를 더 포함하고, 상기 커버부는 무정전 아크릴로 이루어지는 것이 바람직하다. The electrostatic testing apparatus for strip according to an embodiment of the present invention may be configured to accommodate the strip mounting unit, the electrostatic charge removing unit, the static electricity measuring unit, the static electricity generating unit, the thickness measuring unit, the strip contacting unit, And the cover portion is preferably made of an uncut acrylic.

하나의 실시예로 상기 스트립 장착부, 상기 정전기 제거부, 상기 정전기 측정부, 상기 정전기 발생부, 상기 두께 측정부, 상기 스트립 접촉부, 및 상기 커버부는 석정반(granite plate)으로 이루어진 베이스 플레이트 상에 배치되고, 상기 베이스 플레이트에 의하여 상기 스트립 장착부, 상기 정전기 제거부, 상기 정전기 측정부, 상기 정전기 발생부, 상기 두께 측정부, 상기 스트립 접촉부, 및 상기 커버부 중 하나 이상이 지면과 평행하게 배치될 수 있다. In one embodiment, the strip mounting portion, the static electricity removing portion, the static electricity measuring portion, the static electricity generating portion, the thickness measuring portion, the strip contacting portion, and the cover portion are disposed on a base plate made of a granite plate And at least one of the strip mounting portion, the static electricity removing portion, the static electricity measuring portion, the static electricity generating portion, the thickness measuring portion, the strip contacting portion, and the cover portion may be disposed parallel to the ground have.

상기와 같은 본 발명은, 스트립의 종류에 따라 발생되는 정전기를 측정할 수 있어 스트립이 자체에 허용되는 정전기량이 발생하는지 여부를 확인할 수 있기 때문에 스트립에 자체에 불량이 발생되었는지 확인할 수 있다. According to the present invention as described above, the static electricity generated according to the type of the strip can be measured, and it is possible to confirm whether or not the static electricity amount allowed to the strip itself is generated, so that it is possible to confirm whether the strip itself is defective.

본 발명은 스트립 종류별로 발생되는 정전기를 측정할 수 있기 때문에 스트립 종류별로 발생되는 정전기를 데이터 베이스화 할 수 있는 효과가 있다. Since the static electricity generated in each strip type can be measured, static electricity generated in each strip type can be converted into a database.

본 발명은 스트립에 발생되는 정전기를 측정하고 측정된 정전기량을 저장할 수 있어, 스트립과 반도체 칩간의 패키징 공정에 있어서, 패키징 공정 중에 정전기가 발생되어 불량이 발생하는 것인지 여부를 판단하는 기초자료를 제공할 수 있는 효과가 있다. The present invention provides basic data for determining whether a static electricity is generated during a packaging process in a packaging process between a strip and a semiconductor chip to measure a static electricity generated in the strip and store the measured static electricity. There is an effect that can be done.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 스트립용 정전기 테스트 장치를 설명하기 위한 제1 도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 스트립용 정전기 테스트 장치를 설명하기 위한 제2 도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 스트립용 정전기 테스트 장치를 설명하기 위한 제3 도이다. 1 is a first diagram for explaining an electrostatic test apparatus for strip according to an embodiment of the present invention.
2 is a second diagram for explaining an electrostatic test apparatus for strip according to an embodiment of the present invention.
3 is a third view for explaining an electrostatic test apparatus for strip according to an embodiment of the present invention.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러가지 실시예를 가질 수 있는바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. While the invention is susceptible to various modifications and alternative forms, specific embodiments thereof are shown by way of example in the drawings and will herein be described in detail. It should be understood, however, that the invention is not intended to be limited to the particular embodiments, but includes all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 일실시예를 상세히 설명한다. 도면상에서 동일 부호는 동일한 요소를 지칭한다. Hereinafter, a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Wherein like reference numerals refer to like elements throughout.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 스트립용 정전기 테스트 장치를 설명하기 위한 제1 도이고, 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 스트립용 정전기 테스트 장치를 설명하기 위한 제2 도이고, 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 스트립용 정전기 테스트 장치를 설명하기 위한 제3 도이다.FIG. 1 is a first view for explaining an electrostatic test apparatus for strip according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a second figure for explaining an electrostatic test apparatus for a strip according to an embodiment of the present invention, Is a third view for explaining an electrostatic test apparatus for strip according to an embodiment of the present invention.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 스트립용 정전기 테스트 장치(1000)는 스트립 장착부(100), 정전기 제거부(200), 정전기 측정부(300), 정전기 발생부(400), 스트립 접촉부(500), 두께 측정부(600) 및 스트립 이동부(700)를 포함할 수 있다. 1 to 3, an electrostatic testing apparatus 1000 for a strip according to an embodiment of the present invention includes a strip mounting unit 100, an electrostatic charge removing unit 200, an electrostatic measuring unit 300, a static electricity generating unit 400 A strip contact portion 500, a thickness measuring portion 600, and a strip moving portion 700. [

스트립 장착부(100)는 스트립을 장착할 수 있다. 일 예로 스트립(10)은 스트립 장착부(100)에 진공 흡착 방식을 통하여 장착되는 것이 바람직하다. 진공 흡착 방식을 통하여 장착되는 경우에는 유연한 스트립(10)이 스트립 장착부(100)에 장착된 경우에도 유연한 스트립(10)이 구겨지는 것을 방지할 수 있고, 스트립(10)이 처음 장착된 위치 그대로 안전한 상태를 유지할 수 있기 때문이다. The strip mounting portion 100 can mount the strip. For example, the strip 10 may be mounted on the strip mounting part 100 through a vacuum suction method. It is possible to prevent the flexible strip 10 from being wrinkled even when the flexible strip 10 is mounted on the strip mounting portion 100 and to secure the strip 10 in a safe position This is because the state can be maintained.

일 예로 스트립 장착부(100)에는 스트립(10)이 삽입될 수 있는 공간이 형성되어 있고, 상기 공간 내에 스트립(10)이 장착된 후 진공 흡착 방식을 통하여 스트립(10)이 스트립 장착부(100)에 안전한 상태로 장착될 수 있다. 진공 흡착 방식은 진공청소기에서 사용하는 방식과 동일한 방식이 사용될 수 있다. For example, a space in which the strip 10 can be inserted is formed in the strip mounting part 100, and after the strip 10 is mounted in the space, the strip 10 is attached to the strip mounting part 100 And can be mounted in a safe state. The vacuum adsorption method may be the same as that used in a vacuum cleaner.

정전기 제거부(200)는 스트립(10)이 가지는 정전기를 제거할 수 있다. 일 예로 정전기 제거부(200)는 고주파를 이용하여 제전(除電)할 수 있는 이온아이저(ionizer)를 포함할 수 있다. 고주파를 이용한 방식의 이온아이저를 사용하는 경우에는 스트립(10)과 정전기 제거부(200)가 서로 근접한 상태에서 스트립(10)의 정전기를 제거할 수 있어, 더욱 효과적으로 스트립(10)의 정전기를 제거할 수 있는 장점이 있다. The static eliminator 200 can remove the static electricity of the strip 10. For example, the electrostatic precipitator 200 may include an ionizer capable of discharging electricity using a high frequency. In the case of using the ionizer using the high-frequency method, the static electricity of the strip 10 can be removed while the strip 10 and the static eliminator 200 are close to each other, There is an advantage that it can be removed.

정전기 측정부(300)는 스트립(10)의 정전기를 측정할 수 있다. 일 예로 정전기 측정부(300)로는 스트립(10) 표면의 미세 전압(대전 정전기)를 측정할 수 있는 정전기 측정기가 사용될 수 있다. 또한, 정전기 측정부(300)는 정전기 측정 전, 후에 남아 있는 정전기를 방출하기 위한 별도의 그라운드 영역을 포함할 수 있다. The static electricity measuring unit 300 can measure the static electricity of the strip 10. For example, the electrostatic measuring unit 300 may be an electrostatic measuring unit capable of measuring a fine voltage (static charge) on the surface of the strip 10. In addition, the static electricity measuring unit 300 may include a separate ground area for discharging the static electricity remaining before and after the static electricity measurement.

정전기 발생부(400)는 스트립(10)과 접촉하고 스트립(10)과 마찰하여 스트립(10)에 정전기를 발생시킬 수 있다. The static electricity generating part 400 may contact the strip 10 and may rub against the strip 10 to generate static electricity in the strip 10.

일 예로 정전기 발생부(400)가 스트립(10)과 접촉된 상태에서 회전함으로써 스트립(10)에 정전기를 발생시킬 수 있으며, 이를 위하여 정전기 발생부(400)는 회전이 가능하도록 구성된 롤브러쉬(roll-brush)를 포함할 수 있다. For example, the static electricity generating part 400 may rotate in a state of being in contact with the strip 10 to generate static electricity in the strip 10. For this purpose, the static electricity generating part 400 may include a roll brush -brush).

스트립 접촉부(500)는 정전기 발생부(400)를 이동시켜 스트립(10)과 접촉시킬 수 있다. 일 예로 스트립 접촉부(500)는 모터를 포함할 수 있고, 정전기 발생부(400)는 모터의 회전에 따라 상하 방향으로 이동되도록 구성될 수 있다. 스트립 접촉부(500)는 아래의 두께 측정부(600)에서 측정된 스트립(10)의 두께에 기초하여 스트립 접촉부(500)의 이동 거리를 조절할 수 있어 스트립(10)과 정전기 발생부(400) 간에 접촉되는 압력 및 스트립(10)과 정전기 발생부(400)가 밀착되는 정도 중 하나 이상의 조절이 가능하다. The strip contact portion 500 may move the static electricity generating portion 400 to contact the strip 10. For example, the strip contact portion 500 may include a motor, and the static electricity generating portion 400 may be configured to move up and down according to the rotation of the motor. The strip contacting portion 500 can adjust the moving distance of the strip contacting portion 500 based on the thickness of the strip 10 measured by the thickness measuring portion 600 so that the distance between the strip 10 and the static electricity generating portion 400 It is possible to adjust at least one of the pressure to be contacted and the degree to which the strip 10 and the static electricity generating part 400 are in close contact with each other.

두께 측정부(600)는 스트립 장착부(100)에 장착된 스트립(10)의 두께를 측정할 수 있다. 일 예로 두께 측정부는 접촉식 리니어 센서(linear sensor)를 포함할 수 있다. The thickness measuring unit 600 may measure the thickness of the strip 10 mounted on the strip mounting portion 100. For example, the thickness measuring unit may include a contact type linear sensor.

스트립(10)의 종류에 따라 스트립의 두께는 차이가 있으므로 스트립(10)의 두께를 측정함으로써 스트립(10)과 정전기 발생부(400)가 접촉하여 마찰하기 전에 스트립 접촉부(500)가 정전기 발생부(400)를 얼마만큼 이동시켜야 되는지 결정할 수 있다. 스트립 장착부(100)의 두께는 미리 알고 있으므로 스트립(10)이 스트립 장착부(100)에 장착되어도 스트립(10)의 두께를 측정하는 것이 가능하다. The thickness of the strip 10 is measured by measuring the thickness of the strip 10 according to the type of the strip 10 so that before the strip 10 and the static electricity generator 400 are in contact with each other and rubbed, It is possible to determine how much the moving object 400 should be moved. It is possible to measure the thickness of the strip 10 even when the strip 10 is mounted on the strip mounting portion 100 because the thickness of the strip mounting portion 100 is known in advance.

스트립 이동부(700)는 스트립 장착부(100)를 이동시킬 수 있다. 일 예로 스트립 장착부(100)는 회전이 가능한 스크류 형태의 스트립 이동부(700)와 결합될 수 있고, 스트립 이동부(700)가 회전함으로써 스트립 장착부(100)가 좌우로 이동될 수 있다. The strip moving part 700 can move the strip mounting part 100. For example, the strip mounting part 100 can be coupled to a rotatable screw-type strip moving part 700, and the strip mounting part 100 can be moved to the left and right by rotating the strip moving part 700.

본 발명의 실시예에 따른 스트립용 정전기 테스트 장치(1000)를 구성하는 스트립 장착부(100), 정전기 제거부(200), 정전기 측정부(300), 정전기 발생부(400), 스트립 접촉부(500), 두께 측정부(600)는 순차적으로 배치되는 것이 바람직하다. 스트립 장착부(100)는 스트립 이동부(700)를 통하여 왕복이동(도 2에 도시된 바와 같이 좌우로 왕복이동할 수 있다.)을 하게 되는데 위와 같은 순서로 배치되는 경우에는 하나의 정전기 제거부(200)를 사용하여도 스트립(10)의 정전기 테스트가 가능하다. The static electricity removing unit 200, the static electricity measuring unit 300, the static electricity generating unit 400, the strip contacting unit 500, and the strip contacting unit 500 constituting the static electricity testing apparatus 1000 for a strip according to the embodiment of the present invention, And the thickness measuring unit 600 are sequentially arranged. When the strip mounting portion 100 is arranged in the above-described order, the strip mounting portion 100 reciprocates through the strip moving portion 700 (as shown in FIG. 2) ) Can also be used to perform electrostatic testing of the strip 10.

본 발명의 실시예에 따른 정전기 테스트 장치(1000)를 통하여 정전기를 테스트하는 방법은 아래와 같다. A method of testing static electricity through the electrostatic testing apparatus 1000 according to an embodiment of the present invention is as follows.

우선, 스트립 장착부(100)에 스트립(10)을 장착하면, 스트립 이동부(700)는 스트립 장착부(100)를 정전기 제거부(200)로 이동시켜 정전기 제거부(200)가 스트립(10)의 정전기를 제거한다. 이는 스트립(10)이 가지는 정전기를 테스트 전에 완전히 제거하기 위함이다. The strip moving unit 700 moves the strip loading unit 100 to the static eliminator 200 so that the static eliminator 200 can remove the strip 10 from the strip loading unit 100, Remove static electricity. This is to completely remove the static electricity of the strip 10 before the test.

스트립(10)의 정전기가 제거된 후에, 스트립 이동부(700)는 스트립 장착부(100)를 정전기 측정부(300)로 이동시켜 정전기 측정부(300)가 스트립(10)의 정전기를 측정한다. 다음으로 스트립 이동부(700)는 스트립 장착부(100)를 두께 측정부(600)로 이동시켜 두께 측정부(600)가 스트립(10)의 두께를 측정한다. After the static electricity of the strip 10 is removed, the strip moving part 700 moves the strip mounting part 100 to the static electricity measuring part 300, and the static electricity measuring part 300 measures the static electricity of the strip 10. Next, the strip moving part 700 moves the strip mounting part 100 to the thickness measuring part 600, and the thickness measuring part 600 measures the thickness of the strip 10.

스트립(10)의 두께가 측정된 후에, 스트립 이동부(700)는 스트립 장착부(100)를 정전기 발생부(400)로 이동시키고, 스트립 접촉부(500)는 측정된 스트립(10)의 두께에 기초하여 정전기 발생부(400)를 이동시켜 스트립(10)과 정전기 발생부(400)가 서로 접촉되도록 한다. After the thickness of the strip 10 is measured, the strip moving part 700 moves the strip mounting part 100 to the static electricity generating part 400 and the strip contacting part 500 is moved So that the strip 10 and the static electricity generator 400 are brought into contact with each other by moving the static electricity generator 400.

다음으로, 정전기 발생부(400)는 스트립(10)과 마찰하여 스트립(10)에 정전기를 발생시키고, 스트립 이동부(700)는 스트립 장착부(100)를 정전기 측정부(300)로 이동시켜 정전기 측정부(300)가 스트립(10)에 발생된 정전기를 측정할 수 있다. Next, the static electricity generating part 400 rubs against the strip 10 to generate static electricity in the strip 10, and the strip moving part 700 moves the strip mounting part 100 to the static electricity measuring part 300, The measuring unit 300 can measure the static electricity generated in the strip 10.

이와 같은 방법을 거치게 되면, 스트립(10)에 발생된 정전기에 대한 정보를 획득할 수 있게 된다. 여러 종류의 스트립(10)에 대하여 위와 같은 테스트를 반복하는 경우에는 스트립(10)의 종류별로 발생되는 정전기에 대한 정보, 스트립(10)과 정전기 발생부(400)간에 접촉되는 압력, 스트립(10)과 정전기 발생부(400)가 밀착되는 정도 등에 대한 정보의 획득이 가능하다. In this way, information on the static electricity generated in the strip 10 can be obtained. When repeating the above test for various kinds of strips 10, information on static electricity generated for each type of strip 10, pressure to be contacted between the strip 10 and the static electricity generator 400, And the degree to which the static electricity generator 400 is in close contact with each other.

본 발명의 실시예에 따른 스트립용 정전기 테스트 장치(1000)는 저장부(미도시), 커버부(800) 및 베이스 플레이트(900)를 추가로 포함할 수 있다. The electrostatic testing apparatus 1000 for strip according to an embodiment of the present invention may further include a storage unit (not shown), a cover unit 800, and a base plate 900.

저장부는 스트립 장착부(100)에 장착되는 스트립(10)에 대한 정보, 측정된 스트립(10)의 두께 및 스트립(10)에 발생된 정전기에 대한 정보를 저장할 수 있다. 일 예로 저장부로는 USB, HDD, Flash memory, SSD 등의 저장장치 등이 사용될 수 있다. The storage unit may store information on the strip 10 mounted on the strip mounting part 100, the thickness of the measured strip 10, and information on static electricity generated in the strip 10. [ For example, a storage device such as a USB, a HDD, a Flash memory, or an SSD may be used as the storage unit.

스트립(10)에 대한 정보는 스트립의 종류, 스트립의 사이즈, 스트립의 두께, 스트립의 제조사, 스트립의 공급날짜 등을 포함할 수 있다. The information on the strip 10 may include the type of strip, the size of the strip, the thickness of the strip, the manufacturer of the strip, the supply date of the strip, and the like.

저장된 정보는 모니터 등 디스플레이를 통하여 표시될 수 있고, 저장된 정보는 엑셀 파일 형태로 문서화되어 저장될 수 있다. 또한, 저장된 정보는 통신모듈을 통하여 외부로 전송될 수 있어 원격에서도 저장된 정보를 확인할 수 있다. The stored information can be displayed through a display such as a monitor, and the stored information can be documented and stored in the form of an excel file. Also, the stored information can be transmitted to the outside through the communication module, so that the stored information can be confirmed even from a remote place.

커버부(800)는 스트립 장착부(100), 정전기 제거부(200), 정전기 측정부(300), 정전기 발생부(400), 두께 측정부(600), 스트립 접촉부(500) 및 스트립 이동부(700)를 내부에 수용할 수 있다. 일 예로 커버부(800)는 무정전 아크릴로 이루어지는 것이 바람직하며 이는 외부로부터 유입되는 정전기를 원천적으로 차단하기 위함이다. 또한, 정확한 정전기 측정을 위하여는 커버부(800) 내부는 진공 상태에 가깝도록 유지되는 것이 바람직하다. The cover part 800 includes a strip mounting part 100, an electrostatic charge removing part 200, an electrostatic measuring part 300, a static electricity generating part 400, a thickness measuring part 600, a strip contacting part 500, 700 can be received therein. For example, the cover part 800 is preferably made of non-invasive acrylic to shield the static electricity from the outside. Further, in order to accurately measure the static electricity, it is preferable that the inside of the cover part 800 is kept close to a vacuum state.

베이스 플레이트(900) 상에는 스트립 장착부(100), 정전기 제거부(200), 정전기 측정부(300), 정전기 발생부(400), 두께 측정부(600), 스트립 접촉부(500) 및 커버부(800)가 배치될 수 있고, 베이스 플레이트(900)는 표면이 평탄하게 다져진 석정반(granite plate)으로 이루어지는 것이 바람직하다. 베이스 플레이트(900)에 의하여 스트립 장착부(100), 정전기 제거부(200), 정전기 측정부(300), 정전기 발생부(400), 두께 측정부(600), 스트립 접촉부(500) 및 커버부(800) 중 하나 이상이 지면과 평행하게 배치될 수 있다. 이와 같이 평행하게 배치함으로써 스트립(10)의 표면 중 특정 영역에 균일하게 정전기를 발생시킬 수 있으며, 발생된 정전기를 균일하게 측정할 수 있다. A strip measuring unit 600, a strip contacting unit 500, and a cover unit 800. The strip mounting unit 100, the static electricity removing unit 200, the static electricity measuring unit 300, the static electricity generating unit 400, ), And the base plate 900 is preferably made of a granite plate whose surface is flattened. A strip measuring unit 600, a strip contacting unit 500, and a cover unit 500. The strip mounting unit 100, the static electricity removing unit 200, the static electricity measuring unit 300, the static electricity generating unit 400, 800 may be disposed parallel to the ground. By arranging them in parallel, static electricity can be uniformly generated in a specific region of the surface of the strip 10, and the generated static electricity can be uniformly measured.

이상에서 본 발명에 따른 실시예들이 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 분야에서 통상적 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 범위의 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 다음의 특허청구범위에 의해서 정해져야 할 것이다.While the invention has been shown and described with reference to certain preferred embodiments thereof, it will be understood by those skilled in the art that various changes and modifications may be made without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims. Accordingly, the true scope of the present invention should be determined by the following claims.

1000: 스트립용 정전기 테스트 장치 100: 스트립 장착부
200: 정전기 제거부 300: 정전기 측정부
400: 정전기 발생부 500: 스트립 접촉부
600: 두께 측정부 700: 스트립 이동부
800: 커버부 900: 베이스 플레이트 1000: Static test device for strips 100: Strip mounting part
200: electrostatic charge removing unit 300: electrostatic measuring unit
400: static electricity generator 500: strip contact
600: thickness measuring unit 700: strip moving unit
800: Cover part 900: Base plate

Claims (8)

스트립을 장착할 수 있는 스트립 장착부;
상기 스트립이 가지는 정전기를 제거할 수 있는 정전기 제거부;
상기 스트립의 정전기를 측정할 수 있는 정전기 측정부;
상기 스트립과 접촉하고 상기 스트립과 마찰하여 상기 스트립에 정전기를 발생시키는 정전기 발생부;
상기 스트립 장착부에 장착된 상기 스트립의 두께를 측정할 수 있는 두께 측정부;
상기 정전기 발생부를 이동시켜 상기 스트립과 접촉시키는 스트립 접촉부;
회전이 가능한 스크류 형태이고, 상기 스트립 장착부와 결합되며, 회전함으로써 상기 스트립 장착부를 이동시킬 수 있는 스트립 이동부; 및
상기 스트립 장착부, 상기 정전기 제거부, 상기 정전기 측정부, 상기 정전기 발생부, 상기 두께 측정부, 상기 스트립 접촉부 및 상기 스트립 이동부를 내부에 수용할 수 있고, 무정전 아크릴로 이루어진 커버부를 포함하고,
상기 스트립 장착부, 상기 정전기 제거부, 상기 정전기 측정부, 상기 정전기 발생부, 상기 스트립 접촉부 및 상기 두께 측정부는 순차적으로 배치되어 있으며,
상기 스트립 이동부는 상기 스트립 장착부를 상기 정전기 제거부로 이동시켜 상기 정전기 제거부가 상기 스트립의 정전기를 제거하고,
상기 스트립 이동부는 상기 스트립 장착부를 상기 정전기 측정부로 이동시켜 상기 정전기 측정부가 상기 스트립의 정전기를 측정하며,
상기 스트립 이동부는 상기 스트립 장착부를 상기 두께 측정부로 이동시켜 상기 두께 측정부가 상기 스트립의 두께를 측정하고,
상기 스트립 이동부는 상기 스트립 장착부를 상기 정전기 발생부로 이동시키고, 상기 스트립 접촉부는 상기 장착된 스트립의 두께에 기초하여 상기 정전기 발생부를 이동시켜 상기 스트립과 상기 정전기 발생부가 서로 접촉되도록 하며,
상기 정전기 발생부는 상기 스트립과 마찰하여 상기 스트립에 정전기를 발생시키고,
상기 스트립 이동부는 상기 스트립 장착부를 상기 정전기 측정부로 이동시켜 상기 정전기 측정부가 상기 스트립에 발생된 정전기를 측정할 수 있는, 스트립용 정전기 테스트 장치.
A strip mount capable of mounting a strip;
A static eliminator capable of removing static electricity of the strip;
An electrostatic measuring unit capable of measuring static electricity of the strip;
A static electricity generator which contacts the strip and rubs against the strip to generate static electricity in the strip;
A thickness measuring unit capable of measuring a thickness of the strip mounted on the strip mounting unit;
A strip contact portion for moving the static electricity generating portion to contact the strip;
A strip moving part that is rotatable in a screw shape and is engaged with the strip mounting part and is capable of moving the strip mounting part by rotating; And
And a cover portion capable of accommodating therein the strip mounting portion, the static electricity removing portion, the static electricity measuring portion, the static electricity generating portion, the thickness measuring portion, the strip contacting portion, and the strip moving portion,
The strip mounting portion, the static electricity removing portion, the static electricity measuring portion, the static electricity generating portion, the strip contacting portion, and the thickness measuring portion are sequentially disposed,
Wherein the strip moving part moves the strip mounting part to the electrostatic charge removing part so that the static electricity removing part removes static electricity from the strip,
The strip moving unit moves the strip mounting unit to the static electricity measuring unit, and the static electricity measuring unit measures the static electricity of the strip,
Wherein the strip moving part moves the strip mounting part to the thickness measuring part, the thickness measuring part measures the thickness of the strip,
Wherein the strip moving part moves the strip mounting part to the static electricity generating part and the strip contacting part moves the static electricity generating part based on the thickness of the mounted strip so that the strip and the static electricity generating part come into contact with each other,
Wherein the static electricity generator rubs against the strip to generate static electricity in the strip,
Wherein the strip moving part moves the strip mounting part to the electrostatic measuring part so that the static electricity measuring part can measure the static electricity generated in the strip.
제1항에 있어서,
상기 스트립 장착부에 장착되는 상기 스트립에 대한 정보, 측정된 상기 스트립의 두께 및 상기 스트립에 발생된 정전기에 대한 정보를 저장할 수 있는 저장부를 더 포함하는, 스트립용 정전기 테스트 장치.
The method according to claim 1,
Further comprising: a storage unit capable of storing information on the strip mounted on the strip mounting unit, thickness of the strip measured, and information on static electricity generated on the strip.
제1항에 있어서,
상기 스트립은 상기 스트립 장착부에 진공 흡착 방식을 통하여 장착되는, 스트립용 정전기 테스트 장치.
The method according to claim 1,
Wherein the strip is mounted on the strip mounting portion through a vacuum suction method.
제1항에 있어서,
상기 정전기 제거부는,
고주파를 이용하여 제전(除電)할 수 있는 이온아이저(ionizer)를 포함하는, 스트립용 정전기 테스트 장치.
The method according to claim 1,
The electrostatic eliminator may include:
An electrostatic test apparatus for strip comprising an ionizer capable of removing electricity by using high frequency.
제1항에 있어서,
상기 정전기 발생부는,
회전이 가능하도록 구성된 롤브러쉬(roll-brush)를 포함하는, 스트립용 정전기 테스트 장치.
The method according to claim 1,
The electrostatic-
And a roll-brush configured to be rotatable.
제1항에 있어서,
상기 두께 측정부는,
접촉식 리니어 센서(linear sensor)를 포함하는, 스트립용 정전기 테스트 장치.
The method according to claim 1,
The thickness measuring unit may include:
An electrostatic test apparatus for strip comprising a contact linear sensor.
삭제delete 제1항에 있어서,
상기 스트립 장착부, 상기 정전기 제거부, 상기 정전기 측정부, 상기 정전기 발생부, 상기 두께 측정부, 상기 스트립 접촉부, 및 상기 커버부는 석정반(granite plate)으로 이루어진 베이스 플레이트 상에 배치되고,
상기 베이스 플레이트에 의하여 상기 스트립 장착부, 상기 정전기 제거부, 상기 정전기 측정부, 상기 정전기 발생부, 상기 두께 측정부, 상기 스트립 접촉부, 및 상기 커버부 중 하나 이상이 지면과 평행하게 배치될 수 있는, 스트립용 정전기 테스트 장치.
The method according to claim 1,
Wherein the strip mounting portion, the static electricity removing portion, the static electricity measuring portion, the static electricity generating portion, the thickness measuring portion, the strip contacting portion, and the cover portion are disposed on a base plate made of a granite plate,
Wherein at least one of the strip mounting portion, the static electricity removing portion, the static electricity measuring portion, the static electricity generating portion, the thickness measuring portion, the strip contacting portion, and the cover portion can be disposed parallel to the ground by the base plate, Static test equipment for strips.
KR1020160147598A 2016-11-07 2016-11-07 Static electricity test apparatus for strip KR101843827B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020160147598A KR101843827B1 (en) 2016-11-07 2016-11-07 Static electricity test apparatus for strip

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020160147598A KR101843827B1 (en) 2016-11-07 2016-11-07 Static electricity test apparatus for strip

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR101843827B1 true KR101843827B1 (en) 2018-03-30

Family

ID=61900079

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020160147598A KR101843827B1 (en) 2016-11-07 2016-11-07 Static electricity test apparatus for strip

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101843827B1 (en)

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001154199A (en) * 1999-11-29 2001-06-08 Seiko Epson Corp Rubbing device, method of rubbing substrate for liquid crystal device and substrate for liquid crystal device, and liquid crystal device manufactured by the same

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001154199A (en) * 1999-11-29 2001-06-08 Seiko Epson Corp Rubbing device, method of rubbing substrate for liquid crystal device and substrate for liquid crystal device, and liquid crystal device manufactured by the same

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
일본 공개특허공보 특개2001-154199호(2001.06.08.) 1부. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101393251B (en) Detecting device and detecting method
CN112233971B (en) Wafer cleaning method and wafer cleaning device
JP6306389B2 (en) Board inspection equipment
CN103673987A (en) System and method for evaluating inclination degree of camera module testing equipment
KR101843827B1 (en) Static electricity test apparatus for strip
US20130124135A1 (en) Computing device and method for automatically replacing probes for coordinate measuring machines
TWI474010B (en) Prober cleaning block assembly
KR101882744B1 (en) Hybrid apparatus for measuring thickness of strip and testing static electricity of strip
EP2913631A1 (en) Test apparatus and method
CN204831177U (en) High -accuracy selfdrive formula internal thread detection device
JP5546528B2 (en) Semiconductor module insulation defect inspection apparatus and inspection method
KR20140109823A (en) Surface potential measuring apparatus and surface potential measuring method
TW201833562A (en) Prober and method for positioning probe tip and obtaining probe and polishing sheet contact data
JP2010032457A (en) Insulation inspecting apparatus and technique
CN104251922A (en) Limiting frame, chip testing device and chip testing method
CN214407343U (en) Detection device
JP2015064329A (en) Method and device for evaluating insulation life
Tamminen et al. ESD and disturbance cases in electrostatic protected areas
CN206178090U (en) Braider product test device and be equipped with device's braider
CN205826253U (en) A kind of optics leak detection test system adjustable formula positioner
JPH1019952A (en) Measuring method of quantity of charge
EP4092427B1 (en) Sheet electric resistance measuring instrument
CN114624272B (en) Assessing contact between a wafer and an electrostatic chuck
CN112394275A (en) Method for judging current-voltage test result of electronic element after electrostatic discharge
TW201923335A (en) Optical inspection apparatus and optical inspection method

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant