KR101832972B1 - Mirror tilting angle adjustable lamellar grating type Interferometer structure for the remote gas sensing FTIR - Google Patents

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KR101832972B1 KR1020170016422A KR20170016422A KR101832972B1 KR 101832972 B1 KR101832972 B1 KR 101832972B1 KR 1020170016422 A KR1020170016422 A KR 1020170016422A KR 20170016422 A KR20170016422 A KR 20170016422A KR 101832972 B1 KR101832972 B1 KR 101832972B1
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강영일
김인철
김성규
박도현
배효욱
강민재
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국방과학연구소
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Abstract

The present invention relates to a lamellar grating type interferometer, which is a core part of a Fourier transform infrared spectrometer (FTIR) and, more particularly, to an interferometer with a gradient correction device, which can precisely correct a gradient of a driving mirror and an FTIR using the same. A lamellar grating type interferometer system according to one aspect of the present invention comprises: a mirror support unit including a lamellar grating mirror in one area thereof; a correction key support formed in one side of the mirror support unit to be separated from the mirror support unit; a gap control plate formed between the mirror support unit and the correction key support to be moved in a first direction to control a gap between the mirror support unit and the correction key support and transferring the correction key support in a second direction intersecting with the first direction; and a correction key formed between the mirror support unit and the correction key support and moving in the second direction in accordance with movement of the correction key support. As the correction key moves in the second direction, the gradient of the lamellar grating mirror coming in contact with the correction key is transformed.

Description

원격 퓨리에 변환 적외선 분광기를 위한 거울 기울기 보정이 가능한 라멜라 그레이팅(Lamellar Grating)용 간섭계 구조 {Mirror tilting angle adjustable lamellar grating type Interferometer structure for the remote gas sensing FTIR}       (Mirror tilting angle adjustable lamellar grating type interferometer structure for the remote gas sensing FTIR) capable of mirror tilt correction for a remote Fourier transform infrared spectroscope.

본 발명은 원격으로 가스 성분을 검출 할 수 있는 라멜라 그레이팅용 퓨리에 변환 적외선 분광기에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 퓨리에 변환 적외선 분광기의 핵심 부분인 라멜라 그레이팅 형태의 간섭계에서 거울 제조 공정상 발생하는 거울 기울기 편차를 정밀하게 조정할 수 있는 기울기 보정 기구를 갖는 간섭계 구조에 관한 것이다. The present invention relates to a Fourier transform infrared spectroscope for grinding a lamellar grating capable of detecting a gas component remotely, and more particularly, to a mirror-grating type interferometer, which is an essential part of a Fourier transform infrared spectroscope, The present invention relates to an interferometer structure having a tilt correcting mechanism capable of precisely adjusting a tilt angle.

퓨리에 변환 적외선 분광기는 일반적으로 적외선을 그 파장에 따라 분해하여 분석하는 장비로서, 상기 적외선의 간섭무늬를 퓨리에 변환하여 적외선 스펙트럼을 얻은 뒤 이를 분석하여 물질간의 성분 비교 및 화학구조 데이터를 얻는데 이용된다. The Fourier transform infrared spectroscope is generally used for analyzing infrared rays according to their wavelengths. The infrared spectroscopy is used to obtain the infrared light spectrum by Fourier transforming the interference fringes of the infrared light, and then analyzing the infrared light spectrum to obtain compositional data and chemical structure data between the materials.

라멜라 그레이팅 형 적외선 분광기(FTIR)는 구동 거울과 고정 거울로 이루어지는 라멜라 그레이팅 거울을 포함하는데, 적외선 발생원에서 발생된 적외선은 상기 구동 거울과 상기 고정 거울에 각각 반사된다. 상기 적외선은 상기 라멜라 그레이팅 거울에 각각 반사된 뒤 적절한 광학계를 통하여 모아지고, 이후 특정 측정 센서로 집광하게 된다. The Lamellar grating type infrared spectroscope (FTIR) includes a lamellar grating mirror composed of a driving mirror and a fixed mirror, and infrared rays generated from the infrared ray generating source are reflected to the driving mirror and the fixed mirror, respectively. The infrared rays are respectively reflected on the lamellar grating mirror, collected through an appropriate optical system, and then condensed by a specific measurement sensor.

이때 상기 적외선은 상기 고정 거울에 반사된 적외선과 상기 구동 거울에 반사된 적외선으로 구분될 수 있고, 이들은 상기 구동 거울의 구동에 따라 경로 차를 갖게 된다. At this time, the infrared rays can be divided into infrared rays reflected on the fixed mirror and infrared rays reflected on the driving mirror, and they have a path difference according to the driving of the driving mirror.

따라서 상기 측정 센서에는 간섭신호가 측정되고, 이 신호를 퓨리에 변환(Fourier transform)을 하게 되면 원하는 적외선 스펙트럼을 얻게 되며, 이로부터 적외선 방출원의 가스 종류를 판별할 수 있다.Therefore, an interference signal is measured in the measurement sensor, and when the signal is subjected to a Fourier transform, a desired infrared spectrum is obtained, and the type of gas of the infrared ray emission source can be determined from the interference spectrum.

그러나 종래에는 상기 구동 거울이 구동 방향인 Z축 방향으로 구동될 경우, 가늘고 긴 구동팔의 특성상 제조상 공정 편차에 따른 구동팔 부분에서 약간의 영구 변형이 존재하여 상기 구동 거울의 면이 기울어지게 되는 문제점을 지녔다.However, conventionally, when the driving mirror is driven in the Z-axis direction in which the driving mirror is driven, there is a slight permanent deformation in the driving arm due to manufacturing process variations due to the characteristics of the elongated driving arm, and the surface of the driving mirror is inclined .

본 발명의 목적은 라멜라 그레이팅 형 간섭계의 제작에 있어서, 구동팔의 제조 공정상의 영구 변형을 제조 후에 보정하여, 구동 거울들 면이 고정 거울들 면과 평면을 유지할 수 있도록 이루어진 기울기 보정 기구를 갖는 라멜라 그레이팅 형 간섭계 구조를 제안하는데 있다.It is an object of the present invention to provide a method and apparatus for producing a Lamellar grating type interferometer that is capable of correcting permanent deformations in the manufacturing process of a drive arm after manufacture and by providing a tilt correction mechanism in which the drive mirror surfaces can maintain the plane of the fixed mirrors, Type interferometer structure.

상기 또는 다른 목적을 달성하기 위해 본 발명의 일 측면에 따르면, 라멜라 그레이팅형 간섭계 시스템에 있어서, 일 영역에 라멜라 그레이팅 거울을 구비하는 거울 지지부, 상기 거울 지지부와 이격되도록 상기 거울 지지부의 일 측에 배치되는 보정키 지지대, 상기 거울 지지부와 상기 보정키 지지대의 간격을 조절하도록, 상기 거울 지지부와 상기 보정키 지지대 사이에 제1방향으로 이동 가능하게 장착되고, 상기 보정키 지지대를 상기 제1방향과 교차되는 제2방향으로 이동시키는 간극조절판 및 상기 거울 지지부와 상기 보정키 지지대 사이에 배치되고, 상기 보정키 지지대의 이동에 따라 상기 제2방향으로 이동되도록 이루어지는 보정키를 포함하며, 상기 보정키가 상기 제2방향으로 이동됨으로써, 상기 보정키와 접촉되는 상기 라멜라 그레이팅 거울의 기울기가 변형되도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 라멜라 그레이팅형 간섭계 시스템을 제공할 수 있다.According to an aspect of the present invention, there is provided a Lamellar grating type interferometer system comprising: a mirror supporting part having a lamellar grating mirror in one area; a mirror supporting part arranged on one side of the mirror supporting part to be spaced apart from the mirror supporting part; A correction key support mounted movably in a first direction between the mirror support and the correction key support to adjust the distance between the mirror support and the correction key support, And a correction key disposed between the mirror support and the correction key support and adapted to move in the second direction in accordance with movement of the correction key support, By moving in the second direction, the lamellar grating mirror And the slope of the interferometer is changed so as to be deformed.

본 발명의 일 실시 예에 있어서, 상기 보정키 지지대는, 상기 제1방향을 향하여 경사를 갖도록 형성된 제1면을 포함하고, 상기 간극조절판은, 상기 보정키 지지대를 상기 제2방향으로 이동시키도록, 상기 제1면과 인접하게 배치될 수 있다.In one embodiment of the present invention, the correction key support includes a first surface formed to have an inclination toward the first direction, and the gap adjustment plate is configured to move the correction key support in the second direction , And may be disposed adjacent to the first surface.

본 발명의 일 실시 예에 있어서, 상기 거울 지지부와 상기 보정키 지지대 사이에서 상기 보정키와 마주보도록 배치되고, 탄성재질의 스프링을 포함하는 스프링부를 더 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, a spring unit may be further disposed between the mirror support unit and the correction key support, the spring unit being disposed to face the correction key and including a resilient spring.

본 발명은 앞서 본 실시 예와 하기에 설명할 구성과 결합 및 사용관계에 의해 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.The present invention can obtain the following effects by the above-described embodiment, the constitution described below, and the combination and use relationship.

본 발명은 구동 팔의 특정 위치에 직접 접촉하여 구동팔의 영구 변형을 변형을 보상하되, 그 보상량이 수 0.1 마이크론 수준의 정밀도까지 자유롭게 조정 가능한 일종의 쐐기 형상의 접촉식 보상 기구를 적용함으로써, 구동 거울의 기울기를 정밀하게 보상할 수 있고, 간섭계의 간섭 성능을 획기적으로 높일 수 있다.The present invention applies a kind of wedge-shaped contact type compensation mechanism that directly contacts a specific position of the driving arm to compensate for the permanent deformation of the driving arm and the amount of compensation is freely adjustable to an accuracy of several 0.1 micron level, The inclination can be compensated precisely, and the interference performance of the interferometer can be remarkably increased.

또한 본 발명을 통해 원격 측정 성능이 개선된 라멜라 그레이팅 구조의 퓨리에 변환 적외선 분광기 개발이 가능해질 수 있다.The present invention also makes it possible to develop a Fourier transform infrared spectroscope having a lamellar grating structure with improved telemetry performance.

도 1은 라멜라 그레이팅 구조의 FTIR 측정 원리 설명 개념도이다.
도 2는 라멜라 그레이팅 형 간섭계 거울 구조 설명 개념도이다.
도 3은 라멜라 그레이팅 형 간섭계 거울 작동 방식 설명도이다.
도 4는 본 발명의 기울기 보정 기구 설명 개념도이다.
도 5는 도 4를 서로 다른 방향에서 바라본 본 발명의 기울기 보정 기구 설명 개념도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a conceptual diagram illustrating the FTIR measurement principle of a lamellar grating structure. FIG.
2 is a conceptual diagram illustrating the structure of the interferometer mirror of the Lamellar grating type.
3 is an explanatory diagram of the operation of the interferometer mirror of the Lamellar grating type.
4 is a conceptual diagram illustrating the tilt correction mechanism of the present invention.
Fig. 5 is a conceptual diagram illustrating the tilt correction mechanism of the present invention as viewed from different directions in Fig.

이하에서는 본 발명에 따른 기울기 보정 기구를 갖는 간섭계 구조의 바람직한 실시 예들을 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 하기에서 본 발명을 설명함에 있어서 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략하도록 한다. 명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미하며, 또한 명세서에 기재된 "...부", "...모듈" 등의 용어는 적어도 하나의 기능이나 동작을 처리하는 단위를 의미하며 이는 하드웨어나 소프트웨어 또는 하드웨어 및 소프트웨어의 결합으로 구현될 수 있다. Hereinafter, preferred embodiments of an interferometer structure having a tilt correction mechanism according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS In the following description of the present invention, a detailed description of known functions and configurations incorporated herein will be omitted when it may make the subject matter of the present invention rather unclear. Throughout the specification, when an element is referred to as "including" an element, it is understood that the element may include other elements as well as other elements, The terms "part," " module, "and the like denote a unit for processing at least one function or operation, which may be implemented as hardware or software or a combination of hardware and software.

본 발명은 앞서 살펴봤듯이 라멜라 그레이팅 형 간섭계를 제작할 때 있어서, 발생할 수 있는 구동팔의 제조 공정상의 영구 변형을 제조 후에 보정함으로써, 구동 거울의 면들이 고정 거울의 면들과 평면을 유지할 수 있도록 특정 보정 기구를 갖는 라멜라 그레이팅 형 간섭계 구조를 제안하고자 한다.As described above, according to the present invention, when manufacturing a lamellar grating type interferometer, the present invention corrects the permanent deformations in the manufacturing process of the movable arm after manufacturing so that the surfaces of the driven mirrors can be maintained in a plane with the surfaces of the fixed mirrors, A grating type interferometer having a plurality of interferometers.

보다 구체적으로, 본 발명에서는 구동 팔의 특정 위치에 직접 접촉하여 구동팔의 영구 변형을 변형을 보상하되, 그 보상량이 수 0.1 마이크론 수준의 정밀도까지 자유롭게 조정 가능한 일종의 쐐기 형상의 접촉식 보상 기구를 갖는 라멜라 그레이팅 형 간섭계 구조를 제안하고자 한다. More specifically, in the present invention, the present invention provides a wedge-shaped contact-type compensation mechanism that directly contacts a specific position of the driving arm to compensate for the permanent deformation of the driving arm, the compensation amount of which can be freely adjusted to an accuracy of several 0.1 micron level, A grating type interferometer structure is proposed.

우선, 앞서 언급한 기울기 보정기구를 갖는 라멜라 그레이팅 형 간섭계 시스템(100)을 살펴보기 전에 일반적인 라멜라 그레이팅 형 퓨리에 변환 적외선 분광기(이하, 적외선 분광기라고 한다)의 구조를 살펴보도록 한다.First, the structure of a general Lamellar grating type Fourier transform infrared spectroscope (hereinafter, referred to as an infrared spectroscope) will be described before the Lamellar grating type interferometer system 100 having the aforementioned tilt correcting mechanism will be described.

도 1은 라멜라 그레이팅 구조의 FTIR 측정 원리 설명 개념도이며, 도 2는 라멜라 그레이팅 형 간섭계 거울 구조 설명 개념도이다. 또한 도 3은 라멜라 그레이팅 형 간섭계 거울 작동 방식 설명도이다.FIG. 1 is a conceptual view for explaining the FTIR measurement principle of a lamellar grating structure, and FIG. 2 is a conceptual view for explaining a lamellar grating interferometer mirror structure. 3 is an explanatory diagram of the operation of the interferometer mirror of the Lamellar grating type.

도 1 (a)를 참조하면, 라멜라 그레이팅 거울(30)은 복수개로 분할되어 서로 이격되게 배치된 구동 거울들(3)과 복수개로 분할되어 서로 이격되게 배치된 고정 거울들(4)로 이루어진다. 적외선 발생원(1)에서 발생된 적외선(2)은 상기 구동 거울들(3)과 상기 고정 거울들(4)로 이루어진 라멜라 그레이팅 거울(30)에 각각 반사된다. Referring to FIG. 1 (a), the lamellar grating mirror 30 is composed of a plurality of driving mirrors 3 separated from each other and spaced apart from each other, and fixed mirrors 4 separated from each other and arranged apart from each other. The infrared rays 2 generated in the infrared ray generating source 1 are reflected to the rammel grating mirror 30 composed of the driving mirrors 3 and the fixed mirrors 4, respectively.

상기 적외선(2)이 상기 라멜라 그레이팅 거울(30)에 각각 반사된 뒤 적절한 광학계를 통하여 모아지며, 상기 라멜라 그레이팅 거울(30)과 인접하게 배치된 측정 센서(5)로 집광하게 된다. The infrared rays 2 are respectively reflected on the lamellar grating mirror 30 and collected through an appropriate optical system and condensed by a measurement sensor 5 disposed adjacent to the lamellar grating mirror 30. [

상기 적외선(2)은, 상기 구동거울들(3)의 거울면에 대한 직각 방향(6) 구동에 따라, 상기 고정 거울들(4)에 반사된 적외선(2a)과 상기 구동 거울들(3)에 반사된 적외선(2b)으로 구분될 수 있다. 이때 상기 고정 거울들(4)에 반사된 적외선(2a) 대비 상기 구동 거울들(3)에 반사된 적외선(2b)이 경로 차를 갖게 된다. The infrared ray 2 is incident on the driving mirrors 3 and the infrared ray 2a reflected by the fixing mirrors 4 in accordance with driving in a direction 6 perpendicular to the mirror surface of the driving mirrors 3. [ And the infrared ray 2b reflected by the infrared ray 2b. At this time, the infrared rays 2b reflected by the driving mirrors 3 have a path difference with respect to the infrared rays 2a reflected by the fixed mirrors 4.

이에 따라 상기 측정 센서(5)에는 간섭신호가 측정되고, 이 신호를 퓨리에 변환(Fourier transform)을 하게 되면 원하는 적외선 스펙트럼을 얻게 되며, 이로부터 적외선 방출원의 가스 종류를 판별할 수 있다.Accordingly, an interference signal is measured in the measurement sensor 5, and when the signal is subjected to Fourier transform, a desired infrared spectrum is obtained, and the type of gas of the infrared ray emission source can be determined therefrom.

도 1 (b)를 참조하면, 상기 구동 거울들(3) 및 고정 거울들(4)은 각각 서로 이격되게 배치되는데, 보다 구체적으로 상기 구동 거울들(3)의 이격공간에는 상기 고정 거울들(4)이 배치되며, 상기 고정 거울들(4)의 이격공간에는 상기 구동 거울들(3)이 배치될 수 있다. Referring to FIG. 1 (b), the driving mirrors 3 and the fixed mirrors 4 are spaced apart from each other. More specifically, the fixed mirrors 3 4), and the driving mirrors 3 may be disposed in the spacing space of the stationary mirrors 4.

이때 상기 고정 거울들(4)과 상기 구동 거울들(3)이 상대 적인 변위를 갖는 운동을 해야 하므로, 상기 구동 거울들(3)과 상기 고정 거울들(4)은 서로 접촉되지 못하고, 분리 간극(7)을 통하여 분리되어야 한다. At this time, since the fixed mirrors 4 and the driving mirrors 3 must perform a movement having a relative displacement, the driving mirrors 3 and the fixed mirrors 4 can not contact each other, (7).

도 2를 참조하면, 구동팔(9)은 상기 구동 거울들(3)과 인접하게 배치되고, 상기 구동 거울들(3)은 상기 구동팔(9)을 통해서 상기 구동팔(9)과 연결된 구동 거울 지지부(10)에 장착될 수 있다. 2, a drive arm 9 is disposed adjacent to the drive mirrors 3 and the drive mirrors 3 are connected to drive mirror supports (not shown) connected to the drive arms 9 via the drive arms 9 10).

또한, 상기 구동 거울 지지부(10)와 반대되는 위치에는 고정 거울 지지부(11)가 배치될 수 있고, 상기 고정 거울 지지부(11)에 상기 고정 거울들(4)의 하부 면(13)이 부착되어 고정된다.A fixed mirror supporting portion 11 may be disposed at a position opposite to the driving mirror supporting portion 10 and a lower surface 13 of the fixing mirrors 4 may be attached to the fixed mirror supporting portion 11 .

또한 상기 고정 거울 지지부(11)와 상기 구동 거울 지지부(10)는 외곽부분(16)에서 서로 부착, 연결되도록 이루어지는바, 고정 거울들(4)과 구동 거울들(3)이 서로 분리되어 움직이더라도, 이들은 각각 상기 구동 거울 지지부(10)와 상기 고정 거울 지지부(11)에 부착되어 지지될 수 있다. The fixed mirror supporting part 11 and the driving mirror supporting part 10 are attached and connected to each other at the outer part 16 so that even if the fixing mirrors 4 and the driving mirrors 3 move separately from each other , Which may be attached to and supported by the driving mirror support portion 10 and the fixed mirror support portion 11, respectively.

이러한 구조에서의 구동 거울(3)의 구동의 경우, 구동 거울 하부면(14)의 중심부인 구동점(15)에 적절한 외력을 가하면, 상기 구동 거울들(3)은 상기 구동팔(9)에 변형이 생김으로써 구동 거울들(3) 면이 고정 거울들(4)의 면 대비 평행하게 상대적 거리를 변화시킬 수 있다. 이러한 구동 거울의 구동은 구동팔(9) 등에 적절한 정전기적 공진 구동 기구, 즉 콤(comb) 등을 둠으로써 적절하게 공진 구동을 할 수도 있다. In the case of driving the driving mirror 3 in such a structure, when an appropriate external force is applied to the driving point 15, which is the center portion of the lower surface 14 of the driving mirror, the driving mirrors 3 are deformed It is possible to change the relative distance of the driving mirrors 3 in parallel to the plane of the fixed mirrors 4. Such driving of the driving mirrors may appropriately perform resonance driving by providing an electrostatic resonance driving mechanism, such as a comb, suitable for the driving arm 9 and the like.

도 3을 참조하면, 라멜라 그레이팅 형 퓨리에 변환 적외선 분광기는, 구동 거울들(3)이 구동 방향인 Z축 방향으로 구동될 경우, 상기 구동 거울들(3)의 면이 고정 거울들(4)의 면(17) 대비 가능한 큰 이동 거리(d)를 가지도록 이루어져야 하고, 상기 구동 거울들(3)면이 상기 고정 거울들(4)의 면(17) 대비 기울어지지 않아야 된다. 그러나 종래에는 가늘고 긴 구동팔의 특성상 제조상 공정 편차에 따른 구동팔(9) 부분에서 약간의 영구 변형이 존재하면, 구동 거울들(3) 면이 기울어지게 되는 문제점을 가졌다.3, the Lamellar grating type Fourier transform infrared spectroscope is configured such that when the driving mirrors 3 are driven in the Z-axis direction in which the driving mirrors 3 are driven, the surfaces of the driving mirrors 3 are fixed to the fixed mirrors 4 And the driving mirrors 3 should not be tilted with respect to the surface 17 of the fixed mirrors 4. In this case, However, in the past, due to the characteristics of the elongated driving arms, if there is some permanent deformation in the driving arm 9 due to manufacturing process variations, the surfaces of the driving mirrors 3 are tilted.

이에 본 발명은 상기의 문제점을 해결하고자 기울기 보정기구를 갖는 라멜라 그레이팅 형 간섭계 시스템(100, 이하 라멜라 그레이팅 형 간섭계 시스템이라고 한다)을 제안한다. 도 4는 본 발명의 기울기 보정 기구 설명 개념도이며, 도 5는 본 발명의 기울기 보정 기구를 다른 방향에서 바라본 개념도이다. In order to solve the above problems, the present invention proposes a Lamellar grating type interferometer system (hereinafter, referred to as a Lamellar grating type interferometer system) having a tilt correcting mechanism. FIG. 4 is a conceptual diagram illustrating the tilt correction mechanism of the present invention, and FIG. 5 is a conceptual view of the tilt correction mechanism of the present invention viewed from another direction.

도 4 및 도 5를 참조하면, 상기 라멜라 그레이팅 형 간섭계 시스템(100)은 일 영역에 라멜라 그레이팅 거울(30)을 구비하는 거울 지지부(110), 상기 거울 지지부(110)의 일 측에 배치되는 보정키 지지대(120), 상기 거울 지지부(110)와 상기 거울 지지부(110)와 상기 보정키 지지대(120)의 간격을 조절하도록 형성되는 간극조절판(130) 및 상기 거울 지지부(110)와 상기 보정키 지지대 (120) 사이에 배치되는 보정키(140)를 포함할 수 있다.4 and 5, the Lamellar grating interferometer system 100 includes a mirror support 110 having a lamellar grating mirror 30 in one area, a compensation (not shown) disposed on one side of the mirror support 110, A key supporter 120 and a gap regulating plate 130 formed to adjust the distance between the mirror supporter 110 and the mirror supporter 110 and the correction key supporter 120. The mirror supporter 110, And a calibration key 140 disposed between the supports 120.

상기 거울 지지부(110)는 앞서 언급한 일반적인 라멜라 그레이팅 거울(30)을 구비하는 것이며, 상기 거울 지지부(110)는 구동 거울들(3)을 지지하는 구동 거울 지지부(10)와 고정 거울들(4)을 지지하는 고정 거울 지지부(11)로 구성될 수 있다.The mirror supporting part 110 includes the above-mentioned general lamellar grating mirror 30 and the mirror supporting part 110 includes a driving mirror supporting part 10 supporting the driving mirrors 3 and fixing mirrors 4 (Not shown).

상기 보정키 지지대(120)는 상기 거울 지지부(110)의 상부에 배치되는데, 상기 거울 지지부(110)와 이격되어 배치될 수 있다. 즉 상기 보정키 지지대(120)와 상기 거울 지지부(110) 사이에 형성되는 이격공간 또는 간격이 존재한다.The correction key support 120 is disposed at an upper portion of the mirror support 110, and may be spaced apart from the mirror support 110. That is, a spacing space or gap formed between the correction key support 120 and the mirror support 110.

또한 상기 보정키 지지대(120)는 제1방향(D1)을 향하여 경사를 갖도록 형성된 제1면(121)을 포함할 수 있다. 상기 제1면(121)의 경사 정도는 미세한 기울기에 해당한다. 상기 제1면(121)은 상기 거울 지지부(110)와 마주보게 배치되도록 상기 보정키 지지대(120)의 배면에 형성된다.In addition, the correction key support 120 may include a first surface 121 formed to have a slope toward the first direction D1. The degree of inclination of the first surface 121 corresponds to a fine slope. The first surface 121 is formed on the back surface of the correction key support 120 so as to be opposed to the mirror support 110.

상기 간극조절판(130)은 상기 거울 지지부(110)와 상기 보정키 지지대(120)의 간격을 조절하도록, 상기 거울 지지부(110)와 상기 보정키 지지대(120) 사이에 상기 제1방향(D1)으로 이동 가능하도록 장착된다. 즉 상기 간극조절판(130)은 상기 제1면(121)에 인접하게 배치되어, 상기 제1방향(D1)으로 경사진 상기 제1면(121)을 따라 이동된다. The gap regulating plate 130 is disposed between the mirror support 110 and the correction key support 120 so as to adjust the gap between the mirror support 110 and the correction key support 120, As shown in Fig. That is, the gap regulating plate 130 is disposed adjacent to the first surface 121 and is moved along the first surface 121 inclined in the first direction D1.

따라서 상기 제1면(121)을 포함하는 상기 보정키 지지대(120)는 상기 간극조절판(130)의 이동에 따라 움직이게 되는데, 상기 보정키 지지대(120)의 이동방향은 상기 제1방향(D1)과 교차되는 제2방향(D2)으로 이루어진다.Accordingly, the correction key supporter 120 including the first surface 121 moves according to the movement of the gap regulating plate 130. The movement direction of the correction key supporter 120 is changed in the first direction D1, And a second direction D2 intersecting the first direction D2.

다시 말해 상기 간극조절판(130)이 좌우방향으로 움직이게 되는 경우, 상기 간극조절판(130)과 연결된 제1면(121)의 경사도로 인하여 상기 보정키 지지대(120)는 상하방향으로 이동하게 된다. In other words, when the gap regulating plate 130 moves in the left and right direction, the correction key supporter 120 moves in the vertical direction due to the inclination of the first surface 121 connected to the gap regulating plate 130.

또한 상기 보정키(140)는 상기 거울 지지부(110)와 상기 보정키 지지대(120) 사이에 배치되는바, 상기 보정키 지지대(120)의 제2방향(D2) 즉, 상하이동에 의해 상기 제2방향(D2)과 동일한 방향으로 이동된다.The correction key 140 is disposed between the mirror support unit 110 and the correction key support 120 so that the correction key 140 can be moved in the second direction D2, Is moved in the same direction as the two directions (D2).

상기 보정키(140)는 앞서 언급한 구동팔(9)에 변형을 가하도록, 복수개로 구비된 상기 구동팔(9)에 대칭적으로 접촉하게 이루어진다. The correction key 140 is symmetrically contacted to the plurality of drive arms 9 so as to deform the drive arm 9 mentioned above.

따라서 상기 보정키(140)가 상기 제2방향(D2)으로 이동됨으로써, 상기 보정키(140)와 접촉되도록 이루어진 상기 라멜라 그레이팅 거울(30)의 기울기가 보상될 수 있다.The inclination of the rammel grating mirror 30 which is brought into contact with the correction key 140 can be compensated by moving the correction key 140 in the second direction D2.

도 4 및 도 5를 참조하면, 상기 라멜라 그레이팅 형 간섭계 시스템(100)은 탄성재질의 스프링을 포함하는 스프링부(150)를 더 포함할 수 있다. 4 and 5, the lamellar grating interferometer system 100 may further include a spring unit 150 including an elastic spring.

상기 스프링부(150)는 상기 보정키 지지대(120)가 상기 제2방향(D2)으로 보다 탄력적으로 이동되도록 적어도 하나 이상의 스프링을 포함할 수 있다. 상기 스프링부(150)는 상기 거울 지지부(110)와 상기 보정키 지지대(120) 사이에서 상기 보정키(140)와 마주보도록 배치될 수 있다.The spring unit 150 may include at least one spring to allow the correction key support 120 to move more flexibly in the second direction D2. The spring portion 150 may be disposed between the mirror support 110 and the correction key support 120 to face the correction key 140.

앞서 언급한 구조에 의해 상기 보정키(140)는 상기 제2 방향(D2)인 상하로 이동되어지고, 상기 보정키(140)와 접촉되도록 이루어진 상기 구동팔(9) 부분이 강제로 상하 변형(D2)되도록 이루어진다.According to the structure described above, the correction key 140 is moved up and down in the second direction D2, and the part of the drive arm 9 to be in contact with the correction key 140 is forcibly moved up and down (D2 ).

이러한 변형량은, 상기 보정키 지지대(120)의 제1면(121)의 기울기, 상기 간극 조절판(130)의 좌-우 이동 거리, 정밀도 조절 등에 따라, 0.1마이크론 수준의 정밀도로 상기 구동팔(9)의 변형, 그리고 이에 연결된 구동 거울들(3) 면의 기울기를 조절할 수 있다.The amount of deformation may be controlled by adjusting the angle of the driving arm 9 with an accuracy of 0.1 micron according to the inclination of the first surface 121 of the correction key support 120, the distance of movement of the gap regulating plate 130, And the inclination of the driving mirrors 3 connected thereto can be adjusted.

이때 상기 간극 조절판(130)은 4개로 분리될 수 있고, 4개의 구동팔(9) 각각의 높이를 조절할 수 있다. At this time, the gap regulating plate 130 can be separated into four, and the height of each of the four driving arms 9 can be adjusted.

따라서 본 발명은 구동팔(9)의 특정 위치에 상기 보상키(140)가 직접 접촉하여 구동팔(9)의 영구 변형을 변형을 보상하되, 그 보상량이 수 0.1 마이크론 수준의 정밀도까지 자유롭게 조정 가능한 일종의 쐐기 형상의 접촉식 보상 기구를 갖는 라멜라 그레이팅 형 간섭계(100)를 가질 수 있다.Therefore, the present invention is based on the idea that the compensation key 140 directly contacts a specific position of the drive arm 9 to compensate for the permanent deformation of the drive arm 9 so that the amount of compensation can be freely adjusted to a precision of the order of 0.1 microns, A grating type interferometer 100 having a contact type compensation mechanism of the shape.

이상에서, 출원인은 본 발명의 바람직한 실시 예들을 설명하였지만, 이와 같은 실시 예들은 본 발명의 기술적 사상을 구현하는 일 실시 예일 뿐이며 본 발명의 기술적 사상을 구현하는 한 어떠한 변경 예 또는 수정 예도 본 발명의 범위에 속하는 것으로 해석되어야 한다. While the present invention has been described in connection with what is presently considered to be practical exemplary embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, Should be interpreted as belonging to the scope.

Claims (3)

라멜라 그레이팅형 간섭계 시스템에 있어서,
일 영역에 라멜라 그레이팅 거울을 구비하는 거울 지지부;
상기 거울 지지부와 이격되도록 상기 거울 지지부의 일 측에 배치되는 보정키 지지대;
상기 거울 지지부와 상기 보정키 지지대의 간격을 조절하도록, 상기 거울 지지부와 상기 보정키 지지대 사이에 제1방향으로 이동 가능하게 장착되고, 상기 보정키 지지대를 상기 제1방향과 교차되는 제2방향으로 이동시키는 간극조절판; 및
상기 거울 지지부와 상기 보정키 지지대 사이에 배치되고, 상기 보정키 지지대의 이동에 따라 상기 제2방향으로 이동되도록 이루어지는 보정키를 포함하며,
상기 보정키가 상기 제2방향으로 이동됨으로써, 상기 보정키와 접촉되는 상기 라멜라 그레이팅 거울의 기울기가 변형되도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 라멜라 그레이팅형 간섭계 시스템.In a Lamellar grating type interferometer system,
A mirror support having a lamellar grating mirror in one region;
A correction key support disposed on one side of the mirror support to be spaced apart from the mirror support;
Wherein the correction support is mounted movably in a first direction between the mirror support and the correction key support to adjust an interval between the mirror support and the correction key support, A gap regulating plate for shifting; And
And a correction key disposed between the mirror support unit and the correction key support and adapted to move in the second direction in accordance with movement of the correction key support,
Wherein the correction key is moved in the second direction so that the slope of the ramellar grating mirror in contact with the correction key is deformed. 제1항에 있어서,
상기 보정키 지지대는,
상기 제1방향을 향하여 경사를 갖도록 형성된 제1면을 포함하고,
상기 간극조절판은,
상기 보정키 지지대를 상기 제2방향으로 이동시키도록, 상기 제1면과 인접하게 배치되는 것을 특징으로 하는 라멜라 그레이팅형 간섭계 시스템.The method according to claim 1,
Wherein the correction key support comprises:
And a first surface formed to have an inclination toward the first direction,
The gap regulating plate
And is disposed adjacent to the first surface to move the correction key support in the second direction. ≪ RTI ID = 0.0 > 21. < / RTI > 제2항에 있어서,
상기 거울 지지부와 상기 보정키 지지대 사이에서 상기 보정키와 마주보도록 배치되고, 탄성재질의 스프링을 포함하는 스프링부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 라멜라 그레이팅형 간섭계 시스템. 3. The method of claim 2,
Further comprising a spring portion disposed between the mirror support and the correction key support to face the correction key and including a resilient spring. ≪ RTI ID = 0.0 > 21. < / RTI >
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