KR101828511B1 - 안압에 따른 정전 용량 변화를 이용한 안압 센서, 그를 포함하는 콘택트 렌즈 및 그의 제조방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은, 콘택트 렌즈에 투명한 안압 센서를 구비함으로써, 시야를 가리지 않고 실시간으로 안압 측정이 가능한 이점이 있다. 또한, 그래핀과 은나노 와이어로 구성된 상,하부 전극과, 상기 상,하부 전극 사이에 적층된 유전층을 포함함으로써, 두께가 얇아서 눈에 착용시 이물감이 적고, 신축성이 높으며, 외부와 무선 통신이 가능한 이점이 있다.

Description

안압에 따른 정전 용량 변화를 이용한 안압 센서, 그를 포함하는 콘택트 렌즈 및 그의 제조방법{Intraocular pressure sensor using capacitance change in intraocular pressure, contact lens including the same and manufacturing method of the same}

본 발명은 안압에 따른 정전 용량 변화를 이용한 안압 센서, 그를 포함하는 콘택트 렌즈 및 그의 제조방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 투명 전극 소재와 투명한 유전체 소재를 이용하여 콘택트렌즈에 안압 센서를 구현함으로써, 실시간으로 안압 측정이 가능한 안압에 따른 정전 용량 변화를 이용한 안압 센서, 그를 포함하는 콘택트 렌즈 및 그의 제조방법에 관한 것이다.

일반적으로 안압은 안구 내부의 압력을 의미한다. 안압은 녹내장의 진단과 치료에 중요한 지표가 된다.

종래에는 안압을 측정하기 위해서는 안과 병원에 방문하고, 병원에 있는 안압계 등의 안압 측정용 장비를 통해서 측정하였다. 그러나, 안압은 실시간으로 계속 변하며, 특히 밤에 혈압이 떨어지는 반작용으로 안압이 높아진다.

따라서 녹내방을 예방하거나 정확한 안압을 측정하기 위해서는 실시간으로 안압을 측정하는 것이 필요하다.

한국등록특허 10-1601638호

본 발명의 목적은, 사용자의 눈에 착용가능하여 항상 안압을 측정할 수 있는 안압에 따른 정전 용량 변화를 이용한 안압 센서, 그를 포함하는 콘택트 렌즈 및 그의 제조방법을 제공하는 데 있다.

본 발명에 따른 안압에 따른 정전 용량 변화를 이용한 안압 센서는,광투광성 기판과; 상기 광투광성 기판 위에 코팅 형성되고, 1차원 금속나노물질과 2차원 금속나노물질 중 적어도 하나를 포함하고, 전자기 공명을 수행하여 신호를 외부로 무선 송신하도록 나선 형상의 안테나 패턴을 포함하는 하부 전극과; 상기 하부 전극 위에 형성되고, 안압에 따라 두께가 변하여 안압을 센싱하는 유전층과; 상기 유전층 위에 형성되고, 1차원 금속나노물질과 2차원 금속나노물질 중 적어도 하나를 포함하고, 전자기 공명을 수행하여 신호를 외부로 무선 송신하도록 안테나 패턴을 포함하고, 상기 유전층의 두께 변화에 따라 상기 하부 전극과의 사이에 정전 용량이 변화하는 상부 전극과; 상기 상부 전극 위에 형성된 패시배이션층을 포함한다.

본 발명의 다른 측면에 따른 안압에 따른 정전 용량 변화를 이용한 안압 센서는, 콘택트렌즈에 구비되고, 파릴렌(Parylene)을 코팅하여 형성된 광투광성 기판과; 상기 광투광성 기판 위에 코팅 형성되고, 금속 나노와이어, 금속 나노화이버, 카본 나노튜브, 그래핀, 금속 그리드, 금속 나노트로프 중 적어도 하나를 포함하고, 전자기 공명을 수행하여 신호를 외부로 무선 송신하도록 나선 형상의 안테나 패턴을 포함하는 하부 전극과; 상기 하부 전극 위에 에코플랙스와 PDMS 중 적어도 하나를 코팅하여 형성되고, 안압에 따라 두께가 변하여 안압을 센싱하는 유전층과; 상기 유전층 위에 코팅 형성되고, 금속 나노와이어, 금속 나노화이버, 카본 나노튜브, 그래핀, 금속 그리드, 금속 나노트로프 중 적어도 하나를 포함하고, 전자기 공명을 수행하여 신호를 외부로 무선 송신하도록 나선 형상의 안테나 패턴을 포함하고, 상기 유전층의 두께 변화에 따라 상기 하부 전극과의 사이에 정전 용량이 변화하는 상부 전극과; 상기 상부 전극 위에 파릴렌(Parylene)을 코팅하여 형성된 패시배이션층을 포함한다.

본 발명의 다른 측면에 따른 안압에 따른 정전 용량 변화를 이용한 안압 센서의 제조방법은, 희생기판위에 파릴렌(Parylene)을 코팅하여 광투광성 기판을 형성하는 단계와; 상기 광투광성 기판 위에 1차원 금속나노물질을 코팅한 후, 2차원 금속나노물질을 전사하여, 하부 금속나노물질층을 형성하는 단계와; 상기 하부 금속나노물질층을 나선 형상의 안테나 패턴으로 패터닝하여, 전자기 공명을 수행하여 신호를 외부로 무선 송신하는 안테나를 포함하는 하부 전극을 형성하는 단계와; 상기 하부 전극위에 안압에 따라 두께가 변하여 안압을 센싱하도록 유전체를 코팅하여 유전층을 형성하는 단계와; 상기 유전층 위에 상기 1차원 금속나노물질을 코팅한 후, 상기 2차원 금속나노물질을 전사하여, 상부 금속나노물질층을 형성하는 단계와; 상기 상부 금속나노물질층을 나선 형상의 안테나 패턴으로 패터닝하여, 전자기 공명을 수행하여 신호를 외부로 무선 송신하는 안테나를 포함하는 상부 전극을 형성하는 단계와; 상기 상부 전극 위에 파릴렌(Parylene)을 코팅하여 패시배이션층을 형성하는 단계와; 상기 희생기판을 제거하는 단계를 포함한다.

본 발명은, 콘택트렌즈에 투명한 안압 센서를 구비함으로써, 시야를 가리지 않고 실시간으로 안압 측정이 가능한 이점이 있다.

또한, 그래핀과 은나노 와이어로 구성된 상,하부 전극과, 상기 상,하부 전극 사이에 적층된 유전층을 포함함으로써, 두께가 얇아서 눈에 착용시 이물감이 적고, 신축성이 높으며, 외부와 무선 통신이 가능한 이점이 있다.

또한, 나선 형상의 안테나 패턴으로 전극을 형성함으로써, 제조가 매우 간편한 이점이 있다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 안압 센서가 도시된 도면이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 안압 센서의 제조방법을 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 안압 센서의 제조방법을 나타낸 순서도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 안압 센서의 작동 원리를 나타낸 도면이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 안압 센서의 주파수와 반사계수의 관계를 나타낸 그래프이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 안압 센서에서 공진 주파수와 안압의 관계를 나타낸 그래프이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대해 설명하면 다음과 같다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 안압 센서가 도시된 도면이다.

도 1을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 안압 센서(1)는, 광투광성 기판(12), 하부 전극(14), 유전층(16), 상부 전극(18), 패시배이션층(20) 및 콘택트렌즈(30)를 포함한다.

상기 광투광성 기판(12)은, 파릴렌(Parylene)을 코팅하여 형성된 기판이며, 투명하고 신축성을 갖는다. 상기 광투광성 기판(12)은 파릴렌 이외에도 생체적합하고 투명하며 신축성을 갖는 물질이면 어느 것이나 사용가능하다. 상기 광투광성 기판(12)은 투명 기판과 반투명 기판이 있으며, 본 실시예에서는 투명 기판을 사용한다.

본 실시예에서는, 상기 광투광성 기판(12)이 상기 콘택트렌즈(30)에 전사된 것으로 예를 들어 설명하나, 이에 한정되지 않고 상기 광투광성 기판(12)이 상기 콘택트렌즈인 것도 물론 가능하다.

상기 하부 전극(14)은, 나노 복합체 기반의 투명 전극이다. 상기 하부 전극(14)은, 1차원 금속나노물질과 2차원 금속나노물질을 포함한다. 상기 1차원 금속나노물질은, 은 나노와이어인 것으로 예를 들어 설명한다. 다만, 이에 한정되지 않고, 상기 1차원 금속나노물질으로 나노 와이어, 나노튜브, 나노입자, 금속 그리드 및 금속 나노트로프(nanotrough) 등도 사용될 수 있다. 상기 2차원 금속나노물질은 그래핀을 사용하는 것으로 예를 들어 설명한다. 다만, 이에 한정되지 않고, 상기 2차원 금속나노물질은 그래핀 등도 사용될 수 있다.

상기 하부 전극(14)은, 나선 형상의 안테나 패턴으로 패터닝된다. 따라서 상기 하부 전극(14)은, 전자기 공명을 수행하여 신호를 외부로 무선 송신하는 안테나 역할도 수행한다. 즉, 상기 나선 형상의 하부 전극(14)은 전극과 안테나 역할을 모두 수행한다.

상기 유전체층(16)은, 상기 하부 전극(14)위에 코팅 형성된 층이다. 상기 유전체층(16)은 투명한 유전체 물질로 이루어진 층이다. 상기 유전체 물질은 에코플렉스(ecoflex), PDMS 등 투명한 탄성중합체(Elastomer)가 사용될 수 있다. 본 실시예에서는, 상기 유전체 물질은 에코플렉스를 사용하는 것으로 예를 들어 설명한다.

상기 유전체층(16)은, 안압의 변화에 따라 두께가 변화하여 안압을 센싱하는 안압센싱층이다. 즉, 상기 유전체층(16)은 안압이 증가하게 되면 두께가 얇아지게 되어, 상기 상부 전극(18)과 상기 하부 전극(14)사이의 정전 용량을 변화시키며, 정전 용량의 변화에 따른 공진 주파수의 변화에 따라 안압을 측정할 수 있다.

상기 상부 전극(18)은, 나노 복합체 기반의 투명 전극이다. 상기 상부 전극(18)은, 1차원 금속나노물질과 2차원 금속나노물질을 포함한다. 상기 상부 전극(18)은 상기 하부 전극(14)과 동일한 물질로 형성된다.

상기 상부 전극(18)은, 상기 하부 전극(14)과 동일한 패턴으로 형성된다. 즉, 상기 상부 전극(18)은, 나선 형상의 안테나 패턴으로 형성된다. 따라서 상기 상부 전극(18)은, 전자기 공명을 수행하여 신호를 외부로 무선 송신하는 안테나 역할도 수행한다. 즉, 상기 나선 형상의 상부 전극(18)은 전극과 안테나 역할을 모두 수행한다. 상기 상부 전극(18)은 상기 하부 전극(14)과의 상호 작용을 통해 신호를 외부에 무선 송신한다.

상기 패시배이션층(20)은, 상기 상부 전극(18)위에 파릴렌을 코팅하여 형성된 층이다. 상기 패시배이션층(20)은, 파릴렌을 사용하는 것으로 예를 들어 설명하나, 생체적합하고 투명하며 신축성을 갖는 물질로 이루어지면 어느 것이나 사용가능하다.

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 안압 센서의 제조방법을 개략적으로 나타낸 도면이다. 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 안압 센서의 제조방법을 나타낸 순서도이다.

도 2 및 도 3을 참조하면, 상기 안압 센서(1)의 제조방법은 다음과 같다.

먼저, 도 2a를 참조하면, 희생 기판(10)위에 파릴렌을 코팅하여, 상기 광투광성 기판(12)을 형성한다.(S1) 상기 희생 기판(10)은 구리 호일을 사용할 수 있으며, 추후 제거된다. 상기 광투광성 기판(12)은 생체적합성 광투광성 기판이며, 추후 상기 콘택트렌즈(30)에 전사된다.

도 2b를 참조하면, 상기 광투광성 기판(12)위에 은 나노 와이어를 스핀 코팅한다.(S2)

상기 은 나노 와이어를 스핀 코팅하여 은 나노 와이어 필름이 형성되면, 그 위에 그래핀을 전사한다.(S3)

상기 은 나노 와이어 위에 그래핀을 전사하면, 상부 금속나노물질층이 형성된다. 상기 은 나노 와이어들이 서로 겹쳐져 네트워크를 이루게 되며, 전류가 상기 은 나노 와이어들을 통해 흐를 수 있다. 상기 은 나노 와이어와 상기 그래핀으로 이루어진 하부 금속나노물질층은, 그래핀으로만 이루어진 경우보다 전기 전도도가 높고 면저항이 낮다.

상기 하부 금속나노물질층이 형성이 되면, 상기 하부 금속나노물질층에 안테나와 하부 전극을 패터닝한다.(S4)

포토레지스트액(Positive Photo-resist)을 스핀 코팅하고, 마스크 얼라이너(Mask aligner)를 이용하여 패터닝한 후, 현상액(developer)을 이용해 현상한다. 그리고, RIE(Reactive ion etching)장치를 이용하여, 상기 전극 패턴과 상기 안테나 패턴을 제외한 나머지 부분을 건식 식각(dry etching)한다. 이후, 남은 포지티브 포토레지스트액을 제거하면, 도 2b에 도시된 바와 같이 상기 하부 전극(14)이 형성된다. 이 때, 상기 하부 전극(14)의 패턴은, 나선 형상의 안테나 패턴으로 패터닝된다. 상기 하부 전극(14)의 패턴이 나선 형상으로 복수 회 감긴 형상으로 형성됨으로써, 전자기 공명을 수행하여 신호를 외부로 무선 송신하는 안테나 역할을 할 수 있다.

이후, 도 2c를 참조하면, 상기 하부 전극(14) 위에 에코플랙스(ecoflex)를 스핀 코팅하여, 상기 유전층(16)을 형성한다.(S5)

상기 에코플랙스 외에 PDMS 등 투명한 탄성중합체(Elastomer)가 사용될 수 있다. 상기 유전층(16)은 안압이 증가하게 되면 두께가 얇아지면서, 상기 상부 전극(18)과 상기 하부 전극(14)사이의 정전 용량(Capacitance)을 증가시킨다. 상기 유전층(16)은, 미리 설정된 두께를 갖도록 형성되며, 상기 두께는 안압에 따라 변화하여 정전 용량의 변화가 측정될 수 있을 정도의 두께이며, 실험 등에 의해 미리 설정된다.

이후, 도 2d를 참조하면, 상기 유전층(16)위에 은 나노 와이어를 스핀 코팅한다.(S6)

상기 은 나노 와이어를 스핀 코팅하여 은 나노 와이어 필름이 형성되면, 그 위에 그래핀을 전사한다.(S7)

상기 은 나노 와이어 위에 그래핀을 전사하면, 상부 금속나노물질층이 형성된다. 상기 은 나노 와이어들이 서로 겹쳐져 네트워크를 이루게 되며, 전류가 상기 은 나노 와이어들을 통해 흐를 수 있다. 상기 은 나노 와이어와 상기 그래핀으로 이루어진 상부 금속나노물질층은, 그래핀으로만 이루어진 경우보다 전기 전도도가 높고 면저항이 낮다.

상기 상부 금속나노물질층이 형성이 되면, 상기 상부 금속나노물질층에 안테나와 상부 전극(18)을 패터닝한다.(S8)

상기 상부 전극(18)과 안테나를 패터닝하는 방법은, 상기 하부 전극(14)을 패터닝하는 방법과 동일하다. 포토레지스트액(Positive Photo-resist)을 스핀 코팅하고, 마스크 얼라이너(Mask aligner)를 이용하여 패터닝한 후, 현상액(developer)을 이용해 현상한다. 그리고, RIE(Reactive ion etching)장치를 이용하여, 상기 전극 패턴과 상기 안테나 패턴을 제외한 나머지 부분을 건식 식각(dry etching)한다. 이후, 남은 포지티브 포토레지스트액을 제거하면, 도 2d에 도시된 바와 같이 상기 상부 전극(18)이 형성된다. 이 때, 상기 상부 전극(18)의 패턴은, 나선 형상의 안테나 패턴으로 패터닝한다. 상기 상부 전극(18)의 패턴이 나선 형상으로 복수 회 감긴 형상으로 형성됨으로써, 전자기 공명을 수행하여 신호를 외부로 무선 송신하는 안테나 역할을 할 수 있다.

이 때, 산소 투과도를 위하여 상기 안테나의 중간에 위치한 상기 유전층(16)만을 제거할 수 있다. 상기 유전층(16) 중에서 제거되는 부분에는 전극이나 안테나가 배치되지 않는 부분이다.

이후, 도 2e를 참조하면, 상기 상부 전극(18)위에 파릴렌을 코팅하여 패시배이션층을 형성한다.(S9)

이후, 상기 희생 기판(10)을 제거한다.(S10) 상기 희생 기판(10)을 제거하면, 투명한 안압 센서가 완성이 된다.

상기 투명한 안압 센서는 상기 콘택트 렌즈(30)에 전사하여 사용할 수 있다.(S11) 투명하여 시야를 가리지 않으면서도, 실시간으로 눈에 착용이 가능하여 항상 안압을 측정할 수 있다.

도 4는 본 발명의 실시예에 따른 안압 센서의 작동 원리를 나타낸 도면이다.

도 4a를 참조하면, 안압이 정상인 경우, 상기 유전층(16)은 초기 두께(d0)를 유지한다.

도 4b를 참조하면, 안압이 높아지면, 안압에 의해 상기 유전층(16)의 두께(d1)가 초기 두께(d0)보다 얇아지게 된다.

수학식 1을 참조하면, 상기 유전층(16)의 두께가 얇아지면, 정전 용량(C)이 증가하게 된다. 상기 정전 용량(C)이 변화하면, 상기 안압 센서의 공진 주파수가 변화하게 된다.

여기서, L은 인덕턴스이고, C는 정전용량(Capacitance)이다.

도 5는 본 발명의 실시예에 따른 안압 센서의 주파수와 반사계수의 관계를 나타낸 그래프이다.

도 5를 참조하면, 상기 안압에 따라 변화하는 상기 안압 센서의 공진 주파수의 변화를 확인할 수 있다. 즉, 상기 안압의 변화에 따라 반사계수의 최소값이 나타나는 공진 주파수가 변화하는 것을 확인할 수 있다.

도 6은 본 발명의 실시예에 따른 안압 센서에서 공진 주파수와 안압의 관계를 나타낸 그래프이다.

도 6을 참조하면, 상기 콘택트 렌즈(30)에 구비된 안압 센서를 이용해 안압 범위 0 내지 50mmHG에서 안압을 측정한 결과를 나타낸 그래프이다.

상기 안압 센서로부터 정전용량의 변화를 측정하고, 무선 신호를 통해 반사계수의 최소값을 가지는 공진 주파수를 측정할 수 있다. 상기 반사계수의 최소값을 갖는 공진 주파수를 통해 안압을 추정할 수 있다.

본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.

1: 안압 센서 12: 광투광성 기판
14: 하부 전극 16: 유전체
18: 상부 전극 20: 패시배이션 층
30: 콘택트 렌즈

Claims (13)

1. 광투광성 기판과;
   상기 광투광성 기판 위에 코팅 형성되고, 1차원 금속나노물질과 2차원 금속나노물질 중 적어도 하나를 포함하고, 전자기 공명을 수행하여 신호를 외부로 무선 송신하도록 나선 형상으로 복수회 감긴 형상의 안테나 패턴으로 형성되어 전극과 안테나 역할을 하는 하부 전극과;
   상기 하부 전극 위에 형성되고, 에코플랙스로 형성되어, 안압에 따라 두께가 변하는 유전층과;
   상기 유전층 위에 형성되고, 1차원 금속나노물질과 2차원 금속나노물질 중 적어도 하나를 포함하고, 전자기 공명을 수행하여 신호를 외부로 무선 송신하도록 나선 형상으로 복수회 감긴 형상의 안테나 패턴으로 형성되어 전극과 안테나 역할을 하고, 상기 유전층의 두께 변화에 따라 상기 하부 전극과의 사이에 정전 용량이 변화하는 상부 전극과;
   상기 상부 전극 위에 형성된 패시배이션층을 포함하고,
   안압이 높아져서 상기 유전층의 두께가 초기 두께보다 얇아지면, 상기 상부 전극과 상기 하부 전극 사이의 정전 용량이 증가하고, 상기 정전 용량의 증가에 따라 변하는 상기 안테나 패턴이 무선 송신하는 신호의 공진 주파수를 측정하여, 상기 측정된 공진 주파수로부터 안압을 측정하는 안압에 따른 정전 용량 변화를 이용한 안압 센서.
2. 청구항 1에 있어서,
   상기 광투광성 기판과 상기 패시배이션층은, 파릴렌(Parylene)으로 형성된 안압에 따른 정전 용량 변화를 이용한 안압 센서.
3. 삭제
4. 삭제
5. 삭제
6. 청구항 1에 있어서,
   상기 하부전극에 사용되는 1차원 금속나노물질과 상기 상부전극에 사용되는 1차원 금속나노물질은 서로 동일하고,
   상기 1차원 금속나노물질은, 금속 나노와이어, 금속 나노화이버, 카본 나노튜브, 금속 그리드, 금속 나노트로프(nanotrough) 중 적어도 하나를 포함하는 안압에 따른 정전 용량 변화를 이용한 안압 센서.
7. 청구항 1에 있어서,
   상기 하부전극에 사용되는 2차원 금속나노물질과 상기 상부전극에 사용되는 2차원 금속나노물질은 서로 동일하고,
   상기 2차원 금속나노물질은, 그래핀을 포함하는 안압에 따른 정전 용량 변화를 이용한 안압 센서.
8. 삭제
9. 삭제
10. 콘택트렌즈에 구비되고, 파릴렌(Parylene)을 코팅하여 형성된 광투광성 기판과;
    상기 광투광성 기판 위에 코팅 형성되고, 금속 나노와이어, 금속 나노화이버, 카본 나노튜브, 그래핀, 금속 그리드, 금속 나노트로프 중 적어도 하나를 포함하고, 전자기 공명을 수행하여 신호를 외부로 무선 송신하도록 나선 형상으로 복수회 감긴 형상의 안테나 패턴으로 형성되어 전극과 안테나 역할을 하는 하부 전극과;
    상기 하부 전극 위에 에코플랙스와 PDMS 중 적어도 하나를 코팅하여 형성되고, 안압에 따라 두께가 변하는 유전층과;
    상기 유전층 위에 코팅 형성되고, 금속 나노와이어, 금속 나노화이버, 카본 나노튜브, 그래핀, 금속 그리드, 금속 나노트로프 중 적어도 하나를 포함하고, 전자기 공명을 수행하여 신호를 외부로 무선 송신하도록 나선 형상으로 복수회 감긴 형상의 안테나 패턴으로 형성되어 전극과 안테나 역할을 하고, 상기 유전층의 두께 변화에 따라 상기 하부 전극과의 사이에 정전 용량이 변화하는 상부 전극과;
    상기 상부 전극 위에 파릴렌(Parylene)을 코팅하여 형성된 패시배이션층을 포함하고,
    안압이 높아져서 상기 유전층의 두께가 초기 두께보다 얇아지면, 상기 상부 전극과 상기 하부 전극 사이의 정전 용량이 증가하고, 상기 정전 용량의 증가에 따라 변하는 상기 안테나 패턴이 무선 송신하는 신호의 공진 주파수를 측정하여, 상기 측정된 공진 주파수로부터 안압을 측정하는 안압에 따른 정전 용량 변화를 이용한 안압 센서.
11. 희생기판위에 파릴렌(Parylene)을 코팅하여 광투광성 기판을 형성하는 단계와;
    상기 광투광성 기판 위에 1차원 금속나노물질을 코팅한 후, 2차원 금속나노물질을 전사하여, 하부 금속나노물질층을 형성하는 단계와;
    상기 하부 금속나노물질층을 나선 형상으로 복수회 감긴 형상의 안테나 패턴으로 패터닝하여, 전자기 공명을 수행하여 신호를 외부로 무선 송신하는 안테나를 포함하는 하부 전극을 형성하는 단계와;
    상기 하부 전극위에 안압에 따라 두께가 변하도록 유전체를 코팅하여 유전층을 형성하는 단계와;
    상기 유전층 위에 상기 1차원 금속나노물질을 코팅한 후, 상기 2차원 금속나노물질을 전사하여, 상부 금속나노물질층을 형성하는 단계와;
    상기 상부 금속나노물질층을 나선 형상으로 복수회 감긴 형상의 안테나 패턴으로 패터닝하여, 상기 유전층의 두께 변화에 따라 상기 하부 전극과의 사이에 정전 용량이 변화하면 상기 정전 용량에 따라 변한 주파수의 신호를 외부로 송신하는 안테나를 포함하는 상부 전극을 형성하는 단계와;
    상기 상부 전극 위에 파릴렌(Parylene)을 코팅하여 패시배이션층을 형성하는 단계와;
    상기 희생기판을 제거하는 단계와;
    상기 희생기판을 제거한 이후에 상기 광투광성 기판을 콘택트렌즈에 전사하는 단계를 포함하고,
    상기 1차원 금속나노물질은 은 나노와이어를 포함하고, 상기 2차원 금속나노물질은 그래핀을 포함하는 안압에 따른 정전 용량 변화를 이용한 안압 센서의 제조방법.
12. 삭제
13. 삭제

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