KR101820114B1 - Apparatus for eliminatining water of air duct - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기체배관의 자동수분제거장치에 관한 것으로, 특히 반도체 라인의 각종 배기장치파이프에 의해 발생된 수분은 하부로 떨어져서 전기장치가 없이 기구적으로 만 배관을 통해 외부로 배출할 수 있도록 된 기체배관의 자동수분제거장치에 관한 것이다.
본 발명의 자동수분제거장치(1000)는, 반도체의 후처리라인에서 배기가스를 수집하는 기체배관(1100)과, 상기 기체배관의 소정위치에서 길이방향중심축과 수직하게 세워져 격벽을 구성함과 더불어 중심에는 관통구멍(1210)이 형성된 수분수집판(1200)과, 상기 기체배관을 통해 배기가스가 유입되는 방향과 평행하게 수분수집판의 중심에 일단이 밀폐되도록 설치됨과 더불어 외주면에 관통구멍(1310)이 형성된 관부재(1300)와, 상기 관부재의 타단을 밀폐하도록 설치됨과 더불어 상기 수분수집판에 고정된 반대쪽의 단부에서 수분수집판쪽으로 갈수록 하부로 경사진 경사면(1410)을 갖는 수분채취판(1400)과, U자 형태로 절곡되어 일단은 상기 수분수집판(1200)의 상부에서 일정간격을 두고 떨어져서 위치함과 더불어 타단은 수분수집판(1200)을 관통하여 하부로 일정길이 돌출되어 사이펀의 원리에 의해 기구적인 구조만으로 외부측에 수분을 배출하도록 설치된 사이펀관(1500)을 포함하는 것을 특징으로 한다.
The present invention relates to an automatic moisture removing apparatus for gas piping, and more particularly, to a system and method for removing moisture generated by various exhaust pipes of a semiconductor line, The present invention relates to an automatic water removal device for piping.
The automatic moisture removing apparatus 1000 according to the present invention includes a gas pipe 1100 for collecting exhaust gas in a post-processing line of a semiconductor, a partition wall 1132 vertically installed at a predetermined position of the gas pipe, A water collecting plate 1200 having a through hole 1210 formed at the center thereof, and a water collecting plate 1200 installed at one end of the water collecting plate in parallel with a direction in which exhaust gas is introduced through the gas pipe, And a slope 1410 inclined downward toward the water collecting plate at an opposite end fixed to the water collecting plate. The water collecting unit 1300 includes a tubular member 1300 having a tubular member 1310 formed thereon, And one end is spaced apart from the upper part of the water collecting plate 1200 at a predetermined interval and the other end is passed through the water collecting plate 1200 to be lower The protruding characterized in that it comprises a siphon tube (1500) is installed to discharge the moisture on the outer mechanical structure only by the principle of siphon.

Description

기체배관의 자동수분제거장치{APPARATUS FOR ELIMINATINING WATER OF AIR DUCT}[0001] APPARATUS FOR ELIMINATING WATER OF AIR DUCT [0002]

본 발명은 기체배관의 자동수분제거장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 반도체 라인의 각종 배기장치파이프에 의해 발생된 수분은 하부로 떨어져서 기계적으로 배관을 통해 외부로 배출할 수 있도록 된 기체배관의 자동수분제거장치에 관한 것이다.
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an automatic moisture removing apparatus for a gas pipe, and more particularly, to an automatic moisture removing apparatus for a gas pipe which is capable of automatically discharging moisture generated by various exhaust pipes of a semiconductor line, And a moisture removing device.

일반적으로 반도체 라인에서 각종 배기장치파이프의 결로에 의해 발생된 수분을 제거하기 위한 수분제거장치가 설치된다.Generally, a moisture removing device for removing moisture generated by condensation of various exhaust pipes in a semiconductor line is provided.

종래 이러한 수분제거장치는 대한민국 특허청에 특허등록 제10-1213150호로 발명의 명칭 "수분제거장치"가 공지되어 있는바, 스크러버의 배기관에 유입관이 연결되어 스크러버에서 배출된 유체는 수분분리통으로 유입된다. 수분분리통에 유입된 유체에서 액체 또는 기체상태의 물을 분리하여 수분포집관을 통해 배출하고 물이 제거된 유체만을 배출관을 통해서 배출한다.A conventional moisture removing device is known in the Korean Intellectual Property Office (KIPO) No. 10-1213150 entitled " Moisture Removal Apparatus ", wherein an inlet pipe is connected to the exhaust pipe of the scrubber, and the fluid discharged from the scrubber is introduced into the moisture separator . The liquid separated from the fluid introduced into the water separator is separated from the liquid or gaseous water, discharged through the water collecting pipe, and discharged only through the discharge pipe.

이러한 종래 수분제거장치의 스크러버는 효율을 위해 배기관이 상면에 위치하는데 일 측면으로 유체가 유입되는 수분제거장치에 유입관을 연결하기 위해서는 유입관이 많은 절곡된 부분을 포함하고 길이가 길어질 수밖에 없어, 유체가 유입관을 통과하면 부하가 걸리고 큰 압력강하가 일어나 유체에 포함되어 있는 물이 유입관에 달라붙게 되어 유입관이 쉽게 부식되고, 많은 자재를 사용하여야 하므로 비용이 증가되는 문제가 있고, 효율성이 떨어져 기체상태의 물을 효과적으로 제거할 수 없는 문제가 있으며, 이러한 제반 문제을 해소하기 위해 다양한 수분제거장치가 제안되고 있는 추세이다.
The scrubber of the prior art moisture removal device has an exhaust pipe which is located on the upper surface for efficiency. In order to connect the inlet pipe to the moisture removing device in which the fluid flows into one side, When the fluid passes through the inflow pipe, a load is applied and a large pressure drop occurs, so that the water contained in the fluid adheres to the inflow pipe, so that the inflow pipe is easily corroded, There is a problem that the water in the gaseous state can not be effectively removed, and various moisture removing apparatuses have been proposed to solve these problems.

참조문헌: 대한민국 특허청에 특허등록 제10-1213150호로 발명의 명칭 "수분제거장치".
References: Patent No. 10-1213150 entitled " Moisture Removal Apparatus "

본 발명은 상기와 같은 제반 문제점들을 해소하기 위해 안출된 것으로, 반도체 라인의 각종 배기장치파이프에 의해 발생된 수분은 하부로 떨어져서 전기장치가 없이 기구적으로 만 배관을 통해 외부로 배출할 수 있도록 된 기체배관의 자동수분제거장치를 제공함에 그 목적이 있다.
The present invention has been conceived to solve the above-mentioned problems, and it is an object of the present invention to provide a semiconductor device and a method for manufacturing the semiconductor device, in which moisture generated by various exhaust pipes of a semiconductor line is downwardly discharged, An object of the present invention is to provide an automatic moisture removing device for a gas pipe.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 반도체 라인의 각종 배기장치파이프가 결로에 의해 발생시킨 수분을 수집하는 기체배관의 자동수분제거장치는, 상기 기체배관의 소정위치에서 길이방향중심축과 수직하게 세워져 격벽을 구성함과 더불어 중심에는 관통구멍이 형성된 수분수집판과, 상기 기체배관을 통해 배기가스가 유입되는 방향과 평행하게 수분수집판의 중심에 일단이 밀폐되도록 설치됨과 더불어 외주면에 관통구멍이 형성된 관부재와, 상기 관부재의 타단을 밀폐하도록 설치됨과 더불어 상기 수분수집판에 고정된 반대쪽의 단부에서 수분수집판쪽으로 갈수록 하부로 경사진 경사면을 갖는 수분채취판과, U자 형태로 절곡되어 일단은 상기 수분수집판의 상부에서 일정간격을 두고 떨어져서 위치함과 더불어 타단은 수분수집판을 관통하여 하부로 일정길이 돌출되도록 설치된 사이펀관을 포함하는 것을 특징으로 한다.According to another aspect of the present invention, there is provided an apparatus for removing moisture generated by condensation in various exhaust pipes of a semiconductor line according to the present invention, A water collecting plate vertically erected to form a partition wall and having a through hole formed at its center, and a water collecting plate provided at one end of the water collecting plate in parallel with a direction in which exhaust gas is introduced through the gas pipe, A water collecting plate which is provided so as to close the other end of the tubular member and has an inclined surface inclined downward toward the water collecting plate at an opposite end fixed to the water collecting plate; And one end is spaced apart from the upper part of the water collecting plate at a predetermined interval, And a siphon tube which extends through the siphon tube to a predetermined length.

여기서 상기 수분수집판의 하부로 돌출된 사이펀관의 단부에 일단이 연결됨과 더불어 상기 기체배관과 수분수집판에 의해 수집된 수분을 기체배관의 외부로 배출하기 위해 타단이 기체배관의 외부로 돌출된 수분배출유도수단이 더 설치된 것을 특징으로 한다.Wherein one end is connected to an end of the siphon tube protruded to a lower portion of the moisture collecting plate and the other end is protruded to the outside of the gas pipe to discharge moisture collected by the gas pipe and the moisture collecting plate to the outside of the gas pipe And a moisture discharge inducing means is further provided.

그리고 상기 수분수집판의 측면에서 상기 사이펀관을 밀어넣어 배치할 수 있도록 ㅅ사이펀관수용홈이 형성되고, 상기 사이펀관수용홈에 끼워지면서 사이펀관의 외주면을 감싸면서 밀봉가능하게 밀폐되는 사이펀관설치부재를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.A siphon tube accommodating groove is formed in the siphon tube accommodating groove so that the siphon tube can be pushed in from the side of the moisture collecting plate and the siphon tube is inserted into the siphon tube receiving groove to seal the outer circumferential surface of the siphon tube, And further comprising a member.

또한 상기 수분수집판이 위치한 기체배관의 기둥 외벽에는 기체배관과 수분수집관 및 관부재에 의해 수집된 수분을 증발시키기 위해 히터부가 더 구비된 것을 특징으로 한다.And a heater unit for evaporating moisture collected by the gas pipe, the water collecting pipe and the pipe member is further provided on an outer wall of the pipe of the gas pipe where the water collecting plate is located.

한편, 상기 수분배출유도수단은, 상기 사이펀관의 단부에 제1너트부재로 체결되는 엘보우부재에 체결된 너트부재와, 상기 기체배관의 외부로 일단이 돌출됨과 더불어 타단이 상기 엘보우부재와 제2너트부재로 체결되는 수분배출관을 포함하는 것을 특징으로 한다.
The moisture discharge inducing means includes a nut member fastened to an elbow member fastened to an end portion of the siphon tube with a first nut member and a nut member having one end protruded to the outside of the gas pipe, And a water discharge pipe which is fastened with a nut member.

상술한 바와 같이 본 발명에 따른 기체배관의 자동수분제거장치에 의하면, 반도체 라인의 각종 배기장치파이프에 의해 발생된 수분은 하부로 떨어져서 전기장치가 없이 기구적으로 만 사이펀의 원리를 이용한 배관을 통해 외부로 배출할 수 있어서, 겨울철 배관 내부와 외부 온도차에 의한 결로예방 차원의 보온제 시공을 하지 않아도 되므로 시공비를 절감할 수 있게 되는 효과가 있다.
As described above, according to the apparatus for removing moisture of a gas pipe according to the present invention, the moisture generated by various exhaust pipes of a semiconductor line falls downward, and there is no electrical device, So that it is possible to reduce the construction cost by avoiding the construction of the warming agent to prevent condensation due to the temperature difference between the inside and the outside of the winter pipe.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기체배관의 자동수분제거장치를 나타내는 사시도이고,
도 2는 도 1의 정면도,
도 3은 도 1의 평면도,
도 4는 도 1의 좌측면도,
도 5는 본 발명의 구성하는 기체통과 및 수분배출 유니트의 사시도,
도 6은 도 5의 정면도,
도 7은 도 5의 평면도,
도 8은 도 5의 좌측면도이다.
FIG. 1 is a perspective view showing an automatic water removal apparatus for a gas pipe according to an embodiment of the present invention,
Fig. 2 is a front view of Fig. 1,
Fig. 3 is a plan view of Fig. 1,
Fig. 4 is a left side view of Fig. 1,
5 is a perspective view of a gas passing and water discharge unit constituting the present invention,
Fig. 6 is a front view of Fig. 5,
Fig. 7 is a plan view of Fig. 5,
Fig. 8 is a left side view of Fig. 5; Fig.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 기체배관의 자동수분제거장치를 상세히 설명한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, an apparatus for removing moisture of a gas pipe according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

상기 도면의 구성 요소들에 인용부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 동일한 부호를 가지도록 하고 있으며, 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 공지 기능 및 구성에 대한 상세한 설명은 생략한다. 또한, '상부', '하부', '앞', '뒤', '선단', '전방', '후단' 등과 같은 방향성 용어는 개시된 도면(들)의 배향과 관련하여 사용된다. 본 발명의 실시 예의 구성요소는 다양한 배향으로 위치설정될 수 있기 때문에 방향성 용어는 예시를 목적으로 사용되는 것이지 이를 제한하는 것은 아니다.In the drawings, the same reference numerals are given to the same elements even when they are shown in different drawings. In the drawings, the same reference numerals as used in the accompanying drawings are used to designate the same or similar elements. And detailed description of the configuration will be omitted. Also, directional terms such as "top", "bottom", "front", "back", "front", "forward", "rear", etc. are used in connection with the orientation of the disclosed drawing (s). Since the elements of the embodiments of the present invention can be positioned in various orientations, the directional terminology is used for illustrative purposes, not limitation.

본 발명의 실시예에 따른 자동수분제거장치(1000)는 도 1 내지 도 8에 도시된 것과 같이, 반도체 라인의 각종 배기장치파이프에서 결로에 의해 발생된 수분을 수집하는 기체배관(1100)과, 상기 기체배관의 소정위치에서 길이방향중심축과 수직하게 세워져 격벽을 구성함과 더불어 중심에는 관통구멍(1210)이 형성된 수분수집판(1200)과, 상기 기체배관을 통해 배기가스가 유입되는 방향과 평행하게 수분수집판의 중심에 일단이 밀폐되도록 설치됨과 더불어 외주면에 관통구멍(1310)이 형성된 관부재(1300)와, 상기 관부재의 타단을 밀폐하도록 설치됨과 더불어 상기 수분수집판에 고정된 반대쪽의 단부에서 수분수집판쪽으로 갈수록 하부로 경사진 경사면(1410)을 갖는 수분채취판(1400)과, U자 형태로 절곡되어 일단은 상기 수분수집판(1200)의 상부에서 일정간격을 두고 떨어져서 위치함과 더불어 타단은 수분수집판(1200)을 관통하여 하부로 일정길이 돌출되어 사이펀의 원리에 의해 기구적인 구조만으로 외부측에 수분을 배출하도록 설치된 사이펀관(1500)을 포함하는 것을 특징으로 한다.1 to 8, the automatic moisture removing apparatus 1000 according to the embodiment of the present invention includes a gas pipe 1100 for collecting moisture generated by condensation in various exhaust pipes of a semiconductor line, A water collecting plate 1200 having a through hole 1210 formed at a predetermined position of the gas pipe perpendicularly to the longitudinal center axis and constituting a partition wall and having a center and a direction in which the exhaust gas flows through the gas pipe, A pipe member (1300) having a through hole (1310) formed on the outer circumferential surface thereof so as to be hermetically closed at one end thereof in parallel to the center of the water collecting plate; A water collecting plate 1400 having a slope 1410 inclined downward toward the water collecting plate at an end of the water collecting plate 1200 and a U- And the other end of the siphon tube 1500 is provided with a siphon tube 1500 protruding through the water collecting plate 1200 for a predetermined length to discharge water to the outside by a mechanical structure according to the principle of siphon .

따라서 상기 자동수분제거장치(1000)는 기체배관(1100)과 수분채취판(1400)을 갖춘 수분수집관(1200) 및 관부재(1300)에 의해 수분이 채워지다가 사이펀관(1500)의 U자 형상의 곡면부위까지 수위가 상승하게 되면 별도의 전기장치가 필요없이 사이펀의 원리에 의해 사이펀관(1500)을 따라서 채워진 수분이 외부로 배출하게 되므로, 배관 내부와 외부 온도차에 의한 결로예방 차원의 보온제 시공을 하지 않아도 되므로 시공비를 절감할 수 있게 된다.The automatic water removal apparatus 1000 is filled with water by the water collection pipe 1200 and the pipe member 1300 having the gas pipe 1100 and the water collection plate 1400, When the water level rises to the curved surface of the shape, the water filled along the siphon pipe 1500 is discharged to the outside by the principle of the siphon without the need for a separate electric device. Therefore, It is possible to reduce the construction cost because the construction is not required.

즉, 본 발명의 자동수분제거장치(1000)는, 별도의 전기장치가 없이 기구적으로 만 수분을 제거하게 되는바, 상기 사이펀관(1500)의 절곡된 U자형 곡면의 상부에 수위가 올라오면 압력차에 따른 사이펀의 원리에 의해 자동으로 수분이 배출되게 된다That is, since the automatic water removal apparatus 1000 of the present invention removes only the mechanical water without a separate electric device, when the water level rises above the curved U-shaped curved surface of the siphon tube 1500 The moisture is automatically discharged by the principle of the siphon according to the pressure difference

여기서 상기 수분수집판(1200)의 하부로 돌출된 사이펀관(1500)의 단부에 일단이 연결됨과 더불어 상기 기체배관(1100)과 수분수집판(1200)에 의해 수집된 수분을 기체배관의 외부로 배출하기 위해 타단이 기체배관의 외부로 돌출된 수분배출유도수단(1600)이 더 설치된 것을 특징으로 한다.One end of the siphon pipe 1500 protruded to the lower portion of the water collecting plate 1200 is connected to one end of the siphon pipe 1500 and the moisture collected by the gas pipe 1100 and the water collecting plate 1200 is discharged to the outside of the gas pipe And a water discharge guiding means 1600 having the other end protruded to the outside of the gas pipe for discharge.

따라서 상기 사이펀관(1500)과 수분배출유도수단(1600)을 별도로 제작할 수 있어서 제조에 따른 설계가 용이하게 되고, 조립이 용이하게 된다.Therefore, the siphon tube 1500 and the moisture discharge inducing means 1600 can be separately manufactured, so that the design of the siphon tube 1500 is facilitated and the assembly is facilitated.

그리고 상기 수분수집판(1200)의 측면에서 상기 사이펀관(1500)을 밀어넣어 배치할 수 있도록 사이펀관수용홈(1220)이 형성되고, 상기 사이펀관수용홈에 끼워지면서 사이펀관의 외주면을 감싸면서 밀봉가능하게 밀폐되는 사이펀관설치부재(1230)를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.A siphon tube receiving groove 1220 is formed on the side surface of the water collecting plate 1200 so that the siphon tube 1500 can be pushed in. The siphon tube receiving groove 1220 is inserted into the siphon tube receiving groove, And a siphon tube mounting member 1230 that is hermetically sealed.

따라서 상기 사이펀관(1500)을 수분수집판(1200)의 사이펀관수용홈(1220)으로 밀어 넣어서 위치치키고 상기 사이펀설치부재(1230)를 사이펀관수용홈(1220)에 끼워서 간단히 고정하는 것이 용이하게 된다.Therefore, it is easy to push the siphon tube 1500 into the siphon tube receiving groove 1220 of the water collecting plate 1200 and position the siphon tube 1500, and to easily fix the siphon tube mounting member 1230 in the siphon tube receiving groove 1220 .

또한 상기 수분수집판과 관부재 및 수분채취판은 본 실시예에서와 같이 4각기둥형태로 이루어진 것이나, 원통형의 형상으로 이루어 질 수 있음은 물론이다,The water collecting plate, the pipe member, and the water collecting plate may have a quadrangular prism shape as in the present embodiment, but may have a cylindrical shape.

한편, 상기 수분배출유도수단(1600)은, 상기 사이펀관(1500)의 단부에 제1너트부재(1610)로 체결되는 엘보우부재(1620)와, 상기 기체배관(1100)의 외부로 일단이 돌출됨과 더불어 타단이 상기 엘보우부재(1620)와 제2너트부재(1630)로 체결되는 수분배출관(1640)을 포함한다.The moisture discharge inducing means 1600 includes an elbow member 1620 fastened to a first end of the siphon pipe 1500 with a first nut member 1610 and a first end protruding toward the outside of the gas pipe 1100 And a moisture discharge pipe 1640 at which the other end is fastened to the elbow member 1620 and the second nut member 1630.

따라서 상기 사이펀관(1500)으로 배출된 수분은 엘보우부재(1620)와 수분배출관(1640) 및 제1,2너트부재(1610,1630)을 통해서 기체배관(1100)의 외부로 배출되게 되므로 기체를 배출하기 위한 장비에 들어가지 않게 되므로 장비의 파손을 방지하게 된다. The moisture discharged to the siphon pipe 1500 is discharged to the outside of the gas pipe 1100 through the elbow member 1620, the moisture discharge pipe 1640 and the first and second nut members 1610 and 1630, It does not enter the equipment to be discharged, so that the equipment is prevented from being damaged.

또 상기 수분수집판(1200)이 위치한 기체배관(1100)의 기둥 외벽에는 기체배관(1100)과 수분수집관(1200) 및 관부재(1300)에 의해 수집된 수분을 증발시키기 위해 히터부(1700)가 구비되어 있다.A heater unit 1700 for evaporating moisture collected by the gas pipe 1100, the water collecting pipe 1200, and the pipe member 1300 is disposed on the outside wall of the pipe of the gas pipe 1100 where the water collecting plate 1200 is located. .

따라서 상기 히터부(1700)에 의해 수분수집판(1200)의 상부에 수집된 수분 중의 일부는 증발되어 기체배관(1100)을 통해 기체를 배출하기 위한 장비에 들어가지 않게 되므로 장비의 파손을 방지하게 되고, 또 겨울철 배관 내부와 외부 온도차에 의한 결로예방 차원의 보온제 시공을 하지 않고 본 발명의 수분제거장치를 장착하여 시공비를 절감할 수 있게 된다.Accordingly, a part of the water collected on the upper part of the water collecting plate 1200 is evaporated by the heater unit 1700 and does not enter the equipment for discharging the gas through the gas pipe 1100, In addition, it is possible to reduce the construction cost by installing the moisture removing device of the present invention without installing a warming agent to prevent condensation due to a temperature difference between inside and outside of winter piping.

앞에서 설명되고, 도면에 도시된 본 발명의 실시 예들은 본 발명의 기술적 사상을 한정하는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 발명의 보호범위는 청구범위에 기재된 사항에 의하여만 제한되고, 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상을 다양한 형태로 개량 변경하는 것이 가능하다. 따라서 이러한 개량 및 변경은 통상의 지식을 가진 자에 의해 자명한 것인 경우에는 본 발명의 보호범위에 속하게 될 것이다.
The embodiments of the present invention described above and shown in the drawings should not be construed as limiting the technical idea of the present invention. The scope of protection of the present invention is limited only by the matters described in the claims, and those skilled in the art will be able to modify the technical idea of the present invention in various forms. Accordingly, such modifications and changes will fall within the scope of the present invention if they are apparent to those skilled in the art.

1000: 자동수분제거장치 1100: 기체배관
1200: 수분수집관 1210: 관통구멍
1220: 사이펀관수용홈 1230: 사이펀관설치부재
1300: 관부재 1310: 관통구멍
1400: 수분채취판 1410: 경사면
1500: 사이펀관 1600: 수분배출유도수단
1700: 히터부
1000: automatic moisture removing device 1100: gas pipe
1200: water collection tube 1210: through hole
1220: siphon tube receiving groove 1230: siphon tube mounting member
1300: pipe member 1310: through hole
1400: water collection plate 1410: slope surface
1500: Siphon tube 1600: Water discharge inducing means
1700: heater part

Claims (5)

반도체의 후처리라인에서 배기가스를 수집하는 기체배관의 자동수분제거장치에 있어서,
상기 기체배관의 소정위치에서 길이방향중심축과 수직하게 세워져 격벽을 구성함과 더불어 중심에는 관통구멍이 형성된 수분수집판과,
상기 기체배관을 통해 배기가스가 유입되는 방향과 평행하게 수분수집판의 중심에 일단이 밀폐되도록 설치됨과 더불어 외주면에 관통구멍이 형성된 관부재와,
상기 관부재의 타단을 밀폐하도록 설치됨과 더불어 상기 수분수집판에 고정된 반대쪽의 단부에서 수분수집판쪽으로 갈수록 하부로 경사진 경사면을 갖는 수분채취판과,
일단은 상기 수분수집판의 상부에서 일정간격을 두고 떨어져서 위치함과 더불어 타단은 수분수집판을 관통하여 하부로 일정길이 돌출되어 사이펀의 원리에 의해 기구적인 구조만으로 외부측에 수분을 배출하도록 설치된 사이펀관을 포함하는 것을 특징으로 하는 기체배관의 자동수분제거장치.
An automatic moisture removing apparatus for a gas pipe for collecting exhaust gas in a post-processing line of a semiconductor,
A water collecting plate having a through hole formed at a predetermined position of the gas pipe so as to be perpendicular to the longitudinal center axis to form a partition wall,
A tubular member having one end closed at the center of the water collecting plate in parallel with a direction in which the exhaust gas flows through the gas pipe, a through hole formed in the outer circumferential surface,
A water collecting plate installed to seal the other end of the tubular member and having an inclined surface inclined downward toward the water collecting plate at an opposite end fixed to the water collecting plate;
The other end of the water collecting plate is spaced apart from the upper part of the water collecting plate at a predetermined interval and the other end is protruded through the water collecting plate by a predetermined length, And an automatic water removal device for gas piping.
제1항에 있어서,
상기 수분수집판의 하부로 돌출된 사이펀관의 단부에 일단이 연결됨과 더불어 상기 기체배관과 수분수집판에 의해 수집된 수분을 기체배관의 외부로 배출하기 위해 타단이 기체배관의 외부로 돌출된 수분배출유도수단이 더 설치된 것을 특징으로 하는 기체배관의 자동수분제거장치.
The method according to claim 1,
One end is connected to an end of a siphon tube protruding to a lower portion of the water collecting plate and the other end of the water pipe is connected to a water pipe protruding to the outside of the gas pipe to discharge moisture collected by the gas pipe and the water collecting plate to the outside of the gas pipe And a discharge inducing means is further provided to the discharge port of the gas pipe.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 수분수집판의 측면에서 상기 사이펀관을 밀어넣어 배치할 수 있도록 사이펀관수용홈이 형성되고,
상기 사이펀관수용홈에 끼워지면서 사이펀관의 외주면을 감싸면서 밀봉가능하게 밀폐되는 사이펀관설치부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기체배관의 자동수분제거장치.
3. The method according to claim 1 or 2,
A siphon tube receiving groove is formed so that the siphon tube can be pushed in from the side surface of the water collecting plate,
Further comprising a siphon tube mounting member which is fitted in the siphon tube receiving groove and is hermetically sealed while surrounding an outer peripheral surface of the siphon tube.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 수분수집판이 위치한 기체배관의 기둥 외벽에는 기체배관과 수분수집관 및 관부재에 의해 수집된 수분을 증발시키기 위해 히터부가 더 구비된 것을 특징으로 하는 기체배관의 자동수분제거장치.
3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein a heater unit is further provided on an outer wall of a column of the gas pipe where the water collecting plate is located, for evaporating moisture collected by the gas pipe, the water collecting pipe and the pipe member.
제2항에 있어서,
상기 수분배출유도수단은,
상기 사이펀관의 단부에 제1너트부재로 체결되는 엘보우부재와, 상기 기체배관의 외부로 일단이 돌출됨과 더불어 타단이 상기 엘보우부재와 제2너트부재로 체결되는 수분배출관을 포함하는 것을 특징으로 하는 기체배관의 자동수분제거장치.
3. The method of claim 2,
The water discharge inducing means comprises:
An elbow member which is fastened to the end of the siphon tube with a first nut member and a moisture discharge pipe which has one end projecting to the outside of the gas pipe and the other end fastened to the elbow member and the second nut member, Automatic water removal device for gas piping.
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