KR101811447B1 - A tilt sensor having electrolyte solution and a method for manufacturing the same - Google Patents

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KR101811447B1
KR101811447B1 KR1020170081912A KR20170081912A KR101811447B1 KR 101811447 B1 KR101811447 B1 KR 101811447B1 KR 1020170081912 A KR1020170081912 A KR 1020170081912A KR 20170081912 A KR20170081912 A KR 20170081912A KR 101811447 B1 KR101811447 B1 KR 101811447B1
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electrolyte
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정대웅
윤종필
황영하
안다운
김동섭
김재건
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한국생산기술연구원
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Abstract

One embodiment of the present invention provides a tilt sensor having an electrolyte solution which generates electrodes in a 360 degree range in a space filled with the electrolyte solution and a common electrode in the space; thereby being able to perform detection in a tilt range of 360 degrees. According to one embodiment of the present invention, the tilt sensor having an electrolyte solution comprises: a first lower module provided with a first lower groove with a slope surface formed on a center portion thereof; a first upper module provided with a first upper groove with a slope surface formed on a center portion thereof and coupled with the first lower module; the electrolyte solution filled in a first inner space formed by coupling of the first lower module and the first upper module; a plurality of first lower electrodes formed along a bottom surface of the first lower groove, a slope surface of the first lower groove, and a top surface of the first lower module; a plurality of first upper electrodes formed along a ceiling surface of the first upper groove, a slope surface of the first upper groove, and a bottom surface of the first upper module; and a first common electrode installed in the first inner space.

Description

전해질 기울기 센서 및 이의 제조방법 {A TILT SENSOR HAVING ELECTROLYTE SOLUTION AND A METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to an electrolytic tilt sensor and a method of manufacturing the same,

본 발명은 전해질 기울기 센서 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는, 전해질 용액이 충진되는 공간에 360도 범위로 전극을 형성하고, 해당 공간에 공통전극을 형성하여, 360도의 기울기 범위에 대해 감지를 수행할 수 있는 전해질 기울기 센서에 관한 것이다. The present invention relates to an electrolyte tilt sensor and a method of manufacturing the same. More particularly, the present invention relates to an electrolyte tilt sensor and a method of manufacturing the same. More particularly, To an electrolyte tilt sensor capable of performing sensing.

최근 반도체 제조 기술을 이용하여 각종 센서를 소형화하는 MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)센서에 대한 연구가 활발하게 진행되고 있다.2. Description of the Related Art [0002] Recent researches on microelectromechanical systems (MEMS) sensors that miniaturize various sensors using semiconductor manufacturing technology have been actively conducted.

MEMS 센서란, 반도체의 미세 가공 기술을 응용하여 만든 센서를 말한다. MEMS 센서는 종래의 센서와 비교하여 결점이 적은 편이며 다루기가 쉽고 특성 면에서 잠재 능력이 뛰어나다는 특징을 가지고 있다. 그리고, 종래의 센서로는 구현하기 힘들던 전자 회로와의 원칩화가 가능하여, 센서 소자와 센서 소자로부터 검출한 신호를 처리하는 전자 회로를 하나의 칩에 집적하고 연결 배선을 단축함으로써 잡음의 혼입을 막을 수 있다.A MEMS sensor is a sensor made by applying a microfabrication technique of a semiconductor. MEMS sensors have fewer drawbacks compared to conventional sensors, and are easy to handle and have excellent potential in terms of their characteristics. In addition, it is possible to integrate the sensor element and the electronic circuit for processing the signal detected from the sensor element into one chip, shorten the connection wiring, thereby preventing noise mixing .

기존의 기울기 센서로 주로 사용되는 용량형 센서는 전자파간섭문제로 EMI 쉴딩 패키지를 해야하고, 대류형 기울기센서는 열원을 위해 전력소모량이 크지만, 전해질 기울기 센서는 별도의 열원이나 전자파간섭의 영향이 없이 사용할 수 있다. Capacitive sensors, which are mainly used as conventional tilt sensors, require EMI shielding packages because of electromagnetic interference. Convection type tilt sensors use a large amount of power for heat source. However, the electrolyte tilt sensor is affected by a separate heat source or electromagnetic interference Can be used without.

다만, 종래의 전해질 기울기 센서는, 구조의 한계로 인하여 40도 내지 60도의 기울기까지만 측정이 가능한 문제점이 있다. However, the conventional electrolyte tilt sensor has a problem that measurement can be performed only at a slope of 40 to 60 degrees due to the limitations of the structure.

대한민국 공개특허 제 10-2013-0011451호(발명의 명칭: 기울기센서 및 그 제조방법)에서는, 상부개방홈과 하부 관통홈을 포함하는 제1기판, 제1기판의 상부에 형성되는 복수의 금속전극 그리고 제1기판의 하부에 배치되는 공통전극을 포함하며, 상부개방홈에는 전해질 용액이 저장되고, 상부개방홈이 관통홈에 의해서 공통전극과 연통되도록 배치되는 구성의 기울기 센서가 개시되어 있다. Korean Patent Laid-Open Publication No. 10-2013-0011451 (titled tilt sensor and method of manufacturing the same) discloses a method of manufacturing a tilt sensor including a first substrate including an upper open groove and a lower through groove, And a common electrode disposed at a lower portion of the first substrate. The tilt sensor has a configuration in which the electrolyte solution is stored in the upper open groove and the upper open groove is arranged to communicate with the common electrode through the through groove.

대한민국 공개특허 제 10-2013-0011451호Korean Patent Publication No. 10-2013-0011451

상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은, 360도의 범위에 대해 기울기를 측정할 수 있는 기울기 센서를 제공하는 것이다. In order to solve the above problems, an object of the present invention is to provide a tilt sensor capable of measuring a tilt over a range of 360 degrees.

그리고, 본 발명의 목적은, 전해질 용액에 접촉하는 전극을 특이하게 구성하여 기울기 센서의 정밀도를 향상시키는 것이다. It is an object of the present invention to improve the accuracy of the tilt sensor by specifically configuring the electrode contacting the electrolyte solution.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다. It is to be understood that both the foregoing general description and the following detailed description are exemplary and explanatory and are not intended to limit the invention to the precise form disclosed. There will be.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 구성은, 경사면이 형성된 홈인 제1하부홈이 중앙 부위에 구비된 제1하부모듈; 경사면이 형성된 홈인 제1상부홈이 중앙 부위에 구비되고, 상기 제1하부모듈과 결합하는 제1상부모듈; 상기 제1하부모듈과 상기 제1상부모듈의 결합에 의해 형성되는 내부공간인 제1내부공간에 충진되는 전해질용액; 상기 제1하부홈의 바닥면, 상기 제1하부홈의 경사면 및 상기 제1하부모듈의 윗면을 따라 복수 개가 형성되는 제1하부전극; 상기 제1상부홈의 천장면, 상기 제1상부홈의 경사면 및 상기 제1상부모듈의 밑면을 따라 복수 개가 형성되는 제1상부전극; 및 상기 제1내부공간에 위치하도록 설치되는 제1공통전극;을 포함한다. According to an aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a semiconductor device, including: a first lower module including a first lower groove, which is a groove formed with an inclined surface, A first upper module having a first upper groove, which is a groove formed with an inclined surface, at a central portion and engaging with the first lower module; An electrolyte solution filled in a first inner space, which is an inner space formed by combining the first lower module and the first upper module; A first lower electrode formed along the bottom surface of the first lower groove, the inclined surface of the first lower groove, and the upper surface of the first lower module; A plurality of first upper electrodes formed along a bottom surface of the first upper groove, a slope of the first upper groove, and a bottom surface of the first upper module; And a first common electrode disposed in the first inner space.

본 발명의 실시 예에 있어서, 상기 제1상부모듈과 상기 제1하부모듈의 기울기 생성 시, 상기 제1내부공간 내 유동하는 상기 전해질용액이 상기 제1상부전극, 상기 제1하부전극 또는 상기 제1공통전극에 접촉하는 범위가 가변할 수 있다. In the embodiment of the present invention, when the slope of the first upper module and the first lower module is generated, the electrolyte solution flowing in the first inner space flows through the first upper electrode, The range of contact with one common electrode can be varied.

본 발명의 실시 예에 있어서, 상기 제1공통전극은, 상기 제1내부공간의 중심에 위치하는 제1중심전극, 및 상기 제1하부모듈의 윗면에 결합하고, 상기 제1하부모듈의 각 모서리와 상기 제1중심전극을 연결하는 복수 개의 제1연결전극,을 구비할 수 있다. In an embodiment of the present invention, the first common electrode may include a first central electrode positioned at the center of the first inner space, and a second central electrode coupled to an upper surface of the first lower module, And a plurality of first connection electrodes connecting the first center electrode.

본 발명의 실시 예에 있어서, 상기 제1하부전극은, x축 방향으로 하나 이상 형성되고 y축 방향으로 하나 이상 형성될 수 있다. In an embodiment of the present invention, the first lower electrode may be formed more than one in the x-axis direction and at least one in the y-axis direction.

본 발명의 실시 예에 있어서, 상기 제1상부전극은, x축 방향으로 하나 이상 형성되고 y축 방향으로 하나 이상 형성될 수 있다. In an embodiment of the present invention, the first upper electrode may be formed in at least one of the x-axis direction and at least one in the y-axis direction.

본 발명의 실시 예에 있어서, 상기 제1상부모듈의 윗면과 상기 제1상부모듈의 밑면에 절연막이 형성되고, 상기 제1하부모듈의 윗면과 상기 제1하부모듈의 밑면에 절연막이 형성될 수 있다. In an embodiment of the present invention, an insulating film is formed on the upper surface of the first upper module and the lower surface of the first upper module, and an insulating film may be formed on the upper surface of the first lower module and the lower surface of the first lower module. have.

본 발명의 실시 예에 있어서, 상기 전해질용액은 메탄올, 에탄올, 글리세린 및 퓨젤오일로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상의 물질로 형성될 수 있다. In an embodiment of the present invention, the electrolyte solution may be formed of one or more materials selected from the group consisting of methanol, ethanol, glycerin, and fucel oil.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 구성은, i) 상기 제1상부모듈과 상기 제1하부모듈을 마련하는 단계; ii) 상기 제1하부모듈의 윗면을 식각하고 상기 제1상부모듈의 밑면을 식각하여, 상기 제1하부모듈에 상기 제1하부홈을 형성하고, 상기 제1상부모듈에 상기 제1상부홈을 형성하는 단계; iii) 상기 제1하부홈의 바닥면, 상기 제1하부홈의 경사면 및 상기 제1하부모듈의 윗면에 증착물질을 증착시켜 상기 제1하부전극을 형성하고, 또한, 상기 제1상부홈의 바닥면, 상기 제1상부홈의 경사면 및 상기 제1상부모듈의 윗면에 상기 증착물질을 증착시켜 상기 제1상부전극을 형성하는 단계; iv) 사전에 마련된 상기 제1공통전극을 상기 제1하부모듈의 윗면에 결합하는 단계; v) 상기 제1하부모듈의 윗면에 제1절연층을 형성하는 단계; 및 vi) 상기 제1하부모듈과 상기 제1상부모듈을 결합하는 단계;를 포함한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a semiconductor device, including: i) providing the first upper module and the first lower module; ii) etching the upper surface of the first lower module and etching the lower surface of the first upper module to form the first lower groove in the first lower module, and attaching the first upper groove to the first upper module ; iii) depositing a deposition material on the bottom surface of the first bottom groove, the inclined surface of the first bottom groove, and the top surface of the first bottom module to form the first bottom electrode, Depositing the deposition material on the inclined surface of the first upper groove and the upper surface of the first upper module to form the first upper electrode; iv) coupling the first common electrode previously provided to the upper surface of the first lower module; v) forming a first insulation layer on the upper surface of the first lower module; And vi) combining the first lower module and the first upper module.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 구성은, 경사면이 형성된 홈인 제2하부홈이 중앙 부위에 구비된 제2하부모듈; 경사면이 형성된 홈인 제2상부홈이 중앙 부위에 구비되고, 상기 제2하부모듈과 결합하는 제2상부모듈; 상기 제2하부모듈과 상기 제2상부모듈의 결합에 의해 형성되는 내부공간인 제2내부공간에 충진되는 전해질용액; 상기 제2하부모듈의 밑면, 상기 제2하부모듈의 밑면으로부터 상기 제2하부홈의 바닥면으로 관통하는 하부관통로, 상기 제2하부홈의 바닥면 및 상기 제2하부홈의 경사면을 따라 복수 개가 형성되는 제2하부전극; 상기 제2상부모듈의 윗면, 상기 제2상부모듈의 윗면으로부터 상기 제2상부홈의 천장면으로 관통하는 상부관통로, 상기 제2상부홈의 천장면 및 상기 제2상부홈의 경사면을 따라 복수 개가 형성되는 제2상부전극; 상기 제2내부공간에 위치하도록 설치되는 제2공통전극;을 포함한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a portable terminal comprising: a second lower module having a second lower groove, which is a groove formed with an inclined surface, at a central portion; A second upper module having a second upper groove, which is a groove formed with an inclined surface, at a central portion thereof and engaging with the second lower module; An electrolyte solution filled in a second inner space, which is an inner space formed by the combination of the second lower module and the second upper module; A bottom penetrating through the bottom surface of the second bottom groove, a bottom surface of the second bottom groove, and a plurality of A second lower electrode on which a dog is formed; An upper passageway extending from the upper surface of the second upper module to a ceiling surface of the second upper groove, a ceiling surface of the second upper groove, and an inclined surface of the second upper groove, A second upper electrode on which a dog is formed; And a second common electrode disposed in the second internal space.

본 발명의 실시 예에 있어서, 상기 제2상부모듈과 상기 제2하부모듈의 기울기 생성 시, 상기 제2내부공간 내 유동하는 상기 전해질용액이 상기 제2상부전극, 상기 제2하부전극 또는 상기 제2공통전극에 접촉하는 범위가 가변할 수 있다. In the embodiment of the present invention, when the slope of the second upper module and the second lower module is generated, the electrolyte solution flowing in the second inner space flows through the second upper electrode, 2 The range of contact with the common electrode may be variable.

본 발명의 실시 예에 있어서, 상기 제2공통전극은, 상기 내부공간의 중심에 위치하는 제2중심전극, 및 상기 제2하부모듈의 윗면에 결합하고, 상기 제2하부모듈의 각 모서리와 상기 제2중심전극을 연결하는 복수 개의 제2연결전극,을 구비할 수 있다. In an embodiment of the present invention, the second common electrode may include a second central electrode positioned at the center of the inner space, and a second central electrode coupled to an upper surface of the second lower module, And a plurality of second connection electrodes connecting the second center electrodes.

본 발명의 실시 예에 있어서, 상기 제2하부전극은, x축 방향으로 하나 이상 형성되고 y축 방향으로 하나 이상 형성될 수 있다. In the embodiment of the present invention, the second lower electrode may be formed more than one in the x-axis direction and at least one in the y-axis direction.

본 발명의 실시 예에 있어서, 상기 제2상부전극은, x축 방향으로 하나 이상 형성되고 y축 방향으로 하나 이상 형성될 수 있다. In an embodiment of the present invention, the second upper electrode may be formed in at least one of the x-axis direction and at least one in the y-axis direction.

본 발명의 실시 예에 있어서, 상기 제2상부모듈의 윗면과 상기 제2상부모듈의 밑면에 절연막이 형성되고, 상기 제2하부모듈의 윗면과 상기 제2하부모듈의 밑면에 절연막이 형성될 수 있다. In an embodiment of the present invention, an insulating film may be formed on the upper surface of the second upper module and the lower surface of the second upper module, and an insulating film may be formed on the upper surface of the second lower module and the lower surface of the second lower module. have.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 구성은, i) 상기 제2상부모듈과 상기 제2하부모듈을 마련하는 단계; ii) 상기 제2하부모듈의 윗면을 식각하고 상기 제2상부모듈의 밑면을 식각하여, 상기 제2하부모듈에 상기 제2하부홈을 형성하고, 상기 제2상부모듈에 상기 제2상부홈을 형성하는 단계; iii) 상기 제2하부모듈의 밑면, 상기 제2하부모듈의 밑면으로부터 상기 제2하부홈의 바닥면으로 관통하는 하부관통로, 상기 제2하부홈의 바닥면 및 상기 제2하부홈의 경사면에 증착물질을 증착시켜 상기 제2하부전극을 형성하고, 또한, 상기 제2상부모듈의 윗면, 상기 제2상부모듈의 윗면으로부터 상기 제2상부홈의 천장면으로 관통하는 상부관통로, 상기 제2상부홈의 천장면 및 상기 제2상부홈의 경사면에 상기 증착물질을 증차시켜 상기 제2상부전극을 형성하는 단계; iv) 사전에 마련된 상기 제2공통전극을 상기 제2하부모듈의 윗면에 결합하는 단계; v) 상기 제2하부모듈의 윗면에 제2절연층을 형성하는 단계; 및 vi) 상기 제2하부모듈과 상기 제2상부모듈을 결합하는 단계;를 포함한다. According to an aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a semiconductor device, comprising: i) providing the second upper module and the second lower module; ii) etching the upper surface of the second lower module and etching the lower surface of the second upper module to form the second lower groove in the second lower module, and attaching the second upper groove to the second upper module ; iii) a lower through-hole penetrating from the bottom surface of the second lower module to the bottom surface of the second lower groove, a bottom surface of the second lower groove and an inclined surface of the second lower groove Depositing an evaporation material to form the second lower electrode; an upper through-hole extending from the upper surface of the second upper module, the upper surface of the second upper module to the ceiling of the second upper groove, Forming the second upper electrode by growing the deposition material on a ceiling surface of the upper groove and an inclined surface of the second upper groove; iv) coupling the second common electrode previously provided on the upper surface of the second lower module; v) forming a second insulating layer on the upper surface of the second lower module; And vi) combining the second lower module and the second upper module.

상기와 같은 구성에 따른 본 발명의 효과는, 전해질 용액이 충진되는 공간에 360도 범위로 전극을 형성하고, 해당 공간에 공통전극을 형성하여, 360도의 기울기 범위에 대해 감지를 수행할 수 있다는 것이다. The effect of the present invention with the above structure is that electrodes can be formed in a range of 360 degrees in a space filled with an electrolyte solution and a common electrode can be formed in the space to detect the inclination range of 360 degrees .

그리고, 본 발명의 효과는, 전해질 용액이 충진되는 공간을 형성하는 각 면에 전극을 형성하고, 해당 공간 중앙 부위에 공통전극을 형성하여 x축 및 y축에 대한 기울기의 감지 정밀도를 향상시킨다는 것이다. The effect of the present invention is that electrodes are formed on each surface forming a space in which the electrolyte solution is filled and a common electrode is formed in the center of the space to improve the detection precision of inclination with respect to the x axis and the y axis .

본 발명의 효과는 상기한 효과로 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 상세한 설명 또는 특허청구범위에 기재된 발명의 구성으로부터 추론 가능한 모든 효과를 포함하는 것으로 이해되어야 한다. It should be understood that the effects of the present invention are not limited to the above effects and include all effects that can be deduced from the detailed description of the present invention or the configuration of the invention described in the claims.

도 1은 본 발명의 제1실시 예에 따른 제1상부모듈 및 제1하부모듈의 사시도이다.
도 2는 본 발명의 제1실시 예에 따른 제1상부모듈과 제1하부모듈이 결합된 상태에 대한 단면도이다.
도 3은 본 발명의 제1실시 예에 따른 제1내부공간 내 전해질용액의 유동에 대한 모식도이다.
도 4는 본 발명의 제2실시 예에 따른 제2상부모듈 및 제2하부모듈의 사시도이다.
도 5는 본 발명의 제2실시 예에 따른 전해질 기울기 센서의 분해사시도이다.
도 6은 본 발명의 제2실시 예에 따른 제2상부모듈과 제2하부모듈이 결합된 상태에 대한 단면도이다.
도 7은 본 발명의 제2실시 예에 따른 제2내부공간 내 전해질용액의 유동에 대한 모식도이다.
도 8은 본 발명의 전해질 기울기 센서를 이용하여 기울기를 측정한 사항에 대한 그래프이다.1 is a perspective view of a first upper module and a first lower module according to a first embodiment of the present invention.
2 is a cross-sectional view illustrating a state in which a first upper module and a first lower module according to a first embodiment of the present invention are coupled.
3 is a schematic view of the flow of the electrolyte solution in the first internal space according to the first embodiment of the present invention.
4 is a perspective view of a second upper module and a second lower module according to a second embodiment of the present invention.
5 is an exploded perspective view of an electrolyte tilt sensor according to a second embodiment of the present invention.
6 is a cross-sectional view illustrating a state in which a second upper module and a second lower module according to a second embodiment of the present invention are combined.
7 is a schematic view of the flow of the electrolyte solution in the second internal space according to the second embodiment of the present invention.
FIG. 8 is a graph showing the tilt measurement using the electrolyte tilt sensor of the present invention.

이하에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명을 설명하기로 한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며, 따라서 여기에서 설명하는 실시 예로 한정되는 것은 아니다. 그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. The present invention may, however, be embodied in many different forms and should not be construed as limited to the embodiments set forth herein. In order to clearly illustrate the present invention, parts not related to the description are omitted, and similar parts are denoted by like reference characters throughout the specification.

명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결(접속, 접촉, 결합)"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 부재를 사이에 두고 "간접적으로 연결"되어 있는 경우도 포함한다. 또한 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 구비할 수 있다는 것을 의미한다. Throughout the specification, when a part is referred to as being "connected" (connected, connected, coupled) with another part, it is not only the case where it is "directly connected" "Is included. Also, when an element is referred to as "comprising ", it means that it can include other elements, not excluding other elements unless specifically stated otherwise.

본 명세서에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다. The terminology used herein is for the purpose of describing particular embodiments only and is not intended to be limiting of the invention. The singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In this specification, the terms "comprises" or "having" and the like refer to the presence of stated features, integers, steps, operations, elements, components, or combinations thereof, But do not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, elements, components, or combinations thereof.

이하 첨부된 도면을 참고하여 본 발명에 대하여 상세히 설명하기로 한다. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

먼저, 본 발명에서 제1실시 예의 전해질 기울기 센서에 대해 설명하기로 한다. First, the electrolyte tilt sensor of the first embodiment of the present invention will be described.

도 1은 본 발명의 제1실시 예에 따른 제1상부모듈(200) 및 제1하부모듈(100)의 사시도이고, 도 2는 본 발명의 제1실시 예에 따른 제1상부모듈(200)와 제1하부모듈(100)가 결합된 상태에 대한 단면도이며, 도 3은 본 발명의 제1실시 예에 따른 제1내부공간(510) 내 전해질용액의 유동에 대한 모식도이다.FIG. 1 is a perspective view of a first upper module 200 and a first lower module 100 according to a first embodiment of the present invention. FIG. 2 is a perspective view of a first upper module 200 according to the first embodiment of the present invention. FIG. 3 is a schematic view illustrating a flow of an electrolyte solution in the first internal space 510 according to the first embodiment of the present invention. Referring to FIG.

여기서, 도 2는, 결합한 제1하부모듈(100)와 제1상부모듈(200)를 A-A'선을 지나는 y-z평면에 의해 절단한 단면도이다. 도 3의 (a) 내지 도 3의 (c)도 마찬가지이다.Here, FIG. 2 is a cross-sectional view of the first lower module 100 and the first upper module 200 coupled by a y-z plane passing through line A-A '. The same applies to Figs. 3 (a) to 3 (c).

도 1 내지 도 3에서 보는 바와 같이, 본 발명의 전해질 기울기 센서는, 경사면이 형성된 홈인 제1하부홈(120)이 중앙 부위에 구비된 제1하부모듈(100); 경사면이 형성된 홈인 제1상부홈(220)이 중앙 부위에 구비되고, 제1하부모듈(100)와 결합하는 제1상부모듈(200); 제1하부모듈(100)와 제1상부모듈(200)의 결합에 의해 형성되는 내부공간인 제1내부공간(510)에 충진되는 전해질용액; 제1하부홈의 바닥면(122), 제1하부홈의 경사면(121) 및 제1하부모듈의 윗면(101)을 따라 복수 개가 형성되는 제1하부전극(110); 제1상부홈(220)의 천장면, 제1상부홈의 경사면(221) 및 제1상부모듈의 밑면(201)을 따라 복수 개가 형성되는 제1상부전극(210); 및 제1내부공간(510)에 위치하도록 설치되는 제1공통전극(130);을 포함할 수 있다. 1 to 3, the electrolyte tilt sensor of the present invention includes a first lower module 100 having a first lower groove 120, which is a groove formed with an inclined surface, at a central portion thereof; A first upper module 200 having a first upper groove 220, which is a groove formed with an inclined surface, at a central portion thereof and engaging with the first lower module 100; An electrolyte solution filled in the first inner space 510, which is an inner space formed by coupling the first lower module 100 and the first upper module 200; A plurality of first lower electrodes 110 formed along the bottom surface 122 of the first bottom groove, the inclined surface 121 of the first bottom groove, and the top surface 101 of the first bottom module; A first upper electrode 210 having a plurality of protrusions formed along a top surface of the first upper groove 220, a slope 221 of the first upper groove, and a bottom surface 201 of the first upper module; And a first common electrode 130 installed to be positioned in the first inner space 510. [

제1상부모듈(200) 및 제1하부모듈(100)는, 실리콘 또는 고분자물질로 형성되는 기판을 가공하여 형성될 수 있다. 그리고, 제1상부모듈(200) 및 제1하부모듈(100) 각각에 대해 식각 공정이 수행되어 제1상부모듈(200)에는 제1상부홈(220)이 형성되고, 제1하부모듈(100)에는 제1하부홈(120)이 형성될 수 있다. 이 때, 식각은 습식 식각법 또는 레이저 식각법으로 수행될 수 있다. The first upper module 200 and the first lower module 100 may be formed by processing a substrate formed of silicon or a polymer material. The first upper module 200 and the first lower module 100 are each subjected to an etching process so that a first upper groove 220 is formed in the first upper module 200, The first bottom groove 120 may be formed. At this time, the etching can be performed by wet etching or laser etching.

제1상부모듈(200)의 윗면과 제1상부모듈의 밑면(201)에 절연막(530)이 형성되고, 제1하부모듈의 윗면(101)과 제1하부모듈(100)의 밑면에 절연막(530)이 형성될 수 있다. An insulating film 530 is formed on the upper surface of the first upper module 200 and the lower surface 201 of the first upper module and the insulating film 530 is formed on the upper surface 101 of the first lower module and the lower surface of the first lower module 100 530 may be formed.

제1하부모듈의 윗면(101)에는 절연막(530)이 형성되고, 제1하부모듈의 윗면(101)에 형성된 절연막(530) 상에 제1하부전극(110)의 일 부위 및 제1연결전극(132)의 일 부위가 형성될 수 있다. 그리고, 제1상부모듈의 밑면(201)에도 절연막(530)이 형성되고, 제1상부모듈의 밑면(201)에 형성된 절연막(530) 상에 제1상부전극(210)의 일 부위가 형성될 수 있다.An insulating film 530 is formed on the upper surface 101 of the first lower module 100 and a portion of the first lower electrode 110 and a portion of the first connecting electrode 110 are formed on the insulating film 530 formed on the upper surface 101 of the first lower module. A portion of the first electrode 132 may be formed. An insulating film 530 is formed on the bottom surface 201 of the first upper module and a portion of the first upper electrode 210 is formed on the insulating film 530 formed on the bottom surface 201 of the first upper module .

제1하부모듈의 윗면(101)에 형성된 절연막(530)과 제1상부모듈의 밑면(201)에 형성된 절연막(530)에 의해, 제1하부전극(110) 및 제1연결전극(132)으로부터 제1하부모듈의 윗면(101)으로 전달되는 열이 차단되고, 제1상부전극(210) 및 제1연결전극(132)으로부터 제1상부모듈의 밑면(201)으로 전달되는 열이 차단되어, 제1하부모듈(100) 및 제1상부모듈(200)가 온도에 의한 영향을 받지 않도록 방지할 수 있다. The insulating film 530 formed on the upper surface 101 of the first lower module and the insulating film 530 formed on the lower surface 201 of the first upper module are electrically connected to the first lower electrode 110 and the first connection electrode 132 The heat transmitted to the upper surface 101 of the first lower module is blocked and the heat transmitted from the first upper electrode 210 and the first connection electrode 132 to the bottom surface 201 of the first upper module is blocked, It is possible to prevent the first lower module 100 and the first upper module 200 from being affected by the temperature.

제1하부모듈(100)의 밑면에 절연막(530)이 형성되고, 제1상부모듈(200)의 윗면에 절연막(530)이 형성될 수 있다. 이에 따라, 본 발명의 전해질 기울기 센서가 결합하는 외부 기판의 온도에 의해 영향을 받지 않도록 방지할 수 있다. An insulating film 530 may be formed on the bottom surface of the first lower module 100 and an insulating film 530 may be formed on the upper surface of the first upper module 200. [ Thus, the electrolyte tilt sensor of the present invention can be prevented from being affected by the temperature of the external substrate to which it is coupled.

절연막(530)은 이산화규소(SiO2), 유리(Glass) 또는 SOI(Silicon On Insulator)로 형성될 수 있다. The insulating film 530 may be formed of silicon dioxide (SiO 2 ), glass, or SOI (Silicon On Insulator).

도 1에서 보는 바와 같이, 제1공통전극(130)은, 제1내부공간(510)의 중심에 위치하는 제1중심전극(131), 및 제1하부모듈의 윗면(101)에 결합하고, 제1하부모듈(100)의 각 모서리와 제1중심전극(131)을 연결하는 복수 개의 제1연결전극(132),을 구비할 수 있다. 1, the first common electrode 130 includes a first center electrode 131 positioned at the center of the first internal space 510 and a second center electrode 131 coupled to the top surface 101 of the first lower module, And a plurality of first connection electrodes 132 connecting each corner of the first lower module 100 and the first center electrode 131.

제1중심전극(131)은 원형 또는 정다각형의 형상을 구비하여, 제1하부모듈(100)의 각 모서리로부터 제1중심전극(131)으로 연결되는 각각의 제1연결전극(132)이 동일한 길이를 구비하고, 이에 따라, x축 또는 y축에 대한 전해질용액의 유동에 대해 제1공통전극(130)이 균일하게 감지를 수행할 수 있다. The first center electrode 131 has a circular or regular polygonal shape and each first connection electrode 132 connected from each corner of the first lower module 100 to the first center electrode 131 has the same length So that the first common electrode 130 can uniformly detect the flow of the electrolyte solution with respect to the x-axis or the y-axis.

본 발명의 제1실시 예에서는, 제1공통전극(130)이 제1하부모듈(100)에 형성되는 것으로 설명하고 있으나, 이에 한정되는 것은 아니고, 제1공통전극(130)이 제1상부모듈(200)에 형성될 수도 있다. Although the first common electrode 130 is formed on the first lower module 100 in the first embodiment of the present invention, the first common electrode 130 is not limited to the first common electrode 130, (Not shown).

도 1에서 보는 바와 같이, 제1하부전극(110)은, x축 방향으로 하나 이상 형성되고 y축 방향으로 하나 이상 형성될 수 있다. 그리고, 제1상부전극(210)은, x축 방향으로 하나 이상 형성되고 y축 방향으로 하나 이상 형성될 수 있다. 1, one or more first lower electrodes 110 may be formed in the x-axis direction and one or more may be formed in the y-axis direction. At least one first upper electrode 210 may be formed in the x-axis direction and at least one in the y-axis direction.

그리고, 제1공통전극(130)의 중심을 지나는 x축인 제1-1축에 대해, 하나 이상의 제1하부전극(110)은 균등하게 배치되고, 제1공통전극(130)의 중심을 지나는 y축인 제1-2축에 대해, 하나 이상의 제1하부전극(110)이 균등하게 배치될 수 있다.One or more first lower electrodes 110 are equally arranged with respect to the first axis, which is the x-axis, passing through the center of the first common electrode 130, and y At least one first lower electrode 110 may be evenly arranged with respect to the axis 1-2 which is the axis.

마찬가지로, 제1-1축에 대해, 하나 이상의 제1상부전극(210)은 균등하게 배치되고, 제1-2축에 대해, 하나 이상의 제1상부전극(210)이 균등하게 배치될 수 있다.Similarly, for the first axis 1, the at least one first upper electrode 210 is equally disposed, and for the first-second axis, at least one first upper electrode 210 may be evenly disposed.

여기서, 균등하게 배치된다는 것은, 제1하부모듈의 윗면(101) 방향에서 바라볼 때, 제1-1축을 기준으로 제1-1축의 양 측으로 제1하부전극(110)이 소정의 간격으로 배치되고, 제1-2축을 기준으로 제1-2축 양 측으로 제1하부전극(110)이 소정의 간격으로 배치되는 상태일 수 있다.Here, the uniformly arranged arrangement means that when viewed from the top surface 101 of the first lower module, the first lower electrodes 110 are arranged at predetermined intervals on both sides of the first axis 1 relative to the first axis 1 And the first lower electrodes 110 may be arranged at predetermined intervals on both sides of the first and second axes with respect to the first and second axes.

그리고, 제1상부모듈의 밑면(201) 방향에서 바라볼 때, 제1-1축을 기준으로 제1-1축의 양 측으로 제1상부전극(210)이 소정의 간격으로 배치되고, 제1-2축을 기준으로 제1-2축 양 측으로 제1상부전극(210)이 소정의 간격으로 배치되는 상태일 수 있다.When viewed from the bottom surface 201 of the first upper module, the first upper electrodes 210 are arranged at predetermined intervals on both sides of the first axis 1 with respect to the first axis 1, And the first upper electrodes 210 may be disposed at predetermined intervals on both sides of the first and second axes with respect to the axis.

(제1-1축과 제1-2축은 제1상부모듈(200)와 제1하부모듈(100)가 결합 시 x축과 y축에 대한 것일 수 있다.)(The first axis 1 and the first axis 1-2 may be about the x axis and the y axis when the first upper module 200 and the first lower module 100 are coupled.)

본 발명의 제1실시 예에서는 각 축에 대해 제1하부모듈(100)에 2쌍의 제1하부전극(110)이 형성되고, 제1상부모듈(200)에 2쌍의 제1상부전극(210)이 형성될 수 있다. In the first embodiment of the present invention, two pairs of first lower electrodes 110 are formed on the first lower module 100 with respect to each axis, and two pairs of first upper electrodes 210 may be formed.

제1상부전극(210)은 외부 기판의 전선과 연결되는 제1상부전극의 연결부위(210a)를 구비하고, 제1하부전극(110)은 외부 기판의 전선과 연결되는 제1하부전극의 연결부위(110a)를 구비할 수 있다. The first upper electrode 210 has a connection portion 210a of a first upper electrode connected to a wire of an external substrate and the first lower electrode 110 is connected to a first lower electrode Region 110a.

그리고, 도 2에서 보는 바와 같이, 제1상부모듈(200)와 제1하부모듈(100)가 결합하는 경우, 제1상부전극의 연결부위(210a)와 제1하부전극의 연결부위(110a)가 서로 접합되고, 제1상부전극의 연결부위(210a)와 제1하부전극의 연결부위(110a)가 동시에 외부 기판의 전선과 연결될 수 있다. 2, when the first upper module 200 and the first lower module 100 are coupled to each other, the connection portion 210a of the first upper electrode and the connection portion 110a of the first lower electrode 100, And the connection part 210a of the first upper electrode and the connection part 110a of the first lower electrode can be simultaneously connected to the wires of the external substrate.

전해질용액은 메탄올, 에탄올, 글리세린 및 퓨젤오일로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상의 물질로 형성될 수 있다. The electrolyte solution may be formed of one or more materials selected from the group consisting of methanol, ethanol, glycerin, and fucel oil.

본 발명의 실시 예에서는, 전해질 용액이 상기와 같은 물질로 형성된다고 설명하고 있으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니고, 통전 가능한 용액인 다양한 물질이 이용될 수 있다. In the embodiment of the present invention, it is explained that the electrolyte solution is formed of the same material as above. However, the electrolyte solution is not necessarily limited to this, and various materials which are electrically conductive solutions can be used.

도 3의 (a)에서 보는 바와 같이, 전해질용액의 부피는 제1내부공간(510) 부피와 비교하여 40% 내지 60% 비율의 부피일 수 있다. 바람직하게는, 전해질용액의 부피는 제1내부공간(510)의 부피와 비교하여 50% 비율의 부피일 수 있다. As shown in FIG. 3 (a), the volume of the electrolyte solution may be 40% to 60% of the volume of the first internal space 510. Preferably, the volume of the electrolyte solution may be 50% by volume as compared to the volume of the first inner space 510.

전해질용액의 부피가 제1내부공간(510) 부피와 비교하여 40% 내지 60% 비율 범위를 벗어나는 비율로 형성되는 경우, 360도 범위의 기울기 감지 측정에 대한 정밀도가 현저히 감소할 수 있다. If the volume of the electrolyte solution is formed at a rate out of the range of 40% to 60% of the volume of the first internal space 510, the accuracy for tilt sensing measurements in the 360 degree range can be significantly reduced.

이하, 본 발명에서 제1실시 예의 전해질 기울기 센서의 기울기 감지 방법에 대해 설명하기로 한다. Hereinafter, the tilt sensing method of the electrolyte tilt sensor of the first embodiment of the present invention will be described.

도 3에서 보는 바와 같이, 제1상부모듈(200)와 제1하부모듈(100)의 기울기 생성 시, 제1내부공간(510) 내 유동하는 전해질용액이 제1상부전극(210), 제1하부전극(110) 또는 제1공통전극(130)에 접촉하는 범위가 가변할 수 있다. 3, when the inclination of the first upper module 200 and the first lower module 100 is generated, the electrolyte solution flowing in the first inner space 510 flows through the first upper electrode 210, The range of contact with the lower electrode 110 or the first common electrode 130 may vary.

도 3의 (a)는 본 발명의 전해질 기울기 센서가 기울기 전의 상태를 나타낸 것이고, 도 3의 (b)는 본 발명의 전해질 기울기 센서가 45도 기운 상태를 나타낸 것이며, 도 3의 (c)는 본 발명의 전해질 기울기 센서가 90도 기운 상태를 나타낸 것이다.FIG. 3 (a) shows a state before the tilt of the electrolyte tilt sensor of the present invention, FIG. 3 (b) shows a state where the electrolyte tilt sensor of the present invention is tilted 45 degrees, The electrolyte tilt sensor of the present invention is shown to be in a 90 degree tilt.

여기서, 도트로 표시된 영역은 전해질용액의 표현일 수 있다. Here, the region indicated by dots may be an expression of the electrolyte solution.

도 3의 (a) 내지 도 3의 (c)에서 전류의 방향은 마이너스(-)방향일 수 있다.In FIGS. 3A to 3C, the direction of the current may be a minus (-) direction.

좌측으로부터 우측으로의 방향이 마이너스(-)방향이고, 우측으로부터 좌측으로의 방향이 플러스(+)방향일 수 있다. 이하, 동일하다.The direction from the left to the right may be the minus direction, and the direction from the right to the left may be the plus (+) direction. Hereinafter, the same applies.

다만, 도 3의 (c)는 도 3의 (a)의 상태에서 반시계 방향으로 90도 회전한 본 발명의 전해질 기울기 센서를 나타내므로, 하측으로부터 상측으로의 방향이 마이너스(-)방향이고, 그 반대 방향이 플러스(+)방향일 수 있다. 3 (c) shows the electrolyte tilt sensor of the present invention which is rotated 90 degrees counterclockwise in the state of FIG. 3 (a), so that the direction from the lower side to the upper side is negative (-) direction, The opposite direction may be a plus (+) direction.

도 3의 (a)에서, 좌측에 위치하는 제1하부전극(110)은 제1좌측하부전극(111)이고, 우측에 위치하는 제1하부전극(110)은 제1우측하부전극(112)이다. 그리고, 좌측에 위치하는 제1상부전극(210)은 제1좌측상부전극(211)이고, 우측에 위치하는 제1상부전극(210)은 제1우측상부전극(212)이다.3 (a), the first lower electrode 110 positioned on the left side is the first left lower electrode 111, the first lower electrode 110 positioned on the right side is the first lower right electrode 112, to be. The first upper electrode 210 located on the left side is the first left upper electrode 211 and the first upper electrode 210 located on the right side is the first upper right electrode 212. [

그리고, 좌측에 위치하는 제1연결전극(132)은 제1좌측연결전극이고, 우측에 위치하는 제1연결전극(132)은 제1우측연결전극이다.The first connection electrode 132 located on the left side is the first left connection electrode and the first connection electrode 132 located on the right side is the first right connection electrode.

도 3의 (a)와 같이 본 발명의 전해질 기울기 센서가 기울기 전의 상태인 경우, 전해질용액은, 제1좌측하부전극(111)과 제1우측하부전극(112)에 동일한 면적으로 접촉한 상태일 수 있다. 그리고, 전해질용액은 제1공통전극(130)에 접촉한 상태일 수 있다. 3 (a), when the electrolyte tilt sensor of the present invention is in a pre-tilt state, the electrolyte solution is in contact with the first left lower electrode 111 and the first right lower electrode 112 in the same area . The electrolyte solution may be in contact with the first common electrode 130.

상기와 같은 경우, 제1좌측상부전극(211)과 제1좌측하부전극(111), 제1우측상부전극(212)과 제1우측하부전극(112), 제1공통전극(130) 및 전해질용액을 포함하여 형성되는 저항체의 저항 값은 변화 없이 유지될 수 있다. 또한, 제1중심전극(131) 및 제1연결전극(132) 각각의 저항 값도 변화 없이 유지될 수 있다. In this case, the first left upper electrode 211, the first left lower electrode 111, the first right upper electrode 212, the first right lower electrode 112, the first common electrode 130, and the electrolyte The resistance value of the resistor formed including the solution can be maintained without change. Also, the resistance values of the first center electrode 131 and the first connection electrode 132 can be maintained unchanged.

그리고, 도 3의 (b)와 같이 본 발명의 전해질 기울기 센서가 반시계 방향으로 45도 회전하여 기운 경우, 전해질용액은, 제1좌측하부전극(111)에 대한 접촉 범위는 유지하면서, 제1좌측상부전극(211)에 대한 접촉 범위는 증가하고, 제1우측상부전극(212)에 접촉하지 않고, 제1우측하부전극(112)에 대한 접촉 범위는 감소할 수 있다. 그리고, 전해질용액은, 제1좌측연결전극에 대한 접촉 범위가 증가하고, 제1우측연결전극에 대한 접촉 범위가 감소하거나 접촉하지 않을 수 있다. 또한, 제1중심전극(131)에 대한 전해질용액의 접촉 범위도 감소할 수 있다. When the electrolyte tilt sensor of the present invention rotates counterclockwise by 45 degrees as shown in FIG. 3 (b), the electrolyte solution maintains a contact range with respect to the first left lower electrode 111, The contact range with respect to the left upper electrode 211 increases and the contact range with respect to the first lower right electrode 112 can be reduced without contacting the first upper right electrode 212. [ Then, the electrolyte solution increases the contact range with respect to the first left connecting electrode, and the contact range with respect to the first right connecting electrode may be reduced or not. Also, the contact range of the electrolyte solution with respect to the first center electrode 131 can be reduced.

상기와 같은 경우, 제1좌측상부전극(211)과 제1좌측하부전극(111), 제1우측상부전극(212)과 제1우측하부전극(112), 제1공통전극(130) 및 전해질용액을 포함하여 형성되는 저항체의 저항 값은 증가할 수 있다. 이에 따라, 도 3의 (a) 상태에서 도 3의 (b) 상태로 본 발명의 전해질 가속도 센서의 상태가 변하는 경우, 본 발명의 전해질 가속도 센서를 통과하는 전기의 전압이 마이너스(-) 방향으로 증가할 수 있다. In this case, the first left upper electrode 211, the first left lower electrode 111, the first right upper electrode 212, the first right lower electrode 112, the first common electrode 130, and the electrolyte The resistance value of the resistor formed including the solution may increase. Accordingly, when the state of the electrolyte acceleration sensor of the present invention changes from the state of FIG. 3 (a) to the state of FIG. 3 (b), the voltage of the electric current passing through the electrolyte acceleration sensor of the present invention changes in the minus .

또한, 도 3의 (c)와 같이 본 발명의 전해질 기울기 센서가 반시계 방향으로 90도 회전하여 기운 경우, 전해질용액은 제1좌측상부전극(211)과 제1좌측하부전극(111)에 접촉하고, 제1우측상부전극(212)과 제1우측하부전극(112)에 접촉하지 않을 수 있다. 그리고, 전해질용액은, 제1좌측연결전극에 접촉하고 제1중심전극(131)과 제1우측연결전극에 접촉하지 않을 수 있다. When the electrolyte tilt sensor of the present invention rotates counterclockwise by 90 degrees as shown in FIG. 3 (c), the electrolyte solution contacts the first left upper electrode 211 and the first left lower electrode 111 And may not contact the first right upper electrode 212 and the first right lower electrode 112. The electrolyte solution may contact the first left connecting electrode and not contact the first center electrode 131 and the first right connecting electrode.

상기와 같은 경우, 제1좌측상부전극(211)과 제1좌측하부전극(111), 제1우측상부전극(212)과 제1우측하부전극(112), 제1공통전극(130) 및 전해질용액을 포함하여 형성되는 저항체의 저항 값은 증가할 수 있다. 이에 따라, 도 3의 (b) 상태에서 도 3의 (c) 상태로 본 발명의 전해질 가속도 센서의 상태가 변하는 경우, 본 발명의 전해질 가속도 센서를 통과하는 전기의 전압이 마이너스(-) 방향으로 증가할 수 있다.In this case, the first left upper electrode 211, the first left lower electrode 111, the first right upper electrode 212, the first right lower electrode 112, the first common electrode 130, and the electrolyte The resistance value of the resistor formed including the solution may increase. Accordingly, when the state of the electrolyte acceleration sensor of the present invention changes from the state of FIG. 3 (b) to the state of FIG. 3 (c), the voltage of the electric current passing through the electrolyte acceleration sensor of the present invention changes in the minus .

결론적으로, 도 3의 (a)와 같은 상태에서 도 3의 (c)와 같은 상태로 본 발명의 전해질 기울기 센서의 기울기가 변화하여, 각 전극의 저항 값이 변하고, 이에 따라, 본 발명의 전해질 기울기 센서를 통과하는 전기의 전압 값이 변할 수 있다. 3 (a), the slope of the electrolyte tilt sensor of the present invention changes in a state as shown in FIG. 3 (c), the resistance value of each electrode changes, The voltage value of electricity passing through the tilt sensor can be changed.

이하, 본 발명에서 제1실시 예의 전해질 기울기 센서의 제조방법에 대해 설명하기로 한다. Hereinafter, a method of manufacturing the electrolyte tilt sensor of the first embodiment of the present invention will be described.

첫째 단계에서, 제1상부모듈(200)와 제1하부모듈(100)를 마련할 수 있다. In the first step, the first upper module 200 and the first lower module 100 may be provided.

이 때, 제1상부모듈(200)의 윗면과 밑면에 절연막(530)을 형성하고, 제1하부모듈의 윗면(101)과 밑면에 절연막(530)을 형성할 수 있다. At this time, the insulating film 530 may be formed on the upper and lower surfaces of the first upper module 200, and the insulating film 530 may be formed on the upper surface 101 and the lower surface of the first lower module.

둘째 단계에서, 제1하부모듈의 윗면(101)을 식각하고 제1상부모듈의 밑면(201)을 식각하여, 제1하부모듈(100)에 제1하부홈(120)을 형성하고, 제1상부모듈(200)에 제1상부홈(220)을 형성할 수 있다. In the second step, the upper surface 101 of the first lower module is etched and the lower surface 201 of the first upper module is etched to form the first lower groove 120 in the first lower module 100, The first upper groove 220 may be formed in the upper module 200.

셋째 단계에서, 제1하부홈의 바닥면(122), 제1하부홈의 경사면(121) 및 제1하부모듈의 윗면(101)에 증착물질을 증착시켜 제1하부전극(110)을 형성하고, 또한, 제1상부홈의 바닥면(222), 제1상부홈의 경사면(221) 및 제1상부모듈(200)의 윗면에 증착물질을 증착시켜 제1상부전극(210)을 형성할 수 있다. In the third step, a deposition material is deposited on the bottom surface 122 of the first bottom groove, the inclined surface 121 of the first bottom groove, and the top surface 101 of the first bottom module to form the first bottom electrode 110 The first upper electrode 210 may be formed by depositing an evaporation material on the bottom surface 222 of the first upper groove, the inclined surface 221 of the first upper groove, and the upper surface of the first upper module 200 have.

여기서, 증착물질의 증착은 열증착 또는 스퍼터링에 의해 수행될 수 있다. Here, the deposition of the evaporation material can be performed by thermal evaporation or sputtering.

넷째 단계에서, 사전에 마련된 제1공통전극(130)을 제1하부모듈의 윗면(101)에 결합할 수 있다. In the fourth step, the first common electrode 130 provided in advance may be coupled to the upper surface 101 of the first lower module.

다섯째 단계에서, 제1하부모듈의 윗면(101)에 제1절연층을 형성할 수 있다. In a fifth step, a first insulating layer may be formed on the upper surface 101 of the first lower module.

여섯째 단계에서, 제1하부모듈(100)와 제1상부모듈(200)를 결합할 수 있다. In a sixth step, the first lower module 100 and the first upper module 200 may be combined.

이하, 본 발명에서 제2실시 예의 전해질 기울기 센서에 대해 설명하기로 한다. Hereinafter, the electrolyte tilt sensor of the second embodiment of the present invention will be described.

도 4는 본 발명의 제2실시 예에 따른 제2상부모듈(400) 및 제2하부모듈(300)의 사시도이고, 도 5는 본 발명의 제2실시 예에 따른 전해질 기울기 센서의 분해사시도이며, 도 6은 본 발명의 제2실시 예에 따른 제2상부모듈(400)와 제2하부모듈(300)가 결합된 상태에 대한 단면도이다. 그리고, 도 7은 본 발명의 제2실시 예에 따른 제2내부공간(520) 내 전해질용액의 유동에 대한 모식도이다.FIG. 4 is a perspective view of a second upper module 400 and a second lower module 300 according to a second embodiment of the present invention, and FIG. 5 is an exploded perspective view of an electrolyte tilt sensor according to a second embodiment of the present invention 6 is a cross-sectional view illustrating a state in which the second upper module 400 and the second lower module 300 are coupled according to the second embodiment of the present invention. 7 is a schematic view of the flow of the electrolyte solution in the second internal space 520 according to the second embodiment of the present invention.

여기서, 도 6는, 결합한 제2하부모듈(300)와 제2상부모듈(400)를 B-B'선을 지나는 y-z평면에 의해 절단한 단면도이다. 도 7의 (a) 내지 도 7의 (c)도 마찬가지이다.Here, FIG. 6 is a cross-sectional view of the second lower module 300 and the second upper module 400 coupled to each other along the y-z plane passing the line B-B '. The same applies to Figs. 7 (a) to 7 (c).

도 4 내지 도 7에서 보는 바와 같이, 본 발명의 전해질 기울기 센서는, 경사면이 형성된 홈인 제2하부홈(320)이 중앙 부위에 구비된 제2하부모듈(300); 경사면이 형성된 홈인 제2상부홈(420)이 중앙 부위에 구비되고, 제2하부모듈(300)와 결합하는 제2상부모듈(400); 제2하부모듈(300)와 제2상부모듈(400)의 결합에 의해 형성되는 내부공간인 제2내부공간(520)에 충진되는 전해질용액; 제2하부모듈(300)의 밑면, 제2하부모듈(300)의 밑면으로부터 제2하부홈의 바닥면(322)으로 관통하는 하부관통로, 제2하부홈의 바닥면(322) 및 제2하부홈의 경사면(321)을 따라 복수 개가 형성되는 제2하부전극(310); 제2상부모듈(400)의 윗면, 제2상부모듈(400)의 윗면으로부터 제2상부홈(420)의 천장면으로 관통하는 상부관통로, 제2상부홈(420)의 천장면 및 제2상부홈의 경사면(421)을 따라 복수 개가 형성되는 제2상부전극(410); 제2내부공간(520)에 위치하도록 설치되는 제2공통전극(330);을 포함할 수 있다. 4 to 7, the electrolyte tilt sensor of the present invention includes a second lower module 300 having a second lower groove 320, which is a groove formed with an inclined surface, at a central portion thereof; A second upper module 400 having a second upper groove 420, which is a groove formed with an inclined surface, at a central portion and engaging with the second lower module 300; An electrolyte solution filled in the second inner space 520, which is an inner space formed by the combination of the second lower module 300 and the second upper module 400; The bottom surface of the second lower module 300, the bottom through-hole penetrating from the bottom surface of the second bottom module 300 to the bottom surface 322 of the second bottom groove, the bottom surface 322 of the second bottom groove, A plurality of second lower electrodes 310 formed along the inclined surface 321 of the lower groove; The upper surface of the second upper module 400, the upper through-hole penetrating from the upper surface of the second upper module 400 to the ceiling of the second upper groove 420, the ceiling of the second upper groove 420, A plurality of second upper electrodes 410 formed along the inclined surfaces 421 of the upper grooves; And a second common electrode 330 installed to be positioned in the second inner space 520.

제2상부모듈(400) 및 제2하부모듈(300)는, 실리콘 또는 고분자물질로 형성되는 기판을 가공하여 형성될 수 있다. 그리고, 제2상부모듈(400) 및 제2하부모듈(300) 각각에 대해 식각 공정이 수행되어 제2상부모듈(400)에는 제2상부홈(420)이 형성되고, 제2하부모듈(300)에는 제2하부홈(320)이 형성될 수 있다. 이 때, 식각은 습식 식각법 또는 레이저 식각법으로 수행될 수 있다.The second upper module 400 and the second lower module 300 may be formed by processing a substrate formed of silicon or a polymer material. The second upper module 400 and the second lower module 300 are each subjected to an etching process so that a second upper groove 420 is formed in the second upper module 400, The second bottom groove 320 may be formed. At this time, the etching can be performed by wet etching or laser etching.

제2상부모듈(400)의 윗면과 밑면에 절연막(530)이 형성되고, 제2하부모듈의 윗면(301)과 밑면에 절연막(530)이 형성될 수 있다. An insulating film 530 may be formed on the upper and lower surfaces of the second upper module 400 and an insulating film 530 may be formed on the upper surface 301 and the lower surface of the second lower module.

제2하부모듈의 윗면(301)에 형성된 절연막(530)과 제2상부모듈의 밑면(401)에 형성된 절연막(530)에 의해, 제2연결전극(332)으로부터 제2하부모듈의 윗면(301)으로 전달되는 열이 차단되고, 제2연결전극(332)으로부터 제2상부모듈의 밑면(401)으로 전달되는 열이 차단되어, 제2하부모듈(300) 및 제2상부모듈(400)가 온도에 의한 영향을 받지 않도록 방지할 수 있다. The insulating film 530 formed on the upper surface 301 of the second lower module and the insulating film 530 formed on the lower surface 401 of the second upper module are electrically connected to the upper surface 301 And the heat transmitted from the second connection electrode 332 to the bottom surface 401 of the second upper module is cut off so that the second lower module 300 and the second upper module 400 It can be prevented from being influenced by the temperature.

제2하부모듈(300)의 밑면에 절연막(530)이 형성되고, 제2상부모듈(400)의 윗면에 절연막(530)이 형성될 수 있다. 이에 따라, 본 발명의 전해질 기울기 센서가 결합하는 외부 기판의 온도에 의해 영향을 받지 않도록 방지할 수 있다. An insulating film 530 may be formed on the bottom surface of the second lower module 300 and an insulating film 530 may be formed on the upper surface of the second upper module 400. [ Thus, the electrolyte tilt sensor of the present invention can be prevented from being affected by the temperature of the external substrate to which it is coupled.

절연막(530)은 이산화규소(SiO2), 유리(Glass) 또는 SOI(Silicon On Insulator)로 형성될 수 있다.The insulating film 530 may be formed of silicon dioxide (SiO 2 ), glass, or SOI (Silicon On Insulator).

도 4에서 보는 바와 같이, 제2공통전극(330)은, 제2내부공간(520)의 중심에 위치하는 제2중심전극(331), 및 제2하부모듈의 윗면(301)에 결합하고, 제2하부모듈(300)의 각 모서리와 제2중심전극(331)을 연결하는 복수 개의 제2연결전극(332),을 구비할 수 있다. 4, the second common electrode 330 is connected to the second central electrode 331 located at the center of the second inner space 520 and the upper surface 301 of the second lower module, And a plurality of second connection electrodes 332 connecting each corner of the second sub-module 300 with the second center electrode 331.

제2중심전극(331)은 원형 또는 정다각형의 형상을 구비하여, 제2하부모듈(300)의 각 모서리로부터 제2중심전극(331)으로 연결되는 각각의 제2연결전극(332)이 동일한 길이를 구비하고, 이에 따라, x축 또는 y축에 대한 전해질용액의 유동에 대해 제2공통전극(330)이 균일하게 감지를 수행할 수 있다.The second central electrode 331 has a circular or regular polygonal shape so that each of the second connection electrodes 332 connected from the respective corners of the second lower module 300 to the second center electrode 331 has the same length So that the second common electrode 330 can uniformly detect the flow of the electrolyte solution with respect to the x-axis or the y-axis.

본 발명의 제2실시 예에서는, 제2공통전극(330)이 제2하부모듈(300)에 형성되는 것으로 설명하고 있으나, 이에 한정되는 것은 아니고, 제2공통전극(330)이 제2상부모듈(400)에 형성될 수도 있다.Although the second common electrode 330 is formed on the second lower module 300 in the second embodiment of the present invention, the second common electrode 330 is not limited to the second common electrode 330, (Not shown).

도 4에서 보는 바와 같이, 제2하부전극(310)은, x축 방향으로 하나 이상 형성되고 y축 방향으로 하나 이상 형성될 수 있다. 그리고, 제2상부전극(410)은, x축 방향으로 하나 이상 형성되고 y축 방향으로 하나 이상 형성될 수 있다. 4, one or more second lower electrodes 310 may be formed in the x-axis direction, and one or more second lower electrodes 310 may be formed in the y-axis direction. At least one second upper electrode 410 may be formed in the x-axis direction and at least one in the y-axis direction.

그리고, 제1공통전극(130)의 중심을 지나는 x축인 제2-1축에 대해, 하나 이상의 제1하부전극(110)은 균등하게 배치되고, 제1공통전극(130)의 중심을 지나는 y축인 제2-2축에 대해, 하나 이상의 제1하부전극(110)이 균등하게 배치될 수 있다.One or more first lower electrodes 110 are equally arranged with respect to the 2-1 axis in the x-axis passing through the center of the first common electrode 130, and y At least one first lower electrode 110 may be evenly arranged with respect to the axis 2-2 which is the axis.

마찬가지로, 제2-1축에 대해, 하나 이상의 제1상부전극(210)은 균등하게 배치되고, 제2-2축에 대해, 하나 이상의 제1상부전극(210)이 균등하게 배치될 수 있다.Likewise, for the second-1 axis, the at least one first upper electrode 210 is equally spaced, and for the second -2 axis, at least one first upper electrode 210 may be evenly spaced.

여기서, 균등하게 배치된다는 것은, 제2하부모듈의 윗면(301) 방향에서 바라볼 때, 제2-1축을 기준으로 제2-1축의 양 측으로 제2하부전극(310)이 소정의 간격으로 배치되고, 제2-2축을 기준으로 제2-2축 양 측으로 제2하부전극(310)이 소정의 간격으로 배치되는 상태일 수 있다.Here, the uniformly arranged arrangement means that when viewed from the top surface 301 of the second lower module, the second lower electrodes 310 are arranged at predetermined intervals on both sides of the 2-1 axis with respect to the 2-1 axis And the second lower electrodes 310 may be arranged at predetermined intervals on both sides of the second 2-2 axis with respect to the second 2-2 axis.

그리고, 제2상부모듈의 밑면(401) 방향에서 바라볼 때, 제2-1축을 기준으로 제2-1축의 양 측으로 제2상부전극(410)이 소정의 간격으로 배치되고, 제2-2축을 기준으로 제2-2축 양 측으로 제2상부전극(410)이 소정의 간격으로 배치되는 상태일 수 있다.When viewed from the bottom surface 401 of the second upper module, the second upper electrodes 410 are arranged at predetermined intervals on both sides of the 2-1 axis with respect to the 2-1 axis, And the second upper electrodes 410 may be disposed at predetermined intervals on both sides of the (2-2) axis with respect to the axis.

(제2-1축과 제2-2축은 제2상부모듈(400)와 제2하부모듈(300)가 결합 시 x축과 y축에 대한 것일 수 있다.)(The 2-1 axis and the 2-2 axis may be about the x axis and the y axis when the second upper module 400 and the second lower module 300 are coupled.)

본 발명의 제2실시 예에서는 각 축에 대해 제2하부모듈(300)에 2쌍의 제2하부전극(310)이 형성되고, 제2상부모듈(400)에 2쌍의 제2상부전극(410)이 형성될 수 있다.In the second embodiment of the present invention, two pairs of second lower electrodes 310 are formed on the second lower module 300 with respect to each axis, and two pairs of second upper electrodes 410 may be formed.

제2상부전극(410)은 외부 기판의 전선과 연결되는 제2상부전극의 연결부위(410a)를 구비하고, 제2하부전극(310)은 외부 기판의 전선과 연결되는 제2하부전극의 연결부위(310a)를 구비할 수 있다. The second upper electrode 410 has a connection part 410a of a second upper electrode connected to the electric wire of the external substrate and the second lower electrode 310 has a connection part 410a of a second lower electrode Region 310a.

전해질용액은 메탄올, 에탄올, 글리세린 및 퓨젤오일로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상의 물질로 형성될 수 있다. The electrolyte solution may be formed of one or more materials selected from the group consisting of methanol, ethanol, glycerin, and fucel oil.

본 발명의 실시 예에서는, 전해질 용액이 상기와 같은 물질로 형성된다고 설명하고 있으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니고, 통전 가능한 용액인 다양한 물질이 이용될 수 있다.In the embodiment of the present invention, it is explained that the electrolyte solution is formed of the same material as above. However, the electrolyte solution is not necessarily limited to this, and various materials which are electrically conductive solutions can be used.

도 7의 (a)에서 보는 바와 같이, 전해질용액의 부피는 제2내부공간(520) 부피와 비교하여 40% 내지 60% 비율의 부피일 수 있다. 바람직하게는, 전해질용액의 부피는 제2내부공간(520)의 부피와 비교하여 50% 비율의 부피일 수 있다. As shown in FIG. 7 (a), the volume of the electrolyte solution may be 40% to 60% of the volume of the second internal space 520. Preferably, the volume of the electrolyte solution may be 50% by volume as compared to the volume of the second internal space 520.

전해질용액의 부피가 제2내부공간(520) 부피와 비교하여 40% 내지 60% 비율 범위를 벗어나는 비율로 형성되는 경우, 360도 범위의 기울기 감지 측정에 대한 정밀도가 현저히 감소할 수 있다. If the volume of the electrolyte solution is formed at a rate out of the 40% to 60% ratio range as compared to the volume of the second internal space 520, the accuracy for tilt sensing measurements in the 360 degree range can be significantly reduced.

이하, 본 발명에서 제2실시 예의 전해질 기울기 센서의 기울기 감지 방법에 대해 설명하기로 한다.Hereinafter, the tilt sensing method of the electrolyte tilt sensor of the second embodiment of the present invention will be described.

도 7에서 보는 바와 같이, 제2상부모듈(400)와 제2하부모듈(300)의 기울기 생성 시, 제2내부공간(520) 내 유동하는 전해질용액이 제2상부전극(410), 제2하부전극(310) 또는 제2공통전극(330)에 접촉하는 범위가 가변할 수 있다.7, when the inclination of the second upper module 400 and the second lower module 300 is generated, the electrolyte solution flowing in the second inner space 520 flows through the second upper electrode 410, The range of contact with the lower electrode 310 or the second common electrode 330 may vary.

도 7의 (a)는 본 발명의 전해질 기울기 센서가 기울기 전의 상태를 나타낸 것이고, 도 7의 (b)는 본 발명의 전해질 기울기 센서가 45도 기운 상태를 나타낸 것이며, 도 7의 (c)는 본 발명의 전해질 기울기 센서가 90도 기운 상태를 나타낸 것이다.7 (a) shows a state before the inclination of the electrolyte tilt sensor of the present invention, FIG. 7 (b) shows a state where the electrolyte inclination sensor of the present invention is inclined by 45 degrees, The electrolyte tilt sensor of the present invention is shown to be in a 90 degree tilt.

여기서, 도트로 표시된 영역은 전해질용액의 표현일 수 있다.Here, the region indicated by dots may be an expression of the electrolyte solution.

도 7의 (a) 내지 도 7의 (c)에서 전류의 방향은 마이너스(-)방향일 수 있다.In FIGS. 7A to 7C, the direction of the current may be a minus (-) direction.

좌측으로부터 우측으로의 방향이 마이너스(-)방향이고, 우측으로부터 좌측으로의 방향이 플러스(+)방향일 수 있다. 이하, 동일하다.The direction from the left to the right may be the minus direction, and the direction from the right to the left may be the plus (+) direction. Hereinafter, the same applies.

다만, 도 7의 (c)는 도 7의 (a)의 상태에서 반시계 방향으로 90도 회전한 본 발명의 전해질 기울기 센서를 나타내므로, 하측으로부터 상측으로의 방향이 마이너스(-)방향이고, 그 반대 방향이 플러스(+)방향일 수 있다. 7 (c) shows the electrolyte tilt sensor of the present invention which is rotated 90 degrees counterclockwise in the state of FIG. 7 (a), so that the direction from the lower side to the upper side is negative (-) direction, The opposite direction may be a plus (+) direction.

도 7의 (a)에서, 좌측에 위치하는 제2하부전극(310)은 제2좌측하부전극(311)이고, 우측에 위치하는 제2하부전극(310)은 제2우측하부전극(312)이다. 그리고, 좌측에 위치하는 제2상부전극(410)은 제2좌측상부전극(411)이고, 우측에 위치하는 제2상부전극(410)은 제2우측상부전극(412)이다.7A, the second lower electrode 310 located on the left side is the second left lower electrode 311, the second lower electrode 310 located on the right side is the second lower right electrode 312, to be. The second upper electrode 410 positioned on the left side is the second upper left electrode 411 and the second upper electrode 410 positioned on the right side is the second upper right electrode 412.

그리고, 좌측에 위치하는 제2연결전극(332)은 제2좌측연결전극이고, 우측에 위치하는 제2연결전극(332)은 제2우측연결전극이다.The second connection electrode 332 located on the left side is the second left connection electrode and the second connection electrode 332 located on the right side is the second right connection electrode.

도 7의 (a)와 같이 본 발명의 전해질 기울기 센서가 기울기 전의 상태인 경우, 전해질용액은, 제2좌측하부전극(311)과 제2우측하부전극(312)에 동일한 면적으로 접촉한 상태일 수 있다. 그리고, 전해질용액은 제2공통전극(330)에 접촉한 상태일 수 있다. 7A, when the electrolyte tilt sensor of the present invention is in a state before tilting, the electrolyte solution is in contact with the second left lower electrode 311 and the second right lower electrode 312 in the same area . The electrolyte solution may be in contact with the second common electrode 330.

상기와 같은 경우, 제2좌측상부전극(411)과 제2좌측하부전극(311), 제2우측상부전극(412)과 제2우측하부전극(312), 제2공통전극(330) 및 전해질용액을 포함하여 형성되는 저항체의 저항 값은 변화 없이 유지될 수 있다. 또한, 제2중심전극(331) 및 제2연결전극(332) 각각의 저항 값도 변화 없이 유지될 수 있다.In this case, the second left upper electrode 411 and the second left lower electrode 311, the second right upper electrode 412, the second right lower electrode 312, the second common electrode 330, and the electrolyte The resistance value of the resistor formed including the solution can be maintained without change. Also, the resistance values of the second center electrode 331 and the second connection electrode 332 can be maintained unchanged.

그리고, 도 7의 (b)와 같이 본 발명의 전해질 기울기 센서가 반시계 방향으로 45도 회전하여 기운 경우, 전해질용액은, 제2좌측하부전극(311)에 대한 접촉 범위는 유지하면서, 제2좌측상부전극(411)에 대한 접촉 범위는 증가하고, 제2우측상부전극(412)에 접촉하지 않고, 제2우측하부전극(312)에 대한 접촉 범위는 감소할 수 있다. 그리고, 전해질용액은, 제2좌측연결전극에 대한 접촉 범위가 증가하고, 제2우측연결전극에 대한 접촉 범위가 감소하거나 접촉하지 않을 수 있다. 또한, 제1중심전극(131)에 대한 전해질용액의 접촉 범위도 감소할 수 있다. 7 (b), when the electrolyte tilt sensor of the present invention rotates counterclockwise by 45 degrees, the electrolyte solution maintains the contact range with respect to the second left lower electrode 311, The contact range with respect to the left upper electrode 411 increases and the contact range with respect to the second lower right electrode 312 can be reduced without contacting the second right upper electrode 412. [ Then, the electrolyte solution may increase the contact range with respect to the second left connecting electrode, and may not contact or reduce the contact range with respect to the second right connecting electrode. Also, the contact range of the electrolyte solution with respect to the first center electrode 131 can be reduced.

상기와 같은 경우, 제2좌측상부전극(411)과 제2좌측하부전극(311), 제2우측상부전극(412)과 제2우측하부전극(312), 제2공통전극(330) 및 전해질용액을 포함하여 형성되는 저항체의 저항 값은 증가할 수 있다. 이에 따라, 도 7의 (a) 상태에서 도 7의 (b) 상태로 본 발명의 전해질 가속도 센서의 상태가 변하는 경우, 본 발명의 전해질 가속도 센서를 통과하는 전기의 전압이 마이너스(-) 방향으로 증가할 수 있다. In this case, the second left upper electrode 411 and the second left lower electrode 311, the second right upper electrode 412, the second right lower electrode 312, the second common electrode 330, and the electrolyte The resistance value of the resistor formed including the solution may increase. Accordingly, when the state of the electrolyte acceleration sensor of the present invention changes from the state of FIG. 7 (a) to the state of FIG. 7 (b), the voltage of the electric current passing through the electrolyte acceleration sensor of the present invention changes in the minus .

또한, 도 7의 (c)와 같이 본 발명의 전해질 기울기 센서가 반시계 방향으로 90도 회전하여 기운 경우, 전해질용액은 제2좌측상부전극(411)과 제2좌측하부전극(311)에 접촉하고, 제2우측상부전극(412)과 제2우측하부전극(312)에 접촉하지 않을 수 있다. 그리고, 전해질용액은, 제2좌측연결전극에 접촉하고 제2중심전극(331)과 제2우측연결전극에 접촉하지 않을 수 있다.7 (c), when the electrolyte tilt sensor of the present invention is rotated 90 degrees counterclockwise and tilted, the electrolyte solution contacts the second left upper electrode 411 and the second left lower electrode 311 And may not contact the second right upper electrode 412 and the second right lower electrode 312. The electrolyte solution may be in contact with the second left connection electrode and not with the second center electrode 331 and the second right connection electrode.

상기와 같은 경우, 제2좌측상부전극(411)과 제2좌측하부전극(311), 제2우측상부전극(412)과 제2우측하부전극(312), 제2공통전극(330) 및 전해질용액을 포함하여 형성되는 저항체의 저항 값은 증가할 수 있다. 이에 따라, 도 7의 (b) 상태에서 도 7의 (c) 상태로 본 발명의 전해질 가속도 센서의 상태가 변하는 경우, 본 발명의 전해질 가속도 센서를 통과하는 전기의 전압이 마이너스(-) 방향으로 증가할 수 있다.In this case, the second left upper electrode 411 and the second left lower electrode 311, the second right upper electrode 412, the second right lower electrode 312, the second common electrode 330, and the electrolyte The resistance value of the resistor formed including the solution may increase. Accordingly, when the state of the electrolyte acceleration sensor of the present invention changes from the state of FIG. 7 (b) to the state of FIG. 7 (c), the voltage of the electric current passing through the electrolyte acceleration sensor of the present invention changes in the minus .

결론적으로, 도 7의 (a)와 같은 상태에서 도 7의 (c)와 같은 상태로 본 발명의 전해질 기울기 센서의 기울기가 변화하여, 각 전극의 저항 값이 변하고, 이에 따라, 본 발명의 전해질 기울기 센서를 통과하는 전기의 전압 값이 변할 수 있다.7 (a), the slope of the electrolyte tilt sensor of the present invention changes with the state as shown in FIG. 7 (c), the resistance value of each electrode changes, and thus the electrolyte The voltage value of electricity passing through the tilt sensor can be changed.

이하, 본 발명에서 제2실시 예의 전해질 기울기 센서의 제조방법에 대해 설명하기로 한다.Hereinafter, a method of manufacturing the electrolyte tilt sensor of the second embodiment of the present invention will be described.

첫째 단계에서, 제2상부모듈(400)와 제2하부모듈(300)를 마련할 수 있다. In the first step, the second upper module 400 and the second lower module 300 may be provided.

이 때, 제2상부모듈(400)의 윗면과 밑면에 절연막(530)을 형성하고, 제2하부모듈의 윗면(301)과 밑면에 절연막(530)을 형성할 수 있다.At this time, the insulating film 530 may be formed on the upper and lower surfaces of the second upper module 400, and the insulating film 530 may be formed on the upper surface 301 and the lower surface of the second lower module.

둘째 단계에서, 제2하부모듈의 윗면(301)을 식각하고 제2상부모듈의 밑면(401)을 식각하여, 제2하부모듈(300)에 제2하부홈(320)을 형성하고, 제2상부모듈(400)에 제2상부홈(420)을 형성할 수 있다. In the second step, the upper surface 301 of the second lower module is etched and the lower surface 401 of the second upper module is etched to form the second lower groove 320 in the second lower module 300, And the second upper groove 420 may be formed in the upper module 400. [

셋째 단계에서, 제2하부모듈(300)의 밑면, 제2하부모듈(300)의 밑면으로부터 제2하부홈의 바닥면(322)으로 관통하는 하부관통로, 제2하부홈의 바닥면(322) 및 제2하부홈의 경사면(321)에 증착물질을 증착시켜 제2하부전극(310)을 형성하고, 또한, 제2상부모듈(400)의 윗면, 제2상부모듈(400)의 윗면으로부터 제2상부홈(420)의 천장면으로 관통하는 상부관통로, 제2상부홈(420)의 천장면 및 제2상부홈의 경사면(421)에 증착물질을 증차시켜 제2상부전극(410)을 형성할 수 있다.In the third step, the bottom surface of the second lower module 300, the lower penetration passing from the bottom surface of the second lower module 300 to the bottom surface 322 of the second lower groove, the bottom surface of the second bottom groove 322 The upper surface of the second upper module 400 and the upper surface of the second upper module 400 from the upper surface of the second upper module 400, The upper surface of the second upper groove 410 and the upper surface of the second upper groove 420 are filled with the evaporation material and the upper surface of the second upper groove 410, Can be formed.

여기서, 증착물질의 증착은 열증착 또는 스퍼터링에 의해 수행될 수 있다. Here, the deposition of the evaporation material can be performed by thermal evaporation or sputtering.

넷째 단계에서, 사전에 마련된 제2공통전극(330)을 제2하부모듈의 윗면(301)에 결합할 수 있다. In the fourth stage, the second common electrode 330 previously provided can be coupled to the top surface 301 of the second lower module.

다섯째 단계에서, 제2하부모듈의 윗면(301)에 제2절연층을 형성할 수 있다. In a fifth step, a second insulating layer may be formed on the upper surface 301 of the second lower module.

여섯째 단계에서, 제2하부모듈(300)와 제2상부모듈(400)를 결합할 수 있다. In the sixth stage, the second lower module 300 and the second upper module 400 may be combined.

도 8은 본 발명의 전해질 기울기 센서를 이용하여 기울기를 측정한 사항에 대한 그래프이다.FIG. 8 is a graph showing the tilt measurement using the electrolyte tilt sensor of the present invention.

도 8에서 보는 바와 같이, 본 발명의 전해질 기울기 센서는 각각의 기울기 각도에 대해 저항 값이 변하고, 이에 따라, 본 발명의 전해질 기울기 센서를 통과하는 전기의 전압 값이 변하는 것을 확인할 수 있다. 즉, 각각의 기울기 각도(ΔVout (V))에 따라 대응되는 전압 변화 값(Tilt angle (deg))이 다르게 형성될 수 있다.As shown in FIG. 8, the electrolyte tilt sensor of the present invention changes the resistance value for each tilt angle, and thus the voltage value of electricity passing through the electrolyte tilt sensor of the present invention changes. That is, the corresponding voltage change value (Tilt angle (deg)) may be formed differently depending on each tilt angle? V out (V).

다만, sin함수 곡선으로 그래프가 형성되어 전압 변화 값이 동일한 기울기 각도가 존재할 수 있다. 구체적으로, 기울기 각도가 30도(deg)인 경우와 기울기 각도가 150도인 경우, 동일하게 전압 변화 값이 -1.5이다.However, a graph can be formed with a sinusoidal curve, so that a slope angle having the same voltage change value may exist. Specifically, when the tilt angle is 30 degrees (deg) and the tilt angle is 150 degrees, the voltage change value is -1.5 in the same manner.

이와 같은 경우, 도 8의 그래프에서, 기울기 각도가 30도인 경우에 대한 접선과 기울기 각도가 150도인 경우에 대한 경우가 상이하므로, 이를 구분할 수 있다. 즉, 전압 변화 값이 동일하더라도 도 8의 그래프에 대한 접선을 분석하여 기울기 각도 값을 도출할 수 있다.In such a case, the graph of FIG. 8 can be distinguished from the case where the tangent to the tilt angle is 30 degrees and the case where the tilt angle is 150 degrees. That is, even if the voltage change value is the same, the tangent angle value can be derived by analyzing the tangent line of the graph of FIG.

전술한 본 발명의 설명은 예시를 위한 것이며, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시 예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다. It will be understood by those skilled in the art that the foregoing description of the present invention is for illustrative purposes only and that those of ordinary skill in the art can readily understand that various changes and modifications may be made without departing from the spirit or essential characteristics of the present invention. will be. It is therefore to be understood that the above-described embodiments are illustrative in all aspects and not restrictive. For example, each component described as a single entity may be distributed and implemented, and components described as being distributed may also be implemented in a combined form.

본 발명의 범위는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다. The scope of the present invention is defined by the appended claims, and all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and their equivalents should be construed as being included within the scope of the present invention.

100 : 제1하부모듈 101 : 제1하부모듈의 윗면
110 : 제1하부전극 110a : 제1하부전극의 연결부위
111 : 제1좌측하부전극 112 : 제1우측하부전극
120 : 제1하부홈 121 : 제1하부홈의 경사면
122 : 제1하부홈의 바닥면 130 : 제1공통전극
131 : 제1중심전극 132 : 제1연결전극
200 : 제1상부모듈 201 : 제1상부모듈의 밑면
210 : 제1상부전극 210a : 제1상부전극의 연결부위
211 : 제1좌측상부전극 212 : 제1우측상부전극
220 : 제1상부홈 221 : 제1상부홈의 경사면
222 : 제1상부홈의 바닥면 300 : 제2하부모듈
301 : 제2하부모듈의 윗면 310 : 제2하부전극
310a : 제2하부전극의 연결부위 311 : 제2좌측하부전극
312 : 제2우측하부전극 320 : 제2하부홈
321 : 제2하부홈의 경사면 322 : 제2하부홈의 바닥면
330 : 제2공통전극 331 : 제2중심전극
332 : 제2연결전극 400 : 제2상부모듈
401 : 제2상부모듈의 밑면 410 : 제2상부전극
410a : 제2상부전극의 연결부위 411 : 제2좌측상부전극
412 : 제2우측상부전극 420 : 제2상부홈
421 : 제2상부홈의 경사면 422 : 제2상부홈의 바닥면
510 : 제1내부공간 520 : 제2내부공간
530 : 절연막 100: first lower module 101: upper surface of the first lower module
110: first lower electrode 110a: connection portion of the first lower electrode
111: first left lower electrode 112: first right lower electrode
120: first bottom groove 121: slope of the first bottom groove
122: bottom surface of the first bottom groove 130: first common electrode
131: first center electrode 132: first connecting electrode
200: first upper module 201: bottom surface of the first upper module
210: first upper electrode 210a: connection portion of the first upper electrode
211: first left upper electrode 212: first right upper electrode
220: first upper groove 221: slope of the first upper groove
222: bottom surface of the first upper groove 300: second bottom module
301: upper surface of the second lower module 310: second lower electrode
310a: connecting portion of the second lower electrode 311: second left lower electrode
312: second right lower electrode 320: second bottom groove
321: an inclined surface of the second lower groove 322: a bottom surface of the second lower groove
330: second common electrode 331: second center electrode
332: second connecting electrode 400: second upper module
401: bottom surface of the second upper module 410: second upper electrode
410a: connecting portion of the second upper electrode 411: second left upper electrode
412: second right upper electrode 420: second top groove
421: inclined surface of the second upper groove 422: bottom surface of the second upper groove
510: first inner space 520: second inner space
530: Insulating film

Claims (15)

경사면이 형성된 홈인 제1하부홈이 중앙 부위에 구비된 제1하부모듈;
경사면이 형성된 홈인 제1상부홈이 중앙 부위에 구비되고, 상기 제1하부모듈과 결합하는 제1상부모듈;
상기 제1하부모듈과 상기 제1상부모듈의 결합에 의해 형성되는 내부공간인 제1내부공간에 충진되는 전해질용액;
상기 제1하부홈의 바닥면, 상기 제1하부홈의 경사면 및 상기 제1하부모듈의 윗면을 따라 복수 개가 형성되는 제1하부전극;
상기 제1상부홈의 천장면, 상기 제1상부홈의 경사면 및 상기 제1상부모듈의 밑면을 따라 복수 개가 형성되는 제1상부전극; 및
상기 제1내부공간에 위치하도록 설치되는 제1공통전극;을 포함하는 것을 특징으로 하는 전해질 기울기 센서.
A first lower module having a first lower groove, which is a groove formed with an inclined surface, at a central portion;
A first upper module having a first upper groove, which is a groove formed with an inclined surface, at a central portion and engaging with the first lower module;
An electrolyte solution filled in a first inner space, which is an inner space formed by combining the first lower module and the first upper module;
A first lower electrode formed along the bottom surface of the first lower groove, the inclined surface of the first lower groove, and the upper surface of the first lower module;
A plurality of first upper electrodes formed along a bottom surface of the first upper groove, a slope of the first upper groove, and a bottom surface of the first upper module; And
And a first common electrode disposed in the first inner space.
청구항 1에 있어서,
상기 제1상부모듈과 상기 제1하부모듈의 기울기 생성 시, 상기 제1내부공간 내 유동하는 상기 전해질용액이 상기 제1상부전극, 상기 제1하부전극 또는 상기 제1공통전극에 접촉하는 범위가 가변하는 것을 특징으로 하는 전해질 기울기 센서.
The method according to claim 1,
A range in which the electrolyte solution flowing in the first inner space contacts the first upper electrode, the first lower electrode, or the first common electrode when the inclination of the first upper module and the first lower module is generated Wherein the electrolyte slope sensor is adapted to vary the temperature of the electrolyte.
청구항 1에 있어서,
상기 제1공통전극은,
상기 제1내부공간의 중심에 위치하는 제1중심전극, 및
상기 제1하부모듈의 윗면에 결합하고, 상기 제1하부모듈의 각 모서리와 상기 제1중심전극을 연결하는 복수 개의 제1연결전극,을 구비하는 것을 특징으로 하는 전해질 기울기 센서.
The method according to claim 1,
The first common electrode
A first center electrode positioned at the center of the first internal space, and
And a plurality of first connection electrodes coupled to an upper surface of the first lower module and connecting the corners of the first lower module to the first center electrode.
청구항 1에 있어서,
상기 제1하부전극은, x축 방향으로 하나 이상 형성되고 y축 방향으로 하나 이상 형성되는 것을 특징으로 하는 전해질 기울기 센서.
The method according to claim 1,
Wherein at least one of the first lower electrodes is formed in the x-axis direction and at least one of the first lower electrodes is formed in the y-axis direction.
청구항 1에 있어서,
상기 제1상부전극은, x축 방향으로 하나 이상 형성되고 y축 방향으로 하나 이상 형성되는 것을 특징으로 하는 전해질 기울기 센서.
The method according to claim 1,
Wherein at least one of the first upper electrodes is formed in the x-axis direction and at least one of the first upper electrodes is formed in the y-axis direction.
청구항 1에 있어서,
상기 제1상부모듈의 윗면과 상기 제1상부모듈의 밑면에 절연막이 형성되고, 상기 제1하부모듈의 윗면과 상기 제1하부모듈의 밑면에 절연막이 형성되는 것을 특징으로 하는 전해질 기울기 센서.
The method according to claim 1,
Wherein an insulating film is formed on the upper surface of the first upper module and the lower surface of the first upper module, and an insulating film is formed on the upper surface of the first lower module and the lower surface of the first lower module.
청구항 1에 있어서,
상기 전해질용액은 메탄올, 에탄올, 글리세린 및 퓨젤오일로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상의 물질로 형성되는 것을 특징으로 하는 전해질 기울기 센서.
The method according to claim 1,
Wherein the electrolyte solution is formed of at least one material selected from the group consisting of methanol, ethanol, glycerin, and fucel oil.
청구항 1의 전해질 기울기 센서의 제조방법에 있어서,
i) 상기 제1상부모듈과 상기 제1하부모듈을 마련하는 단계;
ii) 상기 제1하부모듈의 윗면을 식각하고 상기 제1상부모듈의 밑면을 식각하여, 상기 제1하부모듈에 상기 제1하부홈을 형성하고, 상기 제1상부모듈에 상기 제1상부홈을 형성하는 단계;
iii) 상기 제1하부홈의 바닥면, 상기 제1하부홈의 경사면 및 상기 제1하부모듈의 윗면에 증착물질을 증착시켜 상기 제1하부전극을 형성하고, 또한, 상기 제1상부홈의 바닥면, 상기 제1상부홈의 경사면 및 상기 제1상부모듈의 윗면에 상기 증착물질을 증착시켜 상기 제1상부전극을 형성하는 단계;
iv) 사전에 마련된 상기 제1공통전극을 상기 제1하부모듈의 윗면에 결합하는 단계;
v) 상기 제1하부모듈의 윗면에 제1절연층을 형성하는 단계; 및
vi) 상기 제1하부모듈과 상기 제1상부모듈을 결합하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 전해질 기울기 센서의 제조방법.
In the method of manufacturing the electrolyte tilt sensor of claim 1,
i) providing the first upper module and the first lower module;
ii) etching the upper surface of the first lower module and etching the lower surface of the first upper module to form the first lower groove in the first lower module, and attaching the first upper groove to the first upper module ;
iii) depositing a deposition material on the bottom surface of the first bottom groove, the inclined surface of the first bottom groove, and the top surface of the first bottom module to form the first bottom electrode, Depositing the deposition material on the inclined surface of the first upper groove and the upper surface of the first upper module to form the first upper electrode;
iv) coupling the first common electrode previously provided to the upper surface of the first lower module;
v) forming a first insulation layer on the upper surface of the first lower module; And
and vi) coupling the first lower module and the first upper module to each other.
경사면이 형성된 홈인 제2하부홈이 중앙 부위에 구비된 제2하부모듈;
경사면이 형성된 홈인 제2상부홈이 중앙 부위에 구비되고, 상기 제2하부모듈과 결합하는 제2상부모듈;
상기 제2하부모듈과 상기 제2상부모듈의 결합에 의해 형성되는 내부공간인 제2내부공간에 충진되는 전해질용액;
상기 제2하부모듈의 밑면, 상기 제2하부모듈의 밑면으로부터 상기 제2하부홈의 바닥면으로 관통하는 하부관통로, 상기 제2하부홈의 바닥면 및 상기 제2하부홈의 경사면을 따라 복수 개가 형성되는 제2하부전극;
상기 제2상부모듈의 윗면, 상기 제2상부모듈의 윗면으로부터 상기 제2상부홈의 천장면으로 관통하는 상부관통로, 상기 제2상부홈의 천장면 및 상기 제2상부홈의 경사면을 따라 복수 개가 형성되는 제2상부전극;
상기 제2내부공간에 위치하도록 설치되는 제2공통전극;을 포함하는 것을 특징으로 하는 전해질 기울기 센서.
A second lower module having a second lower groove, which is a groove formed with an inclined surface, at a central portion;
A second upper module having a second upper groove, which is a groove formed with an inclined surface, at a central portion thereof and engaging with the second lower module;
An electrolyte solution filled in a second inner space, which is an inner space formed by the combination of the second lower module and the second upper module;
A bottom penetrating through the bottom surface of the second bottom groove, a bottom surface of the second bottom groove, and a plurality of A second lower electrode on which a dog is formed;
An upper passageway extending from the upper surface of the second upper module to a ceiling surface of the second upper groove, a ceiling surface of the second upper groove, and an inclined surface of the second upper groove, A second upper electrode on which a dog is formed;
And a second common electrode disposed in the second internal space.
청구항 9에 있어서,
상기 제2상부모듈과 상기 제2하부모듈의 기울기 생성 시, 상기 제2내부공간 내 유동하는 상기 전해질용액이 상기 제2상부전극, 상기 제2하부전극 또는 상기 제2공통전극에 접촉하는 범위가 가변하는 것을 특징으로 하는 전해질 기울기 센서.
The method of claim 9,
A range in which the electrolyte solution flowing in the second internal space contacts the second upper electrode, the second lower electrode, or the second common electrode when the inclination of the second upper module and the second lower module is generated Wherein the electrolyte slope sensor is adapted to vary the temperature of the electrolyte.
청구항 9에 있어서,
상기 제2공통전극은,
상기 내부공간의 중심에 위치하는 제2중심전극, 및
상기 제2하부모듈의 윗면에 결합하고, 상기 제2하부모듈의 각 모서리와 상기 제2중심전극을 연결하는 복수 개의 제2연결전극,을 구비하는 것을 특징으로 하는 전해질 기울기 센서.
The method of claim 9,
Wherein the second common electrode comprises:
A second center electrode positioned at the center of the inner space, and
And a plurality of second connection electrodes coupled to an upper surface of the second lower module and connecting the corners of the second lower module to the second center electrode.
청구항 9에 있어서,
상기 제2하부전극은, x축 방향으로 하나 이상 형성되고 y축 방향으로 하나 이상 형성되는 것을 특징으로 하는 전해질 기울기 센서.
The method of claim 9,
Wherein at least one of the second lower electrodes is formed in the x-axis direction and at least one of the second lower electrodes is formed in the y-axis direction.
청구항 9에 있어서,
상기 제2상부전극은, x축 방향으로 하나 이상 형성되고 y축 방향으로 하나 이상 형성되는 것을 특징으로 하는 전해질 기울기 센서.
The method of claim 9,
Wherein at least one of the second upper electrodes is formed in the x-axis direction and at least one of the second upper electrodes is formed in the y-axis direction.
청구항 9에 있어서,
상기 제2상부모듈의 윗면과 상기 제2상부모듈의 밑면에 절연막이 형성되고, 상기 제2하부모듈의 윗면과 상기 제2하부모듈의 밑면에 절연막이 형성되는 것을 특징으로 하는 전해질 기울기 센서.
The method of claim 9,
Wherein an insulating film is formed on the upper surface of the second upper module and the lower surface of the second upper module, and an insulating film is formed on the upper surface of the second lower module and the lower surface of the second lower module.
청구항 9의 전해질 기울기 센서의 제조방법에 있어서,
i) 상기 제2상부모듈과 상기 제2하부모듈을 마련하는 단계;
ii) 상기 제2하부모듈의 윗면을 식각하고 상기 제2상부모듈의 밑면을 식각하여, 상기 제2하부모듈에 상기 제2하부홈을 형성하고, 상기 제2상부모듈에 상기 제2상부홈을 형성하는 단계;
iii) 상기 제2하부모듈의 밑면, 상기 제2하부모듈의 밑면으로부터 상기 제2하부홈의 바닥면으로 관통하는 하부관통로, 상기 제2하부홈의 바닥면 및 상기 제2하부홈의 경사면에 증착물질을 증착시켜 상기 제2하부전극을 형성하고, 또한, 상기 제2상부모듈의 윗면, 상기 제2상부모듈의 윗면으로부터 상기 제2상부홈의 천장면으로 관통하는 상부관통로, 상기 제2상부홈의 천장면 및 상기 제2상부홈의 경사면에 상기 증착물질을 증차시켜 상기 제2상부전극을 형성하는 단계;
iv) 사전에 마련된 상기 제2공통전극을 상기 제2하부모듈의 윗면에 결합하는 단계;
v) 상기 제2하부모듈의 윗면에 제2절연층을 형성하는 단계; 및
vi) 상기 제2하부모듈과 상기 제2상부모듈을 결합하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 전해질 기울기 센서의 제조방법. In the method for manufacturing the electrolyte tilt sensor of claim 9,
i) providing the second upper module and the second lower module;
ii) etching the upper surface of the second lower module and etching the lower surface of the second upper module to form the second lower groove in the second lower module, and attaching the second upper groove to the second upper module ;
iii) a lower through-hole penetrating from the bottom surface of the second lower module to the bottom surface of the second lower groove, a bottom surface of the second lower groove and an inclined surface of the second lower groove Depositing an evaporation material to form the second lower electrode; an upper through-hole extending from the upper surface of the second upper module, the upper surface of the second upper module to the ceiling of the second upper groove, Forming the second upper electrode by growing the deposition material on a ceiling surface of the upper groove and an inclined surface of the second upper groove;
iv) coupling the second common electrode previously provided on the upper surface of the second lower module;
v) forming a second insulating layer on the upper surface of the second lower module; And
and vi) coupling the second lower module and the second upper module to each other.
KR1020170081912A 2017-06-28 2017-06-28 A tilt sensor having electrolyte solution and a method for manufacturing the same KR101811447B1 (en)

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