KR101800158B1 - Roll Printing Apparatus and Method for forming pattern on substrate and Method for manufacturing Liquid Crystal Display Device using the same - Google Patents
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Abstract
본 발명은, 인쇄롤; 상기 인쇄롤에 패턴 물질이 인쇄될 수 있도록, 패턴 물질을 토출하는 인쇄노즐; 상기 인쇄롤에 소정의 패턴이 형성될 수 있도록, 상기 인쇄롤에 인쇄된 패턴 물질의 일부가 전사되는 돌출 패턴을 포함하여 이루어진 패턴 형성부; 상기 돌출 패턴에 전사된 패턴 물질의 일부를 제거하는 세정부; 및 상기 인쇄롤에 형성된 소정의 패턴이 기판 상에 전사되어 상기 기판 상에 소정의 패턴이 형성될 수 있도록, 상기 기판을 지지하면서 이동시키는 지지롤을 포함하여 이루어지며, 상기 돌출 패턴에 전사된 패턴 물질의 일부를 제거하는 공정이 진행되는 동안 상기 기판 상에 소정의 패턴을 형성하는 공정이 함께 진행될 수 있도록 구성된 것을 특징으로 하는 롤 인쇄 장비, 그를 이용한 패턴 형성방법 및 그를 이용한 액정표시장치의 제조방법에 관한 것으로서,
본 발명은 롤 인쇄 장비의 외부에 별도의 세정 장비가 구성되는 것이 아니라 롤 인쇄 장비 내에 하나의 구성으로 세정부가 이루어져 있기 때문에, 추가 공간이 크지 않아 전체 공정 면적을 최소화할 수 있고, 또한, 세정 공정과 패턴 형성 공정이 함께 진행되기 때문에 패턴 형성 공정을 연속 공정으로 진행할 수 있어 공정 시간이 단축되어 생산성이 향상되는 장점이 있다. The present invention relates to a printing press comprising: a printing roll; A printing nozzle for discharging a pattern material so that the pattern material can be printed on the printing roll; A pattern forming unit including a protrusion pattern to which a part of the pattern material printed on the printing roll is transferred so that a predetermined pattern can be formed on the printing roll; A cleaning section for removing a part of the pattern material transferred to the protruding pattern; And a support roll for supporting and moving the substrate so that a predetermined pattern formed on the printing roll is transferred onto the substrate to form a predetermined pattern on the substrate, And a process of forming a predetermined pattern on the substrate during the process of removing a part of the material can be carried out together. The pattern printing method using the pattern printing method, and the method of manufacturing the liquid crystal display using the pattern printing method , ≪ / RTI &
The present invention is not limited to a separate cleaning device outside the roll printing device, but a single cleaning device is provided in the roll printing device. Therefore, the additional space is not large and the entire process area can be minimized, Since the process and the pattern forming process are performed together, the pattern forming process can be performed in a continuous process, thereby shortening the process time and improving the productivity.
Description
본 발명은 롤 인쇄 장비에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 연속적인 패턴 형성이 가능한 롤 인쇄 장비, 그를 이용한 패턴 형성방법 및 그를 이용한 액정표시장치의 제조방법에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a roll printing apparatus, and more particularly, to a roll printing apparatus capable of forming a continuous pattern, a pattern forming method using the same, and a method of manufacturing a liquid crystal display using the same.
반도체 및 디스플레이 장치 분야에서 소정의 패턴을 형성하는 방법으로서 포토리소그라피법(Photolithography)이 널리 이용되고 있는데, 포토리소그라피법은 공정이 복잡하고 고가의 포토 마스크가 요구되는 등의 단점이 있다. Photolithography is widely used as a method of forming a predetermined pattern in the field of semiconductor and display devices. Photolithography is disadvantageous in that the process is complicated and expensive photomask is required.
따라서, 상기 포토리소그라피법을 대체할 수 있는 패턴 형성방법에 대한 연구가 있어왔고, 그 중 하나의 방법이 롤 인쇄법(Roll Printing)이다. Accordingly, there has been studied a pattern forming method which can replace the photolithography method, and one of them is a roll printing method.
상기 롤 인쇄법은 롤에 패턴 물질을 인쇄하고 소정의 인쇄판을 이용하여 불필요한 패턴 물질을 제거한 후 잔존하는 패턴 물질을 기판 상에 전사함으로써 기판 상에 원하는 패턴을 형성하는 기술로서, 이와 같은 롤 인쇄법은 공정이 간단하고 비용이 절감되어 상기 포토리소그라피법에 비하여 경제성 및 생산성 면에서 유리하다. The roll printing method is a technique for forming a desired pattern on a substrate by printing a pattern material on a roll, removing unnecessary pattern material by using a predetermined printing plate, and transferring the remaining pattern material onto the substrate. The process is simple and the cost is reduced, which is advantageous in terms of economy and productivity as compared with the photolithography method.
이하, 도면을 참조로 종래의 롤 인쇄법에 대해서 설명하기로 한다. Hereinafter, a conventional roll printing method will be described with reference to the drawings.
도 1a 내지 도 1c는 종래의 롤 인쇄법에 대한 개략적인 공정 단면도이다. 1A to 1C are schematic process sectional views of a conventional roll printing method.
우선, 도 1a에서 알 수 있듯이, 인쇄노즐(20)에서 패턴 물질(30)을 토출함으로써 회전하는 롤(10)에 패턴 물질(30)을 인쇄한다. 1A, a
상기 롤(10)에는 블랭킷(blanket)(12)이 부착되어 있어, 상기 블랭킷(12)에 상기 패턴 물질(30)이 인쇄된다. A
다음, 도 1b에서 알 수 있듯이, 소정의 돌출부를 구비한 인쇄판(40) 상에서 상기 패턴 물질(30)이 인쇄된 롤(10)을 회전시킨다. 그리하면, 상기 인쇄판(40)의 돌출부에 일부의 패턴 물질(30a)이 전사되고, 따라서, 상기 롤(10)의 블랭킷(12)에는 소정의 패턴으로 패턴 물질(30b)이 잔존하게 된다. Next, as shown in FIG. 1B, the
다음, 도 1c에서 알 수 있듯이, 기판(50) 상에서 상기 인쇄롤(10)을 회전시켜, 상기 기판(10) 상에 패턴 물질(30b)을 전사한다. 1C, the
이와 같이 롤 인쇄법은 상기 도 1b에 따른 공정에서 인쇄판(40)의 돌출부에 일부의 패턴 물질(30a)이 전사되어 있기 때문에, 반복적인 패턴 형성 공정을 위해서 상기 인쇄판(40)에 전사된 패턴 물질(30a)을 제거하는 세정 공정이 필요하다. 1B, a part of the
그러나, 종래의 경우에는 상기 인쇄판(40)을 세정하기 위한 세정기가 인쇄 장비 외부에 별도의 장비로 구성되어 있기 때문에 그를 위한 공간이 추가로 필요하게 되어 전체 공정 면적이 증가되는 문제점이 있다. However, in the conventional case, since the scrubber for cleaning the
또한, 종래의 경우에서는 상기 인쇄판(40)을 세정하는 공정 중에는 패턴 형성 공정을 중단해야 하기 때문에 연속공정이 이루어지지 못하여 공정 시간이 증가되어 생산성이 떨어지는 문제점이 있다. Further, in the conventional case, since the pattern forming process must be stopped during the process of cleaning the
본 발명은 전술한 종래의 문제점을 해결하기 위해 고안된 것으로서, 본 발명은 전체 공정 면적이 줄어들고 연속적인 패턴 형성 공정이 가능한 롤 인쇄 장비, 그를 이용한 패턴 형성방법 및 그를 이용한 액정표시장치의 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. The present invention has been made to solve the above-mentioned problems of the prior art, and it is an object of the present invention to provide a roll printing apparatus capable of reducing the total process area and performing a continuous pattern forming process, a pattern forming method using the same, and a manufacturing method of a liquid crystal display .
본 발명은 상기 목적을 달성하기 위해서, 인쇄롤; 상기 인쇄롤에 패턴 물질이 인쇄될 수 있도록, 패턴 물질을 토출하는 인쇄노즐; 상기 인쇄롤에 소정의 패턴이 형성될 수 있도록, 상기 인쇄롤에 인쇄된 패턴 물질의 일부가 전사되는 돌출 패턴을 포함하여 이루어진 패턴 형성부; 상기 돌출 패턴에 전사된 패턴 물질의 일부를 제거하는 세정부; 및 상기 인쇄롤에 형성된 소정의 패턴이 기판 상에 전사되어 상기 기판 상에 소정의 패턴이 형성될 수 있도록, 상기 기판을 지지하면서 이동시키는 지지롤을 포함하여 이루어지며, 상기 돌출 패턴에 전사된 패턴 물질의 일부를 제거하는 공정이 진행되는 동안 상기 기판 상에 소정의 패턴을 형성하는 공정이 함께 진행될 수 있도록 구성된 것을 특징으로 하는 롤 인쇄 장비를 제공한다. In order to achieve the above object, the present invention provides a printing roll comprising: a printing roll; A printing nozzle for discharging a pattern material so that the pattern material can be printed on the printing roll; A pattern forming unit including a protrusion pattern to which a part of the pattern material printed on the printing roll is transferred so that a predetermined pattern can be formed on the printing roll; A cleaning section for removing a part of the pattern material transferred to the protruding pattern; And a support roll for supporting and moving the substrate so that a predetermined pattern formed on the printing roll is transferred onto the substrate to form a predetermined pattern on the substrate, And a process of forming a predetermined pattern on the substrate during a process of removing a part of the material can be performed together.
상기 패턴 형성부는, 상기 인쇄롤과 마주하면서 상기 인쇄롤과 반대방향으로 회전하는 패턴롤; 상기 패턴롤과 마주하면서 상기 패턴롤과 동일방향으로 회전하는 보조롤; 상기 패턴롤과 상기 보조롤에 감겨 회전하는 인쇄필름; 및 상기 인쇄필름 상에 형성된 상기 돌출 패턴을 포함하여 이루어질 수 있다. Wherein the pattern forming unit comprises: a pattern roll facing the print roll and rotating in a direction opposite to the print roll; An auxiliary roll facing the pattern roll and rotating in the same direction as the pattern roll; A printing film wound and rotated on the pattern roll and the auxiliary roll; And the protruding pattern formed on the print film.
상기 패턴 형성부는, 상기 인쇄롤과 마주하면서 상기 인쇄롤과 반대방향으로 회전하는 패턴롤; 및 상기 패턴롤 상에 형성된 상기 돌출 패턴을 포함하여 이루어질 수 있다. Wherein the pattern forming unit comprises: a pattern roll facing the print roll and rotating in a direction opposite to the print roll; And the protruding pattern formed on the pattern roll.
상기 세정부는, 상기 돌출 패턴에 세정액을 분사하는 세정액 분사장치; 상기 돌출 패턴과 접촉하여 상기 돌출 패턴 상에 형성된 패턴 물질의 일부를 제거하는 블레이드; 및 상기 세정액을 건조하는 건조 장치를 포함하여 이루어질 수 있다.Wherein the cleaning section includes: a cleaning liquid spraying device for spraying a cleaning liquid onto the protruding pattern; A blade contacting the protruding pattern to remove a portion of the pattern material formed on the protruding pattern; And a drying device for drying the cleaning liquid.
상기 세정부는, 서로 동일한 방향으로 회전하는 회수롤 및 와인딩롤; 및 상기 회수롤에서 와인딩롤로 이동하면서 감겨지며, 상기 돌출 패턴에 전사된 패턴 물질의 일부가 전사되는 점착필름을 포함하여 이루어질 수 있다.The cleaner includes: a collection roll and a winding roll that rotate in the same direction; And an adhesive film wound on the take-up roll while moving to the winding roll, wherein a part of the pattern material transferred to the protruding pattern is transferred.
본 발명은 또한, 인쇄노즐에서 패턴 물질을 토출하여 회전하는 인쇄롤에 상기 패턴 물질을 인쇄하는 공정; 상기 인쇄롤로부터 패턴 형성부의 돌출 패턴으로 상기 패턴 물질의 일부를 전사함으로써, 잔존하는 패턴 물질로 이루어진 소정의 패턴을 상기 인쇄롤 상에 형성하는 공정; 상기 돌출 패턴으로 전사된 패턴 물질의 일부를 제거하는 공정; 상기 인쇄롤 상에 형성된 소정의 패턴을 기판에 전사하여 상기 기판 상에 소정의 패턴을 형성하는 공정을 포함하여 이루어지고, 이때, 상기 돌출 패턴에 전사된 패턴 물질의 일부를 제거하는 공정이 진행되는 동안 상기 기판 상에 소정의 패턴을 형성하는 공정이 함께 진행되는 것을 특징으로 하는 패턴 형성 방법을 제공한다. The present invention also provides a process for producing a pattern material, comprising the steps of: printing the pattern material on a printing roll rotating by discharging a pattern material from a printing nozzle; Forming a predetermined pattern of the remaining pattern material on the printing roll by transferring a part of the pattern material from the printing roll to the protruding pattern of the pattern forming portion; Removing a part of the pattern material transferred by the protruding pattern; And a step of transferring a predetermined pattern formed on the printing roll to a substrate to form a predetermined pattern on the substrate. At this time, a step of removing a part of the pattern material transferred to the protruding pattern is performed And a process of forming a predetermined pattern on the substrate is performed during the pattern formation.
상기 돌출 패턴으로 전사된 패턴 물질의 일부를 제거하는 공정은, 패턴롤 및 보조롤을 회전시켜 상기 패턴롤과 보조롤 상에 감겨지며 그 위에 상기 돌출 패턴이 형성된 인쇄필름을 이동시킴과 더불어, 세정액 분사장치에서 상기 돌출 패턴에 세정액을 분사하고, 블레이드를 상기 돌출 패턴과 접촉시켜 상기 돌출 패턴에 형성된 패턴 물질의 일부를 제거하고, 건조장치로 상기 세정액을 건조시키는 공정으로 이루어질 수 있다. Wherein the step of removing a part of the pattern material transferred by the protruding pattern comprises rotating the pattern roll and the auxiliary roll to wind the pattern roll and the auxiliary roll onto the printing film on which the protruding pattern is formed, A step of spraying a cleaning liquid onto the protruding pattern in the injection device, contacting the blade with the protruding pattern to remove a part of the pattern material formed on the protruding pattern, and drying the cleaning liquid with a drying device.
상기 돌출 패턴으로 전사된 패턴 물질의 일부를 제거하는 공정은, 패턴롤을 회전시켜 상기 패턴롤 상에 형성된 돌출 패턴을 이동시킴과 더불어, 세정액 분사장치에서 상기 돌출 패턴에 세정액을 분사하고, 블레이드를 상기 돌출 패턴과 접촉시켜 상기 돌출 패턴에 형성된 패턴 물질의 일부를 제거하고, 건조장치로 상기 세정액을 건조시키는 공정으로 이루어질 수 있다. Wherein the step of removing a portion of the pattern material transferred by the protruding pattern includes rotating the pattern roll to move the protruding pattern formed on the pattern roll and spraying the cleaning liquid onto the protruding pattern in the cleaning liquid ejection apparatus, And a step of contacting the protruding pattern to remove a part of the pattern material formed on the protruding pattern, and drying the cleaning liquid with a drying apparatus.
상기 돌출 패턴으로 전사된 패턴 물질의 일부를 제거하는 공정은, 패턴롤을 회전시켜 상기 패턴롤 상에 형성된 돌출 패턴을 이동시킴과 더불어, 점착필름을 회수롤에서 와인딩롤로 이동시키면서 상기 돌출 패턴에 형성된 패턴 물질의 일부를 상기 점착필름과 접촉시키는 공정으로 이루어질 수 있다. Wherein the step of removing a portion of the pattern material transferred by the protruding pattern comprises rotating the pattern roll to move the protruding pattern formed on the pattern roll and moving the pressure sensitive adhesive film from the recovery roll to the winding roll, And a step of bringing a part of the pattern material into contact with the adhesive film.
본 발명은 또한, 기판 상에 차광층을 패턴 형성하는 공정; 상기 차광층 사이에 컬러 필터층을 패턴 형성하는 공정; 상기 기판과 대향하는 대향 기판 상에 배선들 및 박막 트랜지스터를 패턴 형성하는 공정; 상기 양 기판 사이에 액정층을 형성하면서 상기 양 기판을 합착하는 공정을 포함하여 이루어지고, 상기 차광층을 패턴 형성하는 공정, 상기 컬러 필터층을 패턴 형성하는 공정, 상기 배선들을 패턴 형성하는 공정, 및 상기 박막 트랜지스터를 패턴 형성하는 공정 중 적어도 하나의 공정은 전술한 제6항 내지 제9항 중 어느 한 항에 따른 패턴 형성 방법을 이용하여 수행하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법을 제공한다. The present invention also provides a method of manufacturing a light-emitting device, comprising the steps of: forming a light- Forming a color filter layer pattern between the light shielding layers; Forming patterns of wirings and thin film transistors on a counter substrate facing the substrate; A step of patterning the light-shielding layer, a step of pattern-forming the color filter layer, a step of pattern-forming the wirings, and a step of forming a light- Wherein at least one of the steps of patterning the thin film transistor is performed using the method of forming a pattern according to any one of claims 6 to 9 .
이상과 같은 본 발명에 따르면 다음과 같은 효과가 있다. According to the present invention as described above, the following effects can be obtained.
본 발명은 롤 인쇄 장비의 외부에 별도의 세정 장비가 구성되는 것이 아니라 롤 인쇄 장비 내에 하나의 구성으로 세정부가 이루어져 있기 때문에, 추가 공간이 크지 않아 전체 공정 면적을 최소화할 수 있는 장점이 있다. The present invention is advantageous in that the entire process area can be minimized because no extra cleaning equipment is provided outside the roll printing equipment, and the cleaning space is small in one configuration in the roll printing equipment.
또한, 본 발명은 세정 공정과 패턴 형성 공정이 함께 진행되기 때문에 패턴 형성 공정을 연속 공정으로 진행할 수 있어 공정 시간이 단축되어 생산성이 향상되는 장점이 있다. In addition, since the cleaning process and the pattern forming process are performed together, the pattern forming process can be performed in a continuous process, thereby shortening the process time and improving the productivity.
도 1a 내지 도 1c는 종래의 롤 인쇄법에 대한 개략적인 공정 단면도이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 롤 인쇄 장비 및 그를 이용한 패턴 형성방법을 보여주는 모식도이다.
도 3은 본 발명의 제2 실시예에 따른 롤 인쇄 장비 및 그를 이용한 패턴 형성방법을 보여주는 모식도이다.
도 4는 본 발명의 제3 실시예에 따른 롤 인쇄 장비 및 그를 이용한 패턴 형성방법을 보여주는 모식도이다.
도 5a 내지 도 5d는 본 발명의 일 실시예에 따른 액정표시장치 제조방법에 대한 개략적인 공정 단면도이다. 1A to 1C are schematic process sectional views of a conventional roll printing method.
2 is a schematic view showing a roll printing equipment according to a first embodiment of the present invention and a pattern forming method using the same.
3 is a schematic view showing a roll printing equipment according to a second embodiment of the present invention and a pattern forming method using the same.
4 is a schematic view showing a roll printing equipment according to a third embodiment of the present invention and a pattern forming method using the same.
5A to 5D are schematic process sectional views of a method of manufacturing a liquid crystal display device according to an embodiment of the present invention.
이하, 도면을 참조로 본 발명의 바람직한 실시예에 대해서 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 롤 인쇄 장비 및 그를 이용한 패턴 형성방법을 보여주는 모식도이다. 2 is a schematic view showing a roll printing equipment according to a first embodiment of the present invention and a pattern forming method using the same.
도 2에서 알 수 있듯이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 롤 인쇄 장비는, 인쇄롤(Printing Roll)(100), 인쇄 노즐(Printing Nozzle)(200), 패턴 형성부(300), 세정부(400), 및 지지롤(500)을 포함하여 이루어진다. 2, the roll printing apparatus according to the first embodiment of the present invention includes a
상기 인쇄롤(100)에는 패턴 물질(250)이 인쇄되고, 그 후 상기 인쇄된 패턴 물질(250)은 다른 구성으로 전사(transfer)된다. 따라서, 패턴 물질(250)의 인쇄 및 전사를 용이하게 하기 위해서, 상기 인쇄롤(100)은 회전하는 롤의 표면에 블랭킷(blanket)(110)이 부착되어 이루어진다. A
상기 인쇄롤(100)에는 상기 인쇄 노즐(200)에서 토출한 패턴 물질(250)이 인쇄되므로, 상기 패턴 물질(250)의 인쇄를 용이하게 하기 위해서 상기 인쇄롤(100)과 인쇄 노즐(200)은 소정의 거리를 두고 이격되어 있다. Since the
상기 인쇄롤(100)은 상기 패턴 형성부(300)와의 상호작용을 통해서 소정의 패턴(250b)을 형성하게 된다. 보다 구체적으로는, 상기 인쇄롤(100)에 인쇄된 패턴 물질의 일부(250a)는 상기 패턴 형성부(300)의 돌출 패턴(330) 상으로 전사되고, 따라서, 상기 돌출 패턴(330)으로 전사되지 않은 패턴 물질의 잔부(250b)가 상기 인쇄롤(100)에 남게 되어 소정의 패턴(250b)을 형성하게 된다. The
상기 인쇄롤(100)은 상기 지지롤(500)과의 상호작용을 통해서 기판(600) 상에 소정의 패턴(250b)을 형성하게 된다. 보다 구체적으로는, 상기 인쇄롤(100)과 상기 지지롤(500) 사이로 기판(600)이 투입되어 이동하게 되며, 이때 상기 인쇄롤(100)에 형성된 소정의 패턴(250b)이 상기 기판(600)에 전사되어 상기 기판(600) 상에 소정의 패턴(250b)이 형성된다. The
상기 인쇄 노즐(200)은 그 내부에 패턴 물질(250)을 수용하고 있으며, 수용한 패턴 물질(250)을 토출하여 상기 인쇄롤(100)의 블랭킷(110) 상에 패턴 물질(250)이 인쇄되도록 한다. The
상기 패턴 형성부(300)는 패턴롤(310), 인쇄필름(320), 돌출 패턴(330), 및 보조롤(340)을 포함하여 이루어진다. The
상기 패턴롤(310)은 상기 인쇄롤(100)과 마주하면서, 보다 구체적으로는, 상기 인쇄롤(100)의 상부에서 상기 인쇄롤(100)과 마주하면서 상기 인쇄롤(100)의 회전방향과 반대방향으로 회전한다. 즉, 상기 인쇄롤(100)이 시계방향으로 회전하면 상기 패턴롤(310)은 시계 반대방향으로 회전한다. The
상기 인쇄필름(320)은 상기 패턴롤(310) 상에 감겨져 있어, 상기 패턴롤(310)과 함께 회전하게 된다. 특히, 상기 인쇄필름(320)은 상기 패턴롤(310)과 상기 보조롤(340)에 함께 감겨져 회전한다. The
상기 돌출 패턴(330)은 상기 인쇄 필름(320) 상에 형성되어 있어, 상기 인쇄롤(110)에 인쇄된 패턴 물질의 일부(250a)가 전사될 수 있도록 한다. 따라서, 상기 돌출 패턴(330)은 상기 인쇄롤(110)에 잔존하는 패턴(250b)의 형태를 고려하여 형성된다. 상기 돌출 패턴(330)에 전사된 패턴 물질의 일부(250a)는 상기 인쇄필름(320)과 함께 패턴롤(310)과 보조롤(340) 사이에서 회전하며 이동하고, 그 과정에서 상기 세정부(400)의 작용에 의해 상기 돌출 패턴(330)으로부터 제거된다. The
상기 보조롤(340)은 상기 패턴롤(310)과 마주하면서, 구체적으로는, 상기 패턴롤(310)의 측부에서 상기 패턴롤(310)과 마주하면서 상기 패턴롤(310)의 회전 방향과 동일한 방향으로 회전한다. The
상기 보조롤(340)은 패턴 형성 공정을 방해하지 않으면서 상기 돌출 패턴(330)에 전사된 패턴 물질의 일부(250a)에 대한 제거공정을 용이하게 하기 위해서, 상기 패턴 물질의 일부(250a)를 세정부(400)까지 이동시키는 역할을 한다. 즉, 상기 보조롤(340)이 없어도 패턴 형성 공정은 수행할 수 있지만, 그 경우에는 세정부(400)를 상기 패턴롤(310) 근방에 설치해야 하기 때문에 세정 공정에 의해 패턴 형성 공정이 방해를 받을 수 있게 된다. 따라서, 상기 패턴롤(310)의 측부에 보조롤(340)을 구성하고, 상기 보조롤(340) 근방에 세정부(400)를 설치함으로써, 패턴 형성 공정을 방해하지 않으면서 세정 공정을 수행할 수 있게 된다. The
상기 세정부(400)는 세정액 분사장치(410), 블레이드(blade)(420), 수용조(430), 및 건조장치(440)를 포함하여 이루어진다. The
상기 세정액 분사장치(410)는 상기 패턴 형성부(300), 특히, 상기 돌출 패턴(330)에 세정액을 분사함으로써, 상기 돌출 패턴(330) 상에 형성된 패턴 물질의 일부(250a)를 제거한다. The cleaning
상기 세정액 분사장치(410)는 상기 보조롤(340)의 측부에 형성되며, 상기 돌출 패턴(330)이 이동하는 방향을 기준으로 상기 블레이드(420)보다 전방에 위치하는 것이 바람직하다. The cleaning
상기 블레이드(420)는 상기 돌출 패턴(330)과 접촉하여 상기 돌출 패턴(330) 상에 형성된 패턴 물질의 일부(250a)를 완전히 제거한다. 즉, 상기 세정액 분사장치(410)에 의해서 패턴 물질의 일부(250a)가 어느 정도 제거되기는 하지만 완전히 제거되지 않을 수 있기 때문에 상기 블레이드(420)를 통해 상기 돌출 패턴(330) 상에 잔류하는 패턴 물질의 일부(250a)를 완전히 제거하는 것이다. 따라서, 상기 블레이드(420)는 상기 돌출 패턴(330)이 이동하는 방향을 기준으로 상기 세정액 분사장치(410)의 후방에 위치한다. The
상기 수용조(430)는 상기 블레이드(420)의 하부에 위치하여, 상기 블레이드(420)와의 접촉에 의해 제거되거나 또는 상기 세정액 분사장치(410)에 의해 제거되는 패턴 물질의 일부(250a)를 수용하게 된다. The receiving
상기 건조장치(440)는 상기 세정액 분사장치(410)에 의해 분사된 세정액을 건조시키는 것으로서, 상기 돌출 패턴(330)이 이동하는 방향을 기준으로 상기 블레이드(420) 후방에 위치한다. The
상기 지지롤(500)은 상기 인쇄롤(100)과 마주하면서, 보다 구체적으로는, 상기 인쇄롤(100)의 하부에서 상기 인쇄롤(100)과 마주하면서 상기 인쇄롤(100)의 회전방향과 반대방향으로 회전한다. 즉, 상기 인쇄롤(100)이 시계방향으로 회전하면 상기 지지롤(500)은 시계 반대방향으로 회전한다. The supporting
상기 지지롤(500)은 기판(600)을 지지하면서 기판(600)을 이동시키는 역할을 하는 것이다. 따라서, 상기 지지롤(500)과 인쇄롤(100) 사이에 기판(600)이 투입되어 이동하게 되고, 이와 같이 기판(600)이 이동하면서 상기 인쇄롤(100) 상에 형성된 소정의 패턴(250b)이 상기 기판(600)상으로 전사된다. 따라서, 상기 기판(600)상에 소정의 패턴(250b)이 형성된다. The
이상과 같이, 본 발명은 롤 인쇄 장비의 외부에 별도의 세정 장비가 구성되는 것이 아니라 롤 인쇄 장비 내에 하나의 구성으로 세정부(400)가 이루어져 있기 때문에, 추가 공간이 크지 않아 전체 공정 면적을 최소화할 수 있는 장점이 있다. As described above, according to the present invention, the cleaning unit is not provided outside the roll printing equipment, but the
또한, 본 발명은 세정 공정과 패턴 형성 공정이 함께 진행되기 때문에 패턴 형성 공정을 연속 공정으로 진행할 수 있어 공정 시간이 단축되어 생산성이 향상되는 장점이 있다. In addition, since the cleaning process and the pattern forming process are performed together, the pattern forming process can be performed in a continuous process, thereby shortening the process time and improving the productivity.
이상과 같은 본 발명에 제1 실시예에 따른 롤 인쇄 장비를 이용한 패턴 형성방법을 설명하면 다음과 같다. The pattern forming method using the roll printing equipment according to the first embodiment of the present invention will now be described.
우선, 상기 인쇄노즐(200)에서 패턴 물질(250)을 토출함으로써 회전하는 인쇄롤(100), 구체적으로는 블랭킷(110) 상에 패턴 물질(250)을 인쇄한다. First, the
다음, 상기 인쇄롤(100)로부터 패턴 형성부(300)의 돌출 패턴(330)으로 패턴 물질(250)의 일부(250a)를 전사(transfer)함으로써, 잔존하는 패턴 물질로 이루어진 소정의 패턴(250b)을 상기 인쇄롤(100) 상에 형성한다. Next, a
상기 인쇄롤(100)로부터 돌출 패턴(330)으로 패턴 물질(250)의 일부(250a)를 전사(transfer)하는 공정은, 상기 패턴롤(310)을 인쇄롤(100)과 반대방향으로 회전시켜 상기 패턴롤(310) 상에 감겨진 인쇄필름(320)을 이동시키고, 그에 따라 상기 인쇄필름(320) 상에 형성된 돌출 패턴(330)과 상기 인쇄롤(100)에 인쇄된 패턴 물질(250)을 접촉시키는 공정으로 이루어진다. The step of transferring a
다음, 상기 돌출 패턴(330)으로 전사된 패턴 물질의 일부(250a)를 제거함과 더불어 상기 인쇄롤(100) 상에 형성된 소정의 패턴(250b)을 기판(600) 상에 형성한다. A
상기 돌출 패턴(330)으로 전사된 패턴 물질의 일부(250a)를 제거하는 공정은, 상기 패턴롤(310)과 동일한 방향으로 보조롤(340)을 회전시켜 상기 패턴롤(310) 및 보조롤(340) 상에 감겨진 인쇄필름(320)을 이동시키고, 그에 따라 상기 패턴 물질의 일부(250a)가 형성된 돌출 패턴(300)을 상기 보조롤(340) 측부의 세정부(400) 방향으로 이동시킴과 더불어, 세정액 분사장치(410)에서 상기 돌출 패턴(330)에 세정액을 분사하고, 블레이드(420)를 상기 돌출 패턴(330)과 접촉시켜 상기 패턴 물질의 일부(250a)를 제거한 후, 건조장치(440)로 세정액을 건조시키는 공정으로 이루어진다. The step of removing a
상기 인쇄롤(100) 상에 형성된 소정의 패턴(250b)을 기판(600) 상에 형성하는 공정은, 상기 지지롤(500)을 상기 인쇄롤(100)과 반대방향으로 회전시켜 상기 지지롤(500)과 인쇄롤(100) 사이로 기판(600)을 이동시킴으로써, 상기 소정의 패턴(250b)을 기판(600) 상으로 전사(transfer)하는 공정으로 이루어진다. The step of forming a
여기서, 상기 패턴 물질의 일부(250a)를 제거하는 공정과 소정의 패턴(250b)을 기판(600) 상에 형성하는 공정 각각은 서로 어떠한 영향도 받지 않으면서 독립적으로 수행된다. 즉, 상기 패턴 물질의 일부(250a)를 제거는 공정을 진행하는 동안 소정의 패턴(250b)을 기판(600) 상에 형성하는 공정을 중단할 필요가 없고, 또한, 소정의 패턴(250b)을 기판(600) 상에 형성하는 공정을 진행하는 동안 상기 패턴 물질의 일부(250a)를 제거하는 공정을 중단할 필요가 없다. 다시 말하면, 상기 패턴 물질의 일부(250a)를 제거하는 공정을 진행하는 동안 소정의 패턴(250b)을 기판(600) 상에 형성하는 공정도 함께 진행된다. Here, the step of removing the
도 3은 본 발명의 제2 실시예에 따른 롤 인쇄 장비 및 그를 이용한 패턴 형성방법을 보여주는 모식도이다. 3 is a schematic view showing a roll printing equipment according to a second embodiment of the present invention and a pattern forming method using the same.
도 3에서 알 수 있듯이, 본 발명의 제2 실시예에 따른 롤 인쇄 장비는, 인쇄롤(Printing Roll)(100), 인쇄 노즐(Printing Nozzle)(200), 패턴 형성부(300), 세정부(400), 및 지지롤(500)을 포함하여 이루어진다. 3, the roll printing equipment according to the second embodiment of the present invention includes a
상기 인쇄롤(100)은 전술한 제1 실시예에서와 마찬가지로 회전하는 롤의 표면에 부착된 블랭킷(blanket)(110)을 포함하여 이루어지며, 그에 대한 반복 설명은 생략하기로 한다. The
상기 인쇄 노즐(200)도 전술한 제1 실시예에서와 마찬가지로 그 내부에 패턴 물질(250)을 수용하고 있으며, 수용한 패턴 물질(250)을 토출하여 상기 인쇄롤(100)의 블랭킷(110) 상에 패턴 물질(250)이 인쇄되도록 한다. The
상기 패턴 형성부(300)는 패턴롤(310) 및 돌출 패턴(330)을 포함하여 이루어진다. The
상기 패턴롤(310)은 상기 인쇄롤(100)과 마주하면서, 보다 구체적으로는, 상기 인쇄롤(100)의 일 측부(예로서 좌측)에서 상기 인쇄롤(100)과 마주하면서 상기 인쇄롤(100)의 회전방향과 반대방향으로 회전한다. The
상기 돌출 패턴(330)은 상기 패턴롤(310) 상에 형성되어 있어, 상기 인쇄롤(110)에 인쇄된 패턴 물질의 일부(250a)가 전사될 수 있도록 한다. 상기 돌출 패턴(330)에 전사된 패턴 물질의 일부(250a)는 상기 세정부(400)의 작용에 의해 상기 돌출 패턴(330)으로부터 제거된다. The
상기 세정부(400)는 전술한 제1 실시예에서와 마찬가지로 세정액 분사장치(410), 블레이드(blade)(420), 수용조(430), 및 건조장치(440)를 포함하여 이루어진다. The
상기 세정액 분사장치(410)는 상기 돌출 패턴(330)에 세정액을 분사함으로써, 상기 돌출 패턴(330) 상에 형성된 패턴 물질의 일부(250a)를 제거한다. 상기 세정액 분사장치(410)는 상기 패턴롤(310)의 측부에 형성되며, 상기 돌출 패턴(330)이 이동하는 방향을 기준으로 상기 블레이드(420)보다 전방에 위치하는 것이 바람직하다. The cleaning
상기 블레이드(420)는 상기 돌출 패턴(330)과 접촉하여 상기 돌출 패턴(330) 상에 형성된 패턴 물질의 일부(250a)를 완전히 제거한다. The
상기 수용조(430)는 상기 블레이드(420)의 하부에 위치하여, 상기 블레이드(420)와의 접촉에 의해 제거되거나 또는 상기 세정액 분사장치(410)에 의해 제거되는 패턴 물질의 일부(250a)를 수용하게 된다. The receiving
상기 건조장치(440)는 상기 세정액 분사장치(410)에 의해 분사된 세정액을 건조시키는 것으로서, 상기 돌출 패턴(330)이 이동하는 방향을 기준으로 상기 블레이드(420) 후방에 위치한다. The
상기 지지롤(500)은 상기 인쇄롤(100)과 마주하면서, 보다 구체적으로는, 상기 인쇄롤(100)의 타측부(예로서 우측)에서 상기 인쇄롤(100)과 마주하면서 상기 인쇄롤(100)의 회전방향과 반대방향으로 회전한다. The
상기 지지롤(500)은 기판(600)을 이동시키는 역할을 하는 것으로서, 상기 지지롤(500)과 인쇄롤(100) 사이로 기판(600)이 이동하게 되고, 기판(600)이 이동하면서 상기 인쇄롤(100) 상에 형성된 소정의 패턴(250b)이 상기 기판(600)상으로 전사되어, 기판(600)상에 소정의 패턴(250b)이 형성된다. The
이때, 상기 기판(600)은 도시된 바와 같이 필름의 형태로 이루어져 상기 지지롤(500)의 회전방향에 따라 회전하면서 이동할 수 있다. At this time, the
이상과 같이, 본 발명의 제2 실시예도 롤 인쇄 장비 내에 하나의 구성으로 세정부(400)가 이루어져 있기 때문에 추가 공간이 크지 않아 전체 공정 면적을 최소화할 수 있는 장점이 있고, 또한, 세정 공정과 패턴 형성 공정이 함께 진행되기 때문에 패턴 형성 공정을 연속 공정으로 진행할 수 있어 공정 시간이 단축되어 생산성이 향상되는 장점이 있다. As described above, according to the second embodiment of the present invention, since the
이상과 같은 본 발명에 제2 실시예에 따른 롤 인쇄 장비를 이용한 패턴 형성방법을 설명하면 다음과 같다. The pattern forming method using the roll printing equipment according to the second embodiment of the present invention will now be described.
우선, 상기 인쇄노즐(200)에서 패턴 물질(250)을 토출함으로써 회전하는 인쇄롤(100), 구체적으로는 블랭킷(110) 상에 패턴 물질(250)을 인쇄한다. First, the
다음, 상기 인쇄롤(100)로부터 패턴 형성부(300)의 돌출 패턴(330)으로 패턴 물질(250)의 일부(250a)를 전사(transfer)함으로써, 잔존하는 패턴 물질로 이루어진 소정의 패턴(250b)을 상기 인쇄롤(100) 상에 형성한다. Next, a
상기 인쇄롤(100)로부터 돌출 패턴(330)으로 패턴 물질(250)의 일부(250a)를 전사(transfer)하는 공정은, 상기 패턴롤(310)을 인쇄롤(100)과 반대방향으로 회전시켜 상기 패턴롤(310) 상에 형성된 돌출 패턴(330)과 상기 인쇄롤(100)에 인쇄된 패턴 물질(250)을 접촉시키는 공정으로 이루어진다. The step of transferring a
다음, 상기 돌출 패턴(330)으로 전사된 패턴 물질의 일부(250a)를 제거함과 더불어 상기 인쇄롤(100) 상에 형성된 소정의 패턴(250b)을 기판(600) 상에 형성한다. A
상기 돌출 패턴(330)으로 전사된 패턴 물질의 일부(250a)를 제거하는 공정은, 상기 패턴롤(310)을 회전시켜 상기 패턴 물질의 일부(250a)가 형성된 돌출 패턴(300)을 상기 세정부(400) 방향으로 이동시킴과 더불어, 세정액 분사장치(410)에서 상기 돌출 패턴(330)에 세정액을 분사하고, 블레이드(420)를 상기 돌출 패턴(330)과 접촉시켜 상기 패턴 물질의 일부(250a)를 제거한 후, 건조장치(440)로 세정액을 건조시키는 공정으로 이루어진다. The step of removing a
상기 인쇄롤(100) 상에 형성된 소정의 패턴(250b)을 기판(600) 상에 형성하는 공정은, 상기 지지롤(500)을 상기 인쇄롤(100)과 반대방향으로 회전시켜 상기 지지롤(500)과 인쇄롤(100) 사이로 기판(600)을 이동시킴으로써, 상기 소정의 패턴(250b)을 기판(600) 상으로 전사(transfer)하는 공정으로 이루어진다. The step of forming a
이때, 전술한 바와 같이, 상기 기판(600)은 필름의 형태로 이루어져 상기 지지롤(500)의 회전방향에 따라 회전하면서 이동할 수 있다. At this time, as described above, the
전술한 제1 실시예에서와 마찬가지로, 상기 패턴 물질의 일부(250a)를 제거하는 공정을 진행하는 동안 소정의 패턴(250b)을 기판(600) 상에 형성하는 공정도 함께 진행되기 때문에, 상기 패턴 물질의 일부(250a)를 제거하는 공정과 소정의 패턴(250b)을 기판(600) 상에 형성하는 공정 각각은 서로 어떠한 영향도 받지 않으면서 독립적으로 수행된다. Since the process of forming the
도 4는 본 발명의 제3 실시예에 따른 롤 인쇄 장비 및 그를 이용한 패턴 형성방법을 보여주는 모식도이다. 4 is a schematic view showing a roll printing equipment according to a third embodiment of the present invention and a pattern forming method using the same.
도 4에서 알 수 있듯이, 본 발명의 제3 실시예에 따른 롤 인쇄 장비는, 인쇄롤(Printing Roll)(100), 인쇄 노즐(Printing Nozzle)(200), 패턴 형성부(300), 세정부(400), 및 지지롤(500)을 포함하여 이루어진다. 4, the roll printing apparatus according to the third embodiment of the present invention includes a
상기 인쇄롤(100)은 전술한 제1 실시예에서와 마찬가지로 회전하는 롤의 표면에 부착된 블랭킷(blanket)(110)을 포함하여 이루어지며, 그에 대한 반복 설명은 생략하기로 한다. The
상기 인쇄 노즐(200)도 전술한 제1 실시예에서와 마찬가지로 그 내부에 패턴 물질(250)을 수용하고 있으며, 수용한 패턴 물질(250)을 토출하여 상기 인쇄롤(100)의 블랭킷(110) 상에 패턴 물질(250)이 인쇄되도록 한다. The
상기 패턴 형성부(300)는 패턴롤(310) 및 돌출 패턴(330)을 포함하여 이루어진다. The
상기 패턴롤(310)은 상기 인쇄롤(100)과 마주하면서, 보다 구체적으로는, 상기 인쇄롤(100)의 상부에서 상기 인쇄롤(100)과 마주하면서 상기 인쇄롤(100)의 회전방향과 반대방향으로 회전한다. The
상기 돌출 패턴(330)은 상기 패턴롤(310) 상에 형성되어 있어, 상기 인쇄롤(110)에 인쇄된 패턴 물질의 일부(250a)가 전사될 수 있도록 한다. 상기 돌출 패턴(330)에 전사된 패턴 물질의 일부(250a)는 상기 세정부(400)의 작용에 의해 상기 돌출 패턴(330)으로부터 제거된다. The
상기 세정부(400)는 회수롤(450), 와인딩롤(460), 및 점착필름(470)을 포함하여 이루어진다. The
상기 회수롤(450)은 상기 패턴롤(310)과 마주하면서, 보다 구체적으로는, 상기 패턴롤(310)의 측부에서 상기 패턴롤(310)과 마주하면서 상기 패턴롤(310)의 회전방향과 반대방향으로 회전한다. The
상기 와인딩롤(460)은 상기 회수롤(450)과 마주하면서, 보다 구체적으로는, 상기 회수롤(450)의 측부에서 상기 회수롤(450)과 마주하면서 상기 회수롤(450)과 동일한 방향으로 회전한다. The winding
상기 점착필름(460)은 상기 회수롤(450)에서 상기 와인딩롤(460)로 이동하면서 감겨지도록 구성되어 있으며, 상기 돌출 패턴(330)에 전사된 패턴 물질의 일부(250a)가 전사될 수 있도록 한다. 즉, 상기 돌출 패턴(330)에 전사된 패턴 물질의 일부(250a)는 상기 점착필름(460)과의 접촉에 의해서 상기 점착필름(460)으로 전사되고, 상기 점착필름(460)과 함께 상기 와인딩롤(460)로 이동하여 감겨진다. The
상기 지지롤(500)은 상기 인쇄롤(100)과 마주하면서, 보다 구체적으로는, 상기 인쇄롤(100)의 하부에서 상기 인쇄롤(100)과 마주하면서 상기 인쇄롤(100)의 회전방향과 반대방향으로 회전한다. The supporting
상기 지지롤(500)은 기판(600)을 이동시키는 역할을 하는 것으로서, 상기 지지롤(500)과 인쇄롤(100) 사이로 기판(600)이 이동하게 되고, 기판(600)이 이동하면서 상기 인쇄롤(100) 상에 형성된 소정의 패턴(250b)이 상기 기판(600)상으로 전사되어, 기판(600)상에 소정의 패턴(250b)이 형성된다. The
이상과 같이, 본 발명의 제3 실시예도 롤 인쇄 장비 내에 하나의 구성으로 세정부(400)가 이루어져 있기 때문에 추가 공간이 크지 않아 전체 공정 면적을 최소화할 수 있는 장점이 있고, 또한, 세정 공정과 패턴 형성 공정이 함께 진행되기 때문에 패턴 형성 공정을 연속 공정으로 진행할 수 있어 공정 시간이 단축되어 생산성이 향상되는 장점이 있다. As described above, in the third embodiment of the present invention, since the
이상과 같은 본 발명에 제3 실시예에 따른 롤 인쇄 장비를 이용한 패턴 형성방법을 설명하면 다음과 같다. The pattern forming method using the roll printing equipment according to the third embodiment of the present invention will now be described.
우선, 상기 인쇄노즐(200)에서 패턴 물질(250)을 토출함으로써 회전하는 인쇄롤(100), 구체적으로는 블랭킷(110) 상에 패턴 물질(250)을 인쇄한다. First, the
다음, 상기 인쇄롤(100)로부터 패턴 형성부(300)의 돌출 패턴(330)으로 패턴 물질(250)의 일부(250a)를 전사(transfer)함으로써, 잔존하는 패턴 물질로 이루어진 소정의 패턴(250b)을 상기 인쇄롤(100) 상에 형성한다. Next, a
상기 인쇄롤(100)로부터 돌출 패턴(330)으로 패턴 물질(250)의 일부(250a)를 전사(transfer)하는 공정은, 상기 패턴롤(310)을 인쇄롤(100)과 반대방향으로 회전시켜 상기 패턴롤(310) 상에 형성된 돌출 패턴(330)과 상기 인쇄롤(100)에 인쇄된 패턴 물질(250)을 접촉시키는 공정으로 이루어진다. The step of transferring a
다음, 상기 돌출 패턴(330)으로 전사된 패턴 물질의 일부(250a)를 제거함과 더불어 상기 인쇄롤(100) 상에 형성된 소정의 패턴(250b)을 기판(600) 상에 형성한다. A
상기 돌출 패턴(330)으로 전사된 패턴 물질의 일부(250a)를 제거하는 공정은, 상기 패턴롤(310)을 회전시켜 상기 패턴 물질의 일부(250a)가 형성된 돌출 패턴(300)을 상기 세정부(400) 방향으로 이동시킴과 더불어, 상기 점착필름(460)을 상기 회수롤(450)에서 상기 와인딩롤(460)로 이동시키면서 상기 패턴 물질의 일부(250a)를 상기 점착필름(460)과 접촉시키는 공정으로 이루어진다. The step of removing a
상기 인쇄롤(100) 상에 형성된 소정의 패턴(250b)을 기판(600) 상에 형성하는 공정은, 상기 지지롤(500)을 상기 인쇄롤(100)과 반대방향으로 회전시켜 상기 지지롤(500)과 인쇄롤(100) 사이로 기판(600)을 이동시킴으로써, 상기 소정의 패턴(250b)을 기판(600) 상으로 전사(transfer)하는 공정으로 이루어진다. The step of forming a
전술한 제1 실시예에서와 마찬가지로, 상기 패턴 물질의 일부(250a)를 제거하는 공정을 진행하는 동안 소정의 패턴(250b)을 기판(600) 상에 형성하는 공정도 함께 진행되기 때문에, 상기 패턴 물질의 일부(250a)를 제거하는 공정과 소정의 패턴(250b)을 기판(600) 상에 형성하는 공정 각각은 서로 어떠한 영향도 받지 않으면서 독립적으로 수행된다.Since the process of forming the
본 발명은 이상과 같은 패턴 형성방법을 이용한 액정표시장치의 제조방법을 제공하며, 이하에서 그에 대해서 상세히 설명하기로 한다. The present invention provides a method of manufacturing a liquid crystal display device using the above-described pattern forming method, and will be described in detail below.
도 5a 내지 도 5d는 본 발명의 일 실시예에 따른 액정표시장치 제조방법에 대한 개략적인 공정 단면도이다. 5A to 5D are schematic process sectional views of a method of manufacturing a liquid crystal display device according to an embodiment of the present invention.
우선, 도 5a에서 알 수 있듯이, 기판(600) 상에 차광층(610)을 패턴 형성한다. 5A, a
상기 차광층(610)은 화소 영역 이외의 영역으로 광이 누설되는 것을 차단하기 위한 것으로서 매트릭스 형상으로 패턴 형성한다. The
상기 차광층(610)의 패턴 형성은 전술한 도 2, 도 3, 또는 도 4에 도시한 패턴 형성 공정을 이용할 수 있다. The pattern formation of the
다음, 도 5b에서 알 수 있듯이, 상기 차광층(610) 사이에 적색(R), 녹색(G), 및 청색(B)의 컬러 필터층(620)을 패턴 형성한다. 5B, a
상기 컬러 필터층(620)의 패턴 형성도 전술한 도 2, 도 3, 또는 도 4에 도시한 패턴 형성 공정을 이용할 수 있다. The pattern formation of the
다음, 도 5c에서 알 수 있듯이, 상기 컬러 필터층(620) 상에 오버 코트층(630)을 형성한다. 상기 오버 코트층(630)은 기판을 평탄화하고 상기 컬러 필터층(620)을 보호하기 위한 것으로 기판 전면에 형성한다. Next, as shown in FIG. 5C, an
다음, 도 5d에서 알 수 있듯이, 상기 기판(600)과 대향하는 대향 기판(700)을 준비하고, 상기 양 기판(600, 700) 사이에 액정층(800)을 형성하면서 상기 양 기판(600, 700)을 합착한다. 5D, a
구체적으로 도시하지 않았지만, 상기 대향 기판(700) 상에는 화소 영역을 정의하기 위한 게이트 라인과 데이터 라인이 교차배열되어 있고, 상기 게이트 라인과 데이터 라인이 교차하는 영역에 스위칭소자로서 박막 트랜지스터가 형성되어 있고, 상기 화소 영역에 액정을 구동하기 위한 화소 전극과 공통 전극이 형성되어 있다. Though not specifically shown, on the
상기 박막 트랜지스터는 상기 게이트 라인과 연결되는 게이트 전극, 상기 데이터 라인과 연결되는 소스 전극, 상기 소스 전극과 마주하는 드레인 전극, 및 전자가 이동하는 채널역할을 하는 반도체층을 포함하여 이루어진다. The thin film transistor includes a gate electrode connected to the gate line, a source electrode connected to the data line, a drain electrode facing the source electrode, and a semiconductor layer serving as a channel through which electrons move.
또한, 상기 대향 기판(700)에는 상기 게이트 전극을 절연하기 위한 게이트 절연막 및 상기 박막 트랜지스터를 보호하기 위한 보호막과 같은 절연막이 형성되어 있다. In the
여기서, 상기 대향 기판(700)을 구성하는 배선들 또는 박막 트랜지스터의 패턴 형성은 전술한 도 2, 도 3, 또는 도 4에 도시한 패턴 형성 공정을 이용할 수 있다. Here, the pattern formation process of the above-described FIG. 2, FIG. 3, or FIG. 4 can be used to form the pattern of the wiring or the thin film transistor constituting the
즉, 상기 게이트 라인 또는 데이터 라인과 같은 배선들의 패턴 형성은 전술한 도 2, 도 3, 또는 도 4에 도시한 패턴 형성 공정을 이용할 수 있다. That is, the pattern formation of the wirings such as the gate line or the data line may use the pattern formation process shown in FIG. 2, FIG. 3, or FIG.
또한, 상기 게이트 전극, 소스 전극, 또는 드레인 전극의 패턴 형성도 전술한 도 2, 도 3, 또는 도 4에 도시한 패턴 형성 공정을 이용할 수 있다. The pattern formation of the gate electrode, the source electrode, or the drain electrode may be performed using the pattern formation process shown in FIG. 2, FIG. 3, or FIG.
또한, 상기 반도체층 및 절연층의 패턴 형성시 마스크로 사용되는 포토 레지스트의 패턴 형성도 전술한 도 2, 도 3, 또는 도 4에 도시한 패턴 형성 공정을 이용할 수 있다. In addition, the pattern formation of the photoresist used as a mask in the pattern formation of the semiconductor layer and the insulating layer may be performed using the pattern formation process shown in FIG. 2, FIG. 3, or FIG.
한편, 본 발명에 따른 액정표시장치는 IPS(In plane Switching) 모드 이외에 TN(Twisted Nematic) 모드, VA(Vertical Alignment) 모드 등 당업계에 공지된 다양한 구동모드를 포함할 수 있고, 그에 따라, 상기 양 기판(600, 700)의 구체적인 구성도 변경될 수 있다. Meanwhile, the liquid crystal display device according to the present invention may include various driving modes known in the art such as a TN (Twisted Nematic) mode and a VA (Vertical Alignment) mode in addition to an IPS (In plane switching) mode, The specific configuration of both the
상기 양 기판(600, 700) 사이에 액정층(800)을 형성하면서 양 기판(600, 700)을 합착하는 공정은 당업계에 공지된 진공주입법 또는 액정적하법을 이용하여 수행할 수 있다.The process of attaching the two
이상은 액정표시장치를 제조함에 있어서 전술한 패턴 형성 공정을 이용하여 차광층(610) 패턴, 컬러 필터층(620) 패턴, 배선들 패턴, 및 박막 트랜지스터 패턴을 형성하는 경우만을 설명하였지만, 반드시 그에 한정되는 것은 아니고, 그 이외에도 본 발명에 따른 패턴 형성 공정이 적용될 수 있는 구성요소가 있다면, 그와 같은 구성요소도 전술한 패턴 형성 공정이 적용될 수 있을 것이다. While the above description has been made on the case of forming the
또한, 본 발명에 따른 패턴 형성 공정은 액정표시장치 이외에도 다양한 디스플레이 장치의 제조방법에 적용될 수 있을 것이다. In addition, the pattern forming process according to the present invention may be applied to various display device manufacturing methods other than the liquid crystal display device.
100: 인쇄롤 110: 블랭킷
200: 인쇄노즐 250: 패턴 물질
250a: 패턴 물질의 일부 250b: 패턴 물질의 잔부, 패턴
300: 패턴 형성부 310: 패턴롤
320: 인쇄필름 330: 돌출 패턴
340: 보조롤 400: 세정부
410: 세정액 분사장치 420: 블레이드
430: 수용조 440: 건조장치
450: 회수롤 460: 와인딩롤
470: 점착필름 500: 지지롤
600: 기판100: printing roll 110: blanket
200: printing nozzle 250: pattern material
250a: part of
300: pattern forming unit 310: pattern roll
320: print film 330: protruding pattern
340: Auxiliary roll 400:
410: cleaning liquid injector 420: blade
430: receiving tank 440: drying device
450: Recovery roll 460: Winding roll
470: Adhesive film 500: Support roll
600: substrate
Claims (10)
상기 인쇄롤에 패턴 물질이 인쇄될 수 있도록, 패턴 물질을 토출하는 인쇄노즐;
상기 인쇄롤에 소정의 패턴이 형성될 수 있도록, 상기 인쇄롤에 인쇄된 패턴 물질의 일부가 전사되는 돌출 패턴을 포함하고 상기 인쇄롤과 반대 방향으로 회전하는 패턴 형성부;
상기 패턴 형성부의 측방에 위치하여 상기 돌출 패턴에 전사된 패턴 물질의 일부를 제거하는 세정부; 및
상기 인쇄롤에 형성된 소정의 패턴이 기판 상에 전사되어 상기 기판 상에 소정의 패턴이 형성될 수 있도록, 상기 기판을 지지하면서 이동시키는 지지롤을 포함하여 이루어지며,
상기 세정부는
상기 돌출 패턴에 세정액을 분사하는 세정액 분사장치;
상기 돌출 패턴과 접촉하여 상기 돌출 패턴 상에 형성된 패턴 물질의 일부를 제거하는 블레이드;
상기 세정액을 건조하는 건조 장치; 및
상기 블레이드와의 접촉에 의해 제거되거나 상기 세정액 분사장치에 의해 제거되는 패턴 물질의 일부를 수용하는 수용조를 포함하고,
상기 돌출 패턴에 전사된 패턴 물질의 일부가 상기 블레이드 또는 상기 세정액 분사장치에 의해 제거되는 공정이 진행되는 동안 상기 패턴 형성부 및 상기 인쇄롤이 회전하여 상기 기판 상에 소정의 패턴을 형성하는 공정이 함께 진행되어 패턴 형성 공정을 연속 공정으로 진행할 수 있도록 구성되는, 롤 인쇄 장비. Printing roll;
A printing nozzle for discharging a pattern material so that the pattern material can be printed on the printing roll;
A pattern forming unit including a protruding pattern to which a part of the pattern material printed on the printing roll is transferred so that a predetermined pattern can be formed on the printing roll and rotating in a direction opposite to the printing roll;
A cleaning part located on the side of the pattern forming part to remove a part of the pattern material transferred to the protruding pattern; And
And a supporting roll for supporting and moving the substrate so that a predetermined pattern formed on the printing roll is transferred onto the substrate to form a predetermined pattern on the substrate,
The taxing authority
A cleaning liquid sprayer for spraying a cleaning liquid onto the protruding pattern;
A blade contacting the protruding pattern to remove a portion of the pattern material formed on the protruding pattern;
A drying device for drying the cleaning liquid; And
And a receiving chamber for receiving a part of the pattern material removed by contact with the blade or removed by the cleaning liquid injector,
A step of forming a predetermined pattern on the substrate by rotating the pattern forming unit and the printing roll while the process of removing a part of the pattern material transferred to the protruding pattern by the blade or the cleaning liquid injecting apparatus is performed And is configured to proceed together to advance the pattern forming process to a continuous process.
상기 패턴 형성부는
상기 인쇄롤과 마주하면서 상기 인쇄롤과 반대방향으로 회전하는 패턴롤;
상기 패턴롤과 마주하면서 상기 패턴롤과 동일방향으로 회전하는 보조롤;
상기 패턴롤과 상기 보조롤에 감겨 회전하는 인쇄필름; 및
상기 인쇄필름 상에 형성된 상기 돌출 패턴을 포함하는, 롤 인쇄 장비. The method according to claim 1,
The pattern forming portion
A pattern roll facing the print roll and rotating in a direction opposite to the print roll;
An auxiliary roll facing the pattern roll and rotating in the same direction as the pattern roll;
A printing film wound and rotated on the pattern roll and the auxiliary roll; And
And the protruding pattern formed on the print film.
상기 패턴 형성부는
상기 인쇄롤과 마주하면서 상기 인쇄롤과 반대방향으로 회전하는 패턴롤; 및
상기 패턴롤 상에 형성된 상기 돌출 패턴을 포함하는, 롤 인쇄 장비. The method according to claim 1,
The pattern forming portion
A pattern roll facing the print roll and rotating in a direction opposite to the print roll; And
And the protruding pattern formed on the pattern roll.
상기 인쇄롤로부터 패턴 형성부의 돌출 패턴으로 상기 패턴 물질의 일부를 전사함으로써, 잔존하는 패턴 물질로 이루어진 소정의 패턴을 상기 인쇄롤 상에 형성하는 공정;
상기 돌출 패턴으로 전사된 패턴 물질의 일부를 제거하여 수용하는 공정;
상기 인쇄롤 상에 형성된 소정의 패턴을 기판에 전사하여 상기 기판 상에 소정의 패턴을 형성하는 공정을 포함하여 이루어지고,
이때, 상기 돌출 패턴에 전사된 패턴 물질의 일부를 블레이드 또는 세정액 분사장치로 제거하여 수용하는 공정이 진행되는 동안 상기 패턴 형성부 및 상기 인쇄롤이 회전하여 상기 기판 상에 소정의 패턴을 형성하는 공정이 함께 진행되어 패턴 형성 공정을 연속 공정으로 진행하는, 패턴 형성 방법. Printing the pattern material on a rotating printing roll by ejecting a pattern material from a printing nozzle;
Forming a predetermined pattern of the remaining pattern material on the printing roll by transferring a part of the pattern material from the printing roll to the protruding pattern of the pattern forming portion;
A step of removing and accommodating a part of the pattern material transferred by the protruding pattern;
And transferring a predetermined pattern formed on the printing roll to a substrate to form a predetermined pattern on the substrate,
At this time, a step of forming a predetermined pattern on the substrate by rotating the pattern forming unit and the printing roll while the process of receiving and removing part of the pattern material transferred to the protruding pattern by the blade or the cleaning liquid injecting apparatus is performed And the pattern formation step proceeds to a continuous process.
상기 돌출 패턴으로 전사된 패턴 물질의 일부를 제거하여 수용하는 공정은,
패턴롤 및 보조롤을 회전시켜 상기 패턴롤과 보조롤 상에 감겨지며 그 위에 상기 돌출 패턴이 형성된 인쇄필름을 이동시킴과 더불어, 상기 세정액 분사장치에서 상기 돌출 패턴에 세정액을 분사하고, 상기 블레이드를 상기 돌출 패턴과 접촉시켜 상기 돌출 패턴에 형성된 패턴 물질의 일부를 제거하고, 건조장치로 상기 세정액을 건조시키며, 수용조에 제거되는 패턴 물질의 일부를 수용하는 공정으로 이루어진, 패턴 형성 방법. The method according to claim 6,
Wherein the step of removing and accommodating a part of the pattern material transferred by the protruding pattern comprises:
The pattern roll and the auxiliary roll are rotated so as to be wound on the pattern roll and the auxiliary roll, the printing film on which the protruding pattern is formed is moved, and the cleaning liquid is injected into the protruding pattern in the cleaning liquid injector, A step of removing a part of the pattern material formed on the protruding pattern by contacting with the protruding pattern, drying the cleaning liquid by a drying device, and receiving a part of the pattern material to be removed in the receiving container.
상기 돌출 패턴으로 전사된 패턴 물질의 일부를 제거하여 수용하는 공정은,
패턴롤을 회전시켜 상기 패턴롤 상에 형성된 돌출 패턴을 이동시킴과 더불어, 상기 세정액 분사장치에서 상기 돌출 패턴에 세정액을 분사하고, 상기 블레이드를 상기 돌출 패턴과 접촉시켜 상기 돌출 패턴에 형성된 패턴 물질의 일부를 제거하고, 건조장치로 상기 세정액을 건조시키며, 수용조에 제거되는 패턴 물질의 일부를 수용하는 공정으로 이루어진, 패턴 형성 방법. The method according to claim 6,
Wherein the step of removing and accommodating a part of the pattern material transferred by the protruding pattern comprises:
The patterning roll is rotated to move the protruding pattern formed on the pattern roll and the cleaning liquid is injected into the protruding pattern in the cleaning liquid injecting device and the blade is brought into contact with the protruding pattern, Removing part thereof, drying the cleaning liquid with a drying device, and receiving a part of the pattern material to be removed in the receiving tank.
상기 차광층 사이에 컬러 필터층을 패턴 형성하는 공정;
상기 기판과 대향하는 대향 기판 상에 배선들 및 박막 트랜지스터를 패턴 형성하는 공정;
상기 양 기판 사이에 액정층을 형성하면서 상기 양 기판을 합착하는 공정을 포함하여 이루어지고,
상기 차광층을 패턴 형성하는 공정, 상기 컬러 필터층을 패턴 형성하는 공정, 상기 배선들을 패턴 형성하는 공정, 및 상기 박막 트랜지스터를 패턴 형성하는 공정 중 적어도 하나의 공정은 전술한 제6항 내지 제8항 중 어느 한 항에 따른 패턴 형성 방법을 이용하여 수행하는, 액정표시장치의 제조방법. Forming a light-shielding layer pattern on the substrate;
Forming a color filter layer pattern between the light shielding layers;
Forming patterns of wirings and thin film transistors on a counter substrate facing the substrate;
Forming a liquid crystal layer between the two substrates, and bonding the two substrates together,
At least one of the steps of patterning the light shielding layer, patterning the color filter layer, patterning the wirings, and patterning the thin film transistor may be the same as those of the sixth to eighth aspects Wherein the pattern formation is performed by using the pattern forming method according to any one of claims 1 to 7. A method for manufacturing a liquid crystal display device,
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JP2006289983A (en) | 2005-04-13 | 2006-10-26 | Korea Mach Res Inst | Method and device for producing electronic elements using roll-to-roll rotary printing method |
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