KR101798473B1 - 고분해능 주사전자현미경 - Google Patents

고분해능 주사전자현미경 Download PDF

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Abstract

본 발명은 진공 영역과 비진공 영역을 분리하는 멤브레인 박막의 손상을 방지하고, 불활성 가스의 확산 소모 방지 및 균일한 불활성 가스 분위기 형성을 통하여 높은 분해능으로 시료를 관찰할 수 있는 고분해능 주사전자현미경에 관한 것이다.
이를 위한 본 발명의 고분해능 주사전자현미경은 진공 영역에 배치된 전자빔 소스와 광학부를 통해 방출되는 전자빔을 비진공 영역의 시료 표면에 조사하고 시료를 관찰하는 주사전자현미경에 있어서, 진공 영역의 하단에 착탈식으로 장착되어 진공 영역과 상기 비진공 영역을 공간 분리하고, 집속된 전자빔을 통과시키는 멤브레인 박막, 비진공 영역의 시료 스테이지 상에 설치되고 중앙에 시료 안착부가 형성된 시료대, 시료와 상기 멤브레인 박막 밀착에 의한 멤브레인 박막의 손상을 방지하도록 시료 안착부의 둘레에 높이 조절이 가능하게 설치되고, 시료 안착부와의 사이에 불활성 기체 유지 공간이 형성되는 구조를 갖는 가이드 블록을 포함한다.

Description

고분해능 주사전자현미경{HIGH-RESOLUTION SCANNING ELECTRON MICROSCOPE}
본 발명은 주사전자현미경에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 진공 영역과 비진공 영역을 분리하는 멤브레인 박막의 손상을 방지하고, 불활성 가스의 확산 소모 방지 및 균일한 불활성 가스 분위기 형성을 통하여 높은 분해능으로 시료를 관찰할 수 있는 고분해능 주사전자현미경에 관한 것이다.
시료의 관찰을 위해 각종 전자현미경은 크게 주사전자현미경(Scanning Electron Microscope)과 투과전자현미경(Transmission Electron Microscope)으로 구분할 수 있다.
주사전자현미경의 기본 구조는, 시료 위에 전자빔이 주사(scanning)되게 하여 시료에서 발생되는 신호 중 이차전자(secondary electron)나 반사전자(back scattered electron)를 검출하여 대상 시료를 관찰한다.
투과전자현미경(Transmission Electron Microscope)은 물질의 상(phase), 특성, 성분 및 불량 등을 알아보기 위해 사용되는데 박막 시료를 제조하여 고정시킨 후 고전위차의 전자빔을 시료 면에 입사시켜 투과되도록 함으로써 시료의 상과 성분을 얻는다.
전자현미경은 일반적인 현미경의 광원과 광원렌즈에 해당하는 전자선과 전자 렌즈를 사용하는 것인데 전자빔은 고진공 상태에서 방출된다.
이러한 구조는 시료가 항상 건조한 상태가 되어 버리고, 절연체의 경우는 전하량 증가에 의하여 관찰이 저해되기 때문에 도전성 코팅이나 도전성 염색 처리가 필요한 등의 시료 제조가 번거롭고 관찰을 위한 준비작업 시간이 긴 문제점이 발생한다.
또, 생물시료 등을 변형 없이 그대로 관찰하는 것은 불가능한 문제점이 있었다.
이러한 문제점 해소를 위한 기술로 AIR SEM(Scanning Electron Microscope)이 적용되고 있다.
AIR SEM(Scanning Electron Microscope)은 대물렌즈와 관찰시료의 사이에 전자가 통과할 수 있는 두께(통상 수백나노미터 두께)의 매우 얇은 박막을 배치시켜 전자빔 발생부와 시료 영역을 각각 공간 분리한다.
이로 인하여, 시료 영역이 진공 상태가 아닌 대기압 또는 저진공 환경일 경우에도 시료의 표면 형태 또는 구조를 나노스케일 또는 원자스케일로 관찰 가능하게 한다.
이러한 AIR SEM은 대기압 또는 저진공 환경에서 하전 입자빔을 이용하기 때문에 일반적인 고진공 환경에서 관찰할 수 없는 생물, 바이오 수분을 포함한 시료와 같은 비전도성 시료, 또는 휘발성 성분을 포함하고 있는 시료를 금속 코팅없이 이미지를 용이하게 얻거나 또는 시료의 표면을 가공할 수 이점이 있다.
도 1은 종래의 AIR SEM(Scanning Electron Microscope) 개념도로서, 종래의 주사전자현미경은 멤브레인 박막(M)에 비진공 영역(A1)과 진공 영역(A2)으로 나뉜다.
비진공 영역(A1)은 대기압 또는 저진공 환경으로서 시료 스테이지(100) 상에 관찰 시료(200)가 안착된다.
진공 영역(A2)에는 전자빔 소스(300), 전자빔 소스(300)에서 방출된 전자의 양과 전자 빔의 크기를 조절하고 집속하는 제 1 및 제 2 집속 렌즈(400a, 400b), 상의 초점을 맞춰 주사하는 대물렌즈(400c)와 조리개(2400d) 등을 포함하는 광학부(400)와 시료(200)에 충돌한 후 반사되는 이차전자를 검출하는 제 1 검출부(500)와, 후방 산란 전자를 검출하는 제 2 검출부(600) 및 시료 주변에 헬륨 가스 등의 불활성 가스를 공급하는 가스 공급부(700)를 포함한다.
이때, 주사전자현미경 내부를 진공 상태로 만들기 위한 진공 펌프와 시료의 높이를 조절하기 위한 주변 장치 들이 필요하지만 이는 공지된 기술로서 이에 대한 구체적인 설명은 생략하도록 한다.
이러한 주사전자현미경은 주사되는 전자빔이 멤브레인 박막을 통과는 하되, 멤브레인 박막에 의해 진공 영역과 비진공 영역이 분리되는 구조로서 멤브레인 박막과 대기 중에 위치한 시료 사이의 거리가 가까울수록 높은 분해능을 얻을 수 있다.
그런데, 시료와 멤브레인 박막 사이의 거리 조절 과정에서 시료와 멤브레인 사이의 거리가 너무 가까울 경우 시료 표면의 형성된 요철에 의해 멤브레인 박막이 손상되는 문제가 발생하게 된다.
이렇게, 멤브레인 박막이 파괴될 경우 진공 영역이 깨져 진공 영역에 배치된 전자총 등 진공 시스템이 손상되어 장비의 내구성을 저하시키고, 진공 시스템이 손상되지 않더라도 손상된 멤브레인 박막을 새로 교체해야 하는 등의 단점이 발생하게 된다.
반면, 멤브레인 박막의 손상 방지를 위해 시료와 멤브레인 박막 사이의 거리를 멀어지게 할 경우 관찰 영상의 분해능이 낮아지는 단점이 있다.
이에 멤브레인 박막의 손상 방지와 일정한 분해능을 얻기 위한 방법으로, 멤브레인 박막과 시료 사이의 거리를 센서를 통하여 검출하고 검출 결과에 따라 거리를 일정하게 유지함으로써 일정한 분해능을 얻고자 하는 방법을 적용하고 있으나, 이를 위해서는 고가의 위치 결정용 센서를 설치해야 하는 단점이 있다.
한편, 진공도가 낮은 공간에서는 전자선이 기체 분자에 의해 산란되므로, 평균 자유 행정은 짧아진다. 즉, 멤브레인 박막(M)과 시료(200) 사이의 거리가 크면 전자선 혹은 전자선 조사에 의해 발생하는 2차 전자 또는 반사 전자가 시료까지 도달하지 않게 된다.
또한, 전자선의 산란 확률은, 기체 분자의 질량수에 비례하기 때문에 대기보다도 질량수가 가벼운 가스 분자로 대기 공간을 치환하면 전자의 이동이 촉진되어 전자선의 산란 확률이 적고 전자의 이동 거리가 길어져 영상 S/N을 높일 수 있다.
이에 일반적으로 멤브레인 박막(M)과 시료 사이에 헬륨(He), 네온(Ne), 아르곤(Ar)과 같은 불활성 가스를 공급하여 전자의 이동도를 높이는 방법을 적용하고 있다.
그런데, 종래의 주사전자현미경은 멤브레인 박막과 시료 사이의 거리가 제한적이기 때문에 불활성 가스를 비진공 영역(A)의 상측에서 시료 방향으로 분사하는 구조를 갖고, 시료(200) 주변의 개방된 영역에 불활성 가스가 공급되는 구조를 갖는다. 이로 인하여 때문에 불활성 가스가 시료 주변에 유지되지 못하고 그 주변으로 퍼져 손실되기 때문에 가스 소모량이 많고 가스를 공급하기 위한 장치가 복잡한 구조를 갖는 단점이 있다.
한국등록특허 제1554594호 "하전입자 빔 프로브 형성 장치 및 이의 이용방" 한국등록특허 제2014-0027687호 "주사전자현미경의 전자통과막 보호장치 및 그것을 구비한 주사전자현미경" 한국공개특허 제2015-0107939호 "시료 관찰 장치"
본 발명은 시료 안착부 둘레에 높이 조절이 가능하게 설치되어 진공 영역과 비진공 영역을 분리하는 멤브레인 박막과 시료의 밀착을 방지하는 고분해능 주사전자현미경을 제공함에 있다.
또한, 본 발명은 시료 관찰시 조사되는 전자의 이동도를 높이기 위해 공급되는 불활성 가스 공급 장치를 비진공 영역에서 시료대에 직접 연결하여 불활성 가스의 확산 소모를 막고 균일한 불활성 가스 분위기를 형성할 수 있는 고분해능 주사전자현미경을 제공함에 있다.
본 발명의 고분해능 주사전자현미경은 진공 영역에 배치된 전자빔 소스와 광학부를 통해 방출되는 전자빔을 비진공 영역의 시료 표면에 조사하고 시료를 관찰하는 주사전자현미경에 있어서, 진공 영역의 하단에 착탈식으로 장착되어 진공 영역과 비진공 영역을 공간 분리하고, 집속된 전자빔을 통과시키는 멤브레인 박막, 비진공 영역의 시료 스테이지 상에 설치되고 중앙에 시료 안착부가 형성된 시료대, 시료와 멤브레인 박막 밀착에 의한 멤브레인 박막의 손상을 방지하도록 시료 안착부의 둘레에 높이 조절이 가능하게 설치되고, 시료 안착부와의 사이에 불활성 기체 유지 공간이 형성되는 구조를 갖는 가이드 블록을 포함한다.
이때, 가이드 블록은 회전을 통하여 멤브레인 박막과 시료 사이의 거리 조절이 시료대와 나사 탭 통해 결합되는 환형 형상을 가질 수 있다.
또한, 불활성 기체 유지 공간에 불활성 기체를 균일하게 공급하도록 밀폐형 오리피스 구조로 이루어지고 시료대의 일측을 관통하여 연결된 가스 공급 장치를 더 포함할 수 있다.
또, 가이드 블록에는 가이드 블록 내측 공간과 가이드 블록 외측 공간 간의 압력차에 의한 멤브레인 박막의 손상을 방지하기 위한 공기 유로가 형성될 수 있다.
또, 가이드 블록은 외부 조작에 의해 자동으로 회전 가능하게 설치되고, 비진공 영역에 카메라를 설치하고, 시료와 멤브레인 박막의 밀착이 방지되는 가이드 블록의 임계 높이에 해당하는 영상 특징점 정보와 카메라를 통해 획득된 영상의 특징점 비교를 통하여 특징점 정보가 일치할 경우 가이드 블록의 하강 회전을 정지시킬 수 있다.
본 발명은 고가의 위치 결정용 센서를 적용하지 않고도 가이드 블록의 높이 조절만으로 멤브레인 박막과 시료의 밀착을 방지하여 멤브레인 박막의 손상을 방지함으로써 진공 시스템의 장비 내구성을 향상시킬 수 있고, 멤브레인 박막 교체 주기를 늘릴 수 있는 이점이 있다.
또한, 불활성 가스의 확산 소모를 방지하고 균일한 불활성 가스 분위기를 형성함으로써 시료 관찰 분해능을 높여 관찰 신뢰도를 향상시킬 수 있는 이점이 있다.
도 2는 본 발명 실시예에 따른 고분해능 주사전자현미경 장치 구성도.
도 3은 도 2의 요부 확대도.
도 4는 도 3의 요부 확대도.
도 4는 도 2의 시료대 사시도.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 일 실시예를 상세하게 설명하기로 한다.
도 2는 본 발명 실시예에 따른 고분해능 주사전자현미경 장치 구성도이고, 도 3은 도 2의 요부 확대도이며, 도 4는 도 3의 요부 확대도이며, 도 4는 도 2의 시료대 사시도로서, 본 발명은 진공 영역에 배치된 전자빔 소스와 광학부를 통해 방출되는 전자빔을 비진공 영역의 시료 표면에 조사하고 시료를 관찰하는 주사전자현미경에 관한 것이다.
우선 진공 영역(B1)에는 전자빔 소스(1), 광학계(2), 검출기(3)가 배치된다.
전자빔 소스(1)는 시료(S)에 주사되는 전자빔을 생성하기 위한 것으로서 텅스텐(W) 등으로 이루어진 필라멘트를 가열하여 전자를 발생시킴으로써 전자빔을 생성하고, 생성된 전자에 전압을 걸어 약 수십 keV 정도의 에너지로 가속할 수 있다.
광학계는 빔 얼라인먼트 코일(21), 집속렌즈(22), 조리개(23), 가변 조리개(24), 대물렌즈(25), 스캔 코일(26)을 포함한다.
빔 얼라인먼트 코일(21)은 빔을 시료(S) 면상에 수직이 되도록 조정한다. 즉, 전자빔은 진공 챔버 내부에서 공기와 충돌하여 에너지가 소실되거나 굴절되는 등 조사빔의 방향을 제어하는데 어려움이 있다. 이렇게 전자빔이 시료 표면에 입사할 때, 수직방향으로 입사가 되지 않거나 설계자가 원하는 방향대로 입사가 되지 않으면 정확한 측정값을 얻기가 어려운 단점이 있다. 이에, 빔 얼라인먼트 코일(21)은 전자빔을 시료(S) 면상에 수직으로 조사하기 위하여 사용된다.
집속 렌즈(22)는 전자빔 소스(1)로부터 생성 및 가속된 전자빔이 시료(S)의 어느 한 미소한 점에 모이도록 집속하는 것으로서, 시료(S)에 조사되는 전자빔의 직경이 작을수록 이로부터 획득된 시료 영상의 분해능은 높아질 수 있다.
이러한, 집속 렌즈(22)는 단일이 아닌 다수를 단계적으로 배치하여 전자빔의 직경을 단계적으로 집속할 수 있다.
대물렌즈(23)는 집속 렌즈(22)를 통해 집속되어 진행하는 전자빔의 직경을 조절함으로써 시료 영상의 분해능(즉, 배율)을 조절할 수 있다.
또한, 본 발명은 전자빔의 이동 경로에 전자빔의 주사 각도와 주사 방향 조절을 위한 주사 코일(26)을 더 배치할 수 있다. 즉, 주사 코일(26)에 전류가 인가되면 전자빔이 휠 수 있는데, 주사 코일(26)에 인가된 전류의 크기에 따라 전자빔이 휘는 정도를 조절할 수 있고, 인가된 전류의 방향에 따라 전자빔이 휘는 방향을 조절할 수 있다.
검출기(3)는 시료(S)로부터 방출되는 다양한 신호들에 따라 해당 신호들을 각각 검출하기 위한 다수의 검출기(3)를 포함할 수 있다. 예를 들어, 검출기(3)는 시료(S)에 주사된 전자빔에 의해 시료(S)로부터 방출되는 신호들 중 이차 전자(SE)를 SE 디텍터, 시료(S)에 주사된 전자빔에 의해 시료로부터 방출되는 신호들 중 후방 산란 전자(BSE)를 검출하는 BSE 디텍터 중 하나일 수 있다.
본 발명의 실시예에서는 검출기가 이차전자나 후방산란전자를 검출하는 것으로 예시하였으나, 특정 X선을 검출하여 물체가 갖는 고유한 값을 통해 에너지 세기를 알 수 있는 EDS (Energy Dispersive Spectroscopy) Detector, EDX, EDAX 등이 적용될 수 있다.
아울러, 본 발명의 실시예는 진공펌프(미도시함)가 다수의 연결관(4)을 통해 진공 영역(B)과 연결되어 진공 영역(B) 내부가 진공 상태가 되도록 한다.
한편, 진공 영역(B1)의 하단에는 카트리지 형태로 진공 영역(B1)의 하단부에 착탈식 결합되는 멤브레인 박막(5)이 장착된다.
여기서, 멤브레인 박막(5)은 진공 영역(B1)과 상기 비진공 영역(B2)을 공간 분리할 뿐만 아니라, 집속된 전자빔이 시료(S) 표면에 조사될 수 있도록 전자빔을 통화시키는 역할을 한다.
비진공 영역(B2)은 대기압 또는 저진공 영역으로서, 시료 스테이지(6), 시료대(61), 가스 공급 장치(7), 가이드 블록(8)이 배치된다.
시료 스테이지(6)는 X-Y-Z 방향으로 이동 가능한 것으로서, 시료 스테이지(6)의 상부에는 시료대(61)가 설치된다.
시료대(61)는 중앙에 시료(S)를 손쉽게 로딩/언로딩할 수 있는 안착부(61a)가 형성되며, 시료 스테이지(6)에 착탈식으로 결합된다. 즉, 본 발명에 따르면 시료대(61)를 시료 스테이지(6)에 착탈식으로 결합할 수 있는 구조를 채택함으로써 시료의 교체가 용이한 이점이 있다.
가스 공급 장치(7)는 시료(S) 방향으로 이동하는 전자의 이동을 활성화하기 위한 헬륨 가스 등의 불활성 가스를 공급하는 것으로서, 시료대(61)의 일측을 관통하여 연결된다. 이때, 가스 공급 장치(7)는 불활성 기체가 균일하게 공급될 수 있도록 밀폐형의 오리피스 구조로 이루어진다.
기존에는 진공 챔버 영역에 가스 공급 장치를 연결하고, 가스를 상부에서 하부로 분사하는 구조를 이와 같이 본 발명은 가스 공급 장치(7)를 시료대(61)의 측면에 설치함에 따라 가스 공급 장치(7)의 제작과 조립이 용이하게 할 수 있는 이점이 있다.
가이드 블록(8)는 시료(S)와 멤브레인 박막(5)의 밀착에 의한 멤브레인 박막의 손상을 방지하기 위하여 높이 조절이 가능하도록 시료대(61)에 착탈식 결합된다. 즉, 분해능 조절을 위하여 시료(S)의 높이를 조절할 때 시료(S)가 멤브레인 박막(5)에 접촉되면 시료에 형성된 요철 등에 의하여 멤브레인 박막(5)이 손상되는 문제가 발생할 수 있다.
이에, 본 발명의 실시예는 시료의 높이에 따라 가이드 블록(8)의 높이를 조절하여 시료(S)와 멤브레인 박막(5) 사이 거리를 항상 일정하게 유지되어 상호 접촉되지 않도록 함으로써 멤브레인 박막(5)이 손상되는 문제를 방지하도록 하는 역할을 한다.
이때, 가이드 블록(8)은 회전을 통한 높이 조절이 가능하도록 나사 탭을 통해 시료대(61)와 결합되고, 시료 안착부(61a)와의 사이에 소정의 공간이 형성될 수 있는 형상 예를 들면, 환형의 블록 형상으로 이루어질 수 있다.
이와 같이 본 발명의 실시예에 따르면 시료 안착부(61a)와 가이드 블록(8) 사이에 소정의 공간부를 형성하고 이 공간부에 불활성 가스를 균일하게 공급함으로써 기존 대비 가스 소모를 감소시킬 수 있다.
즉, 기존에는 시료가 위치한 비진공 영역이 개방된 구조이고 진공 영역에서 가스를 분사하는 구조를 적용함에 따라 가스가 주변으로 확산 소비되어 시료 주변의 가스 농도가 낮아질 뿐만 아니라, 가스의 소비량이 많은 단점이 있었다.
반면에, 본 발명은 시료 안착부(61a)와 가이드 블록 사이 공간부(61b) 즉, 불활성 기체 유지 공간에 불활성 가스를 균일하게 공급할 뿐만 아니라 해당 공간에 공급된 가스가 외부로 유실되는 것을 방지하여, 시료 안착부(61a) 주변에 항상 일정한 가스가 유지되도록 함으로써 가스의 손실 및 소비를 감소시킬 수 있게 된다.
그런데, 진공 영역(B1)의 하단부가 완전 밀착될 경우 가스 공급 장치(7)의 밀폐형 오리피스 구조로 인하여 가이드 블록(8)의 내측과 외측의 압력차가 발생할 수 있고, 이러한 압력차가 과도할 경우 멤브레인 박막이 손상될 수 있는 문제가 있다.
이에, 본 발명의 실시예에서는 가이드 블록(8)의 내측과 외측의 압력차 발생을 방지하기 위하여 공기 유로(61c)를 형성 할 수 있다. 이때 공기 유로(61c)는 가이드 블록(8)의 일정 높이에 형성되는 다수의 홀 또는 가이드 블록(8)의 상면에 형성된 십자형의 홈 형태를 가질 수 있으나 그 형태가 한정되지는 않는다.
한편, 도면에는 도시되지 않았으나 본 발명은 가이드 블록(8)이 자동으로 높이 조절이 가능하게 설치하되, 가이드 블록(8)이 최대 높이에 위치하도록 하고, 이 가이드 블록(8) 주변의 비진공 영역에 카메라(미도시함)를 설치하여 카메라를 통해 획득된 영상의 특징점을 기 저장된 기준 영상의 특징점과 비교하여 가이드 블록(8)의 하강 높이를 자동으로 정지시킬 수 있다.
예를 들어, 가이드 블록(8)의 상면이 진공 영역(B1)의 하단면과 밀착된다고 가정할 경우에는 시료(S)가 멤브레인 박막(5)과 접촉되지 않기 위해서 가이드 블록(8)의 상면 높이가 항상 시료(S)의 상면 높이 보다 높아야 한다.
이에, 시료(S)가 멤브레인 박막(5)과 접촉되지 않는 가이드 블록(8)의 높이가 최저 임계지점에 해당할 때의 기준 영상을 획득하고, 기준 영상에서의 특징점 정보를 추출하여 저장 한다.
그리고, 가이드 블록(8)의 높이 조절 과정에서 실시간으로 획득되는 영상의 특징점 상호 비교하여 특징점 정보가 일치할 경우 상기 가이드 블록의 하강 회전을 정지시킴으로써, 사용자의 수동 조작이 아닌 자동화로 가이드 블록의 높이 조절을 할 수 있다.
비록 본 발명이 상기 언급된 바람직한 실시예와 관련하여 설명되어졌지만, 발명의 요지와 범위로부터 벗어남이 없이 다양한 수정이나 변형을 하는 것이 가능하다. 따라서 첨부된 특허청구의 범위는 본 발명의 요지에서 속하는 이러한 수정이나 변형을 포함할 것이다.
1 : 전자빔 소스 2 : 광학계
21 : 빔 얼라인먼트 코일 22 : 집속렌즈
23 : 조리개 24 : 가변 조리개
25 : 대물렌즈 26 : 주사코일
3 : 검출기 4 : 진공 연결관
5 : 멤브레인 박막 6 : 스테이지
61 : 시료대 61a : 시료 안착부
61b : 공간부 61c : 공기 유로
7 : 가스 공급 장치 8 : 가이드 블록
S : 시료

Claims (5)

  1. 진공 영역에 배치된 전자빔 소스와 광학부를 통해 방출되는 전자빔을 비진공 영역의 시료 표면에 조사하고 시료를 관찰하는 주사전자현미경에 있어서,
    상기 진공 영역의 하단에 착탈식으로 장착되어 상기 진공 영역과 상기 비진공 영역을 공간 분리하고, 집속된 전자빔을 통과시키는 멤브레인 박막;
    상기 비진공 영역의 시료 스테이지 상에 설치되고 중앙에 시료 안착부가 형성된 시료대;
    상기 시료와 상기 멤브레인 박막 밀착에 의한 상기 멤브레인 박막의 손상을 방지하도록 상기 시료 안착부의 둘레에 높이 조절이 가능하게 설치되고, 상기 시료 안착부와의 사이에 불활성 기체 유지 공간이 형성되는 구조를 갖는 가이드 블록;
    상기 불활성 기체 유지 공간에 불활성 기체를 균일하게 공급하도록 밀폐형 오리피스 구조로 이루어지고 상기 시료대의 일측을 관통하여 연결된 가스 공급 장치를 더 포함하고,
    상기 가이드 블록에는 상기 가이드 블록 내측 공간과 상기 가이드 블록 외측 공간 간의 압력차에 의한 상기 멤브레인 박막의 손상을 방지하기 위한 공기 유로가 형성된 것을 특징으로 하는 고분해능 주사전자현미경.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 가이드 블록은 회전을 통하여 상기 멤브레인 박막과 상기 시료 사이의 거리 조절이 상기 시료대와 나사 탭 통해 결합되는 환형 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 고분해능 주사전자현미경.
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 가이드 블록은 외부 조작에 의해 자동으로 회전 가능하게 설치되고,
    상기 비진공 영역에 카메라를 설치하고,
    상기 시료와 상기 멤브레인 박막의 밀착이 방지되는 가이드 블록의 임계 높이에 해당하는 영상 특징점 정보와 카메라를 통해 획득된 영상의 특징점 비교를 통하여 특징점 정보가 일치할 경우 상기 가이드 블록의 하강 회전을 정지시키는 것을 특징으로 하는 고분해능 주사전자현미경.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2004363085A (ja) 2003-05-09 2004-12-24 Ebara Corp 荷電粒子線による検査装置及びその検査装置を用いたデバイス製造方法
WO2012081428A1 (ja) 2010-12-16 2012-06-21 株式会社日立ハイテクノロジーズ 走査電子顕微鏡及びそれを用いた測長方法
JP2014056783A (ja) * 2012-09-14 2014-03-27 Hitachi High-Technologies Corp 荷電粒子線装置及び試料観察方法

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