KR101752853B1 - 센서 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 센서 장치에 관한 것으로서, 고속의 변조가 가능한 광대역 광원을 사용하여 센서의 측정 개수 및 스캔 속도를 향상시킬 수 있고, 센서의 중심파장의 변화를 시간축의 변화로 이동시켜 관찰함으로써 센서의 측정 범위를 향상시킬 수 있고, 슬라이딩 자기상관을 통해 지연기 없이도 다수의 센서를 동시에 모니터링할 수 있는 센서 장치에 관한 것이다. 이러한 본 발명에 따른 센서 장치는, 광대역 광원; 제1 의사난수 코드열을 생성하여 상기 광대역 광원을 변조하는 제1 의사난수 생성기; 상기 제1 의사난수 생성기의 출력이 입사되면 자신의 중심파장에 해당하는 파장에서 반사시키는 적어도 하나의 센서; 상기 센서의 출력을 파장-시간 변환하는 파장-시간 변환기; 상기 제1 의사난수 코드열과 주파수가 상이하고 비트 길이와 코드열이 동일한 제2 의사난수 코드열을 생성하는 제2 의사난수 생성기; 상기 광검출기의 출력과 제2 의사난수 생성기의 출력을 혼합하는 믹서; 및 상기 믹서의 출력을 적분하는 적분기; 를 포함한다.

Description

센서 장치{SENSOR DEVICE}
본 발명은 센서 장치에 관한 것으로서, 고속의 변조가 가능한 광대역 광원을 사용하여 센서의 측정 개수 및 스캔 속도를 향상시킬 수 있고, 센서의 중심파장의 변화를 시간축의 변화로 이동시켜 관찰함으로써 센서의 측정 범위를 향상시킬 수 있고, 슬라이딩 자기상관을 통해 지연기 없이도 다수의 센서를 동시에 모니터링할 수 있는 코드분할 다중 방식의 센서 장치에 관한 것이다.
광섬유를 이용한 센서는 부식이 없고, 높은 내구성을 보이며, 전자 유도에 대한 면역성을 가지는 장점이 있다. 특히, 광섬유 브라그 격자와 같은 광 반사체는 크기가 작고 온도 및 변형에 의한 민감도가 높기 때문에 센서로 사용하기에 적합하다.
광 반사체를 이용한 센서 네트워크는 외부에서 인가되는 변형 및 온도의 변화에 대하여 각 센서의 중심 파장 변화를 감지하는 파장분할 다중방식, 각 센서가 동일한 중심 파장을 가지며 주기가 센서의 거리보다 긴 펄스열을 센서로 보내어 각 센서로부터 반사되어 돌아오는 출력 파워의 변화량을 측정하는 시간분할 다중방식, 입력 광원을 의사난수 생성기를 이용하여 변조한 후 각 센서로 보낸 후 각 센서로부터 되돌아오는 의사난수의 자기상관 값의 변화를 측정하는 코드분할 다중방식이 있다.
파장분할 다중방식은 고분해능을 가지며 다른 시스템에 비하여 구현하기 쉬운 장점 때문에 많이 사용되고 있으나, 외부 변화에 의해 센서의 중심 파장이 변할 때 이웃하는 다른 센서의 중심파장과 중복될 수 없기 때문에 센서의 개수가 제한되는 단점을 가진다.
시간분할 다중방식은 동일한 중심 파장을 갖고 광 반사체의 반사율이 작은 센서를 사용하여 각 센서로부터 되돌아오는 출력 파워의 변화량을 측정함으로써 센서 개수 제한의 문제를 해결하였다. 하지만, 신호 처리부의 설계가 복잡하여 가격이 비싼 단점이 있으며, 단일 펄스를 사용함으로써 센서의 응답 속도가 타 방식에 비하여 느리다는 단점을 가진다.
코드분할 다중방식은 광원의 신호를 의사난수 코드로 변조하여 각 센서에 코드열을 보냄으로써 센서로부터 되돌아오는 코드열을 자기상관함으로써 구현할 수 있다. 이러한 코드분할 다중방식은 고속의 신호처리 회로 없이 저가의 전기 소자를 가지고 센서 시스템의 복조 회로를 구현할 수 있다. 하지만, 종래의 코드분할 다중방식 센서의 경우 센서 동작 범위의 증가를 위하여 가변 레이저를 사용하였으나, 스캔 시간이 길며, 각 센서로부터 반사되어 돌아오는 의사난수 코드와 본래 생성된 의사난수 코드의 자기 상관을 위하여 상호 동기를 맞추기 위한 지연기가 필요하다. 또한, 자기 상관 값의 출력 파워의 변화량을 측정하므로 외부의 변화로 인해 센서의 중심파장이 벗어나게 되면 더 이상 측정할 수 없다는 단점이 있다.
본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명의 목적은 고속의 변조가 가능한 광대역 광원을 사용하여 센서의 측정 개수 및 스캔 속도를 향상시킬 수 있고, 센서의 중심파장의 변화를 시간축의 변화로 이동시켜 관찰함으로써 센서의 측정 범위를 향상시킬 수 있으며, 슬라이딩 자기상관을 통해 지연기 없이도 다수의 센서를 동시에 모니터링할 수 있는 코드분할 다중방식의 센서 장치를 제공하는 것이다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 센서 장치는, 광대역 광원; 제1 의사난수 코드열을 생성하여 상기 광대역 광원을 변조하는 제1 의사난수 생성기; 상기 제1 의사난수 생성기의 출력이 입사되면 자신의 중심파장에 해당하는 파장에서 반사시키는 적어도 하나의 센서; 상기 센서의 출력을 파장-시간 변환하는 파장-시간 변환기; 상기 제1 의사난수 코드열과 주파수가 상이하고 비트 길이와 코드열이 동일한 제2 의사난수 코드열을 생성하는 제2 의사난수 생성기; 상기 광검출기의 출력과 제2 의사난수 생성기의 출력을 혼합하는 믹서; 및 상기 믹서의 출력을 적분하는 적분기; 를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 바람직한 다른 실시예에 따른 센서 장치는, 광대역 광원; 제1 의사난수 코드열을 생성하여 상기 광대역 광원을 변조하는 제1 의사난수 생성기; 변조된 광대역 광원을 증폭하는 광증폭기; 상기 광증폭기의 출력이 입사되면 자신의 중심파장에 해당하는 파장에서 반사시키는 적어도 하나의 센서; 상기 센서의 출력을 파장-시간 변환하는 파장-시간 변환기; 상기 파장-시간 변환기의 출력을 전기 신호로 변환하는 광검출기; 상기 광검출기의 출력을 증폭하는 전기신호증폭기; 상기 제1 의사난수 코드열과는 주파수가 상이하고 비트 길이와 코드열이 동일한 제2 의사난수 코드열을 생성하는 제2 의사난수 생성기; 상기 전기신호증폭기의 출력과 제2 의사난수 생성기의 출력을 혼합하는 믹서; 및 상기 믹서의 출력을 적분하는 적분기; 를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 구성을 가지는 본 발명에 따른 센서 장치는, 고속의 변조가 가능한 광대역 광원을 사용하여 센서의 측정 개수 및 스캔 속도를 향상시킬 수 있고, 센서의 중심파장의 변화를 시간축의 변화로 이동시켜 관찰함으로써 센서의 측정 범위를 향상시킬 수 있고, 슬라이딩 자기상관을 통해 지연기 없이도 다수의 센서를 동시에 모니터링할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 센서 장치를 도시한 블록도.
도 2와 도 3은 도 1의 슬라이딩 자기상관을 설명하기 위한 도면.
도 4는 도 1의 센서 장치에 있어서 시간에 따른 자기상관 값의 예를 보여주는 그래프.
도 5는 도 1의 제2 센서에 압력을 준 후에 자기상관 값의 변화를 관찰한 예1을 보여주는 그래프.
도 6은 도 1의 제2 센서에 압력을 준 후에 자기상관 값의 변화를 관찰한 예2를 보여주는 그래프.
도 7은 도 1의 제2 센서에 변형을 가하는 경우에 변형에 따른 파장 변화의 예를 보여주는 그래프.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 센서 장치에 대하여 설명한다.
도 1에는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 센서 장치의 블록도를 도시하였다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 센서 장치는, 광대역 광원(101); 제1 의사난수 코드열을 생성하여 상기 광대역 광원을 변조하는 제1 의사난수 생성기(102); 변조된 광대역 광원을 증폭하는 광증폭기(103); 상기 광증폭기(103)의 출력이 입사되면 자신의 중심파장에 해당하는 파장에서 반사시키는 적어도 하나의 센서(105); 상기 센서(105)의 출력을 파장-시간 변환하는 파장-시간 변환기(106); 상기 파장-시간 변환기(106)의 출력을 전기 신호로 변환하는 광검출기(106); 상기 광검출기(106)의 출력을 증폭하는 전기신호증폭기(108); 상기 제1 의사난수 코드열과는 주파수가 상이하고 비트 길이와 코드열이 동일한 제2 의사난수 코드열을 생성하는 제2 의사난수 생성기(109); 상기 전기신호증폭기(108)의 출력과 제2 의사난수 생성기(109)의 출력을 혼합하는 믹서(110); 및 상기 믹서(110)의 출력을 적분하는 적분기(111); 를 포함한다.
이와 같은 구성을 가지는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 센서 장치의 각 구성 요소에 대하여 설명하면 다음과 같다.
상기 광대역 광원(101)은 고휘도 발광 다이오드(SLED), 반도체 광증폭기(SOA), 반사형 반도체 광증폭기(RSOA)와 같이 광대역 스펙트럼의 빛으로 발진되는 광원이 바람직하다. 본 발명을 설명함에 있어서 상기 광대역 광원(101)이 반사형 반도체 광증폭기인 것을 예로 하였지만 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 상기 광대역 광원(101)은 고속 변조가 가능한 광대역 광원이라면 어느 것이든 채용이 가능하다.
상기 반사형 반도체 광증폭기(RSOA)의 계수는 페브리-페롯(Fabry-Perot)의 표준 이론을 통해 아래 수학식1과 같이 정리할 수 있다.
Figure 112011028234409-pat00001
상기 수학식1에서
Figure 112011028234409-pat00002
Figure 112011028234409-pat00003
는 입력과 출력 면 반사율이며,
Figure 112011028234409-pat00004
은 공동 공진 주파수이고,
Figure 112011028234409-pat00005
은 종 모드 간격이며,
Figure 112011028234409-pat00006
은 주파수 의존 단일 통과 증폭 계수로서 아래 수학식2에 의해 정의된다.
Figure 112011028234409-pat00007
상기 수학식2에서
Figure 112011028234409-pat00008
은 공동의 길이이고,
Figure 112011028234409-pat00009
는 증폭 계수 게인이다.
이상적인 반도체 광증폭기(SOA)에 있어서는
Figure 112011028234409-pat00010
이고, 게인은 단일 통과 게인과 같다.
이상적인 반사형 반도체 광증폭기(RSOA)에 있어서 광자 통과 길이는 반도체 광증폭기의 경우의 두 배로서 아래 수학식3과 같다.
Figure 112011028234409-pat00011
상기 제1 의사난수 생성기(102)는 제1 의사난수 코드열을 생성하여 상기 광대역 광원을 변조한다. 본 발명을 설명함에 있어서 상기 제1 의사난수 생성기는 500.1[MHz]의 주파수를 가지고 비트 길이가 27-1(=127)인 제1 의사난수 코드열을 생성하여 상기 광대역 광원을 변조하는 것을 예로 한다.
상기 광증폭기(103)는 상기 제1 의사난수 코드열에 의해 변조된 광대역 광원을 증폭한 후에 출력하여, 순환기(104) 및 분배기(미도시)를 통해 각 센서로 입력되도록 한다.
상기 각 센서(105)는 광증폭기(103)의 출력이 입사되면 자신의 중심파장에 해당하는 파장을 반사시키는 광 반사체(미도시)를 포함하여 구성된다. 상기 광 반사체는 광대역 광원의 출력단에 연결되어 단일 파장 전반사 또는 부분 반사 특성을 가지는 브라그 격자 또는 유전체 박막 필터이다.
본 발명을 설명함에 있어서 본 발명에 따른 센서 장치는 제1 내지 제3 센서(105a, 105b, 105c)를 포함하는 세 개의 센서(105)를 구비하고, 상기 제1 내지 제3 센서(105a, 105b, 105c)의 중심파장은 1550.9[nm], 1552.6[nm], 1555.8[nm]이고, 반사율은 모두 99[%]인 것을 예로 하였다.
상기 센서들(105a, 105b, 105c)의 분포 형태는 직렬, 병렬, 링 형태, 별 형태, 버스 형태 등 본 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 예가 가능하다.
상기 파장-시간 변환기(106)는 상기 센서들(105a, 105b, 105c)의 출력이 순환기(104)를 통해 입력되면 파장-시간 변화를 통해 각 센서의 스펙트럼의 변화(즉, 중심파장의 변화)를 시간 상에서의 이동으로 변환시킨다. 이러한 파장-시간 변환기(106)의 예로서 분산 보상 광섬유(DCF)가 있다. 여기서, 분산 보상 광섬유는 각 센서에 가해지는 외부 온도 및 압력 변화 등으로 인하여 발생하는 센서의 중심파장 이동을 높은 분산 값을 이용하여 시간상에서 이동하게 한다. 본 발명에서 상기 분산 보상 광섬유의 분산 값은 1550[nm]에서 -1344.8[ps/nm]인 것을 예로 하였다.
상기 파장-시간 변환기(106)의 출력단에는 광검출기(107)가 구비되는데, 상기 광검출기(107)는 파장-시간 변환기(106)의 출력을 전기 신호로 변환한다.
상기 파장-시간 변환기(106)와 광검출기(107) 사이에는 각 센서(105)의 파장과 일치하고 통과 대역은 더 넓은 밴드 패스 필터(미도시)가 추가로 구비될 수 있는데, 이를 통해 광증폭기에서 발생하는 잡음의 증폭을 최소화할 수 있다. 또한, 이는 출력 파워가 높은 광대역 광원을 사용함으로써, 밴드패스 필터가 없이 센서를 모니터링하는 것도 가능하다.
상기 광검출기(107)의 출력단에는 전기신호증폭기(108)가 구비되며, 상기 전기신호 증폭기(108)는 광검출기(107)의 출력을 증폭한다.
상기 제2 의사난수 생성기(109)는 제1 의사난수 생성기(102)에서 생성하는 제1 의사난수 코드열과는 주파수가 상이하고 비트 길이와 코드열이 동일한 제2 의사난수 코드열을 생성한다. 본 발명을 설명함에 있어서 상기 제2 의사난수 생성기(109)는 500[MHz]의 주파수를 가지고 비트 길이가 27-1(=127)인 제2 의사난수 코드열을 생성하는 것을 예로 한다.
상기 제2 의사난수 생성기(109)에서 출력된 제2 의사난수 코드열과 전기신호증폭기(108)의 출력은 믹서(110)와 적분기(111)를 통하여 자기상관하게 된다. 상기 믹서(110)의 입력단은 제2 의사난수 생성기(109)의 출력단과 전기신호증폭기(108)의 출력단에 연결되고, 상기 믹서(110)의 출력단은 적분기(111)의 입력단에 연결되며, 상기 믹서(110)는 제2 의사난수 생성기(109)에서 생성된 제2 의사난수 코드열과 전기신호증폭기(108)의 출력을 혼합하여 출력하며, 상기 적분기(111)는 믹서의 출력을 적분하여 출력한다.
본 발명에 따른 센서 장치는 상기 적분기(111)의 출력의 시간 상의 변화를 관찰함으로써 센서를 모니터링할 수 있다. 본 발명을 설명함에 있어서 상기 적분기(111)의 출력을 관찰하기 위하여 오실로스코프(112)가 구비된 것을 예로 하였다.
도 2와 도 3에는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 센서 장치에서 믹서(110)와 적분기(111)를 통해 수행하는 슬라이딩 자기상관을 설명하기 위한 도면을 도시하였다.
도 2에는 서로 비트의 길이와 코드의 형태가 같고 주파수가 약간 다른 코드1과 코드2를 오실로스코프에 연결하여 관측한 그래프를 도시하였다. 도 2와 같이 코드1을 트리거로 잡은 경우에 코드2는 코드1과 형태와 비트 길이가 동일하고 동작 주파수가 약간 다르므로 슬라이딩하는 것처럼 보이게 되며, 이와 같은 방법을 통해 슬라이딩 자기상관을 수행할 수 있다. 여기서, 슬라이딩 속도는 두 코드의 주파수 차이에 의해 결정되며, 주기 시간은 아래 식4에 의하여 결정된다.
Figure 112011028234409-pat00012
상기 수학식 4에서
Figure 112011028234409-pat00013
은 코드의 길이이고,
Figure 112011028234409-pat00014
는 주파수 차이이다. 자기상관 값의 대역은 아래 수학식5에 의해 결정된다.
Figure 112011028234409-pat00015
도 3을 참조하면, 주파수가 각각 100[MHz], 100.01[MHz]로서 상이하고 코드의 길이가 31로서 동일한 두 의사난수 코드를 믹서와 적분기를 이용하여 자기상관 한 경우에, 주기 시간과 대역은 수학식4와 수학식5에 의한 계산값이 3.10[ms]와 0.20[ms]이고 실제 측정값이 3.09[ms] 및 0.23[ms]로서 거의 오차가 없음을 알 수 있다.
도 4에는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 센서 장치에 있어서 시간에 따른 자기상관의 값을 그래프로 보여주고 있다.
도 4를 참조하면, 펄스의 주기는 1.27[ms]임을 알 수 있는데, 이와 같은 펄스의 주기는 중심주파수와 비트의 길이에 의해 결정되므로 시간(즉, 펄스의 주기)을 단축할 수도 늘릴 수도 있다.
본 발명에 따른 센서 장치와 같이 코드분할 다중방식의 경우에 측정할 수 있는 센서의 개수는 비트 길이에 의해 결정되므로, 27-1(=127)인 의사난수 코드열을 생성하는 의사난수 생성기를 이용할 경우에 100여개 이상의 센서를 모니터링하는 것이 가능하다.
도 5에서는 도 1에 도시된 제1 내지 제3 센서(105a, 105b, 105c) 중에 제2 센서(105b)에 압력을 준 후에 자기상관 값의 변화를 관찰한 예1의 그래프를 보여주고 있다.
도 5를 참조하면, 제2 센서(105b)에 압력을 주어 중심파장이 이동하게 한 후에 제2 센서(105b)와 제3 센서(105c)의 관계를 관찰한 결과, 제2 센서(105b)의 중심파장의 변화에 의한 자기상관 값의 시간 변화에 대하여 제3 센서(105c)는 독립적임을 알 수 있다. 여기서, 상기 센서(105a, 105b, 105c)의 민감도는 파장-시간 변환기(106)의 민감도 및 중심파장 사이의 간격 조정을 통하여 결정된다.
도 6에서는 도 1에 도시된 제1 내지 제3 센서(105a, 105b, 105c) 중에 제2 센서(105b)에 압력을 준 후에 자기상관 값의 변화를 관찰한 예2를 보여주고 있으며, 도 7은 제2 센서(105b)에 변형을 가하는 경우에 변형에 따른 파장 변화의 예를 보여주고 있다.
도 6과 도 7을 참조하면, 변형으로 인해 자기상관 값의 시간은 짧아짐을 알 수 있다. 즉, 0.36[με] 단계 증가에 따라 제2 센서(105b)에 변형이 가해졌을 때 자기상관 값의 시간은 0.05[ms] 만큼 짧아지며, 분산보상 광섬유(DCF)의 음(-)의 높은 분산 슬롭에 의해 제2 센서(105b)의 시간 시프트(슬라이딩)가 일어나게 된다. 제2 센서(105b)에 변형이 가해졌을 때 제1 센서(105a)와 제3센서(105c)는 시간 시프트 편차가 6.4[μs], 8.6[μs]이다. 따라서, 제1 센서(105a)와 제3 센서(105c)는 제2 센서(105b)의 변형과는 독립적이고, 이에 따라 본 발명에 따른 센서 장치는 낮은 크로스토크와 높은 신뢰도가 기대된다.
101 : 광대역 광원 102 : 제1 의사난수 생성기
103 : 광증폭기 104 : 순환기
105a, 105b, 105c : 센서 106 : 파장-시간 변환기
107 : 광검출기 108 : 전기신호증폭기
109 : 제2 의사난수 생성기 110 : 믹서
111 : 적분기 112 : 오실로스코프

Claims (10)

  1. 광대역 광원;
    제1 의사난수 코드열을 생성하여 상기 광대역 광원을 변조하는 제1 의사난수 생성기;
    상기 제1 의사난수 생성기의 출력이 입사되면 자신의 중심파장에 해당하는 파장에서 반사시키는 적어도 하나의 센서;
    상기 센서의 출력을 파장-시간 변환하는 파장-시간 변환기;
    상기 제1 의사난수 코드열과 주파수가 상이하고 비트 길이와 코드열이 동일한 제2 의사난수 코드열을 생성하는 제2 의사난수 생성기;
    상기 파장-시간 변환기의 출력과 제2 의사난수 생성기의 출력을 혼합하는 믹서; 및
    상기 믹서의 출력을 적분하는 적분기;를 포함하고,
    상기 파장-시간 변환기와 믹서 사이에는 파장-시간 변환기의 출력을 전기 신호로 변환하는 광검출기가 추가로 구비되는 것을 특징으로 하는 센서 장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 광대역광원은 고휘도 발광다이오드, 반도체 광증폭기, 반사형 반도체 광증폭기 중에 하나인 것을 특징으로 하는 센서 장치.
  3. 제 1 항에 있어서, 변조된 광대역 광원을 증폭하여 센서로 입력하는 광증폭기가 추가로 구비된 것을 특징으로 하는 센서 장치.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 센서는 자신의 중심파장에 해당하는 파장을 반사시키는 반사체를 구비하며,
    상기 반사체는 광대역 광원의 출력단에 연결되어 단일 파장 전반사 또는 부분 반사 특성을 가지는 브라그 격자 또는 유전체 박막 필터인 것을 특징으로 하는 센서 장치.
  5. 삭제
  6. 제 1 항에 있어서, 상기 파장-시간 변환기와 광검출기 사이에는 각 센서의 파장과 일치하는 밴드 패스 필터가 추가로 구비되는 것을 특징으로 하는 센서 장치.
  7. 제 1 항에 있어서, 상기 광검출기와 믹서 사이에는 상기 광검출기의 출력을 증폭하는 전기신호증폭기가 추가로 구비되는 것을 특징으로 하는 센서 장치.
  8. 제 1 항에 있어서, 상기 센서가 다수 개 구비된 경우에 센서들의 분포 형태는 직렬, 병렬, 링 형태, 별 형태, 버스 형태 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 센서 장치.
  9. 제 1 항에 있어서, 상기 적분기의 출력의 시간 상의 변화를 사용자에게 제공하는 오실로스코프가 추가로 구비되는 것을 특징으로 하는 센서 장치.
  10. 광대역 광원;
    제1 의사난수 코드열을 생성하여 상기 광대역 광원을 변조하는 제1 의사난수 생성기;
    변조된 광대역 광원을 증폭하는 광증폭기;
    상기 광증폭기의 출력이 입사되면 자신의 중심파장에 해당하는 파장에서 반사시키는 적어도 하나의 센서;
    상기 센서의 출력을 파장-시간 변환하는 파장-시간 변환기;
    상기 파장-시간 변환기의 출력을 전기 신호로 변환하는 광검출기;
    상기 광검출기의 출력을 증폭하는 전기신호증폭기;
    상기 제1 의사난수 코드열과는 주파수가 상이하고 비트 길이와 코드열이 동일한 제2 의사난수 코드열을 생성하는 제2 의사난수 생성기;
    상기 전기신호증폭기의 출력과 제2 의사난수 생성기의 출력을 혼합하는 믹서; 및
    상기 믹서의 출력을 적분하는 적분기;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 센서 장치.
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