KR101711872B1 - Calculation method and apparatus for propagation velocity of surface wave - Google Patents
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Abstract
표면파 전파 속도 산출 방법이 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 표면파 전파 속도 산출 방법은 표면파 전파 속도 산출 장치가 소정의 광원과 슬릿을 이용하여 생성된 슬릿 광을 피검사체의 표면에 조사하고, 표면파 전파 속도 산출 장치가 슬릿 광에 의하여 피검사체의 표면에서 발생하는 표면파를 수신한 다음, 표면파 전파 속도 산출 장치가 표면파의 연속된 피크 성분의 발생 시간 간격에 기초하여 표면파의 전파 속도를 도출한다.A surface wave propagation velocity calculation method is disclosed. The surface wave propagation velocity calculation method according to an embodiment of the present invention is a surface wave propagation velocity calculation method in which a surface wave propagation velocity calculation device irradiates a slit light generated by using a predetermined light source and a slit to a surface of an object to be inspected, The surface wave propagation velocity calculation device derives the propagation velocity of the surface wave based on the generation time interval of successive peak components of the surface wave.
Description
본 발명의 일 실시예는 피검사체 표면의 열화를 검출하기 위한 표면파 전파 속도 산출 방법에 관한 것으로서, 표면파 각각의 피크 성분의 전파 속도의 평균을 기초로 하거나, 표면파의 주파수 스펙트럼에서 최대 피크 값을 갖는 주파수인 메인 주파수를 검출하고, 메인 주파수에 기초하여 표면파의 전파 속도를 산출하는 방법과 장치를 제공한다.An embodiment of the present invention relates to a surface wave propagation velocity calculation method for detecting deterioration of a surface of an object to be inspected, which is based on an average of the propagation speeds of peak components of surface waves, or has a maximum peak value A method and an apparatus for detecting a main frequency which is a frequency and calculating a propagation speed of a surface wave based on the main frequency.
더 나아가, 표면파의 전파 속도에 기초하여 피검사체의 표면의 열화 여부를 판단하는 방법과 장치를 제공한다.Furthermore, a method and an apparatus are provided for judging whether or not the surface of a test object deteriorates based on the propagation speed of surface waves.
펄스레이저를 재료 표면에 열탄성 영역의 에너지 세기로 조사하면 표면 탄성파가 발생한다. 열탄성 영역에서는 재료 표면에 레이저에 의한 손상이 발생하지 않으며, 발생된 표면 탄성파를 일정 거리 떨어진 위치에서 수신하여, 탄성파의 속도 정보를 통해 파동의 진행 경로 상의 열화 상태를 파악할 수 있다. 특히, 선 배열 형태의 빔을 조사하게 되면 표면파의 직진성이 강해지고, 협대역의 주파수 스펙트럼을 얻을 수 있다. When a pulsed laser is irradiated on the material surface with the energy intensity of a thermoelastic region, a surface acoustic wave is generated. In the thermally elastic region, the surface of the material is not damaged by the laser, and the generated surface acoustic wave is received at a certain distance from the surface, and the deterioration state on the propagation path of the wave can be grasped through the velocity information of the acoustic wave. Particularly, when a beam in the form of a line array is irradiated, the directivity of surface waves becomes strong, and a narrow frequency spectrum can be obtained.
일반적으로 벌크파의 경우 재료 저면에서 반사되는 에코신호를 통해 전파시간을 측정하고, 이로부터 전파속도를 측정한다. 이에 반해 레이저 표면파는 에코신호가 발생하지 않아 기존 벌크파의 속도 측정방법으로는 전파속도를 측정할 수 없다. 따라서, 기존에는 초음파 가진부와 일정한 거리가 떨어진 지점에서 초음파 신호를 수신하여 일정한 거리를 전파하였을 때 시간을 측정하여 전파속도를 측정하였다. 하지만 이는 초음파 가진부에서 발생하는 장비의 시간지연 때문에 전파속도를 정밀하게 측정하기 어려운 단점이 있다. 또한 정밀한 전파속도를 측정하기 위해서는 전파거리를 정확히 측정해야 하기 때문에 측정의 번거로움이 있었다. Generally, in the case of bulk waves, the propagation time is measured through the echo signal reflected from the bottom of the material, and the propagation velocity is measured therefrom. On the other hand, the laser surface wave does not generate echo signal, so the propagation velocity can not be measured by the conventional bulk wave velocity measurement method. Therefore, the propagation velocity was measured by measuring the time when the ultrasonic signal was received at a predetermined distance from the ultrasonic wave exciter and propagated at a certain distance. However, this is a disadvantage that it is difficult to precisely measure the propagation speed due to the time delay of the equipment occurring in the ultrasonic wave excitation part. In addition, since the propagation distance must be accurately measured in order to measure the precise propagation speed, the measurement was troublesome.
관련 선행기술로는 대한민국 공개특허공보 제 10-2011-0041378 호(발명의 명칭: 표면파를 이용한 지반 조사 방법, 공개일자: 2012. 11. 12)가 있다.A related prior art is Korean Patent Laid-Open Publication No. 10-2011-0041378 (Title of the Invention: Surface Investigation Method Using Surface Wave, Published on Nov. 12, 2012).
본 발명의 일 실시예의 목적은 슬릿을 통과한 빛인 슬릿 광에 의하여 피검사체로부터 발생하는 표면파를 구성하는 각각의 피크 성분들의 전파 속도에 기초하여 표면파의 전파 속도를 산출하는 방법을 제공하는 것이다. An object of an embodiment of the present invention is to provide a method of calculating a propagation velocity of a surface wave based on propagation velocities of respective peak components constituting a surface wave generated from a subject by slit light that is light passing through the slit.
본 발명의 일 실시예의 목적은 표면파의 주파수 스펙트럼으로부터 최대 피크 값을 갖는 피크 성분의 주파수를 기초로 표면파의 전파 속도를 산출하는 방법을 제공하는 것이다.An object of an embodiment of the present invention is to provide a method of calculating a propagation speed of a surface wave based on a frequency of a peak component having a maximum peak value from a frequency spectrum of a surface wave.
본 발명의 일 실시예의 목적은 표면파의 전파 속도에 기초하여 피검사체의 표면의 열화 여부를 판단하는 방법을 제공하는 것이다.An object of an embodiment of the present invention is to provide a method for judging whether or not the surface of a test object deteriorates based on the propagation speed of surface waves.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 표면파 전파 속도 산출 방법은 표면파 전파 속도 산출 장치가 표면파가 생성되도록 소정의 광원과 슬릿을 이용하여 생성된 슬릿 광을 피검사체의 표면에 조사하는 단계; 상기 표면파 전파 속도 산출 장치가 상기 슬릿 광에 의하여 상기 피검사체의 표면에서 발생하는 상기 표면파를 수신하는 단계; 및 상기 표면파 전파 속도 산출 장치가 상기 표면파의 연속된 피크 성분의 발생 시간 간격에 기초하여 상기 표면파의 전파 속도를 도출하는 단계를 포함한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a surface wave propagation velocity calculation method for irradiating a surface of a subject with a slit light generated by using a predetermined light source and a slit so that a surface wave is generated step; The surface wave propagation velocity calculation device receiving the surface wave generated on the surface of the object by the slit light; And deriving the propagation speed of the surface wave based on the generation time interval of successive peak components of the surface wave.
바람직하게는, 상기 표면파의 전파 속도를 도출하는 단계는 상기 표면파로부터 미리 설정된 임계치 이상의 크기를 갖는 각각의 피크 성분들을 검출하는 단계; 검출된 상기 임계치 이상의 크기를 갖는 각각의 피크 성분의 발생 시간과 상기 임계치 이상의 크기를 갖는 각각의 피크 성분에 이어지는 또 다른 피크 성분의 발생 시간 사이의 시간 간격 및 상기 표면파의 전파거리에 기초하여 상기 각각의 피크 성분의 전파 속도를 도출하는 단계; 및 상기 각각의 피크 성분의 전파 속도의 평균을 도출하는 단계를 포함할 수 있다.Preferably, the step of deriving the propagation speed of the surface wave includes the steps of: detecting each of the peak components having a magnitude equal to or greater than a predetermined threshold value from the surface wave; Based on a time interval between a generation time of each peak component having a magnitude equal to or larger than the detected threshold value and a generation time of another peak component subsequent to each peak component having a magnitude larger than or equal to the threshold value and a propagation distance of the surface wave, Deriving a propagation speed of a peak component of the peak component; And deriving an average of propagation velocities of the respective peak components.
바람직하게는, 본 발명의 일 실시예에 따른 표면파 전파 속도 산출 방법은 상기 표면파 전파 속도 산출 장치가 상기 표면파에 대하여 자기 상관 연산을 수행하는 단계를 더 포함하고, 상기 표면파의 전파 속도를 도출하는 단계는 상기 자기 상관 연산의 수행 결과에 기초하여 상기 표면파의 전파 속도를 도출할 수 있다.Preferably, the surface wave propagation velocity calculation method according to an embodiment of the present invention further includes a step of the surface wave propagation velocity calculation device performing autocorrelation calculation on the surface wave, and deriving the propagation velocity of the surface wave Can derive the propagation speed of the surface wave based on the result of performing the autocorrelation operation.
바람직하게는, 본 발명의 일 실시예에 따른 표면파 전파 속도 산출 방법은 상기 표면파를 증폭하는 단계를 더 포함하고, 상기 자기 상관 연산은 상기 증폭된 표면파에 대하여 수행될 수 있다.Preferably, the surface wave propagation velocity calculation method according to an embodiment of the present invention further includes amplifying the surface wave, and the autocorrelation operation may be performed on the amplified surface wave.
바람직하게는, 본 발명의 일 실시예에 따른 표면파 전파 속도 산출 방법은 상기 표면파 전파 속도 산출 장치가 상기 도출된 표면파의 전파 속도에 기초하여 상기 피검사체 표면의 열화 여부를 판단하는 단계를 더 포함할 수 있다.Preferably, the surface wave propagation velocity calculation method according to an embodiment of the present invention further includes a step of determining whether the surface wave propagation velocity calculation device deteriorates the surface of the object to be inspected based on the derived propagation velocity of the surface wave .
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 실시예에 따른 표면파 전파 속도 산출 방법은 표면파 전파 속도 산출 장치가 표면파가 생성되도록 소정의 광원과 슬릿을 이용하여 생성된 슬릿 광을 피검사체의 표면에 조사하는 단계; 상기 표면파 전파 속도 산출 장치가 상기 슬릿 광에 의하여 상기 피검사체의 표면에서 발생하는 상기 표면파를 수신하는 단계; 상기 표면파 전파 속도 산출 장치가 상기 표면파의 주파수 스펙트럼을 생성하여 상기 주파수 스펙트럼의 피크 성분 중 최대 값에 해당하는 주파수인 메인 주파수를 검출하는 단계; 및 상기 표면파 전파 속도 산출 장치가 메인 주파수와 상기 표면파의 파장에 기초하여 상기 표면파의 전파 속도를 산출하는 단계를 포함할 수 있다.According to another aspect of the present invention, there is provided a surface wave propagation velocity calculation method for irradiating a surface of an object to be inspected with slit light generated by using a predetermined light source and a slit so that a surface wave is generated step; The surface wave propagation velocity calculation device receiving the surface wave generated on the surface of the object by the slit light; The surface wave propagation velocity calculation device generates a frequency spectrum of the surface wave and detects a main frequency which is a frequency corresponding to a maximum value among the peak components of the frequency spectrum; And calculating the propagation speed of the surface wave based on the main frequency and the wavelength of the surface wave.
바람직하게는, 본 발명의 다른 실시예에 따른 표면파 전파 속도 산출 방법은 상기 표면파 전파 속도 산출 장치가 상기 피검사체의 표면에서 발생하는 표면파를 증폭하는 단계를 더 포함하고, 상기 주파수 스펙트럼의 생성은 상기 증폭된 표면파에 대하여 수행될 수 있다.Preferably, in the surface wave propagation velocity calculation method according to another embodiment of the present invention, the surface wave propagation velocity calculation device further includes a step of amplifying a surface wave generated on the surface of the test object, Can be performed on the amplified surface wave.
바람직하게는, 본 발명의 다른 실시예에 따른 표면파 전파 속도 산출 방법은 상기 표면파 전파 속도 산출 장치가 상기 산출된 표면파의 전파 속도에 기초하여 상기 피검사체 표면의 열화 여부를 판단하는 단계를 더 포함할 수 있다.Preferably, the surface wave propagation velocity calculation method according to another embodiment of the present invention further includes the step of determining whether the surface wave propagation velocity calculation device is deteriorated on the surface of the object to be inspected based on the propagation velocity of the calculated surface wave .
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 표면파 전파 속도 산출 장치는 소정의 광원과 슬릿을 이용하여 생성된 슬릿 광을 표면파가 생성되도록 피검사체의 표면에 조사하는 조사부; 상기 슬릿 광에 의하여 상기 피검사체의 표면에서 발생하는 상기 표면파를 수신하는 표면파 수신부; 및 상기 표면파의 연속된 피크 성분의 발생 시간 간격에 기초하여 상기 표면파의 전파 속도를 도출하는 속도 도출부를 포함할 수 있다.According to an aspect of the present invention, there is provided an apparatus for calculating surface wave propagation velocity comprising: an irradiator for irradiating a surface of an object to be inspected such that a surface wave is generated by using a predetermined light source and a slit; A surface wave receiving unit receiving the surface wave generated on the surface of the object by the slit light; And a velocity deriving portion for deriving a propagation velocity of the surface wave based on a generation time interval of successive peak components of the surface wave.
바람직하게는, 상기 속도 도출부는 상기 표면파로부터 미리 설정된 임계치 이상의 크기를 갖는 각각의 피크 성분들을 검출하는 피크 성분 검출부; 검출된 상기 임계치 이상의 크기를 갖는 각각의 피크 성분의 발생 시간과 상기 임계치 이상의 크기를 갖는 각각의 피크 성분에 이어지는 또 다른 피크 성분의 발생 시간 사이의 시간 간격 및 상기 표면파의 전파거리에 기초하여 상기 각각의 피크 성분의 전파 속도를 산출하는 전파 속도 도출부; 및 상기 각각의 피크 성분의 전파 속도의 평균을 산출하는 평균 속도 도출부를 포함할 수 있다.Preferably, the velocity deriving unit includes: a peak component detector for detecting peak components having a magnitude equal to or greater than a predetermined threshold value from the surface wave; Based on a time interval between a generation time of each peak component having a magnitude equal to or larger than the detected threshold value and a generation time of another peak component subsequent to each peak component having a magnitude larger than or equal to the threshold value and a propagation distance of the surface wave, A propagation velocity derivation unit for calculating a propagation velocity of a peak component of the peak component; And an average velocity deriving section for calculating an average of the propagation velocities of the respective peak components.
바람직하게는, 본 발명의 일 실시예에 따른 표면파 전파 속도 산출 장치는 상기 표면파에 대하여 자기 상관 연산을 수행하는 연산 수행부를 더 포함하고, 상기 속도 도출부는 상기 자기 상관 연산의 수행 결과에 기초하여 상기 표면파의 전파 속도를 도출할 수 있다.Preferably, the surface wave propagation velocity calculation device according to an embodiment of the present invention further includes an operation performing unit performing an autocorrelation operation on the surface wave, and the velocity deriving unit may calculate the surface wave propagation velocity The propagation speed of the surface wave can be derived.
바람직하게는, 본 발명의 일 실시예에 따른 표면파 전파 속도 산출 장치는 상기 표면파를 증폭하는 증폭부를 더 포함하고, 상기 자기 상관 연산은 상기 증폭된 표면파에 대하여 수행될 수 있다.Preferably, the surface wave propagation velocity calculation device according to an embodiment of the present invention further includes an amplification unit for amplifying the surface wave, and the autocorrelation calculation may be performed on the amplified surface wave.
바람직하게는, 본 발명의 일 실시예에 따른 표면파 전파 속도 산출 장치는 상기 표면파 전파 속도 산출 장치가 상기 도출된 표면파의 전파 속도에 기초하여 상기 피검사체 표면의 열화 여부를 판단하는 열화 판단부를 더 포함할 수 있다.Preferably, the surface wave propagation velocity calculation device according to an embodiment of the present invention further includes a deterioration determination unit that determines whether the surface wave propagation velocity calculation apparatus deteriorates the surface of the object to be inspected based on the derived propagation velocity of the surface wave can do.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 실시예에 따른 표면파 전파 속도 산출 장치는 표면파 전파 속도 산출 장치가 표면파가 생성되도록 소정의 광원과 슬릿을 이용하여 생성된 슬릿 광을 피검사체의 표면에 조사하는 조사부; 상기 표면파 전파 속도 산출 장치가 상기 슬릿 광에 의하여 상기 피검사체의 표면에서 발생하는 상기 표면파를 수신하는 표면파 수신부; 상기 표면파 전파 속도 산출 장치가 상기 표면파의 주파수 스펙트럼을 생성하여 상기 주파수 스펙트럼의 피크 성분 중 최대 값에 해당하는 주파수인 메인 주파수를 검출하는 메인 주파수 검출부; 및 상기 표면파 전파 속도 산출 장치가 상기 메인 주파수와 상기 표면파의 파장에 기초하여 상기 표면파의 전파 속도를 산출하는 전파 속도 산출부를 포함할 수 있다.According to another aspect of the present invention, there is provided an apparatus for calculating a surface wave propagation velocity, comprising: a surface wave propagation velocity calculation device that irradiates a slit light generated by using a predetermined light source and a slit on a surface of an object to be inspected, An investigation unit; Wherein the surface wave propagation velocity calculation device comprises: a surface wave receiving unit for receiving the surface wave generated on the surface of the object by the slit light; Wherein the surface wave propagation velocity calculation device generates a frequency spectrum of the surface wave and detects a main frequency that is a frequency corresponding to a maximum value among the peak components of the frequency spectrum; And a propagation velocity calculation unit that calculates the propagation velocity of the surface wave based on the main frequency and the wavelength of the surface wave.
바람직하게는, 상기 표면파 전파 속도 산출 장치가 상기 피검사체의 표면에서 발생하는 표면파를 증폭하는 증폭부를 더 포함하고, 상기 주파수 스펙트럼의 생성은 상기 증폭된 표면파에 대하여 수행될 수 있다.Preferably, the surface wave propagation velocity calculation device further includes an amplification unit that amplifies surface waves generated on the surface of the object, and generation of the frequency spectrum may be performed on the amplified surface wave.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 표면파를 피크 성분의 피크 성분의 발생 시간 간격에 기초하거나 주파수 스펙트럼의 최대 피크값을 나타내는 메인 주파수에 기초하여 표면파의 전파 속도를 산출할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the propagation velocity of the surface wave can be calculated based on the generation time interval of the peak component of the peak component or the main frequency indicating the maximum peak value of the frequency spectrum.
본 발명의 다른 실시예에 따르면 표면파의 전파 속도에 기초하여 피검사체의 표면의 열화 여부를 판단할 수 있다. According to another embodiment of the present invention, it is possible to judge whether or not the surface of the inspection object deteriorates based on the propagation speed of the surface wave.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 표면파의 전파 속도 산출 방법을 도시한 흐름도이다.
도 2는 본 발명의 다른 실시예에 따른 표면파의 전파 속도를 도출하는 방법을 설명하기 위하여 도시한 흐름도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 피검사체 표면의 열화 여부 판단 방법을 도시한 흐름도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따라 자기 상관 연산이 수행된 표면파를 도시한 도면이다.
도 5는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 표면파의 속도 분석 산출 방법을 도시한 흐름도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따라 표면파에 대하여 생성된 주파수 스펙트럼을 도시한 도면이다.
도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 표면파의 속도 분석 산출 방법을 도시한 흐름도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 표면파의 속도 분석 장치를 설명하기 위하여 도시한 도면이다.1 is a flowchart showing a propagation speed calculation method of a surface wave according to an embodiment of the present invention.
2 is a flowchart illustrating a method of deriving a propagation velocity of a surface wave according to another embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a flowchart illustrating a method for determining whether a surface of an object to be inspected is deteriorated according to an embodiment of the present invention.
4 is a diagram illustrating a surface wave on which autocorrelation is performed according to an embodiment of the present invention.
5 is a flowchart illustrating a surface-wave velocity analysis calculation method according to another embodiment of the present invention.
6 is a diagram illustrating a frequency spectrum generated for a surface wave according to an embodiment of the present invention.
7 is a flowchart illustrating a surface wave velocity analysis method according to another embodiment of the present invention.
8 is a view for explaining a surface wave velocity analyzing apparatus according to an embodiment of the present invention.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다.While the invention is susceptible to various modifications and alternative forms, specific embodiments thereof are shown by way of example in the drawings and will herein be described in detail. It is to be understood, however, that the invention is not to be limited to the specific embodiments, but includes all changes, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention. Like reference numerals are used for like elements in describing each drawing.
제1, 제2, A, B 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. 및/또는 이라는 용어는 복수개의 관련된 기재된 항목들의 조합 또는 복수개의 관련된 기재된 항목들 중의 어느 항목을 포함한다.The terms first, second, A, B, etc. may be used to describe various elements, but the elements should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. For example, without departing from the scope of the present invention, the first component may be referred to as a second component, and similarly, the second component may also be referred to as a first component. And / or < / RTI > includes any combination of a plurality of related listed items or any of a plurality of related listed items.
어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다.It is to be understood that when an element is referred to as being "connected" or "connected" to another element, it may be directly connected or connected to the other element, . On the other hand, when an element is referred to as being "directly connected" or "directly connected" to another element, it should be understood that there are no other elements in between.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수개의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terminology used in this application is used only to describe a specific embodiment and is not intended to limit the invention. The singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise. In the present application, the terms "comprises" or "having" and the like are used to specify that there is a feature, a number, a step, an operation, an element, a component or a combination thereof described in the specification, But do not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, elements, components, or combinations thereof.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs. Terms such as those defined in commonly used dictionaries are to be interpreted as having a meaning consistent with the contextual meaning of the related art and are to be interpreted as either ideal or overly formal in the sense of the present application Do not.
이하, 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.
Hereinafter, preferred embodiments according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 표면파의 전파 속도 산출 방법을 설명하기 위하여 도시한 흐름도이다.1 is a flowchart illustrating a method of calculating a propagation velocity of a surface wave according to an embodiment of the present invention.
본 발명의 일 실시예에 따르면 슬릿을 통과한 광원을 이용하여 발생된 표면파를 구성하는 피크 성분의 발생 시간 간격을 기초로 표면파의 전파 속도를 산출할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the propagation speed of the surface wave can be calculated based on the generation time interval of the peak component constituting the surface wave generated by using the light source passing through the slit.
단계 110에서는, 표면파 전파 속도 산출 장치가 소정의 광원과 슬릿을 이용하여 생성된 슬릿 광을 피검사체의 표면에 조사한다.In Step 110, the surface wave propagation velocity calculation device irradiates the surface of the object to be inspected with slit light generated by using a predetermined light source and a slit.
본 발명의 일 실시예에 따른 소정의 빛은 레이저가 사용될 수 있다.A predetermined light according to an embodiment of the present invention may be a laser.
광원을 슬릿에 통과시키면 특정 파장을 가진 빛이 생성되는데 본 발명에서는 이를 슬릿 광으로 명명한다. 이와 같이 생성된 슬릿 광을 피검사체의 표면에 조사하게 되면 표면파가 생성된다. When a light source is passed through a slit, light having a specific wavelength is generated. In the present invention, this is referred to as a slit light. When the slit light thus generated is irradiated on the surface of the object to be inspected, a surface wave is generated.
단계120에서는, 표면파 전파 속도 산출 장치가 슬릿 광에 의하여 피검사체의 표면에서 발생하는 표면파를 수신한다.In step 120, the surface wave propagation velocity calculation apparatus receives surface waves generated on the surface of the object by the slit light.
후술하듯이, 표면파가 발생한 피검사체의 표면의 열화 여부를 표면파의 전파 속도에 의하여 판단할 수 있다. 그렇기에 피검사체에 표면파가 발생되도록 하기 위하여 피검사체에 슬릿 광을 조사한다.As will be described later, whether or not the surface of the object undergoing surface waves is deteriorated can be judged by the propagation velocity of the surface waves. Therefore, in order to generate surface waves on the subject, slit light is irradiated on the subject.
단계 130에서는, 표면파 전파 속도 산출 장치가 표면파의 연속된 피크 성분의 발생 시간 간격에 기초하여 표면파의 전파 속도를 도출한다.In step 130, the surface wave propagation velocity calculation device derives the propagation velocity of the surface wave based on the generation time interval of successive peak components of the surface wave.
본 발명의 일 실시예에 의하면 발생한 표면파를 구성하는 연속된 피크 성분들 각각의 발생한 시간의 간격에 기초하여 표면파의 전파 속도를 도출할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the propagation speed of the surface wave can be derived based on the interval of occurrence time of each successive peak component constituting the surface wave.
각각의 피크 성분의 발생 시간 간격에 기초하여 표면파의 전파 속도를 도출하는 과정에 대해서는 도 2를 참조하여 설명한다.The process of deriving the surface wave propagation speed based on the generation time interval of each peak component will be described with reference to Fig.
도 2는 본 발명의 다른 실시예에 따른 표면파의 전파 속도를 도출하는 방법을 설명하기 위하여 도시한 흐름도이다.2 is a flowchart illustrating a method of deriving a propagation velocity of a surface wave according to another embodiment of the present invention.
단계 210에서는, 표면파 전파 속도 산출 장치가 표면파로부터 미리 설정된 임계치 이상의 크기를 갖는 각각의 피크 성분들을 검출한다.In step 210, the surface wave propagation velocity calculation device detects each of the peak components having a magnitude equal to or greater than a predetermined threshold value from the surface wave.
표면파는 무수히 많은 피크 성분으로 구성되는데 표면파 전부에 대하여 분석하는 것보다는 표면파의 피크 성분에 대해서만 분석하는 것이 표면파의 특성을 정확히 판단할 수 있어 정확한 분석이 가능해진다. The surface waves are composed of numerous peak components. By analyzing only the peak components of the surface waves rather than analyzing all the surface waves, it is possible to accurately determine the characteristics of the surface waves, and accurate analysis becomes possible.
따라서, 본 발명에서는 미리 설정된 임계치 이상의 크기를 갖는 피크 성분들을 분석의 대상으로 한다. Therefore, in the present invention, peak components having a size larger than a predetermined threshold value are analyzed.
단계 220에서는, 표면파 전파 속도 산출 장치가 그 검출된 피크 성분의 발생 시간과 각각의 피크 성분에 이어지는 또 다른 피크 성분의 발생 시간 사이의 시간 간격 및 표면파의 전파거리에 기초하여 각각의 피크 성분의 전파 속도를 도출한다.In step 220, the surface wave propagation velocity calculation device calculates the propagation distance of each peak component based on the time interval between the occurrence time of the detected peak component and the occurrence time of another peak component following each peak component and the propagation distance of the surface wave Derive speed.
이때, 표면파 피크 성분의 각각의 전파 속도는 표면파 피크 성분 각각의 전파 거리를 표면파 피크 성분 각각의 전파 시간으로 나누어 구할 수 있다. 이때, 슬릿의 간격을 표면파 피크 성분의 전파 거리로 볼 수 있고, 임의의 표면파 피크 성분의 발생 시간과 그 임의의 피크 성분에 이어지는 또 다른 피크 성분의 발생 시간의 시간 간격을 표면파 피크 성분의 전파 시간으로 볼 수 있으므로, 표면파 피크 성분의 전파 속도는 슬릿의 간격을 표면파 피크 성분 각각의 시간 간격으로 나눔으로써 산출할 수 있다. At this time, the respective propagation velocities of the surface wave peak components can be obtained by dividing the propagation distance of each of the surface wave peak components by the propagation time of each of the surface wave peak components. At this time, the interval of the slit can be regarded as the propagation distance of the surface wave peak component, and the time interval between the occurrence time of an arbitrary surface wave peak component and the occurrence time of another peak component subsequent to the arbitrary peak component is referred to as propagation time The propagation speed of the surface wave peak component can be calculated by dividing the interval of the slits by the time interval of each of the surface wave peak components.
단계 230에서는, 표면파 전파 속도 산출 장치가 각각의 피크 성분의 전파 속도의 평균 값을 산출하고, 그 평균 값을 표면파의 전파 속도로 도출한다. 단계 220에서 각각의 피크 성분들 모두에 대하여 전파 속도를 측정하면 각각의 표면파 피크 성분들의 전파 속도가 모두 상이한 값을 가지게 되므로, 본 발명에서는 각각의 표면파 피크 성분들의 전파 속도의 평균 값을 표면파의 전파 속도로 도출하게 된다.In step 230, the surface wave propagation velocity calculation device calculates the average value of the propagation velocities of the respective peak components, and derives the average value as the propagation velocity of the surface wave. If the propagation velocity is measured for all the peak components in step 220, the propagation speeds of the respective surface wave peak components are different from each other. Therefore, in the present invention, the average value of the propagation velocity of each surface wave peak component is defined as the propagation Speed.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 피검사체 표면의 열화 여부 판단 방법을 도시한 흐름도이다.FIG. 3 is a flowchart illustrating a method for determining whether a surface of an object to be inspected is deteriorated according to an embodiment of the present invention.
단계 310에서는, 표면파 전파 속도 산출 장치가 소정의 광원과 슬릿을 이용하여 생성된 슬릿 광을 피검사체의 표면에 조사한다.In step 310, the surface wave propagation velocity calculation device irradiates the surface of the object to be inspected with slit light generated by using a predetermined light source and a slit.
단계 320에서는, 표면파 전파 속도 산출 장치가 슬릿 광에 의하여 피검사체의 표면에서 발생하는 표면파를 수신한다.In step 320, the surface wave propagation velocity calculation device receives surface waves generated on the surface of the object by the slit light.
단계 330에서는, 표면파 전파 속도 산출 장치가 그 수신한 표면파를 증폭한다.In step 330, the surface wave propagation velocity calculation device amplifies the received surface wave.
수신한 표면파는 신호 강도가 미약한 경우가 발생 할 수 있다. 그리하여 신호를 분석하기에는 곤란한 경우에는 선택적으로 표면파 신호를 증폭할 수 있다.The received surface wave may have a weak signal intensity. Thus, if it is difficult to analyze the signal, the surface wave signal can be selectively amplified.
다만, 수신된 표면파의 신호 강도가 충분히 큰 경우에는 표면파를 증폭하는 단계 330은 생략될 수 있다. However, when the signal intensity of the received surface wave is sufficiently large, the step 330 of amplifying the surface wave may be omitted.
본 발명의 일 실시예에 따른 신호를 증폭하는 방법은 빔 익스팬더(Beam expander)를 사용할 수 있다.A method of amplifying a signal according to an embodiment of the present invention may use a beam expander.
단계 340에서는, 표면파 전파 속도 산출 장치가 그 증폭된 표면파에 대하여 자기 상관 연산을 수행한다.In step 340, the surface wave propagation velocity calculation device performs autocorrelation calculation on the amplified surface wave.
이와 같이 표면파에 대하여 자기 상관 연산을 수행하는 이유는 도 2에서와 같이 자기 상관이 수행되지 않은 표면파를 이용하여 표면파 피크 성분들의 전파 속도를 산출하게 되면, 피크 성분들의 전파 속도간의 편차가 커서 피검사체 표면의 열화 여부를 정확히 판별할 수 없기 때문이다. The reason for performing the autocorrelation operation on the surface wave is that if the propagation speed of the surface wave peak components is calculated using the surface wave not subjected to autocorrelation as shown in FIG. 2, the deviation between the propagation speeds of the peak components is large, This is because it is impossible to accurately determine whether the surface is deteriorated.
즉, 단계 340에서와 같이 표면파에 대해 자기 상관 연산을 수행한 표면파를 이용하여 표면파 피크 성분들의 전파 속도를 산출하게 되면, 피크 성분들 각각의 전파 속도의 편차가 작아져 정밀한 표면파 속도를 측정할 수 있고, 피검사체 표면의 열화 여부를 정확히 판별할 수 있게 된다. 한편, 자기 상관 연산이 수행된 표면파 신호는 도 4에서 후술한다. That is, if the propagation speed of the surface wave peak components is calculated by using the surface wave subjected to the autocorrelation operation on the surface wave as in step 340, the deviation of the propagation speed of each of the peak components becomes small, And it is possible to accurately determine whether or not the surface of the object to be inspected is deteriorated. On the other hand, the surface wave signal on which the autocorrelation operation is performed will be described later with reference to FIG.
단계 350에서는, 표면파 전파 속도 산출 장치가 자기 상관 연산이 수행된 표면파의 연속된 피크 성분의 발생 시간 간격에 기초하여 표면파의 전파 속도를 도출한다.In step 350, the surface wave propagation velocity calculation device derives the propagation velocity of the surface wave based on the generation time interval of successive peak components of the surface wave on which autocorrelation is performed.
단계 360에서는, 표면파 전파 속도 산출 장치가 그 도출된 표면파의 전파 속도에 기초하여 피검사체 표면의 열화 여부를 판단한다.In step 360, the surface wave propagation velocity calculation device determines whether or not the surface of the object to be inspected is deteriorated based on the propagation velocity of the derived surface wave.
표면파의 전파 속도는 피검사체의 특성에 따라 고유한 값을 갖기 때문에, 표면파의 전파 속도를 알 수 있으면 피검사체의 표면의 열화 여부를 판단할 수 있다.Since the propagation speed of the surface wave has an inherent value according to the characteristics of the object, it is possible to determine whether the surface of the object under test deteriorates if the propagation speed of the surface wave is known.
표면파의 전파 속도를 이용하여 피검사체 표면의 열화 여부를 판단하는 방법은 당업자에게 널리 알려진 기술이므로 자세한 설명은 생략한다. The method of determining the deterioration of the surface of the object using the propagation velocity of the surface wave is a technique well known to those skilled in the art, and a detailed description thereof will be omitted.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따라 자기 상관 연산이 수행된 표면파를 도시한 도면이다.4 is a diagram illustrating a surface wave on which autocorrelation is performed according to an embodiment of the present invention.
도 4에서 가로축은 시간 간격을 나타내고 있고, 세로 축은 신호의 크기를 나타내는데, 자기 상관 연산이 수행된 표면파에 대한 신호이므로 피크간의 간격이 크게 차이 나지 않는 것을 알 수 있다. In FIG. 4, the horizontal axis represents the time interval and the vertical axis represents the signal magnitude. It is understood that the intervals between the peaks do not largely differ because they are signals for the surface waves on which autocorrelation is performed.
하기 표 1은 도 4의 표면파를 이용하여 표면파 전파 속도를 도출한 예시이다.Table 1 below is an example of deriving the surface wave propagation velocity using the surface wave of Fig.
표 1에는 표면파 피크들 각각이 발생한 시각(Time), 표면파 피크들 각각의 전파 시간(△t), 전파 속도(V)가 표시되어 있는데, 표면파 피크들 각각의 전파 시간과 전파 속도의 편차가 매우 작은 것을 알 수 있다. Table 1 shows the time (Time) at which each of the surface wave peaks occurred, the propagation time (? T) of each of the surface wave peaks, and the propagation velocity (V). The deviation between the propagation time and propagation speed of each of the surface wave peaks is very high Small things can be seen.
[표 1][Table 1]
도 5는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 표면파의 속도 산출 방법을 도시한 흐름도이다.5 is a flowchart showing a surface wave velocity calculating method according to another embodiment of the present invention.
본 발명의 또 다른 실시예에 따르면 표면파에 대하여 고속 푸리에 변환(Fast Fourier Transform, FFT)을 수행하여 주파수 스펙트럼을 생성하고, 생성된 주파수 스펙트럼을 기초로 표면파의 속도를 산출할 수 있다.According to another embodiment of the present invention, a frequency spectrum may be generated by performing Fast Fourier Transform (FFT) on the surface wave, and the velocity of the surface wave may be calculated based on the generated frequency spectrum.
단계 510에서는, 표면파 분석 장치가 소정의 광원과 슬릿을 이용하여 생성된 슬릿 광을 피검사체의 표면에 조사한다.In step 510, the surface wave analyzer irradiates the surface of the object to be inspected with slit light generated by using a predetermined light source and a slit.
단계 520에서는, 표면파 전파 속도 산출 장치가 슬릿 광에 의하여 피검사체의 표면에서 발생하는 표면파를 수신한다.In step 520, the surface wave propagation velocity calculation device receives surface waves generated on the surface of the subject by the slit light.
단계 530에서는, 표면파 전파 속도 산출 장치가 주파수 스펙트럼의 피크 성분 중 최대 값에 해당하는 주파수인 메인 주파수를 검출한다.In step 530, the surface wave propagation velocity calculation device detects a main frequency which is a frequency corresponding to a maximum value among the peak components of the frequency spectrum.
메인 주파수는 표면파의 주파수 스펙트럼에서 가장 큰 값을 갖기에 발생된 표면파의 특성을 잘 나타낼 수 있다. 그렇기에 메인 주파수를 이용하여 피검사체의 특성을 살펴 볼 수 있다.Since the main frequency has the largest value in the frequency spectrum of the surface wave, the characteristics of the surface wave generated can be well represented. Therefore, the characteristics of the subject can be examined using the main frequency.
이때, 주파수 스펙트럼의 생성은 FFT 연산을 수행하여 생성한다.At this time, generation of the frequency spectrum is performed by performing an FFT operation.
단계 540에서는, 표면파 전파 속도 산출 장치가 메인 주파수와 표면파의 파장에 기초하여 표면파의 전파 속도를 산출한다.In step 540, the surface wave propagation velocity calculation device calculates the propagation velocity of the surface wave based on the main frequency and the wavelength of the surface wave.
표면파의 전파 속도는 메인 주파수와 표면파 파장에 기초하여 산출하게 되는데, 더 구체적으로는 메인 주파수와 표면파의 파장의 곱 연산을 이용하여 산출 값을 구할 수 있다.The propagation speed of the surface wave is calculated on the basis of the main frequency and the surface wave wavelength. More specifically, the calculated value can be obtained by multiplying the wavelength of the main wave and the wavelength of the surface wave.
이때, 표면파의 파장은 슬릿 간격에 대응하여 자동으로 결정된다. 결론적으로, 표면파의 파장은 슬릿 간격을 알고 있으면 자동적으로 알 수 있는 값이므로, 표면파의 메인 주파수만 검출하게 되면 표면파의 파장과 표면파의 메인 주파수를 이용하여 표면파의 전파 속도를 산출할 수 있게 된다.At this time, the wavelength of the surface wave is automatically determined corresponding to the slit interval. As a result, since the wavelength of the surface wave is automatically known when the slit interval is known, when the main frequency of the surface wave is detected, the propagation speed of the surface wave can be calculated by using the wavelength of the surface wave and the main frequency of the surface wave.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따라 표면파에 대하여 생성된 주파수 스펙트럼을 도시한 도면이다.6 is a diagram illustrating a frequency spectrum generated for a surface wave according to an embodiment of the present invention.
도 6에서 주파수 f를 나타내는 피크 성분에 해당하는 주파수가 메인 주파수에 해당하게 된다. 도 6에서 가장 큰 피크 값을 갖는 f에 해당하는 주파수와 표면파 파장의 곱 연산을 통하여 표면파의 전파 속도를 산출할 수 있다.In FIG. 6, the frequency corresponding to the peak component representing the frequency f corresponds to the main frequency. The propagation speed of the surface wave can be calculated by multiplying the frequency corresponding to f having the largest peak value and the surface wave wavelength in FIG.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 피검사체 표면의 열화 여부 판단 방법을 도시한 흐름도이다.7 is a flowchart illustrating a method of determining whether or not the surface of a test object is deteriorated according to another embodiment of the present invention.
단계 710에서는, 표면파 분석 장치가 소정의 광원과 슬릿을 이용하여 생성된 슬릿 광을 피검사체의 표면에 조사한다.In Step 710, the surface wave analyzer irradiates the surface of the object to be inspected with slit light generated by using a predetermined light source and a slit.
단계 720에서는, 표면파 전파 속도 산출 장치가 슬릿 광에 의하여 피검사체의 표면에서 발생하는 표면파를 수신한다.In step 720, the surface wave propagation velocity calculation device receives surface waves generated on the surface of the object by the slit light.
단계 730에서는, 표면파 전파 속도 산출 장치가 피검사체의 표면에서 발생한 표면파를 증폭한다. In step 730, the surface wave propagation velocity calculation device amplifies the surface waves generated on the surface of the test object.
다만, 전술한 바와 같이 표면파의 크기가 충분히 크다면 표면파를 증폭하는 단계 730은 생략될 수 있다. However, if the size of the surface wave is sufficiently large as described above, the step 730 of amplifying the surface wave may be omitted.
단계 740에서는, 표면파 전파 속도 산출 장치가 표면파의 주파수 스펙트럼을 생성하여 주파수 스펙트럼의 피크 성분 중 최대 값에 해당하는 주파수인 메인 주파수를 검출한다.In step 740, the surface wave propagation velocity calculation device generates the frequency spectrum of the surface wave and detects the main frequency which is a frequency corresponding to the maximum value among the peak components of the frequency spectrum.
단계 750에서는, 표면파 전파 속도 산출 장치가 메인 주파수와 표면파의 파장에 기초하여 표면파의 전파 속도를 산출한다.In step 750, the surface wave propagation velocity calculation device calculates the propagation velocity of the surface wave based on the main frequency and the wavelength of the surface wave.
단계 760에서는, 표면파 전파 속도 산출 장치가 산출된 표면파의 전파 속도에 기초하여 피검사체 표면의 열화 여부를 판단한다.In step 760, the surface wave propagation velocity calculation device determines whether the surface of the object to be examined deteriorates based on the calculated propagation velocity of the surface wave.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 표면파의 속도 분석 장치를 설명하기 위하여 도시한 도면이다.8 is a view for explaining a surface wave velocity analyzing apparatus according to an embodiment of the present invention.
도 8을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 표면파의 속도 분석 장치(800)는 조사부(810), 표면파 수신부(820) 및 속도 도출부(830)를 포함한다.Referring to FIG. 8, an
조사부(810)는 소정의 광원과 슬릿을 이용하여 생성된 슬릿 광을 피검사체의 표면에 조사한다.The
표면파 수신부(820)는 슬릿 광에 의하여 피검사체의 표면에서 발생하는 표면파를 수신한다.The surface
속도 도출부(830)는 표면파의 연속된 피크 성분의 발생 시간 간격에 기초하여 표면파의 전파 속도를 도출한다.The
또한, 다른 실시예에서는 속도 도출부(830)가 표면파의 주파수 스펙트럼을 생성하여 주파수 스펙트럼의 피크 성분 중 최대 값에 해당하는 주파수인 메인 주파수를 검출하고, 그 메인 주파수와 표면파의 파장에 기초하여 표면파의 전파 속도를 도출할 수도 있다.In another embodiment, the
이제까지 본 발명에 대하여 그 바람직한 실시예들을 중심으로 살펴보았다. 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 변형된 형태로 구현될 수 있음을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 개시된 실시예들은 한정적인 관점이 아니라 설명적인 관점에서 고려되어야 한다. 본 발명의 범위는 전술한 설명이 아니라 특허청구범위에 나타나 있으며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 차이점은 본 발명에 포함된 것으로 해석되어야 할 것이다.The present invention has been described with reference to the preferred embodiments. It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims. Therefore, the disclosed embodiments should be considered in an illustrative rather than a restrictive sense. The scope of the present invention is defined by the appended claims rather than by the foregoing description, and all differences within the scope of equivalents thereof should be construed as being included in the present invention.
Claims (15)
상기 표면파 전파 속도 산출 장치가 상기 슬릿 광에 의하여 상기 피검사체의 표면에서 발생하는 상기 표면파를 수신하는 단계; 및
상기 표면파 전파 속도 산출 장치가 상기 표면파의 연속된 피크 성분의 발생 시간 간격 및 상기 표면파의 전파 거리에 기초하여 상기 표면파의 전파 속도를 도출하는 단계를 포함하고,
상기 표면파의 전파 거리는 상기 슬릿의 간격인 표면파 전파 속도 산출 방법.Irradiating a slit light generated by using a predetermined light source and a slit on a surface of a test object so that a surface wave propagation velocity calculation device generates a surface wave;
The surface wave propagation velocity calculation device receiving the surface wave generated on the surface of the object by the slit light; And
Wherein the surface wave propagation velocity calculation device derives a propagation velocity of the surface wave based on a generation time interval of successive peak components of the surface wave and a propagation distance of the surface wave,
Wherein the propagation distance of the surface wave is a distance of the slit.
상기 표면파의 전파 속도를 도출하는 단계는
상기 표면파로부터 미리 설정된 임계치 이상의 크기를 갖는 각각의 피크 성분들을 검출하는 단계;
검출된 상기 임계치 이상의 크기를 갖는 각각의 피크 성분의 발생 시간과 상기 임계치 이상의 크기를 갖는 각각의 피크 성분에 이어지는 또 다른 피크 성분의 발생 시간 사이의 시간 간격 및 상기 표면파의 전파거리에 기초하여 상기 각각의 피크 성분의 전파 속도를 도출하는 단계; 및
상기 각각의 피크 성분의 전파 속도의 평균 값을 산출하고, 상기 평균 값을 표면파의 전파 속도로 도출하는 단계를 포함하는 표면파 전파 속도 산출 방법.The method according to claim 1,
The step of deriving the propagation speed of the surface wave
Detecting each of the peak components having a magnitude equal to or greater than a predetermined threshold value from the surface wave;
Based on a time interval between a generation time of each peak component having a magnitude equal to or larger than the detected threshold value and a generation time of another peak component subsequent to each peak component having a magnitude larger than or equal to the threshold value and a propagation distance of the surface wave, Deriving a propagation speed of a peak component of the peak component; And
Calculating an average value of the propagation velocities of the respective peak components, and deriving the average value as a propagation velocity of the surface wave.
상기 표면파 전파 속도 산출 장치가 상기 표면파에 대하여 자기 상관 연산을 수행하는 단계를 더 포함하고,
상기 표면파의 전파 속도를 도출하는 단계는
상기 자기 상관 연산의 수행 결과에 기초하여 상기 표면파의 전파 속도를 도출하는 표면파 전파 속도 산출 방법.The method according to claim 1,
Further comprising the step of the surface wave propagation velocity calculation device performing autocorrelation calculation on the surface wave,
The step of deriving the propagation speed of the surface wave
And deriving the propagation speed of the surface wave based on the result of the autocorrelation calculation.
상기 표면파를 증폭하는 단계를 더 포함하고,
상기 자기 상관 연산은
상기 증폭된 표면파에 대하여 수행되는 표면파 전파 속도 산출 방법.The method of claim 3,
Further comprising amplifying the surface wave,
The autocorrelation operation
And the surface wave propagation velocity is calculated for the amplified surface wave.
상기 표면파 전파 속도 산출 장치가 상기 도출된 표면파의 전파 속도에 기초하여 상기 피검사체 표면의 열화 여부를 판단하는 단계를 더 포함하는 표면파 전파 속도 산출 방법.The method according to claim 1,
Further comprising the step of the surface wave propagation velocity calculation device determining whether the surface of the object to be inspected is deteriorated based on the derived propagation velocity of the surface wave.
상기 표면파 전파 속도 산출 장치가 상기 슬릿 광에 의하여 상기 피검사체의 표면에서 발생하는 상기 표면파를 수신하는 단계;
상기 표면파 전파 속도 산출 장치가 상기 표면파의 주파수 스펙트럼을 생성하여 상기 주파수 스펙트럼의 피크 성분 중 최대 값에 해당하는 주파수인 메인 주파수를 검출하는 단계; 및
상기 표면파 전파 속도 산출 장치가 상기 메인 주파수와 상기 표면파의 파장에 기초하여 상기 표면파의 전파 속도를 산출하는 단계를 포함하고,
상기 표면파의 파장은 상기 슬릿 간격에 대응하여 결정되는 표면파 전파 속도 산출 방법.Irradiating a slit light generated by using a predetermined light source and a slit on a surface of a test object so that a surface wave propagation velocity calculation device generates a surface wave;
The surface wave propagation velocity calculation device receiving the surface wave generated on the surface of the object by the slit light;
The surface wave propagation velocity calculation device generates a frequency spectrum of the surface wave and detects a main frequency which is a frequency corresponding to a maximum value among the peak components of the frequency spectrum; And
And the surface wave propagation velocity calculation device calculates the propagation velocity of the surface wave based on the wavelength of the main frequency and the surface wave,
And the wavelength of the surface wave is determined corresponding to the slit interval.
상기 표면파 전파 속도 산출 장치가 상기 피검사체의 표면에서 발생하는 표면파를 증폭하는 단계를 더 포함하고,
상기 주파수 스펙트럼의 생성은
상기 증폭된 표면파에 대하여 수행되는 표면파 전파 속도 산출 방법.The method according to claim 6,
Further comprising the step of the surface wave propagation velocity calculation device amplifying a surface wave generated on the surface of the object to be inspected,
The generation of the frequency spectrum
And the surface wave propagation velocity is calculated for the amplified surface wave.
상기 표면파 전파 속도 산출 장치가 상기 산출된 표면파의 전파 속도에 기초하여 상기 피검사체 표면의 열화 여부를 판단하는 단계를 더 포함하는 표면파 전파 속도 산출 방법.The method according to claim 6,
Further comprising the step of the surface wave propagation velocity calculation device determining whether the surface of the object to be examined deteriorates based on the calculated propagation velocity of the surface wave.
상기 슬릿 광에 의하여 상기 피검사체의 표면에서 발생하는 상기 표면파를 수신하는 표면파 수신부; 및
상기 표면파의 연속된 피크 성분의 발생 시간 간격 및 상기 표면파의 전파 거리에 기초하여 상기 표면파의 전파 속도를 도출하는 속도 도출부를 포함하고,
상기 표면파의 전파 거리는 상기 슬릿의 간격인 표면파 전파 속도 산출 장치.An irradiating unit for irradiating the surface of the object to be inspected such that the surface wave is generated by using the predetermined light source and the slit;
A surface wave receiving unit receiving the surface wave generated on the surface of the object by the slit light; And
And a velocity deriving section for deriving a propagation velocity of the surface wave based on a generation time interval of successive peak components of the surface wave and a propagation distance of the surface wave,
And the propagation distance of the surface wave is a distance of the slit.
상기 속도 도출부는
상기 표면파로부터 미리 설정된 임계치 이상의 크기를 갖는 각각의 피크 성분들을 검출하는 피크 성분 검출부;
검출된 상기 임계치 이상의 크기를 갖는 각각의 피크 성분의 발생 시간과 상기 임계치 이상의 크기를 갖는 각각의 피크 성분에 이어지는 또 다른 피크 성분의 발생 시간 사이의 시간 간격 및 상기 표면파의 전파거리에 기초하여 상기 각각의 피크 성분의 전파 속도를 산출하는 전파 속도 도출부; 및
상기 각각의 피크 성분의 전파 속도의 평균 값을 산출하고, 상기 평균 값을 표면파의 전파 속도로 도출하는 평균 속도 도출부를 포함하는 표면파 전파 속도 산출 장치.10. The method of claim 9,
The speed derivation unit
A peak component detector for detecting peak components having a magnitude equal to or greater than a predetermined threshold value from the surface wave;
Based on a time interval between a generation time of each peak component having a magnitude equal to or larger than the detected threshold value and a generation time of another peak component subsequent to each peak component having a magnitude larger than or equal to the threshold value and a propagation distance of the surface wave, A propagation velocity derivation unit for calculating a propagation velocity of a peak component of the peak component; And
And an average velocity deriving section for calculating an average value of the propagation velocities of the respective peak components and deriving the average value as the propagation velocity of the surface waves.
상기 표면파에 대하여 자기 상관 연산을 수행하는 연산 수행부를 더 포함하고,
상기 속도 도출부는
상기 자기 상관 연산의 수행 결과에 기초하여 상기 표면파의 전파 속도를 도출하는 표면파 전파 속도 산출 장치.10. The method of claim 9,
Further comprising an arithmetic execution unit performing an autocorrelation operation on the surface wave,
The speed derivation unit
And derives the propagation speed of the surface wave based on the result of the autocorrelation calculation.
상기 표면파를 증폭하는 증폭부를 더 포함하고,
상기 자기 상관 연산은
상기 증폭된 표면파에 대하여 수행되는 표면파 전파 속도 산출 장치.12. The method of claim 11,
And an amplification unit for amplifying the surface wave,
The autocorrelation operation
And the surface wave propagation velocity is calculated with respect to the amplified surface wave.
상기 표면파 전파 속도 산출 장치가 상기 도출된 표면파의 전파 속도에 기초하여 상기 피검사체 표면의 열화 여부를 판단하는 열화 판단부를 더 포함하는 표면파 전파 속도 산출 장치.10. The method of claim 9,
Wherein the surface wave propagation velocity calculation device further includes a deterioration determination unit that determines whether the surface of the object to be inspected is deteriorated based on the derived propagation velocity of the surface wave.
상기 표면파 전파 속도 산출 장치가 상기 슬릿 광에 의하여 상기 피검사체의 표면에서 발생하는 상기 표면파를 수신하는 표면파 수신부;
상기 표면파 전파 속도 산출 장치가 상기 표면파의 주파수 스펙트럼을 생성하여 상기 주파수 스펙트럼의 피크 성분 중 최대 값에 해당하는 주파수인 메인 주파수를 검출하는 메인 주파수 검출부; 및
상기 표면파 전파 속도 산출 장치가 상기 메인 주파수와 상기 표면파의 파장에 기초하여 상기 표면파의 전파 속도를 산출하는 전파 속도 산출부를 포함하고,
상기 표면파의 파장은 상기 슬릿 간격에 대응하여 결정되는 표면파 전파 속도 산출 장치.An irradiating unit for irradiating the surface of the object to be inspected with slit light generated by using a predetermined light source and a slit so that the surface wave propagation velocity calculating apparatus generates surface waves;
Wherein the surface wave propagation velocity calculation device comprises: a surface wave receiving unit for receiving the surface wave generated on the surface of the object by the slit light;
Wherein the surface wave propagation velocity calculation device generates a frequency spectrum of the surface wave and detects a main frequency that is a frequency corresponding to a maximum value among the peak components of the frequency spectrum; And
Wherein the surface wave propagation velocity calculation device calculates a propagation velocity of the surface wave based on the wavelength of the main frequency and the surface wave,
And the wavelength of the surface wave is determined corresponding to the slit interval.
상기 표면파 전파 속도 산출 장치가 상기 피검사체의 표면에서 발생하는 표면파를 증폭하는 증폭부를 더 포함하고,
상기 주파수 스펙트럼의 생성은
상기 증폭된 표면파에 대하여 수행되는 표면파 전파 속도 산출 장치.15. The method of claim 14,
Wherein the surface wave propagation velocity calculation device further comprises an amplification part for amplifying a surface wave generated on the surface of the object to be inspected,
The generation of the frequency spectrum
And the surface wave propagation velocity is calculated with respect to the amplified surface wave.
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2015
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