KR101694723B1

KR101694723B1 - Specimen holding apparatus

Info

Publication number: KR101694723B1
Application number: KR1020150067847A
Authority: KR
Inventors: 김오태; 한상빈
Original assignee: 주식회사 포스코
Priority date: 2015-05-15
Filing date: 2015-05-15
Publication date: 2017-01-10
Also published as: KR20160134194A

Abstract

본 발명은 부정형의 시료를 효과적으로 그리고 확실하게 고정시키고 그리고 측정장치 내에서 시료의 측정방향을 바꾸면서 측정하는 것을 가능하게 하는 시료고정장치에 관한 것으로서, 베이스와; 상기 베이스의 일측면 상에 고정되며, 복수의 제1 가변지지핀들이 탄성적으로 지지되는 제1 가이드를 포함하는 제1 지지대와; 상기 제1 지지대에 대향되며, 복수의 고정지지핀들을 포함하는 제2 지지대; 및 상기 제2 지지대에 대하여 접근하거나 또는 이격되도록 상기 제1 가이드를 상기 제1 지지대에 대하여 가변시키기 위한 제1 조절수단;을 포함함을 특징으로 한다.The present invention relates to a sample fixation device which enables to fix an amorphous sample effectively and reliably and to measure it while changing the measurement direction of the sample in the measurement device, comprising: a base; A first support fixed on one side of the base, the first support including a first guide elastically supported by a plurality of first variable support pins; A second support member opposed to the first support member and including a plurality of fixed support pins; And first adjusting means for varying the first guide relative to the first support so as to be closer to or away from the second support.

Description

Specimen holding apparatus -

본 발명은 시료고정장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 부정형의 시료를 효과적으로 그리고 확실하게 고정시키고 그리고 측정장치 내에서 시료의 측정방향을 바꾸면서 측정하는 것을 가능하게 하는 시료고정장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a sample fixing apparatus, and more particularly, to a sample fixing apparatus which enables to fix a specimen of irregular shape effectively and reliably and to measure it while changing the measurement direction of the sample in the measuring apparatus.

제품을 생산함에 있어서 특히 품질관리를 위해서는 중간 및/또는 최종 제품이 요구되는 규격에 만족하는 지를 수시로 측정하고, 이를 생산공정에 반영하는 피드백 제어 및/또는 최종 제품의 불량 여부를 확인한다. 특히, 제철에 있어서는, 소비자가 요구하는 정확한 성분비 및 규격을 갖는 제품의 생산을 위하여 생산공정 전반에 걸쳐 반복적인 시료의 채취 및 시료의 분석이 요구되고 있으며, 여러 가지 분석장치들이 사용되며, 특히, 금속제의 시료에 대하여는 주사전자현미경(SEM: Scanning Electron Microscope)이 빈번하게 사용되고 있다.In the production of the product, in particular, for quality control, it is frequently measured whether the intermediate and / or final product satisfies the required specifications, and feedback control to reflect it in the production process and / or the defectiveness of the final product is checked. Particularly, in steel making, it is required to collect samples repeatedly throughout the production process and to analyze samples for production of products having accurate composition ratios and specifications required by consumers, and various analysis devices are used, Scanning electron microscopy (SEM) is frequently used for metal samples.

상기 주사전자현미경은 시료의 형태, 미세 구조에 대한 관찰이나 구성 원소의 분포, 정성, 정량 등의 분석을 행하는 장치로서, 금속 등의 도체, 산화물 등의 반도체, 고분자 재료나 세라믹 등의 절연물 및 고체, 분말, 박막시료 등을 측정할 수 있다.The scanning electron microscope is an apparatus for analyzing the shape of a sample, observation of a microstructure, distribution of constituent elements, qualitative and quantitative analysis, and it is applicable to a semiconductor such as a metal, a conductor such as an oxide, an insulator such as a polymer material or a ceramic, , Powder, thin film samples and the like can be measured.

상기 주사전자현미경에 의한 미세 선폭 및 형상의 측정은 다음과 같은 방법으로 수행된다. 우선, 주사전자현미경 측정 장치의 내부에 금속 또는 금속으로 표면이 코팅 처리된 시료를 배치시킨 후, 상기 주사전자현미경 측정 장치의 내부에 10 내지 3Pa(파스칼) 이상의 진공을 형성한다. 그런 다음, 전자총부를 가열하여 0.5 내지 30㎸로 가속된 1 내지 100㎚ 정도의 가느다란 전자빔을 상기 시료의 측정 부분에 이차원 방향으로 초점을 맞추어 주사한다. 이어서, 상기 전자빔에 의해 상기 시료의 패턴으로부터 방출되는 2차전자, 반사전자, 투과전자, 가시광, 적외선, X선, 내부기전력 등의 신호를 검출기(Detector)로 검출한 후, 이를 영상 신호로 변환시켜 육안으로 형태를 확인한다.Measurement of fine line width and shape by the scanning electron microscope is carried out in the following manner. First, a sample coated with a metal or a metal is placed in a scanning electron microscope measuring device, and then a vacuum of 10 to 3 Pa (pascal) or more is formed in the scanning electron microscope measuring device. Then, the electron gun unit is heated and a narrow electron beam of about 1 to 100 nm accelerated to 0.5 to 30 kV is focused on the measurement portion of the sample in a two-dimensional direction. Next, a signal such as a secondary electron, a reflection electron, a transmission electron, a visible light, an infrared ray, an X-ray, an internal electromotive force, etc. emitted from the pattern of the sample is detected by a detector by the electron beam, And confirm the shape with the naked eye.

상기 주사전자현미경은 시료의 분석에 사용되는 광학 현미경 등의 광학적 분석 장치와 비교하여 얻을 수 있는 화상의 초점 심도가 깊으며, 높은 분해능을 얻을 수 있다.The scanning electron microscope has a deep focal depth of an image that can be obtained as compared with an optical analyzing apparatus such as an optical microscope used for analyzing a sample, and a high resolution can be obtained.

최근에는 상기 전자총부를 가열하는 방법을 대신하여 전계 방출(Field emission) 전자총을 장착한 전계방출―주사전자현미경(FE-SEM)이 사용되고 있으며, 상기 전계 방출―주사전자현미경은 1.5㎚ 이하의 고분해능으로 고화질의 화상을 얻을 수 있기 때문에 각종 시료의 분석에 폭넓게 이용되고 있다.Recently, a Field Emission-Scanning Electron Microscope (FE-SEM) equipped with a field emission electron gun has been used instead of the method of heating the electron gun, and the field emission-scanning electron microscope has a high resolution of 1.5 nm or less It is widely used for analysis of various samples because an image of high quality can be obtained.

주사전자현미경 등과 같은 분석장치들은 시료를 먼저 고정지그에 고정시키고, 시료가 고정된 고정지그를 분석장치의 측정실, 예를 들면, 주사전자현미경의 진공챔버 내에 있는 스테이지에 결합시키며, 고정지그가 결합된 스테이지는 조작자가 필요에 따라 X, Y, Z축으로 시료를 이동시키면서 분석을 진행하게 된다.Analytical devices such as scanning electron microscopes are used to fix the sample to the fixing jig first, to couple the fixed jig with the sample to the measuring chamber of the analyzer, for example, to the stage in the vacuum chamber of the scanning electron microscope, In the stage, the operator performs the analysis while moving the sample in the X, Y, and Z axes as needed.

상기한 바와 같은 주사전자현미경 등과 같은 분석장치들에 의한 분석에 있어서, 시료의 고정은 매우 중요하나, 종래의 고정지그는 원판형의 중량체 표면에 접착제나 접착테이프를 이용하여 시료를 단순 부착시키거나, 또는, 도 1에 나타낸 바와 같이, 단순한 바이스 형태의 고정지그가 사용되었다.In the analysis using analytical devices such as the scanning electron microscope as described above, the fixation of the sample is very important. However, in the conventional fixing jig, the sample is simply attached to the surface of the disk-shaped weight using an adhesive or an adhesive tape Alternatively, as shown in Fig. 1, a fixing jig of a simple vise type is used.

도 1에 나타낸 바와 같은 종래의 바이스형 고정지그는 베이스(1)와; 상기 베이스(1) 상에 고정되며, 시료의 고정에서 시료의 일측을 지지하는 고정턱(3)을 포함하는 고정대(2)와; 상기 고정대(2)를 기준하여 가변되면서 시료의 타측을 지지하는 이동턱(5)을 포함하는 이동대(4); 및 상기 이동대(4)를 상기 고정대(2) 쪽으로 접근시켜 시료를 고정시키거나 반대로 상기 이동대(4)를 상기 고정대(2)로부터 이격시켜 시료를 분리해내는 조절나사(6);를 포함하며, 상기 고정대(2)와 상기 이동대(4)에는 이들을 관통하는 가이드(7)가 구비되어 상기 고정대(2)에 대하여 일정한 경로로 상기 이동대(4)가 접근 및/또는 이격되도록 한다. 또한, 상기 조절나사(6)에는 조절핸들(8)이 일체로 고정되어 상기 조절나사(6)의 회전을 용이하게 하고, 그에 의하여 상기 고정대(2)에 대하여 상기 이동대(4)가 접근 및/또는 이격되도록 조절하는 것을 용이하게 한다.
그러나 이러한 종래의 바이스형 고정지그는 고정턱(3)과 상기 고정턱(3)을 기준으로 가변되는 이동턱(5) 사이에 시료를 고정시키는 구조를 갖기 때문에 정형화된 시료를 고정시키기에는 적절하나, 불규칙한 외형을 갖는 부정형의 시료 및/또는 연질 소재의 시료의 고정에는 부적절하며, 가사 고정이 된다 하여도 분석 중인 시료의 고정지그로부터의 탈락 등이 야기될 수 있으며, 그에 따라 시료 분석에 시간이 많이 걸리고, 시료가 고정지그로부터 탈락되는 경우, 특히 주사전자현미경 등에서는 진공 상태를 해제하고, 시료를 인출하여 다시 고정지그에 고정시키고 재장착 후, 다시 진공 상태를 설정해야 하는 등 분석이 효율적으로 이루어지지 못하게 되는 문제점이 있었다.A conventional vise-type fixing jig as shown in Fig. 1 comprises a base 1; A fixing table (2) fixed on the base (1) and including a fixing jaw (3) for supporting one side of the sample in fixing the sample; A moving table (4) including a moving jaw (5) which is variable with reference to the fixing table (2) and supports the other side of the sample; And an adjusting screw 6 for moving the moving table 4 toward the fixing table 2 to fix the sample or to separate the moving table 4 from the fixing table 2 to separate the sample, And a guide 7 passing through the fixing table 2 and the moving table 4 is provided to allow the moving table 4 to approach and / or be separated from the fixing table 2 by a predetermined path. The adjusting screw 6 is integrally fixed with the adjusting handle 8 to facilitate the rotation of the adjusting screw 6 so that the moving table 4 can be moved closer to and away from the fixing table 2, / &Lt; / RTI >
However, since such a conventional vise-type fixing jig has a structure for fixing the sample between the fixing jaw 3 and the moving jaw 5 which varies with the fixing jaw 3, it is suitable for fixing the fixed sample , It is inadequate to fix a sample of irregular shape having irregular outer shape and / or a soft material, and even if the sample is fixed, the sample under analysis may be dropped from the fixing jig, In particular, when the sample is dropped from the fixing jig, particularly in a scanning electron microscope, the vacuum state is released, the sample is withdrawn, the sample is fixed to the fixing jig again, and the vacuum state is set again after the sample is reinstalled. There is a problem in that it can not be achieved.

대한민국 공개특허공보 공개번호 10-2011-0130058Korean Patent Publication No. 10-2011-0130058 대한민국 등록실용신안공보 등록번호 실0129959Registered in Korea Utility Model Registration No .: 0129959

본 발명은 상기한 바와 같은 종래의 문제점을 해소하기 위하여 안출된 것으로, 부정형의 시료를 효과적으로 그리고 확실하게 고정시키고 그리고 측정장치 내에서 시료의 측정방향을 바꾸면서 측정하는 것을 가능하게 하는 시료고정장치를 제공하는 데 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in order to solve the conventional problems as described above, and it is an object of the present invention to provide a sample fixing apparatus capable of fixing an indefinite sample effectively and reliably and measuring the sample while changing a measuring direction in the measuring apparatus The purpose is to do.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 안출된 본 발명의 일 태양에 따르면, 베이스와; 상기 베이스의 일측면 상에 고정되며, 복수의 제1 가변지지핀들이 탄성적으로 지지되는 제1 가이드를 포함하는 제1 지지대와; 상기 제1 지지대에 대향되며, 복수의 고정지지핀들을 포함하는 제2 지지대; 및 상기 제2 지지대에 대하여 접근하거나 또는 이격되도록 상기 제1 가이드를 상기 제1 지지대에 대하여 가변시키기 위한 제1 조절수단;을 포함하는 시료고정장치가 제공된다.According to an aspect of the present invention, which is designed to achieve the above object, A first support fixed on one side of the base, the first support including a first guide elastically supported by a plurality of first variable support pins; A second support member opposed to the first support member and including a plurality of fixed support pins; And first adjusting means for changing the first guide relative to the first support so as to approach or away from the second support.

본 발명의 다른 일 태양에 따르면, 베이스와; 상기 베이스의 일측면 상에 고정되며, 복수의 제1 가변지지핀들이 탄성적으로 지지되는 제1 가이드를 포함하는 제1 지지대와; 상기 제1 지지대에 대향되며, 탄성적으로 지지되는 복수의 제2 가변지지핀들을 포함하는 제3 지지대; 및 상기 제3 지지대에 대하여 접근하거나 또는 이격되도록 상기 제1 가이드를 상기 제1 지지대에 대하여 가변시키기 위한 제1 조절수단;을 포함하는 시료고정장치가 제공된다.According to another aspect of the present invention, A first support fixed on one side of the base, the first support including a first guide elastically supported by a plurality of first variable support pins; A third support that is opposed to the first support and includes a plurality of second variable support pins elastically supported; And first adjustment means for varying the first guide relative to the first support so as to be closer to or away from the third support.

상기 복수의 제2 가변지지핀들이 탄성적으로 지지되는 제2 가이드를 포함하는 제4 지지대를 포함할 수 있다.And a fourth support including a second guide elastically supported by the plurality of second variable supporting pins.

상기 시료고정장치는 상기 제2 가이드를 가변시키기 위한 제2 조절수단을 더 포함할 수 있다.The sample fixing device may further include second adjusting means for varying the second guide.

상기 제1 조절수단과 제2 조절수단 중 적어도 어느 하나 또는 이들 모두는 손잡이를 더 포함할 수 있다.At least one or both of the first adjusting means and the second adjusting means may further include a handle.

상기 시료고정장치는 상기 베이스의 일측면 상에 고정되는 제1 지지대를 기준하여 상기 베이스의 타측면 상에 고정되는 힌지구와; 상기 힌지구가 힌지고정되는 힌지홈을 포함하는 힌지지지대;를 더 포함할 수 있다.The sample fixing device includes: a hinge region fixed on the other side of the base with reference to a first support fixed on one side of the base; And a hinge support including a hinge groove to which the hinge region is hinged.

상기 힌지구는 상기 힌지홈 내에서 일정한 위치에 고정되도록 고정시키기 위한 힌지고정나사를 더 포함할 수 있다.The hinge unit may further include a hinge fixing screw for fixing the hinge unit to be fixed at a predetermined position in the hinge groove.

상기 베이스와 상기 힌지구 사이에는 힌지지지축이 더 포함될 수 있다.A hinge support shaft may be further included between the base and the hinge region.

본 발명에 따른 시료고정장치는 부정형의 시료를 효과적으로 그리고 확실하게 고정시키고 그리고 측정장치 내에서 시료의 측정방향을 바꾸면서 측정하는 것을 가능하게 하며, 그에 의하여 측정장치의 측정효율을 향상시키고, 시료의 탈락으로 인한 측정장치의 가동 중단 등을 사전에 예방할 수 있는 시료고정장치를 제공할 수 있다.The sample fixing device according to the present invention can effectively and reliably fix an irregular sample and measure the sample while changing the measurement direction in the measuring device, thereby improving the measurement efficiency of the measuring device, It is possible to provide a sample fixing device which can prevent the operation stop of the measuring device due to the breakage.

도 1은 종래의 바이스형 고정지그를 도시한 사시도이다.
도 2는 본 발명의 하나의 구체예에 따른 시료고정장치를 도시한 사시도이다.
도 3은 도 2의 시료고정장치의 평면도이다.
도 4는 본 발명의 다른 하나의 구체예에 따른 시료고정장치의 평면도이다.
도 5는 본 발명의 또 다른 하나의 구체예에 따른 시료고정장치의 평면도이다.
도 6a 및 도 6b는 도 2의 시료고정장치의 측면도들이다.1 is a perspective view showing a conventional vise type fixing jig.
2 is a perspective view illustrating a sample fixing apparatus according to one embodiment of the present invention.
3 is a plan view of the sample holding device of Fig.
4 is a plan view of a sample fixing apparatus according to another embodiment of the present invention.
5 is a plan view of a sample fixing apparatus according to another embodiment of the present invention.
6A and 6B are side views of the sample holding device of FIG.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명의 하나의 구체예에 따른 시료고정장치는, 도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 베이스(11)와; 상기 베이스(11)의 일측면 상에 고정되며, 복수의 제1 가변지지핀(121)들이 탄성적으로 지지되는 제1 가이드(122)를 포함하는 제1 지지대(12)와; 상기 제1 지지대(12)에 대향되며, 복수의 고정지지핀(131)들을 포함하는 제2 지지대(13); 및 상기 제2 지지대(13)에 대하여 접근하거나 또는 이격되도록 상기 제1 가이드(122)를 상기 제1 지지대(12)에 대하여 가변시키기 위한 제1 조절수단(123);을 포함함을 특징으로 한다.As shown in FIGS. 2 and 3, the sample fixing apparatus according to one embodiment of the present invention includes a base 11; A first support 12 fixed on one side of the base 11 and including a first guide 122 elastically supported by a plurality of first variable support pins 121; A second support 13 opposed to the first support 12 and including a plurality of fixed support pins 131; And first adjusting means (123) for changing the first guide (122) relative to the first support (12) so as to be closer to or away from the second support (13) .

상기 베이스(11)는 제1 지지대(12) 및 제2 지지대(13)들이 고정되는 기반을 제공하며, 상기 제1 지지대(12) 및 제2 지지대(13) 사이에 시료(S)를 고정시키는 기능을 하며, 후술되는 바와 같이 힌지지지대에 대하여 힌지가능하게 결합되어 시료(S)의 위치를 가변시키도록 고정시키는 기능을 할 수 있다.The base 11 provides a base on which the first support 12 and the second support 13 are fixed and fixes the sample S between the first support 12 and the second support 13. [ And can be hingedly coupled to the hinge support as described later to fix the position of the sample S to vary.

상기 제1 지지대(12)는 상기 베이스(11)의 일측면 상에 고정되며, 복수의 제1 가변지지핀(121)들이 탄성적으로 지지되는 제1 가이드(122)를 포함할 수 있으며, 상기 제1 지지대(12)는 상기 제2 지지대(13)와 함께 시료(S)를 고정시키는 기능을 수행할 수 있다. 이때 상기 복수의 제1 가변지지핀(121)들은 상기 제1 가이드(122)에 가변가능하게 탄성적으로 지지될 수 있으며, 그에 의하여 상기 시료(S)가 부정형인 경우에도 부정형의 시료(S)의 외면을 따라 각각 다른 접촉점들을 가지면서 상기 시료(S)와 접촉하여 부정형의 시료(S)를 고정시키는 것을 가능하게 할 수 있으며, 시료(S)가 가변지지핀들에 의해 탄성적으로 지지되기 때문에 부정형의 시료는 물론 연질의 시료들도 손상 없이 그리고 접착제나 접착테이프 등을 사용하지 않고도 용이하게 그리고 견고하게 고정시키는 것을 가능하게 할 수 있다. The first support 12 is fixed on one side of the base 11 and may include a first guide 122 elastically supported by a plurality of first variable support pins 121, The first support 12 may function to fix the sample S together with the second support 13. At this time, the plurality of first variable support pins 121 may be elastically supported to be variable in the first guide 122, so that even when the sample S is irregular, It is possible to fix the irregular shaped sample S in contact with the sample S while having different contact points along the outer surface of the sample S. Since the sample S is elastically supported by the variable support pins It is possible to easily and rigidly fix soft samples as well as indefinite samples without damaging them and without using adhesive or adhesive tape or the like.

상기에서 '탄성적으로 지지'된다는 용어는 지지핀이 가이드에 가변가능하게 즉, 움직일 수 있게 고정되되, 스프링 등과 같은 탄성체로 지지된 채로 고정되는 것을 의미하며, 그에 의하여 상기 지지핀이 외력을 받는 경우, 상기 스프링의 작용에 의하여 스프링의 수축에 의해 반발력을 보유한 채로 위치되고, 그에 의하여 스프링의 팽창하려는 경향에 의해 외력에 대하여 반대방향으로 반발력을 나타낼 수 있도록 지지되는 것을 의미한다. 따라서, 항상 외력에 대하여 반대방향으로 힘을 가할 수 있게 되며, 시료(S)가 고정되는 경우, 시료(S)에 대하여 항상 힘을 가하여 시료(S)를 견고하게 고정시키는 기능을 한다. 또한, 시료(S)의 외형이 불규칙한 부정형의 시료가 사용되는 경우, 다수의 지지핀들이 탄성적으로 지지되기 때문에 역시 불규칙한 외형들에 대하여도 다수의 적절한 지지점들을 형성하여 부정형의 시료를 쉽게 그리고 견고하게 고정시킬 수 있다.The term " elastically supported " as used herein means that the support pin is fixed to the guide so as to be changeably movable, i.e., movably supported by an elastic body such as a spring or the like, whereby the support pin receives an external force Means that the spring is held so as to have a repulsive force due to the contraction of the spring by the action of the spring and thereby supported so as to exhibit the repulsive force in the opposite direction to the external force due to the tendency of the spring to expand. Therefore, it is always possible to apply a force in the opposite direction to the external force, and when the sample S is fixed, always applies a force to the sample S to firmly fix the sample S. Further, when a specimen of irregular shape having irregular external shape of the specimen S is used, since a plurality of support pins are elastically supported, it is also possible to form a plurality of appropriate support points for irregular shapes, .

상기 복수의 제1 가변지지핀(121)들을 탄성적으로 지지하는 상기 제1 가이드(122)는 상기 제1 지지대(12)에 가변가능하게 고정될 수 있으며, 따라서 상기 제1 지지대(12)에 대하여 상기 제2 지지대(13) 쪽으로 접근하거나 또는 상기 제2 지지대(13)로부터 멀어지도록 가변될 수 있어 시료(S)를 고정시키는 것을 용이하게 할 수 있다.The first guide 122 elastically supporting the plurality of first variable supporting pins 121 can be variably fixed to the first support 12 so that the first support 122 can be fixed to the first support 12, (S) to the second support (13) or to be away from the second support (13), thereby making it easy to fix the sample (S).

상기 제1 가이드(122)를 상기 제1 지지대(12)에 대하여 가변시키는 것을 용이하게 하기 위하여는 제1 조절수단(123)이 포함된다. 상기 제1 조절수단(123)은 예를 들면 조절나사가 될 수 있으며, 상기 조절나사는 상기 제1 지지대(12)를 관통하여 상기 제1 지지대(12)에 회전가능하게 고정되되, 상기 제1 지지대(12)와는 나사결합되지 않은 상태로 고정되며, 그에 따라 상기 조절나사가 회전되는 동안에도 상기 제1 지지대(12)를 기준하여 상기 조절나사 자체가 나사회전에 의하여 전후진되지 않고 단지 제자리에서 회전만 가능하게 될 수 있다. 반면에, 상기 조절나사에는 상기 제1 가이드(122)가 나사결합된 상태로 고정되며, 그에 따라, 상기 조절나사가 회전되는 경우, 조절나사의 회전에 의하여 그에 나사결합된 상기 제1 가이드(122)는 상기 제1 지지대(12)를 기준으로 전후진될 수 있다. 상기 제1 지지대(12)에 대한 상기 제1 가이드(122)의 전후진에 의하여 상기 제1 가변지지핀(121)들이 시료(S)에 더욱 용이하게 접근하여 시료(S)를 고정시키는 작업을 용이하게 할 수 있다. 비록, 여기에서는 조절나사를 기준으로 기술하기는 하였으나, 본 발명이 이로 제한되는 것으로 의도되는 것은 아니며, 다른 조절수단이 될 수 있으며, 예를 들면 공압수단이나 유압수단이 될 수 있으며, 달리 상기 제1 지지대(12)를 기준으로 상기 제1 가이드(122)의 위치를 가변시킬 수 있는 동작수단을 갖는 것이라면 어느 것이나 사용이 가능할 수 있다. A first adjustment means 123 is included to facilitate varying the first guide 122 relative to the first support 12. The first adjusting means 123 may be, for example, an adjusting screw, and the adjusting screw is rotatably fixed to the first supporting base 12 through the first supporting base 12, So that the adjusting screw itself can not be moved forward or backward relative to the first support 12 with respect to the first support 12 even while the adjusting screw is rotated, It can be rotated only. On the other hand, when the adjusting screw is rotated, the first guide 122 is screwed to the adjusting screw so that the first guide 122 Can be moved back and forth with respect to the first support 12. The operation of fixing the sample S by more easily approaching the sample S to the first variable supporting pins 121 due to the forward and backward movement of the first guide 122 with respect to the first supporting base 12 It can be facilitated. Although described herein with reference to an adjustment screw, the present invention is not intended to be limited thereto, but may be other adjustment means, for example, a pneumatic means or a hydraulic means, 1 may be used as long as it has operation means capable of varying the position of the first guide 122 with respect to the support base 12.

상기 제1 조절수단(123)은 손잡이(124)를 더 포함할 수 있다. 상기 제1 조절수단(123)으로서 조절나사가 사용되는 경우, 상기 손잡이(124)는 조절나사를 용이하게 회전시키기 위한 손잡이가 될 수 있다.The first adjusting means 123 may further include a handle 124. When the adjusting screw is used as the first adjusting means 123, the knob 124 can be a knob for easily rotating the adjusting screw.

상기 제2 지지대(13)는 상기 제1 지지대에 대향되며, 복수의 고정지지핀(131)들을 포함한다. 상기 복수의 고정지지핀(131)들은 상기 제1 지지대(12)의 상기 제1 가변지지핀(121)들과 협동하여 시료(S)를 고정시키는 기능을 할 수 있다.The second support 13 is opposed to the first support and includes a plurality of fixed support pins 131. The plurality of fixed support pins 131 may cooperate with the first variable support pins 121 of the first support 12 to fix the sample S.

상기한 바의 복수의 제1 가변지지핀(121)들 및 복수의 고정지지핀(131)들은 그들의 갯수에 제한이 없으나, 바람직하게는 상기 베이스(11)의 표면을 기준으로 표면과 나란한 수평방향으로 2 내지 10개, 보다 바람직하게는 3 내지 5개의 범위 이내의 갯수를 가질 수 있고, 상기 베이스(11)의 표면을 기준으로 표면에 수직한 수직방향으로 2 내지 10개, 보다 바람직하게는 3 내지 5개의 범위 이내의 갯수를 가질 수 있으며, 이 범위 내에서 부정형의 다양한 형태를 갖는 시료(S)들의 표면들과 여러 곳에서 접촉하는 접촉점들을 가질 수 있으며, 그에 의하여 시료(S)를 용이하게 고정시키는 것을 가능하게 할 수 있다. 상기 지지핀들의 갯수가 상기한 범위를 벗어나는 경우, 너무 많은 지지핀들로 인하여 시료(S)의 분석에 오히려 장애 내지는 불편함을 주게 되는 문제점 및 너무 많은 지지핀들을 포함하여 시료고정장치의 제조 및 유지 보수에 많은 노력과 시간이 소요되는 문제점이 있을 수 있고, 반대로 상기 지지핀들의 갯수가 상기한 범위를 벗어나 너무 적은 경우, 시료(S)를 효과적으로 그리고 견고하게 고정시키지 못하게 되는 문제점이 있을 수 있다.The number of the first variable support pins 121 and the plurality of fixed support pins 131 is not limited to the number of the first support pins 131, Preferably 2 to 10, more preferably 3 to 5, in the direction perpendicular to the surface of the base 11, and preferably 2 to 10, more preferably 3 to 5, And can have contact points at various points in contact with the surfaces of the samples S having various shapes of irregular shapes within this range, thereby facilitating the sample S Thereby making it possible to fix it. If the number of the support pins deviates from the above range, the problem that the analysis of the sample S is caused by the too many support pins is rather troublesome or inconvenient, and the problem of the manufacture and maintenance of the sample fixation device including too many support pins There is a problem in that it takes a lot of effort and time to perform the maintenance and conversely when the number of the support pins is out of the above range, the sample S can not be fixed effectively and firmly.

달리, 본 발명의 다른 하나의 구체예에 따른 시료고정장치는, 도 4에 나타낸 바와 같이, 탄성적으로 지지되는 복수의 제2 가변지지핀(141)들을 포함하는 제3 지지대(14)를 포함할 수 있다. 상기 제2 가변지지핀(141)들은 상기 제3 지지대(14)에 직접적으로 그리고 탄성적으로 지지되며, 상기 복수의 제2 가변지지핀(141)들은 앞서의 가변지지핀들, 즉 제1 가변지지핀(121)들과 동일 및/또는 유사한 것일 수 있다. 따라서, 도 4에 나타낸 바와 같이, 시료(S)를 중심으로 양측의 지지핀들이 모두 가변지지핀들로 구성되기 때문에 좀더 복잡하고 불규칙한 외형을 갖는 시료(S)도 간단하게 그리고 견고하게 고정될 수 있다. Alternatively, as shown in FIG. 4, the sample fixing apparatus according to another embodiment of the present invention includes a third support 14 including a plurality of second variable support pins 141 elastically supported can do. The second variable support pins 141 are directly and resiliently supported by the third support frame 14 and the plurality of second variable support pins 141 are supported by the aforementioned variable support pins, May be the same and / or similar to the pins 121. Therefore, as shown in Fig. 4, since both of the support pins on both sides of the sample S are constituted by the variable support pins, the sample S having a more complicated and irregular contour can be easily and firmly fixed .

달리, 본 발명의 또 다른 하나의 구체예에 따른 시료고정장치는, 도 5에 나타낸 바와 같이, 복수의 제3 가변지지핀(151)들이 탄성적으로 지지되는 제2 가이드(152)를 포함하는 제4 지지대(15)를 포함할 수 있다. 상기 제3 가변지지핀(151)들은 앞서의 가변지지핀들, 즉 제1 가변지지핀(121)들 및/또는 제2 가변지지핀(141)들과 동일 및/또는 유사한 것일 수 있으며, 상기 제3 가변지지핀(151)들을 탄성적으로 지지하는 제2 가이드(152)는 상기 제1 가이드(122)와 동일 및/또는 유사한 것일 수 있다. 따라서, 도 4에 나타낸 바와 같이, 시료(S)를 중심으로 양측의 지지핀들이 모두 가변지지핀들로 구성되기 때문에 좀더 복잡하고 불규칙한 외형을 갖는 시료(S)도 간단하게 그리고 견고하게 고정될 수 있다. Alternatively, as shown in FIG. 5, the sample fixing apparatus according to another embodiment of the present invention includes a second guide 152 elastically supported by a plurality of third variable supporting pins 151 And a fourth support 15. The third variable supporting pins 151 may be the same and / or similar to the variable supporting pins, that is, the first variable supporting pins 121 and / or the second variable supporting pins 141, The second guide 152 elastically supporting the three variable support pins 151 may be the same and / or similar to the first guide 122. Therefore, as shown in Fig. 4, since both of the support pins on both sides of the sample S are constituted by the variable support pins, the sample S having a more complicated and irregular contour can be easily and firmly fixed .

더욱이, 본 발명에 따른 상기 시료고정장치는 상기 제2 가이드(152)를 가변시키기 위한 제2 조절수단(153)을 더 포함할 수 있다. 상기 제2 조절수단(153)은 상기 제1 조절수단(123)과 동일 및/또는 유사한 것일 수 있으며, 따라서, 시료(S)를 중심으로 양측에서 가변지지핀들이 탄성적으로 지지되는 가이드들을 서로에 대하여 접근하거나 또는 이격되도록 조절하는 것을 가능하게 할 수 있으며, 그에 의하여 두껍거나 반대로 얇은 시료(S)들도 용이하게 그리고 견고하게 고정시킬 수 있다.Further, the sample fixing apparatus according to the present invention may further include second adjusting means 153 for changing the second guide 152. The second adjusting means 153 may be the same and / or similar to the first adjusting means 123, so that the guides, which are elastically supported by the variable support pins on both sides of the sample S, Thereby enabling the sample S to be easily and firmly fixed even if it is thick or thin.

또한 본 발명에 따른 시료고정장치는, 도 6a 및 도 6b에 나타낸 바와 같이, 상기 베이스(11)의 일측면 상에 고정되는 제1 지지대(12)를 기준하여 상기 베이스(11)의 타측면 상에 고정되는 힌지구(21)와; 상기 힌지구(21)가 힌지고정되는 힌지홈(23)을 포함하는 힌지지지대(22);를 더 포함할 수 있다. 그에 의하여, 상기 힌지지대(22) 상에 상기 베이스(11)가 고정되되, 상기 힌지홈(23)에 힌지고정된 힌지구(21)에 의하여 임의의 방향으로 경사지게 위치시키는 것을 가능하게 할 수 있다. 이러한 구성은 상기 베이스(11) 상의 지지대들 사이에 고정되는 시료(S)를 임의의 방향 또는 기울기를 갖도록 조절가능하게 고정시킬 수 있으며, 그에 의하여 시료(S)의 측정 및/또는 검사의 위치나 방향 등을 임의로 편리하게 조절하여 다양한 각도에서의 시료(S)의 측정 및/또는 검사를 가능하게 하는 효과가 있다.6A and 6B, a sample fixing device according to the present invention includes a first support 12 mounted on one side of the base 11, A hinge portion 21 fixed to the hinge portion 21; And a hinge support (22) including a hinge groove (23) to which the hinge section (21) is hinged. Thereby, the base 11 is fixed on the hinge region 22, and it is possible to position the base 11 in an arbitrary direction by the hinge region 21 hinged to the hinge groove 23 . Such a configuration can adjustably fix the sample S fixed between the supports on the base 11 so as to have an arbitrary direction or inclination so that the position of the measurement S and / Direction and the like can be arbitrarily and conveniently adjusted to enable the measurement and / or inspection of the sample S at various angles.

게다가, 상기 시료고정장치는 상기 힌지구(21)가 상기 힌지홈(23) 내에서 일정한 위치에 고정되도록 고정시키기 위한 힌지고정나사(24)를 더 포함할 수 있다. 상기 힌지고정나사(24)는 상기 힌지지지대(22)에 나사결합되어 회전가능하게 고정될 수 있으며, 그에 의하여 상기 힌지지지대(22)에 대하여 힌지고정나사(24)를 회전시키는 것에 의하여 전후진시킬 수 있고, 전진 시에는 상기 힌지고정나사(24)의 단부가 상기 힌지구(21)를 압박하여 상기 힌지구(21)가 상기 힌지홈(23) 내에서 더 이상 가변되지 않도록 고정시키는 기능을 할 수 있고, 반대로 후진 시에는 상기 힌지구(21)를 압박하던 상태를 해제하여 상기 힌지구(21)가 상기 힌지홈(23) 내에서 자유로이 가변되는 것을 가능하게 할 수 있다.In addition, the sample fixing device may further include a hinge fixing screw 24 for fixing the hinge region 21 to be fixed at a predetermined position in the hinge groove 23. The hinge fixing screw 24 may be screwed to the hinge support 22 so as to be rotatable so that the hinge fixing screw 24 is rotated about the hinge support 22 And the end of the hinge fixing screw 24 presses the hinge region 21 to fix the hinge region 21 in the hinge groove 23 so as not to change any more The hinge portion 21 can be freely changed in the hinge groove 23 by releasing the state in which the hinge portion 21 is being pressed.

또한, 상기 시료고정장치는 상기 베이스(11)와 상기 힌지구(21) 사이에 힌지지지축(25)을 더 포함할 수 있다. 상기 힌지지지축(25)은 상기 힌지구(21)가 수용되는 상기 힌지지지대(22)로부터 상기 베이스(11)를 이격시켜 상기 힌지구(21)와 힌지홈(23)에 의한 힌지결합에 의하여 상기 베이스(11)가 임의의 방향으로 기울어진 상태로 가변되는 것을 허용하는 것을 가능하게 할 수 있다. 즉, 상기 힌지지지대(22)로부터 베이스(11)를 이격시켜 베이스(11)와 힌지지지대(22) 간의 간섭 없이 베이스(11)가 자유롭게 가변되도록 할 수 있다.Further, the sample fixing device may further include a hinge support shaft 25 between the base 11 and the hinge region 21. The hinge support shaft 25 is separated from the hinge supporter 22 in which the hinge support 21 is received by separating the base 11 from the hinge support shaft 22 by a hinge joint It is possible to allow the base 11 to be varied in an inclined state in an arbitrary direction. That is, the base 11 can be freely varied without interfering between the base 11 and the hinge support 22 by separating the base 11 from the hinge support 22.

상기한 바와 같은 구성 상의 특징들을 갖는 본 발명에 따른 시료고정장치를 사용하는 시료의 분석방법은 예시적으로 다음과 같이 실행될 수 있다.A method of analyzing a sample using the sample fixing apparatus according to the present invention having the above-described constitutional features can be exemplarily performed as follows.

먼저, 시료(S)를 베이스(11) 상의 제2 지지대(13)의 고정지지핀(131) 또는 제3 지지대(14)의 제2 가변지지핀(141) 또는 제4 지지대(15)의 제3 가변지지핀(151)들과 제1 지지대(12)의 제1 가변지지핀(121)들 사이에 고정시키며, 이때, 제1 조절수단(123)을 사용하여 먼저 제1 지지대(12)의 제1 가이드(122)를 상기 제2 지지대(13)로부터 멀리 이격되도록 후퇴시킨 상태에서 상기 지지핀들 사이에 시료(S)를 위치시키고, 상기 제1 조절수단(123)을 사용하여 제1 가이드(122)가 제2 지지대(13) 쪽으로 접근되도록 이동시키면 제1 가이드(122)에 탄성적으로 지지되는 제1 가변지지핀(121)들 중 시료(S)에 먼저 닿는 지지핀(121)은 후퇴하면서 시료(S)와 접촉된 상태를 유지하며, 제1 가이드(122)를 계속 이동시키는 것에 의하여 모든 지지핀(121)들이 시료(S)와 접촉되도록 할 수 있으며, 그에 의하여 시료(S)가 다수의 지지핀들에 의해 용이하게 그리고 견고하게 고정될 수 있게 된다.First, the sample S is placed on the fixing support pin 131 of the second support 13 on the base 11 or on the second variable support pin 141 of the third support 14 or on the second support pin 141 of the fourth support 15 3 variable supporting pins 151 and the first variable supporting pins 121 of the first supporting member 12 by means of the first adjusting means 123. At this time, The sample S is positioned between the support pins in a state where the first guide 122 is retracted away from the second support 13 and the first guide 122 The support pin 121 which first contacts the sample S among the first variable support pins 121 elastically supported by the first guide 122 is moved in the retracted state All the support pins 121 can be brought into contact with the sample S by keeping the contact state with the sample S while continuously moving the first guide 122, The sample S can be easily and firmly fixed by the plurality of support pins.

이렇게 시료(S)를 고정시킨 후, 시료(S)가 고정된 시료고정장치 전체를 분석장치 내로 도입시켜 분석을 수행할 수 있으며, 분석 도중 시료(S)를 기울여서 다각도로 분석하고자 하는 경우에도 상기 힌지고정나사(24)를 풀어 힌지구(21)가 힌지홈(23) 내에서 자유롭게 임의의 방향으로 기울어지도록 조작하는 것을 가능하게 함으로써 시료(S)를 완전히 풀어내지 않고도 다각도에서 임의의 방향으로 시료(S)를 분석하는 것을 가능하게 할 수 있다.After fixing the sample S in this manner, the entirety of the sample fixing apparatus to which the sample S is fixed can be introduced into the analyzer to perform the analysis. In the case where the sample S is tilted and analyzed in a multi- It is possible to unscrew the hinge fixing screw 24 and operate the hinge groove 21 to freely tilt in an arbitrary direction in the hinge groove 23, (S) < / RTI >

또한, 본 발명에 따른 시료고정장치는 시료고정장치, 특히 시료고정장치의 힌지지지대(22)가 X, Y, Z축으로 시료를 이동시키면서 분석을 진행하도록 분석장치에 내재되는 스테이지에 결합될 수 있으며, 그에 의하여 기존의 시료의 조작에 더해 상기한 바와 같이 힌지지지대(22)에 대하여 시료(S)가 고정된 베이스(11)의 기울기를 추가로 조절가능하게 함으로써 시료(S)의 다각도에서의 분석을 보다 용이하게 할 수 있다.In addition, the sample holding device according to the present invention can be coupled to a stage incorporated in the analyzing apparatus so that the sample holding device, particularly the hinge support 22 of the sample holding device, moves the sample in the X, Y, Whereby the slope of the base 11 to which the sample S is fixed with respect to the hinge support 22 can be further adjusted in addition to the operation of the existing sample as described above, Analysis can be made easier.

1: 베이스 2: 고정대
3: 고정턱 4: 이동대
5: 이동턱 6: 조절나사
7: 가이드 8: 조절핸들
11: 베이스
12: 제1 지지대 121: 제1 가변지지핀
122: 제1 가이드 123: 제1 조절수단
124: 손잡이
13: 제2 지지대 131: 고정지지핀
14: 제3 지지대 141: 제2 가변지지핀
15: 제4 지지대 151: 제3 가변지지핀
152: 제2 가이드 153: 제2 조절수단
21: 힌지구 22: 힌지지지대
23: 힌지홈 24: 힌지고정나사
25: 힌지지지축1: Base 2: Fixture
3: Fixed chin 4: Movable base
5: moving jaw 6: adjusting screw
7: Guide 8: Adjustable handle
11: Base
12: first support base 121: first variable support pin
122: first guide 123: first adjustment means
124: Handle
13: second support base 131: fixed support pin
14: third support 141: second variable support pin
15: fourth support rod 151: third variable support pin
152: second guide 153: second adjusting means
21: Hin district 22: Hinge support
23: Hinge groove 24: Hinge fixing screw
25: Hinge support shaft

Claims

A sample fixing device for fixing a sample,
Base;
A first support fixed on one side of the base, the first support including a first guide elastically supported by a plurality of first variable support pins;
A second support member opposed to the first support member and including a plurality of fixed support pins; And
First adjusting means for varying the first guide relative to the first support so that the first guide approaches or is spaced from the second support;
/ RTI >
Wherein the sample is fixed in such a manner that the first variable supporting pins elastically supported by the first guide and the fixing supporting pins of the second supporting frame cooperate with each other.

A sample fixing device for fixing a sample,
Base;
A first support fixed on one side of the base, the first support including a first guide elastically supported by a plurality of first variable support pins;
A third support that is opposed to the first support and includes a plurality of second variable support pins elastically supported; And
First adjusting means for varying the first guide relative to the first support so that the first guide approaches or separates from the third support;
/ RTI >
Wherein the sample is fixed in such a manner that the first variable support pins elastically supported by the first guide and the second variable support pins elastically supported by the third support are jointly fixed.

3. The method of claim 2,
And a fourth support including a second guide elastically supported by the plurality of second variable support pins.

The method of claim 3,
Further comprising second adjusting means for varying the second guide.

5. The method of claim 4,
Wherein at least one of the first adjusting means and the second adjusting means, or both of them, further comprises a handle.

6. The method according to any one of claims 2 to 5,
A hinge region fixed on the other side of the base with reference to a first support fixed on one side of the base; And a hinge support including a hinge groove to which the hinge region is hinge-fixed.

The method according to claim 6,
Further comprising a hinge fixing screw for fixing the hinge region so as to be fixed at a predetermined position in the hinge groove.

The method according to claim 6,
Further comprising a hinge support shaft between the base and the hinge region.