KR101693152B1 - Special Gas Valve Box - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 밸브 박스에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 반도체 또는 LCD 생산라인에 사용되는 특수가스 공급라인에 설치되는 밸브박스에 관한 것이다.The present invention relates to a valve box, and more particularly, to a valve box installed in a special gas supply line used in a semiconductor or LCD production line.
반도체 및 디스플레이 공장, 정유 공장, 가스 정제 공장 및 인화성 물질을 취급하는 공장에는 항시 폭발 및 화재의 위험성이 상존하게 되고, 이러한 지역에서 사용되는 가스 공급라인에 배관 연결부위 누출로 인한 환경오염, 폭발 및 화재 발생 등의 안전사고 위험이 내재 되므로, 폭발 및 화재의 위험에 노출되지 않기 위해 각별한 주의가 요구된다.There is always a risk of explosion and fire in factories, refineries, gas refineries and factories handling flammable materials, and there is a risk of environmental pollution, explosion and explosion due to pipeline leakage in the gas supply lines used in these areas. Special care must be taken not to be exposed to the risk of explosion and fire, since the risk of safety accidents such as fire is inherent.
따라서, 밸브박스는 필수적인 요소이며 밀폐 또는 방폭형 박스 형태로 제작하여 벽 또는 바닥에 매립 설치되어 관리되고, 이상 상황 발생시 관리자에 의해 신속하게 확인 및 조치가 이루어져야 한다.Therefore, the valve box is an essential element and it should be manufactured in a sealed or explosion-proof box form, installed and managed on the wall or floor, and promptly checked and taken by the manager in case of abnormal situation.
본 발명의 목적은 반도체 또는 LCD 생산라인에 사용되는 특수가스의 누출을 감지하여 관리자에게 알려주고, 누출된 가스를 외부로 배출하여 환경오염 이나 화재 또는 폭발과 같은 안전사고를 방지하는 특수가스 밸브박스를 제공하는 것이다. An object of the present invention is to provide a special gas valve box for detecting a leak of a special gas used in a semiconductor or LCD production line and notifying a manager of the leakage of the special gas and discharging the leaked gas to the outside to prevent a safety accident such as environmental pollution or fire or explosion .
상기한 본 발명의 목적을 실현하기 위한 하나의 특징에 따른 특수가스 밸브박스는, 반도체 또는 LCD 생산라인에 공급되는 특수한 가스 라인에 설치되고, 벽에 매립되고, 전면이 개방되며, 복수의 배관이 관통할 수 있도록 양측면에 한 쌍의 관통홀이 복수로 형성된 박스 형상의 케이스; 상기 케이스의 전면에 배치되어 상기 케이스의 내부를 밀폐하는 커버; 상기 배관의 양측에 결합되고, 상기 관통홀에 결합되어 상기 배관을 고정하는 한 쌍의 스터브; 복수의 상기 배관에 각각 결합되어 상기 배관을 개폐하는 복수의 가스밸브; 복수의 상기 배관에 각각 결합되어 상기 배관의 압력을 나타내는 복수의 압력계; 및 상기 케이스의 일측에 연결되고, 상기 반도체 또는 디스플레이 생산라인의 진공모듈과 결합되어 상기 케이스 내부를 진공상태로 유지하는 진공관을 포함한다.The special gas valve box according to one aspect of the present invention for realizing the object of the present invention is installed in a special gas line supplied to a semiconductor or LCD production line, is embedded in a wall, A box-shaped case having a pair of through-holes formed on both sides thereof so as to pass therethrough; A cover disposed on a front surface of the case to seal the inside of the case; A pair of stubs coupled to both sides of the pipe and coupled to the through holes to fix the pipe; A plurality of gas valves respectively connected to the plurality of pipes to open and close the pipes; A plurality of pressure gauges coupled to the plurality of pipelines to indicate the pressure of the piping; And a vacuum tube connected to one side of the case and coupled to the vacuum module of the semiconductor or display production line to maintain the inside of the case in a vacuum state.
또한, 상기 케이스의 내부에 배치되고, 상기 배관에서의 가스 누출을 감지하는 누출감지센서를 더 포함할 수 있다.The apparatus may further include a leak detection sensor disposed inside the case and detecting a gas leak in the pipe.
또한, 상기 케이스 내부에 배치되어 상기 커버의 개방 및 폐쇄 상태를 감지하는 리미트 스위치를 더 포함할 수 있다.The apparatus may further include a limit switch disposed inside the case to detect an opening and closing state of the cover.
또한, 상기 케이스의 내부에 배치되며, 상기 누출감지센서 및 상기 리미트 스위치와 연동되어 상기 케이스의 내부 상태 및 상기 커버의 개폐 상태에 따라 색을 다르게 나타내는 LED모듈을 더 포함할 수 있다.The LED module may further include an LED module disposed inside the case and interlocking with the leakage sensor and the limit switch, the LED module being different in color depending on an internal state of the case and an open / closed state of the cover.
또한, 상기 누출감지센서 및 상기 리미트 스위치와 연동되어 상기 누출감지센서가 가스의 누출을 감지할 경우 또는 상기 리미트 스위치가 상기 커버의 개방을 감지할 경우 경고음을 발생시키는 알람모듈을 더 포함할 수 있다.The alarm module may further include an alarm module that generates an alarm sound when the leakage sensor senses leakage of gas or interlocks with the leakage sensor and the limit switch or when the limit switch detects opening of the cover .
상기 커버는, 상기 케이스와 결합되는 일측에 배치되고, 상기 커버를 일정한 속도로 개폐하며, 상기 커버 개방 시 상기 커버를 고정하는 복수의 도어클로저를 포함할 수 있다. The cover may include a plurality of door closers disposed on one side of the case to be engaged with the case and opening and closing the cover at a constant speed and fixing the cover when the cover is opened.
또한, 상기 커버는, 관리자 카드 및 컨트롤 키 중 적어도 어느 하나 이상을 이용하여 상기 커버를 개방할 수 있는 개방센서를 포함할 수 있다.In addition, the cover may include an open sensor capable of opening the cover using at least one of an administrator card and a control key.
여기서, 상기 개방센서는, 관리자 카드 및 컨트롤 키 중 적어도 어느 하나 이상을 이용하여 관리자 정보를 등록해 저장하는 관리자 정보부; 및 상기 커버를 개방한 관리자의 로그 기록을 저장하는 로그기록 저장부를 포함할 수 있다.Here, the open sensor may include an administrator information unit for registering and storing manager information using at least one of an administrator card and a control key; And a log record storage unit for storing a log record of the manager who has opened the cover.
나아가, 상기 커버는, 상기 케이스의 내부를 육안으로 확인할 수 있도록 투명한 재질로 구비될 수 있다.Furthermore, the cover may be made of a transparent material so that the inside of the case can be visually recognized.
상기 케이스는, 상기 가스밸브 및 상기 압력계와 결합하여 상기 가스밸브 및 상기 압력계를 고정시키는 브라켓; 및 복수의 상기 배관을 고정하는 복수의 서포트를 포함할 수 있다.The case includes a bracket for fixing the gas valve and the pressure gauge in combination with the gas valve and the pressure gauge; And a plurality of supports for fixing the plurality of pipes.
여기서, 상기 서포트는, 복수의 상기 배관과 결합되어 복수의 상기 배관을 고정하는 복수의 클립; 상기 케이스의 폭의 길이와 대응되도록 구비되어 상기 케이스의 내부에 배치되고, 복수의 상기 클립이 슬라이딩 이동 가능하도록 홈이 형성된 프레임; 및 상기 프레임의 양측에 배치되어 복수의 상기 클립이 상기 프레임을 이탈하는 것을 방지하는 한 쌍의 스토퍼를 포함할 수 있다.Here, the support may include: a plurality of clips coupled to the plurality of pipes to fix the plurality of pipes; A frame provided in the case so as to correspond to a length of the width of the case and having a groove formed therein for slidingly moving the plurality of clips; And a pair of stoppers disposed on both sides of the frame to prevent a plurality of the clips from separating from the frame.
상기 스터브는, 상기 배관이 관통되는 배관홀이 형성되고, 상기 관통홀의 일측에서 상기 관통홀에 삽입되는 볼트 형상의 고정부재; 및 상기 관통홀의 타측에서 상기 고정부재에 결합되어 상기 배관을 고정하며 상기 케이스의 내부를 밀폐하는 너트 형상의 결합부재를 포함할 수 있다.The stub includes: a bolt-shaped fixing member formed with a pipe hole through which the pipe passes, and inserted into the through hole at one side of the through hole; And a nut-shaped coupling member coupled to the fixing member at the other side of the through hole to fix the pipe and to seal the inside of the case.
또한, 상기 스터브는, 중심에 배관홀이 형성되고, 단면이 상기 관통홀과 대응되는 통 형상으로 구비되어 상기 관통홀의 일측에서 상기 관통홀에 삽입되며, 양측이 상기 배관과 결합되고, 외주면에 나사산이 형성되며, 상기 관통홀에 고정될 수 있도록 외주면에 걸림턱이 형성된 몸체; 및 상기 관통홀의 타측에서 상기 몸체의 나사산에 결합되어 상기 몸체를 상기 관통홀에 고정하는 너트형상의 결합부재를 포함The stub has a pipe hole at the center thereof and a cross section formed in a cylindrical shape corresponding to the through hole so as to be inserted into the through hole at one side of the through hole and to be coupled with the pipe at both sides, A body having an engaging protrusion formed on an outer circumferential surface thereof so as to be fixed to the through hole; And a nut-shaped coupling member coupled to the thread of the body at the other side of the through hole to fix the body to the through hole
또한, 상기 진공관에 결합되어 상기 진공관을 개폐하는 진공밸브를 더 포함할 수 있다.The vacuum tube may further include a vacuum valve coupled to the vacuum tube to open and close the vacuum tube.
본 발명의 실시예에 따른 가스 방폭 장치에 의하면,According to the gas explosion device according to the embodiment of the present invention,
첫째, 반도체 또는 LCD 생산라인의 진공모듈과 결합되는 진공관에 의해 케이스 내부를 진공상태로 유지할 수 있기 때문에 케이스 내부의 잔류가스를 제거할 수 있어 폭발 또는 화재 등의 사고를 방지할 수 있다.First, since the inside of the case can be maintained in a vacuum state by the vacuum tube coupled with the vacuum module of the semiconductor or LCD production line, the residual gas inside the case can be removed, thereby preventing an accident such as explosion or fire.
둘째, 케이스 내부에 누출감지센서를 구비하여 가스 누출 유무를 확인할 수 있으므로 가스 누출에 의한 사고를 방지할 수 있다.Second, since a leak sensor is provided inside the case to check whether or not a gas leak is present, an accident caused by a gas leak can be prevented.
셋째, 케이스 내부에 리미트 스위치를 구비하여 커버의 개폐 여부를 감지할 수 있어 커버의 개폐 상태를 용이하게 관리할 수 있다. Third, a limit switch is provided inside the case to detect whether the cover is open or closed, so that the open / close state of the cover can be easily managed.
넷째, 누출감지센서 및 리미트 스위치와 연동되는 알람모듈을 구비하여 가스의 누출 상황 및 커버의 개방 상황에 대해서 경고음을 발생시킬 수 있어 관리자에게 가스 누출 또는 커버의 개방을 신속하게 알려줄 수 있어 관리자에 의한 신속한 대처가 가능하다.Fourth, an alarm module interlocked with the leak detection sensor and the limit switch is provided to generate a warning sound for the gas leakage state and the cover open state, thereby promptly informing the manager of gas leakage or opening of the cover, It is possible to take prompt action.
다섯째, 케이스 내부의 상태 및 커버의 개폐상태에 따라 색을 달리하는 LED 모듈에 의해 케이스 내부의 상태를 용이하게 파악할 수 있다.Fifth, the state of the inside of the case can be easily grasped by the LED module having different colors according to the inside of the case and the open / closed state of the cover.
여섯째, 커버에 도어클로저를 구비하여 커버를 일정한 속도로 열고 닫을 수 있으며 개방 시 커버를 고정할 수 있어 케이스 내부의 작업에 용이하다.Sixth, the cover is equipped with a door closure to open and close the cover at a constant speed, and it is easy to work inside the case because the cover can be fixed when opened.
일곱째, 개방센서에 의해 관리자의 식별정보만을 인식하여 커버를 개방할 수 있으므로 보안을 강화할 수 있다.Seventh, security can be enhanced because the cover can be opened by recognizing only the identification information of the administrator by the open sensor.
여덟째, 개방센서가 로그기록 저장부를 구비하여 커버를 개폐한 관리자의 로그기록을 저장할 수 있어 개폐 기록을 관리할 수 있다.Eighth, the open sensor includes a log record storage unit, and can store the log record of the manager who opened and closed the cover, so that the record of opening and closing can be managed.
아홉째, 커버가 투명한 재질로 구비되어 관리자가 케이스 내부를 육안으로 확인할 수 있고 LED모듈의 빛을 투과할 수 있으므로 관리를 용이하게 할 수 있다.Ninthly, the cover is made of a transparent material so that the manager can visually confirm the inside of the case and can transmit light of the LED module, thereby facilitating management.
열째, 스터브에 의해 배관을 케이스에 견고하게 고정할 수 있고, 관통홀을 안정적으로 밀폐할 수 있어 케이스 내부를 밀폐시킬 수 있다.In the tenth, the pipe can be firmly fixed to the case by the stub, the through hole can be stably sealed, and the inside of the case can be sealed.
열한째, 진공밸브를 구비하여 커버 개방 시 진공상태를 해제할 수 있어 커버 개방에 용이하다.Eleventh, a vacuum valve is provided to release the vacuum state when the cover is opened, so that it is easy to open the cover.
열두째, 브라켓에 의해 가스밸브 및 압력계와 케이스 간의 결합을 견고하게 유지할 수 있다. The twelfth, the bracket can firmly hold the gas valve and the connection between the pressure gauge and the case.
열셋째, 서포트를 구비하여 케이스 내부에 배관을 안정적으로 고정할 수 있다.Third, the support can be provided and the pipe can be stably fixed in the case.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 특수가스 밸브박스를 나타낸 적용 사시도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 특수가스 밸브박스를 나타낸 개념도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 특수가스 밸브박스를 나타낸 사시도이다.
도 4는 도 3에 도시된 케이스의 사시도이다.
도 5는 브라켓의 사시도이다.
도 6의 (a)는 가스밸브와 브라켓의 결합 사시도이고, (b)는 배면 사시도이다.
도 7은 도 3에 도시된 서포트의 사시도이다.
도 8은 도 3에 도시된 커버의 사시도이다.
도 9는 도 7에 도시된 개방센서의 블럭도이다.
도 10은 도 3에 도시된 스터브의 사이도이다.
도 11은 도 9에 도시된 스터브와 배관의 결합 사시도이다.
도 12는 다른 실시예에 따른 스터브의 사시도이다.
도 13은 도 12에 도시된 스터브와 배관의 결합 사시도이다.
도 14는 누출감지센서, 리미트 스위치, LED모듈 및 알람모듈의 블럭도이다.1 is an application perspective view illustrating a special gas valve box according to an embodiment of the present invention.
2 is a conceptual view showing a special gas valve box according to an embodiment of the present invention.
3 is a perspective view illustrating a special gas valve box according to an embodiment of the present invention.
4 is a perspective view of the case shown in Fig.
5 is a perspective view of the bracket.
6 (a) is a combined perspective view of the gas valve and the bracket, and (b) is a rear perspective view.
Figure 7 is a perspective view of the support shown in Figure 3;
8 is a perspective view of the cover shown in Fig.
9 is a block diagram of the open sensor shown in Fig.
10 is a cross-sectional view of the stub shown in Fig.
11 is an assembled perspective view of the stub and piping shown in Fig.
12 is a perspective view of a stub according to another embodiment.
13 is an assembled perspective view of the stub and piping shown in Fig.
14 is a block diagram of a leak detection sensor, a limit switch, an LED module, and an alarm module.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명한다. 이때, 첨부된 도면에서 동일한 구성요소는 가능한 동일한 부호로 나타내고 있음에 유의한다. 또한, 본 발명의 요지를 흐리게 할 수 있는 공지 기능 및 구성에 대한 상세한 설명은 생략할 것이다. 마찬가지 이유로 첨부 도면에 있어서 일부 구성 요소는 과장되거나 생략되거나 개략적으로 도시되었다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Note that, in the drawings, the same components are denoted by the same reference symbols as possible. Further, the detailed description of known functions and configurations that may obscure the gist of the present invention will be omitted. For the same reason, some of the components in the drawings are exaggerated, omitted, or schematically illustrated.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 특수가스 밸브박스를 나타낸 적용 사시도이고, 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 특수가스 밸브박스를 나타낸 개념도이며, 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 특수가스 밸브박스를 나타낸 사시도이고, 도 4는 도 3에 도시된 케이스의 사시도이며, 도 5는 브라켓의 사시도이고, 도 6의 (a)는 가스밸브와 브라켓의 결합 사시도이고, (b)는 배면 사시도이다.2 is a conceptual view illustrating a special gas valve box according to an embodiment of the present invention. FIG. 3 is a cross-sectional view of a special gas valve box according to an embodiment of the present invention. 6 is a perspective view of the case shown in Fig. 3, Fig. 5 is a perspective view of the bracket, Fig. 6 (a) is a combined perspective view of the gas valve and the bracket, It is a perspective view.
그리고, 도 7은 도 3에 도시된 서포트의 사시도이고, 도 8은 도 3에 도시된 커버의 사시도이며, 도 9는 도 7에 도시된 개방센서의 블럭도이고, 도 10은 도 3에 도시된 스터브의 사이도이며, 도 11은 도 9에 도시된 스터브와 배관의 결합 사시도이고, 도 12는 다른 실시예에 따른 스터브의 사시도이며, 도 13은 도 12에 도시된 스터브와 배관의 결합 사시도이고, 도 14는 누출감지센서, 리미트 스위치, LED모듈 및 알람모듈의 블럭도이다.
7 is a perspective view of the support shown in Fig. 3, Fig. 8 is a perspective view of the cover shown in Fig. 3, Fig. 9 is a block diagram of the opening sensor shown in Fig. 7, FIG. 12 is a perspective view of a stub according to another embodiment, FIG. 13 is a perspective view of a stub and a pipe shown in FIG. 12, and FIG. And Fig. 14 is a block diagram of the leak detection sensor, the limit switch, the LED module and the alarm module.
도 1 내지 도 14를 참조하면, 반도체 또는 LCD 생산라인에 공급되는 특수한 가스 라인에 설치되는 본 발명의 가스 방폭 장치(100)는 케이스(110), 커버(120), 스터브(130), 가스밸브(140), 압력계(150) 및 진공관(160)을 포함한다.1 to 14, a
케이스(110)는 벽(20)에 매립되고, 전면이 개방되며, 복수의 배관(10)이 관통할 수 있도록 양 측면에 한 쌍의 관통홀(111)이 복수로 형성된다.The
그리고, 케이스(110)는 브라켓(112) 및 서포트(113)를 포함한다.The
브라켓(112)은 가스밸브(140) 및 압력계(150)와 결합하여 가스밸브(140) 및 압력계(150)를 케이스(110)에 고정시킨다.The
여기서, 케이스(110)와 브라켓(112)의 결합과 가스밸브(140) 및 압력계(150)와 브라켓(112)의 결합은 렌치볼트(L)에 의해 결합 될 수 있다.The combination of the
따라서, 브라켓(112)에 의해 케이스(110)와 가스밸브(140) 및 압력계(150) 간의 결합을 견고하게 유지할 수 있다.Therefore, the coupling between the
서포트(113)는 복수로 구비돼 케이스(110)에 결합되어 복수의 배관(10)을 고정한다.A plurality of
그리고, 서포트(113)는 클립(113a), 프레임(113b) 및 스토퍼(113c)를 포함한다.The
클립(113a)은 복수로 구비되어 복수의 배관(10)과 결합되고, 복수의 배관(10)을 고정시킨다.A plurality of
프레임(113b)은 케이스(110)의 폭의 길이와 대응되도록 구비되어 케이스(110)의 내부에 배치되고, 복수의 클립(113a)이 슬라이딩 이동 가능하도록 홈(G)이 형성된다.The
스토퍼(113c)는 한 쌍으로 구비되고, 슬라이딩 이동하여 프레임(113b)의 양측에 배치되어 복수의 클립(113a)이 프레임(113b)을 이탈하는 것을 방지한다.The
커버(120)는 케이스(110)의 전면에 배치되어 케이스(110)의 내부를 밀폐한다.The
커버(120)는 도어클로저(121) 및 개방센서(122)를 포함한다.The
도어클로저(121)는 복수로 구비되고, 케이스(110)와 결합되는 커버(120)의 일측에 배치되어 커버(120)를 일정한 속도로 개폐하며, 커버(120) 개방 시 커버(120)를 고정한다.A plurality of
이렇게, 커버(120)를 개방하면 도어클로저(121)가 커버(120)를 고정하므로 케이스(110) 관리자가 내부 작업을 하기에 용이하다.In this way, when the
개방센서(122)는 관리자 카드 및 컨트롤 키 중 적어도 어느 하나 이상을 이용하여 커버(120)를 개방한다.The
여기서, 개방센서(122)는 관리자 카드를 인식하여 커버(120)를 개방할 수도 있고, 관리자의 컨트롤 키를 이용하여 커버(120)를 개방할 수도 있다.Here, the
그렇기 때문에, 관리자만이 커버(120)를 개방할 수 있어 보안을 강화할 수 있다.Therefore, only the administrator can open the
그리고, 개방센서(122)는 관리자정보부(122a) 및 로그기록 저장부(122b)를 포함한다.The
관리자정보부(122a)는 관리자 카드 및 컨트롤 키 중 적어도 어느 하나 이상을 이용해 관리자의 정보를 등록하여 저장한다.The
로그기록 저장부(122b)는 커버(120)를 개방한 관리자의 정보를 이용하여 관리자의 로그기록을 저장한다.The log
이렇게, 로그기록 저장부(122b)를 구비하여 커버(120)를 개폐한 관리자의 로그기록을 저장할 수 있으므로 커버(120)의 개폐기록을 관리할 수 있다.In this way, since the
또한, 커버(120)는 케이스(110) 내부를 관리자가 육안으로 확인할 수 있도록 투명한 재질로 구비될 수 있다.The
따라서, 관리자가 케이스(110)의 내부를 육안으로 확인할 수 있고, 후술할 LED모듈(190)의 빛을 투과할 수 있어 멀리서도 케이스(110) 내부의 상태를 확인할 수 있으므로 관리자가 관리를 용이하게 할 수 있다.Therefore, the administrator can visually confirm the inside of the
스터브(130)는 한 쌍으로 구비되고, 배관(10)의 양측에 결합되며, 케이스(110)의 관통홀(111)에 결합되어 배관(10)을 고정한다.The
도 10 및 도 11에 도시된 것처럼, 스터브(130)는 고정부재(131) 및 결합부재(132)를 포함한다.As shown in Figs. 10 and 11, the
고정부재(131)는 볼트 형상으로 구비되고, 중앙에 배관(10)이 관통되는 배관홀(131a)이 형성되며, 케이스(110)에 형성된 관통홀(111)의 일측에서 관통홀(111)에 삽입된다.The fixing
여기서, 배관홀(131a)을 관통한 배관(10)은 고정부재(131)와 용접(W)결합으로 결합된다.Here, the
결합부재(132)는 너트 형상으로 구비되고, 케이스(110)에 형성된 관통홀(111)의 타측에서 고정부재(131)에 결합되어 배관(10)을 고정하며 케이스(110)의 내부를 밀폐한다.The
따라서, 배관(10)을 케이스(110) 내부에 견고하게 고정할 수 있고, 고정부재(131) 및 결합부재(132)의 결합에 의해 케이스(110)의 관통홀(111)을 밀폐하여 케이스(110) 내부를 밀폐시킬 수 있다.Therefore, the
또한, 다른 실시예에 따른 스터브(130)는 도 12 및 도 13에 도시된 것처럼 몸체(133) 및 결합부재(134)를 포함한다.In addition, the
몸체(133)는 중심에 배관홀(133a)이 형성되고, 단면이 관통홀(111)과 대응되는 통 형상으로 구비되어 관통홀(111)의 일측에서 관통홀(111)에 삽입되며, 양측에 배관(10)이 결합되고, 외주면에 나사산이 형성되며, 관통홀(111)에 고정될 수 있도록 외주면에 걸림턱(133b)이 형성된다.The
결합부재(134)는 너트형상으로 구비되고, 관통홀(111)의 타측에서 몸체(133)의 나사산에 결합되어 관통홀(111)에 몸체(133)를 고정시킨다. The
가스밸브(140)는 복수로 구비되고, 복수의 배관(10)에 각각 결합되어 배관(10)을 개폐한다.A plurality of
압력계(150)는 복수로 구비되고, 복수의 배관(10)에 각각 결합되어 배관(10)의 압력을 나타낸다.A plurality of
진공관(160)은 케이스(110)의 일측에 연결되고, 반도체 또는 LCD 생산라인의 진공모듈과 결합되어 케이스(110)의 내부를 진공상태로 유지한다.The
따라서, 반도체 또는 LCD 생산라인의 진공모듈과 결합되는 진공관(160)에 의해 케이스(110) 내부를 진공상태로 유지할 수 있기 때문에 케이스(110) 내부의 잔류가스를 외부로 배출하여 제거할 수 있으므로 잔류가스로 인한 폭발 또는 화재 등의 사고를 방지할 수 있다.Accordingly, since the inside of the
또한, 특수가스 밸브박스(100)는 누출감지센서(170), 리미트 스위치(180), LED모듈(190), 알람모듈(200) 및 진공밸브(210)를 더 포함한다.The special
누출감지센서(170)는 케이스(110) 내부에 배치되고, 배관(10)에서 가스 누출을 감지한다.The
이에따라, 케이스(110) 내부의 가스 누출 유무를 실시간으로 감지하여 가스 누출에 의한 사고를 방지할 수 있다.Accordingly, it is possible to detect the presence or absence of gas leakage inside the
리미트 스위치(180)는 케이스(110) 내부에 배치되고 커버(120)의 개방 및 폐쇄 상태를 감지한다.The
따라서, 커버(120)의 개폐 여부를 감지할 수 있어 커버(120)의 개폐 상태를 용이하게 관리할 수 있다. Therefore, it is possible to detect whether the
LED모듈(190)은 케이스(110)의 내부에 배치되고, 누출감지센서(170) 및 리미트 스위치(180)와 연동되어 케이스(110) 내부 상태 및 커버(120)의 개폐 상태에 따라 색을 다르게 나타낸다.The
따라서, 케이스(110) 내부의 상태 및 커버(120)의 개폐상태에 따라 색을 달리하는 LED 모듈(190)에 의해 케이스(110) 내부의 상태를 용이하게 파악할 수 있다.Therefore, the state of the inside of the
알람모듈(200)은 누출감지센서(170) 및 리미트 스위치(180)와 연동되어 누출감지센서(170)가 가스의 누출을 감지할 경우 또는 리미트 스위치(180)가 커버(120)의 개방을 감지할 경우 경고음을 발생시킨다.The
따라서, 케이스(110) 내부의 가스의 누출 상황 및 커버(120)의 개방 상황에 대해서 경고음을 발생시킬 수 있어, 가스 누출 상황 또는 커버(120)의 개방 시 관리자에게 신속하게 알려줄 수 있어 신속한 대처가 가능하다. Accordingly, it is possible to generate a warning sound regarding the gas leakage state inside the
LED모듈(190) 및 알람모듈(200)의 작동을 예를들어 설명하면, 평상시 케이스(110) 내부에 아무런 이상이 없는 경우 LED모듈(190)은 초록색을 나타내고, 케이스(110) 내부에 가스가 누출되어 누출감지센서(170)가 누출을 감지할 경우 LED모듈(190)은 빨간색 점멸을 나타내며 알람모듈(200)에서 경고음이 울린다.The operation of the
또한, 커버(120)가 개방되면 LED모듈(190)은 주황색 점멸을 나타내며 알람모듈(200)에서 경고음이 울린다.Also, when the
여기서, LED모듈(190)의 색 및 점멸 유무는 관리자에 의해 자유롭게 설정될 수 있다.Here, the color of the
따라서, 관리자가 멀리서 LED모듈(190)의 색만으로도 케이스(110) 내부의 상태를 용이하게 파악할 수 있다. Therefore, the manager can easily grasp the state inside the
그리고, 진공밸브(210)는 진공관(160)에 결합되어 진공관(160)을 개페한다.The
본 발명의 특수가스 밸브박스(100)는 케이스(110) 내부가 진공상태이므로 평상시에는 커버(120)를 개방할 수 없다.In the special
따라서, 진공밸브(210)를 이용하여 진공관(160)을 잠근 후에 커버(120)를 개방하여 케이스(110) 내부의 유지 보수를 할 수 있다.Accordingly, after the
이상 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined in the appended claims. It will be possible.
110...케이스 111...관통홀
112...브라켓 113...서포트
120...커버 121...도어클로저
122...개방센서 130...스터브
131...고정부재 132...결합부재
133...몸체 134...결합부재
140...가스밸브 150...압력계
160...진공관 170...누출감지센서
180...리프트 스위치 190...LED모듈
200...알람모듈 210...진공밸브110 ...
112 ...
120 ... Cover 121 ... Door Closer
122 ...
131 ... fixing
133 ...
140 ...
160 ...
180 ...
200 ...
Claims (14)
벽에 매립되고, 전면이 개방되며, 복수의 배관이 관통할 수 있도록 양측면에 한 쌍의 관통홀이 복수로 형성된 박스 형상의 케이스;
상기 케이스의 전면에 배치되어 상기 케이스의 내부를 밀폐하는 커버;
상기 배관의 양측에 결합되고, 상기 관통홀에 결합되어 상기 배관을 고정하는 한 쌍의 스터브;
복수의 상기 배관에 각각 결합되어 상기 배관을 개폐하는 복수의 가스밸브;
복수의 상기 배관에 각각 결합되어 상기 배관의 압력을 나타내는 복수의 압력계; 및
상기 케이스의 일측에 연결되고, 상기 반도체 또는 디스플레이 생산라인의 진공모듈과 결합되어 상기 케이스 내부를 진공상태로 유지하는 진공관을 포함하고,
상기 커버는,
상기 케이스와 결합되는 일측에 배치되고, 상기 커버를 일정한 속도로 개폐하며, 상기 커버 개방 시 상기 커버를 고정하는 복수의 도어클로저를 포함하며,
관리자 카드 및 컨트롤 키 중 적어도 어느 하나 이상을 이용하여 상기 커버를 개방할 수 있는 개방센서를 포함하고,
상기 개방센서는,
관리자 카드 및 컨트롤 키 중 적어도 어느 하나 이상을 이용하여 관리자 정보를 등록해 저장하는 관리자 정보부; 및
상기 커버를 개방한 관리자의 로그 기록을 저장하는 로그기록 저장부를 포함하고,
상기 커버는,
상기 케이스의 내부를 육안으로 확인할 수 있도록 투명한 재질로 구비되며,
상기 케이스는,
상기 가스밸브 및 상기 압력계와 결합하여 상기 가스밸브 및 상기 압력계를 고정시키는 브라켓; 및
복수의 상기 배관을 고정하는 복수의 서포트를 포함하며,
상기 서포트는,
복수의 상기 배관과 결합되어 복수의 상기 배관을 고정하는 복수의 클립;
상기 케이스의 폭의 길이와 대응되도록 구비되어 상기 케이스의 내부에 배치되고, 복수의 상기 클립이 슬라이딩 이동 가능하도록 홈이 형성된 프레임; 및
상기 프레임의 양측에 배치되어 복수의 상기 클립이 상기 프레임을 이탈하는 것을 방지하는 한 쌍의 스토퍼를 포함하고,
상기 스터브는,
상기 배관이 관통되는 배관홀이 형성되고, 상기 관통홀의 일측에서 상기 관통홀에 삽입되는 볼트 형상의 고정부재; 및
상기 관통홀의 타측에서 상기 고정부재에 결합되어 상기 배관을 고정하며 상기 케이스의 내부를 밀폐하는 너트 형상의 결합부재를 포함하며,
상기 진공관에 결합되어 상기 진공관을 개폐하는 진공밸브를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 특수가스 밸브박스.In a special gas valve box installed in a special gas line supplied to a semiconductor or LCD production line,
A box-shaped case which is embedded in a wall, has a front surface, and has a pair of through holes on both sides thereof so that a plurality of pipes can pass through;
A cover disposed on a front surface of the case to seal the inside of the case;
A pair of stubs coupled to both sides of the pipe and coupled to the through holes to fix the pipe;
A plurality of gas valves respectively connected to the plurality of pipes to open and close the pipes;
A plurality of pressure gauges coupled to the plurality of pipelines to indicate the pressure of the piping; And
And a vacuum tube connected to one side of the case and coupled with the vacuum module of the semiconductor or display production line to maintain the inside of the case in a vacuum state,
The cover
And a plurality of door closers disposed on one side of the case to be engaged with the case and opening and closing the cover at a constant speed and fixing the cover when the cover is opened,
And an open sensor capable of opening the cover using at least one of an administrator card and a control key,
The open sensor
An administrator information section for registering and storing manager information using at least one of an administrator card and a control key; And
And a log record storage unit for storing a log record of the manager who has opened the cover,
The cover
The case is made of a transparent material so that the inside of the case can be visually recognized,
In this case,
A bracket coupled to the gas valve and the pressure gauge to fix the gas valve and the pressure gauge; And
And a plurality of supports for fixing the plurality of pipes,
In the support,
A plurality of clips coupled to the plurality of pipes to fix the plurality of pipes;
A frame provided in the case so as to correspond to a length of the width of the case and having a groove formed therein for slidingly moving the plurality of clips; And
And a pair of stoppers disposed on both sides of the frame to prevent a plurality of the clips from separating from the frame,
The stub includes:
A bolt-like fixing member formed with a pipe hole through which the pipe passes, and inserted into the through hole at one side of the through hole; And
And a nut-shaped coupling member coupled to the fixing member at the other side of the through hole to fix the pipe and to seal the inside of the case,
And a vacuum valve coupled to the vacuum tube to open and close the vacuum tube.
상기 케이스의 내부에 배치되고, 상기 배관에서의 가스 누출을 감지하는 누출감지센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 특수가스 밸브박스.The method according to claim 1,
Further comprising a leakage sensor disposed inside the case for detecting gas leakage from the pipe.
상기 케이스 내부에 배치되어 상기 커버의 개방 및 폐쇄 상태를 감지하는 리미트 스위치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 특수가스 밸브박스.3. The method of claim 2,
Further comprising a limit switch disposed inside the case for sensing an opening and closing state of the cover.
상기 케이스의 내부에 배치되며, 상기 누출감지센서 및 상기 리미트 스위치와 연동되어 상기 케이스의 내부 상태 및 상기 커버의 개폐 상태에 따라 색을 다르게 나타내는 LED모듈을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 특수가스 밸브박스.The method of claim 3,
Further comprising an LED module disposed inside the case and interlocked with the leak detection sensor and the limit switch, the LED module being different in color depending on an inner state of the case and an open / closed state of the cover. .
상기 누출감지센서 및 상기 리미트 스위치와 연동되어 상기 누출감지센서가 가스의 누출을 감지할 경우 또는 상기 리미트 스위치가 상기 커버의 개방을 감지할 경우 경고음을 발생시키는 알람모듈을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 특수가스 밸브박스.5. The method of claim 4,
And an alarm module interlocked with the leakage sensor and the limit switch to generate a warning sound when the leakage sensor senses leakage of gas or when the limit switch detects opening of the cover. Special gas valve box.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020160094276A KR101693152B1 (en) | 2016-07-25 | 2016-07-25 | Special Gas Valve Box |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020160094276A KR101693152B1 (en) | 2016-07-25 | 2016-07-25 | Special Gas Valve Box |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR101693152B1 true KR101693152B1 (en) | 2017-01-04 |
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ID=57831742
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KR1020160094276A KR101693152B1 (en) | 2016-07-25 | 2016-07-25 | Special Gas Valve Box |
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Country | Link |
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KR (1) | KR101693152B1 (en) |
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2016
- 2016-07-25 KR KR1020160094276A patent/KR101693152B1/en active IP Right Grant
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