KR101671151B1 - a manufacturing method of pellicle frame - Google Patents

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KR101671151B1
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오봉택
서경두
함세형
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(주)티오엠에스
함세형
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Abstract

The present invention relates to a method for producing a pellicle frame, and more specifically, to a method for producing a pellicle frame, which can produce a high-strength pellicle frame to be light in weight by utilizing a composite material prepared from impregnating a resin in carbon fibers, and prevents deformation of the frame due to the tension of a pellicle layer. The method comprises: a step for using an electrospinner to a composite material having a resin impregnated in carbon fibers to prepare a prepreg containing carbon nanotubes; a first molding step for building layers by continuously winding the prepared prepreg around a polygonal shaping tool to a certain thickness to form a frame; and a second molding step for placing the first molded frame in a press apparatus and applying pressure in a direction perpendicular to the layered direction to perform a curing process.

Description

펠리클 프레임의 제조방법{a manufacturing method of pellicle frame}A manufacturing method of a pellicle frame < RTI ID = 0.0 >

본 발명은 펠리클 프레임의 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 탄소섬유에 수지를 함침시킨 복합재에 탄소나노튜브를 첨가한 재료를 이용하여 높은 강성을 지닌 펠리클 프레임을 제조함으로써 경량화할 수 있으며 펠리클 막의 장력에 의해 프레임의 휨 변형이 발생하지 않도록 한 펠리클 프레임의 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method of manufacturing a pellicle frame, and more particularly, to a pellicle frame having a high rigidity by using a material obtained by adding a carbon nanotube to a composite material impregnated with a resin in a carbon fiber, The present invention relates to a method of manufacturing a pellicle frame in which flexural deformation of a frame is prevented by tension.

일반적으로 펠리클(pellicle)은 반도체 디바이스, 프린트 기판, 액정 디스플레이를 제조할 때 노광공정에서 사용되는데, 이때 필름원판 역할을 하는 포토마스크에 먼지가 부착되면 그대로 전사되어 불량을 유발하기 때문에 포토마스크 표면에 일정간격을 유지한 상태로 펠리클을 부착하여 먼지로 인한 오염을 방지한다. In general, a pellicle is used in an exposure process when manufacturing a semiconductor device, a printed substrate, and a liquid crystal display. At this time, when dust adheres to a photomask serving as a film plate, the pellicle is directly transferred and causes defects. Attach the pellicle with a constant distance to prevent contamination by dust.

상기 펠리클에는 먼지가 부착되더라도 포토마스크와 위상차이가 존재하기 때문에 전사패턴에 영향을 미치지 않는 것이다. Even if dust is adhered to the pellicle, since there is a phase difference with the photomask, the transfer pattern is not affected.

상기 펠리클의 구조는 펠리클 프레임과 펠리클 막으로 이루어져 있으며, 펠리클 프레임에는 내측과 외측을 통기시키기 위한 통기구멍이 형성되고 하단에는 마스크 점착층용 단턱 또는 홈이 형성되어 있으며, 펠리클 막은 광투과성이 우수한 투명한 수지(니트로 셀루로오즈, 불소수지 등)로 형성된다.The structure of the pellicle is composed of a pellicle frame and a pellicle film. The pellicle frame is provided with a ventilation hole for ventilating the inside and the outside, and a step or groove for a mask adhesive layer is formed at the lower end. The pellicle membrane is made of a transparent resin (Nitrocellulose, fluorine resin, etc.).

이러한 펠리클 프레임은 주로 알루미늄합금(A7075)으로 제조가 이루어지고 있으나, 펠리클 프레임에는 펠리클 막이 150~300N 정도의 강한 장력으로 당겨진 상태로 부착되기 때문에 펠리클 프레임이 내측으로 휨 변형이 발생하게 된다. 특히 액정 디스플레이에 적용되는 펠리클 프레임의 경우, 대형 사이즈로 제작되기 때문에 휨 변형이 내측뿐만 아니라 상하방향의 변형도 심하게 발생하며, 이와 같은 변형은 노광영역을 줄어들게 하여 효율 및 정밀도를 악화시키는 문제점이 있다.Such a pellicle frame is mainly made of an aluminum alloy (A7075). However, since the pellicle frame is attached to the pellicle frame in a pulled state with a strong tension of about 150 to 300N, the pellicle frame is deformed inwardly. Particularly, in the case of a pellicle frame applied to a liquid crystal display, since the pellicle frame is manufactured in a large size, deformation in the vertical direction as well as in the inside is caused severely, and such deformation reduces the exposure area, thereby deteriorating efficiency and precision .

펠리클 프레임에 관한 선행기술로서, 특허 제10-0730039호(펠리클 프레임의 제조방법)에는 사출 원재료를 수배 및 건조하여 사출기와 사출금형을 통해 프레임의 기본 형태를 제작하는 프레임 사출성형단계와, 외관 및 사출 불량을 검사한 다음 마운팅구멍과 벤트구멍을 가공하고, 모서리의 날카로운 부분을 가공하며, 연마에 의해 표면 평탄도 및 외관 이물질을 제거한 후 세정에 의해 유분 및 이물질을 제거하는 프레임 가공단계와, 전면지그에 장착한 후 후면을 코팅하고 건조한 후 다시 전면지그에 장착하여 전면을 코팅한 후 건조하고 냉각하는 프레임코팅단계;로 이루어지는 기술이 제시되어 있다.As a prior art relating to a pellicle frame, Japanese Patent No. 10-0730039 (a method of manufacturing a pellicle frame) includes a frame injection molding step in which a basic shape of a frame is formed through an injector and an injection mold by receiving and drying an injection material, A frame processing step of inspecting injection failure and then machining mounting holes and vent holes, machining sharp edges of corners, removing surface flatness and external foreign substances by polishing, and removing oil and foreign substances by cleaning; And a frame coating step of coating the front side of the jig, coating the rear side of the jig, and drying and then re-coating the front side jig, followed by drying and cooling.

그러나 상기 선행기술은 열가소성 플라스틱을 원료로 사출기와 사출금형을 통해 프레임을 제작하는 기술로서, 이러한 사출성형에 의한 프레임 제조방법은 프레임 자체의 중량이 높을 뿐만 아니라 강성이 약해 내측으로 작용하는 휨 변형에 취약하고 그로 인해 노광영역이 줄어드는 문제점이 있다.However, the above-mentioned prior art is a technique of manufacturing a frame by using an injection molding machine and an injection mold with a thermoplastic plastic as a raw material. In such a frame manufacturing method by injection molding, not only the weight of the frame itself is high but also the flexural deformation There is a problem that the exposure area is reduced.

또 다른 방법의 선행기술로서, 공개특허 제10-2013-0049719호(펠리클)에는 사출성형으로 제작되지 않고 프레임체를 이루는 각 변의 길이 방향으로 탄소섬유를 배향하면서 수지를 함유한 복합부재가 상기 다각 형상으로 주회하면서 적층되어 상기 수지의 경화에 의해 일체화되어 있는 것을 특징으로 하는 펠리클 프레임이 제시되어 있다.As a prior art of another method, Patent Document 10-2013-0049719 (pellicle) discloses a method of manufacturing a composite member in which a composite member containing a resin while orienting carbon fibers in a longitudinal direction of each side of a frame body, And the pellicle frame is stacked while being rounded in a shape and integrated by curing the resin.

그러나 상기 선행기술은 단순히 탄소섬유에 수지를 함침시킨 재료에 의해서만 제조가 이루어지고, 경화과정이 가열에 의해서만 이루어지기 때문에 높은 강도를 얻을 수 없는 문제점이 있다.However, the above-mentioned prior arts have a problem in that high strength can not be obtained because the carbon fibers are simply manufactured by a material impregnated with resin and the curing process is performed only by heating.

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본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로, 펠리클 프레임을 제조하는데에 있어서 알루미늄 기계가공이나 열가소성 플라스틱의 사출성형에 의한 제조방법으로 하지 않고 탄소섬유에 수지를 함침시킨 복합재에 탄소나노튜브를 첨가한 재료를 이용하여 높은 강성과 경량화된 펠리클 프레임을 제조하는 방법을 제공함에 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in order to solve the above-mentioned problems, and it is an object of the present invention to provide a method of manufacturing a pellicle frame in which a carbon material is impregnated with a resin, The present invention provides a method for manufacturing a pellicle frame having high rigidity and light weight by using a material to which a pellicle is added.

본 발명은 탄소섬유에 수지를 함침시킨 복합재에 전기방사장치를 통해 탄소나노튜브가 첨가된 프리프레그를 준비하는 단계와, 상기 준비된 프리프레그를 다각형의 성형치구에 일정두께가 되도록 연속적으로 감아 적층하여 프레임을 형성하는 1차 성형단계와, 상기 1차 성형된 프레임을 프레스장치에 넣고 적층방향과 직각 방향으로 압력을 가해 경화과정을 거치는 2차 성형단계;로 이루어지는 것을 특징으로 한다.The present invention relates to a method of manufacturing a carbon fiber composite material, comprising the steps of preparing a prepreg to which carbon nanotubes are added through an electrospinning device to a composite material impregnated with a resin in a carbon fiber, and continuously preparing the prepared prepreg And a secondary molding step of placing the primary molded frame in a press apparatus and applying a pressure in a direction perpendicular to the stacking direction to perform a curing process.

또한 상기 프리프레그를 준비하는 단계;의 전기방사장치는 복합재가 수평하게 안착되는 받침대와, 상기 받침대로부터 10~20cm 수직한 상측에 위치하여 0.1~5 중량%의 탄소나노튜브 분말을 포함하는 점도 2000~3500 cP의 방사액을 방사전압 12~25kV로 방사하는 제트와, 상기 제트와 상기 받침대 사이에 위치하여 상기 제트로부터 전기 방사되는 방사액이 통과하도록 설치되어 자기장을 형성하는 자기장 터널;을 포함하는 것을 특징으로 한다.The step of preparing the prepreg further comprises a step of placing the composite material horizontally on the top of the pedestal and a step of placing the carbon nanotube powder at a position vertically 10 to 20 cm from the pedestal and containing 0.1 to 5 wt% And a magnetic field tunnel disposed between the jet and the pedestal so as to allow a spinning solution to be electrospun from the jet to pass therethrough to form a magnetic field, .

또한 상기 자기장 터널은 판상의 상자성체를 4면에 배치하거나, 링 형상의 상자성체가 배치되어 전기방사가 이루어지도록 한 것을 특징으로 한다.The magnetic field tunnel is characterized in that a plate-like paramagnetic body is disposed on four surfaces or a ring-shaped paramagnetic body is disposed to conduct electrospinning.

또한 상기 2차 성형단계;는 120 내지 150℃ 조건에서 5분 내지 10분 동안 이루어지는 것을 특징으로 한다.The secondary molding step is performed at 120 to 150 ° C for 5 minutes to 10 minutes.

또한 상기 2차 성형단계;의 프레스장치는 가압부분에 1㎠당 30kg의 압력으로 가압이 이루어지는 것을 특징으로 한다.The pressing device in the secondary molding step is characterized in that the pressing portion is pressed at a pressure of 30 kg per 1 cm 2.

또한 상기 2차 성형단계;의 프레스장치는 상,하부에 맞물릴 수 있도록 요철부를 형성하여 1차 성형된 프레임이 가압될 수 있도록 한 것을 특징으로 한다.In addition, the pressing device of the secondary molding step is characterized in that the unformed portion is formed so that the frame can be engaged with the upper and lower portions so that the primary molded frame can be pressed.

본 발명은 탄소섬유에 수지를 함침시킨 복합재에 탄소나노튜브를 첨가한 재료를 이용하여 펠리클 프레임을 제조함으로써 일반적인 탄소섬유 복합재의 강도보다 30% 향상되며, 향상된 강도로 인해 펠리클 막의 장력에도 프레임의 휨 변형이 발생하지 않고 규격대비 넓은 노광영역을 확보할 수 있는 효과가 있다.The present invention relates to a method for producing a pellicle frame by using carbon nanotubes added to a composite material impregnated with a resin in a carbon fiber to improve the strength of the carbon fiber composite material by 30% There is an effect that a deformation does not occur and a wide exposure area compared to the standard can be ensured.

도 1은 본 발명의 펠리클 프레임의 제조방법을 나타낸 블록도
도 2는 본 발명의 프리프레그를 준비하는 단계에서 전기방사장치의 구성을 나타낸 도면
도 3은 본 발명의 1차 성형단계를 나타낸 도면
도 4 내지 5는 본 발명의 2차 성형단계에서 프레스장치의 가압과정을 나타낸 도면1 is a block diagram showing a manufacturing method of a pellicle frame according to the present invention
2 is a view showing the configuration of the electrospinning device in the step of preparing the prepreg of the present invention
3 is a view showing a primary molding step of the present invention
Figs. 4 to 5 are views showing the pressing process of the press apparatus in the secondary molding step of the present invention

이하 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다. 그리고 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the following description of the present invention, detailed description of known functions and configurations incorporated herein will be omitted when it may make the subject matter of the present invention rather unclear.

본 발명의 펠리클 프레임의 제조방법은 도 1에 도시한 바와 같이, 탄소섬유에 수지를 함침시킨 복합재에 전기방사장치(100)를 통해 탄소나노튜브가 첨가된 프리프레그(200)를 준비하는 단계(S-1)와, 상기 준비된 프리프레그(200)를 다각형의 성형치구(300)에 일정두께가 되도록 연속적으로 감아 적층하여 프레임을 형성하는 1차 성형단계(S-2)와, 상기 1차 성형된 프레임을 프레스장치(400)에 넣고 적층방향과 직각 방향으로 압력을 가해 경화과정을 거치는 2차 성형단계(S-3);로 이루어지는 것을 특징으로 한다.1, a method of manufacturing a pellicle frame according to the present invention includes the steps of preparing a prepreg 200 to which carbon nanotubes are added through an electrospinning device 100 to a composite material obtained by impregnating a carbon fiber with a resin (S-2) for forming a frame by continuously winding the prepared prepreg 200 on the polygonal forming jig 300 so as to have a predetermined thickness and stacking the prepared prepregs 200, (S-3) of putting the formed frame into the press apparatus 400 and applying a pressure in a direction perpendicular to the stacking direction to undergo a curing process.

상기 프리프레그(200)를 준비하는 단계(S-1);의 프리프레그(200)(prepreg: Preimpregnated Materials)는 탄소섬유에 열경화성 수지를 함침시켜 만든 복합재에 탄소나노튜브를 더 첨가하여 만드는 공정이다. 상기 탄소섬유는 강화섬유의 하나로서 이 외에도 유리섬유, 아라미드 섬유 등의 다른 강화섬유로 사용될 수 있으며 함께 사용되는 수지로는 열경화성 수지로서 에폭시수지, 폴리에스테르 수지, 비닐에스테르 수지등이 사용될 수 있다.The prepreg 200 (prepreg: pre-impregnated materials) in step (S-1) of preparing the prepreg 200 is a step of adding carbon nanotubes to a composite material made by impregnating a carbon fiber with a thermosetting resin . The carbon fiber is one of reinforcing fibers and can be used as other reinforcing fibers such as glass fiber and aramid fiber. As the resin to be used together, an epoxy resin, a polyester resin, a vinyl ester resin, or the like can be used as the thermosetting resin.

아울러 프리프레그(200)를 준비하는 단계(S-1);는 도 2에 도시한 바와 같이 전기방사장치(100)에 의해 복합재에 탄소나노튜브를 전기방사하여 첨가하게 되는데, 상기 전기방사장치(100)는 복합재가 수평하게 안착되는 받침대(110)와, 상기 받침대(110)로부터 10~20cm 수직한 상측에 위치하여 0.1~5 중량%의 탄소나노튜브 분말을 포함하는 점도 2000~3500 cP의 방사액을 방사전압 12~25kV로 방사하는 제트(120)와, 상기 제트(120)와 상기 받침대(110) 사이에 위치하여 상기 제트(120)로부터 전기 방사되는 방사액이 통과하도록 설치되어 자기장을 형성하는 자기장 터널(130);을 포함하는 구성으로 되어 있다.The step (S-1) of preparing the prepreg 200 is carried out by electrospinning carbon nanotubes to the composite material by the electrospinning device 100 as shown in FIG. 2, 100 includes a pedestal 110 on which the composite material is horizontally placed and a pedestal 110 disposed on the upper side perpendicular to the pedestal 110 in a vertical direction 10 to 20 cm and having a viscosity of 2000 to 3500 cP including 0.1 to 5 wt% A jet 120 which radiates a liquid at a radiation voltage of 12 to 25 kV and a spinning solution which is positioned between the jet 120 and the pedestal 110 and is electrospun from the jet 120, And a magnetic field tunnel (130) for generating a magnetic field.

상기 전기방사장치(100)는 받침대(110)의 상부에 탄소나노튜브가 첨가되지 않은 복합제를 올려놓고 제트(120)를 통해 탄소나노튜브 분말을 포함하는 방사액이 연속적으로 공급되어 전기 방사를 실시하게 된다. 상기 방사액의 구성을 좀더 설명하자면 탄소나노튜브(CNT: carbon nano tube) 분말과 폴리아크릴로니트릴(polyacrylonitril) 분말을 혼합하고 혼합된 분말을 다시 디메틸폼아미드(dimethylformamid)용액에 투입, 교반과정을 거쳐 생성되는 것이다.In the electrospinning device 100, a composite material to which carbon nanotubes are not added is placed on an upper part of the pedestal 110, and a spinning solution containing carbon nanotube powder is continuously supplied through a jet 120 to perform electrospinning . To explain the composition of the spinning solution more precisely, carbon nanotube (CNT) powder and polyacrylonitrile powder are mixed, and the mixed powder is put into a dimethylformamide solution and stirred. .

또한 상기 전기방사장치(100)는 제트(120)를 통해 방사되는 방사액이 곧바로 전달되지 않고 2000 가우스 이상의 자기장 터널(130)을 더 통과하게 하여 방사된 탄소나노튜브의 배열상태가 일정하게 이루어지도록 하면서, 촘촘하게 방사가 이루어져 양질의 프리프레그(200)가 형성되도록 한다. In addition, the electrospinning device 100 may allow the spinning liquid, which is radiated through the jet 120, to pass through the magnetic tunnel 130 of 2000 gauss or more, And a high-quality prepreg 200 is formed.

상기 자기장 터널(130)은 판상의 상자성체[常磁性體]를 4면에 배치하거나, 링(Ring) 형상 상자성체가 배치되어 제트(120)의 노즐에서 분사된 방사액이 자기장 터널(130)의 중앙을 통과하면서 전기방사가 이루어지도록 한다. 그리고 방사액이 분사된 다음에는 별도의 건조과정을 거쳐 용제를 휘발시켜 탄소섬유 복합재에 탄소나노튜브가 완전히 고착될 수 있도록 한다.The magnetic field tunnel 130 may be formed by arranging a plate-shaped paramagnetic body on four sides or by arranging a ring-shaped paramagnetic body so that the spinning liquid ejected from the nozzle of the jet 120 moves toward the center of the magnetic tunnel 130 So that the electrospinning is performed. After the spinning liquid is sprayed, the carbon nanotubes are completely fixed to the carbon fiber composite material by evaporating the solvent through a separate drying process.

상기 1차 성형단계(S-2);는 도 3에 도시한 바와 같이 준비된 프리프레그(200)를 다각형의 성형치구(300)에 일정두께가 되도록 연속적으로 감아 적층하여 프레임(F)을 형성하는 공정이다. 즉, 프리프레그(200)를 테이프상으로 구비하여 성형치구(300)의 테두리 일면에 부착한 다음 성형치구(300)를 일방향으로 회전시켜 일정한 장력으로 펠리클 프레임의 두께만큼 연속적으로 감아서 적층된 형태의 프레임으로 1차성형이 이루어진 다음 성형치구(300)에서 탈거하게 된다. 상기 프리프레그(200)를 감는 과정에서 장력에 의해 일부가 끊어진 형태가 되더라도 1회전 이상만 유지되면 물성에 영향을 주지 않기 때문에 허용된다.3, the prepared prepregs 200 are continuously wound around a polygonal molding fixture 300 so as to have a predetermined thickness, and then laminated to form a frame F. In the first molding step S-2, Process. That is, the prepreg 200 is provided on a tape and is attached to one edge of the forming jig 300, and then the forming jig 300 is rotated in one direction to continuously form the laminate by the thickness of the pellicle frame with a constant tension, The first molding is performed with the frame of the mold 300, and then the mold 300 is removed. Even if a part of the prepreg 200 is partially broken due to the tension in the winding process, the prepreg 200 is allowed to be retained for more than one rotation because it does not affect physical properties.

상기 2차 성형단계(S-3);는 도 4 내지 5에 도시한 바와 같이 1차 성형된 프레임(F)을 프레스장치(400)에 넣고 적층방향과 직각 방향으로 압력을 가해 경화과정을 거치는 공정이다. 아울러 상기 2차 성형단계(S-3);는 상온에서 이루어지는 것보다 경화효율을 높이기 위해 120 내지 150℃의 고온조건에서 5분 내지 10분 동안 이루어지는 것이 바람직하다. 4 to 5, the primary molded frame F is placed in the press apparatus 400 and pressure is applied in a direction perpendicular to the stacking direction to perform a curing process Process. It is preferable that the secondary molding step (S-3) is performed at a high temperature of 120 to 150 ° C for 5 minutes to 10 minutes in order to increase the curing efficiency rather than at room temperature.

또한 상기 2차 성형단계(S-3);의 프레스장치(400)는 가압부분에 1㎠당 30kg의 압력으로 가압이 이루어지는 것이 바람직한데, 이는 1㎠당 30kg의 압력을 초과할 경우 압력에 의한 프레임 파손의 문제점이 있을 수 있기 때문이다. 그리고 프레스장치(400)는 도면에 도시한 바와 같이 상,하부에 맞물릴 수 있도록 요철부(410),(420)를 형성하여 1차 성형된 프레임이 가압될 수 있도록 한다. 이때 요철부(410),(420)의 형상은 계단형태로 이루어지도록 함으로써 가압후 프레임의 탈형이 용이하게 이루어지도록 하는 것이 바람직하다.Further, it is preferable that the pressing apparatus 400 of the secondary molding step (S-3) pressurizes the pressurized portion at a pressure of 30 kg per 1 cm 2, This is because there may be a problem of frame breakage. As shown in the drawing, the press apparatus 400 is provided with concave and convex portions 410 and 420 for engaging the upper and lower portions so that the primary molded frame can be pressed. At this time, it is preferable that the shape of the concave and convex portions 410 and 420 is formed in a stepped shape so that the frame can easily be demoulded.

본 발명은 상기 2차 성형단계(S-3);에서 1차 성형된 프레임(F)의 적층방향과 직각방향(도면기준으로 세로방향)으로 압력을 가하는 것이 본 발명의 중요한 요소 중에 하나이다. 이와 같이 프레스장치(400)의 압력방향을 적층방향과 직각방향으로 가함으로써 적층된 단면에 균일하게 압력을 가할 수 있어 평활도와 강도의 향상 효과를 얻을 수 있으며 프레스의 가압에 의해 압력방향(도면기준으로 세로방향)으로 프레임의 치수가 미세하게 줄어들더라도 사용에 따른 문제점이 전혀 발생하지 않고 프레임을 구성하는 적층된 프리프레그(200)내의 카본섬유가 펴진 상태를 유지할 수 있다.It is an important factor of the present invention to apply pressure in the direction perpendicular to the stacking direction of the frame (F) formed in the secondary molding step (S-3); By applying the pressure direction of the press apparatus 400 in the direction perpendicular to the stacking direction, the pressure can be uniformly applied to the stacked cross section, so that the effect of improving smoothness and strength can be obtained. Even if the dimensions of the frame are reduced to a small extent, the carbon fibers in the laminated prepreg 200 constituting the frame can be kept in a stretched state without any problem in use.

만약, 2차 성형단계(S-3)에서 1차 성형된 프레임(F)의 적층방향(도면기준으로 가로방향)으로 압력을 가하게 될 경우, 프레스장치(400)에 의해 프레임의 외측에서 내측방향으로 압력이 작용하기 때문에 프레임의 내,외부 테두리를 구성하는 전체 치수가 줄어들기 때문에 줄어든 치수만큼 적층된 프리프레그(200)가 펴진 상태를 유지하지 못하고 구겨지거나 주름이 발생하게 된다. 이와 같이 프리프레그(200)가 펴지지 않은 상태로 2차 성형이 이루어진다면 펠리클 프레임의 강도가 저하되어 팰리클 막의 장력에 의해 내측 휨 변형이 쉽게 발생하게 된다.If a pressure is applied in the lamination direction (the horizontal direction as a drawing reference) of the primary molded frame F in the secondary molding step S-3, the pressing device 400 presses the inside The entire dimensions of the inner and outer rims of the frame are reduced. Therefore, the prepreg 200 stacked by the reduced dimensions can not maintain the unfolded state and wrinkles or wrinkles are generated. If the prepreg 200 is subjected to secondary molding in a state in which the prepreg 200 is not spread, the strength of the pellicle frame is lowered, and the inner flexural deformation easily occurs due to the tensile force of the Pallicle film.

상기와 같이 2차 성형단계(S-3)를 거쳐 프레임의 경화가 완료되면 정밀가공을 통해 정확한 치수가 되도록 하고, 세척 후 수지용액에 담그거나 뿜칠(spray coat)을 통해 프레임의 표면에 수지막을 형성시켜 표면처리가 이루어진다.After the curing of the frame is completed through the secondary molding step (S-3) as described above, the precise dimensions are obtained through precise processing, and the resin film is sprayed onto the surface of the frame And the surface treatment is performed.

이상에서 본 발명은 상기 실시예를 참고하여 설명하였지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형실시가 가능함은 물론이다.While the present invention has been described with reference to the exemplary embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments.

100 : 전기방사장치 110 : 받침대
120 : 제트 130 : 자기장 터널
200 : 프리프레그 300 : 성형치구
400 : 프레스장치 410, 420 : 요철부
F : 프레임
S-1 ~ S-3 : 펠리클 프레임의 제조방법100: electrospinning device 110: pedestal
120: jet 130: magnetic field tunnel
200: prepreg 300: forming fixture
400: press apparatus 410, 420: concave /
F: frame
S-1 ~ S-3: Manufacturing method of pellicle frame

Claims (6)

탄소섬유에 수지를 함침시킨 복합재에 전기방사장치(100)를 통해 탄소나노튜브가 첨가된 프리프레그(200)를 준비하는 단계(S-1),
상기 준비된 프리프레그(200)를 다각형의 성형치구(300)에 일정두께가 되도록 연속적으로 감아 적층하여 프레임을 형성하는 1차 성형단계(S-2),
상기 1차 성형된 프레임을 프레스장치(400)에 넣고 적층방향과 직각 방향으로 압력을 가해 경화과정을 거치는 2차 성형단계(S-3);로 이루어지며,
상기 프리프레그(200)를 준비하는 단계(S-1);의 전기방사장치(100)는 복합재가 수평하게 안착되는 받침대(110)와, 상기 받침대(110)로부터 10~20cm 수직한 상측에 위치하여 0.1~5 중량%의 탄소나노튜브 분말을 포함하는 점도 2000~3500 cP의 방사액을 방사전압 12~25kV로 방사하는 제트(120)와, 상기 제트(120)와 상기 받침대(110) 사이에 위치하여 상기 제트(120)로부터 전기 방사되는 방사액이 통과하도록 설치되어 자기장을 형성하는 자기장 터널(130);을 포함하는 것을 특징으로 하는 펠리클 프레임의 제조방법
A step (S-1) of preparing a prepreg 200 to which carbon nanotubes are added through a electrospinning device 100 to a composite material impregnated with a resin in a carbon fiber,
A primary molding step (S-2) of forming the frame by continuously winding the prepared prepregs 200 so as to have a predetermined thickness on the polygonal molding fixture 300,
(S-3) a second molding step (S-3) in which the primary molded frame is placed in a press apparatus (400) and pressure is applied in a direction perpendicular to the stacking direction to undergo a curing process,
The electrospinning apparatus 100 of the prepreg 200 includes a pedestal 110 on which the composite material is horizontally placed and a pedestal 110 disposed on the upper side vertically 10 to 20 cm from the pedestal 110, A jet 120 for radiating a spinning solution having a viscosity of 2000 to 3500 cP containing 0.1 to 5% by weight of carbon nanotube powder to a spinning voltage of 12 to 25 kV; And a magnetic field tunnel (130) installed to allow the spinning solution to be electrospun from the jet (120) to pass therethrough to form a magnetic field. The method for manufacturing a pellicle frame
삭제delete 제 1항에 있어서,
상기 자기장 터널(130)은 판상의 상자성체를 4면에 배치하거나, 링 형상의 상자성체가 배치되어 전기방사가 이루어지도록 한 것을 특징으로 하는 펠리클 프레임의 제조방법
The method according to claim 1,
Characterized in that the magnetic field tunnel (130) has a plate-shaped paramagnetic body disposed on four sides or a ring-shaped paramagnetic body is disposed so as to perform electrospinning
제 1항에 있어서,
상기 2차 성형단계(S-3);는 120 내지 150℃ 조건에서 5분 내지 10분 동안 이루어지는 것을 특징으로 하는 펠리클 프레임의 제조방법
The method according to claim 1,
Wherein the secondary molding step (S-3) is performed at 120 to 150 ° C for 5 minutes to 10 minutes.
제 1항에 있어서,
상기 2차 성형단계(S-3);의 프레스장치(400)는 가압부분에 1㎠당 30kg의 압력으로 가압이 이루어지는 것을 특징으로 하는 펠리클 프레임의 제조방법
The method according to claim 1,
Wherein the pressing device (400) of the secondary molding step (S-3) is pressed at a pressure of 30 kg per 1 cm < 2 >
탄소섬유에 수지를 함침시킨 복합재에 전기방사장치(100)를 통해 탄소나노튜브가 첨가된 프리프레그(200)를 준비하는 단계(S-1),
상기 준비된 프리프레그(200)를 다각형의 성형치구(300)에 일정두께가 되도록 연속적으로 감아 적층하여 프레임을 형성하는 1차 성형단계(S-2),
상기 1차 성형된 프레임을 프레스장치(400)에 넣고 적층방향과 직각 방향으로 압력을 가해 경화과정을 거치는 2차 성형단계(S-3);로 이루어지며,
상기 2차 성형단계(S-3);의 프레스장치(400)는 상,하부에 맞물릴 수 있도록 요철부(410),(420)를 형성하여 1차 성형된 프레임이 가압될 수 있도록 한 것을 특징으로 하는 펠리클 프레임의 제조방법A step (S-1) of preparing a prepreg 200 to which carbon nanotubes are added through a electrospinning device 100 to a composite material impregnated with a resin in a carbon fiber,
A primary molding step (S-2) of forming the frame by continuously winding the prepared prepregs 200 so as to have a predetermined thickness on the polygonal molding fixture 300,
(S-3) a second molding step (S-3) in which the primary molded frame is placed in a press apparatus (400) and pressure is applied in a direction perpendicular to the stacking direction to undergo a curing process,
The pressing device 400 of the secondary molding step S-3 is a device in which uneven portions 410 and 420 are formed so as to be engaged with the upper and lower portions so that the primary molded frame can be pressed Method for manufacturing pellicle frame characterized
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