KR101669924B1 - 중이온 가속기의 복수개의 반파형 가속관 저온 유지 장치 - Google Patents
중이온 가속기의 복수개의 반파형 가속관 저온 유지 장치 Download PDFInfo
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Abstract
본 발명은 중이온 가속기의 복수개의 반파형 가속관 저온 유지 장치를 공개한다. 이 장치는 진공 상태를 유지하는 내부관과 저온의 성능 테스트용 유체가 주입되는 외부관을 포함하고, 중이온 빔의 가속 속도를 증가시키는 복수개의 중이온 가속관; 상기 복수개의 중이온 가속관을 수납하여 보호하고, 일측면에 연결된 진공 펌프를 통하여 내부를 진공 상태로 형성하는 진공 모듈; 상기 복수개의 중이온 가속관에 상기 성능 테스트용 유체를 제공하는 파이프 모듈; 및 상기 복수개의 중이온 가속관을 지지하도록 상기 진공 모듈 내부에 설치되는 서포트 모듈;을 포함하고, 상기 복수개의 중이온 가속관 각각의 외곽면에 외압으로 인해 발생하는 탄성 변형을 방지하는 튜너가 설치되는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의할 경우, 4개 이상의 중이온 가속관을 통해서 가벼운 이온인 양성자뿐만 아니라 중이온인 우라늄의 가속 속도를 증가시켜 가속을 안정적으로 할 수 있고, 진공 및 극저온을 유지할 수 있도록 제작하여 빔 성능의 효율성을 높일 수 있다.
Description
본 발명은 중이온 가속기에 것으로서, 특히, 중이온 가속관을 4개 이상 구비하여 중이온 빔의 가속 속도를 증가시켜 양성자뿐 아니라 중이온의 가속을 안정적으로 할 수 있고, 진공 및 극저온을 유지할 수 있도록 제작하여 빔 성능의 효율성을 높일 수 있는 중이온 가속기의 복수개의 반파형 가속관 저온 유지 장치에 관한 것이다.
가속기는 양성자와 우라늄 빔을 가속시키는 장치의 일종이다.
즉, 가속기는 전자, 양자 및 이온 등의 하전 입자를 고 에너지 상태(예를 들면, 수백만 전자볼트에서 수조 전자볼트 정도의 고 에너지 상태)로 가속하는 장치로, 가속원리에 따라 고주파 가속기와 양자용 유도 가속 싱크로트론으로 크게 구별할 수 있다.
고주파 가속기는 다시 가속방법에 따라 선형가속기, 사이클로트론, 고주파 싱크로트론 등으로 구분할 수 있다.
또한, 고주파 가속기의 크기도 용도에 따라 다양한 바, 큰 에너지를 얻는 고주파 가속기로서 원자핵·소립자 물리학 연구용의 대형가속기로부터 최근에는 비교적 저 에너지 레벨의 이온 빔을 공급하는 암치료 전용의 소형 고주파 싱크로트론까지 있다.
이와 같은 고주파 가속기에서는 하전 입자의 가속을 위하여 고주파 가속 공동을 사용해 왔다.
이 고주파 가속 공동은 하전 입자의 주행에 동기하여 수 MHz∼수십MHz의 고주파 전장을 고주파 공동의 공명진동에 의한 여진으로 발생시킨다.
한편, 이와 같은 가속기와 관련하여 경(輕) 입자인 양성자나 헬륨을 제외한 원자의 이온을 가속시키는 장치로서 중이온 가속기가 있다.
중이온 가속기의 형식은 경 입자나 전자의 경우와 같지만, 이온은 질량이 크기 때문에 강력한 전자기장이 필요하다.
중이온 가속기를 구성하는 저온 유지 장치(cryomodule)는 다양한 중이온 가속관 (QWR, HWR1, HWR2, SSR1, SSR2)으로 이루어져 있으며, 이들 가속관들을 고진공 및 극저온을 유지할 필요가 있다.
전자기적 형상 최적화를 통해 설계된 중이온 가속관에는 극저온 유지 모듈(cryomodule)로서 1/4 파형 가속관(quarter wave resonator, QWR), 싱글 스포크형 가속관(single spoke resonator, SSR), 반파형 가속관(half wave resonator, HWR)과 같은 형태가 있다.
(특허문헌 1) JP2014-044098 A
(특허문헌 2) JP2006-196353 A
본 발명의 목적은 중이온 가속관을 4개 이상 구비하여 중이온 빔의 가속 속도를 증가시키고, 중이온 가속관의 성능을 향상시키기 위해서 각 모듈들의 장착 및 분해를 용이하게 하여 가속관의 성능을 향상시킬 수 있도록 한 중이온 가속기의 복수개의 반파형 가속관 저온 유지 장치를 제공하는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 중이온 가속기의 반파형 가속관 저온 유지 장치는 진공 상태를 유지하는 내부관과 저온의 성능 테스트용 유체가 주입되는 외부관을 포함하고, 중이온 빔의 가속 속도를 증가시키는 복수개의 중이온 가속관; 상기 복수개의 중이온 가속관을 수납하여 보호하고, 일측면에 연결된 진공 펌프를 통하여 내부를 진공 상태로 형성하는 진공 모듈; 상기 복수개의 중이온 가속관에 상기 성능 테스트용 유체를 제공하는 파이프 모듈; 및 상기 복수개의 중이온 가속관을 지지하도록 상기 진공 모듈 내부에 설치되는 서포트 모듈;을 포함하고, 상기 복수개의 중이온 가속관 각각의 외곽면에 외압으로 인해 발생하는 탄성 변형을 방지하는 튜너가 설치되는 것을 특징으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 중이온 가속기의 반파형 가속관 저온 유지 장치는 진공 상태를 유지하는 내부관과 저온의 성능 테스트용 유체가 주입되는 외부관을 포함하고, 중이온 빔의 가속 속도를 증가시키는 복수개의 중이온 가속관; 상기 복수개의 중이온 가속관을 수납하여 보호하고, 일측면에 연결된 진공 펌프를 통하여 내부를 진공 상태로 형성하는 진공 모듈; 상기 복수개의 중이온 가속관에 성능 테스트용 유체를 제공하는 파이프 모듈; 상기 복수개의 중이온 가속관을 지지하도록 상기 진공 모듈 내부에 설치되는 서포트 모듈; 상기 진공 모듈의 내부에 설치되어 전자파를 차폐하는 마그네틱 쉴드; 및 상기 마그네틱 쉴드의 내부에 설치되며, 상기 진공 모듈 내부에 냉매를 순환시켜 상기 진공 모듈 내부의 저온 상태를 활성화하기 위한 써멀 쉴드;를 포함하고, 상기 복수개의 중이온 가속관 각각의 외곽면에 외압으로 인해 발생하는 탄성 변형을 방지하는 튜너가 설치되는 것을 특징으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 중이온 가속기의 반파형 가속관 저온 유지 장치는 상기 진공 모듈은 상기 진공 펌프에 연결된 일측면에 진공 포트가 형성된 진공 챔버; 및 상기 진공 포트와 상기 진공 펌프 사이에 설치되어 상기 진공 펌프로부터 상기 진공 챔버로 전달되는 진동을 제거하는 벨로우즈;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 중이온 가속기의 반파형 가속관 저온 유지 장치는 상기 진공 펌프는 상기 진공 챔버의 내부를 저압 진공 상태로 형성시키는 제1 진공 펌프; 및 상기 복수개의 중이온 가속관의 내부를 진공 상태로 형성시키는 제2 진공 펌프;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 중이온 가속기의 반파형 가속관 저온 유지 장치는 상기 파이프 모듈은 상기 복수개의 중이온 가속관으로 상기 성능 테스트용 유체를 공급하거나 기화된 성능 테스트용 유체를 배출하는 파이프 라인; 및 상기 파이프 라인에 연결되어 상기 성능 테스트용 유체의 투입 또는 배출을 보충해 주는 리저버;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 중이온 가속기의 반파형 가속관 저온 유지 장치는 상기 리저버는 공정 진행시 요구되는 설정 온도의 헬륨을 저장하는 메인 리저버; 및 상기 설정 온도에서 벗어난 헬륨을 저장하는 서브 리저버;를 포함하며, 상기 메인 리저버와 상기 서브 리저버 사이에 헬륨의 온도를 상기 설정 온도에 맞게 열교환시켜 주는 열 교환기가 설치되는 것을 특징으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 중이온 가속기의 반파형 가속관 저온 유지 장치는 상기 리저버는 리저버 몸체; 상기 리저버 몸체에 형성되어 상기 성능 테스트용 유체를 공급받는 인렛포트; 상기 인렛포트와 이격되도록 상기 리저버 몸체에 형성되어 기화된 헬륨을 배출하는 아웃렛포트; 및 상기 리저버 몸체의 내부에서 상기 인렛포트와 상기 아웃렛포트의 경계 부분에 설치되는 배플을 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 중이온 가속기의 반파형 가속관 저온 유지 장치는 상기 서포트 모듈은 상기 복수개의 중이온 가속관 각각을 감싸는 서포트 몸체; 및 상기 서포트 몸체와 상기 진공 모듈을 연결해 주는 서포트 바;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 중이온 가속기의 반파형 가속관 저온 유지 장치는 상기 서포트 모듈은 상기 서포트 바에 결합되어 상기 서포트 바의 길이를 조절하는 길이 조절 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 중이온 가속기의 반파형 가속관 저온 유지 장치는 상기 성능 테스트용 유체는 액체 헬륨인 것을 특징으로 한다.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 첨부 도면들에 포함되어 있다.
본 발명의 이점 및/또는 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예를 참조하면 명확해질 것이다. 그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다.
본 발명에 따르면, 4개 이상의 중이온 가속관을 통해서 가벼운 이온인 양성자뿐만 아니라 중이온인 우라늄의 가속 속도를 증가시켜 가속을 안정적으로 할 수 있고, 진공 및 극저온을 유지할 수 있도록 제작하여 빔 성능의 효율성을 높일 수 있다.
또한, 중이온 가속관에 압력 변화나 기계적인 진동 등 외압으로 인한 탄성 변형이 발생할 우려가 있을 경우, 튜너를 통하여 외압을 균등하게 분배함으로써 탄성 변형이나 응력에 의한 구조적인 파괴를 방지할 수 있게 된다.
도 1은 본 발명에 의한 중이온 가속기의 복수개의 반파형 가속관 저온 유지 장치의 외관을 나타낸 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 저온 유지 장치의 내부를 나타낸 사시도이다.
도 3은 도 2에 도시된 저온 유지 장치 내 진공 모듈(200)을 나타낸 사시도이다.
도 4는 도 2에 도시된 저온 유지 장치 내 마그네틱 쉴드(500)를 나타낸 사시도이다.
도 5는 도 2에 도시된 저온 유지 장치 내 써멀 쉴드(600)를 나타낸 사시도이다.
도 6은 도 2에 도시된 저온 유지 장치 내 파이프 모듈(300)을 나타낸 사시도이다.
도 7은 도 2에 도시된 저온 유지 장치 내 중이온 가속관(100)을 나타낸 일부 절개도이다.
도 8은 도 2에 도시된 저온 유지 장치 내 써포트 모듈(400)을 나타낸 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 저온 유지 장치의 내부를 나타낸 사시도이다.
도 3은 도 2에 도시된 저온 유지 장치 내 진공 모듈(200)을 나타낸 사시도이다.
도 4는 도 2에 도시된 저온 유지 장치 내 마그네틱 쉴드(500)를 나타낸 사시도이다.
도 5는 도 2에 도시된 저온 유지 장치 내 써멀 쉴드(600)를 나타낸 사시도이다.
도 6은 도 2에 도시된 저온 유지 장치 내 파이프 모듈(300)을 나타낸 사시도이다.
도 7은 도 2에 도시된 저온 유지 장치 내 중이온 가속관(100)을 나타낸 일부 절개도이다.
도 8은 도 2에 도시된 저온 유지 장치 내 써포트 모듈(400)을 나타낸 사시도이다.
본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정되어 해석되지 말아야 하며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야 한다.
명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있다는 것을 의미한다. 또한, 명세서에 기재된 "…부", "…기", "모듈", "장치" 등의 용어는 적어도 하나의 기능이나 동작을 처리하는 단위를 의미하며, 이는 하드웨어나 소프트웨어 또는 하드웨어 및 소프트웨어의 결합으로 구현될 수 있다.
이하에서는, 본 발명에 의한 중이온 가속기의 복수개의 반파형 가속관 저온 유지 장치의 실시예를 첨부 도면을 참고하여 설명한다.
도 1 및 도 2를 참고하면, 본 발명에 의한 중이온 가속기의 복수개의 반파형 가속관 저온 유지 장치는 복수개의 중이온 가속관(100), 진공 모듈(200), 파이프 모듈(300), 서포트 모듈(support module)(400)을 포함한다.
즉, 저온 유지 장치는 복수개의 중이온 가속관(100)을 포함하며, 각각의 중이온 가속관(100)에 액체 헬륨(He)을 공급받아 중이온 가속관(100)의 성능을 테스트하기 위한 것이다.
도 2를 참고하면, 진공 모듈(200) 내에 4개의 중이온 가속관(100)이 소정 간격을 두고 서로 이격된 상태로 수직 배치됨으로써 종래의 중이온 가속관 개수가 2개인 경우와 비교할 때 중이온 빔의 가속 속도를 증가시킬 수 있다.
각각의 중이온 가속관(100)은 대략 원통형으로 이루어지며, 파이프 모듈(300)로부터 액체 헬륨을 공급받아 중이온 가속관(100)으로서의 성능 테스트를 한다.
중이온 가속관(100)은 도 7에서 보는 바와 같이,내부관과 외부관의 2중관으로 이루어진다.
내부관 내에는 중이온 가속관(100)의 효율적인 빔 가속을 위해 진공 상태를 유지하고, 외부관과 내부관 사이에는 중이온 가속관(100)의 저온 유지를 위한 액체 헬륨이 주입된다.
따라서, 내부관에는 후술하는 진공 펌프의 진공라인(도시 생략)이 연결되고, 외부관과 내부관 사이의 상단부 및 하단부에는 파이프 모듈의 파이프 라인(310)이 각각 진공 포트(120)를 통하여 기계적으로 연결되어 헬륨을 공급받거나 배출하게 된다.
중이온 가속관(100)의 내부에는 중이온 빔의 가속을 위한 통로 역할을 하도록 빔 파이프(110)가 관통 설치될 수 있다.
한편, 통상적인 압력용기는 내압 및 외압 조건에서 변형과 응력에 의한 구조적인 파괴를 막기 위해 하나의 연속체(즉, 일체화된 구조체)로 제작되는데, 압력용기의 일종인 중이온 가속관(100)은 높은 가속 전압을 얻기 위해 초전도 상태의 금속으로 이루어져 동작 주파수 폭이 좁아 주파수 변동에 매우 민감하다.
이에 따라 중이온 가속관(100)에 압력 변화나 기계적인 진동 등 외압으로 인해 발생하는 탄성 변형을 방지하기 위해 본 발명은 주파수 보정을 통해 중이온 가속관(100)을 튜닝할 수 있는 튜너(150)를 구비한다.
이를 통하여 외압을 균등하게 분배함으로써 중이온 가속관(100)의 탄성 변형이나 응력에 의한 구조적인 파괴를 방지할 수 있게 된다.
도 2 및 도 3을 참고하면, 진공 모듈(200)은 빔 가속을 위해 진공 상태를 형성해 주는 것으로, 진공 챔버(210), 진공 펌프(220)를 포함한다.
진공 챔버(210)는 중이온 가속관(100) 및 상기 중이온 가속관(100)에 연결된 파이프 모듈(300)을 내부에 안치하여 외부의 환경으로부터 보호하는 역할을 한다.
진공 챔버(210)의 일측면(본 실시예에서는 바닥면)에는 진공 펌프(220)와 연결되도록 진공 포트가 적어도 하나 이상 형성된다.
진공 챔버(210)는 강도 및 내부식성이 우수한 스테인리스 스틸(예를 들면, STS316L)로 제작될 수 있다.
본 발명의 실시예에서 진공 챔버(210)는 대략 육면체로 형성되어 있으나, 이는 중이온 가속관(100)의 수납 용이성과 기타 모듈과의 연계를 위한 설계일 뿐 그 형태에 한정될 필요는 없다.
진공 챔버(210)의 일측면에는 액체 헬륨을 제공받는 헬륨 포트(211) 및 가속된 빔을 조사하는 빔 포트(212)가 구비되어 있다.
제1 및 제2 진공 펌프(220, 240)는 진공 챔버(210)의 일측에 배치되어 벨로우즈(260)를 통해 진공 포트와 연결되며, 중이온 가속관(100)에서의 중이온 빔의 가속을 촉진하기 위해 중이온 가속관(100)들의 내부 및 진공 챔버(210)의 내부를 진공 상태로 형성시켜 준다.
즉, 제1 진공 펌프(220)는 진공 챔버(210)의 내부를 저압 진공 상태로 형성시키고, 제2 진공 펌프(240)는 복수개의 중이온 가속관(100)들의 내부를 진공 상태로 형성시킨다.
이때, 벨로우즈(260)는 제1 및 제2 진공 펌프(220, 240)로부터 진공 챔버(210)로 전달될 수 있는 진동 요인을 제거한다.
도 2 및 도 6을 참고하면, 파이프 모듈은 중이온 가속관(100)에 성능 테스트용 유체, 예컨대 액체 헬륨(He)을 공급하는 것으로, 파이프 라인(310), 메인 리저버(320) 및 서브 리저버(330)를 포함할 수 있다.
파이프 라인(310)은 헬륨 탱크(도시 생략)와 중이온 가속관을 연결해 주며, 헬륨 탱크로부터 액체 헬륨을 중이온 가속관으로 공급해 주거나, 공정 진행시 발생하는 열에 의해 중이온 가속관 내에 기화된 헬륨을 헬륨 탱크 측으로 회귀하는 역할을 한다.
메인 리저버(320) 및 서브 리저버(330)는 파이프 라인(310)의 일단에 장착되어 보조 헬륨 탱크의 역할을 한다.
예컨대, 중이온 가속관으로 공급되거나 또는 중이온 가속관으로부터 배출되는 헬륨이 설정치에 미치지 못할 경우 소정량의 헬륨을 저장하고 있는 리저버에서 그만큼의 헬륨을 보충하여 공급하거나 배출하는 역할을 한다.
이때, 리저버는 메인 리저버(320)와 서브 리저버(330)로 구분될 수 있다. 메인 리저버(320)는 공정 진행시 요구되는 설정 온도의 헬륨을 저장하게 되고, 서브 리저버(330)는 설정 온도에서 벗어나는 헬륨을 저장하게 된다.
따라서, 메인 리저버(320)와 서브 리저버(330) 사이에는 헬륨의 온도를 설정 온도에 맞게 열 교환시켜 줄 수 있는 열 교환기(340)가 설치된다.메인 리저버(320)는 양단이 폐쇄된 대략 원통형으로 이루어진 리저버 몸체를 포함하며, 리저버 몸체에는 헬륨 탱크로부터 헬륨 액체를 공급받는 인렛 포트 및 기화된 헬륨을 헬륨 탱크 측으로 배출하는 아웃렛 포트가 서로 소정의 간격으로 이격되어 형성된다.
또한 리저버 몸체(321) 내에는 쿨링 다운(cooling down)시 기화된 헬륨을 배출하고 유입된 액체헬륨을 일정한 양으로 유지하도록 하기 위한 목적으로 인렛포트와 아웃렛포트의 경계 부분에 복수의 배플(baffle) 이 형성될 수 있다.
복수의 배플 중 어느 하나의 배플(324)의 일측에는 리저버 몸체(321) 내를 통과하는 헬륨의 양을 검지하기 위한 레벨 게이지가 설치될 수 있다. 배플은 리저버 몸체) 내를 완전히 폐쇄하도록 형성되지 않고 일부분이 연통되도록 리저버 몸체)의 내경보다 조금 작은 직경을 갖도록 형성된다.
서브 리저버(330) 역시 메인 리저버(320)의 구성과 대동소이하므로, 자세한 설명은 생략한다.
도 2 및 도 8을 참고하면, 서포트 모듈(400)은 중이온 가속관(100)에 접촉되도록 설치되며, 중이온 가속관(100)의 배치 및 고정상태를 안정화시켜 주는 것으로, 중이온 가속관을 지지하는 서포트 몸체(410), 서포트 몸체(410)를 지지하는 서포트 바(420)를 포함할 수 있다.
서포트 몸체(410)는 중이온 가속관을 둘러싸도록 대략 사각 틀체 형상으로 이루어진다.
또한, 서포트 몸체(410)는 복수개의 중이온 가속관이 각각 삽입되도록 중이온 가속관의 숫자와 대응되는 숫자로 구획된다.
서포트 바(420)는 복수개로 구비되며, 각각의 일단은 서포트 몸체(410)의 여러 개소에 연결되고 타단은 진공 챔버(210)의 여러 개소에 연결되어 서포트 몸체(410)를 고정시켜 줌으로써, 서포트 몸체(410) 내에 놓인 중이온 가속관을 안정적으로 고정시켜 준다.
진공 챔버(210) 내는 극저온을 형성하기 때문에 진공 챔버(210) 내에서 서포트 바에 응축이 발생할 경우 중이온 가속관의 정렬 상태가 설정 위치에서 벗어날 수 있고 이로 인해 빔 포트의 위치가 어긋날 수 있으므로, 서포트 바(420)는 저온에서 응축이 최소화되는 재질로 이루어지는 것이 바람직하다. 예컨대 서포트 바는 G10 또는 인바의 재질로 형성될 수 있다.
서포트 바(420)는 진공 챔버(210) 외부의 상온에서 기본적으로 길이 조정이 된 상태로 진공 챔버(210) 내로 유입되는데, 진공 챔버(210) 내부는 극저온을 유지하므로 소정의 응축이 발생할 수 있다.
따라서, 진공 챔버(210) 내에 배치된 상태에서도 서포트 바(420)의 길이 조절이 가능하도록 각 서포트 바의 일단에는 길이 조절 부재(430)가 장착될 수 있다.
이러한 서포트 모듈(400)에 의해 중이온 가속관(100)은 각각 개별적으로 분해 조립이 용이하며, 따라서 성능 시험이 안정적, 효율적으로 진행될 수 있다.
도 2 및 도 4를 참고하면, 본 발명의 저온 유지 장치는, 진공 챔버(210)의 내부에 진공 챔버(210) 외부로부터 진공 챔버(210) 내부의 중이온 가속관(100)에 가해지는 외부 전자파를 차단하기 위한 마그네틱 쉴드(magnetic shield)(500)를 더 포함할 수 있다.
외부 전자파가 중이온 가속관(100)에 전해지면 설정된 극저온 상태가 불안정할 수 있으므로, 마그네틱 쉴드(500)는 진공 챔버(210)와의 공간 없이 내벽에 바로 시공되어 이러한 방해 요소를 제거하는 것이다.
마그네틱 쉴드(500)는 예컨대, Ni 75%, Fe 20%, Cu 5%의 합금의 뮤 메탈(Mu-matal)로 형성되고, 진공 챔버(210)의 내벽에 장착되므로, 도 4에서 보는 바와 같이, 진공 챔버(210)의 내부 형태와 유사하게 형성된다.
도 2 및 도 5를 참고하면, 본 발명의 저온 유지 장치는, 진공 챔버(210)의 내부, 바람직하게는 마그네틱 쉴드(500)의 내부에 설치되어, 냉매를 순환시켜 진공 챔버(210) 내부의 저온 상태를 활성화하기 위한 써멀 쉴드(600)를 더 포함할 수 있다.
써멀 쉴드(600)는 열전도율이 높은 인탈산 동(PDC)로 제작될 수 있고, 냉매로는 기체 상태의 질소(N)가 사용될 수 있다.
써멀 쉴드(600) 역시 마그네틱 쉴드(500)와 마찬가지로 진공 챔버(210)의 내벽에 장착되므로 진공 챔버(210)의 내부 형태와 유사하게 형성된다.
따라서, 써멀 쉴드(600)의 일측면 상단에는 진공 챔버(210)의 헬륨 포트에 대응하여 헬륨 가스가 공급되도록 제1 헬륨 포트 관통공(610)이 형성되고, 헬륨 가스가 복귀되도록 제2 헬륨 포트 관통공(620) 이 형성된다.
이와 같이, 본 발명의 중이온 가속기의 반파형 가속관 저온 유지 장치는 중이온 가속관을 4개 이상 구비하여 중이온 빔의 가속 속도를 증가시키고, 중이온 가속관의 성능을 향상시키기 위해서 각 모듈들의 장착 및 분해를 용이하게 하여 가속관의 성능을 향상시킬 수 있다.
이를 통하여, 가벼운 이온인 양성자뿐만 아니라 중이온인 우라늄의 가속을 안정적으로 할 수 있고, 진공 및 극저온을 유지할 수 있도록 제작하여 빔 성능의 효율성을 높일 수 있다.
또한, 중이온 가속관에 압력 변화나 기계적인 진동 등 외압으로 인한 탄성 변형이 발생할 우려가 있을 경우, 튜너를 통하여 외압을 균등하게 분배함으로써 탄성 변형이나 응력에 의한 구조적인 파괴를 방지할 수 있게 된다.
이상, 일부 실시예를 들어서 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 설명하였지만, 이와 같은 설명은 예시적인 것에 불과한 것으로서, 어떠한 의미로도 이에 의해 본 발명이 제한되는 것으로 해석될 수 없다 할 것이며, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이상의 설명으로부터 본 발명을 다양하게 변형하거나 수정 또는 치환하여 실시하거나 본 발명과 균등한 실시를 행할 수 있다는 점을 잘 이해하고 있을 것이다.
10; 저온 유지 장치
100; 중이온 가속관
110; 빔 파이프
120; 진공 포트
150; 튜너
200; 진공 모듈
210; 진공 챔버
212; 빔 포트
220; 제1 진공 펌프
240; 제2 진공 펌프
260; 벨로우즈
300; 파이프 모듈
310; 파이프라인
320; 메인 리저버
330; 서브 리저버
340; 열교환기
400; 서포트 모듈
410; 서포트 몸체
420; 서포트 바
430; 길이 조절 부재
500; 마그네틱 쉴드
600; 써멀 쉴드
100; 중이온 가속관
110; 빔 파이프
120; 진공 포트
150; 튜너
200; 진공 모듈
210; 진공 챔버
212; 빔 포트
220; 제1 진공 펌프
240; 제2 진공 펌프
260; 벨로우즈
300; 파이프 모듈
310; 파이프라인
320; 메인 리저버
330; 서브 리저버
340; 열교환기
400; 서포트 모듈
410; 서포트 몸체
420; 서포트 바
430; 길이 조절 부재
500; 마그네틱 쉴드
600; 써멀 쉴드
Claims (10)
- 진공 상태를 유지하는 내부관과 저온의 성능 테스트용 유체가 주입되는 외부관을 포함하고, 중이온 빔의 가속 속도를 증가시키는 복수개의 중이온 가속관;
상기 복수개의 중이온 가속관을 수납하여 보호하고, 일측면에 연결된 진공 펌프를 통하여 내부를 진공 상태로 형성하는 진공 모듈;
상기 복수개의 중이온 가속관에 상기 성능 테스트용 유체를 제공하는 파이프 모듈; 및
상기 복수개의 중이온 가속관을 지지하도록 상기 진공 모듈 내부에 설치되는 서포트 모듈;을 포함하고,
상기 복수개의 중이온 가속관 각각의 외곽면에 외압으로 인해 발생하는 탄성 변형을 방지하는 튜너가 설치되며,
상기 파이프 모듈은
상기 복수개의 중이온 가속관으로 상기 성능 테스트용 유체를 공급하거나 기화된 성능 테스트용 유체를 배출하는 파이프 라인; 및
상기 파이프 라인에 연결되어 상기 성능 테스트용 유체의 투입 또는 배출을 보충해 주는 리저버;
를 포함하고,
상기 리저버는
리저버 몸체;
상기 리저버 몸체에 형성되어 상기 성능 테스트용 유체를 공급받는 인렛포트;
상기 인렛포트와 이격되도록 상기 리저버 몸체에 형성되어 기화된 헬륨을 배출하는 아웃렛포트; 및
상기 리저버 몸체의 내부에서 상기 인렛포트와 상기 아웃렛포트의 경계 부분에 설치되는 배플;을 포함하며,
상기 배플은 일측에 상기 리저버 몸체 내를 통과하는 헬륨의 양을 검지하기 위한 레벨 게이지가 설치되고, 상기 리저버 몸체의 내경보다 작은 직경을 갖도록 형성되어 상기 리저버 몸체 일부분이 연통되는 것을 특징으로 하는 중이온 가속기의 복수개의 반파형 가속관 저온 유지 장치.
- 진공 상태를 유지하는 내부관과 저온의 성능 테스트용 유체가 주입되는 외부관을 포함하고, 중이온 빔의 가속 속도를 증가시키는 복수개의 중이온 가속관;
상기 복수개의 중이온 가속관을 수납하여 보호하고, 일측면에 연결된 진공 펌프를 통하여 내부를 진공 상태로 형성하는 진공 모듈;
상기 복수개의 중이온 가속관에 성능 테스트용 유체를 제공하는 파이프 모듈;
상기 복수개의 중이온 가속관을 지지하도록 상기 진공 모듈 내부에 설치되는 서포트 모듈;
상기 진공 모듈의 내부에 설치되어 전자파를 차폐하는 마그네틱 쉴드; 및
상기 마그네틱 쉴드의 내부에 설치되며, 상기 진공 모듈 내부에 냉매를 순환시켜 상기 진공 모듈 내부의 저온 상태를 활성화하기 위한 써멀 쉴드;를 포함하고,
상기 복수개의 중이온 가속관 각각의 외곽면에 외압으로 인해 발생하는 탄성 변형을 방지하는 튜너가 설치되며,
상기 파이프 모듈은
상기 복수개의 중이온 가속관으로 상기 성능 테스트용 유체를 공급하거나 기화된 성능 테스트용 유체를 배출하는 파이프 라인; 및
상기 파이프 라인에 연결되어 상기 성능 테스트용 유체의 투입 또는 배출을 보충해 주는 리저버;
를 포함하고,
상기 리저버는
리저버 몸체;
상기 리저버 몸체에 형성되어 상기 성능 테스트용 유체를 공급받는 인렛포트;
상기 인렛포트와 이격되도록 상기 리저버 몸체에 형성되어 기화된 헬륨을 배출하는 아웃렛포트; 및
상기 리저버 몸체의 내부에서 상기 인렛포트와 상기 아웃렛포트의 경계 부분에 설치되는 배플;을 포함하며,
상기 배플은 일측에 상기 리저버 몸체 내를 통과하는 헬륨의 양을 검지하기 위한 레벨 게이지가 설치되고, 상기 리저버 몸체의 내경보다 작은 직경을 갖도록 형성되어 상기 리저버 몸체 일부분이 연통되는 것을 특징으로 하는 중이온 가속기의 복수개의 반파형 가속관 저온 유지 장치.
- 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 진공 모듈은
상기 진공 펌프에 연결된 일측면에 진공 포트가 형성된 진공 챔버; 및
상기 진공 포트와 상기 진공 펌프 사이에 설치되어 상기 진공 펌프로부터 상기 진공 챔버로 전달되는 진동을 제거하는 벨로우즈;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 중이온 가속기의 복수개의 반파형 가속관 저온 유지 장치.
- 제3항에 있어서,
상기 진공 펌프는
상기 진공 챔버의 내부를 저압 진공 상태로 형성시키는 제1 진공 펌프; 및
상기 복수개의 중이온 가속관의 내부를 진공 상태로 형성시키는 제2 진공 펌프;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 중이온 가속기의 복수개의 반파형 가속관 저온 유지 장치.
- 삭제
- 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 리저버는
공정 진행시 요구되는 설정 온도의 헬륨을 저장하는 메인 리저버; 및
상기 설정 온도에서 벗어난 헬륨을 저장하는 서브 리저버;를 포함하며,
상기 메인 리저버와 상기 서브 리저버 사이에 헬륨의 온도를 상기 설정 온도에 맞게 열교환시켜 주는 열 교환기가 설치되는 것을 특징으로 하는 중이온 가속기의 복수개의 반파형 가속관 저온 유지 장치.
- 삭제
- 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 서포트 모듈은
상기 복수개의 중이온 가속관 각각을 감싸는 서포트 몸체; 및
상기 서포트 몸체와 상기 진공 모듈을 연결해 주는 서포트 바;를 포함하는 것을 특징으로 하는 중이온 가속기의 복수개의 반파형 가속관 저온 유지 장치.
- 제8항에 있어서,
상기 서포트 모듈은
상기 서포트 바에 결합되어 상기 서포트 바의 길이를 조절하는 길이 조절 부재;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 중이온 가속기의 복수개의 반파형 가속관 저온 유지 장치.
- 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 성능 테스트용 유체는
액체 헬륨인 것을 특징으로 하는 중이온 가속기의 복수개의 반파형 가속관 저온 유지 장치.
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