KR101646894B1 - Method for manufacturing vertical gallium nitride-type light emitting diode having as current block layer of MgF2 - Google Patents
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Abstract
본 발명의 수직형 발광 다이오드의 제조방법은, 기판 상에 제1도전성 반도체층, 활성층, 및 제2도전성 반도체층을 순차적으로 형성하고, 상기 제2도전성 반도체층 상에 전류 억제층을 증착 장비를 이용하여 형성하며, 상기 전류 억제층 상에 제2전극을 형성하되, 상기 전류 억제층의 증착 장비를 이용하여 증착하며, 상기 기판을 제거하고, 상기 제1도전성 반도체층 상에 제1전극을 형성하는 것을 포함한다. 이와 같은 본 발명에 의하면, 플루오린화마그네슘(MgF2) 물질의 전류 차단을 통하여 전기적 기능을 개선되는 동시에 플루오린화마그네슘(MgF2) 물질의 낮은 굴절률에 의하여 광학적 기능이 동시에 개선되는 효과가 있다.A method of manufacturing a vertical type light emitting diode according to the present invention includes the steps of sequentially forming a first conductive semiconductor layer, an active layer, and a second conductive semiconductor layer on a substrate; depositing a current suppressing layer on the second conductive semiconductor layer Forming a second electrode on the current blocking layer, depositing the current blocking layer using a vapor deposition equipment, removing the substrate, forming a first electrode on the first conductive semiconductor layer, . This according to the invention, magnesium fluoride (MgF 2) has the effect that the optical functions by the low refractive index of the magnesium at the same time improving the electrical function is hydrofluoric (MgF 2) material via the current cut-off at the same time improving the materials.
Description
본 발명은 수직형 발광 다이오드 제조방법에 관련된 것으로, 구체적으로는 질화갈륨(GaN) 계열 반도체 기반의 수직 구조를 갖는 발광 소자에 적용하기 위한 전류 억제층(current blocking layer:CBL)으로 플루오린화마그네슘(MgF2) 물질을 이용함으로써 p타입 질화갈륨(GaN)과 p타입 은(Ag) 전극 사이의 수직성을 갖는 전류 흐름을 효과적으로 퍼뜨려 주고, 높은 광 출력 효율을 갖는 광소자에 관한 것이다.The present invention relates to a method of manufacturing a vertical type light emitting diode, and more particularly, to a method of manufacturing a vertical type light emitting diode using a current blocking layer (CBL) for a light emitting device having a vertical structure based on a gallium nitride (GaN) (GaN) and p-type Ag (Ag) electrodes by effectively using a MgF 2 material as a light emitting material.
게다가, 위의 기본적인 전류 차단 기능을 통한 광 출력 효율 이외에도, 상대적으로 낮은 굴절률(n:1.39)로 인하여 최적의 반사도 특성을 얻음으로써 결과적으로 더 개선되는 광 추출 효율을 가지는 광소자에 관한 것이다.Furthermore, in addition to the light output efficiency through the above basic current interruption function, the present invention relates to an optical device having improved light extraction efficiency as a result of obtaining an optimum reflectivity characteristic due to a relatively low refractive index (n: 1.39).
즉, 본 발명의 전류 억제층은, 플루오린화마그네슘(MgF2) 물질의 기본적인 전류 차단 기능을 통하여 n타입 전극과 p타입 전극 사이에 발생되는 전류 집중을 전극 주변으로 균일하게 분산시켜 1차적으로 개선되는 광 추출 효율(Optical output power)과 함께, 플루오린화마그네슘(MgF2) 물질의 낮은 굴절률로 인한 광 반사도 특성(Reflectivity)에 의하여 2차적으로 더 개선되는 광 추출 효율(Optical output power)을 가진다.That is, the current suppressing layer of the present invention is primarily improved by uniformly dispersing the current concentration generated between the n-type electrode and the p-type electrode through the basic current blocking function of the magnesium fluoride (MgF 2 ) material, Optical output power which is secondarily improved by the light reflectivity due to the low refractive index of the MgF 2 fluoride material as well as the optical output power of the MgF 2 material.
이로써, p타입 질화갈륨층(p-GaN layer)을 선택적으로 플라즈마(Plasma) 처리하거나 내지는 이온 임플란트(Ion implant) 처리할 필요가 없기 때문에, 마스크 형성을 위한 추가적인 포토리소그래피 공정이 필요 없고, p타입 질화갈륨층(p-GaN layer) 상에 이산화규소(SiO2)의 PE-CVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 공정을 실시할 필요가 없기 때문에, 추가적인 화학기상증착 공정이 필요 없다.
Thereby, there is no need to perform a plasma treatment or an ion implant treatment selectively for the p-type GaN layer (p-GaN layer), so that an additional photolithography process for mask formation is not necessary, There is no need to perform a PE-CVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) process of silicon dioxide (SiO 2 ) on the gallium nitride layer (p-GaN layer).
일반적으로 발광 다이오드(Light Emitting Diode: LED)는 전자와 홀의 재결합에 기초하여 발광하는 반도체 소자로서 광통신, 전자기기에서 여러 형태의 광원으로 널리 사용되고 있다. In general, a light emitting diode (LED) is a semiconductor device that emits light based on the recombination of electrons and holes, and is widely used as various types of light sources in optical communication and electronic devices.
화합물 발광 다이오드 중 질화갈륨(GaN) 계열 화합물은 높은 열적 안정성과 폭넓은 밴드 갭을 가지고 있고, 인(In), 알루미늄(Al) 등 타 원소들과 조합되어 녹색, 청색 및 백생 광을 방출하는 발광 다이오드 소자를 제조할 수 있고, 방출 파장 조절이 용이하여 LED를 포함하는 고출력 전자 소자 개발 분야에서 특히 주목받고 있다. Gallium nitride (GaN) compounds in compound light-emitting diodes have high thermal stability and wide bandgap, and are combined with other elements such as phosphorous (In) and aluminum (Al) to emit green, blue, and white light A diode device can be manufactured, and emission wavelength can be easily controlled, and thus attention has been paid particularly in the field of high-output electronic device development including LEDs.
발광 다이오드에 전류를 인가하였을 때, n-전극에서 다중양자우물(MQW)을 거치는 전기 에너지가 발생시킨 광자들은 투명 전극층을 따라 고르게 분포되어 발광 다이오드의 외부로 빛의 형태로 방출되는데, 이때 p-전극 부분에서 방출되는 빛들은 p-전극의 금속 특성 때문에 흡수 및 반사된다. 이것은 발광 다이오드의 광 추출 효율을 낮추는 원인이 된다. When a current is applied to the light emitting diode, photons generated by electric energy passing through the multiple quantum well (MQW) at the n-electrode are uniformly distributed along the transparent electrode layer and emitted in the form of light to the outside of the light emitting diode. The light emitted from the electrode portion is absorbed and reflected because of the metal nature of the p-electrode. This causes the light extraction efficiency of the light emitting diode to be lowered.
이러한 문제점을 해결하기 위해서, 투명 전극 아래 p타입 질화갈륨(p-GaN) 상에 절연층으로 이루어진 전류 억제층(Current Block Layer: CBL)을 형성하고, 투명 전극 위에 p-전극이 형성된 발광 다이오드는 p-전극 쪽으로 흘러드는 전류를 다른 경로로 바꾸어 진행시키며, 이 전류 성분들은 p-전극이 아닌 다른 부분에서 빛의 형태로 방출 되게 되어 광 추출 효율을 높이게 된다. In order to solve such a problem, a current blocking layer (CBL) made of an insulating layer is formed on a p-type GaN layer under a transparent electrode, and a light emitting diode having a p- the current flowing to the p-electrode is changed to another path, and the current components are emitted in the form of light in a portion other than the p-electrode, thereby increasing the light extraction efficiency.
이때, 전류 억제층을 차용한 발광 다이오드는 p타입 질화갈륨(p-GaN) 상에 얇은 전류 억제층을 이산화규소(SiO2)의 절연막으로 증착하여 형성하기도 한다. 이러한 종래의 전류 억제층은 p타입 질화갈륨(p-GaN) 위에 일종의 층(layer) 형태로 소정의 두께를 가지게 되는데, 구조상 얇고 선 폭이 좁은 단점이 있어 손상되기가 쉽다는 단점이 있다. At this time, the light emitting diode utilizing the current suppressing layer may be formed by depositing a thin current-suppressing layer with p-type gallium nitride (p-GaN) with an insulating film of silicon dioxide (SiO 2 ). Such a conventional current suppressing layer has a certain thickness in the form of a layer on p-type GaN, but has a disadvantage in that it is thin in structure and narrow in line width, and is easily damaged.
특히, 증착 및 식각을 위해 몇 번의 복잡한 공정이 발생하기 때문에 공정상의 비용발생이 있다는 것이 큰 단점이다. Particularly, it is a disadvantage that there are several complicated processes for deposition and etching, and therefore there is a cost incurred in the process.
이러한 문제는 수직형 발광 다이오드에서도 동일하게 적용된다.This problem is equally applied to vertical type light emitting diodes.
예컨대, 신뢰성 있는 수직형 구조의 발광 다이오드를 제작하기 위해 절연 특성의 사파이어 기판을 제거하고, 최상단 및 하단에 각각 전극을 접촉시키는 구조적인 개발이 이루어져 왔다. For example, in order to fabricate a light emitting diode having a reliable vertical structure, a sapphire substrate having an insulating property has been removed, and a structure has been developed in which an electrode is brought into contact with the uppermost and lower ends.
이와 같이 고효율/고출력을 갖는 광소자를 구현함에 있어 n타입 전극에서의 광 흡수의 문제와 전류 밀집(current-crowding)에 의해 제한되는 전류 확산의 문제는 수평형 구조의 발광 다이오드보다 더 절실하고 반드시 해결되어야 한다. In realizing such high efficiency / high power optical devices, the problem of light absorption in the n-type electrode and the problem of current diffusion limited by the current-crowding is more urgent than the horizontal type light emitting diode .
이의 해결을 위하여, p타입 질화갈륨(p-GaN)과 p타입 전극 사이에 절연 특성의 전류 억제층(CBL)을 삽입하거나 혹은 p타입 질화갈륨(p-GaN)에 선택적으로 플라즈마 처리를 하여 수직성을 갖는 전류 흐름을 퍼뜨려 줌으로써, 광 추출 효율을 효과적으로 높이는 연구 등이 활발히 진행되고 있다.In order to solve this problem, a current blocking layer CBL having an insulating property is inserted between a p-type GaN layer and a p-type GaN layer, or a p-type GaN layer is selectively plasma- Researches have been actively conducted to increase the light extraction efficiency effectively by spreading the current flow having a good characteristic.
일례로, 도 1을 참조하면, p-전극과 p-GaN 사이에 전류 억제층(CBL)으로 절연층인 이산화규소(SiO2)를 삽입함으로써 p-전극을 통한 효과적인 광 추출 효율을 얻을 수 있다. p-GaN 상에 이산화규소(SiO2)의 절연층을 형성함으로써, p-전극 쪽으로 흘러드는 전류를 다른 경로로 바꾸어 진행시키며 이 전류 성분들은 p-전극이 아닌 다른 부분에서 빛의 형태로 방출 되게 되어 광 추출 효율을 높이게 된다. 이러한 전류 억제층(CBL)은 PE-CVD를 이용하여 p-GaN 상에 이산화규소(SiO2) 혹은 질화규소(SiN)를 증착하여 형성한다. For example, referring to FIG. 1, an effective light extraction efficiency through a p-electrode can be obtained by inserting silicon dioxide (SiO 2 ) which is an insulating layer as a current blocking layer (CBL) between a p-electrode and p-GaN . By forming an insulating layer of silicon dioxide (SiO 2 ) on p-GaN, the current flowing to the p-electrode is changed to another path, and these current components are emitted in the form of light in other parts than the p- Thereby enhancing the light extraction efficiency. This current blocking layer CBL is formed by depositing silicon dioxide (SiO 2 ) or silicon nitride (SiN) on p-GaN using PE-CVD.
하지만, 일반적으로 이산화규소(SiO2) 또는 질화규소(SiN)는 화학기상증착 방법(PE-CVD)으로 증착하기 때문에 공정에 고가의 장비가 추가되는 단점이 발생하며, 추가적으로 증착 과정에서의 플라즈마 데미지에 의한 누설전류 생성, 열화현상에 의한 비 신뢰성, 그리고 상대적으로 높은 굴절률(n:1.49)에 의한 최적 반사도 획득에 어려움이 있다.
Generally, however, since silicon dioxide (SiO 2 ) or silicon nitride (SiN) is deposited by chemical vapor deposition (PE-CVD), there is a disadvantage that expensive equipment is added to the process, and furthermore, plasma damage (N: 1.49), and it is difficult to obtain the optimum reflectivity due to the relatively high refractive index (n: 1.49).
따라서 본 발명은 상기한 바와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 전류 억제층(CBL)을 기본적인 전류 차단 기능 이외에 이산화규소(SiO2)의 굴절률보다 높은 최적의 반사도를 통해 더욱 개선된 광 추출 효율을 가지는 질화갈륨 계열 반도체 기반 고효율 수직형 발광 다이오드의 제조방법을 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION It is therefore an object of the present invention to provide a current blocking layer (CBL) having an optimal reflectivity higher than the refractive index of silicon dioxide (SiO 2 ) And a method of manufacturing a high efficiency vertical light emitting diode based on a gallium nitride semiconductor having improved light extraction efficiency.
본 발명의 다른 목적은 전류 억제층(CBL) 형성 공정이 후속하는 전극 형성 공정과 연속성을 가지는 질화갈륨 계열 반도체 기반 고효율 수직형 발광 다이오드의 제조방법을 제공하는 것이다.
Another object of the present invention is to provide a method of manufacturing a gallium nitride-based semiconductor-based high-efficiency vertical light emitting diode having continuity with an electrode forming process followed by a current blocking layer (CBL) forming process.
전술한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 따르면, 본 발명의 수직형 발광 다이오드는, n타입 전극 패턴(n-electrode pattern), 상기 n타입 전극 상에 형성되는 n타입 질화갈륨층(n-GaN layer), 상기 n타입 질화갈륨층 상에 형성되는 활성층(active layer), 상기 활성층 상에 형성되는 p타입 질화갈륨층(p-GaN layer), 상기 p타입 질화갈륨층 상에 형성되는 플루오린화마그네슘 패턴( pattern), 및 상기 P타입 질화갈륨층과 접촉되고, 상기 플루오린화마그네슘 패턴 상에 형성되는 p타입 전극 패턴(p-electrode pattern)을 포함한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a vertical light emitting diode including an n-electrode pattern, an n-type gallium nitride layer formed on the n-type electrode, type GaN layer, an active layer formed on the n-type GaN layer, a p-type GaN layer formed on the active layer, and a p-type GaN layer formed on the p- And a p-electrode pattern formed on the fluorinated magnesium pattern, the p-electrode pattern being in contact with the P-type gallium nitride layer.
본 발명의 다른 특징에 의하면, 본 발명의 수직형 발광 다이오드 제조방법은, 기판 상에 제1도전성 반도체층, 활성층, 및 제2도전성 반도체층을 순차적으로 형성하는 단계, 상기 제2도전성 반도체층 상에 전류 억제층을 증착 장비를 이용하여 형성하는 단계, 및 상기 전류 억제층 상에 제2전극을 형성하되, 상기 전류 억제층의 증착 장비를 이용하여 증착하는 단계, 및 상기 기판을 제거하고, 상기 제1도전성 반도체층 상에 제1전극을 형성하는 단계를 포함한다.
According to another aspect of the present invention, there is provided a method of fabricating a vertical type light emitting diode, comprising sequentially forming a first conductive semiconductor layer, an active layer, and a second conductive semiconductor layer on a substrate, Forming a current blocking layer on the current blocking layer using a deposition apparatus and depositing a second electrode on the current blocking layer using a deposition apparatus of the current blocking layer, And forming a first electrode on the first conductive semiconductor layer.
위에서 설명한 바와 같이, 본 발명의 구성에 의하면 다음과 같은 효과를 기대할 수 있다.As described above, according to the configuration of the present invention, the following effects can be expected.
첫째, 전류 억제층(CBL)을 이산화규소(SiO2)에서 플루오린화마그네슘(MgF2)으로 대체함으로써, 전류 억제층(CBL) 형성 공정은 p형 전극으로 사용되는 은(Ag)과 동일한 증착 장비인 전자 빔 증착기(E-beam evaporator)를 이용할 수 있어 증착 장비가 추가되는 단점을 보완할 수 있다.First, by replacing the current blocking layer CBL with silicon fluoride (MgF 2 ) from silicon dioxide (SiO 2 ), the current blocking layer CBL forming process can be performed by using the same deposition equipment as silver (Ag) (E-beam evaporator) can be used to compensate for the disadvantage that the deposition equipment is added.
둘째, 전류 억제층(CBL)을 이산화규소(SiO2)에서 플루오린화마그네슘(MgF2)으로 대체한 경우에도, 이산화규소(SiO2)를 이용한 발광 다이오드에서와 동일한 수준의 순방향 전압(forward voltage)을 얻는 반면, 이산화규소(SiO2)에 비해 상대적으로 낮은 굴절률(:1.39)로 인하여 최적의 반사도 특성을 얻음으로써 결과적으로 최대 5% 정도 더 개선된 광 추출 효율을 얻을 수 있다.Second, the current blocking layer (CBL) to silicon dioxide (SiO 2) magnesium fluoride (MgF 2) which, even, a silicon dioxide (SiO 2) a forward voltage (forward voltage) of the same level as in the light-emitting diode using, if substituted in While the refractive index (1.39), which is relatively lower than that of silicon dioxide (SiO 2 ), achieves optimum reflectance characteristics, resulting in a maximum light extraction efficiency of up to 5%.
따라서 플루오린화마그네슘(MgF2) 물질의 전류 차단을 통하여 전기적 기능이 개선되는 동시에 플루오린화마그네슘(MgF2) 물질의 낮은 굴절률에 의하여 광학적 기능이 동시에 개선되는 효과가 기대된다.
Therefore, magnesium fluoride (MgF 2) is effective in optical function by a low refractive index is improved at the same time at the same time, magnesium fluoride (MgF 2) material that is an electrical functional improvement is expected by the current cut-off of the material.
도 1은 종래 기술에 의한 수직형 발광 다이오드의 구성을 나타내는 단면도.
도 2는 본 발명에 의한 수직형 발광 다이오드의 구성을 나타내는 단면도.
도 3은 본 발명에 의한 전류 억제층으로 사용되는 물질의 굴절율에 따른 두께와 반사도 특성의 관계를 나타내는 예시 단면도들.
도 4는 본 발명에 의한 입사각에 따른 이산화규소(SiO2)와 플루오린화마그네슘(MgF2)의 반사도 특성 및 광 추출 효율을 비교하는 그래프들.
도 5a 내지 도 5d는 본 발명에 의한 발광 다이오드의 제조방법을 나타내는 단면도들.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a cross-sectional view showing a configuration of a conventional vertical light emitting diode. FIG.
2 is a cross-sectional view showing a configuration of a vertical type light emitting diode according to the present invention.
3 is an exemplary sectional view showing the relationship between the thickness and the reflectance characteristic according to the refractive index of a material used as a current suppressing layer according to the present invention.
FIG. 4 is a graph comparing reflectance characteristics and light extraction efficiency of silicon dioxide (SiO 2 ) and magnesium fluoride (MgF 2 ) according to an incident angle according to the present invention.
5A to 5D are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing a light emitting diode according to the present invention.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해 질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려 주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 도면에서 층 및 영역들의 크기 및 상대적인 크기는 설명의 명료성을 위해 과장된 것일 수 있다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.Brief Description of the Drawings The advantages and features of the present invention, and how to achieve them, will become apparent with reference to the embodiments described in detail below with reference to the accompanying drawings. The present invention may, however, be embodied in many different forms and should not be construed as being limited to the embodiments set forth herein. Rather, these embodiments are provided so that this disclosure will be thorough and complete, and will fully convey the scope of the invention to those skilled in the art. Is provided to fully convey the scope of the invention to those skilled in the art, and the invention is only defined by the scope of the claims. The dimensions and relative sizes of layers and regions in the figures may be exaggerated for clarity of illustration. Like reference numerals refer to like elements throughout the specification.
본 명세서에서 기술하는 실시예들은 본 발명의 이상적인 개략도인 평면도 및 단면도를 참고하여 설명될 것이다. 따라서 제조 기술 및/또는 허용 오차 등에 의해 예시도의 형태가 변형될 수 있다. 따라서 본 발명의 실시예들은 도시된 특정 형태로 제한되는 것이 아니라 제조 공정에 따라 생성되는 형태의 변화도 포함하는 것이다. 따라서 도면에서 예시된 영역들은 개략적인 속성을 가지며, 도면에서 예시된 영역들의 모양은 소자의 영역의 특정 형태를 예시하기 위한 것이고, 발명의 범주를 제한하기 위한 것은 아니다.Embodiments described herein will be described with reference to plan views and cross-sectional views, which are ideal schematics of the present invention. Thus, the shape of the illustrations may be modified by manufacturing techniques and / or tolerances. Accordingly, the embodiments of the present invention are not limited to the specific forms shown, but also include changes in the shapes that are produced according to the manufacturing process. Thus, the regions illustrated in the figures have schematic attributes, and the shapes of the regions illustrated in the figures are intended to illustrate specific types of regions of the elements and are not intended to limit the scope of the invention.
이하, 상기한 바와 같은 구성을 가지는 본 발명에 의한 수직형 발광 다이오드의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참고하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the vertical light emitting diode according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
본 발명은 플루오린화마그네슘(MgF2) 물질을 이용하여 전류 억제층을 형성함으로써, 전기적 특성 및 광학적 특성이 모두 개선되는 수직형 발광 다이오드를 제공한다.The present invention provides a vertical light emitting diode in which electric current characteristics and optical characteristics are improved by forming a current suppressing layer using a magnesium fluoride (MgF 2 ) material.
도 2를 참조하면, 본 발명의 수직형 발광 다이오드(100)는, 제1전극(110), 제1전극(110) 상에 형성되는 제1도전성 반도체층(120), 제1도전성 반도체층(120) 상에 형성되는 활성층(130), 활성층(130) 상에 형성되는 제2도전성 반도체층(140), 제2도전성 반도체층(140) 상에 형성되는 전류 억제층(150), 및 전류 억제층(150) 상에 형성되는 제2전극(160)을 포함한다.2, the vertical
제1전극(110)은, Ti/Al과 같은 투명 도전성 물질을 포함할 수 있다.The
제1도전성 반도체층(120)은 Ⅲ-Ⅴ족 질화물 반도체 물질로 형성될 수 있다. 가령, n타입 질화갈륨(n-GaN) 계열일 수 있다. n타입 질화갈륨(n-GaN)은 n형 불순물이 도핑된 GaN 또는 GaN/AlGaN으로 이루어질 수 있으며, n형 불순물로는 Si, Ge, Se, Te 또는 C 등이 사용될 수 있다.The first
활성층(130)은 InxGa1-xN (0≤x<1)인 질화갈륨(GaN) 계열의 Ⅲ-Ⅴ족 질화물 반도체층일 수 있다. 활성층(130)은, 가령 MQW(GaN/InGaN) 혹은 MQW(GaN/AlGaN)의 다중양자우물(multi-quantum well: MQW)로 구성될 수 있다.The
제2도전성 반도체층(140)은, Ⅲ-Ⅴ족 질화물 반도체 물질로 형성될 수 있다. 가령, p타입 질화갈륨(p-GaN) 또는 p-GaN/AlGaN 계열일 수 있다. p타입 질화갈륨(p-GaN)은 p형 불순물이 도핑된 GaN 또는 GaN/AlGaN으로 이루어질 수 있으며, p형 불순물로는 Mg, Zn, Be 등이 사용될 수 있다.The second
전류 억제층(150)은 전류의 주입과 이동을 억제한다. 본 발명에 의한 전류 억제층(150)은 두 가지 개선 효과를 제공한다. 전류 억제층(150)은 기본적으로 그 자체로서 전류 분산 효과를 통하여 발광 효율을 개선하는 동시에 저 굴절율에 의하여 최적의 광 반사도 특성을 가지는 발광 효율을 제공한다.The
본 발명의 전류 억제층(150)은 제1전극(110)과 제2전극(160) 사이에서 발생되는 전류 집중 현상에 의하여, 활성층(130) 전체에 대하여 전류를 균일하게 분산시키지 못하고, 전극 주변에 전류가 집중됨으로써 전극으로부터 멀리 떨어진 영역이 상대적으로 어두워지고, 이러한 전류 집중 현상에 의하여 국부적인 열화나 노화 현상이 발생되는 문제점을 해결하는 직접적인 효과 이외에도, 상대적으로 낮은 굴절률로 인한 광 반사도 특성이 향상되는 부가적인 효과를 제공한다. The
제2전극(160)은, 니켈/금(Ni/Au)과 같은 투명 도전성 물질을 포함할 수 있다.The
도 3은 전류 억제층으로 사용되는 물질의 굴절율에 따른 두께와 반사도 특성의 관계를 나타내는 예시 단면도들이다.3 is an exemplary sectional view showing a relationship between a thickness and a reflectance characteristic according to a refractive index of a material used as a current suppressing layer.
도 3을 참조하면, 전류 억제층(150)으로 이산화규소(SiO2)가 사용된 경우 굴절율(n)이 1.49로 주어짐으로써, 파장(λ) 450nm에서 이산화규소(SiO2)의 두께(h)는 
도 4는 본 발명에 의한 이산화규소(SiO2)와 플루오린화마그네슘(MgF2)의 각 전류 억제층(CBL)과 p타입 은(Ag) 전극을 최종적으로 증착한 수직형 구조의 LED 소자에 대한 반사도 특성(좌)과, 광 추출 효율 데이터(우)를 비교하고 있다.FIG. 4 is a graph showing the relationship between the current-blocking layer CBL of silicon dioxide (SiO 2 ) and magnesium fluoride (MgF 2 ) and the p-type silver (Ag) The reflectivity characteristic (left) and the light extraction efficiency data (right) are compared.
예컨대, 좌측의 그래프는 이산화규소(SiO2) 대비 플루오린화마그네슘(MgF2)의 반사도 특성(Reflectivity)이 더 우수한 것을 나타내고, 우측의 그래프는 이산화규소(SiO2) 대비 플루오린화마그네슘(MgF2)의 광 추출 효율(Optical output power)이 더 개선된 것을 나타내고 있다.For example, the reflectance characteristics (Reflectivity) further indicates that excellent, the graph on the right side is a silicon dioxide (SiO 2), magnesium contrast hydrofluoric (MgF 2) on the graph of silicon dioxide (SiO 2) compared to magnesium fluoride (MgF 2) on the left The optical output power of the light source is further improved.
따라서 플루오린화마그네슘(MgF2)의 반사도 특성은 이산화규소(SiO2)의 반사도 특성보다 더 최적화되어 있고, 그에 따라 이산화규소(SiO2)의 광 추출 효율은 플루오린화마그네슘(MgF2)보다 더 개선된 것을 알 수 있다.Therefore fluoro reflectivity characteristics of rinhwa magnesium (MgF 2) is the light extraction efficiency was improved more than fluoro rinhwa magnesium (MgF 2) of silicon dioxide (SiO 2), and is more optimized than the reflectivity characteristics, and therefore the silicon dioxide (SiO 2) .
특히, 전류 억제층으로 이산화규소(SiO2)가 사용된 경우 반사도는 89.3 % 정도이나, 플루오린화마그네슘(MgF2)이 사용된 경우 반사도는 92.5 % 정도로 전류 억제층(CBL)을 SiO2에서 MgF2로 대체한 경우보다 우수한 반사도 특성을 보여줌을 알 수 있다. 또한 광 추출 효율 면에서도 SiO2에서 MgF2로 대체한 경우 최대 5 % 더 증가되는 것으로 알 수 있다.In particular, when the current blocking layer with a silicon dioxide (SiO 2) using reflectance is 89.3 percent or magnesium fluoride (MgF 2) the case reflectivity MgF the current blocking layer (CBL) about 92.5% of the SiO 2 using 2 , it can be seen that the reflectance characteristics are superior. In terms of light extraction efficiency, it can be seen that the maximum value is 5% more when SiO 2 is replaced with MgF 2 .
이하, 본 발명에 의한 수직형 발광 다이오드의 제조방법을 설명한다.Hereinafter, a method of manufacturing a vertical type light emitting diode according to the present invention will be described.
도 5a를 참조하면, 반도체 기판(102) 상에 제1도전성 반도체층(120), 활성층(130), 및 제2도전성 반도체층(140)을 순차적으로 형성한다. 가령, 제1, 및 제2도전성 반도체층(120, 140)은 화학증착방법(CVD), 스퍼터링, 에피택시 등의 방법을 사용하여 형성될 수 있다.Referring to FIG. 5A, a first
도 5b를 참조하면, 제2도전성 반도체층(140) 상에 전류 억제층(150)을 형성한다. 가령, p타입 질화갈륨(p-GaN) 상에 플루오린화마그네슘(MgF2)을 전자 빔 증착기(E-beam evaporator)를 이용하여 증착한다.Referring to FIG. 5B, a
도 5c를 참조하면, 전류 억제층(150) 상에 제2전극(160)을 형성한다. 가령, 플루오린화마그네슘(MgF2) 상에 전자 빔 증착기(E-beam evaporator)를 이용하여 은(Ag)을 증착하여 수직형 구조의 발광 다이오드를 완성한다.Referring to FIG. 5C, a
특히, 본 발명의 실시예에 의하면, 전류 억제층(150) 형성 공정과 제2전극(160) 형성 공정은 동일한 증착 장비를 이용하여 실시될 수 있다. 전류 억제층(150)과 제2전극(160)은 인 시튜 공정에 의하여 형성될 수 있다. 가령, 제2전극(160)은 열 증착(thermal evaporator) 방법, 전자 빔 증착(E-beam evaporator) 방법, 스퍼터링(RF or DC sputter) 방법 또는 다양한 전극 형성 방법에 의해 적층 가능하지만, 본 발명에서는 플루오린화마그네슘(MgF2)과 동일한 증착 장비를 사용하고자 전자 빔 증착 방법을 사용하는 것으로 한다.In particular, according to an embodiment of the present invention, the current-suppressing
도 5d를 참조하면, 반도체 기판(102)을 제거하고, 제1도전성 반도체층(120) 상에 제1전극(110)을 형성한다.Referring to FIG. 5D, the
그러므로 본 발명의 전류 억제층(150)은 플루오린화마그네슘(MgF2) 물질의 전류 차단 기능을 통하여 n타입 전극과 p타입 전극 사이에 발생되는 전류 집중을 전극 주변으로 균일하게 분산시켜 1차적으로 광 추출 효율(Optical output power)을 개선하는 동시에 플루오린화마그네슘(MgF2) 물질의 낮은 굴절률에 의하여 2차적으로 광 반사도 특성(Reflectivity)을 증진시키는 이중적 개선 효과를 제공한다.Therefore, the
이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명은 전류 억제층(CBL)으로 플루오린화마그네슘(MgF2) 물질을 이용함으로써 p타입 질화갈륨(GaN)과 p타입 은(Ag) 전극 사이의 수직성을 갖는 전류 흐름을 효과적으로 퍼뜨려 주는 기본적인 전류 차단 기능을 통한 광 출력 효율과 함께, 저 굴절률로 인하여 최적의 반사도 특성을 얻음으로써 결과적으로 더 개선되는 광 추출 효율을 가지는 구성을 기술적 사상으로 하고 있음을 알 수 있다. 이와 같은 본 발명의 기본적인 기술적 사상의 범주 내에서, 당업계의 통상의 지식을 가진 자에게 있어서는 다른 많은 변형이 가능할 것이다.
As described above, the present invention uses a magnesium fluoride (MgF 2 ) material as a current blocking layer (CBL), and thereby, a current flow having perpendicularity between p-type gallium nitride (GaN) and p- It can be understood that the optical reflection efficiency is improved by the basic refractive index reduction effect and the optical extraction efficiency is further improved as a result. Many other modifications will be possible to those skilled in the art, within the scope of the basic technical idea of the present invention.
100: 발광 다이오드 102: 기판
110: 제1전극 120: 제1도전성 반도체층
130: 활성층 140: 제2도전성 반도체층
150: 전류 억제층 160: 제2전극100: light emitting diode 102: substrate
110: first electrode 120: first conductive semiconductor layer
130: active layer 140: second conductive semiconductor layer
150: current blocking layer 160: second electrode
Claims (2)
상기 제2도전성 반도체층 상에 전류 억제층을 증착 장비를 이용하여 형성하되, 화학 기상 증착 방법(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 공정을 실시하지 않음으로써, 플라즈마 데미지에 의한 누설전류 생성, 열화 현상을 억제하는 단계;
상기 전류 억제층 상에 제2전극을 형성하되, 상기 전류 억제층의 증착 장비를 이용하여 증착하는 단계; 및
상기 기판을 제거하고, 상기 제1도전성 반도체층 상에 제1전극을 형성하는 단계;를 포함하고,
상기 제2도전성 반도체층은 p타입 질화갈륨(p-GaN)을 포함하고,
상기 전류 억제층은 플루오린화마그네슘(MgF2)을 포함하며,
상기 플루오린화마그네슘(MgF2)은 상기 p타입 질화갈륨(p-GaN) 상에 전자 빔 증착기(E-beam evaporator)를 이용하여 증착되며,
상기 제2전극은 은(Ag)을 포함하며,
상기 은(Ag)은 상기 플루오린화마그네슘(MgF2) 상에 상기 전자 빔 증착기(E-beam evaporator)를 이용하여 증착되며,
상기 전자 빔 증착기를 이용하여 형성되는 상기 전류 억제층과 상기 전자 빔 증착기를 이용하여 형성되는 상기 제2전극은 인 시튜 공정에 의하여 형성됨으로써, 동일한 상기 전자 빔 증착기로 상기 전류 억제층 형성 공정과 상기 제2전극 형성 공정이 실시되고,
이산화규소 대비 상기 플루오린화마그네슘의 저 굴절률(1.39)로 인한 반사도 특성에 의하여 광 추출 효율의 광학적 기능이 개선되는 바, 상기 플루오린화 마그네슘(MgF2)의 패턴 두께(h)는 수학식
상기 p타입 질화갈륨(p-GaN), 상기 플루오린화마그네슘(MgF2), 및 상기 은(Ag)이 순차 그레이드를 형성함으로써,
상기 플루오린화 마그네슘(MgF2) 패턴을 사용하는 경우 상기 은(Ag)의 p타입 전극에 대한 상기 반사도 특성이 상기 이산화규소 대비 증가하며,
상기 플루오린화마그네슘(MgF2) 패턴을 사용하는 경우 상기 광 추출 효율은 상기 이산화규소 대비 증가하는 것을 특징으로 하는 수직형 발광 다이오드의 제조방법.Sequentially forming a first conductive semiconductor layer, an active layer, and a second conductive semiconductor layer on a substrate;
A current-suppressing layer is formed on the second conductive semiconductor layer by using a deposition apparatus, and a plasma enhanced chemical vapor deposition (hereinafter abbreviated as "plasma enhanced chemical vapor deposition") process is not performed. ;
Depositing a second electrode on the current blocking layer using a deposition apparatus of the current blocking layer; And
Removing the substrate and forming a first electrode on the first conductive semiconductor layer,
Wherein the second conductive semiconductor layer includes p-type gallium nitride (p-GaN)
It said current blocking layer comprises magnesium fluoride (MgF 2),
The magnesium fluoride (MgF 2 ) is deposited on the p-type gallium nitride (p-GaN) using an electron beam evaporator (E-beam evaporator)
Wherein the second electrode comprises silver (Ag)
The silver (Ag) is deposited on the magnesium fluoride (MgF 2 ) using the electron beam evaporator (E-beam evaporator)
The second electrode formed using the electron suppression layer and the electron beam evaporator formed using the electron beam evaporator, The current suppressing layer forming step and the second electrode forming step are performed by the same electron beam evaporator,
The optical function of the light extraction efficiency is improved by the reflectivity property of the magnesium fluoride relative to silicon dioxide due to the low refractive index (1.39) of the magnesium fluoride, the pattern thickness h of the magnesium fluoride fluoride (MgF2)
The p-type gallium nitride (p-GaN), the magnesium fluoride (MgF2), and the silver (Ag)
When the fluorinated magnesium (MgF2) pattern is used, the reflectivity characteristic of the silver (Ag) p-type electrode increases with respect to the silicon dioxide,
Wherein the light extracting efficiency is increased with respect to the silicon dioxide when the fluorinated magnesium (MgF2) pattern is used.
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