KR101622790B1 - Paddle and carrying part for wafers of solar cell heating apparatus - Google Patents

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최정훈
강동규
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(주)피앤테크
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Abstract

The present invention relates to a paddle for a heat treatment device for a solar cell wafer and a transferring device for the paddle. The paddle for a heat treatment device for a solar cell wafer comprises: a paddle loading zone which is a double-wall stack area assembled and arranged to support a boat; and a paddle holding unit which is connected with the paddle loading zone to move or manipulate a paddle body. A plurality of wafers, which are loaded on a process tube for performing a doping heat treatment on a solar cell wafer, are stacked on the boat, and the stack area has a cross-section including an upper wall and a lower wall. The upper wall has a concave decagon cross-section. A stopper member for preventing the boat on which wafers are loaded from being shifted and for fixing the boat is provided on an edge of the upper wall of the paddle loading zone. According to the present invention, a cross-sectional shape of the paddle is changed to prevent a sagging of a transfer paddle due to an increase in a size and a weight of the wafer, which reinforces strength against a support force of the paddle.

Description

태양전지 웨이퍼용 열처리 장치의 패들 및 그 이송 장치{Paddle and carrying part for wafers of solar cell heating apparatus} BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a paddle of a heat treatment apparatus for a solar cell wafer,

본 발명은 태양전지 웨이퍼용 열처리 장치의 패들 및 그 이송 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 웨이퍼가 적재된 보트를 로딩할 수 있는 영역을 충분히 확보하고, 그에 따라 웨이퍼의 크기와 무게의 증가에 따른 이송 패들의 처짐 현상을 방지하기 위해서 패들의 지지력에 대한 강성을 보강할 수 있도록 패들의 단면 형상을 변화시켜서 프로세스 튜브로 웨이퍼 이송을 안정적으로 처리할 수 있도록 한 태양전지 웨이퍼용 열처리 장치의 패들 및 상기 패들을 포함하는 이송 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a paddle of a heat treatment apparatus for a solar cell wafer and a transfer device thereof, and more particularly to a paddle of a heat treatment apparatus for a solar cell wafer, and more particularly to a paddle of a heat treatment apparatus for a solar cell wafer, A paddle of a heat treatment apparatus for a solar cell wafer in which the cross-sectional shape of the paddle is changed so as to reinforce the rigidity of the paddles to prevent the deflection phenomenon of the transfer paddles, Paddles < / RTI >

일반적으로, 솔라셀(Solar Cell) 및 반도체 소자를 제조하기 위한 공정에서 웨이퍼 기판의 표면에 분자 기체를 반응시켜서 필요한 박막을 형성하는 공정을 화학기상증착(Chemical Vapor Deposition; 이하 "CVD"라 한다) 공정이라 하며, CVD 공정에 사용되는 확산로는 튜브(Tube)가 설치되는 형상에 따라 수직형 확산로(Vertical Type Furnace)와 수평형 확산로(Horizontal Type Furnace)로 나뉜다.BACKGROUND ART In general, a process for forming a necessary thin film by reacting a molecular gas on a surface of a wafer substrate in a process for manufacturing a solar cell and a semiconductor device is called Chemical Vapor Deposition (hereinafter referred to as "CVD " And the diffusion furnace used in the CVD process is divided into a vertical type furnace and a horizontal type furnace depending on the shape in which the tube is installed.

수평형 확산로는 SMIF(Standard Mechanical Interface)를 통해 웨이퍼 기판을 장착한 웨이퍼카세트가 투입되면 포트랜드(도시되지 않음)에 의해 웨이퍼카세트로부터 석영 보트에 웨이퍼 기판이 장착되고, 웨이퍼 기판이 장착된 석영 보트는 보트 이송장치에 의해 트랜스퍼 스테이지로 이송되며, 트랜스퍼 스테이지는 석영 보트를 CVD 공정이 진행되는 프로세스 튜브(반응관)으로 이송시킨다.When the wafer cassette on which the wafer substrate is mounted through the SMIF (Standard Mechanical Interface) is inserted, the wafer substrate is mounted on the quartz boat from the wafer cassette by a portland (not shown), and the quartz boat Is transferred to the transfer stage by the boat transfer device, and the transfer stage transfers the quartz boat to the process tube (reaction tube) where the CVD process is performed.

종래의 수평형 확산로에서 프로세스 튜브에 웨이퍼 기판이 장착된 석영 보트를 이송시키는 장치를 첨부된 도면을 이용하여 설명하면 다음과 같다.An apparatus for transferring a quartz boat equipped with a wafer substrate to a process tube in a conventional horizontal diffusion furnace will be described with reference to the accompanying drawings.

도1은 종래의 수평형 확산로를 이용한 열화학 기상증착장치의 전체적인 도면이다.1 is a general view of a conventional thermochemical vapor deposition apparatus using a horizontal diffusion furnace.

도1에 도시된 바와 같이, 종래의 열화학 기상증착장치는 한편에 반응가스를 공급하기 위한 반응가스 공급부(10)가 설치되어 있고, 일측에 반응가스 공급부(10)로부터 공급된 가스가 유입될 가스 유입구(11)가 설치되고 타측은 밀폐된 원통형 프로세스 튜브(12) 내에 웨이퍼 기판(13)이 장착되며, 하부에 형태의 홈이 형성된 석영 보트(14)가 장착되어 있으며, 상기 프로세스 튜브(12) 외부에 상기 프로세스 튜브(12)를 가열하기 위한 히터(15)와 상기 히터(15)의 온도를 조절하기 위한 온도 제어기(16)가 설치되어 있으며, 상기 석영 보트(14)를 상기 프로세스 튜브(12) 내로 이송시키기 위해 상기 석영 보트(14) 하부에 마련된 홈에 삽입됨으로써, 상기 석영 보트(14)가 얹혀지는 패들(8)과, 상기 석영 보트(14)가 얹혀지는 패들(8)을 상기 프로세스 튜브(12) 내로 이송시키는 캐리지(9) 및, 상기 패들(8)을 업/다운시키기 위한 업/다운 샤프트(7)를 포함하는 웨이퍼 기판 로더부로 이루어진 배치타입의 열화학 기상증착 장치이다.As shown in FIG. 1, a conventional thermo-chemical vapor deposition apparatus has a reaction gas supply unit 10 for supplying a reaction gas to one side, and a gas supply unit 10 for supplying a gas supplied from the reaction gas supply unit 10, The process tube 12 is provided with an inlet 11 and a quartz boat 14 on the other side of which a wafer substrate 13 is mounted in a closed cylindrical process tube 12, A heater 15 for heating the process tube 12 and a temperature controller 16 for controlling the temperature of the heater 15 are installed outside the process tube 12. The quartz boat 14 is connected to the process tube 12 The paddle 8 on which the quartz boat 14 is placed and the paddle 8 on which the quartz boat 14 is placed are inserted into the grooves provided in the lower portion of the quartz boat 14 for transferring the quartz boat 14 into the process Into the tube (12) Ridge 9 and, the up / down shaft 7 thermal chemical vapor deposition of a batch-type apparatus comprising the substrate wafer loader part containing for up / down to the paddles (8).

그런데, 종래의 열처리 장치에서 태양전지용 웨이퍼의 크기가 커지거나 다양해지고 있으나, 이를 이송하는 패들 사이즈는 일정한 수치로만 제작되어 있어 열처리되는 웨이퍼의 수량은 한정된 양만 생산되어, 생산량을 많이 늘릴 수가 없고, 패들에 보트가 얹혀지는 로딩존에 웨이퍼 무게가 증가 되어 패들의 처짐이 발생되거나 이에 따라 웨이퍼가 파손되는 경우가 발생되어 사용자의 불만이 많은 문제점이 있었다.However, since the size of the paddle for transferring the wafer is increased to a certain value, only a limited amount of the wafers to be heat-treated is produced, so that the production amount can not be increased much, The weight of the wafer is increased in the loading zone in which the boat is placed, thereby causing the deflection of the paddles or the wafer to be damaged.

또한, 웨이퍼 이송용 패들의 처짐에 따라 이를 수용하기 위해서 석영 프로세스 튜브 자체의 외부 사이즈 증대로 인해 전체적으로 장비 사이즈가 커지고, 그에 따른 장비 가격이 상승되는 문제도 발생하게 되었다. Further, in order to accommodate the deflection of the pellets for transferring wafers, the size of the quartz process tube itself is increased, thereby increasing the overall size of the quartz process tube itself.

본 발명은 전술한 바와 같은 종래의 문제점을 해결하고자 안출된 것으로서, 그의 목적은 웨이퍼가 적재된 보트를 로딩할 수 있는 영역을 충분히 확보하고, 그에 따라 웨이퍼의 크기와 무게의 증가에 따른 이송 패들의 처짐 현상을 방지하기 위해서 패들의 지지력에 대한 강성을 보강할 수 있도록 패들의 단면 형상을 변화시켜서 프로세스 튜브로 웨이퍼 이송을 안정적으로 처리할 수 있도록 한 태양전지 웨이퍼용 열처리 장치의 패들 및 이를 포함하는 이송 장치를 제공하기 위한 것이다. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the conventional problems as described above, and it is an object of the present invention to sufficiently secure an area for loading a boat loaded with wafers, A paddle of a heat treatment apparatus for a solar cell wafer and transferring the same containing the paddle of the solar cell wafer so as to stably process the wafer transfer to the process tube by changing the cross-sectional shape of the paddle so as to reinforce the rigidity against the bearing force of the paddle, Device.

본 발명에 따른 태양전지 웨이퍼용 열처리 장치의 패들은, 태양전지 웨이퍼에 도핑 열처리를 위한 프로세스 튜브로 로딩되는 복수의 웨이퍼를 적재한 보트를 지지하기 위해 조립되어 배치되는 이중 벽 적재 영역으로서, 상기 적재 영역은 상부 벽 및 하부 벽을 포함하는 단면을 가지며 상기 상부 벽은 오목한 십각형상

Figure 112014120251112-pat00001
단면으로 되어 있는 패들 로딩 존; 및 상기 패들 로딩존에 연결되며 패들 본체를 이동시키기거나 조작하기 위한 패들 홀딩부를 포함하고, 상기 패들 로딩존의 상부 벽 가장자리에는 웨이퍼를 적재한 보트의 시프트를 방지하여 고정하기 위한 스톱퍼 부재가 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 것이다.A padding of a thermal processing apparatus for a solar cell wafer according to the present invention is a double walled mounting area assembled and arranged to support a boat loaded with a plurality of wafers loaded into a process tube for doping heat treatment on a solar cell wafer, The region has a cross-section including a top wall and a bottom wall, the top wall having a concave < RTI ID = 0.0 >
Figure 112014120251112-pat00001
A paddle loading zone in section; And a paddle holding part connected to the paddle loading zone for moving or manipulating the paddle body, wherein a stopper member is provided at an upper wall edge of the paddle loading zone for preventing and fixing a boat loaded with a wafer .

또한, 본 발명에 따른 태양전지 웨이퍼용 열처리 장치의 패들에 있어서, 상기 스톱퍼 부재는 상기 패들 로딩존의 상부 벽 가장자리에 형성된 결합공에 볼트 결합되어 구비되는 것을 특징으로 하는 것이다. In addition, in the paddle of the heat treatment apparatus for a solar cell wafer according to the present invention, the stopper member is bolted to a coupling hole formed at an upper wall edge of the paddle loading zone.

또한, 본 발명에 따른 태양전지 웨이퍼용 열처리 장치의 패들에 있어서, 상기 스톱퍼 부재는 상기 패들 로딩존의 시작되는 도입부와 로딩존의 말단부에 각각 설치되는 것을 특징으로 하는 것이다.Further, in the paddle of the heat treatment apparatus for a solar cell wafer according to the present invention, the stopper member is installed at the beginning of the paddle loading zone and at the end of the loading zone, respectively.

또한, 본 발명에 따른 태양전지 웨이퍼용 열처리 장치의 패들에 있어서, 상기 스톱퍼 부재는 보트와 접촉하는 부분에 라운드 처리되어 있는 것을 특징으로 하는 것이다.Further, in the paddle of the heat treatment apparatus for a solar cell wafer according to the present invention, the stopper member is rounded at a portion contacting the boat.

또한, 본 발명에 따른 태양전지 웨이퍼용 열처리 장치의 패들에 있어서, 상기 스톱퍼 부재는 실리콘 카바이드 또는 세라믹으로 구성되는 것을 특징으로 하는 것이다.Further, in the paddle of the heat treatment apparatus for a solar cell wafer according to the present invention, the stopper member is made of silicon carbide or ceramic.

또한, 본 발명에 따른 태양전지 웨이퍼용 열처리 장치의 패들에 있어서, 상기 스톱퍼 부재와 볼트 결합되는 볼트는 세라믹으로 구성되는 것을 특징으로 하는 것이다. Further, in the paddle of the heat treatment apparatus for a solar cell wafer according to the present invention, the bolt to be bolted to the stopper member is formed of ceramic.

또한, 본 발명에 따른 태양전지 웨이퍼용 열처리 장치의 패들에 있어서, 상기 패들의 적재 영역의 높이는 최소 35.5mm에서 최대 45.5mm 인 것을 특징으로 하는 것이다.Further, in the paddle of the heat treatment apparatus for a solar cell wafer according to the present invention, the height of the stacking area of the paddles is at least 35.5 mm and at most 45.5 mm.

또한, 본 발명에 따른 태양전지 웨이퍼용 열처리 장치의 패들에 있어서, 상기 패들의 홀딩부의 가로폭은 최소 65mm에서 최대 95mm 인 것을 특징으로 하는 것이다.In the paddle of the heat treatment apparatus for a solar cell wafer according to the present invention, the horizontal width of the holding portions of the paddles is at least 65 mm and at most 95 mm.

또한, 본 발명에 따른 태양전지 웨이퍼용 열처리 장치의 패들에 있어서, 상기 패들 로딩존의 길이는 최소 2200mm에서 최대 2300mm 인 것을 특징으로 하는 것이다. Further, in the paddle of the heat treatment apparatus for a solar cell wafer according to the present invention, the paddle loading zone has a length of at least 2200 mm and a maximum of 2300 mm.

한편, 본 발명에 따른 태양전지 웨이퍼용 열처리 장치의 이송장치는, 태양전지 웨이퍼에 도핑 열처리를 위한 프로세스튜브와 상기 프로세스튜브를 에워싸는 히터를 구비하는 퍼네스 프레임과, 상기 프로세스튜브의 내부로 웨이퍼를 출입시키는 이송장치가 구비된 로더 스테이션 프레임과, 상기 퍼네스 프레임의 프로세스 튜브 내부로 산화가스를 공급하는 소스 캐비넷 프레임을 포함하는 태양전지 웨이퍼용 열처리 장치에 있어서, 상기 이송 장치는 복수의 도핑 열처리될 웨이퍼를 얹어놓은 보트를 상기 프로세스튜브 안으로 출입시켜주는 이중 벽 적재 영역으로서, 상기 적재 영역은 상부 벽 및 하부 벽을 포함하는 단면을 가지며 상기 상부 벽은 오목한 십각형상

Figure 112014120251112-pat00002
단면으로 되어 있는 패들 로딩 존; 및 상기 패들 로딩존에 연결되며 패들 본체를 이동시키기거나 조작하기 위한 패들 홀딩부를 포함하고, 상기 패들 로딩존의 상부 벽 가장자리에는 웨이퍼를 적재한 보트의 시프트를 방지하여 고정하기 위한 스톱퍼 부재가 구비하는 패들을 포함하며, 상기 이송 장치의 일단에서 상기 보트를 지지하는 상기 패들에 연결된 패들홀더를 지지하는 지지대가 볼부쉬 샤프트에 연결되고, 상기 지지대는 다시 볼스크류가 그 안에서 회전하는 나사관 외부에 형성된 너트부에 고정되어 있으며, 상기 볼스크류가 회전하면 볼부쉬 샤프트를 따라 가이드되는 상기 볼부쉬의 상하 이동에 따라 연동된 패들 홀더가 상기 패들을 상하로 움직이도록 하는 것을 특징으로 하는 것이다.A transfer apparatus for a thermal processing apparatus for a solar cell wafer according to the present invention includes a furnace frame having a process tube for doping heat treatment and a heater for surrounding the process tube on a solar cell wafer, And a source cabinet frame for supplying an oxidizing gas into the process tube of the furnace frame, wherein the transfer device comprises a plurality of doping heat treatment furnaces A dual wall mounting area for allowing a boat mounted with a wafer to enter and exit into the process tube, the mounting area having a cross section including a top wall and a bottom wall, the top wall having a concave,
Figure 112014120251112-pat00002
A paddle loading zone in section; And a paddle holding part connected to the paddle loading zone for moving or manipulating the paddle body, wherein a stopper member for preventing and shifting the boat loaded with the wafer is provided at the upper wall edge of the paddle loading zone Wherein a support for supporting a paddle holder connected to the paddle supporting the boat at one end of the transfer device is connected to the ball bushing shaft and the support is again formed on the outside of the screw pipe, And when the ball screw is rotated, the paddle holder interlocked with the ball bushing guided along the ball bushing shaft moves the paddle up and down.

또한, 본 발명에 따른 태양전지 웨이퍼용 열처리 장치의 이송장치에 있어서, 상기 스톱퍼 부재는 보트와 접촉하는 부분에 라운드 처리되어 있는 것을 특징으로 하는 것이다. Further, in the transfer device of the heat treatment apparatus for a solar cell wafer according to the present invention, the stopper member is rounded at a portion contacting the boat.

또한, 본 발명에 따른 태양전지 웨이퍼용 열처리 장치의 이송장치에 있어서, 상기 스톱퍼 부재는 상기 패들 로딩존의 상부 벽 가장자리에 형성된 결합공에 볼트 결합되어 구비되는 것을 특징으로 하는 것이다.According to another aspect of the present invention, there is provided a transfer device for a heat treatment apparatus for a solar cell wafer, wherein the stopper member is bolted to a coupling hole formed at an upper wall edge of the paddle loading zone.

본 발명에 따른 태양전지 웨이퍼용 열처리 장치의 패들 및 이를 포함하는 이송장치는 패들 로딩존에 다양한 크기의 웨이퍼가 적재될 때 웨이퍼의 무게가 증가되어 패들의 로딩존에서 처짐이 발생되거나 파손되는 경우를 방지하고 웨이퍼가 적재된 보트를 로딩할 수 있는 영역을 충분히 확보하는 효과가 있다.The paddle of the heat treatment apparatus for a solar cell wafer and the transfer apparatus including the paddle loading zone according to the present invention have a problem in that when the wafers of various sizes are loaded in the paddle loading zone, There is an effect of sufficiently securing an area in which the boat on which the wafer is loaded can be loaded.

또한, 본 발명에 따른 태양전지 웨이퍼용 열처리 장치의 패들 및 이를 포함하는 이송장치는 공정 중 로딩, 언로딩시 패들들 위에 놓인 보트가 시프트되어 움직이는 것을 방지함으로써 열처리 공정이 끝난 후 다음 공정으로 이송 중 보트가 파손되는 경우를 보완할 수 있다.In addition, the paddles of the heat treatment apparatus for a solar cell wafer and the transfer apparatus including the paddles according to the present invention prevent the boat placed on the paddles from shifting and moving during the loading and unloading in the process, It is possible to compensate for the damage of the boat.

또한, 본 발명에 따른 태양전지 웨이퍼용 열처리 장치의 패들 및 이를 포함하는 이송 장치는 패들의 지지력에 대한 강성을 보강시켜서 프로세스 튜브로 웨이퍼 이송을 안정적으로 처리할 수 있도록 하는 효과가 있다. Further, the paddle of the heat treatment apparatus for a solar cell wafer according to the present invention and the transfer device including the same improve the stiffness of the paddle against the supporting force, thereby enabling the stable transfer of the wafer to the process tube.

도1은 종래의 태양전지 웨이퍼용 열처리장치의 사시도이다.
도2는 본 발명에 따른 태양전지 웨이퍼용 열처리장치의 전체 구성 사시도이다.
도3은 본 발명에 따른 태양전지 웨이퍼용 열처리 장치의 로더 스테이션 프레임에서 이송장치의 사시도이다.
도4는 본 발명에 따른 태양전지 웨이퍼용 열처리 장치의 로더 스테이션 프레임에서 이송장치의 단면도이다.
도5는 본 발명에 따른 태양전지 웨이퍼용 열처리 장치 중의 이송장치의 패들의 사시도이다.
도6a, 도6b는 본 발명에 따른 태양전지 웨이퍼용 열처리 장치 중의 이송장치의 패들과 패들 홀딩부의 단면도이다.
도7은 본 발명에 따른 태양전지 웨이퍼용 열처리 장치에서 보트를 적재한 패들의 실시예이다.
도8은 본 발명에 따른 태양전지 웨이퍼용 열처리 장치의 패들에 채용된 스톱퍼 부재의 사시도와 확대도이다.
도9는 본 발명에 따른 태양전지 웨이퍼용 열처리 장치의 패들에 채용된 스톱퍼 부재의 단면 확대도이다.
도10은 본 발명에 따른 태양전지 웨이퍼용 열처리 장치의 패들에 채용된 스톱퍼 부재의 결합 설명도이다.
도11은 본 발명에 따른 태양전지 웨이퍼용 열처리 장치 중의 이송장치의 패들의 사용 범위에 대한 설명도이다.1 is a perspective view of a conventional heat treatment apparatus for a solar cell wafer.
2 is an overall perspective view of a heat treatment apparatus for a solar cell wafer according to the present invention.
3 is a perspective view of a transfer device in a loader station frame of a heat treatment apparatus for a solar cell wafer according to the present invention.
4 is a cross-sectional view of a transfer device in a loader station frame of a heat treatment apparatus for a solar cell wafer according to the present invention.
5 is a perspective view of piles of a transfer device in a heat treatment apparatus for a solar cell wafer according to the present invention.
6A and 6B are sectional views of a paddle and a paddle holding portion of a transfer device in a heat treatment apparatus for a solar cell wafer according to the present invention.
7 is an embodiment of a paddle on which a boat is loaded in a heat treatment apparatus for a solar cell wafer according to the present invention.
8 is a perspective view and an enlarged view of a stopper member employed in a paddle of a heat treatment apparatus for a solar cell wafer according to the present invention.
9 is a cross-sectional enlarged view of a stopper member employed in a paddle of a heat treatment apparatus for a solar cell wafer according to the present invention.
FIG. 10 is an explanatory view showing the engagement of a stopper member employed in a paddle of a heat treatment apparatus for a solar cell wafer according to the present invention. FIG.
11 is an explanatory view of the range of use of paddles of the transfer device in the heat treatment apparatus for a solar cell wafer according to the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명의 실시예에 따른 태양전지 웨이퍼용 도핑 히터에 대해 상세히 설명하기로 한다. Hereinafter, a dope heater for a solar cell wafer according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도2는 본 발명에 따른 태양전지 웨이퍼용 열처리장치의 전체 구성 사시도이다.2 is an overall perspective view of a heat treatment apparatus for a solar cell wafer according to the present invention.

본 발명에 따른 태양전지 웨이퍼용 열처리장치는 크게 도핑 열처리 공정에 필요한 산화가스를 공급하는 소스캐비넷 프레임(1), 공급된 산화가스 분위기에서 웨이퍼를 열처리하는 퍼네스 프레임(2), 상기 퍼네스 프레임(2)으로 웨이퍼를 이송 공급하는 로더 스테이션 프레임(3)으로 구성된다.A heat treatment apparatus for a solar cell wafer according to the present invention comprises a source cabinet frame 1 for supplying oxidizing gas required for a doping heat treatment process, a furnace frame 2 for heat treating the wafer in a supplied oxidizing gas atmosphere, And a loader station frame 3 for transferring and supplying wafers to the wafers 2.

상기 로더 스테이션 프레임(3)에는 상기 퍼네스 프레임(2) 내부의 프로세스튜브로 도핑 열처리될 웨이퍼를 이송하고 도핑 열처리가 완료된 웨이퍼를 회수하기 위한 이송장치(5)가 설치되어 있다.The loader station frame 3 is provided with a transfer device 5 for transferring a wafer to be subjected to doping heat treatment to a process tube in the furnace frame 2 and for recovering a wafer for which doping heat treatment is completed.

상기 로더 스테이션 프레임(3)의 전면 우측에는 컨트롤 박스(4)를 구비하여 히터 온도 게이지, 소스 가스 플로우챠트를 디스플레이하고 이송 장치의 조작을 위한 터치 스크린이 설치되어 있다.A control box 4 is provided on the front right side of the loader station frame 3 to display a heater temperature gauge and a source gas flow chart, and a touch screen for operating the transfer device.

로더스테이션 프레임(3), 퍼네스 프레임(2), 소스케비넷 프레임(1)의 구성 재질은 철(SPCC)및 스테인레스(SUS)이며 도색 처리된다. The constituent materials of the loader station frame 3, the furnace frame 2 and the source cabinet frame 1 are iron (SPCC) and stainless steel (SUS) and painted.

프레임 골격은 각관을 서로 용접부착한 구조물이며, 구성은 각 프레임, 외측덮개, 스캐빈져커버(scavenger), 배기구로 이어져 있다.The frame skeleton is a structure in which the pipes are welded to each other, and the structure is connected to each frame, the outer cover, the scavenger, and the exhaust port.

도3, 도4는 본 발명에 따른 태양전지 웨이퍼용 열처리 장치의 로더 스테이션 프레임에서 이송장치의 상세도이다.3 and 4 are detailed views of a transfer device in a loader station frame of a heat treatment apparatus for a solar cell wafer according to the present invention.

도3, 도4를 참조하면, 상기 이송 장치(5)는 다량의 도핑 열처리될 웨이퍼를 얹어놓은 보트(18)를 상기 프로세스튜브(9) 안으로 출입시켜주는 패들(19)이 상승, 하강할 수 있도록 되어 있다.3 and 4, the transfer device 5 may include a paddle 19 for allowing a boat 18 loaded with a wafer to be doped with a large amount of heat to be introduced into and out of the process tube 9 to move up and down Respectively.

처리대상인 복수매의 태양전지 웨이퍼는 각각의 지지막대에 동일간격으로 홈이 파인 보트(18)위에 지지되어 고정되고, 지지막대는 태양전지웨이퍼 특성상 고온에서 휨현상이 발생하여 지지막대 높이를 고려하여 제작된다. 8inch (156mm*156mm), 6inch(125mm*125mm)를 포함한 다양한 크기의 태양전지 웨이퍼가 호환이 가능하며, 이송장치(5)에 장착되어있는 패들(19)(paddle)위에 놓여진다. A plurality of solar cell wafers to be treated are supported and fixed on the respective support rods on the grooved boat 18 at equal intervals. The support rods are formed in consideration of the height of the support rods due to the characteristics of the solar cell wafers, do. The solar cell wafers of various sizes including 8 inches (156 mm * 156 mm) and 6 inches (125 mm * 125 mm) are compatible and are placed on the paddles 19 mounted on the transfer device 5.

이송장치(5)는 로더스테이션 프레임의 내부에서 구동 장치가 구비되어 있다.The conveying device 5 is provided with a driving device inside the loader station frame.

이송장치(5)에서, LM 가이드, 밸트, 풀리의 이송부품은 자동이송을 할 수 있도록 장착되어 있고 모터구동부는 풀리와 맞물려 떨림이 없고 안정적인 자동이송능력을 발휘한다. In the conveying device 5, the LM guide, the belt, and the conveying parts of the pulley are mounted for automatic conveyance, and the motor driving part engages with the pulley and exhibits stable automatic conveying ability without vibration.

상기 이송장치(5)는 알루미늄 재질로 이루어진 가공 조립품이며, 장기간 사용에도 휨이 발생하지 않도록 고안된다. 이송장치는 LM가이드레일을 장착하여 부드러운 움직임을 가지게 하였으며, 로딩(loading)과 언로딩(unloading)시에 떨림을 최소화한다. The transfer device 5 is a working assembly made of an aluminum material and is designed not to cause warping even when used for a long period of time. The conveyor has a smooth movement by mounting the LM guide rail and minimizes the tremble when loading and unloading.

이송장치(5)에 의하여 웨이퍼를 수평으로 이송하여 프로세스튜브(9) 내부로 로딩할 때 상기 패들(19)이 업/다운(Up/Down)을 하여 공정중 보트를 프로세스튜브 내부에 내려놓아 언로딩하고, 패들(19)이 보트를 놓고나오면 오토셔터부(17)의 원형판은 자동으로 폐쇄된다.When the wafer is horizontally transferred by the transfer device 5 and is loaded into the process tube 9, the paddle 19 is moved up / down so that the boat is lowered into the process tube during the process, And the circular plate of the auto shutter portion 17 is automatically closed when the paddle 19 leaves the boat.

상기 오토셔터부(17)는 LM 가이드, 볼스크류, DC모터 감속기 등으로 구성되고 재질은 알루미늄 재질의 가공 조립품이며, 로딩(loading)과 언로딩(unloading)시 이송장치와 연계되어 석영 원형판(26)이 자동으로 여닫이를 할 수 있게 설계된다.The auto shutter unit 17 is formed of an LM guide, a ball screw, a DC motor speed reducer, and the like, and is made of an aluminum material. When the auto shutter unit 17 is loaded and unloaded, ) Is designed to automatically open the door.

상기 이송장치(5)는 알루미늄 재질로 이루어진 가공 조립품이며, 장기간 사용에도 휨이 발생하지 않도록 고안된다. 이송장치는 LM가이드레일을 장착하여 부드러운 움직임을 가지게 하였으며, 로딩(loading)과 언로딩(unloading)시에 떨림을 최소화한다. The transfer device 5 is a working assembly made of an aluminum material and is designed not to cause warping even when used for a long period of time. The conveyor has a smooth movement by mounting the LM guide rail and minimizes the tremble when loading and unloading.

이송장치(5)에 의하여 웨이퍼를 수평으로 이송하여 프로세스튜브(9) 내부로 로딩할 때 상기 패들(19)이 업/다운(Up/Down)을 하여 공정중 보트를 프로세스튜브 내부에 내려놓아 언로딩하고, 패들(19)이 보트를 놓고나오면 오토셔터부(17)의 원형판은 자동으로 폐쇄된다.When the wafer is horizontally transferred by the transfer device 5 and is loaded into the process tube 9, the paddle 19 is moved up / down so that the boat is lowered into the process tube during the process, And the circular plate of the auto shutter portion 17 is automatically closed when the paddle 19 leaves the boat.

상기 오토셔터부(17)는 LM 가이드, 볼스크류, DC모터 감속기 등으로 구성되고 재질은 알루미늄 재질의 가공 조립품이며, 로딩(loading)과 언로딩(unloading)시 이송장치와 연계되어 석영 원형판(26)이 자동으로 여닫이를 할 수 있게 설계된다.The auto shutter unit 17 is formed of an LM guide, a ball screw, a DC motor speed reducer, and the like, and is made of an aluminum material. When the auto shutter unit 17 is loaded and unloaded, ) Is designed to automatically open the door.

상기 오토셔터부(17)는 도3, 도4에 도시된 바와 같이 원형판으로 된 석영 플레이트(26)와 스테인레스 플레이트(27)를 구비하며, 상기 석영 플레이트(26)와 상기 스테인레스 플레이트(27)는 연결 설치된 수직인 두 축을 따라 수직 이동 가능하며, 상기 수직인 두 축은 하부에 설치된 구동 모터에 의하여 구동된다.The auto shutter unit 17 includes a quartz plate 26 and a stainless plate 27 as a circular plate as shown in FIGS. 3 and 4, and the quartz plate 26 and the stainless plate 27 And the vertical two shafts are driven by a drive motor installed at the lower part.

상기 오토셔터부(17)는 상기 프로세스튜브의 내부로 복수의 도핑 열처리될 웨이퍼가 들어가거나 프로세스 튜브로부터 나올때 석영재질의 원형판은 스프링이 가하는 힘에 의해 상기 프로세스 튜브의 개구부를 자동으로 개폐하도록 한다.The auto shutter part 17 automatically opens and closes the opening of the process tube by a spring force of a quartz circular plate when a plurality of doped wafers are introduced into the process tube or exits from the process tube.

이때, 상기 퍼네스 프레임(2)의 스캐빈져와 결합하는 석영 재질의 원형 플레이트는 공정진행시 커버플레이트로서 프로세스 튜브 입구를 막아주고, 발생되는 고온의 열을 외부로 유출되는 것을 한번 더 차단한다.At this time, the quartz circular plate coupled with the scavenger of the furnace frame 2 blocks the inlet of the process tube as a cover plate in the course of the process, and blocks the generated high-temperature heat from being leaked to the outside .

또한, 이송장치(5)의 자동 이송중 원하는 위치에서 자동 멈춤을 할 수 있도록 로더 스테이션 프레임(3) 뒤쪽과 앞쪽에 리미트센서(limits sensor)를 설치하여 이동경로를 벗어나지 않도록 할 수 있게 인터락(interlock)장치가 되어있다.In addition, a limit sensor is provided behind and in front of the loader station frame 3 so as to be able to automatically stop at a desired position during automatic transfer of the transfer device 5, interlock device.

소프트랜드 방식의 헤드부(20)는 볼부쉬샤프트(24)와 볼부쉬로 구성되어 있어 4개의 볼부쉬샤프트(24)와 볼부쉬로 인하여 패들(19)이 업/다운시 안정적이고, 부드러운 움직임이 가능하다.The soft land type head unit 20 is composed of a ball bushing shaft 24 and a ball bushing so that the four ball bushing shafts 24 and the ball bushing can stably and smoothly move the paddles 19 up and down. This is possible.

상기 볼부쉬샤프트(24)는 패들(19)을 업/다운할 때 지지해주는 스테인레스 스틸 재질로서 열처리된 봉(pipe)을 사용한다.The ball bushing shaft 24 uses a heat treated pipe as a stainless steel material for supporting the paddles 19 up and down.

상기 볼부쉬는 기계 이동장치가 흔들리지 않고 매끈하게 이동할수 있는 직선운동 베어링이다. The ball bush is a linear motion bearing in which the machine moving device can move smoothly without shaking.

상기 이송장치의 헤드부(20)는 패들을 상하로 각도 조절이 가능하게 하며 프로세스튜브와 패들(19)과 패들홀더(21)간에 수평을 유지할 수 있다. The head portion 20 of the transfer device allows the paddles to be angled up and down and is horizontal between the process tube and the paddle 19 and the paddle holder 21. [

또한, 상기 헤드부(20)에는 2개의 볼스크류(23)를 사용하고 구동모터(25)와 감속기 등으로 구성된 모터의 동력은 타이밍밸트, 풀리(22)를 이용하여 볼스크류(23)로 전달되어 330매의 웨이퍼가 장착된 보트(18)를 지지하는 패들(19)을 업/다운할 수 있다. Two ball screws 23 are used for the head portion 20 and the motive power of the motor composed of the drive motor 25 and the reducer is transmitted to the ball screw 23 using the timing belt and the pulley 22 So that the paddles 19 supporting the boat 18 equipped with 330 sheets of wafers can be up / down.

상기 볼스크류(23)는 회전운동을 직선운동으로 변환시킬 수 있고, 볼스크류(23)는 파여진 홈으로 볼이 들어가서 상대편이 회전하면서 직선운동을 전개한다.The ball screw 23 can convert a rotational motion into a linear motion, and the ball screw 23 enters a ball into a wedged groove, and the linear motion of the ball screw 23 is developed while the ball is rotated.

상기 이송 장치의 일단에서 상기 보트(18)를 지지하는 패들(19)에 연결된 패들홀더(21)를 지지하는 지지대가 볼부쉬 샤프트(24)에 연결되어 있고 상기 지지대는 다시 볼스크류(23)가 그 안에서 회전하는 나사관 외부에 형성된 너트부에 고정되어 있다. A support for supporting a paddle holder 21 connected to a paddle 19 supporting the boat 18 at one end of the conveying device is connected to a ball bushing shaft 24 which is in turn connected to a ball screw 23 And is fixed to a nut portion formed outside the screw pipe rotating therein.

상기 볼스크류(23)가 회전하면 볼부쉬 샤프트(24)를 따라 가이드되는 상기 볼부쉬의 상하 이동에 따라 연동된 패들 홀더(21)가 상기 패들(19)을 상하로 움직이도록 한다.When the ball screw 23 rotates, the paddle holder 21 interlocked with the ball bushing guided along the ball bushing shaft 24 moves the paddle 19 up and down.

상기 볼스크류(23)에 연결된 풀리(22)에는 감속기어를 게재하여 구동 모터(25)가 연결되어 있다.A drive motor 25 is connected to the pulley 22 connected to the ball screw 23 by a reduction gear.

여기에서, 상기 패들홀더(21) 내부는 패들(19)을 보호하기 위해서 테프론 코팅을 한다.Here, the inside of the paddle holder 21 is coated with Teflon to protect the paddle 19.

상기 구동모터(25)는 알루미늄판위에 알루미늄블록과 디씨모터(DC motor)를 설치하여 타이밍 벨트와 풀리(22)를 이용하여 구동력을 상기 볼스크류(23)에 전달한다. The driving motor 25 is provided with an aluminum block and a DC motor on an aluminum plate and transmits a driving force to the ball screw 23 using a timing belt and a pulley 22.

상기 구동모터(25) 자체에 내장된 감속기는 속도를 제어하며, 모터드라이브는 구동모터(25)의 구동여부를 제어한다.The speed reducer incorporated in the driving motor 25 itself controls the speed, and the motor drive controls whether the driving motor 25 is driven.

도5는 본 발명에 따른 태양전지 웨이퍼용 열처리 장치 중의 이송장치의 패들의 사시도이다.5 is a perspective view of piles of a transfer device in a heat treatment apparatus for a solar cell wafer according to the present invention.

도5를 참조하면, 패들(19)은 열처리될 웨이퍼를 담은 석영 보트를 실제로 얹어서 적재하게 되는 로딩 존(19a)과 패들(19)을 이동시키기거나 조작하기 위한 패들 홀딩부(19b)로 구성된다.5, the paddle 19 is composed of a loading zone 19a in which a quartz boat containing a wafer to be heat-treated is actually placed and loaded, and a paddle holding portion 19b for moving or operating the paddle 19 .

도6a는 본 발명에 따른 태양전지 웨이퍼용 열처리 장치 중의 이송장치의 패들의 단면도이고, 도6b는 본 발명에 따른 태양전지 웨이퍼용 열처리 장치 중의 이송장치의 패들 홀딩부의 단면도이다.FIG. 6A is a cross-sectional view of a pile of a transfer device in a heat treatment apparatus for a solar cell wafer according to the present invention, and FIG. 6B is a sectional view of a paddle holding portion of a transfer device in a heat treatment apparatus for a solar cell wafer according to the present invention.

도6a, 도6b를 참조하면, 본 발명에 따른 태양전지 웨이퍼용 열처리 장치 중의 이송장치의 패들은 태양전지 웨이퍼에 도핑 열처리를 위한 프로세스 튜브로 로딩되는 복수의 웨이퍼를 적재한 보트를 지지하기 위해 조립되어 배치되는 이중 벽 적재 영역으로서, 상기 적재 영역은 상부 벽 및 하부 벽을 포함하는 단면을 가지며 상기 상부 벽은 오목한 십각형상

Figure 112014120251112-pat00003
단면으로 되어 있는 패들 로딩 존(19a)과, 상기 패들 로딩존에 연결되며 패들 본체를 이동시키기거나 조작하기 위한 패들 홀딩부(19b)를 포함한다. 6A and 6B, the padding of the transfer device in the heat treatment apparatus for a solar cell wafer according to the present invention is assembled to support a boat loaded with a plurality of wafers loaded into a process tube for doping heat treatment on a solar cell wafer Wherein the loading area has a cross-section including a top wall and a bottom wall, the top wall having a concave < RTI ID = 0.0 >
Figure 112014120251112-pat00003
And a paddle holding portion 19b connected to the paddle loading zone for moving or manipulating the paddle body.

상기 패들 로딩 존(19a)이 이중 벽 적재 영역으로서, 상기 적재 영역은 상부 벽 및 하부 벽을 포함하는 단면을 가지며 상기 상부 벽은 오목한 십각형상

Figure 112014120251112-pat00004
단면으로 형상으로 되어 있다. Wherein the paddle loading zone (19a) is a double walled loading area, the loading area having a cross section including a top wall and a bottom wall, the top wall having a concave,
Figure 112014120251112-pat00004
And has a cross-sectional shape.

이것은 패들(19) 로딩존에 다양한 크기의 웨이퍼가 적재될 때 웨이퍼의 무게가 증가되어 패들의 로딩존에서 처짐이 발생되거나 파손되는 경우를 방지하기 위해서 처짐에 대한 강성을 보강할 수 있게 기하적으로 형상을 설계하여 패들의 지지력에 대한 강성을 증가시키기 위한 것이다.This increases the weight of the wafers when loading wafers of various sizes into the loading zone of the paddle 19 so that the rigidity of the deflection can be reinforced to prevent the sagging or breakage in the loading zones of the paddles. The shape is designed to increase the stiffness of the paddle against the bearing capacity.

또한, 이 경우에도 상기 패들의 높이는 최소 35.5mm에서 최대 45.5mm 의 범위내로 하여 보다 견고하고 안정적으로 웨이퍼를 지지할 수 있도록 하는 것이 바람직하다.Also in this case, it is preferable that the height of the paddles is within a range of minimum 35.5 mm to maximum 45.5 mm so that the wafer can be more firmly and stably supported.

도6a, 도6b를 참조하면, 패들의 로딩존(19a)을 단면 A-A로 잘랐을 때 그 높이가 40.5mm가 되는 것을 알 수 있다.Referring to FIGS. 6A and 6B, it can be seen that when the padding loading zone 19a is cut in section A-A, its height becomes 40.5 mm.

그리고, 상기 이송 장치에서 상기 패들의 홀딩부의 가로폭은 최소 65mm에서 최대 95mm가 되어 홀딩부에서도 웨이퍼의 무게를 지지하는 경우에 안정적으로 지지할 수 있도록 하는 것이 바람직하다.The width of the holding portion of the padding in the transfer device may be at least 65 mm to 95 mm at most so that the holding portion can stably support the wafer when the weight of the wafer is supported.

도6b에서 상기 패들의 홀딩부(19b)의 가로폭은 종래의 50mm에서 훨씬 두꺼운 정도인 80mm가 되도록 하고 있다.In Fig. 6B, the width of the holding portions 19b of the paddles is set to be 80 mm, which is much thicker than the conventional 50 mm.

도7은 본 발명에 따른 태양전지 웨이퍼용 열처리 장치 중 이송장치에서 보트를 적재한 패들의 실시예이다.FIG. 7 is an embodiment of a paddle on which a boat is loaded in a transfer apparatus among heat treatment apparatuses for a solar cell wafer according to the present invention.

도7을 참조하면, 상기 패들(19)에는 보트가 적재되는 로딩 존(19a) 영역에 해당되는 영역에서 A부분에 스톱퍼 부재(191)가 돌출되어 돌기 부분을 형성하고 있다.Referring to FIG. 7, a stopper member 191 protrudes from the paddle 19 at a portion corresponding to a loading zone 19a where a boat is loaded, thereby forming a protruding portion.

통상적으로, 상기 웨이퍼를 적재한 보트는 열처리 공정 중 패들이 웨이퍼를 적재한 보트를 들어서 프로세스튜브 내부에 보트를 놓고 나오는 로딩과정과, 빈 패들이 프로세스튜브 내부로 들어가 보트를 들고 나오는 언로딩시에 패들의 길이방향으로 약 2~3mm 정도 움직임이 발생하는 시프트 현상이 발생되어 열처리 공정이 끝난 후 다음 공정으로 이송 중 보트가 파손되는 경우가 생겨 보완이 필요하다.Typically, the boat loaded with the wafers is subjected to a loading process in which the paddles pick up the boat loaded with the wafers and leave the boat inside the process tube during the heat treatment process, and during unloading when the empty paddles enter the process tube and carry the boat A shift phenomenon occurs in which the paddles move about 2 to 3 mm in the longitudinal direction, and the boats may be damaged during the transfer to the next process after the heat treatment process.

여기에서, 상기 패들 로딩존(19a)의 상부 벽 양쪽 가장자리 부분에 돌기 형상으로 마련된 스톱퍼 부재(191)는 로딩과정과, 언로딩시에 패들 위에 놓인 보트가 시트프되어 움직이는 것을 방지하는 역할을 하는 구조이다.Here, the stopper member 191, which is provided in the shape of a projection on both edge portions of the upper wall of the paddle loading zone 19a, serves to prevent the boat placed on the paddle from being moved during the loading process and during the unloading Structure.

상기 돌기 형상의 스톱퍼 부재(191)에 의하여 상기 웨이퍼를 적재한 보트는 로딩 과정과 언로딩 과정에서 열처리 공정 중 패들의 길이방향으로 움직임이 발생하는 시프트 현상을 억제함으로써, 열처리 공정이 끝난 후 다음 공정으로 이송 중 보트가 파손되는 것을 방지할 수 있게 된다.The boat having the wafer mounted thereon by the protruding stopper member 191 suppresses the shift phenomenon in which the movement of the paddles in the longitudinal direction during the heat treatment process during the loading process and the unloading process is suppressed, It is possible to prevent the boat from being damaged during transportation.

도8은 본 발명에 따른 태양전지 웨이퍼용 열처리 장치의 패들에 채용된 스톱퍼 부재의 사시도와 확대도이다.8 is a perspective view and an enlarged view of a stopper member employed in a paddle of a heat treatment apparatus for a solar cell wafer according to the present invention.

상기 스톱퍼 부재(191)는 상기 패들 로딩존(19a)의 시작되는 도입부(도8에서 A)와 로딩존의 말단부(도8에서 B)에 각각 설치되는 것으로, 각각 스톱퍼 부재(191)가 돌출되어 돌기 부분을 형성하여 로딩과정과, 언로딩과정에서 패들 위에 놓인 보트가 시트프되어 움직이는 것을 방지하고 있다.The stopper member 191 is respectively installed at the starting portion (A in Fig. 8) of the paddle loading zone 19a and the end portion (B in Fig. 8) of the loading zone, and each stopper member 191 is protruded A protruding portion is formed to prevent the loading process and the boat placed on the paddle from being seated during the unloading process.

도9는 본 발명에 따른 태양전지 웨이퍼용 열처리 장치의 패들에 채용된 스톱퍼 부재의 단면 확대도이다.9 is a cross-sectional enlarged view of a stopper member employed in a paddle of a heat treatment apparatus for a solar cell wafer according to the present invention.

도9를 참조하면, 상기 스톱퍼 부재(191)는 보트와 접촉하는 부분에 라운드 처리되어 있음을 알 수 있다.Referring to FIG. 9, it can be seen that the portion of the stopper member 191 that is in contact with the boat is rounded.

도9에 도시된 형상처럼 R8 으로 라운드 처리가 되어 있어, 스톱퍼 부재(191)가 보트와 접촉하는 경우 마찰에 의하여 보트나 스톱퍼 자체의 파손을 줄이고, 보트를 부드럽게 이동시켜서 로딩 존(19a)에 안착을 용이하게 하기 위한 구조로 되어 있다.9, when the stopper member 191 comes into contact with the boat, it is possible to reduce the damage of the boat or the stopper itself due to the friction, smoothly move the boat, and settle in the loading zone 19a As shown in FIG.

도10은 본 발명에 따른 태양전지 웨이퍼용 열처리 장치의 패들에 채용된 스톱퍼 부재의 결합 설명도이다.FIG. 10 is an explanatory view showing the engagement of a stopper member employed in a paddle of a heat treatment apparatus for a solar cell wafer according to the present invention. FIG.

상기 스톱퍼 부재(191)는 상기 패들 로딩존의 상부 벽 가장자리에 형성된 결합공(19c)에 볼트 결합된다.The stopper member 191 is bolted to the engaging hole 19c formed at the upper wall edge of the paddle loading zone.

도10을 참조하면, 패들 로딩 존의 상부 벽 양쪽 가장자리에 결합공(19c)이 형성되어 있고, 상기 결합공(19c)에 볼트(19d)를 관통시켜 스톱퍼(191)에 상기 볼트와 나사 결합되도록 그 내주면에 나사산이 형성되어 구비된 결합홀(도시 안됨)에 상기 볼트(192)가 나사 결합되면서 패들(19)과 스톱퍼(191)를 조립하게 된다.10, a coupling hole 19c is formed at both edges of the upper wall of the paddle loading zone, and the bolt 19d is passed through the coupling hole 19c so as to be screwed to the stopper 191 with the bolt. The bolts 192 are screwed into a coupling hole (not shown) formed with threads on the inner circumferential surface thereof to assemble the paddle 19 and the stopper 191.

여기에서, 태양전지 열처리가 고온공정으로 진행됨으로 인하여 스톱퍼(191)의 재질은 실리콘 카바이드(SIC) 또는 세라믹으로 고온에서 변형이 없는 재질을 사용하는 것이 바람직하고, 볼트(192)는 세라믹 볼트를 사용하여 조립을 할 수 있다. Since the heat treatment of the solar cell proceeds to the high-temperature process, the stopper 191 is preferably made of silicon carbide (SIC) or ceramics which is free from deformation at a high temperature, and the bolt 192 is made of a ceramic bolt So that it can be assembled.

도11은 본 발명에 따른 태양전지 웨이퍼용 열처리 장치 중의 이송장치의 패들의 사용 범위에 대한 설명도이다.11 is an explanatory view of the range of use of paddles of the transfer device in the heat treatment apparatus for a solar cell wafer according to the present invention.

본 발명에 따른 태양전지 웨이퍼용 열처리 장치의 실시예에 있어서, 상기 패들의 로딩존의 길이는 최소 2200mm에서 최대 2300mm가 되도록 하고, 이송장치에서 패들 사이즈의 전체길이는 최소3350mm에서 최대 3400mm가 되도록 한 것이다.In the embodiment of the heat treatment apparatus for a solar cell wafer according to the present invention, the length of the loading zones of the paddles is set at a minimum of 2200 mm to a maximum of 2300 mm, and the total length of the paddle unit in the transfer apparatus is set to be at least 3350 mm will be.

상기의 경우 패들(19) 사이즈가 한정되어 보트에 적재되는 웨이퍼의 양이 한정된 양만 생산하게 되는 종래의 이송장치에 비하여, 보다 적재되는 보트의 크기가 길어지거나 다양한 크기의 웨이퍼를 적재할 수 있으므로 생산량을 늘리는 경우도 가능해지게 되고, 패들 로딩존에 웨이퍼 무게에 따른 하중이 가해지더라도 비틀림을 최소화할 수 있는 효과를 얻게 됨으로써 웨이퍼 이송을 안정적으로 할 수 있는 이송장치를 구성할 수 있다. Since the size of the paddle 19 is limited in this case, the size of the boat to be loaded can be increased or the wafers of various sizes can be loaded as compared with the conventional transfer apparatus in which the amount of wafers to be loaded on the boat is limited, So that it is possible to minimize the torsion even if a load is applied to the paddle loading zone in accordance with the weight of the wafer, thereby making it possible to constitute a transfer device capable of stably transferring wafers.

이상에서 본 발명은 기재된 구체적인 실시예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is clearly understood that the same is by way of illustration and example only and is not to be construed as limiting the scope of the invention as defined by the appended claims. .

1 : 소스케비넷 프레임 2 : 퍼네스 프레임
3 : 로더스테이션 프레임 4 : 컨트롤박스
5 : 이송장치 18 : 보트
19 : 패들 19a : 패들 로딩존
19b : 패들 홀딩부 19c : 결합공
20 : 헤드부 21 : 패들홀더
22 : 풀리 23 : 볼스크류
24 : 볼부쉬 샤프트 25 : 구동모터
191 : 스톱퍼 192 : 볼트 1: Source cabinet frame 2: Furnace frame
3: Loader station Frame 4: Control box
5: Feeding device 18: boat
19: Paddle 19a: Paddle loading zone
19b: paddle holding portion 19c: engaging hole
20: head part 21: paddle holder
22: pulley 23: ball screw
24: Ball bushing shaft 25: Drive motor
191: Stopper 192: Bolt

Claims (12)

태양전지 웨이퍼에 도핑 열처리를 위한 프로세스 튜브로 로딩되는 복수의 웨이퍼를 적재한 보트를 지지하기 위해 조립되어 배치되는 이중 벽 적재 영역으로서, 상기 적재 영역은 상부 벽 및 하부 벽을 포함하는 단면을 가지며 상기 상부 벽은 오목한 십각형상
Figure 112015099475891-pat00005
단면으로 되어 있는 패들 로딩 존; 및
상기 패들 로딩존에 연결되며 패들 본체를 이동시키기거나 조작하기 위한 패들 홀딩부를 포함하고,
상기 패들 로딩존의 상부 벽 가장자리에는 웨이퍼를 적재한 보트의 시프트를 방지하여 고정하기 위해서 상기 패들 로딩존의 상부 벽 양쪽 가장자리 부분에 수직 방향으로 돌출되는 돌기 형상의 스톱퍼 부재가 구비되어 상기 스톱퍼 부재는 보트와 접촉하는 부분에 라운드 처리되어 있고,
상기 스톱퍼 부재가 결합되는 상기 패들 로딩존의 상부 벽 가장자리에 결합공이 형성되어 있고, 상기 스톱퍼 부재에는 상기 결합공과 대응하여 그 내주면에 나사산이 형성되어 구비된 결합홀이 형성되어 상기 결합공에 볼트를 관통시켜 스톱퍼 부재의 결합홀에 상기 볼트와 나사 결합되면서 상기 패들과 상기 스톱퍼 부재를 조립하는 것을 특징으로 하는 태양전지 웨이퍼용 열처리 장치의 패들. A dual wall mounting area assembled and arranged to support a boat loaded with a plurality of wafers loaded into a process tube for doping heat treatment on a solar cell wafer, the mounting area having a cross section including an upper wall and a lower wall, The top wall has a concave,
Figure 112015099475891-pat00005
A paddle loading zone in section; And
And a paddle holding portion connected to the paddle loading zone for moving or manipulating the paddle body,
Shaped stopper member protruding in a vertical direction on both edge portions of the upper wall of the paddle loading zone in order to prevent and fix the boat loaded with the wafer thereon is provided on the upper wall edge of the paddle loading zone, It is rounded on the part contacting the boat,
Wherein a coupling hole is formed in the upper wall edge of the paddle loading zone to which the stopper member is coupled, and a coupling hole is formed in the stopper member so as to correspond to the coupling hole, And the paddle and the stopper member are assembled into the coupling hole of the stopper member while being screwed to the bolt. 삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 스톱퍼 부재는 상기 패들 로딩존의 시작되는 도입부와 로딩존의 말단부에 각각 설치되는 것을 특징으로 하는 태양전지 웨이퍼용 열처리 장치의 패들.The method according to claim 1,
Wherein the stopper member is installed at the starting end of the paddle loading zone and at the end of the loading zone, respectively. 삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 스톱퍼 부재는 실리콘 카바이드 또는 세라믹으로 구성되는 것을 특징으로 하는 태양전지 웨이퍼용 열처리 장치의 패들.The method according to claim 1,
Wherein the stopper member is made of silicon carbide or ceramics. 제 1 항에 있어서,
상기 스톱퍼 부재와 볼트 결합되는 볼트는 세라믹으로 구성되는 것을 특징으로 하는 태양전지 웨이퍼용 열처리 장치의 패들.The method according to claim 1,
And the bolt bolted to the stopper member is made of ceramic. 제 1 항에 있어서,
상기 패들의 적재 영역의 높이는 최소 35.5mm에서 최대 45.5mm 인 것을 특징으로 하는 태양 전지 웨이퍼용 열처리 장치의 패들.The method according to claim 1,
Wherein the height of the stacking area of the paddles is at least 35.5 mm and at most 45.5 mm. 제 1 항에 있어서,
상기 패들의 홀딩부의 가로폭은 최소 65mm에서 최대 95mm 인 것을 특징으로 하는 태양 전지 웨이퍼용 열처리 장치의 패들.The method according to claim 1,
Wherein the padding of the padding has a width of at least 65 mm and a maximum width of 95 mm. 제 1 항에 있어서,
상기 패들 로딩존의 길이는 최소 2200mm에서 최대 2300mm 인 것을 특징으로 하는 태양 전지 웨이퍼용 열처리 장치의 패들.The method according to claim 1,
Wherein the paddle loading zone has a length of at least 2200 mm and a maximum of 2300 mm. 태양전지 웨이퍼에 도핑 열처리를 위한 프로세스튜브와 상기 프로세스튜브를 에워싸는 히터를 구비하는 퍼네스 프레임과, 상기 프로세스튜브의 내부로 웨이퍼를 출입시키는 이송장치가 구비된 로더 스테이션 프레임과, 상기 퍼네스 프레임의 프로세스 튜브 내부로 산화가스를 공급하는 소스 캐비넷 프레임을 포함하는 태양전지 웨이퍼용 열처리 장치에 있어서,
상기 이송 장치는 복수의 도핑 열처리될 웨이퍼를 얹어놓은 보트를 상기 프로세스튜브 안으로 출입시켜주는 이중 벽 적재 영역으로서, 상기 적재 영역은 상부 벽 및 하부 벽을 포함하는 단면을 가지며 상기 상부 벽은 오목한 십각형상
Figure 112015099475891-pat00006
단면으로 되어 있는 패들 로딩 존; 및
상기 패들 로딩존에 연결되며 패들 본체를 이동시키기거나 조작하기 위한 패들 홀딩부를 포함하고,
상기 패들 로딩존의 상부 벽 가장자리에는 웨이퍼를 적재한 보트의 시프트를 방지하여 고정하기 위해서 상기 패들 로딩존의 상부 벽 양쪽 가장자리 부분에 수직 방향으로 돌출되는 돌기 형상의 스톱퍼 부재가 구비되어 상기 스톱퍼 부재는 보트와 접촉하는 부분에 라운드 처리되어 있고,
상기 스톱퍼 부재가 결합되는 상기 패들 로딩존의 상부 벽 가장자리에 결합공이 형성되어 있고, 상기 스톱퍼 부재에는 상기 결합공과 대응하여 그 내주면에 나사산이 형성되어 구비된 결합홀이 형성되어 상기 결합공에 볼트를 관통시켜 스톱퍼 부재의 결합홀에 상기 볼트와 나사 결합되면서 상기 패들과 상기 스톱퍼 부재를 조립하는 것을 특징으로 하는 태양전지 웨이퍼용 열처리 장치의 이송 장치. A loader station frame including a furnace frame having a process tube for doping heat treatment and a heater for surrounding the process tube on a solar cell wafer and a transfer device for inserting and removing wafers into and from the process tube, A heat treatment apparatus for a solar cell wafer including a source cabinet frame for supplying an oxidizing gas into a process tube,
Wherein the transfer device has a double wall loading area for loading and unloading a boat on which a plurality of dope heat treated wafers are loaded into and out of the process tube, the loading area having a cross section including an upper wall and a lower wall,
Figure 112015099475891-pat00006
A paddle loading zone in section; And
And a paddle holding portion connected to the paddle loading zone for moving or manipulating the paddle body,
Shaped stopper member protruding in a vertical direction on both edge portions of the upper wall of the paddle loading zone in order to prevent and fix the boat loaded with the wafer thereon is provided on the upper wall edge of the paddle loading zone, It is rounded on the part contacting the boat,
Wherein a coupling hole is formed in the upper wall edge of the paddle loading zone to which the stopper member is coupled, and a coupling hole is formed in the stopper member so as to correspond to the coupling hole, And the pawl and the stopper member are assembled to each other while being screwed to the bolt in the coupling hole of the stopper member. 삭제delete 삭제delete
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CN112391615A (en) * 2019-10-23 2021-02-23 深圳市拉普拉斯能源技术有限公司 Boat transportation structure based on double paddles
KR102444849B1 (en) * 2021-08-13 2022-09-21 (주)피앤테크 Loading apparatus for the wafer heat treatment boat
WO2023231225A1 (en) * 2022-06-02 2023-12-07 拉普拉斯新能源科技股份有限公司 Paddle structure
WO2024085399A1 (en) * 2022-10-18 2024-04-25 주식회사 한화 Boat loading device and wafer processing system comprising same

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