KR101620352B1 - Fuel Supply System with Pressure Sensor - Google Patents
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Abstract
Description
본 실시예는 수분 유입 방지 압력센서를 구비하는 연료공급장치에 관한 것이다.This embodiment relates to a fuel supply apparatus having a moisture inflow prevention pressure sensor.
이하에 기술되는 내용은 단순히 본 실시예와 관련되는 배경 정보만을 제공할 뿐 종래기술을 구성하는 것이 아니다.The contents described below merely provide background information related to the present embodiment and do not constitute the prior art.
일반적인 차량용 연료공급장치에 구비되는 압력센서는 저항 게이지부, 보호층, 전극층으로 구성된다. 여기서, 저항 게이지부는 압력에 따라 신호가 변하고, 실리콘 보호층은 저항 게이지부를 보호하며, 전극층은 신호 연결을 수행한다. A pressure sensor provided in a general vehicle fuel supply apparatus is composed of a resistance gage section, a protection layer, and an electrode layer. Here, the resistance gauge part changes the signal according to the pressure, the silicon protection layer protects the resistance gauge part, and the electrode layer performs the signal connection.
여기서, 일반적인 압력센서의 보호층은 수분에 강하나 전극층은 수분에 취약하다. 이에 따라, 전극층은 수분에 의한 부식 등 여러 요인으로 신호 왜곡이 발생된다.Here, the general protective layer of the pressure sensor is strong against moisture, but the electrode layer is vulnerable to moisture. Accordingly, signal distortion occurs in the electrode layer due to various factors such as corrosion due to moisture.
종래의 일반적인 파이프 압력센서는 수분에 취약한 전극층이 부식 등 여러 요인으로 신호 왜곡을 발생시킬 수 있으며, 주위 습도변화에 따라 저항값이 변하여 불량을 발생시킬 수 있다. Conventional general pipe pressure sensors may cause signal distortion due to various factors such as corrosion of the electrode layer which is vulnerable to moisture, and the resistance value may change according to the change of the ambient humidity, resulting in defects.
따라서, 압력센서 전극층의 수분의 영향을 최소화하도록 함으로써 설계적으로 가장 취약한 전극부에서의 신호 왜곡을 방지할 필요가 있다.Therefore, it is necessary to minimize the influence of moisture in the pressure sensor electrode layer, thereby preventing signal distortion in the electrode unit that is the weakest in design.
본 발명은 전술한 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 일 목적은 수분에 취약한 전극층을 알루미늄 소재로 형성하고, 수분에 의한 영향을 받지 않도록 알루미늄 산화 피막 표면을 구현하여 습도변화에 따른 저항값 변화를 방지함으로써 수분의 영향을 최소화하는 압력센서를 구비하는 연료공급장치를 제공하는 데 주된 목적이 있다.The present invention has been conceived to solve the above-mentioned problems, and one object of the present invention is to provide a method of forming an electrode layer which is vulnerable to moisture to an aluminum layer and realize an aluminum oxide layer surface without being affected by moisture, There is a main object of the present invention to provide a fuel supply device having a pressure sensor that minimizes the influence of moisture by preventing a change in value.
본 실시예의 일 측면에 의하면, 차량부품에 장착되어 그 내부 압력을 측정하는 압력센서에 있어서, 외주면에 상기 차량부품에 장착될 수 있도록 나사산을 가지고, 내부에 상기 차량부품 내부의 압력을 전달하는 압력포트를 가지며, 툴에 의하여 상기 차량부품에 결합될 수 있도록 둘레에 플랜지부가 마련된 압력수용부; 상기 압력포트와 연통하도록 상기 압력수용부 상에 장착되고, 전기 신호를 전달하도록 외부로 노출된 알루미늄 소재의 표면을 가지되, 상기 표면은 수분에 의한 영향을 받지 않도록 산화되어 산화 피막을 형성하는 전극부와, 상기 전극부를 둘러싸며 배치되고 압력 신호를 전기적 신호로 변환하는 게이지부와, 상기 게이지부를 덮어 보호하는 실리콘층을 가지는 센서엘리먼트; 상기 전극부와 전기적으로 연결되고, 상기 센서엘리먼트에서 발생하는 신호를 처리하는 PCB; 및 상기 PCB를 외부와 전기적으로 연결하는 접속단자를 가지는 커넥터 앗세이를 포함하는 압력센서를 제공한다.According to an aspect of the present embodiment, there is provided a pressure sensor mounted on a vehicle component and measuring an internal pressure of the component, the pressure sensor having a thread on an outer circumferential surface so as to be mounted on the vehicle component, A pressure receiving portion having a port and provided with a flange at a periphery so as to be coupled to the vehicle component by a tool; An electrode that is mounted on the pressure receiving portion to communicate with the pressure port and has a surface of an aluminum material exposed to the outside to transmit an electric signal, the surface of which is oxidized to form an oxide film without being affected by moisture, A sensor element disposed around the electrode portion and having a gage portion for converting a pressure signal into an electrical signal, and a silicon layer covering and protecting the gauge portion; A PCB electrically connected to the electrode unit and processing signals generated by the sensor element; And a connector assembly having a connection terminal for electrically connecting the PCB to the outside.
본 실시예의 다른 측면에 의하면, 차량의 엔진에 설치되고, 연료를 공급받아 각 기통으로 분배하는 연료레일; 상기 연료레일의 일측에 부착되고, 상기 연료레일을 상기 엔진에 설치하기 위해 제공되는 마운팅 홀더; 상기 연료레일의 일측에 부착되고, 인젝터가 삽입 설치되며, 상기 연료레일과 상기 인젝터를 연통하는 인젝터컵; 전기 신호를 전달하도록 외부로 노출된 알루미늄 소재의 표면을 가지되, 상기 표면은 수분에 의한 영향을 받지 않도록 산화되어 산화 피막을 형성하는 전극부와, 상기 전극부를 둘러싸며 배치되고 압력 신호를 전기적 신호로 변환하는 게이지부와, 상기 게이지부를 덮어 보호하는 실리콘층을 가지는 센서엘리먼트가 설치되는 압력센서; 및 상기 연료레일의 일측에 부착되고, 상기 압력센서가 설치되는 센서설치부와 상기 센서설치부와 상기 연료레일을 연통하는 연결포트를 가지는 센서보스를 포함하는 차량용 연료공급장치를 제공한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a fuel supply system comprising: a fuel rail installed in an engine of a vehicle and supplied with fuel to distribute the fuel to each cylinder; A mounting holder attached to one side of the fuel rail and provided for installing the fuel rail on the engine; An injector cup attached to one side of the fuel rail and having an injector inserted therein, the injector cup communicating with the fuel rail and the injector; An electrode unit having a surface of an aluminum material exposed to the exterior to transmit an electric signal, the surface of the electrode unit being oxidized so as not to be affected by moisture to form an oxide film; A pressure sensor provided with a sensor element having a silicon layer covering and protecting the gauge section; And a sensor boss attached to one side of the fuel rail, the sensor boss having a sensor mounting portion where the pressure sensor is installed and a connection port communicating the sensor mounting portion and the fuel rail.
이상에서 설명한 바와 같이 본 실시예에 의하면, 수분에 취약한 전극층을 알루미늄 재질로 구현하고 산화피막층을 형성하여 수분의 영향을 최소화함으로써 습도변화에 따른 저항값 변화를 방지할 수 있는 효과가 있다.As described above, according to this embodiment, an electrode layer vulnerable to moisture is formed of an aluminum material and an oxide layer is formed to minimize the influence of moisture, thereby preventing change in resistance value due to humidity change.
도 1은 본 실시예에 따른 차량용 연료공급장치를 나타낸 도면이다.
도 2는 본 실시예에 따른 압력센서를 나타낸 도면이다.
도 3은 본 실시예에 따른 압력센서의 PCB를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 4는 본 실시예에 따른 센서엘리먼트 일부를 개략적으로 나타낸 도면이다. 1 is a view showing a fuel supply apparatus for a vehicle according to the present embodiment.
2 is a view showing a pressure sensor according to the present embodiment.
3 is a schematic view of a PCB of a pressure sensor according to the present embodiment.
4 is a view schematically showing a part of the sensor element according to the present embodiment.
이하, 본 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, the present embodiment will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본 실시예에 따른 차량용 연료공급장치를 나타낸 도면이다.1 is a view showing a fuel supply apparatus for a vehicle according to the present embodiment.
본 실시예에 따른 차량용 연료공급장치(100)는 연료레일(110), 마운팅 홀더(120), 인젝터컵(130), 압력센서(140) 및 센서보스(150)를 포함한다.The
연료레일(110)은 차량의 엔진에 설치되고, 연료를 공급받아 각 기통으로 분배한다. 연료레일(110)은 원형의 통 형상을 가지며, 연료를 공급받는다.The
마운팅 홀더(120)는 연료레일(110)의 일측에 부착되고, 연료레일(110)을 엔진에 설치하기 위해 제공된다. 마운팅 홀더(120)는 연료레일(110) 일측에 고정되어 엔진에 연료레일(110)이 고정되도록 한다.A
인젝터컵(130)은 연료레일(110)의 일측에 부착되고, 인젝터가 삽입 설치되며, 연료레일(110)과 인젝터를 연통한다. 여기서, 인젝터는 연료 유입후 연료를 분사하는 연료 분사기를 의미한다.The
압력센서(140)는 차량부품에 장착되어 그 내부 압력을 측정한다. 본 실시예에 따른 압력센서(140)는 외주면에 차량부품에 장착될 수 있도록 나사산을 가지고, 내부에 차량부품 내부의 압력을 전달하는 압력포트(250, 도 2를 참조)를 가지며, 차량부품에 결합되도록 둘레에 플랜지부를 가진다. 압력센서(140)는 수분에 의한 영향을 받지 않는 외부로 노출되는 전극부, 전극부를 둘러싸며 압력 신호를 전기적 신호로 변환하는 게이지부 및 게이지부를 덮는 실리콘층을 구비한다. The
센서보스(150)는 연료레일(110)의 일측에 부착되고, 압력센서(140)가 설치되는 센서설치부 및 연료레일(110)을 연통하는 연결포트를 가진다. 센서보스(150)는 연료레일(110)의 길이방향에 수직하는 방향으로 연료레일(110) 일측에 부착되며, 압력센서(110) 일측에 부착되도록 홈부를 구비한다.The
도 2는 본 실시예에 따른 압력센서를 나타낸 도면이다.2 is a view showing a pressure sensor according to the present embodiment.
본 실시예에 따른 압력센서(140)는 차량부품에 장착되어 그 내부 압력을 측정하는 장치이다. 압력센서(140)는 압력수용부(210), 센서엘리먼트(220), PCB(230) 및 커넥터 앗세이(240)를 포함한다.The
압력수용부(210)는 외주면에 나사산을 가지고, 차량부품에 장착될 수 있도록 하며, 내부에 차량부품 내부의 압력을 전달하는 압력포트(250)를 가지며, 툴에 의하여 차량부품에 결합될 수 있도록 둘레에 플랜지부가 마련된다. 여기서, 차량부품은 차량용 연료레일을 포함한다.The
센서엘리먼트(220)는 압력포트(250)와 연통하도록 압력수용부 상에 장착된다. 센서엘리먼트(220)는 전극부, 게이지부 및 실리콘층을 포함한다.The
전극부는 전기 신호를 전달하도록 외부로 노출된 표면을 가지고 되, 알루미늄 소재로 형성되며, 표면에 수분에 의한 영향을 받지 않도록 알루미늄 산화 피막층을 형성한다. 여기서, 보호층은 실시예적으로 양극산화법으로 형성될 수 있다.The electrode part has an externally exposed surface to transmit an electric signal, and is formed of an aluminum material, and an aluminum oxide film layer is formed on the surface so as not to be affected by moisture. Here, the protective layer may be formed by anodic oxidation as an example.
전극부의 표면에 형성된 알루미늄 산화 피막층은 공기 중의 수분이 응결되어 전극부의 표면에 접촉시 미세 직경의 액적을 형성하면서 접촉하도록 한다. 즉, 표면에 수분이 최소면적으로 접촉하도록 하고 또한, 수분이 표면에 맺히지 않고 흘러 떨어지도록 하여 전기신호 전달시 오차를 줄이는 효과가 있다.The aluminum oxide coating layer formed on the surface of the electrode part is allowed to make contact with the moisture in the air as it forms on the surface of the electrode part while forming droplets of a fine diameter. That is, there is an effect of reducing the error in the transmission of electrical signals by allowing the moisture to reach the surface with a minimum area, and allowing the moisture to flow without falling on the surface.
구체적으로, 전극부의 표면에 접촉하는 수분은 전기 신호 전달시 저항으로 작용하여 전기 신호의 오차를 유발하고, 따라서 정확한 압력정보를 생성할 수 없는 문제를 만든다. Specifically, the moisture that comes into contact with the surface of the electrode part acts as a resistor in the transmission of electrical signals, causing an error in the electrical signal, thus creating a problem that accurate pressure information can not be generated.
이러한 수분이 전극부의 표면에 접촉하는 면적과 저항 효과는 비례한다. 따라서 수분의 접촉면적을 최소화하는 것이 중요하다. 본 실시예에 의한 산화 피막층은 접촉한 수분을 액적의 형태로 만들어, 저항성을 최소화함으로써 오차 발생율을 낮출 수 있다.The area of contact of the moisture with the surface of the electrode part is proportional to the resistance effect. Therefore, it is important to minimize the contact area of water. The oxide film layer according to the present embodiment makes the contacted water into a liquid droplet shape, minimizing the resistance and reducing the error occurrence rate.
본 발명에서 전극부의 외부로 노출된 표면은 미세 크기의 매우 작은 면적인데, 이러한 미세 면적 크기의 표면에 수분의 영향을 최소화하기 위해서는 표면에 산화 피막층을 형성하는 방법이 매우 효과적이다.In the present invention, the surface exposed to the outside of the electrode portion is a very small area of a minute size. In order to minimize the influence of moisture on the surface of such a minute area size, a method of forming an oxide layer on the surface is very effective.
게이지부는 전극부를 둘러싸며 배치되고 압력 신호를 전기적 신호로 변환한다. The gauge section is disposed surrounding the electrode section and converts the pressure signal into an electrical signal.
실리콘층은 게이지부를 덮어 보호한다.The silicon layer covers and protects the gage portion.
PCB(230)는 전극부와 전기적으로 연결되어 센서엘리먼트(220)에서 발생하는 신호를 처리한다.The
커넥터 앗세이(240)는 PCB(230)를 외부와 전기적으로 연결하는 접속단자를 가진다. 커넥터 앗세이(240)는 원통형으로 구비되며 내부 소자들을 외부로부터 보호한다. 커넥터 앗세이(240)는 ECU(Electronic Control Unit)로 전기신호를 전달한다.The
도 3은 본 실시예에 따른 압력센서의 PCB를 개략적으로 나타낸 도면이다.3 is a schematic view of a PCB of a pressure sensor according to the present embodiment.
본 실시예에 따른 PCB(230)는 인덕터, 신호 처리IC(330) 및 캐패시터(340)를 포함한다. The PCB 230 according to the present embodiment includes an inductor, a
인덕터는 EMC(ElectroMagnetic Compatibility) 성능을 증대한다. Inductors increase EMC (ElectroMagnetic Compatibility) performance.
신호 처리IC(330)는 미세신호를 증폭 및 처리한다. 신호 처리IC(330)는 출력접압을 증폭 및 처리한다. 캐패시터(340)는 전압 안정화 및 노이즈를 제거한다. The
도 4는 본 실시예에 따른 센서엘리먼트를 개략적으로 나타낸 도면이다. 4 is a view schematically showing a sensor element according to the present embodiment.
센서엘리먼트(220)는 압력포트(250)와 연통하도록 압력수용부 상에 장착된다. 센서엘리먼트(220)는 전극부(410), 게이지부(420) 및 실리콘층(미도시)을 포함한다.The
전기 신호를 전달하도록 외부로 노출된 알루미늄 소재의 표면을 가지되, 상기 표면은 수분에 의한 영향을 받지 않도록 산화되어 산화 피막을 형성하는 전극부와,An electrode unit having a surface of an aluminum material exposed to the exterior to transmit an electric signal, the surface of which is oxidized to form an oxide film so as not to be affected by moisture,
전극부(410)는 전기 신호를 전달하도록 외부로 노출된 알루미늄 소재의 표면을 가지되, 상기 표면은 수분에 의한 영향을 받지 않도록 산화되어 산화 피막을 형성한다. 여기서, 보호층은 실시예적으로 양극산화법으로 형성될 수 있다.The
게이지부(420)는 전극부(410)를 둘러싸며 배치되고 압력 신호를 전기적 신호로 변환한다. 실리콘층(미도시)은 게이지부(420)를 덮어 보호한다.The
이상의 설명은 본 실시예의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 실시예가 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 실시예의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 실시예들은 본 실시예의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 실시예의 기술 사상의 범위가 한정되는 것이 아니다. 본 실시예의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 실시예의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.The foregoing description is merely illustrative of the technical idea of the present embodiment, and various modifications and changes may be made to those skilled in the art without departing from the essential characteristics of the embodiments. Therefore, the present embodiments are to be construed as illustrative rather than limiting, and the scope of the technical idea of the present embodiment is not limited by these embodiments. The scope of protection of the present embodiment should be construed according to the following claims, and all technical ideas within the scope of equivalents thereof should be construed as being included in the scope of the present invention.
100: 차량용 연료공급장치 110: 연료레일
120: 마운팅 홀더 130: 인젝터컵
140: 압력센서 150: 센서보스
210: 압력수용부 220: 센서엘리먼트
230: PCB 240: 커넥터 앗세이
250: 압력포트 330: 신호 처리IC
410: 전극부 420: 게이지부100: vehicle fuel supply device 110: fuel rail
120: Mounting holder 130: Injector cup
140: Pressure sensor 150: Sensor boss
210: pressure receiving portion 220: sensor element
230: PCB 240: Connector Ass'y
250: Pressure port 330: Signal processing IC
410: electrode part 420:
Claims (3)
외주면에 상기 차량부품에 장착될 수 있도록 길이방향으로 형성된 나사산을 가지고, 내부에 상기 차량부품 내부의 압력을 전달하는 압력포트를 가지며, 툴에 의하여 상기 차량부품과 맞닿는 넓은 면적을 갖도록 둘레에 플랜지부가 마련된 압력수용부;
상기 압력포트와 연통하도록 상기 압력수용부 상에 장착되고,
전기 신호를 전달하도록 외부로 노출된 알루미늄 소재의 표면을 가지되, 상기 표면은 수분이 맺혀 상기 수분에 의한 저항 변동성을 줄이기 위해 수분이 맺히지 않고 흘러 떨어지도록 하는 발수처리를 위해 산화되어 균일한 산화 피막을 형성하는 전극부와,
상기 전극부를 둘러싸며 배치되고 압력 신호를 전기적 신호로 변환하는 게이지부와,
상기 게이지부를 덮어 보호하는 실리콘층을 가지는 센서엘리먼트;
상기 전극부와 전기적으로 연결되고, 중공이 형성되어 상기 중공에 상기 센서엘리먼트를 위치시키고, 상기 센서엘리먼트에서 발생하는 신호를 처리하는 PCB; 및
상기 PCB를 외부와 전기적으로 연결하는 접속단자를 가지는 커넥터 앗세이
를 포함하는 압력센서.A pressure sensor mounted on a vehicle part for measuring an internal pressure thereof,
A flange portion having a threaded portion formed in the longitudinal direction so as to be mounted on the vehicle component on an outer circumferential surface thereof and having a pressure port for transmitting the pressure inside the vehicle component therein and having a large area contacting with the vehicle component by a tool, A pressure receiving portion provided;
And is mounted on the pressure receiving portion to communicate with the pressure port,
The surface of which is exposed to the outside to transmit an electric signal, and the surface is oxidized for water repellent treatment in which moisture is formed and water is not flowed in order to reduce the resistance fluctuation caused by the moisture, An electrode portion for forming the electrode,
A gauge unit arranged to surround the electrode unit and converting a pressure signal into an electrical signal,
A sensor element having a silicon layer covering and protecting the gauge section;
A PCB electrically connected to the electrode unit and having a hollow to position the sensor element in the hollow and process a signal generated by the sensor element; And
A connector assembly having a connection terminal for electrically connecting the PCB to the outside,
.
상기 차량부품은 차량용 연료레일을 포함하는 것을 특징으로 하는 압력센서. The method according to claim 1,
Wherein the vehicle part includes a fuel rail for a vehicle.
상기 연료레일의 일측에 부착되고, 상기 연료레일을 상기 엔진에 설치하기 위해 제공되는 마운팅 홀더;
상기 연료레일의 일측에 부착되고, 인젝터가 삽입 설치되며, 상기 연료레일과 상기 인젝터를 연통하는 인젝터컵;
전기 신호를 전달하도록 외부로 노출된 알루미늄 소재의 표면을 가지되, 상기 표면은 수분이 맺혀 상기 수분에 의한 저항 변동성을 줄이기 위해 수분이 맺히지 않고 흘러 떨어지도록 하는 발수처리를 위해 산화되어 균일한 산화 피막을 형성하는 전극부와,
상기 전극부를 둘러싸며 배치되고 압력 신호를 전기적 신호로 변환하는 게이지부와,
상기 게이지부를 덮어 보호하는 실리콘층을 가지는 센서엘리먼트가 설치되는 압력센서;
상기 전극부와 전기적으로 연결되고, 중공이 형성되어 상기 중공에 상기 센서엘리먼트를 위치시키고, 상기 센서엘리먼트에서 발생하는 신호를 처리하는 PCB; 및
상기 연료레일의 일측에 부착되고, 상기 압력센서가 설치되는 센서설치부와 상기 센서설치부와 상기 연료레일을 연통하는 연결포트를 가지는 센서보스
를 포함하는 차량용 연료공급장치.A fuel rail installed in an engine of a vehicle and supplied with fuel and distributing the fuel to each cylinder;
A mounting holder attached to one side of the fuel rail and provided for installing the fuel rail on the engine;
An injector cup attached to one side of the fuel rail and having an injector inserted therein, the injector cup communicating with the fuel rail and the injector;
The surface of which is exposed to the outside to transmit an electric signal, and the surface is oxidized for water repellent treatment in which moisture is formed and water is not flowed in order to reduce the resistance fluctuation caused by the moisture, An electrode portion for forming the electrode,
A gauge unit arranged to surround the electrode unit and converting a pressure signal into an electrical signal,
A pressure sensor provided with a sensor element having a silicon layer covering and protecting the gauge section;
A PCB electrically connected to the electrode unit and having a hollow to position the sensor element in the hollow and process a signal generated by the sensor element; And
A sensor boss attached to one side of the fuel rail and having a sensor mounting portion in which the pressure sensor is installed and a connection port communicating the sensor mounting portion and the fuel rail,
And the fuel supply device.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020140174381A KR101620352B1 (en) | 2014-12-05 | 2014-12-05 | Fuel Supply System with Pressure Sensor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020140174381A KR101620352B1 (en) | 2014-12-05 | 2014-12-05 | Fuel Supply System with Pressure Sensor |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR101620352B1 true KR101620352B1 (en) | 2016-05-13 |
Family
ID=56023694
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020140174381A KR101620352B1 (en) | 2014-12-05 | 2014-12-05 | Fuel Supply System with Pressure Sensor |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR101620352B1 (en) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100799770B1 (en) * | 2006-08-31 | 2008-02-01 | (주)모토닉 | Gas feeding apparatus of gas fuel vehicles |
| JP2012042460A (en) | 2010-08-23 | 2012-03-01 | Freescale Semiconductor Inc | Mems pressure sensor apparatus and method for manufacturing the same |
| JP2014219318A (en) | 2013-05-09 | 2014-11-20 | 国立大学法人埼玉大学 | Pressure sensor |
-
2014
- 2014-12-05 KR KR1020140174381A patent/KR101620352B1/en active IP Right Grant
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100799770B1 (en) * | 2006-08-31 | 2008-02-01 | (주)모토닉 | Gas feeding apparatus of gas fuel vehicles |
| JP2012042460A (en) | 2010-08-23 | 2012-03-01 | Freescale Semiconductor Inc | Mems pressure sensor apparatus and method for manufacturing the same |
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