KR101618432B1 - Apparatus and method for coating a heater coil - Google Patents

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Abstract

히터 코일 코팅 장치는 코팅 공정을 수행하기 위한 내부 공간을 가지며, 히터 코일을 수용하는 공정 챔버와, 상기 히터 코일과 이격되며 상기 히터 코일의 내부에 배치되어 상기 히터 코일을 지지하는 제1 타겟과, 상기 히터 코일과 이격되며 상기 히터 코일을 둘러싸도록 배치되는 제2 타겟과, 상기 공정 챔버 내부로 가스를 공급하는 가스 공급부와, 상기 가스가 플라즈마 상태로 여기되어 상기 제1 타켓 또는 상기 제2 타겟과 충돌하도록 상기 제1 타겟 또는 상기 제2 타겟에 전압을 인가하는 전원부 및 상기 히터 코일의 내측면과 외측면에 막이 각각 증착되도록 상기 전원부가 상기 제1 타겟 및 상기 제2 타겟에 각각 상기 전압을 인가하도록 제어하는 제어부를 포함할 수 있다. 따라서, 상기 히터 코일 코팅 장치는 상기 히터 코일의 표면 전체를 코팅할 수 있다. A heater coil coating apparatus includes a processing chamber having an interior space for performing a coating process, the processing chamber accommodating a heater coil, a first target disposed inside the heater coil and supporting the heater coil, A second target disposed to surround the heater coil, the second target being spaced apart from the heater coil, a gas supply unit for supplying gas into the process chamber, and a gas supply unit for introducing gas into the process chamber, A power source for applying a voltage to the first target or the second target so as to collide with the first target and the power source to apply a voltage to the first target and the second target respectively so that a film is deposited on the inner and outer surfaces of the heater coil, And a control unit for controlling the control unit. Therefore, the heater coil coating apparatus can coat the entire surface of the heater coil.

Description

히터 코일 코팅 장치 및 방법{Apparatus and method for coating a heater coil}[0001] Apparatus and method for coating a heater coil [0002]

본 발명은 히터 코일 코팅 장치 및 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 헤어 드라이어에 사용되는 히터 코일의 표면을 코팅하기 위한 히터 코일 코팅 장치 및 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a heater coil coating apparatus and method, and more particularly, to a heater coil coating apparatus and method for coating a surface of a heater coil used in a hair dryer.

물리적 기상 증착은 전기 도금에 비해 코팅층의 기계적 접착강도가 상대적으로 높아 산업계에서 널리 쓰이고 있으며, 양산 공정으로 사용하는데 적합하다. 특히, 상기 물리적 기상 증착은 상기 전기 도금시 고가의 도금액과 전극을 사용하여야 하는 백금족 금속 코팅에 널리 적용되고 있다. 또한, 상기 물리적 기상 증착은 코팅층의 두께 조절이 용이하여 고가의 코팅물질을 최소량으로 적절한 부위에 코팅할 수 있는 장점이 있다.Physical vapor deposition is widely used in industry because of the relatively high mechanical bond strength of coating layer as compared with electroplating and is suitable for use in mass production process. Particularly, the physical vapor deposition is widely applied to a platinum group metal coating in which an expensive plating liquid and an electrode should be used in the electroplating. In addition, the physical vapor deposition is advantageous in that it is easy to control the thickness of the coating layer, so that it is possible to coat the coating material at a suitable amount with a minimum amount of expensive coating material.

상기 물리적 기상 증착은 음극 타겟에서 분리된 원자가 상기 음극의 반대 방향으로 직진하여 양극에 고정된 대상체를 코팅하게 된다. 상기 대상체의 표면에 직진하는 이온을 막는 부분이 없으면 상기 표면 전체가 코팅될 수 있다. 하지만, 상기 대상체의 형상이 원통형, 코일형일 경우, 상기 대상체의 내부면과 외부면을 동시에 코팅하는 것은 불가능하다. 일 예로, 헤어 드라이어에 사용되는 히터는 상기 코일형을 갖는다. 따라서, 상기 물리적 기상 증착으로 상기 히터 코일의 외부 전체 또는 일부를 코팅할 수는 있으나, 상기 히터 코일의 내부를 코팅하기 어렵다. 특히, 상기 물리적 기상 증착이 수행되는 챔버를 진공 상태로 유지하면서 상기 히터 코일의 내부와 외부를 모두 코팅하기는 더욱 어렵다. In the physical vapor deposition, atoms separated from the cathode target are linearly moved in a direction opposite to the cathode to coat the object fixed to the anode. If there is no part blocking the ions going straight on the surface of the object, the entire surface can be coated. However, when the shape of the object is a cylindrical shape or a coil shape, it is impossible to simultaneously coat the inner surface and the outer surface of the object. In one example, the heater used in the hair dryer has the coil type. Therefore, it is possible to coat all or a part of the outer surface of the heater coil by the physical vapor deposition, but it is difficult to coat the inside of the heater coil. In particular, it is more difficult to coat both the inside and the outside of the heater coil while maintaining the chamber in which the physical vapor deposition is performed in a vacuum state.

본 발명은 히터 코일의 내부와 외부를 코팅할 수 있는 히터 코일 코팅 장치를 제공한다. The present invention provides a heater coil coating apparatus capable of coating the inside and outside of a heater coil.

본 발명은 히터 코일의 내부와 외부를 코팅할 수 있는 히터 코일 코팅 방법을 제공한다. The present invention provides a heater coil coating method capable of coating the inside and outside of a heater coil.

본 발명에 따른 히터 코일 코팅 장치는 코팅 공정을 수행하기 위한 내부 공간을 가지며, 히터 코일을 수용하는 공정 챔버와, 상기 히터 코일과 이격되며 상기 히터 코일의 내부에 배치되어 상기 히터 코일을 지지하는 제1 타겟과, 상기 히터 코일과 이격되며 상기 히터 코일을 둘러싸도록 배치되는 제2 타겟과, 상기 공정 챔버 내부로 가스를 공급하는 가스 공급부와, 상기 가스가 플라즈마 상태로 여기되어 상기 제1 타켓 또는 상기 제2 타겟과 충돌하도록 상기 제1 타겟 또는 상기 제2 타겟에 전압을 인가하는 전원부 및 상기 히터 코일의 내측면과 외측면에 막이 각각 증착되도록 상기 전원부가 상기 제1 타겟 및 상기 제2 타겟에 각각 상기 전압을 인가하도록 제어하는 제어부를 포함할 수 있다. A heater coil coating apparatus according to the present invention includes a process chamber having an inner space for performing a coating process and containing a heater coil, a heater disposed in the heater coil and spaced apart from the heater coil, 1 target, a second target spaced apart from the heater coil and arranged to surround the heater coil, a gas supply unit for supplying gas into the process chamber, and a gas supply unit for supplying the gas to the first target or the second target, A power source for applying a voltage to the first target or the second target so as to collide with a second target and a power source for applying a voltage to the inner and outer surfaces of the heater coil, And a control unit for controlling the voltage to be applied.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 히터 코일 코팅 장치는 상기 제1 타겟과 상기 히터 코일을 전기적으로 연결하는 제1 스위치 및 상기 제2 타겟과 상기 히터 코일을 전기적으로 연결하는 제2 스위치를 더 포함하며, 상기 제1 타겟에 상기 전압이 인가되는 경우, 상기 제1 스위치는 열린 상태이고 상기 제2 스위치는 닫힌 상태이며, 상기 제2 타겟에 상기 전압이 인가되는 경우, 상기 제2 스위치는 열린 상태이고 상기 제1 스위치는 닫힌 상태일 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the heater coil coating apparatus includes a first switch for electrically connecting the first target and the heater coil, and a second switch for electrically connecting the second target and the heater coil. Wherein when the voltage is applied to the first target, the first switch is in the open state and the second switch is in the closed state, and when the voltage is applied to the second target, And the first switch may be in a closed state.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 히터 코일 코팅 장치는 상기 제1 타켓에 구비되며, 상기 제1 타겟과 상기 히터 코일을 이격시키기 위한 절연 부재를 더 포함할 수 있다. According to an embodiment of the present invention, the heater coil coating apparatus may further include an insulation member provided on the first target and separating the first target from the heater coil.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 제1 타겟 및 상기 제2 타겟은 백금족 원소로 이루어질 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the first target and the second target may be made of a platinum group element.

본 발명에 따른 히터 코일 코팅 방법은 히터 코일의 내부에 배치되는 제1 타겟과 상기 히터 코일을 둘러싸도록 배치되는 제2 타겟 사이로 가스를 공급하는 단계와, 상기 제1 타겟에 전압을 인가하여 플라즈마 상태의 가스를 상기 제1 타겟에 충돌시킴으로써 상기 히터 코일의 내측면에 막을 형성하는 단계 및 상기 제2 타겟에 전압을 인가하여 플라즈마 상태의 가스를 상기 제2 타겟에 충돌시킴으로써 상기 히터 코일의 외측면에 막을 형성하는 단계를 포함할 수 있다. A method of coating a heater coil according to the present invention includes the steps of supplying a gas between a first target disposed inside a heater coil and a second target disposed to surround the heater coil, Forming a film on the inner surface of the heater coil by impinging a gas of a plasma state on the first target by applying a voltage to the second target, And forming a film.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 히터 코일의 내측면에 막을 형성하는 단계에서 상기 제1 타겟과 상기 히터 코일은 전기적으로 절연되며, 상기 제2 타겟과 상기 히터 코일은 전기적으로 연결되며, 상기 히터 코일의 외측면에 막을 형성하는 단계에서 상기 제2 타겟과 상기 히터 코일은 전기적으로 절연되며, 상기 제1 타겟과 상기 히터 코일은 전기적으로 연결될 수 있다. According to an embodiment of the present invention, in the step of forming the film on the inner surface of the heater coil, the first target and the heater coil are electrically insulated, the second target and the heater coil are electrically connected, In the step of forming the film on the outer surface of the heater coil, the second target and the heater coil are electrically insulated, and the first target and the heater coil may be electrically connected.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 히터 코일에 형성되는 막은 백금족 원소로 이루어질 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the film formed on the heater coil may be made of a platinum group element.

본 발명에 따른 히터 코일 코팅 장치 및 방법은 히터 코일의 내부와 외부에 제1 타켓 및 제2 타켓을 각각 배치하고, 가스를 공급하면서 제1 타켓과 상기 제2 타겟에 전압을 교대로 인가하여 상기 히터 코일의 내부와 외부를 백금족 원소로 코팅할 수 있다. 따라서, 상기 히터 코일의 형태를 변형하거나 상기 히터 코일을 회전시키지 않고 상기 히터 코일의 표면 전체를 코팅할 수 있다. The apparatus and method for coating a heater coil according to the present invention include arranging a first target and a second target on the inside and the outside of a heater coil and alternately applying a voltage to the first target and the second target while supplying gas, The inside and outside of the heater coil can be coated with a platinum group element. Therefore, the entire surface of the heater coil can be coated without deforming the shape of the heater coil or rotating the heater coil.

또한, 상기 히터 코일 코팅 장치 및 방법은 챔버 내부의 진공을 유지한 상태에서 상기 히터 코일의 표면 전체를 코팅할 수 있다. 따라서, 상기 히터 코일 코팅 공정의 효율성을 향상시킬 수 있다.In addition, the apparatus and method for coating a heater coil may coat the entire surface of the heater coil while maintaining a vacuum inside the chamber. Thus, the efficiency of the heater coil coating process can be improved.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 히터 코일 코팅 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 히터 코일 코팅 방법을 설명하기 위한 순서도이다.1 is a schematic view illustrating a heater coil coating apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 is a flowchart illustrating a method of coating a heater coil according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 히터 코일 코팅 장치에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다. Hereinafter, a heater coil coating apparatus according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The present invention is capable of various modifications and various forms, and specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail in the text. It should be understood, however, that the invention is not intended to be limited to the particular forms disclosed, but includes all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention. Like reference numerals are used for like elements in describing each drawing. In the accompanying drawings, the dimensions of the structures are enlarged to illustrate the present invention in order to clarify the present invention.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. The terms first, second, etc. may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. For example, without departing from the scope of the present invention, the first component may be referred to as a second component, and similarly, the second component may also be referred to as a first component.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terminology used in this application is used only to describe a specific embodiment and is not intended to limit the invention. The singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In this application, the terms "comprises", "having", and the like are used to specify that a feature, a number, a step, an operation, an element, a part or a combination thereof is described in the specification, But do not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs. Terms such as those defined in commonly used dictionaries are to be interpreted as having a meaning consistent with the contextual meaning of the related art and are to be interpreted as either ideal or overly formal in the sense of the present application Do not.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 히터 코일 코팅 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다. 1 is a schematic view illustrating a heater coil coating apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 히터 코일 코팅 장치(100)는 히터 코일(10)의 표면을 코팅하기 위한 것으로, 공정 챔버(110), 제1 타겟(120), 절연 부재(130), 제2 타겟(140), 가스 공급부(150), 전원부(160) 및 제어부(170)를 포함한다. 1, a heater coil coating apparatus 100 for coating a surface of a heater coil 10 includes a process chamber 110, a first target 120, an insulating member 130, a second target (not shown) 140, a gas supply unit 150, a power supply unit 160, and a control unit 170.

한편, 히터 코일 코팅 장치(100)는 히터 코일(10)과 같은 코일형 대상체뿐만 아니라 원통형 대상체도 코팅할 수 있다. 상기 원통형 대상체는 양단 중 적어도 하나가 개방될 수 있다.On the other hand, the heater coil coating apparatus 100 can coat not only the coil-shaped object such as the heater coil 10 but also the cylindrical object. At least one of both ends of the cylindrical object may be opened.

공정 챔버(110)는 히터 코일(10)에 대한 코팅 공정을 수행하기 위한 내부 공간을 갖는다. 공정 챔버(110)는 상기 내부 공간에 히터 코일(10)을 수용한다. The process chamber 110 has an inner space for performing a coating process for the heater coil 10. [ The process chamber 110 receives the heater coil 10 in the inner space.

공정 챔버(110)는 상기 내부 공간을 진공 상태로 유지할 수 있다. 공정 챔버(110)는 상기 내부 공간을 진공 상태로 유지하기 위해 별도의 진공 펌프와 연결될 수 있다. The process chamber 110 may maintain the internal space in a vacuum. The process chamber 110 may be connected to a separate vacuum pump to maintain the internal space in a vacuum state.

제1 타겟(120)은 공정 챔버(110)의 내부에 구비된다. 예를 들면, 제1 타겟(120)은 막대 형상을 가지며, 공정 챔버(110)의 내부 저면에서부터 상방으로 연장하도록 구비된다. 히터 코일(10)은 제1 타켓(120)에 끼워질 수 있다. 따라서, 제1 타겟(120)은 히터 코일(10)의 내부에 배치되어 히터 코일(10)을 지지한다. 그러므로, 히터 코일(10)에 대한 코팅 공정이 이루어지는 동안 히터 코일(10)이 세워진 상태를 유지할 수 있다. The first target 120 is provided inside the process chamber 110. For example, the first target 120 has a rod shape and is provided to extend upward from the inner bottom surface of the process chamber 110. The heater coil 10 may be fitted to the first target 120. Accordingly, the first target 120 is disposed inside the heater coil 10 to support the heater coil 10. Therefore, the heater coil 10 can be kept standing while the coating process for the heater coil 10 is performed.

제1 타겟(120)은 백금족 원소로 이루어질 수 있다. 예를 들면, 제1 타겟(120)은 플래티늄, 팔라듐, 로듐으로 이루어질 수 있다. The first target 120 may be made of a platinum group element. For example, the first target 120 may comprise platinum, palladium, rhodium.

절연 부재(130)는 제1 타겟(120)에 구비되며, 제1 타겟(120)과 히터 코일(10)을 이격시킨다. 즉, 절연 부재(130)가 제1 타겟(120)과 히터 코일(10) 사이에 위치하여 제1 타겟(120)과 히터 코일(10)이 전기적으로 연결되는 것을 방지한다. An insulating member 130 is provided on the first target 120 to separate the first target 120 from the heater coil 10. That is, the insulating member 130 is positioned between the first target 120 and the heater coil 10 to prevent the first target 120 from being electrically connected to the heater coil 10.

이때, 절연 부재(130)는 제1 타겟(120)에 일정 간격마다 구비될 수 있다. 따라서, 절연 부재(130)가 제1 타겟(120)을 커버하는 부분을 최소화할 수 있다. At this time, the insulating member 130 may be provided on the first target 120 at regular intervals. Therefore, the portion of the insulating member 130 covering the first target 120 can be minimized.

제2 타겟(140)은 공정 챔버(110)의 내부에 구비된다. 예를 들면, 제2 타겟(120)은 대략 원통 형상을 가지며, 제1 타겟(120)에 의해 지지된 히터 코일(10)을 둘러싸도록 배치된다. The second target 140 is provided inside the process chamber 110. For example, the second target 120 has a substantially cylindrical shape and is arranged to surround the heater coil 10 supported by the first target 120.

제2 타겟(140)도 백금족 원소로 이루어질 수 있다. 예를 들면, 제2 타겟(140)은 플래티늄, 팔라듐, 로듐으로 이루어질 수 있다. The second target 140 may also be made of a platinum group element. For example, the second target 140 may be made of platinum, palladium, or rhodium.

가스 공급부(150)는 공정 챔버(110) 내부로 가스를 공급한다. 상기 가스의 예로는 아르곤 가스를 들 수 있다.The gas supply unit 150 supplies gas into the process chamber 110. An example of the gas is argon gas.

구체적으로, 가스 공급부(150)는 공정 챔버(110)의 상부를 통해 가스를 공급한다. 따라서, 상기 가스는 제1 타겟(120)과 제2 타겟(140) 사이로 공급될 수 있다. Specifically, the gas supply unit 150 supplies gas through the upper portion of the process chamber 110. Thus, the gas may be supplied between the first target 120 and the second target 140.

공정 챔버(110)는 배출구(112)를 갖는다. 공정 챔버(110)에서 상기 코팅 공정이 완료되면, 공정 챔버(110) 내부의 잔류 가스를 배출구(112)를 통해 배출한다. The process chamber 110 has an outlet 112. When the coating process is completed in the process chamber 110, the residual gas inside the process chamber 110 is discharged through the discharge port 112.

상기에서는 히터 코일(10), 제1 타겟(120) 및 제2 타겟(140)이 공정 챔버(110)에서 수직 방향으로 연장되는 것으로 설명되었지만, 히터 코일(10), 제1 타겟(120) 및 제2 타겟(140)이 공정 챔버(110)에서 수평 방향으로 연장되도록 배치될 수도 있다. 제1 타겟(120) 및 제2 타겟(140)이 공정 챔버(110)에서 수평 방향으로 연장되는 경우, 가스 공급부(150)는 공정 챔버(110)의 측면을 통해 가스를 제1 타겟(120)과 제2 타겟(140) 사이로 공급할 수 있다. Although the heater coil 10, the first target 120 and the second target 140 are described as extending in the vertical direction in the process chamber 110, the heater coil 10, the first target 120, The second target 140 may be arranged to extend horizontally in the process chamber 110. [ The gas supply unit 150 may supply gas to the first target 120 through the side of the process chamber 110 when the first target 120 and the second target 140 extend horizontally in the process chamber 110. [ And the second target (140).

전원부(160)는 제1 타겟(120) 및 제2 타겟(140)에 전압을 인가한다. 전원부(160)는 제1 타겟(120) 및 제2 타겟(140)에 전압을 동시에 인가하지 않고 선택적으로 인가한다. 상기 전압으로는 직류 전압 또는 고주파 전압을 들 수 있다. The power supply unit 160 applies a voltage to the first target 120 and the second target 140. The power supply unit 160 selectively applies a voltage to the first target 120 and the second target 140 without simultaneously applying a voltage thereto. The voltage may be a DC voltage or a high-frequency voltage.

제어부(170)는 전원부(160)가 제1 타겟(120) 및 제2 타겟(140)에 상기 전압을 선택적으로 인가하도록 제어한다. The controller 170 controls the power supply unit 160 to selectively apply the voltage to the first target 120 and the second target 140. [

제어부(170)의 제어에 따라 제1 타겟(120)에 상기 전압이 인가되는 경우, 제1 타겟(120)은 음극으로 작용하고 제2 타겟(140)은 양극으로 작용한다. 제1 타겟(120)과 제2 타겟(140) 사이의 가스가 플라즈마 상태로 여기되면서 상기 가스의 원자에서 전자를 분리시켜 양이온으로 된다. 상기 플라즈마 상태의 가스에 포함된 상기 양이온이 상기 음극으로 작용하는 제1 타겟(120)과 충돌한다. 상기 양이온과의 충돌에 의해 제1 타겟(120)에서 백금족 원소가 분리되고, 상기 분리된 백금족 원소가 제1 타켓(120)의 반대 방향으로 즉, 제2 타겟(140)을 향해 직진한다. 상기 백금족 원소가 직진하면서 히터 코일(10)의 내측면을 코팅한다. When the voltage is applied to the first target 120 under the control of the controller 170, the first target 120 acts as a cathode and the second target 140 acts as an anode. The gas between the first target 120 and the second target 140 is excited into a plasma state and the electrons are separated from the atoms of the gas to become cations. The positive ions contained in the gas in the plasma state collide with the first target 120 acting as the negative electrode. Platinum group elements are separated from the first target 120 by the collision with the cations and the separated platinum group elements go straight in the opposite direction of the first target 120, that is, toward the second target 140. And the inner surface of the heater coil 10 is coated while the platinum group element linearly advances.

제어부(170)의 제어에 따라 제2 타겟(120)에 상기 전압이 인가되는 경우, 제2 타겟(140)은 음극으로 작용하고 제1 타겟(120)은 양극으로 작용한다. 제1 타겟(120)과 제2 타겟(140) 사이의 가스가 플라즈마 상태로 여기되면서 생성된 양이온이 상기 음극으로 작용하는 제2 타겟(140)과 충돌한다. 상기 양이온과의 충돌에 의해 제2 타겟(140)에서 백금족 원소가 분리되고, 상기 분리된 백금족 원소가 제2 타켓(140)의 반대 방향, 즉, 제1 타겟(120)을 향해 직진한다. 상기 백금족 원소가 직진하면서 히터 코일(10)의 외측면을 코팅한다. When the voltage is applied to the second target 120 under the control of the controller 170, the second target 140 acts as a cathode and the first target 120 acts as an anode. Cations generated as the gas between the first target 120 and the second target 140 are excited into the plasma state collide with the second target 140 serving as the cathode. Platinum group elements are separated from the second target 140 by the collision with the cations and the separated platinum group elements are directed toward the opposite direction of the second target 140, that is, toward the first target 120. And the outer surface of the heater coil 10 is coated with the platinum group element linearly.

제1 타겟(120)과 제2 타겟(140)에 선택적으로 전압을 인가함으로써 히터 코일(10)을 변형시키거나 히터 코일(10)의 위치를 변화시키지 않으면서 히터 코일(10)의 내측면과 외측면을 모두 코팅할 수 있다. By selectively applying a voltage to the first target 120 and the second target 140 to deform the heater coil 10 or to change the position of the heater coil 10 and the inner surface of the heater coil 10 without changing the position of the heater coil 10, The outer surface can be coated.

한편, 제1 타겟(120)과 히터 코일(10)을 전기적으로 연결하는 제1 스위치(125) 및 제2 타겟(140)과 히터 코일(10)을 전기적으로 연결하는 제2 스위치(145)가 구비될 수 있다. The first switch 125 electrically connects the first target 120 and the heater coil 10 and the second switch 145 electrically couples the second target 140 and the heater coil 10 to each other. .

제1 타겟(120)에 상기 전압이 인가되는 경우, 제1 스위치(125)는 열린 상태를 유지하여 제1 타겟(120)과 히터 코일(10)이 전기적으로 연결되지 않도록 한다. 이때, 제2 스위치(145)는 열린 상태 또는 닫힌 상태일 수 있다. 제2 스위치(145)가 열린 상태이면, 제2 타겟(140)만 양극으로 작용한다. 제2 스위치(145)가 닫힌 상태이면, 제2 타겟(140)과 히터 코일(10)이 전기적으로 연결되어 제2 타겟(140)과 히터 코일(10)이 같이 양극으로 작용한다. 제2 타겟(140)과 히터 코일(10)이 같이 양극으로 작용하는 경우 상기 양극의 면적이 넓어지므로, 히터 코일(10)의 코팅 효율을 향상시킬 수 있다. When the voltage is applied to the first target 120, the first switch 125 is kept open so that the first target 120 and the heater coil 10 are not electrically connected. At this time, the second switch 145 may be in an open state or a closed state. When the second switch 145 is open, only the second target 140 acts as an anode. When the second switch 145 is closed, the second target 140 and the heater coil 10 are electrically connected to each other, so that the second target 140 and the heater coil 10 act as positive electrodes. When the second target 140 and the heater coil 10 act together as an anode, the area of the anode is increased, so that the coating efficiency of the heater coil 10 can be improved.

제2 타겟(140)에 상기 전압이 인가되는 경우, 제2 스위치(145)는 열린 상태를 유지하여 제2 타겟(140)과 히터 코일(10)이 전기적으로 연결되지 않도록 한다. 이때, 제1 스위치(125)는 열린 상태 또는 닫힌 상태일 수 있다. 제1 스위치(125)가 열린 상태이면, 제1 타겟(120)만 양극으로 작용한다. 제1 스위치(125)가 닫힌 상태이면, 제1 타겟(120)과 히터 코일(10)이 전기적으로 연결되어 제1 타겟(120)과 히터 코일(10)이 같이 양극으로 작용한다. 제1 타겟(120)과 히터 코일(10)이 같이 양극으로 작용하는 경우 상기 양극의 면적이 넓어지므로, 히터 코일(10)의 코팅 효율을 향상시킬 수 있다.
When the voltage is applied to the second target 140, the second switch 145 is kept open so that the second target 140 and the heater coil 10 are not electrically connected. At this time, the first switch 125 may be in an open state or a closed state. When the first switch 125 is open, only the first target 120 acts as an anode. When the first switch 125 is closed, the first target 120 and the heater coil 10 are electrically connected to each other, so that the first target 120 and the heater coil 10 act as positive electrodes. When the first target 120 and the heater coil 10 act together as an anode, the area of the anode is increased, so that the coating efficiency of the heater coil 10 can be improved.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 히터 코일 코팅 방법을 설명하기 위한 순서도이다.2 is a flowchart illustrating a method of coating a heater coil according to an embodiment of the present invention.

도 2에서는 도 1에 도시된 히터 코일 코팅 장치를 이용한 히터 코일 코팅 방법을 설명한다. 2, a heater coil coating method using the heater coil coating apparatus shown in FIG. 1 will be described.

먼저, 히터 코일(10)의 내부에 배치되는 제1 타겟(120)과 히터 코일(10)을 둘러싸도록 배치되는 제2 타겟(140) 사이로 가스를 공급한다.(S110)First, a gas is supplied between a first target 120 disposed inside the heater coil 10 and a second target 140 disposed to surround the heater coil 10 (S110)

구체적으로, 가스 공급부(150)에서 아르곤 가스와 같은 상기 가스를 공정 챔버(110)로 공급한다. 상기 가스는 제1 타겟(120)과 제2 타겟(140) 사이로 공급된다. 제1 타겟(120)과 제2 타겟(140)은 백금족 원소, 예를 들면 플래티늄, 팔라듐, 로듐 등으로 이루어질 수 있다. Specifically, the gas supply unit 150 supplies the gas, such as argon gas, to the process chamber 110. The gas is supplied between the first target (120) and the second target (140). The first target 120 and the second target 140 may be made of a platinum group element such as platinum, palladium, rhodium, or the like.

제1 타겟(120)에 전압을 인가하여 플라즈마 상태의 가스를 제1 타겟(120)에 충돌시킴으로써 히터 코일(10)의 내측면에 막을 형성한다.(S120)A film is formed on the inner surface of the heater coil 10 by applying a voltage to the first target 120 to impinge the gas on the first target 120 in the plasma state (S120)

구체적으로, 제어부(170)의 제어에 따라 전압부(160)가 제1 타겟(120)에 상기 전압이 인가한다. 따라서, 제1 타겟(120)은 음극으로 작용하고 제2 타겟(140)은 양극으로 작용한다. Specifically, the voltage is applied to the first target 120 by the voltage unit 160 under the control of the controller 170. Thus, the first target 120 acts as the cathode and the second target 140 acts as the anode.

제1 타겟(120)과 제2 타겟(140) 사이의 가스가 플라즈마 상태로 여기되면서 상기 가스의 원자에서 전자를 분리시켜 양이온으로 된다. 상기 플라즈마 상태의 가스에 포함된 상기 양이온이 상기 음극으로 작용하는 제1 타겟(120)과 충돌한다. 상기 양이온과의 충돌에 의해 제1 타겟(120)에서 백금족 원소가 분리되고, 상기 분리된 백금족 원소가 제1 타켓(120)의 반대 방향으로 즉, 제2 타겟(140)을 향해 직진한다. 상기 백금족 원소가 직진하면서 히터 코일(10)의 내측면에 막을 형성한다. 따라서, 히터 코일(10)의 내측면이 코팅된다.The gas between the first target 120 and the second target 140 is excited into a plasma state and the electrons are separated from the atoms of the gas to become cations. The positive ions contained in the gas in the plasma state collide with the first target 120 acting as the negative electrode. Platinum group elements are separated from the first target 120 by the collision with the cations and the separated platinum group elements go straight in the opposite direction of the first target 120, that is, toward the second target 140. The platinum group element linearly forms a film on the inner surface of the heater coil 10. Therefore, the inner surface of the heater coil 10 is coated.

제1 타겟(120)에 상기 전압이 인가되는 경우, 제1 타겟(120)과 히터 코일(10)이 전기적으로 연결되지 않도록 한다. 이때, 제2 타겟(140)과 히터 코일(10)이 전기적으로 절연되어 제2 타겟(140)만 양극으로 작용할 수고 있고, 제2 타겟(140)과 히터 코일(10)이 전기적으로 연결되어 제2 타겟(140)과 히터 코일(10)이 같이 양극으로 작용할 수도 있다. 제2 타겟(140)과 히터 코일(10)이 같이 양극으로 작용하는 경우 상기 양극의 면적이 넓어지므로, 히터 코일(10)의 코팅 효율을 향상시킬 수 있다. When the voltage is applied to the first target 120, the first target 120 and the heater coil 10 are not electrically connected. At this time, the second target 140 and the heater coil 10 are electrically insulated from each other, so that only the second target 140 can act as an anode, and the second target 140 and the heater coil 10 are electrically connected 2 target 140 and the heater coil 10 may act as positive electrodes as well. When the second target 140 and the heater coil 10 act together as an anode, the area of the anode is increased, so that the coating efficiency of the heater coil 10 can be improved.

제2 타겟(140)에 상기 전압을 인가하여 플라즈마 상태의 가스를 제2 타겟(140)에 충돌시킴으로써 히터 코일(10)의 외측면에 막을 형성한다.(S130)The voltage is applied to the second target 140 to impinge the gas on the second target 140 in a plasma state to form a film on the outer surface of the heater coil 10 at step S130.

구체적으로, 제어부(170)의 제어에 따라 전압부(160)가 제2 타겟(120)에 상기 전압이 인가한다. 따라서, 제2 타겟(140)은 음극으로 작용하고 제1 타겟(120)은 양극으로 작용한다. 제1 타겟(120)과 제2 타겟(140) 사이의 가스가 플라즈마 상태로 여기되면서 생성된 양이온이 상기 음극으로 작용하는 제2 타겟(140)과 충돌한다. 상기 양이온과의 충돌에 의해 제2 타겟(140)에서 백금족 원소가 분리되고, 상기 분리된 백금족 원소가 제2 타켓(140)의 반대 방향, 즉, 제1 타겟(120)을 향해 직진한다. 상기 백금족 원소가 직진하면서 히터 코일(10)의 외측면에 막을 형성한다. 따라서, 히터 코일(10)의 외측면이 코팅된다.Specifically, the voltage is applied to the second target 120 by the voltage unit 160 under the control of the controller 170. Thus, the second target 140 acts as the cathode and the first target 120 acts as the anode. Cations generated as the gas between the first target 120 and the second target 140 are excited into the plasma state collide with the second target 140 serving as the cathode. Platinum group elements are separated from the second target 140 by the collision with the cations and the separated platinum group elements are directed toward the opposite direction of the second target 140, that is, toward the first target 120. The platinum group element linearly forms a film on the outer surface of the heater coil 10. Thus, the outer surface of the heater coil 10 is coated.

제1 타겟(120)과 제2 타겟(140)에 선택적으로 전압을 인가함으로써 히터 코일(10)을 변형시키거나 히터 코일(10)의 위치를 변화시키지 않으면서 히터 코일(10)의 내측면과 외측면을 모두 코팅할 수 있다. By selectively applying a voltage to the first target 120 and the second target 140 to deform the heater coil 10 or to change the position of the heater coil 10 and the inner surface of the heater coil 10 without changing the position of the heater coil 10, The outer surface can be coated.

제2 타겟(140)에 상기 전압이 인가되는 경우, 제2 타겟(140)과 히터 코일(10)이 전기적으로 연결되지 않도록 한다. 이때, 제1 타겟(120)과 히터 코일(10)이 전기적으로 연결되지 않아 제1 타겟(120)만 양극으로 작용하거나, 제1 타겟(120)과 히터 코일(10)이 전기적으로 연결되어 제1 타겟(120)과 히터 코일(10)이 같이 양극으로 작용할 수 있다. 제1 타겟(120)과 히터 코일(10)이 같이 양극으로 작용하는 경우 상기 양극의 면적이 넓어지므로, 히터 코일(10)의 코팅 효율을 향상시킬 수 있다. When the voltage is applied to the second target 140, the second target 140 and the heater coil 10 are not electrically connected. At this time, since the first target 120 and the heater coil 10 are not electrically connected, only the first target 120 acts as an anode, or the first target 120 and the heater coil 10 are electrically connected to each other 1 target 120 and heater coil 10 can act as positive electrodes as well. When the first target 120 and the heater coil 10 act together as an anode, the area of the anode is increased, so that the coating efficiency of the heater coil 10 can be improved.

상기에서는 제1 타겟(120)에 전압을 인가하여 히터 코일(10)의 내측면에 막을 형성(S120)한 후, 제2 타겟(140)에 전압을 인가하여 히터 코일(10)의 외측면에 막을 형성(S130)하는 것으로 설명되었지만, 제2 타겟(140)에 전압을 인가하여 히터 코일(10)의 외측면에 막을 형성(S130)한 후, 제1 타겟(120)에 전압을 인가하여 히터 코일(10)의 내측면에 막을 형성(S120)할 수도 있다. A voltage is applied to the first target 120 to form a film on the inner surface of the heater coil 10 in step S120 and then a voltage is applied to the second target 140 to apply heat to the outer surface of the heater coil 10 A voltage is applied to the first target 120 by applying a voltage to the second target 140 to form a film on the outer surface of the heater coil 10 in step S130, A film may be formed on the inner surface of the coil 10 (S120).

따라서, 제1 타겟(120)과 제2 타겟(140)에 선택적으로 전압을 인가함으로써 히터 코일(10)을 변형시키거나 히터 코일(10)의 위치를 변화시키지 않으면서 히터 코일(10)의 내측면과 외측면을 모두 코팅할 수 있다. Therefore, by applying a voltage selectively to the first target 120 and the second target 140, the heater coil 10 can be deformed or the heater coil 10 can be prevented from being deformed, Both side and outside surfaces can be coated.

상술한 바와 같이, 본 발명의 히터 코일 코팅 장치 및 방법은 전기 도금을 이용하지 않고 백금족 원소를 히터 코일의 표면 전체에 코팅할 수 있다. 따라서, 고가의 도금액과 전극을 사용하여야 하는 전기 도금보다 저렴한 비용으로 상기 히터 코일을 코팅할 수 있으므로, 상기 히터 코일 코팅에 소요되는 비용을 절감할 수 있다. As described above, the heater coil coating apparatus and method of the present invention can coat the entire surface of the heater coil with a platinum group element without using electroplating. Therefore, since the heater coil can be coated at a lower cost than the electroplating requiring the use of the expensive plating liquid and the electrode, the cost for coating the heater coil can be reduced.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the present invention as defined by the following claims. It can be understood that it is possible.

100 : 히터 코일 코팅 장치 110 : 공정 챔버
120 : 제1 타겟 130 : 절연 부재
140 : 제2 타겟 150 : 가스 공급부
160 : 전원부 170 : 제어부
10 : 히터 코일100: heater coil coating apparatus 110: process chamber
120: first target 130: insulating member
140: second target 150: gas supply part
160: power supply unit 170:
10: Heater coil

Claims (7)

코팅 공정을 수행하기 위한 내부 공간을 가지며, 히터 코일을 수용하는 공정 챔버;
상기 히터 코일과 이격되며 상기 히터 코일의 내부에 배치되어 상기 히터 코일을 지지하는 제1 타겟;
상기 히터 코일과 이격되며 상기 히터 코일을 둘러싸도록 배치되는 제2 타겟;
상기 공정 챔버 내부로 가스를 공급하는 가스 공급부;
상기 가스가 플라즈마 상태로 여기되어 상기 제1 타켓 또는 상기 제2 타겟과 충돌하도록 상기 제1 타겟 및 상기 제2 타겟에 전압을 선택적으로 인가하는 전원부; 및
상기 히터 코일의 내측면과 외측면에 막이 각각 증착되도록 상기 전원부가 상기 제1 타겟 및 상기 제2 타겟에 각각 상기 전압을 인가하도록 제어하는 제어부를 포함하고,
상기 제1 타겟과 상기 히터 코일을 전기적으로 연결하는 제1 스위치 및 상기 제2 타겟과 상기 히터 코일을 전기적으로 연결하는 제2 스위치를 더 포함하며,
상기 제1 타겟에 상기 전압이 인가되는 경우, 상기 제1 타겟과 상기 히터 코일이 전기적으로 절연되도록 상기 제1 스위치는 열린 상태이고 상기 제2 타겟과 상기 히터 코일을 전기적으로 연결하여 상기 제2 타겟과 상기 히터 코일이 같이 양극으로 작용하도록 상기 제2 스위치는 닫힌 상태이며,
상기 제2 타겟에 상기 전압이 인가되는 경우, 상기 제2 타겟과 상기 히터 코일이 전기적으로 절연되도록 상기 제2 스위치는 열린 상태이고 상기 제1 타겟과 상기 히터 코일을 전기적으로 연결하여 상기 제1 타겟과 상기 히터 코일이 같이 양극으로 작용하도록 상기 제1 스위치는 닫힌 상태인 것을 특징으로 하는 히터 코일 코팅 장치.A processing chamber having an interior space for performing a coating process, the processing chamber receiving a heater coil;
A first target spaced apart from the heater coil and disposed inside the heater coil to support the heater coil;
A second target spaced apart from the heater coil and disposed to surround the heater coil;
A gas supply unit for supplying gas into the process chamber;
A power source selectively applying a voltage to the first target and the second target to cause the gas to be excited into a plasma state to collide with the first target or the second target; And
And a controller for controlling the power source to apply the voltage to the first target and the second target, respectively, so that films are deposited on the inner and outer surfaces of the heater coil, respectively,
A first switch electrically connecting the first target and the heater coil, and a second switch electrically connecting the second target and the heater coil,
Wherein when the voltage is applied to the first target, the first switch is opened so that the first target and the heater coil are electrically insulated, and the second target is electrically connected to the heater coil, And the second switch is closed so that the heater coil acts as an anode,
Wherein when the voltage is applied to the second target, the second switch is opened so that the second target and the heater coil are electrically insulated from each other, and the first target and the heater coil are electrically connected to each other, And the first switch is in a closed state so that the heater coil and the heater coil act as an anode. 삭제delete 제1항에 있어서, 상기 제1 타켓에 구비되며, 상기 제1 타겟과 상기 히터 코일을 이격시키기 위한 절연 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 히터 코일 코팅 장치. The heater coil coating apparatus according to claim 1, further comprising an insulating member provided on the first target and separating the first target from the heater coil. 제1항에 있어서, 상기 제1 타겟 및 상기 제2 타겟은 백금족 원소로 이루어지는 것을 특징으로 하는 히터 코일 코팅 장치.2. The heater coil coating apparatus according to claim 1, wherein the first target and the second target are made of a platinum group element. 히터 코일의 내부에 배치되는 제1 타겟과 상기 히터 코일을 둘러싸도록 배치되는 제2 타겟 사이로 가스를 공급하는 단계;
상기 제1 타겟에 전압을 인가하여 플라즈마 상태의 가스를 상기 제1 타겟에 충돌시킴으로써 상기 히터 코일의 내측면에 막을 형성하는 단계; 및
상기 제2 타겟에 전압을 인가하여 플라즈마 상태의 가스를 상기 제2 타겟에 충돌시킴으로써 상기 히터 코일의 외측면에 막을 형성하는 단계를 포함하고,
상기 히터 코일의 내측면에 막을 형성하는 단계에서 상기 제1 타겟과 상기 히터 코일은 전기적으로 절연되며, 상기 제2 타겟과 상기 히터 코일이 같이 양극으로 작용하도록 상기 제2 타겟과 상기 히터 코일은 전기적으로 연결되며,
상기 히터 코일의 외측면에 막을 형성하는 단계에서 상기 제2 타겟과 상기 히터 코일은 전기적으로 절연되며, 상기 제1 타겟과 상기 히터 코일이 같이 양극으로 작용하도록 상기 제1 타겟과 상기 히터 코일은 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 히터 코일 코팅 방법.Supplying gas between a first target disposed within the heater coil and a second target disposed to surround the heater coil;
Forming a film on an inner surface of the heater coil by applying a voltage to the first target to impinge a gas in a plasma state on the first target; And
And forming a film on an outer surface of the heater coil by applying a voltage to the second target to impinge a gas in a plasma state on the second target,
The first target and the heater coil are electrically insulated from each other in the step of forming a film on the inner surface of the heater coil, and the second target and the heater coil are electrically connected to each other so that the second target and the heater coil act as an anode. Lt; / RTI >
The second target and the heater coil are electrically insulated from each other in the step of forming a film on the outer surface of the heater coil and the first target and the heater coil are electrically connected to each other so that the first target and the heater coil act as an anode, Wherein the heater coil coating method comprises the steps of: 삭제delete 제5항에 있어서, 상기 히터 코일에 형성되는 막은 백금족 원소로 이루어지는 것을 특징으로 하는 히터 코일 코팅 방법.The method according to claim 5, wherein the film formed on the heater coil is made of a platinum group element.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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