KR101617525B1 - Flexible led and method for manufacturing the same - Google Patents

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Abstract

본 발명은 LED 소자가 잘 구부러지도록 유연성을 갖는 플렉서블 LED 및 그 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. 이를 위해 본 발명은 제 1 도전성 반도체층과, 활성층과, 제 2 도전성 반도체층과, 반사부가 적층되고, 상기 제 1 도전성 반도체층에 제 1 전극이 설치되며, 상기 반사부에 제 2 전극이 설치되고, 상기 반사부에 열을 방출하는 방열부가 설치되며, 상기 방열부에 잘 구부러지는 유연성을 갖는 플렉서블 기판을 설치한 것을 특징으로 한다. 따라서 본 발명은 LED 소자가 잘 구부러지도록 유연성을 갖는 장점이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a flexible LED having flexibility so that an LED element is bent well and a method of manufacturing the same. To this end, the present invention provides a semiconductor light emitting device including a first conductive semiconductor layer, an active layer, a second conductive semiconductor layer, and a reflective portion, wherein the first conductive semiconductor layer has a first electrode, And a flexible board which is flexible enough to bend in the heat dissipation unit is provided. Therefore, the present invention has an advantage that the LED element has flexibility to bend well.

Description

플렉서블 LED 및 그 제조방법{FLEXIBLE LED AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a flexible LED,

본 발명은 플렉서블 LED 및 그 제조방법에 관한 발명으로서, 더욱 상세하게는 LED 소자가 잘 구부러지도록 유연성을 갖는 플렉서블 LED 및 그 제조방법에 관한 것이다.
The present invention relates to a flexible LED and a manufacturing method thereof, and more particularly, to a flexible LED having flexibility such that an LED element is bent well, and a manufacturing method thereof.

일반적으로 발광 다이오드(Light Emitting Diode : LED, 이하 LED라 함)는 반도체의 p-n 접합구조를 이용하여 주입된 소수 캐리어(전자 또는 정공)를 만들어내고, 이들의 재결합에 의하여 발광시키는 전자부품이다.2. Description of the Related Art In general, a light emitting diode (LED) is an electronic component that generates a small number of injected carriers (electrons or holes) by using a p-n junction structure of a semiconductor and emits light by recombination thereof.

또한, LED는 친환경성과 긴 수명 그리고 높은 효율 등의 장점으로 차세대 조명으로 각광받고 있다.In addition, LEDs are attracting attention as next-generation lighting due to their advantages such as environmental friendliness, long life and high efficiency.

이러한 LED는 도 1과 같이 인쇄회로기판(20) 상에 LED 소자(30)가 실장된 LED 패키지(10)로 구성되고, LED 소자(30)는 제 1 도전성 반도체층과 제 2 도전성 반도체층 및 이들 반도체층 사이에 활성층이 구비되며, 상기 활성층에서 전자와 정공의 재결합에 의해 광이 발생되어 외부로 방출된다.As shown in FIG. 1, the LED includes a LED package 30 having an LED element 30 mounted on a printed circuit board 20. The LED element 30 includes a first conductive semiconductor layer, a second conductive semiconductor layer, An active layer is provided between the semiconductor layers, and light is generated and released to the outside by recombination of electrons and holes in the active layer.

최근에는, 전자와 정공의 재결합 거리를 단축하여 LED 내에서 에너지 손실을 감소시키기 위한 수직형 LED가 개시된 바 있다.Recently, vertical LEDs have been disclosed for reducing the energy loss in the LED by shortening the recombination distance of electrons and holes.

도 2는 일반적인 수직형 LED 소자의 구조를 나타낸 도면으로서, 전도성 기판 또는 세라믹 기판(31) 상에 순차적으로 형성된 p형 전극층(32), p형 반도체층(33), 활성영역인 활성층(34), n형 반도체층(35), n형 전극층(36)으로 구성된다.2 shows a structure of a general vertical type LED element, which includes a p-type electrode layer 32, a p-type semiconductor layer 33, an active layer 34 as an active region, and a p-type electrode layer 32 sequentially formed on a conductive substrate or a ceramic substrate 31, an n-type semiconductor layer 35, and an n-type electrode layer 36.

이때 세라믹 기판을 사용하는 경우에는 p형 전극층과 전기적 통전을 위하여 세라믹 기판에 비아홀을 형성하기도 한다.In this case, when a ceramic substrate is used, a via hole may be formed in the ceramic substrate for electrical conduction with the p-type electrode layer.

한편, 이러한 LED 소자는 그 응용범위가 실내 조명으로부터 옥외 가로등, 자동차 및 해양, 심해(undersea) 조명, 적외선 조명, 자외선 조명 등으로 더욱 확장되고 있는 추세이며, 최근에는 LED 소자가 설치되는 인쇄회로기판을 한국 공개특허번호 제10-2002-0030891호(발명의 명칭 : 플랙서블 기판을 이용한 적층 패키지)와 같이 플렉서블(Flexible)한 기판으로 사용한 LED 패키지도 제안되고 있다.Meanwhile, the application range of such LED devices is being expanded from indoor lighting to outdoor street lamps, automobile and marine, undersea lighting, infrared lighting, ultraviolet lighting, and the like. In recent years, An LED package using a flexible substrate such as Korean Patent Laid-Open No. 10-2002-0030891 (a laminated package using a flexible substrate) has been proposed.

그러나 이러한 LED 패키지는 플렉서블한 기판에 LED 소자가 설치될 뿐 LED 소자 자체가 구부러지는 유연성은 없어 곡면과 같은 위치에는 설치가 제한되는 문제점이 있다.
However, such an LED package has a problem in that the LED element is installed on a flexible substrate, but the LED element itself is not flexible enough to bend, so that the installation is limited to a curved surface.

한국 공개특허번호 제10-2002-0030891호Korean Patent Publication No. 10-2002-0030891

이러한 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명은 LED 소자가 잘 구부러지도록 유연성을 갖는 플렉서블 LED 및 그 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
In order to solve such problems, it is an object of the present invention to provide a flexible LED having flexibility so that an LED element can bend well, and a manufacturing method thereof.

상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 플렉서블 LED로서, 제 1 도전성 반도체층과, 활성층과, 제 2 도전성 반도체층과, 반사부가 적층되고, 상기 제 1 도전성 반도체층에 제 1 전극이 설치되며, 상기 반사부에 제 2 전극이 설치되고, 상기 반사부에 열을 방출하는 방열부가 설치되며, 상기 방열부에 잘 구부러지는 유연성을 갖는 플렉서블 기판을 설치한 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a flexible LED comprising: a first conductive semiconductor layer; an active layer; a second conductive semiconductor layer; a reflective portion laminated on the first conductive semiconductor layer; A second electrode is provided on the reflection portion, a heat dissipation portion for dissipating heat is provided on the reflection portion, and a flexible substrate having flexibility to bend well on the heat dissipation portion is provided.

또한, 본 발명에 따른 플렉서블 LED는 상기 제 2 도전성 반도체층의 일부에 절연부를 추가 형성한 것을 특징으로 한다.Further, the flexible LED according to the present invention is characterized in that an insulating portion is further formed on a part of the second conductive semiconductor layer.

또한, 본 발명에 따른 상기 제 1 도전성 반도체 층은 n형 반도체 물질이고 제 2 도전성 반도체 층은 p형 반도체 물질이거나 또는 상기 제 1 도전성 반도체 층은 p형 반도체 물질이며 제 2 도전성 반도체 층은 n형 반도체 물질로 이루어진 것을 특징으로 한다.The first conductive semiconductor layer may be an n-type semiconductor material and the second conductive semiconductor layer may be a p-type semiconductor material. Alternatively, the first conductive semiconductor layer may be a p-type semiconductor material and the second conductive semiconductor layer may be an n- And is made of a semiconductor material.

또한, 본 발명에 따른 상기 반사부는 ITO, IZO, Ag, Ni, Cu, Al, Ti, Pd, Pt, Ru, Au, Rh, Ir, W, WTi 중 하나 이상의 물질로 이루어진 것을 특징으로 한다.The reflective portion may include at least one of ITO, IZO, Ag, Ni, Cu, Al, Ti, Pd, Pt, Ru, Au, Rh, Ir, W and WTi.

또한, 본 발명에 따른 상기 방열부는 Ti, Al, Ni, Au, Ag, Cu, Zn, Zr, Mo, Rh, Pd, Ir, Pt, W, WTi의 금속 중 하나 또는 상기 금속 중 하나 이상의 합금으로 이루어진 것을 특징으로 한다.The heat dissipating unit according to the present invention may be made of one or more of the metals of Ti, Al, Ni, Au, Ag, Cu, Zn, Zr, Mo, Rh, Pd, Ir, Pt, W, .

또한, 본 발명에 따른 상기 플렉서블 기판은 유연성을 갖는 투명재질의 기판이고, 폴리이미드(PI) 수지, 폴리에스터(PET) 수지, 아크릴 수지, 폴리카보네이트(PC) 수지, 폴리메틸메타크릴레이트(PMMA) 수지 중 적어도 하나의 수지로 이루어진 것을 특징으로 한다.In addition, the flexible substrate according to the present invention is a substrate made of a transparent transparent material, and is made of a resin such as a polyimide (PI) resin, a polyester resin, an acrylic resin, a polycarbonate (PC) resin, a polymethyl methacrylate ) Resin. ≪ / RTI >

또한, 본 발명은 a) 기판상에 제 1 도전성 반도체층, 활성층, 제 2 도전성 반도체층을 순차적으로 형성하는 단계; b) 상기 제 2 도전성 반도체층에 반사부를 형성하는 단계; c) 상기 반사부에 방열부를 증착하는 단계; d) 상기 방열부에 플렉서블 기판을 접합하는 단계; e) 상기 기판을 제거하고, 제 1 도전성 반도체층에 제 1 전극을 형성하는 단계; 및 f) 상기 제 1 도전성 반도체층, 활성층, 제 2 도전성 반도체층을 식각하고, 상기 반사부에 제 2 전극을 형성하는 단계를 포함한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a semiconductor device, comprising the steps of: a) sequentially forming a first conductive semiconductor layer, an active layer, and a second conductive semiconductor layer on a substrate; b) forming a reflective portion on the second conductive semiconductor layer; c) depositing a heat dissipation part on the reflective part; d) bonding the flexible substrate to the heat dissipation unit; e) removing the substrate and forming a first electrode on the first conductive semiconductor layer; And f) etching the first conductive semiconductor layer, the active layer, and the second conductive semiconductor layer, and forming a second electrode in the reflective portion.

또한, 본 발명에 따른 상기 a)단계는 제 2 도전성 반도체층의 일부에 절연부를 추가 형성하는 단계를 더 포함한다.In addition, the step a) according to the present invention may further include the step of forming an insulating part on a part of the second conductive semiconductor layer.

또한, 본 발명에 따른 상기 d)단계의 플렉서블 기판(180)은 접착 물질을 이용한 본딩 또는 유테틱(eutetic) 본딩 중 어느 하나의 방법으로 본딩하는 것을 특징으로 한다.
In addition, the flexible substrate 180 of the step d) according to the present invention is characterized in that the flexible substrate 180 is bonded by any one of bonding using an adhesive material or eutectic bonding.

본 발명은 LED 소자가 잘 구부러지도록 유연성을 갖는 장점이 있다.
The present invention is advantageous in that the LED element is flexible enough to bend well.

도 1 은 일반적인 LED 패키지를 나타낸 사시도.
도 2 는 일반적인 수직형 LED 소자의 구조를 나타낸 단면도.
도 3 은 본 발명에 따른 플렉서블 LED를 나타낸 단면도.
도 4 는 본 발명에 따른 플렉서블 LED의 구조를 나타낸 단면도.
도 5 는 본 발명에 따른 플렉서블 LED의 구조를 나타낸 단면도.
도 6 은 본 발명에 따른 플렉서블 LED의 제조과정을 나타낸 흐름도.
도 7 은 본 발명에 따른 플렉서블 LED와 종래의 수직형 LED 소자의 전류/전압을 비교한 그래프.
도 8 은 본 발명에 따른 플렉서블 LED를 나타낸 예시도.
도 9 는 본 발명에 따른 플렉서블 LED의 동작 상태를 나타낸 예시도.
1 is a perspective view of a typical LED package.
2 is a sectional view showing the structure of a general vertical type LED device.
3 is a cross-sectional view of a flexible LED according to the present invention.
4 is a cross-sectional view showing a structure of a flexible LED according to the present invention.
5 is a sectional view showing a structure of a flexible LED according to the present invention.
6 is a flowchart illustrating a manufacturing process of a flexible LED according to the present invention.
7 is a graph comparing a current / voltage of a flexible LED according to the present invention and a conventional vertical LED device.
8 is an exemplary view showing a flexible LED according to the present invention.
9 is an exemplary view showing an operation state of a flexible LED according to the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 플렉서블 LED 및 그 제조방법의 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다.
Hereinafter, a preferred embodiment of a flexible LED according to the present invention and a method of manufacturing the same will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

(플렉서블 LED)(Flexible LED)

도 3은 본 발명에 따른 플렉서블 LED를 나타낸 단면도이고, 도 4는 본 발명에 따른 플렉서블 LED의 구조를 나타낸 단면도이며, 도 5는 본 발명에 따른 플렉서블 LED의 구조를 나타낸 단면도이다.FIG. 3 is a cross-sectional view showing a flexible LED according to the present invention, FIG. 4 is a cross-sectional view showing a structure of a flexible LED according to the present invention, and FIG. 5 is a sectional view showing the structure of a flexible LED according to the present invention.

도 3 내지 도 5에 나타낸 바와 같이, 본 발명에 따른 플렉서블 LED(100)는 제 1 도전성 반도체층(120)과, 활성층(130)과, 제 2 도전성 반도체층(140)과, 반사부(160)가 적층되고, 상기 제 1 도전성 반도체층(120)에 제 1 전극(121)이 설치되며, 상기 반사부(160)의 일부에 제 2 전극(141)이 설치되고, 상기 반사부(160)에 열을 방출하는 방열부(170)가 설치되며, 상기 방열부(170)에 잘 구부러지는 유연성을 갖는 플렉서블 기판(180)이 설치된다.3 to 5, the flexible LED 100 according to the present invention includes a first conductive semiconductor layer 120, an active layer 130, a second conductive semiconductor layer 140, a reflective portion 160 A first electrode 121 is formed on the first conductive semiconductor layer 120 and a second electrode 141 is formed on a part of the reflective portion 160. The reflective portion 160 is formed on the first electrode 121, And a flexible substrate 180 having flexibility that allows the heat dissipation unit 170 to bend well is provided.

한편, 상기 방열부(170)와 플렉서블 기판(180)의 사이에는 두 물질을 접합하기 위한 접합층(181)이 삽입될 수도 있다.A bonding layer 181 for bonding the two materials may be interposed between the heat dissipation unit 170 and the flexible substrate 180.

상기 기판(110)은 그 위에 형성될 질화물 반도체층의 물질에 따라 선택될 수 있으며, 상기 질화물 반도체층과 유사한 격자상수를 갖는 것이 바람직하고, 사파이어(Al2O3), 실리콘(Si), 스피넬(spinel), 탄화실리콘(SiC), 산화아연(ZnO), 갈륨비소(GaAs), 갈륨인(GaP), 리튬-알루미나(LiAl2O3), 질화붕소(BN), 질화알루미늄(AlN) 또는 질화갈륨(GaN) 중 어느 하나로 이루어질 수 있으며, 바람직하게는 사파이어 기판이다.The substrate 110 may be selected according to the material of the nitride semiconductor layer to be formed thereon, and preferably has a lattice constant similar to that of the nitride semiconductor layer, and may be a sapphire (Al 2 O 3), a silicon (Si), a spinel, , Silicon carbide (SiC), zinc oxide (ZnO), gallium arsenide (GaAs), gallium phosphorus (GaP), lithium-alumina (LiAl2O3), boron nitride (BN), aluminum nitride (AlN) And it is preferably a sapphire substrate.

또한, 상기 기판(110)은 이후, 레이저 리프트 오프(Laser Lift Off)에 의한 레이저 분리 방법 또는 화학 물질을 이용한 화학적 분리 방법을 통해 분리된다.In addition, the substrate 110 is separated by a laser separation method using a laser lift off method or a chemical separation method using a chemical substance.

상기 제 1 도전성 반도체층(120)은 기판(110)에 n형 AlxGayInzN(0 ≤ x, y, z ≤ 1)이 형성되고, 바람직하게는 n형 반도체층이다.The first conductive semiconductor layer 120 is formed on the substrate 110 with n-type AlxGayInzN (0? X, y, z? 1), and is preferably an n-type semiconductor layer.

상기 활성층(130)은 상기 제 1 도전성 반도체층(120)의 일측에 형성되고 AlxGayInzN(0 ≤ x, y, z ≤ 1)로 이루어지며, 장벽층 및 우물층을 적어도 하나 이상 포함하는 단일 또는 다중양자 우물구조를 가질 수 있다.The active layer 130 is formed on one side of the first conductive semiconductor layer 120 and is formed of AlxGayInzN (0 ≤ x, y, z ≤ 1), and has a single or multi-layer structure including at least one barrier layer and a well layer It can have a quantum well structure.

상기 제 2 도전성 반도체층(140)은 활성층(120)의 일측에 p형 AlxGayInzN(0 ≤ x, y, z ≤ 1)이 형성되고, 바람직하게는 p형 반도체층이다.The second conductive semiconductor layer 140 is formed of p-type AlxGayInzN (0? X, y, z? 1) on one side of the active layer 120, and is preferably a p-type semiconductor layer.

이때 제 1 도전성 반도체층(120), 제 2 도전성 반도체층(140), 활성층(130)의 형성되는 순서는 제 2 도전성 반도체층(140)과 제 1 도전성 반도체층(120)의 순서를 달리하여 기판(110)의 일측면에 제 2 도전성 반도체층(140), 활성층(130) 및 제 1 도전성 반도체층(120)의 순서로 형성될 수도 있다.The order of forming the first conductive semiconductor layer 120, the second conductive semiconductor layer 140 and the active layer 130 is different from that of the second conductive semiconductor layer 140 and the first conductive semiconductor layer 120 The second conductive semiconductor layer 140, the active layer 130, and the first conductive semiconductor layer 120 may be formed on one side of the substrate 110 in this order.

한편, 상기 기판(110) 상에 제 1 및 제 2 도전성 반도체층(120, 140)과, 활성층(130)을 형성한 후 상기 제 2 도전성 반도체층(140)의 일부에는 임의의 패턴을 갖는 절연부(150)를 형성할 수 있다.After the first and second conductive semiconductor layers 120 and 140 and the active layer 130 are formed on the substrate 110, a portion of the second conductive semiconductor layer 140 may have an arbitrary pattern The first electrode 150 and the second electrode 150 may be formed.

상기 절연부(150)는 바람직하게는 SiO2로 구성되고, 제 1 및 제 2 도전성 반도체층(120, 140)과, 활성층(130)을 에칭(식각)하는 과정에서 상기 제 2 도전성 반도체층(140)의 측면에 이물질이 접착되어 쇼트 등에 의한 불량 발생을 방지하고, 반사부(160)가 손상되는 것을 방지할 수 있도록 한다.The insulating layer 150 is preferably made of SiO 2 and the first and second conductive semiconductor layers 120 and 140 and the active layer 130 are etched, So that defects such as shorts can be prevented and damage to the reflective portion 160 can be prevented.

상기 반사부(160)는 제 2 도전성 반도체층(140) 상에 형성되어 빛이 반사되도록 하는 구성으로서, 상기 반사부(160)는 ITO, IZO, Ag, Ni, Cu, Al, Ti, Pd, Pt, Ru, Au, Rh, Ir, W, WTi 중 하나 이상의 물질로 이루어진다.The reflective portion 160 is formed on the second conductive semiconductor layer 140 to reflect light. The reflective portion 160 may be formed of ITO, IZO, Ag, Ni, Cu, Al, Ti, Pd, Pt, Ru, Au, Rh, Ir, W, and WTi.

상기 방열부(170)는 반사부(160)에 메탈 증착을 통해 설치되어 플렉서블 LED(100)의 동작과정에서 발생되는 열이 방출될 수 있도록 하는 구성으로서, 상기 방열부(170)는 Ti, Al, Ni, Au, Ag, Cu, Zn, Zr, Mo, Rh, Pd, W, WTi, Ir, Pt의 금속 중 하나 또는 상기 금속 중 하나 이상의 합금으로 이루어진다.The heat dissipation unit 170 may be formed by depositing metal on the reflection unit 160 to allow heat generated during the operation of the flexible LED 100 to be emitted. And at least one of the metals of Ni, Au, Ag, Cu, Zn, Zr, Mo, Rh, Pd, W, WTi, Ir and Pt.

상기 플렉서블 기판(180)은 유연성을 갖는 투명 재질의 부재로서, 폴리이미드(PI) 수지, 폴리에스터(PET) 수지, 아크릴 수지, 폴리카보네이트(PC) 수지, 폴리메틸메타크릴레이트(PMMA) 수지 중 적어도 하나의 수지로 제조되며, 상기 플렉서블 기판(180)의 재질은 이에 한정되는 것은 아니며, 유연하게 휘어질 수 있는 모든 재질을 플렉서블 기판(180)으로 사용할 수 있다.The flexible substrate 180 is made of a transparent material having flexibility and is made of a material such as polyimide resin, polyester resin, acrylic resin, polycarbonate (PC) resin, polymethylmethacrylate (PMMA) The material of the flexible substrate 180 is not limited thereto, and any flexible material that can be bent can be used as the flexible substrate 180.

또한, 상기 플렉서블 기판(180)은 방열부(170)와 접착제를 이용한 접합층(181)을 통해 물리적으로 접합되거나 또는, 200℃ 이하의 온도에서 유테틱(Eutetic) 본딩을 통해 고정된다.In addition, the flexible substrate 180 is physically bonded to the heat dissipating unit 170 through a bonding layer 181 using an adhesive, or is fixed by eutectic bonding at a temperature of 200 ° C or lower.

한편, 제 1 전극(121)은 기판(110)이 분리된 제 1 도전성 반도체층(120)에 설치되고, 제 2 전극(141)은 제 1 및 제 2 도전성 반도체층(120, 140)과, 활성층(130)의 일부가 에칭되어 개방된 반사부(160)에 설치되어 상기 제 1 전극(121)과 전기적으로 분리되도록 한다.The first electrode 121 is formed on the first conductive semiconductor layer 120 in which the substrate 110 is separated and the second electrode 141 is formed on the first and second conductive semiconductor layers 120 and 140, A part of the active layer 130 is etched to be provided on the open reflective part 160 to be electrically separated from the first electrode 121.

또한, 상기 제 1 및 제 2 전극(121, 141)은 Ti, Al, Ni, Cr, Au, Ag, Cu, Zn, Zr, Mo, Rh, Pd, W, Ir, Pt 등의 금속과 상기 금속 중 하나 이상의 합금으로 이루어질 수 있다.
The first and second electrodes 121 and 141 may be formed of a metal such as Ti, Al, Ni, Cr, Au, Ag, Cu, Zn, Zr, Mo, Rh, Pd, W, ≪ / RTI >

(플렉서블 LED 제조방법)(Flexible LED manufacturing method)

도 6은 본 발명에 따른 플렉서블 LED의 제조과정을 나타낸 흐름도로서, 도 3 내지 도 6을 참조하여 설명한다.FIG. 6 is a flowchart illustrating a manufacturing process of a flexible LED according to the present invention, which will be described with reference to FIGS. 3 to 6. FIG.

예를 들면, 사파이어 기판(110)을 설치(S100)하고, 설치된 상기 사파이어 기판(110) 상에 제 1 도전성 반도체층(120), 활성층(130), 제 2 도전성 반도체층(140)을 순차적으로 형성(S110)한다. For example, a sapphire substrate 110 is provided (S100), and a first conductive semiconductor layer 120, an active layer 130, and a second conductive semiconductor layer 140 are sequentially formed on the sapphire substrate 110 (S110).

상기 S110단계에서 제 1 도전성 반도체층(120)과 제 2 도전성 반도체층(140)의 형성순서는 반대가 될 수도 있다.The order of forming the first conductive semiconductor layer 120 and the second conductive semiconductor layer 140 may be reversed in step S110.

상기 S110단계에서 형성된 제 1 도전성 반도체층(120), 활성층(130), 제 2 도전성 반도체층(140)의 상부에는 발생된 빛을 반사하기 위해 ITO, IZO, Ag, Ni, Cu, Al, Ti, Pd, Pt, Ru, Au, Rh, Ir, W, WTi 중 하나 이상의 물질로 이루어진 반사부(160)를 형성(S120)한다. The first conductive semiconductor layer 120, the active layer 130, and the second conductive semiconductor layer 140 formed in step S110 may be formed of ITO, IZO, Ag, Ni, Cu, Al, Ti The reflective portion 160 is formed of at least one of Pd, Pt, Ru, Au, Rh, Ir, W, and WTi (S120).

이때, 상기 반사부(160)를 형성하기 전에 상기 제 2 도전성 반도체층(140)의 상부에는 제 1 도전성 반도체층(120)과, 활성층(130)과, 제 2 도전성 반도체층(140)을 에칭(식각)과정에서 상기 제 2 도전성 반도체층(140)의 측면에 이물질이 접착되어 쇼트 등에 의한 불량 발생을 방지하고, 반사부(160)가 손상되는 것을 방지할 수 있도록 임의의 패턴을 갖는 절연부(150)를 형성할 수도 있다.The first conductive semiconductor layer 120, the active layer 130, and the second conductive semiconductor layer 140 are etched on the second conductive semiconductor layer 140 before the reflective portion 160 is formed. An insulating layer having an arbitrary pattern is formed on the side surface of the second conductive semiconductor layer 140 in order to prevent a defect caused by a short or the like from adhering to the side surface of the second conductive semiconductor layer 140 during the etching process, (150) may be formed.

상기 S120단계에서 형성된 반사부(160)의 상부에 플렉서블 LED(100)의 동작과정에서 발생되는 열이 방출될 수 있도록 Ti, Al, Ni, Au, Ag, Cu, Zn, Zr, Mo, Rh, Pd, W, WTi, Ir, Pt의 금속 중 하나 또는 상기 금속 중 하나 이상의 합금으로 이루어진 방열부(170)가 메탈 증착을 통해 형성(S130)된다.The upper portion of the reflective portion 160 formed in the step S120 may be formed of Ti, Al, Ni, Au, Ag, Cu, Zn, Zr, Mo, Rh, A heat dissipation portion 170 formed of one of the metals of Pd, W, WTi, Ir, and Pt, or an alloy of at least one of the metals is formed through metal deposition (S130).

상기 S130단계에서 형성된 방열부(170)의 상부에는 유연하게 휘어질 수 있는 모든 재질을 접합할 수 있으며, 바람직하게는 폴리이미드(PI) 수지, 폴리에스터(PET) 수지, 아크릴 수지, 폴리카보네이트(PC) 수지, 폴리메틸메타크릴레이트(PMMA) 수지 중 적어도 하나의 수지로 이루어진 투명 재질의 유연성을 가진 기판으로서, 플렉서블 기판(180)을 설치(S140)한다.The upper surface of the heat dissipating unit 170 formed in step S130 may be made of any material that can be flexibly bonded to the upper surface of the heat dissipating unit 170. Preferably, the heat dissipating unit 170 may be formed of a polyimide resin, a polyester resin, The flexible substrate 180 is provided as a transparent substrate made of at least one resin selected from the group consisting of poly (methyl methacrylate) (PC) resin and polymethyl methacrylate (PMMA) resin (S140).

상기 S140단계에서 설치되는 플렉서블 기판(180)은 접착제 등을 이용한 접합층(181)을 통해 방열부(170)와 물리적으로 접합되거나 또는, 200℃ 이하의 온도에서 일정 온도를 유지하며 상기 방열부(170)에 밀착되도록 유테틱(Eutetic) 본딩을 수행한다.The flexible substrate 180 installed in step S140 is physically bonded to the heat dissipating unit 170 through the bonding layer 181 using an adhesive or the like, or may be physically bonded to the heat dissipating unit 170 170 are formed on the substrate.

상기 S140단계에서 플렉서블 기판(180)의 설치가 완료되면, 레이저 분리 방법 또는 화학 물질을 이용한 화학적 분리 방법을 통해 기판(110)을 분리(S150)한다.When the installation of the flexible substrate 180 is completed in step S140, the substrate 110 is separated through a laser separation method or a chemical separation method using chemical substances (S150).

상기 S150단계의 기판(110) 분리가 완료되면, 제 1 도전성 반도체층(120)의 일부에 Ti, Al, Ni, Cr, Au, Ag, Cu, Zn, Zr, Mo, Rh, Pd, W, Ir, Pt 등의 금속과 상기 금속 중 하나 이상의 합금으로 이루어진 제 1 전극(121)을 형성(S160)한다.The first conductive semiconductor layer 120 may be formed of a metal such as Ti, Al, Ni, Cr, Au, Ag, Cu, Zn, Zr, Mo, Rh, Pd, W, A first electrode 121 made of a metal such as Ir or Pt and at least one of the metals is formed (S160).

또한, 제 1 도전성 반도체층(120)과, 활성층(130)과, 제 2 도전성 반도체층(140)의 측면 일부를 절연부(150) 또는 반사부(160)가 노출될 때까지 에칭(S170)하고, 반사부(160)가 노출되면, 상기 반사부(160)에 Ti, Al, Ni, Cr, Au, Ag, Cu, Zn, Zr, Mo, Rh, Pd, W, Ir, Pt 등의 금속과 상기 금속 중 하나 이상의 합금으로 이루어진 제 2 전극(141)을 형성(S180)한다.A portion of the side surfaces of the first conductive semiconductor layer 120, the active layer 130 and the second conductive semiconductor layer 140 is etched (S170) until the insulating portion 150 or the reflective portion 160 is exposed, A metal such as Ti, Al, Ni, Cr, Au, Ag, Cu, Zn, Zr, Mo, Rh, Pd, W, Ir, or Pt is formed on the reflective portion 160 when the reflective portion 160 is exposed. And a second electrode 141 made of at least one of the metals (S180).

이때, 상기 제 1 전극(121)의 형성과정과 제 2 전극(141)의 형성과정은 순서를 바꿔서 진행해도 무방하다.At this time, the process of forming the first electrode 121 and the process of forming the second electrode 141 may be performed in reverse order.

상술한 과정을 통해 제조된 플렉서블 LED(100)를 종래의 수직형 LED의 동작 특성과 비교해 보면, 도 7에서와 같이 전류 특성의 경우 거의 유사한 특성을 보여주고 있으며, 도 8 및 도 9는 플렉서블 LED(100)가 제조된 실제품과, 실제품의 동작 상태를 보여주고 있다.Comparing the flexible LED 100 fabricated through the above-described process with the operation characteristics of a conventional vertical LED, the current characteristics show almost similar characteristics as shown in FIG. 7, and FIGS. 8 and 9 show a flexible LED An actual product in which the semiconductor device 100 is manufactured, and an operation state of the actual product.

따라서 LED 소자가 잘 구부러지도록 유연성을 가지면서, 종래의 LED와 유사한 특성을 갖는 플렉서블 LED를 제공할 수 있게 된다.
Accordingly, it is possible to provide a flexible LED having characteristics similar to conventional LEDs while having flexibility so that the LED element is bent well.

상기와 같이, 본 발명의 바람직한 실시 예를 참조하여 설명하였지만 해당 기술 분야의 숙련된 당업자라면 하기의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it will be understood by those skilled in the art that various changes and modifications may be made without departing from the spirit and scope of the invention as defined in the appended claims. It can be understood that

또한, 본 발명의 실시예를 설명하는 과정에서 도면에 도시된 선들의 두께나 구성요소의 크기 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시되어 있을 수 있으며, 상술된 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있으므로, 이러한 용어들에 대한 해석은 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.
In the course of the description of the embodiments of the present invention, the thicknesses of the lines and the sizes of the components shown in the drawings may be exaggerated for clarity and convenience of explanation, , Which may vary depending on the intentions or customs of the user, the operator, and the interpretation of such terms should be based on the contents throughout this specification.

100 : 플렉서블 LED
110 : 기판
120 : 제 1 도전성 반도체층
121 : 제 1 전극
130 : 활성층
140 : 제 2 도전성 반도체층
141 : 제 2 전극
150 : 절연부
160 : 반사부
170 : 방열부
180 : 플렉서블 기판
100: Flexible LED
110: substrate
120: a first conductive semiconductor layer
121: first electrode
130: active layer
140: a second conductive semiconductor layer
141: second electrode
150:
160:
170:
180: flexible substrate

Claims (10)

삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete a) 기판(110)상에 제 1 도전성 반도체층(120), 활성층(130), 제 2 도전성 반도체층(140)을 순차적으로 형성하는 단계;
b) 상기 제 2 도전성 반도체층(140)에 반사부(160)를 형성하는 단계;
c) 상기 반사부(160)에 방열부(170)를 증착하는 단계;
d) 상기 방열부(170)에 플렉서블 기판(180)을 접합하는 단계;
e) 상기 기판(110)을 제거하고, 제 1 도전성 반도체층(120)에 제 1 전극(121)을 형성하는 단계; 및
f) 상기 제 1 도전성 반도체층(120), 활성층(130), 제 2 도전성 반도체층(140)을 에칭하고, 상기 반사부(160)의 일부에 제 2 전극(141)을 형성하는 단계를 포함하는 플렉서블 LED 제조방법.
a) sequentially forming a first conductive semiconductor layer 120, an active layer 130, and a second conductive semiconductor layer 140 on a substrate 110;
b) forming a reflective portion (160) on the second conductive semiconductor layer (140);
c) depositing a heat dissipating part (170) on the reflective part (160);
d) bonding the flexible substrate 180 to the heat dissipation unit 170;
e) removing the substrate 110 and forming a first electrode 121 on the first conductive semiconductor layer 120; And
f) etching the first conductive semiconductor layer 120, the active layer 130 and the second conductive semiconductor layer 140 and forming a second electrode 141 on a part of the reflective portion 160 The method comprising the steps of:
제 8 항에 있어서,
a-1) 상기 a)단계는 제 2 도전성 반도체층(140)의 일부에 절연부(150)를 추가 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 LED 제조방법.
9. The method of claim 8,
wherein the step a) further comprises forming an insulating part (150) on a part of the second conductive semiconductor layer (140).
제 8 항 또는 제 9 항에 있어서,
상기 d)단계의 플렉서블 기판(180)은 방열부(170)와 접착 물질을 이용한 접합 또는 유테틱(Eutetic) 본딩 중 어느 하나의 방법으로 접합하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 LED 제조방법.
10. The method according to claim 8 or 9,
Wherein the flexible substrate 180 of the step d) is bonded to the heat dissipation unit 170 by any one of bonding using an adhesive material or eutectic bonding.
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