KR101610794B1 - Electrostatic force based actuator including conductive polymer layer - Google Patents

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KR101610794B1 KR1020140102659A KR20140102659A KR101610794B1 KR 101610794 B1 KR101610794 B1 KR 101610794B1 KR 1020140102659 A KR1020140102659 A KR 1020140102659A KR 20140102659 A KR20140102659 A KR 20140102659A KR 101610794 B1 KR101610794 B1 KR 101610794B1
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박원형
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Abstract

본 발명은 도전성 폴리머 층을 포함한 정전기력 기반 작동기에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 플렉시블 기판(101); 상기 플렉시블 기판(101) 내에 배치되는 전극(103); 상기 전극(103)을 포함하는 상기 플렉시블 기판(101)에 마주하는 도전성 폴리머 층(300); 및 상기 플렉시블 기판(101) 및 상기 도전성 폴리머 층(300)의 사이에 배치되는 스페이싱 부재(200)를 포함하는 것을 그 구성상의 특징으로 한다.
본 발명에서 제안하고 있는 도전성 폴리머 층을 포함한 정전기력 기반 작동기에 따르면, 전극이 포함된 플렉시블 기판에 마주하도록 도전성 폴리머 층을 배치시키고, 플렉시블 기판 및 도전성 폴리머 층을 스페이싱 부재에 의해 소정의 간격으로 이격시킴으로써, 플렉시블 기판의 전극과 도전성 폴리머 층에 전압이 인가될 때 발생하는 도전성 폴리머 층의 휘어짐에 의해 햅틱 효과를 제공할 수 있다.
또한, 사용자가 접촉할 수 있는 도전성 폴리머 층에 접지 전압이 인가됨에 따라 감전 위험 없이 사용상의 안정성을 증가시킬 수 있고, 도전성 폴리머 층이 전기적으로 연결됨에 따라 절연 파괴되지 않으며 사전 팽창시키더라도 물리적인 손상이 감소하여 제품의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
나아가, 도전성 폴리머 층과 플렉시블 기판의 전극에 전압이 인가됨에 따라 주파수에 관계없이 다양한 대역폭의 진동을 생성할 수 있고, 사용자가 느낄 수 있는 햅틱 제공 해상도를 향상시킬 수 있다.The present invention relates to an electrostatic force based actuator including a conductive polymer layer, and more particularly to a flexible substrate (101); An electrode 103 disposed in the flexible substrate 101; A conductive polymer layer (300) facing the flexible substrate (101) including the electrode (103); And a spacer member (200) disposed between the flexible substrate (101) and the conductive polymer layer (300).
According to the electrostatic force based actuator including the conductive polymer layer proposed in the present invention, by disposing the conductive polymer layer so as to face the flexible substrate including the electrode, and separating the flexible substrate and the conductive polymer layer by the spacing member at a predetermined interval , The haptic effect can be provided by the warp of the conductive polymer layer generated when a voltage is applied to the electrode of the flexible substrate and the conductive polymer layer.
In addition, as the ground voltage is applied to the conductive polymer layer that can be contacted by the user, the stability of use can be increased without the risk of electric shock, and the conductive polymer layer is not broken due to the electrical connection, The reliability of the product can be improved.
Further, as the voltage is applied to the electrodes of the conductive polymer layer and the flexible substrate, vibrations of various bandwidths can be generated regardless of the frequency, and the haptic providing resolution that the user can feel can be improved.

Description

도전성 폴리머 층을 포함한 정전기력 기반 작동기{ELECTROSTATIC FORCE BASED ACTUATOR INCLUDING CONDUCTIVE POLYMER LAYER}≪ Desc / Clms Page number 1 > ELECTROSTATIC FORCE BASED ACTUATOR INCLUDING CONDUCTIVE POLYMER LAYER,

본 발명은 정전기력 기반 작동기에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 신뢰성, 안정성 및 햅틱 특성을 향상시킬 수 있는 도전성 폴리머 층을 포함한 정전기력 기반 작동기에 관한 것이다.The present invention relates to an electrostatic force based actuator, and more particularly to an electrostatic force based actuator including a conductive polymer layer capable of improving reliability, stability and haptic characteristics.

일반적으로 햅틱(haptic)이란 물체를 만질 때 느낄 수 있는 촉각적 감각으로서, 피부가 물체 표면에 닿아서 느끼는 촉감 피드백(tactile feedback) 및 관절과 근육의 움직임이 방해될 때 느껴지는 근감각 힘 피드백(kinesthetic force feedback)을 포괄한다.
In general, haptic is a tactile sensation that can be felt when touching an object, such as tactile feedback that the skin touches the surface of the object, and kinesthetic feedback that is felt when movement of the joints and muscles is disturbed. force feedback.

햅틱 효과를 제공하기 위하여 전기 활성 고분자(Electro-Active Polymer, EAP)에 대한 연구가 진행됨에 따라, 화학, 기계, 전기, 의학, 재료, 식품 등 다양한 분야에서 전기 활성 고분자의 활용에 대한 기대가 증가하고 있다. 예를 들어, 전기 활성 고분자는 차세대 마이크로 로봇, 초소형 비행체 등과 같은 분야뿐 아니라, 인공근육 작동기, 엔터테인먼트 등의 다양한 산업분야에서도 활용될 수 있다.
As the research on Electro-Active Polymer (EAP) has been carried out to provide haptic effect, expectation of utilization of electroactive polymer in various fields such as chemical, mechanical, electrical, medical, . For example, electroactive polymers can be used in a variety of industrial fields such as artificial muscle actuators and entertainment, as well as fields such as next generation micro-robots and micro-vehicles.

예를 들어, 초경량, 초소형 작동기에 대한 기술에 관하여, 대한민국 공개특허 제10-2006-0100558호(2006.09.21.공개) 및 대한민국 공개특허 제10-2011-0138912호(2011.12.28.공개) 등에서는 다양한 분야에 응용될 수 있는 작동기(actuator)를 개시하고 있다.
For example, regarding a technique for an ultra-lightweight and ultra-small actuator, in Korean Patent Publication No. 10-2006-0100558 (published on September 21, 2006) and Korean Patent Publication No. 10-2011-0138912 (published on December 28, 2011) Discloses an actuator that can be applied to various fields.

한편, 전기 활성 고분자를 이용한 작동기의 경우, 고분자 유전체의 상면 및 하면에 배치된 유연 전극에 고전압이 인가될 때 고분자 유전체가 압축 및 팽창되는 현상을 이용하여 햅틱 효과가 제공될 수 있다. 그러나 사용자가 느낄 수 있는 충분한 햅틱 효과를 제공하기 위해서는, 유연 전극에 과도한 고전압이 인가되어야 할 수 있는데, 그로 인해 사용자가 감전될 수 있는 위험성이 있다. 또한, 고분자 유전체에 인가되는 강한 전기장으로 인해 작동 과정에서 고분자 유전체가 절연 파괴될 수 있다. 나아가, 햅틱 성능을 향상시키기 위해, 고분자 유전체를 사전 팽창(pre-stretch)시키는 경우, 외력에 의한 충격에 약해질 수 있고, 이러한 충격력에 의해 찢어짐 등 물리적 손상이 발생할 수 있는 문제가 있다.
On the other hand, in the case of an actuator using an electroactive polymer, a haptic effect can be provided by using a phenomenon that the polymer dielectric is compressed and expanded when a high voltage is applied to the flexible electrode disposed on the upper and lower surfaces of the polymer dielectric. However, in order to provide a sufficient haptic effect that a user can feel, an excessive high voltage may be applied to the flexible electrode, which may result in electric shock to the user. In addition, due to the strong electric field applied to the polymer dielectric, the polymer dielectric can break down during operation. Furthermore, when the polymer dielectric is pre-stretched to improve the haptic performance, it may be weakened by an external force, and physical damage such as tearing may occur due to the impact force.

그 밖에도, 이러한 종래의 전기 활성 고분자를 이용한 작동기는, 사용자에게 고주파로 진동하는 촉각적 감각을 제공할 수 없고, 작동기의 햅틱 제공 해상도를 일정 수준 이하로 감소시킬 수 없는 한계가 있다.In addition, the conventional actuator using the electroactive polymer can not provide the user with a tactile sense of vibrating at a high frequency, and the haptic providing resolution of the actuator can not be reduced to a certain level or less.

본 발명은 기존에 제안된 방법들의 상기와 같은 문제점들을 해결하기 위해 제안된 것으로서, 전극이 포함된 플렉시블(flexible) 기판에 마주하도록 도전성 폴리머 층을 배치시키고, 플렉시블 기판 및 도전성 폴리머 층을 스페이싱 부재(spacing member)에 의해 소정의 간격으로 이격시킴으로써, 플렉시블 기판의 전극과 도전성 폴리머 층에 전압이 인가될 때 발생하는 도전성 폴리머 층의 휘어짐에 의해 햅틱 효과를 제공할 수 있는, 도전성 폴리머 층을 포함한 정전기력 기반 작동기를 제공하는 것이다.
Disclosure of the Invention The present invention has been proposed in order to solve the above-mentioned problems of the previously proposed methods, and it has been proposed to arrange a conductive polymer layer so as to face a flexible substrate including electrodes, and to dispose the flexible substrate and the conductive polymer layer on a spacer member including a conductive polymer layer capable of providing a haptic effect by bending of the conductive polymer layer that occurs when a voltage is applied to the electrode and the conductive polymer layer of the flexible substrate by spacing the conductive polymer layer by a spacing member Thereby providing an actuator.

또한, 본 발명은, 사용자가 접촉할 수 있는 도전성 폴리머 층에 접지 전압이 인가됨에 따라 감전 위험 없이 사용상의 안정성을 증가시킬 수 있고, 도전성 폴리머 층이 전기적으로 연결됨에 따라 절연 파괴되지 않으며 사전 팽창시키더라도 물리적인 손상이 감소하여 제품의 신뢰성을 향상시킬 수 있는, 도전성 폴리머 층을 포함한 정전기력 기반 작동기를 제공하는 것을 다른 목적으로 한다.
In addition, the present invention can increase the stability in use without the risk of electric shock as the ground voltage is applied to the conductive polymer layer that can be contacted by the user, and the conductive polymer layer is electrically insulated, Another object of the present invention is to provide a electrostatic force based actuator including a conductive polymer layer that can reduce physical damage and improve the reliability of a product.

뿐만 아니라, 본 발명은, 도전성 폴리머 층과 플렉시블 기판의 전극에 전압이 인가됨에 따라 주파수에 관계없이 다양한 대역폭의 진동을 생성할 수 있고, 사용자가 느낄 수 있는 햅틱 제공 해상도를 향상시킬 수 있는, 도전성 폴리머 층을 포함한 정전기력 기반 작동기를 제공하는 것을 또 다른 목적으로 한다.It is another object of the present invention to provide a haptic display device capable of generating vibrations of various bandwidth regardless of the frequency as voltages are applied to the electrodes of the conductive polymer layer and the flexible substrate, It is another object to provide an electrostatic force based actuator including a polymer layer.

상기한 목적들을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 따른, 도전성 폴리머 층을 포함한 정전기력 기반 작동기는,According to an aspect of the present invention, there is provided an electrostatic force based actuator including a conductive polymer layer,

플렉시블 기판;A flexible substrate;

상기 플렉시블 기판 내에 배치되는 전극;An electrode disposed in the flexible substrate;

상기 전극을 포함하는 상기 플렉시블 기판에 마주하는 도전성 폴리머 층; 및A conductive polymer layer facing the flexible substrate including the electrode; And

상기 플렉시블 기판 및 상기 도전성 폴리머 층의 사이에 배치되는 스페이싱 부재를 포함하는 것을 그 구성상의 특징으로 한다.
And a spacer member disposed between the flexible substrate and the conductive polymer layer.

바람직하게는,Preferably,

상기 전극 및 도전성 폴리머 층에 인가되는 전압에 의해 상기 전극 및 상기 도전성 폴리머 층 사이에 인력이 작용하여, 상기 도전성 폴리머 층과 상기 플렉시블 기판 간의 최단 이격 거리가 감소하도록 구성될 수 있다.
An attractive force acts between the electrode and the conductive polymer layer by a voltage applied to the electrode and the conductive polymer layer so that the shortest distance between the conductive polymer layer and the flexible substrate is reduced.

바람직하게는,Preferably,

상기 전극은, 상기 전극의 상면 및 하면을 커버하는 플렉시블 필름에 의해 코팅되도록 구성될 수 있다.
The electrode may be configured to be coated with a flexible film covering the top and bottom surfaces of the electrode.

바람직하게는,Preferably,

상기 도전성 폴리머 층에 접지 전압을 인가하기 위한 연결 전극을 더 포함하여 구성될 수 있다.
And a connection electrode for applying a ground voltage to the conductive polymer layer.

더욱 바람직하게는,More preferably,

상기 연결 전극에는 접지 전압이 인가되도록 구성될 수 있다.
And a ground voltage may be applied to the connection electrode.

바람직하게는,Preferably,

상기 플렉시블 기판 및 도전성 폴리머 층 사이에 배치되는 유전층을 더 포함하여 구성될 수 있다.
And a dielectric layer disposed between the flexible substrate and the conductive polymer layer.

상기한 목적들을 달성하기 위한 본 발명의 다른 특징에 따른, 도전성 폴리머 층을 포함한 정전기력 기반 작동기는,According to another aspect of the present invention, there is provided an electrostatic force based actuator including a conductive polymer layer,

플렉시블 기판;A flexible substrate;

상기 플렉시블 기판 내에 배치되는 전극;An electrode disposed in the flexible substrate;

상기 플렉시블 기판에 마주하는 도전성 폴리머 층; 및A conductive polymer layer facing the flexible substrate; And

상기 플렉시블 기판 및 상기 도전성 폴리머 층의 사이에 배치되는 스페이싱 부재를 포함하되,And a spacer member disposed between the flexible substrate and the conductive polymer layer,

상기 전극 및 도전성 폴리머 층에 의해 형성된 전계에 따라, 상기 도전성 폴리머 층 및 상기 플렉시블 기판이 서로를 향하여 휘어지는 것을 그 구성상의 특징으로 한다.
The conductive polymer layer and the flexible substrate are bent toward each other in accordance with an electric field formed by the electrode and the conductive polymer layer.

상기한 목적들을 달성하기 위한 본 발명의 또 다른 특징에 따른, 도전성 폴리머 층을 포함한 정전기력 기반 작동기는,According to another aspect of the present invention, there is provided an electrostatic force based actuator including a conductive polymer layer,

도전성 전극을 커버하는 절연 기판;An insulating substrate covering the conductive electrode;

상기 절연 기판에 마주하는 도전성 폴리머 층; 및A conductive polymer layer facing the insulating substrate; And

상기 절연 기판 및 도전성 폴리머 층을 이격시키는 스페이싱 부재를 포함하되,And a spacing member for separating the insulating substrate and the conductive polymer layer,

상기 도전성 전극 및 도전성 폴리머 층에 전압이 인가됨에 따라, 상기 도전성 전극에 중첩하는 도전성 폴리머 층의 적어도 일부가 상기 도전성 전극을 향하여 휘어지는 것을 그 구성상의 특징으로 한다.And at least a part of the conductive polymer layer superimposed on the conductive electrode is bent toward the conductive electrode as a voltage is applied to the conductive electrode and the conductive polymer layer.

본 발명에서 제안하고 있는 도전성 폴리머 층을 포함한 정전기력 기반 작동기에 따르면, 전극이 포함된 플렉시블 기판에 마주하도록 도전성 폴리머 층을 배치시키고, 플렉시블 기판 및 도전성 폴리머 층을 스페이싱 부재에 의해 소정의 간격으로 이격시킴으로써, 플렉시블 기판의 전극과 도전성 폴리머 층에 전압이 인가될 때 발생하는 도전성 폴리머 층의 휘어짐에 의해 햅틱 효과를 제공할 수 있다.
According to the electrostatic force based actuator including the conductive polymer layer proposed in the present invention, by disposing the conductive polymer layer so as to face the flexible substrate including the electrode, and separating the flexible substrate and the conductive polymer layer by the spacing member at a predetermined interval , The haptic effect can be provided by the warp of the conductive polymer layer generated when a voltage is applied to the electrode of the flexible substrate and the conductive polymer layer.

또한, 사용자가 접촉할 수 있는 도전성 폴리머 층에 접지 전압이 인가됨에 따라 감전 위험 없이 사용상의 안정성을 증가시킬 수 있고, 도전성 폴리머 층이 전기적으로 연결됨에 따라 절연 파괴되지 않으며 사전 팽창시키더라도 물리적인 손상이 감소하여 제품의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
In addition, as the ground voltage is applied to the conductive polymer layer that can be contacted by the user, the stability of use can be increased without the risk of electric shock, and the conductive polymer layer is not broken due to the electrical connection, The reliability of the product can be improved.

뿐만 아니라, 도전성 폴리머 층과 플렉시블 기판의 전극에 전압이 인가됨에 따라 주파수에 관계없이 다양한 대역폭의 진동을 생성할 수 있고, 사용자가 느낄 수 있는 햅틱 제공 해상도를 향상시킬 수 있다.In addition, as voltage is applied to the electrodes of the conductive polymer layer and the flexible substrate, vibrations of various bandwidths can be generated regardless of the frequency, and the haptic providing resolution that the user can feel can be improved.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 도전성 폴리머 층을 포함한 정전기력 기반 작동기의 단면을 도시한 도면.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 도전성 폴리머 층을 포함한 정전기력 기반 작동기에 전압이 인가되는 모습을 도시한 도면.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 도전성 폴리머 층을 포함한 정전기력 기반 작동기에 전압이 인가되는 모습을 도시한 도면.
도 4는 본 발명의 또 다른 일실시예에 따른 도전성 폴리머 층을 포함한 정전기력 기반 작동기의 단면을 도시한 도면.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Figure 1 is a cross-sectional view of an electrostatic force based actuator including a conductive polymer layer in accordance with one embodiment of the present invention.
FIG. 2 illustrates a voltage applied to an electrostatic force based actuator including a conductive polymer layer according to an embodiment of the present invention. FIG.
FIG. 3 illustrates a voltage applied to an electrostatic force based actuator including a conductive polymer layer according to another embodiment of the present invention. FIG.
4 is a cross-sectional view of an electrostatic force based actuator including a conductive polymer layer according to another embodiment of the present invention.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있도록 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 다만, 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 유사한 기능 및 작용을 하는 부분에 대해서는 도면 전체에 걸쳐 동일 또는 유사한 부호를 사용한다.
Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art can easily carry out the present invention. In the following detailed description of the preferred embodiments of the present invention, a detailed description of known functions and configurations incorporated herein will be omitted when it may make the subject matter of the present invention rather unclear. The same or similar reference numerals are used throughout the drawings for portions having similar functions and functions.

덧붙여, 명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 ‘연결’되어 있다고 할 때, 이는 ‘직접적으로 연결’되어 있는 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 소자를 사이에 두고 ‘간접적으로 연결’되어 있는 경우도 포함한다. 또한, 어떤 구성요소를 ‘포함’한다는 것은, 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있다는 것을 의미한다.
In addition, in the entire specification, when a part is referred to as being 'connected' to another part, it may be referred to as 'indirectly connected' not only with 'directly connected' . Also, to "include" an element means that it may include other elements, rather than excluding other elements, unless specifically stated otherwise.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 도전성 폴리머 층을 포함한 정전기력 기반 작동기의 단면을 도시한 도면이다. 도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일실시예에 따른 도전성 폴리머 층을 포함한 정전기력 기반 작동기는, 절연 기판(101), 전극(103), 도전성 폴리머 층(300) 및 스페이싱 부재(200)를 포함하여 구성될 수 있고, 연결 전극(310)을 더 포함하여 구성될 수 있다. 이하에서는, 본 발명의 일실시예에 따른 도전성 폴리머 층을 포함한 정전기력 기반 작동기의 각각의 구성요소에 대해 상세히 설명하도록 한다.
1 is a cross-sectional view of an electrostatic force based actuator including a conductive polymer layer according to an embodiment of the present invention. 1, an electrostatic force based actuator including a conductive polymer layer according to an embodiment of the present invention includes an insulating substrate 101, electrodes 103, a conductive polymer layer 300, and a spacing member 200 And may further include a connection electrode 310. [0033] Hereinafter, each component of the electrostatic force based actuator including the conductive polymer layer according to one embodiment of the present invention will be described in detail.

절연 기판(101)은 플렉시블(flexible) 기판을 포함할 수 있다. 예를 들어, 절연 기판(101)은 투명한 절연 재질을 포함하는 플렉시블 기판일 수 있다. 예를 들어, 절연 기판(101)은 페놀 수지(phenolic resin), 유리 직물(glass cloth), 폴리이미드(polyimide), 폴리에스테르(polyesther), 시안산 에스테르(cyanate ester), 에폭시/시안산 에스테르 혼합(epoxy/cyanate ester blends), 테플론(Teflon)등을 포함할 수 있다. 예를 들어, 절연 기판(101)은 폴리이미드 필름으로서 상업적으로 유통되는 캡톤(Kapton)을 포함할 수 있다.
The insulating substrate 101 may include a flexible substrate. For example, the insulating substrate 101 may be a flexible substrate including a transparent insulating material. For example, the insulating substrate 101 may be formed of a material selected from the group consisting of a phenolic resin, a glass cloth, a polyimide, a polyester, a cyanate ester, an epoxy / epoxy / cyanate ester blends, Teflon, and the like. For example, the insulating substrate 101 may include Kapton, which is commercially available as a polyimide film.

전극(103)은 절연 기판(101) 내에 배치될 수 있다. 예를 들어, 전극(103)은, 상면 및 하면이 각각, 상기 절연 기판(101)을 구성하는 플렉시블 필름에 의해 코팅될 수 있다. 전극(103)은 예를 들어, 투명한 도전성 재질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 전극(103)은 산화인듐주석(indium tin oxide, ITO), 그래핀 시트(graphene sheet), 탄소 나노튜브막(carbon nanotube layer), 실버나노와이어(silver nanowire), 실버 나노페이스트(silver nanopaste), 금속 나노클러스터의 표면 증착막(surface-implanted metallic nanocluster layer) 등을 포함할 수 있다. 도 1에서는 전극(103)이 단일 층으로 배치되는 것으로 도시되었으나, 다른 실시예들에서, 전극(103)은 절연 기판(101) 내에서 소정의 패턴을 갖도록 패터닝될 수 있다. 예를 들어, 전극(103)은 절연 기판(101) 내에서 복수의 라인 패턴 등으로 배열될 수 있다. 이와 같이, 전극(103)이 절연 기판(101)에 배치됨에 따라, 플렉시블 인쇄회로기판(flexible printed circuit board)이 형성될 수 있다.
The electrode 103 may be disposed in the insulating substrate 101. For example, the upper surface and the lower surface of the electrode 103 can be coated with a flexible film constituting the insulating substrate 101, respectively. The electrode 103 may comprise, for example, a transparent conductive material. For example, the electrode 103 may be formed of indium tin oxide (ITO), a graphene sheet, a carbon nanotube layer, a silver nanowire, a silver nanopaste silver nanopaste, a surface-implanted metallic nanocluster layer, and the like. Although electrodes 103 are shown as being arranged in a single layer in FIG. 1, in other embodiments, electrodes 103 may be patterned to have a predetermined pattern in insulating substrate 101. For example, the electrodes 103 may be arranged in the insulating substrate 101 in a plurality of line patterns or the like. As the electrode 103 is disposed on the insulating substrate 101, a flexible printed circuit board can be formed.

스페이싱 부재(200)는 절연 기판(101) 상에 배치될 수 있다. 스페이싱 부재(200)는 절연성 재질을 포함하고, 절연 기판(101) 상에 부착될 수 있다. 예를 들어, 스페이싱 부재(200)는 절연 기판(101)의 테두리에 인접하여 배치될 수 있다.
The spacing member 200 may be disposed on the insulating substrate 101. The spacing member 200 includes an insulating material and may be attached on the insulating substrate 101. For example, the spacing member 200 may be disposed adjacent to the rim of the insulating substrate 101. [

도전성 폴리머 층(300)은 스페이싱 부재(200) 상에 배치되어, 전극(103)이 포함된 절연 기판(101)에 마주할 수 있다. 도전성 폴리머 층(300)과 전극(103)은 스페이싱 부재(200)에 의해 소정의 거리로 이격될 수 있다. 도 1에 도시된 바와 같이, 도전성 폴리머 층(300)은 스페이싱 부재(200)에 의해서, 상기 전극(103)이 포함된 절연 기판(101)과 제1 거리(TH1)로 이격될 수 있다.
The conductive polymer layer 300 may be disposed on the spacer member 200 and may face the insulating substrate 101 including the electrode 103. [ The conductive polymer layer 300 and the electrode 103 may be spaced apart by a predetermined distance by the spacing member 200. As shown in FIG. 1, the conductive polymer layer 300 may be spaced apart from the insulating substrate 101 including the electrode 103 by a spacing member 200 at a first distance TH1.

연결 전극(310)은 도전성 폴리머 층(300)에 전기적으로 연결될 수 있다. 연결 전극(310)은 예를 들어, 투명한 도전성 재질을 포함할 수 있다. 실시예에 따라, 연결 전극(310)은 전압이 인가됨에 따라 압축 팽창되는 유연 전극(compliant electrode)을 포함할 수 있다.
The connection electrode 310 may be electrically connected to the conductive polymer layer 300. The connecting electrode 310 may comprise, for example, a transparent conductive material. According to an embodiment, the connection electrode 310 may include a compliant electrode that is compressed and expanded as voltage is applied.

도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 도전성 폴리머 층을 포함한 정전기력 기반 작동기에 전압이 인가되는 모습을 도시한 도면이다. 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일실시예에 따른 도전성 폴리머 층을 포함한 정전기력 기반 작동기에 전압이 인가되는 경우, 도전성 폴리머 층(300)이 절연 기판(101)을 향하여 휘어질 수 있다. 예를 들어, 절연 기판(101) 내에 배치된 전극(103)에는 제1 전압(V1)이 인가되고, 도전성 폴리머 층(300)에는 연결 전극(310)을 통하여 제2 전압(V2)이 인가되는 경우, 도전성 폴리머 층(300)과 전극(103) 사이에 인력이 작용할 수 있다. 예를 들어, 제1 전압(V1)은 양의 전압(또는 음의 전압)일 수 있고, 제2 전압(V2)은 접지 전압일 수 있다. 이러한 인력에 의해 도전성 폴리머 층(300)이 절연 기판(101)을 향하여 휘어질 수 있다. 예를 들어, 이러한 인력에 의해 도전성 폴리머 층(300) 중 스페이싱 부재(200)에 중첩하지 않는 부분이 절연 기판(101)을 향하여 오목하게 휘어질 수 있다.
FIG. 2 is a diagram illustrating a voltage applied to an electrostatic force based actuator including a conductive polymer layer according to an exemplary embodiment of the present invention. Referring to FIG. As shown in FIG. 2, when a voltage is applied to the electrostatic force based actuator including the conductive polymer layer according to an embodiment of the present invention, the conductive polymer layer 300 may be bent toward the insulating substrate 101. For example, the first voltage V1 is applied to the electrode 103 disposed in the insulating substrate 101 and the second voltage V2 is applied to the conductive polymer layer 300 through the connecting electrode 310 , Attraction between the conductive polymer layer 300 and the electrode 103 can be exerted. For example, the first voltage V1 may be a positive voltage (or negative voltage), and the second voltage V2 may be a ground voltage. The conductive polymer layer 300 can be bent toward the insulating substrate 101 by such a pulling force. For example, a portion of the conductive polymer layer 300 that does not overlap the spacing member 200 can be bent concavely toward the insulating substrate 101 by such a pulling force.

도 2에 도시된 바와 같이, 도전성 폴리머 층(300)의 일 부분이 인력에 의해 휘어지는 경우, 도전성 폴리머 층(300)과 전극(103) 간의 최단 이격 거리는 제2 거리(TH2)로 감소될 수 있다. 이때, 제2 거리(TH2)는 도 1에 도시된 제1 거리(TH1)보다 작을 수 있다.
2, when a part of the conductive polymer layer 300 is bent by attraction, the shortest distance between the conductive polymer layer 300 and the electrode 103 can be reduced to the second distance TH2 . At this time, the second distance TH2 may be smaller than the first distance TH1 shown in FIG.

이와 같이, 본 발명의 일실시예에 따른 도전성 폴리머 층을 포함한 정전기력 기반 작동기에 전압이 인가됨에 따라 도전성 폴리머 층(300)이 절연 기판(101)을 향하여 휘어지는 현상을 이용하면, 사용자에게 다양한 햅틱 효과를 제공할 수 있다. 예를 들어, 도전성 폴리머 층(300) 및 전극(103)에 반복적으로 전압을 인가 및 제거함으로써, 다양한 주파수로 진동하는 햅틱 효과를 제공할 수 있다. 또한, 도전성 폴리머 층(300)과 절연 기판(101)을 이격시키는 스페이싱 부재(200)의 수평 배치 간격을 다양하게 설정함으로써, 사용자가 느낄 수 있는 햅틱 제공 해상도를 미세하게 만들 수 있고, 그에 따라 햅틱 효과를 향상시킬 수 있다.
As described above, when the electrostatic force based actuator including the conductive polymer layer according to an embodiment of the present invention is bent and the conductive polymer layer 300 is bent toward the insulating substrate 101, various haptic effects Can be provided. For example, by repeatedly applying and removing the voltage to the conductive polymer layer 300 and the electrode 103, it is possible to provide a haptic effect that vibrates at various frequencies. In addition, by setting the horizontal arrangement interval of the spacing member 200 that separates the conductive polymer layer 300 from the insulating substrate 101 variously, it is possible to finely make the haptic providing resolution that the user can feel, The effect can be improved.

도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 도전성 폴리머 층을 포함한 정전기력 기반 작동기에 전압이 인가되는 모습을 도시한 도면이다. 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 다른 실시예에 따른 도전성 폴리머 층을 포함한 정전기력 기반 작동기는 두께가 얇고 연성이 뛰어난 플렉시블 기판(105) 및 그 내부에 배치되는 전극(107)을 포함할 수 있다. 이 경우, 전극(107)에 제1 전압(V1)이 인가되고, 도전성 폴리머 층(300)에 연결 전극(310)을 통하여 제2 전압(V2)이 인가되는 경우, 도전성 폴리머 층(300) 및 전극(107)의 사이에 인력이 작용하여 서로 가까워지도록 휘어질 수 있다. 예를 들어, 도전성 폴리머 층(300)의 일 부분이 플렉시블 기판(105)을 향하여 오목하게 휘어질 수 있다. 또한, 전극(107)이 포함된 플렉시블 기판(107)의 일 부분이 도전성 폴리머 층(300)을 향하여 볼록하게 휘어질 수 있다. 이에 따라, 도전성 폴리머 층(300)이 플렉시블 기판(107)에 이르는 최단 이격 거리는 제3 거리(TH3)로 감소될 수 있다. 예를 들어, 제3 거리(TH3)는 도 2에 도시된 제2 거리(TH2)보다 더 작을 수 있다.
FIG. 3 is a view showing a state where a voltage is applied to an electrostatic force based actuator including a conductive polymer layer according to another embodiment of the present invention. 3, an electrostatic force based actuator including a conductive polymer layer according to another embodiment of the present invention may include a flexible substrate 105 having a small thickness and flexibility, and an electrode 107 disposed therein have. In this case, when the first voltage V1 is applied to the electrode 107 and the second voltage V2 is applied to the conductive polymer layer 300 through the connection electrode 310, the conductive polymer layer 300 and / The attraction force is applied between the electrodes 107 so that they can be bent so as to be close to each other. For example, a portion of the conductive polymer layer 300 may be concavely curved toward the flexible substrate 105. In addition, a portion of the flexible substrate 107 including the electrode 107 can be bent convexly toward the conductive polymer layer 300. Accordingly, the shortest distance from the conductive polymer layer 300 to the flexible substrate 107 can be reduced to the third distance TH3. For example, the third distance TH3 may be smaller than the second distance TH2 shown in Fig.

도 4는 본 발명의 또 다른 일실시예에 따른 도전성 폴리머 층을 포함한 정전기력 기반 작동기의 단면을 도시한 도면이다. 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 도전성 폴리머 층을 포함한 정전기력 기반 작동기는 도전성 폴리머 층(300) 및 전극(103)의 사이에 유전층(150)이 배치되는 것을 제외하면, 도 1에 도시된 정전기력 기반 작동기와 실질적으로 동일하다.
4 is a cross-sectional view of an electrostatic force based actuator including a conductive polymer layer according to another embodiment of the present invention. 4, an electrostatic force based actuator including a conductive polymer layer according to another embodiment of the present invention includes a conductive polymer layer 300 and an electrode 103, except that the dielectric layer 150 is disposed between the electrodes 103 Is substantially the same as the electrostatic force based actuator shown in Fig.

절연 기판(101)은 플렉시블(flexible) 기판을 포함할 수 있다. 예를 들어, 절연 기판(101)은 투명한 절연 재질을 포함하는 플렉시블 기판일 수 있다. 예를 들어, 절연 기판(101)은 페놀 수지(phenolic resin), 유리 직물(glass cloth), 폴리이미드(polyimide), 폴리에스테르(polyesther), 시안산 에스테르(cyanate ester), 에폭시/시안산 에스테르 혼합(epoxy/cyanate ester blends), 테플론(Teflon)등을 포함할 수 있다.
The insulating substrate 101 may include a flexible substrate. For example, the insulating substrate 101 may be a flexible substrate including a transparent insulating material. For example, the insulating substrate 101 may be formed of a material selected from the group consisting of a phenolic resin, a glass cloth, a polyimide, a polyester, a cyanate ester, an epoxy / epoxy / cyanate ester blends, Teflon, and the like.

전극(103)은 절연 기판(101) 내부에 배치될 수 있다. 예를 들어, 전극(103)은 투명한 도전성 재질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 전극(103)은 산화인듐주석(indium tin oxide, ITO), 그래핀 시트(graphene sheet), 탄소 나노튜브막(carbon nanotube layer), 실버나노와이어(silver nanowire), 실버 나노페이스트(silver nanopaste), 금속 나노클러스터의 표면 증착막(surface-implanted metallic nanocluster layer) 등을 포함할 수 있다. 전극(103)은 절연 기판(101) 내에서 소정의 패턴을 갖도록 패터닝될 수 있다. 예를 들어, 전극(103)은 절연 기판(101) 내에서 복수의 라인 패턴, 패드 패턴 등으로 배열될 수 있다.
The electrode 103 may be disposed inside the insulating substrate 101. For example, the electrode 103 may comprise a transparent conductive material. For example, the electrode 103 may be formed of indium tin oxide (ITO), a graphene sheet, a carbon nanotube layer, a silver nanowire, a silver nanopaste silver nanopaste, a surface-implanted metallic nanocluster layer, and the like. The electrode 103 may be patterned so as to have a predetermined pattern in the insulating substrate 101. For example, the electrodes 103 may be arranged in a plurality of line patterns, pad patterns, and the like in the insulating substrate 101.

도 4에서는, 전극(103)이 단일 층으로 형성된 것으로 도시되었으나, 이는 예시적인 것으로서, 본 발명의 특징들에 따른 도전성 폴리머 층을 포함한 정전기력 기반 작동기에 포함되는 전극(103)이 이에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 전극(103)은 복수의 금속층이 적층된 구조를 가질 수 있다. 또한, 전극(103)은 절연 기판(101)의 사이에서 제1 전극과, 상기 제1 전극을 커버하는 절연층과, 상기 절연층 상에 배치되는 제2 전극을 포함하는 층상 구조를 갖도록 구성될 수도 있다. 이와 같이, 전극(103)이 절연 기판(101) 내에 배치됨에 따라, 플렉시블 인쇄회로기판(flexible printed circuit board, FPCB)이 형성될 수 있다.
Although the electrode 103 is shown as being formed in a single layer in Fig. 4, this is illustrative only, and the electrode 103 included in the electrostatic force based actuator including the conductive polymer layer according to the features of the present invention is not limited thereto . For example, the electrode 103 may have a structure in which a plurality of metal layers are stacked. The electrode 103 is configured to have a layered structure including a first electrode, an insulating layer covering the first electrode, and a second electrode disposed on the insulating layer between the insulating substrate 101 It is possible. As the electrode 103 is disposed in the insulating substrate 101, a flexible printed circuit board (FPCB) can be formed.

스페이싱 부재(200)는 절연 기판(101) 상에 배치될 수 있다. 스페이싱 부재(200)는 절연성 재질을 포함하고, 절연 기판(101) 상에 부착될 수 있다.
The spacing member 200 may be disposed on the insulating substrate 101. The spacing member 200 includes an insulating material and may be attached on the insulating substrate 101.

도전성 폴리머 층(300)은 스페이싱 부재(200) 상에 배치되어, 전극(103)이 포함된 절연 기판(101)에 마주할 수 있다. 도전성 폴리머 층(300)과 전극(103)은 스페이싱 부재(200)에 의해 소정의 거리로 이격될 수 있다.
The conductive polymer layer 300 may be disposed on the spacer member 200 and may face the insulating substrate 101 including the electrode 103. [ The conductive polymer layer 300 and the electrode 103 may be spaced apart by a predetermined distance by the spacing member 200.

연결 전극(310)은 도전성 폴리머 층(300)에 전기적으로 연결될 수 있다. 연결 전극(310)은 예를 들어, 투명한 도전성 재질을 포함할 수 있다.
The connection electrode 310 may be electrically connected to the conductive polymer layer 300. The connecting electrode 310 may comprise, for example, a transparent conductive material.

유전층(150)은 도전성 폴리머 층(300) 및 전극(103)의 사이에 배치될 수 있다. 유전층(150)은 낮은 유전상수를 갖는 재질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 유전층(150)은 공기, 이온 젤, 절연 젤, 전기유변유체 등을 포함할 수 있다. 이와 같이, 도전성 폴리머 층(300) 및 전극(103)의 사이에 비교적 낮은 유전상수를 갖는 유전층(150)이 배치됨으로써, 도전성 폴리머 층(300) 및 전극(103) 사이에 작용하는 인력의 세기를 증가시킬 수 있고, 그에 따라 햅틱 효과를 향상시킬 수 있다.
The dielectric layer 150 may be disposed between the conductive polymer layer 300 and the electrode 103. The dielectric layer 150 may comprise a material having a low dielectric constant. For example, dielectric layer 150 may include air, ionic gel, insulating gel, electrorheological fluid, and the like. The dielectric layer 150 having a relatively low dielectric constant is disposed between the conductive polymer layer 300 and the electrode 103 so that the strength of the attractive force acting between the conductive polymer layer 300 and the electrode 103 is And the haptic effect can be improved accordingly.

전술한 바와 같이, 본 발명에서 제안하고 있는 도전성 폴리머 층을 포함한 정전기력 기반 작동기에 따르면, 전극(103)이 포함된 플렉시블 기판(101)에 마주하도록 도전성 폴리머 층(300)을 배치시키고, 플렉시블 기판(101) 및 도전성 폴리머 층(300)을 스페이싱 부재(200)에 의해 소정의 간격으로 이격시킴으로써, 플렉시블 기판(101)의 전극(103)과 도전성 폴리머 층(300)에 전압이 인가될 때 발생하는 도전성 폴리머 층(300)의 휘어짐에 의해 햅틱 효과를 제공할 수 있다.
As described above, according to the electrostatic force based actuator including the conductive polymer layer proposed in the present invention, the conductive polymer layer 300 is disposed so as to face the flexible substrate 101 including the electrode 103, and the flexible substrate 101 and the conductive polymer layer 300 are spaced apart from each other by a spacing member 200 at a predetermined interval so that the conductivity of the electrode 103 of the flexible substrate 101 and the conductive polymer layer 300 The haptic effect can be provided by the warping of the polymer layer (300).

또한, 사용자가 접촉할 수 있는 도전성 폴리머 층(300)에 접지 전압(V2)이 인가됨에 따라 감전 위험 없이 사용상의 안정성을 증가시킬 수 있고, 도전성 폴리머 층(300)이 전기적으로 연결됨에 따라 절연 파괴되지 않으며 사전 팽창시키더라도 물리적인 손상이 감소하여 제품의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
In addition, since the ground voltage V2 is applied to the conductive polymer layer 300 that can be contacted by the user, the stability of use can be increased without the risk of electric shock, and as the conductive polymer layer 300 is electrically connected, It is possible to improve the reliability of the product by reducing physical damage even if it is pre-expanded.

나아가, 도전성 폴리머 층(300)과 플렉시블 기판(101)의 전극(103)에 전압이 인가됨에 따라 주파수에 관계없이 다양한 대역폭의 진동을 생성할 수 있고, 사용자가 느낄 수 있는 햅틱 제공 해상도를 향상시킬 수 있다.
Further, as voltage is applied to the conductive polymer layer 300 and the electrode 103 of the flexible substrate 101, vibrations of various bandwidths can be generated regardless of the frequency, and the haptic providing resolution that the user can feel is improved .

이상 설명한 본 발명은 본 발명이 속한 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 다양한 변형이나 응용이 가능하며, 본 발명에 따른 기술적 사상의 범위는 아래의 특허청구범위에 의하여 정해져야 할 것이다.The present invention may be embodied in many other specific forms without departing from the spirit or essential characteristics of the invention.

101, 105: 기판
103, 107: 전극
200: 스페이싱 부재
300: 도전성 폴리머 층
310: 연결 전극101, 105: substrate
103, 107: electrode
200: Spacing member
300: Conductive polymer layer
310: connecting electrode

Claims (8)

정전기력 기반 작동기로서,
플렉시블 기판(101);
상기 플렉시블 기판(101) 내에 배치되는 전극(103);
상기 전극(103)을 포함하는 상기 플렉시블 기판(101)에 마주하는 도전성 폴리머 층(300); 및
상기 플렉시블 기판(101) 및 상기 도전성 폴리머 층(300)의 사이에 배치되는 스페이싱 부재(200)를 포함하는 것을 특징으로 하는 도전성 폴리머 층을 포함한 정전기력 기반 작동기.
An electrostatic force based actuator comprising:
A flexible substrate 101;
An electrode 103 disposed in the flexible substrate 101;
A conductive polymer layer (300) facing the flexible substrate (101) including the electrode (103); And
And a spacer member (200) disposed between the flexible substrate (101) and the conductive polymer layer (300).
제1항에 있어서,
상기 전극(103) 및 도전성 폴리머 층(300)에 인가되는 전압에 의해 상기 전극(103) 및 상기 도전성 폴리머 층(300) 사이에 인력이 작용하여, 상기 도전성 폴리머 층(300)과 상기 플렉시블 기판(101) 간의 최단 이격 거리가 감소하는 것을 특징으로 하는, 도전성 폴리머 층을 포함한 정전기력 기반 작동기.
The method according to claim 1,
A force is exerted between the electrode 103 and the conductive polymer layer 300 by the voltage applied to the electrode 103 and the conductive polymer layer 300 so that the conductive polymer layer 300 and the flexible substrate 300 101) of the conductive polymer layer is reduced.
제1항에 있어서,
상기 전극(103)은, 상기 전극(103)의 상면 및 하면을 커버하는 플렉시블 필름에 의해 코팅되는 것을 특징으로 하는, 도전성 폴리머 층을 포함한 정전기력 기반 작동기.
The method according to claim 1,
Wherein the electrode (103) is coated with a flexible film covering the top and bottom surfaces of the electrode (103).
제1항에 있어서,
상기 도전성 폴리머 층(300)에 접지 전압을 인가하기 위한 연결 전극(310)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 도전성 폴리머 층을 포함한 정전기력 기반 작동기.
The method according to claim 1,
Further comprising a connection electrode (310) for applying a ground voltage to the conductive polymer layer (300).
제4항에 있어서,
상기 연결 전극(310)에는 접지 전압이 인가되는 것을 특징으로 하는, 도전성 폴리머 층을 포함한 정전기력 기반 작동기.
5. The method of claim 4,
Wherein the connecting electrode (310) is applied with a ground voltage. ≪ RTI ID = 0.0 > 41. < / RTI >
제1항에 있어서,
상기 플렉시블 기판(101) 및 도전성 폴리머 층(300) 사이에 배치되는 유전층(150)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 도전성 폴리머 층을 포함한 정전기력 기반 작동기.
The method according to claim 1,
Further comprising a dielectric layer (150) disposed between the flexible substrate (101) and the conductive polymer layer (300).
정전기력 기반 작동기로서,
플렉시블 기판(101);
상기 플렉시블 기판(101) 내에 배치되는 전극(103);
상기 플렉시블 기판(101)에 마주하는 도전성 폴리머 층(300); 및
상기 플렉시블 기판(101) 및 상기 도전성 폴리머 층(300)의 사이에 배치되는 스페이싱 부재(200)를 포함하되,
상기 전극(103) 및 도전성 폴리머 층(300)에 의해 형성된 전계에 따라, 상기 도전성 폴리머 층(300) 및 상기 플렉시블 기판(101)이 서로를 향하여 휘어지는 것을 특징으로 하는, 도전성 폴리머 층을 포함한 정전기력 기반 작동기.
An electrostatic force based actuator comprising:
A flexible substrate 101;
An electrode 103 disposed in the flexible substrate 101;
A conductive polymer layer (300) facing the flexible substrate (101); And
And a spacer member (200) disposed between the flexible substrate (101) and the conductive polymer layer (300)
Wherein the conductive polymer layer (300) and the flexible substrate (101) are bent toward each other according to an electric field formed by the electrode (103) and the conductive polymer layer (300) Actuator.
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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002026409A (en) 2000-07-07 2002-01-25 Matsushita Electric Ind Co Ltd Flexible piezoelectric element
JP2011222679A (en) 2010-04-07 2011-11-04 Daikin Ind Ltd Transparent piezoelectric sheet
JP2014515704A (en) 2011-03-07 2014-07-03 バイエル・マテリアルサイエンス・アクチェンゲゼルシャフト Multilayer composite with electroactive layer

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002026409A (en) 2000-07-07 2002-01-25 Matsushita Electric Ind Co Ltd Flexible piezoelectric element
JP2011222679A (en) 2010-04-07 2011-11-04 Daikin Ind Ltd Transparent piezoelectric sheet
JP2014515704A (en) 2011-03-07 2014-07-03 バイエル・マテリアルサイエンス・アクチェンゲゼルシャフト Multilayer composite with electroactive layer

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11696821B2 (en) 2021-03-31 2023-07-11 Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. Asymmetric electrode insulation for artificial muscles

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