KR101605554B1 - 개선된 먼지입자 클리닝장치 - Google Patents

Abstract

먼지입자에 수분을 공급하여 파티클채집부에서 반사되어 나오는 바람에 먼지입자가 휩쓸려 함께 빠져나오기 어렵게 하고 먼지입자의 친수력을 증가시켜 먼지입자가 쉽게 워터 커튼의 표면장력을 뚫고 들어갈 수 있어 먼지입자가 워터 커튼에 채집되는 효율이 향상하는 먼지입자 클리닝장치가 개시된다. 상기 먼지입자 클리닝장치는 본체부 상부의 공기흡입기 앞쪽 공간으로 분무되거나 증발된 물입자들을 공급하여 공기흡입기로 흡입되는 공기 중의 먼지입자로 수분이 공급될 수 있도록 하는 물입자공급수단을 더 포함하는 구성을 하고 있다.

Description

개선된 먼지입자 클리닝장치{Improved dust particle cleaning apparatus}

본 발명은 먼지입자 클리닝장치의 개선에 관한 것으로, 특히 워터 커튼을 이용하여 가습기능을 하면서 공기 중의 먼지를 제거하는 먼지입자 클리닝장치의 개선에 관한 것이다.

일반적으로 정밀기계 부품이나 전자제품을 만드는 공장에는 제품불량을 초래하는 먼지를 제거하기 위해 공장 내부에 먼지입자 클리닝장치를 설치한다.

종래의 먼지입자 클리닝장치와 관련하여 도 1과 2를 참조하여 설명하면, 등록번호 10-0953455호(발명자: 윤석인, 발명의 명칭: 먼지입자 클리닝장치, 이하 "선등록 발명"이라 함)의 등록특허공보에, 본체(100); 상기 본체(100)의 한 부분에 고정되며, 내측에는 클리닝워터(cleaning water)가 통과하는 관이 형성되는 제1수직프레임(200); 내측에 클리닝워터가 통과하는 관이 형성되며, 일단이 상기 제1수직프레임(200)의 타단부와 클리닝워터가 통과하도록 연결되며, 둘레의 하부에는 클리닝워터가 배출되는 배수홀(320)이 형성되어 있는 수평프레임(300); 상기 배수홀(320)을 통해 배출되는 클리닝워터의 낙하방향을 안내하면서 공기 중에 포함된 먼지입자를 제거하는 파티클채집부(400); 상기 파티클채집부(400)의 하부에 형성되며, 낙하된 클리닝워터에 포함된 먼지를 걸러내는 필터부(500); 상기 본체(100)의 내측에 구비되며, 상기 필터부(500)를 통과한 클리닝워터가 모이는 클리닝워터 체임버(chamber, 600); 상기 클리닝워터 체임버(600)의 일측벽에 공급관에 의해 연결되어 상기 클리닝워터 체임버(600)에 담긴 클리닝워터를 상기 제1수직프레임(200)의 내측을 통해 상부로 이동하도록 하는 구동부; 및 내측에 클리닝워터가 통과하는 관이 형성되며, 일단부가 상기 수평프레임(300)의 타단과 연결되되, 타측에 수직이게 세워지도록 구비되는 제2수직프레임(800)을 포함하여 이루어진 것을 개시하고 있다.

여기에서, 수평프레임(300)은 워터 커튼을 형성하기 위한 물을 공급하여 흘러내리도록 하기 위한 배수관의 역할을 하고, 제1, 제2수직프레임(200, 800)은 체임버(600)와 배수관 사이에 설치되어 체임버(600)의 클리닝워터를 배수관으로 공급하는 통로를 제공하는 공급관의 역할을 하면서 배수관을 본체부(100)에 지지하는 지지프레임의 역할을 한다.

또한, 선등록 발명은 제1제1수직프레임(200) 및 제2수직프레임(800)의 외측을 감싸는 케이싱(900)을 더 설치하고, 케이싱(900)의 한 부분에 먼지가 포함된 공기를 파티클채집부(400)의 방향으로 이동하도록 공기를 흡입하는 임펠러(920)를 설치하는 것,

공기 중의 먼지의 농도를 측정하는 먼지감지센서를 설치하고, 먼지감지센서에서의 먼지의 농도에 따라 먼지입자 클리닝장치의 작동여부를 제어할 수 있는 제어부(1000)를 설치하는 것을 더 개시하고 있고,

공장 내부의 디바이스 표면에 대전하고 있는 정전기의 전하를 역극성의 이온으로 중화시키는 이오나이저를 설치하는 것도 언급하고 있다.

미설명부호 520은 필터, 540은 필터 케이스, 700은 펌프를 가지는 구동부를 구동하기 위한 모터, 820은 수압 게이지, 840은 수압조절밸브를 각각 나타낸 것이다.

나머지 더 자세한 내용은 선등록 발명의 등록특허공보를 보면 자세히 알 수 있다. 이러한 선등록 발명의 내용은 여기에서 선등록 발명을 인용하는 것에 의해 본 발명의 종래기술을 설명하는 본 발명의 명세서와 도면 일부로 통합된다.

상기와 같은 구성을 하는 선등록 발명의 먼지입자 클리닝장치는, 본 발명자가 개발하여 특허 받은 것으로, 공장 내부의 공기 중에 남아 있는 미세입자 등의 먼지를 효과적으로 제거할 수 있고, 순환식에 의해 공장 내부의 먼지를 제거할 수 있고, 공장 내부의 기계 또는 부품에 발생할 수 있는 정전기를 방지할 수 있는 여러 가지 뛰어난 효과가 있지만, 더 나은 효과를 위한 개선의 여지가 있음을 본 발명자가 알아차렸다.

본 발명자는 먼지입자 클리닝장치의 효율을 향상시키기 위한 방법을 연구해오면서, 공기 중에 포함된 먼지입자들은 매우 가벼워서 공기를 흡입하는 장치를 이용하여 먼지입자가 포함된 공기를 강제로 파티클채집부로 보내더라도 많은 먼지입자들이 파티클채집부에서 반사되어 나오는 바람에 휩쓸려 함께 빠져나오기 때문에 먼지입자의 채집효율을 높이는 데 한계가 있음을 알게 되었다.

또한, 본 발명자는 건조한 상태의 작은 먼지입자들은 파티클채집부에 형성된 워터 커튼의 표면장력 때문에 클리닝워터에 쉽게 채집되지 못하게 되는 문제가 있음도 알게 되었다.

본 발명의 목적은 워터 커튼을 이용하는 먼지입자 클리닝장치의 먼지입자 채집효율을 더욱 향상시키는 데에 있다.

본 발명의 다른 목적은 워터 커튼을 이용하는 먼지입자 클리닝장치에서 강제송풍에 의한 먼지입자의 채집효율을 향상시키는 데 있다.

본 발명의 다른 목적은 워터 커튼을 이용하는 먼지입자 클리닝장치에서 워터 커튼에서의 먼지입자의 채집효율을 향상시키는 데 있다.

본 발명에 따른 먼지입자 클리닝장치는 내부에 클리닝워터가 저장될 수 있는 체임버(chamber)가 마련되어 있는 본체부, 상기 본체부 상부에 배치되고 배수홀이 형성되어 있는 배수관, 상기 체임버와 상기 배수관 사이에 설치되어 상기 체임버의 클리닝워터를 상기 배수관으로 공급하는 통로를 제공하는 공급관을 가지며 상기 배수관을 상기 본체부에 지지하는 지지프레임, 상기 체임버의 상기 클리닝워터를 상기 공급관을 통해 배수관으로 공급하기 위한 펌프, 상기 배수홀에서 배출되는 상기 클리닝워터가 워터 커튼을 형성하며 흘러내리도록 안내하면서 공기 중에 포함된 먼지입자를 제거하는 파티클채집부, 전원 공급을 위한 전원부 및 상기 파티클채집부와 상기 체임버 사이에 설치되고 상기 파티클채집부에서 흘러내린 상기 클리닝워터에 포함된 먼지입자를 걸러주기 위한 필터를 포함하여 구성된 먼지입자 클리닝장치에서, 상기 지지프레임에 지지가 되어 공장 내부의 공기를 흡입하여 상기 워터 커튼을 향해 배출하는 공기흡입기; 및 상기 먼지입자 클리닝장치의 적어도 한 부분에 설치되고 상기 본체부 상부의 상기 공기흡입기 앞쪽 공간으로 분무되거나 증발된 물입자들을 공급하여 상기 공기흡입기로 흡입되는 공기 중의 상기 먼지입자로 수분이 공급될 수 있도록 하는 물입자공급수단을 더 포함하는 구성을 하고 있다.

상기 물입자공급수단은, 상기 본체부, 상기 지지프레임 및 상기 배수관 중 적어도 하나에 설치되고 물을 분무하기 위한 노즐과 체임버에 연결되어 상기 노즐로 상기 분무하기 위한 물의 공급 통로를 제공하는 호스 및 상기 체임버의 물을 호스를 통해 상기 노즐로 압력수를 제공하기 위한 분무용 펌프를 포함하는 것이 바람직하다.

상기 공기흡입기는 상기 파티클채집부의 좌우 중심부로 갈수록 점점 멀어지게 그리고 좌우 대칭으로 배치될 수 있다.

상기 파티클채집부에 복수의 주름 또는 요철을 형성하여 상기 워터 커튼에 주름 또는 요철이 형성되게 할 것이 바람직하다.

상기 공기흡입기는 상기 파티클채집부의 전후 양면에 1열에 복수개씩 연결한 것을 상하로 간격을 두고 2열 이상으로 설치한 것이 바람직하다.

상기 지지프레임의 외측을 감싸는 케이싱과, 상기 케이싱에서 방전으로 발생한 이온에 의해 공장 내부의 디바이스 표면에 대전하고 있는 정전기의 전하를 역극성의 이온으로 중화시키는 이오나이저를 더 포함하여 이루어질 수 있다.

때에 따라, 본 발명에 따른 먼지입자 클리닝장치는 내부에 클리닝워터가 저장될 수 있는 체임버가 마련되어 있는 본체부, 상기 본체부 상부에 배치되고 배수홀이 형성되어 있는 배수관, 상기 체임버와 상기 배수관 사이에 설치되어 상기 체임버의 클리닝워터를 상기 배수관으로 공급하는 통로를 제공하는 공급관을 가지며 상기 배수관을 상기 본체부에 지지하는 지지프레임, 상기 체임버의 상기 클리닝워터를 상기 공급관을 통해 배수관으로 공급하기 위한 펌프, 상기 배수홀에서 배출되는 상기 클리닝워터가 워터 커튼을 형성하며 흘러내리도록 안내하면서 공기 중에 포함된 먼지입자를 제거하는 파티클채집부, 전원공급을 위한 전원부 및 상기 파티클채집부와 상기 체임버 사이에 설치되고 상기 파티클채집부에서 흘러내린 상기 클리닝워터에 포함된 먼지입자를 걸러주기 위한 필터를 포함하여 구성된 먼지입자 클리닝장치에서, 상기 파티클채집부에 복수의 주름 또는 요철을 형성하여 상기 워터 커튼에 주름 또는 요철이 형성되게 한 것을 포함하는 구성을 가질 수 있다.

본 발명에 의하면, 공기흡입기로 흡입되는 공기 중의 먼지입자들에 수분이 공급되어 먼지입자의 무게가 증가하고, 이에 따라 먼지입자의 방향전환이 어렵게 되어 파티클채집부에서 반사되어 나오는 바람에 휩쓸려 함께 빠져나오기 어렵게 되어 먼지입자가 워터 커튼에 채집되는 효율이 향상한다.

그뿐만 아니라, 수분을 머금은 먼지입자는 건조한 먼지입자에 비해 친수력이 뛰어나기 때문에 쉽게 워터 커튼의 표면장력을 뚫고 들어갈 수 있어 먼지입자가 워터 커튼에 채집되는 효율이 향상한다.

또한, 본 발명에 따르면, 파티클채집부의 주름 또는 요철에 의해 워터 커튼의 표면적이 증가함에 따라 먼지입자가 워터 커튼에 채집되는 효율이 향상한다.

그뿐만 아니라, 파티클채집부에 형성되는 주름 또는 요철은 주름 또는 요철이 있는 워터 커튼을 형성하여 파티클채질부의 표면으로 입사되는 바람의 입사각도를 줄여주고 먼지입자가 포집될 수 있는 표면적을 증가하여주기 때문에 먼지입자의 포집이 쉬워진다.

도 1은 종래의 먼지입자 클리닝장치의 일례를 나타낸 분리사시도,
도 2는 도 1의 변형 예를 나타낸 측면도,
도 3은 본 발명에 따른 개선된 먼지입자 클리닝장치의 사시도,
도 4는 도 3 먼지입자 클리닝장치의 측면도,
도 5는 물입자공급수단을 설명하기 위한 블록도,
도 6은 노즐의 다른 설치 예를 나타낸 도면,
도 7과 8은 본 발명에 따른 먼지입자 클리닝장치의 다른 예를 각각 나타낸 사시도,
도 9는 주름의 모양을 나타낸 단면도,
도 10은 공기흡입기의 변형된 설치 예를 설명하기 위한 평면도이다.

이하, 첨부된 도면을 참고하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세하게 설명한다.

도 3은 본 발명에 따른 개선된 먼지입자 클리닝장치의 사시도이고, 도 4는 도 3 먼지입자 클리닝장치의 측면도이고, 도 5는 물입자공급수단을 설명하기 위한 블록도이다.

도 3과 4를 참조하면, 본 발명에 따른 개선된 먼지입자 클리닝장치(100a)는 내부에 클리닝워터가 저장되는 본체부(100)를 가진다. 본체부(100) 아랫부분에는 바퀴(102)가 설치되어 있다. 이에 따라 본 발명에 따른 먼지입자 클리닝장치(100a)는 먼지가 많이 발생하는 장소로 쉽게 이동시켜 사용할 수 있고, 물을 보충할 수 있는 장소 등으로도 쉽게 이동시킬 수 있다.

본체부(100)의 상방으로 앞의 도 1을 통해 설명한 제1, 제2수직프레임과 수평프레임의 외측을 감싸는 케이싱(900)이 설치되어 있고, 좌, 우측 및 상측 케이싱(900) 내측으로 워터 커튼을 형성하여 공기 중의 먼지입자를 채집하기 위한 파티클채집부(400)가 배치되어 있다. 이러한 파티클채집부(400)는 천이나 비닐 또는 합성수지판 등을 넓게 펼친 상태로 고정하여 사용하면 된다.

파티클채집부(400) 전후 양 측면에는 케이싱(900)에 공기흡입기(930)가 설치되어 있다. 이 공기흡입기(930)는 공장 내부의 공기를 흡입하여 파티클채집부(400)에 형성되는 워터 커튼을 향해 배출하는 역할을 하는 것으로 케이싱(900)에 지지가 되어 있다. 이러한 공기흡입기(930)는 파티클채집부(400)의 전후 양면에 1열에 복수 개씩 연결하여 상하로 간격을 두고 2열 이상으로 설치하여 공장 내부의 상층부공기와 하층부공기를 골고루 흡입하여 파티클채집부(400) 쪽으로 배출하는 것이 바람직하다. 공기흡입기(930)로는 실내공기를 외부로 배출하는 데 사용되는 팬 등을 이용하면 된다. 공기흡입기(930)에서 흡입된 공기는 각각 마주하는 파티클채집부(400)를 향해 분출된 후 화살표로 나타낸 바와 같이 각 공기흡입기(930) 아래쪽의 빈 공간으로 각각 빠져나온다.

같은 높이로 배치된 전후 양측의 공기흡입기(930)는 연결부재(932)를 통해 양 측면 중앙부가 서로 연결된 상태로 연결부재(932)를 통해 케이싱(900)에 지지가 되어 있다.

본 발명에 따른 개선된 먼지입자 클리닝장치(100a)는 물입자공급수단(1100)을 가진다. 이 물입자공급수단(1100)은 본체부(100) 상부의 공기흡입기(930) 앞쪽 공간으로 물입자들을 공급하기 위한 것으로, 노즐(1110)을 가진다. 노즐(1110)은 바람직하게 케이싱(900) 상단에 설치되며 상단 중앙부에 설치된다. 이러한 노즐(1110)의 설치 위치와 개수는 바뀔 수 있다. 본체부(100) 상부의 공기흡입기(930) 앞쪽 공간에 될 수 있으면 균일하게 물입자들을 분무할 수 있는 것이면 충분하다다.

노즐(1110)은 케이싱(900) 내부로 배치되는 호스를 통해 분무용 펌프(1120)에 연결되어 있다. 분무용 펌프(1120)는 체임버(1130)에 연결되어 체임버(1130)의 물을 노즐(1110)로 공급한다. 체임버(1130)로는 파티클채집부(400)로 물을 공급하기 위한 클리닝워터가 저장된 내부의 체임버를 그대로 이용하여도 되고 별개로 구성하여도 된다.

그 외의 나머지 필터부 등의 내부 구성은 도 1을 통해서 설명한 것과 같이 구성하면 되고, 본 발명의 선행기술로 언급한 선등록 발명의 명세서 및 도면에 기재된 것과 같이하면 된다.

도 5를 참조하면, 바람직하게 물입자공급수단(1100)은 분무용 펌프(1120)를 시간 간격을 두고 또는 습도계(1140)에서 측정되는 습도가 낮을 때에만 작동시킬 수 있도록 하기 위한 제어부(1150)를 더 갖춘다. 이렇게 하는 경우, 노즐(1110)을 통해 분무되는 물의 양을 작게 할 수 있고, 공장 내부의 습도를 적정 수준으로 유지하는 데에도 도움이 된다. 제어부(1150)로는 도 1을 통해 설명한 제어부(1000)에 통합하여 구성하는 것이 바람직하지만, 별도로 구성될 수 있다.

때에 따라 물입자공급수단(1100)으로는 노즐(1110)을 이용하여 물을 분무하는 대신에 본체(100)의 상면에 증발조를 설치하고, 이 증발조에 수용된 물을 가열수단으로 가열하여 증발시키는 것, 케이싱(900) 상단부에서 초음파를 이용하여 물입자를 분무하는 가습기를 설치하는 것도 이용될 수 있다.

그 외에 케이싱(900)에는 선등록 발명에서 언급한 바와 같이 방전으로 발생한 이온에 의해 공장 내부의 디바이스 표면에 대전하고 있는 정전기의 전하를 역극성의 이온으로 중화시키는 이오나이저(950)를 더 설치하여둘 수 있다. 이러한 이오나이저(950)로는 시중에 판매되고 있는 공지된 이오나이저를 이용하면 되므로, 여기에서 자세히 설명하지 않는다.

그 외에 공기흡입기(930), 물입자공급수단(1100), 이오나이저(950), 클리닝워터를 공급하기 위한 펌프나 각종 게이지 등에 필요한 전원을 공급하고 제어하기 위한 전원공급 및 제어부(1160)는 본체부(100)의 한쪽 측면에 설치하면 된다. 이 전원공급 및 제어부(1160)는 물입자공급수단(1100)의 제어부(1150)의 역할을 함께 수행할 수 있다.

도 6은 노즐의 다른 설치 예를 나타낸 도면이다.

때에 따라 공기흡입기(930)는 앞의 실시 예와는 달리 케이싱 없이 제1, 제2수직프레임(200, 800)에 직접 설치될 수 있고, 파티클채집부(400)의 중간 높이에 또는 도 2에서 나타낸 것과 같이 파티클채집부(400) 상단에 1개만 설치될 수 있다. 또한, 체임버(600)와 배수관의 역할을 하는 수평프레임(300) 사이에 설치되어 체임버(600)의 클리닝워터를 배수관의 역할을 하는 수평프레임(300)으로 공급하는 통로를 제공하는 공급관을 가지며 수평프레임(300)을 본체부(100)에 지지하는 지지프레임의 역할을 하는 제1, 제2수직프레임(200, 800)의 상단에 노즐(1110)을 각각 설치하고, 체임버(600)의 클리닝워터를 분무용 펌프(1120)와 호스(1115)를 이용해 노즐(1110)로 공급하여 파티클채집부(400)의 좌우 양측에서 물을 분사하도록 할 수 있다. 이 때 한쪽의 노즐(1110)은 파티클채집부(400) 앞쪽으로 다른 한쪽의 노즐(1110)은 파티클채집부(400) 뒤쪽으로 분사하도록 할 수 있다.

나머지는 앞에서 설명한 것과 같다.

도 7과 8은 본 발명에 따른 먼지입자 클리닝장치의 다른 예를 각각 나타낸 사시도이다.

때에 따라 파티클채집부(400)에는 주름(410)을 형성하여 파티클채집부(400)의 표면에 주름을 가지는 워터 커튼이 형성되게 할 수 있다. 이렇게 하면, 먼지입자가 포집될 수 있는 워터 커튼의 표면적이 증가되어 공기흡입기(930)를 사용하지 않는 경우에도 먼지입자의 포집효율이 향상한다. 뿐만 아니라, 공기흡입기(930)를 사용하는 경우에는 공기흡입기(930)로부터 흡입된 공기가 입사되는 각도를 줄일 수 있어 먼지입자의 포집효율을 더욱 향상시킬 수 있다.

이때 주름(410)은 도 7에 나타낸 바와 같이 세로방향으로 배치되도록 하여 파티클채집부(400)를 구성할 수 있다. 이렇게 주름(410)을 세로방향으로 하여 만드는 경우, 주름(410)의 크기를 크게 하고 피치를 작게 하더라도 클리닝워터가 원활하게 파티클채집부(400)를 따라 흘러내릴 수 있다. 이와 같이 주름(410)을 형성하는 경우 공기흡입기(930)에서 배출된 공기는 주름(410) 사이의 좁은 골을 따라 내려가다가 워터 커튼에 쉽게 포집될 수 있게 된다.

때에 따라 주름(410)은 도 8에 나타낸 바와 같이 가로방향으로 배치되도록 하여 파티클채집부(400)를 구성할 수 있다. 이 경우 주름(410)의 크기를 수직방향의 것보다는 상대적으로 작게 형성하여 파티클채집부(400)를 구성하는 것이 바람직하다.

그리고 주름(410)은 파티클채집부(400) 전체 면에 걸쳐서 형성될 수도 있고 구역을 나누어서 일부 구역에만 형성될 수 있다. 또한, 주름(410)이 형성된 구역과 형성되지 않은 구역을 교대로 반복하여 배치하는 것도 가능함은 물론이다.

나머지는 도 3 내지 5를 통해 설명한 것과 같다.

도 9는 파티클채집부에 형성되는 주름 모양의 예들을 나타낸 단면도이다.

파티클채집부(400)에 형성되는 주름(410)은 도 9(a)에 나타낸 바와 같이 톱니모양으로 형성하거나, 도 9(b)에 나타낸 바와 같이 두 주름(410) 사이의 입구(412)보다 입구(412) 안쪽의 내부 공간(414)이 더 넓은 형태의 주름으로 형성할 수 있다.

도 10은 공기흡입기의 변형된 설치 예를 설명하기 위한 평면도이다.

때에 따라 파티클채집부(400)의 전면과 후면으로 배치되는 공기흡입기(930)는 도 10에 나타낸 바와 같이 파티클채집부(400)의 좌우 중앙부로 갈수록 점점 벌어지게 그리고 좌우 대칭으로 설치될 수 있다. 이 경우, 왼쪽의 공기흡입기(930)에서 배출되는 공기와 오른쪽의 공기흡입기(930)에서 배출되는 공기가 서로 만나기 때문에 파티클채집부(400) 앞에서 난류가 생기게 되어 먼지입자의 포집효율이 향상된다.

나머지는 도 3 내지 5를 통해 설명한 것과 같다.

본 발명의 바람직한 실시 예에서는 파티클재칩부에 주름을 형성하는 것을 예시하여 설명하였으나, 주름 대신 파티클재칩부 표면에 홈 또는 돌기 구조를 형성하여 파티클채집부에 의해 형성되는 워터 커튼이 요철부를 가지도록 하여 주름을 형성할 때와 비슷한 효과를 얻을 수 있음을 알 수 있다. 이 역시 본 발명의 범위에 포함된다.

본 발명은 워터 커튼을 이용하여 공장 내의 먼지입자를 제거하는 먼지입자 포집효율이 뛰어난 먼지입자 클리닝장치를 만드는 데 이용된다.

400: 파티클채집부 410: 주름
1100: 물입자 공급수단 1110: 노즐
1120: 분무용 펌프

Claims (6)

1. 내부에 클리닝워터가 저장될 수 있는 체임버가 마련되어 있는 본체부, 상기 본체부 상부에 배치되고 배수홀이 형성되어 있는 배수관, 상기 체임버와 상기 배수관 사이에 설치되어 상기 체임버 내부의 클리닝워터를 상기 배수관으로 공급하는 통로를 제공하는 공급관을 가지며 상기 배수관을 상기 본체부에 지지하는 지지프레임, 상기 체임버 내부의 상기 클리닝워터를 상기 공급관을 통해 상기 배수관으로 공급하기 위한 펌프, 상기 배수홀에서 배출되는 상기 클리닝워터가 워터 커튼을 형성하며 흘러내리도록 안내하면서 공기 중에 포함된 먼지입자를 제거하는 파티클채집부, 전원공급을 위한 전원부 및 상기 파티클채집부와 상기 체임버 사이에 설치되고 상기 파티클채집부에서 흘러내린 상기 클리닝워터에 포함된 먼지입자를 걸러주기 위한 필터를 포함하여 구성된 먼지입자 클리닝장치에서,
   상기 파티클채집부는 천이나 비닐 또는 합성수지판으로 되고, 전후 양면에 각각 상기 클리닝워터가 상기 워터 커튼을 형성하며 흘러내리도록 안내하고,
   상기 지지프레임에 지지가 되어 공장 내부의 공기를 흡입하여 상기 워터 커튼을 향해 배출하는 공기흡입기;
   상기 먼지입자 클리닝장치의 적어도 한 부분에 설치되고 상기 공기흡입기 앞쪽 공간으로 분무되거나 증발된 물입자들을 공급하여 상기 공기흡입기로 흡입되는 공기 중의 상기 먼지입자로 수분이 공급될 수 있도록 하는 물입자공급수단;
   상기 지지프레임의 외측을 감싸는 케이싱; 및
   상기 케이싱에 설치되어 방전으로 발생한 이온에 의해 공장 내부의 디바이스 표면에 대전하고 있는 정전기의 전하를 역극성의 이온으로 중화시키는 이오나이저를 더 포함하여 구성되고,
   상기 공기흡입기는 1열에 복수 개씩 연결된 상태로 상기 파티클채집부의 전후 양면 각각에 상하로 간격을 두고 2열 이상으로 설치되어 상기 파티클채집부의 전후 양면 각각에 형성된 상기 워터 커튼을 향해 흡입한 공기를 배출하도록 이루어진 것을 특징으로 하는 먼지입자 클리닝장치.
2. 내부에 클리닝워터가 저장될 수 있는 체임버가 마련되어 있는 본체부, 상기 본체부 상부에 배치되고 배수홀이 형성되어 있는 배수관, 상기 체임버와 상기 배수관 사이에 설치되어 상기 체임버 내부의 클리닝워터를 상기 배수관으로 공급하는 통로를 제공하는 공급관을 가지며 상기 배수관을 상기 본체부에 지지하는 지지프레임, 상기 체임버 내부의 상기 클리닝워터를 상기 공급관을 통해 상기 배수관으로 공급하기 위한 펌프, 상기 배수홀에서 배출되는 상기 클리닝워터가 워터 커튼을 형성하며 흘러내리도록 안내하면서 공기 중에 포함된 먼지입자를 제거하는 파티클채집부, 전원공급을 위한 전원부 및 상기 파티클채집부와 상기 체임버 사이에 설치되고 상기 파티클채집부에서 흘러내린 상기 클리닝워터에 포함된 먼지입자를 걸러주기 위한 필터를 포함하여 구성된 먼지입자 클리닝장치에서,
   상기 파티클채집부는 천이나 비닐 또는 합성수지판으로 되고, 전후 양면에 각각 상기 클리닝워터가 상기 워터 커튼을 형성하며 흘러내리도록 안내하고,
   상기 지지프레임에 지지가 되어 공장 내부의 공기를 흡입하여 상기 워터 커튼을 향해 배출하는 공기흡입기;
   상기 먼지입자 클리닝장치의 적어도 한 부분에 설치되고 상기 공기흡입기 앞쪽 공간으로 분무되거나 증발된 물입자들을 공급하여 상기 공기흡입기로 흡입되는 공기 중의 상기 먼지입자로 수분이 공급될 수 있도록 하는 물입자공급수단;
   상기 지지프레임의 외측을 감싸는 케이싱; 및
   상기 케이싱에 설치되어 방전으로 발생한 이온에 의해 공장 내부의 디바이스 표면에 대전하고 있는 정전기의 전하를 역극성의 이온으로 중화시키는 이오나이저를 더 포함하여 구성되고,
   상기 공기흡입기는 1열에 복수개씩 연결된 상태로 상기 파티클채집부의 전후 양면 각각에 상하로 간격을 두고 2열 이상으로 설치되어 상기 파티클채집부의 전후 양면 각각에 형성된 상기 워터 커튼을 향해 흡입한 공기를 배출하도록 이루어지고,
   상기 공기흡입기는 상기 파티클채집부의 좌우 양측에서 중앙부로 갈수록 점점 벌어지게 설치되어 중앙부 왼쪽의 상기 공기흡입기에서 배출되는 공기와 중앙부 오른쪽의 상기 공기흡입기에서 배출되는 공기가 서로 만나 상기 파티클채집부 앞에서 난류가 생기도록 한 것을 특징으로 하는 먼지입자 클리닝장치.
3. 제1항 또는 제2항에서, 상기 파티클채집부에 복수의 주름 또는 요철을 형성하여 상기 워터 커튼에 주름 또는 요철이 형성되게 한 것을 특징으로 하는 먼지입자 클리닝장치.
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