KR101594307B1 - Apparatus For Measuring Transmission Axis Of Polarizer - Google Patents

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Abstract

본 발명에 따르면, 편광기(10)의 투과축(RX)을 측정하기 위한 투과축 측정장치에 있어서, 일방향으로 평행한 입사광을 발산하는 광원(110); 상기 광원(110)과 대향하는 상기 입사광의 광축선상에 배치되며, 정방형의 형상을 갖는 편광빔스플리터(120); 상기 편광빔스플리터(120)의 하부에 배치되어 편광빔스플리터(120)의 수직축(L1)을 중심으로 편광빔스플리터(120)를 수평회전시키는 각도조절메커니즘(130); 상기 편광빔스플리터(120)와 대향하는 상기 광축선상에 배치되고, 상기 편광기(10)의 둘레가 장착되어 상기 편광기(10)가 수직배치된 상태에서 입사면이 상기 편광빔스플리터(120)를 대향하도록 위치를 고정시키며, 상기 입사광의 광축을 중심으로 편광기(10)를 수직회전시키는 회전메카니즘(140); 상기 회전메카니즘(140)과 대향하는 상기 광축선상에 배치되어 상기 회전메카니즘(140)을 투과하여 편광된 입사광을 집중시키는 집속렌즈(150); 및 상기 집속렌즈(150)와 대향하는 상기 광축선상에 배치되고, 상기 집속렌즈(150)를 투과하여 집중된 입사광의 광량을 측정하는 광검출기(160);를 포함하는 편광기의 투과축 측정장치를 개시한다.According to the present invention, there is provided a transmission axis measuring apparatus for measuring a transmission axis RX of a polarizer 10, comprising: a light source 110 for emitting incident light parallel to one direction; A polarizing beam splitter 120 disposed on an optical axis of the incident light facing the light source 110 and having a square shape; An angle adjustment mechanism 130 disposed below the polarization beam splitter 120 to horizontally rotate the polarization beam splitter 120 about the vertical axis L1 of the polarization beam splitter 120; Wherein the polarizing beam splitter 120 is disposed on the optical axis line facing the polarizing beam splitter 120 and has an incident surface facing the polarizing beam splitter 120 in a state in which the polarizer 10 is mounted around the polarizer 10, A rotation mechanism 140 for vertically rotating the polarizer 10 about the optical axis of the incident light; A focusing lens 150 disposed on the optical axis line facing the rotation mechanism 140 and focusing the incident light polarized by the rotation mechanism 140; And a photodetector (160) disposed on the optical axis line facing the focusing lens (150) and measuring the amount of incident light that is transmitted through the focusing lens (150) do.

Description

편광기의 투과축 측정장치{Apparatus For Measuring Transmission Axis Of Polarizer}[0001] The present invention relates to an apparatus for measuring a transmission axis of a polarizer,

본 발명은 편광기의 투과축 측정장치 및 이를 이용한 편광기의 투과축 측정방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 정방형의 편광빔스플리터를 이용하여 0.1도 이하의 오차로 편광기의 투과축을 정밀하게 측정할 수 있는 편광기의 투과축 측정장치 및 이를 이용한 편광기의 투과축 측정방법에 관한 것이다.
The present invention relates to an apparatus for measuring the transmission axis of a polarizer and a transmission axis measuring method using the same, and more particularly, to a transmission axis measuring apparatus and method for measuring a transmission axis of a polarizer using a square polarizing beam splitter To a transmission axis measuring apparatus of a polarizer and a transmission axis measuring method of the polarizer using the same.

일반적으로 편광기는 이를 통과하는 전자기파 신호의 특정한 편광방향 성분만을 선택적으로 투과시키는 광학기기로서, 투과되는 편광성분은 편광기의 투과축에 의해서 결정되며, 투과축과 나란한 방향으로 진동하는 전자기파 성분만이 에너지 손실없이 투과되고 나머지 전자기파 성분들은 편광기의 표면에 반사되거나 편광기 내부에 흡수되어 소멸된다.In general, a polarizer is an optical device that selectively transmits only a specific polarization direction component of an electromagnetic wave signal passing through it. The transmitted polarized light component is determined by the transmission axis of the polarizer, and only an electromagnetic wave component oscillating in a direction parallel to the transmission axis is energized And the remaining electromagnetic wave components are reflected on the surface of the polarizer or absorbed into the polarizer and are destroyed.

이러한 편광기는 특정한 방향으로 진동하는 전자기파 신호만을 추출해내는 응용 분야에서 사용되며, 가장 흔한 예로서 액정 TV나 모니터 등이 있다. 또한, 좀 더 특화된 응용 분야로는 플라즈마로부터 방출되는 편광신호를 측정하여 플라즈마 내부에 존재하는 전기장 또는 자기장의 방향을 알아내는 것으로서 자기 차폐 핵융합 실험장치 등에서 사용되고 있다.These polarizers are used in applications where only electromagnetic wave signals oscillating in a specific direction are extracted. The most common examples are liquid crystal TVs and monitors. In addition, more specialized applications are to measure the polarized signal emitted from the plasma to determine the direction of the electric field or magnetic field existing in the plasma, and it is used in a magnetic shielding fusion experiment device or the like.

여기서, 편광기를 사용하기 위해서는 사용하고자 하는 편광기의 투과축을 알아야 하며, 특히 플라즈마 계측 분야에서 사용되는 편광기의 투과축은 적어도 1도 이하의 정밀도로 결정되어져야 한다.Here, in order to use the polarizer, it is necessary to know the transmission axis of the polarizer to be used, and in particular, the transmission axis of the polarizer used in the plasma measurement field should be determined with an accuracy of at least 1 degree.

편광기의 투과축을 결정하는 가장 기본적인 접근법은 Malus 법칙이라는 것을 이용하는데, 도 1에는 이러한 Malus 법칙을 적용하여 편광기의 투과축을 측정하기 위한 장치 셋업이 도시되어 있다.The most basic approach for determining the transmission axis of a polarizer is based on the Malus law, which is illustrated in FIG. 1 for a device setup for measuring the transmission axis of a polarizer using such a Malus law.

도 1을 참고하면, 상기 장치 셋업은 아래의 [수식 1]으로 표현된다.
Referring to FIG. 1, the device setup is expressed by Equation 1 below.

[수학식 1][Equation 1]

I(θ) = I(O)cos2θ
I (?) = I (O) cos 2 ?

여기서, I(O)는 입사 편광의 세기, I(θ)는 편광기를 투과한 후의 입사광의 세기이며, θ는 측정하고자 하는 편광기의 투과축이 된다.Where I (O) is the intensity of the incident polarized light, I () is the intensity of the incident light after passing through the polarizer, and [theta] is the transmission axis of the polarizer to be measured.

현실적인 문제는 이러한 측정을 위해서는 편광 방향을 정확히 아는 선형편광원이 필요하다는 것이며, 투과축 측정에서 요구되는 정확도와 동일한 정확도로 입력 선형 편광의 방향이 미리 정해져야 한다.A real problem is that for this measurement a linear polarizer is needed which knows the polarization direction correctly and the direction of the input linear polarizer must be pre-determined with the same accuracy as the accuracy required for the transmission axis measurement.

그러나, 종래에는 편광방향이 확인된 선형 편광원이라도 제조과정에서 발생되는 제조오차, 셋업 과정에서 발생하는 배열 오차 등이 편광의 중력방향에 대해 오차로 그대로 전파됨으로써 편광기의 투과축 측정결과가 부정확해지는 문제점이 있었다.
However, even in the case of a linear polarized light source whose polarization direction has been confirmed in the past, manufacturing errors generated in the manufacturing process, arrangement errors generated in the setup process, etc. are propagated with an error relative to the gravitational direction of the polarized light as a result, There was a problem.

한국 공개특허공보 제2013-0038808호(2013.04.18), 편광 측정 시스템 및 방법Korean Patent Laid-Open Publication No. 2013-0038808 (Apr. 18, 201), a polarization measurement system and method

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로, 본 발명의 목적은 보다 상세하게는 정방형의 편광빔스플리터를 이용하여 0.1도 이하의 오차로 편광기의 투과축을 정밀하게 측정할 수 있는 편광기의 투과축 측정장치 및 이를 이용한 편광기의 투과축 측정방법를 제공하는 것에 있다.
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in order to solve the above-mentioned problems, and an object of the present invention is to provide a polarizer capable of precisely measuring the transmission axis of a polarizer with an error of less than 0.1 degree using a square polarizing beam splitter And a method of measuring a transmission axis of a polarizer using the same.

상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 편광기의 투과축 측정장치는, 편광기(10)의 투과축(RX)을 측정하기 위한 투과축 측정장치에 있어서, 일방향으로 평행한 입사광을 발산하는 광원(110); 상기 광원(110)과 대향하는 상기 입사광의 광축선상에 배치되며, 정방형의 형상을 갖는 편광빔스플리터(120); 상기 편광빔스플리터(120)의 하부에 배치되어 편광빔스플리터(120)의 수직축(L1)을 중심으로 편광빔스플리터(120)를 수평회전시키는 각도조절메커니즘(130); 상기 편광빔스플리터(120)와 대향하는 상기 광축선상에 배치되고, 상기 편광기(10)의 둘레가 장착되어 상기 편광기(10)가 수직배치된 상태에서 입사면이 상기 편광빔스플리터(120)를 대향하도록 위치를 고정시키며, 상기 입사광의 광축을 중심으로 편광기(10)를 수직회전시키는 회전메카니즘(140); 상기 회전메카니즘(140)과 대향하는 상기 광축선상에 배치되어 상기 회전메카니즘(140)을 투과하여 편광된 입사광을 집중시키는 집속렌즈(150); 및 상기 집속렌즈(150)와 대향하는 상기 광축선상에 배치되고, 상기 집속렌즈(150)를 투과하여 집중된 입사광의 광량을 측정하는 광검출기(160);를 포함한다.In order to achieve the above object, there is provided an apparatus for measuring a transmission axis of a polarizer according to the present invention, comprising: a transmission axis measuring device for measuring a transmission axis (RX) of a polarizer (10) 110); A polarizing beam splitter 120 disposed on an optical axis of the incident light facing the light source 110 and having a square shape; An angle adjustment mechanism 130 disposed below the polarization beam splitter 120 to horizontally rotate the polarization beam splitter 120 about the vertical axis L1 of the polarization beam splitter 120; Wherein the polarizing beam splitter 120 is disposed on the optical axis line facing the polarizing beam splitter 120 and has an incident surface facing the polarizing beam splitter 120 in a state in which the polarizer 10 is mounted around the polarizer 10, A rotation mechanism 140 for vertically rotating the polarizer 10 about the optical axis of the incident light; A focusing lens 150 disposed on the optical axis line facing the rotation mechanism 140 and focusing the incident light polarized by the rotation mechanism 140; And a photodetector 160 disposed on the optical axis line facing the focusing lens 150 and measuring the amount of incident light that is transmitted through the focusing lens 150 and is concentrated.

여기서, 상기 각도조절메커니즘(130)은, 수평배치되어 상기 편광빔스플리터(120)의 어느 한 면이 상부면에 안착되도록 지지하며 수평방향으로 회전가능하게 구비된 수평회전판(131) 및, 상기 수평회전판(131)의 하부에 장착되어 수평회전판(131)이 수평회전하는데 필요한 구동력을 제공하는 제1구동부(132)를 포함하여 구비될 수 있다.The angle adjusting mechanism 130 includes a horizontal swing plate 131 horizontally disposed to support one side of the polarizing beam splitter 120 so as to be seated on the upper surface thereof and to be rotatable in the horizontal direction, And a first driving unit 132 mounted on a lower portion of the rotating plate 131 to provide a driving force required for horizontally rotating the horizontal rotating plate 131.

또한, 상기 회전메카니즘(140)은, 수직배치된 편광기(10)의 둘레를 둘러싸는 형태로 직립배치되며 수직방향으로 회전가능하게 구비된 수직회전판(141) 및, 상기 수직회전판(141)의 일측에 장착되어 수직회전판(141)이 수직회전하는데 필요한 구동력을 제공하는 제2구동부(142)를 포함하여 구비될 수 있다.The rotation mechanism 140 includes a vertical rotation plate 141 that is vertically disposed and surrounds the periphery of the vertically arranged polarizer 10 and is rotatable in the vertical direction, And a second driving unit 142 that is mounted on the vertical rotation plate 141 and provides a driving force required for the vertical rotation plate 141 to rotate vertically.

한편, 상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 편광기의 투과축 측정방법은, (a) 광원(110), 편광빔스플리터(120), 측정대상 편광기(10), 집속렌즈(150) 및 광검출기(160)를 일축선상에 순차적으로 정렬배치하는 단계; (b) 회전메카니즘(140)을 이용하여 상기 편광기(10)를 입사광에 대하여 360도로 수직회전시키면서 일정간격으로 상기 집속렌즈(150)를 투과한 입사광의 광량을 측정하고, 측정된 광량데이터를 이용하여 상기 편광기(10)의 실제 투과축(RX)과 상기 회전메카니즘(140)의 측정기준선(L2) 사이의 제1상대투과축각도(θRTA1)를 획득하는 단계; (c) 상기 각도조절메커니즘(130)을 이용하여 편광빔스플리터(120)를 일정각도로 수평회전시켜 편광빔스플리터(120)의 입사면과 입사광의 각도를 수직에서 벗어나게한 상태에서 상기 (b) 단계:를 반복하여 실제 투과축(RX)과 상기 회전메카니즘(140)의 측정기준선(L2) 사이의 제2상대투과축각도(θRTA2)를 획득하는 단계; (d) 상기 편광빔스플리터(120)를 180도 회전시켜 입사면과 출사면이 상호 반대가 되도록 위치 변경시킨 상태에서, 상기 (b) 단계; 및 (c) 단계를 반복하여 수직이탈각 대비 상대투과축각도(θRTA)에 대한 특성곡선을 구하는 단계; 및 (e) 상기 (d)를 통해 획득된 특성곡선의 교차점을 이용하여 해당 편광기(10)의 투과축(RX)을 산출하는 단계;를 포함한다.(A) a light source 110, a polarizing beam splitter 120, a measuring object polarizer 10, a focusing lens 150, and a light source Arranging the detectors (160) sequentially on one axis; (b) Using the rotating mechanism 140, the polarizer 10 is rotated at 360 degrees with respect to the incident light, and the light amount of the incident light transmitted through the focusing lens 150 is measured at regular intervals. Obtaining a first relative transmission axis angle? RTA1 between an actual transmission axis RX of the polarizer 10 and a measurement reference line L2 of the rotation mechanism 140; (c) a step of rotating the polarization beam splitter 120 horizontally at a predetermined angle by using the angle adjusting mechanism 130 so that the incident angle of the incident light is deviated from the angle of incidence of the polarizing beam splitter 120, Repeating the steps of: obtaining a second relative transmission axis angle? RTA2 between the actual transmission axis RX and the measurement reference line L2 of the rotation mechanism 140; (d) rotating the polarizing beam splitter 120 by 180 degrees and changing the position of the polarizing beam splitter 120 so that the incident plane and the emitting plane are opposite to each other; And repeating the steps (c) and (c) to obtain a characteristic curve with respect to a vertical offset angle versus relative transmission axis angle? RTA; And (e) calculating a transmission axis RX of the polarizer 10 using an intersection of characteristic curves obtained through (d).

여기서, 상기 편광빔스플리터(120)의 각 면별로 상기 광원(110)을 대향하는 모든 조합에 대하여 상기 (b) 내지 (e)를 반복하여, 상기 편광기(10)의 투과축(RX) 산출에 대한 평균과 표준오차를 산출하고, 이를 적용하여 최종적인 투과축(RX)을 산출할 수 있다.
Here, (b) to (e) are repeated for all combinations of the surfaces of the polarizing beam splitter 120 facing the light source 110 to calculate the transmission axis RX of the polarizer 10 And the final transmission axis RX can be calculated by applying the average and standard errors.

본 발명에 따른 편광기의 투과축 측정장치 및 이를 이용한 편광기의 투과축 측정방법에 의하면, 정방형의 편광빔스플리터를 이용하여 0.1도 이하의 오차로 편광기의 투과축을 정밀하게 측정가능한 효과를 제공한다.
The apparatus for measuring the transmission axis of a polarizer according to the present invention and the method for measuring a transmission axis of a polarizer using the same provide the effect that the transmission axis of a polarizer can be precisely measured with an error of 0.1 degree or less using a square polarizing beam splitter.

도 1은 Malus 법칙을 이용한 편광기 투과축의 측정방식을 설명하기 위한 개략도,
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 편광기의 투과축 측정장치의 구성 및 동작원리를 나타낸 개략도,
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 정방형의 편광빔스플리터를 이용하여 중력방향과 평행한 편광신호를 획득하는 방식을 설명하기 위한 개략도,
도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 편광빔스플리터의 두가지 배치 형태에 따른 수직이탈각 대비 상대투과축각도의 특성곡선을 나타낸 그래프,
도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 편광빔스플리터의 입사면/출사면 교체과정의 4가지 조합을 나타낸 개략도,
도 6은 도 5의 4가지 조합에 따른 8개의 형상에 대해 획득된 수직이탈각 대비 상대투과축각도의 특성곡선을 나타낸 그래프이다.1 is a schematic view for explaining a measuring method of the transmission axis of a polarizer using the Malus law,
FIG. 2 is a schematic view showing a configuration and operation principle of an apparatus for measuring a transmission axis of a polarizer according to a preferred embodiment of the present invention,
FIG. 3 is a schematic view for explaining a method of obtaining a polarized signal parallel to the gravity direction using a square polarizing beam splitter according to a preferred embodiment of the present invention,
FIG. 4 is a graph showing a characteristic curve of a perpendicular transmission angle versus vertical transmission angle according to two embodiments of a polarization beam splitter according to a preferred embodiment of the present invention,
FIG. 5 is a schematic view showing four combinations of incident plane / exit plane replacement process of a polarization beam splitter according to a preferred embodiment of the present invention,
FIG. 6 is a graph showing characteristic curves of relative vertical transmission angle versus vertical release angle obtained for eight shapes according to the four combinations of FIG. 5; FIG.

이하 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여, 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Prior to this, terms and words used in the present specification and claims should not be construed as limited to ordinary or dictionary terms, and the inventor should appropriately interpret the concepts of the terms appropriately The present invention should be construed in accordance with the meaning and concept consistent with the technical idea of the present invention.

따라서, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.Therefore, the embodiments described in this specification and the configurations shown in the drawings are merely the most preferred embodiments of the present invention and do not represent all the technical ideas of the present invention. Therefore, It is to be understood that equivalents and modifications are possible.

먼저, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 편광기의 투과축 측정장치의 구성 및 기능을 설명하기로 한다.First, the configuration and function of the transmission axis measuring apparatus of the polarizer according to the preferred embodiment of the present invention will be described.

본 발명의 바람직한 실시예에 따른 투과축 측정장치는 시중에서 쉽게 구할 수 있는 평범한 정방형의 편광빔스플리터(120)를 이용하여 0.1도 이하의 오차로 편광기(10)의 투과축(RX)을 정밀하게 측정할 수 있는 투과축 측정장치로서, 도 2에 도시된 바와 같이 광원(110), 편광빔스플리터(120), 각도조절메커니즘(130), 회전메카니즘(140), 집속렌즈(150) 및 광검출기(160)를 포함하여 구비된다.The transmission axis measuring apparatus according to the preferred embodiment of the present invention accurately measures the transmission axis RX of the polarizer 10 with an error of 0.1 degree or less using a normal square polarizing beam splitter 120 that can be easily obtained in the market 2, a light source 110, a polarization beam splitter 120, an angle adjusting mechanism 130, a rotation mechanism 140, a focusing lens 150, and a photodetector 150. [ (160).

상기 광원(110)은, 일방향으로 평행한 입사광을 발산하는 발광수단으로서, 바람직하게는 입사광의 직진성이 우수하고 광량이 큰 레이저 발사장치를 이용할 수 있다.The light source 110 is a light emitting means for emitting parallel incident light in one direction. Preferably, a laser emitting device having excellent directivity of incident light and a large light amount can be used.

상기 편광빔스플리터(120)는, 상기 광원(110)과 대향하는 상기 입사광의 광축선상에 배치되며, 정방향의 형상을 갖는다. 따라서, 상기 광원(110)에서 발산된 입사광은 편광빔스플리터(120)의 내부 경계면에 도달했을 때 입사평면과 나란한 방향의 편광성분은 계속 투과하고 입사평면에 수직인 편광성분은 반사된다.The polarization beam splitter 120 is disposed on the optical axis of the incident light facing the light source 110 and has a forward direction. Therefore, when the incident light emitted from the light source 110 reaches the inner boundary surface of the polarizing beam splitter 120, the polarized light component in the direction parallel to the incident plane continues to be transmitted and the polarized light component perpendicular to the incident plane is reflected.

여기서, 도 3을 참고하면, 특정한 편광방향을 가지고 있지 않는 입사광이 편광빔스플리터(120)의 내부 경계면에 도달했을 때 입사평면과 나란한 방향의 편광성분(P편광)은 계속 투과하고, 입사평면에 수직인 편광성분(S편광)은 반사된다. 따라서, 일종의 편광기 역할을 하게 되는데, 도면에서와 같이 편광빔스플리터(120)를 배치하게 되면 투과되는 P편광이 지면에 대해서 수직방향으로 즉, 중력의 방향으로 진동하는 편광신호가 된다.3, when incident light having no specific polarization direction reaches the inner boundary surface of the polarizing beam splitter 120, the polarized light component (P polarized light) in a direction parallel to the incident plane continues to be transmitted, The vertical polarization component (S polarized light) is reflected. Therefore, when the polarizing beam splitter 120 is disposed as shown in the drawing, the transmitted P polarized light becomes a polarized signal that oscillates in the direction perpendicular to the paper surface, that is, in the direction of gravity.

원칙적으로는 편광빔스플리터(120)를 투과한 신호는 Malus 법칙을 이용한 셋업에서 도 1의 I(O)에 해당하는 특정 편광원으로서의 역할을 수행하게 되지만, 실제로는 편광빔스플리터(120)의 제조과정에서 생기는 내부 경계면의 오차, 편광빔스플리터(120)의 정방형태의 정확도 및 투과축 측정장치의 셋업 과정에서 생기는 배열 오차 등이 P편광의 중력방향에 대한 오차로 그대로 전파될 수 있다.In principle, the signal transmitted through the polarizing beam splitter 120 plays a role as a specific polarizing source corresponding to I (O) in FIG. 1 in the setup using the Malus's law, but actually, the polarizing beam splitter 120 The error of the inner boundary, the accuracy of the tetragonal shape of the polarizing beam splitter 120, and the alignment error caused by the setup process of the transmission axis measuring apparatus can be propagated as the error with respect to the gravitational direction of P polarized light.

이에 본 발명의 바람직한 실시예에서는 이러한 오차를 고려하여, 편광빔스플리터(120)에 의도적으로 수직이탈각을 부가함으로써 편광빔스플리터(120) 및 투과축 측정장치의 오차가 반영된 각 측정데이터를 획득할 수 있으며 이를 이용하여 편광기(10)의 정확한 투과축(RX)을 측정할 수 있다. 이는 이후에 보다 상세하게 설명하기로 한다.Accordingly, in the preferred embodiment of the present invention, by taking into account such an error, by intentionally adding a vertical offset angle to the polarization beam splitter 120, it is possible to obtain each measurement data reflecting the error of the polarization beam splitter 120 and the transmission axis measuring apparatus And it is possible to measure the accurate transmission axis RX of the polarizer 10. This will be described later in more detail.

상기 각도조절메커니즘(130)은, 편광빔스플리터(120)를 수평방향으로 회전시키기 위한 구동수단으로서, 상기 편광빔스플리터(120)의 하부에 배치되어 편광빔스플리터(120)의 수직축(L1)을 중심으로 편광빔스플리터(120)를 수평회전시킨다.The angle adjusting mechanism 130 is a driving means for horizontally rotating the polarizing beam splitter 120. The angle adjusting mechanism 130 is disposed below the polarizing beam splitter 120 and rotates the vertical axis L1 of the polarizing beam splitter 120 The polarization beam splitter 120 is horizontally rotated.

여기서, 도 2에 도시된 바와 같이 상기 각도조절메커니즘(130)은, 수평배치되어 상기 편광빔스플리터(120)의 어느 한 면이 상부면에 안착되도록 지지하며 수평방향으로 회전가능하게 구비된 수평회전판(131) 및, 상기 수평회전판(131)의 하부에 장착되어 수평회전판(131)이 수평회전하는데 필요한 구동력을 제공하는 제1구동부(132)를 포함하여 구비될 수 있다.2, the angle adjusting mechanism 130 includes a horizontal rotating plate (not shown) horizontally disposed to horizontally support one surface of the polarizing beam splitter 120 so as to be seated on the upper surface, And a first driving unit 132 mounted on a lower portion of the horizontal rotating plate 131 to provide a driving force required for horizontally rotating the horizontal rotating plate 131.

또한, 상기 제1구동부(132)로는 회전방향 및 회전각을 정밀하게 회전제어할 수 있는 구동모터가 이용되며, 도시되지 않았으나 상기 제1구동부(132)에는 구동모터의 회전비를 조절하기 위한 기어열이 배치될 수 있다.Although not shown, the first driving part 132 is provided with a gear train (not shown) for controlling the rotation ratio of the driving motor to the first driving part 132, Can be arranged.

상기 회전메카니즘(140)은, 측정대상의 편광기(10)를 직립된 상태로 수직방향에 대하여 회전시키는 구동수단으로서, 상기 편광빔스플리터(120)와 대향하는 광축선상에 배치되고, 상기 편광기(10)의 둘레가 장착되어 편광기(10)가 수직배치된 상태에서 입사면이 상기 편광빔스플리터(120)에 대향하도록 위치를 고정시키며, 상기 입사광의 광축을 중심으로 편광기(10)를 수직회전시킨다.The rotation mechanism 140 includes driving means for rotating the polarizer 10 to be measured in a vertical direction in an upright state and disposed on an optical axis opposing the polarizing beam splitter 120, Is fixed to the polarizing beam splitter 120 so that the incident surface is opposed to the polarizing beam splitter 120 in a state where the polarizer 10 is vertically arranged and the polarizer 10 is vertically rotated about the optical axis of the incident light.

여기서, 도 2에 도시된 바와 같이 상기 회전메카니즘(140)은, 수직배치된 편광기(10)의 둘레를 둘러싸는 형태로 직립배치되며 수직방향으로 회전가능하게 구비된 수직회전판(141) 및, 상기 수직회전판(141)의 일측에 장착되어 수직회전판(141)이 수직회전하는데 필요한 구동력을 제공하는 제2구동부(142)를 포함하여 구비될 수 있다.As shown in FIG. 2, the rotation mechanism 140 includes a vertical rotation plate 141 that is vertically disposed in the form of surrounding the periphery of the vertically arranged polarizer 10 and is rotatable in the vertical direction, And a second driving unit 142 mounted on one side of the vertical rotating plate 141 to provide a driving force required for the vertical rotating plate 141 to rotate vertically.

또한, 상기 제2구동부(142)는 제1구동부(132)와 마찬가지로 회전방향 및 회전각을 정밀하게 회전제어할 수 있는 구동모터가 이용되는 것이 바람직하다.The second driving unit 142 may be a driving motor that can precisely control the rotation direction and the rotation angle in the same manner as the first driving unit 132.

상기 집속렌즈(150)는, 회전메카니즘(140)에 장착된 편광기(10)를 투과한 입사광이 집속된 형태로 광검출기(160)에 유입되도록 하는 광학장치로서, 상기 회전메카니즘(140)과 대향하는 상기 광축선상에 배치되어 상기 회전메카니즘(140)을 투과하여 편광된 입사광을 집중시킨다.The focusing lens 150 is an optical device that causes incident light that has passed through the polarizer 10 mounted on the rotation mechanism 140 to flow into the photodetector 160 in a condensed form, Which is transmitted through the rotating mechanism 140, to focus the polarized incident light.

상기 광검출기(160)는, 편광기(10) 및 집속렌즈(150)를 투과한 입사광을 측정하는 측정수단으로서, 상기 집속렌즈(150)와 대향하는 광축선상에 배치되고, 상기 집속렌즈(150)를 투과하여 검증된 입사광의 광량을 측정한다.
The photodetector 160 is a measuring means for measuring incident light transmitted through the polarizer 10 and the focusing lens 150. The measuring unit 160 is disposed on the optical axis line facing the focusing lens 150, To measure the amount of light of the incident light that has been verified.

다음으로는, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 투과축 측정장치의 동작원리 및, 상기 투과축 측정장치를 이용하여 편광기(10)의 투과축(RX)을 측정하기 위한 투과축 측정방법을 설명하기로 한다.Next, the operation principle of the transmission axis measuring apparatus according to the preferred embodiment of the present invention and the transmission axis measuring method for measuring the transmission axis RX of the polarizer 10 using the transmission axis measuring apparatus will be described .

먼저, 도 2에 도시된 바와 같이 상기 광원(110), 편광빔스플리터(120), 측정대상 편광기(10), 집속렌즈(150) 및 광검출기(160)를 일축선상에 순차적으로 정렬배치하여 장치를 셋업한다.(a 단계;)2, the light source 110, the polarizing beam splitter 120, the target polariser 10, the focusing lens 150, and the photodetector 160 are aligned and aligned on a single axis line, (Step a).

여기서, 상기 일축선상은 광원(110)에서 발산하는 입사광의 광축과 동일하게 배치된다.Here, the uniaxial line is disposed at the same position as the optical axis of the incident light emitted from the light source 110.

이와 같이 장치 셋업이 완료되면, 상기 회전메카니즘(140)을 이용하여 편광기(10)를 360도로 수직회전시키면서 일정간격으로 상기 집속렌즈(150)를 투과한 입사광의 광량을 측정하고, 측정된 광량데이터를 이용하여 상기 편광기(10)의 실제 투과축(RX)과 상기 회전메카니즘(140)의 측정기준선(L2) 사이의 제1상대투과축각도(θRTA1)를 획득한다.(b 단계;)When the apparatus is set up as described above, the light amount of the incident light transmitted through the focusing lens 150 is measured at regular intervals while rotating the polarizer 10 by 360 degrees using the rotation mechanism 140, (Step b) using the first relative transmission axis angle? RTA1 between the actual transmission axis RX of the polarizer 10 and the measurement reference line L2 of the rotation mechanism 140. [

보다 구체적으로 설명하면, 상기 장치 셋업에 부합되도록 [수식 1]을 변형하면 아래의 [수식 2]와 같다.
To be more specific, the following formula is modified to correspond to the device setup.

[수학식 2]&Quot; (2) "

I(θ) = I(O)cos2(θ-θRTA)
I (?) = I (O) cos 2 (? -? RTA)

여기서, 상기 θRTA(Relative Transmission Axis : 상대투과축각도)는 편광기(10)의 실제 투과축(RX)과 회전메카니즘(140)의 수직축(L2) 사이의 각도이며, 편광기(10)를 회전메카니즘(140)에 최초 장착시에는 투과축(RX)을 모르므로 회전메카니즘(140)의 기준점(P)과 편광기(10)의 투과축(RX) 간에 생기는 각도 차이기도 하다.The relative transmission axis angle is an angle between the actual transmission axis RX of the polarizer 10 and the vertical axis L2 of the rotation mechanism 140 and the polarizer 10 is rotated by a rotation mechanism 140 between the reference point P of the rotation mechanism 140 and the transmission axis RX of the polarizer 10 because the transmission axis RX is not known.

상기 회전메카니즘(140) 기준으로 0도 내지 360도(혹은 360도 이상까지 측정되어도 무방함) 사이의 일정한 간격의 θ 값들에 대해서 측정된 I(θ) 값을 이용하여 상기 [수식 2]를 이용한 데이터 보간을 통해 상기 상대투과축각도(θRTA)을 획득한다.Using the I ([theta]) values measured for the values of the constant interval between 0 and 360 degrees (or 360 degrees or more) on the basis of the rotation mechanism 140, And obtains the relative transmission axis angle? RTA through data interpolation.

이후, 상기 각도조절메커니즘(130)을 이용하여 편광빔스플리터(120)를 일정각도로 수평회전시켜 편광빔스플리터(120)의 입사면과 입사광의 각도를 수직에서 벗어나게 한다. 이하에서는 이와 같이 각도조절메커니즘(130)에 의한 편광빔스플리터(120)의 수평회전에 따라 입사면과 입사광의 각도 차이를 '수직이탈각(CW,CCW)'으로 정의한다.Then, the polarization beam splitter 120 is horizontally rotated at a predetermined angle by using the angle adjusting mechanism 130 so that the angle between the incident surface of the polarizing beam splitter 120 and the incident light is deviated from the perpendicular direction. Hereinafter, the angular difference between the incident surface and the incident light according to the horizontal rotation of the polarization beam splitter 120 by the angle adjusting mechanism 130 is defined as 'vertical off-angle (CW, CCW)'.

이와 같이, 입사면과 입사광의 각도를 수직에서 벗어나게 한 상태에서 상기 (b) 단계:를 반복하여 실제 투과축(RX)과 상기 회전메카니즘(140)의 측정기준선(L2) 사이의 제2상대투과축각도(θRTA2)를 획득한다.(c단계;)The second relative permeation between the actual transmission axis RX and the measurement reference line L2 of the rotation mechanism 140 is repeated by repeating the above step (b) with the angle of the incident surface and the incident light deviated from the vertical direction, To obtain the axial angle [theta] RTA2 (step c).

여기서, 상기 (c) 단계를 수차례의 다른 수직이탈각에 대해서 반복한다. 수직이탈각의 조정 범위는 임의이며 통상 ±20도 내외에서 5도 정도의 간격이 사용될 수 있다.Here, the step (c) is repeated for several other vertical dip angles. The adjustment range of the vertical deviation angle is arbitrary, and an interval of about 5 degrees may be used within about 20 degrees.

이어서, 상기 편광빔스플리터(120)를 180도 회전시켜 입사면과 출사면이 상호 반대가 되도록 위치 변경시킨 상태에서, 상기 (b) 단계; 및 (c) 단계를 반복하여 수직이탈각 대비 상대투과축각도(θRTA)에 대한 특성곡선을 구한다.(d 단계;)Then, the polarizing beam splitter 120 is rotated by 180 degrees so that the incident plane and the emitting plane are reversed from each other. And (c) are repeated to obtain a characteristic curve for the perpendicular angle of attack vs. relative transmission axis angle? RTA (step d).

이후, 상기 편광빔스플리터(120)를 180도 회전시켜 입사면과 출사면이 상호 반대가 되도록 위치 변경시킨 상태에서, 상기 (b) 단계; 및 (c) 단계를 반복하여 수직이탈각 대비 상대투과축각도(θRTA)에 대한 특성곡선을 구한다.(d 단계;)Thereafter, the polarizing beam splitter 120 is rotated 180 degrees so that the incident surface and the emitting surface are reversed from each other. And (c) are repeated to obtain a characteristic curve for the perpendicular angle of attack vs. relative transmission axis angle? RTA (step d).

즉, 도 4에 도시된 바와 같이 현재의 장치셋업에서의 편광빔스플리터(120)의 입사면과 출사면이 반대가 되도록 편광빔스플리터(120)의 위치를 변경함으로써 출사면이었던 면이 입사면이 되도록 편광빔스플리터(120)를 회전시킨다.4, the position of the polarization beam splitter 120 is changed so that the incident surface and the exit surface of the polarizing beam splitter 120 in the present apparatus setup are opposite to each other, So that the polarization beam splitter 120 is rotated.

이러한 과정을 2회 내지 4회를 반복한다. 이때, 편광빔스플리터(120)의 지면에 대한 수평도는 상기 (b) 단계 및 (c) 단계와 동일하도록 유지하나, 반드시 기울기가 0도일 필요는 없다.This process is repeated two to four times. At this time, the horizontal degree of the polarizing beam splitter 120 with respect to the paper is maintained in the same manner as in steps (b) and (c), but the slope does not necessarily have to be zero degrees.

여기까지의 과정으로부터 획득된 수직이탈각 대비 상대투과축각도(θRTA)의 특성곡선은 도 4에 도시된 그래프와 같다. 도 4에는 편광빔스플리터(120)의 입사면/출사면 교체 전후의 셋업을 Config A 및 config B로 구분하였다.The characteristic curve of the relative vertical transmission angle θTA relative to the vertical angle obtained from the above process is the same as the graph shown in FIG. In Fig. 4, the setups before and after the polarization plane of the polarization plane splitter 120 are divided into Config A and Config B, respectively.

그리고, 상기 (d)를 통해 획득된 특성곡선의 교차점을 이용하여 해당 편광기(10)의 투과축(RX)을 산출한다.(e 단계;)Then, the transmission axis RX of the polarizer 10 is calculated using the intersection of the characteristic curves obtained in (d) (step e).

이와 같이, 편광빔스플리터(120)에 의도적으로 수직이탈각을 부가함으로써 편광빔스플리터(120) 자체의 제조오차 및 투과축 측정장치의 배열오차를 반영하는 특성곡선을 획득할 수 있으며, 오차의 비대칭성으로 인해 생기는 특성곡선의 교차점을 이용하여 상대투과축 각도(θRTA)의 방향을 정하게 된다.By adding a vertical offset angle to the polarization beam splitter 120 intentionally, it is possible to obtain a characteristic curve reflecting the manufacturing error of the polarization beam splitter 120 itself and the arrangement error of the transmission axis measuring apparatus, The direction of the relative transmission axis angle (θ RTA) is determined by using the intersection of characteristic curves generated by the properties.

보다 구체적으로 설명하면, 상기 (a) 단계 내지 (c) 단계를 거치면 여러 수직이탈각에 대한 각각의 상대투과축각도(θRTA)를 획득하게 되며, 수직이탈각을 가로축, 상대 투과축각도(RTA)를 세로축으로 하는 하나의 특성 직선이 얻어진다.More specifically, through the above steps (a) to (c), the respective relative transmission axis angles? RTA for the vertical misalignment angles are obtained, and when the vertical misalignment angle is the lateral axis, the relative transmission axis angle RTA ) Is taken as the vertical axis.

또한, 상기 (d) 단계를 거치면 또 다른 수직이탈각 대비 상대 투과축각도(θRTA) 세트를 획득하게 되는데 역시 이를 수직이탈각(가로축) 대비 상대 투과축각도(세로축)의 함수로 그려보면 또 다른 특성 직선이 얻어지며 이는 상기 (d) 단계를 거치기 전의 특성 직선과는 기울기가 반대로 된다.(도 4의 Config A-1 대비 Config B-1, 혹은 Config A-2 대비 Config B-2)Further, when the above step (d) is performed, another perpendicular is obtained as a relative transmittance axis angle? RTA set relative to the off-axis angle, and if it is plotted as a function of the relative transmittance axis angle (vertical axis) The characteristic straight line is obtained, which is opposite to the characteristic straight line before the step (d). (Config B-1 in contrast to Config A-1 in FIG. 4 or Config B-2 in contrast to Config A-

이러한 서로 대칭에 가까운 기울기들이 생기는 이유는 측정대상 편광기(10) 표면과 알려져 있는 (중력방향의) 편광 성분을 제공하는 역할을 하는 빔스플리터(120)의 표면이 서로 상대적으로 완벽하게 평행하지 않음에서 기인하는데 상기 (c) 및 (d) 단계를 거치면 획득된 교차점은 편광기(10) 표면과 빔스플리터(120) 표면이 서로 상대적으로 완벽한 평행이 되는 지점을 반영한다. These close symmetric tilts occur because the surface of the beam splitter 120, which serves to provide a known (gravity direction) polarization component to the surface of the polariser 10 to be measured, is relatively not perfectly parallel to each other The intersection points obtained through steps (c) and (d) above reflect the point where the surface of the polarizer 10 and the surface of the beam splitter 120 are relatively perfectly parallel to each other.

더불어, 실제 응용에서, 이러한 방식으로 상대투과축(θRTA)이 결정된 편광기(10)는 회전메카니즘(140)을 제공하는 수직회전판(141)에 부착된 상태로 사용된다.In addition, in practical applications, the polarizer 10, in which the relative transmission axis? RTA is determined in this manner, is used attached to the vertical rotation plate 141 which provides the rotation mechanism 140.

한편, 상기 편광빔스플리터(120) 오차의 비대칭성 또한 임의의 값이므로, 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 편광빔스플리터(120)의 각 면별로 상기 광원(110)을 대향하는 모든 조합에 대하여 상기 (b) 내지 (e)를 반복하여, 상기 편광기(10)의 투과축(RX) 산출에 대한 평균과 표준오차를 산출하고, 이를 적용하여 최종적인 투과축(RX)을 산출하는 것이 바람직하다.5, since the asymmetry of the error of the polarizing beam splitter 120 is also an arbitrary value, it is preferable that, for each combination of the polarizing beam splitter 120 and the polarizing beam splitter 120, It is preferable to repeat the above steps (b) to (e) to calculate the average and standard error of the calculation of the transmission axis RX of the polarizer 10 and apply the calculated average to calculate the final transmission axis RX .

보다 구체적으로 설명하면, 도면에서와 같이 편광빔스플리터(120) 배치에서의 입사면/출사면 교체 과정은 가능한 모든 조합에 대해서 이루어져야 하며, 이로부터 획득된 각 투과축(RX) 및 표준편차가 최종 투과축(RX)과 정확도를 결정하게 된다.More specifically, as shown in the drawing, the process of replacing the incident surface / emergent surface in the arrangement of the polarizing beam splitter 120 should be performed for every possible combination, and each transmission axis RX and standard deviation obtained therefrom The transmission axis RX and the accuracy are determined.

즉, 상기 (a) 단계 내지 (e) 단계를 모든 가능한 입사면/출사면 조합에 대해서 반복하는 것이다. 어떤 조합의 쌍을 사용하든지 간에 편광기(10) 표면과 빔스플리터(120) 표면간의 상대적 비평행으로 인해 생기는 직선들은 하나의 교차점, 즉, 두 표면이 완벽하게 평행해지는 지점을 결정해주며 그 지점에서 측정된 세로축의 값이 정확한 상대 투과축각도가 된다.That is, the steps (a) to (e) are repeated for all possible incident / exit surface combinations. Regardless of which combination pair is used, the straight lines resulting from the relative non-parallelness between the polariser 10 surface and the beam splitter 120 surface determine a point of intersection, i.e., a point at which the two surfaces are perfectly parallel, The measured vertical axis value is the correct relative transmission axis angle.

이러한 과정을 통해 도 6에 도시된 바와 같이 편광빔스플리터(120)의 8개 형상에 대해서 획득된 수직이탈각(가로축) 대비 상대투과축각도(θRTA, 세로축)에 대한 특성곡선을 획득할 수 있다.Through this process, a characteristic curve can be obtained with respect to the vertical deviation angle (horizontal axis) relative to the relative transmission axis angle (? RTA, vertical axis) obtained for the eight shapes of the polarization beam splitter 120 as shown in FIG. 6 .

도 6의 특성곡선을 통해 최종적으로 획득되는 측정대상 편광기(10)의 상대투과축각도(θRTA)은 아래의 [표 1]과 같다.
The relative transmission axis angle? RTA of the target polarizer 10 finally obtained through the characteristic curve of FIG. 6 is shown in Table 1 below.

[표 1] : (a) 단계 내지 (e) 단계로부터 획득된 최종 투과축(RX) 측정결과[Table 1] Measurement results of the final transmission axis (RX) obtained from steps (a) to (e)

편광빔스플리터(120) 배치 형상The polarization beam splitter 120 has a configuration 상대투과축각도(θRTA)The relative transmission axis angle? A-3 and B-3A-3 and B-3 136.6065136.6065 C-3 and D-3C-3 and D-3 136.6120136.6120 E-3 and F-3E-3 and F-3 136.5995136.5995 G-3 and H-3G-3 and H-3 136.6258136.6258 평 균Average 136.6116136.6116 표준오차Standard error 0.01240.0124 변화량 (최대 - 최소)Variation (maximum-minimum) 0.02900.0290

또한, 측정방법의 재현성을 확인하기 위해, 위의 측정 이외에 완전히 독립된 셋업을 이용하여 동일한 절차를 반복한 결과 유사한 정확도의 투과축 측정이 가능하였다. [표 2]는 그 중 한 측정결과에 대한 데이터표이다.
In addition, in order to confirm the reproducibility of the measurement method, it was possible to measure the transmission axis with similar accuracy by repeating the same procedure using a completely independent setup in addition to the above measurement. [Table 2] is a data table for one of the measurement results.

[표 2] : 다른 셋업을 이용한 최종 투과축(RX) 측정결과[Table 2]: Result of measurement of final transmission axis (RX) using different setup

편광빔스플리터(120) 배치 형상The polarization beam splitter 120 has a configuration 상대투과축각도(θRTA)The relative transmission axis angle? A-3 and B-3A-3 and B-3 -10.9869-10.9869 C-3 and D-3C-3 and D-3 -11.0211-11.0211 E-3 and F-3E-3 and F-3 -10.9884-10.9884 G-3 and H-3G-3 and H-3 -10.9955-10.9955 평 균Average -10.9980-10.9980 표준오차Standard error 0.01590.0159 변화량 (최대 - 최소)Variation (maximum-minimum) 0.03420.0342

이와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 편광기의 투과축 측정장치 및 이를 이용한 편광기의 투과축 측정방법에 의하면, 정방형의 편광빔스플리터(120)를 이용하여 0.1도 이하의 오차로 편광기(10)의 투과축을 정밀하게 측정가능한 효과를 제공할 수 있다.As described above, according to the transmission axis measuring device of the polarizer according to the preferred embodiment of the present invention and the transmission axis measuring method of the polarizing device using the polarizing beam measuring device, the polarizer 10 can be realized with a square polarization beam splitter 120, It is possible to provide an effect of precisely measuring the transmission axis.

이상과 같이, 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 이것에 의해 한정되지 않으며 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술 사상과 아래에 기재될 청구범위의 균등 범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 가능함은 물론이다.
While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments. It is to be understood that various modifications and changes may be made without departing from the scope of the appended claims.

10...편광기 110...광원
120...편광빔스플리터 130...각도조절메커니즘
140...회전메카니즘 150...집속렌즈
160...광검출기10 ... Polarizer 110 ... Light source
120 ... polarizing beam splitter 130 ... angle adjustment mechanism
140 ... rotation mechanism 150 ... focusing lens
160 ... photodetector

Claims (3)

편광기(10)의 투과축(RX)을 측정하기 위한 투과축 측정장치에 있어서,
일방향으로 평행한 입사광을 발산하는 광원(110);
상기 광원(110)과 대향하는 상기 입사광의 광축선상에 배치되며, 입사면과 상기 입사광의 각도가 수직에서 벗어나 형성된 수직이탈각이 부가된 정방형의 형상을 갖는 편광빔스플리터(120);
상기 편광빔스플리터(120)의 하부에 배치되어 편광빔스플리터(120)의 수직축(L1)을 중심으로 편광빔스플리터(120)를 수평회전시키는 각도조절메커니즘(130);
상기 편광빔스플리터(120)와 대향하는 상기 광축선상에 배치되고, 상기 편광기(10)의 둘레가 장착되어 상기 편광기(10)가 수직배치된 상태에서 상기 입사면이 상기 편광빔스플리터(120)를 대향하도록 위치를 고정시키며, 상기 입사광의 광축을 중심으로 편광기(10)를 수직회전시키는 회전메카니즘(140);
상기 회전메카니즘(140)과 대향하는 상기 광축선상에 배치되어 상기 회전메카니즘(140)을 투과하여 편광된 입사광을 집중시키는 집속렌즈(150); 및
상기 집속렌즈(150)와 대향하는 상기 광축선상에 배치되고, 상기 집속렌즈(150)를 투과하여 집중된 입사광의 광량을 측정하는 광검출기(160);를 포함하는 투과축 측정장치.
A transmission axis measuring apparatus for measuring a transmission axis (RX) of a polarizer (10)
A light source 110 for emitting incident light parallel to one direction;
A polarizing beam splitter 120 disposed on an optical axis of the incident light facing the light source 110 and having a square shape in which an incident angle and an angle of the incident light are different from each other and perpendicular to the incident angle;
An angle adjustment mechanism 130 disposed below the polarization beam splitter 120 to horizontally rotate the polarization beam splitter 120 about the vertical axis L1 of the polarization beam splitter 120;
Wherein the polarizing beam splitter 120 is disposed on the optical axis line facing the polarizing beam splitter 120 and the incident surface of the polarizing beam splitter 120, A rotation mechanism 140 for fixing the position so as to face the polarizer 10 and vertically rotating the polarizer 10 about the optical axis of the incident light;
A focusing lens 150 disposed on the optical axis line facing the rotation mechanism 140 and focusing the incident light polarized through the rotation mechanism 140; And
And a photodetector (160) disposed on the optical axis line facing the focusing lens (150) and measuring the amount of incident light that is transmitted through the focusing lens (150).
제 1항에 있어서,
상기 각도조절메커니즘(130)은,
수평배치되어 상기 편광빔스플리터(120)의 어느 한 면이 상부면에 안착되도록 지지하며 수평방향으로 회전가능하게 구비된 수평회전판(131) 및,
상기 수평회전판(131)의 하부에 장착되어 수평회전판(131)이 수평회전하는데 필요한 구동력을 제공하는 제1구동부(132)를 포함하여 구비되는 것을 특징으로 하는 투과축 측정장치.
The method according to claim 1,
The angle adjusting mechanism 130 may be formed,
A horizontal rotating plate 131 horizontally disposed to horizontally support one surface of the polarizing beam splitter 120 so as to be positioned on the upper surface,
And a first driving unit mounted on a lower portion of the horizontal rotating plate to provide a driving force necessary for horizontally rotating the horizontal rotating plate.
제 2항에 있어서,
상기 회전메카니즘(140)은,
수직배치된 편광기(10)의 둘레를 둘러싸는 형태로 직립배치되며 수직방향으로 회전가능하게 구비된 수직회전판(141) 및,
상기 수직회전판(141)의 일측에 장착되어 수직회전판(141)이 수직회전하는데 필요한 구동력을 제공하는 제2구동부(142)를 포함하여 구비되는 것을 특징으로 하는 투과축 측정장치.3. The method of claim 2,
The rotation mechanism (140)
A vertical rotation plate 141 disposed upright in the form of surrounding the periphery of the vertically disposed polariser 10 and rotatable in the vertical direction,
And a second driving unit (142) mounted on one side of the vertical rotation plate (141) to provide a driving force necessary for vertical rotation of the vertical rotation plate (141).
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