KR101588132B1 - Stretchable acoustic device using liquid metal coil - Google Patents

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KR101588132B1
KR101588132B1 KR1020140124360A KR20140124360A KR101588132B1 KR 101588132 B1 KR101588132 B1 KR 101588132B1 KR 1020140124360 A KR1020140124360 A KR 1020140124360A KR 20140124360 A KR20140124360 A KR 20140124360A KR 101588132 B1 KR101588132 B1 KR 101588132B1
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하정숙
진상우
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고려대학교 산학협력단
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Abstract

The present invention relates to an expandable acoustic device using a liquid metal coil with an improved structure to be applied to a wearable device since the acoustic device is expandable. According to the present invention, the expandable acoustic device using the liquid metal coil includes: a diaphragm in which a microchannel is formed and which is made of an expandable material; a liquid metal filled in the microchannel of the diaphragm, and a magnet applying a magnetic field to the liquid metal filled in the diaphragm.

Description

액체 금속 코일을 사용한 신축가능한 음향장치{Stretchable acoustic device using liquid metal coil}Technical Field [0001] The present invention relates to a stretchable acoustic device using a liquid metal coil,

본 발명은 음향 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 웨어러블 디바이스에 적용 가능하도록 신축 가능한 음향장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0002] The present invention relates to an acoustic device, and more particularly, to an acoustic device that can be stretched to be applicable to a wearable device.

현재 상용 제품으로 나오고 있는 라우드 스피커들은 주로 다이나믹 방식, 압전식, 정전식 방식 중 한 가지 방식을 채택하여 제작되고 있다. 다이나믹 방식의 스피커는 고체 금속선을 감아서 만든 고체 보이스 코일과 영구자석을 이용한다. 압전 방식의 스피커는 압전효과를 갖는 세라믹 물질을 이용하여 역압전 현상을 이용하여 소리를 구동한다(대한민국 공개특허 10-2014-0083912). 정전식 스피커는 전하를 띈 진동판과 전극인 스테이터로 이루어진 전극을 통하여 음파를 구현한다. 각각의 방식은 모두 장단점이 존재한다. 압전식과 정전식은 얇은 필름 형태로 만들 수 있어서, 이미 상용제품으로 나와 있지만, 구동전압이 다이나믹 방식의 라우드스피커보다 높아서 전용 앰프가 필요하다. 반면에 다이나믹 방식의 라우드스피커는 구동전압이 상대적으로 낮고, 제작 비용도 압전식과 정전식에 비해 낮지만, 구동 부품의 특성상 얇은 필름 형태로 제작하기가 어려운 난관이 존재한다.The loudspeakers that are currently available as commercial products are mainly manufactured using either dynamic, piezoelectric, or electrostatic type. Dynamic speakers use solid voice coils and permanent magnets made by winding solid metal wires. A piezoelectric speaker uses a ceramic material having a piezoelectric effect to drive a sound by using an inverse piezoelectric phenomenon (Korean Patent Laid-Open No. 10-2014-0083912). Electrostatic loudspeakers emit sound waves through electrodes consisting of a charged diaphragm and a stator. Each method has advantages and disadvantages. Piezoelectric and electrostatic capacitors can be made into thin films, which are already commercially available but require a dedicated amplifier because the drive voltage is higher than dynamic loudspeakers. On the other hand, dynamic loudspeakers have a relatively low driving voltage and a lower production cost than piezoelectric and electrostatic capacitors. However, due to the nature of driving components, there is a difficulty in fabricating a thin film.

하지만, 이러한 기존의 방식들이 공통적으로 구현하지 못하는 특성이 존재한다. 즉, 세 가지 방식 모두 구동 부품을 이루는 물질들이 신축가능하지 않기 때문에, 스트레처블, 웨어러블 음향 장치를 구현하기에는 부적합하다는 것이다. 즉, 부품의 단단한 특성상(즉, 신축 불가능한 특성) 당기는 순간 끊어지거나 변형이 일어나며, 이러한 이유로 장치 구동이 불가능해 지는 것이다.However, there are characteristics that these conventional methods can not implement in common. That is, all of the three methods are incapable of implementing a scalable or wearable sound apparatus because the materials constituting the driving parts are not expandable. That is, due to the rigid nature of the component (that is, the non-stretchable characteristic), the moment it is pulled, it is cut off or deformed.

대한민국 공개특허 10-2014-0083912(발명의 명칭 : 압전소자 및 이를 구비하는 압전 스피커)Korean Patent Publication No. 10-2014-0083912 (entitled: Piezoelectric element and piezoelectric speaker equipped therewith)

본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 신축 가능하여 웨어러블 디바이스에 적용가능하도록 구조가 개선된 액체 금속 코일을 사용한 신축가능한 음향장치을 제공하는 것이다.It is an object of the present invention to provide a stretchable acoustic device using a liquid metal coil whose structure is improved so as to be applicable to a wearable device.

본 발명에 따른 액체 금속 코일을 사용한 신축가능한 음향장치는 내부에 마이크로채널이 형성되어 있으며, 신축 가능한 소재로 이루어지는 진동판과, 상기 진동판의 마이크로채널 내부에 충진되는 액체 금속과, 상기 진동판에 충진된 액체 금속에 자기력선을 인가하는 자석을 포함하는 것을 특징으로 한다.A stretchable acoustic apparatus using a liquid metal coil according to the present invention includes a diaphragm having a microchannel formed therein and made of a stretchable material, liquid metal filled in the microchannel of the diaphragm, liquid And a magnet for applying magnetic force lines to the metal.

본 발명에 따르면, 상기 마이크로채널은 나선형으로 형성되는 것이 바람직하다.According to the present invention, it is preferable that the microchannel is formed in a spiral shape.

또한, 본 발명에 따르면 상기 진동판은 고분자 소재로 이루어지는 것이 바람직하다.According to the present invention, it is preferable that the diaphragm is made of a polymer material.

본 발명에 따른 액체 금속 코일을 사용한 신축가능한 음향장치의 제조방법은 마이크로채널이 형성되어 있으며, 신축 가능한 소재로 이루어지는 하부판을 준비하는 단계와, 상기 마이크로채널의 양단부에 전선을 배치하는 단계와, 상기 마이크로채널에 액체 금속을 충진하는 단계와, 상기 액체 금속이 충진된 하부판의 상면에 신축 가능한 소재로 이루어지는 상부판을 결합하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.A method of manufacturing an expandable acoustical device using a liquid metal coil according to the present invention includes the steps of preparing a bottom plate made of a stretchable material having microchannels formed therein and arranging electric wires at both ends of the microchannel; Filling the microchannel with a liquid metal; and joining an upper plate made of a stretchable material to the upper surface of the lower plate filled with the liquid metal.

본 발명에 따르면, 상기 하부판은, 포토리소그래피 공정을 통해 마이크로채널 패턴이 형성되어 있는 몰드를 제작하고, 상기 몰드에 고분자 물질을 도포한 후 응고시킨 다음, 상기 응고된 고분자 물질을 상기 몰드와 분리시킴으로써 제작되는 것이 바람직하다.According to the present invention, the bottom plate is manufactured by preparing a mold having a microchannel pattern formed through a photolithography process, applying a polymer material to the mold and then solidifying the polymer material, and then separating the solidified polymer material from the mold .

또한, 본 발명에 따르면 상기 고분자 물질의 응고시 기포가 발생되는 것이 방지되도록 진공 처리하는 것이 바람직하다.According to the present invention, it is preferable to perform a vacuum treatment so as to prevent the generation of bubbles during solidification of the polymeric material.

또한, 본 발명에 따르면 상기 액체 금속을 충진하는 단계에서는, 상기 하부판에 형성된 마이크로채널을 평판 형상의 필름으로 덮은 후, 상기 액체 금속을 상기 마이크로채널에 충진하는 것이 바람직하다.According to the present invention, in filling the liquid metal, it is preferable that the microchannel formed on the bottom plate is covered with a flat film, and then the liquid metal is filled in the microchannel.

본 발명에 따르면 음향장치가 신축 가능하며, 이에 따라 최근 개발되고 있는 웨어러블 또는 플렉서블 디바이스에 본 발명에 따른 음향장치를 적용하는 것이 가능하다.According to the present invention, a sound device can be expanded and contracted, and thus it is possible to apply the sound device according to the present invention to a wearable or flexible device that has been recently developed.

도 1 및 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 액체 금속 코일을 사용한 신축가능한 음향장치의 제조방법의 개략적인 흐름도로, 도 1은 단면도로 나타난 것이며, 도 2는 사시도로 나타낸 것이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 액체 금속 코일을 사용한 신축가능한 음향장치의 시제품 사진이다.
도 4는 액체 금속 코일을 사용한 신축가능한 음향장치를 신장하였을 때, 스트레인에 따른 I-V Curve 그래프의 기울기로부터 액체 금속 코일의 Strain에 따른 저항을 계산한 후, 초기 저항(R0)에 대한 나중 저항(R)을 플롯한 Strain(%)-R/R0 그래프이다. 1 and 2 are schematic flow charts of a method of manufacturing a stretchable acoustic device using a liquid metal coil according to an embodiment of the present invention, wherein FIG. 1 is a sectional view and FIG. 2 is a perspective view.
3 is a photograph of a prototype of a stretchable acoustic device using a liquid metal coil according to an embodiment of the present invention.
4 is later resistance to then calculate the resistance of the Strain of the liquid metal coil from the slope of the IV Curve graph of the strain when stretching the stretchable acoustic device using a liquid metal coil, the initial resistance (R 0) ( R) plotted against the strain (%) - R / R 0 plot.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 액체 금속 코일을 사용한 신축가능한 음향장치 및 이의 제조방법에 관하여 설명한다.Hereinafter, a stretchable acoustic device using a liquid metal coil according to a preferred embodiment of the present invention and a method of manufacturing the same will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1 및 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 액체 금속 코일을 사용한 신축가능한 음향장치의 제조방법의 개략적인 흐름도로, 도 1은 단면도로 나타난 것이며, 도 2는 사시도로 나타낸 것이며, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 액체 금속 코일을 사용한 신축가능한 음향장치의 시제품 사진이다.1 and 2 are schematic flow charts of a method of manufacturing a stretchable acoustic device using a liquid metal coil according to an embodiment of the present invention. FIG. 1 is a sectional view, FIG. 2 is a perspective view, Is a photograph of a prototype of a stretchable acoustic device using a liquid metal coil according to an embodiment of the present invention.

도 1 내지 도 3을 참조하여 액체 금속 코일을 사용한 신축가능한 음향장치의 제조방법에 관하여 설명하면,Referring to Figs. 1 to 3, a method of manufacturing a stretchable acoustic device using a liquid metal coil will be described.

먼저, 포토리소그래피 공정을 통해 마이크로채널 패턴이 형성된 몰드를 제작한다. 이에 관하여 구체적으로 설명하면, 도 1의 (A) 및 도 2의 (A)에 도시된 바와 같이, 기판(ex : SiO2 기판)(11)의 상면에 포토리소그래피 공정을 통해 제거되는 물질, 예를 들어 SU-8(12)을 스핀코팅한 후 이를 응고시킨다. 이후, 마이크로채널 패턴이 형성된 포토마스크(1)를 기판 상측에 배치한 후, 응고된 SU-8을 UV에 노출시킨다. 이후, 65℃ 핫플레이트에서 1분, 95℃ 핫플레이트에서 5분간 가열한 후, 상온에서 1~3분간 냉각시킨다. 상기 과정을 거친 SU-8을 SU-8 디벨로퍼(developer)에서 20분간 흔들어주면, 마이크로채널 형태로 패터닝 된 SU-8 고분자 몰드를 얻을 수 있다(도 1의 (B) 및 도 2의 (B)). First, a mold having a microchannel pattern is formed through a photolithography process. Specifically, as shown in Figs. 1A and 2A, a material removed through a photolithography process on the upper surface of a substrate (ex: SiO2 substrate) 11, for example, After spin coating SU-8 (12), coagulate it. Thereafter, the photomask 1 on which the microchannel pattern is formed is placed on the upper side of the substrate, and then the solidified SU-8 is exposed to UV. Thereafter, the mixture is heated on a 65 ° C hot plate for 1 minute and then heated on a 95 ° C hot plate for 5 minutes, and then cooled at room temperature for 1 to 3 minutes. When the SU-8 thus obtained is shaken in a SU-8 developer for 20 minutes, an SU-8 polymer mold patterned in the form of a microchannel can be obtained (FIG. 1B and FIG. 2B) ).

그런 다음, 도 1의 (C) 및 도 2의 (C)에 도시된 바와 같이, 몰드(13)에 고분자 물질(ex :PDMS와 Ecoflex를 7:3으로 섞은 혼합물)을 도포한 후 이응 응고시킨다. 이때, 고분자 물질 내부에 기포가 발생하는 것이 방지되도록(발생된 기포 제거), 고분자 물질이 도포된 몰드를 진공처리(약 12분)한 후, 65℃로 가열한 상태에서 경화한다. 이후, 응고된 고분자 물질을 몰드와 분리하면, 도 1의 (D) 및 도 2의 (D)에 도시된 바와 같이 하부판(20)이 제작된다. 참고로, 이와 같이 제작된 하부판(20)에는 마이크로채널(21)이 형성되며, 이 하부판(20)은 신축 가능한 특성을 가진다. 이때, 마이크로채널(21)은 도 2의 (D)에 도시된 바와 같이, 나선형으로 형성되는 것이 바람직하다.Then, as shown in Figs. 1C and 2C, a polymer material (ex: mixture of PDMS and Ecoflex in a ratio of 7: 3) is applied to the mold 13 and coagulated . At this time, the mold to which the polymer material is applied is vacuum-treated (about 12 minutes) so as to prevent the generation of bubbles in the polymer material (bubble generation), and then the material is cured while being heated to 65 ° C. Thereafter, when the solidified polymer material is separated from the mold, the lower plate 20 is manufactured as shown in FIGS. 1D and 2D. For reference, a microchannel 21 is formed on the bottom plate 20 manufactured as described above, and the bottom plate 20 has a stretchable characteristic. At this time, it is preferable that the microchannel 21 is formed in a spiral shape as shown in FIG. 2D.

이후, 도 1의 (D) 및 도 2의 (D)에 도시된 바와 같이, 한 쌍의 전선(구리선 등)(31,32)을 마이크로채널(21)의 양측 단부에 하나씩 배치한다. 구체적으로는, 하부판(20)의 하면으로부터 상방향으로 전선(31,32)을 통과시켜서 마이크로채널의 양측 단부에 전선을 배치할 수 있다. 이때, 전선이 통과된 구멍으로 후술하는 바와 같이 마이크로채널에 충진되는 액체 금속이 새어나올 수 있는데, 이를 방지하기 위하여 전선이 관통된 주위에는 고분자 물질을 바른 후 경화시키는 것이 바람직하다.Thereafter, as shown in Figs. 1D and 2D, a pair of wires (copper wires, etc.) 31 and 32 are arranged at both ends of the microchannel 21 one by one. Specifically, the electric wires 31 and 32 may be passed upward from the lower surface of the lower plate 20, and the electric wires may be disposed at both ends of the microchannel. At this time, the liquid metal filled in the microchannel may leak out through the hole through which the wire is passed. To prevent this, it is preferable to apply a polymer material to the periphery where the electric wire penetrates and then harden it.

그런 다음, 도 1의 (E) 및 도 2의 (E)에 도시된 바와 같이, 마이크로채널을 평판 형상의 필름(40)(예를 들어, PET 필름)으로 덮은 후, 주사기나 마이크로 주입장치를 이용하여 액체 금속(Galinstan)(50)을 마이크로채널에 충진한다(도 1의 (F)). 이때, 필름(40)에는 공기가 배출될 수 있도록 배출구가 형성되는 것이 바람직하며(즉, 마이크로채널에 액체 금속이 충진될 때 마이크로채널 내부에 있던 공기가 배출됨), 액체 금속의 충진시 필름(40)이 들리지 않도록 필름을 하부판쪽으로 가압하는 것이 바람직하다. 이후, 필름(40)을 제거하면, 도 1의 (G) 및 도 2의 (F)에 도시된 바와 같이, 하부판(20)의 마이크로채널에 액체 금속(50)이 충진된 상태가 된다. 이때, 각 전선(31,32)은 마이크로채널에 충진된 액체 금속(50)과 연결된다.Then, the microchannel is covered with a flat film 40 (for example, a PET film) as shown in FIGS. 1 (E) and 2 (E) A liquid metal (Galinstan) 50 is filled into the microchannel (Fig. 1 (F)). At this time, it is preferable that the film 40 is formed with an outlet so that air can be discharged (that is, the air inside the microchannel is discharged when the liquid metal is filled in the microchannel) It is preferable to press the film toward the bottom plate. Thereafter, when the film 40 is removed, the microchannel of the lower plate 20 is filled with the liquid metal 50, as shown in Figs. 1 (G) and 2 (F). At this time, the electric wires 31 and 32 are connected to the liquid metal 50 filled in the microchannel.

한편, 필름(40)을 제거하는 과정에서, 액체 금속(50)이 마이크로채널 위로 넘쳐서 합선(즉, 인접한 마이크로채널끼리 서로 합선)될 수 있는데, 이를 방지하기 위하여 마이크로채널 위로 넘친 액체 금속을 닦아주는 것이 바람직하다(에탄올 등으로 제거).On the other hand, in the process of removing the film 40, the liquid metal 50 may overflow the microchannel and short-circuit (that is, short-circuited adjacent microchannels) (Removed with ethanol or the like).

이후, 하부판(20)의 상면에 상부판을 결합하는데, 이에 관하여 구체적으로 설명하면 도 1의 (H) 및 도 2의 (G)에 도시된 바와 같이 하부판의 상면에 고분자 물질(ex : Ecoflex)을 도포한 후 경화시키면 상부판(60)이 하부판에 결합되며(즉, 경화된 고분자 물질이 상부판이 됨), 이에 따라 액체 금속이 충진된 마이크로채널이 밀봉된다. 이때, 고온에 의해 액체 금속에 악영향이 발생되거나 마이크로채널에 결함이 발생하는 것이 방지되도록, 상온에서 경화하는 것이 바람직하다.As shown in FIG. 1 (H) and FIG. 2 (G), a polymer material (ex. Ecoflex) is applied to the upper surface of the lower plate 20, The upper plate 60 is bonded to the lower plate (that is, the cured polymer material becomes the upper plate), whereby the microchannel filled with the liquid metal is sealed. At this time, it is preferable to cure at room temperature so as to prevent adverse effects on the liquid metal due to the high temperature or to prevent defects in the microchannel.

그리고, 이와 같이 상부판(60)이 하부판(20)에 결합되면, 상부판과 하부판은 일체가 되어 하나의 진동판(70)을 이루게 되며, 이 진동판(70)의 내부에 형성된 마이크로채널에 액체 금속(50)이 충진된 상태가 된다.When the upper plate 60 is coupled to the lower plate 20 as described above, the upper plate and the lower plate are integrated to form a diaphragm 70. In the microchannel formed in the diaphragm 70, (50) is filled.

그런 다음, 자석(80)을 진동판에 결합한다. 이때, 자석(80)은 상부판 또는 하부판의 표면에 고분자 물질(예를 들어 Ecoflex)를 도포하고, 그 위에 자석(네오디뮴 자석 등)을 붙히고 고분자 물질을 경화하면 된다.Then, the magnet 80 is coupled to the diaphragm. At this time, the magnet 80 may be formed by applying a polymer material (for example, Ecoflex) on the surface of the upper plate or the lower plate, attaching a magnet (neodymium magnet or the like) thereon, and curing the polymer material.

상술한 바와 같이 구성된 액체 금속 코일을 사용한 신축가능한 음향장치는 스피커 또는 마이크로폰 형태로 이용될 수 있다.A stretchable acoustic device using a liquid metal coil constructed as described above may be used in the form of a speaker or a microphone.

예를 들어, 자석에 의해 나선형을 따라 충진된 액체 금속(이하, '액체 금속 코일'이라 함)에 자기장이 인가되고 있는 상태에서, 전선을 통해 액체 금속 코일로 인가되는 전류를 변화시키면 로렌츠의 힘이 발생되고, 이에 따라 진동판이 진동되면서 스피커로 활용될 수 있다. For example, if a current applied to a liquid metal coil through a wire is changed while a magnetic field is being applied to a liquid metal filled along the spiral by a magnet (hereinafter, referred to as a 'liquid metal coil'), So that the diaphragm can be used as a speaker as the diaphragm is vibrated.

또한, 외부 사운드에 의한 진동이 진동판에 전달되면, 액체 금속 코일에 유도 전류가 발생되고, 이를 파형으로 기록하면 마이크로폰으로 활용가능하다.In addition, when the vibration due to the external sound is transmitted to the diaphragm, an induced current is generated in the liquid metal coil, and it can be used as a microphone by recording it as a waveform.

특히, 본 발명에 따른 액체 금속 코일을 사용한 신축가능한 음향장치는 진동판이 신축 가능한 소재로 이루어지고, 액체 금속 코일이 액체로 이루어져 있기 때문에, 음향장치가 신축가능하다는 장점이 있다. 도 4는 액체 금속 코일을 사용한 신축가능한 음향장치를 신장하였을 때, 스트레인에 따른 I-V Curve 그래프의 기울기로부터 액체 금속 코일의 Strain에 따른 저항을 계산한 후, 초기 저항(R0)에 대한 나중 저항(R)을 플롯한 Strain(%)-R/R0 그래프이다. 도 4를 참조하면, 음향장치가 신축되더라도 저항값이 거의 일정한 수준을 유지함을 확인할 수 있으며, 이로부터 웨어러블 디바이스 등과 같이 신축되는 전자기기의 음향장치로의 적용이 가능함을 확인할 수 있다.Particularly, the stretchable acoustic device using the liquid metal coil according to the present invention is advantageous in that the diaphragm is made of a stretchable material and the liquid metal coil is made of liquid, so that the acoustic device can be stretched and shrunk. 4 is later resistance to then calculate the resistance of the Strain of the liquid metal coil from the slope of the IV Curve graph of the strain when stretching the stretchable acoustic device using a liquid metal coil, the initial resistance (R 0) ( R) plotted against the strain (%) - R / R 0 plot. Referring to FIG. 4, it can be seen that the resistance value is maintained at a substantially constant level even if the acoustic device is expanded or contracted. From this, it can be confirmed that the present invention can be applied to an acoustic device of an electronic device newly expanded or contracted, such as a wearable device.

이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형 실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 청구범위 기재의 범위 내에 있게 된다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is clearly understood that the same is by way of illustration and example only and is not to be taken by way of limitation in the embodiment in which said invention is directed. It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and detail may be made therein without departing from the scope of the appended claims.

20...하부판 21...마이크로패턴
31,32...전선 40...필름
50...액체 금속 60...상부판
70...진동판 80...자석20 ... bottom plate 21 ... micro pattern
31,32 ... wire 40 ... film
50 ... liquid metal 60 ... top plate
70 ... diaphragm 80 ... magnet

Claims (7)

삭제delete 삭제delete 삭제delete 마이크로채널이 형성되어 있으며, 신축 가능한 소재로 이루어지는 하부판을 준비하는 단계;
상기 마이크로채널의 양단부에 전선을 배치하는 단계;
상기 마이크로채널에 액체 금속을 충진하는 단계; 및
상기 액체 금속이 충진된 마이크로채널에 밀봉되도록 신축 가능한 소재로 이루어지는 상부판을 상기 하부판에 결합하는 단계;를 포함하며,
상기 하부판은, 포토리소그래피 공정을 통해 마이크로채널 패턴이 형성되어 있는 몰드를 제작하고, 상기 몰드에 고분자 물질을 도포한 후 응고시킨 다음, 상기 응고된 고분자 물질을 상기 몰드와 분리시킴으로써 제작되는 것을 특징으로 하는 액체 금속 코일을 사용한 신축가능한 음향장치의 제조방법.Preparing a lower plate having a microchannel formed therein and made of a stretchable material;
Disposing wires at both ends of the microchannel;
Filling the microchannel with a liquid metal; And
And joining an upper plate made of a material stretchable and contractible to the microchannel filled with the liquid metal to the lower plate,
The bottom plate is manufactured by manufacturing a mold having a microchannel pattern formed through a photolithography process, coating a polymer material on the mold, solidifying the polymer material, and separating the solidified polymer material from the mold. Wherein said method comprises the steps of: 삭제delete 제4항에 있어서,
상기 고분자 물질의 응고시 기포가 발생되는 것이 방지되도록 진공 처리하는 것을 특징으로 하는 액체 금속 코일을 사용한 신축가능한 음향장치의 제조방법.5. The method of claim 4,
Wherein a vacuum process is performed to prevent bubbles from being generated during solidification of the polymer material. 제4항에 있어서,
상기 액체 금속을 충진하는 단계에서는,
상기 하부판에 형성된 마이크로채널을 평판 형상의 필름으로 덮은 후, 상기 액체 금속을 상기 마이크로채널에 충진하는 것을 특징으로 하는 액체 금속 코일을 사용한 신축가능한 음향장치의 제조방법.5. The method of claim 4,
In the step of filling the liquid metal,
Wherein the microchannel formed on the lower plate is covered with a flat film and then the liquid metal is filled in the microchannel.
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