KR101584071B1 - Substrate fixing holder and thin film manufacturing apparatus comprising the substrate fixing holder - Google Patents

Substrate fixing holder and thin film manufacturing apparatus comprising the substrate fixing holder Download PDF

Info

Publication number
KR101584071B1
KR101584071B1 KR1020150006077A KR20150006077A KR101584071B1 KR 101584071 B1 KR101584071 B1 KR 101584071B1 KR 1020150006077 A KR1020150006077 A KR 1020150006077A KR 20150006077 A KR20150006077 A KR 20150006077A KR 101584071 B1 KR101584071 B1 KR 101584071B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
substrate
connection shaft
holder
thin film
present
Prior art date
Application number
KR1020150006077A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
홍진기
Original Assignee
중앙대학교 산학협력단
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 중앙대학교 산학협력단 filed Critical 중앙대학교 산학협력단
Priority to KR1020150006077A priority Critical patent/KR101584071B1/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101584071B1 publication Critical patent/KR101584071B1/en

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C13/00—Means for manipulating or holding work, e.g. for separate articles
    • B05C13/02—Means for manipulating or holding work, e.g. for separate articles for particular articles
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C3/00—Apparatus in which the work is brought into contact with a bulk quantity of liquid or other fluent material
    • B05C3/02—Apparatus in which the work is brought into contact with a bulk quantity of liquid or other fluent material the work being immersed in the liquid or other fluent material
    • B05C3/12—Apparatus in which the work is brought into contact with a bulk quantity of liquid or other fluent material the work being immersed in the liquid or other fluent material for treating work of indefinite length
    • B05C3/132—Apparatus in which the work is brought into contact with a bulk quantity of liquid or other fluent material the work being immersed in the liquid or other fluent material for treating work of indefinite length supported on conveying means

Abstract

The present invention relates to a holder for substrate fixation and a thin film producing apparatus. According to the present invention, the thin film producing apparatus comprises: a rotation platform which rotates around a uni-directional shaft line and on which a plurality of containers accommodating an aqueous solution are placed respectively on an upper part thereof; a holder on which at least one substrate, where a thin film layer is formed on a surface via a reaction with the aqueous solution, is fixed and which ascends in a vertical direction so as to bring the substrate into contact with the aqueous solution in each container in a time sequential order; and a controlling device controlling the ascending motion of the holder and the rotation of the rotation platform, based on an electrical signal.

Description

기판 고정용 홀더 및 박막 제조 장치{Substrate fixing holder and thin film manufacturing apparatus comprising the substrate fixing holder}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a substrate fixing holder and a thin film manufacturing apparatus,

본 발명은 기판 고정용 홀더 및 박막 제조 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 나노 두께의 박막이 형성되는 기판을 하나의 유닛에 복수개 고정시킬 수 있도록 구조가 개선된 기판 고정용 홀더 및 나노 두께의 박막 제조를 자동화시킬 수 있도록 개선된 박막 제조 장치에 관한 것이다. The present invention relates to a holder for fixing a substrate and an apparatus for manufacturing a thin film, and more particularly, to a holder for fixing a substrate and a nano-thick thin film having improved structure to fix a plurality of substrates on which a nano- To an improved thin film manufacturing apparatus capable of automating manufacturing.

최근 기존의 기술 대비 차별화된 특성과 진일보한 성능을 지니고 있는 나노 재료들을 이용하여 새로운 기능을 부여하는 창조적 융합의 필요성이 크게 부각되었고, 응용하자고 하는 분야에 맞는 새로운 나노 재료들을 도입하는 것이 화두이다. 나노 재료들을 이용하여 어느 곳이든지 적용 가능한 나노 두께의 박막 형태로 디자인하는 것은 매우 유용한 기술이며, 많은 연구들이 이루어지고 있다. Recently, the necessity of creative fusion that gives new functions by using nanomaterials having differentiated characteristics and advanced performance compared to existing technologies has been greatly emphasized, and introduction of new nanomaterials suitable for application fields is a hot topic. It is very useful technology to design nano-thick thin film which can be applied anywhere using nanomaterials, and many studies have been made.

하지만, 이러한 많은 연구들은 현재까지 연구 수준에 머무르고 있으며 산업화를 위한 공정에 적용되어 대량생산에 적용되기에는 제조 공정의 수월성, 경제적 측면, 재현성 등의 다양한 문제가 있다. 그렇기 때문에 이러한 문제들을 조금이라도 해결하기 위해 나노 두께의 박막을 생성하기 위한 automatic machine이 필요하다. However, many of these studies have remained at the research level up to now, and there are various problems such as excellence of manufacturing process, economical aspect, and reproducibility in order to be applied to industrial production process and to be applied to mass production. Therefore, in order to solve these problems, an automatic machine is needed to produce thin films of nano-thickness.

나노 두께의 박막은, 스핀 코팅법, 스프레이 코팅법, 진공 여과(vacuum filtration)법, 랑뮤어-블라젯(Langmuir-Blodgett, LB) 조립법 및 LBL(layer-by-layer) 조립법 등과 같은 다양한 코팅법 및 자기 조립법을 통해, 용액 상의 고분자, 단백질, 성장인자, 나노입자, 탄소나노소재 등을 각각 물질의 특성에 따른 수소결합, 정전기적 인력, 쌍극자-쌍극자 인력, 소수성 상호작용들과 같은 다양한 상호인력을 통하여 필름 형태로 제조하는 등의 다양한 방법으로 제조되어 왔다. The nano-thick film can be formed by various coating methods such as spin coating, spray coating, vacuum filtration, Langmuir-Blodgett (LB) and LBL (layer-by-layer) And hydrophobic interactions such as hydrogen bonding, electrostatic attraction, dipole-dipole attraction, and hydrophobic interactions depending on the properties of a material, such as polymers, proteins, growth factors, nanoparticles, and carbon nanomaterials, In the form of a film through the above-mentioned method.

상기 LBL 조립법은 그래핀 조각에 서로 다른 표면 전하를 부여하고, 정전기적 인력을 이용하여 필름을 조립하는 코팅 방법이다. 상기 LBL 조립법의 경우, 그래핀 조각에 작용기를 붙여 양전하를 가지는 그래핀 산화물 용액 및 음전하를 가지는 그래핀 산화물 용액을 각각 제조하고, 기판을 상기 두 용액에 번갈아 담금으로써 그래핀 산화물 조각들을 한 층씩 쌓아나갈 수 있다. 상기 LBL 조립법은 조작성이 좋지만 그래핀 조각에 작용기를 붙이는 전처리 과정이 필요하고, 공정에 소요되는 그래핀 산화물 용액의 양과 소요되는 시간이 많다는 단점이 있다. The LBL assembly method is a coating method in which different surface charges are applied to graphene pieces and the film is assembled using an electrostatic attraction. In the case of the LBL assembly method, a graphene oxide solution having a positive charge and a graphene oxide solution having a negative charge are each prepared by attaching a functional group to a graphene piece, and the graphene oxide pieces are stacked one by one by immersing the substrate in the two solutions alternately I can go out. The LBL assembly method has a good operability but requires a pretreatment step of attaching a functional group to the graphene piece, and the amount of the graphene oxide solution required for the process and the time required are large.

따라서, 나노 두께의 박막의 제조 기술을 한 단계 성장시켜 자동화시킴으로써 제품의 양산성을 향상시키고 노동력을 줄여 제조원가를 절감시킬 필요성이 제기되었다.Therefore, there is a need to reduce the manufacturing cost by improving the mass productivity of the product and reducing the labor force by growing the nano-thick film manufacturing technology one step and automating it.

또한, 한 번의 공정에 의해서도 다수의 박막을 제작할 수 있는 제조 설비에 관한 설계를 통해 제조 효율을 높이고자 하는 연구개발이 요구되고 있는 실정이다. In addition, there is a demand for research and development to increase manufacturing efficiency by designing manufacturing facilities capable of manufacturing a large number of thin films by a single process.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 나노 두께의 박막이 형성되는 기판을 하나의 유닛에 복수개 고정시킬 수 있게 함으로써 제조효율을 높일 수 있게 하는 기판 고정용 홀더를 제공하고자 하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in order to solve the above problems, and it is an object of the present invention to provide a substrate holder for mounting a substrate having a nano-thick thin film on a single unit, .

본 발명의 다른 목적은 나노 두께의 박막 제조를 자동화시킴으로써 제품의 양산성 향상 및 제조원가 절감을 가능하게 하는 박막 제조 장치를 제공하고자 하는 것이다. Another object of the present invention is to provide a thin film manufacturing apparatus which can improve the mass productivity of a product and reduce the manufacturing cost by automating the manufacture of a nano-thick film.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 기판 고정용 홀더는, 복수의 수용액에 함유된 입자와의 작용으로 표면에 박막층이 형성되는 적어도 하나의 기판을 고정하기 위한 것으로, 상기 기판을 시계열적인 순서에 의해 상기 각 용기의 수용액에 접촉시킬 수 있도록 전기적인 신호에 기초하여 상하방향으로 승강되고, 상기 승강을 위해 동력원과 연결되는 연결축; 및 상기 연결축과 함께 승강될 수 있도록 그 연결축와 연결되어 있고 상기 연결축을 중심에 두고 감싸는 형태로 배치되며, 원주방향을 따라 간격을 두고 복수의 끼움부들이 마련되어 있는 고정본체;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다. According to an aspect of the present invention, there is provided a substrate holder for fixing at least one substrate on which a thin film layer is formed by a function of particles contained in a plurality of aqueous solutions, A connection shaft which is vertically moved up and down based on an electrical signal so as to be brought into contact with the aqueous solution of each container and connected to the power source for lifting and lowering; And a fixing body connected to the connection shaft so as to be able to be lifted and lowered together with the connection shaft and arranged to surround the connection shaft around the connection shaft and having a plurality of fitting portions spaced apart in the circumferential direction .

상기 고정본체는, 중심리브를 통해 상기 연결축과 연결되는 환 형상의 환형리브와 원주방향을 따라 간격을 두고 상기 환형리브의 내주면으로부터 상기 연결축 방향으로 돌출된 끼움리브들을 포함하며, 상기 각 끼움리브에는 상기 기판이 끼워져 결합되는 끼움홈이 형성되어 있는 것이 바람직하다. Wherein the fixed body includes an annular rib which is connected to the connecting shaft through a central rib and a plurality of fitting ribs protruding from the inner circumferential surface of the annular rib in the direction of the connecting shaft at intervals along the circumferential direction, The rib preferably has a fitting groove into which the substrate is fitted.

상기 환형리브와 끼움리브들을 포함하여 이루어지는 상기 고정본체는, 상하로 복수개 배치되고, 상기 복수의 고정본체들 중 인접한 한 쌍의 고정본체들은, 어느 일측의 연결축과 다른 일측의 중심리브들의 나사결합에 의해 상호 고정되는 것이 바람직하다. Wherein a plurality of fixing bodies including the annular ribs and the fitting ribs are arranged vertically and a pair of adjacent fixed bodies of the plurality of fixing bodies are fixed to each other by screwing As shown in Fig.

상기 고정본체는, 상기 연결축에 결합되는 원판형의 연결부와, 상기 연결부로부터 반경방향으로 연장 형성되고 원주방향을 따라 방사형으로 복수개 형성되는 방사부들을 포함하여 이루어지고, 상기 각 방사부에는 상기 기판이 끼워져 결합되는 끼움홈이 형성되어 있는 것도 가능하다. Wherein the fixing body includes a disc-shaped connection portion coupled to the connection shaft, and a plurality of radial portions extending in the radial direction from the connection portion and radially formed in the circumferential direction, It is also possible that a fitting groove is formed to be engaged and engaged.

상기 연결부와 방사부들을 포함하여 이루어지는 상기 고정본체는, 상하로 복수개 배치되고, 상기 복수의 고정본체들 중 인접한 한 쌍의 고정본체들은, 어느 일측의 연결축과 다른 일측의 연결축들 간의 나사결합에 의해 상호 고정되는 것이 바람직하다. Wherein a plurality of fixing bodies including the connecting portion and the radiating portions are arranged in a vertical direction and a pair of adjacent fixed bodies of the plurality of fixing bodies are fixed to each other by screwing As shown in Fig.

상기 고정본체는, 원주방향을 따라 간격을 두고 형성되고, 지름의 형성방향을 제외한 현의 형성방향을 따라 길게 형성되는 복수의 끼움슬릿부들을 포함하여 이루어지는 것도 가능하다.The fixing body may include a plurality of fitting slits spaced along the circumferential direction and formed to be long along the forming direction of the string except for the direction of the diameter.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 박막 제조 장치는, 일방향 축선을 기준으로 하여 회전되고, 상면에 각각 수용액이 수용되어 있는 복수의 용기들이 놓여지는 회전플랫폼; 상기 수용액과 반응으로 표면에 박막층이 형성되는 적어도 하나의 기판이 고정되고, 상기 기판을 시계열적인 순서에 의해 상기 각 용기의 수용액에 접촉시킬 수 있도록 상하방향으로 승강되는 홀더; 및 상기 회전플랫폼의 회전 및 상기 홀더의 승강 동작을 전기적인 신호에 기초하여 제어하는 제어장치;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다. According to an aspect of the present invention, there is provided a thin film manufacturing apparatus comprising: a rotating platform rotatable with respect to a unidirectional axis and having a plurality of containers each containing an aqueous solution on an upper surface thereof; A holder which is fixed to at least one substrate on which a thin film layer is formed by reaction with the aqueous solution and is lifted up and down so that the substrate can be brought into contact with the aqueous solution of each of the containers in a time sequence; And a control device for controlling the rotation of the rotary platform and the elevating operation of the holder based on an electrical signal.

상기 기판은, 상기 수용액에 함유된 전하를 띄는 입자와 정전기적 인력을 발생시키기 위하여 표면처리되어 있고, 상기 홀더는, 상기 승강을 위해 동력원과 연결되는 연결축; 상기 연결축과 함께 승강될 수 있도록 그 연결축와 연결되어 있고 상기 연결축을 중심에 두고 감싸는 형태로 배치되며, 원주방향을 따라 간격을 두고 복수의 끼움부들이 마련되어 있는 고정본체;를 포함하여 이루어지는 것이 바람직하다. Wherein the substrate is surface-treated to generate electrostatic attractive force with charged particles contained in the aqueous solution, the holder comprising: a connection shaft connected to the power source for lifting and lowering; And a fixing body connected to the connection shaft so as to be able to be lifted and lowered together with the connection shaft and disposed in the form of wrapping around the connection shaft with a plurality of fitting portions spaced apart in the circumferential direction Do.

상술한 바와 같은 구성을 가지는 본 발명에 의한 박막 제조 장치는, 제어장치의 제어신호에 기초하여 회전플랫폼이 스텝 회전을 하게 되고, 홀더가 시계열적인 순서에 의해 회전플랫폼에 놓여진 용기들 중 어느 하나에 대해 승강됨으로써 홀더에 고정되어 있는 기판과 각 용기에 수용된 수용액 간의 순차적인 반응이 일어나게 된다. 이와 같이, 본 발명에 의하면 홀더 및 회전플랫폼을 시계열적인 순서에 의해 자동으로 작동시킬 수 있게 됨에 따라, 나노 두께의 박막을 자동화 공정을 통해 제작할 수 있게 됨으로써 제품의 양산성을 향상시킬 수 있고, 제조원가를 절감시킬 수 있는 장점이 기대된다. In the thin film production apparatus according to the present invention having the above-described structure, the rotary platform performs step rotation based on the control signal of the control device, and the holder is moved to any one of the containers placed on the rotary platform in a time- So that a sequential reaction occurs between the substrate fixed to the holder and the aqueous solution contained in each of the containers. As described above, according to the present invention, since the holder and the rotating platform can be automatically operated in a time series order, the nano-thick thin film can be manufactured through an automated process, thereby improving the mass productivity of the product, It is expected that the advantage can be saved.

상술한 바와 같은 구성을 가지는 본 발명에 의한 기판 고정용 홀더는, 비커와 같이 원형통 형상을 가지는 용기에 복수의 기판을 서로 간섭됨이 없이 고정할 수 있게 함으로써, 복수의 박막층을 한 번의 제조공정에 의해서도 효율적으로 형성시킬 수 있는 장점을 도출한다.The holder for fixing a substrate according to the present invention having the above-described structure can fix a plurality of substrates to a container having a cylindrical shape like a beaker without interference with each other, It is possible to efficiently form the light emitting layer by the light emitting layer.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 박막 제조 장치의 사시도.
도 2는 본 발명 일실시예의 동작상태를 보인 사시도.
도 3는 본 발명 일실시예에 채용된 홀더의 저면 사시도.
도 4는 본 발명의 일실시예에 채용되는 홀더의 도 3과 다른 구조를 보인 저면 사시도.
도 5는 본 발명에 의한 박막 제조 장치에 채용되는 기판 고정용 홀더의 또 다른 실시예를 보인 사시도.
도 6은 본 발명에 의한 박막 제조 장치에 채용되는 기판 고정용 홀더의 또 다른 실시예를 보인 사시도.
도 7은 본 발명에 의한 박막 제조 장치에 채용되는 기판 고정용 홀더의 또 다른 실시예를 보인 사시도.
도 8은 본 발명에 의한 박막 제조 장치에 채용되는 기판 고정용 홀더의 또 다른 실시예를 보인 사시도.
도 9는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 박막 제조 장치의 사시도.
도 10은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 박막 제조 장치의 동작상태를 보인 평면도.
도 11은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 박막 제조 장치의 사시도.
도 12는 본 발명의 또 다른 실시예의 동작상태를 설명하기 위한 사시도.
도 13은 본 발명의 또 다른 실시예의 동작상태를 설명하기 위한 측면도.
도 14는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 박막 제조 장치의 측면도.1 is a perspective view of a thin film manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention;
2 is a perspective view showing an operation state of an embodiment of the present invention.
3 is a bottom perspective view of a holder employed in one embodiment of the present invention.
FIG. 4 is a bottom perspective view showing a structure of a holder employed in an embodiment of the present invention, which is different from FIG. 3; FIG.
5 is a perspective view showing still another embodiment of a holder for fixing a substrate employed in the thin film production apparatus according to the present invention.
FIG. 6 is a perspective view showing still another embodiment of a holder for fixing a substrate employed in the thin film production apparatus according to the present invention. FIG.
7 is a perspective view showing still another embodiment of a holder for fixing a substrate employed in the thin film production apparatus according to the present invention.
8 is a perspective view showing still another embodiment of a holder for fixing a substrate employed in the thin film production apparatus according to the present invention.
9 is a perspective view of a thin film manufacturing apparatus according to another embodiment of the present invention.
10 is a plan view showing an operation state of a thin film manufacturing apparatus according to another embodiment of the present invention.
11 is a perspective view of a thin film manufacturing apparatus according to another embodiment of the present invention.
12 is a perspective view for explaining an operation state of another embodiment of the present invention.
13 is a side view for explaining an operation state of another embodiment of the present invention.
14 is a side view of a thin film manufacturing apparatus according to another embodiment of the present invention.

이하에서 설명할 박막 제조 장치는, 다양한 인력들 중에 정전기적 인력으로 자세히 설명하면 고분자전해질, 탄소나노소재, 단백질, 성장인자, 나노입자 등에 작용기를 붙여 양전하를 가지는 용액 및 음전하를 가지는 고분자전해질, 탄소나노소재, 단백질, 성장인자, 나노입자 용액들을 각각 제조하고, 기판을 상기 두 용액에 번갈아 담금으로써 각각 다른 특성을 지니는 물질들을 한 층씩 쌓아 나갈 수 있게 하는 LBL(layer-by-layer) 조립법으로 나노 두께의 박막을 제조하기 위한 것이다. The thin film manufacturing apparatus described below will be described in more detail with electrostatic attraction among various attraction forces, and a polymer electrolyte having a positive charge by attaching a functional group to a polymer electrolyte, a carbon nanomaterial, a protein, a growth factor or a nanoparticle and a polymer electrolyte having a negative charge, By layer-by-layer assembly (LBL), which enables to stack layers of materials with different properties by fabricating nanomaterials, proteins, growth factors, and nanoparticle solutions and immersing the substrate alternately in the two solutions, Thick thin film.

따라서, LBL 조립법의 기본원리에 대해서는 그 설명을 생략하고, 나아가 수용액에 함유된 고분자전해질, 탄소나노소재, 단백질, 성장인자, 나노입자 등등 다양한 물질들의 특성에 따라 박막이 형성된 기판의 재질 등은 다양하게 구현될 수 있음을 밝혀둔다. Therefore, the description of the basic principle of the LBL assembly method is omitted, and the material of the substrate on which the thin film is formed varies depending on the characteristics of various materials such as the polymer electrolyte, carbon nanomaterial, protein, growth factor, As shown in FIG.

또한, 설명의 편의상 먼저 박막 제조 장치에 대해 설명하고, 다음으로 그 박막 제조 장치에 채용되는 기판 고정용 홀더에 대해 설명하기로 한다. For convenience of explanation, the thin film manufacturing apparatus will be described first, and the holder for fixing the substrate employed in the thin film manufacturing apparatus will be described below.

이하에서는 본 발명의 일실시예에 따른 박막 제조 장치를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, a thin film manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 박막 제조 장치의 사시도이고, 도 2는 본 발명 일실시예의 동작상태를 보인 사시도이고, 도 3는 본 발명 일실시예에 채용된 홀더의 저면 사시도이다. FIG. 1 is a perspective view of a thin film manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a perspective view showing an operation state of an embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a bottom perspective view of a holder employed in an embodiment of the present invention.

이들 도면에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일실시예에 따른 박막 제조 장치는, 회전플랫폼(110)과 홀더(120)와 제어장치를 포함하여 이루어진다.As shown in these figures, the thin film manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention includes a rotating platform 110, a holder 120, and a control device.

상기 회전플랫폼(110)은, 일방향 축선을 기준으로 하여 회전될 수 있도록 선반(101)에 회전가능하게 설치되고, 상면에 상기 축선을 중심으로 하여 원주방향을 따라 간격을 두고 복수의 용기(140)들이 놓여진다. The rotary platform 110 is rotatably installed on the shelf 101 so as to be rotatable about a unidirectional axis. The rotary platform 110 includes a plurality of containers 140 spaced from each other in the circumferential direction around the axis, Are placed.

상기 각 용기(140)에는 수용액이 수용되어 있고, 상기 수용액들 중 어느 하나에는 예를 들어 (+) 전하를 띄는 branched Polyethyleneimine(bPEI) 입자가 수용되어 있고, 다른 하나에는 예를 들어 (-) 전하를 띄는 Hyaluronic acid(HA) 입자가 수용되어 있으며, 또 다른 하나에는 예를 들어 (+)전하를 띄는 금 나노입자가 수용되어 있도록 구성될 수 있다. In each of the containers 140, an aqueous solution is accommodated. In one of the aqueous solutions, for example, branched polyethyleneimine (bPEI) particles having positive charge are accommodated, and the other one contains, for example, Hyaluronic acid (HA) particles with a (+) -charged gold nanoparticle can be accommodated.

상기 홀더(120)는, 상기 수용액들과의 작용으로 표면에 박막층이 형성되는 적어도 하나의 기판(130)이 고정되는 부분으로, 상기 제어장치의 제어 신호에 기초하여 상하방향으로 승강됨에 따라, 상기 기판(130)을 시계열적인 순서에 의해 상기 각 용기(140)의 수용액에 접촉시킬 수 있게 한다. 상기 홀더의 다양한 실시예들에 대해서는 도 4 내지 도 8을 참조하여 후술하기로 한다. The holder 120 is a portion to which at least one substrate 130 on which a thin film layer is formed is fixed by the action of the aqueous solutions. The holder 120 is lifted up and down based on a control signal of the control device, The substrate 130 can be brought into contact with the aqueous solution of each of the containers 140 in a time series sequence. Various embodiments of the holder will be described later with reference to Figs. 4 to 8. Fig.

여기서, 상기 박막층을 형성시키기 위한 상기 기판(130)과 수용액들과의 작용이라 함은, 고분자전해질, 탄소나노소재, 단백질, 성장인자, 나노입자 등을 함유하는 복수의 수용액과 기판(130) 간의 수소결합, 정전기적 인력, 쌍극자-쌍극자 인력, 소수성 상호작용들과 같은 인력에 의한 반응을 의미한다.Herein, the function of the substrate 130 and the aqueous solutions for forming the thin film layer means that a plurality of aqueous solutions containing polymer electrolyte, carbon nanomaterial, protein, growth factor, nanoparticle, Hydrogen bonding, electrostatic attraction, dipole-dipole attraction, and hydrophobic interactions.

상기 제어장치(미도시)는, 전기적인 신호에 기초하여 상기 회전플랫폼(110)을 시계열적인 순서에 의해 회전시키고 상기 홀더(120)를 승강시킨다. The control device (not shown) rotates the rotary platform 110 in a time-series sequence based on an electrical signal and lifts the holder 120.

상술한 바와 같은 구성을 가지는 본 발명에 의한 박막 제조 장치는, 제어장치의 제어신호에 기초하여 상기 회전플랫폼(110)이 스텝 회전을 하게 되고, 상기 홀더(120)가 시계열적인 순서에 의해 상기 회전플랫폼(110)에 놓여진 용기(140)들 중 어느 하나에 대해 승강됨으로써 상기 홀더(120)에 고정되어 있는 기판(130)과 상기 각 용기(140)에 수용된 수용액 간의 순차적인 반응이 일어나게 된다. 이와 같이, 본 발명에 의하면 상기 홀더(120) 및 회전플랫폼(110)을 시계열적인 순서에 의해 자동으로 작동시킬 수 있게 됨에 따라, 나노 두께의 박막을 자동화 공정을 통해 제작할 수 있게 됨으로써 제품의 양산성을 향상시킬 수 있고, 제조원가를 절감시킬 수 있는 장점이 기대된다. In the thin film manufacturing apparatus according to the present invention having the above-described configuration, the rotary platform 110 performs step rotation based on the control signal of the control device, and the holder 120 is rotated The reaction between the substrate 130 fixed to the holder 120 and the aqueous solution contained in each of the containers 140 is caused by being raised and lowered with respect to any one of the containers 140 placed on the platform 110. As described above, according to the present invention, since the holder 120 and the rotation platform 110 can be automatically operated in a time series sequence, a nano-thick thin film can be manufactured through an automated process, Can be improved, and the manufacturing cost can be reduced.

상기 기판(130)은, 상기 수용액과의 반응에 의해 박막층이 형성되는 부분으로, 상기 수용액에 함유된 전하를 띄는 입자와 정전기적 인력을 발생시키기 위하여 표면처리되는 것이 바람직하다.The substrate 130 is a portion where a thin film layer is formed by reaction with the aqueous solution, and is preferably surface-treated so as to generate charged particles contained in the aqueous solution and electrostatic attractive force.

상기 홀더(120)는, 승강 동작을 위해 동력원과 연결되는 연결축(122)과, 상기 연결축(122)과 연결되어 있고 상기 기판(130)이 고정되는 고정본체(124)를 포함하여 이루어진다.The holder 120 includes a connection shaft 122 connected to a power source for a lifting operation and a fixing body 124 connected to the connection shaft 122 and to which the substrate 130 is fixed.

상기 고정본체(124)는, 도 3에 잘 도시된 바와 같이, 상기 연결축(122)을 중심에 두고 그 연결축(122)을 감싸는 형태로 배치되고, 원주방향을 따라 간격을 두고 복수의 끼움부들이 마련되어 있다. 3, the fixing body 124 is disposed so as to surround the connecting shaft 122 with the connecting shaft 122 as a center, and has a plurality of fittings 122 spaced along the circumferential direction, There are wealth.

본 실시예에 채용된 상기 홀더(120)의 끼움부는, 슬릿 형태로 제작됨에 따라 끼움슬릿부(124a)로 명명하기로 한다. 상기 각 끼움슬릿부(124a)는, 지름의 형성방향을 제외한 현의 형성방향을 따라 길게 형성된다. The fitting portion of the holder 120 employed in the present embodiment will be referred to as a fitting slit portion 124a as it is manufactured in the form of a slit. Each of the fitting slit portions 124a is formed to be long along the forming direction of the strings except for the diameter forming direction.

이와 같이, 상기 홀더(120)의 각 끼움슬릿부(124a)에, 복수의 기판(130)들이 각각 끼워져 결합됨으로써, 한 번의 공정에 의해서도 복수의 박막 형성이 가능하게 됨에 따라 제품의 제조효율을 더욱 높일 수 있게 된다. Since a plurality of substrates 130 are respectively fitted and fitted to the fitting slit portions 124a of the holder 120 as described above, it is possible to form a plurality of thin films by a single process, .

한편, 도 4는 본 발명의 일실시예에 채용되는 홀더의 도 3과 다른 구조를 보인 저면 사시도이다. 4 is a bottom perspective view showing a structure of a holder used in an embodiment of the present invention, which is different from that of FIG.

이 도면에 도시된 홀더(220)는, 앞에서 설명한 도 3에 채용된 홀더의 끼움슬릿부(124a)들의 형성방향과 다른 방향을 따라 길게 형성되는 끼움슬릿부(124b)들이 더 포함됨으로써, 더 많은 기판의 고정 및 서로 다른 사이즈의 기판의 수용을 가능하게 한다.The holder 220 shown in this figure further includes the fitting slit portions 124b which are elongated along the direction different from the forming direction of the fitting slit portions 124a of the holder employed in the above-described Fig. 3 described above, Enabling the fixation of the substrate and the acceptance of substrates of different sizes.

이하에서는 도 5 내지 도 8을 참조하여 본 발명에 의한 박막 제조 장치에 채용되는 기판 고정용 홀더의 다양한 실시예들을 설명하기로 한다.Hereinafter, various embodiments of the holder for fixing the substrate used in the thin film production apparatus according to the present invention will be described with reference to FIGS. 5 to 8. FIG.

도 5는 본 발명에 의한 박막 제조 장치에 채용되는 기판 고정용 홀더의 또 다른 실시예를 보인 사시도이다.5 is a perspective view showing still another embodiment of a holder for fixing a substrate employed in the thin film production apparatus according to the present invention.

본 발명에 의한 기판 고정용 홀더(320)는, 앞에서 설명한 박막 제조 장치에 채용되는 것으로, 전하를 띄는 입자를 함유하는 복수의 수용액과의 정전기적 인력으로 표면에 박막층이 형성되는 적어도 하나의 기판(130)을 고정하기 위한 것이다.The substrate holder 320 according to the present invention is employed in the above-described thin film production apparatus and includes at least one substrate (a substrate holder) 320 on which a thin film layer is formed by electrostatic attraction with a plurality of aqueous solutions containing charged particles 130).

본 실시예에 따른 기판 고정용 홀더(320)는, 기판(130)을 시계열적인 순서에 의해 상기 각 용기의 수용액에 접촉시킬 수 있도록 전기적인 신호에 기초하여 상하방향으로 승강되고, 연결축(321)과 고정본체(322)를 포함하여 이루어진다.The substrate holder 320 according to the present embodiment is vertically moved up and down based on an electrical signal so that the substrate 130 can be brought into contact with the aqueous solution of each of the containers in a time series sequence, And a fixed body 322.

상기 연결축(321)은, 상기 승강 동작을 위해 동력원과 연결되고, 상기 고정본체(322)는 상기 연결축(321)과 함께 승강될 수 있도록 그 연결축(321)과 연결되어 있고 상기 연결축(321)을 중심에 두고 감싸는 형태로 배치된다. The connection shaft 321 is connected to a power source for the ascending and descending operation and the fixing body 322 is connected to the connection shaft 321 so that the connection shaft 321 can be lifted and lowered together with the connection shaft 321, (321).

상기 고정본체(322)에는 복수의 기판(130)들의 고정을 위한 복수의 끼움부들이 마련되어 있는데, 본 실시예에서 상기 각 끼움부는, 리브 형태를 가지기 때문에 끼움리브(322b)라 명명하기로 한다.The fixing body 322 is provided with a plurality of fitting portions for fixing the plurality of boards 130. In the present embodiment, each fitting portion is called a fitting rib 322b since it has a rib shape.

즉, 상기 고정본체(322)는, 환 형상의 환형리브(322a)와 상기 환형리브(322a)의 내주면으로부터 상기 연결축(321) 방향으로 돌출된 끼움리브(322b)들을 포함하여 이루어진다. 상기 환형리브(322a)는 중심리브(322c)를 통해 상기 연결축(321)과 연결되고, 상기 각 끼움리브(322b)에는 상기 기판(130)이 끼워져 결합되는 끼움홈이 형성되어 있다.That is, the fixing body 322 includes an annular rib 322a and fitting ribs 322b protruding from the inner circumferential surface of the annular rib 322a toward the connecting shaft 321. The annular rib 322a is connected to the connection shaft 321 through a central rib 322c and the fitting rib 322b is formed with a fitting groove into which the substrate 130 is inserted.

이러한 구성을 가지는 본 실시예에 따른 기판 고정용 홀더(320)는, 비커와 같이 원형통 형상을 가지는 용기에 복수의 기판(130)을 서로 간섭됨이 없이 고정할 수 있게 함으로써, 복수의 박막층을 한 번의 제조공정에 의해서도 효율적으로 형성시킬 수 있는 장점을 도출한다.The substrate holder 320 according to this embodiment having such a configuration can fix a plurality of substrates 130 to a container having a cylindrical shape like a beaker without interference with each other, And can be efficiently formed even by a single manufacturing process.

도 6은 본 발명에 의한 박막 제조 장치에 채용되는 기판 고정용 홀더의 또 다른 실시예의 사시도이다. 6 is a perspective view of still another embodiment of a substrate holder for use in a thin film production apparatus according to the present invention.

이 도면에 도시된 실시예는, 앞에서 설명한 실시예에 채용된 고정본체들이 상하방향으로 복수개 배열된 구조를 가진다.The embodiment shown in this figure has a structure in which a plurality of fixed bodies adopted in the above-described embodiment are arranged in the vertical direction.

즉, 복수의 고정본체들 중 상하로 인접한 한 쌍의 고정본체들은, 어느 일측의 연결축(421)과 다른 일측의 중심리브(423c)들이 서로 나사결합됨으로써 상호 고정이 이루어지게 된다. That is, a pair of fixed bodies vertically adjacent to one another among the plurality of fixed bodies is mutually fixed by screwing one of the coupling shafts 421 and the other central ribs 423c to each other.

이러한 구성을 가지는 본 실시예(420)는, 동일한 구조를 가지는 고정본체들을 체결수단 없이 상호 나사결합 만으로 고정시킬 수 있게 됨에 따라, 한 번의 제조공정에 의해 더 많은 박막의 형성을 가능하게 함은 물론, 더 많은 박막 형성을 위해 요구되는 부품을 하나의 금형으로도 제작할 수 있게 됨에 따라 양산성 향상 및 제조원가의 절감 효과를 극대화시킬 수 있는 장점을 가진다.In this embodiment 420 having such a configuration, since the fixed bodies having the same structure can be fixed by mutual screwing only without the fastening means, it is possible to form more thin films by one manufacturing process , It is possible to manufacture the parts required for forming more thin films by using one metal mold, which is advantageous in maximizing the mass productivity and reducing the manufacturing cost.

도 7은 본 발명에 의한 박막 제조 장치에 채용되는 기판 고정용 홀더의 또 다른 실시예의 사시도이다. 7 is a perspective view of still another embodiment of a substrate holder for use in a thin film production apparatus according to the present invention.

이 도면에 도시된 실시예에 채용된 고정본체(522)는, 연결부(522a)와 방사부(522b)들을 포함하여 이루어진다.The fixed body 522 employed in the embodiment shown in this figure includes a connection portion 522a and a radiation portion 522b.

상기 연결부(522a)는, 원판형으로 형성되고 상기 연결축(521)에 결합된다. 상기 방사부(522b)는, 상기 연결부(522a)로부터 반경방향으로 연장 형성되고 원주방향을 따라 방사형으로 복수개 형성된다. 각 방사부(522b)에는 상기 기판(130)이 결합되는 끼움홈(522c)이 반경방향을 따라 복수개 형성되어 있다.The connection portion 522a is formed in a disk shape and is coupled to the connection shaft 521. [ The radiating part 522b extends radially from the connecting part 522a and is formed in a plurality of radial directions along the circumferential direction. A plurality of fitting grooves 522c to which the substrate 130 is coupled are formed in the radial sections 522b along the radial direction.

이러한 구성을 가지는 본 실시예에 따른 기판 고정용 홀더(520)는, 도 5에 도시된 실시예와 마찬가지로, 비커와 같이 원형통 형상을 가지는 용기에 복수의 기판을 서로 간섭됨이 없이 고정할 수 있게 함으로써, 복수의 박막층을 한 번의 제조공정에 의해서도 효율적으로 형성시킬 수 있는 장점을 도출한다.As in the embodiment shown in Fig. 5, the substrate holder 520 according to the present embodiment having such a configuration can fix a plurality of substrates to a container having a cylindrical shape like a beaker without interference with each other It is possible to efficiently form a plurality of thin film layers even in one manufacturing process.

도 8은 본 발명에 의한 박막 제조 장치에 채용되는 기판 고정용 홀더의 또 다른 실시예의 사시도이다.8 is a perspective view of still another embodiment of a holder for fixing a substrate employed in the thin film production apparatus according to the present invention.

이 도면에 도시된 실시예에 채용된 고정본체는, 상하로 복수개 배치된다.The fixed bodies employed in the embodiment shown in this figure are arranged vertically.

상기 고정본체들 중 상하로 인접한 한 쌍의 고정본체들은, 어느 일측의 연결축(621)과 다른 일측의 연결축(621')들 간의 나사결합에 의해 상호 고정된다. A pair of fixed bodies vertically adjacent to one another among the fixed bodies are fixed to each other by screw connection between a connection shaft 621 on one side and a connection shaft 621 'on the other side.

이러한 구성을 가지는 본 실시예는, 도 6에 도시된 실시예와 마찬가지로, 동일한 구조를 가지는 고정본체들을 체결수단 없이 상호 나사결합 만으로 고정시킬 수 있게 됨에 따라, 한 번의 제조공정에 의해 더 많은 박막의 형성을 가능하게 함은 물론, 더 많은 박막 형성을 위해 요구되는 부품을 하나의 금형으로도 제작할 수 있게 됨에 따라 양산성 향상 및 제조원가의 절감 효과를 극대화시킬 수 있는 장점을 가진다.This embodiment having such a configuration can fix the fixed bodies having the same structure without screwing means only by screwing in the same manner as in the embodiment shown in Fig. 6, It is possible to manufacture a part required for forming a thin film with a single metal mold, thereby improving the productivity and maximizing the effect of reducing the manufacturing cost.

한편, 도 9는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 박막 제조 장치의 사시도이고, 도 10은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 박막 제조 장치의 동작상태를 보인 평면도이다. FIG. 9 is a perspective view of a thin film manufacturing apparatus according to another embodiment of the present invention, and FIG. 10 is a plan view showing an operation state of a thin film manufacturing apparatus according to another embodiment of the present invention.

이들 도면에 도시된 바와 같이, 본 실시예는, 본 발명의 해결하고자 하는 과제인 나노 두께의 박막 제조를 자동화시킴으로써 제품의 양산성 향상 및 제조원가 절감을 가능하게 하는 목적을 달성시킬 수 있는 또 하나의 구현예에 해당하는 것으로, 앞에서 설명한 실시예들이 용기들이 놓인 회전 플랫폼을 원주방향을 따라 회전시키면서 순차적인 반응이 수행되는 것과는 달리, 용기들을 직렬로 또는 직렬과 병렬 혼합형으로 배열시켜 놓은 상태에서 홀더를 이송시키면서 순차적인 반응이 수행된다는 점에서 차이가 있다. As shown in these drawings, the present embodiment is an embodiment of another embodiment of the present invention, which can achieve the object of improving the mass productivity and reducing the manufacturing cost of the product by automating the manufacture of the nano- The embodiments described above can be applied to a case in which the containers are arranged in series or in parallel and in a mixed state with the cascade, unlike the sequential reaction is performed while rotating the rotating platform on which the cages are placed in the circumferential direction The reaction is carried out in a sequential manner.

즉, 본 실시예는, 이동 플랫폼(710)과 홀더 유닛(720)과 제어장치를 포함하여 이루어지고, 상기 이동 플랫폼(710)은, 일방향 축선을 기준으로 하여 이동되고, 그 하측에 수용액이 수용되어 있는 복수의 용기(740)들이 상기 축선 방향을 따라 직렬 및 병렬로 간격을 두고 배열된다. That is, the present embodiment includes a moving platform 710, a holder unit 720, and a control device, and the moving platform 710 is moved on the basis of a unidirectional axis, A plurality of containers 740 are arranged in series and in parallel along the axial direction.

상기 이동 플랫폼(710)의 이동은, 다양한 실시예로 구현이 가능하나, 예컨대 내부에 암나사부를 형성시키고, 상기 암나사부는 모터에 의해 회전되는 이송스크류(730)의 수나사부에 결합되게 함으로써, 구현이 가능하다. The movement of the moving platform 710 can be implemented in various embodiments, for example, by forming a female thread in the interior and coupling the female thread to a threaded portion of the delivery screw 730, which is rotated by the motor, It is possible.

상기 홀더 유닛(720)은, 상기 수용액과 반응으로 표면에 박막층이 형성되는 적어도 하나의 기판이 고정되는 부분으로, 상기 기판을 시계열적인 순서에 의해 상기 각 용기(740)의 수용액에 접촉시킬 수 있도록 상하방향으로 승강된다. The holder unit 720 is a portion to which at least one substrate on which a thin film layer is formed is fixed by reaction with the aqueous solution. The holder unit 720 is configured to contact the substrate with the aqueous solution of each container 740 in a time- And is lifted up and down.

상기 제어 장치는, 상기 이동 플랫폼(710)의 회전 및 상기 홀더 유닛(720)의 승강 동작을 전기적인 신호에 기초하여 제어하는 역할을 한다.The control device controls the rotation of the moving platform 710 and the ascending and descending operations of the holder unit 720 based on an electrical signal.

본 실시예에 채용된 상기 홀더 유닛(720)은, 상기 기판이 고정이 고정되는 홀더부(724) 및 상기 홀더부(724)와 함께 상하로 승강될 수 있도록 그 홀더부(724)에 연결되는 승강부(726)를 가지는 승강 플랫폼(722)을 포함하여 이루어진다.The holder unit 720 employed in the present embodiment includes a holder 724 to which the substrate is fixed and a holder 724 connected to the holder 724 so that the holder can be lifted up and down together with the holder 724. [ And an elevating platform 722 having an elevating portion 726.

상기 승강 플랫폼(722)은, 상하방향의 축선을 기준으로 하여 회전될 수 있도록, 상기 이동 플랫폼(710)에 설치되는 것이 바람직하다.The elevating platform 722 is preferably installed on the moving platform 710 so that the elevating platform 722 can be rotated with respect to the vertical axis.

상술한 바와 같은 구성을 가지는 본 실시예는, 도 10에 잘 도시된 바와 같이, 상기 이동 플랫폼(710)이 상기 제어 장치의 전기적인 신호에 기초하여 상기 이송스크류(730)를 따라 시계열적으로 이동하면서, 상기 홀더 유닛(720)의 홀더부(724)가 상하로 승강되고 회전이 이루어지게 됨에 따라, 다양한 알고리즘의 설계로 원하는 반응 메카니즘을 다양하게 구현시킬 수 있는 장점을 도출한다. 10, the moving platform 710 is moved in a clockwise direction along the conveying screw 730 based on an electrical signal of the control device. In this embodiment, The holder unit 724 of the holder unit 720 is lifted up and down and rotated. Thus, it is possible to variously realize a desired reaction mechanism by designing various algorithms.

또한, 본 실시예는, 제어장치의 제어신호에 기초하여 이동 플랫폼(710)이 스텝 이동을 하게 되고, 홀더 유닛(720)이 시계열적인 순서에 의해 직렬 및 병렬로 배열된 용기(740)들 중 어느 하나에 대해 승강됨으로써 홀더 유닛(720)에 고정되어 있는 기판과 각 용기(740)에 수용된 수용액 간의 순차적인 반응이 일어나게 된다. 이와 같이, 본 발명에 의하면 홀더 유닛(720) 및 이동 플랫폼(710)을 시계열적인 순서에 의해 자동으로 작동시킬 수 있게 됨에 따라, 나노 두께의 박막을 자동화 공정을 통해 제작할 수 있게 됨으로써 제품의 양산성을 향상시킬 수 있고, 제조원가를 절감시킬 수 있는 장점이 기대된다.  In this embodiment, the moving platform 710 is moved stepwise on the basis of the control signal of the control device, and the holder unit 720 is moved out of the containers 740 arranged in series and in parallel in a time- As a result, the reaction between the substrate fixed to the holder unit 720 and the aqueous solution contained in each of the containers 740 occurs. As described above, according to the present invention, since the holder unit 720 and the moving platform 710 can be automatically operated in a time series sequence, a nano-thick thin film can be manufactured through an automated process, Can be improved, and the manufacturing cost can be reduced.

이와 같이, 본 발명은 상술한 장점을 도출할 수 있는 경우라면, 도 9 내지 도 10에 도시된 실시예에 국한되지 않고 다양한 변형이 가능함은 물론이다. As described above, it is needless to say that the present invention is not limited to the embodiments shown in FIGS. 9 to 10, but various modifications are possible as long as the above-described advantages can be derived.

즉, 도 11은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 박막 제조 장치의 사시도이고, 도 12는 본 발명의 또 다른 실시예의 동작상태를 설명하기 위한 사시도이며, 도 13은 본 발명의 또 다른 실시예의 동작상태를 설명하기 위한 측면도이다. 11 is a perspective view of a thin film manufacturing apparatus according to another embodiment of the present invention, FIG. 12 is a perspective view for explaining an operation state of another embodiment of the present invention, and FIG. 13 is a cross- And is a side view for explaining the operation state.

이들 도면에 도시된 바와 같이, 본 실시예는 도 9에 도시된 실시예와는 달리, 홀더부(812)와 승강부(814)로 이루어진 홀더 유닛(810)이 이동 플랫폼(820)에 대해 승강만 할 뿐, 회전이 이루어지지 않는 구조가 채택되었다. 9, the present embodiment differs from the embodiment shown in FIG. 9 in that a holder unit 810 composed of a holder portion 812 and a lift portion 814 is moved up and down relative to the moving platform 820 And the structure which does not rotate is adopted.

도 14는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 박막 제조 장치의 측면도이다. 이 도면에 도시된 실시예는, 도 13에 도시된 실시예에 채용된 용기들이 직렬로만 배열되어 있는 것과는 달리 직렬 및 병렬로 배열된 구조가 채택됨에 따라, 홀더 유닛(910) 또한 이동 플랫폼의 이동방향의 축선을 기준으로 하여 대칭인 위치에 한 쌍으로 구성되어 있는 점에서 차이가 있다. 14 is a side view of a thin film production apparatus according to another embodiment of the present invention. In the embodiment shown in this figure, the structure in which the containers adopted in the embodiment shown in Fig. 13 are arranged in series and in parallel, unlike the arrangement in which only the containers are arranged in series, the holder unit 910 is also moved And a symmetrical position with respect to the axis of the direction.

이상, 본 발명에 대한 바람직한 실시예들을 설명하였으나, 본 발명은 위에서 설명된 실시예들에 한정되지 않고 청구범위에 기재된 바에 의해 정의되며 본 발명 이 속하는 기술분야에서 다양한 변형과 개작을 할 수 있음은 자명하다. While the present invention has been described in connection with what is presently considered to be practical exemplary embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, but is capable of numerous modifications and variations, It is obvious.

101: 선반 110:회전플랫폼
120:홀더 122:연결축
124:고정본체 124a:끼움슬릿부
130:기판 140:용기101: shelf 110: rotating platform
120: holder 122: connection shaft
124: Fixing body 124a: Fitting slit part
130: substrate 140: container

Claims (11)

삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 복수의 수용액에 함유된 입자와의 작용으로 표면에 박막층이 형성되는 적어도 하나의 기판을 고정하기 위한 것으로,
상기 기판을 시계열적인 순서에 의해 각 용기의 수용액에 접촉시킬 수 있도록 전기적인 신호에 기초하여 상하방향으로 승강되고,
상기 승강을 위해 동력원과 연결되는 연결축; 및 상기 연결축과 함께 승강될 수 있도록 그 연결축와 연결되어 있고 상기 연결축을 중심에 두고 감싸는 형태로 배치되며, 원주방향을 따라 간격을 두고 복수의 끼움부들이 마련되어 있는 고정본체;를 포함하여 이루어지며,
상기 고정본체는, 원주방향을 따라 간격을 두고 형성되고, 지름의 형성방향을 제외한 현의 형성방향을 따라 길게 형성되는 복수의 끼움슬릿부들을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 고정용 홀더.A method for fixing at least one substrate on which a thin film layer is formed by the action of particles contained in a plurality of aqueous solutions,
The substrate is lifted and lowered in the vertical direction based on an electrical signal so that the substrate can be brought into contact with the aqueous solution of each container in a time series sequence,
A connection shaft connected to the power source for lifting and lowering; And a fixed body connected to the connection shaft so as to be able to be lifted and lowered together with the connection shaft and arranged to surround the connection shaft around the connection shaft and having a plurality of fitting portions spaced apart in the circumferential direction, ,
Wherein the fixing body includes a plurality of fitting slits spaced apart along the circumferential direction and formed to be long along the forming direction of the string except for the direction of forming the diameter. 일방향 축선을 기준으로 하여 회전되고, 상면에 각각 수용액이 수용되어 있는 복수의 용기들이 놓여지는 회전플랫폼; 및 상기 회전플랫폼의 회전과 홀더의 승강 동작을 전기적인 신호에 기초하여 제어하는 제어장치;를 포함하되,
기판은, 상기 수용액에 함유된 전하를 띄는 입자와 정전기적 인력을 발생시키기 위하여 표면처리되어 있고,
상기 홀더는, 상기 승강을 위해 동력원과 연결되는 연결축; 및 상기 연결축과 함께 승강될 수 있도록 그 연결축과 연결되어 있고 상기 연결축을 중심에 두고 감싸는 형태로 배치되며, 원주방향을 따라 간격을 두고 복수의 끼움부들이 마련되어 있는 고정본체;를 포함하여 이루어지며,
상기 고정본체는, 원주방향을 따라 간격을 두고 형성되고, 지름의 형성방향을 제외한 현의 형성방향을 따라 길게 형성되는 복수의 끼움슬릿부들을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 박막 제조 장치.A rotating platform on which a plurality of vessels are disposed, the vessels being rotated on a one-directional axis and each containing an aqueous solution on an upper surface thereof; And a control device for controlling the rotation of the rotary platform and the elevating operation of the holder based on an electrical signal,
The substrate is surface-treated so as to generate charged particles and electrostatic attraction contained in the aqueous solution,
The holder includes: a connection shaft connected to the power source for lifting and lowering; And a fixed body connected to the connection shaft so as to be able to be lifted and lowered together with the connection shaft and disposed so as to surround the connection shaft around the connection shaft and having a plurality of fitting portions spaced apart in the circumferential direction In addition,
Wherein the fixing body includes a plurality of fitting slits spaced apart along the circumferential direction and formed to be long along the forming direction of the string except for the direction of forming the diameter. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete
KR1020150006077A 2015-01-13 2015-01-13 Substrate fixing holder and thin film manufacturing apparatus comprising the substrate fixing holder KR101584071B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020150006077A KR101584071B1 (en) 2015-01-13 2015-01-13 Substrate fixing holder and thin film manufacturing apparatus comprising the substrate fixing holder

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020150006077A KR101584071B1 (en) 2015-01-13 2015-01-13 Substrate fixing holder and thin film manufacturing apparatus comprising the substrate fixing holder

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020150189946A Division KR101596932B1 (en) 2015-12-30 2015-12-30 Substrate fixing holder and thin film manufacturing apparatus comprising the substrate fixing holder

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR101584071B1 true KR101584071B1 (en) 2016-01-25

Family

ID=55306935

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020150006077A KR101584071B1 (en) 2015-01-13 2015-01-13 Substrate fixing holder and thin film manufacturing apparatus comprising the substrate fixing holder

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101584071B1 (en)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09166118A (en) * 1995-07-05 1997-06-24 Nylok Fastener Corp Self-locking type fastener device and method
JPH09236933A (en) * 1996-02-29 1997-09-09 Ntn Corp Defect correction device
JP2008000718A (en) * 2006-06-23 2008-01-10 Tsubakimoto Chain Co Liquid draining method for use in preparing thin film and apparatus for preparing thin film

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09166118A (en) * 1995-07-05 1997-06-24 Nylok Fastener Corp Self-locking type fastener device and method
JPH09236933A (en) * 1996-02-29 1997-09-09 Ntn Corp Defect correction device
JP2008000718A (en) * 2006-06-23 2008-01-10 Tsubakimoto Chain Co Liquid draining method for use in preparing thin film and apparatus for preparing thin film

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Wu et al. Superwettability‐based interfacial chemical reactions
Li et al. Cellulose‐Rich Nanofiber‐Based Functional Nanoarchitectures
Li et al. Mesoporous titania spheres with tunable chamber stucture and enhanced photocatalytic activity
Balogun et al. Carbon quantum dot surface-engineered VO2 interwoven nanowires: a flexible cathode material for lithium and sodium ion batteries
Xiao et al. Layer-by-layer assembly of versatile nanoarchitectures with diverse dimensionality: a new perspective for rational construction of multilayer assemblies
Chen et al. Hierarchically micro/nanostructured photoanode materials for dye-sensitized solar cells
Dai et al. Ceramic nanofibers fabricated by electrospinning and their applications in catalysis, environmental science, and energy technology
Song et al. Fabrication of hollow hybrid microspheres coated with silica/titania via sol− gel process and enhanced photocatalytic activities
CN104002474B (en) There is the super-hydrophobic of micro-nano compound structure and adhere to preparation method and the application thereof on adjustable surface
Dudem et al. Hybrid energy cell with hierarchical nano/micro-architectured polymer film to harvest mechanical, solar, and wind energies individually/simultaneously
WO2012023957A1 (en) Microlens array for solar cells
CN111192965B (en) Flexible transparent electrode, preparation method thereof and flexible solar cell prepared from flexible transparent electrode
CN105567563B (en) A kind of tissue cell culture device
Liu et al. In situ derived electrocatalysts from Fe–Co sulfides with enhanced activity toward oxygen evolution
He et al. Dipole‐moment induced phototaxis and fuel‐free propulsion of ZnO/Pt Janus micromotors
Liu et al. Toward printable solar cells based on PbX colloidal quantum dot inks
Yun et al. One-dimensional TiO2 nanostructured photoanodes: from dye-sensitised solar cells to perovskite solar cells
KR101584071B1 (en) Substrate fixing holder and thin film manufacturing apparatus comprising the substrate fixing holder
Gong et al. Synthesis and electrochemical energy storage applications of micro/nanostructured spherical materials
CN113776423A (en) MXene-based preparation method of driving and sensing integrated intelligent film
Zhang et al. Ordered nanostructures arrays fabricated by anodic aluminum oxide (AAO) template-directed methods for energy conversion
KR101596932B1 (en) Substrate fixing holder and thin film manufacturing apparatus comprising the substrate fixing holder
Amiri et al. Novel Rugby-Ball-like FeCoCuS2 Triple-Shelled Hollow Nanostructures with Enhanced Performance for Supercapattery
CN201386022Y (en) Low-dimensional nanostructure material assembled chip based on three-dimensional controllable dielectrophoresis
CN103073056B (en) Method for preparing titanium dioxide with hierarchical porous array structure

Legal Events

Date Code Title Description
AMND Amendment
E601 Decision to refuse application
A107 Divisional application of patent
AMND Amendment
X701 Decision to grant (after re-examination)
GRNT Written decision to grant