KR101579591B1 - Specimen pressure cylinder for polishing head - Google Patents

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KR101579591B1
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Abstract

The present invention relates to a specimen compressing cylinder for a polishing head which forms a first and a second air outflow line collectively operating a plurality of compressing rods on a polishing drive shaft to simply compose a polishing head and facilitate assembling, maintenance, and repair of a specimen compressing cylinder. The specimen compressing cylinder is mounted on an outer circumferential surface of the polishing drive shaft to face an upper surface of a specimen holder mounted on a lower end of the polishing drive shaft. The specimen compressing cylinder according to the present invention comprises: a cylinder block mounted on the outer circumferential surface of the polishing drive shaft to face an upper surface of a specimen inserted into the specimen holder; a plurality of compressing rods which are arranged in an operation chamber provided on the cylinder block to face a specimen mounting hole of the specimen holder into which the specimen is inserted to be moved vertically, and press the upper surface of the specimen when polishing the specimen; and a first and a second air outflow line provided on the polishing drive shaft to collectively lift and lower the compressing rods.

Description

폴리싱 헤드용 시편 가압 실린더{SPECIMEN PRESSURE CYLINDER FOR POLISHING HEAD}[0001] SPECIMEN PRESSURE CYLINDER FOR POLISHING HEAD [0002]

본 발명은 폴리싱 헤드용 시편 가압 실린더에 관한 것으로, 보다 상세하게는 시편 연마 작업 시 시편홀더에 끼워진 시편을 연마 휠 측으로 가압하는 폴리싱 헤드용 시편 가압 실린더에 관한 것이다.
The present invention relates to a specimen pressing cylinder for a polishing head, and more particularly, to a specimen pressing cylinder for a polishing head for pressing a specimen fitted in a specimen holder to a polishing wheel side during a specimen polishing operation.

일반적으로, 금속조직학(Metallography)이란 재료의 절단(sectioning), 마운팅(mounting), 연마(grinding), 연삭(polishing), 부식(etching)을 통해 해당 재료의 미세조직을 채취하는 전 과정을 말한다. In general, metallography refers to the entire process of collecting microstructure of a material through sectioning, mounting, grinding, polishing, and etching of the material.

금속의 특성을 관찰하기 위해서는 시편을 제작하고, 제작되는 시편의 표면을 거칠게 긁힌 자국이 없는 완전한 평면이 되도록 가공한 후, 현미경으로 관찰하게 된다. In order to observe the characteristics of the metal, specimens are prepared, and the surface of the specimen is processed so as to have a perfect flat surface without scratches, and then observed with a microscope.

한편, 종래 시편의 표면을 가공하는 방법으로는, 수작업을 통한 여러 단계 즉, 표면 거칠기가 점층적으로 조밀한 샌드페이퍼를 이용해 표면을 연마한 후, 연마된 표면을 연마천을 이용해 경연마(광택작업)하는 방법이 이용되었으나, 최근에는 자동 시편 연마장치를 이용해 시편의 표면을 가공하고 있다. On the other hand, as a method of machining the surface of a conventional specimen, there is a method in which a surface is polished by several steps through manual work, that is, a surface roughness is gradually densified, and then the polished surface is polished (polished) In recent years, however, the surface of the specimen has been processed using an automatic specimen polishing apparatus.

도 1은 종래 자동 시편 연마장치를 나타낸 도면으로서, 종래 자동 시편 연마장치(10)는 수평한 원판 형상을 가지며 나란히 배치되는 제 1, 제 2 연마 휠(20a, 20b)과, 제 1, 제 2 연마 휠(20a, 20b) 사이에 배치되고 표면을 연마할 시편(S)을 제 1, 제 2 연마 휠(20a, 20b)에 연속되게 번갈아 가압 회전시켜 시편(S)의 표면 연마를 수행하는 폴리싱 헤드(30)로 이루어진다. FIG. 1 is a view showing a conventional automatic specimen polishing apparatus. The conventional automatic specimen polishing apparatus 10 includes first and second polishing wheels 20a and 20b having a horizontal disk shape and arranged side by side, A polishing apparatus for polishing the surface of the specimen S by alternately and continuously rotating the specimen S disposed between the polishing wheels 20a and 20b and continuously polishing the specimen S to be polished to the first and second polishing wheels 20a and 20b, Head (30).

그리고 폴리싱 헤드(30)는 제 1, 제 2 연마 휠(20a, 20b) 측에서 연장되는 지지축(32)의 상부에 승강 가능하게 배치되는 헤드 케이스(34)와, 헤드 케이스(34)에 장착되고 하단부에는 표면을 연마할 다수의 시편(S)이 끼워지는 시편홀더(36)가 장착되는 연마 구동축(35), 연마 구동축(35)의 외주면 상에 장착되고 시편(S) 연마 작업 시 시편홀더(36)에 끼워진 시편(S)을 제 1, 제 2 연마 휠(20a, 20b)에 가압하는 시편 가압 실린더(40), 및 연마 구동축(35)의 회전에 간섭되지 않게 장착되며 시편홀더(36)를 승강시키는 승강실린더(60)로 이루어진다. The polishing head 30 includes a head case 34 that is vertically movably disposed on an upper portion of a support shaft 32 extending from the first and second polishing wheels 20a and 20b, A polishing drive shaft 35 on which a specimen holder 36 for holding a plurality of specimens S to be polished is mounted on the lower end thereof and a specimen holder 36 mounted on an outer circumferential surface of the polishing drive shaft 35, A specimen pressing cylinder 40 which presses the specimen S fitted to the specimen holder 36 against the first and second abrasive wheels 20a and 20b and a specimen holder 40 which is mounted so as not to interfere with the rotation of the abrasive drive shaft 35, (Not shown).

시편 가압 실린더(40)에는 시편(S) 연마 작업 시 시편(S)을 제 1, 제 2 연마 휠(20a, 20b) 측으로 가압하는 다수의 시편 가압 로드(42)들이 배치되며, 승강 실린더(60)에는 승강 실린더(60)의 작동에 의해 신장 및 수축되는 실린더 로드(62)가 연마 구동축(35)을 관통하여 배치되는데, 이때 실린더 로드(62)는 연마 구동축(35)을 따라 회전가능하게 장착된다. 즉 실린더 로드(62)는 승강 실린더(60)의 작동에 의해 수직한 방향으로 직선 왕복운동을 함과 동시에 연마 구동축(35)을 따라 회전 가능하게 배치된다. A plurality of specimen pressing rods 42 for pressing the specimen S toward the first and second polishing wheels 20a and 20b during the specimen S polishing operation are disposed in the specimen pressing cylinder 40, A cylinder rod 62 extending and contracted by the operation of the lifting cylinder 60 is disposed through the polishing drive shaft 35. The cylinder rod 62 is rotatably mounted along the polishing drive shaft 35 do. That is, the cylinder rod 62 is arranged to be able to rotate linearly along the polishing drive shaft 35 while linearly reciprocating in the vertical direction by the operation of the lifting cylinder 60.

한편, 시편홀더(36)는 연마 구동축(35)의 하단부에 직접 연결되거나, 또는 연마 구동축(35)의 하단부 외측으로 노출된 실린더 로드(62)에 연결될 수 있다. The specimen holder 36 may be directly connected to the lower end of the polishing drive shaft 35 or may be connected to the cylinder rod 62 exposed to the outside of the lower end of the polishing drive shaft 35.

그런데, 전술한 종래의 시편 가압 실린더(40)는 시편 가압 로드(42)들이 개별적으로 작동될 수 있도록 구성되고, 각각의 시편 가압 로드(42) 마다 시편 가압 로드(42)를 작동시키는 공기유출관(44)이 연결되기 때문에 폴리싱 헤드(30)의 구성이 복잡해지는 문제점이 있었다. The above-described conventional specimen pressing cylinder 40 is constructed such that the specimen pressing rods 42 can be individually operated and the specimen pressing rods 42 are operated independently for each specimen pressing rods 42. [ Since the polishing head 30 is connected to the polishing head 30, the structure of the polishing head 30 becomes complicated.

또한 시편 가압 로드(42)를 작동시키기 위해 장착되는 공기유출관(44)에 의해 시편 가압 실린더(40)의 조립 및 유지보수가 용이하지 못한 또 다른 문제점이 있었다. Further, there is another problem that the assembly and maintenance of the specimen pressing cylinder 40 is not easy by the air outlet pipe 44 mounted to operate the specimen pressing rod 42. [

관련 선행기술로는 대한민국등록특허 제 1366811 호(등록일자: 2014. 02. 17, 명칭: "시편 연마장치")가 있다.
An example of related prior art is Korean Patent No. 1366811 (registered on Apr. 201, Feb. 17, entitled "Specimen Grinding Apparatus").

본 발명은 연마 구동축에 다수의 가압 로드를 통합적으로 작동시키는 제 1, 제 2 공기유출라인를 형성함으로써, 폴리싱 헤드를 간단하게 구성할 수 있을 뿐만 아니라 시편 가압 실린더의 조립 및 유지보수를 용이하게 할 수 있게 하는 폴리싱 헤드용 시편 가압 실린더를 제공하기 위한 것이다. The present invention can form a polishing head by simply forming first and second air outflow lines that integrally operate a plurality of pressing rods in a polishing drive shaft, and can easily make assembly and maintenance of a specimen pressing cylinder So as to provide a pressing cylinder for a polishing head.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제들로 제한되지 않는다.
The technical objects to be achieved by the present invention are not limited to the above-mentioned technical problems.

상기 과제를 달성하기 위한 본 발명은, 연마 구동축의 하단부에 장착된 시편홀더의 상부면과 마주하도록 연마 구동축의 외주면 상에 장착되는 시편 가압 실린더를 가지는 폴리싱 헤드에 있어서, 시편 가압 실린더는, 시편홀더에 끼워지는 시편의 상부면과 마주하도록 연마 구동축의 외주면 상에 장착되는 실린더 블록; 시편이 끼워지는 시편홀더의 시편 장착공과 마주하도록 실린더 블록에 형성된 작동실에 승강 가능하게 배치됨과 아울러 시편 연마 작업 시 시편의 상부면을 가압하는 다수의 가압 로드; 및 다수의 가압 로드를 통합적으로 승강 작동시킬 수 있도록 연마 구동축에 형성되는 제 1, 제 2 공기유출라인;을 포함할 수 있다. According to an aspect of the present invention, there is provided a polishing head having a specimen pressing cylinder mounted on an outer circumferential surface of a polishing drive shaft so as to face an upper surface of a specimen holder mounted on a lower end of a polishing drive shaft, A cylinder block mounted on the outer circumferential surface of the polishing drive shaft so as to face the upper surface of the specimen fitted to the cylinder block; A plurality of pressing rods which are vertically movable in a working chamber formed in a cylinder block so as to face a specimen mounting hole of a specimen holder into which a specimen is fitted and which press the upper surface of the specimen during a specimen polishing operation; And first and second air outflow lines formed on the polishing drive shaft to integrally lift and operate the plurality of pressure rods.

구체적으로 제 1 공기유출라인은 가압 로드가 하강할 때 가압 로드의 상단부에 장착된 피스톤의 상부면 측의 작동실 내부로 압축공기를 유입시키고, 가압 로드가 상승할 때는 피스톤의 상부면 측의 작동실에 채워져 있던 압축공기를 실린더 블록의 외부로 배출시키며, 제 2 공기유출라인은 가압 로드가 상승할 때 피스톤의 하부면 측의 작동실 내부로 압축공기를 유입시키고, 가압 로드가 하강할 때는 피스톤의 하부면 측의 작동실에 채워져 있던 압축공기를 실린더 블록의 외부로 배출시킬 수 있다. Specifically, the first air outflow line allows the compressed air to flow into the working chamber on the upper surface side of the piston mounted on the upper end portion of the pressing rod when the pressing rod descends, and when the pressing rod rises, The second air outlet line introduces the compressed air into the operation chamber on the lower surface side of the piston when the pressure rod is lifted, and when the pressure rod descends, the piston The compressed air filled in the operation chamber on the lower surface side of the cylinder block can be discharged to the outside of the cylinder block.

더 구체적으로 제 1 공기유출라인은, 연마 구동축의 상부면 상에서 어느 하나의 작동실의 상부 측으로 수직하게 연장되고 상단부는 캡에 의해 마감되는 제 1 공기유출유로; 연마 구동축의 상부에 인접한 외주면을 따라 침강되게 형성되는 제 2 공기유출유로; 제 1 공기유출유로의 연장단에 인접한 연마 구동축의 외주면을 따라 침강되게 형성되는 제 3 공기유출유로; 제 2 공기유출유로와 제 1 공기유출유로의 상단부 측을 연결하는 제 7 공기유출유로; 및 제 3 공기유출유로와 제 1 공기유출유로의 하단부 측을 연결하는 제 9 공기유출유로;를 포함하며, 제 2 공기유출유로는 연마 구동축을 회전가능하게 지지하는 베어링 하우징을 관통하여 형성된 제 1 공기유출포트에 의해 연결되고, 각각의 작동실의 상부 내측과 제 3 공기유출유로는 제 3 유출포트에 의해 연결되며, 제 1 공기유출포트에는 압축공기가 유입 및 배출되는 유압호스가 연결될 수 있다. More specifically, the first air outflow line includes: a first air outflow passage vertically extending to an upper side of one of the operation chambers on the upper surface of the polishing drive shaft, and an upper end closed by a cap; A second air outflow channel formed to be settled along an outer circumferential surface adjacent to an upper portion of the polishing drive shaft; A third air outflow channel formed to be settled along an outer circumferential surface of the polishing drive shaft adjacent to an end of the first air outflow channel; A seventh air outflow channel connecting the second air outflow channel and the upper end side of the first air outflow channel; And a ninth air outflow channel that connects the third air outflow channel and the lower end side of the first air outflow channel, and the second air outflow channel includes a first air outflow channel formed by passing through a bearing housing rotatably supporting the polishing drive shaft, And the upper inner side of each of the operation chambers and the third air outflow passage are connected by a third outflow port and a hydraulic hose through which compressed air is introduced and discharged can be connected to the first air outflow port .

더 구체적으로 제 2 공기유출라인은, 연마 구동축의 상부면 상에서 어느 하나의 작동실의 하부 측으로 수직하게 연장되고 상단부는 캡에 의해 마감되는 제 4 공기유출유로; 연마 구동축의 상부에 인접한 외주면을 따라 침강되게 형성되는 제 5 공기유출유로; 제 4 공기유출유로의 연장단에 인접한 연마 구동축의 외주면을 따라 침강되게 형성되는 제 6 공기유출유로; 제 5 공기유출유로와 제 4 공기유출유로의 상단부 측을 연결하는 제 8 공기유출유로; 및 제 6 공기유출유로와 제 4 공기유출유로의 하단부 측을 연결하는 제 10 공기유출유로;를 포함하며, 제 5 공기유출유로는 연마 구동축을 회전가능하게 지지하는 베어링 하우징을 관통하여 형성된 제 2 공기유출포트에 의해 연결되고, 각각의 작동실의 하부 내측과 제 6 공기유출유로는 제 4 유출포트에 의해 연결되며, 제 2 공기유출포트에는 압축공기가 유입 및 배출되는 유압호스가 연결될 수 있다.
More specifically, the second air outflow line extends vertically to the lower side of one of the operation chambers on the upper surface of the polishing drive shaft, and the upper end thereof is closed by the cap; A fifth air outflow passage formed to be settled along an outer circumferential surface adjacent to an upper portion of the polishing drive shaft; A sixth air outflow channel formed to be settled along an outer circumferential surface of a polishing drive shaft adjacent to an extension end of the fourth air outflow channel; An eighth air outflow channel connecting the fifth air outflow channel and the upper end side of the fourth air outflow channel; And a tenth air outflow channel that connects the sixth air outflow channel and the fourth air outflow channel, and the fifth air outflow channel includes a second air outflow channel that connects the second air outflow channel and the fourth air outflow channel, The lower inner side and the sixth air outflow passage of each operation chamber are connected by a fourth outflow port and a hydraulic hose through which compressed air flows in and out can be connected to the second air outflow port .

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 폴리싱 헤드용 시편 가압 실린더는 연마 구동축에 가압 로드들을 통합적으로 작동시키는 제 1, 제 2 공기유출라인을 형성함으로써, 폴리싱 헤드를 간단하게 구성할 수 있게 하는 이점이 있다. As described above, the specimen pressing cylinder for a polishing head according to the present invention has the advantage of simplifying the construction of the polishing head by forming the first and second air outflow lines for integrally operating the pressing rods in the polishing drive shaft have.

또한 본 발명에 따른 폴리싱 헤드용 시편 가압 실린더는 연마 구동축에 가압 로드들을 통합적으로 작동시키는 제 1, 제 2 공기유출라인을 형성함으로써, 시편 가압 실린더의 조립 및 유지보수를 용이하게 할 수 있게 하는 이점이 있다. Further, the specimen pressing cylinder for the polishing head according to the present invention has the advantage of facilitating the assembly and maintenance of the specimen pressing cylinder by forming the first and second air outflow lines that integrally operate the pressing rods in the polishing drive shaft .

게다가, 본 발명에 따른 시편 가압 실린더가 장착된 폴리싱 헤드는 시편 가압 실린더의 가압 로드를 통합적으로 작동시켜 시편홀더에 끼워진 시편을 개별적으로 연마 휠에 가압시킬 수 있을 뿐만 아니라 시편 가압 실린더 측으로 유입되는 압축공기를 승강 실린더 측으로 전환시키면 승강 실린더를 이용해 시편홀더의 중앙부에 하중을 주어 시편을 연마 휠에 가압시킬 수 있게 하는 이점이 있다.
In addition, the polishing head equipped with the specimen pressing cylinder according to the present invention can operate the pressing rods of the specimen pressing cylinder integrally to press the specimens sandwiched in the specimen holder individually to the polishing wheel, When the air is switched to the elevating cylinder side, there is an advantage that a load is applied to the central portion of the specimen holder using the elevating cylinder so that the specimen can be pressed against the grinding wheel.

도 1은 종래 자동 시편 연마장치를 나타낸 도면이고,
도 2는 본 발명에 따른 폴리싱 헤드용 시편 가압 실린더가 장착된 시편 연마장치를 나타낸 도면이며, 그리고
도 3은 도 2에 장착된 시편 가압 실린더를 확대하여 나타낸 도면이다. 1 is a view showing a conventional automatic specimen polishing apparatus,
2 shows a specimen polishing apparatus equipped with a specimen pressing cylinder for a polishing head according to the present invention, and
Fig. 3 is an enlarged view of the specimen pressing cylinder mounted in Fig. 2. Fig.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다. 도면들 중 동일한 구성요소들은 가능한 어느 곳에서든지 동일한 부호로 표시한다. 또한 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있는 공지 기능 및 구성에 대한 상세한 설명은 생략한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the drawings, the same components are denoted by the same reference symbols whenever possible. In the following description, well-known functions or constructions are not described in detail since they would obscure the invention in unnecessary detail.

도 2 및 도 3은 본 발명에 따른 폴리싱 헤드용 시편 가압 실린더를 나타낸 도면으로서, 본 발명에 따른 시편 가압 실린더(100)는 도시된 바와 같이 표면을 연마할 시편(S)이 끼워진 시편홀더(36)를 회전시키는 연마 구동축(50)에 장착된다. 다시 말해, 본 발명에 따른 시편 가압 실린더(100)는 연마 구동축(50)의 하단부에 장착된 시편홀더(36)의 상부면과 마주하도록 연마 구동축(50)의 외주면 상에 장착된다.2 and 3 illustrate a specimen pressing cylinder 100 for a polishing head according to the present invention. The specimen pressing cylinder 100 according to the present invention comprises a specimen holder 36 (see FIG. 3) in which a specimen S to be polished is inserted, (Not shown). In other words, the specimen pressing cylinder 100 according to the present invention is mounted on the outer circumferential surface of the polishing drive shaft 50 so as to face the upper surface of the specimen holder 36 mounted on the lower end of the polishing drive shaft 50.

본 발명에 따른 폴리싱 헤드용 시편 가압 실린더(100)는 시편홀더(36)에 끼워지는 시편(S)의 상부면과 마주하도록 연마 구동축(50)의 외주면 상에 장착되는 실린더 블록(110)과, 시편(S)이 끼워지는 시편홀더(36)의 시편 장착공(38)과 마주하도록 실린더 블록(110)에 승강 가능하게 배치됨과 아울러 시편(S) 연마 작업 시 시편(S)의 상부면을 가압하는 다수의 가압 로드(120), 및 다수의 가압 로드(120)를 통합적으로 승강 작동시킬 수 있도록 연마 구동축(50)에 형성되는 제 1, 제 2 공기유출라인(130a, 130b)을 포함한다. A specimen pressing cylinder 100 for a polishing head according to the present invention includes a cylinder block 110 mounted on an outer circumferential surface of a polishing drive shaft 50 to face a top surface of a specimen S fitted to a specimen holder 36, Is placed on the cylinder block 110 so as to face the specimen mounting hole 38 of the specimen holder 36 in which the specimen S is inserted and is arranged so as to be able to move up and down on the upper surface of the specimen S during the specimen S polishing operation The first and second air outflow lines 130a and 130b formed on the polishing drive shaft 50 so as to integrally lift and lower the plurality of pressing rods 120 and the plurality of pressing rods 120. [

먼저, 실린더 블록(110)은 연마 구동축(50)의 외주면 상에 끼워질 수 있도록 수직한 관통공(112)이 형성되며, 연마 구동축(50)의 외주면 상에는 연마 구동축(50)에 끼워진 실린더 블록(110)이 고정되는 환형의 플랜지(52)가 형성된다. The cylinder block 110 is formed with a vertical through hole 112 so as to be fitted on the outer circumferential surface of the polishing drive shaft 50 and a cylinder block An annular flange 52 to which the flange 52 is fixed is formed.

즉, 실린더 블록(110)은 관통공(112)을 통해 연마 구동축(50)에 끼워지며, 연마 구동축(50)에 끼워진 실린더 블록(110)의 상부면은 플랜지(52)의 하부면에 밀착된다. 이때 실린더 블록(110)은 플랜지(52)를 수직하게 관통하여 실린더 블록(110)의 체결되는 다수의 고정볼트(114)에 의해 연마 구동축(50)에 고정 장착된다. That is, the cylinder block 110 is inserted into the polishing drive shaft 50 through the through hole 112, and the upper surface of the cylinder block 110 fitted to the polishing drive shaft 50 is in close contact with the lower surface of the flange 52 . At this time, the cylinder block 110 is fixedly mounted on the polishing drive shaft 50 by a plurality of fixing bolts 114 which are vertically penetrated through the flange 52 and fastened to the cylinder block 110.

한편, 실린더 블록(110)에는 시편홀더(36)의 시편 장착공(38)과 마주하는 다수의 작동실(116)이 형성된다. 작동실(116)들은 도시된 바와 같이 실린더 블록(110)의 하부면 상에서부터 실린더 블록(110)의 상부면 측으로 수직하게 연장되는데, 이렇게 형성된 각각의 작동실(116)에는 가압 로드(120)가 작동실(116)의 수직한 길이 방향을 따라 승강 가능하게 배치된다. 그리고 각각의 작동실(116)의 하부에는 가압 로드(120)의 승강 작동에 간섭되지 않으면서 작동실(116) 내부의 기밀을 유지할 수 있도록 패킹을 포함하는 패킹그랜드(118)가 장착된다. On the other hand, in the cylinder block 110, a plurality of working chambers 116 are formed facing the test piece mounting holes 38 of the test piece holder 36. The working chambers 116 extend vertically from the lower surface of the cylinder block 110 to the upper surface side of the cylinder block 110 as shown in FIG. And is vertically movable along the vertical length direction of the operation chamber 116. [ A packing gland 118 including a packing is mounted on the lower portion of each operation chamber 116 so as to maintain the airtightness inside the operation chamber 116 without interfering with the lifting operation of the pressure load 120. [

가압 로드(120)는 수직한 바(bar) 형상을 가지며 상단부는 작동실(116) 내부에 배치되고 하단부를 패킹그랜드(118)를 관통하여 실린더 블록(110)의 하부면 외측으로 수직하게 연장된다. The pressing rod 120 has a vertical bar shape and the upper end portion is disposed inside the operation chamber 116 and the lower end portion is extended through the packing gland 118 and vertically outside the lower surface of the cylinder block 110 .

이때, 작동실(116) 내부에 배치된 가압 로드(120)의 상단부 상에는 가압 로드(120)를 이동시키는 피스톤(122)이 장착되며, 실린더 블록(110)의 하부면 외측으로 연장된 가압 로드(120)의 하단부에는 연마 작업 시 시편(S)의 상부면을 가압하는 가압 블록(124)이 장착된다. 여기서 가압 로드(120)와 피스톤(122)의 연결 관계는 공지의 기술이므로 상세한 설명은 생략한다. At this time, a piston 122 for moving the pressing rod 120 is mounted on the upper end of the pressing rod 120 disposed inside the working chamber 116, and the pressing rod 120 120 are mounted at the lower end thereof with a pressing block 124 for pressing the upper surface of the specimen S during the polishing operation. Here, the connection relationship between the pressing rod 120 and the piston 122 is a well-known technology, and a detailed description thereof will be omitted.

이와 같이 각각의 작동실(116)에 배치된 가압 로드(120)들은 제 1, 제 2 공기유출라인(130a, 130b)을 통해 유입 및 배출되는 압축공기에 의해 승강 작동하게 된다. Thus, the pressurizing rods 120 disposed in the respective operation chambers 116 are moved up and down by the compressed air flowing in and out through the first and second air outflow lines 130a and 130b.

제 1 공기유출라인(130a)은 가압 로드(120)가 하강할 때 피스톤(122)의 상부면 측의 작동실(116) 내부로 압축공기를 유입시키고, 반대로 가압 로드(120)가 상승할 때는 피스톤(122)의 상부면 측의 작동실(116)에 채워져 있던 압축공기를 실린더 블록(110)의 외부로 배출시키는 기능을 수행한다. 또한 제 2 공기유출라인(130b)은 가압 로드(120)가 상승할 때 피스톤(122)의 하부면 측의 작동실(116) 내부로 압축공기를 유입시키고, 반대로 가압 로드(120)가 하강할 때는 피스톤(122)의 하부면 측의 작동실(116)에 채워져 있던 압축공기를 실린더 블록(110)의 외부로 배출시키는 기능을 수행한다. The first air outflow line 130a allows compressed air to flow into the operation chamber 116 on the upper surface side of the piston 122 when the pressure load 120 descends and conversely when the pressure load 120 rises And discharging the compressed air filled in the operation chamber 116 on the upper surface side of the piston 122 to the outside of the cylinder block 110. The second air outflow line 130b allows the compressed air to flow into the operation chamber 116 on the lower surface side of the piston 122 when the pressure rod 120 is lifted, The operation of discharging the compressed air filled in the operation chamber 116 on the lower surface side of the piston 122 to the outside of the cylinder block 110 is performed.

이를 위해서 제 1 공기유출라인()는 연마 구동축(50)의 내부에 수직하게 형성되는 제 1 공기유출유로(132a)와, 압축공기를 제 1 공기유출유로(132a) 내부로 유입시키거나 또는 제 1 공기유출유로(132a) 내부에 채워진 압축공기를 배출시키는 제 2 공기유출유로(134a), 및 제 1 공기유출유로(132a) 내부에 채워진 압축공기를 각각의 작동실(116), 즉 피스톤(122)의 상부면 측의 작동실(116) 내부로 유입시키거나 또는 피스톤(122)의 상부면 측의 작동실(116) 내부에 채워진 압축공기를 배출하는 제 3 공기유출유로(136a)를 포함한다. To this end, the first air outflow line () has a first air outflow passage 132a vertically formed in the polishing drive shaft 50, and a second air outflow passage 132b for introducing the compressed air into the first air outflow passage 132a, The second air outflow channel 134a for discharging the compressed air filled in the first air outflow channel 132a and the compressed air filled in the first air outflow channel 132a are connected to the respective working chambers 116, And a third air outflow channel 136a for introducing the compressed air into the operation chamber 116 on the upper surface side of the piston 122 or the compressed air filled in the operation chamber 116 on the upper surface side of the piston 122 do.

마찬가지로 제 2 공기유출라인(130b)은 연마 구동축(50)의 내부에 수직하게 형성되는 제 4 공기유출유로(132b)와, 압축공기를 제 4 공기유출유로(132b) 내부로 유입시키거나 또는 제 4 공기유출유로(132b) 내부에 채워진 압축공기를 배출시키는 제 5 공기유출유로(134b), 및 제 4 공기유출유로(132b) 내부에 채워진 압축공기를 각각의 작동실(116), 즉 피스톤(122)의 하부면 측의 작동실(116) 내부로 유입시키거나, 또는 피스톤(122)의 하부면 측의 작동실(116) 내부에 채워진 압축공기를 배출하는 제 6 공기유출유로(136b)를 포함한다. Similarly, the second air outflow line 130b includes a fourth air outflow passage 132b vertically formed inside the abrasive drive shaft 50, and a fourth air outflow passage 132b that allows the compressed air to flow into the fourth air outflow passage 132b, A fifth air outflow passage 134b for discharging the compressed air filled in the fourth air outflow passage 132b and a compressed air filled in the fourth air outflow passage 132b to the respective working chambers 116, Or a sixth air outflow channel 136b for introducing the compressed air filled in the operation chamber 116 on the lower face side of the piston 122 into the inside of the operation chamber 116 on the lower face side of the piston 122 .

여기서 제 1 공기유출유로(132a)는 도시된 바와 같이 제 4 공기유출유로(132b)에 간섭되지 않게 연마 구동축(50)의 상부면 상에서 어느 하나의 작동실(116)의 상부 측으로 수직하게 연장되며, 마찬가지로 제 4 공기유출유로(132b)는 제 1 공기유출유로(132a)에 간섭되지 않게 연마 구동축(50)의 상부면 상에서 어느 하나의 작동실(116)의 하부 측으로 수직하게 연장되는데, 이때 제 1 공기유출유로(132a) 및 제 4 공기유출유로(132b)의 상단부는 기밀을 위해서 캡(C)으로 마감된다. The first air outflow channel 132a extends vertically to the upper side of one of the operation chambers 116 on the upper surface of the polishing drive shaft 50 so as not to interfere with the fourth air outflow channel 132b The fourth air outflow channel 132b extends vertically to the lower side of one of the operation chambers 116 on the upper surface of the polishing drive shaft 50 so as not to interfere with the first air outflow channel 132a, The upper ends of the first and second air outflow channels 132a and 132b are closed to the cap C for air tightness.

그리고 제 2, 및 제 5 공기유출유로(134a, 134b)는 서로 간섭되지 않게 연마 구동축(50)의 상부에 인접한 외주면을 따라 침강되게 형성되며, 제 3, 및 제 6 공기유출유로(136a, 136b)는 각각 제 1, 제 4 공기유출유로(132a, 132b)의 연장단에 인접한 연마 구동축(50)의 외주면을 따라 침강되게 형성되는데, 이때 제 2 공기유출유로(134a)는 제 7 공기유출유로(138a)에 의해 제 1 공기유출유로(132a)의 상단부 측과 연결되고 제 5 공기유출유로(134b)는 제 8 공기유출유로(138b)에 의해 제 4 공기유출유로(132b)의 상단부 측과 연결된다. 그리고 제 3 공기유출유로(136a)는 제 9 공기유출유로(140a)에 의해 제 1 공기유출유로(132a)의 하단부 측과 연결되고 제 6 공기유출유로(136b)는 제 10 공기유출유로(140b)에 의해 제 4 공기유출유로(132b)의 하단부 측과 연결된다. The second and fifth air outflow channels 134a and 134b are formed so as to sink along the outer peripheral surface adjacent to the upper portion of the polishing drive shaft 50 without interfering with each other and the third and sixth air outflow channels 136a and 136b Are formed so as to sink along the outer circumferential surface of the abrasive drive shaft 50 adjacent to the extending end of the first and fourth air outflow passages 132a and 132b, respectively. At this time, the second air outflow passage 134a, And the fifth air outflow passage 134b is connected to the upper end side of the fourth air outflow passage 132b by the eighth air outflow passage 138b and to the upper end side of the fourth air outflow passage 132b by the eighth air outflow passage 138b, . The third air outflow channel 136a is connected to the lower end side of the first air outflow channel 132a by the ninth air outflow channel 140a and the sixth air outflow channel 136b is connected to the lower end side of the tenth air outflow channel 140b To the lower end side of the fourth air outflow channel 132b.

한편, 제 2, 및 제 5 공기유출유로(134a, 134b)는 연마 구동축(50)을 회전가능하게 지지하는 베어링 하우징(H)을 관통하여 형성된 제 1, 및 제 2 공기유출포트(142a, 142b)에 의해 연결되며, 각각의 작동실(116)의 상부 내측과 제 3 공기유출유로(136a)는 제 3 유출포트(144a)에 의해 연결되고, 각각의 작동실(116)의 하부 내측과 제 6 공기유출유로(136b)는 제 4 유출포트(144b)에 의해 연결된다. 이때 제 1, 및 제 2 공기유출포트(142a, 142b)에는 압축공기가 유입 및 배출되는 유압호스(도시되지 않음)가 연결된다. The first and second air outflow ports 142a and 142b formed through the bearing housing H for rotatably supporting the polishing drive shaft 50 And the upper inner side of each of the operation chambers 116 and the third air outflow passage 136a are connected by the third outflow port 144a and the lower inner side of each of the operation chambers 116, 6 air outflow channel 136b are connected by a fourth outflow port 144b. At this time, a hydraulic hose (not shown) through which compressed air is introduced and discharged is connected to the first and second air outflow ports 142a and 142b.

하기에는 전술한 바와 같이 형성된 본 발명에 따른 폴리싱 헤드용 시편 가압 실린더(100)의 작동상태를 간략하게 설명한다. The operational state of the specimen pressing cylinder 100 for a polishing head according to the present invention formed as described above will be briefly described below.

시편홀더(36)의 시편 장착공(38)에 끼워진 시편(S)의 표면 연마 작업 시 시편 가압 실린더(100)는 각각의 가압 로드(120)를 신장시켜 시편(S)을 연마 휠(20a, 20b; 도 1 참조) 측으로 가압 시킨다. The surface of the specimen S sandwiched by the specimen mounting holes 38 of the specimen holder 36 is subjected to the surface polishing operation of the specimen pressing cylinder 100 by stretching each of the pressing rods 120 to transfer the specimen S to the polishing wheels 20a, 20b (see Fig. 1).

전술한 바와 같이 가압 로드(120)를 신장시키기 위해서는 압축공기가 제 1 공기유출라인(130a)을 통해 유입되는데, 즉 압축공기는 제 1 공기유출포트(142a)를 통해 유입되어 순차적으로 제 2, 제 7, 제 1, 제 9, 제 3 공기유로유로(134a, 138a, 132a, 140a, 136a)에 채워진 후, 각각의 제 3 공기유출포트(144a)를 통해 피스톤(122)의 상부면 측의 작동실(116) 내부로 채워지는데, 이렇게 압축공기가 채워짐에 따라 가압 로드(120)를 하강하면서 시편(S)의 상부면을 가압하게 되고, 피스톤(122)의 하부면 측의 작동실(116) 내부에 채워졌던 압축공기는 제 2 공기유출라인(130b)을 통해 배출된다. In order to extend the pressing rod 120 as described above, compressed air flows through the first air outflow line 130a, that is, compressed air flows through the first air outflow port 142a, The first and third air flow paths 134a, 138a, 132a, 140a and 136a are filled with the third air outflow port 144a, The upper surface of the specimen S is pressed down while the pressurizing rod 120 is lowered as the compressed air is filled in and the working chamber 116 on the lower surface side of the piston 122 Is discharged through the second air outflow line 130b.

반대로, 가압 로드(120)를 복귀시키기 위해서는 제 1 공기유출라인(130a)을 통해 유입되는 압축공기를 차단시킨 상태 하에서 압축공기를 제 2 공기유출라인(130b)을 통해 유입시키는데, 제 2 공기유출라인(130b) 측으로 유입되는 압축공기는 제 2 공기유출포트(142b)를 통해 유입되어 순차적으로 제 5, 제 8, 제 4, 제 10, 제 6 공기유출유로(134b, 138b, 132b, 140b, 136b)에 채워진 후, 각각의 제 4 공기유출포트(144b)를 통해 피스톤(122)의 하부면 측의 작동실(116) 내부로 채워진다. 이렇게 제 2 공기유출라인(130b)을 통해 피스톤(122)의 하부면 측의 작동실(116) 내부로 압축공기가 채워지면 가압 로드(120)는 상승하게 되고, 피스톤(122)의 상부면 측의 작동실(116) 내부에 채워졌던 압축공기는 제 1 공기유출라인(130b)을 통해 배출된다. In order to return the pressure rod 120, compressed air is introduced through the second air outflow line 130b while the compressed air flowing through the first air outflow line 130a is shut off, The compressed air flowing into the line 130b flows through the second air outflow port 142b and sequentially flows through the fifth, eighth, fourth, tenth, and sixth air outflow channels 134b, 138b, 132b, 140b, And then filled into the working chamber 116 on the lower surface side of the piston 122 through each fourth air outflow port 144b. When the pressurized air is filled into the working chamber 116 on the lower surface side of the piston 122 through the second air outflow line 130b, the pressurizing rod 120 is lifted and the upper surface of the piston 122 The compressed air that has been filled in the operation chamber 116 of the compressor 100 is discharged through the first air outflow line 130b.

한편, 전술한 바와 같은 시편 가압 실린더(100)가 장착된 폴리싱 헤드(30)는 공압라인(도시되지 않음) 상에 설치된 방향 전환 밸브(도시되지 않음)을 이용하여 시편 가압 실린더(100) 측으로 유입되는 압축공기를 승강 실린더(60; 도 1 참조) 측으로 전환하면 승강 실린더(60)를 이용해 시편홀더(36)에 끼워진 시편(S)을 연마 휠(20a, 20b) 측으로 가압할 수도 있다. 이때 시편홀더(36)에 끼워지는 시편(S)은 나사와 같은 고정수단에 의해 고정되는 것이 바람직하다. On the other hand, the polishing head 30 on which the specimen pressing cylinder 100 as described above is mounted is introduced into the specimen pressing cylinder 100 side using a direction switching valve (not shown) provided on a pneumatic line (not shown) It is also possible to press the specimen S fitted to the specimen holder 36 toward the grinding wheels 20a and 20b by using the elevating cylinder 60 when the compressed air to be compressed is directed to the elevating cylinder 60 (see Fig. 1). At this time, the specimen S to be fitted to the specimen holder 36 is preferably fixed by a fixing means such as a screw.

즉, 전술한 시편 가압 실린더(100)가 장착된 폴리싱 헤드(30)는 시편 가압 실린더(100)의 가압 로드(120)를 통합적으로 작동시켜 시편홀더(36)에 끼워진 시편(S)을 개별적으로 연마 휠(20a, 20b)에 가압시킬 수 있을 뿐만 아니라 승강 실린더(60)를 작동시켜 시편(S)이 장착된 시편홀더(36)의 중앙부에 하중을 주어 시편(S)을 연마 휠(20a, 20b)에 가압시킬 수 있게 한다. That is, the polishing head 30 equipped with the above-described specimen pressing cylinder 100 integrally operates the pressing rods 120 of the specimen pressing cylinder 100 to individually separate the specimens S fitted to the specimen holder 36 Not only the polishing wheels 20a and 20b can be pressed but also the elevating cylinder 60 is operated to apply a load to the central portion of the specimen holder 36 on which the specimen S is mounted to transfer the specimen S to the polishing wheels 20a, 20b.

다시 말해, 본 발명에 따른 시편 가압 실린더(100)가 장착된 폴리싱 헤드(30)는 시편 가압 실린더(100)와 승강 실린더(60)를 겸용하여 시편(S)을 가압시킬 수 있다. In other words, the polishing head 30 equipped with the specimen pressing cylinder 100 according to the present invention can pressurize the specimen S by also using the specimen pressing cylinder 100 and the elevating cylinder 60.

이와 같이 형성된 본 발명에 따른 폴리싱 헤드용 시편 가압 실린더(100)는 실린더 블록(110)이 장착되는 연마 구동축(50)에 각각의 가압 로드(120)들을 통합적으로 작동시키는 제 1, 제 2 공기유출라인(130a, 130b)을 형성함으로써, 폴리싱 헤드(30)를 간단하게 구성할 수 있게 한다. The specimen pressing cylinder 100 for a polishing head according to the present invention thus formed has first and second air outflows (not shown) for integrally operating the respective pressing rods 120 to the polishing driving shaft 50 on which the cylinder block 110 is mounted, By forming the lines 130a and 130b, the polishing head 30 can be simply configured.

또한 본 발명에 따른 폴리싱 헤드용 시편 가압 실린더(100)는 연마 구동축(50)에 각각의 가압 로드(120)들을 통합적으로 작동시키는 제 1, 제 2 공기유출라인(130a, 130b)을 형성함으로써, 시편 가압 실린더(100)의 조립 및 유지보수를 용이하게 할 수 있게 한다. The specimen pressing cylinder 100 for a polishing head according to the present invention further includes first and second air outflow lines 130a and 130b for integrally operating the respective pressing rods 120 to the polishing drive shaft 50, Thereby facilitating the assembly and maintenance of the specimen pressing cylinder 100.

상기와 같은 폴리싱 헤드용 시편 가압 실린더(100)는 위에서 설명된 실시예들의 구성과 작동 방식에 한정되는 것이 아니다. 상기 실시예들은 각 실시예들의 전부 또는 일부가 선택적으로 조합되어 다양한 변형이 이루어질 수 있도록 구성될 수도 있다.
The above-described specimen pressing cylinder 100 for a polishing head is not limited to the configuration and the operation manner of the embodiments described above. The above embodiments may be configured so that all or some of the embodiments may be selectively combined to make various modifications.

100 : 시편 가압 실린더 110 : 실린더 블록
112 : 관통공 116 : 작동실
120 : 가압 로드 130a : 제 1 공기유출라인
132b : 제 2 공기유출라인100: Specimen pressing cylinder 110: Cylinder block
112: through hole 116: working chamber
120: pressurizing rod 130a: first air outflow line
132b: second air outflow line

Claims (4)

연마 구동축의 하단부에 장착된 시편홀더의 상부면과 마주하도록 연마 구동축의 외주면 상에 장착되는 시편 가압 실린더를 가지는 폴리싱 헤드에 있어서,
상기 시편 가압 실린더는,
상기 시편홀더에 끼워지는 시편의 상부면과 마주하도록 상기 연마 구동축의 외주면 상에 장착되는 실린더 블록;
시편이 끼워지는 상기 시편홀더의 시편 장착공과 마주하도록 상기 실린더 블록에 형성된 작동실에 승강 가능하게 배치됨과 아울러 시편 연마 작업 시 시편의 상부면을 가압하는 다수의 가압 로드; 및
다수의 상기 가압 로드를 통합적으로 승강 작동시킬 수 있도록 상기 연마 구동축에 형성되는 제 1, 제 2 공기유출라인;을 포함하는 것을 특징으로 하는 시편 가압 실린더.
A polishing head having a specimen pressing cylinder mounted on an outer circumferential surface of a polishing drive shaft so as to face an upper surface of a specimen holder mounted on a lower end of a polishing drive shaft,
The sample pressurizing cylinder includes:
A cylinder block mounted on an outer circumferential surface of the polishing drive shaft so as to face an upper surface of a specimen fitted in the specimen holder;
A plurality of pressing rods that are vertically movable in a working chamber formed in the cylinder block so as to face a specimen mounting hole of the specimen holder into which the specimen is fitted and press the upper surface of the specimen during a specimen polishing operation; And
And a first and a second air outflow line formed on the polishing drive shaft so as to integrally lift and operate the plurality of pressing rods.
청구항 1에 있어서,
상기 제 1 공기유출라인은 상기 가압 로드가 하강할 때 상기 가압 로드의 상단부에 장착된 피스톤의 상부면 측의 상기 작동실 내부로 압축공기를 유입시키고, 상기 가압 로드가 상승할 때는 상기 피스톤의 상부면 측의 상기 작동실에 채워져 있던 압축공기를 상기 실린더 블록의 외부로 배출시키며,
상기 제 2 공기유출라인은 상기 가압 로드가 상승할 때 상기 피스톤의 하부면 측의 상기 작동실 내부로 압축공기를 유입시키고, 상기 가압 로드가 하강할 때는 상기 피스톤의 하부면 측의 상기 작동실에 채워져 있던 압축공기를 상기 실린더 블록의 외부로 배출시키는 것을 특징으로 하는 폴리싱 헤드용 시편 가압 실린더.
The method according to claim 1,
Wherein the first air outflow line introduces compressed air into the working chamber on the upper surface side of the piston mounted on the upper end of the pressing rod when the pressing rod descends, The compressed air that has been filled in the working chamber on the side of the surface is discharged to the outside of the cylinder block,
Wherein the second air outflow line allows compressed air to flow into the working chamber on the lower surface side of the piston when the pressing rod is lifted and to cause the compressed air to flow into the working chamber on the lower surface side of the piston when the pressing rod descends And discharging the filled compressed air to the outside of the cylinder block.
청구항 2에 있어서,
상기 제 1 공기유출라인은,
상기 연마 구동축의 상부면 상에서 어느 하나의 상기 작동실의 상부 측으로 수직하게 연장되고 상단부는 캡에 의해 마감되는 제 1 공기유출유로;
상기 연마 구동축의 상부에 인접한 외주면을 따라 침강되게 형성되는 제 2 공기유출유로;
상기 제 1 공기유출유로의 연장단에 인접한 상기 연마 구동축의 외주면을 따라 침강되게 형성되는 제 3 공기유출유로;
상기 제 2 공기유출유로와 상기 제 1 공기유출유로의 상단부 측을 연결하는 제 7 공기유출유로; 및
상기 제 3 공기유출유로와 상기 제 1 공기유출유로의 하단부 측을 연결하는 제 9 공기유출유로;를 포함하며,
상기 제 2 공기유출유로는 상기 연마 구동축을 회전가능하게 지지하는 베어링 하우징을 관통하여 형성된 제 1 공기유출포트에 의해 연결되고,
각각의 상기 작동실의 상부 내측과 상기 제 3 공기유출유로는 제 3 유출포트에 의해 연결되며,
상기 제 1 공기유출포트에는 압축공기가 유입 및 배출되는 유압호스가 연결되는 것을 특징으로 하는 폴리싱 헤드용 시편 가압 실린더.
The method of claim 2,
Wherein the first air outflow line comprises:
A first air outflow channel extending vertically to an upper side of any one of the operation chambers on the upper surface of the polishing drive shaft and having an upper end closed by a cap;
A second air outflow channel formed to be settled along an outer circumferential surface adjacent to an upper portion of the polishing drive shaft;
A third air outflow channel formed to sink along an outer circumferential surface of the polishing drive shaft adjacent to an end of the first air outflow channel;
A seventh air outflow channel connecting the second air outflow channel and an upper end side of the first air outflow channel; And
And a ninth air outflow channel connecting the third air outflow channel and the lower end side of the first air outflow channel,
Wherein the second air outflow channel is connected by a first air outflow port formed through a bearing housing rotatably supporting the polishing drive shaft,
The upper inside of each of the operating chambers and the third air outflow channel are connected by a third outflow port,
And a hydraulic hose through which compressed air is introduced and discharged is connected to the first air outflow port.
청구항 2에 있어서,
상기 제 2 공기유출라인은,
상기 연마 구동축의 상부면 상에서 어느 하나의 상기 작동실의 하부 측으로 수직하게 연장되고 상단부는 캡에 의해 마감되는 제 4 공기유출유로;
상기 연마 구동축의 상부에 인접한 외주면을 따라 침강되게 형성되는 제 5 공기유출유로;
상기 제 4 공기유출유로의 연장단에 인접한 상기 연마 구동축의 외주면을 따라 침강되게 형성되는 제 6 공기유출유로;
상기 제 5 공기유출유로와 상기 제 4 공기유출유로의 상단부 측을 연결하는 제 8 공기유출유로; 및
상기 제 6 공기유출유로와 상기 제 4 공기유출유로의 하단부 측을 연결하는 제 10 공기유출유로;를 포함하며,
상기 제 5 공기유출유로는 상기 연마 구동축을 회전가능하게 지지하는 베어링 하우징을 관통하여 형성된 제 2 공기유출포트에 의해 연결되고,
각각의 상기 작동실의 하부 내측과 상기 제 6 공기유출유로는 제 4 유출포트에 의해 연결되며,
상기 제 2 공기유출포트에는 압축공기가 유입 및 배출되는 유압호스가 연결되는 것을 특징으로 하는 폴리싱 헤드용 시편 가압 실린더.
The method of claim 2,
Wherein the second air outflow line comprises:
A fourth air outflow channel extending vertically to a lower side of any one of the operation chambers on the upper surface of the polishing drive shaft and having an upper end closed by a cap;
A fifth air outflow channel formed to be settled along an outer circumferential surface adjacent to an upper portion of the polishing drive shaft;
A sixth air outflow channel formed to sink along an outer circumferential surface of the polishing drive shaft adjacent to an end of the fourth air outflow channel;
An eighth air outflow channel connecting the fifth air outflow channel and the upper end side of the fourth air outflow channel; And
And a tenth air outflow channel connecting the sixth air outflow channel and the lower end side of the fourth air outflow channel,
Wherein the fifth air outflow channel is connected by a second air outflow port formed through a bearing housing rotatably supporting the polishing drive shaft,
The lower inner side of each of the operation chambers and the sixth air outflow channel are connected by a fourth outflow port,
And a hydraulic hose through which compressed air is introduced and discharged is connected to the second air outflow port.
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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20020073440A (en) * 2001-03-16 2002-09-26 가부시키 가이샤 에바라 세이사꾸쇼 Polishing apparatus
KR101466773B1 (en) * 2013-07-18 2014-11-28 (주)대성하이텍 Spindle of wafer polishing head assembly

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