KR101566639B1 - Method for improving error checking and correction performance of 3-d memory - Google Patents

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양준성
한현승
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Abstract

Disclosed is a method for improving error checking and correction performance of a memory. The method for improving the error checking and correction performance of the memory comprises the steps of: in a memory cell array with a matrix structure composed of memory cells and a spare cell array with a matrix structure composed of spare memory cells for replacing a defected memory cell which is a memory cell where a defect occurs, replacing a defected column of the memory cell array having the defected memory cell with a spare column of the spare cell array; storing a check bit of an error correction code in one or more memory cells within the defected column; storing defect information on the defected memory cell; selecting whether to use the memory cells storing the check bit in error checking and correction of the memory by using the detect information; and performing the error checking and correction of the memory using the memory cell selected according to the selection result.

Description

3차원 메모리의 오류검사정정 성능 향상방법{METHOD FOR IMPROVING ERROR CHECKING AND CORRECTION PERFORMANCE OF 3-D MEMORY}[0001] METHOD FOR IMPROVING ERROR CHECKING AND CORRECTION PERFORMANCE OF 3-D MEMORY [0002]

본 발명은 3차원 메모리에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 3차원 메모리의 오류검사정정(error check and correct, ECC) 성능을 향상시키는 방법에 관한 것이다.
The present invention relates to a three-dimensional memory, and more particularly, to a method for improving error checking and correcting (ECC) performance of a three-dimensional memory.

메모리 집적도가 높아지면서 소프트 에러(soft error)의 발생률이 높아지고 이를 해결하기 위해 ECC 메모리의 비중이 높아지게 되었다. 소프트 에러는 전자기적인 간섭, 정전기, 우주선(cosmic ray) 등에 의하여 발생될 수 있다. 일 예로 전리방사선(ionization radiation)에 의하여 생성된 전하는 집적회로의 소프트 에러(soft error)를 발생시킬 수 있다. 예를 들면, 알파 입자가 3차원 메모리를 투과하는 경우 알파 입자는 전자-정공 쌍을 메모리 셀 근처에 생성하게 되고, 생성된 전자-정공 쌍의 전하의 양이 특정 문턱값을 초과하는 경우에는 비트 에러의 원인이 될 수 있다. 또한, 메모리의 집적도가 높아지는 경우에는 메모리셀의 결함(defect) 발생률도 높아질 수 있다.As the memory density increases, the incidence of soft errors increases and the proportion of ECC memory increases. Soft errors may be caused by electromagnetic interference, static electricity, cosmic rays, and the like. For example, a charge generated by ionization radiation can cause a soft error in the integrated circuit. For example, when alpha particles pass through a three-dimensional memory, the alpha particles generate an electron-hole pair near the memory cell, and when the amount of charge of the generated electron-hole pair exceeds a certain threshold value, It may cause an error. In addition, when the degree of integration of the memory is increased, the defect occurrence rate of the memory cell can also be increased.

메모리에 발생된 에러(오류)를 검사하고 정정하기 위한 메모리 내의 오류검사정정은 오류정정부호를 통하여 수행된다. 메모리에서 발생되는 에러를 극복하기 위하여는 오류검사정정(error check and correct)이 필수적이고, SEC-DED 코드와 SEC-DED-DAEC 코드와 같은 메모리의 오류정정부호(error correction code)는 메모리 설계에 필수적인 부분이 되었다. The error checking correction in the memory for checking and correcting errors (errors) generated in the memory is performed through error correction codes. In order to overcome the errors in memory, error check and correct are essential, and memory error correction codes such as SEC-DED-code and SEC-DED-DAEC code are used in memory design. It became an integral part.

메모리의 저장용량의 한계를 극복하기 위하여 3차원 메모리에 대한 연구가 최근에 활발히 진행되고 있고, 복수 개의 메모리층들이 적층되어 있는 3차원 메모리의 경우에는 소프트 에러가 복수 개의 메모리들층 중 상위 메모리층에 발생할 확률이 높다는 문제가 있다. 이는 알파 입자의 대부분이 적층되어 있는 복수 개의 메모리층들 중 상위 메모리층에 가장 먼저 부딪혀 상위 메모리층이 알파 입자들로부터 하위 메모리층들을 보호하는 역할을 하기 때문이다. In order to overcome the limitation of the storage capacity of a memory, studies on a three-dimensional memory have been actively conducted recently. In the case of a three-dimensional memory in which a plurality of memory layers are stacked, There is a problem in that the probability of occurrence is high. This is because the upper memory layer is the first to strike the upper memory layer among the plurality of memory layers in which most of the alpha particles are stacked, thereby protecting the lower memory layers from the alpha particles.

또한, 최근에 주목받고 있는 3차원 메모리의 신뢰성은 상위 슬라이스의 신뢰성이 주요 요인으로 작용하여 결정하게 되며 3차원 메모리의 상위 메모리층의 오류검사정정 성능을 향상시키기 위한 방법의 개발이 필요하다.
In addition, the reliability of the three-dimensional memory, which has been attracting attention recently, is determined by the reliability of the upper slice as a main factor and it is necessary to develop a method for improving the error checking correction performance of the upper memory layer of the three-dimensional memory.

본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는, 3차원 메모리의 상위 메모리층의 오류검사정정에 사용되는 체크비트를 하위 메모리층들의 스페어셀 어레이에 저장함으로써 3차원 메모리의 오류검사정정 성능을 향상시킬 수 있는 3차원 메모리의 오류검사정정 성능 향상방법을 제공하는 것이다.
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to improve the error checking correction performance of a three-dimensional memory by storing a check bit used for error checking of an upper memory layer of a three-dimensional memory in a spare cell array of lower memory layers And to provide a method for improving the error checking correction performance of the three-dimensional memory.

상기와 같은 기술적 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 실시예에 따른 3차원 메모리의 오류검사정정 성능 향상 방법은 메모리셀들로 이루어진 매트릭스 구조의 메모리셀 어레이와 상기 메모리셀에 결함이 발생한 결함 메모리셀을 대체하여 주기 위한 스페어 메모리셀들로 이루어진 매트릭스 구조의 스페어셀 어레이를 각각 구비하는 복수 개의 메모리층들이 적층되어 있고, 상기 복수 개의 메모리층들을 제어하는 마스터층을 구비하는 3차원 메모리의 오류검사정정 방법에 있어서, a) 상기 복수 개의 메모리층들 중 상위에 적층되어 있는 상위 메모리층의 오류검사정정에 사용되는 체크 비트를 상기 상위 메모리층 아래에 적층되어 있는 하위 메모리층 및 상기 상위 메모리층 각각의 스페어셀 어레이 중 하나 이상에 저장하는 단계; 및 b) 저장된 체크비트를 이용하여 상기 상위 메모리층의 오류검사정정을 수행하는 단계를 포함할 수 있다. According to an aspect of the present invention, there is provided a method for improving the error correction correction performance of a three-dimensional memory, including: a memory cell array having a matrix structure including memory cells; A plurality of memory layers each having a spare cell array of a matrix structure made up of spare memory cells for replacing the plurality of memory layers, and a master layer controlling the plurality of memory layers, The method comprising the steps of: a) forming a check bit, which is used for error checking of an upper memory layer stacked on top of the plurality of memory layers, on a lower memory layer stacked below the upper memory layer, Storing in at least one of the spare cell arrays; And b) performing error checking correction of the upper memory layer using stored check bits.

일 예로 메모리셀들로 이루어진 매트릭스(행렬) 구조의 메모리셀 어레이는 M(row)×N(column) 구조일 수 있고, 스페어 메모리셀들로 이루어진 매트릭스 구조의 스페어셀 어레이는 M(row, 행)×L(column, 열) 구조일 수 있다. For example, a memory cell array having a matrix structure of memory cells may have an M (row) × N (column) structure, a spare cell array having a matrix structure of spare memory cells may have M X L (column, column) structure.

예를 들면, 4개의 메모리층이 수직하게 적층되어 있는 3차원 메모리에서 가장 아래에 적층되어 있는 메모리층을 layer 4라고 하고, 그 위에 적층되어 있는 메모리층을 layer 3라고 하며, 그 위에 적층되어 있는 메모리층을 layer 2라고 하고, 그 위에 적층되어 있는 메모리층을 layer 1이라고 지칭하는 경우, layer 4, layer 3 및 layer 2의 입장에서는 layer 1이 상위 메모리층이 될 수 있고, layer 4 및 layer 3의 입장에서는 layer 2가 상위 메모리층이 될 수 있다. 이와 같이 상위 메모리층은 그 개념이 아래에 적층되어 있는 메모리층이 존재하는지 여부에 따라 변경될 수 있다. For example, in a three-dimensional memory in which four memory layers are stacked vertically, the memory layer stacked on the lowermost layer is referred to as layer 4, the memory layer stacked thereon is referred to as layer 3, If the memory layer is referred to as layer 2 and the stacked memory layer is referred to as layer 1 in layer 4, layer 3 and layer 2, layer 1 may be an upper memory layer, layer 4 and layer 3 Layer 2 can be an upper memory layer. Thus, the upper memory layer may be changed depending on whether the memory layer in which the concept is stacked below exists.

오류검사정정(error checking and correction)은 오류정정코드(error correction code)를 이용하여 데이터의 오류를 검사하고 정정하는 방법을 말한다. 일반적으로 검사는 정정보다는 넓은 범위에 걸쳐 수행될 수 있다. Error checking and correction refers to a method of checking and correcting errors in data using error correction codes. In general, inspection can be performed over a wider range than correction.

오류정정부호로는 선형 블록 코드인 SEC-DED 코드 또는 SEC-DED-DAEC(Single-error-correcting, Double-error-detecting and Double-adjacent-error-correcting) 코드가 사용될 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다. The error correction code may be a SEC-DED code or a SEC-DED-DAEC (linear-block code), but is not limited thereto .

하나의 실시예로 상기 a) 단계는, 상기 복수 개의 메모리층들마다 메모리셀 어레이에 결함 메모리셀을 가지는 결함컬럼이 존재하고 있는지 여부를 판단하는 단계; 결함 컬럼이 존재하고 있는 경우에는 결함 컬럼을 가지고 있는 해당 메모리층의 스페어셀 어레이의 스페어 컬럼을 상기 결함 컬럼과 대체하는 단계; 및 상기 복수 개의 메모리층들 중 대체에 사용되지 않은 스페어 컬럼에 상기 상위 메모리층의 오류검사정정에 사용되는 체크비트를 저장하는 단계를 포함할 수 있다. In one embodiment, the step a) includes the steps of: determining whether a defect column having a defective memory cell exists in the memory cell array for each of the plurality of memory layers; Replacing the spare column of the spare cell array of the memory layer having the defective column with the defective column if the defective column is present; And storing a check bit used for error checking of the upper memory layer in a spare column not used for substitution among the plurality of memory layers.

예를 들면, 결함 컬럼을 가지고 있는지 여부에 대한 정보는 펌웨어(firmware) 또는 내장된 자기-정정(built-in self-repair, BISR) 로직(logic)에 의한 리셋 과정 또는 부팅(booting) 과정 중에 기록될 수 있다. 또한 이러한 정보는 3차원 메모리에 구비될 수 있는 별도의 CAM(Content Addressable Memory)에 저장될 수도 있다. CAM은 매우 빠른 속도를 요하는 탐색 애플리케이션에서 사용되는 특수한 메모리로서 연관 메모리(associative memory)이다. For example, information on whether a defective column is present may be recorded during firmware reset or by a reset or booting process with built-in self-repair (BISR) . In addition, such information may be stored in a separate CAM (Content Addressable Memory) which may be provided in the three-dimensional memory. CAM is an associative memory that is a special memory used in very fast searching applications.

하나의 실시예로 상기 복수 개의 메모리층들 중 대체에 사용되지 않은 스페어 컬럼에 상위 메모리층의 오류검사정정에 사용되는 체크비트를 저장하는 단계는, 대체에 사용되지 않은 스페어 컬럼과 상기 상위 메모리층 사이에 신호가 송수신될 수 있도록 하는 전기적으로 연결하는 단계; 및 상위 메모리층의 오류검사정정에 사용되는 체크비트를 저장하는 단계를 포함할 수 있다. In one embodiment, the step of storing a check bit used for error checking correction of an upper memory layer in a spare column not used for substitution among the plurality of memory layers includes the steps of: So that a signal can be transmitted and received between the first and second electrodes; And storing a check bit used for error checking correction of the upper memory layer.

하나의 실시예로 대체에 사용되지 않은 스페어 컬럼과 상기 상위 메모리층 사이의 전기적 연결은, 대체에 사용되지 않은 스페어 컬럼이 배치된 해당 메모리층이 구비하는 컬럼 선택 라인의 제어를 통하여 수행될 수 있다.
In one embodiment, the electrical connection between the spare column and the upper memory layer, which is not used for replacement, can be performed through control of the column selection line of the corresponding memory layer in which the spare column not used as an alternative is disposed .

상기와 같은 본 발명은, 3차원 메모리에서 상위 메모리층의 오류검사정정에 사용되는 체크비트를 하위 메모리층의 스페어셀 어레이에 저장함으로써 상위 메모리층의 오류검사정정 성능을 향상시킬 수 있는 효과가 있다. The present invention has the effect of improving the error checking correction performance of the upper memory layer by storing the check bits used for the error check correction of the upper memory layer in the three-dimensional memory in the spare cell array of the lower memory layer .

3차원 메모리의 경우에는 상위 메모리층의 오류검사정정 성능이 3차원 메모리 전체의 오류검사정정 성능을 좌우하므로 상위 메모리층의 오류검사정정 성능을 향상시킴으로써 3차원 메모리 자체의 오류검사정정 성능을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
In the case of three-dimensional memory, the error checking correction performance of the upper memory layer depends on the error checking correction performance of the entire three-dimensional memory, thereby improving the error checking correction performance of the upper memory layer. There is an effect that can be.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 3차원 메모리의 오류검사정정 방법이 적용되는 3차원 메모리의 구조를 설명하기 위한 일실시예도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 3차원 메모리의 오류검사정정 방법을 설명하기 위한 개념도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 3차원 메모리의 오류검사정정 방법의 흐름도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 상위 메모리층의 체크비트를 하위 메모리층의 스페어셀 어레이에 저장하는 방법을 설명하기 위한 개념도이다.
도 5는 본 발명의 실시예 1에 따른 상위 메모리층의 체크비트를 하위 메모리층의 스페어셀 어레이에 저장하는 방법을 설명하기 위한 개념도이다.
도 6은 본 발명의 실시예 2에 따른 상위 메모리층의 체크비트를 하위 메모리층의 스페어셀 어레이에 저장하는 방법을 설명하기 위한 개념도이다.
FIG. 1 is a diagram for explaining a structure of a three-dimensional memory to which a method for correcting error checking of a three-dimensional memory according to an embodiment of the present invention is applied.
FIG. 2 is a conceptual diagram for explaining a method of correcting errors in a three-dimensional memory according to an embodiment of the present invention.
3 is a flowchart of a method for correcting error checking of a three-dimensional memory according to an embodiment of the present invention.
4 is a conceptual diagram for explaining a method of storing check bits of an upper memory layer in a spare cell array of a lower memory layer according to an embodiment of the present invention.
5 is a conceptual diagram for explaining a method of storing check bits of an upper memory layer according to the first embodiment of the present invention in a spare cell array of a lower memory layer.
6 is a conceptual diagram for explaining a method of storing check bits of an upper memory layer in a spare cell array of a lower memory layer according to the second embodiment of the present invention.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러가지 실시예를 가질 수 있는바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. While the invention is susceptible to various modifications and alternative forms, specific embodiments thereof are shown by way of example in the drawings and will herein be described in detail. It should be understood, however, that the invention is not intended to be limited to the particular embodiments, but includes all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 일실시예를 상세히 설명한다. 도면상에서 동일 부호는 동일한 요소를 지칭한다.
Hereinafter, a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Wherein like reference numerals refer to like elements throughout.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 3차원 메모리의 오류검사정정 방법이 적용되는 3차원 메모리의 구조를 설명하기 위한 일실시예도이다. FIG. 1 is a diagram for explaining a structure of a three-dimensional memory to which a method for correcting error checking of a three-dimensional memory according to an embodiment of the present invention is applied.

도 1을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 3차원 메모리의 오류검사정정 방법이 적용되는 3차원 메모리는 하나의 메모리층 상에 복수 개의 메모리 뱅크(Bank1 내지 Bank 8)들이 서로 규칙적으로 이격되어 배치되어 있고, 복수 개의 메모리 뱅크들이 배치되어 있는 복수 개의 메모리층들이 적층되어 있다. 또한, 복수 개의 메모리층은 메모리층들마다 중앙에 배치되어 있는 실리콘관동전극(TSV)을 통하여 서로 신호를 송수신할 수 있도록 구성되어 있고, 복수 개의 메모리층은 각각 컬럼 선택 라인(column select line, CSL)을 구비하고 있어, 컬럼 선택 라인을 통하여 메모리층의 메모리 컬럼 및 스페어 컬럼 중 하나 이상에 신호가 송수신될 수 있도록 제어할 수 있다. 또한, 복수 개의 메모리층들 간의 신호의 송수신은 마스터층(master layer)에 의하여 제어될 수 있다. Referring to FIG. 1, a three-dimensional memory to which an error checking and correcting method of a three-dimensional memory according to an exemplary embodiment of the present invention is applied includes a plurality of memory banks (Bank1 to Bank8) And a plurality of memory layers in which a plurality of memory banks are arranged are stacked. The plurality of memory layers are configured to transmit and receive signals to and from each other via a silicon floating electrode (TSV) disposed at the center for each of the memory layers. Each of the plurality of memory layers includes a column select line (CSL ) So that signals can be transmitted and received through at least one of the memory column and the spare column of the memory layer through the column select line. In addition, transmission and reception of signals between a plurality of memory layers can be controlled by a master layer.

각각의 메모리 뱅크들은 메모리셀들로 이루어진 매트릭스 구조의 메모리셀 어레이와 상기 메모리셀에 결함이 발생한 결함 메모리셀을 대체하여 주기 위한 스페어 메모리셀들로 이루어진 매트릭스 구조의 스페어셀 어레이를 구비하고 있다. Each of the memory banks includes a spare cell array having a matrix structure including a memory cell array having a matrix structure including memory cells and spare memory cells for replacing defective memory cells with defective memory cells.

도 1에는 하나의 메모리층 상에 복수 개의 메모리 뱅크들이 배치되어 있는 구조가 도시되어 있지만, 각각의 메모리층마다 하나의 메모리 뱅크가 배치되어 있는 복수 개의 메모리층들이 그룹을 형성하여 하나의 3차원 메모리를 구성할 수 있다. 이러한 간략한 구조는 도 2a를 통하여 확인할 수 있다.
1 shows a structure in which a plurality of memory banks are arranged on one memory layer. However, a plurality of memory layers in which one memory bank is arranged for each memory layer form a group, . Such a simplified structure can be confirmed through FIG. 2A.

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 3차원 메모리의 오류검사정정 방법을 설명하기 위한 개념도이고, 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 3차원 메모리의 오류검사정정 방법의 흐름도이고, 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 상위 메모리층의 체크비트를 하위 메모리층의 스페어셀 어레이에 저장하는 방법을 설명하기 위한 개념도이다. 도 4에서 WL은 워드라인(word line)을 의미하고, BL은 비트라인(bit line)을 의미하며, CSL은 컬럼 선택 라인(column seclect line)을 의미하고, BL_spare는 스페어셀 어레이의 비트 라인을 의미하며, CLS_spare는 신호를 송수신하기 위한 스페어 컬럼을 선택할 수 있는 컬럼 선택 라인을 의미한다. FIG. 2 is a conceptual diagram for explaining an error checking and correcting method of a three-dimensional memory according to an embodiment of the present invention, FIG. 3 is a flowchart of an error checking and correcting method of a three- FIG. 8 is a conceptual diagram for explaining a method of storing check bits of an upper memory layer in a spare cell array of a lower memory layer according to an embodiment of the present invention. FIG. In FIG. 4, WL denotes a word line, BL denotes a bit line, CSL denotes a column seclect line, BL_spare denotes a bit line of a spare cell array, And CLS_spare means a column selection line for selecting a spare column for transmitting and receiving signals.

도 2 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 3차원 메모리의 오류검사정정 방법은 메모리셀들로 이루어진 매트릭스 구조의 메모리셀 어레이와 상기 메모리셀에 결함이 발생한 결함 메모리셀을 대체하여 주기 위한 스페어 메모리셀들로 이루어진 매트릭스 구조의 스페어셀 어레이를 각각 구비하는 복수 개의 메모리층들이 적층되어 있고, 상기 복수 개의 메모리층들을 제어하는 마스터층을 구비하는 3차원 메모리의 오류검사정정 방법에 있어서, 상기 복수 개의 메모리층들 중 상위에 적층되어 있는 상위 메모리층의 오류검사정정에 사용되는 체크 비트를 상기 상위 메모리층 아래에 적층되어 있는 하위 메모리층 및 상기 상위 메모리층 각각의 스페어셀 어레이 중 하나 이상에 저장하는 단계(S100) 및 저장된 체크비트를 이용하여 상기 상위 메모리층의 오류검사정정을 수행하는 단계(S200)를 포함할 수 있다. Referring to FIGS. 2 to 4, a method for correcting error checking of a three-dimensional memory according to an embodiment of the present invention includes replacing a memory cell array having a matrix structure made up of memory cells and a defective memory cell having a defective memory cell A method for correcting error checking of a three-dimensional memory having a plurality of memory layers each including a spare cell array having a matrix structure of spare memory cells for controlling the plurality of memory layers and a master layer controlling the plurality of memory layers, A check bit used for error checking of an upper memory layer stacked on top of the plurality of memory layers is set to one of a lower memory layer stacked below the upper memory layer and a spare memory cell array (S100) and the stored check bit It may include a step (S200) of performing the error check of the correction layer.

3차원 메모리의 오류검사정정 방법을 수행하기 위하여, 상기 복수 개의 메모리층들 중 상위에 적층되어 있는 상위 메모리층의 오류검사정정에 사용되는 체크 비트를 상기 상위 메모리층 아래에 적층되어 있는 하위 메모리층 및 상기 상위 메모리층 각각의 스페어셀 어레이 중 하나 이상에 저장한다(S100). In order to perform a method of correcting error checking of a three-dimensional memory, a check bit used for error checking of an upper memory layer stacked on top of the plurality of memory layers is divided into a lower memory layer And at least one of the spare cell arrays of the upper memory layers (S100).

도 2에 도시된 바와 같이, 복수 개의 메모리층들은 각각 메모리셀 어레이(memory array) 및 스페어셀 어레이(spare array)를 구비하고 있고, 메모리셀 어레이(memory array)는 메모리셀들로 이루어진 매트릭스 구조이고, 스페어셀 어레이(spare array)는 상기 메모리셀에 결함이 발생한 결함 메모리셀을 대체하여 주기 위한 스페어 메모리셀들로 이루어진 매트릭스 구조일 수 있다. 2, each of the plurality of memory layers includes a memory cell array and a spare cell array. The memory array is a matrix structure of memory cells, And a spare array may be a matrix structure including spare memory cells for replacing a defective memory cell in which a defect occurs in the memory cell.

일 예로 복수 개의 메모리층들 수직한 방향을 따라 적층되어 있는 구조이며, 복수 개의 메모리층들 중 상위에 적층되어 있는 상위 메모리층의 오류검사정정 능력을 향상시키기 위하여 상위 메모리층 아래에 적층되어 있는 3개의 하위 메모리층의 스페어셀 어레이를 상위 메모리층의 스페어셀 어레이처럼 사용할 수 있다. For example, in order to improve the error checking and correcting ability of the upper memory layer stacked above the plurality of memory layers, a plurality of memory layers are stacked along the vertical direction, The spare cell array of the lower memory layers can be used as the spare cell array of the upper memory layer.

도 4를 참조하면, 하위 메모리층들은 각각 컬럼 선택 라인(column select line, CSL)을 구비하고 있고, 하위 메모리층들의 컬럼 선택 라인과 상위 메모리층 간을 전기적으로 연결함으로써 하위 메모리층의 스페어셀 어레이를 상위 메모리층의 스페어셀 어레이로 사용할 수 있다. Referring to FIG. 4, each of the lower memory layers includes a column select line (CSL), and the column select line of the lower memory layers and the upper memory layer are electrically connected to each other. Can be used as the spare cell array of the upper memory layer.

예를 들면, 상위 메모리층과 하위 메모리층 간에는 신호가 실리콘 관통 전극(TSV)을 통하여 송수신될 수 있고, 이러한 신호는 하위 메모리층의 컬럼 선택 라인을 통하여 하위 메모리층의 스페어셀 어레이에 송수신될 수 있으다. 이러한 신호의 송수신은 하위 메모리층의 컬럼 선택 라인의 온/오프를 제어함으로써 수행될 수 있고, 하위 메모리층의 스페어셀 어레이를 하위 메모리층의 컬럼 선택 라인을 통하여 상위 메모리층과 전기적으로 연결함으로써 하위 메모리층의 스페어셀 어레이를 상위 메모리층의 스페어셀 어레이처럼 사용할 수 있다. 따라서, 상위 메모리층의 오류검사정정에 사용되는 체크비트는 하위 메모리층의 스페어셀 어레이에 저장될 수 있다. 상위 메모리층의 스페어셀 어레이에 상위 메모리층의 오류검사정정에 사용되는 체크비트가 저장되는 방식은 일반적으로 사용되는 체크비트 저장방식과 동일하므로 자세한 설명은 생략하기로 한다. For example, a signal can be transmitted and received between the upper memory layer and the lower memory layer via the silicon penetration electrode (TSV), and this signal can be transmitted to and received from the spare cell array of the lower memory layer through the column select line of the lower memory layer . Transmission and reception of such a signal can be performed by controlling ON / OFF of the column select line of the lower memory layer, and by electrically connecting the spare cell array of the lower memory layer to the upper memory layer through the column select line of the lower memory layer, A spare cell array of a memory layer can be used as a spare cell array of an upper memory layer. Therefore, the check bit used for error checking correction of the upper memory layer can be stored in the spare cell array of the lower memory layer. The method of storing the check bit used for error checking of the upper memory layer in the spare cell array of the upper memory layer is the same as that of the commonly used check bit storing method, and thus a detailed description thereof will be omitted.

상기 S100 단계는 복수 개의 메모리층들마다 메모리셀 어레이에 결함 메모리셀을 가지는 결함컬럼이 존재하고 있는지 여부를 판단하는 단계(S120), 결함 컬럼이 존재하고 있는 경우에는 결함 컬럼을 가지고 있는 해당 메모리층의 스페어셀 어레이의 스페어 컬럼을 상기 결함 컬럼과 대체하는 단계(S140) 및 복수 개의 메모리층들 중 대체에 사용되지 않은 스페어컬럼에 상위 메모리층의 오류검사정정에 사용되는 체크비트를 저장하는 단계(S160)를 포함할 수 있다. In operation S100, it is determined whether a defective column having a defective memory cell exists in the memory cell array for each of the plurality of memory layers (S120). If the defective column exists, (S140) of replacing the spare column of the spare cell array of the upper memory layer with the defective column (S140) and storing a check bit used for error checking of the upper memory layer in a spare column not used for substitution among the plurality of memory layers S160).

복수 개의 메모리층들마다 메모리셀 어레이에 결함 메모리셀을 가지는 결함컬럼이 존재하고 있는지 여부를 판단한다(S120). 이는 결함 메모리셀을 가지고 있는 메모리셀 어레이의 결함 컬럼을 스페어셀 어레이의 스페어 컬럼으로 대체하여 메모리셀 어레이를 수리하기 위함이다. 일 예로 결함 컬럼과 스페어 컬럼의 대체는 결함 컬럼과 스페어 컬럼을 연결하는 신호선의 온(On)/오프(Off)를 통하여 수행될 수 있다. 상기 신호선은 예를 들면 컬럼 신호 라인(CSL)일 수 있다. It is determined whether a defect column having a defective memory cell exists in the memory cell array for each of the plurality of memory layers (S120). This is to repair the memory cell array by replacing the defective column of the memory cell array having the defective memory cell with the spare column of the spare cell array. For example, the replacement of a defective column and a spare column may be performed by turning on / off a signal line connecting the defective column and the spare column. The signal line may be, for example, a column signal line (CSL).

상기 판단 결과에 따라 결함 컬럼이 존재하고 있는 경우에는 결함 컬럼을 가지고 있는 해당 메모리층의 스페어셀 어레이의 스페어 컬럼을 상기 결함 컬럼과 대체한다(S140). 도 6을 참조하면, 상위 메모리층(layer 1)의 메모리셀 어레이에는 하나의 결함 메모리셀이 존재하고 있고, 결함 메모리셀을 포함하고 있는 결함 컬럼은 스페어셀 어레이의 스페어셀로 수리된다. 수리된 메모리층은 도 6의 우측에 도시되어 있고, 대체된 결함 컬럼은 검게 표시되어 있다. 이러한 대체 방식을 통하여 하위 메모리층들(layer 2 내지 layer 4)는 수리될 수 있다. If the defect column is present according to the determination result, the spare column of the spare cell array of the memory layer having the defective column is replaced with the defective column (S140). Referring to FIG. 6, one defective memory cell exists in the memory cell array of the upper memory layer (layer 1), and the defective column including the defective memory cell is repaired as a spare cell of the spare cell array. The repaired memory layer is shown on the right side of FIG. 6, and the replaced defect column is marked in black. Through this alternative scheme, the lower memory layers (layer 2 through layer 4) can be repaired.

대체가 완료되면, 복수 개의 메모리층들 중 대체에 사용되지 않은 스페어컬럼에 상위 메모리층의 오류검사정정에 사용되는 체크비트를 저장한다(S160). 예를 들면, 대체되지 않은 스페어 컬럼을 제어하는 컬럼 신호 라인(CSL)을 통하여 신호가 송수신될 수 있도록 제어한 후 스페어 컬럼에 상위 메모리층의 오류검사정정에 사용되는 체크비트를 저장할 수 있다. 즉, 대체에 사용되지 않은 스페어 컬럼과 상기 상위 메모리층 사이에 신호가 송수신될 수 있도록 컬럼 신호 라인(CSL)을 통하여 전기적으로 연결할 수 있다. When replacement is completed, a check bit used for error checking of the upper memory layer is stored in a spare column not used for substitution among a plurality of memory layers (S160). For example, it is possible to control a signal to be transmitted / received through a column signal line CSL which controls an unsubstituted spare column, and then store a check bit used in error checking of the upper memory layer in the spare column. That is, the memory cell may be electrically connected through the column signal line CSL so that a signal can be transmitted / received between the spare column not used for replacement and the upper memory layer.

상위 메모리층의 오류검사정정에 사용되는 체크비트가 저장되는 방법은 아래의 복수 개의 메모리층에 결함 메모리가 없는 경우에 대한 실시예 1 및 복수 개의 메모리층에 결함 메모리가 있는 경우에 대한 실시예 2를 포함할 수 있다.
The method for storing the check bit used for error checking of the upper memory layer is the same as that of the first embodiment except that there is no defect memory in the plurality of memory layers below and the case where there is a defect memory in the plurality of memory layers . ≪ / RTI >

실시예 1Example 1

도 5는 본 발명의 실시예 1에 따른 상위 메모리층의 체크비트를 하위 메모리층의 스페어셀 어레이에 저장하는 방법을 설명하기 위한 개념도이다. 5 is a conceptual diagram for explaining a method of storing check bits of an upper memory layer according to the first embodiment of the present invention in a spare cell array of a lower memory layer.

도 5를 참조하면, 복수 개의 메모리층들(layer 1 내지 layer 4)은 각각 2X2 구조의 스페어셀 어레이를 구비할 수 있고, 복수 개의 메모리층은 결함 메모리셀을 가지고 있지 않으므로 하위 메모리층들(layer 2 내지 layer 4) 각각의 스페어셀 어레이는 모두 상위 메모리층(layer 1)의 스페어셀 어레이로 사용될 수 있다. Referring to FIG. 5, a plurality of memory layers (layer 1 to layer 4) may each include a spare cell array having a 2X2 structure, and a plurality of memory layers have no defective memory cells. 2 to layer 4) Each spare cell array can be used as a spare cell array of an upper memory layer (layer 1).

따라서, 상위 메모리층(layer 1)의 오류검사정정에 사용되는 체크비트는 상위 메모리층(layer 1)의 0 및 1로 표시되어 있는 상위 메모리층(layer 1)이 구비하고 있는 스페어셀 어레이에 저장될 수 있고, 상위 메모리층(layer 1)의 오류검사정정에 사용되는 체크비트는 상위 메모리층(layer 1)의 2 내지 7로 표시되어 있는 하위 메모리층들(layer 2 내지 layer 4) 각각의 스페어셀 어레이에 저장될 수 있다.
Therefore, the check bit used for error checking of the upper memory layer (layer 1) is stored in the spare cell array of the upper memory layer (layer 1) indicated by 0 and 1 of the upper memory layer (layer 1) And the check bit used for error checking correction of the upper memory layer (layer 1) is a spare bit of each of the lower memory layers (layer 2 to layer 4) indicated by 2 to 7 of the upper memory layer (layer 1) May be stored in a cell array.

실시예 2Example 2

도 6은 본 발명의 실시예 2에 따른 상위 메모리층의 체크비트를 하위 메모리층의 스페어셀 어레이에 저장하는 방법을 설명하기 위한 개념도이다. 6 is a conceptual diagram for explaining a method of storing check bits of an upper memory layer in a spare cell array of a lower memory layer according to the second embodiment of the present invention.

도 6을 참조하면, 복수 개의 메모리층들(layer 1 내지 layer 4)은 각각 2X2 구조의 스페어셀 어레이를 구비할 수 있고, 복수 개의 메모리층은 결함 메모리셀을 가지고 있으므로 결함 메모리셀을 가지고 있는 결함 컬럼은 해당 메모리층에 구비되어 있는 스페어셀 컬럼으로 각각 대체되어 메모리 어레이가 수리(Repair)될 수 있다. 수리가 완료되면 상위 메모리층(layer 1)의 오류검사정정에 사용되는 체크비트를 하위 메모리층들(layer 2 내지 layer 4) 각각의 스페어셀 어레이 중 대체에 사용되지 않은 스페어 컬럼에 저장될 수 있다. Referring to FIG. 6, a plurality of memory layers (layers 1 to 4) may each include a spare cell array having a 2X2 structure, and a plurality of memory layers have defective memory cells. The column may be replaced with a spare cell column provided in the corresponding memory layer so that the memory array may be repaired. When the repair is completed, the check bit used for error check correction of the upper memory layer (layer 1) may be stored in a spare column not used for replacement among the spare cell array of each of the lower memory layers (layer 2 to layer 4) .

따라서, 상위 메모리층(layer 1)의 오류검사정정에 사용되는 체크비트는 상위 메모리층(layer 1)의 0으로 표시되어 있는 상위 메모리층(layer 1)이 구비하고 있는 스페어 컬럼에 저장될 수 있고, 상위 메모리층(layer 1)의 오류검사정정에 사용되는 체크비트는 상위 메모리층(layer 1)의 1 내지 3으로 표시되어 있는 하위 메모리층들(layer 2 내지 layer 4)의 대체에 사용되지 않은 스페어 컬럼에 저장될 수 있다. Therefore, the check bit used for error check correction of the upper memory layer (layer 1) can be stored in a spare column of the upper memory layer (layer 1) indicated by 0 of the upper memory layer (layer 1) , The check bit used for error checking correction of the upper memory layer (layer 1) is not used for replacement of the lower memory layers (layer 2 to layer 4) indicated by 1 to 3 of the upper memory layer (layer 1) Can be stored in a spare column.

다음으로, 저장된 체크비트를 이용하여 상기 상위 메모리층의 오류검사정정을 수행한다(S200). 오류검사정정은 일반적으로 사용되고 있는 방법이 사용될 수 있고, 예를 들면, SEC-DED Hsiao code 방법이 사용될 수 있다. Next, the error check correction of the upper memory layer is performed using the stored check bits (S200). The error checking may be performed by a commonly used method, for example, the SEC-DED Hsiao code method.

본 발명의 실시예에 따른 3차원 메모리의 오류검사정정 방법은 상위 메모리층의 오류검사정정에 사용되는 체크비트가 하위 메모리층의 스페어셀 어레이에 저장될 수 있으므로 상위 메모리층의 오류검사정정 성능을 향상시킬 수 있다. 이에 대하여는 [표 1]을 참조하여 설명하기로 한다. The error checking and correcting method of the three-dimensional memory according to the embodiment of the present invention is characterized in that the check bits used for error checking of the upper memory layer can be stored in the spare cell array of the lower memory layer, Can be improved. This will be described with reference to [Table 1].

[표 1]은 최대 허용 비트 에러 레이트(maximally bearable bit error rate)를 나타낸 결과로서, 기존의 ECC는 3차원 메모리의 최대 허용 비트 에러 레이트를 종래의 오류검사정정 방법을 통하여 측정한 결과이고, 본 발명에 따른 ECC는 3차원 메모리의 최대 허용 비트 에러 레이트를 본 발명의 실시예에 따른 3차원 메모리의 오류검사정정 방법을 적용하여 측정한 결과를 나타낸다. 32-bit와 64-bit 워드를 사용하고, 4층, 8층 및 16층으로 적층되어 있는 1GB 메모리(256MB×4, 128MB×8, 64MB×16)를 각각 사용하였으며, 오류검사정정 방법은 SEC-DED Hsiao code 방법을 사용하였다. 표 1의 nLmS(n=4, 8, 16 이고, m=1, 2, 3, 4이다.)에서 nL은 적층되어 있는 메모리층의 개수를 나타내고, mS는 상위 메모리층의 오류검사정정에 사용되는 체크비트가 저장되어 있는 스페어 컬럼의 개수를 나타낸다. [Table 1] shows the results of a maximally bearable bit error rate. The conventional ECC is a result of measuring the maximum allowable bit error rate of a three-dimensional memory through a conventional error checking correction method, The ECC according to the present invention shows a result of measuring a maximum allowable bit error rate of a three-dimensional memory by applying a method of correcting errors in a three-dimensional memory according to an embodiment of the present invention. (256MB × 4, 128MB × 8, and 64MB × 16), which are composed of 4-layer, 8-layer, and 16-layer memories using 32-bit and 64-bit words, respectively. -DED Hsiao code method was used. NL is the number of stacked memory layers, and mS is used for error checking of the upper memory layer. In Table 1, nLmS (n = 4, 8, 16, m = 1, 2, 3 and 4) The number of spare columns in which the check bits are stored.


기존의 ECCConventional ECC 본 발명에 따른 ECCThe ECC 증가비율(배)Increase rate (times)
32-bit32-bit 64-bit64-bit 32-bit32-bit 64-bit64-bit 32-bit32-bit 64-bit64-bit 4L1S4L1S 2.65E-62.65E-6 1.83E-61.83E-6 5.21E-65.21E-6 3.60E-63.60E-6 약 1.97Approximately 1.97 약 1.97Approximately 1.97 4L2S4L2S 3.34E-63.34E-6 2.30E-62.30E-6 1.11E-51.11E-5 7.60E-67.60E-6 약 3.32Approximately 3.32 약 3.30Approximately 3.30 4L3S4L3S 4.21E-64.21E-6 2.90E-62.90E-6 1.46E-51.46E-5 1.01E-51.01E-5 약 3.47Approximately 3.47 약 3.47Approximately 3.47 4L4S4L4S 5.30E-65.30E-6 3.65E-63.65E-6 1.84E-51.84E-5 1.27E-51.27E-5 약 3.48Approximately 3.48 약 3.47Approximately 3.47 8L1S8L1S 3.33E-63.33E-6 2.30E-62.30E-6 1.19E-51.19E-5 8.23E-58.23E-5 약 3.59Approximately 3.59 약 3.58Approximately 3.58 8L2S8L2S 4.19E-64.19E-6 2.90E-62.90E-6 1.55E-51.55E-5 1.07E-51.07E-5 약 3.70Approximately 3.70 약 3.69Approximately 3.69 8L3S8L3S 5.29E-65.29E-6 3.65E-63.65E-6 1.96E-51.96E-5 1.35E-51.35E-5 약 3.70Approximately 3.70 약 3.70Approximately 3.70 8L4S8L4S 6.65E-66.65E-6 4.60E-64.60E-6 2.47E-52.47E-5 1.70E-51.70E-5 약 3.71Approximately 3.71 약 3.70Approximately 3.70 16L1S16L1S 4.18E-64.18E-6 2.89E-62.89E-6 1.42E-51.42E-5 9.80E-59.80E-5 약 3.39Approximately 3.39 약 3.39Approximately 3.39 16L2S16L2S 5.26E-65.26E-6 3.64E-63.64E-6 1.79E-51.79E-5 1.23E-51.23E-5 약 3.40Approximately 3.40 약 3.39Approximately 3.39 16L3S16L3S 6.64E-66.64E-6 4.58E-64.58E-6 2.26E-52.26E-5 1.55E-51.55E-5 약 3.40Approximately 3.40 약 3.39Approximately 3.39 16L4S16L4S 8.36E-68.36E-6 5.77E-65.77E-6 2.84E-52.84E-5 1.96E-51.96E-5 약 3.40Approximately 3.40 약 3.39Approximately 3.39

[표 1]을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 3차원 메모리의 오류검사정정 방법을 적용하여 측정한 최대 허용 비트 에러 레이트의 결과 값이 종래의 오류검사정정 방법을 통하여 측정한 최대 허용 비트 에러 레이트의 결과 값에 비하여 적게는 약 1.97배에서 많게는 약 3.70배까지 증가되는 것을 확인할 수 있다. 이러한 결과를 통하여 본 발명의 실시예에 따른 3차원 메모리의 오류검사정정 방법을 3차원 메모리에 적용하는 경우 소프트 에러가 많이 발생할 수 있는 환경에서도 안정적으로 동작할 수 있음을 예상할 수 있다.
Referring to Table 1, when the result of the maximum permissible bit error rate measured by applying the error checking correction method of the three-dimensional memory according to the embodiment of the present invention is smaller than the maximum permissible bit It can be confirmed that the error rate is increased from about 1.97 times to about 3.70 times as much as the result of the error rate. As a result, it can be expected that the error checking and correcting method of the three-dimensional memory according to the embodiment of the present invention can be operated stably even in an environment where many soft errors may occur.

이상에서 본 발명에 따른 실시예들이 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 분야에서 통상적 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 범위의 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 다음의 특허청구범위에 의해서 정해져야 할 것이다.While the invention has been shown and described with reference to certain preferred embodiments thereof, it will be understood by those skilled in the art that various changes and modifications may be made without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims. Accordingly, the true scope of the present invention should be determined by the following claims.

Claims (4)

메모리셀들로 이루어진 매트릭스 구조의 메모리셀 어레이와 상기 메모리셀에 결함이 발생한 결함 메모리셀을 대체하여 주기 위한 스페어 메모리셀들로 이루어진 매트릭스 구조의 스페어셀 어레이를 각각 구비하는 복수 개의 메모리층들이 적층되어 있고, 상기 복수 개의 메모리층들을 제어하는 마스터층을 구비하는 3차원 메모리의 오류검사정정 방법에 있어서,
a) 상기 복수 개의 메모리층들 중 상위에 적층되어 있는 상위 메모리층의 오류검사정정에 사용되는 체크 비트를 상기 상위 메모리층 아래에 적층되어 있는 하위 메모리층 및 상기 상위 메모리층 각각의 스페어셀 어레이 중 하나 이상에 저장하는 단계; 및
b) 저장된 체크비트를 이용하여 상기 상위 메모리층의 오류검사정정을 수행하는 단계를 포함하고,
상기 a) 단계는,
상기 복수 개의 메모리층들마다 메모리셀 어레이에 결함 메모리셀을 가지는 결함컬럼이 존재하고 있는지 여부를 판단하는 단계;
결함 컬럼이 존재하고 있는 경우에는 결함 컬럼을 가지고 있는 해당 메모리층의 스페어셀 어레이의 스페어 컬럼을 상기 결함 컬럼과 대체하는 단계; 및
상기 복수 개의 메모리층들 중 대체에 사용되지 않은 스페어 컬럼에 상기 상위 메모리층의 오류검사정정에 사용되는 체크비트를 저장하는 단계를 포함하는, 3차원 메모리의 오류검사정정 성능 향상 방법.
A plurality of memory layers each including a memory cell array having a matrix structure made up of memory cells and a spare cell array having a matrix structure made up of spare memory cells for replacing defective memory cells defective in the memory cells are stacked And a master layer for controlling the plurality of memory layers, the method comprising the steps of:
a check bit used for error checking of an upper memory layer stacked on an upper one of the plurality of memory layers is divided into a lower memory layer stacked below the upper memory layer and a spare memory cell array Storing in at least one of; And
b) performing error checking correction of the upper memory layer using stored check bits,
The step a)
Determining whether a defective column having a defective memory cell exists in the memory cell array for each of the plurality of memory layers;
Replacing the spare column of the spare cell array of the memory layer having the defective column with the defective column if the defective column is present; And
Storing a check bit used for error checking of the upper memory layer in a spare column not used for substitution among the plurality of memory layers.
삭제delete 제1항에 있어서,
상기 복수 개의 메모리층들 중 대체에 사용되지 않은 스페어 컬럼에 상위 메모리층의 오류검사정정에 사용되는 체크비트를 저장하는 단계는,
대체에 사용되지 않은 스페어 컬럼과 상기 상위 메모리층 사이에 신호가 송수신될 수 있도록 하는 전기적으로 연결하는 단계; 및
상위 메모리층의 오류검사정정에 사용되는 체크비트를 저장하는 단계를 포함하는, 3차원 메모리의 오류검사정정 성능 향상 방법.
The method according to claim 1,
The step of storing a check bit used for error checking of an upper memory layer in a spare column not used for substitution among the plurality of memory layers,
Electrically connecting the spare memory column and the upper memory layer so that signals can be transmitted and received; And
And storing a check bit used for error checking of the upper memory layer.
제3항에 있어서,
대체에 사용되지 않은 스페어 컬럼과 상기 상위 메모리층 사이의 전기적 연결은,
대체에 사용되지 않은 스페어 컬럼이 배치된 해당 메모리층이 구비하는 컬럼 선택 라인의 제어를 통하여 수행되는, 3차원 메모리의 오류검사정정 성능 향상 방법.
The method of claim 3,
The electrical connection between the spare memory column and the spare memory layer, which is not used for replacement,
Dimensional memory is controlled through control of a column selection line included in a memory layer in which a spare column not used for substitution is disposed.
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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101836748B1 (en) * 2016-12-30 2018-03-08 연세대학교 산학협력단 Apparatus and method for repairing memory banks by using various spare cells
US10170495B2 (en) 2016-02-25 2019-01-01 Samsung Electronics Co., Ltd. Stacked memory device, optical proximity correction (OPC) verifying method, method of designing layout of stacked memory device, and method of manufacturing stacked memory device

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5784391A (en) 1996-10-08 1998-07-21 International Business Machines Corporation Distributed memory system with ECC and method of operation
US20120185753A1 (en) * 2011-01-18 2012-07-19 Macronix International Co., Ltd. Structure of ECC Spare Bits in 3D Memory

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5784391A (en) 1996-10-08 1998-07-21 International Business Machines Corporation Distributed memory system with ECC and method of operation
US20120185753A1 (en) * 2011-01-18 2012-07-19 Macronix International Co., Ltd. Structure of ECC Spare Bits in 3D Memory
CN102610613A (en) 2011-01-18 2012-07-25 旺宏电子股份有限公司 Structure of ecc spare bits in 3d memory

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10170495B2 (en) 2016-02-25 2019-01-01 Samsung Electronics Co., Ltd. Stacked memory device, optical proximity correction (OPC) verifying method, method of designing layout of stacked memory device, and method of manufacturing stacked memory device
KR101836748B1 (en) * 2016-12-30 2018-03-08 연세대학교 산학협력단 Apparatus and method for repairing memory banks by using various spare cells

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