KR101562507B1 - 플라즈마 발생기용 전원 장치 - Google Patents

플라즈마 발생기용 전원 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명의 일 실시예는 플라즈마 발생기용 전원 장치에 관한 것으로, 해결하고자 하는 기술적 과제는 플라즈마를 발생시키는 플라즈마 발생기를 위해 충분한 전압을 공급할 수 있는 전원 장치를 제공하는데 있다.
이를 위해 본 발명은 제1교류 전압을 제1직류 전압으로 변환하는 전원 입력부; 상기 제1직류 전압을 제2교류 전압으로 변환하고 승압하는 인버터부; 상기 제2교류 전압을 제2직류 전압으로 변환하는 직류 정류부; 및 상기 제2직류 전압으로부터 고전압을 발생시켜 플라즈마 토치에 불꽃을 형성하도록 하는 고전압 발생부로 이루어진 플라즈마 발생기용 전원 장치를 개시한다.

Description

플라즈마 발생기용 전원 장치{POWER SUPPLY DEVICE FOR PLASMA GENERATOR}
본 발명은 플라즈마 발생기용 전원 장치에 관한 것이다.
플라즈마(Plasma)는 이온화된 상태의 기체로서, 기체에 열을 충분히 가하면 원자들 간의 충돌로 인해 많은 수의 전자들이 원자핵의 구속에서 벗어나게 되는데 이것이 플라즈마이다. 플라즈마 속에는 전기적으로 중성인 원자들로만 이루어진 고온 기체와는 달리 서로 반대의 전하를 띤 입자들, 즉 전자와 원자핵이 뒤섞여 존재한다. 따라서 전체적으로는 중성이지만 국부적으로 이온과 전자 사이의 전하 분리에 의해 전기장이, 전하의 흐름에 의해 전류와 자기장이 발생하게 된다.
통상적으로 이러한 플라즈마를 발생시키는 플라즈마 발생기를 위해서는 충분한 전압을 공급할 수 있는 전원 장치가 필요하다.
대한민국공개특허공보 10-2007-0045552(2007.05.02.)
본 발명은 플라즈마를 발생시키는 플라즈마 발생기를 위해 충분한 전압을 공급할 수 있는 전원 장치를 제공한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 발생기용 전원 장치는 제1교류 전압을 제1직류 전압으로 변환하는 전원 입력부; 상기 제1직류 전압을 제2교류 전압으로 변환하고 승압하는 인버터부; 상기 제2교류 전압을 제2직류 전압으로 변환하는 직류 정류부; 및 상기 제2직류 전압으로부터 고전압을 발생시켜 플라즈마 토치에 불꽃을 형성하도록 하는 고전압 발생부를 포함한다.
상기 고전압 발생부에는 플러스 고전압 출력 단자 및 마이너스 고전압 출력 단자가 연결될 수 있다.
상기 고전압 발생부는 상기 직류 정류부의 플러스 전압 출력 단자와 상기 플러스 고전압 출력 단자, 상기 직류 정류부의 마이너스 전압 출력 단자와 상기 마이너스 고전압 출력 단자의 사이에 연결된 커몬 라인 필터; 및 상기 직류 정류부의 마이너스 전압 출력 단자와 상기 커몬 라인 필터 사이에 연결되어 돌입 전류를 방지하는 리액터를 포함할 수 있다.
상기 고전압 발생부에는 플러스 고전압 출력 단자, 파일럿 고전압 출력 단자 및 마이너스 고전압 출력 단자가 연결될 수 있다.
상기 고전압 발생부는 고주파 스위치의 동작에 의해 상기 파일럿 고전압 출력 단자에 고전압을 출력할 수 있다.
상기 고전압 발생부는 상기 직류 정류부의 플러스 전압 출력 단자에 연결된 제1저항; 상기 제1저항에 연결된 제1캐패시터; 상기 직류 정류부의 마이너스 전압 출력 단자에 연결된 제2캐패시터; 상기 제1캐패시터와 상기 제2캐패시터 사이에 연결된 제2저항; 및 상기 플러스 전압 출력 단자와 상기 제1저항 사이의 노드와, 상기 제1캐패시터와 상기 제2저항 사이의 노드 사이에 연결된 고주파 스위치를 포함하고, 상기 제2캐패시터와 상기 제2저항 사이의 노드가 상기 파일럿 고전압 출력 단자에 전기적으로 연결될 수 있다.
본 발명은 플라즈마를 발생시키는 플라즈마 발생기를 위해 충분한 전압을 공급할 수 있는 전원 장치를 제공한다.
즉, 본 발명은 3상 교류 전압을 직류 전압으로 변환하여 하나의 인버터에서 2개의 출력을 만들고 정류하며, 또한 출력 전압을 승압하여 플라즈마 토치에 승압된 초기 전압을 공급함으로써, 토치의 초기 점화 시 높은 전압에 의해 점화가 잘 되도록 한다.
또한, 본 발명은 플라즈마 토치의 점화 시 고주파 스위칭 소자를 이용하여 부하 용량의 변동에도 일정한 직류 전류를 공급하여 안정적인 플라즈마 토치 운전이 가능하도록 한다.
또한, 본 발명은 3상 교류 전압을 직류 전압으로 변환한 후 직류 전압을 스위칭 소자를 이용하여 변동하는 용량성 부하에 맞추어 직류-직류 인버팅하여 역률 및 효율을 개선하도록 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 발생기용 전원 장치의 구성을 도시한 개략 블럭도다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 발생기용 전원 장치의 구성을 개략적으로 도시한 회로도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 발생기용 전원 장치 중 고전압 발생부를 구체적으로 도시한 회로도이다.
도 4a는 파일럿이 없는 경우, 도 4b는 파일럿이 있는 경우의 동작을 설명하기 위한 개략도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 발생기용 전원 장치 중 메인 컨트롤러 등의 구성을 도시한 블럭도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.
본 발명의 실시예들은 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위하여 제공되는 것이며, 하기 실시예는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 하기 실시예에 한정되는 것은 아니다. 오히려, 이들 실시예는 본 개시를 더욱 충실하고 완전하게 하고, 당업자에게 본 발명의 사상을 완전하게 전달하기 위하여 제공되는 것이다.
본 명세서에서 사용된 용어는 특정 실시예를 설명하기 위하여 사용되며, 본 발명을 제한하기 위한 것이 아니다. 본 명세서에서 사용된 바와 같이, 단수 형태는 문맥상 다른 경우를 분명히 지적하는 것이 아니라면, 복수의 형태를 포함할 수 있다. 또한, 본 명세서에서 사용되는 경우 "포함한다(comprise)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급한 형상들, 숫자, 단계, 동작, 부재, 요소 및/또는 이들 그룹의 존재를 특정하는 것이며, 하나 이상의 다른 형상, 숫자, 동작, 부재, 요소 및 /또는 그룹들의 존재 또는 부가를 배제하는 것이 아니다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 발생기용 전원 장치(100)의 구성을 도시한 개략 블럭도이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 발생기용 전원 장치(100)는 전원 입력부(110), 인버터부(120), 직류 정류부(130) 및 고전압 발생부(140)를 포함한다. 이러한 고전압 발생부(140)는 직류 플러스 고전압(DC+), 직류 마이너스 고전압(DC-) 및/또는 파일럿 고전압(Pilot)을 출력한다. 더불어, 직류 플러스 고전압은 플라즈마 발생기의 일측 토치(T1)에 제공되고, 직류 마이너스 고전압은 플라즈마 발생기의 타측 토치(T2)에 제공된다. 플라즈마 발생기에 파일럿(P1)이 존재할 경우 상술한 파일럿 고전압이 파일럿(P1)에 제공된다.(도 4a 및 도 4b 참조)
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 발생기용 전원 장치(100)의 구성을 개략적으로 도시한 회로도이다. 도 2를 참조하여, 상술한 전원 입력부(110), 인버터부(120), 직류 정류부(130) 및 고전압 발생부(140)의 구성 및 동작을 설명한다.
전원 입력부(110)는 제1교류 전압을 제1직류 전압으로 변환하여 인버터부(120)에 입력한다. 이를 위해, 전원 입력부(110)는 3상 교류 전원에 연결된 전원 차단기(TB1), 전원 차단기(TB1)에 연결된 브리지 다이오드(D11), 브리지 다이오드(D11)의 일측에 연결된 리액터(L11), 브리지 다이오드(D11)의 타측에 연결된 스위치(SW11), 리액터(L11)와 스위치(SW11)에 병렬로 연결된 캐패시터(C11)를 포함한다. 여기서, 스위치(SW11)에는 돌입 전류를 억제하는 저항(R11)이 병렬로 연결되고, 또한 캐패시터(C11)에도 돌입 전류를 억제하는 저항(R12)이 병렬로 연결될 수 있다.
또한, 전원 차단기(TB1)는 전원 입력 스위치 역할과 과전류 차단 기능을 갖는다. 브리지 다이오드(D11)는 교류 전압을 직류 전압으로 변환하고, 캐패시터(C11)는 맥류성 직류 전압을 평활한다. 또한, 리액터(L11)는 인버터부(120)의 동작 시 순간적인 피크 전류를 방지하며, 순간 피크 전류를 감소시켜 역률을 개선한다.
인버터부(120)는 직류 전압을 교류 전압으로 변환하고 승압한다. 이를 위해, 인버터부(120)는 전원 입력부(110)에 연결된 다수의 IGBT 또는 FET로 이루어진 풀 브릿지 회로(F21)와, 풀 브릿지 회로(F21)에 연결된 메인 트랜스(T21)를 포함한다. 여기서, 전원 입력부(110)와 인버터부(120)의 사이에는 퓨즈(F1)가 연결될 수 있으며, 이는 인버터부(120)에서 과전류 발생시 전원을 차단하는 역할을 한다. 또한, 메인 트랜스(T21)는 하나의 입력측 1차 권선과, 2개의 출력측 2차 권선을 포함함으로써, 메인 트랜스(T21)는 2개의 출력을 갖는다. 물론, 1개의 1차 권선과 2개의 2차 권선은 전기적으로 절연된다.
이와 같이 하여, 인버터부(120)는 전원 입력부(110)에서 생성된 직류 전압을 풀 브릿지 회로(F21)에 의한 풀 브릿지 방식의 스위칭을 통해 1차 교류 전압으로 변환하고, 또한 메인 트랜스(T21)를 통하여 2개의 2차 교류 전압을 출력한다.
직류 정류부(130)는 인버터부(120)로부터의 교류 전압을 직류 전압으로 변환한다. 이를 위해, 직류 정류부(130)는 메인 트랜스(T21)의 2차측 권선에 연결된 풀 브릿지 다이오드(FD31)와, 풀 브릿지 다이오드(FD31)의 출력측에 병렬 연결된 캐패시터(C31)와, 풀 브릿지 다이오드(FD31)와 캐패시터(C31) 사이에 연결된 인덕터(L31)를 포함한다. 여기서, 캐패시터(C31)에는 돌입 전류 억제를 위한 저항(R31)이 병렬로 연결될 수 있다. 더불어, 2차측 권선은 2개의 출력을 가지므로, 풀 브릿지 다이오드(FD32), 캐패시터(C32), 인덕터(L32) 및 저항(R32)으로 이루어진 직류 정류 회로가 1개 더 구비된다. 여기서, 2개의 캐패시터(C31,C32)는 상호간 직렬로 연결되고, 이러한 2개의 캐패시터(C31,C32)에는 병렬로 추가적인 캐패시터(C33)가 연결된다.
직류 정류부(130)는 풀 브릿지 다이오드(FD31,FD32)가 메인 트랜스(T21)로부터 전달받은 고속의 스위칭 파형을 갖는 교류 전압을 직류 전압으로 변환하고, 이를 인덕터(L31,L32)(초크)로 전달한다. 또한, 인덕터(L31,L32)는 풀 브릿지 다이오드(FD31,FD32)로부터 전달받은 직류 전압을 일정 시간 보관하고, 이를 캐패시터(C31,C32,C33)로 전달하여 평활 및 안정화되도록 한다. 직류 정류부(130)는 대략 600Vdc이하의 전압을 출력한다.
고전압 발생부(140)는 직류 정류부(130)로부터 얻은 직류 전압[(+),(-)]을 고전압으로 변환하여 플라즈마 토치(T1, T2 및/또는 P1, 도 4a 및 도 4b 참조)에 제공함으로써 불꽃이 형성되도록 한다. 고전압 발생부(140)는 직류 정류부(130)에서 출력되는 전압을 승압시켜 상대적으로 높은 전압을 출력하며, 15kV ∼ 30kV의 전압을 출력한다. 이러한 고전압 발생부(140)에는 플러스 고전압 출력 단자, 마이너스 고전압 출력 단자, 및/또는 파일럿 고전압 출력 단자가 연결될 수 있다. 여기서, 파일럿 고전압 출력 단자는 옵션으로서 파일럿(P1)의 존재 여부에 따라 있을 수도 있고, 없을 수도 있다. 또한, 상기 고전압 발생부(140)에는 접지 단자(미도시)가 연결될 수 있다. 또한, 고전압 발생부(140)는 스위치(SW41)를 포함하며, 이러한 스위치(SW41)의 동작에 의해 파일럿 고전압 출력 단자에 고전압이 인가된다. 여기서, 스위치(SW41)와 직류 정류부(130)의 (+)단 사이에는 전류 제한용 저항(R41)이 더 연결될 수 있다. 또한, 스위치(SW41)와 마이너스 고전압 출력단자 사이에는 일정 전압을 저장하기 위한 캐패시터(C41)가 더 연결될 수 있다. 더불어, 마이너스 고전압 출력 단자와 직류 정류부(130)의 (-)단 사이에는 토치 점화 시 돌입 전류 유입을 방지하기 위한 리액터(L41)가 더 연결될 수 있다.
한편, 직류 정류부(130)와 고전압 발생부(140)의 사이에는 전압 센싱 라인 및 전류 센싱 라인이 구비되어 있으며, 이는 하기할 메인 컨트롤러(201)에 직류 정류부(130)에 의한 전압 및 전류에 대한 정보를 제공하는 역할을 한다. 물론, 메인 컨트롤러(201)에 의해 전원 입력부(110)의 스위치(SW11), 인버터부(120) 및 고전압 발생부(140)의 스위치(SW41) 등이 제어됨은 당연하다.
이와 같이 하여, 본 발명은 플라즈마를 발생시키는 플라즈마 발생기를 위해 충분한 전압을 공급할 수 있는 전원 장치(100)를 제공한다. 즉, 본 발명은 3상 교류 전압을 직류 전압으로 변환하여 하나의 인버터에서 2개의 출력을 만들고 정류하며, 또한 출력 전압을 승압하여 플라즈마 토치에 승압된 초기 전압을 공급함으로써, 토치의 초기 점화 시 높은 전압에 의해 점화가 잘 되도록 한다. 또한, 본 발명은 플라즈마 토치의 점화 시 고주파 스위칭 소자를 이용하여 부하 용량의 변동에도 일정한 직류 전류를 공급하여 안정적인 플라즈마 토치 운전이 가능하도록 한다. 또한, 본 발명은 3상 교류 전압을 직류 전압으로 변환한 후 직류 전압을 스위칭 소자를 이용하여 변동하는 용량성 부하에 맞추어 직류-직류 인버팅하여 역률 및 효율을 개선하도록 한다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 발생기용 전원 장치(100) 중 고전압 발생부(140)를 구체적으로 도시한 회로도이다. 즉, 도 2에 도시된 고전압 발생부(140)는 개략도이고, 도 3에 도시된 고전압 발생부(140)는 상세도이다.
도 3에 도시된 바와 같이, 고전압 발생부(140)는 직류 정류부(130)의 (+)단으로부터 일측의 토치(T1)에 제공되는 플러스 고전압 출력 단자와, 직류 정류부(130)의 (-)단으로부터 타측의 토치(T2)에 제공되는 마이너스 고전압 출력 단자의 사이에 연결된 커몬 라인 필터(CL51)와, 직류 정류부(130)의 (-)단과 커몬 라인 필터(CL51) 사이에 연결되어 돌입 전류를 방지하는 리액터(L51)를 포함할 수 있다.
또한, 고전압 발생부(140)에는 플러스 고전압 출력 단자 및 마이너스 고전압 출력 단자 외에도 파일럿 고전압 출력 단자가 더 연결될 수 있으며, 이러한 플러스 고전압 출력 단자와 파일럿 고전압 출력 단자 사이에는 파일럿(P1)에 고전압을 출력하도록 하는 고주파 스위치(SW51)가 더 연결될 수 있다.
이를 좀더 구체적으로 설명하면, 고전압 발생부(140)는 제1저항(R51), 제1캐패시터(C51), 제2캐패시터(C52), 제2저항(R52), 고주파 스위치(SW51)를 포함한다.
제1저항(R51)은 직류 정류부(130)의 (+)단에 연결되고, 제1캐패시터(C51)는 제1저항(R51)에 연결된다. 또한, 제2캐패시터(C52)는 직류 정류부(130)의 (-)단에 연결되며, 제2저항(R52)은 제1캐패시터(C51)와 제2캐패시터(C52) 사이에 연결된다. 또한, 고주파 스위치(SW51)는 플러스 고전압 출력 단자와 제1저항(R51) 사이의 노드와, 제1캐패시터(C51)와 제2저항(R52) 사이의 노드 사이에 연결된다. 이러한 고주파 스위치(SW51)는 메인 컨트롤러(201)에 의해 온 또는 오프된다. 또한, 제2캐패시터(C52)와 제2저항(R52) 사이의 노드가 파일럿 고전압 출력 단자에 전기적으로 연결된다.
더불어, 파일럿 고전압 출력 단자에 연결된 라인에는 서브 트랜스(T51)가 연결되고, 이러한 서브 트랜스(T51)에는 릴레이(RY)를 통해 상용 교류 전원(예를 들면, 교류 220V)이 연결되어 있다. 여기서, 스위치(SW51)와 릴레이(RY)는 메인 컨트롤러(201)에 의해 동시에 동작하며, 이에 따라 스위치(SW51) 및 릴레이(RY)의 동작 시 상용 교류 전원이 서브 트랜스(T51)를 통하여 파일럿 고전압 출력 단자에 연결된 라인에 승압되어 제공된다.
이에 따라, 파일럿 고전압 출력 단자에는 직류 정류부(130)의 (+)단으로부터의 전압, 캐패시터(C51,C52)의 전압 및 서브 트랜스(T51)의 전압이 더해진 전압이 파일럿(P1)에 제공된다.
이와 같이 하여, 본 발명은 파일럿이 없는 경우 플러스 고전압 출력 단자 및 마이너스 고전압 출력 단자에 의해 일측 토치(T1)와 타측 토치(T2) 사이에 플라즈마를 위한 불꽃이 형성되도록 한다. 또한, 본 발명은 파일럿(P)이 있는 경우 파일럿 고전압 출력 단자와 마이너스 고전압 출력 단자에 의해 파일럿(P)과 타측 토치(T2) 사이에 플라즈마를 위한 불꽃이 형성되고, 이어서 플러스 고전압 출력 단자 및 마이너스 고전압 출력 단자에 의해 일측 토치(T1)와 타측 토치(T2) 사이에 플라즈마를 위한 불꽃이 형성되도록 한다
도 4a는 파일럿이 없는 경우, 도 4b는 파일럿이 있는 경우의 동작을 설명하기 위한 개략도이다.
도 4a에 도시된 바와 같이, 파일럿이 없는 경우 플러스 고전압 출력 단자(직류 플러스 고전압) 및 마이너스 고전압 출력 단자(직류 마이너스 고전압)에 의해 일측 토치(T1)와 타측 토치(T2) 사이에 투입된 질소 가스에서 절연 파괴가 일어나고, 이러한 질소 가스가 이온화되어 전류의 흐름이 생성되며 불꽃이 확산된다.
도 4b에 도시된 바와 같이, 파일럿(P1)이 있는 경우 플러스 고전압 출력 단자(직류 플러스 고전압) 및 파일럿 고전압 출력 단자(파이럿 고전압)에 의해 일측 토치(T1)와 파일럿(P1) 사이에 투입된 질소 가스에서 절연 파괴가 일어나고, 이러한 질소 가스가 이온화되어 전류의 흐름이 생성되며 불꽃이 확산된다. 또한, 이러한 동작에 의해 플러스 고전압 출력 단자(직류 플러스 고전압) 및 마이너스 고전압 출력 단자(직류 마이너스 고전압)에 의해 일측 토치(T1)와 타측 토치(T2) 사이에 투입된 질소 가스에서도 절연 파괴가 일어나고, 이러한 질소 가스가 이온화되어 전류의 흐름 및 불꽃이 형성된다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 발생기용 전원 장치(100) 중 메인 컨트롤러(201) 등의 구성을 도시한 블럭도이다.
도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명은 메인 컨트롤러(201), 아날로그 출력부(202), 통신부(203), 디스플레이 및 키 입력부(204), 아날로그 입력부(205), 인버터 구동부(206)를 더 포함한다.
아날로그 출력부(202)는 플라즈마 파워의 전압, 전류를 아날로그 값으로 외부에 출력한다. 또한, 통신부(203)는 RS232, RS485 등의 직렬 통신 방식일 수 있으며, 이는 본 발명에 따른 전원 장치(100)와 외부 장치(도시되지 않음) 사이의 인터페이스로서 컨트롤 및 출력 상황을 제공한다.
또한, 디스플레이 및 키 입력부(204)는 플라즈마 발생기용 전원 장치(100)의 단독 운전 시 상태를 표시하는 동시에 각종 키 입력 상태를 표시한다. 또한, 아날로그 입력부(205)는 측정된 출력 전압 및 출력 전류를 메인 컨트롤러(201)에 입력한다. 더불어, 인버터 구동부(206)는 상술한 메인 컨트롤러(201)에 의해 인버터부(120)를 일정 주파수로 제어한다.
여기서, 상술한 전원 입력부(110), 인버터부(120), 직류 정류부(130)는 하나의 모듈로 구비되고, 메인 컨트롤러(201)는 상술한 모듈만을 컨트롤하여 정전압, 정전류 운전이 되도록 함으로써, 전압, 전류 및 전력을 쉽게 컨트롤할 수 있다.
이상에서 설명한 것은 본 발명에 따른 플라즈마 발생기용 전원 장치를 실시하기 위한 하나의 실시예에 불과한 것으로서, 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 않고, 이하의 특허청구범위에서 청구하는 바와 같이 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능한 범위까지 본 발명의 기술적 정신이 있다고 할 것이다.
100; 본 발명에 따른 플라즈마 발생기용 전원 장치
110; 전원 입력부 120; 인버터부
130; 직류 정류부 140; 고전압 발생부

Claims (6)

  1. 제1교류 전압을 제1직류 전압으로 변환하는 전원 입력부;
    상기 제1직류 전압을 제2교류 전압으로 변환하고 승압하는 인버터부;
    상기 제2교류 전압을 제2직류 전압으로 변환하는 직류 정류부; 및
    상기 제2직류 전압으로부터 고전압을 발생시켜 플라즈마 토치에 불꽃을 형성하도록 하는 고전압 발생부를 포함하며,
    상기 고전압 발생부에는 플러스 고전압 출력 단자, 파일럿 고전압 출력 단자 및 마이너스 고전압 출력 단자가 연결되고,
    상기 고전압 발생부는
    상기 직류 정류부의 플러스 전압 출력 단자와 상기 플러스 고전압 출력 단자, 상기 직류 정류부의 마이너스 전압 출력 단자와 상기 마이너스 고전압 출력 단자의 사이에 연결된 커몬 라인 필터;
    상기 직류 정류부의 마이너스 전압 출력 단자와 상기 커몬 라인 필터 사이에 연결되어 돌입 전류를 방지하는 리액터;
    상기 직류 정류부의 플러스 전압 출력 단자에 연결된 제1저항;
    상기 제1저항에 연결된 제1캐패시터;
    상기 직류 정류부의 마이너스 전압 출력 단자에 연결된 제2캐패시터;
    상기 제1캐패시터와 상기 제2캐패시터 사이에 연결된 제2저항; 및
    상기 플러스 전압 출력 단자와 상기 제1저항 사이의 노드와, 상기 제1캐패시터와 상기 제2저항 사이의 노드 사이에 연결된 고주파 스위치를 포함하고,
    상기 제2캐패시터와 상기 제2저항 사이의 노드가 상기 파일럿 고전압 출력 단자에 전기적으로 연결되고, 상기 고주파 스위치의 동작에 의해 상기 파일럿 고전압 출력 단자에 고전압을 출력하며,
    상기 고전압 발생부는 상기 파일럿 고전압 출력 단자에 연결된 라인에 형성되고 릴레이를 통하여 상용 교류 전원에 연결되는 서브 트랜스를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생기용 전원 장치.
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