KR101543872B1 - Laser ultrasonic apparatus having multiple laser interferometers and method of managing signal using thereof - Google Patents

Laser ultrasonic apparatus having multiple laser interferometers and method of managing signal using thereof Download PDF

Info

Publication number
KR101543872B1
KR101543872B1 KR1020130141625A KR20130141625A KR101543872B1 KR 101543872 B1 KR101543872 B1 KR 101543872B1 KR 1020130141625 A KR1020130141625 A KR 1020130141625A KR 20130141625 A KR20130141625 A KR 20130141625A KR 101543872 B1 KR101543872 B1 KR 101543872B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
laser
optical signal
optical
transmission mode
signal
Prior art date
Application number
KR1020130141625A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20150057814A (en
Inventor
허형준
임충수
박현철
이상진
Original Assignee
주식회사 포스코
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 포스코 filed Critical 주식회사 포스코
Priority to KR1020130141625A priority Critical patent/KR101543872B1/en
Publication of KR20150057814A publication Critical patent/KR20150057814A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101543872B1 publication Critical patent/KR101543872B1/en

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
    • G01N29/14—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object using acoustic emission techniques
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
    • G01B9/02—Interferometers

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)

Abstract

복수의 레이저 간섭계를 가지는 레이저 초음파 장치 및 이를 이용한 신호 처리 방법이 제공된다. 레이저 초음파 장치는, 제1 레이저 빔을 조사함으로써, 피검사체의 표면에 초음파를 발생시키는 제1 레이저 광원과, 발생된 초음파를 검출하기 위한 제2 레이저 빔을 피검사체의 표면에 조사하는 제2 레이저 광원과, 2개의 미러로 구성되어 피검사체의 표면에 의해 반사된 제2 레이저 빔의 주파수 변화를 투과 모드의 광 신호와 투과 모드의 광 신호와 반대 위상을 가지는 반사 모드의 광 신호로 출력하는 2개의 레이저 간섭계와, 2개의 레이저 간섭계로부터 각각 출력되는 반사 모드의 광 신호만을 또는 투과 모드의 광 신호만을 차동 증폭하여 초음파 신호를 생성하는 차동 증폭부를 포함하며, 2개의 레이저 간섭계 각각의 2개의 미러 사이의 거리는, 투과 모드의 광신호의 세기와 반사 모드의 광신호의 세기의 비율이 일정한 값을 가지는 한 쌍의 광학 경로 중 미러간 거리에 비례하는 광학 경로와 미러간 거리에 반비례하는 광학 경로를 각각 하나씩 가지도록 배치시킴으로써, 노이즈를 감소시켜 신호대잡음비를 향상시킬 수 있다.A laser ultrasonic device having a plurality of laser interferometers and a signal processing method using the same are provided. The laser ultrasonic apparatus includes a first laser light source for generating ultrasonic waves on a surface of a test object by irradiating a first laser beam and a second laser for irradiating a surface of the test object with a second laser beam for detecting the generated ultrasonic waves, A light source and two mirrors for outputting a change in frequency of the second laser beam reflected by the surface of the object to an optical signal in the transmission mode and a reflection mode in the opposite phase to the optical signal in the transmission mode And a differential amplification section for generating an ultrasonic signal by differential amplifying only the optical signal of the reflection mode outputted from each of the two laser interferometers or only the optical signal of the transmission mode respectively and the two laser interferometers The distance between the pair of optical paths having a constant ratio of the intensity of the optical signal in the transmission mode to the intensity of the optical signal in the reflection mode, The optical path proportional to the distance between the mirrors and the optical path in inverse proportion to the distance between the mirrors are arranged so as to have one each, thereby improving the signal-to-noise ratio by reducing the noise.

Figure R1020130141625
Figure R1020130141625

Description

복수의 레이저 간섭계를 가지는 레이저 초음파 장치 및 이를 이용한 신호 처리 방법{LASER ULTRASONIC APPARATUS HAVING MULTIPLE LASER INTERFEROMETERS AND METHOD OF MANAGING SIGNAL USING THEREOF}TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to a laser ultrasonic device having a plurality of laser interferometers and a signal processing method using the laser ultrasonic device. [0002]

본 출원은, 레이저 초음파 기술에 관한 것이다.
The present application relates to laser ultrasonic techniques.

일반적으로 종래의 대상물에 대한 검사법은 대상물을 파괴 또는 분해하여 대상물의 상태를 검사하는 방법이 주류를 이루었다. 하지만 상기와 같은 파괴를 수반하는 검사법은 대상물이 동일 유사한 다수의 물품들 중 샘플링된 하나의 물품인 경우에 적합한 방법이지 개별 대상물의 특성이 유니크한 경우 또는 대상물이 유일한 경우 등에는 적합하지 않은 검사법이었다.
In general, a test method for a conventional object is a method of checking the condition of the object by destroying or decomposing the object. However, the above-mentioned destructive test is suitable when the object is a sampled one of a plurality of similar and similar items, and is unsuitable for cases where the characteristics of individual objects are unique or the object is unique .

이에, 근래에는 비파괴식 검사 방법들이 제안되고 있다. 그중 하나로, 레이저 초음파를 이용한 기술이 연구되고 있다. 레이저 초음파 기술은, 측정 대상에 초음파를 발사하고 측정 대상에 펄스형 레이저를 조사하여 반사 산란된 레이저를 레이저 간섭계를 이용하여 측정하는 기술로써, 원격측정이 가능하고 측정대상의 진동에 내구성이 있는 등 현장 적용성이 우수하다. 이에, 비파괴 검사 공정 특히 온라인 결함 검출 또는 재질 계측 등에 적용될 수 있다.
Recently, non-destructive testing methods have been proposed. As one of them, a technique using laser ultrasonic waves is being studied. Laser ultrasonic technology is a technology that emits ultrasonic waves to the object to be measured and irradiates the object to be measured with a pulsed laser, and measures the reflected and scattered laser using a laser interferometer. It is capable of telemetry and has durability Excellent in field application. Therefore, it can be applied to a non-destructive inspection process, particularly on-line defect detection or material measurement.

상술한 레이저 초음파법을 이용하여 신호를 명확하게 얻기 위해서는 초음파를 발생시키는 펄스 레이저의 출력을 높게 하여 발생되는 초음파의 출력을 크게 하거나 또는 측정 레이저의 출력을 높게 하여 검출되는 초음파 신호를 크게 하거나 간섭계의 효율을 높여 초음파 신호를 크게 하는 등의 방법이 있다.
In order to obtain a signal clearly by using the laser ultrasonic wave method described above, it is necessary to increase the output of the ultrasonic wave generated by increasing the output of the pulse laser generating the ultrasonic wave, or to increase the detected ultrasonic signal by increasing the output of the measurement laser, And increasing the efficiency to increase the ultrasonic signal.

이 방법들 중 초음파를 발생시키는 펄스 레이저의 출력을 높게 하는 방법은 측정 대상체의 표면에 손상을 발생시키는 단점이 있다.
Among these methods, the method of increasing the output of the pulse laser generating ultrasonic waves has a disadvantage in that the surface of the object to be measured is damaged.

또한, 측정 레이저의 출력을 높게 하는 방법의 경우 어느 정도 출력 이상은 쉽게 제작하기 어려우며 레이저의 출력이 높아질수록 비선형적인 레이저 노이즈가 발생할 가능성이 높아진다.
In the case of the method of increasing the output of the measurement laser, it is difficult to easily produce an output abnormality to some extent, and the higher the output of the laser, the higher the possibility of nonlinear laser noise.

마지막으로 간섭계의 효율을 높이기 위한 방법은 여러 가지가 시도되어 왔다. 특히, Fabry-Perot 간섭계는 간섭계를 구성하고 있는 거울 사이의 거리에 따라 측정 효율이 변화되어지기 때문에 이를 제어하기 위한 많은 기술들이 개발되어왔다.
Finally, various methods have been tried to increase the efficiency of the interferometer. In particular, since Fabry-Perot interferometers change measurement efficiency depending on the distance between the mirrors constituting the interferometer, many techniques have been developed to control them.

상술한 간섭계의 효율을 높이기 위한 레이저 초음파 기술은 예를 들면, 한국공개특허 제2006-0035129호(공개일: 2006년 4월 26일)에 개시되어 있다. 상술한 종래 문헌에서는 간섭계의 효율을 증가시키기 위해 투과 간섭광과 반사 간섭광을 차동 증폭시킨 신호(청구항 6 참조)를 이용하고 있다. 하지만, 투과 간섭광의 경우 고주파 특성이 좋지 않으며, 따라서 투과 간섭광과 반사 간섭광의 차동 증폭시킨 신호는 여전히 신호대잡음비가 좋지 않은 문제점이 있다.
The laser ultrasonic technique for improving the efficiency of the interferometer described above is disclosed in Korean Patent Publication No. 2006-0035129 (published on Apr. 26, 2006), for example. In the above-described conventional art, a signal obtained by differentially amplifying the transmission interference light and the reflection interference light (refer to claim 6) is used to increase the efficiency of the interferometer. However, in the case of the transmission interference light, the high frequency characteristic is not good, and thus the signal obtained by differentially amplifying the transmission interference light and the reflection interference light has a problem that the signal-to-noise ratio is still poor.

신호대잡음비 향상에 근본적으로 문제가 되는 부분은 레이저 노이즈이다. 앞에서 언급하였듯이 초음파 신호를 명확하게 얻기 위해 측정용 레이저의 출력을 높게 하여 사용하면 비선형적인 노이즈가 발생하고, 이러한 노이즈를 다른 방법으로 제거할 수 없어 신호대잡음비의 향상이 어렵다는 문제점이 있다.
A fundamental problem in improving the signal-to-noise ratio is the laser noise. As described above, when the output of the measurement laser is increased to obtain an ultrasound signal clearly, nonlinear noise occurs, and the noise can not be removed by other methods, which makes it difficult to improve the signal-to-noise ratio.

한국공개특허 제2006-0035129호(공개일: 2006년 4월 26일)Korean Patent Publication No. 2006-0035129 (Disclosure Date: April 26, 2006)

본 발명의 일 실시 형태에 의하면, 노이즈를 감소시켜 신호대잡음비를 향상시킬 수 있는 복수의 레이저 간섭계를 가지는 레이저 초음파 장치 및 이를 이용한 신호 처리 방법을 제공한다.
According to one embodiment of the present invention, there is provided a laser ultrasonic device having a plurality of laser interferometers capable of reducing noise and improving a signal-to-noise ratio, and a signal processing method using the same.

본 발명의 제1 실시 형태에 의하면, 제1 레이저 빔을 조사함으로써, 피검사체의 표면에 초음파를 발생시키는 제1 레이저 광원; 상기 발생된 초음파를 검출하기 위한 제2 레이저 빔을 상기 피검사체의 표면에 조사하는 제2 레이저 광원; 2개의 미러로 구성되어 상기 피검사체의 표면에 의해 반사된 제2 레이저 빔의 주파수 변화를 투과 모드의 광 신호와 상기 투과 모드의 광 신호와 반대 위상을 가지는 반사 모드의 광 신호로 출력하는 2개의 레이저 간섭계; 및 상기 2개의 레이저 간섭계로부터 각각 출력되는 상기 반사 모드의 광 신호만을 또는 투과 모드의 광 신호만을 차동 증폭하여 초음파 신호를 생성하는 차동 증폭부를 포함하며, 상기 2개의 레이저 간섭계 각각의 2개의 미러 사이의 거리는, 상기 투과 모드의 광신호의 세기와 상기 반사 모드의 광신호의 세기의 비율이 일정한 값을 가지는 한 쌍의 광학 경로 중 미러간 거리에 비례하는 광학 경로와 미러간 거리에 반비례하는 광학 경로를 각각 하나씩 가지도록 배치되는 복수의 레이저 간섭계를 구비한 레이저 초음파 장치를 제공한다.
According to the first aspect of the present invention, there is provided a laser processing apparatus comprising: a first laser light source for generating ultrasonic waves on a surface of a test subject by irradiating a first laser beam; A second laser light source for irradiating a surface of the object to be inspected with a second laser beam for detecting the generated ultrasonic waves; And outputting the optical signal of the transmission mode and the optical signal of the reflection mode having a phase opposite to that of the optical signal of the transmission mode, which are composed of two mirrors and reflected by the surface of the object, Laser interferometer; And a differential amplification section for separately amplifying only the optical signal of the reflection mode or the optical signal of the transmission mode output from the two laser interferometers to generate an ultrasonic signal, The distance is set such that an optical path proportional to the distance between the mirrors and an optical path inversely proportional to the distance between the mirrors among a pair of optical paths having a constant ratio of the intensity of the optical signal in the transmission mode to the intensity of the optical signal in the reflection mode And a plurality of laser interferometers arranged so as to have a plurality of laser interferometers.

본 발명의 일 실시 형태에 의하면, 상기 레이저 초음파 장치는, 상기 2개의 레이저 간섭계 각각에 대하여, 투과 모드의 광 신호의 세기와 반사 모드의 광 신호의 세기의 비율을 구하며, 상기 구해진 비율이 미리 설정된 기준 비율을 추종하도록 상기 2개의 레이저 간섭계 각각의 2개의 미러 사이의 거리를 각각 조절하는 미러 제어부를 더 포함할 수 있다.
According to one embodiment of the present invention, the laser ultrasonic apparatus calculates the ratio of the intensity of the optical signal in the transmission mode to the intensity of the optical signal in the reflection mode for each of the two laser interferometers, And a mirror controller for adjusting distances between the two mirrors of the two laser interferometers so as to follow the reference ratio.

본 발명의 실시 형태에 의하면, 상기 레이저 초음파 장치는, 상기 피검사체의 표면에 의해 반사된 제2 레이저 빔을 상기 2개의 레이저 간섭계 중 제1 레이저 간섭계로 전달하는 편광빔분할기를 포함한 제1 광학계와 상기 편광빔분할기에 의해 편광된 광을 제2 레이저 간섭계로 전달하는 제2 광학계를 포함하며, 상기 제1 광학계와 상기 제2 광학계 사이에는 상기 편광빔분할기에 의해 편광된 광의 편광 방향을 바꾸기 위한 반파장판을 더 포함할 수 있다.
According to an embodiment of the present invention, the laser ultrasonic apparatus includes a first optical system including a polarization beam splitter for transmitting a second laser beam reflected by the surface of the object to a first laser interferometer of the two laser interferometers, And a second optical system for transmitting the light polarized by the polarization beam splitter to a second laser interferometer, wherein a half wave for changing the polarization direction of the light polarized by the polarization beam splitter is provided between the first optical system and the second optical system, And may further include a plate.

본 발명의 제2 실시 형태에 의하면, 제1 레이저 광원에서, 제1 레이저 빔을 조사함으로써, 피검사체의 표면에 초음파를 발생시키는 제1 단계; 제2 레이저 광원에서, 상기 발생된 초음파를 검출하기 위한 제2 레이저 빔을 상기 피검사체의 표면에 조사하는 제2 단계; 2개의 미러로 구성된 2개의 레이저 간섭계에서, 상기 피검사체의 표면에 의해 반사된 제2 레이저 빔의 주파수 변화를 투과 모드의 광 신호와 상기 투과 모드의 광 신호와 반대 위상을 가지는 반사 모드의 광 신호로 출력하는 제3 단계; 및 차동 증폭부에서, 상기 2개의 레이저 간섭계로부터 각각 출력되는 상기 반사 모드의 광 신호만을 또는 투과 모드의 광 신호만을 차동 증폭하여 초음파 신호를 생성하는 제4 단계를 포함하며, 상기 2개의 레이저 간섭계 각각의 2개의 미러 사이의 거리는, 상기 투과 모드의 광신호의 세기와 상기 반사 모드의 광신호의 세기의 비율이 일정한 값을 가지는 한 쌍의 광학 경로 중 미러간 거리에 비례하는 광학 경로와 미러간 거리에 반비례하는 광학 경로를 각각 하나씩 가지도록 배치되는 신호 처리 방법을 제공한다.
According to a second aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing an ultrasonic diagnostic apparatus, comprising: a first step of generating ultrasonic waves on a surface of a test subject by irradiating a first laser beam with a first laser light source; A second step of irradiating a second laser beam for detecting the generated ultrasonic waves to the surface of the object to be inspected in the second laser light source; In the two laser interferometers composed of two mirrors, the frequency change of the second laser beam reflected by the surface of the object to be examined is converted into the optical signal of the transmission mode and the optical signal of the reflection mode having the opposite phase to the optical signal of the transmission mode ; And a fourth step of differentially amplifying only the optical signal of the reflection mode or the optical signal of the transmission mode output from the two laser interferometers and generating an ultrasonic signal by the differential amplification unit, The distance between the two mirrors is set such that an optical path proportional to the distance between the mirrors of the pair of optical paths having a constant ratio of the intensity of the optical signal in the transmission mode to the intensity of the optical signal in the reflection mode, And an optical path inversely proportional to the optical path.

본 발명의 일 실시 형태에 의하면, 상기 신호 처리 방법은, 상기 2개의 레이저 간섭계 각각에 대하여, 투과 모드의 광 신호의 세기와 반사 모드의 광 신호의 세기의 비율을 구하는 단계; 및 상기 구해진 비율이 미리 설정된 기준 비율을 추종하도록 상기 2개의 레이저 간섭계 각각의 2개의 미러 사이의 거리를 각각 조절하는 단계를 더 포함할 수 있다.
According to an embodiment of the present invention, the signal processing method includes: obtaining a ratio of the intensity of the optical signal in the transmission mode to the intensity of the optical signal in the reflection mode, for each of the two laser interferometers; And adjusting the distance between the two mirrors of each of the two laser interferometers so that the obtained ratio follows a predetermined reference ratio.

본 발명의 일 실시 형태에 의하면, 상기 레이저 초음파 장치는, 상기 피검사체의 표면에 의해 반사된 제2 레이저 빔을 상기 2개의 레이저 간섭계 중 제1 레이저 간섭계로 전달하는 편광빔분할기를 포함한 제1 광학계와 상기 편광빔분할기에 의해 편광된 광을 제2 레이저 간섭계로 전달하는 제2 광학계를 포함하며, 상기 제1 광학계와 상기 제2 광학계 사이에는 상기 편광빔분할기에 의해 편광된 광의 편광 방향을 바꾸기 위한 반파장판을 더 포함할 수 있다.
According to one embodiment of the present invention, the laser ultrasonic apparatus includes a first optical system including a polarization beam splitter for transmitting a second laser beam reflected by the surface of the object to a first laser interferometer of the two laser interferometers, And a second optical system for transmitting the light polarized by the polarizing beam splitter to a second laser interferometer, wherein a polarizing beam splitter is provided between the first optical system and the second optical system for changing the polarization direction of the light polarized by the polarizing beam splitter And may further include a half wave plate.

본 발명의 일 실시 형태에 의하면, 2개의 레이저 간섭계를 가지는 레이저 초음파 장치에서, 2개의 레이저 간섭계 각각의 2개의 미러 사이의 거리는, 투과 모드의 광신호의 세기와 반사 모드의 광신호의 세기의 비율이 일정한 값을 가지는 한 쌍의 광학 경로 중 미러간 거리에 비례하는 광학 경로와 미러간 거리에 반비례하는 광학 경로를 각각 하나씩 가지도록 배치시킴으로써, 노이즈를 감소시켜 신호대잡음비를 향상시킬 수 있다.
According to one embodiment of the present invention, in a laser ultrasonic apparatus having two laser interferometers, the distance between two mirrors of each of the two laser interferometers is set such that the ratio of the intensity of the optical signal in the transmission mode to the intensity of the optical signal in the reflection mode By arranging the optical paths in proportion to the distance between the mirrors and the optical path in inverse proportion to the distance between the mirrors in the pair of optical paths having the constant value, noise can be reduced and the signal-to-noise ratio can be improved.

도 1은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 레이저 초음파 장치의 전체 구성도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시 형태에 따른 반사 모드의 광신호와 투과 모드의 광신호를 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 반사 모드의 광신호와 투과 모드의 광신호의 주파수 특성을 비교 도시한 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시 형태에 따른 반사 모드의 광신호를 차동 증폭한 초음파 신호와 투과 모드의 광신호와 반사 모드의 광 신호를 차동 증폭한 초음파 신호를 비교 도시한 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시 형태에 따른 레이저 초음파 장치를 이용한 신호 처리 방법을 설명하는 흐름도이다.1 is an overall configuration diagram of a laser ultrasonic apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 is a diagram showing an optical signal in a reflection mode and an optical signal in a transmission mode according to an embodiment of the present invention.
Fig. 3 is a diagram showing a comparison of frequency characteristics of an optical signal in a reflection mode and an optical signal in a transmission mode according to an embodiment of the present invention.
4 is a diagram showing an ultrasonic signal obtained by differentially amplifying an optical signal in a reflection mode and an ultrasonic signal obtained by differentially amplifying an optical signal in a transmission mode and an optical signal in a reflection mode according to an embodiment of the present invention.
5 is a flowchart illustrating a signal processing method using a laser ultrasonic apparatus according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시형태를 설명한다. 그러나 본 발명의 실시형태는 여러 가지의 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 이하 설명하는 실시형태로만 한정되는 것은 아니다. 도면에서의 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있으며, 도면상의 동일한 부호로 표시되는 요소는 동일한 요소이다.
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. However, the embodiments of the present invention can be modified into various other forms, and the scope of the present invention is not limited to the embodiments described below. The shape and the size of the elements in the drawings may be exaggerated for clarity and the same elements are denoted by the same reference numerals in the drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 레이저 초음파 장치의 전체 구성도로, 제1 레이저 빔(B1)을 조사함으로써, 피검사체(S)의 표면에 초음파를 발생시키는 제1 레이저 광원(110)과, 발생된 초음파를 검출하기 위한 제2 레이저 빔(B2)을 피검사체(S)의 표면에 조사하는 제2 레이저 광원(120)과, 2개의 미러(CM1, CM2)로 구성되어 피검사체(S)의 표면에 의해 반사된 제2 레이저 빔(RB)의 주파수 변화를 투과 모드의 광 신호와 투과 모드의 광 신호와 반대 위상을 가지는 반사 모드의 광 신호로 출력하는 2개의 레이저 간섭계(130, 140)와, 2개의 레이저 간섭계(130, 140)로부터 각각 출력되는 반사 모드의 광 신호만을 또는 투과 모드의 광 신호만을 차동 증폭하여 초음파 신호를 생성하는 차동 증폭부(150)를 포함하며, 2개의 레이저 간섭계(130, 140) 각각의 2개의 미러(CM1, CM2) 사이의 거리는, 투과 모드의 광신호의 세기와 반사 모드의 광신호의 세기의 비율이 일정한 값을 가지는 한 쌍의 광학 경로 중 미러간 거리에 비례하는 광학 경로와 미러간 거리에 반비례하는 광학 경로를 각각 하나씩 가지도록 배치될 수 있다.
1 is a diagram showing the entire configuration of a laser ultrasonic apparatus according to an embodiment of the present invention. The laser ultrasonic apparatus includes a first laser light source 110 for generating ultrasonic waves on a surface of a subject S by irradiating the first laser beam B1, A second laser light source 120 for irradiating the surface of the subject S with a second laser beam B2 for detecting the generated ultrasonic waves and two mirrors CM1 and CM2, ) For outputting the frequency change of the second laser beam RB reflected by the surface of the first laser interferometer 130 to the optical signal of the transmission mode and the optical signal of the reflection mode having the opposite phase to the optical signal of the transmission mode, And a differential amplification unit 150 for generating only an optical signal of a reflection mode or an optical signal of a transmission mode output from the two laser interferometers 130 and 140 and generating an ultrasonic signal, Between the two mirrors CM1 and CM2 of each of the interferometers 130 and 140 The optical path in proportion to the distance between the mirrors and the optical path in inverse proportion to the distance between the mirrors among the pair of optical paths having a constant ratio of the intensity of the optical signal in the transmission mode to the intensity of the optical signal in the reflection mode, One at a time.

한편, 도 2는 본 발명의 일 실시 형태에 따른 반사 모드의 광신호와 투과 모드의 광신호를 도시한 도면이며, 도 3은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 반사 모드의 광신호와 투과 모드의 광신호의 주파수 특성을 비교 도시한 도면이다. 그리고, 도 4는 본 발명의 일 실시 형태에 따른 반사 모드의 광신호를 차동 증폭한 초음파 신호와 투과 모드의 광신호를 차동 증폭한 초음파 신호를 비교 도시한 도면이다.
FIG. 2 is a diagram showing an optical signal in a reflection mode and an optical signal in a transmission mode according to an embodiment of the present invention. FIG. 3 is a graph showing the relationship between the optical signal in the reflection mode and the optical signal in the transmission mode And the frequency characteristics of the optical signal. 4 is a diagram showing a comparison between an ultrasound signal obtained by differentially amplifying an optical signal in a reflection mode and an ultrasound signal obtained by differentially amplifying an optical signal in a transmission mode according to an embodiment of the present invention.

이하, 도 1 내지 도 4를 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 초음파 장치를 상세하게 설명한다.
Hereinafter, a laser ultrasonic device according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 1 to 4. FIG.

제1 레이저 광원(110)은, 피검사체(S)의 표면에서 초음파를 발생시키기 위한 레이저로, 예를 들면 야그(YAG) 레이저나 이산화탄소(CO2) 등 고에너지 펄스 레이저가 사용될 수 있다. 제1 레이저 광원(110)에서 발생된 레이저는 광학부(111 내지 113)를 통해 피검사체(S)의 표면에 조사될 수 있다. 이후 펄스 레이저인 제1 레이저 빔(B1)에 의한 융발 효과(ablation effect)나 열탄성 효과(thermo-elastic effect)에 의해 피검출체(S)로부터 초음파가 발생될 수 있다.
The first laser light source 110 may be a laser for generating ultrasonic waves on the surface of the object S. For example, a high energy pulse laser such as a YAG laser or carbon dioxide (CO2) may be used. The laser generated from the first laser light source 110 can be irradiated onto the surface of the subject S through the optical units 111 to 113. [ Ultrasonic waves can be generated from the object S by the ablation effect or the thermo-elastic effect of the first laser beam B1 which is a pulse laser.

다음, 제2 레이저 광원(120)은, 제1 레이저 광원(110)에 의해 발생된 초음파를 검출하기 위해 제2 레이저 빔(B2)을 피검사체(S)의 표면에 조사할 수 있다. 이러한 제2 레이저 광원(120)은 단일 주파수의 연속 레이저 빔을 발생하는 것을 이용할 수 있다.
The second laser light source 120 can irradiate the surface of the subject S to the second laser beam B2 to detect the ultrasonic wave generated by the first laser light source 110. [ The second laser light source 120 may use a continuous laser beam of a single frequency.

광학부(111 내지 113, 121 내지 122)는, 입사된 레이저 빔을 전반사하는 복수 개의 거울(111, 112, 121, 122) 및 입사된 레이저를 집광시키는 집광 렌즈(113)를 포함할 수 있다. 거울(111, 112) 및 집광 렌즈(113)를 통해서는 제1 레이저 빔(B1)이 피검사체(S)의 표면에 조사되며, 거울(121, 122)을 통해서는 제2 레이저 빔(B2)이 피검사체(S)의 표면에 조사될 수 있다.
The optical units 111 to 113 and 121 to 122 may include a plurality of mirrors 111, 112, 121 and 122 for totally reflecting the incident laser beam and a condenser lens 113 for condensing the incident laser beam. The first laser beam B1 is irradiated to the surface of the subject S through the mirrors 111 and 112 and the condenser lens 113 and the second laser beam B2 is transmitted through the mirrors 121 and 122, Can be irradiated onto the surface of the object S to be inspected.

이후, 피검사체(S)에 의해 반사된 제2 레이저 빔(Reflected Beam, RB)은 제1 광섬유(Optical Fiber, OF1)를 통해 빔평행기(collimator)(131)로 입사되며, 빔평행기(131)로 입사된 반사된 제2 레이저 빔(RB)은 평행광으로 변환된 후 편광빔분할기(Polarizing Beam Splitter, PBS)(132)로 입사될 수 있다.
Thereafter, the second laser beam (RB) reflected by the subject S is incident on the beam collimator 131 through the first optical fiber (OF1), and the beam parallelizer The reflected second laser beam RB incident on the polarized beam splitter 131 may be converted into parallel light and then incident on a polarizing beam splitter (PBS) 132.

이후, 편광빔분할기(PBS)(132)로 입사된 평행광은 편광 방향이 다른 두 개의 레이저 빔으로 분할되며, 이들 중 하나는 쿼터웨이브판(quarter waveplate)(133)으로, 나머지 하나는 반파장판(half waveplate)(141)으로 입사될 수 있다.
Thereafter, the parallel light incident on the polarization beam splitter (PBS) 132 is divided into two laser beams having different polarization directions, one of which is a quarter wave plate 133 and the other is a half wave plate (half-wave plate) 141. In this case,

쿼터웨이브판(133)으로 입사된 레이저 빔은 원형 편광(circular polarization)되어 제1 레이저 간섭계(130)로 입사될 수 있다.
The laser beam incident on the quarter wave plate 133 may be circularly polarized and incident on the first laser interferometer 130.

제1 레이저 간섭계(130)는 쿼터웨이브판(133)에 의해 원형 편광된 레이저 빔의 주파수 변화를 간섭광 강도로 출력하는 파브리-페롯 간섭계(Fabry-perot interferometer)일 수 있다. 이러한 레이저 간섭계(130)는 소정의 투과율을 가지며 일정한 거리를 가지고 대향하여 배치된 2개의 미러(Cabity Mirror, CM1, CM2)와, 2개의 미러(CM1, CM2)간의 거리를 조절하는 액츄에이터(137)를 포함하여 구성되어, 원형 편광된 레이저 빔의 주파수 변화를 간섭광(반사 모드의 광신호와 투과 모드의 광신호)으로 출력할 수 있다.
The first laser interferometer 130 may be a Fabry-Perot interferometer that outputs the frequency variation of the circularly polarized laser beam by the quarter wave plate 133 with an interference light intensity. The laser interferometer 130 includes two mirrors CM1 and CM2 disposed opposite to each other with a predetermined transmittance and an actuator 137 for adjusting the distance between the two mirrors CM1 and CM2, So that the change in frequency of the circularly polarized laser beam can be output as interference light (optical signal in reflection mode and optical signal in transmission mode).

여기서, 투과 모드의 광신호는 미러(CM1)를 통해 입사된 원형 편광된 레이저 빔이 제1 레이저 간섭계(130)의 내부에서 여러 차례 반사된 후 미러(CM1)를 통해 나오는 광신호이며, 반사 모드의 광신호는 원형 편광된 레이저 빔이 미러(CM1)에 의해 직접 반사되거나 또는 제1 레이저 간섭계(130)의 내부를 여러 차례 반사된 후 미러(CM1)에 의해 직접 반사된 지점과 동일한 지점을 통해 나오는 광신호일 수 있으며, 도 2에 도시된 바와 같이, 투과 모드의 광 신호와 반사 모드의 광 신호는 반대 위상을 가질 수 있다.
Here, the optical signal in the transmission mode is an optical signal that is emitted through the mirror CM1 after the circularly polarized laser beam incident through the mirror CM1 is reflected many times inside the first laser interferometer 130, The optical signal of the circularly polarized laser beam is reflected either directly by the mirror CM1 or after being reflected several times inside the first laser interferometer 130 and then through the same point as the point directly reflected by the mirror CM1 And the optical signal in the transmission mode and the optical signal in the reflection mode may have opposite phases, as shown in FIG.

한편, 제1 레이저 간섭계(130)로부터 출력된 반사 모드의 광신호는, 쿼터웨이브판(quarterwave plate)(133)을 통해 다시 선형 편광된 레이저 빔으로 변환된 후 편광빔분할기(PBS)(132)에 의해 반사되며, 이후 집광 렌즈(134)에 의해 집광되어 제2 광 섬유(OF2)를 통해 차동 증폭부(150)로 전달될 수 있다. 그리고, 제1 레이저 간섭계(130)로부터 출력된 투과 모드의 광신호는, 반사 프리즘(135)에 의해 반사되며, 이후 집광 렌즈(136)에 의해 집광되어 제3 광섬유(OF3)를 통해 제1 검출기(161)로 전달될 수 있다.
On the other hand, the optical signal of the reflection mode output from the first laser interferometer 130 is converted into a linearly polarized laser beam through a quarterwave plate 133 and then incident on a polarization beam splitter (PBS) 132, And is then condensed by the condenser lens 134 and transmitted to the differential amplifier 150 through the second optical fiber OF2. The optical signal in the transmission mode output from the first laser interferometer 130 is reflected by the reflecting prism 135 and then condensed by the condenser lens 136 and transmitted through the third optical fiber OF3, (Not shown).

한편, 본 발명의 일 실시 형태에 의하면, 반파장판(141)을 더 포함할 수 있는데, 이러한 반파장판(141)은 편광빔분할기(132)로부터 입사된 레이저 빔의 편광 방향을 도면 부호 132a의 레이저 빔의 편광 방향과 같아지도록 함으로써, 편광빔분할기(142)를 통과할 수 있도록 할 수 있다.
According to an embodiment of the present invention, the half-wave plate 141 may further include a half-wave plate 141 having a polarizing direction of the laser beam incident from the polarizing beam splitter 132, The polarization beam splitter 142 can be made to pass through the polarization beam splitter 142 by making it equal to the polarization direction of the beam.

이후, 편광빔분할기(142)를 통과한 평행광은 쿼터웨이브판(133)에 의해 원형 편광(circular polarization)되어 제2 레이저 간섭계(140)로 입사될 수 있다.
Then, the parallel light having passed through the polarization beam splitter 142 is circularly polarized by the quarter wave plate 133 and can be incident on the second laser interferometer 140.

제2 레이저 간섭계(140)는, 제1 레이저 간섭계(130)와 마찬가지로, 쿼터웨이브판(143)에 의해 원형 편광된 레이저 빔의 주파수 변화를 간섭광 강도로 출력하는 파브리-페롯 간섭계일 수 있다. 이러한 레이저 간섭계(140)는 소정의 투과율을 가지며 일정한 거리를 가지고 대향하여 배치된 2개의 미러(CM1, CM2)와, 2개의 미러(CM1, CM2)간의 거리를 조절하는 액츄에이터(147)를 포함하여 구성되며, 원형 편광된 레이저 빔의 주파수 변화를 간섭광(반사 모드의 광신호와 투과 모드의 광신호)으로 출력할 수 있다.
The second laser interferometer 140 may be a Fabry-Perot interferometer that outputs a frequency variation of the circularly polarized laser beam by the quarter wave plate 143 with an interference light intensity, like the first laser interferometer 130. The laser interferometer 140 includes two mirrors CM1 and CM2 arranged opposite to each other with a predetermined distance and an actuator 147 for adjusting the distance between the two mirrors CM1 and CM2 And it is possible to output a frequency change of the circularly polarized laser beam as interference light (an optical signal in a reflection mode and an optical signal in a transmission mode).

여기서, 투과 모드의 광신호는 미러(CM1)를 통해 입사된 원형 편광된 레이저 빔이 제2 레이저 간섭계(140)의 내부에서 여러 차례 반사된 후 미러(CM1)를 통해 나오는 광신호이며, 반사 모드의 광신호는 원형 편광된 레이저 빔이 미러(CM1)에 의해 바로 반사되거나 또는 제2 레이저 간섭계(140)의 내부에서 여러 차례 반사된 후 미러(CM1)에 의해 바로 반사된 지점과 동일한 지점을 통해 나오는 광신호일 수 있으며, 도 2에 도시된 바와 같이, 투과 모드의 광 신호와 반사 모드의 광 신호는 반대 위상을 가질 수 있다.
Here, the optical signal in the transmission mode is an optical signal that is emitted through the mirror CM1 after the circularly polarized laser beam incident through the mirror CM1 is reflected several times inside the second laser interferometer 140, The optical signal of the circularly polarized laser beam is transmitted through the same point as the point directly reflected by the mirror CM1 after the circularly polarized laser beam is directly reflected by the mirror CM1 or reflected several times inside the second laser interferometer 140 And the optical signal in the transmission mode and the optical signal in the reflection mode may have opposite phases, as shown in FIG.

한편, 제2 레이저 간섭계(130)로부터 출력된 반사 모드의 광신호는, 쿼터웨이브판(143)을 통해 다시 선형 편광된 레이저 빔으로 변환된 후 편광빔분할기(142)에 의해 반사되며, 이후 집광 렌즈(144)에 의해 집광되어 제4 광 섬유(OF4)를 통해 차동 증폭부(150)로 전달될 수 있다. 그리고, 제2 레이저 간섭계(140)로부터 출력된 투과 모드의 광신호는, 반사 프리즘(145)에 의해 반사되며, 이후 집광 렌즈(146)에 의해 집광되어 제5 광섬유(OF5)를 통해 제2 검출기(163)로 전달될 수 있다.
On the other hand, the optical signal of the reflection mode outputted from the second laser interferometer 130 is converted into a linearly polarized laser beam through the quarter wave plate 143 and then reflected by the polarization beam splitter 142, Condensed by the lens 144 and transmitted to the differential amplifier 150 through the fourth optical fiber OF4. The optical signal in the transmission mode output from the second laser interferometer 140 is reflected by the reflecting prism 145 and then condensed by the condenser lens 146 and transmitted through the fifth optical fiber OF5, Lt; RTI ID = 0.0 > 163 < / RTI >

한편, 차동 증폭부(150)는, 2개의 레이저 간섭계(130, 140)로부터 각각 출력되는 반사 모드의 광 신호를 차동 증폭하여 초음파 신호를 생성할 수 있다. 이러한 차동 증폭부(150)는 균형 증폭 포토 다이오드(Balanced Amplified Photo Diode)일 수 있다. 이렇게 생성된 초음파 신호는 추후 피검사체(S)의 결함이나 재질 등의 검사에 이용될 수 있다.
On the other hand, the differential amplifier 150 can generate an ultrasonic signal by differentially amplifying the optical signals in the reflection mode output from the two laser interferometers 130 and 140, respectively. The differential amplifier 150 may be a balanced amplified photodiode. The ultrasound signal thus generated can be used for inspection of defects and material of the subject S in the future.

구체적으로, 광 신호의 세기와 간섭 조건을 도시한 도 2의 그래프에서, A 지점과 B 지점(A 지점과 B 지점은 투과 모드의 광신호의 세기와 반사 모드의 광신호의 세기의 비율이 일정한 값을 가지는 서로 다른 길이의 2개의 광학 경로로, 광학 경로의 길이 조절에 대해서는 후술함)에 각각 위치하도록 2개의 레이저 간섭계(130, 140) 각각에 대하여, 2개의 미러(CM1, CM2) 사이의 거리를 조절할 수 있다. 구체적으로, 2개의 레이저 간섭계(130, 140) 각각의 2개의 미러(CM1, CM2) 사이의 거리는, 투과 모드의 광신호의 세기와 반사 모드의 광신호의 세기의 비율이 일정한 값을 가지는 한 쌍의 광학 경로(A, B) 중 미러간 거리에 비례하는 광학 경로와 미러간 거리에 반비례하는 광학 경로를 각각 하나씩 가지도록 배치될 수 있다.
More specifically, in the graph of FIG. 2 showing the intensity and the interference condition of the optical signal, the ratio of the intensity of the optical signal in the transmission mode to the intensity of the optical signal in the reflection mode is constant at the point A and the point B CM2 between two mirrors CM1 and CM2 with respect to each of the two laser interferometers 130 and 140 so as to be respectively located at two optical paths having different lengths You can control the distance. Specifically, the distance between the two mirrors CM1 and CM2 of each of the two laser interferometers 130 and 140 is set to a distance between the pair of mirrors CM1 and CM2 having a constant ratio of the intensity of the optical signal in the transmission mode to the intensity of the optical signal in the reflection mode. And the optical path in proportion to the distance between the mirrors and the optical path in inverse proportion to the distance between the mirrors, respectively.

한편, 도 2의 (a)에 도시된 바와 같이, 피검사체(S)의 재질이나 결함 등에 따라 산란광의 주파수가 증가함에 따라 A 지점의 광학 경로를 가지도록 설계된 제1 레이저 간섭계(130)로부터 출력된 반사 모드의 광 신호의 세기는 감소(화살표 참조)하며, 반대로 B 지점의 광학 경로를 가지도록 설계된 제2 레이저 간섭계(140)로부터 출력된 반사 모드의 광 신호는 증가(화살표 참조)하는 패턴을 가지게 되므로, 이러한 2개의 레이저 간섭계(130, 140)로부터 각각 출력되는 반사 모드의 광 신호를 차동 증폭하여 피검사체(S)의 결함이나 재질 등을 검사하기 위한 초음파 신호를 생성할 수 있다.
2 (a), as the frequency of the scattered light increases in accordance with the material and defects of the object S, the output from the first laser interferometer 130 designed to have the optical path at the point A The optical signal of the reflection mode outputted from the second laser interferometer 140 designed to have the optical path of the point B conversely increases (see arrows) The optical signals of the reflection mode outputted from the two laser interferometers 130 and 140 can be differentially amplified to generate an ultrasonic signal for inspecting defects and materials of the subject S. [

본 발명의 일 실시 형태에 의하면, 반사 모드의 광 신호만을 차동 증폭하여 초음파 신호를 생성하는데, 이는 고주파 대역에서 반사 모드의 광 신호의 주파수 특성이 투과 모드의 광 신호에 비해 주파수 특성이 상대적으로 좋기 때문이다.
According to one embodiment of the present invention, only an optical signal in the reflection mode is differentially amplified to generate an ultrasonic signal. This is because the frequency characteristic of the optical signal in the reflection mode in the high frequency band is relatively better than that of the optical signal in the transmission mode Because.

즉, 도 3의 (a)는 반사 모드의 광 신호의 주파수 특성을, 도 3의 (b)는 투과 모드의 광 신호의 주파수 특성을 나타내고 있으며, 도 3에서 도시된 바와 같이 고주파 대역에서는 투과 모드의 광 신호의 감도는 급격하게 떨어지나, 반사 모드의 광 신호의 감도는 비교적 큰 값을 유지하고 있음을 알 수 있다.
3 (b) shows the frequency characteristics of the optical signal in the transmission mode. In the high-frequency band, as shown in Fig. 3, the transmission mode The sensitivity of the optical signal of the reflection mode abruptly drops, but the sensitivity of the optical signal of the reflection mode maintains a relatively large value.

따라서, 본 발명의 일 실시 형태에 의하면, 고주파 대역에서 주파수 특성이 상대적으로 좋은 반사 모드의 광 신호만을 차동 증폭함으로써, 고주파 대역에서 왜곡 없이 초음파 신호를 크게 증폭하는 것이 가능하며, 비선형적인 요소에 의해 노이즈를 제거하여 신호대잡음비를 증가시킬 수 있는 효과가 있다. 다만, 발명의 실시 형태에 따라서는 투과 모드의 광 신호 만을 차동 증폭하여 피검사체(S)의 결함이나 재질 등을 검사하기 위한 초음파 신호를 생성할 수 있을 것이다.
Therefore, according to the embodiment of the present invention, it is possible to amplify the ultrasonic signal without distortion in the high frequency band by differentially amplifying only the reflection mode optical signal having a relatively good frequency characteristic in the high frequency band, It is possible to eliminate the noise and increase the signal-to-noise ratio. However, according to the embodiment of the present invention, it is possible to generate an ultrasonic signal for inspecting defect, material, and the like of the subject S by differentially amplifying only the optical signal in the transmission mode.

한편, 도 4의 (a)는 투과 모드의 광 신호와 반사 모드의 광 신호를 차동 증폭한 초음파 신호를, (b)는 본 발명의 일 실시 형태에 따른 반사 모드의 광신호만을 차동 증폭한 초음파 신호를 도시한 도면이다.
4 (a) shows an ultrasound signal obtained by differentially amplifying an optical signal in a transmission mode and an optical signal in a reflection mode, (b) shows an ultrasound signal obtained by differentially amplifying an optical signal in a reflection mode according to an embodiment of the present invention, Fig.

도 4에 도시된 바와 같이, 투과 모드의 광 신호와 반사 모드의 광 신호를 차동 증폭한 초음파 신호의 경우 노이즈(401)가 여전히 존재하고 있으나, 반사 모드의 광신호만을 차동 증폭하는 경우 노이즈(402)가 상당히 제거된 것을 알 수 있다.
As shown in FIG. 4, the noise 401 exists in the case of the ultrasound signal obtained by differentially amplifying the optical signal in the transmission mode and the optical signal in the reflection mode. However, when only the optical signal in the reflection mode is differentially amplified, ) Is significantly removed.

한편, 이하에서는 2개의 레이저 간섭계 각각의 2개의 미러 사이의 거리(즉, 광학 경로)를 조절하는 방법을 설명한다.
On the other hand, a method of adjusting the distance (i.e., optical path) between two mirrors of two laser interferometers will be described below.

다시 도 1을 참조하면, 제1 검출부(161)는 제3 광섬유(OF3)를 통해 전달된 투과 모드의 광 신호의 세기를 전기적인 신호(예컨대, 전압 형태)로 변환한 후 이를 미러 제어부(162)로 전달할 수 있다. 마찬가지로, 제2 검출부(163)는, 제5 광섬유(OF5)를 통해 전달된 투과 모드의 광 신호의 세기를 전기적인 신호(예컨대, 전압 형태)로 변환한 후 이를 미러 제어부(164)로 전달할 수 있다.
Referring again to FIG. 1, the first detector 161 converts the intensity of the optical signal of the transmission mode transmitted through the third optical fiber OF3 into an electrical signal (for example, a voltage form) ). ≪ / RTI > Similarly, the second detection unit 163 may convert the intensity of the optical signal of the transmission mode transmitted through the fifth optical fiber OF5 into an electrical signal (for example, a voltage form) and then transmit the optical signal to the mirror control unit 164 have.

미러 제어부(162, 164)는, 2개의 레이저 간섭계(130, 140) 각각에 대하여, 투과 모드의 광 신호의 세기와 반사 모드의 광 신호의 세기의 비율을 구할 수 있다. 이후, 구해진 비율이 미리 설정된 기준 비율을 추종하도록 2개의 레이저 간섭계(130, 140) 각각의 2개의 미러(CM1, CM2) 사이의 거리를 각각 조절함으로써, 2개의 레이저 간섭계(130, 140) 각각이 한 쌍의 광학 경로를 각각 하나씩 가지도록 배치되도록 제어할 수 있다. 비록 도 1에서는 제1 레이저 간섭계(130)의 액츄에이터(137)를 제어하는 미러 제어부(162)와 제2 레이저 간섭계(140)의 액츄에이터(147)를 제어하는 미러 제어부(164)가 별도로 도시되어 있으나, 하나의 미러 제어부로 구성될 수도 있음은 당업자에게 자명하다.
The mirror control sections 162 and 164 can obtain the ratio of the intensity of the optical signal in the transmission mode to the intensity of the optical signal in the reflection mode for each of the two laser interferometers 130 and 140. By adjusting the distances between the two mirrors CM1 and CM2 of each of the two laser interferometers 130 and 140 so that the obtained ratio follows a preset reference ratio each of the two laser interferometers 130 and 140 It is possible to control to arrange a pair of optical paths one by one. Although the mirror control unit 162 for controlling the actuator 137 of the first laser interferometer 130 and the mirror control unit 164 for controlling the actuator 147 of the second laser interferometer 140 are separately shown in FIG. 1 , And one mirror control unit, as will be apparent to those skilled in the art.

구체적으로, 도 2에서 X축은 간섭 조건(n: RB의 주파수, d: 미러간 거리)을, Y축은 광신호의 세기를 도시하고 있다. 도 2에 도시된 바와 같이, 투과 모드의 광신호의 세기와 반사 모드의 광신호의 세기의 비율이 일정한 값을 가지는 간섭 조건은 A와 B의 2개 지점일 수 있다. 따라서, 미러 제어부(162, 164)는 2개의 레이저 간섭계(130, 140) 중 제1 레이저 간섭계(130)는 A 지점에 위치되도록, 제2 레이저 간섭계(140)는 B 지점에 위치되도록 레이저 간섭계(130, 140) 각각의 2개의 미러(CM1, CM2) 사이의 거리(d)를 조절할 수 있다.
Specifically, in FIG. 2, the X-axis shows the interference condition (n: the frequency of RB, d: the distance between the mirrors) and the Y-axis shows the intensity of the optical signal. 2, the interference condition in which the ratio of the intensity of the optical signal in the transmission mode to the intensity of the optical signal in the reflection mode has a constant value may be two points A and B, as shown in FIG. Therefore, the mirror control units 162 and 164 are arranged such that the first laser interferometer 130 of the two laser interferometers 130 and 140 is located at the A point, the second laser interferometer 140 is located at the B point, The distance d between the two mirrors CM1 and CM2 can be adjusted.

이하에서는, 광학 경로의 제어 방법을 예를 들어 설명한다.Hereinafter, an optical path control method will be described as an example.

우선 미러 제어부(162, 164)는, 2개의 레이저 간섭계(130, 140) 각각에 대하여, 투과 모드의 광 신호의 세기와 반사 모드의 광 신호의 세기의 비율을 구한다(이때, 도 2의 간섭 조건 중 간섭광의 주파수(n)는 동일하여야 함). 이후, 미러 제어부(162, 164)는 구해진 비율과 미리 설정된 기준 비율을 비교한다.
First, the mirror control sections 162 and 164 obtain the ratio of the intensity of the optical signal in the transmission mode to the intensity of the optical signal in the reflection mode for each of the two laser interferometers 130 and 140 (here, The frequency (n) of the intermediate interference light should be the same). Thereafter, the mirror control units 162 and 164 compare the obtained ratio with a predetermined reference ratio.

통상 A 지점 및 B 지점에서 투과 모드의 광 신호의 세기(M2)와 반사 모드의 광 신호의 세기(M1)의 비율(M2/M1)은 0.33 정도로 반사 모드의 광 신호의 세기(M1)가 투과 모드의 광 신호의 세기(M2) 보다 3배 정도 크다. 따라서, 기준 비율(M2/M1)은 0.33 정도의 값으로 미리 설정될 수 있다.
The ratio (M2 / M1) of the intensity (M2) of the optical signal in the transmission mode to the intensity (M1) of the optical signal in the reflection mode at the A and B points is usually about 0.33, Mode optical signal intensity (M2). Therefore, the reference ratio M2 / M1 can be preset to a value of about 0.33.

이후, 제1 레이저 간섭계(130)의 광학 경로가 A 지점에 위치되도록 제어한다고 가정하면, 제1 레이저 간섭계(130)에 대하여 구한 투과 모드의 광 신호의 세기와 반사 모드의 광 신호의 세기의 비율이 0.33 미만인 경우에는 제1 레이저 간섭계(130)의 광학 경로가 A 지점보다 좌측에 존재하는 경우이므로, 광학 경로의 길이가 우측 방향으로 증가하도록 제1 레이저 간섭계(130)의 2개의 미러(CM1, CM2) 간의 거리를 제어할 수 있다. 반대로, 구해진 세기의 비율이 0.33을 초과하는 경우에는 제1 레이저 간섭계(130)의 광학 경로가 A 지점보다 우측에 존재하는 경우이므로, 광학 경로의 길이가 좌측 방향으로 감소하도록 제1 레이저 간섭계(130)의 2개의 미러(CM1, CM2) 간의 거리를 제어할 수 있다.
Then, assuming that the optical path of the first laser interferometer 130 is controlled to be located at the point A, the ratio of the intensity of the optical signal in the transmission mode to the intensity of the optical signal in the reflection mode obtained for the first laser interferometer 130 The optical path of the first laser interferometer 130 is located on the left side of the point A so that the length of the optical path is increased in the right direction. CM2) can be controlled. On the other hand, when the ratio of the obtained intensity exceeds 0.33, the optical path of the first laser interferometer 130 is located on the right side of the point A. Therefore, the length of the optical path is reduced to the left side, The distance between the two mirrors CM1 and CM2 can be controlled.

상술한 바와 같이, 본 발명의 일 실시 형태에 의하면, 2개의 레이저 간섭계를 가지는 레이저 초음파 장치에서, 2개의 레이저 간섭계 각각의 2개의 미러 사이의 거리는, 투과 모드의 광신호의 세기와 반사 모드의 광신호의 세기의 비율이 일정한 값을 가지는 한 쌍의 광학 경로 중 미러간 거리에 비례하는 광학 경로와 미러간 거리에 반비례하는 광학 경로를 각각 하나씩 가지도록 배치시킴으로써, 노이즈를 감소시켜 신호대잡음비를 향상시킬 수 있다.
As described above, according to the embodiment of the present invention, in the laser ultrasonic apparatus having two laser interferometers, the distance between the two mirrors of each of the two laser interferometers is determined by the intensity of the optical signal in the transmission mode, By arranging one optical path in proportion to the signal intensity ratio to have a constant value and one optical path in proportion to the mirror-to-mirror distance and one optical path in inverse proportion to the mirror-to-mirror distance, thereby reducing noise and improving the signal- .

한편, 도 5는 본 발명의 일 실시 형태에 따른 레이저 초음파 장치를 이용한 신호 처리 방법을 설명하는 흐름도이다.5 is a flowchart illustrating a signal processing method using a laser ultrasonic apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 1 내지 도 5를 참조하면, 우선 제1 레이저 광원(110)은, 제1 레이저 빔(B1)을 조사하여 피검사체(S)의 표면에서 초음파를 발생시킬 수 있다(S501). 이러한 제1 레이저 광원(110)은 예를 들면 야그(YAG) 레이저나 이산화탄소(CO2) 등 고에너지 펄스 레이저가 사용될 수 있다.
1 to 5, the first laser light source 110 may generate ultrasonic waves on the surface of the subject S by irradiating the first laser beam B1 (S501). As the first laser light source 110, for example, a high energy pulse laser such as a YAG laser or carbon dioxide (CO2) may be used.

다음, 제2 레이저 광원(120)은, 제1 레이저 광원(110)에 의해 발생된 초음파를 검출하기 위해 제2 레이저 빔(B2)을 피검사체(S)의 표면에 조사할 수 있다(S502). 이러한 제2 레이저 광원(120)은 단일 주파수의 연속 레이저 빔을 발생하는 것을 이용할 수 있다.
Next, the second laser light source 120 can irradiate the surface of the subject S to the second laser beam B2 to detect the ultrasonic wave generated by the first laser light source 110 (S502) . The second laser light source 120 may use a continuous laser beam of a single frequency.

다음, 2개의 미러(CM1, CM2)로 구성된 2개의 레이저 간섭계(130, 140)에서, 피검사체(S)의 표면에 의해 반사된 제2 레이저 빔(RB)의 주파수 변화를 투과 모드의 광 신호와 투과 모드의 광 신호와 반대 위상을 가지는 반사 모드의 광 신호로 출력할 수 있다(S503). 상술한 레이저 간섭계(130, 140)는, 소정의 투과율을 가지며 일정한 거리를 가지고 대향하여 배치된 2개의 미러(CM1, CM2)와, 2개의 미러(CM1, CM2)간의 거리를 조절하는 액츄에이터(137)를 포함하여 구성되는 파브리-페롯 간섭계(Fabry-perot interferometer)를 포함할 수 있다.
Next, in the two laser interferometers 130 and 140 constituted by the two mirrors CM1 and CM2, the frequency change of the second laser beam RB reflected by the surface of the object S is detected by the optical signal of the transmission mode And a reflection mode optical signal having a phase opposite to that of the optical signal in the transmission mode (S503). The laser interferometers 130 and 140 described above include two mirrors CM1 and CM2 arranged to face each other with a predetermined distance and a predetermined distance and an actuator 137 for adjusting the distance between the two mirrors CM1 and CM2 And a Fabry-Perot interferometer, which is configured to include an interferometer.

마지막으로, 차동 증폭부(150)는, 2개의 레이저 간섭계(130, 140)로부터 각각 출력되는 반사 모드의 광 신호만을 차동 증폭하여 초음파 신호를 생성할 수 있다(S504). 다만, 2개의 레이저 간섭계(130, 140)로부터 각각 출력되는 투과 모드의 광 신호만을 차동 증폭하여 초음파 신호를 생성할 수 있음은 상술한 바와 같다. 이러한 차동 증폭부(150)는 균형 증폭 포토 다이오드(Balanced Amplified Photo Diode)일 수 있다. 이렇게 생성된 초음파 신호는 추후 피검사체(S)의 결함이나 재질 등의 검사에 이용될 수 있다.
Finally, the differential amplification unit 150 can generate an ultrasound signal by separately amplifying the optical signals of the reflection mode outputted from the two laser interferometers 130 and 140 (S504). However, as described above, the ultrasound signals can be generated by differentially amplifying only the optical signals of the transmission mode output from the two laser interferometers 130 and 140, respectively. The differential amplifier 150 may be a balanced amplified photodiode. The ultrasound signal thus generated can be used for inspection of defects and material of the subject S in the future.

여기서, 2개의 레이저 간섭계(130, 140) 각각의 2개의 미러(CM1, CM2) 사이의 거리는, 미러 제어부(162, 164)에 의해, 투과 모드의 광신호의 세기와 반사 모드의 광신호의 세기의 비율이 일정한 값을 가지는 한 쌍의 광학 경로 중 미러간 거리에 비례하는 광학 경로와 미러간 거리에 반비례하는 광학 경로를 각각 하나씩 가지도록 배치되도록 제어될 수 있으며, 이에 대해서는 상술한 바와 같다.
The distances between the two mirrors CM1 and CM2 of the two laser interferometers 130 and 140 are set such that the intensity of the optical signal in the transmission mode and the intensity of the optical signal in the reflection mode Can be controlled so as to have one optical path in proportion to the distance between the mirrors and one optical path in inverse proportion to the distance between the mirrors in the pair of optical paths having a constant value, as described above.

상술한 바와 같이, 본 발명의 일 실시 형태에 의하면, 2개의 레이저 간섭계를 가지는 레이저 초음파 장치에서, 2개의 레이저 간섭계 각각의 2개의 미러 사이의 거리는, 투과 모드의 광신호의 세기와 반사 모드의 광신호의 세기의 비율이 일정한 값을 가지는 한 쌍의 광학 경로 중 미러간 거리에 비례하는 광학 경로와 미러간 거리에 반비례하는 광학 경로를 각각 하나씩 가지도록 배치시킴으로써, 노이즈를 감소시켜 신호대잡음비를 향상시킬 수 있다.
As described above, according to the embodiment of the present invention, in the laser ultrasonic apparatus having two laser interferometers, the distance between the two mirrors of each of the two laser interferometers is determined by the intensity of the optical signal in the transmission mode, By arranging one optical path in proportion to the signal intensity ratio to have a constant value and one optical path in proportion to the mirror-to-mirror distance and one optical path in inverse proportion to the mirror-to-mirror distance, thereby reducing noise and improving the signal- .

본 발명은 상술한 실시형태 및 첨부된 도면에 의해 한정되지 아니한다. 첨부된 청구범위에 의해 권리범위를 한정하고자 하며, 청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 형태의 치환, 변형 및 변경할 수 있다는 것은 당 기술분야의 통상의 지식을 가진 자에게 자명할 것이다.
The present invention is not limited to the above-described embodiments and the accompanying drawings. It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims. It will be self-evident.

110: 제1 레이저 광원 111, 112, 121, 122: 거울
120: 제2 레이저 광원 131: 빔 평행기
132, 142: 편광빔분할기 133, 143: 쿼터웨이브판
113, 134, 136, 144, 146: 집광 렌즈 135, 145: 반사 프리즘
137, 147: 액츄에이터 141: 반파장판
OF1 내지 OF5: 광섬유 150: 차동 증폭부
161, 163: 검출부 162, 164: 미러 제어부110: first laser light source 111, 112, 121, 122: mirror
120: second laser light source 131: beam parallel machine
132, 142: polarization beam splitter 133, 143: quarter wave plate
113, 134, 136, 144, 146: condenser lens 135, 145:
137, 147: actuator 141: half wave plate
OF1 to OF5: optical fiber 150: differential amplifier
161, 163: Detection section 162, 164: Mirror control section

Claims (6)

제1 레이저 빔을 조사함으로써, 피검사체의 표면에 초음파를 발생시키는 제1 레이저 광원;
상기 발생된 초음파를 검출하기 위한 제2 레이저 빔을 상기 피검사체의 표면에 조사하는 제2 레이저 광원;
2개의 미러로 구성되어 상기 피검사체의 표면에 의해 반사된 제2 레이저 빔의 주파수 변화를 투과 모드의 광 신호와 상기 투과 모드의 광 신호와 반대 위상을 가지는 반사 모드의 광 신호로 출력하는 2개의 레이저 간섭계; 및
상기 2개의 레이저 간섭계로부터 각각 출력되는 상기 반사 모드의 광 신호만을 또는 투과 모드의 광 신호만을 차동 증폭하여 초음파 신호를 생성하는 차동 증폭부를 포함하며,
상기 2개의 레이저 간섭계 각각의 2개의 미러 사이의 거리는, 상기 투과 모드의 광신호의 세기와 상기 반사 모드의 광신호의 세기의 비율이 일정한 값을 가지는 한 쌍의 광학 경로 중 미러간 거리에 비례하는 광학 경로와 미러간 거리에 반비례하는 광학 경로를 각각 하나씩 가지도록 배치되는 복수의 레이저 간섭계를 구비한 레이저 초음파 장치.
A first laser light source for generating ultrasonic waves on the surface of the object by irradiating the first laser beam;
A second laser light source for irradiating a surface of the object to be inspected with a second laser beam for detecting the generated ultrasonic waves;
And outputting the optical signal of the transmission mode and the optical signal of the reflection mode having a phase opposite to that of the optical signal of the transmission mode, which are composed of two mirrors and reflected by the surface of the object, Laser interferometer; And
And a differential amplification unit for generating an ultrasonic signal by separately amplifying only the optical signal of the reflection mode or the optical signal of the transmission mode output from the two laser interferometers,
Wherein a distance between two mirrors of each of the two laser interferometers is proportional to a distance between mirrors of a pair of optical paths having a constant ratio of the intensity of the optical signal in the transmission mode to the intensity of the optical signal in the reflection mode And a plurality of laser interferometers arranged to have optical paths in inverse proportion to the distance between the optical path and the mirror, respectively.
제1항에 있어서,
상기 레이저 초음파 장치는,
상기 2개의 레이저 간섭계 각각에 대하여, 투과 모드의 광 신호의 세기와 반사 모드의 광 신호의 세기의 비율을 구하며, 상기 비율이 미리 설정된 기준 비율을 추종하도록 상기 2개의 레이저 간섭계 각각의 2개의 미러 사이의 거리를 각각 조절하는 미러 제어부를 더 포함하는 복수의 레이저 간섭계를 구비한 레이저 초음파 장치.
The method according to claim 1,
The laser ultrasonic device includes:
A ratio of the intensity of the optical signal in the transmission mode to the intensity of the optical signal in the reflection mode is obtained for each of the two laser interferometers, And a mirror control unit for adjusting distances of the plurality of laser interferometers.
제1항에 있어서,
상기 레이저 초음파 장치는,
상기 피검사체의 표면에 의해 반사된 제2 레이저 빔을 상기 2개의 레이저 간섭계 중 제1 레이저 간섭계로 전달하는 편광빔분할기를 포함한 제1 광학계와 상기 편광빔분할기에 의해 편광된 광을 제2 레이저 간섭계로 전달하는 제2 광학계를 포함하며,
상기 제1 광학계와 상기 제2 광학계 사이에는 상기 편광빔분할기에 의해 편광된 광의 편광 방향을 바꾸기 위한 반파장판을 더 포함하는 복수의 레이저 간섭계를 구비한 레이저 초음파 장치.
The method according to claim 1,
The laser ultrasonic device includes:
A first optical system including a polarization beam splitter for transmitting a second laser beam reflected by the surface of the object to a first laser interferometer of the two laser interferometers, and a second optical system for transmitting the light polarized by the polarization beam splitter to a second laser interferometer To the second optical system,
And a plurality of laser interferometers disposed between the first optical system and the second optical system, the laser interferometer further comprising a half wave plate for changing a polarization direction of the light polarized by the polarization beam splitter.
제1 레이저 광원에서, 제1 레이저 빔을 조사함으로써, 피검사체의 표면에 초음파를 발생시키는 제1 단계;
제2 레이저 광원에서, 상기 발생된 초음파를 검출하기 위한 제2 레이저 빔을 상기 피검사체의 표면에 조사하는 제2 단계;
2개의 미러로 구성된 2개의 레이저 간섭계에서, 상기 피검사체의 표면에 의해 반사된 제2 레이저 빔의 주파수 변화를 투과 모드의 광 신호와 상기 투과 모드의 광 신호와 반대 위상을 가지는 반사 모드의 광 신호로 출력하는 제3 단계; 및
차동 증폭부에서, 상기 2개의 레이저 간섭계로부터 각각 출력되는 상기 반사 모드의 광 신호만을 또는 투과 모드의 광 신호만을 차동 증폭하여 초음파 신호를 생성하는 제4 단계를 포함하며,
상기 2개의 레이저 간섭계 각각의 2개의 미러 사이의 거리는, 상기 투과 모드의 광신호의 세기와 상기 반사 모드의 광신호의 세기의 비율이 일정한 값을 가지는 한 쌍의 광학 경로 중 미러간 거리에 비례하는 광학 경로와 미러간 거리에 반비례하는 광학 경로를 각각 하나씩 가지도록 배치되는 신호 처리 방법.
A first step of irradiating a first laser beam from the first laser light source to generate ultrasonic waves on the surface of the object to be inspected;
A second step of irradiating a second laser beam for detecting the generated ultrasonic waves to the surface of the object to be inspected in the second laser light source;
In the two laser interferometers composed of two mirrors, the frequency change of the second laser beam reflected by the surface of the object to be examined is converted into the optical signal of the transmission mode and the optical signal of the reflection mode having the opposite phase to the optical signal of the transmission mode ; And
And a fourth step of differentially amplifying only the optical signal of the reflection mode or the optical signal of the transmission mode output from each of the two laser interferometers in the differential amplification unit to generate an ultrasonic signal,
Wherein a distance between two mirrors of each of the two laser interferometers is proportional to a distance between mirrors of a pair of optical paths having a constant ratio of the intensity of the optical signal in the transmission mode to the intensity of the optical signal in the reflection mode Wherein the optical path is disposed so as to have an optical path inversely proportional to the distance between the optical path and the mirror.
제4항에 있어서,
상기 신호 처리 방법은,
상기 2개의 레이저 간섭계 각각에 대하여, 투과 모드의 광 신호의 세기와 반사 모드의 광 신호의 세기의 비율을 구하는 단계; 및
상기 비율이 미리 설정된 기준 비율을 추종하도록 상기 2개의 레이저 간섭계 각각의 2개의 미러 사이의 거리를 각각 조절하는 단계를 더 포함하는 신호 처리 방법.
5. The method of claim 4,
The signal processing method includes:
Obtaining a ratio of the intensity of the optical signal in the transmission mode to the intensity of the optical signal in the reflection mode for each of the two laser interferometers; And
Further comprising adjusting the distance between two mirrors of each of the two laser interferometers so that the ratio follows a preset reference ratio.
제4항에 있어서,
상기 레이저 초음파 장치는,
상기 피검사체의 표면에 의해 반사된 제2 레이저 빔을 상기 2개의 레이저 간섭계 중 제1 레이저 간섭계로 전달하는 편광빔분할기를 포함한 제1 광학계와 상기 편광빔분할기에 의해 편광된 광을 제2 레이저 간섭계로 전달하는 제2 광학계를 포함하며,
상기 제1 광학계와 상기 제2 광학계 사이에는 상기 편광빔분할기에 의해 편광된 광의 편광 방향을 바꾸기 위한 반파장판을 더 포함하는 신호 처리 방법.5. The method of claim 4,
The laser ultrasonic device includes:
A first optical system including a polarization beam splitter for transmitting a second laser beam reflected by the surface of the object to a first laser interferometer of the two laser interferometers, and a second optical system for transmitting the light polarized by the polarization beam splitter to a second laser interferometer To the second optical system,
Further comprising a half wave plate between the first optical system and the second optical system for changing the polarization direction of the light polarized by the polarization beam splitter.
KR1020130141625A 2013-11-20 2013-11-20 Laser ultrasonic apparatus having multiple laser interferometers and method of managing signal using thereof KR101543872B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020130141625A KR101543872B1 (en) 2013-11-20 2013-11-20 Laser ultrasonic apparatus having multiple laser interferometers and method of managing signal using thereof

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020130141625A KR101543872B1 (en) 2013-11-20 2013-11-20 Laser ultrasonic apparatus having multiple laser interferometers and method of managing signal using thereof

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20150057814A KR20150057814A (en) 2015-05-28
KR101543872B1 true KR101543872B1 (en) 2015-08-11

Family

ID=53392592

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020130141625A KR101543872B1 (en) 2013-11-20 2013-11-20 Laser ultrasonic apparatus having multiple laser interferometers and method of managing signal using thereof

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101543872B1 (en)

Also Published As

Publication number Publication date
KR20150057814A (en) 2015-05-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8976365B2 (en) Interferometric material sensing apparatus including adjustable coupling and associated methods
US8675204B2 (en) Interferometric material sensing apparatus including adjustable reference arm and associated methods
US8842290B2 (en) Interferometric sensing apparatus including adjustable coupling and associated methods
JP2019526060A (en) Acoustic resonance spectroscopy measurement method and system
KR100822680B1 (en) A laser ultrasonic apparatus and method to detect micro multi-cracks
CN105092013B (en) Sound recognition system and sound identification method
US8675202B2 (en) Interferometric sensing apparatus including adjustable reference arm and associated methods
US8675203B2 (en) Interferometric biological sensing apparatus including adjustable reference arm and associated methods
US8842289B2 (en) Interferometric biometric sensing apparatus including adjustable coupling and associated methods
US10533974B2 (en) Laser measuring device and laser ultrasonic device
WO2001061323A1 (en) Instrument for measuring physical property of sample
JP6121873B2 (en) Laser ultrasonic inspection apparatus and method
JP4439363B2 (en) Online crystal grain size measuring apparatus and measuring method using laser ultrasonic wave
KR101543872B1 (en) Laser ultrasonic apparatus having multiple laser interferometers and method of managing signal using thereof
KR100924199B1 (en) Laser ultrasonic inspection apparatus and method for surface breaking cracks by using multi laser surface waves
WO2001061321A1 (en) Instrument for measuring physical property of sample
KR101253913B1 (en) Laser ultrasonic apparatus having multiple beam head and method of processing signal using thereof
JP2010038880A (en) Device and method for laser ultrasonography
JP6872450B2 (en) Laser displacement meter and laser ultrasonic inspection equipment using it
Oe et al. Nondestructive internal defect detection using photoacoustic and self‐coupling effect
Wartelle et al. NON‐DESTRUCTIVE TESTING USING TWO‐COMPONENT/TWO‐WAVE MIXING INTERFEROMETER
KR100733539B1 (en) Apparatus and method of laser-ultrasonic measurement for hot object
JP7059211B2 (en) Laser displacement meter, ultrasonic device
JPH1183812A (en) Ultrasonic wave detecting method by laser beam and device therefor
KR20230094775A (en) Apparatus and method for online measuring crystal grain size using dual cavities interferometer

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant