KR101540177B1 - Pressure sensor and method for manufacturing the same - Google Patents

Pressure sensor and method for manufacturing the same Download PDF

Info

Publication number
KR101540177B1
KR101540177B1 KR1020140035232A KR20140035232A KR101540177B1 KR 101540177 B1 KR101540177 B1 KR 101540177B1 KR 1020140035232 A KR1020140035232 A KR 1020140035232A KR 20140035232 A KR20140035232 A KR 20140035232A KR 101540177 B1 KR101540177 B1 KR 101540177B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
electrode
ciliary
cilia
film
forming
Prior art date
Application number
KR1020140035232A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
이승섭
Original Assignee
삼성전기주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성전기주식회사 filed Critical 삼성전기주식회사
Priority to KR1020140035232A priority Critical patent/KR101540177B1/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101540177B1 publication Critical patent/KR101540177B1/en

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L5/00—Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes
    • G01L5/0052—Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes measuring forces due to impact

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Pressure Sensors (AREA)

Abstract

The present invention relates to a pressure sensor and a method for manufacturing the same. According to the present invention, the pressure sensor comprises: a first cilium electrode; and a second cilium electrode positioned to face the first cilium electrode. The present invention senses a change in contact resistance generated between the first cilium electrode and the second cilium electrode to measure pressure.

Description

압력센서 및 그 제조방법{PRESSURE SENSOR AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME} [0001] PRESSURE SENSOR AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME [0002]

본 발명은 압력센서 및 그 제조방법에 관한 것이다.
The present invention relates to a pressure sensor and a method of manufacturing the same.

최근 들어, 스마트 폰 등의 모바일 디바이스에 대한 소비자의 요구가 고급화되고 보다 많은 정보를 하나의 기기에서 알고자 하는 욕구가 커짐에 따라 다양한 종류의 센서가 탑재되고 있다. 그 중에서도 최근에는 사용자의 현 위치를 알고자 하는 위치 기반 중심의 서비스가 증가되고 있어, GPS 및 지자기 센서와 같은 센서류를 통한 현재 위치를 검출한다. In recent years, various types of sensors have been installed as consumers' demands for mobile devices such as smart phones have become more sophisticated and the desire to know more information from one device has increased. In recent years, location-based services are increasingly being sought to know the user's current location, which detects the current location through sensors such as GPS and geomagnetic sensors.

또한, 최근에는 이러한 위치 기반 서비스가 특정 x, y 좌표 뿐만 아니라, 고도 및 압력 등의 정보와 더불어 특정 건물내에서의 네비게이션 정보까지 제공하는 등 다양한 정보 제공이 뒤따르고 있다. In addition, in recent years, such location-based services have provided not only specific x and y coordinates but also various information such as altitude and pressure, as well as navigation information in a specific building.

이와 같은 모바일기기에서의 고도에 관한 정보는 일반적으로 압력을 측정하는 압력센서로부터 이루어 지고 있으며, 압력센서의 수요 증가 및 고성능화 추세에 의해 더 높은 고성능의 압력 센서의 개발이 필요하게 되었다.
Such information about the altitude in the mobile device is generally made up of a pressure sensor that measures pressure, and it is necessary to develop a high-performance pressure sensor with higher demand and higher performance of the pressure sensor.

일반적으로 압력센서는 스트레인 게이지 방식, PN 접합부를 이용하는 방식, 압전 방식 및 압저항 방식을 사용하고 있다.Generally, the pressure sensor uses a strain gauge method, a method using a PN junction, a piezoelectric method, and a pressure resistance method.

스트레인 게이지 방식은 가장 많이는 방식으로서, 이 방식은 다이아프램상에 부착된 얇은 금속 박막에 압력에 의한 외력이 가해지면 변형에 의해 박막의 전기저항이 변화하는 방식으로 감도가 낮고, 다이아프램의 크기가 커서 소형화가 어려우며, 재현성 및 집적화가 불가능해서 많은 응용부분에서 제약을 받고 있다.The strain gauge method is the most common method. In this method, when an external force due to pressure is applied to a thin metal film adhered on the diaphragm, the sensitivity of the thin film is lowered by changing the electrical resistance of the thin film. Is difficult to miniaturize, and reproducibility and integration can not be achieved, and thus it is restricted in many applications.

PN 접합부를 이용하는 방식에 있어서는 높은 압력 범위에서 이용되는 접합부를 사용하기 때문에 압력 센서 자체가 손상을 받기 쉽고, 접합 응력 차이등의 문제가 발생하여 소자의 신뢰성이 떨어지는 문제점이 있다.In the method of using the PN junction, since the junction used in a high pressure range is used, the pressure sensor itself is liable to be damaged, and a problem such as a difference in bonding stress is generated, thereby deteriorating the reliability of the device.

압전 방식의 경우는 집적화에 유리한 실리콘에는 압전 효과가 없고, ZnO, CdSd 등과 같은 물질을 미세 가공하여, IC부분과 집적화하여야 하는데, 오염 및 공정 상의 문제로 집적화가 어려우며, 양산성이 떨어지며, 소형화가 쉽지 않은 문제가 있다.In the case of the piezoelectric type, there is no piezoelectric effect on the silicon which is advantageous for integration, and materials such as ZnO and CdSd are to be finely processed and integrated with the IC portion. It is difficult to integrate due to contamination and process problems, There is a problem that is not easy.

압저항 방식의 경우는 집적화에 유리한 실리콘 기판 상에 제작이 가능한 것으로, p 또는 n형 실리콘 기판상의 일정 부위에 열확산 혹은 이온 주입 기술로 확산형 저항체를 만들고, 기판 뒷면을 이방성 습식 식각 기술을 이용하여 박막 다이아프램을 형성한 후에, 압력변화에 따른 압저항값 변화를 측정하는 것이다.In the case of the piezoresistive type, it is possible to fabricate on a silicon substrate advantageous for integration. A diffusive resistor is formed by thermal diffusion or ion implantation technique in a certain region on a p or n type silicon substrate, and the backside of the substrate is subjected to anisotropic wet etching After forming the thin film diaphragm, the change of the piezoresistance value according to the pressure change is measured.

이와 같은 압저항 방식의 경우, 저항 변화의 한계로 인해 감도가 떨어지고, 온도 드리프트가 크기 때문에 실제 사용시 소자 하나 하나의 교정이 필요하며, 특별한 보상 기술이 필요한 문제가 있다.In the case of such a piezoresistive method, the sensitivity is lowered due to the limit of the resistance change, and since the temperature drift is large, it is necessary to calibrate each element in actual use, and there is a problem that special compensation technique is required.

일본특허공개 2007-071613호Japanese Patent Application Laid-Open No. 2007-071613

본 발명의 하나의 관점은 멤브레인 상에 설치된 섬모를 이용하여 고감도로 압력변화를 측정할 수 있는 압력센서를 제공하기 위한 것이다. One aspect of the present invention is to provide a pressure sensor capable of measuring a pressure change with high sensitivity using cilia installed on a membrane.

본 발명의 다른 관점은 충격에 대한 신뢰성이 높은 압력센서 및 그 제조방법을 제공하기 위한 것이다.
Another aspect of the present invention is to provide a pressure sensor having high reliability against impact and a method of manufacturing the pressure sensor.

본 발명의 일 실시예에 따른 압력센서는, 제1 섬모 전극 및 상기 제1 섬모 전극과 마주보며 위치되는 제2 섬모 전극을 포함하고, 상기 제1 섬모 전극과 상기 제2 섬모 전극 간에 발생되는 접촉 저항의 변화를 감지하여 압력을 측정할 수 있다. The pressure sensor according to an embodiment of the present invention includes a first ciliary electrode and a second ciliary electrode disposed to face the first ciliary electrode, and the contact generated between the first ciliary electrode and the second ciliary electrode The pressure can be measured by sensing the change in resistance.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 압력센서에서, 상기 제1 섬모 전극으로 작용하는 압력이 변화되면 상기 제1 섬모 전극과 상기 제2 섬모 전극 간의 접촉 면적이 변화될 수 있다. Further, in the pressure sensor according to an embodiment of the present invention, when the pressure acting on the first ciliary electrode is changed, the contact area between the first ciliary electrode and the second ciliary electrode may be changed.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 압력센서에서, 상기 제1 섬모 전극은 플랙서블한 재질로 이루어져 벤딩되어, 상기 제1 섬모 전극으로 작용하는 압력이 변화됨에 따라 벤딩량이 변화될 수 있다. In addition, in the pressure sensor according to an embodiment of the present invention, the first ciliary electrode is made of flexible material and bent so that the amount of bending can be changed as the pressure acting on the first ciliary electrode is changed.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 압력센서에서, 상기 제1 섬모 전극은 제1 지지막 및 상기 제1 지지막의 일면에 돌출형성된 다수의 제1 섬모를 포함하고, 상기 제2 섬모 전극은 제2 지지막 및 상기 제1 지지막의 다수의 상기 제1 섬모와 마주보는 면에 돌출형성된 다수의 제2 섬모를 포함할 수 있다.Also, in the pressure sensor according to an embodiment of the present invention, the first ciliary electrode includes a first support film and a plurality of first cilia protruding from one surface of the first support film, 2 support membrane and a plurality of second cilia protruding from a surface of the first support membrane opposite to the first ciliary membrane.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 압력센서에서, 상기 제1 섬모 전극과 상기 제2 섬모 전극은 상호 마주보는 면을 각각 금속으로 도금 또는 성막하여 형성된 제1 전극부 및 제2 전극부를 더 포함할 수 있다.In the pressure sensor according to an embodiment of the present invention, the first ciliary electrode and the second ciliary electrode may further include a first electrode portion and a second electrode portion formed by plating or film-forming the surfaces facing each other, respectively, with metal can do.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 압력센서에서, 상기 제1 전극부 및 상기 제2 전극부는 금속막으로 형성될 수 있다. In addition, in the pressure sensor according to an embodiment of the present invention, the first electrode portion and the second electrode portion may be formed of a metal film.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 압력센서에서, 다수의 상기 제1 섬모 및 다수의 상기 제2 섬모는 밀도가 10.00×109cm-2 이하로 형성될 수 있다. Also, in the pressure sensor according to an embodiment of the present invention, the plurality of first cilia and the plurality of second cilia may have a density of 10.00 × 10 9 cm -2 or less.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 압력센서에서, 다수의 상기 제1 섬모 및 다수의 상기 제2 섬모는 상호 마주보거나 엇갈리며 접촉되도록 구비되는 압력센서. Also, in the pressure sensor according to an embodiment of the present invention, the plurality of first cilia and the plurality of second cilia are provided so as to face each other or staggeredly contact each other.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 압력센서에서, 상기 제1 지지막 및 상기 제1 섬모는 폴리머로 이루어질 수 있다.Further, in the pressure sensor according to an embodiment of the present invention, the first support film and the first cilia may be made of a polymer.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 압력센서에서, 상기 제1 섬모 전극이 일면에 위치되고, 타면으로 압력이 가해지면 상기 제1 섬모 전극 방향으로 벤딩되는 멤브레인 및 상기 멤브레인을 지지하는 포스트를 더 포함할 수 있다.In addition, in the pressure sensor according to an embodiment of the present invention, when the first ciliary electrode is located on one surface and pressure is applied to the other surface, a membrane bent in the direction of the first ciliary electrode and a post supporting the membrane .

상기 복수개의 포스트는 상기 멤브레인의 타면 테두리에 구비되고, 상기 멤브레인은 상기 포스트 사이를 실링할 수 있다.
The plurality of posts may be provided on the rim of the other surface of the membrane, and the membrane may seal between the posts.

한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 압력센서 제조방법은, 제1 섬모 전극을 형성시키는 제1 섬모 전극 형성단계 및 상기 제1 섬모 전극과 마주보는 위치에 상기 제1 섬모 전극과 상기 제2 섬모 전극 간이 접촉 저항의 변화를 측정가능하도록 상기 제2 섬모 전극을 형성시키는 제2 섬모 전극 형성단계를 포함할 수 있다. According to another aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a pressure sensor including: forming a first ciliary electrode to form a first ciliary electrode; forming a first ciliary electrode on the first ciliary electrode, And a second ciliary electrode forming step of forming the second ciliary electrode so that a change in the contact resistance between the electrodes can be measured.

한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 압력센서 제조방법에서, 상기 제1 섬모 전극 형성단계는 제1 필름의 일면을 에칭하여 다수의 제1 섬모를 형성시키는 제1 에칭단계 및 제1 필름의 일면을 금속으로 도금 또는 성막하여 제1 전극부를 형성시키는 제1 전극부 형성단계를 포함하고, 상기 제2 섬모 전극 형성단계는 제2 필름의 일면을 에칭하여 다수의 제2 섬모를 형성시키는 제2 에칭단계 및 제1 필름의 일면을 금속으로 도금 또는 성막하여 제2 전극부를 형성키는 제2 전극부 형성단계를 포함할 수 있다.Meanwhile, in the method of manufacturing a pressure sensor according to an embodiment of the present invention, the first ciliary electrode forming step may include a first etching step of etching a first surface of the first film to form a plurality of first cilia, And forming a first electrode portion by plating or filming a metal on the second film, wherein the second ciliary electrode forming step includes forming a second ciliary electrode by etching a surface of the second film to form a second plurality of cilia And a second electrode portion forming step of forming a second electrode portion by plating or filming one surface of the first film with a metal.

한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 압력센서 제조방법에서, 상기 제1 전극부 형성단계 및 상기 제2 전극부 형성단계는 상기 제1 전극부 및 상기 제2 전극부를 각각 스퍼터링 공정을 통해 금속막으로 형성시킬 수 있다.Meanwhile, in the method of manufacturing a pressure sensor according to an embodiment of the present invention, the first electrode portion forming step and the second electrode portion forming step may include forming the first electrode portion and the second electrode portion, respectively, .

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 압력센서 제조방법에서, 상기 제1 섬모 전극 형성단계는 상기 제1 에칭단계 전에 양측이 포스트로 지지되는 멤브레인의 일면에 상기 제1 필름을 형성시키는 필름형성단계를 더 포함할 수 있다.Further, in the method of manufacturing a pressure sensor according to an embodiment of the present invention, the first ciliary electrode forming step may include a film forming step of forming the first film on one side of the membrane, As shown in FIG.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 압력센서 제조방법에서, 상기 멤브레인은 타면으로 가압력이 작용시 일면 방향으로 벤딩가능하도록 플랙서블한 재질로 이루어질 수 있다.In addition, in the method of manufacturing a pressure sensor according to an embodiment of the present invention, the membrane may be made of a flexible material so as to be bent in one surface direction when a pressing force is applied to the other surface.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 압력센서 제조방법에서, 상기 제2 섬모 전극 형성단계는 상기 제2 전극부 형성단계 후, 상기 제1 섬모 전극과 마주보는 위치에 상기 제2 섬모 전극을 위치시키는 배치단계를 더 포함할 수 있다.In addition, in the method of manufacturing a pressure sensor according to an embodiment of the present invention, the second ciliary electrode forming step may include forming the second ciliary electrode at a position facing the first ciliary electrode after the second electrode forming step And a step of arranging the plurality of devices.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 압력센서 제조방법에서, 상기 배치단계는 다수의 상기 제1 섬모와 다수의 상기 제2 섬모가 상호 마주보거나 엇갈리며 접촉되도록 위치시키는 배치단계를 더 포함할 수 있다.Further, in the method of manufacturing a pressure sensor according to an embodiment of the present invention, the disposing step may further include a disposing step of disposing a plurality of the first ciliates and the plurality of second ciliates so as to face each other, have.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 압력센서 제조방법에서, 다수의 상기 제1 섬모와 다수의 상기 제2 섬모는 밀도가 10.00×109cm-2 이하로 형성될 수 있다. Also, in the method of manufacturing a pressure sensor according to an embodiment of the present invention, the plurality of first cilia and the plurality of second cilia may have a density of 10.00 x 10 9 cm -2 or less.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 압력센서 제조방법에서, 상기 제1 필름 및 상기 제2 필름은 폴리머로 이루어질 수 있다.
In addition, in the method of manufacturing a pressure sensor according to an embodiment of the present invention, the first film and the second film may be made of a polymer.

본 발명의 특징 및 이점들은 첨부도면에 의거한 다음의 상세한 설명으로부터 더욱 명백해질 것이다. The features and advantages of the present invention will become more apparent from the following detailed description based on the accompanying drawings.

이에 앞서 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이고 사전적인 의미로 해석되어서는 아니되며, 발명자가 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.
Prior to that, terms and words used in the present specification and claims should not be construed in a conventional and dictionary sense, and the inventor may properly define the concept of the term in order to best explain its invention It should be construed as meaning and concept consistent with the technical idea of the present invention.

본 발명은 멤브레인 상에 설치된 섬모를 이용하여 접촉된 나노 섬간의 접촉된 거리 및 접촉 면적 변화에 의한 접촉 저항의 변화 측정을 통해 고감도로 압력변화를 측정할 수 있다.The present invention can measure pressure change with high sensitivity through measurement of change in contact resistance due to contact distance and contact area change between nano-islands contacted with cilia provided on the membrane.

또한, 본 발명은 충격에 강한 구조로 이루어져 충격에 대한 신뢰성이 우수하다. Further, the present invention has a structure that is resistant to impact, so that the reliability against impact is excellent.

아울러, 본 발명은 기존의 압력센서 제조시 사용되는 반도체 공정의 고진공 공정 및 임플란트 공정 등의 고가 공정이 사용되지 않으므로 제조비용이 절감될 수 있다.
In addition, since the present invention does not use expensive processes such as a high vacuum process and an implant process of a semiconductor process used in manufacturing a conventional pressure sensor, the manufacturing cost can be reduced.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 압력센서를 개략적으로 나타낸 단면도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 압력센서에서 압력이 가해진 상태를 개략적으로 나타낸 단면도.
도 3 내지 6 본 발명의 일 실시예에 따른 압력센서 제조방법을 공정순서대로 나타낸 개념도.1 is a cross-sectional view schematically illustrating a pressure sensor according to an embodiment of the present invention;
2 is a cross-sectional view schematically showing a pressure applied state of a pressure sensor according to an embodiment of the present invention;
FIGS. 3 to 6 are schematic diagrams illustrating a method of manufacturing a pressure sensor according to an embodiment of the present invention in the order of steps.

본 발명의 목적, 특정한 장점들 및 신규한 특징들은 첨부된 도면들과 연관되어지는 이하의 상세한 설명과 바람직한 일 실시예들로부터 더욱 명백해질 것이다. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The objectives, specific advantages, and novel features of the present invention will become more apparent from the following detailed description taken in conjunction with the accompanying drawings, in which: FIG.

또한, 본 명세서에서 각 도면의 구성요소들에 참조번호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 번호를 가지도록 하고 있음에 유의하여야 한다. In addition, in the present specification, it should be noted that, in the case of adding the reference numerals to the constituent elements of the drawings, the same constituent elements have the same number as far as possible even if they are displayed on different drawings.

그리고, 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 일 실시예에 한정되지 않는다. 그리고, 본 발명을 설명함에 있어서, 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있는 관련된 공지 기술에 대한 상세한 설명은 생략하도록 한다.
The present invention may be embodied in many different forms and should not be construed as limited to the embodiments set forth herein. In the following description of the present invention, a detailed description of related arts which may unnecessarily obscure the gist of the present invention will be omitted.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예인 압력센서에 대해 상세히 설명하기로 한다. Hereinafter, a pressure sensor, which is an embodiment of the present invention, will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 압력센서를 개략적으로 나타낸 단면도이다. 1 is a cross-sectional view schematically showing a pressure sensor according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 압력센서(100)는 제1 섬모 전극(10) 및 제2 섬모 전극(20)을 포함한다. 또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 압력센서(100)는 멤브레인(Membrane)(30) 및 포스트(40)를 더 포함한다,
Referring to FIG. 1, a pressure sensor 100 according to an embodiment of the present invention includes a first ciliary electrode 10 and a second ciliary electrode 20. In addition, the pressure sensor 100 according to an embodiment of the present invention further includes a membrane 30 and a post 40,

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 압력센서에서 압력이 가해진 상태를 개략적으로 나타낸 단면도이다.2 is a cross-sectional view schematically showing a pressure applied state of a pressure sensor according to an embodiment of the present invention.

도 1 및 도 2를 참고하면, 제1 섬모 전극(10) 및 제2 섬모 전극(20)은 상호 마주보도록 구비된다. Referring to FIGS. 1 and 2, the first ciliary electrode 10 and the second ciliary electrode 20 are opposed to each other.

제1 섬모 전극(10) 및 제2 섬모 전극(20)은 제1 지지막(11) 및 제1 지지막(11)의 일면에 돌출형성된 다수의 제1 섬모(12)를 포함한다. 또한, 제2 섬모 전극(20)은 제1 지지막(11) 및 제1 지지막(11)의 일면에 돌출형성된 다수의 제1 섬모(12)를 포함한다. The first ciliary electrode 10 and the second ciliary electrode 20 include a first support film 11 and a plurality of first cilia 12 protruding from one surface of the first support film 11. The second ciliary electrode 20 includes a first support film 11 and a plurality of first cilia 12 protruding from one surface of the first support film 11.

그리고, 제1 섬모 전극(10) 및 제2 섬모 전극(20)은 일면에 각각 도금 또는 성막되어 형성된, 금속재질의 제1 전극부(13) 및 제2 전극부(23)를 더 포함한다. The first ciliary electrode 10 and the second ciliary electrode 20 further include a first electrode part 13 and a second electrode part 23 formed of a metal or the like formed on one surface of the first ciliary electrode 10 and the second ciliary electrode 20, respectively.

이때, 예를 들어 제1 전극부(13)는 제1 지지막(11) 및 제1 섬모(12)의 외면에 도금 또는 성막 공정을 통해 형성되고, 제2 전극부(23)는 제2 지지막(21) 및 제2 섬모(22)의 외면에 도금 또는 성막 공정을 통해 형성될 수 있다. For example, the first electrode part 13 is formed on the outer surfaces of the first support film 11 and the first cilia 12 through a plating or film forming process, and the second electrode part 23 is formed on the second support And may be formed on the outer surface of the membrane 21 and the second cilia 22 through a plating or film forming process.

여기서, 제1 전극부(13) 및 제2 전극부(23)는 구리(Cu), 알루미늄(Al), 금(Au), 은(Ag), 티타늄(Ti), 팔라듐(Pd), 크롬(Cr), 백금(Pt) 또는 이들의 조합을 이용하여 형성될 수 있다. Here, the first electrode unit 13 and the second electrode unit 23 may be formed of at least one selected from the group consisting of copper (Cu), aluminum (Al), gold (Au), silver (Ag), titanium (Ti), palladium Cr), platinum (Pt), or a combination thereof.

한편, 일례로, 제1 섬모(12) 및 제2 섬모(22)는 상호 엇갈리며 접촉되도록 구비될 수 있다. 이때, 압력이 작용하여 제1 섬모 전극(10)이 제2 섬모 전극(20) 방향으로 벤딩시, 다수의 제1 섬모(12)가 다수의 제2 섬모(22) 사이로 이동되거나, 제1 섬모(12)와 제2 섬모(22)가 엉키며 접촉면적이 증가되어 접촉 저항이 증가될 수 있다. Meanwhile, for example, the first cilia 12 and the second cilia 22 may be provided so as to be staggered and contacted with each other. At this time, when the first ciliary electrode 10 bends in the direction of the second ciliary electrode 20 due to the action of the pressure, a plurality of first cilia 12 are moved between the plurality of second cilia 22, (12) and the second cilia (22) are tangled and the contact area is increased, so that the contact resistance can be increased.

또한, 다른 예로, 제1 섬모(12) 및 제2 섬모(22)는 상호 마주보며 접촉되도록 구비될 수 있다. 이때, 압력이 작용하여 제1 섬모 전극(10)이 제2 섬모 전극(20) 방향으로 벤딩시, 제1 섬모(12)가 제2 섬모(22)와 밀착되거나, 제1 섬모(12)와 제2 섬모(22)가 서로 엉킴에 따라 접촉면적이 증가되어 접촉 저항이 증가될 수 있다.
In another example, the first cilia 12 and the second cilia 22 may be provided so as to face each other and face each other. At this time, when the first ciliary electrode 10 bends in the direction of the second ciliary electrode 20 due to the action of the pressure, the first ciliary piece 12 comes into close contact with the second ciliary piece 22, As the second cilia 22 are tangled with each other, the contact area is increased and the contact resistance can be increased.

제1 지지막(11) 및 제2 지지막(21)은 폴리머(polymer) 등의 플랙서블 재질의 고분자 막으로 이루어질 수 있다. The first support film 11 and the second support film 21 may be formed of a polymer film of a flexible material such as a polymer.

또한, 제1 지지막(11) 및 제2 지지막(21)은 상호 소정 간격으로 이격된 거리에 위치될 수 있다. Also, the first support film 11 and the second support film 21 may be spaced apart from each other by a predetermined distance.

한편, 제1 섬모(12) 및 제2 섬모(22)는 폴리모 계열의 고분자 섬모로 이루어질 수 있다. 여기서, 제1 섬모(12) 및 제2 섬모(22)는 나노 형태의 미세구조로 형성될 수 있다. Meanwhile, the first cilia 12 and the second cilia 22 may be made of polymeric cilia of the polymorphic type. Here, the first cilia 12 and the second cilia 22 may be formed into a nano-shaped microstructure.

그리고, 제1 섬모(12) 및 제2 섬모(22)는 예를 들어 원통형 기둥형태로 형성될 수 있다. The first cilia 12 and the second cilia 22 may be formed, for example, in the form of a cylindrical column.

또한, 제1 섬모(12) 및 제2 섬모(22)는 밀도가 10.00×109cm- 2이하로 형성될 수 있다. 즉, 제1 섬모(12) 및 제2 섬모(22)는 1cm2의 면적당 10×109개 이하로 형성될 수 있다.In addition, the first ciliary 12 and the second cilia 22 is a density of 10.00 × 10 9 cm - can be formed of more than 2. That is, the first cilia 12 and the second cilia 22 may be formed to have a size of 10 × 10 9 or less per 1 cm 2 area.

그리고, 제1 전극부(13) 및 제2 전극부(23)는 두께가 각각 제1 섬모(12) 및 제2 섬모(22)의 지름 보다 작게 형성될 수 있지만 본 발명이 여기에 반드시 한정되는 것은 아니다.
The thicknesses of the first electrode portion 13 and the second electrode portion 23 may be smaller than the diameters of the first cilia 12 and the second cilia 22 respectively, It is not.

한편, 제1 섬모 전극(10)은 플랙서블(flexible) 재질로 이루어져 벤딩(bending)되되, 제1 섬모 전극(10)으로 작용하는 압력이 변화됨에 따라 벤딩량이 변화된다. 이때, 제2 섬모 전극(20)은 플랙서블 재질로 이루어져 벤딩되거나, 플랙서블한 재질이 아닌 재질로 이루어져 벤딩되지 않을 수 있다. 또는, 제1 섬모 전극(10)이 제2 섬모 전극(20) 보다 더 플랙서블하게 형성될 수 있다.
On the other hand, the first ciliary electrode 10 is made of a flexible material and is bent, and the amount of bending is changed as the pressure acting on the first ciliary electrode 10 is changed. At this time, the second ciliary electrode 20 is formed of a flexible material and may be bent or may not be bent because it is made of a non-flexible material. Alternatively, the first ciliary electrode 10 may be formed more flexibly than the second ciliary electrode 20.

멤브레인(30)은 일면에 위치되는 제1 섬모 전극(10)을 지지한다. The membrane 30 supports a first ciliary electrode 10 located on one side.

또한, 멤브레인(30)은 타면으로 압력이 가해지면 상기 제1 섬모 전극(10) 방향으로 벤딩된다. 이때, 멤브레인(30)이 벤딩됨에 따라 멤브레인(30)의 일면에 위치된 제1 섬모 전극(10)이 제2 섬모 전극(20)을 향해 벤딩된다. Also, the membrane 30 is bent in the direction of the first ciliary electrode 10 when pressure is applied to the other surface. At this time, as the membrane 30 is bent, the first ciliary electrode 10 positioned on one side of the membrane 30 is bent toward the second ciliary electrode 20.

아울러, 멤브레인(30)은 실리콘(Si, silicon) 또는 폴리머(polymer) 등의 플랙서블 재질로 이루어질 수 있다. 이때, 예를 들어, 멤브레인(30)은 PDMS(폴리다이메틸실록세인, polydimethylsiloxane) 막으로 이루어질 수 있지만 본 발명이 여기에 한정되는 것은 아니다. In addition, the membrane 30 may be made of a flexible material such as silicon (Si) or polymer. At this time, for example, the membrane 30 may be made of PDMS (polydimethylsiloxane) film, but the present invention is not limited thereto.

포스트(40)는 멤브레인(30)의 타면 테두리에 구비되어 멤브레인(30)을 지지한다. 여기서, 멤브레인(30)은 포스트(40) 사이를 실링(siling)할 수 있다. The posts 40 are provided on the rim of the other side of the membrane 30 to support the membrane 30. Here, the membrane 30 can be siled between the posts 40.

이때, 포스트(40)는 중앙에 압력 측정홀(41)이 형성된 형태로 형성되어 멤브레인(30)의 타면 테두리에 걸쳐 구비되고, 멤브레인(30)에 의해 상기 압력 측정홀(41)의 일측 개구부가 실링될 수 있다. 하지만, 본 발명의 포스트(40) 형태가 여기에 반드시 한정되는 것은 아니고 예를 들어 복수개로 이루어져 멤브레인(30)의 타면 테두리에 구비될 수 있다.
At this time, the post 40 is formed in a shape having a pressure measurement hole 41 formed at the center thereof and is provided over the rim of the other side of the membrane 30, and the opening of one side of the pressure measurement hole 41 is formed by the membrane 30 Can be sealed. However, the shape of the post 40 of the present invention is not limited thereto, but may be formed on the other surface of the membrane 30, for example.

한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 압력센서(100)는 제1 섬모 전극(10) 및 제2 섬모 전극(20)의 가장자리에 각각 전기적으로 연결되는 전극배선(미도시)을 더 포함할 수 있다. The pressure sensor 100 according to an embodiment of the present invention may further include electrode wirings (not shown) electrically connected to the edges of the first ciliary electrode 10 and the second ciliary electrode 20, respectively have.

이때, 예를 들어, 제1 섬모 전극(10)은 구동전극으로 구성되고, 제2 섬모 전극(20)은 감지전극으로 구성될 수 있지만, 본 발명이 여기에 반드시 한정되는 것은 아니다.At this time, for example, the first ciliary electrode 10 may be composed of a driving electrode and the second ciliary electrode 20 may be composed of a sensing electrode, but the present invention is not limited thereto.

한편, 제1 전극부(13) 및 제2 전극부(23)는 일례로 제1 섬모 전극(10) 및 제2 섬모 전극(20)의 일면 전체에 형성되어 전극배선과 전기적으로 연결될 수 있다. 이때, 제1 전극부(13) 및 제2 전극부(23)는 스퍼터링(sputtering) 등의 성막 공정을 통해 금속막 형태로 형성될 수 있다. The first electrode unit 13 and the second electrode unit 23 may be formed on one surface of the first ciliary electrode 10 and the second ciliary electrode 20 and may be electrically connected to the electrode wiring. At this time, the first electrode unit 13 and the second electrode unit 23 may be formed in the form of a metal film through a film forming process such as sputtering.

또한, 제1 전극부(13) 및 제2 전극부(23)는 다른 예로 다수의 제1 섬모(12) 및 다수의 제2 섬모(22)의 외면에 전체 또는 부분적으로 형성되고, 다수의 제1 섬모(12) 및 다수의 제2 섬모(22)의 외면에 형성된 부위와 전극배선을 전기적으로 연결할 수 있도록 제1 지지막(11) 및 제2 지지막(21)에 라인 형태로 형성될 수 있다. The first electrode portion 13 and the second electrode portion 23 are formed as a whole or in part on the outer surfaces of the first cilia 12 and the second cilia 22, The first support film 11 and the second support film 21 may be formed in a line shape so as to electrically connect a portion formed on the outer surface of the first cilia 12 and the second cilia 22 with the electrode wiring. have.

아울러, 제1 전극부(13) 및 제2 전극부(23)는 또 다른 예로 다수의 제1 섬모(12) 및 다수의 제2 섬모(22)의 외면에 라인형태로 형성되고, 다수의 제1 섬모(12) 및 다수의 제2 섬모(22)의 외면에 라인형태로 형성된 부위와 전극배선을 전기적으로 연결할 수 있도록 제1 지지막(11) 및 제2 지지막(21)에도 라인 형태로 형성될 수 있다.
The first electrode portion 13 and the second electrode portion 23 may be formed in a line shape on the outer surface of the first ciliary body 12 and the second ciliary body 22, The first supporting film 11 and the second supporting film 21 are also formed in a line shape so as to electrically connect a portion formed in the form of a line on the outer surface of the first cilia 12 and the second cilia 22 and the electrode wiring. .

상기와 같이 구성된 본 발명의 일 실시예에 따른 압력센서(100)는 압력발생시 제1 섬모 전극(10)이 벤딩되어 제1 섬모 전극(10)과 제2 섬모 전극(20) 간에 접촉면적이 변화됨에 따라 변화되는 접촉 저항의 변화를 감지하여 정밀하게 압력을 측정할 수 있다.
In the pressure sensor 100 according to an embodiment of the present invention, when the pressure is generated, the first ciliary electrode 10 is bent to change the contact area between the first ciliary electrode 10 and the second ciliary electrode 20 It is possible to precisely measure the pressure by detecting the change of the contact resistance which varies according to the change of the contact resistance.

도 3 내지 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 압력센서 제조방법을 공정순서대로 나타낸 개념도이다. 3 to 6 are conceptual diagrams showing a process of manufacturing a pressure sensor according to an embodiment of the present invention in the order of steps.

도 3 내지 도 6을 참고하면, 본 발명의 일 실시예인 압력센서 제조방법은 제1 섬모 전극 형성단계 및 제2 섬모 전극 형성단계를 포함하여 압력센서(100)를 구성할 수 있다.
Referring to FIGS. 3 to 6, the method of manufacturing a pressure sensor according to an embodiment of the present invention may include a first ciliary electrode forming step and a second ciliary electrode forming step.

이하, 도 3 내지 도 6을 참조하여 본 발명의 일 실시예인 압력센서 제조방법에 대해 상세히 설명하기로 한다. Hereinafter, a method of manufacturing a pressure sensor, which is one embodiment of the present invention, will be described in detail with reference to FIGS. 3 to 6. FIG.

여기서, 본 발명의 일 실시예에 의한 압력센서 제조방법은 본 발명의 일 실시예에 따른 압력센서(100)에 대한 제조방법에 관한 것이다.
Here, a method of manufacturing a pressure sensor according to an embodiment of the present invention relates to a method of manufacturing a pressure sensor 100 according to an embodiment of the present invention.

도 3 및 도 4를 참고 하면, 제1 섬모 전극 형성단계는 제1 필름형성단계와, 제1 에칭단계 및 제1 전극부 형성단계를 포함하여 제1 섬모 전극(10)을 형성시킨다. Referring to FIGS. 3 and 4, the first ciliary electrode forming step includes a first film forming step, a first etching step, and a first electrode forming step to form the first ciliary electrode 10.

제1 필름형성단계는 제1 에칭단계 전에 멤브레인(30)의 일면에 제1 필름(S1)을 형성시킨다. 여기서, 멤브레인(30)은 포스트(40)에 의해 타면 가장자리가 지지된다. 이때, 멤브레인(30)은 중앙부에 압력 측정홀(41)이 형성되고, 멤브레인(30)을 통해 압력 측정홀(41)의 개구된 일면을 실링할 수 있다. The first film forming step forms the first film S1 on one side of the membrane 30 before the first etching step. Here, the membrane 30 is supported on the rim by the post 40. At this time, the membrane 30 has a pressure measurement hole 41 formed at the center thereof, and the open side of the pressure measurement hole 41 can be sealed through the membrane 30.

여기서, 멤브레인(30)은 양측이 포스트(40)로 지지되되, 포스트(40) 사이를 실링할 수 있다. 이때, 포스트(40)는 중앙에 압력 측정홀(41)이 형성된 형태로 형성되어 멤브레인(30)의 타면 테두리에 걸쳐 구비되고, 멤브레인(30)에 의해 압력측정홀의 일측 개구부가 실링될 수 있다. 하지만, 본 발명의 포스트(40) 형태가 여기에 반드시 한정되는 것은 아니고 예를 들어 복수개로 이루어져 멤브레인(30)의 타면 테두리에 구비될 수 있다. Here, the membrane 30 is supported on both sides of the posts 40, and can seal between the posts 40. At this time, the post 40 is formed in a shape having a pressure measurement hole 41 at the center thereof and is provided over the rim of the other side of the membrane 30, and one opening of the pressure measurement hole can be sealed by the membrane 30. However, the shape of the post 40 of the present invention is not limited thereto, but may be formed on the other surface of the membrane 30, for example.

또한, 멤브레인(30)은 타면으로 가압력이 작용시 일면 방향으로 벤딩가능하도록 플랙서블한 재질로 이루어질 수 있다.In addition, the membrane 30 may be made of a flexible material so as to be bent in one surface direction when a pressing force is applied to the other surface.

아울러, 멤브레인(30)은 실리콘(Si, silicon) 또는 폴리머(polymer) 등의 플랙서블 재질로 이루어질 수 있다. 이때, 예를 들어, 멤브레인(30)은 PDMS(폴리다이메틸실록세인, polydimethylsiloxane) 막으로 이루어질 수 있지만 본 발명이 여기에 한정되는 것은 아니다. In addition, the membrane 30 may be made of a flexible material such as silicon (Si) or polymer. At this time, for example, the membrane 30 may be made of PDMS (polydimethylsiloxane) film, but the present invention is not limited thereto.

제1 에칭단계는 필름형성단계를 통해 멤브레인(30)의 일면에 형성된 제1 필름(S1)을 에칭하여 다수의 제1 섬모(12)를 형성시킨다. 이에 따라, 제1 필름(S1)은 에칭된 부위에 다수의 제1 섬모(12)가 형성되고, 에칭되지 않은 부위에 다수의 제1 섬모(12)를 지지하는 제1 지지막(11)이 형성된다. 여기서, 제1 필름(S1)은 폴리머(polymer) 등의 플랙서블 재질로 이루어질 수 있다.The first etching step forms a plurality of first cilia (12) by etching the first film (S1) formed on one side of the membrane (30) through the film forming step. Accordingly, the first film S1 has a plurality of first cilia 12 formed on the etched portion and a first support film 11 supporting a plurality of first cilia 12 on the unetched portion . Here, the first film S1 may be made of a flexible material such as a polymer.

제1 전극부 형성단계는 제1 에칭단계를 거쳐 다수의 제1 섬모(12)가 형성된 제1 필름(S1)의 일면을 금속으로 도금 또는 성막시킨다. 이에 따라, 제1 필름(S1)의 일면에 금속으로 형성된 제1 전극부(13)가 형성되어 제1 섬모 전극(10)을 형성시킬 수 있다. In the first electrode forming step, a first surface of the first film S1 on which a plurality of first cilia 12 are formed is plated or deposited with a metal through a first etching step. Accordingly, a first electrode part 13 formed of a metal may be formed on one surface of the first film S1 to form the first ciliary electrode 10.

그리고, 제1 전극부(13)는 구리(Cu), 알루미늄(Al), 금(Au), 은(Ag), 티타늄(Ti), 팔라듐(Pd), 크롬(Cr), 백금(Pt) 또는 이들의 조합을 이용하여 형성될 수 있다.The first electrode unit 13 may be formed of a material such as copper (Cu), aluminum (Al), gold (Au), silver (Ag), titanium (Ti), palladium (Pd), chromium (Cr) Or a combination thereof.

한편, 제1 섬모 전극 형성단계를 통해 다수의 제1 섬모(12)는 밀도가 10.00×109cm-2 이하로 형성될 수 있다. 즉, 제1 섬모(12) 및 제2 섬모(22)는 1cm2의 면적당 10×109개 이하로 형성될 수 있다.On the other hand, through the first ciliary electrode forming step, the plurality of first cilia 12 may have a density of 10.00 × 10 9 cm -2 or less. That is, the first cilia 12 and the second cilia 22 may be formed to have a size of 10 × 10 9 or less per 1 cm 2 area.

그리고, 제1 전극부(13) 및 제2 전극부(23)는 두께가 각각 제1 섬모(12) 및 제2 섬모(22)의 지름 보다 작게 형성될 수 있지만 본 발명이 여기에 반드시 한정되는 것은 아니다. The thicknesses of the first electrode portion 13 and the second electrode portion 23 may be smaller than the diameters of the first cilia 12 and the second cilia 22 respectively, It is not.

또한, 제1 섬모 전극 형성단계를 통해 제1 섬모(12)를 지지하는 제1 지지막(11)을 플랙서블하게 형성시킬 수 있다.
In addition, the first supporting film 11 supporting the first cilia 12 can be flexibly formed through the first ciliary electrode forming step.

도 5 및 도 6을 참고하면, 제2 섬모 전극 형성단계는 제2 에칭단계 및 제2 전극부 형성단계를 포함하여 제1 섬모 전극(10)을 형성시킨다. 또한, 제2 섬모 전극 형성단계는 배치단계를 더 포함한다. 이때, 제2 에칭단계 전에 제2 필름(미도시)을 형성시키는 제2 필름형성단계를 더 포함할 수 있다. Referring to FIGS. 5 and 6, the second ciliary electrode forming step includes forming a first ciliary electrode 10 including a second etching step and a second electrode forming step. In addition, the second ciliary electrode forming step further includes a placement step. At this time, it may further include a second film forming step of forming a second film (not shown) before the second etching step.

제2 에칭단계는 제2 필름을 에칭하여 다수의 제2 섬모(22)를 형성시킨다. 이에 따라, 제2 필름은 에칭된 부위에 다수의 제2 섬모(22)가 형성되고, 에칭되지 않은 부위에 다수의 제2 섬모(22)를 지지하는 제2 지지막(21)이 형성된다. 여기서, 제2 필름은 폴리머 등의 플랙서블 재질로 이루어질 수 있지만, 본 발명의 제2 필름이 플랙서블 재질로 반드시 한정되는 것은 아니다. The second etching step etches the second film to form a plurality of second cilia (22). As a result, the second film has a plurality of second cilia 22 formed on the etched portion and a second support film 21 supporting a plurality of second cilia 22 on the unetched portion. Here, the second film may be made of a flexible material such as a polymer, but the second film of the present invention is not necessarily limited to a flexible material.

제2 전극부 형성단계는 제2 에칭단계를 거쳐 다수의 제2 섬모(22)가 형성된 제2 필름의 일면을 금속으로 도금 또는 성막한다. 이에 따라, 제2 필름의 일면에 금속으로 도금 도는 성막된 제2 전극부(23)가 형성되어 제2 섬모 전극(20)을 형성시킬 수 있다. In the second electrode forming step, a second surface of the second film formed with a plurality of second cilia (22) is plated or deposited with a metal through a second etching step. Accordingly, the second electrode part 23 formed by plating or plating with metal may be formed on one side of the second film to form the second ciliary electrode 20.

이때, 제2 전극부(23)는 구리(Cu), 알루미늄(Al), 금(Au), 은(Ag), 티타늄(Ti), 팔라듐(Pd), 크롬(Cr), 백금(Pt) 또는 이들의 조합을 이용하여 형성될 수 있다.At this time, the second electrode part 23 may be formed of at least one of copper (Cu), aluminum (Al), gold (Au), silver (Ag), titanium (Ti), palladium (Pd), chromium (Cr) Or a combination thereof.

배치단계는 제2 전극부 형성단계를 거친 후 다수의 상기 제1 섬모(12)와 다수의 상기 제2 섬모(22)가 상호 마주보거나 엇갈리며 접촉되도록 위치시킬 수 있다. After the second electrode part forming step, the plurality of first cilia 12 and the plurality of second cilia 22 may be placed facing each other or staggered.

한편, 제2 섬모 전극 형성단계를 통해 다수의 제2 섬모(22)는 밀도가 10.00×109cm-2 이하로 형성될 수 있다. 이때, 제2 전극부(23)는 두께가 제2 섬모(22)의 지름보다 작게 형성될 수 있지만, 본 발명이 여기에 반드시 한정되는 것은 아니다.
Meanwhile, the plurality of second cilia 22 may be formed to have a density of 10.00 × 10 9 cm -2 or less through the second ciliary electrode forming step. At this time, the thickness of the second electrode part 23 may be smaller than the diameter of the second cilia 22, but the present invention is not limited thereto.

한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 압력센서 제조방법은 제1 섬모 전극(10) 및 제2 섬모 전극(20)의 가장자리에 전기적으로 연결되는 전극배선을 형성시키는 전극배선 형성단계를 더 포함할 수 있다.The method of manufacturing a pressure sensor according to an embodiment of the present invention may further include an electrode wiring forming step of forming an electrode wiring to be electrically connected to edges of the first ciliary electrode 10 and the second ciliary electrode 20 .

이때, 예를 들어, 제1 섬모 전극(10)은 구동전극으로 이루어지고, 제2 섬모 전극(20)은 감지전극으로 이루어질 수 있지만, 본 발명이 여기에 반드시 한정되는 것은 아니다.In this case, for example, the first ciliary electrode 10 may be a driving electrode and the second ciliary electrode 20 may be a sensing electrode, but the present invention is not limited thereto.

한편, 제1 전극부 형성단계 및 제2 전극부 형성단계는 일례로 제1 전극부(13) 및 제2 전극부(23)를 제1 섬모 전극(10) 및 제2 섬모 전극(20)의 일면 전체에 형성시켜 전극배선과 전기적으로 연결할 수 있다. The first electrode unit 13 and the second electrode unit 23 may be formed on the first ciliary electrode 10 and the second ciliary electrode 20, And can be formed over the entire surface to be electrically connected to the electrode wiring.

이때, 제1 전극부 형성단계 및 제2 전극부 형성단계는 제1 전극부(13) 및 제2 전극부(23)를 각각 스퍼터링 등의 성막 공정을 통해 금속막 형태로 형성시킬 수 있다. In this case, the first electrode unit 13 and the second electrode unit 23 may be formed in the form of a metal film through a film-forming process such as sputtering.

또한, 제1 전극부 형성단계 및 제2 전극부 형성단계는 다른 예로 제1 전극부(13) 및 제2 전극부(23)를 다수의 제1 섬모(12) 및 다수의 제2 섬모(22)의 외면에 전체 또는 부분적으로 형성시키고, 다수의 제1 섬모(12) 및 다수의 제2 섬모(22)의 외면에 도금 형성된 부위와 전극배선을 전기적으로 연결할 수 있도록 제1 지지막(11) 및 제2 지지막(21)에 라인 형태로 형성시킬수 있다. As another example, the first electrode unit 13 and the second electrode unit 23 may include a plurality of first cilia 12 and a plurality of second cilia 22 And a first supporting film 11 is formed on the outer surfaces of the plurality of first cilia 12 and the plurality of second cilia 22 so as to electrically connect the plated portion and the electrode wiring, And the second support film 21 in the form of a line.

아울러, 제1 전극부 형성단계 및 제2 전극부 형성단계는 또 다른 예로 제1 전극부(13) 및 제2 전극부(23)를 다수의 제1 섬모(12) 및 다수의 제2 섬모(22)의 외면에 라인형태로 형성시키고, 다수의 제1 섬모(12) 및 다수의 제2 섬모(22)의 외면에 라인형태로 형성된 부위와 전극배선을 전기적으로 연결할 수 있도록 제1 지지막(11) 및 제2 지지막(21)에도 라인 형태로 형성시킬 수 있다.
The first electrode portion forming step and the second electrode portion forming step may further include forming the first electrode portion 13 and the second electrode portion 23 with a plurality of first cilia 12 and a plurality of second cilia 22 and a plurality of first cilia 12 and a plurality of second cilia 22 are formed in a line shape on the outer surface of the first support film 22 and the first support film 11 and the second support film 21 in a line form.

이상 본 발명을 구체적인 일 실시예를 통하여 상세히 설명하였으나, 이는 본 발명을 구체적으로 설명하기 위한 것으로, 본 발명에 따른 압력센서 및 그 제조방법은 이에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당해 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 그 변형이나 개량이 가능함은 명백하다고 할 것이다. While the invention has been shown and described with reference to certain embodiments thereof, it will be understood by those of ordinary skill in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims. It will be apparent that modifications and improvements can be made by those skilled in the art.

또한, 본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 모두 본 발명의 영역에 속하는 것으로 본 발명의 구체적인 보호 범위는 첨부된 특허청구범위에 의하여 명확해질 것이다.
Further, it is intended that the present invention cover the modifications and variations of this invention provided they come within the scope of the appended claims and their equivalents.

10 : 제1 섬모 전극 11 : 제1 지지막
12 : 제1 섬모 13 : 제1 전극부
20 : 제2 섬모 전극 21 : 제2 지지막
22 : 제2 섬모 23 : 제2 전극부
30 : 멤브레인 40 : 포스트
41 : 압력 측정홀 100 : 압력센서
S1 : 제1 필름10: first ciliary electrode 11: first support film
12: first cilia 13: first electrode part
20: second ciliary electrode 21: second supporting film
22: second cilia 23: second electrode part
30: Membrane 40: Post
41: Pressure measurement hole 100: Pressure sensor
S1: First film

Claims (20)

제1 섬모 전극;
상기 제1 섬모 전극과 마주보며 위치되는 제2 섬모 전극;
상기 제1 섬모 전극이 일면에 위치되는 멤브레인; 및
상기 멤브레인의 타면 테두리에 구비되어 지지하게 되며, 중앙에 압력 측정홀이 형성된 포스트;
를 포함하고,
상기 멤브레인은 타면으로 압력이 가해지면 제1 섬모 전극 방향으로 벤딩되고, 상기 벤딩에 의한 상기 제1 섬모 전극과 상기 제2 섬모 전극 간에 발생하는 접촉 저항의 변화를 압력 측정홀을 통해 감지하여 압력을 측정하는 압력센서.
A first ciliary electrode;
A second ciliary electrode disposed opposite to the first ciliary electrode;
A membrane on which the first ciliary electrode is located; And
A post having a pressure measuring hole formed at a center thereof to be supported at an edge of the other surface of the membrane;
Lt; / RTI >
The membrane is bent in the direction of the first ciliary electrode when pressure is applied to the other surface, and a change in contact resistance occurring between the first ciliary electrode and the second ciliary electrode due to the bending is sensed through the pressure measurement hole, Pressure sensor to measure.
청구항 1에 있어서,
상기 제1 섬모 전극으로 작용하는 압력이 변화되면 상기 제1 섬모 전극과 상기 제2 섬모 전극 간의 접촉 면적이 변화되는 압력센서.
The method according to claim 1,
Wherein a contact area between the first ciliary electrode and the second ciliary electrode is changed when a pressure acting on the first ciliary electrode is changed.
청구항 2에 있어서,
상기 제1 섬모 전극은 플랙서블한 재질로 이루어져 벤딩되어, 상기 제1 섬모 전극으로 작용하는 압력이 변화됨에 따라 벤딩량이 변화되는 압력센서.
The method of claim 2,
Wherein the first ciliary electrode is made of flexible material and bent so that a bending amount is changed as a pressure acting on the first ciliary electrode is changed.
청구항 1에 있어서,
상기 제1 섬모 전극은 제1 지지막; 및
상기 제1 지지막의 일면에 돌출형성된 다수의 제1 섬모;
를 포함하고,
상기 제2 섬모 전극은 제2 지지막; 및
상기 제1 지지막의 다수의 상기 제1 섬모와 마주보는 면에 돌출형성된 다수의 제2 섬모;
를 포함하는 압력센서.
The method according to claim 1,
The first ciliary electrode may include a first support film; And
A plurality of first cilia protruding from one surface of the first support film;
Lt; / RTI >
Wherein the second ciliary electrode comprises a second support film; And
A plurality of second cilia protruding from a surface of the first support membrane opposite to the first cilia;
.
청구항 4에 있어서,
상기 제1 섬모 전극과 상기 제2 섬모 전극은 상호 마주보는 면을 각각 금속으로 도금 또는 성막하여 형성된 제1 전극부 및 제2 전극부;
를 더 포함하는 압력센서.
The method of claim 4,
The first ciliary electrode and the second ciliary electrode may have a first electrode portion and a second electrode portion formed by plating or film-forming mutually facing surfaces, respectively, with metal;
Further comprising a pressure sensor.
청구항 5에 있어서,
상기 제1 전극부 및 상기 제2 전극부는 금속막으로 형성되는 압력센서.
The method of claim 5,
Wherein the first electrode portion and the second electrode portion are formed of a metal film.
청구항 5에 있어서,
다수의 상기 제1 섬모 및 다수의 상기 제2 섬모는 밀도가 10.00×109cm-2 이하로 형성되는 압력센서.
The method of claim 5,
A plurality of said first plurality of cilia and the second pressure sensor is ciliary density is formed below the 10.00 × 10 9 cm -2.
청구항 4에 있어서,
다수의 상기 제1 섬모 및 다수의 상기 제2 섬모는 상호 마주보거나 엇갈리며 접촉되도록 구비되는 압력센서.
The method of claim 4,
Wherein the plurality of first cilia and the plurality of second cilia are provided so as to be opposed to each other or alternately in contact with each other.
청구항 4에 있어서,
상기 제1 지지막 및 상기 제1 섬모는 폴리머로 이루어지는 압력센서.
The method of claim 4,
Wherein the first support film and the first cilium are made of a polymer.
삭제delete 삭제delete 제1 섬모 전극을 형성시키는 제1 섬모 전극 형성단계; 및
상기 제1 섬모 전극과 마주보는 위치에 상기 제1 섬모 전극과 제2 섬모 전극 간에 발생하는 접촉 저항의 변화를 측정가능하도록 상기 제2 섬모 전극을 형성시키는 제2 섬모 전극 형성단계;
를 포함하고,
상기 제1 섬모 전극 형성단계는 양측이 포스트로 지지되는 멤브레인의 일면에 제1 필름을 형성시키는 제1 필름형성단계, 상기 제1 필름의 일면을 에칭하여 다수의 제1 섬모를 형성시키는 제1 에칭단계 및 상기 제1 필름의 일면을 금속으로 도금 또는 성막하여 제1 전극부를 형성시키는 제1 전극부 형성단계를 포함하며,
상기 제2 섬모 전극 형성단계는 제2 필름의 일면을 에칭하여 다수의 제2 섬모를 형성시키는 제2 에칭단계 및 상기 제2 필름의 일면을 금속으로 도금 또는 성막하여 제2 전극부를 형성키는 제2 전극부 형성단계를 포함하는 압력센서 제조방법.
A first ciliary electrode forming step of forming a first ciliary electrode; And
A second ciliary electrode forming step of forming the second ciliary electrode so as to measure a change in contact resistance occurring between the first ciliary electrode and the second ciliary electrode at a position facing the first ciliary electrode;
Lt; / RTI >
The first ciliary electrode forming step may include a first film forming step of forming a first film on one side of a membrane supported on both sides by a post, a first etching step of etching a first side of the first film to form a plurality of first cilia, And forming a first electrode part by plating or filming one surface of the first film with a metal,
The second ciliary electrode forming step may include a second etching step of etching a surface of the second film to form a plurality of second cilia, and a step of forming a second electrode part by plating or filming one surface of the second film with a metal And forming the two-electrode portion.
삭제delete 청구항 12에 있어서,
상기 제1 전극부 형성단계 및 상기 제2 전극부 형성단계는 상기 제1 전극부 및 상기 제2 전극부를 각각 스퍼터링 공정을 통해 금속막으로 형성시키는 압력센서 제조방법.
The method of claim 12,
Wherein the forming of the first electrode part and the forming of the second electrode part are performed by sputtering the first electrode part and the second electrode part, respectively.
삭제delete 청구항 12에 있어서,
상기 멤브레인은 타면으로 가압력이 작용시 일면 방향으로 벤딩가능하도록 플랙서블한 재질로 이루어지는 압력센서 제조방법.
The method of claim 12,
Wherein the membrane is made of a flexible material so as to bend in one surface direction when a pressing force is applied to the other surface.
청구항 12에 있어서,
상기 제2 섬모 전극 형성단계는 상기 제2 전극부 형성단계 후에 상기 제1 섬모 전극과 마주보는 위치에 상기 제2 섬모 전극을 위치시키는 배치단계;
를 더 포함하는 압력센서 제조방법.
The method of claim 12,
The second ciliary electrode forming step may include: placing the second ciliary electrode at a position facing the first ciliary electrode after the second electrode forming step;
Further comprising the steps of:
청구항 17에 있어서,
상기 배치단계는 다수의 상기 제1 섬모와 다수의 상기 제2 섬모가 상호 마주보거나 엇갈리며 접촉되도록 위치시키는 배치단계;
를 더 포함하는 압력센서 제조방법.
18. The method of claim 17,
Wherein the disposing step includes positioning a plurality of the first cilia and the plurality of second cilia such that the plurality of the first cilia and the plurality of the second cilum are in face-to-face or staggered contact with each other;
Further comprising the steps of:
청구항 12에 있어서,
다수의 상기 제1 섬모와 다수의 상기 제2 섬모는 밀도가 10.00×109cm-2 이하로 형성되는 압력센서 제조방법.
The method of claim 12,
Wherein the plurality of first cilia and the plurality of second cilia have a density of 10.00 10 9 cm -2 or less.
청구항 12에 있어서,
상기 제1 필름 및 상기 제2 필름은 폴리머로 이루어지는 압력센서 제조방법.The method of claim 12,
Wherein the first film and the second film are made of a polymer.
KR1020140035232A 2014-03-26 2014-03-26 Pressure sensor and method for manufacturing the same KR101540177B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140035232A KR101540177B1 (en) 2014-03-26 2014-03-26 Pressure sensor and method for manufacturing the same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140035232A KR101540177B1 (en) 2014-03-26 2014-03-26 Pressure sensor and method for manufacturing the same

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR101540177B1 true KR101540177B1 (en) 2015-07-28

Family

ID=53875767

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020140035232A KR101540177B1 (en) 2014-03-26 2014-03-26 Pressure sensor and method for manufacturing the same

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101540177B1 (en)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2017160014A1 (en) * 2016-03-14 2017-09-21 고려대학교 산학협력단 Ion channel pressure sensor and method for manufacturing same
CN109990929A (en) * 2019-03-21 2019-07-09 中国科学技术大学 High molecular polymer based resistance type mechanics sensor and preparation method
KR102030066B1 (en) * 2018-05-11 2019-10-08 울산과학기술원 Nano structural electrode having silane bonding layer, method of manufacturing the same, and sensor having the same
KR20190134226A (en) * 2018-05-25 2019-12-04 울산과학기술원 A sensor comprising a nanostructure electrode having a silane coupling layer

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101200798B1 (en) * 2011-05-27 2012-11-13 서울대학교산학협력단 Reversible electric connector using interlocking of fine ciliary and multifunctional sensor using the same, and method of manufacturing sensor having multiple functions using the same

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101200798B1 (en) * 2011-05-27 2012-11-13 서울대학교산학협력단 Reversible electric connector using interlocking of fine ciliary and multifunctional sensor using the same, and method of manufacturing sensor having multiple functions using the same

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
한국연구재단 보도자료 *

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2017160014A1 (en) * 2016-03-14 2017-09-21 고려대학교 산학협력단 Ion channel pressure sensor and method for manufacturing same
US10739219B2 (en) 2016-03-14 2020-08-11 Korea University Research And Business Foundation Ion channel pressure sensor and manufacturing method of the same
KR102030066B1 (en) * 2018-05-11 2019-10-08 울산과학기술원 Nano structural electrode having silane bonding layer, method of manufacturing the same, and sensor having the same
KR20190134226A (en) * 2018-05-25 2019-12-04 울산과학기술원 A sensor comprising a nanostructure electrode having a silane coupling layer
KR102063258B1 (en) * 2018-05-25 2020-01-07 울산과학기술원 A sensor comprising a nanostructure electrode having a silane coupling layer
CN109990929A (en) * 2019-03-21 2019-07-09 中国科学技术大学 High molecular polymer based resistance type mechanics sensor and preparation method

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7508040B2 (en) Micro electrical mechanical systems pressure sensor
US7998777B1 (en) Method for fabricating a sensor
EP2270455B1 (en) Force sensor apparatus
EP1920229B1 (en) Pressure sensors and methods of making the same
US9470593B2 (en) Media isolated pressure sensor
EP3073237B1 (en) Pressure sensor
US8511171B2 (en) Device for measuring environmental forces and method of fabricating the same
KR101540177B1 (en) Pressure sensor and method for manufacturing the same
JP5853171B2 (en) Semiconductor pressure sensor and manufacturing method thereof
JP5850650B2 (en) Sensor and method for manufacturing the sensor
US20050274193A1 (en) Monolithic multi-functional integrated sensor and method for fabricating the same
JP2012002812A (en) Sensor and sensor manufacturing method
JP7128506B2 (en) pressure sensor
US5932809A (en) Sensor with silicon strain gage
US8631709B2 (en) Pressure transducer structures having a plurality of conductive traces for curved surfaces
KR20090132066A (en) Tactile sensor having membrane structure and manufacturing method thereof
CN113075726B (en) Hydrophone and method for manufacturing same
JP2013108876A (en) Semiconductor pressure sensor and manufacturing method therefor
US10647568B2 (en) Micromechanical component including diaphragm, manufacturing method for such a component and method for operating a pressure sensor
WO2016071576A1 (en) Surface micromechanical pressure sensor and method for manufacturing the same
US20020174724A1 (en) Micromechanical component
Giacchino et al. Parylene-membrane piezoresistive pressure sensors with XeF 2-etched cavity
KR100625358B1 (en) Pressure sensor and its manufacturing method
JP2009069030A (en) Pressure detection element
JP2019117101A (en) Pressure sensor

Legal Events

Date Code Title Description
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180702

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190701

Year of fee payment: 5