KR101529645B1 - Liquid crystal display device and method of manufacturing the same - Google Patents
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Abstract
전기적 특성을 안정화하고 개구율을 향상시킬 수 있는 액정표시장치 및 그 제조 방법이 개시된다.A liquid crystal display device capable of stabilizing an electrical characteristic and improving an aperture ratio and a manufacturing method thereof are disclosed.
본 발명의 액정표시장치는, 제1 및 제2 게이트 라인과, 제1 및 제2 게이트 라인 각각에 평행하게 배치된 제1 및 제2 공통 라인과, 데이터 라인, 데이터 라인과 동일층에 배치되며, 제1 및 제2 공통 라인을 전기적으로 연결하는 연결 전극과, 제1 및 제2 게이트 라인 각각과 데이터 라인에 연결된 제1 및 제2 박막트랜지스터와, 제1 및 제2 박막트랜지스터에 전기적으로 연결된 화소 전극을 포함한다.A liquid crystal display device of the present invention includes first and second common lines, first and second common lines arranged in parallel with first and second gate lines, respectively, and a data line and a data line, A connection electrode electrically connecting the first and second common lines, first and second thin film transistors connected to the first and second gate lines and to the data line, and a second thin film transistor electrically connected to the first thin film transistor and the second thin film transistor And a pixel electrode.
액정표시장치, 개구율, 연결 전극, 전기적 특성 Liquid crystal display, aperture ratio, connecting electrodes, electrical characteristics
Description
도 1은 본 발명에 따른 액정표시장치를 도시한 평면도.1 is a plan view showing a liquid crystal display device according to the present invention.
도 2는 도 1의 액정표시장치에서 A-A'라인 및 B-B'라인을 따라 절단한 단면도.2 is a cross-sectional view taken along line A-A 'and line B-B' in the liquid crystal display device of FIG. 1;
도 3a 내지 도 3d는 본 발명의 액정표시장치 제조 공정을 설명하기 위한 도면.3A to 3D are diagrams for explaining a process of manufacturing a liquid crystal display device of the present invention.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>Description of the Related Art
1, 3, 5, 7: 화소 영역 8: 박막트랜지스터 영역1, 3, 5, 7: pixel region 8: thin film transistor region
9: 연결 영역 10: 기판9: connection area 10: substrate
11a, 11b: 게이트 라인 13a, 13b: 공통 라인11a, 11b:
15: 게이트 전극 17: 게이트 절연막15: gate electrode 17: gate insulating film
18: 액티브층 19: 오믹 콘택층18: active layer 19: ohmic contact layer
20: 반도체층 21a: 소오스 전극20:
21b: 드레인 전극 23: 박막트랜지스터21b: drain electrode 23: thin film transistor
25, 26: 데이터 라인 27: 연결 전극25, 26: data line 27: connecting electrode
29a, 29b, 33: 콘택홀 31: 보호막29a, 29b, 33: contact hole 31:
35, 36, 37, 38: 화소 전극35, 36, 37, 38: pixel electrodes
본 발명은 액정표시장치에 관한 것으로, 특히 전기적 특성을 안정화하고 개구율을 향상시킬 수 있는 액정표시장치 및 그 제조 방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE
정보화 사회가 발전함에 따라 디스플레이 장치에 대한 요구도 다양한 형태로 점증하고 있다. 이에 부응하여 근래에는 액정디스플레이 장치(LCD: Liquid Crystal Display device), 플라즈마 디스플레이 패널(PDP: Plasma Display Panel), 전계발광소자(ELD: Electro Luminescent Display) 등을 포함한 다양한 평판디스플레이 장치가 연구되어 왔고 일부는 이미 디스플레이 장치로 널리 활용되고 있다.As the information society develops, the demand for display devices is increasing in various forms. In recent years, various flat panel display devices including a liquid crystal display device (LCD), a plasma display panel (PDP), and an electro luminescent display (ELD) have been studied. Has already been widely used as a display device.
이 중에서 액정표시장치는 현재 화질이 우수하고 경량, 박형, 저소비 전력 등의 장점이 있고, 이에 따라 브라운관(CRT)을 신속히 대체시키고 있다. 액정표시장치는 노트북의 모니터, 텔레비전의 표시 패널 등으로 다양하게 개발되고 있다.Among these, the liquid crystal display device is excellent in the current image quality, and has advantages such as light weight, thinness, and low power consumption, thereby quickly replacing the CRT. 2. Description of the Related Art Liquid crystal display devices have been developed variously as monitors for notebook computers, display panels for televisions, and the like.
액정표시장치는 하나의 화면에 원하는 정보를 표시하기 위해 1 프레임 동안 데이터 전압을 유지하여야 한다. 이를 위해, 상기 액정표시장치는 스토리지 캐패시터가 형성되어 있다. 상기 스토리지 캐패시터에 의해 1 프레임 동안 데이터 전압이 유지될 수 있다. The liquid crystal display device must maintain the data voltage for one frame in order to display desired information on one screen. To this end, the liquid crystal display device is formed with a storage capacitor. The data voltage can be maintained for one frame by the storage capacitor.
상기 스토리지 캐패시터는 제1 스토리지 전극으로 하는 게이트 라인과, 제2 스토리지 전극으로 하는 화소 전극과, 제1 및 제2 스토리지 전극 사이에 유전율을 갖는 게이트 절연막 및 보호막에 의해 형성된다. 제1 및 제2 스토리지 전극은 오버랩될 수 있다. 이와 같은 구조를 갖는 방식을 스토리지 온 게이트(SOG) 방식이라 한다.The storage capacitor is formed by a gate line serving as a first storage electrode, a pixel electrode serving as a second storage electrode, and a gate insulating film and a protective film having a dielectric constant between the first and second storage electrodes. The first and second storage electrodes may overlap. A system having such a structure is referred to as a storage-on-gate (SOG) system.
제1 스토리지 전극으로 게이트 라인이 사용되는 경우, 스토리지 캐패시터에 저장된 데이터 전압에 의해 게이트 라인으로 지나가는 게이트 전압에 영향을 줄 수 있다.If a gate line is used as the first storage electrode, it can affect the gate voltage passing to the gate line by the data voltage stored in the storage capacitor.
이러한 문제를 해결하기 위해, 제1 스토리지 전극으로 하는 공통 라인과, 제2 스토리지 전극으로 하는 화소 전극과, 제1 및 제2 스토리지 전극 사이에 유전율을 갖는 게이트 절연막 및 보호막에 의해 스토리지 캐패시터가 형성된다. 이러한 구조를 갖는 방식을 스토리지 온 커먼(SOC) 방식이라 한다.In order to solve this problem, a storage capacitor is formed by a common line serving as a first storage electrode, a pixel electrode serving as a second storage electrode, a gate insulating film having a dielectric constant between the first and second storage electrodes, and a protective film . A scheme having such a structure is referred to as a storage on common (SOC) scheme.
공통 라인은 각 게이트 라인에 대응되어 배치되므로, 액정표시장치에는 다수의 공통 라인이 배치되게 된다. Since the common lines are arranged corresponding to the respective gate lines, a plurality of common lines are arranged in the liquid crystal display device.
이러한 경우, 각 공통 라인에 동일한 공통 전압이 공급되더라도, 각 공통 라인의 폭이 일정하지 않아 각 공통 라인의 선저항이 다르게 되어, 궁극적으로 각 공통 라인에 약간씩 상이한 공통 전압이 인가되는 문제가 있다. In this case, even if the same common voltage is supplied to each common line, the width of each common line is not constant, so that the line resistance of each common line is different, and a common voltage slightly different to each common line is ultimately applied .
또한, 어느 하나의 공통 라인의 소정 영역이 단선되는 경우, 해당 공통 라인으로 공통 전압이 원활하게 공급될 수 없어, 스토리지 캐패시터의 역할을 갖지 못하게 되는 문제가 있다.In addition, when a predetermined region of a common line is disconnected, a common voltage can not be smoothly supplied to the common line, resulting in a problem that the storage capacitor is not provided.
이러한 문제를 해결하기 위해, 인접 화소 영역에 배치된 각 공통 라인이 전기적으로 연결되고 메시 구조로 이루어진 메시 공통 전극이 제안되었다. In order to solve such a problem, a mesh common electrode having a mesh structure in which each common line disposed in an adjacent pixel region is electrically connected has been proposed.
메시 공통 전극에 의해 인접 화소 영역에 배치된 공통 전극 간에 등전위를 갖는 공통 전압이 인가되므로, 안정된 전기적 특성이 기대된다.A common voltage having an equal potential is applied between common electrodes arranged in adjacent pixel regions by the mesh common electrode, so that stable electrical characteristics are expected.
메시 공통 전극은 인접 화소 영역에 배치된 각 공통 라인이 화소 전극과 동일한 물질로 동일 층에 형성된 연결 전극에 의해 연결되게 된다. 각 공통라인이 게이트라인과 동일층에 형성되어, 인접 화소 영역에 배치된 각 공통 라인을 직접 연결할 수가 없기 때문에 연결 전극이 요구되어진다. 따라서, 각 공통 라인과 연결 전극은 콘택홀을 통해 전기적으로 연결되게 된다.The mesh common electrodes are connected by the connection electrodes formed on the same layer, with the common lines arranged in the adjacent pixel regions being the same material as the pixel electrodes. Each common line is formed on the same layer as the gate line, and a connecting electrode is required because each common line arranged in the adjacent pixel region can not be connected directly. Accordingly, each common line and the connection electrode are electrically connected through the contact hole.
하지만, 연결 전극과 전기적으로 이격되도록 화소 전극이 형성되어야 하므로, 화소 전극의 사이즈를 극대화하기가 어렵게 되어, 결국 개구율이 감소되는 문제가 있다. However, since the pixel electrode must be formed to be electrically separated from the connection electrode, it is difficult to maximize the size of the pixel electrode, which results in a problem that the aperture ratio is reduced.
또한, 화소 전극이 저항이 높은 도전 물질로 이루어지는데, 화소 전극과 동일 물질로 형성된 연결 전극 또한 저항이 높게 되므로, 연결 전극을 통해 공통 전압이 인접 화소 영역으로 전달되기가 어렵게 되어, 결국 인접 화소 영역에 배치된 공통 전극 간에 등전위가 유지되지 못하게 되어 전기적 특성이 불안정하게 되는 문제가 있다.In addition, since the pixel electrode is made of a conductive material having a high resistance, the connection electrode formed of the same material as the pixel electrode also has a high resistance, so that it is difficult for the common voltage to be transmitted to the adjacent pixel region through the connection electrode, The equal potential is not maintained between the common electrodes arranged in the pixel region, and the electrical characteristics become unstable.
본 발명은 화소 전극을 극대화하여 개구율을 향상시킬 수 있는 액정표시장치 및 그 제조 방법을 제공함에 그 목적이 있다.An object of the present invention is to provide a liquid crystal display device and a method of manufacturing the same that can maximize the pixel electrode to improve the aperture ratio.
본 발명의 다른 목적은 균일한 등전위를 유지하여 전기적 특성을 안정화시킬 수 있는 액정표시장치 및 그 제조 방법을 제공함에 있다.Another object of the present invention is to provide a liquid crystal display device and a method of manufacturing the same which can stabilize electrical characteristics by maintaining a uniform equipotential.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 제1 실시예에 따르면, 액정표시장치는, 제1 방향으로 배치된 제1 및 제2 게이트 라인; 상기 제1 및 제2 게이트 라인 각각에 평행하게 배치된 제1 및 제2 공통 라인; 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 배치된 데이터 라인; 상기 데이터 라인과 동일층에 배치되며, 상기 제1 및 제2 공통 라인을 전기적으로 연결하는 연결 전극; 상기 제1 및 제2 게이트 라인 각각과 상기 데이터 라인에 연결된 제1 및 제2 박막트랜지스터; 및 상기 제1 및 제2 박막트랜지스터에 전기적으로 연결된 화소 전극을 포함한다.According to a first aspect of the present invention, there is provided a liquid crystal display including: first and second gate lines arranged in a first direction; First and second common lines arranged parallel to the first and second gate lines, respectively; A data line arranged in a second direction intersecting the first direction; A connection electrode disposed on the same layer as the data line and electrically connecting the first and second common lines; First and second thin film transistors connected to the first and second gate lines and to the data line; And a pixel electrode electrically connected to the first and second thin film transistors.
본 발명의 제2 실시예에 따르면, 액정표시장치의 제조 방법은, 기판 상에 게이트 라인, 게이트 전극 및 제1 및 제2 공통 라인을 형성하는 단계; 상기 게이트 라인을 포함하는 상기 기판 상에 상기 제1 및 제2 공통 라인이 노출된 제1 및 제2 콘택홀을 갖는 게이트 절연막을 형성하는 단계; 상기 게이트 전극에 대응하는 상기 게이트 절연막 상에 반도체층을 형성하는 단계; 상기 반도체층을 포함하는 상기 기판 상에 데이터 라인, 소오스/드레인 전극 및 연결 전극을 형성하는 단계; 상기 데이터 라인을 포함하는 상기 기판 상에 보호막을 형성하는 단계; 및 상기 보호막 상에 화소 전극을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 연결 전극은 상기 제1 콘택홀을 통해 상기 제1 공통 라인과 전기적으로 연결되고, 상기 제2 콘택홀을 통해 상기 제2 공통 라인과 전기적으로 연결된다.According to a second embodiment of the present invention, a method of manufacturing a liquid crystal display comprises: forming a gate line, a gate electrode, and first and second common lines on a substrate; Forming a gate insulating film having first and second contact holes on the substrate including the gate line, the first and second common lines being exposed; Forming a semiconductor layer on the gate insulating film corresponding to the gate electrode; Forming a data line, a source / drain electrode, and a connection electrode on the substrate including the semiconductor layer; Forming a protective film on the substrate including the data lines; And forming a pixel electrode on the passivation layer, wherein the connection electrode is electrically connected to the first common line through the first contact hole, and the second common line is electrically connected to the second common line through the second contact hole, And is electrically connected.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본 발명에 따른 액정표시장치를 도시한 평면도이고, 도 2는 도 1의 액정표시장치에서 A-A'라인 및 B-B'라인을 따라 절단한 단면도이다.FIG. 1 is a plan view showing a liquid crystal display device according to the present invention, and FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line A-A 'and line B-B' in the liquid crystal display device of FIG.
도 1 및 도 2에서, 기판(10) 상에 제1 방향을 따라 제1 및 제2 게이트 라인(11a, 11b)이 배치되고, 상기 제1 및 제2 게이트 라인(11a, 11b)으로부터 각각 연장되어 박막트랜지스터 영역(8)에 게이트 전극(15)이 배치된다. 1 and 2, first and
상기 제1 및 제2 게이트라인(11a, 11b)과 동일층에 메시 구조를 갖는 제1 및 제2 공통 라인(13a, 13b)이 배치된다. 상기 제1 공통 라인(13a)은 상기 제1 게이트 라인(11a)과 더미 게이트라인(미도시) 사이의 제1 화소 영역(1)에 배치되고, 상기 제2 공통 라인(13b)은 상기 제1 및 제2 게이트 라인(11a, 11b) 사이의 제2 화소 영역(3)에 배치될 수 있다. 상기 제1 공통 라인(13a)은 상기 제1 화소 영역(1)의 에지 영역을 따라 배치될 수 있다. 상기 제2 공통 라인(13b)은 상기 제2 화소 영역(3)의 에지 영역을 따라 배치될 수 있다. 상기 제1 공통 라인(13a)은 상기 제1 방향으로 인접하는 제1 및 제3 화소 영역(1, 5) 사이에 일체로 연결될 수 있다. 상기 제2 공통 라인(13b)은 상기 제1 방향으로 인접하는 제2 및 제4 화소 영역(3, 7) 사이에 일체로 연결될 수 있다. 상기 제1 방향과 수직인 제2 방향으로 인접하는 제1 및 제2 화소 영역(1, 3) 사이 그리고 인접하는 제3 및 제4 화소 영역(5, 7) 사이로는 상기 제1 및 제2 공통 라인(13a, 13b)과 동일 층으로 상기 제1 게이트 라 인(11a)이 배치되므로, 상기 제2 방향으로 인접하는 제1 및 제2 화소 영역(1, 3) 사이 그리고 인접하는 제3 및 제4 화소 영역(5, 7) 사이로는 상기 제1 및 제2 공통 라인(13a, 13b)이 일체로 연결될 수 없다.First and second
상기 제1 및 제2 게이트 라인(11a, 11b)을 포함하는 상기 기판(10) 상에 게이트 절연막(17)이 형성되어 있다.A
상기 게이트 절연막(17)의 연결 영역(9)에는 상기 제1 및 제3 화소(1, 5) 영역에 배치된 제1 공통 라인(13a) 그리고 상기 제2 및 제4 화소 영역(3, 7)에 배치된 제2 공통 라인(13b)이 노출되도록 제1 및 제2 콘택홀(29a, 29b)이 형성되어 있다. 상기 제1 콘택홀(29a)은 상기 제1 및 제3 화소 영역(1, 5)에 배치된 제1 공통 라인(13a)이 노출되도록 상기 게이트 절연막(17)에 형성될 수 있다. 상기 제2 콘택홀(29b)은 상기 제2 및 제4 화소 영역(3, 7)에 배치된 제2 공통 라인(13b)이 노출되도록 상기 게이트 절연막(17)에 형성될 수 있다.The first
상기 게이트 전극(15)에 대응하는 상기 게이트 절연막(17) 상에 액티브층(18)과 오믹콘택층(19)을 포함하는 반도체층(20)이 배치된다. A
상기 게이트 절연막(17) 상에 상기 제2 방향으로 제1 및 제2 데이터 라인(25, 26)이 배치되고, 상기 반도체층(20) 상에 서로 이격된 소오스/드레인 전극(21a, 21b)이 배치된다. 상기 소오스 전극(21a)은 상기 제1 및 제2 데이터 라인(25, 26) 각각으로부터 연장되어 배치될 수 있다. First and
상기 게이트 전극(15), 상기 반도체층(20) 및 상기 소오스 및 드레인 전극(21a, 21b)에 의해 박막트랜지스터(23)가 구성될 수 있다.The
상기 제1 화소 영역(1)은 상기 제1 게이트 라인(11a)과 상기 제1 데이터 라인(25)에 의해 정의되고, 상기 제2 화소 영역(3)은 상기 제2 게이트 라인(11b)과 상기 제1 데이터 라인(25)에 의해 정의될 수 있다. 상기 제3 화소 영역(5)은 상기 제1 게이트 라인(11a)과 상기 제2 데이터 라인(26)에 의해 정의되고, 상기 제4 화소 영역(7)은 상기 제2 게이트 라인(11b)과 상기 제2 데이터 라인(26)에 의해 정의될 수 있다.Wherein the
연결 전극(27)은 상기 제1 및 제2 데이터 라인(25, 26)과 동일층에 배치되며, 상기 제1 및 제3 화소 영역(1, 5)의 상기 게이트 절연막(17)에 형성된 제1 콘택홀(29a)을 통해 상기 제1 공통 라인(13a)과 전기적으로 연결되고, 상기 제2 및 제4 화소 영역(3, 7)의 상기 게이트 절연막(17)에 형성된 제2 콘택홀(29b)을 통해 상기 제2 공통 라인(13b)과 전기적으로 연결될 수 있다. 상기 연결 전극(27)은 상기 제1 및 제3 화소 영역(1, 5)에 형성된 제1 콘택홀(29a)부터 상기 제1 게이트 라인(11a)을 지나 상기 제2 및 제4 화소 영역(3, 7)에 형성된 제2 콘택홀(29b)까지 배치될 수 있다. The
상기 연결 전극(27)은 도면에서는 각이 진 직사각형으로 이루어져 있지만, 이에 한정하지 않고 라운드 형태의 모서리를 갖는 직사각형이나, 양측의 에지 영역보다 중앙 영역의 폭이 상대적으로 좁은 형상을 가질 수도 있다. Although the connecting
상기 연결 전극(27)에 의해 상기 제1 및 제3 화소 영역(1, 5)에 배치된 제1 공통 라인(13a)과 상기 제2 및 제4 화소 영역(3, 7)에 배치된 제2 공통 라인(13b)이 전기적으로 연결될 수 있다. 상기 연결 전극(27)으로 인해 상기 제1 및 제2 공 통 라인(13a, 13b)이 전기적으로 연결되어 있으므로, 상기 제1 및 제2 공통 라인(13a, 13b)에는 등전위가 유지될 수 있다. A first
따라서, 도전성이 우수한 데이터 라인과 동일한 도전 물질로 연결 전극(27)을 배치함으로써, 제1 및 제2 공통 라인(13a, 13b) 사이에 등전위가 유지되어 전기적 특성이 안정화될 수 있다.Therefore, by disposing the connecting
상기 제1 및 제2 데이터라인(25, 26)을 포함하는 기판(10) 상에 보호막(31)이 형성되어 있다. 상기 보호막(31)에는 상기 드레인 전극(21b)이 노출되도록 제3 콘택홀(33)이 형성되어 있다. A
상기 보호막(31) 상에 상기 제3 콘택홀(33)을 통해 상기 드레인 전극(21b)과 전기적으로 연결된 제1 내지 제4 화소 전극( 35 내지 38)이 배치된다. The first to
상기 제1 및 제2 공통라인(13a, 13b)은 각각 상기 제1 내지 제4 화소 전극(35 내지 38)과 오버랩되고, 각 공통 라인(13a, 13b)과 각 화소 전극(35 내지 38) 사이에 유전율을 갖는 게이트 절연막(17)과 보호막(31)이 형성되어 있기 때문에, 스토리지 캐패시턴스가 형성될 수 있다. 이러한 스토리지 캐패시턴스에 1 프레임 동안 데이터 전압이 유지될 수 있다. The first and second
상기 제1 내지 제4 화소 전극(35 내지 38)은 상기 제1 내지 제4 화소 영역(1, 3, 5, 7) 각각에 상기 제1 및 제2 게이트 라인(11a, 11b)과 상기 제1 및 제2 데이터 라인(25, 26)과 인접하여 배치되므로, 상기 제1 내지 제4 화소 전극(35 내지 38)의 사이즈가 극대화되어 개구율이 향상될 수 있다. The first to
도 3a 내지 도 3d는 본 발명의 액정표시장치 제조 공정을 설명하기 위한 도 면이다.3A to 3D are views for explaining a manufacturing process of a liquid crystal display device of the present invention.
이하의 설명은 도 1 및 도 2도 참조하여 설명된다.The following description will be made with reference to Figs. 1 and 2. Fig.
도 3a에 도시한 바와 같이, 먼저 기판(10) 상에 제1 금속막을 형성한 후, 제1 마스크를 이용하여 상기 제1 금속막을 패터닝하여, 제1 및 제2 게이트 라인(11a, 11b), 게이트 전극(15) 및 제1 및 제2 공통 라인(13a, 13b)을 형성한다. 상기 제1 및 제2 게이트 라인(11a, 11b)은 제1 방향을 따라 형성되고, 상기 게이트 전극(15)은 박막트랜지스터 영역(8)에 상기 제1 및 제2 게이트 라인(11a, 11b)으로부터 연장 형성될 수 있다. 상기 제1 공통 라인(13a)은 상기 제1 방향으로 인접한 제1 및 제3 화소 영역(1, 5)의 각 에지 영역을 따라 형성되고, 상기 인접한 제1 및 제3 화소 영역(1, 5) 사이에도 일체로 형성될 수 있다. 상기 제2 공통 라인(13b)은 상기 제1 방향으로 인접한 제2 및 제4 화소 영역(3, 7)의 각 에지 영역을 따라 형성되고, 상기 인접한 제2 및 제4 화소 영역(3, 7) 사이에도 일체로 형성될 수 있다.3A, a first metal film is first formed on a
상기 제1 및 제2 게이트 라인(11a, 11b)을 포함하는 상기 기판(10) 상에 게이트 절연막(17)이 형성된다. 제2 마스크를 이용하여 상기 게이트 절연막(17)을 패터닝하여, 연결 영역(9)에 제1 및 제3 화소 영역(1, 5)에 형성된 제1 공통 라인(13a)이 노출된 제1 콘택홀(29a)과 제2 및 제4 화소 영역(3, 7)에 형성된 제2 공통 라인(13b)이 노출된 제2 콘택홀(29b)을 형성한다.A
도 3b에 도시한 바와 같이, 상기 게이트 절연막(17) 상에 순수한 실리콘과 불순물이 도핑된 실리콘을 연속 형성한 후, 제3 마스크를 이용하여 상기 순수한 실리콘과 불순물이 도핑된 실리콘을 패터닝하여, 상기 박막트랜지스터 영역(8)에 액 티브층(18)과 오믹 콘택층(19)을 형성한다. 상기 액티브층(18)과 상기 오믹 콘택층(19)을 포함하여 반도체층(20)이 형성될 수 있다. 상기 반도체층(20)은 상기 게이트 전극(15)에 대응하는 상기 게이트 절연막(17) 상에 형성될 수 있다. 3B, pure silicon and impurity-doped silicon are successively formed on the
상기 반도체층(20)을 포함하는 상기 기판(10) 상에 제2 금속막을 형성한 후, 제4 마스크를 이용하여 상기 제2 금속막을 패터닝하여, 제1 및 제2 데이터 라인(25, 26), 소오스/드레인 전극(21a, 21b) 및 연결 전극(27)을 형성한다. 상기 제1 및 제2 데이터 라인(25, 26)은 상기 제1 방향에 수직인 제2 방향을 따라 형성된다. 상기 소오스/드레인 전극(21a, 21b)은 상기 반도체층(20) 상에 서로 이격되어 형성될 수 있다. 상기 소오스 전극(21a)은 상기 제1 및 제2 데이터 라인(25, 26)으로부터 연장 형성될 수 있다. A second metal film is formed on the
상기 게이트 전극(15), 상기 반도체층(20) 및 상기 소오스/드레인 전극(21a, 21b)에 의해 박막트랜지스터(23)가 형성될 수 있다.The
상기 제1 화소 영역(1)은 상기 제1 게이트 라인(11a)과 상기 제1 데이터 라인(25)에 의해 정의되고, 상기 제2 화소 영역(3)은 상기 제2 게이트 라인(11b)과 상기 제1 데이터 라인(25)에 의해 정의될 수 있다. 상기 제3 화소 영역(5)은 상기 제1 게이트 라인(11a)과 상기 제2 데이터 라인(26)에 의해 정의되고, 상기 제4 화소 영역(7)은 상기 제2 게이트 라인(11b)과 상기 제2 데이터 라인(26)에 의해 정의될 수 있다.Wherein the
상기 연결 전극(27)은 상기 제1 및 제2 데이터 라인(25, 26)과 동일한 물질로 동시에 형성될 수 있다. The
상기 연결 전극(27)은 상기 제1 및 제3 화소 영역(1, 5)에 형성된 제1 콘택홀(29a)을 통해 상기 제1 공통 라인(13a)과 전기적으로 연결되고, 상기 제2 및 제4 화소 영역(3, 7)에 형성된 제2 콘택홀(29b)을 통해 상기 제2 공통 라인(13b)과 전기적으로 연결될 수 있다. 상기 연결 전극(27)은 상기 제1 및 제3 화소 영역(1, 5)에 형성된 제1 콘택홀(29a)로부터 상기 제1 게이트 라인(11a)을 지나 상기 제2 및 제4 화소 영역(3, 7)에 형성된 제2 콘택홀(29b)까지 형성될 수 있다. The
상기 연결 전극(27)으로 인해 상기 제1 및 제2 공통 라인(13a, 13b)이 전기적으로 연결되어 있으므로, 상기 제1 및 제2 공통 라인(13a, 13b)에는 등전위가 유지될 수 있다. Since the first and second
따라서, 도전성이 우수한 제1 및 제2 데이터 라인(25, 26)과 동일한 도전 물질로 연결 전극(27)을 배치함으로써, 제1 및 제2 공통 라인(13a, 13b) 사이에 등전위가 유지되어 전기적 특성이 안정화될 수 있다.Therefore, by disposing the connecting
도 3c에 도시한 바와 같이, 상기 제1 및 제2 데이터 라인(25, 26)을 포함하는 상기 기판(10) 상에 보호막(31)을 형성하고, 제5 마스크를 이용하여 상기 보호막(31)을 패터닝하여, 상기 드레인 전극(21b)이 노출된 제3 콘택홀(33)을 형성한다.A
도 3d에 도시한 바와 같이, 상기 보호막(31) 상에 투명한 도전막을 형성한 후, 제6 마스크를 이용하여 상기 도전막을 패터닝하여, 상기 제1 내지 제4 화소 영역(1, 3, 5, 7)에 상기 제3 콘택홀(33)을 통해 상기 드레인 전극(21b)과 전기적으로 연결된 제1 내지 제4 화소 전극(35 내지 38)을 형성한다. 상기 각 화소 전극(35 내지 38)은 상기 제1 및 제2 게이트 라인(11a, 11b) 그리고 상기 제1 및 제2 데이터 라인(25, 26)에 인접하도록 형성될 수 있다.3D, a transparent conductive film is formed on the
상기 제1 및 제2 공통라인(13a, 13b)은 각각 상기 제1 내지 제4 화소 전극(35 내지 38)과 오버랩되고, 각 공통 라인(13a, 13b)과 각 화소 전극(35 내지 38) 사이에 유전율을 갖는 게이트 절연막(17)과 보호막(31)이 형성되어 있기 때문에, 스토리지 캐패시턴스가 형성될 수 있다. 이러한 스토리지 캐패시턴스에 1 프레임 동안 데이터 전압이 유지될 수 있다. The first and second
이와 같이, 연결 전극(27)이 제1 및 제2 데이터 라인(25, 26)과 동일층에 형성되므로, 종래에 같이 화소 전극이 연결 전극에 방해를 받을 필요가 없기 때문에, 각 화소 전극(35 내지 38)을 각 화소 영역(1, 3, 5, 7)에 극대화되도록 형성할 수 있으므로, 개구율이 향상될 수 있다.Since the
이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명에 의하면, 인접하는 화소 영역에 형성된 각 공통 라인을 금속막과 같이 도전율이 우수한 물질로 형성함으로써, 각 공통 라인 간에 등전위를 정밀하게 유지되므로 전기적 특성이 안정화될 수 있다.As described above, according to the present invention, since each common line formed in the adjacent pixel region is formed of a material having excellent conductivity such as a metal film, the equipotential is precisely maintained between the common lines, so that the electrical characteristics can be stabilized .
본 발명에 의하면, 연결 전극을 화소 전극과 상이한 층에 형성하여 화소 전극이 연결 전극에 방해를 받지 않기 때문에, 화소 전극을 화소 영역에 극대화되도록 형성할 수 있으므로 개구율이 향상될 수 있다.According to the present invention, since the connection electrode is formed in a different layer from the pixel electrode, the pixel electrode is not disturbed by the connection electrode, so that the pixel electrode can be maximized in the pixel region, so that the aperture ratio can be improved.
이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니 하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the invention. Therefore, the technical scope of the present invention should not be limited to the contents described in the detailed description of the specification, but should be defined by the claims.
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KR20060046650A (en) * | 2004-04-09 | 2006-05-17 | 가부시키가이샤 히타치 디스프레이즈 | Display device |
KR20060074325A (en) * | 2004-12-27 | 2006-07-03 | 삼성전자주식회사 | Array substrate and display apparatus having the same |
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