KR101529468B1 - Ultra-low Frost-point Humidity Generator - Google Patents

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KR101529468B1
KR101529468B1 KR1020130168733A KR20130168733A KR101529468B1 KR 101529468 B1 KR101529468 B1 KR 101529468B1 KR 1020130168733 A KR1020130168733 A KR 1020130168733A KR 20130168733 A KR20130168733 A KR 20130168733A KR 101529468 B1 KR101529468 B1 KR 101529468B1
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ultra
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low
saturating
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KR1020130168733A
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최병일
우상봉
김종철
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한국표준과학연구원
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    • F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
    • F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
    • F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
    • F24F3/14—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by humidification; by dehumidification

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Abstract

The present invention relates to a ultra-low frost point humid air generator and, more specifically, to a ultra-low frost point humid air generator, which forms a two-temperature and two-pressure type ultra-low humidity gas generator having a saturation tank wherein heat exchange occurs between vapor and ice, a gas inflow and discharge pipe, a temperature and pressure control unit, a measuring unit, or the like. In a conventional ultra-low humidity gas generator, -95 to -40°C F.P of a low frost point reference area is expanded to -106 to -40°C F.P of the low frost point reference area by a ultra-low frost point humid air generator.

Description

극저상점 습공기 발생장치{Ultra-low Frost-point Humidity Generator}{Ultra-low Frost-point Humidity Generator}

본 발명은 극저상점 습공기 발생장치에 관한 것으로 더욱 상세하게는, 수증기와 얼음사이에 열교환이 일어나는 포화조, 기체 유입 및 배출관, 온도 및 압력 조절부, 측정부 등을 구비한 이온도-이압력식 극저습 기체발생장치를 형성함으로써, 저상점(low frost point) 표준영역이 (-95 ~ -40)℃ F.P인 종래의 극저습 기체발생장치에서 저상점 표준영역을 (-106 ~ -40)℃ F.P까지 확장시키는 극저상점 습공기 발생장치에 관한 것이다.
More particularly, the present invention relates to an ionizer with a saturating tank, a gas inflow and discharge pipe, a temperature and pressure regulating unit, a measuring unit, and the like in which heat exchange occurs between water vapor and ice. (-106 to -40) ° C in a conventional ultra-low-humidity generator with a low frost point standard range of (-95 to -40) ° C FP by forming the ultra- FP to a very low-store-shop humidifier.

각종 전자제품을 포함하여 새로운 제품을 개발할 때에는 제품의 기능적인 부분뿐만 아니라 주어진 환경에서의 정상적인 작동 여부의 테스트를 수행하게 되며, 상기 테스트에는 저온 및 고온에서의 정상 작동 여부 및 습도에 의한 정상 작동 여부를 측정하게 된다.When developing a new product including various electronic products, a functional part of the product as well as a normal operation of the product in a given environment is tested. The test includes a normal operation at a low temperature and a high temperature and a normal operation .

특히, 저상점 영역에서의 습도의 조절은 첨단산업의 진보에 있어 매우 중요한 문제로서, 반도체 공정, 디스플레이 산업 및 가스 산업 등과 같이 첨단기술을 필요로 하는 많은 공정에서는 야주 적은 양의 수분조차도 제품의 물성에 크게 영향을 미쳐 제품의 품질을 좌우하게 된다.In particular, the control of humidity in the low-store area is a very important issue in the advancement of the high-tech industry. In many processes requiring high-tech such as semiconductor processing, display industry and gas industry, And the quality of the product is influenced.

습도표준의 기준기로 채택되고 있는 종래의 습도발생장치는 포화기 기준방식으로써, 어느 특정 온도와 압력 하에서 공기를 포화시킨 다음에 이를 다른 온도와 압력으로 보내서 원하는 습공기를 발생시키는 것이다.Conventional humidity generators, which are adopted as reference standards for humidity standards, are saturator based systems in which air is saturated at a certain temperature and pressure and then sent to different temperatures and pressures to generate a desired humidifier.

이에는 이온도식(two-temperature)과 이압력식(two-pressure) 및 상기 이온도식과 이압력식을 혼합한 이온도-이압력식(two-temperature and two-pressure)이 있다.There are two-temperature, two-pressure and two-temperature and two-pressure ion schedules and ionic pressures.

상기 이온도식과 이압력식의 중요한 차이점은 상기 이온도식은 보통 대기압의 특정 온도에서 기체를 포화시킨 후 습공기를 다른 온도롤 보내는 반면, 상기 이압력식은 특정온도의 승압된 상태에서 기체를 포화 시킨 후 원하는 습공기를 갖도록 기체를 팽창시킨다는 차이점이 있다.An important difference between this ionic scheme and the ionic scheme is that the ionic scheme usually saturates the gas at a specific temperature of atmospheric pressure and then sends the wetcrush to another temperature roll while the pressure equation saturates the gas There is a difference in that the gas is inflated to have a desired humidifier.

상기 이압력식은 주어진 포화조 온도에서 포화조의 압력만을 변화시킴으로서 쉽고 빠르게 원하는 습공기의 밀도를 변화시킬 수 있는 반면에, 상기 이온도식은 포화조의 온도를 변화시키고 열적 평형상태가 될 때가지 기다려야 하므로 습공기의 변화가 매우 늦은 단점이 있다.This pressure equation can easily and quickly change the density of the desired wetting machine by changing only the pressure of the saturating bath at a given saturation bath temperature, while the ion scaling requires changing the temperature of the saturating bath and waiting for a thermal equilibrium state, There is a disadvantage that the change is very late.

하지만, 상기 이압력식은 공기의 압력을 감소시키는 확장밸브가 없으므로 습공기의 흐름을 상대적으로 단순화시키는 단점이 있어, 일반적인 습도발생장치는 이온도식으로 사용된다.However, since this pressure type has a disadvantage of relatively simplifying the flow of the humidifier because there is no expansion valve that reduces the air pressure, a general humidity generator is used as an ion scheme.

또한, 상기 이온도식은 대기압 근처에서 운용하기 때문에 부가계수에서 오는 불확도를 크게 줄일 수 있다.In addition, since the ion schematic operates near the atmospheric pressure, the uncertainty coming from the addition coefficient can be greatly reduced.

대한민국 공개특허공보 제10-2010-0112295호("분류식 습도발생장치, 2010.10.19.)에 상기와 같은 선행기술이 개시되어 있다.Korean Unexamined Patent Application Publication No. 10-2010-0112295 ("Separating type humidity generator, Oct. 19, 2010) discloses the prior art as described above.

하지만 종래의 습도발생장치는 반도체 산업 등 첨단산업에서 요구하는 노점을 달성하기 어려우며, -60℃ F.P. 이하의 습공기를 지속적이고 안정적으로 발생시키 어려운 문제점이 있다.
However, the conventional humidity generating apparatus is difficult to achieve the dew point required in high-tech industries such as the semiconductor industry, and it is difficult to continuously and stably generate the humidifier of -60 DEG C or less.

대한민국 공개특허공보 제10-2010-0112295호("분류식 습도발생장치, 2010.10.19.)Korean Patent Laid-Open Publication No. 10-2010-0112295 ("

본 발명은 상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 이온도식 극저상점 습공기 발생장치를 이온도-이압력식으로 형성함으로써, 기존의 상점 운용한계인 -95℃ F.P.를 -106℃ F.P.까지 확장할 수 있는 극저상점 습공기 발생장치를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in order to solve the above problems, and it is an object of the present invention to provide an ion- The present invention provides a very low-temperature shop humidifier capable of expanding to -106 DEG C FP.

특히, 본 발명의 목적은 이온도-이압력식 극저상점 습공기 발생장치를 형성함으로써, 온도와 습도를 동시에 측정할 수 있어 효율적일 뿐만 아니라, 온도조절과 압력조절이 용이하여 극저상점 습공기를 더욱 효과적으로 발생시킬 수 있는 극저상점 습공기 발생장치를 제공하는 것이다.Particularly, the object of the present invention is to provide a method and apparatus for measuring the temperature and humidity at the same time, Which is capable of providing a very low-temperature,

또한, 본 발명의 목적은 이온도-이압력식 극저상점 습공기 발생장치를 형성하여 극 저상점 습도표준의 영역을 확장시킴으로써, 반도체 등 첨단산업에서 급격히 사용량이 늘고 있는 정밀 가스수분 측정 장비인 CRDS, QCM, P205 수분계 등의 교정에 기준이 되는 표준 극저상점 습공기를 제공하는 극저상점 습공기 발생장치를 제공하는 것이다.
The object of the present invention is also to provide a CRDS, which is a precision gas moisture measuring device which is rapidly used in a high-tech industry such as semiconductor by expanding the range of the standard of extremely low-temperature humidity by forming an ion- QCM, P 2 0 5 moisture meter, and the like.

본 발명에 따른 극저상점 습공기 발생장치는 복수의 판 형상의 블록이 접합되어 형성되는 포화조; 상기 각각의 블록 내면에 공간부를 구비하도록 형성되는 열교환부; 상기 포화조의 일측에 구비되는 기체유입관; 상기 포화조의 타측에 구비되는 기체배출관; 상기 포화조 외면에 구비되는 온도조절부; 상기 기체유입관과 상기 기체배출관 상에 구비되는 압력조절부; 상기 포화조 내부에 구비되는 적어도 하나 이상의 온도측정수단과, 상기 포화조 내부에 구비되는 적어도 하나 이상의 압력측정수단을 포함하는 측정부; 상기 측정부로부터 측정된 데이터처리부; 및 상기 포화조 외측에 구비되는 보강재;를 포함하는 것을 특징으로 한다.The present invention relates to a very low-temperature point humidifier generating device, comprising: a saturated tank formed by joining a plurality of plate-shaped blocks; A heat exchanger formed on the inner surface of each block to have a space portion; A gas inlet pipe provided at one side of the saturating tank; A gas discharge pipe provided on the other side of the saturated tank; A temperature regulator provided on the outer surface of the saturator; A pressure regulator provided on the gas inlet pipe and the gas outlet pipe; A measuring unit including at least one temperature measuring unit provided in the saturating tank and at least one pressure measuring unit provided in the saturating tank; A data processing unit measured from the measuring unit; And a reinforcing member provided outside the saturator.

특히, 상기 포화조는 각각의 블록에 형성된 상기 열교환부가 서로 연결되는 연결부가 더 형성되는 것을 특징으로 한다.Particularly, the saturating tank may further include a connecting portion connecting the heat exchanging portions formed in the respective blocks.

또한, 상기 열교환부는 상기 블록에 나선형의 홈 형태로 형성되는 것을 특징으로 한다.Further, the heat exchanging part is formed in a spiral groove shape in the block.

또, 상기 온도조절부는 상기 포화조 상, 하 양측에 구비되는 냉각수단; 상기 냉각수단과 상기 포화조 사이에 구비되는 보조냉각수단; 및 상기 냉각수단과 상기 보조냉각수단을 제어하는 온도조절수단;을 포함하는 것을 특징으로 한다.The temperature regulating unit may include a cooling means provided on both sides of the saturating tank; An auxiliary cooling unit provided between the cooling water stage and the saturator; And a temperature control means for controlling the cooling water stage and the auxiliary cooling means.

아울러, 상기 압력조절부는 상기 기체유입관 상에 구비되는 유량조절수단; 및 상기 기체배출관 상에 구비되는 팽창밸브;를 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the pressure regulating unit may include a flow rate adjusting unit provided on the gas inlet pipe. And an expansion valve provided on the gas discharge pipe.

또한, 상기 포화조는 진공 챔버 내에 수용되는 것을 특징으로 한다.Further, the saturating tank is accommodated in the vacuum chamber.

또, 상기 극저습 기체발생장치는 상기 기체배출관 상에 구비되되, 상기 팽창밸브 후측에 구비되는 가열수단을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.Further, the extreme low humidity apparatus may further include a heating unit provided on the gas discharge pipe, the heating unit being disposed on the rear side of the expansion valve.

아울러, 상기 데이터처리부는 상기 분석수단의 분석 값을 표출하는 출력수단을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the data processing unit may further include output means for displaying an analysis value of the analysis means.

또한, 상기 포화조는 상기 포화조를 둘러싸는 복사차폐물이 더 구비되는 것을 특징으로 한다.The saturating tank may further include a radiation shield surrounding the saturating tank.

또, 상기 극저상점 습공기 발생장치는 상기 포화조 외측에 보강재가 더 구비되는 것을 특징으로 한다.
Further, the ultra-low-temperature shop humidifier device is further provided with a reinforcing material on the outside of the saturating tank.

본 발명에 따른 극저상점 습공기 발생장치는 이온도식 극저상점 습공기 발생장치를 이온도-이압력식으로 형성함으로써, 기존의 상점 운용한계인 -95℃ F.P.를 -106℃ F.P.까지 확장할 수 있는 장점이 있다.The present invention provides an advantage of expanding the existing shop operation limit of -95 캜 FP to -106 캜 FP by forming an ion-driven ultra-low pressure point humidifier by using an ion- have.

특히, 본 발명에 따른 극저상점 습공기 발생장치는 이온도-이압력식 극저상점 습공기 발생장치를 형성함으로써, 온도조절과 압력조절이 용이하여 극저상점 습공기를 더욱 효과적으로 발생시킬 수 있는 장점이 있다.In particular, the apparatus for generating ultra-low-temperature humidified water according to the present invention is advantageous in that it can more easily control the temperature and the pressure and can generate the ultra-low-temperature humidity humidifier more effectively by forming the ion-exchangeable ultra-low pressure point humidifier.

또한, 본 발명에 따른 극저상점 습공기 발생장치는 이온도-이압력식 극저상점 습공기 발생장치를 형성함으로써, 극저상점 습공기로 변화하는 온도와 압력을 동시에 측정할 수 있어, 측정시간이 감소되어 효율적이며, 장치의 부피 또한 감소되어 경제적인 효과가 있는 장점이 있다.In addition, the apparatus for generating ultra-low-temperature point humidifier according to the present invention can simultaneously measure the temperature and the pressure that change into the ultra-low-point humidity humidifier by forming the ion- , And the volume of the apparatus is also reduced, which is economical.

또, 본 발명에 따른 극저상점 습공기 발생장치는 냉각수단을 이중으로 구비함으로써, 기체 냉각이 효율적으로 이루어지는 장점이 있다.In addition, the ultra-low-temperature point humidifier generating apparatus according to the present invention is advantageous in that gas cooling can be efficiently performed by providing a double cooling means.

아울러, 본 발명에 따른 극저상점 습공기 발생장치는 이온도-이압력식 극저상점 습공기 발생장치를 형성하여 극 저상점 습도표준의 영역을 확장시킴으로써, 첨단산업의 발전에 따라 증가되는 정밀 수분을 측정하는 장비인 CRDS, QCM, P205 수분계 수분계 등의 교정수요에 부응하는 장점이 있다.
In addition, the apparatus for generating ultra-low-pressure point humidifier according to the present invention is capable of measuring the precision moisture which is increased with the development of high-tech industries, by expanding the range of the ultra low store humidity standard by forming the ion- It has the advantage of meeting the calibration needs such as CRDS, QCM, P 2 0 5 moisture meter moisture meter.

도 1은 종래의 극저상점 습공기 발생장치를 나타낸 도면.
도 2는 본 발명에 따른 극저상점 습공기 발생장치를 개념적으로 나타낸 도면.
도 3은 본 발명에 따른 극저상점 습공기 발생장치의 실시예를 나타낸 도면.
도 4는 본 발명에 따른 극저상점 습공기 발생장치의 보강재를 나타낸 도면.
도 5는 본 발명에 따른 극저상점 습공기 발생장치의 온도안정도를 나타낸 도면.
도 6은 본 발명에 따른 극저상점 습공기 발생장치 포화조의 포화능력을 나타낸 도면.
도 7은 본 발명에 따른 극저상점 습공기 발생장치 포화조의 수증기 밀도 변화를 나타낸 도면.
도 8은 본 발명에 따른 극저상점 습공기 발생장치를 이용하여 발생된 수증기 밀도를 측정한 결과를 나타낸 도면.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG.
2 is a conceptual view of an ultra low-temperature point humidifier generator according to the present invention.
3 is a view showing an embodiment of an ultra low-temperature point humidifier generator according to the present invention.
Fig. 4 is a view showing a reinforcement of the ultra-low-temperature shop humidifier according to the present invention. Fig.
5 is a view showing the temperature stability of the ultra-low-temperature point humidifier device according to the present invention.
FIG. 6 is a diagram showing the saturating ability of a saturated tank of an ultra low-temperature point humidifier according to the present invention. FIG.
7 is a graph showing a change in water vapor density in a saturated tank of a very low-temperature point humidifier according to the present invention.
8 is a graph showing a result of measuring the density of water vapor generated by using the ultra-low-temperature point humidifier according to the present invention.

이하 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명에 따른 극저상점 습공기 발생장치를 상세히 설명하기로 한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여, 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.Prior to this, terms and words used in the present specification and claims should not be construed in a conventional or dictionary sense, and the inventor should appropriately define the concept of the term to describe its invention in the best possible way The present invention should be construed in accordance with the spirit and concept of the present invention.

따라서, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.
Therefore, the embodiments described in this specification and the configurations shown in the drawings are merely the most preferred embodiments of the present invention and do not represent all the technical ideas of the present invention. Therefore, It is to be understood that equivalents and modifications are possible.

도 1은 종래의 극저상점 습공기 발생장치를 나타낸 도면이고, 도 2는 본 발명에 따른 극저상점 습공기 발생장치를 개념적으로 나타낸 도면이며, 도 3은 본 발명에 따른 극저상점 습공기 발생장치의 실시예를 나타낸 도면이고, 도 4는 본 발명에 따른 극저상점 습공기 발생장치의 보강재를 나타낸 도면이며, 도 5는 본 발명에 따른 극저상점 습공기 발생장치의 온도안정도를 나타낸 도면이고, 도 6은 본 발명에 따른 극저상점 습공기 발생장치 포화조의 포화능력을 나타낸 도면이며, 도 7은 본 발명에 따른 극저상점 습공기 발생장치 포화조의 수증기 밀도 변화를 나타낸 도면이고, 도 8은 본 발명에 따른 극저상점 습공기 발생장치를 이용하여 발생된 수증기 밀도를 측정한 결과를 나타낸 도면이다.
FIG. 2 is a conceptual view of an apparatus for generating a very low-temperature point humidifier according to the present invention. FIG. 3 is a schematic view showing an embodiment of a low- FIG. 4 is a view showing a stiffener of the ultra-low pressure point humidifier according to the present invention, FIG. 5 is a view showing the temperature stability of the ultra low pressure point humidifier according to the present invention, and FIG. FIG. 7 is a graph showing a change in water vapor density of a saturated tank of a very low-temperature shop humidifier according to the present invention, and FIG. 8 is a graph showing changes in water vapor density of a low- FIG. 3 is a graph showing the results of measurement of the density of water vapor generated by the method of FIG.

도 2 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 극저상점 습공기 발생장치(1000)는 크게 복수의 판 형상의 블록이 접합되어 형성되는 포화조(100), 상기 각각의 블록 내면에 공간부를 구비하도록 형성되는 열교환부(110), 상기 포화조(100)의 일측 및 타측에 구비되는 기체유입관(200)과 기체배출관(300), 온도조절을 위한 온도조절부(400), 압력조절을 위한 압력조절부(500) 및 측정부(600)와 데이터처리부(700)로 이루어진다.
2 to 3, the ultra-low-temperature point humidifier generating apparatus 1000 according to the present invention mainly includes a saturated tank 100 formed by joining a plurality of plate-shaped blocks, and a space portion A gas inlet pipe 200 and a gas outlet pipe 300 provided at one side and the other side of the saturating tank 100, a temperature control unit 400 for temperature control, a pressure control unit And a data processing unit 700. The data processing unit 700 includes a data processing unit 700, a measurement unit 600,

상기 포화조(100)는 내부에 공간부를 구비하는 열교환부(110)와, 상기 포화조(100) 내부에 수용되는 적어도 하나 이상의 열교환수단을 포함한다.The saturating tank 100 includes a heat exchanging unit 110 having a space therein and at least one heat exchanging unit accommodated in the saturating tank 100.

상기 포화조(100)는 온도의 안전도 및 균일성을 위하여 열전도성이 좋은 무산소동(Oxygen-free high conductivity cooper, OFHC) 블록이 적어도 하나 이상 접합되어 형성된다.The saturating tank 100 is formed by joining at least one oxygen-free high conductivity cooper (OFHC) block having good thermal conductivity for safety and uniformity of temperature.

또한, 상기 포화조(100)는 상기 측정부(600)가 구비되는 2개의 블록과 상측과 하측을 지지하는 2개의 블록 및 4개의 상기 열교환수단이 형성되는 4개, 총 7개의 무산소동 블록으로 형성되지만, 이에 한정하지는 않는다.In addition, the saturating tank 100 is divided into four blocks, ie, a total of seven oxygen-free copper blocks, in which two blocks having the measuring unit 600, two blocks supporting the upper and lower sides, and four heat- But is not limited thereto.

아울러, 상기 포화조(100)를 이루는 무산소동 블록의 표면은 산화방지를 위하여 니켈로 코팅되고, 복수의 무산소동 블록이 진공 용접 된 후, 금으로 도금되어 형성된다.In addition, the surface of the oxygen-free copper block constituting the saturating tank 100 is coated with nickel to prevent oxidation, and a plurality of oxygen-free copper blocks are vacuum-welded and then plated with gold.

상기 포화조(100)는 표면이 금으로 도금됨으로써, 열전도도가 증진되는 효과가 있다.The surface of the saturating tank 100 is plated with gold, thereby improving the thermal conductivity.

상기 열교환부(110)는 상기 기체유입관(200)으로부터 유입되는 기체의 흐름과 열교환이 원활하게 일어나도록 하기 위하여 상기 포화조(100)를 이루는 블록의 표면에 나선형태의 홈으로 형성될 수 있다.The heat exchanging part 110 may be formed as a spiral groove on the surface of the block constituting the saturating tank 100 in order to facilitate the heat exchange with the flow of the gas flowing from the gas inlet pipe 200 .

본 발명의 일실시예에 따른 상기 열교환부(110)는 상기 포화조(100) 내부에 깊이 9.5mm, 폭9.3mm, 길이 7m의 나선형태로 밀링 가공되어 형성되며, 홈 내부에 열교환매체를 수용한다.The heat exchange unit 110 according to an embodiment of the present invention is formed by milling a spiral shape having a depth of 9.5 mm, a width of 9.3 mm, and a length of 7 m in the saturating tank 100, do.

상기 열교환매체는 물 또는 얼음일 수 있으며, 본 발명의 일실시예에 따른 극저습 기체발생장치(100)의 열교환수단은 내부 공간 일부분에 물을 채워 냉각시켜 얼음 상태로 변화시킨다.The heat exchange medium may be water or ice, and the heat exchanging means of the apparatus 100 for generating an ultra-low humidity gas according to an embodiment of the present invention is filled with water to cool part of the internal space to change into an ice state.

상기 열교환수단은 상기 열교환매체를 수용함으로써, 외부로부터 유입되는 기체가 열교환되게 하여, 유입된 기체가 포화습기체로 변화되도록 하는 역할을 한다.The heat exchanging means accommodates the heat exchange medium, thereby allowing the gas introduced from the outside to heat-exchange, thereby changing the introduced gas into the saturated moisture.

상기 기체유입관(200)은 상기 포화조(100)의 일측에 구비되며, 상기 기체배출관(300)은 상기 포화조(100)의 타측에 구비되되, 상기 기체유입관(200)과 상기 기체배출관(300)은 상기 열교환부(110)와 연통되도록 구비된다. The gas inlet pipe 200 is provided on one side of the saturating tank 100 and the gas exhaust pipe 300 is provided on the other side of the saturated tank 100. The gas inlet pipe 200, (300) communicates with the heat exchange unit (110).

본 발명에 따른 극저상점 습공기 발생장치(1000)는 상기 기체유입관(200)이 상기 포화조(100)의 하측에 구비되며, 상기 기체배출관(300)은 상기 포화조(100)의 상측에 구비되되, 상기 기체유입관(200)과 상기 기체배출관(300)이 마주보도록 구비된다.The gas inflow pipe 200 is provided on the lower side of the saturating tank 100 and the gas exhaust pipe 300 is provided on the upper side of the saturating tank 100. [ The gas inlet pipe 200 and the gas outlet pipe 300 are provided so as to face each other.

아울러, 상기 기체유입관(200) 및 기체배출관(300)은 상기 기체유입관(200) 및 기체배출관(300)으로부터의 열유입으로 인한 상기 포화조(100) 내부의 열적 분포가 대칭을 이루도록 하기 위하여, 상기 포화조(100)의 중앙부에 구비된다.The gas inlet pipe 200 and the gas discharge pipe 300 may be formed so that the thermal distribution inside the saturating tank 100 due to heat input from the gas inlet pipe 200 and the gas discharge pipe 300 is symmetrical And is provided at the center of the saturating tank 100.

물론, 상기에 기재된 상기 기체유입관(200) 및 상기 기체배출관(300)이 구비되는 위치는 본 발명의 목적에 벗어남 없이 다양하게 구비될 수 있다.
Of course, the positions of the gas inlet pipe 200 and the gas discharge pipe 300 described above may be variously provided without departing from the object of the present invention.

상기 온도조절부(400)는 상기 포화조(100)의 상, 하 양측에 구비되는 냉각수단(410)과 상기 냉각수단(410)과 상기 포화조(100) 사이에 구비되는 보조냉각수단(420) 및 상기 냉각수단(410)과 상기 보조냉각수단(420)을 제어하는 온도조절수단(430)을 포함한다.The temperature regulating unit 400 includes cooling means 410 provided on both sides of the saturated tank 100 and auxiliary cooling means 420 provided between the cooling means 410 and the saturated tank 100 And a temperature control means 430 for controlling the cooling means 410 and the auxiliary cooling means 420.

상기 냉각수단(410)은 상기 보조냉각수단(420)을 냉각하며, 상기 보조냉각수단(420)은 상기 냉각수단(410)보다 더 낮은 온도로 상기 포화조(100)를 냉각한다.The cooling means 410 cools the auxiliary cooling means 420 and the auxiliary cooling means 420 cools the saturating tank 100 to a lower temperature than the cooling means 410.

즉, 상기 온도조절부(400)는 상기 냉각수단(410)과 상기 보조냉각수단(420)을 구비하여 이중으로 냉각함으로써, 온도조절이 용이하고 온도의 안정도가 강화되는 효과가 있다.That is, the temperature regulating unit 400 includes the cooling unit 410 and the auxiliary cooling unit 420 so that the temperature is easily adjusted and the temperature stability is enhanced.

상기 냉각수단(410)은 에틸렌가스로 운용되는 냉동기가 권장되나 이에 한정하지 않으며, 상기 보조냉각수단(420)은 펠티어 열전소자가 8개 구비된 것이 권장되나, 상기에 기재된 재질 및 개수에 한정하지 않는다.Although it is recommended that the cooling means 410 be a refrigerator operated by ethylene gas, it is not limited thereto, and it is recommended that the auxiliary cooling means 420 be provided with eight Peltier thermoelectric elements. However, Do not.

이 때, 상기 보조냉각수단(420)은 열전달 효율을 높이기 위하여 상기 냉각수단(410) 및 상기 포화조(100)와 편평도를 높이고 표면 상태를 고르게 하는 것이 바람직하다.At this time, it is preferable that the auxiliary cooling means 420 has a flatness with respect to the cooling means 410 and the saturating tank 100 to increase the heat transfer efficiency and to even out the surface condition.

상기 온도조절수단(430)은 PID제어기(Proportional integral derivative control)일 수 있으며, 상기 온도조절수단(430)은 상기 포화조(100)의 상측과 하측에 구비된다.The temperature adjusting means 430 may be a PID controller (Proportional Integral Derivative Control), and the temperature adjusting means 430 may be provided on the upper side and the lower side of the saturating tank 100.

아울러, 상기 포화조(100)와 상기 냉각수단(410) 사이를 지지하는 지지부는 외부의 열전달을 최소화하기 위하여, 0.1mm의 스테인레스 튜브로 형성된다.
In addition, the support for supporting between the saturating tank 100 and the cooling means 410 is formed of a stainless steel tube of 0.1 mm in order to minimize external heat transfer.

본 발멸에 따른 극저상점 습공기 발생장치(1000)는 기존의 이온도식에서 이온도-이압력식으로 개조한 것으로, 이를 위해서는 전체시스템이 높은 압력에 견딜수 있어야 하므로, 압력유지를 위한 팽창밸브(520), 가스라인내의 흡/탈착 보완 시스템, 상기 포화조(100)를 고압력에서의 보강을 위한 보강재(910) 및 압력 측정을 위한 압력측정수단(620) 등이 필요하다.Since the entire system is required to withstand a high pressure, the expansion valve 520 for maintaining the pressure is installed in the ultra-low-temperature point humidifier 1000 according to the present invention, A suction / desorption supplementing system in the gas line, a stiffener 910 for reinforcing the saturating tank 100 at a high pressure, and a pressure measuring means 620 for measuring the pressure.

상기에 기재된 바와 같이, 본 발명에 따른 극저상점 습공기 발생장치(1000)는 상기 압력조절부(500)가 구비되며, 상기 압력조절부(500)는 상기 기체유입관(200) 상에 구비되는 유량조절수단(510)과 상기 기체배출관(300) 상에 구비되는 팽창밸브(520)를 포함한다.As described above, the ultra-low-temperature humidifier generator 1000 according to the present invention is provided with the pressure regulator 500, and the pressure regulator 500 regulates the flow rate of the gas supplied to the gas inflow pipe 200 And includes an adjusting means 510 and an expansion valve 520 provided on the gas discharge pipe 300.

본 발명에 따른 극저상점 습공기 발생장치(1000)에서는 상기 유량조절수단(510)은 MFC(Teledyne HMC-202)로 설치하였고, 상기 팽창밸브(520)는 Metric밸브(Swagelok SS-4BMG-VCR)로 설치하였다.The inflow valve 520 is connected to a Metric valve (Swagelok SS-4BMG-VCR), and the expansion valve 520 is connected to the metric valve (Swagelok SS-4BMG-VCR) Respectively.

상기 압력조절부(500)는 상기 유량조절수단(510)과 상기 팽창밸브(520)를 통해 상기 포화조(100) 내의 압력을 일정하게 유지할 수 있다.The pressure regulator 500 can maintain the pressure in the saturator 100 constant through the flow regulator 510 and the expansion valve 520.

상기 보강재(910)는 도 4에 도시된 바와 같이, 고압에서 견디기 위해 특히, 상기 포화조(100)가 5기압 정도에서 견딜 수 있도록 형성하여 설치된다.As shown in FIG. 4, the stiffener 910 is installed in such a manner that the saturator 100 is able to withstand a high pressure of 5 atm.

또한, 상기 보강재(910)는 상기 포화조(100) 네 방면에 설치되는 것이 권장되나, 목적에 벗어남 없이 다양한 설치형태의 실시예가 가능하다.Although it is recommended that the reinforcing member 910 be installed on the four sides of the saturating tank 100, it is possible to provide various embodiments without departing from the purpose.

이 때, 상기 보강재(910)는 스테인레스 스틸의 재질로 제작되는 것이 권장되며, 상기 포화조(100)의 온도안정에 영향을 미치는 것을 감소시키기 위해 상기 포화조(100) 접촉면에 솜으로 절연시키는 것이 권장된다.At this time, it is recommended that the reinforcing member 910 be made of stainless steel, and it is desirable to insulate the contact surface of the saturating tank 100 with a cotton to reduce the influence on the temperature stability of the saturating tank 100 Recommended.

상기 압력측정수단(620)은 상기 측정부(600)에 포함되며, 이온도-이압력식으로 운용되는 본 발명에 따른 극저상점 습공기 발생장치(1000)의 압력을 계측하여 안전한 작동을 하게 하며, 상기 압력측정수단(620)은 상기 측정부(600)에 포함된다.The pressure measuring unit 620 is included in the measuring unit 600 and measures the pressure of the ultra-low pressure point humidifier 1000 according to the present invention in which the ion- The pressure measuring unit 620 is included in the measuring unit 600.

상기 측정부(600)는 상기 포화조(100) 내부에 구비되는 적어도 하나 이상의 온도측정수단(610)과 상기 포화조(100) 내부에 구비되는 적어도 하나 이상의 압력측정수단(620)을 포함한다.The measuring unit 600 includes at least one temperature measuring unit 610 provided in the saturating tank 100 and at least one pressure measuring unit 620 provided in the saturating tank 100.

상기 온도측정수단(610)은 상기 포화조(100)의 상측 및 하측에 구비되며, 백금저항온도계일 수 있다.The temperature measuring means 610 is provided on the upper side and the lower side of the saturating tank 100 and may be a platinum resistance thermometer.

이 때, 상기 온도측정수단(610)은 상기 포화조(100) 내부의 온도를 측정하기 위하여 상기 포화조(100) 내부에 적어도 하나 이상 구비되며, 상기 포화조(100) 내부에 구비되는 온도측정수단(610)은 캡슐형태의 25Ω 표준백금저항온도계(Standard Platinum Resistance Thermometer, SSRT)일 수 있으며, 이에 한정하지는 않는다.At this time, at least one temperature measuring unit 610 is provided in the saturating tank 100 to measure the temperature inside the saturating tank 100, and temperature measurement The means 610 may be, but is not limited to, a capsule of a 25 Ω Standard Platinum Resistance Thermometer (SSRT).

상기 압력측정수단(620)은 압력을 측정하는 압력계로 구비될 수 있으며, 상기 포화조(100)의 일측에 상기 열교환부와 연통되도록 구비되어 상기 포화조(100) 내부의 압력을 측정한다.The pressure measuring unit 620 may be provided as a pressure gauge for measuring the pressure. The pressure measuring unit 620 is provided at one side of the saturated tank 100 to communicate with the heat exchanging unit to measure the pressure inside the saturated tank 100.

아울러, 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 극저상점 습공기 발생장치(1000)는 이온도-이압력식으로 운용하기 위한 흡/탈착 보완 시스템으로 상기 기체배출관(300) 상에 가열수단(310)을 더 구비할 수 있다.3, an apparatus 1000 for generating ultra-low-temperature point humidified water according to the present invention is an absorption / desorption / supplementation system for operating an ion- 310).

상기 극저상점 습공기 발생장치(1000)에 유입되는 기체는 반도체 공정 등에 사용되는 기체로 액체질소로부터 증발된 기체 등의 극저습 상태의 기체이며, 노점이 높은 기체가 지속적으로 유입되어 상기 극저습 기체발생장치(1000)를 장시간 사용할 경우, 기체가 상기 포화조(100)에서 얼음을 형성하여 상기 기체배출관(300)을 막을 수 있다.The gas introduced into the ultra-low temperature spot humidifier 1000 is a gas used in a semiconductor process or the like and is extremely low in vapor state such as gas evaporated from liquid nitrogen. The gas having a high dew point is continuously introduced, When the apparatus 1000 is used for a long time, the gas can form ice in the saturating tank 100 to block the gas exhaust pipe 300.

다시 말해, 상기 유량조절수단(510)에 의해 정해진 유량이 입력된 가스는 상기 포화조(100)의 온도와 압력 하에서 포화된 습공기가 된 후, 상기 팽창밸브(520)를 통하여 대기압으로 출력되는데, 극저상점 영역에서는 출력 가스라인에서의 흡/탈착이 수분값에 큰 영향을 미칠 수 있다.In other words, the gas to which the flow rate determined by the flow rate regulating means 510 is inputted is output to the atmospheric pressure through the expansion valve 520 after being saturated with the pressure of the saturator 100 under the temperature and pressure, In the case of a very low store area, intake / desorption in the output gas line can have a large influence on the moisture value.

따라서, 본 발명에 따른 상기 극저상점 습공기 발생장치(1000)는 상기 기체배출관(300) 상에 1m의 전해연마(Electrolytic polishing, EP) 처리된 가열수단(310)을 구비하며, 상기 가열수단(310)은 100℃ 이상 가열 가능하므로, 극 저노점(-90℃ D.P 이하)의 발생시에도 상기 기체배출관(300) 내부의 수분을 증발시켜 상기 기체배출관(300)이 막히는 것을 방지할 수 있다.The apparatus for generating ultra-low water purity water according to the present invention includes a heating means 310 having a 1 m electrolytic polishing (EP) treatment on the gas discharge pipe 300, ) Can be heated to 100 ° C or more, so that even when a very low dew point (-90 ° C or less) occurs, moisture inside the gas discharge pipe 300 is evaporated to prevent the gas discharge pipe 300 from being clogged.

이 때, 상기 가열수단(310)은 상기 팽창밸브(520) 후측에 구비되는 것이 바람직하다.
At this time, it is preferable that the heating means 310 is provided on the rear side of the expansion valve 520.

상기 데이터처리부(700)는 상기 측정부(600)로부터 데이터를 수신받아 분석하는 분석수단(710)과 상기 분석수단(710)의 분석 값을 표출하는 출력수단(720)을 포함한다.The data processing unit 700 includes an analyzing unit 710 for receiving and analyzing data from the measuring unit 600 and an output unit 720 for displaying an analysis value of the analyzing unit 710.

상기 분석수단(710)은 상기 온도측정수단(610) 및 상기 압력측정수단(620)으로부터 온도 및 압력정보를 수신하며, 상기 온도 및 압력 정보를 바탕으로 포화수증기압 및 부가계수 등을 계산하고, 대기압력으로부터의 상점 및 수증기 밀도로 환산하여 상기 출력수단(720)으로 표출한다.The analysis means 710 receives temperature and pressure information from the temperature measurement means 610 and the pressure measurement means 620 and calculates a saturated water vapor pressure and an addition coefficient based on the temperature and pressure information, Converted into a shop and a density of steam from pressure, and is output to the output means 720.

상기 분석수단(710)은 컴퓨터, 단말기 등일 수 있으며, 상기 출력수단(720)은 모니터 등일 수 있되, 상기에 기재된 수단에 한정하지는 않고 다양한 수단의 실시예가 가능함은 물론이다.
The analyzing means 710 may be a computer, a terminal, or the like, and the outputting means 720 may be a monitor or the like, but the present invention is not limited to the means described above.

본 발명에 따른 극저상점 습공기 발생장치(1000)의 상기 포화조(100)는 진공 챔버(900) 내에 수용될 수 있다.The saturating tank 100 of the ultra-low-temperature point humidifier 1000 according to the present invention may be accommodated in the vacuum chamber 900.

아울러, 본 발명에 따른 극저상점 습공기 발생장치(1000)는 복사차폐물(800)에 둘러쌓여 상기 진공 챔버(900) 내 수용될 수 있다.In addition, the ultra-low-temperature step humidifier 1000 according to the present invention may be enclosed in the radiation shield 800 and accommodated in the vacuum chamber 900.

상기 복사차폐물(800)은 얇은 마일러(mylar)일 수 있으며, 상기 진공 챔버(900)의 내벽으로부터 복사열의 전달을 최소화시킨다.The radiation shield 800 may be a thin mylar to minimize transfer of radiant heat from the inner wall of the vacuum chamber 900.

본 발명의 일실시예에 따른 상기 복사차폐물(800)은 얇은 마일러를 3겹으로 감싼 것이나, 이에 한정하지는 않는다.
The radiation shield 800 according to an embodiment of the present invention is not limited to a three-ply wrapped thin mylar.

본 발명에 따른 극저상점 습공기 발생장치(1000)는 이온도식 극저상점 습공기 발생장치를 이온도-이압력식으로 형성함으로써, 기존의 상점 운용한계인 -95℃ F.P.를 -106℃ F.P.까지 확장할 수 있는 장점이 있다.The apparatus for generating ultra-low-pressure point humidifier 1000 according to the present invention can expand the existing shop operation limit of -95 ° C to -106 ° C FP by forming an ion- There is an advantage.

특히, 본 발명에 따른 극저상점 습공기 발생장치(1000)는 이온도-이압력식 극저상점 습공기 발생장치를 형성함으로써, 온도조절과 압력조절이 용이하여 극저상점 습공기를 더욱 효과적으로 발생시킬 수 있는 장점이 있다.In particular, the apparatus for generating ultra-low-temperature point humidifier 1000 according to the present invention is advantageous in that it can more easily control temperature and pressure and can generate ultra-low-temperature shop humidifiers more effectively by forming an ion- have.

또한, 본 발명에 따른 극저상점 습공기 발생장치(1000)는 이온도-이압력식 극저상점 습공기 발생장치를 형성함으로써, 극저상점 습공기로 변화하는 온도와 압력을 동시에 측정할 수 있어, 측정시간이 감소되어 효율적이며, 장치의 부피 또한 감소되어 경제적인 효과가 있는 장점이 있다.In addition, the apparatus for generating ultra-low-temperature point humidifier 1000 according to the present invention can simultaneously measure the temperature and the pressure that are changed by ultra-low temperature humidifiers, So that the volume of the apparatus is also reduced, which is advantageous in that it is economical.

또, 본 발명에 따른 극저상점 습공기 발생장치(1000)는 냉각수단을 이중으로 구비함으로써, 기체 냉각이 효율적으로 이루어지는 장점이 있다.
In addition, the ultra-low-temperature step humidifier generating apparatus 1000 according to the present invention is advantageous in that gas cooling can be efficiently performed by providing a double cooling means.

본 발명에 따른 극저상점 습공기 발생장치(1000)를 이용한 성능 평가를 좀 더 상세히 설명한다.Performance evaluation using the ultra-low-temperature point humidifier generator 1000 according to the present invention will be described in more detail.

도 5는 본 발명에 따른 극저상점 습공기 발생장치(1000)의 온도안정도를 나타낸 도면이다.FIG. 5 is a diagram showing the temperature stability of the ultra-low-temperature point humidifier 1000 according to the present invention.

도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 극저상점 습공기 발생장치(1000)는 이온도-이압력식으로 상기 포화조(100)에 압력과 유량이 변하게 되므로 온도가 변화하는데 상기 포화조(100)의 큰 열용량으로 인하여 온도가 안정화 되는데, 많은 시간이 필요하다.As shown in FIG. 5, the apparatus for generating ultra-low temperature humid air according to the present invention 1000 has a structure in which the pressure and the flow rate are changed in the saturation tank 100 by the ion- ), The temperature is stabilized due to the large heat capacity, which requires much time.

변환 직후 온도가 35mK 정도의 요동이 보이나, 3시간 후 안정을 찾아 가며, 상기 포화조(100)의 온도는 5mK 이내에서 안정됨을 보인다.
The temperature of the saturating tank 100 is stable within 5 mK.

도 6은 본 발명에 따른 극저상점 습공기 발생장치(1000)의 상기 포화조(100)의 포화능력을 나타낸 도면이다.6 is a diagram showing saturation capability of the saturating tank 100 of the ultra-low-temperature point humidifier generator 1000 according to the present invention.

상기 포화조(100) 내에서 습공기는 충분히 얼음의 표면과 접촉하여 열적 평형 상태를 유지하고 포화가 되어야 한다.In the saturating tank 100, the humidifier must sufficiently contact the surface of ice to maintain the thermal equilibrium state and to be saturated.

만약 출력되는 습공기가 충분히 포화되지 않았다면, 이는 과다?? ??량의 유입 또는 상기 포화조(!00)에 입력되는 가스의 온도 등을 살펴봐야 한다.If the humidifier output is not saturated enough, this is excessive. The temperature of the gas entering the saturated tank (! 00), and the like should be examined.

일반적으로 상기 포화조(100)의 포화능력 평가는 입력되는 가스의 유량을 변화시키면서 출력되는 가스의 상점 혹은 수증기 밀도를 관찰하게 된다.In general, the saturation capability of the saturating tank 100 is evaluated by observing the output of the gas or the density of the water vapor while changing the flow rate of the input gas.

도 6의 (a)는 포화조의 온도 -95℃, 압력 720kPa를 유지하면서 입력가스의 유량을 증가시키면서 관측한 결과이며, 상기에 기재된 결과 본 발명에 따른 극저상점 습공기 발생장치(1000)의 상기 포화조(100)의 포화 능력이 5ppb내에서 충분하다는 결과를 나왔다.6 (a) is a result of observing while increasing the flow rate of the input gas while maintaining the saturation temperature of the saturator at -95 DEG C and the pressure of 720 kPa. As a result of the above, the saturation of the saturated vapor of the ultra- The saturation capability of the tank 100 is sufficient within 5 ppb.

도 7은 포화조(100)와 습도측정수단(630)의 연결관에서의 수증기 밀도 변화를 나타낸 도면으로, 도 7에 도시된 바와 같이 수송관의 온도를 150℃ 정도까지 갑자기 올리면, 수송관 표면에 흡착된 물이 탈착하면서 수증기 밀도가 급격히 증가하며, 수송관의 열을 내리면 흡착이 일어나면서 수증기 밀도가 감소하여 4~8시간 이후 안정되는 결과를 얻었다.7 is a graph showing changes in the density of water vapor in the connection pipe between the saturating tank 100 and the humidity measuring means 630. As shown in FIG. 7, when the temperature of the transport pipe is suddenly increased to about 150 ° C, , The density of water vapor increased sharply as the adsorbed water was desorbed. When the heat of the transport pipe was lowered, the adsorption occurred, and the density of the water vapor decreased to stabilize after 4 to 8 hours.

상기에 기재된 관찰 결과 (a)는 히팅 전 후, 약 0.2ppb 정도의 차이를 보였으며, 이는 상점으로 0.18℃에 해당된다.The observation results (a) described above showed a difference of about 0.2 ppb after the heating, which corresponds to 0.18 캜 at the store.

(b)는 가열 전 후 약 0.4ppb 정도의 차이를 보이며, 이는 상점으로 0.13℃에 해당하고, (c)는 가열 전 후 약 0.4ppb 정도의 차이를 보이며, 이는 상점으로 0.07℃에 해당된다.
(b) shows a difference of about 0.4ppb after the heating, which corresponds to 0.13 ° C for the store, and (c) about 0.4ppb after the heating, which corresponds to 0.07 ° C for the store.

도 8은 이온도-이압력식으로 개조된 본 발명에 따른 극저상점 습공기 발생장치(1000)를 이용하여 발생된 수증기 밀도를 측정한 결과이다.FIG. 8 is a result of measuring the density of water vapor generated by using the ultra-low pressure point humidifier 1000 according to the present invention, which has been modified to have ionic conductivity.

도 8에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 극저상점 습공기 발생장치(1000)는 6ppb(-106℃ F.P.) 까지의 발생능력을 보여주고 있다.
As shown in FIG. 8, the ultra-low-temperature point humidifier generator 1000 according to the present invention shows an ability to generate up to 6 ppb (-106 ° C FP).

본 발명에 따른 극저상점 습공기 발생장치(1000)는 상기에 실험 결과와 같이, 이온도-이압력식 극저상점 습공기 발생장치를 형성하여 극 저상점 습도표준의 영역을 확장시킴으로써, 첨단산업의 발전에 따라 증가되는 정밀 수분을 측정하는 장비인 CRDS, QCM, P205 수분계 수분계 등의 교정수요에 부응하는 장점이 있다.
The apparatus for generating ultra-low-pressure point humidifier 1000 according to the present invention can be applied to the development of high-tech industries by expanding the range of ultra-low-point humidity standard by forming ion- There is an advantage to meet the demand for calibration such as CRDS, QCM, P 2 0 5 moisture meter moisture meter which is an equipment to measure the precision moisture increasing accordingly.

1000 : 극저상점 습공기 발생장치
100 : 포화조
110 : 열교환부 120 : 연결부
200 : 기체유입관
300 : 기체배출관 310 : 가열수단
400 : 온도조절부
410 : 냉각수단 420 : 보조냉각수단
430 : 온도조절수단
500 : 압력조절부
510 : 유량조절수단 520 : 팽창밸브
600 : 측정부
610 : 온도측정수단
620 : 압력측정수단
630 : 습도측정수단
700 : 데이터처리부
710 : 분석수단 720 : 출력수단
800 : 복사차폐물
900 : 진공 챔버
910 : 보강재1000: Very low-priced shop moisture generator
100: Saturated tank
110: heat exchanger 120:
200: gas inlet pipe
300: gas exhaust pipe 310: heating means
400: Temperature control unit
410: cooling means 420: auxiliary cooling means
430: Temperature control means
500: Pressure regulator
510: Flow regulating means 520: Expansion valve
600:
610: Temperature measuring means
620: Pressure measuring means
630: Means for measuring humidity
700:
710: Analyzing means 720: Outputting means
800: Radiation shielding
900: vacuum chamber
910: Stiffener

Claims (9)

복수의 판 형상의 블록이 접합되어 형성되는 포화조(100);
상기 각각의 블록 내면에 공간부를 구비하도록 형성되는 열교환부(110);
상기 포화조(100)의 일측에 구비되는 기체유입관(200);
상기 포화조(100)의 타측에 구비되는 기체배출관(300);
상기 포화조(100) 외면에 구비되는 온도조절부(400);
상기 기체유입관(200)과 상기 기체배출관(300) 상에 구비되는 압력조절부(500);
상기 포화조(100) 내부에 구비되는 적어도 하나 이상의 온도측정수단(610)과, 상기 포화조(100) 내부에 구비되는 적어도 하나 이상의 압력측정수단(620)을 포함하는 측정부(600);
상기 측정부(600)로부터 측정된 데이터를 수신받아 분석하는 분석수단(710)을 포함하는 데이터처리부(700); 및
상기 포화조(100) 외측에 구비되는 보강재(910);를 포함하는 것을 특징으로 하는 극저상점 습공기 발생장치.
A saturated tank 100 formed by joining a plurality of plate-shaped blocks;
A heat exchange unit 110 formed to have a space on the inner surface of each of the blocks;
A gas inlet pipe 200 provided at one side of the saturating tank 100;
A gas exhaust pipe 300 provided on the other side of the saturating tank 100;
A temperature controller 400 provided on the outer surface of the saturator 100;
A pressure regulator 500 provided on the gas inlet pipe 200 and the gas outlet pipe 300;
A measuring unit 600 including at least one temperature measuring unit 610 provided in the saturating tank 100 and at least one pressure measuring unit 620 provided in the saturating tank 100;
A data processing unit 700 including an analysis unit 710 for receiving and analyzing data measured by the measurement unit 600; And
And a reinforcing member (910) provided outside the saturating tank (100).
제 1항에 있어서,
상기 포화조(100)는
각각의 블록에 형성된 상기 열교환부(110)가 서로 연결되는 연결부(120)가 더 형성되는 것을 특징으로 하는 극저상점 습공기 발생장치.
The method according to claim 1,
The saturating tank (100)
Further comprising a connection part (120) connecting the heat exchanging part (110) formed in each block to each other.
제 1항에 있어서,
상기 열교환부(110)는
상기 블록에 나선형의 홈 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 극저상점 습공기 발생장치.
The method according to claim 1,
The heat exchanging unit 110
Wherein the block is formed in a spiral groove shape in the block.
제 1항에 있어서,
상기 온도조절부(400)는
상기 포화조(100) 상, 하 양측에 구비되는 냉각수단(410);
상기 냉각수단(410)과 상기 포화조(100) 사이에 구비되는 보조냉각수단(420); 및
상기 냉각수단(410)과 상기 보조냉각수단(420)을 제어하는 온도조절수단(430);을 포함하는 것을 특징으로 하는 극저상점 습공기 발생장치.
The method according to claim 1,
The temperature controller 400
Cooling means 410 provided on both sides of the saturating tank 100;
An auxiliary cooling means (420) provided between the cooling means (410) and the saturating tank (100); And
And a temperature control means (430) for controlling the cooling means (410) and the auxiliary cooling means (420).
제 1항에 있어서,
상기 압력조절부(500)는
상기 기체유입관(200) 상에 구비되는 유량조절수단(510); 및
상기 기체배출관(300) 상에 구비되는 팽창밸브(520);를 포함하는 것을 특징으로 하는 극저상점 습공기 발생장치.
The method according to claim 1,
The pressure regulator (500)
A flow rate adjusting means 510 provided on the gas inlet pipe 200; And
And an expansion valve (520) provided on the gas discharge pipe (300).
제 1항에 있어서,
상기 포화조(100)는
진공 챔버(900) 내에 수용되는 것을 특징으로 하는 극저상점 습공기 발생장치.
The method according to claim 1,
The saturating tank (100)
Is housed in the vacuum chamber (900).
제 5항에 있어서,
상기 극저상점 습공기 발생장치(1000)는
상기 기체배출관(300) 상에 구비되되, 상기 팽창밸브(520) 후측에 구비되는 가열수단(310)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 극저상점 습공기 발생장치.
6. The method of claim 5,
The ultra-low-point shop humidifier generator (1000)
Further comprising a heating means (310) provided on the gas discharge pipe (300) and provided on the rear side of the expansion valve (520).
제 1항에 있어서,
상기 데이터처리부(700)는
상기 분석수단(710)의 분석 값을 표출하는 출력수단(720)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 극저상점 습공기 발생장치.
The method according to claim 1,
The data processing unit 700
Further comprising an output means (720) for displaying an analysis value of the analyzing means (710).
제 6항에 있어서,
상기 포화조(100)는
상기 포화조(100)를 둘러싸는 복사차폐물(800)이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 극저상점 습공기 발생장치.
The method according to claim 6,
The saturating tank (100)
Further comprising a radiation shield (800) surrounding the saturator (100).
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