KR101522786B1 - Multilayered substrate and method of manufacturing the same - Google Patents

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Abstract

본 발명은 다층기판 및 다층기판 제조방법에 관한 것으로, 복수의 배선층을 포함하는 다층기판에 있어서, 상기 다층기판 양면의 최외곽에 워피지를 감소하는 보강층을 각각 구비하고, 외부전극이 전자부품에 형성된 방식에 따라 배선 패턴을 최적화함으로써, 제조효율을 향상시킴과 동시에 워피지를 감소시킬 수 있다는 유용한 효과를 제공한다.The present invention relates to a multilayer board and a method for manufacturing a multilayer board, wherein a multilayer board including a plurality of wiring layers is provided with a reinforcing layer for reducing warpage on the outermost sides of both sides of the multilayer board, By optimizing the wiring pattern in accordance with the formed method, it is possible to improve the manufacturing efficiency and to reduce the warpage.

Description

다층기판 및 다층기판 제조방법{MULTILAYERED SUBSTRATE AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a multi-

본 발명은 다층기판 및 다층기판 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a multilayer substrate and a method of manufacturing a multilayer substrate.

전자기기의 경량화, 소형화, 고속화, 다기능화, 고성능화 추세에 대응하기 위하여 인쇄회로기판(Printed Circuit Board ; PCB)에 복수의 배선층을 형성하는 이른바 다층기판 기술들이 개발되었으며, 더 나아가, 능동소자나 수동소자 등의 전자부품을 다층기판 내부에 내장하는 기술도 개발되었다.Called multi-layer substrate technologies for forming a plurality of wiring layers on a printed circuit board (PCB) have been developed in order to meet the trend of weight reduction, miniaturization, high speed, versatility, and high performance of electronic devices. Further, Technology for embedding electronic components such as devices in a multilayer substrate has also been developed.

예컨데, 특허문헌1에는 캐비티에 전자부품을 삽입하고, 복수의 층으로 이루어진 인쇄회로기판 및 그 제조방법이 개시되어 있다.For example, Patent Document 1 discloses a printed circuit board made of a plurality of layers by inserting an electronic component into a cavity and a manufacturing method thereof.

한편, 다층기판 분야에서 중요한 과제 중 한 가지로써, 내장된 전자부품이 전압 또는 전류를 포함하는 신호를 외부의 회로나 다른 디바이스들과 효율적으로 송수신할 수 있도록 하는 것을 들 수 있다.On the other hand, one of the important tasks in the multi-layer substrate field is to allow the built-in electronic component to efficiently transmit and receive signals including voltage or current to an external circuit or other devices.

또한, 최근 전자부품의 고성능화, 전자부품 및 전자부품 내장기판의 소형화, 박형화 추세가 심화됨에 따라, 더 얇고 좁은 기판에 소형 전자부품을 내장하고 이 전자부품의 외부전극을 외부와 연결시키기 위해서는 회로 패턴의 집적도 향상도 필수적으로 수반되어야 한다.
In addition, in recent years, as the performance of electronic parts has become higher and the size and thickness of electronic parts and electronic parts built-in boards have been increased, a small electronic component is built in a thinner and narrower substrate, It is essential that the improvement of the integration degree is also accompanied.

한편, 전자부품 내장기판이 더 얇아짐에 따라 기판의 휨현상이 심각한 문제로 대두되고 있다. 이러한 휨 현상을 이른바 워피지(Warpage) 라고 칭하기도 하는데, 열팽창계수가 다른 다양한 물질로 전자부품 내장기판을 구성함에 따라 워피지가 심화되고 있다.On the other hand, as the electronic component built-in substrate becomes thinner, the warpage of the board becomes a serious problem. Such warpage phenomenon is also called warpage. However, warpage is getting worse as the electronic component built-up substrate is composed of various materials having different thermal expansion coefficients.

이러한 워피지를 감소시키기 위하여 종래에는 강성이 강한 재료로 절연층을 형성하는 방법을 적용하기도 했지만, 강성이 강한 재료 만으로 절연층을 구비한 경우 절연층 표면이 거칠기 때문에 절연층 상에 형성되는 배선패턴의 집적도를 향상시키는데 한계가 있었다.
In order to reduce such warpage, conventionally, a method of forming an insulating layer using a material having high rigidity has been applied. However, when the insulating layer is provided only by a material having high rigidity, the surface of the insulating layer is rough, There is a limit in improving the degree of integration of the device.

또한, 특허문헌2에는 기계적 강성을 확보하기 위하여 코어기판의 일측에 전자부품을 내장하고, 단일 방향으로만 회로 패턴층과 절연층이 빌드 업(Build up)된 기술이 소개되어 있고, 특허문헌3에는 코어 기판의 중앙에 캐패시터가 배치되고 양 방향으로 회로 패턴층과 절연층이 빌드 업된 기술이 소개되어 있다.Patent Document 2 discloses a technique in which an electronic component is embedded in one side of a core substrate and a circuit pattern layer and an insulation layer are built up only in a single direction in order to secure mechanical rigidity. Patent Document 3 A capacitor is disposed at the center of the core substrate and a circuit pattern layer and an insulating layer are built up in both directions.

그러나, 특허문헌1 내지 특허문헌4 등을 포함하는 종래의 기술들은, 모든 전자부품들에 개발 당시의 기술수준에서 구현 가능했던 구조 및 공법들을 일률적으로 적용했던 것으로써, 기판에 내장되는 전자부품 각각의 역할과 복잡성에 근거하여 최적화된 구조가 아니었기에, 워피지 현상을 감소시키면서 배선패턴의 집적도를 향상하는데 한계가 있었다.However, conventional technologies including Patent Documents 1 to 4 uniformly apply structures and methods that can be implemented to all electronic components at the level of technology at the time of development, It is difficult to improve the integration degree of the wiring pattern while reducing the warpage phenomenon.

미국특허공개공보 제2012-0006469호United States Patent Application Publication No. 2012-0006469 미국특허등록공보 제5,353,498호U.S. Patent No. 5,353,498 일본특허공개공보 제2000-261124호Japanese Patent Application Laid-Open No. 2000-261124 일본특허공개공보 제1992-283987호Japanese Patent Application Laid-Open No. 1992-283987

상기와 같은 문제점들을 해결하기 위하여 창안된 본 발명은, 워피지가 감소될 수 있는 기술을 제공하는 것을 목적으로 한다.It is an object of the present invention, which is created to solve the above problems, to provide a technique capable of reducing warpage.

또한, 본 발명은 전자부품의 특성을 고려하여 배선패턴의 집적도를 향상시키면서도 워피지를 감소시킬 수 있는 기술을 제공하는 것을 목적으로 한다.It is another object of the present invention to provide a technique capable of reducing warpage while improving the degree of integration of wiring patterns in consideration of the characteristics of electronic parts.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 창안된 본 발명의 일실시예에 따른 다층기판은, 복수의 배선층을 포함하는 다층기판에 있어서, 상기 다층기판의 워피지를 감소시키는 보강층들이 상기 다층기판의 양면 최외곽에 각각 구비되는 것일 수 있다.According to an aspect of the present invention, there is provided a multi-layer substrate including a plurality of wiring layers, wherein the multi-layer substrate includes a plurality of reinforcing layers for reducing warpage, Respectively.

이때, 상기 보강층은 열팽창계수가 11 ppm/℃ 이하인 자재로 이루어지는 것이 바람직하다.At this time, it is preferable that the reinforcing layer is made of a material having a thermal expansion coefficient of 11 ppm / ° C or less.

또한, 상기 보강층은 탄성계수가 25 GPa 이상인 자재로 이루어지는 것이 바람직하다.The reinforcing layer is preferably made of a material having an elastic modulus of 25 GPa or more.

또한, 상기 보강층은 글라스 자재로 이루어질 수 있다.The reinforcing layer may be made of a glass material.

또한, 상기 다층기판의 일면 최외곽에 구비되는 보강층은 제1 보강층이고, 상기 다층기판의 타면 최외곽에 구비되는 보강층은 제2 보강층이며, 외부전극이 구비된 전자부품 및 상기 전자부품의 적어도 일부가 삽입되는 캐비티가 구비된 제1 절연층이 상기 제1 보강층 및 상기 제2 보강층 사이에 더 포함될 수 있다.The reinforcing layer provided on the outermost periphery of the multilayer board is a first reinforcing layer and the reinforcing layer provided on the outermost periphery of the other surface of the multilayer board is a second reinforcing layer, A first insulating layer having a cavity into which the first insulating layer is inserted may be further included between the first and second reinforcing layers.

또한, 솔더레지스트가 상기 제1 보강층의 일면 및 상기 제2 보강층의 타면 중 적어도 한 면의 적어도 일부를 덮을 수 있다.Further, the solder resist may cover at least a part of at least one of the one surface of the first reinforcing layer and the other surface of the second reinforcing layer.

또한, 상기 제1 보강층의 하면에는 제3 회로 패턴층이 구비되며, 상기 제1 보강층의 하면 및 상기 제3 회로 패턴층에 접촉되는 제2 절연층이 상기 제1 보강층과 상기 제1 절연층 사이에 더 구비될 수 있다.The first reinforcing layer is provided on the lower surface of the first reinforcing layer and the second insulating layer contacting the third circuit pattern layer is provided between the first reinforcing layer and the first insulating layer, As shown in FIG.

또한, 상기 제1 절연층과 상기 제2 보강층 사이에 구비되며, 상기 제2 보강층에 접촉되는 제4 회로 패턴층이 표면 일부에 구비된 제3 절연층을 더 포함될 수 있다.The semiconductor device may further include a third insulating layer disposed between the first insulating layer and the second reinforcing layer, the fourth insulating layer having a fourth circuit pattern layer contacting the second reinforcing layer.

또한, 상기 제3 절연층은, 상기 제1 절연층 및 상기 전자부품의 표면에 접촉되며, 하면에 제5 회로 패턴층이 구비되는 제3 상부 절연층; 및 일면이 상기 제4 회로 패턴층 및 상기 제2 보강층에 접촉하는 제3 하부 절연층;을 포함하는 것일 수 있다.The third insulating layer may include a third upper insulating layer contacting the surfaces of the first insulating layer and the electronic component and having a fifth circuit pattern layer on the lower surface thereof; And a third lower insulating layer having one side in contact with the fourth circuit pattern layer and the second reinforcing layer.

또한, 상기 제2 절연층, 상기 제1 절연층 및 상기 제3 상부 절연층을 관통하며, 상기 제3 회로 패턴층 중 적어도 한 회로 패턴과 상기 제5 회로 패턴층 상의 적어도 한 회로 패턴을 직접 연결하는 제5 비아를 더 포함할 수 있다.The method of claim 1, further comprising: passing through at least one circuit pattern of the third circuit pattern layer and at least one circuit pattern on the fifth circuit pattern layer through the second insulating layer, the first insulating layer, and the third upper insulating layer The fifth vias may be formed.

이때, 상기 제3 상부 절연층을 관통하며, 상기 제5 회로 패턴층 중 적어도 한 회로 패턴과 상기 외부전극을 직접 연결하는 제3 비아를 더 포함할 수 있다.
At this time, it may further include a third via which passes through the third upper insulating layer and directly connects at least one circuit pattern of the fifth circuit pattern layer and the external electrode.

본 발명의 일실시예에 따른 다층기판 제조방법은, 복수의 배선층을 포함하는 다층기판 양면의 최외곽에, 열팽창계수가 11 ppm/℃ 이하인 조건 및 탄성계수가 25 Gpa 이상인 조건 중 적어도 한 조건을 만족하는 자재로 이루어지는 보강층을 형성하는 단계를 포함할 수 있다.A method of manufacturing a multilayered board according to an embodiment of the present invention is a method of manufacturing a multilayered board including at least one of the following conditions: a condition that a thermal expansion coefficient is 11 ppm / 占 폚 or less and a condition that an elastic modulus is 25 GPa or more And forming a reinforcing layer made of a satisfactory material.

이때, 상기 보강층은 글라스 자재로 형성될 수 있다.
At this time, the reinforcing layer may be formed of a glass material.

본 발명의 일실시예에 따른 다층기판 제조방법은, 일면에 제3 회로 패턴층이 구비된 제1 보강층에 외부전극이 구비된 전자부품을 실장하는 단계; 상기 제3 회로 패턴층 및 상기 제1 보강층을 커버하며, 상기 전자부품의 측면에 접촉되는 제2 절연층을 상기 제1 보강층 상에 형성하는 단계; 상기 전자부품의 적어도 일부가 삽입되는 캐비티를 구비한 제1 절연층을 상기 제2 절연층 상에 적층하는 단계; 상기 전자부품 및 상기 제1 절연층을 커버하며, 상기 캐비티와 상기 전자부품 사이를 충진하는 제3 상부 절연층을 상기 제1 절연층 상에 형성하는 단계; 적어도 한 회로 패턴이 제3 비아에 의하여 상기 외부전극과 직접 연결되는 제5 회로 패턴층을 상기 제3 상부 절연층 상에 형성하는 단계; 상기 제5 회로 패턴층 및 상기 제3 상부 절연층을 커버하는 제3 하부 절연층을 상기 제3 상부 절연층 상에 형성하는 단계; 적어도 한 회로 패턴이 제4 비아에 의하여 상기 제5 회로 패턴층의 적어도 한 회로 패턴과 직접 연결되는 제4 회로 패턴층을 상기 제3 하부 절연층 상에 형성하는 단계; 및 상기 제4 회로 패턴층 및 상기 제3 하부 절연층을 커버하는 제2 보강층을 상기 제3 하부 절연층 상에 형성하는 단계;를 포함하며, 상기 제1 보강층 및 상기 제2 보강층은 다층기판의 워피지를 감소시키는 것일 수 있다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a multilayer board, including: mounting an electronic component having an external electrode on a first reinforcing layer having a third circuit pattern layer on a first surface thereof; Forming a second insulating layer covering the third circuit pattern layer and the first reinforcing layer and contacting the side surface of the electronic component on the first reinforcing layer; Layering a first insulating layer having a cavity into which at least a part of the electronic component is inserted, on the second insulating layer; Forming a third upper insulating layer on the first insulating layer to cover the electronic component and the first insulating layer and fill the gap between the cavity and the electronic component; Forming a fifth circuit pattern layer on the third upper insulating layer in which at least one circuit pattern is directly connected to the external electrode by a third via; Forming a third lower insulating layer covering the fifth circuit pattern layer and the third upper insulating layer on the third upper insulating layer; Forming a fourth circuit pattern layer on the third lower insulating layer such that at least one circuit pattern is directly connected to at least one circuit pattern of the fifth circuit pattern layer by a fourth via; And forming a second reinforcing layer covering the fourth circuit pattern layer and the third lower insulating layer on the third lower insulating layer, wherein the first reinforcing layer and the second reinforcing layer are formed on the multilayer substrate It can be to reduce warfare.

이때, 상기 제1 보강층 및 상기 제2 보강층은 열팽창계수가 11 ppm/℃ 이하인 조건 및 탄성계수가 25 GPa 이상인 조건 중 적어도 한 조건을 만족하는 자재로 이루어질 수 있다.At this time, the first reinforcing layer and the second reinforcing layer may be made of a material satisfying at least one of the following conditions: a coefficient of thermal expansion is 11 ppm / ° C or less and a modulus of elasticity is 25 GPa or more.

또한, 상기 보강층은 글라스 자재로 형성될 수 있다.The reinforcing layer may be formed of a glass material.

또한, 상기 제1 보강층은 디테치 코어의 상면과 하면에 각각 형성되며, 상기 디테치 코어를 중심으로 상면 방향 및 하면 방향으로 각각 상기 다층기판 제조방법이 수행된 후 상기 디테치 코어에서 분리되는 것일 수 있다.The first reinforcing layer is formed on the upper surface and the lower surface of the detent core respectively. The first reinforcing layer is formed on the upper surface and the lower surface of the detent core, and is separated from the detent core after the multi- .

또한, 상기 제3 상부 절연층 및 상기 제3 하부 절연층은 심재가 없는 유동성 합성수지를 경화시켜 형성되는 것일 수 있다.The third upper insulating layer and the third lower insulating layer may be formed by curing a fluid synthetic resin having no core.

또한, 상기 제2 절연층은 심재를 포함하는 유동성 합성수지를 경화시켜 형성되는 것일 수 있다.The second insulating layer may be formed by curing a fluid synthetic resin containing a core material.

또한, 상기 제5 회로 패턴층을 상기 제3 상부 절연층 상에 형성하는 단계는, 상기 제5 회로 패턴층의 적어도 한 회로 패턴을 상기 제3 회로 패턴층의 적어도 한 회로 패턴과 직접 연결시키는 제5 비아를 형성하는 과정을 더 포함할 수 있다.The step of forming the fifth circuit pattern layer on the third upper insulating layer may include forming at least one circuit pattern of the fifth circuit pattern layer on at least one circuit pattern of the third circuit pattern layer, Lt; RTI ID = 0.0 > 5 < / RTI > vias.

상기와 같이 구성된 본 발명은, 다층기판의 워피지를 감소할 수 있다는 유용한 효과를 제공한다.The present invention thus constituted provides a beneficial effect that the warpage of the multilayer substrate can be reduced.

또한, 본 발명은 외부전극이 전자부품에 형성된 방식에 따라 배선 패턴을 최적화함으로써 제조효율을 향상시킴과 동시에 워피지를 감소시킬 수 있다는 유용한 효과를 제공한다.Further, the present invention provides a beneficial effect that the manufacturing efficiency can be improved and the warpage can be reduced by optimizing the wiring pattern according to the manner in which the external electrode is formed on the electronic component.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 다층기판을 개략적으로 보인 단면도이다.
도 2는 본 발명의 다른 실시예에 따른 다층기판을 개략적으로 보인 단면도이다.
도 3은 도 2의 한 변형례를 개략적으로 보인 단면도이다.
도 4는 도 2의 다른 변형례를 개략적으로 보인 단면도이다.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 다층기판에서 보강층의 열팽창계수 및 탄성계수를 달리하면서 워피지를 측정한 결과를 개략적으로 보인 그래프이다.
도 6a 내지 도 6k는 본 발명의 일실시예에 따른 다층기판 제조방법을 개략적으로 보인 공정단면도로써, 도 6a는 제1 금속층이 구비된 디테치 코어가 제공된 상태, 도 6b는 제1 보강층 및 제3 금속층이 형성된 상태, 도 6c는 제3 금속층을 패터닝하여 제3 회로 패턴층이 형성된 상태, 도 6d는 제3 회로 패턴층 상에 전자부품을 결합한 상태, 도 6e는 제2 절연층, 제1 절연층 및 제3 상부 절연층이 형성된 상태, 도 6f는 제3 비아, 제5 비아 및 제5 회로 패턴층이 형성된 상태, 도 6g는 제3 하부 절연층, 제4 회로 패턴층 및 제2 보강층이 형성된 상태, 도 6h는 디테치 코어가 제거된 상태, 도 6i는 제1 회로 패턴층 및 제2 회로 패턴층이 형성된 상태, 도 6j는 솔더레지스트가 형성된 상태, 도 6k는 솔더볼이 형성된 상태를 각각 개략적으로 예시한 도면이다.
도 7a 내지 도 7k는 본 발명의 다른 실시예에 따른 다층기판 제조방법을 개략적으로 보인 공정단면도로써, 도 7a는 제1 금속층이 양면에 구비된 디테치 코어가 제공된 상태, 도 7b는 제1 보강층 및 제3 금속층이 디테치 코어의 상방 및 하방에 형성된 상태, 도 7c는 디테치 코어의 상방 및 하방의 제3 금속층을 패터닝하여 제3 회로 패턴층이 형성된 상태, 도 7d는 디테치 코어의 상방 및 하방의 제3 회로 패턴층 상에 전자부품을 결합한 상태, 도 7e는 디테치 코어의 상방 및 하방에 제2 절연층, 제1 절연층 및 제3 상부 절연층이 형성된 상태, 도 7f는 디테치 코어의 상방 및 하방에 제3 비아, 제5 비아 및 제5 회로 패턴층이 형성된 상태, 도 7g는 디테치 코어의 상방 및 하방에 제3 하부 절연층, 제4 회로 패턴층 및 제2 보강층이 형성된 상태, 도 7h는 디테치 코어가 제거된 상태, 도 7i는 디테치 코어의 하방에 형성되어 있던 것에 제1 회로 패턴층 및 제2 회로 패턴층을 형성한 상태, 도 7j는 솔더레지스트가 형성된 상태, 도 7k는 솔더볼이 형성된 상태를 각각 개략적으로 예시한 도면이다.
1 is a cross-sectional view schematically showing a multilayer substrate according to an embodiment of the present invention.
2 is a cross-sectional view schematically showing a multilayer substrate according to another embodiment of the present invention.
3 is a cross-sectional view schematically showing one modification of Fig.
4 is a cross-sectional view schematically showing another modification of Fig.
FIG. 5 is a graph schematically showing a result of measurement of warpage in a multi-layered substrate according to an embodiment of the present invention while varying the coefficient of thermal expansion and the modulus of elasticity of the reinforcing layer.
6A is a cross-sectional view illustrating a method of fabricating a multilayered substrate according to an embodiment of the present invention. FIG. 6A is a view illustrating a state where a detent core having a first metal layer is provided, FIG. 6B is a cross- 6C shows a state in which the third circuit pattern layer is formed by patterning the third metal layer, FIG. 6D shows a state in which the electronic components are coupled onto the third circuit pattern layer, FIG. 6E shows a state in which the second insulating layer, FIG. 6F shows a state in which the third via, the fifth via and the fifth circuit pattern layer are formed, FIG. 6G shows a state in which the third lower insulating layer, the fourth circuit pattern layer, and the third upper insulating layer are formed, Fig. 6H is a state in which the detent core is removed, Fig. 6I is a state in which a first circuit pattern layer and a second circuit pattern layer are formed, Fig. 6J is a state in which a solder resist is formed, Are schematically illustrated respectively.
7A to 7K are cross-sectional views schematically showing a method of manufacturing a multilayered substrate according to another embodiment of the present invention, wherein FIG. 7A shows a state in which a detent core having a first metal layer is provided on both sides, FIG. FIG. 7C shows a state in which the third circuit layer is formed by patterning the third metal layer above and below the recessed core, FIG. 7D shows a state in which the third metal layer is formed above and below the recessed core, 7E shows a state in which a second insulating layer, a first insulating layer, and a third upper insulating layer are formed above and below the detent core, FIG. 7F shows a state in which the electronic component is coupled to the lower third circuit pattern layer, FIG. 7G shows a state in which the third via insulating layer, the fourth circuit pattern layer, and the second reinforcing layer are formed on the upper and lower sides of the detent core, 7H shows a state in which the detent core is removed 7I is a state in which a first circuit pattern layer and a second circuit pattern layer are formed under the detent core, FIG. 7J is a state in which a solder resist is formed, and FIG. 7K is a state in which a solder ball is formed, FIG.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 기술 등은 첨부되는 도면들과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예를 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있다. 본 실시예는 본 발명의 개시가 완전하도록 함과 더불어, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공될 수 있다. 명세서 전문에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.The advantages and features of the present invention and the techniques for achieving them will be apparent from the following detailed description taken in conjunction with the accompanying drawings. The present invention may, however, be embodied in many different forms and should not be construed as limited to the embodiments set forth herein. The present embodiments are provided so that the disclosure of the present invention is not only limited thereto, but also may enable others skilled in the art to fully understand the scope of the invention. Like reference numerals refer to like elements throughout the specification.

본 명세서에서 사용된 용어들은 실시예를 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 '포함한다(comprise)' 및/또는 '포함하는(comprising)'은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.
The terms used herein are intended to illustrate the embodiments and are not intended to limit the invention. In the present specification, the singular form includes plural forms unless otherwise specified in the specification. It is to be understood that the terms 'comprise', and / or 'comprising' as used herein may be used to refer to the presence or absence of one or more other components, steps, operations, and / Or additions.

도시의 간략화 및 명료화를 위해, 도면은 일반적 구성 방식을 도시하고, 본 발명의 설명된 실시예의 논의를 불필요하게 불명료하도록 하는 것을 피하기 위해 공지된 특징 및 기술의 상세한 설명은 생략될 수 있다. 부가적으로, 도면의 구성요소는 반드시 축척에 따라 그려진 것은 아니다. 예컨대, 본 발명의 실시예의 이해를 돕기 위해 도면의 일부 구성요소의 크기는 다른 구성요소에 비해 과장될 수 있다. 서로 다른 도면의 동일한 참조부호는 동일한 구성요소를 나타내고, 유사한 참조부호는 반드시 그렇지는 않지만 유사한 구성요소를 나타낼 수 있다.For simplicity and clarity of illustration, the drawings illustrate the general manner of construction and the detailed description of known features and techniques may be omitted so as to avoid unnecessarily obscuring the discussion of the described embodiments of the invention. Additionally, elements of the drawings are not necessarily drawn to scale. For example, to facilitate understanding of embodiments of the present invention, the dimensions of some of the elements in the figures may be exaggerated relative to other elements. Like reference numerals in different drawings denote like elements, and like reference numbers may indicate similar elements, although not necessarily.

명세서 및 청구범위에서 "제 1", "제 2", "제 3" 및 "제 4" 등의 용어는, 만약 있는 경우, 유사한 구성요소 사이의 구분을 위해 사용되며, 반드시 그렇지는 않지만 특정 순차 또는 발생 순서를 기술하기 위해 사용된다. 그와 같이 사용되는 용어는 여기에 기술된 본 발명의 실시예가, 예컨대, 여기에 도시 또는 설명된 것이 아닌 다른 시퀀스로 동작할 수 있도록 적절한 환경하에서 호환 가능한 것이 이해될 것이다. 마찬가지로, 여기서 방법이 일련의 단계를 포함하는 것으로 기술되는 경우, 여기에 제시된 그러한 단계의 순서는 반드시 그러한 단계가 실행될 수 있는 순서인 것은 아니며, 임의의 기술된 단계는 생략될 수 있고/있거나 여기에 기술되지 않은 임의의 다른 단계가 그 방법에 부가 가능할 것이다. The terms "first", "second", "third", and "fourth" in the specification and claims are used to distinguish between similar components, if any, Or to describe the sequence of occurrences. It will be understood that the terminology used is such that the embodiments of the invention described herein are compatible under suitable circumstances to, for example, operate in a sequence other than those shown or described herein. Likewise, where the method is described as including a series of steps, the order of such steps presented herein is not necessarily the order in which such steps may be performed, any of the described steps may be omitted and / Any other step not described will be additive to the method.

명세서 및 청구범위의 "왼쪽", "오른쪽", "앞", "뒤", "상부", "바닥", "위에", "아래에" 등의 용어는, 만약 있다면, 설명을 위해 사용되는 것이며, 반드시 불변의 상대적 위치를 기술하기 위한 것은 아니다. 그와 같이 사용되는 용어는 여기에 기술된 본 발명의 실시예가, 예컨대, 여기에 도시 또는 설명된 것이 아닌 다른 방향으로 동작할 수 있도록 적절한 환경하에서 호환 가능한 것이 이해될 것이다. 여기서 사용된 용어 "연결된"은 전기적 또는 비 전기적 방식으로 직접 또는 간접적으로 접속되는 것으로 정의된다. 여기서 서로 "인접하는" 것으로 기술된 대상은, 그 문구가 사용되는 문맥에 대해 적절하게, 서로 물리적으로 접촉하거나, 서로 근접하거나, 서로 동일한 일반적 범위 또는 영역에 있는 것일 수 있다. 여기서 "일 실시예에서"라는 문구의 존재는 반드시 그런 것은 아니지만 동일한 실시예를 의미한다.
Terms such as "left", "right", "front", "back", "upper", "bottom", "above", "below" And does not necessarily describe an unchanging relative position. It will be understood that the terminology used is intended to be interchangeable with the embodiments of the invention described herein, under suitable circumstances, for example, so as to be able to operate in a different direction than that shown or described herein. The term "connected" as used herein is defined as being directly or indirectly connected in an electrically or non-electrical manner. Objects described herein as "adjacent" may be in physical contact with one another, in close proximity to one another, or in the same general range or region as are appropriate for the context in which the phrase is used. The presence of the phrase "in one embodiment" herein means the same embodiment, although not necessarily.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구성 및 작용효과를 더욱 상세하게 설명한다.
Hereinafter, the configuration and operation effects of the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 다층기판(100)을 개략적으로 보인 단면도이다.1 is a cross-sectional view schematically showing a multilayer substrate 100 according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 다층기판(100)은, 복수의 배선층으로 이루어지는 다층기판(100)에서, 일측 및 타측의 최외곽층에 보강층(110)이 각각 구비된다.Referring to FIG. 1, a multilayer substrate 100 according to an embodiment of the present invention includes a multilayer substrate 100 having a plurality of wiring layers, and a reinforcing layer 110 is formed on the outermost layer on one side and the other side.

즉, 다층기판(100)의 일측 최외곽에 위치하는 층에는 제1 보강층(111)이 구비되고, 타측 최외곽에 위치하는 층에는 제2 보강층(115)이 구비될 수 있다.That is, the first reinforcing layer 111 may be provided on the outermost layer of the multilayer substrate 100, and the second reinforcing layer 115 may be provided on the outermost layer of the multilayer substrate 100.

또한, 제1 보강층(111)과 제2 보강층(115) 사이에는 적어도 한 층 이상의 회로 패턴층과 절연층이 구비될 수 있다.
At least one layer of the circuit pattern layer and the insulating layer may be provided between the first reinforcing layer 111 and the second reinforcing layer 115.

도 2는 본 발명의 다른 실시예에 따른 다층기판(200)을 개략적으로 보인 단면도이다.2 is a cross-sectional view schematically showing a multilayer substrate 200 according to another embodiment of the present invention.

도 2를 참조하면, 본 실시예에 따른 다층기판(200)에는 전자부품(10)이 내장될 수 있다.Referring to FIG. 2, the electronic component 10 may be embedded in the multilayer substrate 200 according to the present embodiment.

전자부품(10)은 반도체 칩 등의 능동소자나 캐패시터 등의 수동소자일 수 있으며, 전자부품(10)의 외부에는 다른 디바이스들과의 전기적 연결을 위한 외부전극(11)(또는 외부단자)이 구비될 수 있다.The electronic component 10 may be an active element such as a semiconductor chip or a passive element such as a capacitor. An external electrode 11 (or external terminal) for electrical connection with other devices may be provided outside the electronic component 10 .

이때, 전자부품(10)은 제1 보강층(111)과 제2 보강층(115) 사이에 구비되는 제1 절연층(120) 내부에 위치할 수 있다. 특히, 제1 절연층(120)에 캐비티(121)가 구비되고, 전자부품(10)의 적어도 일부가 캐비티(121) 내부로 삽입될 수 있다.At this time, the electronic component 10 may be located inside the first insulating layer 120 provided between the first reinforcing layer 111 and the second reinforcing layer 115. Particularly, the cavity 121 is provided in the first insulating layer 120, and at least a part of the electronic component 10 can be inserted into the cavity 121.

또한, 제1 절연층(120)과 제1 보강층(111) 사이에는 제2 절연층(130)이 더 구비될 수 있다.In addition, a second insulating layer 130 may be further provided between the first insulating layer 120 and the first reinforcing layer 111.

여기서, 제1 보강층(111)의 하면에는 제3 회로 패턴층(P3)이 구비될 수 있으며, 도시된 바와 같이, 제3 회로 패턴층(P3) 중 어느 한 회로 패턴에는 전자부품(10)이 고정될 수 있고, 이때, 전자부품(10)과 회로 패턴 사이에는 접착제(12)가 구비되어 전자부품(10)의 고정에 기여할 수 있다.Here, the third circuit pattern layer P3 may be provided on the lower surface of the first reinforcing layer 111. As shown in the figure, the circuit pattern of the third circuit pattern layer P3 includes the electronic component 10 At this time, an adhesive 12 may be provided between the electronic component 10 and the circuit pattern to contribute to fixation of the electronic component 10.

또한, 제1 절연층(120)과 제2 보강층(115) 사이에는 제3 절연층(140)이 더 구비될 수 있다.In addition, a third insulating layer 140 may be further provided between the first insulating layer 120 and the second reinforcing layer 115.

여기서, 제3 절연층(140)은 제3 상부 절연층(141) 및 제3 하부 절연층(142)으로 이루어질 수 있다.Here, the third insulating layer 140 may include a third upper insulating layer 141 and a third lower insulating layer 142.

제3 상부 절연층(141)은 제1 절연층(120)의 하면과 전자부품(10)을 커버할 수 있고, 제3 상부 절연층(141)의 하부면에는 제5 회로 패턴층(P5)이 구비될 수 있다.The third upper insulating layer 141 may cover the lower surface of the first insulating layer 120 and the electronic component 10 and the fifth circuit pattern layer P5 may be formed on the lower surface of the third upper insulating layer 141. [ .

또한, 제3 하부 절연층(142)은 제3 상부 절연층(141)의 하면과 제5 회로 패턴층(P5)을 커버할 수 있고, 제3 하부 절연층(142)의 하부면에는 제4 회로 패턴층(P4)이 구비될 수 있다.The third lower insulating layer 142 may cover the lower surface of the third upper insulating layer 141 and the fifth circuit pattern layer P5 and the lower surface of the third lower insulating layer 142 may cover the fourth A circuit pattern layer P4 may be provided.

이때, 전자부품(10)의 하부면에는 외부전극(11)이 구비될 수 있고, 제5 회로 패턴층(P5) 중 어느 한 회로 패턴과 외부전극(11) 사이에는 제3 상부 절연층(141)을 관통하는 제3 비아(V3)가 직접 연결될 수 있다.The external electrode 11 may be provided on the lower surface of the electronic component 10. A third upper insulating layer 141 may be formed between any one of the circuit patterns of the fifth circuit pattern layer P5 and the external electrode 11. [ The third vias V3 may be directly connected.

또한, 제5 회로 패턴층(P5)의 어느 한 회로 패턴과 제4 회로 패턴층(P4)의 어느 한 회로 패턴은 제3 하부 절연층(142)을 관통하는 제4 비아(V4)에 의하여 직접 연결될 수 있다.Any circuit pattern of the fifth circuit pattern layer P5 and the circuit pattern of the fourth circuit pattern layer P4 may be directly formed by the fourth vias V4 passing through the third lower insulating layer 142. [ Can be connected.

여기서, 제3 비아(V3)에 의하여 전자부품(10)의 외부전극(11)에 직접 연결되는 제5 회로 패턴층(P5) 및 제4 비아(V4)에 의하여 제5 회로 패턴층(P5)과 직접 연결되는 제4 회로 패턴층(P4)은, 다른 회로 패턴층에 비해 높은 배선밀도가 요구될 수 있다.Here, the fifth circuit pattern layer P5 and the fifth circuit pattern layer P5 are formed by the fifth via-pattern layer P5 and the fourth via V4 directly connected to the external electrode 11 of the electronic component 10 by the third via V3. The fourth circuit pattern layer P4 directly connected to the first circuit pattern layer may require a higher wiring density than other circuit pattern layers.

일반적으로, 워피지를 감소시키기 위하여 유리섬유를 심재로써 포함하여 강성을 강화한 절연자재들이 사용되고 있다. 그러나, 이렇게 심재를 포함하는 절연층 표면에 형성되는 회로 패턴은 그 선폭 및 피치를 미세화 하는데 한계가 있다. 또한, 심재를 포함하는 절연층에 비아를 형성하는 경우에도 비아 직경을 감소시키는데 한계가 있다.In general, insulating materials reinforced with rigidity are used as a core material to reduce warpage. However, the circuit pattern formed on the surface of the insulating layer including the core has a limitation in miniaturizing the line width and the pitch. In addition, even when a via is formed in the insulating layer including the core material, there is a limit in reducing the via diameter.

따라서, 제3 상부 절연층(141) 및 제3 하부 절연층(142)을 구현함에 있어서, 유리섬유 등의 심재가 포함되지 않은 자재를 적용하는 것이 바람직하다.Therefore, in implementing the third upper insulating layer 141 and the third lower insulating layer 142, it is preferable to apply a material that does not include a core material such as glass fiber.

또한, 제2 보강층(115)의 하면에는 제2 회로 패턴층(P2)이 구비될 수 있고, 제2 회로 패턴층(P2) 중 어느 한 회로 패턴과 제4 회로 패턴층(P4) 중 어느 한 회로 패턴은 제2 보강층(115)을 관통하는 제2 비아(V2)에 의하여 직접 연결될 수 있다.The second reinforcing layer 115 may be provided on the lower surface of the second circuit pattern layer P2 and any one of the circuit patterns of the second circuit pattern layer P2 and the fourth circuit pattern layer P4 The circuit pattern can be directly connected by the second via V2 passing through the second stiffening layer 115. [

한편, 제1 보강층(111)의 상부면에는 제1 회로 패턴층(P1)이 구비될 수 있으며, 제1 회로 패턴층(P1) 중 어느 한 회로 패턴과 제3 회로 패턴층(P3) 중 어느 한 회로 패턴은 제1 보강층(111)을 관통하는 제1 비아(V1)에 의하여 직접 연결될 수 있다.The first circuit pattern layer P1 may be formed on the upper surface of the first reinforcing layer 111 and the first circuit pattern layer P1 may be formed on either the first circuit pattern layer P1 or the third circuit pattern layer P3 A circuit pattern may be directly connected by the first via V1 passing through the first reinforcing layer 111. [

또한, 제5 회로 패턴층(P5) 중 어느 한 회로 패턴과 제3 회로 패턴층(P3) 중 어느 한 회로 패턴은 제3 상부 절연층(141), 제1 절연층(120) 및 제2 절연층(130)을 관통하는 제5 비아(V5)에 의하여 직접 연결될 수 있다.
Any one of the circuit patterns of the fifth circuit pattern layer P5 and the third circuit pattern layer P3 may be formed on the third upper insulating layer 141, the first insulating layer 120, May be directly connected by fifth vias (V5) passing through layer (130).

다층기판에 내장되는 전자부품들은 모두 동일한 복잡성(complexity)를 갖는 것은 아니며, 전자부품 패키지의 외부전극들이 특정한 방향을 향하도록 형성되는 경우도 있다. 따라서, 이러한 경우에는 외부전극들이 향하고 있는 방향 쪽에서만 복잡한 배선을 유지함으로써 다층기판의 제조효율을 향상시킬 수 있다.The electronic components incorporated in the multilayer substrate do not all have the same complexity, and the external electrodes of the electronic component package may be formed to face in a specific direction. Therefore, in this case, it is possible to improve the manufacturing efficiency of the multilayer substrate by maintaining the complicated wiring only in the direction in which the external electrodes are oriented.

즉, 도 2에 예시된 바와 같이, 전자부품(10)의 하부면에만 외부전극(11)이 형성된 경우에는, 외부전극(11)이 형성된 방향인 제3 절연층(140) 방향에서는 외부전극(11)을 다층기판(100)의 외부와 연결시키기 위하여, 상대적으로 미세한 패턴들이 상대적으로 집적도가 높게 배치될 필요가 있다.2, in the case where the external electrode 11 is formed only on the lower surface of the electronic component 10, in the direction of the third insulating layer 140 in which the external electrode 11 is formed, 11 to the outside of the multilayer substrate 100, it is necessary that relatively fine patterns are arranged with a relatively high degree of integration.

이와 같이, 다층기판(200)의 수평 중심축을 기준으로, 일방향으로는 배선밀도가 높고 타방향으로는 상대적으로 배선밀도가 낮게 형성됨으로써 다층기판(200)의 제조효율이 향상될 수 있다.As described above, the wiring density is high in one direction and relatively low in the other direction with respect to the horizontal central axis of the multilayer substrate 200, so that the manufacturing efficiency of the multilayer substrate 200 can be improved.

그러나, 이렇게 다층기판(200)의 회로 집적도가 비대칭적으로 형성될 경우, 워피지 현상이 심화될 수 있는데, 본 발명에서는 제1 보강층(111) 및 제2 보강층(115)을 구비함으로써 이러한 워피지 현상이 감소될 수 있도록 한 것이다.However, if the degree of circuit integration of the multilayer board 200 is asymmetrically formed, the warpage phenomenon may be intensified. In the present invention, since the first reinforcing layer 111 and the second reinforcing layer 115 are provided, So that the phenomenon can be reduced.

또한, 도 2에 도시된 바와 같이, 외부전극(11)이 형성되지 않은 전자부품(10)의 상부면 방향에 위치하는 제3 회로 패턴층(P3)은, 제5 회로 패턴층(P5)이나 제4 회로 패턴층(P4)에 비하여 상대적으로 배선밀도가 낮을 수 있고, 패턴 폭이 덜 미세할 수 있다.2, the third circuit pattern layer P3 located in the direction of the top surface of the electronic component 10 in which the external electrodes 11 are not formed may be a fifth circuit pattern layer P5, The wiring density can be relatively low as compared with the fourth circuit pattern layer P4, and the pattern width can be less fine.

한편, 유리섬유 등의 심재가 포함된 절연재료는 강성이 높아 워피지 감소에 유리할 수 있지만, 심재로 인하여 표면의 거칠기가 커짐에 따라 미세한 패턴을 형성하거나 패턴 피치를 줄이는데 한계가 있다.On the other hand, an insulating material including a core material such as a glass fiber has a high rigidity and may be advantageous in reducing warpage. However, as the surface roughness of the core material increases, there is a limit in forming a fine pattern or reducing the pattern pitch.

반면에, 유리섬유 등의 심재가 포함되지 않는 절연재료는 상대적으로 표면 패턴의 미세화가 가능하며 패턴 피치를 더 줄일 수 있지만, 강성이 부족하여 워피지가 상승하게 된다는 단점이 있다.On the other hand, an insulating material not including a core material such as a glass fiber can minutely reduce the surface pattern and further reduce the pattern pitch, but has a disadvantage in that the rigidity is insufficient and the warpage is increased.

이러한 점들을 고려하여, 본 발명의 일실시예에 따른 다층기판(200)에서는, 전자기판의 외부전극(11) 하방에 형성되는 제3 절연층(140)은 상대적으로 높은 배선밀도로 회로 패턴이 구비되도록 심재를 포함하지 않는 유동성 합성수지를 경화시켜서 구현하고, 전자부품(10)의 상방에 형성되는 제2 절연층(130)은 상대적으로 높은 강성을 갖도록 심재를 포함하는 유동성 합성수지로 구현되도록 하였다.In consideration of these points, in the multi-layer substrate 200 according to an embodiment of the present invention, the third insulating layer 140 formed under the external electrode 11 of the electronic substrate has a circuit pattern with a relatively high wiring density And the second insulating layer 130 formed above the electronic component 10 is realized as a fluid synthetic resin including a core material so as to have a relatively high rigidity.

아울러, 제1 보강층(111)과 제2 보강층(115)을 다층기판(100)의 최외곽 층에 대칭되게 배치함으로써 워피지 현상을 더욱 감소시킬 수 있도록 한 것이다.In addition, the first reinforcing layer 111 and the second reinforcing layer 115 are disposed symmetrically with respect to the outermost layer of the multi-layer substrate 100, thereby further reducing the warping phenomenon.

한편, 도 2에 예시된 바와 같이, 제1 보강층(111) 및 제1 회로 패턴층(P1), 제2 보강층(115) 및 제2 회로 패턴층(P2)을 덮는 솔더레지스트(SR)가 더 구비될 수 있다. 또한, 제1 회로 패턴층(P1) 및 제2 회로 패턴층(P2)에 접촉되며, 솔더레지스트(SR) 외부로 노출되는 솔더볼(SB)이 더 구비될 수 있다.2, a solder resist SR covering the first reinforcing layer 111 and the first circuit pattern layer P1, the second reinforcing layer 115, and the second circuit pattern layer P2 is further provided . A solder ball SB which is in contact with the first circuit pattern layer P1 and the second circuit pattern layer P2 and is exposed to the outside of the solder resist SR may be further provided.

이러한 솔더레지스트(SR)는 필요에 따라 선택적으로 다층기판(200)에 구비될 수 있다. 따라서, 본 명세서에서 사용된 다층기판(200)의 양면 최외곽 이라는 표현은 솔더레지스트(SR)를 제외한 상태에서의 최외곽을 의미하는 것임을 이해할 수 있을 것이다.
The solder resist SR may be optionally provided on the multilayer substrate 200 as required. Therefore, it should be understood that the expression of the outermost two-sided side of the multilayer substrate 200 used in this specification means the outermost side in the state excluding the solder resist SR.

도 3 및 도 4는 도 2의 변형례들을 개략적으로 보인 단면도이다.Figures 3 and 4 are cross-sectional views schematically illustrating the modifications of Figure 2.

도 3 및 도 4를 참조하면, 전자부품(10)의 효율적인 방열이 요구될 경우, 전자부품(10)의 상부면에 방열 접착제(312)를 도포한 후 제3 회로 패턴층(P3) 중 어느 한 회로 패턴에 접착되도록 하고, 그 회로 패턴과 제1 회로 패턴층(P1) 중 어느 한 회로 패턴 사이에 제6 비아(V6)를 구비하여, 전자부품(10)에서 발생된 열이 방열 접착제(312), 제3 회로 패턴층(P3)의 어느 한 회로 패턴, 제6 비아(V6) 및 제1 회로 패턴층(P1)의 어느 한 회로 패턴을 경유하여 외부로 신속하게 배출될 수 있도록 할 수 있다.
3 and 4, when efficient heat dissipation of the electronic component 10 is required, the heat-dissipating adhesive 312 is applied to the upper surface of the electronic component 10, and then the third circuit pattern layer P3 And a sixth via (V6) is provided between the circuit pattern and the circuit pattern of the first circuit pattern layer (P1) so that the heat generated in the electronic component (10) 312 and the circuit pattern of the third circuit pattern layer P3 and the circuit patterns of the sixth via pattern V6 and the first circuit pattern layer P1, have.

또한, 전자부품(410)이 두 개의 외부전극(411)을 갖는 MLCC 등의 캐패시터인 경우에는, 제3 회로 패턴층(P3)에 구비되며 서로 전기적으로 절연을 유지하는 제1 부가 회로 패턴(P3-1)과 제2 부가 회로 패턴(P3-2)을 구비하고, 제1 부가 회로 패턴(P3-1)이 전자부품(410)의 한 외부전극(411)과 접촉되며, 제2 부가 회로 패턴(P3-2)이 다른 외부전극과 접촉되도록 할 수 있다.In the case where the electronic component 410 is a capacitor such as an MLCC having two external electrodes 411, the first additional circuit pattern P3 provided in the third circuit pattern layer P3 and electrically insulated from each other -1 and the second additional circuit pattern P3-2 and the first additional circuit pattern P3-1 is in contact with one external electrode 411 of the electronic component 410, (P3-2) can be brought into contact with other external electrodes.

이때, 외부전극(411)을 제외한 전자부품(410)의 나머지 부분과 제1 부가 회로 패턴(P3-1) 및 제2 부가 회로 패턴(P3-2) 사이에는 비전도성 접착제(412)가 구비되어 전자부품(410)이 안정적으로 고정되도록 할 수 있다.At this time, a non-conductive adhesive 412 is provided between the remaining part of the electronic component 410 except for the external electrode 411 and the first additional circuit pattern P3-1 and the second additional circuit pattern P3-2 The electronic component 410 can be stably fixed.

또한, 제1 부가 회로 패턴(P3-1)과 제2 부가 회로 패턴(P3-2) 각각은 비아를 통하여 제1 회로 패턴층(P1) 중 어느 한 회로 패턴 및 다른 회로 패턴과 전기적으로 연결될 수 있다.
Each of the first additional circuit pattern P3-1 and the second additional circuit pattern P3-2 may be electrically connected to any one of the first circuit pattern layers P1 and the other circuit patterns via the vias have.

도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 다층기판(200)에서 보강층(110)의 열팽창계수 및 탄성계수를 달리하면서 워피지를 측정한 결과를 개략적으로 보인 그래프이다.5 is a graph schematically showing a result of measuring the warpage of the multilayer substrate 200 according to an embodiment of the present invention while varying the coefficient of thermal expansion and the modulus of elasticity of the reinforcing layer 110. FIG.

이때, 도 5는 도 2에 예시된 바와 같이 구성된 다층기판(200)에서, 제1 보강층(111)의 두께 20-25um, 제2 절연층(130)의 두께 10-20um, 제1 절연층(120)의 두께 50-70um, 제3 절연층(140)의 두께 40-50um, 제2 보강층(115)의 두께 20-25um 를 이루도록 하고, 전체 크기가 14×14mm인 다층기판(200)을 260℃에서 가열한 후 실온으로 냉각하여 다층기판(200) 일면의 최저점 부터 최고점 까지의 거리를 측정한 결과를 보여주고 있다.5, the thickness of the first reinforcing layer 111 is 20-25um, the thickness of the second insulating layer 130 is 10-20um, the thickness of the first insulating layer Layer substrate 200 having a total thickness of 14 mm x 14 mm and a thickness of 40-50 mm of the third insulating layer 140 and a thickness of 20-25 mm of the second reinforcing layer 115, Lt; 0 > C and then cooled to room temperature to measure the distance from the lowest point to the highest point of one side of the multilayer substrate 200. [

이때, 도 5에서는 실측 데이터를 마름모로 표시하였으며, 직선 형태로 표현된 데이터는 시뮬레이션에 의한 결과를 나타낸 것이다.In FIG. 5, the actual data is indicated by rhombus, and the data expressed in a linear form shows the result of the simulation.

도 5에 도시된 바와 같이, 보강층(110)의 열팽창계수가 11 ppm/℃ 이하인 경우 또는 탄성계수가 25 GPa 이상인 경우에 기준값 이하의 워피지가 발생되는 것으로 확인되었다.As shown in FIG. 5, when the thermal expansion coefficient of the reinforcing layer 110 is 11 ppm / ° C or lower, or when the modulus of elasticity is 25 GPa or higher, warpage below the reference value is generated.

다만, 이때의 기준값은 전술한 실험조건 및 다층기판(200)이 적용되는 제품에서 요구되는 워피지의 허용범위에 따라 달라질 수 있음을 유념해야 할 것이다.
It should be noted that the reference value at this time may vary depending on the above-described experimental conditions and the allowable range of warpage required in a product to which the multilayer board 200 is applied.

한편, 이러한 조건을 만족하는 재료로써 글라스 자재를 들 수 있으며, 따라서, 제1 보강층(111) 및 제2 보강층(115)을 글라스 자재로 구현할 수 있다.On the other hand, as a material satisfying such a condition, a glass material can be mentioned, and therefore, the first reinforcing layer 111 and the second reinforcing layer 115 can be realized with a glass material.

글라스 자재는 탄성계수가 40 내지 60 Gpa, 열팽창계수가 5 ppm/℃ 이하를 가지는 것이 일반적인데, 이에 따라, 글라스 자재로 제1 보강층(111) 및 제2 보강층(115)을 구현함으로써 워피지를 현저하게 저감시킬 수 있다.
The glass material generally has a modulus of elasticity of 40 to 60 Gpa and a coefficient of thermal expansion of 5 ppm / ° C or less. Thus, by realizing the first reinforcing layer 111 and the second reinforcing layer 115 with a glass material, It can be remarkably reduced.

도 6a 내지 도 6k는 본 발명의 일실시예에 따른 다층기판 제조방법을 개략적으로 보인 공정단면도이다.6A to 6K are process cross-sectional views schematically showing a method of manufacturing a multilayer substrate according to an embodiment of the present invention.

먼저, 도 6a을 참조하면, 제1 금속층(P1')이 구비된 디테치 코어(DC)가 제공된다.First, referring to FIG. 6A, a detent core DC provided with a first metal layer P1 'is provided.

다음으로, 도 6b를 참조하면, 제1 금속층(P1') 상부면에 제1 보강층(111)을 형성한다. 이때, 제1 보강층(111)의 상부면에 제3 금속층(P3')이 구비된 상태로 제1 금속층(P1') 상에 결합될 수 있지만, 이에 한정되는 것은 아니다.Next, referring to FIG. 6B, a first reinforcing layer 111 is formed on the upper surface of the first metal layer P1 '. At this time, the first reinforcing layer 111 may be bonded on the first metal layer P1 'with the third metal layer P3' provided on the upper surface thereof, but the present invention is not limited thereto.

다음으로, 도 6c 및 도 6d를 참조하면, 제3 금속층(P3')을 패터닝하여 제3 회로 패턴층(P3)을 형성하고, 제3 회로 패턴층(P3) 상에 전자부품(10)을 결합한다. 여기서, 전자부품(10) 하면에 접착제(12)를 구비하여 전자부품(10)이 안정적으로 고정되도록 할 수 있다.6C and 6D, a third circuit pattern layer P3 is formed by patterning the third metal layer P3 ', an electronic component 10 is formed on the third circuit pattern layer P3, . Here, the adhesive 12 is provided on the lower surface of the electronic component 10, so that the electronic component 10 can be stably fixed.

다음으로, 도 6e를 참조하면, 제3 회로 패턴층(P3)과 제1 보강층(111)을 커버하는 제2 절연층(130)을 형성할 수 있다. 이때, 제2 절연층(130)은 심재를 포함하는 유동성 합성수지를 도포한 후 경화시키는 과정을 통해서 형성될 수 있다. 이때, 제2 절연층(130)에 의하여 전자부품(10)이 더욱 안정적으로 고정될 수 있다.6E, a second insulating layer 130 covering the third circuit pattern layer P3 and the first reinforcing layer 111 can be formed. At this time, the second insulation layer 130 may be formed by applying a fluid synthetic resin containing a core material and curing the coating. At this time, the electronic component 10 can be more stably fixed by the second insulating layer 130.

다음으로, 제2 절연층(130) 상에 캐비티(121)를 구비하는 제1 절연층(120)을 결합할 수 있다.Next, a first insulating layer 120 having a cavity 121 may be coupled to the second insulating layer 130.

또한, 제1 절연층(120)과 전자부품(10)을 커버하는 제3 상부 절연층(141)을 형성할 수 있다. 여기서, 제3 상부 절연층(141)이 형성됨으로써 전자부품(10)은 기판 내부로 완전하게 밀폐될 수 있다.In addition, a third upper insulating layer 141 covering the first insulating layer 120 and the electronic component 10 may be formed. Here, since the third upper insulating layer 141 is formed, the electronic component 10 can be completely sealed inside the substrate.

다음으로, 도 6f를 참조하면, 제3 상부 절연층(141), 제1 절연층(120) 및 제2 절연층(130)을 관통하는 제5 비아(V5) 및 제3 상부 절연층(141)을 관통하는 제3 비아(V3)를 형성한 후 제5 회로 패턴층(P5)을 형성할 수 있다. 이때, 제3 비아(V3)는 제5 회로 패턴층(P5)의 어느 한 회로 패턴과 외부전극(11)을 직접 연결하며, 제5 비아(V5)는 제5 회로 패턴층(P5)의 어느 한 회로 패턴과 제3 회로 패턴층(P3)의 어느 한 회로 패턴을 직접 연결하는 것일 수 있다.6F, a fifth via V5 passing through the third upper insulating layer 141, the first insulating layer 120 and the second insulating layer 130, and a third upper insulating layer 141 The third vias V3 may be formed to penetrate the first circuit pattern layer P5 and the fifth circuit pattern layer P5. At this time, the third via V3 directly connects one of the circuit patterns of the fifth circuit pattern layer P5 and the external electrode 11, and the fifth via V5 connects the other circuit pattern of the fifth circuit pattern layer P5 It may be a direct connection of any one circuit pattern of the third circuit pattern layer P3 with one circuit pattern.

다음으로, 도 6g를 참조하면, 제3 상부 절연층(141) 상에 제3 하부 절연층(142)을 형성한 후, 제4 비아(V4) 및 제4 회로 패턴층(P4)을 형성하고, 제2 보강층(115)을 형성할 수 있다.Next, referring to FIG. 6G, a third lower insulating layer 142 is formed on the third upper insulating layer 141, a fourth via pattern V4 and a fourth circuit pattern layer P4 are formed And the second reinforcing layer 115 can be formed.

다음으로, 도 6h를 참조하면, 제1 금속층(P1') 하면에 결합되어 있던 디테치 코어(DC)를 제거할 수 있고, 도 6i를 참조하면, 제1 금속층(P1') 및 제2 금속층(P2')에 각각 제1 회로 패턴층(P1) 및 제2 회로 패턴층(P2)을 형성할 수 있다.Referring to FIG. 6H, the detent core DC coupled to the lower surface of the first metal layer P1 'can be removed. Referring to FIG. 6I, the first metal layer P1' and the second metal layer P1 ' The first circuit pattern layer P1 and the second circuit pattern layer P2 can be formed on the first circuit pattern layer P2 '.

다음으로, 도 6j 및 도 6k를 참조하면, 제1 회로 패턴층(P1) 및 제2 회로 패턴층(P2)에 솔더레지스트(SR)을 형성한 후 솔더볼(SB)을 형성할 수 있다.Next, referring to FIGS. 6J and 6K, the solder resist SR may be formed on the first circuit pattern layer P1 and the second circuit pattern layer P2, and then the solder ball SB may be formed.

한편, 제1 보강층(111)과 제2 보강층(115)은 전술한 바와 같이 열팽창계수가 11 ppm/℃ 미만이거나, 탄성계수가 25 GPa 이상인 자재로 구현함으로써 워피지를 감소시킬 수 있고, 이때, 글라스 자재를 사용할 수 있다.
As described above, the first reinforcing layer 111 and the second reinforcing layer 115 can be reduced in the warpage by a material having a coefficient of thermal expansion of less than 11 ppm / ° C or an elastic modulus of 25 GPa or more, Glass materials can be used.

도 7a 내지 도 7k는 본 발명의 다른 실시예에 따른 다층기판(100) 제조방법을 개략적으로 보인 공정단면도로써, 전술한 도 6a 내지 도 6k에 개시된 방법과 달리 디테치 코어(DC)의 양면에 대칭을 이루면서 각 층을 형성함으로써 워피지 감소에 더욱 유리하다.
7A to 7K are process cross-sectional views schematically showing a method of manufacturing a multilayer substrate 100 according to another embodiment of the present invention. Unlike the method described in Figs. 6A to 6K described above, on both surfaces of a detent core DC By forming each layer symmetrically, it is more advantageous to reduce warpage.

나머지 사항은 전술한 실시예에서 설명한 바와 유사하므로 중복되는 설명은 생략하기로 한다.The remaining parts are similar to those described in the above-mentioned embodiment, and a duplicate description will be omitted.

10 : 전자부품 11 : 외부전극
12 : 접착제 100, 200, 300 : 다층기판
110 : 보강층 111 : 제1 보강층
115 : 제2 보강층 120 : 제1 절연층
121 : 캐비티
130 : 제2 절연층 140 : 제3 절연층
141 : 제3 상부 절연층 142 : 제3 하부 절연층
P1 : 제1 회로 패턴층 P2 : 제2 회로 패턴층
P3 : 제3 회로 패턴층 P4 : 제4 회로 패턴층
P5 : 제5 회로 패턴층 P1' : 제1 금속층
P2' : 제2 금속층 P3' : 제3 금속층
V1 : 제1 비아 V2 : 제2 비아
V3 : 제3 비아 V4 : 제4 비아
V5 : 제5 비아 V6 : 제6 비아
SR : 솔더레지스트 SB : 솔더볼
312 : 방열 접착제 412 : 비전도성 접착제
DC : 디테치 코어
10: Electronic component 11: External electrode
12: adhesive 100, 200, 300: multi-layer substrate
110: reinforcing layer 111: first reinforcing layer
115: second reinforcing layer 120: first insulating layer
121: cavity
130: second insulation layer 140: third insulation layer
141: third upper insulating layer 142: third lower insulating layer
P1: first circuit pattern layer P2: second circuit pattern layer
P3: third circuit pattern layer P4: fourth circuit pattern layer
P5: fifth circuit pattern layer P1 ': first metal layer
P2 ': second metal layer P3': third metal layer
V1: First Via V2: Second Via
V3: Third Via V4: Fourth Via
V5: Via Via V6: Via Via
SR: Solder resist SB: Solder ball
312: Heat dissipation adhesive 412: Nonconductive adhesive
DC: detach core

Claims (21)

외부전극이 구비된 전자부품 및 상기 전자부품의 적어도 일부가 삽입되는 캐비티가 구비된 제1 절연층을 포함하는 다층기판에 있어서,
상기 제1 절연층의 상방 및 하방에 각각 구비되는 제1 보강층 및 제2 보강층; 및
상기 제1 보강층 및 상기 제2 보강층 사이에 구비되는 복수의 배선층들;
을 포함하되,
상기 제1 보강층 및 상기 제2 보강층은 상기 다층기판의 최외곽에 각각 구비되며,
상기 제1 절연층과 상기 제2 보강층 사이에 구비되는 배선층의 층수는 상기 제1 절연층과 상기 제1 보강층 사이에 구비되는 배선층의 층수 보다 큰 다층기판.
1. A multilayer board comprising an electronic part having an external electrode and a first insulating layer having a cavity into which at least a part of the electronic part is inserted,
A first reinforcing layer and a second reinforcing layer respectively provided above and below the first insulating layer; And
A plurality of wiring layers provided between the first reinforcing layer and the second reinforcing layer;
≪ / RTI >
Wherein the first reinforcing layer and the second reinforcing layer are provided at the outermost portions of the multilayer substrate,
Wherein the number of wiring layers provided between the first insulating layer and the second reinforcing layer is greater than the number of wiring layers provided between the first insulating layer and the first reinforcing layer.
청구항 1에 있어서,
상기 제1 보강층 및 상기 제2 보강층은 열팽창계수가 11 ppm/℃ 이하인 자재로 이루어지는 다층기판.
The method according to claim 1,
Wherein the first reinforcing layer and the second reinforcing layer are made of a material having a thermal expansion coefficient of 11 ppm / 占 폚 or less.
청구항 1에 있어서,
상기 제1 보강층 및 상기 제2 보강층은 탄성계수가 25 GPa 이상인 자재로 이루어지는 다층기판.
The method according to claim 1,
Wherein the first reinforcing layer and the second reinforcing layer are made of a material having an elastic modulus of 25 GPa or more.
청구항 1에 있어서,
상기 제1 보강층 및 상기 제2 보강층은 열팽창계수가 11 ppm/℃ 이하이고, 탄성계수가 25 GPa 이상인 자재로 이루어지는
다층기판.
The method according to claim 1,
Wherein the first reinforcing layer and the second reinforcing layer are made of a material having a thermal expansion coefficient of 11 ppm / 占 폚 or less and an elastic modulus of 25 GPa or more
Multilayer substrate.
청구항 1에 있어서,
상기 제1 보강층 및 상기 제2 보강층은 글라스 자재로 이루어지는
다층기판.
The method according to claim 1,
Wherein the first reinforcing layer and the second reinforcing layer are made of a glass material
Multilayer substrate.
청구항 1에 있어서,
상기 외부전극은, 상기 전자부품의 외면들 중에서 상기 제2 보강층을 향하는 외면에 위치되는
다층기판.
The method according to claim 1,
Wherein the outer electrode is located on an outer surface of the outer surface of the electronic component facing the second reinforcing layer
Multilayer substrate.
청구항 6에 있어서,
솔더레지스트가 상기 제1 보강층의 일면 및 상기 제2 보강층의 타면 중 적어도 한 면의 적어도 일부를 덮는
다층기판.
The method of claim 6,
Wherein the solder resist covers at least a part of one surface of the first reinforcing layer and the other surface of the second reinforcing layer
Multilayer substrate.
청구항 6에 있어서,
상기 제1 보강층의 하면에는 제3 회로 패턴층이 구비되며,
상기 제1 보강층의 하면 및 상기 제3 회로 패턴층에 접촉되는 제2 절연층이 상기 제1 보강층과 상기 제1 절연층 사이에 더 구비되는
다층기판.
The method of claim 6,
A third circuit pattern layer is provided on a lower surface of the first reinforcing layer,
And a second insulating layer contacting the lower surface of the first reinforcing layer and the third circuit pattern layer is further provided between the first reinforcing layer and the first insulating layer
Multilayer substrate.
청구항 8에 있어서,
상기 제1 절연층과 상기 제2 보강층 사이에 구비되며, 상기 제2 보강층에 접촉되는 제4 회로 패턴층이 표면 일부에 구비된 제3 절연층을 더 포함하는
다층기판.
The method of claim 8,
And a third insulating layer provided between the first insulating layer and the second reinforcing layer and including a fourth circuit pattern layer in contact with the second reinforcing layer,
Multilayer substrate.
복수의 배선층을 포함하는 다층기판에 있어서,
상기 다층기판의 일면 최외곽에 구비되는 제1 보강층;
상기 다층기판의 타면 최외곽에 구비되는 제2 보강층;
외부전극이 구비된 전자부품 및 상기 전자부품의 적어도 일부가 삽입되는 캐비티가 구비되고, 상기 제1 보강층 및 상기 제2 보강층 사이에 위치되는 제1 절연층;
상기 제1 보강층의 하면에 구비되는 제3 회로 패턴층 및 상기 제1 보강층의 하면에 접촉되고 상기 제1 보강층과 상기 제1 절연층 사이에 구비되는 제2 절연층; 및
상기 제1 절연층과 상기 제2 보강층 사이에 구비되며, 상기 제2 보강층에 접촉되는 제4 회로 패턴층이 표면 일부에 구비된 제3 절연층;을 포함하되,
상기 제3 절연층은,
상기 제1 절연층 및 상기 전자부품의 표면에 접촉되며, 하면에 제5 회로 패턴층이 구비되는 제3 상부 절연층; 및
일면이 상기 제4 회로 패턴층 및 상기 제2 보강층에 접촉하는 제3 하부 절연층;을 포함하는 다층기판.
In a multilayer board including a plurality of wiring layers,
A first reinforcing layer provided on the outermost one surface of the multilayer substrate;
A second reinforcing layer provided on the outermost surface of the other surface of the multilayer substrate;
A first insulating layer disposed between the first reinforcing layer and the second reinforcing layer, wherein the first insulating layer includes an electronic part having an external electrode and a cavity into which at least a part of the electronic part is inserted;
A third insulating layer formed on the lower surface of the first reinforcing layer and contacting the lower surface of the third circuit pattern layer and the first reinforcing layer and between the first reinforcing layer and the first insulating layer; And
And a third insulating layer provided between the first insulating layer and the second reinforcing layer and including a fourth circuit pattern layer contacting the second reinforcing layer on a surface thereof,
Wherein the third insulating layer
A third upper insulating layer contacting the surfaces of the first insulating layer and the electronic component and having a fifth circuit pattern layer on the lower surface thereof; And
And a third lower insulating layer having one side in contact with the fourth circuit pattern layer and the second reinforcing layer.
청구항 10에 있어서,
상기 제2 절연층, 상기 제1 절연층 및 상기 제3 상부 절연층을 관통하며, 상기 제3 회로 패턴층 중 적어도 한 회로 패턴과 상기 제5 회로 패턴층 상의 적어도 한 회로 패턴을 직접 연결하는 제5 비아를 더 포함하는 다층기판.
The method of claim 10,
A second insulating layer, a third insulating layer, and a third insulating layer, the second insulating layer, the first insulating layer, and the third upper insulating layer, wherein at least one circuit pattern of the third circuit pattern layer and at least one circuit pattern on the fifth circuit pattern layer are directly connected 5 < / RTI > vias.
청구항 10에 있어서,
상기 제3 상부 절연층을 관통하며, 상기 제5 회로 패턴층 중 적어도 한 회로 패턴과 상기 외부전극을 직접 연결하는 제3 비아를 더 포함하는 다층기판.
The method of claim 10,
And a third via penetrating the third upper insulating layer and directly connecting at least one circuit pattern of the fifth circuit pattern layer and the external electrode.
삭제delete 삭제delete 일면에 제3 회로 패턴층이 구비된 제1 보강층에 외부전극이 구비된 전자부품을 실장하는 단계;
상기 제3 회로 패턴층 및 상기 제1 보강층을 커버하며, 상기 전자부품의 측면에 접촉되는 제2 절연층을 상기 제1 보강층 상에 형성하는 단계;
상기 전자부품의 적어도 일부가 삽입되는 캐비티를 구비한 제1 절연층을 상기 제2 절연층 상에 적층하는 단계;
상기 전자부품 및 상기 제1 절연층을 커버하며, 상기 캐비티와 상기 전자부품 사이를 충진하는 제3 상부 절연층을 상기 제1 절연층 상에 형성하는 단계;
적어도 한 회로 패턴이 제3 비아에 의하여 상기 외부전극과 직접 연결되는 제5 회로 패턴층을 상기 제3 상부 절연층 상에 형성하는 단계;
상기 제5 회로 패턴층 및 상기 제3 상부 절연층을 커버하는 제3 하부 절연층을 상기 제3 상부 절연층 상에 형성하는 단계;
적어도 한 회로 패턴이 제4 비아에 의하여 상기 제5 회로 패턴층의 적어도 한 회로 패턴과 직접 연결되는 제4 회로 패턴층을 상기 제3 하부 절연층 상에 형성하는 단계; 및
상기 제4 회로 패턴층 및 상기 제3 하부 절연층을 커버하는 제2 보강층을 상기 제3 하부 절연층 상에 형성하는 단계;
를 포함하며,
상기 제1 보강층 및 상기 제2 보강층은 다층기판의 워피지를 감소시키는 것인
다층기판 제조방법.
Mounting an electronic component having external electrodes on a first reinforcing layer having a third circuit pattern layer on one surface thereof;
Forming a second insulating layer covering the third circuit pattern layer and the first reinforcing layer and contacting the side surface of the electronic component on the first reinforcing layer;
Layering a first insulating layer having a cavity into which at least a part of the electronic component is inserted, on the second insulating layer;
Forming a third upper insulating layer on the first insulating layer to cover the electronic component and the first insulating layer and fill the gap between the cavity and the electronic component;
Forming a fifth circuit pattern layer on the third upper insulating layer in which at least one circuit pattern is directly connected to the external electrode by a third via;
Forming a third lower insulating layer covering the fifth circuit pattern layer and the third upper insulating layer on the third upper insulating layer;
Forming a fourth circuit pattern layer on the third lower insulating layer such that at least one circuit pattern is directly connected to at least one circuit pattern of the fifth circuit pattern layer by a fourth via; And
Forming a second reinforcing layer covering the fourth circuit pattern layer and the third lower insulating layer on the third lower insulating layer;
/ RTI >
Wherein the first reinforcing layer and the second reinforcing layer reduce the warpage of the multi-
A method for manufacturing a multilayer substrate.
청구항 15에 있어서,
상기 제1 보강층 및 상기 제2 보강층은 열팽창계수가 11 ppm/℃ 이하인 조건 및 탄성계수가 25 GPa 이상인 조건 중 적어도 한 조건을 만족하는 자재로 이루어지는 것을 특징으로 하는
다층기판 제조방법.
16. The method of claim 15,
Wherein the first reinforcing layer and the second reinforcing layer are made of a material that satisfies at least one of a condition that a thermal expansion coefficient is 11 ppm / 占 폚 or less and a condition that an elastic modulus is 25 GPa or more
A method for manufacturing a multilayer substrate.
청구항 16에 있어서,
상기 보강층은 글라스 자재로 형성되는
다층기판 제조방법.
18. The method of claim 16,
The reinforcing layer is formed of a glass material
A method for manufacturing a multilayer substrate.
청구항 16에 있어서,
상기 제1 보강층은 디테치 코어의 상면과 하면에 각각 형성되며, 상기 디테치 코어를 중심으로 상면 방향 및 하면 방향으로 각각 상기 다층기판 제조방법이 수행된 후 상기 디테치 코어에서 분리되는
다층기판 제조방법.
18. The method of claim 16,
The first reinforcing layer is formed on the upper surface and the lower surface of the detent core, and the multi-layer substrate manufacturing method is performed on the detent core in the top and bottom directions, respectively,
A method for manufacturing a multilayer substrate.
청구항 16에 있어서,
상기 제3 상부 절연층 및 상기 제3 하부 절연층은 심재가 없는 유동성 합성수지를 경화시켜 형성되는
다층기판 제조방법.
18. The method of claim 16,
The third upper insulating layer and the third lower insulating layer are formed by curing a fluid synthetic resin having no core material
A method for manufacturing a multilayer substrate.
청구항 16에 있어서,
상기 제2 절연층은 심재를 포함하는 유동성 합성수지를 경화시켜 형성되는
다층기판 제조방법.
18. The method of claim 16,
The second insulation layer is formed by curing a fluid synthetic resin containing a core material
A method for manufacturing a multilayer substrate.
청구항 16에 있어서,
상기 제5 회로 패턴층을 상기 제3 상부 절연층 상에 형성하는 단계는,
상기 제5 회로 패턴층의 적어도 한 회로 패턴을 상기 제3 회로 패턴층의 적어도 한 회로 패턴과 직접 연결시키는 제5 비아를 형성하는 단계를 더 포함하는
다층기판 제조방법.
18. The method of claim 16,
The step of forming the fifth circuit pattern layer on the third upper insulating layer may include:
Forming a fifth via that directly connects at least one circuit pattern of the fifth circuit pattern layer with at least one circuit pattern of the third circuit pattern layer
A method for manufacturing a multilayer substrate.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20200028602A (en) * 2018-09-07 2020-03-17 삼성전기주식회사 Printed circuit board with embedded interconnect structure

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10600748B2 (en) * 2016-06-20 2020-03-24 Samsung Electronics Co., Ltd. Fan-out semiconductor package
KR102003390B1 (en) * 2016-06-20 2019-07-24 삼성전자주식회사 Fan-out semiconductor package
JP6562467B2 (en) 2016-06-21 2019-08-21 サムスン エレクトロニクス カンパニー リミテッド Fan-out semiconductor package
KR101982049B1 (en) * 2016-11-23 2019-05-24 삼성전기주식회사 Fan-out semiconductor package
KR101983188B1 (en) * 2016-12-22 2019-05-28 삼성전기주식회사 Fan-out semiconductor package
TWI644598B (en) * 2017-04-21 2018-12-11 南亞電路板股份有限公司 Circuit board structure and method for forming the same
JP6991014B2 (en) * 2017-08-29 2022-01-12 キオクシア株式会社 Semiconductor device
KR101901712B1 (en) 2017-10-27 2018-09-27 삼성전기 주식회사 Fan-out semiconductor package
KR101912290B1 (en) 2017-12-06 2018-10-29 삼성전기 주식회사 Fan-out semiconductor package
KR102550170B1 (en) * 2018-01-04 2023-07-03 삼성전기주식회사 Printed circuit board and camera module having the same
US10804205B1 (en) * 2019-08-22 2020-10-13 Bridge Semiconductor Corp. Interconnect substrate with stiffener and warp balancer and semiconductor assembly using the same
CN113068326B (en) * 2021-03-29 2022-09-30 北京小米移动软件有限公司 Welding quality processing method and device and circuit board
KR102645018B1 (en) * 2022-04-19 2024-03-08 한국전자기술연구원 Electronic device and manufacturing method thereof

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009218545A (en) * 2008-03-12 2009-09-24 Ibiden Co Ltd Multilayer printed wiring board and its manufacturing method
KR20110100981A (en) * 2010-03-05 2011-09-15 삼성전기주식회사 Electro device embedded printed circuit board and manufacturing method thereof
KR101067109B1 (en) * 2010-04-26 2011-09-26 삼성전기주식회사 A printed circuit board comprising embeded electronic component within and a method for manufacturing

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009218545A (en) * 2008-03-12 2009-09-24 Ibiden Co Ltd Multilayer printed wiring board and its manufacturing method
KR20110100981A (en) * 2010-03-05 2011-09-15 삼성전기주식회사 Electro device embedded printed circuit board and manufacturing method thereof
KR101067109B1 (en) * 2010-04-26 2011-09-26 삼성전기주식회사 A printed circuit board comprising embeded electronic component within and a method for manufacturing

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20200028602A (en) * 2018-09-07 2020-03-17 삼성전기주식회사 Printed circuit board with embedded interconnect structure
KR102163059B1 (en) 2018-09-07 2020-10-08 삼성전기주식회사 Printed circuit board with embedded interconnect structure

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