KR101508144B1 - Vo2 laminate with functionalized graphene for active thermo-chromic smart window - Google Patents

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Abstract

본 발명은 능동형 감온 변색 VO2(바나듐 디옥사이드, Vanadium Dioxide) 적층체에 관한 것으로, 보다 상세하게는 감온 변색층과 발열히터가 함께 적층되고, 스마트 윈도우에 전사 또는 부착하여 활용 가능한 능동형 스마트 윈도우용으로 기능화된 그래핀 기반 VO2적층체에 관한 것이다.
본 발명은 도핑, 인위적 구조적 결함 생성에 의해서 기능화된 그래핀층을 바나듐다이옥사이드층의 베이스로 이용함으로써 VO2 적층체의 광투과도를 향상시킬 수 있으며, 기능화된 그래핀 기반의 발열히터를 사용하여 사용자가 적층체의 온도를 능동적으로 조절할 수 있다.
More particularly, the present invention relates to a laminate of active temperature discoloration VO 2 (Vanadium Dioxide), more specifically, a laminate of a thermochromic layer and a heating heater, Functionalized graphene-based VO 2 laminate.
The invention VO 2 by using a functionalized yes pin layer by doping, artificially structural defects created in the base of the vanadium dioxide layer The light transmittance of the layered product can be improved and the user can actively control the temperature of the layered product by using a functionalized graphene-based heat generating heater.

Description

기능화된 그래핀 기반 발열기판{VO2 LAMINATE WITH FUNCTIONALIZED GRAPHENE FOR ACTIVE THERMO-CHROMIC SMART WINDOW}TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to a functionalized graphene-based heating substrate,

본 발명은 기능화된 그래핀 기반 발열기판에 관한 것으로, 보다 상세하게는 기판 양말단 혹은 기능화된 그래핀층의 상부 및/또는 하부에 전극이 형성된 발열기판에 관한 것이다.
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a functionalized graphene-based heating substrate, and more particularly, to a heating substrate having electrodes formed on the top and / or bottom of a substrate edge or functionalized graphene layer.

건축물에 있어서 에너지 손실이 창호를 통해 제일 많이 일어난다는 사실은 널리 알려져 왔으며, 이러한 에너지 손실을 막기 위하여 다양한 방법들이 시도되어 왔다. It has been widely known that energy loss in buildings is the most common through window, and various methods have been tried to prevent such energy loss.

특히, 최근에는 열에 의해 물질의 색이 변화하는 특성인 감온 변색(thermochromic) 재료를 유리에 코팅하여 적외선 투과율을 통한 에너지 유입을 조절하는 감온 변색 유리가 연구되고 있다. 이와 같은 감온 변색 유리는 빛의 투과도나 반사율을 마음대로 조절할 수 있는 소위 ‘스마트 윈도우’ 개발과 관련하여 관심이 집중되고 있는 실정이다. Particularly, recently, a thermochromic material, which is a characteristic in which the color of a material changes due to heat, is coated on a glass to control the energy inflow through the infrared transmittance. Such a thermochromic glass has been attracting interest in the development of a so-called 'smart window' capable of controlling light transmittance and reflectance freely.

상기 감온 변색 재료는 상변이 온도를 기준으로 하여 광투과도 및 반사도가 크게 변화하는 특성이 있으며, 감온 변색 재료의 대표적인 예로는 바나듐다이옥사이드(VO2,Vanadium Dioxide)가 있다. 바나듐다이옥사이드는 340K(68℃) 부근에서 금속-절연체 간 상전이(MIT, metal-insulator transition) 특성을 갖는다. 즉, 바나듐다이옥사이드는 상전이 온도인 68℃ 이상에서는 금속 형태로 존재하여 적외선을 차폐시키고, 68℃ 미만에서는 절연체 형태로 존재하여 적외선을 투과시킨다. 따라서, 상기 바나듐다이옥사이드를 스마트 윈도우 개발에 응용하기 위한 다양한 시도가 이루어지고 있는 실정이다.The heat-sensitive coloring material has a characteristic that light transmittance and reflectivity vary greatly with the phase-change temperature. A representative example of the heat-sensitive coloring material is vanadium dioxide (VO 2 ). Vanadium dioxide has metal-insulator transition (MIT) characteristics at around 340K (68 ° C). That is, vanadium dioxide exists in a metal form at a phase transition temperature of 68 ° C or higher to shield infrared rays, and when it is less than 68 ° C, it exists in an insulator form to transmit infrared rays. Accordingly, various attempts have been made to apply vanadium dioxide to smart window development.

이에, 한국 공개특허공보 제2012-0127043호에는 기판에 써모크로믹 박막 및 투명도전막을 코팅하여 건물의 냉난방 효율을 향상시키는 에너지절약형 창으로 기판 및 상기 기판 상면에 형성되고 온도에 따라 가시광선 및 근적외선의 투과율이 조절되는 써모 크로믹(thermo-chromic)박막을 포함하는 것을 개시하고 있으나, 이와 같이 바나듐 디옥사이드만을 유리에 코팅시키는 경우에는 광투과도의 절대치가 상대적으로 낮아서 ‘스마트 윈도우’에 적용시키기에는 한계가 있었다. 또한, 바나듐다이옥사이드의 써모크로믹 특성을 스마트 윈도우에 활용하기 위해서는 상전이 온도를 상온 근처로 줄여야 하는데, 바나듐 디옥사이드의 상전이 온도를 제어할 필요가 있다. 따라서, 스마트 윈도우에 있어서 광투과도를 향상시키고 바나듐다이옥사이드의 상전이 온도를 낮출 수 있는 방안이 모색되고 있다. Korean Patent Laid-Open Publication No. 2012-0127043 discloses an energy-saving window for coating a substrate with a thermochromic thin film and a transparent conductive film to improve the cooling and heating efficiency of a building. The window is formed on a substrate and on the upper surface of the substrate. Chromium thin film in which the transmittance of the vanadium dioxide is controlled. However, in the case where only vanadium dioxide is coated on the glass, the absolute value of the light transmittance is relatively low, . Further, in order to utilize the thermochromic characteristic of vanadium dioxide in a smart window, the phase transition temperature should be reduced to about room temperature, and it is necessary to control the phase transition temperature of vanadium dioxide. Accordingly, a method for improving light transmittance in a smart window and lowering the phase transition temperature of vanadium dioxide has been sought.

또한, 본 출원인에 의해서 출원된 출원번호 제10-2011-0080007호에는 그래핀층을 기반으로 하는 스마트 윈도우용 VO2 적층체가 개시되어 있으나, 그래핀의 그레인 사이즈를 제어하는데 어려움이 존재하여, 불규칙적인 크기의 그래핀층에 의하여 빛의 투과도가 저하되는 것이 발생하여 이의 개선이 필요한 상황이다.No. 10-2011-0080007 filed by the present applicant discloses a VO2 laminate for smart windows based on a graphene layer but there is a difficulty in controlling the grain size of the graphene, The transmittance of light is lowered by the graphene layer of the light emitting layer.

한편, 종래의 감온 변색 물질을 이용한 스마트 윈도우는 수동적으로 외부의 온도에 따라 색이 변하여 빛을 차단하거나 통과시켜 주는 것이어서 사용자가 원하는 모드, 즉 사용자의 의지와 무관하게 빛이 차단되거나 통과되는 불편함이 있었다.Meanwhile, the conventional smart window using the thermochromic discoloring material passively blocks or transmits light by changing the color according to the temperature of the external, so that it is inconvenient that the light is blocked or passed through regardless of the user's desired mode, .

이에, 본 발명자들은 상기와 같은 문제점을 해소하고자, 그래핀층에 도펀트로 도핑하거나, 산소 플라즈마, UV 조사, 화학적 처리 등을 적용하여 인위적으로 그래핀층에 구조적 결함(defect)이 생성되도록 하여 그래핀층에 기능성을 부여하고, 기능화된 그래핀은 그레인 사이즈를 균일하게 조절하여 광투과율 및 전기 전도도를 개선할 수 있고, 이러한 기능화된 그래핀층에 전극 및 발열부를 갖는 기능화된 그래핀 기반의 기판을 형성하여 사용자가 온도를 조절하여 능동적으로 빛을 차단할 수 있는 것를 을 확인하고, 본 발명을 완성하게 되었다.
In order to solve the above problems, the inventors of the present invention have proposed a method of forming a graphene layer by doping a graphene layer with a dopant, or by applying oxygen plasma, UV irradiation, chemical treatment, or the like to artificially generate a structural defect in the graphene layer, Functionalized graphene can improve the light transmittance and electrical conductivity by uniformly controlling the grain size and form a functionalized graphene-based substrate having electrodes and a heating portion in the functionalized graphene layer, The temperature can be controlled to actively block the light, and the present invention has been completed.

본 발명은 능동형 감온 변색 VO2(바나듐 디옥사이드, Vanadium Dioxide) 적층체에 관한 것으로, 보다 상세하게는 감온 변색층과 발열히터를 함께 적층하고, 스마트 윈도우에 전사 또는 부착하여 활용 가능한 스마트 윈도우용으로 기능화된 그래핀 기반 VO2적층체를 제공하고자 한다.
The invention functionalized for the active thermochromic VO 2 (vanadium dioxide, Vanadium Dioxide) laminated relates to a body, and more particularly, laminated with the thermochromic layer and the heating heater, and utilized in the transfer or attaching to a smart window capable SmartWindow To provide a graphene-based VO 2 laminate.

본 발명에 따른 기능화된 그래핀 기반 발열기판은 기판; 기판의 양단에 형성된 구리 및/또는 은 전극; 양단의 상기 구리 및/또는 은 전극 사이에 발열체;를 포함하고, 상기 발열체는 CNT, 그래핀, 은 나노와이어, PEDOT/PSS 중 적어도 하나 이상을 선택하는 것을 포함한다.The functionalized graphene-based heating substrate according to the present invention comprises a substrate; A copper and / or silver electrode formed on both ends of the substrate; And a heating element between the copper and / or silver electrodes at both ends, wherein the heating element includes at least one of CNT, graphene, silver nanowire, and PEDOT / PSS.

본 발명에 따른 발열기판은 기판의 양 말단 상기 기판의 상부 및/또는 하부에 구리 및/또는 은 전극을 형성하는 제1단계; 상기 기판의 양단의 상기 구리 및/또는 은 전극 사이에 상기 발열기판 양단의 상기 구리 및/또는 은 전극 사이에 발열체를 형성하는 제2단계;;를 포함하는 하고, 상기 발열체는 CNT, 그래핀, 은 나노와이어, PEDOT/PSS 중 적어도 하나 이상을 선택하는 것을 포함하는 방법에 의해서 제조된다.A heating substrate according to the present invention includes a first step of forming copper and / or silver electrodes on upper and / or lower sides of the substrate at both ends of the substrate; And a second step of forming a heating element between the copper and / or silver electrodes on both ends of the substrate, between the copper and / or silver electrodes on both ends of the heating substrate, wherein the heating element is CNT, Is made by a method comprising selecting at least one of a nanowire, PEDOT / PSS.

본 발명에 따른 다른 일례는, 능동형 감온 변색 윈도우용 기능화된 그래핀 기반 VO2 적층체를 유연성 기재의 상부에 기능화된 그래핀층, 하부에 그래핀층을 형성하는 제1단계; 상기 단계에서 형성된 기능화된 그래핀층/유연성 기재/그래핀층의 기능화된 그래핀층의 일면에 바나듐다이옥사이드(VO2)를 증착하여 바나듐다이옥사이드층을 형성하는 제2단계; 상기 그래핀층에 은 나노 와이어를 증착하는 제3단계; 상기 제3단계에서 은 나노 와이어가 증착된 그래핀층에 발열기판를 적층하는 제4단계;를 포함하는 방법에 의하여 제조되며, 발열기판은 기판의 양 말단 혹은 상기 제2 그래핀층의 상부 및/또는 하부에 구리 및/또는 은 전극을 형성하는 제3-1단계; 상기 기판 양단의 상기 구리 및/또는 은 전극 사이에 PEDOT을 도포하는 제3-2단계;상기 기판에 나노 와이어층을 증착하는 제3-3단계를 포함하는 방법에 의해서 제조된다.According to another embodiment of the present invention, there is provided a method for manufacturing a touch panel, comprising: a first step of forming a functionalized graphene-based VO2 laminate for an active type temperature-sensitive color changing window on a functionalized graphene layer on a flexible substrate; A second step of depositing vanadium dioxide (VO 2 ) on one surface of the functionalized graphene layer / functionalized graphene layer of the flexible substrate / graphene layer formed in the above step to form a vanadium dioxide layer; A third step of depositing silver nanowires on the graphene layer; And a fourth step of laminating a heating substrate on the graphene layer on which the silver nanowires are deposited in the third step, wherein the heating substrate is bonded to both ends of the substrate or the upper and / A third step of forming a copper and / or silver electrode on the first electrode; (3-2) applying PEDOT between the copper and / or silver electrodes on both ends of the substrate, and (3-3) depositing a nanowire layer on the substrate.

또한, 상기 제1단계는 제1기재 상부에 그래핀층을 형성하는 제1-1단계; 상기 제1-1 단계에서 형성된 그래핀층을 기능화하여 기능화된 그래핀층을 형성하는 제1-2단계; 유연성 기재를 라미네이팅하여 제1기재/기능화된 그래핀층/유연성 기재를 포함하는 적층체를 형성하는 제1-3단계; 상기 제1-3단계에서 형성된 적층체로부터 상기 제1기재를 에칭법을 이용하여 제거하는 것과, 동시에 상기 기능화된 그래핀층을 상기 유연성 기재 상에 전사하여 기능화된 그래핀층/유연성 기재를 형성하는 제1-4단계; 제2기재 상부에 그래핀층을 형성하는 제1-5단계; 상기 제1-4단계에서 형성된 기능화된 그래핀층/유연성 기재를 라미네이팅하여 제2기재/그래핀층/유연성 기재/기능화된 그래핀을 포함하는 적층체를 형성하는 제1-6단계; 상기 제1-6단계에서 형성된 상기 적층체로부터 상기 제2기재를 에칭법을 이용하여 제거하는 것과, 동시에 상기 그래핀층을 상기 유연성 기재 상에 전사하는 제1-7단계;를 포함한다.The first step may include a first step of forming a graphene layer on the first base material; A first step of functionalizing the graphene layer formed in the step 1-1 to form a functionalized graphene layer; Laminating the flexible substrate to form a laminate including the first substrate / functionalized graphene layer / flexible substrate; Removing the first base material from the laminate formed in the step 1-3 by using an etching method and transferring the functionalized graphene layer onto the flexible base material to form functionalized graphene layer / Steps 1-4; (1-5) forming a graphene layer on the second substrate; Laminating the functionalized graphene layer / flexible substrate formed in the step 1-4 to form a laminate including the second substrate / the graphene layer / the flexible substrate / the functionalized graphene; And a 1-7 step of removing the second base material from the laminate formed in the step 1-6 by using the etching method and simultaneously transferring the graphene layer onto the flexible base material.

본 발명에 따른 다른 일례인, 능동형 감온 변색 윈도우용 기능화된 그래핀 기반 VO2 적층체는 적어도 한층 이상을 구비한 기능화된 그래핀층: 상기 기능화된 그래핀층의 일면에 형성되는 바나듐다이옥사이드(VO2)층; 상기 바나듐다이옥사이드(VO2)층 하부에 적층된 유연성 기재; 상기 유연성 기재의 하부에 적층된 전극층; 상기 전극층에 적층된 발열기판;을 포함하여 이루어진다.According to another embodiment of the present invention, the functionalized graphene-based VO2 laminate for an active type thermochromic window includes a functionalized graphene layer having at least one or more layers: a vanadium dioxide (VO2) layer formed on one surface of the functionalized graphene layer; A flexible substrate laminated below the vanadium dioxide (VO2) layer; An electrode layer laminated on the lower portion of the flexible substrate; And a heating substrate laminated on the electrode layer.

한편, 바나듐다이옥사이드 상부에 형성되는 보호층을 더 포함할 수 있으며, 이 때, 상기 보호층은 PMMA (polymethylnathacrylate), PVDF (polyvinylidenefluoride), PS (polystyrene)-co-PMMA-co-PS, PR (photoresist), ER (electroresist), SiOx, TiOx, TiOx-Ag, ITO, FTO, 또는 AlOx 중에서 선택되는 1종 이상일 수 있다.The protective layer may further include at least one material selected from the group consisting of polymethylnathacrylate (PMMA), polyvinylidene fluoride (PVDF), polystyrene (PS) -co-PMMA-co- ), ER (electroresist), SiOx, TiOx, TiOx-Ag, ITO, FTO, or AlOx.

또한, 기능화된 그래핀층은 전사 또는 부착되는 접착 테이프, 풀, 에촉시 수지, 광연화용 테이프, 열박리성 테이프 또는 수용성 테이프와 같은 유연성 기재를 더 포함할 수도 있다.
In addition, the functionalized graphene layer may further include a flexible substrate such as an adhesive tape to be transferred or adhered, a paste, an adhesive resin, a lightening tape, a heat-peelable tape, or a water-soluble tape.

본 발명은 도핑, 인위적 구조적 결함 생성에 의해서 기능화된 그래핀층을 바나듐다이옥사이드층의 베이스로 이용함으로써 VO2 적층체의 광투과도를 향상시킬 수 있으며, 기능화된 그래핀 기반의 발열히터를 사용하여 사용자가 적층체의 온도를 능동적으로 조절할 수 있다. The invention VO 2 by using a functionalized yes pin layer by doping, artificially structural defects created in the base of the vanadium dioxide layer The light transmittance of the layered product can be improved and the user can actively control the temperature of the layered product by using a functionalized graphene-based heat generating heater.

또한, 기능화된 그래핀층은 다양한 기재에 전사가 가능하므로 스마트 윈도우용 VO2필름 제조 시에 관련 공정을 보다 간단화시킬 수 있을 뿐만 아니라, 대면적화가 가능하므로 능동형 감온 변색 스마트 윈도우용 VO2필름의 대량 생산이 가능하다.
In addition, functionalized yes pin layer is of a possible because not only can be further simplified to the relevant process, in the manufacture VO 2 film for smart windows, since the large area upset possible active thermochromic VO 2 film for smart windows transferred to various substrates Mass production is possible.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 능동형 감온 변색 스마트 윈도우용 VO2적층체를 개략적으로 도시한 것이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기능화된 그래핀층을 기반으로 하는 발열기판 및 발열체를 개략적으로 도시한 것이다.
도 3은 CVD(Chemical Vapor Deposition ; 화학 기상 증착)법을 사용하여 그래핀을 대면적으로 합성하면서 NH3, N2, CH4, H2등의 gas를 주입 (Doping ; 도핑)할 경우의 라만 분광기 분석 결과이다
도4는 CVD(Chemical Vapor Deposition ; 화학 기상 증착)법을 사용하여 그래핀을 대면적으로 합성하면서 NH3, N2, CH4, H2등의 gas를 주입 (Doping ; 도핑)할 경우의 TEM 이미지이다.
도5는 플라즈마 유도 장비(Reactive Ion Etching Plasma: RIE Plasma)를 이용하여 공정 변수(plasma Power, reactive time, gas flow)에 따른 질소 치환을 유도하고 도핑 시간을 변화시킨 라만 분광기 분석 결과이다.
FIG. 1 is a schematic view of a VO 2 stacked body for active temperature-sensitive color change smart window according to an embodiment of the present invention.
2 is a schematic view illustrating a heating substrate and a heating element based on a functionalized graphene layer according to an embodiment of the present invention.
3 is a Raman spectroscopic analysis result when gases such as NH3, N2, CH4, and H2 are doped (doped) while synthesizing graphene in a large area using CVD (Chemical Vapor Deposition)
FIG. 4 is a TEM image showing a case where a gas such as NH 3, N 2, CH 4, and H 2 is doped while doping with a large area of graphene using CVD (Chemical Vapor Deposition).
FIG. 5 is a Raman spectroscopic analysis result of inducing nitrogen substitution according to process parameters (plasma power, reactive time, gas flow) using a plasma induction apparatus (Reactive Ion Etching Plasma) and changing the doping time.

이하, 본 발명의 실시예들에 대하여 구체적으로 설명하도록 한다. 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명은 본 발명의 요지를 모호하지 않게 하기 위하여 생략한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail. In the following description of the present invention, a detailed description of known functions and configurations incorporated herein will be omitted so as to avoid obscuring the subject matter of the present invention.

본 명세서에서 사용되는 정도의 용어 "약", "실질적으로" 등은 언급된 의미에 고유한 제조 및 물질 허용오차가 제시될 때 그 수치에서 또는 그 수치에 근접한 의미로 사용되고, 본 발명의 이해를 돕기 위해 정확하거나 절대적인 수치가 언급된 개시 내용을 비양심적인 침해자가 부당하게 이용하는 것을 방지하기 위해 사용된다.The terms "about "," substantially ", etc. used to the extent that they are used herein are intended to be taken to mean an approximation of, or approximation to, the numerical values of manufacturing and material tolerances inherent in the meanings mentioned, Accurate or absolute numbers are used to help prevent unauthorized exploitation by unauthorized intruders of the referenced disclosure.

본 명세서에 기재된 능동형 감온 변색 스마트 윈도우용 VO2적층체의 각 층(layer)은 첨부된 도면을 기준으로 제시된 것일 뿐임을 밝혀둔다. 즉, 본 명세서에서는 언급되는 층(layer)만으로 구성되는 경우뿐만 아니라, 상기 층들 사이에 다른 층이 개재되거나 존재하는 경우도 본 발명의 범위에 포함될 수 있다.
It should be noted that each layer of the VO 2 laminate for active window type SMOOK described in this specification is only based on the attached drawings. That is, not only the case where only the layer referred to in this specification is made, but also the case where another layer intervenes or exists between the layers can be included in the scope of the present invention.

*또한, 본 명세서에 있어서 “상부”, “상에” 또는 “위에”라는 표현은 첨부된 도면을 기준으로 상대적인 위치 개념을 언급하기 위한 것이고, 상기 표현들은 언급된 층에 다른 구성요소 또는 층이 직접적으로 존재하는 경우뿐만 아니라, 그 사이에 다른 층 또는 구성요소가 개재되거나 존재할 수 있으며, 또한 언급된 층과의 관계에서 상부에 존재하기는 하지만 언급된 층의 표면(특히, 입체적 형상을 갖는 표면)을 완전히 덮지 않은 경우도 포함할 수 있음을 밝혀둔다. 마찬가지로 “하부”, “하측에” 또는 “아래에”라는 표현 역시 특정 층(구성요소)과 다른 층(구성요소) 사이의 위치에 대한 상대적 개념으로 이해될 수 있을 것이다.It is also to be understood that the expressions " above ", " above ", or " above " are intended to refer to the relative positional concept based on the attached drawings, Other layers or components may be intervened or present, as well as the surface of the layer referred to above (particularly, the layer having a three-dimensional shape ) May not be completely covered. Likewise, the expression " lower, " " under, " or " under " may also be understood as a relative concept of the position between a particular layer (component)

본 명세서에서 기능화된 그래핀 혹은 기능화된 그래핀층의 ‘기능화’라는 것은 도핑에 의해서 도펀트가 그래핀 구조의 원자와 치환되거나 그래핀 구조에 인위적으로 결함이 생성되는 것을 의미한다.
Functionalization of functionalized graphene or functionalized graphene layer herein means that the dopant is displaced by atoms of the graphene structure or artificially created defects in the graphene structure by doping.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 능동형 감온 변색 스마트 윈도우용 VO2적층체(100, 이하 능동형 VO2 적층체)를 개략적으로 도시한 것이다.
Figure 1 is a simplified view of the VO 2 laminate (100, VO 2 or less active laminate) for active thermochromic smart window according to one embodiment of the present invention.

*도 1을 참조하면, 능동형 VO2 적층체는 유연성 기재(103)의 양면에 기능화된 그래핀층 또는 그래핀층(102, 103)을 형성하고, 제1 기능화된 그래핀(Graphene)층(102)과, 제1 기능화된 그래핀층(102) 상부면에 형성되는 바나듐다이옥사이드층(101; VO2, Vanadium Dioxide), 유연성 기재(103)의 하부에 형성된 제2 그래핀층을 기반으로 형성된 발열히터을 포함할 수 있다. 1, active VO 2 The laminate is formed by forming functionalized graphene layers or graphene layers 102 and 103 on both sides of the flexible substrate 103 and forming a first functionalized graphene layer 102 and a first functionalized graphene layer 102 It may include fever formed based on the second pinned yes formed at the bottom of the VO 2, vanadium dioxide), the flexible substrate 103 hiteoeul;) vanadium dioxide layer (101 is formed on the top surface.

제1 기능화된 그래핀층(102)은 바나듐다이옥사이드층(101)과 함께 VO2 적층체를 이룸으로써, VO2적층체의 광투과도를 향상시키는 역할을 할 뿐만 아니라 바나듐다이옥사이드층(101)의 상전이 온도를 상대적으로 낮출 수 있다. The first functionalized graphene layer 102 is formed with VO 2 layer 101, By forming the laminate, not only the light transmittance of the VO 2 laminate is enhanced, but also the phase transition temperature of the vanadium dioxide layer 101 can be relatively lowered.

또한, 제1 기능화된 그래핀층(102)은 공정 도중 바나듐다이옥사이드층(101)을 보호하는 역할을 수행할 수도 있다. 또한, 제1 기능화된 그래핀층(102)은 바나듐다이옥사이드층(102)의 형성 시 씨드(Seed) 베이스로서의 역할을 수행할 수 있으며, VO2적층체의 표면 거칠기를 낮추어 매끄러운 표면을 제공하는 기능을 할 수 있다. In addition, the first functionalized graphene layer 102 may also serve to protect the vanadium dioxide layer 101 during processing. In addition, the first functionalized graphene layer 102 may serve as a seeded base during the formation of the vanadium dioxide layer 102 and may provide a smooth surface by lowering the surface roughness of the VO 2 stack can do.

기능화되지 않은 그래핀의 굴절율(refractive index)은 2.35~2.7이나, 기능화된 그래핀의 굴절율은 비교적 낮은 값인 1.8로서, 굴절율 2.4~2.7인 바나듐다이옥사이드와 기능화된 그래핀층으로 적층체를 형성하면 굴절율의 제어(고굴절/저굴절 적층 광학 설계시)가 가능하다.The refractive index of unfunctionalized graphene is 2.35 to 2.7, while the refractive index of functionalized graphene is 1.8, which is a relatively low value. When a laminate is formed of vanadium dioxide having a refractive index of 2.4 to 2.7 and a functionalized graphene layer, Control (when high-deflection / low-refractive-index laminated optical design) is possible.

유연성 기재(103)는 유연성을 가지며, 추가적으로 투명성을 가질 수도 있다. 유연성 기재(P)는 열 박리성 고분자를 포함하는 테이프 또는 박막일 수 있으나, 이에 제한되지는 않는다.The flexible substrate 103 is flexible and may have additional transparency. The flexible substrate P may be a tape or a thin film including a heat peelable polymer, but is not limited thereto.

예를 들어, 유연성 기재(103)는 PDMS(polydimethylsiloxane), 폴리 우레탄계 필름, 수계 점착제, 수용성 점착제, 초산 비닐 에멀젼 접착제, 핫멜트 접착제, 광경화용(UV, 가시광, 전자선, UV/EB 경화용) 접착제, 광연화용 테이프, PBI(Polybenizimidazole), PI(Polyimide), Silicone/imide, BMI(Bismaleimide), 변성 에폭시 수지, PVA(Polyvinylalcohol)테이프/박막, 일반 접착 테이프 등 일 수 있다. For example, the flexible substrate 103 may be made of a material such as polydimethylsiloxane (PDMS), a polyurethane film, a water based adhesive, a water soluble adhesive, a vinyl acetate emulsion adhesive, a hot melt adhesive, a light curing (UV, visible, Polyvinyl alcohol (PBI), polyimide (PBI), silicone / imide, bismaleimide (BMI), modified epoxy resin, PVA (polyvinylalcohol) tape / thin film, general adhesive tape and the like.

발열기판은 기판의 상부 또는 하부에 Poly(3,4-ethylenedioxythiophene) (PEDOT) 및 poly(styrenesulfonate) (PSS)이 도포되고, 도포된 PEDOT/PSS층에 금속 나노와이어가 코팅된 그래핀이 위치하여 발열체가 형성되고, 기판의 양 말단 혹은 상부 및/또는 하부에 전극이 형성되는 것을 특징으로 한다. 발열기판의 재질은 유리, 유연기판 모두 해당되며 유연기판으로로써는 PET, PES, PI, 등 투명 플라스틱 기판을 포함할 수 있다. 플라스틱의 최소 두께는 25 마이크로에서 최대 5 cm까지 적용 가능하며, 전도성 방열 전극 물질 코팅 방법은 바 코팅 혹은 스프레이 코팅, 스핀 코팅 등의 방법을 활용할 수 있다. 특히, 그래핀과 같은 보조전극을 추가로 적용 할 경우에는, 라미네이션 공정을 이용하여 목적 기판에 전사 가능하다.Poly (3,4-ethylenedioxythiophene) (PEDOT) and poly (styrenesulfonate) (PSS) were coated on the upper or lower surface of the substrate, and the graphene coated with the metal nanowire was placed on the PEDOT / PSS layer A heating element is formed, and electrodes are formed at both ends or top and / or bottom of the substrate. The material of the heating substrate corresponds to both glass and flexible substrates, and as flexible substrates, it may include transparent plastic substrates such as PET, PES, PI, and the like. The minimum thickness of the plastic is 25 microns up to 5 cm. The conductive coating material can be coated by bar coating, spray coating, spin coating, or the like. In particular, when an auxiliary electrode such as graphene is further applied, it can be transferred to a target substrate using a lamination process.

또한, 발열체는 상기 발열기판에 PEDOT/PSS를 도포한 후에 은 나노 와이어를 사용하여 발열기판을 제조하는 것 이외에도 그래핀을 기판 상에 단독으로 사용하거나, 그래핀에 PEDOT/PSS가 도포된 것, PEDOT/PSS에 은 나노 와이어가 코팅된 것, 그래핀에 은 나노 와이어가 코팅된 것, CNT 단독, CNT와 은 나노 와이어가 코팅된 것, PEDOT/PSS이 도포되고 CNT와 은 나노 와이어가 코팅된 것, PEDOT/PSS이 도포되고 CNT-그래핀-은 나노 와이어가 코팅된 것이 사용될 수 있다. 즉, CNT, 그래핀, 은 나노와이어, PEDOT/PSS 중 적어도 하나 이상을 선택하여 발열기판에 적용할 수 있다.
In addition to forming a heating substrate by using silver nanowires after applying PEDOT / PSS to the heating substrate, the heating element may be formed by using graphene alone on a substrate, by applying PEDOT / PSS on graphene, PEDOT / PSS coated with silver nanowires, graphene coated with silver nanowires, CNT alone, coated with CNT and silver nanowires, coated with PEDOT / PSS, coated with CNT and silver nanowires , PEDOT / PSS and CNT-graphene-coated nanowires can be used. That is, at least one of CNT, graphene, silver nanowire, and PEDOT / PSS can be selected and applied to a heating substrate.

한편, 바나듐다이옥사이드 상부에 형성되는 보호층을 더 포함할 수 있으며, 보호층(130)은 VO2적층체(100) 및 기능화된 그래핀층(110)을 외부에서 보호하는 기능을 수행한다. 이 때, 상기 보호층은 PMMA (polymethylnathacrylate), PVDF (polyvinylidenefluoride), PS (polystyrene)-co-PMMA-co-PS, PR (photoresist), ER (electroresist), SiOx, TiOx, TiOx-Ag, ITO, FTO, 또는 AlOx 중에서 선택되는 1종 이상일 수 있다.
The protective layer 130 may further include a protective layer formed on the vanadium dioxide. The protective layer 130 functions to protect the VO 2 stack 100 and the functionalized graphene layer 110 from the outside. In this case, the protective layer may be made of a material selected from the group consisting of polymethylnaphthacrylate (PMMA), polyvinylidene fluoride (PVDF), polystyrene (co-PS), co-PS, PR, photoresist, FTO, or AlOx.

1. 기능화된 그래핀 제조
1. Functionalized graphene production

기능화된 그래핀층 또는 그래핀층(102, 104)을 형성하기 위한 그래핀은 복수개의 탄소원자들이 서로 공유결합으로 연결되어 폴리시클릭 방향족 분자를 형성하는 그래핀이 층 또는 시트 형태를 형성한 것이다. 상기 공유결합으로 연결된 탄소원자들은 기본 반복단위로서 도 1에 도시된 바와 같이 6원환을 형성하나, 이에 한정되지 않는다. 즉, 상기 탄소원자들은 5원환, 7원환 등으로 형성되는 것도 가능하다. Graphene for forming functionalized graphene layers or graphene layers 102 and 104 is formed by grafting a plurality of carbon atoms to each other through a covalent bond to form polycyclic aromatic molecules. The carbon atoms linked by the covalent bond form a 6-membered ring as shown in FIG. 1 as the basic repeating unit, but are not limited thereto. That is, the carbon atoms may be formed of a 5-membered ring, a 7-membered ring, or the like.

기능화된 그래핀층 또는 그래핀층(102, 104)은 단일층으로 이루어질 수 있으나, 이에 한정되지 않고 복수층으로 형성되는 것도 가능하다. 예를 들면, 기능화된 그래핀층 또는 그래핀층(102, 104)은 50층 이상으로 형성되는 것도 가능하다. 여러층 복층을 위해서는 CVD 합성법으로 그래핀을 제조할 수 있으나, CVD를 통해 단층 그래핀을 형성한 후, 천연 그래핀으로부터 제조된 그래핀 옥사이드(graphene oxide: GO) 혹은 환원된 그래핀 옥사이드(reduced graphene oxide: R-GO)를 층을 코팅함으로써 기능화된 그래핀 층을 형성할 수 있다.The functionalized graphene layers or graphene layers 102 and 104 may be formed of a single layer, but not limited thereto, and may be formed of a plurality of layers. For example, the functionalized graphene layer or graphene layers 102 and 104 may be formed of more than 50 layers. For multiple layers, graphene can be prepared by CVD synthesis, but after formation of single-layer graphene through CVD, graphene oxide (GO) or reduced graphene oxide graphene oxide (R-GO) may be coated to form a functionalized graphene layer.

기능화된 그래핀층 또는 그래핀층(102, 104)은 대면적으로 형성될 수 있으며, 예를 들면 횡방향 또는 종방향의 길이가 약 1mm 이상 내지 1000m에 이르도록 형성되는 것이 가능하다. 한편, 기능화된 그래핀층 또는 그래핀층(102, 104)을 형성시키는 방법에 대해서는 다른 도면을 참조하여 후술하기로 한다. The functionalized graphene layer or graphene layers 102 and 104 may be formed in a large area, for example, in the transverse or longitudinal direction to have a length of about 1 mm to 1000 m. On the other hand, a method of forming a functionalized graphene layer or graphene layer 102 or 104 will be described later with reference to other drawings.

상기 기능화된 그래핀층 또는 그래핀층을 형성하기 위하여, 우선 제1기재 상에 그래핀을 성장시켜 그래핀층을 형성시킨다. 상기 제1기재는 상기 그래핀을 성장시키기 위한 시드층 역할을 수행하는 것으로, 특정 재료로 한정되지 않는다. 예를 들면, 상기 제1 기재는 실리콘, Ni, Co, Fe,Pt, Au, Al, Cr, Cu, Mg, Mn, Mo, Rh, Si, Ta, Ti, W, U, V, Zr, 황동, 청동,백동, 스테인리스 스틸 및 Ge로 이루어진 그룹으로부터 선택된 하나 이상의 금속 또는 합금을 포함할 수 있다.In order to form the functionalized graphene layer or the graphene layer, graphene is first grown on the first substrate to form a graphene layer. The first substrate serves as a seed layer for growing the graphene, and is not limited to a specific material. For example, the first base material may be at least one selected from the group consisting of silicon, Ni, Co, Fe, Pt, Au, Al, Cr, Cu, Mg, Mn, Mo, Rh, Si, Ta, Ti, W, , Bronze, white copper, stainless steel, and Ge.

또한, 상기 제1기재는 상기 그래핀의 성장을 용이하게 하기 위해 촉매층을 포함할 수 있다. 상기 촉매층은 특정 재료로 한정되지 않으며, 상기 제1기재와 동일 또는 상이한 재료에 의해 형성될 수 있다. 한편, 상기 촉매층의 두께 역시 제한되지 않으며, 박막 또는 후막일 수 있다.In addition, the first substrate may include a catalyst layer to facilitate the growth of the graphene. The catalyst layer is not limited to a specific material, and may be formed of the same or different material as the first base material. The thickness of the catalyst layer is not limited, and may be a thin film or a thick film.

한편, 상기 제1기재에 상기 그래핀을 성장시키는 방법으로 통상의 화학기상증착법이 이용될 수 있다. 상기 화학기상증착법의 예로는 고온화학기상증착(RTCVD), 유도결합플라즈마 화학기상증착(ICP-CVD), 저압 화학기상증착(LPCVD), 상압화학기상증착(APCVD), 금속 유기화학기상증착(MOCVD) 또는 화학기상증착(PECVD)등이 있을 수 있다.On the other hand, a conventional chemical vapor deposition method can be used as a method of growing the graphene on the first substrate. Examples of the chemical vapor deposition include chemical vapor deposition (RTCVD), inductively coupled plasma chemical vapor deposition (CVD), low pressure chemical vapor deposition (LPCVD), atmospheric pressure chemical vapor deposition (APCVD), metal organic chemical vapor deposition ) Or chemical vapor deposition (PECVD).

예를 들면, 상기 제1기재에 그래핀층을 형성하기 위하여, 상기 제1 기재를 로(furnace)에 넣고, 탄소 소스를 포함하는 반응가스를 공급하고 상압에서 열처리 함(300 내지 2000℃)으로써 그래핀을 성장시킬 수 있다.For example, in order to form a graphene layer on the first base material, the first base material is placed in a furnace, and a reaction gas containing a carbon source is supplied and heat-treated at a normal pressure (300 to 2000 ° C) The pin can be grown.

상기 탄소 소스의 예로는 일산화탄소, 이산화탄소, 메탄, 에탄, 에틸렌, 에탄올, 아세틸렌, 프로판, 부탄, 부타디엔, 펜탄, 펜텐, 사이클로펜타디엔, 헥산, 사이클로헥산, 벤젠, 톨루엔 등이 있을 수 있다.Examples of the carbon source include carbon monoxide, carbon dioxide, methane, ethane, ethylene, ethanol, acetylene, propane, butane, butadiene, pentane, pentene, cyclopentadiene, hexane, cyclohexane, benzene and toluene.

한편, 기판은 금속 기판이거나, 기판 및 고분자층 사이에 형성되는 금속 기재층(미도시)을 더 포함할 수 있다. 상기 금속 기재층은 기판 상부에 통상적인 증착 또는 코팅 방법을 사용하여 형성될 수 있다.On the other hand, the substrate may be a metal substrate, or may further include a metal base layer (not shown) formed between the substrate and the polymer layer. The metal substrate layer may be formed on the substrate using a conventional deposition or coating method.

이 때, 상기 금속 기판 또는 금속 기재층에서의 금속은 예를 들면, 실리콘, Ni, Co, Fe, Pt, Au, Al, Cr, Cu, Mg, Mn, Mo, Rh, Si, Ta, Ti, W, U, V, Zr, 황동, 청동, 백동, 스테인리스 스틸 및 Ge로 이루어진 그룹으로부터 선택된 하나 이상의 금속 또는 합금일 수 있다. In this case, the metal in the metal substrate or the metal base layer may be, for example, silicon, Ni, Co, Fe, Pt, Au, Al, Cr, Cu, Mg, Mn, Mo, Rh, Si, One or more metals or alloys selected from the group consisting of W, U, V, Zr, brass, bronze, white copper, stainless steel and Ge.

카본 소스를 포함하는 고분자층은 그래핀 합성을 위한 시드층의 역할을 수행할 수 있으며, 예를 들어, 폴리메타크릴레이트(PMMA), 폴리스티렌, 아크릴로니트릴부타디엔스티렌(Acrylonitrile Butadiene Styrene, ABS), SAM(Self-assembled monolayer), 폴리이미드 중에서 선택되는 1종 이상일 수 있다.The polymer layer containing a carbon source may serve as a seed layer for graphene synthesis, and may include, for example, polymethacrylate (PMMA), polystyrene, acrylonitrile butadiene styrene (ABS) A self-assembled monolayer (SAM), and polyimide.

그래핀층의 기능화는 그래핀층은 CVD 공정시 hydro-carbon 가스 이외에 SiHN4, NH3, N2, XeF2, B2H6 중 어느 하나 이상이 선택된 도펀트로 도핑되어 형성되거나 CVD로 형성된 순수 그래핀 필름에 플라즈마 처리, UV조사, 습식 화학적 처리 중 어느 하나 이상에 의해서 인위적으로 그래핀 구조에 결함(defect)을 생성시켜 제조된다. The graphene layer may be formed by doping a graphene layer with a dopant selected from SiHN 4 , NH 3 , N 2 , XeF 2 , and B 2 H 6 in addition to a hydro-carbon gas during the CVD process, The film is produced by artificially generating defects in the graphene structure by at least one of plasma treatment, UV irradiation, and wet chemical treatment.

기능화된 그래핀 제조를 위해 사용되는 도펀트는 유기계 도펀트, 무기계 도펀트, 또는 이들의 조합을 포함하는 것일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. The dopant used for functionalized graphene fabrication may include, but is not limited to, an organic dopant, an inorganic dopant, or a combination thereof.

상기 도핑 과정에서 도펀트 증기를 사용하는 경우, 상기 도핑 용액이 포함된 용기에 상기 도핑 용액을 기화시키기 위한 가열장치에 의하여 도펀트 증기를 형성할 수 있다. 또한, 상기 도핑 과정에서 도핑 용액을 사용하는 경우, 상기 도핑 용액이 포함된 용기는 상기 그래핀 필름과 상기 도편트 용액과의 간격을 조절하기 위한 높이 조절 장치가 구비된 것을 사용할 수 있다.When the dopant vapor is used in the doping process, the dopant vapor may be formed in the container containing the doping solution by a heating device for vaporizing the doping solution. When a doping solution is used in the doping process, a container containing the doping solution may be provided with a height adjusting device for adjusting the gap between the graphene film and the solution.

상기 도핑 과정에서 도펀트 및/또는 도핑 시간을 달리하여 상기 도핑 과정에 의해 형성되는 도핑된 그래핀 필름의 특성을 조절할 수 있다. 예를 들어, 상기 도펀트 및/또는 도핑 시간을 달리하여 도핑된 그래핀 필름의 굴절률 및 투명도를 조절할 수 있다.The characteristics of the doped graphene film formed by the doping process can be controlled by varying the dopant and / or the doping time in the doping process. For example, the refractive index and transparency of the doped and / or doped graphene films can be controlled by varying the doping time and / or the doping time.

산소 플라즈마로 그래핀 표면을 처리하여 그래핀 표면에 인위적으로 결함(defect)를 형성시켜서 그래핀을 기능화 시킬 수 있다, 즉 그래핀에 구조적 결함(defect)를 생성하여 그래핀의 전기적 특성, 광투과도 및 굴절률을 제어한다.It is possible to functionalize graphene by artificially forming defects on the graphene surface by treating the surface of the graphene with an oxygen plasma, that is, by generating structural defects in the graphene, so that the electrical characteristics, light transmittance And refractive index.

그래핀의 구조적 결함은 그래핀의 가열, 그래핀과 화학적으로 반응하는 가스와의 접촉, UV 조사, 초음파의 인가, 또는 산소 플라즈마와의 접촉에 의해 생성되는 특징이 있으며, 생성된 결함에 의해 그래핀의 전기적 특성이 제어될 뿐만 아니라 그래핀 생성 시에 결정 성장을 제어할 수 있으므로 그레인 사이즈를 균일하게 되도록 제어할 수 있다.Structural defects of graphene are characterized by the heating of graphene, contact with gases chemically reacting with graphene, UV irradiation, application of ultrasonic waves, or contact with oxygen plasma, Not only the electrical characteristics of the fin are controlled, but also the crystal growth can be controlled at the time of graphen generation, so that the grain size can be controlled to be uniform.

그래핀층에 결함을 생성하기 위해, 플라즈마 파워 5~500W, 산소 유량 1~100sccm, 100Pa의 압력으로 산소 플라즈마(plasma finish GmbH V6-G)를 생성하여 그래핀층과 산소 플라즈마를 접촉시켰다.To generate defects in the graphene layer, an oxygen plasma (plasma finish GmbH V6-G) was produced at a plasma power of 5 to 500 W, an oxygen flow rate of 1 to 100 sccm, and a pressure of 100 Pa to bring the graphene layer and the oxygen plasma into contact.

그리고 UV 조사를 통해 그래핀 표면에 잔류한 유기물과 그래핀 가장자리에 결합된 기능기 제어가 가능하다. 사용된 UV 파장은 Hg lamp (LH-arc, Lichtzen, with an output of 20mWcm-2, with the majority of emitted light at a wavelength of 254nm and approximately 10% of light at a wavelength of 185nm) 이며 노출 시간은 최대 30분을 넘기지 않도록 하였다.And UV irradiation can control functional groups bound to graphene edge and organic matter remaining on graphene surface. The UV wavelength used is Hg lamp (LH-arc, Lichtzen, with an output of 20mWcm- 2 , with a majority of the emitted light at a wavelength of 254nm and approximately 10% Do not exceed 30 minutes.

마지막으로 wet chemical treatment는 염산, 질산, 황산, 과산화수소, 불산 및 이들의 조합으로 이루어진 화학약품을 사용하여 그래핀 표면, 혹은 가장자리에 결함을 유도할 수 있으며, 화학약품(액상)의 온도를 최대 100도까지 올려서 결함속도를 제어할 수 있다.
Finally, the wet chemical treatment can induce defects on the graphene surface or edge using chemicals consisting of hydrochloric acid, nitric acid, sulfuric acid, hydrogen peroxide, hydrofluoric acid, and combinations thereof. The chemical (liquid) The defect rate can be controlled by increasing the degree.

2. 기능화된 그래핀의 유연성 기재에 대한 전사
2. Flexibility of functionalized graphenes Transcription to substrate

그래핀층을 전사시키는 방법은 직접 전사 방법 또는 간접 전사 방법 모두 사용가능하며, 공지의 롤투롤(Roll to Roll) 공정을 이용하는 것이 가능하다. A method of transferring the graphene layer can be either a direct transfer method or an indirect transfer method, and it is possible to use a known roll-to-roll process.

유연성 기판(103) 상부와 하부에 기능화된 그래핀층 또는 그래핀층(102, 104)이 형성되어 있다. 상기 제1 기능화된 그래핀층(102)는 감온 유닛(105)의 이산화티탄이 형성되는 베이스가 되며, 상기 제2 그래핀층(104)은 투명하며 전극 역할을 하고, 전극은 전기변색소자의 응답속도와 밀접한 관련이 있다. Functionalized graphene layers or graphene layers 102 and 104 are formed on the upper portion and the lower portion of the flexible substrate 103, respectively. The first functionalized graphene layer 102 serves as a base on which titanium dioxide of the thermosensitive unit 105 is formed and the second graphene layer 104 is transparent and serves as an electrode. .

전극으로서, 그래핀 이외에도 ITO, FTO, 혹은 은 나노와이어, 은 나노메쉬, PEDOT:PSS 및 이들의 조합을 사용할 수도 있다.As the electrode, in addition to graphene, ITO, FTO, or silver nanowire, silver nanomesh, PEDOT: PSS, and combinations thereof may be used.

구체적으로, 기능화된 그래핀층(102)이 형성된 상기 제1기재를 유연성 기판(103)과 함께 서로 마주보는 복수 개의 롤러부를 통과시킴으로써 라미네이팅하고, 다시 별도의 롤러부(예를 들면, 전사롤러)를 통과시켜 상기 제1기재를 에칭법을 이용하여 제거함과 동시에 기능화된 그래핀층(102)을 유연성 기판(103)에 전사시킬 수 있다. 여기에서 상기 에칭법은 상기 제1 기재를 선택적으로 에칭시킬 수 있는 에칭용액을 사용하는 것을 의미하며, 상기 제1기재의 종류에 따라 대응하여 선택될 수 있다. 상기 에칭용액의 예로는 불화수소(HF), BOE(Buffered Oxide Etch), 염화 제2철(FeCl3)용액, 질산 제2철(Fe(NO3)3)용액, 황산과수 등이 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. Specifically, the first base material on which the functionalized graphene layer 102 is formed is laminated by passing a plurality of roller portions facing each other together with the flexible substrate 103, and then another roller portion (for example, a transfer roller) The first base material is removed by etching and the functionalized graphene layer 102 is transferred to the flexible substrate 103. Here, the above-mentioned etching method means using an etching solution capable of selectively etching the first base material, and can be selected corresponding to the type of the first base material. Examples of the etching solution include hydrogen fluoride (HF), buffered oxide etch (BOE), ferric chloride (FeCl 3 ) solution, ferric nitrate (Fe (NO 3 ) 3 ) solution, sulfuric acid and water, But is not limited thereto.

즉, 상기 제1기재-제1 기능화된 그래핀층(102)-유연성 기판(103)을 전사 롤러에 통과시키되 통과 도중에 상기 제1기재만을 에칭시키는 에칭 용액을 거치도로 구성함으로써, 상기 제1기재는 상기 에칭 용액에 의해 제거되고 동시에 그래핀층(102)이 유연성 기판(103) 상에 전사되는 것이 가능하다.That is, the first substrate - the first functionalized graphene layer 102 - the flexible substrate 103 is passed through the transfer roller, but the etching solution for etching only the first substrate during passing is constructed as a stationary structure, It is possible for the graphene layer 102 to be transferred onto the flexible substrate 103 while being removed by the etching solution.

유연성 기판(103)의 하부에 적층되는 제2 그래핀층(104)은 상기 제1 기능화된 그래핀층(102)과 유사한 방법으로 유연성 기판(103)에 전사된다. 유연성 기판(103)의 하부에 적층되는 제2 그래핀층(104)의 경우에는 유연성 기판의 상부에 전사된 제1 기능화된 그래핀층(102)이 유연성 기판과 함께 또 다른 제1기재에 형성된 제2 그래핀(104)이 서로 마주보는 복수 개의 롤러부를 통과시킴으로써 라미네이팅하고, 다시 별도의 롤러부(예를 들면, 전사롤러)를 통과시켜 제2 그래핀(104)이 형성되어 있는 상기 제1기재를 에칭법을 이용하여 제거함과 동시에 제2 그래핀층(104)을 유연성 기판(103)에 전사시킬 수 있다. The second graphene layer 104 laminated on the lower portion of the flexible substrate 103 is transferred to the flexible substrate 103 in a similar manner as the first functionalized graphene layer 102. In the case of the second graphene layer 104 laminated on the lower side of the flexible substrate 103, the first functionalized graphene layer 102 transferred on the upper side of the flexible substrate 103 is transferred to the second The graphenes 104 are laminated by passing a plurality of roller portions facing each other and then passed through another roller portion (for example, a transfer roller) to form the second graphenes 104, The second graphene layer 104 can be transferred to the flexible substrate 103 while being removed by an etching method.

즉, 상기 제1기재-제2 그래핀층(104)-유연성 기판(103)-제1 기능화된 그래핀층(102)을 전사 롤러에 통과시키되 통과 도중에 상기 제1기재만을 에칭시키는 에칭 용액을 거치도로 구성함으로써, 상기 제1기재는 상기 에칭 용액에 의해 제거되고 동시에 제2 그래핀층(104)이 유연성 기판(103) 상에 전사되는 것이 가능하다.That is, the first base-second graphene layer 104, the flexible substrate 103, and the first functionalized graphene layer 102 are passed through the transfer roller, The first base material is removed by the etching solution, and at the same time, the second graphene layer 104 can be transferred onto the flexible substrate 103.

물론, 여기서는 유연성 기재의 상부에 위치하는 제1 기능화된 그래핀(102)을 유연성 기재에 전사한 후에, 하부에 위치하는 제2 그래핀(104)이 유연성 기재에 전사되는 것으로 기재하였으나, 유연성 기재의 상부와 하부에 적층된 기능화된 그래핀층(102, 104)이 기재에 전사되는 순서가 무관하다는 것은 당해 분야의 통상의 기술자에게 자명한 사항이다.
Of course, it is described herein that the first functionalized graphene 102 positioned on the upper side of the flexible substrate is transferred to the flexible substrate, and then the second graphene 104 positioned below is transferred to the flexible substrate. However, It is obvious to those skilled in the art that the order in which the functionalized graphene layers 102 and 104 deposited on the top and bottom of the substrate are transferred to the substrate is irrelevant.

실시예 1:Example 1:

1) PET 기판 준비1) PET substrate preparation

폴리에틸렌테레프탈레이트 기판을 준비하였다.A polyethylene terephthalate substrate was prepared.

2) 기능화된 그래핀 필름 형성2) Functionalized graphene film formation

Cu의 롤 형태의 호일을 석영 튜브 내에 장착하고, 이후 상압 하에서 1,000℃로 가열하였다. 탄소 소스를 포함하는 가스 혼합물(CH4 : H2 : He = 50 : 15 :25-121000 sccm)을 공급하여 그래핀을 상기 Cu 호일 상에 성장시킨 후, 단시간에 He를 흘려 주어 ~10℃/s의 속도로 실온으로 냉각하여, 상기 Cu 호일 상에 성장된 그래핀 필름을 수득하였다.A rolled foil of Cu was placed in the quartz tube and then heated to 1,000 DEG C under atmospheric pressure. (CH 4: H 2: He = 50: 15: 25-121000 sccm) containing a carbon source was supplied to grow the graphene on the Cu foil. Thereafter, He was allowed to flow in a short time, And cooled to room temperature to obtain a graphene film grown on the Cu foil.

① CVD 공정시 질소치환을 통한 그래핀 기능화① Graphene functionalization through nitrogen substitution during CVD process

도 3 및 4는 CVD(Chemical Vapor Deposition ; 화학 기상 증착)법을 사용하여 그래핀을 대면적으로 합성하면서 NH3, N2, CH4, H2등의 gas를 주입 (Doping ; 도핑)할 경우의 실험 결과이다. FIGS. 3 and 4 are experimental results when a gas such as NH 3, N 2, CH 4, and H 2 is doped (doped) while synthesizing graphene in a large area using CVD (Chemical Vapor Deposition) .

라만 분광기 분석을 통해 질소원자가 그래핀의 탄소원자와 치환되서 도핑되는 경우(graphitic), 깨진 구조의 가장자리에 도핑되는 경우(pyridinic) 등의 전자구조 및 결합 에너지 등에 대한 차이가 발생하게 된다. Raman Peak을 분석해 보면 Pristine 그래핀에서 N-type 전자구조의 그래핀으로 도핑이 됨으로써 그래프의 D, G‘ intensity 값이 증가하였고, 2D의 강도 감소와 FWHM(full width half maximum)값이 증가하는 것을 확인하였다.
Raman spectroscopy analysis reveals differences in electron structure and binding energy, such as when the nitrogen atom is replaced with a carbon atom of the graphene (graphitic) and when it is doped to the edge of the broken structure (pyridinic). Analysis of Raman Peak reveals that the D and G 'intensity values of the graph are increased by doping from the pristine graphene to the graphene of the N-type electron structure, and the 2D intensity reduction and the FWHM (full width half maximum) value increase Respectively.

② 플라즈마를 통한 CVD 그래핀, 그래파이트(HOPG) 질소치환을 통한 그래핀 기능화(2) Graphene functionalization through plasma-assisted CVD graphene and graphite (HOPG) nitrogen substitution

그래핀의 질소 치환을 유도하기 위해 SiO2/Si 기판위에 CVD 그래핀(PDMS 전사법)과 HOPG(Highly Ordered Pyrolytic Graphite) 그래핀을 제작하였다. 도 5는 준비된 그래핀 시료는 플라즈마 유도 장비(Reactive Ion Etching Plasma: RIE Plasma)를 이용하여 공정 변수(plasma Power, reactive time, gas flow)에 따른 질소 치환을 유도하고 도핑 시간을 변화시켰다. 도 5에서 보여주는 라만 분광기 분석을 통해서, 시간이 증가할수록 N-type 전자구조의 도핑이 되는 것을 확인하였으나 10초에서는 오랜 시간 Plasma의 영향을 받아 2D peak이 사라지고 그래핀이 손상되는 것을 알 수 있다. 도핑이 되면서 G peak 옆에 나타난 G’ peak은 plasma process를 통해 나타나는 그래핀 표면, 가장자리 결함을 나타낸다.CVD graphene (PDMS transfer method) and HOPG (Highly Ordered Pyrolytic Graphite) graphene were fabricated on SiO 2 / Si substrate to induce nitrogen substitution of graphene. 5, the prepared graphene samples were subjected to nitrogen substitution according to process parameters (plasma power, reactive time, and gas flow) using Reactive Ion Etching Plasma (RIE Plasma) and the doping time was changed. The Raman spectroscopic analysis shown in FIG. 5 confirms that the N-type electron structure is doped with increasing time. However, at 10 seconds, the 2D peak disappears and the graphene is damaged due to the influence of plasma for a long time. The G 'peak, which appears next to G peak as it is doped, represents the graphene surface and edge defects through the plasma process.

3) PET 기판위에 기능화된 그래핀 전사3) Functionalized graphene transcription on PET substrate

이후, 상기 Cu 호일 상에 형성된 기능화된 그래핀 필름상에 접착 롤러를 통하여 열박리성 테이프(thermal release tape)를 접착시켰다. 다음, 상기 Cu 호일-그래핀 필름-열박리성 테이프 적층체를 0.5 M FeCl3 에칭 수용액에 함침시켜 전기화학적 반응에 의하여 Cu 호일을 에칭하여 제거하였다. 이후, 전사 롤러를 통하여 PET기판 상에 상기 기능화된 그래핀 필름을 접촉시키고 롤링하면서 열을 가하여 상기 열 박리성 테이프로부터 상기 기능화된 그래핀 필름을 탈착시킴으로써 상기 기능화된 그래핀 필름을 PET기판 상에 전사시킨다. 동일한 방법을 반복하여 기능화된 그래핀을 PET기판의 양면에 전사한다.
Then, a thermal release tape was adhered to the functionalized graphene film formed on the Cu foil through an adhesive roller. Next, the Cu foil-graphene film-heat-peelable tape laminate was impregnated with a 0.5 M FeCl 3 etching aqueous solution, and the Cu foil was etched by electrochemical reaction. Thereafter, the functionalized graphene film is contacted with the PET substrate through a transfer roller, heat is applied while rolling, and the functionalized graphene film is detached from the thermally peelable tape, thereby forming the functionalized graphene film on the PET substrate Transcribe. The same method is repeated to transfer functionalized graphenes to both sides of the PET substrate.

3. 발열기판의 제조
3. Manufacture of heating substrate

발열기판은 도 2에 개략적으로 도시되어 있으며, 기판의 상부 또는 하부에 PEDOT이 도포되고, 도포된 PEDOT층에 금속 나노와이어가 코팅되어 발열체가 형성되고, 양 말단 혹은 기능화된 그래핀층의 상부 및/또는 하부에 전극이 형성되는 것을 특징으로 한다. 발열기판의 재질은 유리, 유연기판 모두 적용 가능하며 유연기판에 발열 성능을 부여하기 위해서는 PET, PES, PI, 등 투명 플라스틱 기판을 포함할 수 있다. 플라스틱의 최소 두께는 25 마이크로에서 최대 5 cm까지 적용 가능하며, 전도성 투명전극 잉크 물질(PEDOT:PSS, PEDOT:PSS-Ag hybrid ink) 코팅 방법은 바 코팅 혹은 스프레이 코팅, 스핀 코팅 등의 방법을 활용할 수 있다. 특히, 잉크 물질 상하면에 그래핀과 같은 보조전극을 추가로 적용 할 경우에는, 라미네이션 공정을 이용하여 그래핀을 목적 기판에 전사 가능하다(VO2/기능화된 그래핀 전사 방법과 동일).A heating substrate is schematically shown in Fig. 2, in which PEDOT is applied to the top or bottom of the substrate, the coated PEDOT layer is coated with metal nanowires to form a heating element, and the top and / Or an electrode is formed on the bottom. The heat-generating substrate can be made of glass or flexible substrate, and a transparent plastic substrate such as PET, PES, PI or the like can be included in order to impart heat to the flexible substrate. The minimum thickness of the plastic is 25 microns up to 5 cm. The conductive transparent electrode ink material (PEDOT: PSS: PSS-Ag hybrid ink) can be coated by bar coating, spray coating or spin coating. . Particularly, when an auxiliary electrode such as graphene is additionally applied to the upper or lower surface of the ink material, the graphene can be transferred to the target substrate using a lamination process (same as VO2 / functionalized graphene transfer method).

전극은 은, 구리 또는 이들의 합금으로 이루어진다.The electrode is made of silver, copper, or an alloy thereof.

이때 나노 와이어(201)는 도 2에서 보여주는 바와 같이 PEDOT이 도포된 제2 기능화된 그래핀층 상부에 형성되거나, 기판과 그래핀층 사이에 형성되거나, 기판 및 그래핀층 사이와 그래핀 상부 모두에 형성될 수 있다.At this time, the nanowire 201 may be formed on the second functionalized graphene layer to which PEDOT is applied as shown in FIG. 2, between the substrate and the graphene layer, or between both the substrate and the graphene layer, .

이때, 상기 금속 나노 와이어는 금속, 금속 합금, 도금된 금속 또는 금속 산화물일 수 있다. 또한, 상기 금속 나노 와이어는 은 나노와이어, 금 나노와이어, 구리 나노와이어, 니켈 나노와이어, 금 도금된 은 나노와이어, 백금 나노와이어 및 팔라듐 나노와이어로 이루어진 군에서 선택되는 어느 하나 이상을 포함할 수 있다. The metal nanowire may be a metal, a metal alloy, a plated metal, or a metal oxide. The metal nanowires may include any one or more selected from the group consisting of silver nanowires, gold nanowires, copper nanowires, nickel nanowires, gold plated silver nanowires, platinum nanowires, and palladium nanowires. have.

상기 나노와이어를 형성하기 위하여, 금속 나노와이어는 잉크 조성물로 형성될 수 있다. 상기 잉크 조성물은 우레탄 수분산액, 분산안정제, 초순수 및 알코올을 혼합하여 교반한 후, 후, 울트라 초음파 분산기로 초음파 분산시켜 제조할 수 있다.In order to form the nanowire, the metal nanowire may be formed of an ink composition. The ink composition may be prepared by mixing and stirring an urethane water dispersion, a dispersion stabilizer, ultrapure water and an alcohol, and then ultrasonically dispersing the mixture with an ultrasound disperser.

잉크 조성물은 나노와이어의 바람직한 농도에 기반하여 조성될 수 있으며, 코팅방법은 스핀 코팅, 그라비아 코팅, 슬릿 코팅, 바 코팅, 분무코팅, 감압여과식 코팅, 전기영동 증착, 캐스팅, 잉크젯 프린팅, 또는 오프셋 프린팅 방법이 이용될 수 있다.
The ink composition may be based on the desired concentration of nanowires and the coating method may be selected from the group consisting of spin coating, gravure coating, slit coating, bar coating, spray coating, vacuum filtration coating, electrophoretic deposition, casting, inkjet printing, A printing method can be used.

실시예2:Example 2:

1) 나노 와이어 제조1) Manufacture of nanowires

에틸렌 글리콜(ethylene glycol, 대정화금(주) 제품) 30.926g에 EMIMEtOSO3(1-Ethyl-3-methylimidazolium ethylsulfate, 바스프 제품) 2g을 용해시켜 용액을 만들었다. 에틸렌 글리콜 10g에 질산은(AgNO3, 대정화금(주)제품) 0.79g을 용해시켜 용액을 만들었다. 상기 두 용액을 250 ml 3구 플라스크에 혼합한 후 25℃에서 10 분간 교반하였다. 다시 상기 혼합 용액을 160℃에서 3 시간 동안 마그네틱바를 통한 교반을 통해 회색빛을 띤 나노와이어을 얻었다. 반응이 끝난 후 실내온도에 맞추어 냉각시켰고, 반응 후 물질을 맴브레인 필터(1~3㎛, 어드밴택)로 여과하였다. 여과된 물질은 100℃ 진공오븐에서 하루동안 건조하여 무게를 측정하였다.A solution was prepared by dissolving 2 g of EMIMEtOSO3 (1-Ethyl-3-methylimidazolium ethylsulfate, product of BASF) in 30.926 g of ethylene glycol (manufactured by Daikin Kinko Co., Ltd.). 0.79 g of silver nitrate (AgNO3, manufactured by Daqing Kagaku Co., Ltd.) was dissolved in 10 g of ethylene glycol to prepare a solution. The two solutions were mixed in a 250 ml three-necked flask and stirred at 25 ° C for 10 minutes. The mixed solution was stirred at 160 캜 for 3 hours through a magnetic bar to obtain a gray nanowire. After completion of the reaction, the reaction mixture was cooled to room temperature, and the reaction mixture was filtered through a membrane filter (1-3 μm, Advantec). The filtered material was dried in a 100 < 0 > C vacuum oven for one day and weighed.

필터에 걸린 물질은 아세톤과 에탄올로 약 10배로 희석한 후 원심분리기(Continent R, 한일과학(주) 제품)를 사용하여 2000 rpm에서 약 10분간 원심분리를 실시하여 와이어 형상의 입자를 회수하고 침전된 결과물을 다시 약 40℃ 진공오븐에서 하루 동안 건조한 후 시료의 무게를 측정하였다. 생성된 실버 나노 와이어는 직경 70nm, 길이는 12 ㎛이고 나노와이어 생성율은 82 wt%이었다.
The filter material was diluted about 10 times with acetone and ethanol and centrifuged at 2000 rpm for about 10 minutes using a centrifuge (Continent R, Hanil Scientific Co., Ltd.) to collect the wire-like particles, The resultant was dried again in a vacuum oven at about 40 ° C for one day, and the weight of the sample was measured. The generated silver nanowires were 70 nm in diameter, 12 μm in length, and the nanowire formation rate was 82 wt%.

2) 나노 와이어층의 증착2) Deposition of the nanowire layer

상기 은 나노와이어를 우레탄 수분산액(NeoRez R986, 디에스엠), 분산안정제(Dynol 604, 에어프로덕트), 초순수, 알콜을 넣은 후 호모 디스퍼져(T.K. HOMODISPER, 티케이)로 약 10분간 교반한 후 울트라 초음파 분산기(VCX-750, 소닉스)를 사용하여 5 MJ로 5분간 초음파 분산을 통해 잉크 조성물을 제조하였다. 상기 제2 기능화된 그래핀 복합체위에 상기 잉크조성물을 스핀코팅 방법으로 증착하였다. 이때 코팅조건은, 60초 동안 500 rpm의 속도로 스핀 코팅한 후, 50 ℃에서 90초 그리고 180℃에서 90초 건조하였다.
The silver nanowires were agitated for about 10 minutes with a urethane aqueous dispersion (NeoRez R986, DSM), a dispersion stabilizer (Dynol 604, air product), ultra pure water and alcohol, and then homodispersed (TK HOMODISPER, The ink composition was prepared by ultrasonic dispersion at 5 MJ for 5 minutes using an ultrasonic disperser (VCX-750, Sonics). The ink composition was deposited on the second functionalized graphene composite by a spin coating method. The coating conditions were spin-coated at a speed of 500 rpm for 60 seconds, then dried at 50 DEG C for 90 seconds and at 180 DEG C for 90 seconds.

이상, 본 발명의 일 실시예에 대하여 설명하였으나, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서, 구성 요소의 부가, 변경, 삭제 또는 추가 등에 의해 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있을 것이며, 이 또한 본 발명의 권리범위 내에 포함된다고 할 것이다.
It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit of the invention as set forth in the appended claims. The present invention can be variously modified and changed by those skilled in the art, and it is also within the scope of the present invention.

101: VO2층 102: 제1 기능화된 그래핀층
103: 유연성 기재 104: 제2 그래핀층
105: 감온 변색 유닛 106: 발열 유닛
201: 은 나노 와이어 202: 그래핀층
101: VO2 layer 102: first functionalized graphene layer
103: Flexible substrate 104: Second graphene layer
105: Thermal sensation discoloration unit 106: Heat generating unit
201: silver nanowire 202: graphene layer

Claims (4)

기판;
상기 기판의 상부에 도포된 PEDOT/PSS층 및 상기 PEDOT/PSS층 상부에 위치하고, 은 나노와이어가 코팅된, 기능화된 그래핀층을 포함하는 발열체;
상기 기판의 양단에 구리, 은 중에 1종 이상 선택되어 형성된 전극;을 포함하는 발열기판.
Board;
A heating element comprising a PEDOT / PSS layer applied on top of the substrate and a functionalized graphene layer overlying the PEDOT / PSS layer and coated with silver nanowires;
And at least one electrode selected from copper and silver at both ends of the substrate.
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