KR101503496B1 - 비구면 반사거울용 형상측정장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 비구면 반사거울용 형상측정장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 직경 및 비구면이 커지는 대형의 반사거울을 기계 장치를 이용해 자동으로 전후좌우 및 상하로 위치 이송시킴과 더불어, 미세한 각도 조절이 가능하게 구성함에 따라 측정 위치에 대한 조작을 간편하게 하면서 측정 오차를 현저히 줄여 정밀성이 향상되게 하기 위한 비구면 반사거울용 형상측정장치에 관한 것이다.
이와 같은 목적을 해결하기 위해 본 발명은; 방진구(140)에 의한 방진 기능이 적용되어 바닥에 설치되며, 반사거울(10)의 측정 위치에 대한 상하 거리를 리프트판(130)의 상하 구동으로 조절되게 하는 방진리프트수단(100)과; 상기 리프트판(130)의 상측에 결합된 상태에서 상하 이송되며, 내측에 구비된 X,Y축 이송부(210)를 이용한 수평이송판(230)의 슬라이드 작동으로 안착된 반사거울(10)을 수평방향에서 이송되게 하는 수평이송수단(200)과; 상기 수평이송판(230)의 상측에 결합되며, 내측에 반사거울(10)이 안착되는 좌우판(330) 및 전후판(320)을 각각 시소 운동되게 하면서, 회전운동을 복합적으로 수행하여 안착된 반사거울(10)의 각도 및 회전 방향을 조절되게 하는 로테이션틸트수단(300)과; 상기 방진리프트수단(100)의 상부에 결합되며, 내측에 반사거울(10)의 측정을 위한 광학기구(430)를 수직이송부(420)의 슬라이드 작동을 이용해 상기 광학기구(430)를 상하 이송되게 하는 수직이송수단(400)을 포함하여 구성되며,
상기 방진리프트수단(100), 수평이송수단(200), 로테이션틸트수단(300)을 이용해 반사거울(10) 상하, 전후좌우 및 각도, 회전방향을 조절함과 더불어, 상기 수직이송수단(400)을 이용해 광학기구(430)를 상하 조절하는 작용으로 상기 반사거울(10)의 측정 위치를 맞추는 구조이다.

Description

비구면 반사거울용 형상측정장치 {SHAPE ERROR MEASUREMENT DEVICE ASPHERIC MIRROR}
본 발명은 비구면 반사거울용 형상측정장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 직경 및 비구면이 커지는 대형의 반사거울을 기계 장치를 이용해 자동으로 전후좌우 및 상하로 위치 이송시킴과 더불어, 미세한 각도 조절이 가능하게 구성함에 따라 측정 위치에 대한 조작을 간편하게 하면서 측정 오차를 현저히 줄여 정밀성이 향상되게 하기 위한 비구면 반사거울용 형상측정장치에 관한 것이다.
일반적으로, 비구면 반사거울은 다양한 광학기기에 적용되어 광학 목적으로 사용되는 것이며, 반사거울의 구경 또는 비구면 정도가 점차 커지는 경우 반사거울의 형상에 대한 고정밀의 형상 정확도를 요구하고 있는 실정이다.
이와 같이, 비구면 반사거울의 형상을 고정밀로 측정하기 위하여 홀로그램 또는 간섭계를 이용한 측정 장치 및 방법들이 사용되고 있으며,
이러한 배경으로 다양한 측정기기들이 개발되고 있는 실정이다.
특히, 본 발명의 배경이 되는 종래기술로 "(특허문헌) 대한민국 등록특허공보 제10-0449711호(등록일:2004.09.13)"가 개시되었는데, 이는 입사광을 생성하는 간섭계와, 입사광을 반사시켜 시험광으로 형성하는 비구면을 가지는 시험부재와, 입사광의 광경로상에 위치하며 시험부재로 입사광을 회절시키는 홀로그램이 형성되는 적어도 하나의 면을 가지는 제1광학소자 및, 제1광학소자의 후방에 정렬되어 입사광을 비구면으로 진행시키며 비구면에서 반사된 시험광의 홀로그램에 대한 입사각을 감소시키는 오목면을 가지는 제2광학소자를 구비하여 구성된 오목면과 홀로그램을 가지는 비구면 측정장치 및 방법이 제시되어 있다.
그러나, 종래에는 측정 대상물인 반사거울의 직경 및 비구면 정도가 커지면, 상대적으로 반사거울의 무게 및 크기가 증가하는 구조를 갖게 된다.
즉, 종래의 문제점을 살펴보면,
대형의 반사거울을 측정하는 경우, 측정 위치에 맞는 위치, 각도를 조절하기가 매우 번거로우며, 측정 위치에 대한 미세 컨트롤 이루어지지 않음과 더불어, 위치조정이 수동적으로 이루어짐에 따라 정밀한 위치조정을 할 수 없어 측정오차가 발생하는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 문제점들을 해결하기 위한 것으로서, 직경 및 비구면이 커진 대형의 반사거울에 대하여, 방진리프트수단 및 수평이송수단을 이용해 자동으로 전후좌우 및 상하로 위치 이송되도록 구성함으로써, 이를 통해 반사거울의 측정 위치를 간편하게 자동 조절되게 하여 측정에 대한 편의성을 향상시키도록 하는 비구면 반사거울용 형상측정장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
또한, 본 발명은 대형의 반사거울을 안착시킨 상태에서 자동으로 회전 및 각도가 미세조절되게 하는 로테이션틸트수단을 설치 구성함으로써, 이를 반사거울의 측정 위치를 정밀하게 조절하게 하여 측정 오차를 현저히 줄이도록 하는데 또 다른 목적이 있다.
이와 같은 목적을 해결하기 위해 본 발명은; 방진구에 의한 방진 기능이 적용되어 바닥에 설치되며, 반사거울의 측정 위치에 대한 상하 거리를 리프트판의 상하 구동으로 조절되게 하는 방진리프트수단과; 상기 리프트판의 상측에 결합된 상태에서 상하 이송되며, 내측에 구비된 X,Y축 이송부를 이용한 수평이송판의 슬라이드 작동으로 안착된 반사거울(10)을 수평방향에서 이송되게 하는 수평이송수단과; 상기 수평이송판의 상측에 결합되며, 내측에 반사거울이 안착되는 좌우판 및 전후판을 각각 시소 운동되게 하면서, 회전운동을 복합적으로 수행하여 안착된 반사거울의 각도 및 회전 방향을 조절되게 하는 로테이션틸트수단과; 상기 방진리프트수단의 상부에 결합되며, 내측에 반사거울 측정을 위한 광학기구를 수직이송부의 슬라이드 작동을 이용해 상기 광학기구를 상하 이송되게 하는 수직이송수단을 포함하여 구성되며,
상기 방진리프트수단, 수평이송수단, 로테이션틸트수단을 이용해 반사거울 상하, 전후좌우 및 각도, 회전방향을 조절함과 더불어, 상기 수직이송수단을 이용해 광학기구를 상하 조절하는 작용으로 상기 반사거울의 측정 위치를 맞추고,
상기 방진리프트수단은; 상,하판 사이로 복수의 지주가 결합되어 사각 프레임 형태로 제작됨과 더불어, 하판에 구비된 다수의 방진구를 이용해 진동을 흡수하면서 형상측정장치의 전체 하중을 지지하는 케이지와; 상기 상,하판 사이에 결합되되, 서브모터에 연결된 4축 감속기가 상기 하판 상측에 구비됨과 더불어, 상기 4축 감속기에 수직으로 연결되는 가이드스크류의 제자리 회전 작동으로 상하 이송구동력을 발생시키는 리프트와; 상기 가이드스크류에 나선결합되며, 상기 가이드스크류의 제자리 회전 작동에 의해 상하 이송되는 리프트판을 더 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 비구면 반사거울용 형상측정장치를 제공한다.
이러한 본 발명에 따르면, 반사거울의 측정 위치를 간편하게 자동 조절되게 하여 측정에 대한 편의성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
또한, 반사거울의 측정 위치를 정밀하게 조절되게 하여 측정 오차를 현저히 줄일 수 있는 또 다른 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 비구면 반사거울용 형상측정장치의 사시도.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 비구면 반사거울용 형상측정장치의 정면도 및 측면도.
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 비구면 반사거울용 형상측정장치 중 방진리프트수단을 나타낸 도면.
도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 비구면 반사거울용 형상측정장치 중 수평이송수단을 나타낸 도면.
도 5는 본 발명의 실시 예에 따른 비구면 반사거울용 형상측정장치 중 로테이션틸트수단을 나타낸 도면.
도 6은 본 발명의 실시 예에 따른 비구면 반사거울용 형상측정장치 중 수직이송수단을 나타낸 도면.
본 발명에 따른 비구면 반사거울용 형상측정장치를 첨부된 도면을 참고로 하여 이하 상세히 기술되는 실시 예들에 의해 그 특징들을 이해할 수 있을 것이다.
한편, 실시 예를 설명함에 있어서 본 발명이 속하거나 속하지 아니한 기술분야에서 광범위하게 널리 알려져 사용되고 있는 구성요소에 대해서는 이에 대한 상세한 설명은 생략하도록 하며, 이는 불필요한 설명을 생략함과 더불어 이에 따른 본 발명의 요지를 더욱 명확하게 전달하기 위함이다.
도 1 내지 도 6은 본 발명의 실시 예에 따른 비구면 반사거울용 형상측정장치를 설명하기 위해 도시한 도면들이다.
이에 따르면, 비구면 반사거울용 형상측정장치(1)를 도 1 내지 도 2를 참고하여 개략적으로 설명하면, 방진구(140)에 의한 방진 기능이 적용되어 바닥에 설치되며, 반사거울(10)의 측정 위치에 대한 상하 거리를 리프트판(130)의 상하 구동으로 조절되게 하는 방진리프트수단(100)과; 상기 리프트판(130)의 상측에 결합된 상태에서 상하 이송되며, 내측에 구비된 X,Y축 이송부(210)를 이용한 수평이송판(230)의 슬라이드 작동으로 안착된 반사거울(10)을 수평방향에서 이송되게 하는 수평이송수단(200)과; 상기 수평이송판(230)의 상측에 결합되며, 내측에 반사거울(10)이 안착되는 좌우판(330) 및 전후판(320)을 각각 시소 운동되게 하면서, 회전운동을 복합적으로 수행하여 안착된 반사거울(10)의 각도 및 회전 방향을 조절되게 하는 로테이션틸트수단(300)과; 상기 방진리프트수단(100)의 상부에 결합되며, 내측에 반사거울(10)의 측정을 위한 광학기구(430)를 수직이송부(420)의 슬라이드 작동을 이용해 상기 광학기구(430)를 상하 이송되게 하는 수직이송수단(400)을 포함하여 구성되며,
상기 방진리프트수단(100), 수평이송수단(200), 로테이션틸트수단(300)을 이용해 반사거울(10) 상하, 전후좌우 및 각도, 회전방향을 조절함과 더불어, 상기 수직이송수단(400)을 이용해 광학기구(430)를 상하 조절하는 작용으로 상기 반사거울(10)의 측정 위치를 맞추는 구조를 갖는다.
이하, 본 발명의 각부 구성을 구체적으로 설명한다.
먼저, 도 3에 의하면, 상기 방진리프트수단(100)은 방진구(140)에 의한 방진 기능이 적용되어 바닥에 설치되며, 반사거울(10)의 측정 위치에 대한 상하 거리를 리프트판(130)의 상하 구동으로 조절시키기 위한 것이다.
이때, 상기 방진리프트수단(100)은 강도가 높은 금속 재질로 제작됨이 바람직한 것이다.
또한, 상기 방진리프트수단(100)은, 상,하판(111,112) 사이로 복수의 지주(113)가 결합되어 사각 프레임 형태로 제작됨과 더불어, 하판(112)에 구비된 다수의 방진구(140)를 이용해 진동을 흡수하면서 형상측정장치의 전체 하중을 지지하는 케이지(110)를 더 포함하여 구성된다.
이때, 상기 케이지(110)는 사각 판 구조의 상,하판(111,112)이 상하로 이격되게 구비되면, 상기 상,하판(111,112)의 내측 사이로 사각 파이프 구조인 복수의 지주(113)가 상,하판(111,112)의 둘레에 수직으로 각각 결합되어 사각 프레임 형태로 제작되어 내부에 공간을 마련한다.
또한, 상기 방진리프트수단(100)은, 상기 상,하판(111,112) 사이에 결합되되, 서브모터(121)에 연결된 4축 감속기(122)가 상기 하판(112) 상측에 구비됨과 더불어, 상기 4축 감속기(122)에 수직으로 연결되는 가이드스크류(123)의 제자리 회전 작동으로 상하 이송구동력을 발생시키는 리프트(120)를 더 포함하여 구성된다.
이때, 상기 리프트(120)는, 방진리프트수단(100)의 하판(112) 상측 중앙에 결합되는 서브모터(121)와; 상기 서브모터(121)에 연결되며, 상기 하판(112)의 각 모서리 측에 결합되어 상기 서브모터(121)의 동력을 전달하는 4축 감속기(122)와; 상기 하판(112)의 각 모서리 측에 위치된 4축 감속기(122)에 수직방향으로 기어체결되어 각각 결합되되, 상기 서브모터(121)의 동력이 4축 감속기(122)를 통해 전달되어 제자리 회전 작동하며, 외주에 형성된 나선을 이용해 후술하는 리프트판(130)을 승강시키는 가이드스크류(123);를 더 포함하여 구성된다.
또한, 상기 방진리프트수단(100)은, 상기 가이드스크류(123)에 나선결합되며, 상기 가이드스크류(123)의 제자리 회전 작동에 의해 상하 이송되는 리프트판(130)을 더 포함하여 구성된다.
이때, 상기 리프트판(130)은 일정 두께의 판으로 제작되며, 각 모서리가 상기 가이드스크류(123)에 나선체결에 의해 관통결합된 상태에서 상기 가이드스크류(123)가 회전하면 나선을 따라서 상,하 승강하는 구조를 갖는다.
그리고, 도 4에 의하면, 상기 수평이송수단(200)은 상기 리프트판(130)의 상측에 결합된 상태에서 상하 이송되며, 내측에 구비된 X,Y축 이송부(210)를 이용한 수평이송판(230)의 슬라이드 작동으로 안착된 반사거울(10)을 수평방향에서 이송시키기 위한 것이다.
이때, 상기 수평이송수단(200)은 강도가 높은 금속재질로 제작됨이 바람직한 것이다.
또한, 상기 수평이송수단(200)은, 상기 리프트판(130)의 상면에 수평으로 결합되며, 상측에서 전후슬라이더(211)가 전후 이송 작동하는 Y축 이송부(210)를 더 포함하여 구성된다.
또한, 상기 수평이송수단(200)은, 상기 전후슬라이더(211)의 상측에 결합되어 전후 이송되며, 상측에서 좌우슬라이더(221)가 좌우 이송 작동하는 X축 이송부(220)를 더 포함하여 구성된다.
이때, 상기 X,Y축 이송부(210,220)는 모터와 연결된 스크류(미도시)가 내부에 구비되며, 상기 스크류에 상기 전후슬라이더(211) 및 좌우슬라이더(221)가 나선체결에 의해 결합된 상태에서 레일 구조로 제작됨에 따라 상기 스크류의 회전에 따라 상기 전후슬라이더(211) 및 좌우슬라이더(221)가 슬라이드 작동하는 구조를 갖는다.
또한, 상기 수평이송수단(200)은, 상기 좌우슬라이더(221) 상측에 결합되어 전후좌우로 이송되는 수평이송판(230)을 더 포함하여 구성된다.
이때, 상기 수평이송판(230)은 일정 두께의 판 형태로 제작되어 상기 좌우슬라이더(221)의 상측에 볼트 체결되어 고정결합됨에 따라, 후술하는 로테이션틸트수단(300)의 설치 공간을 제공하게 된다.
그리고, 도 5에 의하면, 상기 로테이션틸트수단(300)은 상기 수평이송판(230)의 상측에 결합되며, 내측에 반사거울(10)이 안착되는 좌우판(330) 및 전후판(320)을 각각 시소 운동되게 하면서, 회전운동을 복합적으로 수행하여 안착된 반사거울(10)의 각도 및 회전 방향을 조절시키기 위한 것이다.
이때, 상기 로테이션틸트수단(300)은 강도가 높은 금속 재질로 제작됨이 바람직한 것이다.
또한, 상기 로테이션틸트수단(300)은, 상기 수평이송판(230)의 중앙 상측에 결합되되, 내측에 간격을 갖는 한 쌍의 지지대(310)를 더 포함하여 구성된다.
이때, 상기 한 쌍의 지지대(310)는 수직 프레임 형태로 제작되며, 상기 한 쌍의 지지대(310)가 간격을 갖도록 대향 결합됨과 더불어, 상기 한 쌍의 지지대(310)의 상측 중앙 사이로 Y 축(331)이 결합된 구조를 갖는다.
상기 한 쌍의 지지대(310) 사이로 삽입된 상태에서 Y 축(331)을 이용해 결합되며, 상기 Y 축(331)을 중심으로 임의 각도로 전후 회전 작동하는 전후판(320)과;
또한, 상기 로테이션틸트수단(300)은, 상기 한 쌍의 지지대(310) 사이로 삽입된 상태에서 Y 축(331)을 이용해 결합되며, 상기 Y 축(331)을 중심으로 임의 각도로 전후 회전 작동하는 전후판(320)을 더 포함하여 구성된다.
이때, 상기 전후판(320)은 임의 두께를 갖는 사각 판 형태로 그 크기는 상기 한 쌍의 지지대(310) 사이의 간격에 대응 제작되며, 상기 전후판(320)의 중앙으로 상기 Y 축(331)이 관통되는 축 결합에 의해 전후로 회전 가능한 구조를 갖는다.
더욱이, 상기 전후판(320)은 내측에 후술하는 좌우판(330)이 삽입되기 위한 홀(미도시)이 관통 형성되어 있다.
또한, 상기 로테이션틸트수단(300)은, 상기 전후판(320) 내측에 삽입된 상태에서 X 축(321)을 이용해 결합되며, 상기 X 축(321)을 중심으로 임의 각도로 좌우 회전 작동하는 좌우판(330)을 더 포함하여 구성된다.
이때, 상기 좌우판(330)은 임의 두께를 갖는 'H' 모양의 판 형태로 제작되며, 상기 전후판(320) 내측에 형성된 홀(미도시)에 삽입된 상태에서 X 축(321)이 일측 중앙에 관통되는 축 결합에 의해 좌우로 회전 가능한 구조를 갖는다.
더욱이, 상기 좌우판(330)의 상면은 반사거울(10)이 직접적으로 안착되는 공간이 된다.
이때, 상기 전후판(320) 및 좌우판(330)은 임의 각도로 각각 회전 작동하면, 그 각도 상태로 상기 전후판(320) 및 좌우판(330)이 고정되게 된다.
이에 따라, 본 발명의 로테이션틸트수단(300)의 작동에 의해 반사거울(10)의 측정 각도를 미세하게 정밀 조절할 수 있도록 하여 측정 오차를 현저히 줄일 수 있게 된다.
또한, 상기 로테이션틸트수단(300)은, 상기 수평이송판(230)과 로테이션틸트수단(300) 사이에 결합되며, 회전모터(381)를 이용해 회전판(382)을 회전시키는 작동으로 반사거울(10)의 회전방향을 조절시키는 회전수단(380)을 더 포함하여 구성된다.
이때, 상기 회전모터(381)는 수평이송판(230)에 고정되면, 상기 회전판(382)의 상면은 로테이션틸트수단(300)에 고정되고, 상기 회전판(382)이 회전모터(381)의 구동축에 연결되어 회전하는 구조를 갖는다.
그리고, 도 6에 의하면, 상기 수직이송수단(400)은 상기 방진리프트수단(100)의 상부에 결합되며, 내측에 반사거울(10)의 측정을 위한 광학기구(430)를 수직이송부(420)의 슬라이드 작동으로 광학기구(430)를 수직이송시키기 위한 것이다.
이때, 상기 수직이송수단(400)은 강도가 높은 금속 재질로 제작됨이 바람직한 것이다.
또한, 상기 수직이송수단(400)은, 상기 방진리프트수단(100)의 상부로 좌우 및 후측 방향에서 서로 간격을 갖는 상태로 각각 결합되는 다수의 브라켓(410)을 더 포함하여 구성된다.
이때, 상기 브라켓(410)은 종단면의 형상이 'ㄷ' 모양의 프레임으로 상향으로 접차 좁아지는 형태로 제작되어 하중을 효율적으로 지지하게 하는 구조를 갖는다.
더욱이, 상기 브라켓(410)은 상기 방진리프트수단(100)의 상부에서 좌우 및 후측에 각각 3개가 수직으로 결합되는 구성이며, 상기 3개의 브라켓(410)이 결합되는 부분 중앙에는 서로 간격을 갖음에 따라 광학기구(430)의 설치 공간을 제공하는 구조를 갖는다.
또한, 상기 수직이송수단(400)은, 상기 브라켓(410)의 내측에 각각 결합되며, 전면에 수직슬라이더(421)가 상하 이송작동하는 수직이송부(420)를 더 포함하여 구성된다.
이때, 상기 수직이송부(420)는 모터와 연결된 스크류(미도시)가 내부에 구비되며, 상기 스크류에 상기 수직슬라이더(421)가 나선체결에 의해 결합된 상태에서 레일 구조로 제작됨에 따라 상기 스크류의 회전에 따라 상기 수직슬라이더(421)가 슬라이드 작동하는 구조를 갖는다.
또한, 상기 수직이송수단(400)은, 상기 수직슬라이더(421)에 좌우 및 후측이 각각 고정결합되며, 반사거울(10)의 비구면을 측정하는 광학기구(430)를 더 포함한다.
이때, 상기 광학기구(430)는 시험빔을 방출하는 광축(431)과, 상기 광축(431)의 하부에 위치되어 시험빔이 통과하는 CGH(432)로 구성된다.
더욱이, 상기 CGH(432)는 'Computer Generated Hologram' 이고, 상기 광학기구(430)는 일반적으로 널리 사용되기 때문에 이에 대한 상세한 구조의 설명은 생략하도록 한다.
이에 따라, 본 발명의 형상측정장치(1)를 이용하면, 직경 및 비구면이 커진 대형의 반사거울에 대하여, 방진리프트수단(100) 및 수평이송수단(200)을 이용해 자동으로 전후좌우 및 상하로 위치 이송되도록 구성함에 따라 이를 통해 반사거울(10)의 측정 위치를 간편하게 자동 조절되게 하여 측정에 대한 편의성을 향상시킬 수 있다.
한편, 도 6에 의하면, 전술한 구조의 형상측정장치(1) 중 상기 수직이송수단(400)은, 광학기구(430)의 광축(431) 및 CGH(432) 사이에 결합되며, 상기 CGH(432)를 상하로 미세조절되게 하는 보조수직이송수단(450)을 더 포함하여 구성된다.
또한, 상기 보조수직이송수단(450)은, 광학기구(430)의 광축(431) 하단에 결합되되, 'H' 모양으로 상,하측에 공간을 갖는 보조브라켓(451)과;
상기 보조브라켓(451)의 하측 공간에 삽입되되, 양측이 레일 형태로 결합되어 상하 슬라이드 작동하는 보조승강프레임(452)과;
상기 보조승강프레임(452)과 보조브라켓(451) 사이에 결합되며, 전동기에 의한 스크류 회전을 이용해 상기 보조승강프레임(452)을 보조브라켓(451) 상에서 상하 이송작동시키는 보조작동기(453)를 더 포함하여 구성된다.
이때, 상기 보조승강프레임(452)의 양측에는 상기 보조브라켓(451)에 일면이 결합되어 슬라이드 작동되는 일반적인 레일 구조가 마련됨이 바람직한 것이다.
더욱이, 상기 보조작동기(453)는 전동기(미도시)가 상기 보조브라켓(451)의 상측에 결합됨과 더불어, 상기 전동기(미도시)에 연결된 스크류(미도시)가 상기 보조승상프레임(452)의 상측에 나선체결됨에 따라 상기 전동기의 동력을 전달받은 스크류가 제자리 회전하면서 상기 보조승강프레임(452)을 상하로 이송시키게 된다.
이때, 상기 보조승강프레임(452)의 하면에 상기 CGH(432)가 결합되어 상하로 위치가 미세 조절되게 된다.
이상 설명한 바와 같이. 본 발명은 특정의 바람직한 실시 예를 예시한 설명과 도면으로 표현하였으나, 여기서 사용하는 용어들은 본 발명을 용이하게 설명하기 위함이며, 이 용어들에 대한 의미 한정이나, 특허청구범위에 기재된 범위를 제한하기 위함이 아니며,
본 발명은 상기한 실시 예에 따른 특허청구범위에 의해 나타난 발명의 사상 및 영역을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변경 및 개조, 수정 등이 가능할 수 있음을 누구나 쉽게 알 수 있을 것이다.
반사거울(10), 방진리프트수단(100), 수평이송수단(200), 로테이션틸트수단(300), 수직이송수단(400)

Claims (5)

  1. 방진구(140)에 의한 방진 기능이 적용되어 바닥에 설치되며, 반사거울(10)의 측정 위치에 대한 상하 거리를 리프트판(130)의 상하 구동으로 조절되게 하는 방진리프트수단(100)과;
    상기 리프트판(130)의 상측에 결합된 상태에서 상하 이송되며, 내측에 구비된 X,Y축 이송부(210)를 이용한 수평이송판(230)의 슬라이드 작동으로 안착된 반사거울(10)을 수평방향에서 이송되게 하는 수평이송수단(200)과;
    상기 수평이송판(230)의 상측에 결합되며, 내측에 반사거울(10)이 안착되는 좌우판(330) 및 전후판(320)을 각각 시소 운동되게 하면서, 회전운동을 복합적으로 수행하여 안착된 반사거울(10)의 각도 및 회전 방향을 조절되게 하는 로테이션틸트수단(300)과;
    상기 방진리프트수단(100)의 상부에 결합되며, 내측에 반사거울(10)의 측정을 위한 광학기구(430)를 수직이송부(420)의 슬라이드 작동을 이용해 상기 광학기구(430)를 상하 이송되게 하는 수직이송수단(400)을 포함하여 구성되며,
    상기 방진리프트수단(100), 수평이송수단(200), 로테이션틸트수단(300)을 이용해 반사거울(10) 상하, 전후좌우 및 각도, 회전방향을 조절함과 더불어, 상기 수직이송수단(400)을 이용해 광학기구(430)를 상하 조절하는 작용으로 상기 반사거울(10)의 측정 위치를 맞추고,
    상기 방진리프트수단(100)은;
    상,하판(111,112) 사이로 복수의 지주(113)가 결합되어 사각 프레임 형태로 제작됨과 더불어, 하판(112)에 구비된 다수의 방진구(140)를 이용해 진동을 흡수하면서 형상측정장치의 전체 하중을 지지하는 케이지(110)와;
    상기 상,하판(111,112) 사이에 결합되되, 서브모터(121)에 연결된 4축 감속기(122)가 상기 하판(112) 상측에 구비됨과 더불어, 상기 4축 감속기(122)에 수직으로 연결되는 가이드스크류(123)의 제자리 회전 작동으로 상하 이송구동력을 발생시키는 리프트(120)와;
    상기 가이드스크류(123)에 나선결합되며, 상기 가이드스크류(123)의 제자리 회전 작동에 의해 상하 이송되는 리프트판(130)을 더 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 비구면 반사거울용 형상측정장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서, 상기 수평이송수단(200)은;
    상기 리프트판(130)의 상면에 수평으로 결합되며, 상측에서 전후슬라이더(211)가 전후 이송 작동하는 Y축 이송부(210)와;
    상기 전후슬라이더(211)의 상측에 결합되어 전후 이송되며, 상측에 좌우슬라이더(221)가 좌우 이송 작동하는 X축 이송부(220)와;
    상기 좌우슬라이더(221) 상측에 결합되어 전후좌우로 이송되는 수평이송판(230)을 더 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 비구면 반사거울용 형상측정장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 로테이션틸트수단(300)은;
    상기 수평이송판(230)의 중앙 상측에서 서로 마주보게 각각 결합되어 간격을 형성하는 한 쌍의 지지대(310)와;
    상기 한 쌍의 지지대(310) 사이로 삽입된 상태에서 Y 축(331)을 이용해 결합되며, 상기 Y 축(331)을 중심으로 임의 각도로 전후 회전 작동하는 전후판(320)과;
    상기 전후판(320) 내측에 삽입된 상태에서 X 축(321)을 이용해 결합되며, 상기 X 축(321)을 중심으로 임의 각도로 좌우 회전 작동하는 좌우판(330)을 더 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 비구면 반사거울용 형상측정장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 수직이송수단(400)은;
    상기 방진리프트수단(100)의 상부로 좌우 및 후측 방향에서 서로 간격을 갖는 상태로 각각 결합되는 다수의 브라켓(410)과;
    상기 브라켓(410)의 내측에 각각 결합되며, 전면에 수직슬라이더(421)가 상하 이송작동하는 수직이송부(420)와;
    상기 수직슬라이더(421)에 좌우 및 후측이 각각 고정결합되며, 반사거울(10)의 비구면을 측정하는 광학기구(430)를 더 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 비구면 반사거울용 형상측정장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR20050057990A (ko) * 2003-12-11 2005-06-16 참엔지니어링(주) 디스플레이 검사장치
KR20140115578A (ko) * 2013-03-21 2014-10-01 부산대학교 산학협력단 3차원 스캐너 플랫폼 및 이를 구비한 3차원 스캔장치

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