KR101497471B1 - Stage for an air cylinder equipped with a porous bushing - Google Patents

Stage for an air cylinder equipped with a porous bushing Download PDF

Info

Publication number
KR101497471B1
KR101497471B1 KR20130156190A KR20130156190A KR101497471B1 KR 101497471 B1 KR101497471 B1 KR 101497471B1 KR 20130156190 A KR20130156190 A KR 20130156190A KR 20130156190 A KR20130156190 A KR 20130156190A KR 101497471 B1 KR101497471 B1 KR 101497471B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
air
bushing
housing
stage
air cylinder
Prior art date
Application number
KR20130156190A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
이수용
Original Assignee
엘엔케이 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엘엔케이 주식회사 filed Critical 엘엔케이 주식회사
Priority to KR20130156190A priority Critical patent/KR101497471B1/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101497471B1 publication Critical patent/KR101497471B1/en

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q3/00—Devices holding, supporting, or positioning work or tools, of a kind normally removable from the machine
    • B23Q3/02—Devices holding, supporting, or positioning work or tools, of a kind normally removable from the machine for mounting on a work-table, tool-slide, or analogous part
    • B23Q3/06—Work-clamping means
    • B23Q3/067—Blocks with collet chucks
    • B23Q3/068—Blocks with collet chucks fluid-operated
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q5/00—Driving or feeding mechanisms; Control arrangements therefor
    • B23Q5/22—Feeding members carrying tools or work
    • B23Q5/26—Fluid-pressure drives
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25B—TOOLS OR BENCH DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, FOR FASTENING, CONNECTING, DISENGAGING OR HOLDING
    • B25B11/00—Work holders not covered by any preceding group in the subclass, e.g. magnetic work holders, vacuum work holders
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q2703/00—Work clamping
    • B23Q2703/02—Work clamping means

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)

Abstract

Provided is an air cylinder for stage having a porous bushing, comprising a cylindrical movement rod unit (10) having a guide pad (11) allowing an installation object (P) to be installed thereon; a housing unit (20) including a shaft hole (21) formed in a central portion thereof to allow the movement rod unit (10) to be inserted therein and an air supply hole (22) formed on one surface thereof and connected to the shaft hole (21); a porous bushing unit (30) provided between the shaft hole (21) and the movement rod unit (10); and a fastening fixing unit (40) fastened to a base (B) where the air cylinder (1) is installed and connected to the housing unit (20). Since the porous bushing unit (30) is provided within the housing unit (20), contact is prevented. A housing chamber having a predetermined size is formed to evenly supply air, and a height adjustment nut is provided to vary a vertical movement interval of the movement rod unit (10). Also, since an air valve unit varying a flow amount of air is provided, rising pressure of the movement rod unit (10) can be precisely adjusted.

Description

다공질 부싱이 구비된 스테이지용 에어실린더 { Stage for an air cylinder equipped with a porous bushing }BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to an air cylinder for a stage having a porous bushing,

본 발명은 다공질 부싱이 구비된 스테이지용 에어실린더에 관한 것으로 더욱 상세하게는 내부 구성품간의 상호 접촉이 차단되도록 내부에 다공질형상의 부싱부가 구비되고, 에어가 균일하게 공급되도록 소정 크기의 하우징챔버가 형성되며, 이동로드부의 수직이동 간격을 사용자가 원하는 간격으로 가변되도록 높이조절너트가 구비되고, 에어의 유입량이 가변되도록 에어밸브가 구비된 다공질 부싱이 구비된 스테이지용 에어실린더에 관한 것이다.The present invention relates to an air cylinder for a stage having a porous bushing, and more particularly, to an air cylinder for a stage having a porous bushing, and more particularly to a bushing unit having a porous shape inside to prevent mutual contact between internal components, The present invention relates to an air cylinder for a stage having a porous bushing provided with a height adjusting nut such that a vertical movement distance of a moving rod can be varied by a user's desired distance and an air valve to vary an inflow amount of air.

일반적으로 고정밀도의 선진 연구분야 및 산업현장에서의 응용을 위해 초정밀 위치제어 스테이지(stage)가 개발되고 있으며, 이러한 초정밀 위치제어 스테이지에는 XY평면에 대하여 X축 및 Y축으로 이송가능한 캐리지(carriage)가 구비되며, 상기 캐리지에는 목적하는 바에 따라 검사, 측정 및 가공을 위한 다양한 공정장치가 선택적으로 부설되는데, 이를 위해 먼저 하부의 추종대상인 평판형 베이스(base)(즉, 글래스, LCD, PDP 등의 판넬 또는 정반)의 표면 프로파일(profile ; 형상)에 대해 상부에서 항상 일정한 갭을 유지할 수 있는 Z축방향 즉, 높이방향으로의 부양장치가 캐리지에 부설된다.In general, a high precision position control stage is being developed for application in high precision advanced research field and industrial field. In this precise position control stage, a carriage which can be transported in the X and Y axes with respect to the XY plane, And various types of processing apparatuses for inspection, measurement and processing are optionally installed in the carriage. To this end, a flat base (i.e., a glass, an LCD, a PDP, etc.) A lifting device is attached to the carriage in the Z-axis direction, that is, the height direction, which can always maintain a constant gap at the top with respect to the surface profile (profile, shape)

여기서, 상기 부양장치로 에어실린더가 대표적으로 사용되는데 상기 에어실린더는 실린더의 내부에 피스톤 및 로드가 수용되어 압축공기의 공급에 의해 피스톤 및 로드가 직선으로 왕복 이동하는 기구로서 직선운동이 적용되는 전반적인 기계장치에 사용되는 보편적인 기계부속품이다.Here, an air cylinder is typically used as the lifting device. The air cylinder is a mechanism in which a piston and a rod are accommodated in a cylinder, and a piston and a rod are linearly reciprocated by supply of compressed air. It is a universal machine accessory used in machinery.

그러나 종래의 에어실린더는 왕복 운동시 에어실린더의 내주면과 상기 피스톤 및 로드의 마찰로 인한 마모가 발생되어 에어실린더의 교체작업이 자주 발생되었고, 이를 해결하기 위하여 미끄럼 베어링을 내부에 배치하거나 윤활유를 도포시키는 방법으로 개선되었으나 이 또한 마찰로 인한 기계적 손실을 피할 수 없는 것과 더불어 고정밀도를 요구하는 선진 연구분야 및 산업현장에서 사용하기가 적합하지 못한 문제점이 있었다.However, in the conventional air cylinder, when the reciprocating motion occurs, wear due to friction between the inner circumferential surface of the air cylinder and the piston and the rod occurs, and the replacement work of the air cylinder is frequently performed. To solve this problem, a sliding bearing is disposed inside, However, in addition to the inevitable mechanical loss due to friction, there is a problem in that it is not suitable for use in advanced research fields and industrial fields requiring high precision.

그래서 이러한 문제점을 해결하기 위한 기술문헌으로 국내공개특허 제10-2006-0036978호가 기출원되어 공개되었다.As a technical literature for solving these problems, Korean Patent Laid-Open No. 10-2006-0036978 has been proposed and published.

여기서, 도 1은 종래의 부양장치를 나타내 보인 단면도로서, 종래의 부양장치는 상하방향으로 관통된 튜브형상으로 외측에 구비되는 하우징(2)과, 상기 하우징(2)의 내부에서 상하의 Z축방향으로 자유롭게 이동하되 그 중간부 외측면상에 가압면이 형성된 샤프트(3)와, 상기 하우징(2)과 상기 샤프트(3) 사이에 상하로 이격되도록 각각 구비된 다공성재질의 에어부쉬(4)와, 상기 하우징(2)의 내부로 유입된 공압의 배출량을 조절하는 레귤레이터(5)로 구성된다.FIG. 1 is a sectional view showing a conventional lifting device. The conventional lifting device has a housing 2 provided on the outside in a tube shape penetrating in the vertical direction, A shaft 3 having a pressing surface formed on an outer surface of the intermediate portion thereof and an air bush 4 made of a porous material so as to be vertically spaced between the housing 2 and the shaft 3, And a regulator 5 for regulating the discharge amount of the air pressure introduced into the housing 2.

그러나 종래의 부양장치는 수직으로 이동하는 상기 샤프트(3)의 이동간격 및 공급되는 공압의 량을 정밀하게 조절할 수 없어 고정밀도를 요구하는 선진 연구분야 및 산업현장에서 사용하기 어려운 문제점은 그대로 존재하는 문제점이 있었다.However, the conventional lifting device can not control the movement distance of the shaft 3 vertically moving and the amount of pneumatic pressure to be supplied, so that there is a problem that is difficult to use in advanced research fields and industrial fields requiring high accuracy There was a problem.

또한, 종래의 부양장치는 유입된 공압이 상기 에어부쉬(4)의 어느 한 면으로 만 공급됨으로써, 공급되는 에어가 상기 에어부쉬(4)의 한 면으로 집중되어 에어부쉬(4)의 균일하지 못한 훼손으로 교체주기가 빨라져 유지비용이 대폭 상승하는 문제점이 있었다.In the conventional lifting device, the inflow air pressure is supplied to only one side of the air bushing 4, so that the supplied air is concentrated on one side of the air bushing 4, There is a problem that the replacement cycle is accelerated due to the damage that is not done so that the maintenance cost is greatly increased.

그리고, 종래의 부양장치는 외부에서 공급되는 압축공기의 압력을 조절하는 것이 까다로워 시험용 스테이지 등의 정밀한 작업이 요구되는 스테이지에서는 사용성이 대폭 저하되고, 이를 조절하기 위해서 또 다른 조절장치 즉, 레큘레이터 등의 부수적인 장치가 추가되는 것으로 전반적인 구조가 복잡해지는 문제점이 있었다.In the conventional lifting device, it is difficult to adjust the pressure of the compressed air supplied from the outside. In the stage requiring precise work such as a test stage, the usability is largely deteriorated. Further, The overall structure of the apparatus is complicated.

본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위해 창작된 것으로 본 발명의 목적은 하우징부의 내부에 다공질형상의 부싱부를 구비하여 접촉을 방지하고, 소정의 크기의 하우징챔버를 형성하여 에어를 균일하게 공급하며, 높이조절너트를 구비하여 이동로드부의 수직이동 간격을 사용자가 원하는 간격으로 가변하고, 에어의 유동량을 가변하는 에어밸브부를 구비하여 이동로드부의 상승압력을 정밀하게 조절하는 다공질 부싱이 구비된 스테이지용 에어실린더를 제공함에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems of the prior art, and it is an object of the present invention to provide a bushing of the present invention, which has a porous bushing inside the housing to prevent contact, A porous bushing provided with a height adjusting nut and having an air valve portion for varying the vertical movement interval of the movable rod portion by an interval desired by the user and varying the amount of air flow and precisely controlling the upward pressure of the movable rod portion And an air cylinder for the stage.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 다공질 부싱이 구비된 스테이지용 에어실린더는 초정밀 위치제어 스테이지에 구비된 에어실린더로서 상부에 안착물이 안착되도록 가이드패드가 구비된 원통형상의 이동로드부와; 상기 이동로드부가 삽입되도록 중심면이 천공된 샤프트공과, 일측면에서 상기 샤프트공으로 관통된 에어공급공으로 이루어진 하우징부와; 상기 샤프트공과 이동로드부의 사이에 구비되는 다공질형상의 부싱부와; 상기 에어실린더가 설치되는 베이스에 체결되며 상기 하우징부의 하부에 연결된 체결고정부로 구성되며; 상기 이동로드부의 하부에는 상기 이동로드부의 이동간격이 가변되도록 외주면에 나사산이 형성된 높이조절부와, 상기 높이조절부에 나사체결되어 수직으로 이동되는 높이조절너트가 구비된 것을 특징으로 한다.In order to accomplish the above object, an air cylinder for a stage having a porous bushing according to the present invention comprises an air cylinder provided in an ultra-precise position control stage, a cylindrical moving rod unit having a guide pad for seating a seat thereon; A housing part formed by a shaft hole having a center surface pierced to insert the moving rod part and an air supply hole penetrating the shaft hole at one side; A porous bushing portion provided between the shaft hole and the moving rod portion; A fastening fastening portion fastened to a base on which the air cylinder is installed and connected to a lower portion of the housing portion; A height adjuster having a thread formed on an outer circumferential surface of the movable rod to vary a moving distance of the movable rod; and a height adjusting nut screwed to the height adjuster and vertically moved.

상기 하우징부의 내주면에는 상기 에어공급공으로 유입된 에어가 상기 부싱부의 표면에 균일하게 공급되도록 내측으로 요입된 하우징챔버부가 형성된 것을 특징으로 한다.The inner circumferential surface of the housing portion is formed with a housing chamber portion which is recessed inwardly so that the air introduced into the air supply hole is uniformly supplied to the surface of the bushing portion.

상기 체결고정부의 상부에는 상기 하우징부의 하부에 체결되도록 외주연에 나사산이 형성된 체결부와, 상기 체결부의 중심면에는 상기 높이조절너트가 수용되며 공급된 에어를 상부방향으로 유도하는 공간부인 공압유도챔버부가 형성된 것을 특징으로 한다.A coupling part formed on an outer periphery of the coupling part so as to be coupled to a lower part of the coupling part, and a pneumatic pressure induction part, which is a space part for guiding the supplied air to the upper direction, And the chamber portion is formed.

상기 체결부의 상면과 하우징부의 하면에는 상기 높이조절너트의 이동시 발생되는 접촉 충격이 감소되도록 링형상의 충격방지와셔가 구비된 것을 특징으로 한다.And a ring-shaped shock-proof washer is provided on the upper surface of the coupling portion and the lower surface of the housing portion to reduce a contact impact generated when the height adjusting nut is moved.

상기 체결고정부의 하부에는 상기 에어공급공으로 공급된 에어의 압력이 가변되도록 배출되는 에어의 량을 조정하는 에어밸브부가 포함된 것을 특징으로 한다.And a lower portion of the fastening and fixing portion includes an air valve portion for adjusting an amount of air discharged so that a pressure of the air supplied to the air supply hole varies.

상기 에어밸브부는 상부에 상기 체결고정부의 하면에 체결되도록 밸브연결부가 돌출된 밸브본체와, 상기 밸브본체의 내부에 에어가 이동되도록 직각형상으로 천공된 에어유로와, 상기 밸브본체의 하부에 구비되어 상기 에어유로의 하부와 밀착되는 것으로 배출되는 에어의 량을 조정하는 밸브조절구로 이루어진 것을 특징으로 한다.The air valve unit includes a valve body having a valve connecting portion protruded from the upper portion thereof so as to be fastened to the lower surface of the fastening and fixing unit, an air flow passage formed in a right angle to move air into the valve body, And a valve control means for regulating the amount of air exhausted to be in close contact with the lower portion of the air flow path.

상기 체결고정부의 내부에는 상기 에어유로와 연통되도록 천공된 배출유로가 형성된 것을 특징으로 한다.And a discharge channel formed to communicate with the air flow passage is formed in the fastening and fixing unit.

이와 같이 본 발명에 따른 다공질 부싱이 구비된 스테이지용 에어실린더의 효과는 다음과 같다.The effect of the air cylinder for a stage equipped with the porous bushing according to the present invention is as follows.

첫째, 하우징부의 내부에 에어가 이동되는 다공질형상의 부싱부를 구비함으로써, 이동로드부와 하우징부의 내주면에 대한 마찰을 방지하여 초정밀 위치제어 스테이지에 적합한 에어실리더를 제공할 수 있고,First, by providing the porous bushing portion in which the air moves inside the housing portion, it is possible to provide an air cylinder suitable for the ultra-precise position control stage by preventing friction between the moving rod portion and the inner peripheral surface of the housing portion,

둘째, 하우징부에 유입된 에어가 부싱부의 표면으로 균일하게 공급되도록 내측으로 요입된 하우징챔버부를 형성함으로써, 부싱부의 어느 한 표면으로 에어가 집중되는 것을 분산시켜 부싱부의 작동성을 향상시키는 것과 더불어 어느 한 표면만이 훼손되는 것을 방지할 수 있으며,Secondly, by forming the housing chamber portion which is recessed inwardly so that the air introduced into the housing portion is uniformly supplied to the surface of the bushing portion, it is possible to improve the operability of the bushing portion by dispersing the concentration of air on one surface of the bushing portion, It is possible to prevent only one surface from being damaged,

셋째, 이동로드부의 하부에 수직으로 이동 고정되는 높이조절너트를 구비함으로써, 수직으로 이동하는 이동로드부(10)의 간격을 사용자가 원하는 간격으로 용이하게 가변하여 사용범위를 대폭 향상시킬 수 있고,Third, by providing the height adjusting nut vertically movably fixed to the lower portion of the moving rod portion, the interval of the moving rod portion 10 moving vertically can be easily changed at an interval desired by the user,

넷째, 하우징부의 하부에 링형상의 충격방지와셔를 구비함으로써, 높이조절너트의 접촉으로 발생되는 충격을 감소하여 하우징부의 훼손을 미연에 방지할 수 있으며,Fourthly, by providing the ring-shaped shock-proof washer in the lower part of the housing part, the impact generated by the contact of the height adjustment nut can be reduced to prevent the housing part from being damaged,

다섯째, 체결고정부의 하부에 에어유로의 개폐작용을 수행하는 에어밸브부를 구비함으로써, 에어유로의 면적을 용이하게 가변하는 것으로 수직상승하는 이동로드부의 상승압력을 정밀하게 조절하여 안착물에 인가되는 충격을 최소화할 수 있는 효과가 있다.Fifthly, since the air valve portion for performing the opening and closing action of the air flow passage is provided in the lower portion of the fastening fixing portion, the area of the air flow passage can be easily changed to precisely adjust the rising pressure of the vertically- The impact can be minimized.

도 1은 종래의 부양장치를 나타내 보인 단면도이고,
도 2는 본 발명에 따른 다공질 부싱이 구비된 스테이지용 에어실린더를 나타내 보인 설치사시도이며,
도 3은 본 발명에 따른 다공질 부싱이 구비된 스테이지용 에어실린더를 나타내 보인 분해사시도이고,
도 4는 본 발명에 따른 일 실시예를 나타내 보인 단면도이며,
도 5는 본 발명에 따른 에어밸브부의 일 실시예를 나타내 보인 일단면도이다.1 is a sectional view showing a conventional lifting device,
2 is an installation perspective view showing an air cylinder for a stage having a porous bushing according to the present invention,
3 is an exploded perspective view showing an air cylinder for a stage provided with a porous bushing according to the present invention,
4 is a cross-sectional view showing an embodiment according to the present invention,
5 is a cross-sectional view illustrating an air valve unit according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예를 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명에 따른 다공질 부싱이 구비된 스테이지용 에어실린더는 도 2 내지 도 4에 도시된 바와 같이 초정밀 위치제어 스테이지(S)에 구비된 에어실린더(1)로서 상부에 안착물(P)이 안착되도록 가이드패드(11)가 구비된 원통형상의 이동로드부(10)와; 상기 이동로드부(10)가 삽입되도록 중심면이 천공된 샤프트공(21)과, 일측면에서 상기 샤프트공(21)으로 관통된 에어공급공(22)으로 이루어진 하우징부(20)와; 상기 샤프트공(21)과 이동로드부(10)의 사이에 구비되는 다공질형상의 부싱부(30)와; 상기 에어실린더(1)가 설치되는 베이스(B)에 체결되며 상기 하우징부(20)의 하부에 연결된 체결고정부(40)로 구성된다.2 to 4, the air cylinder for a stage equipped with the porous bushing according to the present invention is an air cylinder 1 provided in the ultra-precise position control stage S so that the seat P is seated on the upper side A cylindrical moving rod portion 10 provided with a guide pad 11; A housing portion 20 having a shaft hole 21 having a center surface pierced to insert the moving rod portion 10 and an air supply hole 22 penetrating through the shaft hole 21 at one side; A porous bushing portion 30 provided between the shaft hole 21 and the moving rod portion 10; And a fastening and fixing part 40 fastened to the base B on which the air cylinder 1 is installed and connected to the lower part of the housing part 20.

여기서, 상기 이동로드부(10)의 하부에는 상기 이동로드부(10)의 이동간격이 가변되도록 외주면에 나사산이 형성된 높이조절부(12)와, 상기 높이조절부(12)에 나사체결되어 수직으로 이동되는 높이조절너트(13)가 구비된다.The height adjustment part 12 is screwed to the height adjustment part 12 and is fixed to the lower part of the movable rod part 10 so that the movable rod part 10 is vertically movable. The height adjustment nut 13 is moved to the right side.

한편, 상기 하우징부(20)의 에어공급공(22)에는 에어가 이동되는 에어튜브(미도시)가 연결되는 튜브연결부(T)가 구비되고, 상기 하우징부(20)의 하부에는 상기 체결고정부(40)의 상부가 삽입되도록 내측으로 요입되며 내주면에 나사산(미도시)이 형성된 하우징체결부(미도시)가 형성되는 것이 바람직하다.The air supply hole 22 of the housing part 20 is provided with a tube connection part T to which an air tube (not shown) for moving air is connected. In the lower part of the housing part 20, It is preferable that a housing fastening portion (not shown) is formed which is recessed inwardly so as to insert the upper portion of the housing 40 and has a thread (not shown) formed on the inner circumferential surface thereof.

그리고, 상기 부싱부(30)는 상기 이동로드부(10)의 외주면에 안착되도록 원통형상으로 형성되고, 상기 높이조절너트(13)의 외경은 상기 샤프트공(21)의 내경보다 크게 형성되는 것이 바람직하다.The bushing portion 30 is formed in a cylindrical shape so as to be seated on the outer circumferential surface of the moving rod portion 10 and the outer diameter of the height adjusting nut 13 is larger than the inner diameter of the shaft hole 21 desirable.

또한, 상기 하우징부(20)의 내주면에는 상기 에어공급공(22)으로 유입된 에어가 상기 부싱부(30)의 표면에 균일하게 공급되도록 내측으로 요입된 하우징챔버부(23)가 형성된다.The inner circumferential surface of the housing part 20 is formed with a housing chamber part 23 recessed inwardly so that the air introduced into the air supply hole 22 is uniformly supplied to the surface of the bushing part 30.

그리고, 상기 체결고정부(40)의 상부에는 상기 하우징부(20)의 하부에 체결되도록 외주연에 나사산이 형성된 체결부(41)와, 상기 체결부(41)의 중심면에는 상기 높이조절너트(13)가 수용되며 공급된 에어를 상부방향으로 유도하는 공간부인 공압유도챔버부(42)가 형성된다.The upper portion of the fastening and fixing part 40 is provided with a fastening part 41 having threads formed on the outer periphery thereof to be fastened to the lower part of the housing part 20, A pneumatic induction chamber portion 42 is formed, which is a space portion accommodating the pneumatic cylinder 13 and guiding the supplied air upward.

또한, 상기 체결부(41)의 상면과 하우징부(20)의 하면에는 상기 높이조절너트(13)의 이동시 발생되는 접촉 충격이 감소되도록 링형상의 충격방지와셔(24)가 구비된다.In addition, a ring-shaped shock-proof washer 24 is provided on the upper surface of the coupling part 41 and the lower surface of the housing part 20 so as to reduce the contact impact generated when the height adjusting nut 13 is moved.

그리고, 상기 체결고정부(40)의 하부에는 상기 에어공급공(22)으로 공급된 에어의 압력이 가변되도록 개폐작용을 수행하는 에어밸브부(50)가 포함된다.A lower portion of the fastening and fixing part 40 includes an air valve part 50 for performing an opening and closing action to vary the pressure of the air supplied to the air supply hole 22.

여기서, 상기 에어밸브부(50)는 상부에 상기 체결고정부(40)의 하면에 체결되도록 밸브연결부(51a)가 돌출된 밸브본체(51)와, 상기 밸브본체(51)의 내부에 에어가 이동되도록 직각형상으로 천공된 에어유로(52)와, 상기 밸브본체(51)의 하부에 구비되어 상기 에어유로(52)의 하부와 밀착되는 것으로 개폐작용하는 밸브조절구(53)로 이루어진다.The air valve unit 50 includes a valve body 51 having a valve connecting portion 51a protruded from the upper portion of the valve body 51 so as to be fastened to the lower surface of the fastening portion 40, And a valve regulator 53 provided at a lower portion of the valve body 51 and adapted to be in close contact with a lower portion of the air flow path 52.

한편, 상기 에어유로(52)의 하면에는 상기 밸브조절구(53)가 삽입되도록 하부방향으로 천공된 조절구삽입공(미도시)이 형성되고, 상기 조절구삽입공(미도시)에 삽입된 상기 밸브조절구(53)는 수직으로 이동되는 것이 바람직하다.A control port insertion hole (not shown) is formed in the lower surface of the air flow path 52 and is inserted into the control port insertion hole (not shown) so that the valve control port 53 is inserted. The valve regulator 53 is preferably vertically moved.

여기서, 상기 밸브조절구(53)가 수직으로 이동되기 위해서 상기 조절구삽입공(미도시)과 밸브조절구(53)의 일부 외주면에는 상호 체결되도록 나사산(미도시)이 형성되는 것이 바람직하다.In order to vertically move the valve regulator 53, it is preferable that a thread (not shown) is formed on the outer circumferential surface of the regulator insertion hole (not shown) and a part of the valve regulator 53 to be mutually engaged.

그리고, 상기 체결고정부(40)의 내부에는 상기 에어유로(52)와 연통되도록 천공된 배출유로(43)가 형성된다.
A discharge passage 43 is formed in the fastening and fixing part 40 so as to communicate with the air passage 52.

상기와 같은 구성으로 이루어진 다공질 부싱이 구비된 스테이지용 에어실린더의 작용을 살펴보면 아래와 같다.The operation of the air cylinder for a stage having the porous bushing having the above-described structure will be described below.

본 발명에 따른 다공질 부싱이 구비된 스테이지용 에어실린더는 도 4에 도시된 바와 같이 원통형상의 이동로드부(10)가 삽입된 하우징부(20)의 내부에 에어가 이동되는 다공질형상의 부싱부(30)를 구비함으로써, 공급되는 에어로 인하여 상기 이동로드부(10)의 표면에서 상기 부싱부(30)를 부상시키는 것으로 상기 이동로드부(10)와 하우징부(20)의 내주면에 대한 마찰을 방지하여 초정밀 위치제어 스테이지에 적합한 에어실리더를 제공할 수 있게 된다.As shown in FIG. 4, the air cylinder for a stage having the porous bushing according to the present invention includes a porous bushing portion (see FIG. 4) in which air is moved into a housing portion 20 into which a cylindrical moving rod portion 10 is inserted The bushing 30 is floated on the surface of the moving rod 10 due to the supplied air to prevent friction between the moving rod 10 and the inner circumferential surface of the housing 20, It is possible to provide an air cylinder suitable for the ultra-precise position control stage.

또한, 상기 하우징부(20)의 내주면에는 상기 에어공급공(22)으로 유입된 에어가 상기 부싱부(30)의 표면에 균일하게 공급되도록 내측으로 요입된 하우징챔버부(23)가 형성됨으로써, 상기 부싱부(30)의 어느 한 표면으로 에어가 집중되는 것을 골고루 유입되도록 분산시켜 상기 부싱부(30)의 이격성을 향상시키는 것과 더불어 어느 한 표면만이 훼손되는 것을 방지할 수 있게 된다.The inner circumferential surface of the housing part 20 is formed with a housing chamber part 23 recessed inwardly to uniformly supply the air introduced into the air supply hole 22 to the surface of the bushing 30, It is possible to improve the spacing of the bushing 30 by dispersing the air concentrated on one surface of the bushing 30 evenly so as to prevent any one surface from being damaged.

이때, 상기 이동로드부(10)의 하부에 나사산이 형성된 높이조절부(12)를 형성하고, 상기 높이조절부(12)에 나사체결되어 수직으로 이동되는 높이조절너트(13)를 구비함으로써, 수직으로 이동하는 이동로드부(10)의 간격을 사용자가 원하는 간격으로 용이하게 가변하여 상기 높이조절너트(13)의 위치만큼 상기 이동로드부(10)를 이동시킬 수 있게 된다. At this time, the height adjustment part 12 formed with a screw thread is formed at the lower part of the moving rod part 10 and the height adjustment nut 13 screwed to the height adjustment part 12 and vertically moved, The distance of the moving rod section 10 moving vertically can be easily changed at an interval desired by the user so that the moving rod section 10 can be moved by the position of the height adjusting nut 13.

여기서, 상기 체결부(41)의 상면과 하우징부(20)의 하면에 링형상의 충격방지와셔(24)를 구비함으로써, 상기 높이조절너트(13)의 접촉시 발생되는 접촉 충격을 감소하여 상기 하우징부(20)의 훼손을 미연에 방지할 수 있게 된다.Since the ring-shaped shock-proof washer 24 is provided on the upper surface of the coupling part 41 and the lower surface of the housing part 20, the contact impact generated when the height adjusting nut 13 is contacted is reduced, So that damage to the housing part 20 can be prevented in advance.

그리고, 상기 체결부(41)의 중심면에는 상기 높이조절너트(13)가 수용되며 공급된 에어를 상부방향으로 유도하는 공간부인 공압유도챔버부(42)가 형성됨으로써, 상기 에어공급공(22)으로 유입된 에어가 상기 부싱부(30)을 통과하여 밀폐된 공압유도챔버부(42)로 이동된 후 상기 이동로드부(10)를 상부방향으로 가압할 수 있게 된다.The pneumatic induction chamber portion 42 is formed in the central surface of the coupling portion 41 and is a space for accommodating the height adjusting nut 13 and guiding the supplied air upward. Can pass through the bushing 30 and move to the airtight induction chamber portion 42 which is hermetically closed, and then the moving rod portion 10 can be pressed upward.

이때, 상기 공압유도챔버부(42)의 하면에는 하부방향으로 천공된 배출유로(43)가 형성되되, 상기 배출유로(43)의 하부에는 에어유로(52)의 개폐작용을 수행하는 에어밸브부(50)가 구비됨으로써, 상기 에어유로(52)의 면적을 가변하며 배출되는 에어의 량을 용이하게 조절하는 것으로 수직상승하는 이동로드부(10)의 상승압력을 정밀하게 조절할 수 있게 된다.In the lower portion of the pneumatic induction chamber portion 42, a discharge passage 43 is formed in a downward direction. In the lower portion of the discharge passage 43, an air valve 52 for opening / The amount of air discharged can be easily adjusted by varying the area of the air flow path 52 and the upward pressure of the moving rod part 10 rising vertically can be precisely controlled.

이로 인하여, 상기 가이드패드(11)의 상부에 안착되는 안착물(P)의 재질이 파손이 쉬운 재질일 경우 상승압력을 저하시켜 파손을 미연에 방지할 수 있게 된다.Therefore, when the material of the seat P to be seated on the guide pad 11 is made of a material that can be easily damaged, it is possible to prevent the breakage from occurring by lowering the rising pressure.

한편, 상기 에어유로(52)의 하면에는 도 5에 도시된 바와 같이 상기 밸브조절구(53)가 삽입되도록 하부방향으로 천공된 조절구삽입공(미도시)이 형성됨으로써, 상기 조절구삽입공(미도시)에 삽입된 상기 밸브조절구(53)는 수직으로 이동되는 것으로 상기 에어유로(52)를 밀폐시키거나 개폐하며 그 면적을 용이하게 가변할 수 있게 된다.5, a control port insertion hole (not shown) is formed in the lower surface of the air flow path 52 so as to insert the valve control port 53 in the downward direction, (Not shown) is vertically moved so that the air passage 52 can be closed or opened and its area can be easily changed.

본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 청구범위 기재의 범위 내에 있게 된다.It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined in the appended claims and their equivalents. Of course, such modifications are within the scope of the claims.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
1 : 에어실린더 10 : 이동로드부
11 : 가이드패드 12 : 높이조절부
13 : 높이조절너트 20 : 하우징부
21 : 샤프트공 22 : 에어공급공
23 : 하우징챔버부 24 : 충격방지와셔
30 : 부싱부 40 : 체결고정부
41 : 체결부 42 : 공압유도챔버부
43 : 배출유로 50 : 에어밸브부
51 : 밸브본체 51a : 밸브연결부
52 : 에어유로 53 : 밸브조절구
S : 스테이지 B : 베이스
P : 안착물Description of the Related Art
1: air cylinder 10: moving rod section
11: guide pad 12: height adjusting portion
13: height adjustment nut 20: housing part
21: shaft ball 22: air supply ball
23: housing chamber part 24: shock-proof washer
30: bushing portion 40: fastening fixing portion
41: fastening part 42: pneumatic induction chamber part
43: exhaust flow passage 50: air valve section
51: Valve body 51a: Valve connection part
52: Air flow path 53: Valve control port
S: Stage B: Base
P: seat

Claims (7)

초정밀 위치제어에 사용되는 스테이지(S)에 구비된 에어실린더(1)에 있어서,
상부에 안착물(P)이 안착되도록 가이드패드(11)가 구비된 원통형상의 이동로드부(10)와;
상기 이동로드부(10)가 삽입되도록 중심면이 천공된 샤프트공(21)과, 일측면에서 상기 샤프트공(21)으로 관통된 에어공급공(22)으로 이루어진 하우징부(20)와;
상기 샤프트공(21)과 이동로드부(10)의 사이에 구비되는 다공질형상의 부싱부(30)와;
상기 에어실린더(1)가 설치되는 베이스(B)에 체결되며 상기 하우징부(20)의 하부에 연결된 체결고정부(40)로 구성되며;
상기 이동로드부(10)의 하부에는 상기 이동로드부(10)의 이동간격이 가변되도록 외주면에 나사산이 형성된 높이조절부(12)와, 상기 높이조절부(12)에 나사체결되어 수직으로 이동되는 높이조절너트(13)가 구비되고;
상기 체결고정부(40)의 상부에는 상기 하우징부(20)의 하부에 체결되도록 외주연에 나사산이 형성된 체결부(41)와, 상기 체결부(41)의 중심면에는 상기 높이조절너트(13)가 수용되며 공급된 에어를 상부방향으로 유도하는 공간부가 형성된 공압유도챔버부(42)가 구비된 것을 특징으로 하는 다공질 부싱이 구비된 스테이지용 에어실린더.In the air cylinder 1 provided in the stage S used for super precise position control,
A cylindrical moving rod part 10 provided with a guide pad 11 so that the seat P is seated thereon;
A housing portion 20 having a shaft hole 21 having a center surface pierced to insert the moving rod portion 10 and an air supply hole 22 penetrating through the shaft hole 21 at one side;
A porous bushing portion 30 provided between the shaft hole 21 and the moving rod portion 10;
And a fastening fixing part 40 fastened to the base B on which the air cylinder 1 is installed and connected to the lower part of the housing part 20;
A height regulating portion 12 having a thread formed on the outer circumferential surface of the moving rod portion 10 so as to vary the movement distance of the moving rod portion 10; A height adjustment nut 13 is provided;
A fastening part 41 formed at an upper portion of the fastening fastening part 40 and having threads formed on the outer circumference thereof to be fastened to the lower part of the housing part 20; And a pneumatic induction chamber portion (42) formed with a space for guiding the supplied air upward. The air cylinder for a stage having a porous bushing according to claim 1, 제 1 항에 있어서,
상기 하우징부(20)의 내주면에는 상기 에어공급공(22)으로 유입된 에어가 상기 부싱부(30)의 표면에 균일하게 공급되도록 내측으로 요입된 하우징챔버부(23)가 형성된 것을 특징으로 하는 다공질 부싱이 구비된 스테이지용 에어실린더.The method according to claim 1,
The housing chamber portion 23 is formed on the inner circumferential surface of the housing portion 20 so as to be uniformly supplied to the surface of the bushing portion 30 by the air introduced into the air supply hole 22. [ An air cylinder for a stage equipped with a porous bushing. 삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 체결부(41)의 상면과 하우징부(20)의 하면에는 상기 높이조절너트(13)의 이동시 발생되는 접촉 충격이 감소되도록 링형상의 충격방지와셔(24)가 구비된 것을 특징으로 하는 다공질 부싱이 구비된 스테이지용 에어실린더.The method according to claim 1,
And a ring-shaped impact prevention washer (24) is provided on the upper surface of the coupling part (41) and the lower surface of the housing part (20) so that a contact impact generated when the height adjustment nut (13) Air cylinder for stage with bushing. 제 1 항에 있어서,
상기 체결고정부(40)의 하부에는 상기 에어공급공(22)으로 공급된 에어의 압력이 가변되도록 배출되는 에어의 량을 조정하는 에어밸브부(50)가 포함된 것을 특징으로 하는 다공질 부싱이 구비된 스테이지용 에어실린더.The method according to claim 1,
And the air baffle (50) is provided under the fastening and fixing part (40) to adjust the amount of air discharged so that the pressure of the air supplied to the air supply hole (22) An air cylinder for a stage. 제 5 항에 있어서,
상기 에어밸브부(50)는 상부에 상기 체결고정부(40)의 하면에 체결되도록 밸브연결부(51a)가 돌출된 밸브본체(51)와, 상기 밸브본체(51)의 내부에 에어가 이동되도록 직각형상으로 천공된 에어유로(52)와, 상기 밸브본체(51)의 하부에 구비되어 상기 에어유로(52)의 하부와 밀착되는 것으로 배출되는 에어의 량을 조정하는 밸브조절구(53)로 이루어진 것을 특징으로 하는 다공질 부싱이 구비된 스테이지용 에어실린더.6. The method of claim 5,
The air valve unit 50 includes a valve body 51 having a valve connecting portion 51a protruded from the upper portion of the valve body 51 so as to be fastened to the lower surface of the fastening portion 40, A valve regulator 53 provided at a lower portion of the valve body 51 to regulate the amount of air discharged from the lower portion of the air flow path 52, Wherein the air bushing is provided with a bushing. 제 6 항에 있어서,
상기 체결고정부(40)의 내부에는 상기 에어유로(52)와 연통되도록 천공된 배출유로(43)가 형성된 것을 특징으로 하는 다공질 부싱이 구비된 스테이지용 에어실린더.The method according to claim 6,
And an exhaust flow path (43) formed to communicate with the air flow path (52) is formed in the fastening and fixing part (40).
KR20130156190A 2013-12-16 2013-12-16 Stage for an air cylinder equipped with a porous bushing KR101497471B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR20130156190A KR101497471B1 (en) 2013-12-16 2013-12-16 Stage for an air cylinder equipped with a porous bushing

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR20130156190A KR101497471B1 (en) 2013-12-16 2013-12-16 Stage for an air cylinder equipped with a porous bushing

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR101497471B1 true KR101497471B1 (en) 2015-03-03

Family

ID=53025905

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR20130156190A KR101497471B1 (en) 2013-12-16 2013-12-16 Stage for an air cylinder equipped with a porous bushing

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101497471B1 (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101833671B1 (en) * 2017-04-06 2018-03-02 국방과학연구소 The suspension system for ground vibration test and method thereof
US20200176302A1 (en) * 2018-11-29 2020-06-04 Samsung Display Co., Ltd. Bushing portion and a substrate processing apparatus including the same

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07145849A (en) * 1993-11-22 1995-06-06 Nippon Thompson Co Ltd Vibration control device and rolling guide unit having the vibration control device
JPH08152007A (en) * 1994-11-29 1996-06-11 Ckd Corp Air bearing cylinder and cylinder system
JPH11264404A (en) * 1998-03-18 1999-09-28 Ckd Corp Air bearing cylinder, rod for air bearing cylinder and manifold cylinder
JPH11287211A (en) * 1998-04-03 1999-10-19 Ckd Corp Air bearing cylinder and semiconductor manufacturing device

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07145849A (en) * 1993-11-22 1995-06-06 Nippon Thompson Co Ltd Vibration control device and rolling guide unit having the vibration control device
JPH08152007A (en) * 1994-11-29 1996-06-11 Ckd Corp Air bearing cylinder and cylinder system
JPH11264404A (en) * 1998-03-18 1999-09-28 Ckd Corp Air bearing cylinder, rod for air bearing cylinder and manifold cylinder
JPH11287211A (en) * 1998-04-03 1999-10-19 Ckd Corp Air bearing cylinder and semiconductor manufacturing device

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101833671B1 (en) * 2017-04-06 2018-03-02 국방과학연구소 The suspension system for ground vibration test and method thereof
US20200176302A1 (en) * 2018-11-29 2020-06-04 Samsung Display Co., Ltd. Bushing portion and a substrate processing apparatus including the same
CN111244329A (en) * 2018-11-29 2020-06-05 三星显示有限公司 Substrate processing apparatus
KR20200065188A (en) * 2018-11-29 2020-06-09 삼성디스플레이 주식회사 Bushing portion and substrate processing apparatus including the same
KR102659428B1 (en) * 2018-11-29 2024-04-23 삼성디스플레이 주식회사 Bushing portion and substrate processing apparatus including the same

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8186071B2 (en) Co-ordinate measuring machine with a device for balancing the weight of a vertically mobile member
JP4525155B2 (en) Linear actuator
KR20010062391A (en) Gate valve
KR101497471B1 (en) Stage for an air cylinder equipped with a porous bushing
KR102393473B1 (en) Pneumatic Pin Lifting Device and Pneumatic Lift Cylinder
US9316472B2 (en) Slide guide device
US7424846B2 (en) Pneumatically static balancer for machine tool
KR20170063781A (en) Electronic expansion valve
EP3073113A1 (en) Diaphragm pump
JP2005076829A (en) Valve for vacuum pressure regulation
US20210220863A1 (en) Liquid material discharge device, and application device and application method therefor
WO2015080050A1 (en) Static load holding device for electrodynamic vibration generator
JPWO2017130959A1 (en) Fluid controller
JP2015157350A (en) Press-in quantity adjustment device and polishing device mounted with the same
CA2904104C (en) Horizontal piston compressor
KR101541388B1 (en) Flow regulator
TWI706100B (en) Diaphragm valve and flow control device
JP2019108948A (en) Pinch valve and tube holder
JP4879171B2 (en) Valve drive device
CN111195828A (en) Direct-acting mechanism, balancing device and machine tool
JP2015137720A (en) cylinder device
CN103672063B (en) Pressure regulator
CN208203887U (en) A kind of gas spring and door
KR101361689B1 (en) Vibration-proofing device with table
CN110284257A (en) Density accurately adjusts unit and spandex laboratory test weaving machine

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20171226

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20200210

Year of fee payment: 6