KR101497471B1 - Stage for an air cylinder equipped with a porous bushing - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 다공질 부싱이 구비된 스테이지용 에어실린더에 관한 것으로 더욱 상세하게는 내부 구성품간의 상호 접촉이 차단되도록 내부에 다공질형상의 부싱부가 구비되고, 에어가 균일하게 공급되도록 소정 크기의 하우징챔버가 형성되며, 이동로드부의 수직이동 간격을 사용자가 원하는 간격으로 가변되도록 높이조절너트가 구비되고, 에어의 유입량이 가변되도록 에어밸브가 구비된 다공질 부싱이 구비된 스테이지용 에어실린더에 관한 것이다.The present invention relates to an air cylinder for a stage having a porous bushing, and more particularly, to an air cylinder for a stage having a porous bushing, and more particularly to a bushing unit having a porous shape inside to prevent mutual contact between internal components, The present invention relates to an air cylinder for a stage having a porous bushing provided with a height adjusting nut such that a vertical movement distance of a moving rod can be varied by a user's desired distance and an air valve to vary an inflow amount of air.
일반적으로 고정밀도의 선진 연구분야 및 산업현장에서의 응용을 위해 초정밀 위치제어 스테이지(stage)가 개발되고 있으며, 이러한 초정밀 위치제어 스테이지에는 XY평면에 대하여 X축 및 Y축으로 이송가능한 캐리지(carriage)가 구비되며, 상기 캐리지에는 목적하는 바에 따라 검사, 측정 및 가공을 위한 다양한 공정장치가 선택적으로 부설되는데, 이를 위해 먼저 하부의 추종대상인 평판형 베이스(base)(즉, 글래스, LCD, PDP 등의 판넬 또는 정반)의 표면 프로파일(profile ; 형상)에 대해 상부에서 항상 일정한 갭을 유지할 수 있는 Z축방향 즉, 높이방향으로의 부양장치가 캐리지에 부설된다.In general, a high precision position control stage is being developed for application in high precision advanced research field and industrial field. In this precise position control stage, a carriage which can be transported in the X and Y axes with respect to the XY plane, And various types of processing apparatuses for inspection, measurement and processing are optionally installed in the carriage. To this end, a flat base (i.e., a glass, an LCD, a PDP, etc.) A lifting device is attached to the carriage in the Z-axis direction, that is, the height direction, which can always maintain a constant gap at the top with respect to the surface profile (profile, shape)
여기서, 상기 부양장치로 에어실린더가 대표적으로 사용되는데 상기 에어실린더는 실린더의 내부에 피스톤 및 로드가 수용되어 압축공기의 공급에 의해 피스톤 및 로드가 직선으로 왕복 이동하는 기구로서 직선운동이 적용되는 전반적인 기계장치에 사용되는 보편적인 기계부속품이다.Here, an air cylinder is typically used as the lifting device. The air cylinder is a mechanism in which a piston and a rod are accommodated in a cylinder, and a piston and a rod are linearly reciprocated by supply of compressed air. It is a universal machine accessory used in machinery.
그러나 종래의 에어실린더는 왕복 운동시 에어실린더의 내주면과 상기 피스톤 및 로드의 마찰로 인한 마모가 발생되어 에어실린더의 교체작업이 자주 발생되었고, 이를 해결하기 위하여 미끄럼 베어링을 내부에 배치하거나 윤활유를 도포시키는 방법으로 개선되었으나 이 또한 마찰로 인한 기계적 손실을 피할 수 없는 것과 더불어 고정밀도를 요구하는 선진 연구분야 및 산업현장에서 사용하기가 적합하지 못한 문제점이 있었다.However, in the conventional air cylinder, when the reciprocating motion occurs, wear due to friction between the inner circumferential surface of the air cylinder and the piston and the rod occurs, and the replacement work of the air cylinder is frequently performed. To solve this problem, a sliding bearing is disposed inside, However, in addition to the inevitable mechanical loss due to friction, there is a problem in that it is not suitable for use in advanced research fields and industrial fields requiring high precision.
그래서 이러한 문제점을 해결하기 위한 기술문헌으로 국내공개특허 제10-2006-0036978호가 기출원되어 공개되었다.As a technical literature for solving these problems, Korean Patent Laid-Open No. 10-2006-0036978 has been proposed and published.
여기서, 도 1은 종래의 부양장치를 나타내 보인 단면도로서, 종래의 부양장치는 상하방향으로 관통된 튜브형상으로 외측에 구비되는 하우징(2)과, 상기 하우징(2)의 내부에서 상하의 Z축방향으로 자유롭게 이동하되 그 중간부 외측면상에 가압면이 형성된 샤프트(3)와, 상기 하우징(2)과 상기 샤프트(3) 사이에 상하로 이격되도록 각각 구비된 다공성재질의 에어부쉬(4)와, 상기 하우징(2)의 내부로 유입된 공압의 배출량을 조절하는 레귤레이터(5)로 구성된다.FIG. 1 is a sectional view showing a conventional lifting device. The conventional lifting device has a
그러나 종래의 부양장치는 수직으로 이동하는 상기 샤프트(3)의 이동간격 및 공급되는 공압의 량을 정밀하게 조절할 수 없어 고정밀도를 요구하는 선진 연구분야 및 산업현장에서 사용하기 어려운 문제점은 그대로 존재하는 문제점이 있었다.However, the conventional lifting device can not control the movement distance of the
또한, 종래의 부양장치는 유입된 공압이 상기 에어부쉬(4)의 어느 한 면으로 만 공급됨으로써, 공급되는 에어가 상기 에어부쉬(4)의 한 면으로 집중되어 에어부쉬(4)의 균일하지 못한 훼손으로 교체주기가 빨라져 유지비용이 대폭 상승하는 문제점이 있었다.In the conventional lifting device, the inflow air pressure is supplied to only one side of the
그리고, 종래의 부양장치는 외부에서 공급되는 압축공기의 압력을 조절하는 것이 까다로워 시험용 스테이지 등의 정밀한 작업이 요구되는 스테이지에서는 사용성이 대폭 저하되고, 이를 조절하기 위해서 또 다른 조절장치 즉, 레큘레이터 등의 부수적인 장치가 추가되는 것으로 전반적인 구조가 복잡해지는 문제점이 있었다.In the conventional lifting device, it is difficult to adjust the pressure of the compressed air supplied from the outside. In the stage requiring precise work such as a test stage, the usability is largely deteriorated. Further, The overall structure of the apparatus is complicated.
본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위해 창작된 것으로 본 발명의 목적은 하우징부의 내부에 다공질형상의 부싱부를 구비하여 접촉을 방지하고, 소정의 크기의 하우징챔버를 형성하여 에어를 균일하게 공급하며, 높이조절너트를 구비하여 이동로드부의 수직이동 간격을 사용자가 원하는 간격으로 가변하고, 에어의 유동량을 가변하는 에어밸브부를 구비하여 이동로드부의 상승압력을 정밀하게 조절하는 다공질 부싱이 구비된 스테이지용 에어실린더를 제공함에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems of the prior art, and it is an object of the present invention to provide a bushing of the present invention, which has a porous bushing inside the housing to prevent contact, A porous bushing provided with a height adjusting nut and having an air valve portion for varying the vertical movement interval of the movable rod portion by an interval desired by the user and varying the amount of air flow and precisely controlling the upward pressure of the movable rod portion And an air cylinder for the stage.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 다공질 부싱이 구비된 스테이지용 에어실린더는 초정밀 위치제어 스테이지에 구비된 에어실린더로서 상부에 안착물이 안착되도록 가이드패드가 구비된 원통형상의 이동로드부와; 상기 이동로드부가 삽입되도록 중심면이 천공된 샤프트공과, 일측면에서 상기 샤프트공으로 관통된 에어공급공으로 이루어진 하우징부와; 상기 샤프트공과 이동로드부의 사이에 구비되는 다공질형상의 부싱부와; 상기 에어실린더가 설치되는 베이스에 체결되며 상기 하우징부의 하부에 연결된 체결고정부로 구성되며; 상기 이동로드부의 하부에는 상기 이동로드부의 이동간격이 가변되도록 외주면에 나사산이 형성된 높이조절부와, 상기 높이조절부에 나사체결되어 수직으로 이동되는 높이조절너트가 구비된 것을 특징으로 한다.In order to accomplish the above object, an air cylinder for a stage having a porous bushing according to the present invention comprises an air cylinder provided in an ultra-precise position control stage, a cylindrical moving rod unit having a guide pad for seating a seat thereon; A housing part formed by a shaft hole having a center surface pierced to insert the moving rod part and an air supply hole penetrating the shaft hole at one side; A porous bushing portion provided between the shaft hole and the moving rod portion; A fastening fastening portion fastened to a base on which the air cylinder is installed and connected to a lower portion of the housing portion; A height adjuster having a thread formed on an outer circumferential surface of the movable rod to vary a moving distance of the movable rod; and a height adjusting nut screwed to the height adjuster and vertically moved.
상기 하우징부의 내주면에는 상기 에어공급공으로 유입된 에어가 상기 부싱부의 표면에 균일하게 공급되도록 내측으로 요입된 하우징챔버부가 형성된 것을 특징으로 한다.The inner circumferential surface of the housing portion is formed with a housing chamber portion which is recessed inwardly so that the air introduced into the air supply hole is uniformly supplied to the surface of the bushing portion.
상기 체결고정부의 상부에는 상기 하우징부의 하부에 체결되도록 외주연에 나사산이 형성된 체결부와, 상기 체결부의 중심면에는 상기 높이조절너트가 수용되며 공급된 에어를 상부방향으로 유도하는 공간부인 공압유도챔버부가 형성된 것을 특징으로 한다.A coupling part formed on an outer periphery of the coupling part so as to be coupled to a lower part of the coupling part, and a pneumatic pressure induction part, which is a space part for guiding the supplied air to the upper direction, And the chamber portion is formed.
상기 체결부의 상면과 하우징부의 하면에는 상기 높이조절너트의 이동시 발생되는 접촉 충격이 감소되도록 링형상의 충격방지와셔가 구비된 것을 특징으로 한다.And a ring-shaped shock-proof washer is provided on the upper surface of the coupling portion and the lower surface of the housing portion to reduce a contact impact generated when the height adjusting nut is moved.
상기 체결고정부의 하부에는 상기 에어공급공으로 공급된 에어의 압력이 가변되도록 배출되는 에어의 량을 조정하는 에어밸브부가 포함된 것을 특징으로 한다.And a lower portion of the fastening and fixing portion includes an air valve portion for adjusting an amount of air discharged so that a pressure of the air supplied to the air supply hole varies.
상기 에어밸브부는 상부에 상기 체결고정부의 하면에 체결되도록 밸브연결부가 돌출된 밸브본체와, 상기 밸브본체의 내부에 에어가 이동되도록 직각형상으로 천공된 에어유로와, 상기 밸브본체의 하부에 구비되어 상기 에어유로의 하부와 밀착되는 것으로 배출되는 에어의 량을 조정하는 밸브조절구로 이루어진 것을 특징으로 한다.The air valve unit includes a valve body having a valve connecting portion protruded from the upper portion thereof so as to be fastened to the lower surface of the fastening and fixing unit, an air flow passage formed in a right angle to move air into the valve body, And a valve control means for regulating the amount of air exhausted to be in close contact with the lower portion of the air flow path.
상기 체결고정부의 내부에는 상기 에어유로와 연통되도록 천공된 배출유로가 형성된 것을 특징으로 한다.And a discharge channel formed to communicate with the air flow passage is formed in the fastening and fixing unit.
이와 같이 본 발명에 따른 다공질 부싱이 구비된 스테이지용 에어실린더의 효과는 다음과 같다.The effect of the air cylinder for a stage equipped with the porous bushing according to the present invention is as follows.
첫째, 하우징부의 내부에 에어가 이동되는 다공질형상의 부싱부를 구비함으로써, 이동로드부와 하우징부의 내주면에 대한 마찰을 방지하여 초정밀 위치제어 스테이지에 적합한 에어실리더를 제공할 수 있고,First, by providing the porous bushing portion in which the air moves inside the housing portion, it is possible to provide an air cylinder suitable for the ultra-precise position control stage by preventing friction between the moving rod portion and the inner peripheral surface of the housing portion,
둘째, 하우징부에 유입된 에어가 부싱부의 표면으로 균일하게 공급되도록 내측으로 요입된 하우징챔버부를 형성함으로써, 부싱부의 어느 한 표면으로 에어가 집중되는 것을 분산시켜 부싱부의 작동성을 향상시키는 것과 더불어 어느 한 표면만이 훼손되는 것을 방지할 수 있으며,Secondly, by forming the housing chamber portion which is recessed inwardly so that the air introduced into the housing portion is uniformly supplied to the surface of the bushing portion, it is possible to improve the operability of the bushing portion by dispersing the concentration of air on one surface of the bushing portion, It is possible to prevent only one surface from being damaged,
셋째, 이동로드부의 하부에 수직으로 이동 고정되는 높이조절너트를 구비함으로써, 수직으로 이동하는 이동로드부(10)의 간격을 사용자가 원하는 간격으로 용이하게 가변하여 사용범위를 대폭 향상시킬 수 있고,Third, by providing the height adjusting nut vertically movably fixed to the lower portion of the moving rod portion, the interval of the moving
넷째, 하우징부의 하부에 링형상의 충격방지와셔를 구비함으로써, 높이조절너트의 접촉으로 발생되는 충격을 감소하여 하우징부의 훼손을 미연에 방지할 수 있으며,Fourthly, by providing the ring-shaped shock-proof washer in the lower part of the housing part, the impact generated by the contact of the height adjustment nut can be reduced to prevent the housing part from being damaged,
다섯째, 체결고정부의 하부에 에어유로의 개폐작용을 수행하는 에어밸브부를 구비함으로써, 에어유로의 면적을 용이하게 가변하는 것으로 수직상승하는 이동로드부의 상승압력을 정밀하게 조절하여 안착물에 인가되는 충격을 최소화할 수 있는 효과가 있다.Fifthly, since the air valve portion for performing the opening and closing action of the air flow passage is provided in the lower portion of the fastening fixing portion, the area of the air flow passage can be easily changed to precisely adjust the rising pressure of the vertically- The impact can be minimized.
도 1은 종래의 부양장치를 나타내 보인 단면도이고,
도 2는 본 발명에 따른 다공질 부싱이 구비된 스테이지용 에어실린더를 나타내 보인 설치사시도이며,
도 3은 본 발명에 따른 다공질 부싱이 구비된 스테이지용 에어실린더를 나타내 보인 분해사시도이고,
도 4는 본 발명에 따른 일 실시예를 나타내 보인 단면도이며,
도 5는 본 발명에 따른 에어밸브부의 일 실시예를 나타내 보인 일단면도이다.1 is a sectional view showing a conventional lifting device,
2 is an installation perspective view showing an air cylinder for a stage having a porous bushing according to the present invention,
3 is an exploded perspective view showing an air cylinder for a stage provided with a porous bushing according to the present invention,
4 is a cross-sectional view showing an embodiment according to the present invention,
5 is a cross-sectional view illustrating an air valve unit according to an embodiment of the present invention.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예를 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
본 발명에 따른 다공질 부싱이 구비된 스테이지용 에어실린더는 도 2 내지 도 4에 도시된 바와 같이 초정밀 위치제어 스테이지(S)에 구비된 에어실린더(1)로서 상부에 안착물(P)이 안착되도록 가이드패드(11)가 구비된 원통형상의 이동로드부(10)와; 상기 이동로드부(10)가 삽입되도록 중심면이 천공된 샤프트공(21)과, 일측면에서 상기 샤프트공(21)으로 관통된 에어공급공(22)으로 이루어진 하우징부(20)와; 상기 샤프트공(21)과 이동로드부(10)의 사이에 구비되는 다공질형상의 부싱부(30)와; 상기 에어실린더(1)가 설치되는 베이스(B)에 체결되며 상기 하우징부(20)의 하부에 연결된 체결고정부(40)로 구성된다.2 to 4, the air cylinder for a stage equipped with the porous bushing according to the present invention is an
여기서, 상기 이동로드부(10)의 하부에는 상기 이동로드부(10)의 이동간격이 가변되도록 외주면에 나사산이 형성된 높이조절부(12)와, 상기 높이조절부(12)에 나사체결되어 수직으로 이동되는 높이조절너트(13)가 구비된다.The
한편, 상기 하우징부(20)의 에어공급공(22)에는 에어가 이동되는 에어튜브(미도시)가 연결되는 튜브연결부(T)가 구비되고, 상기 하우징부(20)의 하부에는 상기 체결고정부(40)의 상부가 삽입되도록 내측으로 요입되며 내주면에 나사산(미도시)이 형성된 하우징체결부(미도시)가 형성되는 것이 바람직하다.The
그리고, 상기 부싱부(30)는 상기 이동로드부(10)의 외주면에 안착되도록 원통형상으로 형성되고, 상기 높이조절너트(13)의 외경은 상기 샤프트공(21)의 내경보다 크게 형성되는 것이 바람직하다.The bushing
또한, 상기 하우징부(20)의 내주면에는 상기 에어공급공(22)으로 유입된 에어가 상기 부싱부(30)의 표면에 균일하게 공급되도록 내측으로 요입된 하우징챔버부(23)가 형성된다.The inner circumferential surface of the
그리고, 상기 체결고정부(40)의 상부에는 상기 하우징부(20)의 하부에 체결되도록 외주연에 나사산이 형성된 체결부(41)와, 상기 체결부(41)의 중심면에는 상기 높이조절너트(13)가 수용되며 공급된 에어를 상부방향으로 유도하는 공간부인 공압유도챔버부(42)가 형성된다.The upper portion of the fastening and fixing
또한, 상기 체결부(41)의 상면과 하우징부(20)의 하면에는 상기 높이조절너트(13)의 이동시 발생되는 접촉 충격이 감소되도록 링형상의 충격방지와셔(24)가 구비된다.In addition, a ring-shaped shock-
그리고, 상기 체결고정부(40)의 하부에는 상기 에어공급공(22)으로 공급된 에어의 압력이 가변되도록 개폐작용을 수행하는 에어밸브부(50)가 포함된다.A lower portion of the fastening and fixing
여기서, 상기 에어밸브부(50)는 상부에 상기 체결고정부(40)의 하면에 체결되도록 밸브연결부(51a)가 돌출된 밸브본체(51)와, 상기 밸브본체(51)의 내부에 에어가 이동되도록 직각형상으로 천공된 에어유로(52)와, 상기 밸브본체(51)의 하부에 구비되어 상기 에어유로(52)의 하부와 밀착되는 것으로 개폐작용하는 밸브조절구(53)로 이루어진다.The
한편, 상기 에어유로(52)의 하면에는 상기 밸브조절구(53)가 삽입되도록 하부방향으로 천공된 조절구삽입공(미도시)이 형성되고, 상기 조절구삽입공(미도시)에 삽입된 상기 밸브조절구(53)는 수직으로 이동되는 것이 바람직하다.A control port insertion hole (not shown) is formed in the lower surface of the
여기서, 상기 밸브조절구(53)가 수직으로 이동되기 위해서 상기 조절구삽입공(미도시)과 밸브조절구(53)의 일부 외주면에는 상호 체결되도록 나사산(미도시)이 형성되는 것이 바람직하다.In order to vertically move the
그리고, 상기 체결고정부(40)의 내부에는 상기 에어유로(52)와 연통되도록 천공된 배출유로(43)가 형성된다.
A
상기와 같은 구성으로 이루어진 다공질 부싱이 구비된 스테이지용 에어실린더의 작용을 살펴보면 아래와 같다.The operation of the air cylinder for a stage having the porous bushing having the above-described structure will be described below.
본 발명에 따른 다공질 부싱이 구비된 스테이지용 에어실린더는 도 4에 도시된 바와 같이 원통형상의 이동로드부(10)가 삽입된 하우징부(20)의 내부에 에어가 이동되는 다공질형상의 부싱부(30)를 구비함으로써, 공급되는 에어로 인하여 상기 이동로드부(10)의 표면에서 상기 부싱부(30)를 부상시키는 것으로 상기 이동로드부(10)와 하우징부(20)의 내주면에 대한 마찰을 방지하여 초정밀 위치제어 스테이지에 적합한 에어실리더를 제공할 수 있게 된다.As shown in FIG. 4, the air cylinder for a stage having the porous bushing according to the present invention includes a porous bushing portion (see FIG. 4) in which air is moved into a
또한, 상기 하우징부(20)의 내주면에는 상기 에어공급공(22)으로 유입된 에어가 상기 부싱부(30)의 표면에 균일하게 공급되도록 내측으로 요입된 하우징챔버부(23)가 형성됨으로써, 상기 부싱부(30)의 어느 한 표면으로 에어가 집중되는 것을 골고루 유입되도록 분산시켜 상기 부싱부(30)의 이격성을 향상시키는 것과 더불어 어느 한 표면만이 훼손되는 것을 방지할 수 있게 된다.The inner circumferential surface of the
이때, 상기 이동로드부(10)의 하부에 나사산이 형성된 높이조절부(12)를 형성하고, 상기 높이조절부(12)에 나사체결되어 수직으로 이동되는 높이조절너트(13)를 구비함으로써, 수직으로 이동하는 이동로드부(10)의 간격을 사용자가 원하는 간격으로 용이하게 가변하여 상기 높이조절너트(13)의 위치만큼 상기 이동로드부(10)를 이동시킬 수 있게 된다. At this time, the
여기서, 상기 체결부(41)의 상면과 하우징부(20)의 하면에 링형상의 충격방지와셔(24)를 구비함으로써, 상기 높이조절너트(13)의 접촉시 발생되는 접촉 충격을 감소하여 상기 하우징부(20)의 훼손을 미연에 방지할 수 있게 된다.Since the ring-shaped shock-
그리고, 상기 체결부(41)의 중심면에는 상기 높이조절너트(13)가 수용되며 공급된 에어를 상부방향으로 유도하는 공간부인 공압유도챔버부(42)가 형성됨으로써, 상기 에어공급공(22)으로 유입된 에어가 상기 부싱부(30)을 통과하여 밀폐된 공압유도챔버부(42)로 이동된 후 상기 이동로드부(10)를 상부방향으로 가압할 수 있게 된다.The pneumatic
이때, 상기 공압유도챔버부(42)의 하면에는 하부방향으로 천공된 배출유로(43)가 형성되되, 상기 배출유로(43)의 하부에는 에어유로(52)의 개폐작용을 수행하는 에어밸브부(50)가 구비됨으로써, 상기 에어유로(52)의 면적을 가변하며 배출되는 에어의 량을 용이하게 조절하는 것으로 수직상승하는 이동로드부(10)의 상승압력을 정밀하게 조절할 수 있게 된다.In the lower portion of the pneumatic
이로 인하여, 상기 가이드패드(11)의 상부에 안착되는 안착물(P)의 재질이 파손이 쉬운 재질일 경우 상승압력을 저하시켜 파손을 미연에 방지할 수 있게 된다.Therefore, when the material of the seat P to be seated on the
한편, 상기 에어유로(52)의 하면에는 도 5에 도시된 바와 같이 상기 밸브조절구(53)가 삽입되도록 하부방향으로 천공된 조절구삽입공(미도시)이 형성됨으로써, 상기 조절구삽입공(미도시)에 삽입된 상기 밸브조절구(53)는 수직으로 이동되는 것으로 상기 에어유로(52)를 밀폐시키거나 개폐하며 그 면적을 용이하게 가변할 수 있게 된다.5, a control port insertion hole (not shown) is formed in the lower surface of the
본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 청구범위 기재의 범위 내에 있게 된다.It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined in the appended claims and their equivalents. Of course, such modifications are within the scope of the claims.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
1 : 에어실린더 10 : 이동로드부
11 : 가이드패드 12 : 높이조절부
13 : 높이조절너트 20 : 하우징부
21 : 샤프트공 22 : 에어공급공
23 : 하우징챔버부 24 : 충격방지와셔
30 : 부싱부 40 : 체결고정부
41 : 체결부 42 : 공압유도챔버부
43 : 배출유로 50 : 에어밸브부
51 : 밸브본체 51a : 밸브연결부
52 : 에어유로 53 : 밸브조절구
S : 스테이지 B : 베이스
P : 안착물Description of the Related Art
1: air cylinder 10: moving rod section
11: guide pad 12: height adjusting portion
13: height adjustment nut 20: housing part
21: shaft ball 22: air supply ball
23: housing chamber part 24: shock-proof washer
30: bushing portion 40: fastening fixing portion
41: fastening part 42: pneumatic induction chamber part
43: exhaust flow passage 50: air valve section
51:
52: Air flow path 53: Valve control port
S: Stage B: Base
P: seat
Claims (7)
상부에 안착물(P)이 안착되도록 가이드패드(11)가 구비된 원통형상의 이동로드부(10)와;
상기 이동로드부(10)가 삽입되도록 중심면이 천공된 샤프트공(21)과, 일측면에서 상기 샤프트공(21)으로 관통된 에어공급공(22)으로 이루어진 하우징부(20)와;
상기 샤프트공(21)과 이동로드부(10)의 사이에 구비되는 다공질형상의 부싱부(30)와;
상기 에어실린더(1)가 설치되는 베이스(B)에 체결되며 상기 하우징부(20)의 하부에 연결된 체결고정부(40)로 구성되며;
상기 이동로드부(10)의 하부에는 상기 이동로드부(10)의 이동간격이 가변되도록 외주면에 나사산이 형성된 높이조절부(12)와, 상기 높이조절부(12)에 나사체결되어 수직으로 이동되는 높이조절너트(13)가 구비되고;
상기 체결고정부(40)의 상부에는 상기 하우징부(20)의 하부에 체결되도록 외주연에 나사산이 형성된 체결부(41)와, 상기 체결부(41)의 중심면에는 상기 높이조절너트(13)가 수용되며 공급된 에어를 상부방향으로 유도하는 공간부가 형성된 공압유도챔버부(42)가 구비된 것을 특징으로 하는 다공질 부싱이 구비된 스테이지용 에어실린더.In the air cylinder 1 provided in the stage S used for super precise position control,
A cylindrical moving rod part 10 provided with a guide pad 11 so that the seat P is seated thereon;
A housing portion 20 having a shaft hole 21 having a center surface pierced to insert the moving rod portion 10 and an air supply hole 22 penetrating through the shaft hole 21 at one side;
A porous bushing portion 30 provided between the shaft hole 21 and the moving rod portion 10;
And a fastening fixing part 40 fastened to the base B on which the air cylinder 1 is installed and connected to the lower part of the housing part 20;
A height regulating portion 12 having a thread formed on the outer circumferential surface of the moving rod portion 10 so as to vary the movement distance of the moving rod portion 10; A height adjustment nut 13 is provided;
A fastening part 41 formed at an upper portion of the fastening fastening part 40 and having threads formed on the outer circumference thereof to be fastened to the lower part of the housing part 20; And a pneumatic induction chamber portion (42) formed with a space for guiding the supplied air upward. The air cylinder for a stage having a porous bushing according to claim 1,
상기 하우징부(20)의 내주면에는 상기 에어공급공(22)으로 유입된 에어가 상기 부싱부(30)의 표면에 균일하게 공급되도록 내측으로 요입된 하우징챔버부(23)가 형성된 것을 특징으로 하는 다공질 부싱이 구비된 스테이지용 에어실린더.The method according to claim 1,
The housing chamber portion 23 is formed on the inner circumferential surface of the housing portion 20 so as to be uniformly supplied to the surface of the bushing portion 30 by the air introduced into the air supply hole 22. [ An air cylinder for a stage equipped with a porous bushing.
상기 체결부(41)의 상면과 하우징부(20)의 하면에는 상기 높이조절너트(13)의 이동시 발생되는 접촉 충격이 감소되도록 링형상의 충격방지와셔(24)가 구비된 것을 특징으로 하는 다공질 부싱이 구비된 스테이지용 에어실린더.The method according to claim 1,
And a ring-shaped impact prevention washer (24) is provided on the upper surface of the coupling part (41) and the lower surface of the housing part (20) so that a contact impact generated when the height adjustment nut (13) Air cylinder for stage with bushing.
상기 체결고정부(40)의 하부에는 상기 에어공급공(22)으로 공급된 에어의 압력이 가변되도록 배출되는 에어의 량을 조정하는 에어밸브부(50)가 포함된 것을 특징으로 하는 다공질 부싱이 구비된 스테이지용 에어실린더.The method according to claim 1,
And the air baffle (50) is provided under the fastening and fixing part (40) to adjust the amount of air discharged so that the pressure of the air supplied to the air supply hole (22) An air cylinder for a stage.
상기 에어밸브부(50)는 상부에 상기 체결고정부(40)의 하면에 체결되도록 밸브연결부(51a)가 돌출된 밸브본체(51)와, 상기 밸브본체(51)의 내부에 에어가 이동되도록 직각형상으로 천공된 에어유로(52)와, 상기 밸브본체(51)의 하부에 구비되어 상기 에어유로(52)의 하부와 밀착되는 것으로 배출되는 에어의 량을 조정하는 밸브조절구(53)로 이루어진 것을 특징으로 하는 다공질 부싱이 구비된 스테이지용 에어실린더.6. The method of claim 5,
The air valve unit 50 includes a valve body 51 having a valve connecting portion 51a protruded from the upper portion of the valve body 51 so as to be fastened to the lower surface of the fastening portion 40, A valve regulator 53 provided at a lower portion of the valve body 51 to regulate the amount of air discharged from the lower portion of the air flow path 52, Wherein the air bushing is provided with a bushing.
상기 체결고정부(40)의 내부에는 상기 에어유로(52)와 연통되도록 천공된 배출유로(43)가 형성된 것을 특징으로 하는 다공질 부싱이 구비된 스테이지용 에어실린더.The method according to claim 6,
And an exhaust flow path (43) formed to communicate with the air flow path (52) is formed in the fastening and fixing part (40).
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