KR101497430B1 - Method of aligning substrates - Google Patents

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문형돈
윤정환
반현호
이부한
문현찬
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Abstract

The present invention relates to a method for aligning substrates to align a first substrate and a second substrate. The provided method for aligning substrates comprises the steps of: (a) displaying first alignment auxiliary information and second alignment auxiliary information on respective a first image display device and a second image display device steadily; (b) displaying a first image and a second image on the first image display device and the second image display device respectively through a first image acquisition system and a second image acquisition system; (c) moving and fixing the first substrate in order to match a pattern image of the first substrate acquired from the first image and the second image to the first alignment auxiliary information and the second alignment auxiliary information; (d) displaying third alignment auxiliary information and fourth alignment auxiliary information on respective the first image display device and the second image display device steadily; (e) displaying a third image and a fourth image acquired from the photographing of the second substrate on the first image display device and the second image display device through a third image acquisition system and a fourth image acquisition system after moving the second substrate to the first substrate; and (f) moving and aligning the second substrate relatively to the first substrate in order to match the pattern image of the second substrate acquired from the third image and the fourth image to the third alignment auxiliary information and the fourth alignment auxiliary information. According to the present invention, the method for aligning substrates can align substrates using the alignment auxiliary information to be displayed on the pattern formed on the substrate and a screen, and also can match the aligned substrates.

Description

기판 정렬 방법{METHOD OF ALIGNING SUBSTRATES}{METHOD OF ALIGNING SUBSTRATES}

본 발명은 기판 정렬 방법에 관한 것으로, 더욱 구체적으로는 정렬 마크 또는 기준 마크를 사용하지 않고 기판을 정렬하는 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate alignment method, and more particularly to a method of aligning a substrate without using alignment marks or fiducial marks.

종래 2개의 기판을 정렬하는 경우, 각 기판에 인쇄되거나 각인된 정렬 마크(alignment mark) 또는 기준 마크(fiducial mark)를 이용하여 각 기판을 정렬한다.Conventionally, when two substrates are aligned, each substrate is aligned using an alignment mark or a fiducial mark printed or stamped on each substrate.

예컨대 가부시키가이샤 니콘에 의해서 출원되고 2010년 7월 1일자로 공개된 "위치 결정 장치, 본딩 장치, 적층 기판 제조 장치, 노광 장치 및 위치 결정 방법"라는 명칭의 한국공개특허 제10-2010-0074126호(특허문헌1)에는 정렬 마크의 위치를 검출하여 기판의 위치를 결정하는 위치 결정 장치 및 위치 결정 방법이 개시되어 있다.For example, Korean Patent Laid-Open No. 10-2010-0074126 filed by Nikon Corporation, entitled " Positioning Apparatus, Bonding Apparatus, Laminated Substrate Manufacturing Apparatus, Exposure Apparatus, and Positioning Method, " filed July 1, (Patent Document 1) discloses a positioning apparatus and a positioning method for determining the position of a substrate by detecting the position of an alignment mark.

또한 예컨대 삼성전자에 의해서 출원되고 2010년 4월 1일자로 공개된 "기판접합장치"라는 명칭의 한국공개특허 제10-2010-0034450호(특허문헌2)에는 얼라인먼트 마크를 촬상하는 위치 인식용 카메라를 이용하여 상부 기판과 하부 기판을 정렬하는 방법이 개시되어 있다.In addition, Korean Patent Laid-Open No. 10-2010-0034450 (Patent Document 2) entitled " Substrate Bonding Device "filed by Samsung Electronics and published on Apr. 1, 2010 discloses a position recognition camera for picking up an alignment mark A method of aligning an upper substrate and a lower substrate is disclosed.

그러나 예컨대 기판의 투명도가 매우 낮아서 정렬 마크 또는 기준 마크를 확인할 수 없는 경우에는, 종래의 기판 정렬 방법은 적용될 수 없다는 문제점이 있다.However, for example, when the transparency of the substrate is so low that the alignment mark or the reference mark can not be confirmed, there is a problem that the conventional substrate alignment method can not be applied.

또한 기판의 정렬을 위해서는 기판 상에 정렬 마크 또는 기준 마크를 형성하기 위한 공정이 반드시 필요하다. 따라서 기판 정렬에 따른 비용 및 시간이 소모되는 문제점도 있다.Also, for alignment of the substrate, a process for forming alignment marks or fiducial marks on the substrate is indispensable. Therefore, there is a problem that cost and time are consumed due to alignment of the substrates.

1. 한국공개특허 제10-2010-0074126호1. Korean Patent Publication No. 10-2010-0074126 2. 한국공개특허 제10-2010-0034450호2. Korean Patent Publication No. 10-2010-0034450

본 발명의 목적은 기판 상에 형성된 패턴 및 화면 상에 표시되는 정렬 보조 정보를 이용하여 기판을 정렬하며 또한 정렬된 기판을 접합(bonding)할 수 있는 기판 정렬 방법을 제공하는 데 있다.It is an object of the present invention to provide a substrate alignment method capable of aligning a substrate using a pattern formed on a substrate and alignment assistance information displayed on a screen, and also bonding an aligned substrate.

상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명은 제1 기판 및 제2 기판을 정렬하는 기판 정렬 방법으로서, (a) 제1 화상 표시 장치 및 제2 화상 표시 장치에 각각 제1 정렬 보조 정보 및 제2 정렬 보조 정보를 고정적으로 표시하는 단계; (b) 수직 및 수평 방향에 대해서 서로에 대해서 상대적인 위치가 결정된 제1 영상 획득 장치 및 제2 영상 획득 장치를 통하여 상기 제1 기판을 촬영하여 획득한 제1 영상 및 제2 영상을 각각 상기 제1 화상 표시 장치 및 상기 제2 화상 표시 장치에 표시하는 단계; (c) 상기 제1 영상 및 상기 제2 영상으로부터 획득한 상기 제1 기판의 패턴 이미지가 상기 제1 정렬 보조 정보 및 상기 제2 정렬 보조 정보에 정합되도록 상기 제1 기판을 이동하고 고정하는 단계; (d) 상기 제1 화상 표시 장치 및 상기 제2 화상 표시 장치에 각각 제3 정렬 보조 정보 및 제4 정렬 보조 정보를 고정적으로 표시하는 단계; (e) 상기 제2 기판을 상기 제1 기판 상으로 이동한 후, 수직 및 수평 방향에 대해서 서로에 대해서 상대적인 위치가 결정되고 각각 상기 제1 영상 획득 장치 및 상기 제2 영상 획득 장치에 대해서 수직 방향의 위치가 고정된 제3 영상 획득 장치 및 제4 영상 획득 장치를 통하여 상기 제2 기판을 촬영하여 획득한 제3 영상 및 제4 영상을 각각 상기 제1 화상 표시 장치 및 상기 제2 화상 표시 장치에 표시하는 단계; 및 (f) 상기 제3 영상 및 상기 제4 영상으로부터 획득한 상기 제2 기판의 패턴 이미지가 상기 제3 정렬 보조 정보 및 상기 제4 정렬 보조 정보에 정합되도록 상기 제2 기판을 상기 제1 기판에 대하여 상대적으로 이동하여 정렬하는 단계;를 포함하는 기판 정렬 방법을 제공한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a substrate alignment method for aligning a first substrate and a second substrate, the method comprising the steps of: (a) forming first alignment information on a first image display device and second alignment information on a second image display device, Fixedly displaying alignment assistance information; (b) a first image and a second image obtained by photographing the first substrate through a first image acquiring device and a second image acquiring device whose relative positions are determined with respect to each other in the vertical and horizontal directions, Displaying on an image display device and the second image display device; (c) moving and fixing the first substrate such that a pattern image of the first substrate acquired from the first image and the second image matches the first alignment assist information and the second alignment assist information; (d) fixedly displaying third alignment assistant information and fourth alignment assistant information in the first image display device and the second image display device, respectively; (e) after moving the second substrate onto the first substrate, relative positions relative to each other with respect to the vertical and horizontal directions are determined, and the positions of the first substrate and the second substrate relative to each other in the vertical direction The third image and the fourth image obtained by photographing the second substrate through the third image acquiring device and the fourth image acquiring device having the fixed positions of the first image and the second image are respectively transferred to the first image display device and the second image display device Displaying; And (f) comparing the pattern image of the second substrate acquired from the third image and the fourth image with the third alignment assistant information and the fourth alignment assistant information, And moving and aligning the substrates relative to each other.

본 발명에 따른 기판 정렬 방법에 있어서, 상기 단계 (f) 이후에, (g) 상기 제1 기판과 상기 제2 기판을 접합하는 단계;를 더 포함할 수 있다.In the substrate alignment method according to the present invention, the step (f) may further include: (g) bonding the first substrate and the second substrate.

또한 본 발명에 따른 기판 정렬 방법에 있어서, 상기 단계 (c)는 상기 제1 기판을 수직, 수평 및 회전 이동하는 단계를 포함할 수 있다.In the method of aligning a substrate according to the present invention, the step (c) may include moving the first substrate vertically, horizontally, and rotationally.

또한 본 발명에 따른 기판 정렬 방법에 있어서, 상기 단계 (f)는 상기 제2 기판을 수직, 수평 및 회전 이동하는 단계를 포함할 수 있다.In the method of aligning a substrate according to the present invention, the step (f) may include moving the second substrate vertically, horizontally, and rotationally.

또한 본 발명에 따른 기판 정렬 방법에 있어서, 상기 단계 (d)는 상기 제1 화상 표시 장치 및 상기 제2 화상 표시 장치에 각각 상기 제1 정렬 보조 정보 및 상기 제2 정렬 보조 정보를 고정적으로 표시하는 단계를 더 포함할 수 있다.Further, in the substrate alignment method according to the present invention, the step (d) may further comprise the steps of: (a) displaying the first alignment assistant information and the second alignment assistant information on the first image display device and the second image display device, Step < / RTI >

또한 본 발명에 따른 기판 정렬 방법에 있어서, 상기 단계 (d)는 상기 제1 정렬 보조 정보 및 상기 제2 정렬 보조 정보의 속성을 변화시켜 각각 상기 제1 화상 표시 장치 및 상기 제2 화상 표시 장치에 상기 제3 정렬 보조 정보 및 상기 제4 정렬 보조 정보와 중첩하여 표시하는 단계를 더 포함할 수 있다,Further, in the substrate alignment method according to the present invention, the step (d) may change attributes of the first alignment assistance information and the second alignment assistance information to each of the first image display device and the second image display device The third alignment assistance information, and the fourth alignment assistance information.

또한 본 발명에 따른 기판 정렬 방법에 있어서, 상기 단계 (e)는 상기 제1 영상 및 상기 제2 영상을 각각 상기 제1 화상 표시 장치 및 상기 제2 화상 표시 장치에 표시하는 단계를 더 포함할 수 있다.Further, in the substrate alignment method according to the present invention, the step (e) may further include the step of displaying the first image and the second image on the first image display device and the second image display device, respectively have.

또한 본 발명에 따른 기판 정렬 방법에 있어서, 상기 단계 (e)는 상기 제1 영상 및 상기 제2 영상의 속성을 변화시켜 각각 상기 제1 화상 표시 장치 및 상기 제2 화상 표시 장치에 상기 제3 영상 및 상기 제4 영상과 중첩하여 표시하는 단계를 더 포함할 수 있다.Further, in the substrate aligning method according to the present invention, the step (e) may change the attributes of the first image and the second image, respectively, to the first image display apparatus and the second image display apparatus, And superimposing and displaying the first image and the fourth image.

또한 본 발명에 따른 기판 정렬 방법에 있어서, 상기 제1 정렬 정보 내지 상기 제4 정렬 정보 중 적어도 하나는 "+" 형상의 보조선일 수 있다.Further, in the substrate alignment method according to the present invention, at least one of the first alignment information and the fourth alignment information may be an auxiliary line of a " + "shape.

또한 본 발명에 따른 기판 정렬 방법에 있어서, 상기 제1 정렬 정보 내지 상기 제4 정렬 정보 중 적어도 하나는 직선 형상의 보조선일 수 있다.In the substrate alignment method according to the present invention, at least one of the first alignment information and the fourth alignment information may be a rectilinear auxiliary line.

또한 본 발명에 따른 기판 정렬 방법에 있어서, (h) 상기 제1 기판의 패턴 이미지를 기초로 상기 제1 영상 획득 장치 및 상기 제2 영상 획득 장치의 상기 상대적인 위치를 결정하는 단계;를 더 포함할 수 있다.And (h) determining the relative position of the first image acquiring device and the second image acquiring device based on the pattern image of the first substrate .

또한 본 발명에 따른 기판 정렬 방법에 있어서, 상기 제1 정렬 정보 내지 상기 제2 정렬 정보는 상기 제1 기판의 패턴 이미지를 기초로 생성되고, 상기 제3 정렬 정보 내지 상기 제4 정렬 정보는 상기 제2 기판의 패턴 이미지를 기초로 생성될 수 있다.Also, in the substrate alignment method according to the present invention, the first alignment information or the second alignment information is generated based on the pattern image of the first substrate, and the third alignment information to the fourth alignment information are generated 2 substrate. ≪ / RTI >

또한 본 발명에 따른 기판 정렬 방법에 있어서, 상기 제1 기판 및 상기 제2 기판 중 적어도 하나는 평판 디스플레이용 기판일 수 있다.In the substrate alignment method according to the present invention, at least one of the first substrate and the second substrate may be a substrate for a flat panel display.

또한 본 발명에 따른 기판 정렬 방법에 있어서, 상기 제1 기판 및 상기 제2 기판 중 적어도 하나는 렌티큘러 필름을 포함할 수 있다.In the substrate alignment method according to the present invention, at least one of the first substrate and the second substrate may include a lenticular film.

본 발명에 따르면 기판 상에 형성된 패턴 및 화면 상에 표시되는 정렬 보조 정보를 이용하여 기판을 정렬하고 또한 정렬된 기판을 접합할 수 있는 기판 정렬 방법을 제공할 수 있다.According to the present invention, it is possible to provide a substrate alignment method capable of aligning a substrate by using a pattern formed on a substrate and alignment assistance information displayed on a screen, and also by bonding an aligned substrate.

특히 기판의 투명도가 매우 낮아서 정렬 마크 또는 기준 마크를 확인할 수 없는 경우에도 종래의 기판 정렬 방법과 달리 기판을 정렬하고 또한 정렬된 기판을 접합할 수 있다.In particular, even when the transparency of the substrate is so low that the alignment mark or the reference mark can not be confirmed, the substrate can be aligned and the aligned substrate can be bonded unlike the conventional substrate alignment method.

또한 기판 상에 정렬 마크 또는 기준 마크를 형성하기 위한 공정을 생략하면서도 기판을 정렬하고 또한 정렬된 기판을 접합할 수 있으므로, 제품의 제조 비용 및 제조 시간을 절감할 수 있다.Furthermore, since the substrate can be aligned and the aligned substrate can be bonded while omitting the step of forming alignment marks or reference marks on the substrate, the manufacturing cost and manufacturing time of the product can be reduced.

도 1은 본 발명에 따른 기판 정렬 방법의 흐름도를 나타내는 도면.
도 2는 본 발명에 따른 기판 정렬 방법을 이용한 기판 정렬을 모식적으로 나타내는 도면.
도 3은 본 발명에 따른 기판 정렬 방법에 있어서 정렬 보조 정보를 예시적으로 나타내는 도면.
도 4 내지 도 5는 본 발명에 따른 기판 정렬 방법에 있어서 정렬 보조 정보를 이용한 기판 정렬을 예시적으로 나타내는 도면.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Figure 1 is a flow diagram of a substrate alignment method according to the present invention.
2 is a diagram schematically illustrating substrate alignment using a substrate alignment method according to the present invention;
3 is an exemplary illustration of alignment assistance information in a substrate alignment method according to the present invention;
Figures 4 through 5 illustrate substrate alignment using alignment assistant information in a substrate alignment method according to the present invention.

이하, 본 발명의 기판 정렬 방법의 실시예를 첨부한 도면을 참조로 보다 구체적으로 설명한다. Hereinafter, embodiments of the substrate alignment method of the present invention will be described more specifically with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명에 따른 기판 정렬 방법의 흐름도를 나타내는 도면이고, 도 2는 본 발명에 따른 기판 정렬 방법을 이용한 기판 정렬을 모식적으로 나타내는 도면이고, 도 3은 본 발명에 따른 기판 정렬 방법에 있어서 정렬 보조 정보를 예시적으로 나타내는 도면이다.FIG. 1 is a flow chart showing a method of aligning a substrate according to the present invention. FIG. 2 is a schematic view of substrate alignment using a substrate alignment method according to the present invention. FIG. 5 is a diagram illustrating exemplary alignment assistance information. FIG.

이하 도 1 내지 도 3을 참조로 본 발명에 따른 기판 정렬 방법을 보다 구체적으로 설명한다.Hereinafter, a substrate alignment method according to the present invention will be described in more detail with reference to FIGS. 1 to 3. FIG.

도 1을 참조하면, 제1 화상 표시 장치(170a) 및 제2 화상 표시 장치(170b)에 각각 제1 정렬 보조 정보(173a) 및 제2 정렬 보조 정보(173b)를 고정적으로 표시한다(S120).Referring to FIG. 1, first and second sorting assistance information 173a and 173b are fixedly displayed on a first image display device 170a and a second image display device 170b, respectively (S120) .

제1 화상 표시 장치(170a) 및 제2 화상 표시 장치(170b)는 예컨대 LCD 디스플레이 장치 등의 디스플레이 장치로서, 예컨대 제1 화상 표시 장치(170a)는 제1 영상 획득 장치(110a) 및 제3 영상 획득 장치(110c) 중 적어도 하나로부터 전송된 영상을 디스플레이하고, 제2 화상 표시 장치(170b)는 제2 영상 획득 장치(110b) 및 제4 영상 획득 장치(110d) 중 적어도 하나로부터 전송된 영상을 디스플레이할 수 있다.The first image display device 170a and the second image display device 170b are, for example, display devices such as an LCD display device. For example, the first image display device 170a includes a first image acquisition device 110a and a third image display device 170b. And the second image display device 170b displays an image transmitted from at least one of the second image capturing device 110b and the fourth image capturing device 110d Can be displayed.

제1 정렬 보조 정보(173a) 및 제2 정렬 보조 정보(173b)는 제1 기판(120)의 위치를 정렬하기 위한 보조 정보로서, 예컨대 제1 정렬 보조 정보(173a)는 제1 화상 표시 장치(170a)에 디스플레이되고, 제2 정렬 보조 정보(173b)는 제2 화상 표시 장치(170b)에 디스플레이될 수 있다.The first alignment assistant information 173a and the second alignment assistant information 173b are auxiliary information for aligning the positions of the first substrate 120. For example, 170a, and the second alignment assistant information 173b may be displayed on the second image display device 170b.

제1 정렬 보조 정보(173a) 및 제2 정렬 보조 정보(173b)는 제1 기판(120)의 패턴(130)의 이미지 형상에 따라서 결정되고 생성될 수 있다. 제1 기판(120)의 패턴(130)이 도 4에 도시되듯이 직사각형 형상인 경우, 예컨대 제1 정렬 보조 정보(173a) 및 제2 정렬 보조 정보(173b)는 도 3에 도시되듯이 "+" 형상의 보조선일 수 있다.The first alignment assistant information 173a and the second alignment assistant information 173b may be determined and generated according to the image shape of the pattern 130 of the first substrate 120. [ When the pattern 130 of the first substrate 120 is rectangular as shown in FIG. 4, for example, the first alignment assistance information 173a and the second alignment assistance information 173b are "+ " "It can be an auxiliary line of shape.

또한 제1 정렬 보조 정보(173a) 및 제2 정렬 보조 정보(173b)는 예컨대 내부 픽셀의 모양을 기초로 생성될 수 있다. 예컨대 제1 기판이 LCD 등의 평판 디스플레이 패널을 위한 기판인 경우, 내부의 픽셀의 특징적인 모양, 예컨대 내부 픽셀의 외곽 윤곽선의 모양을 따라서 생성될 수도 있다. 또는 기타 다른 다양한 모양을 기초로 제1 정렬 보조 정보(173a) 및 제2 정렬 보조 정보(173b)는 생성될 수 있다. Also, the first alignment assistant information 173a and the second alignment assistant information 173b may be generated based on, for example, the shape of the internal pixel. For example, if the first substrate is a substrate for a flat panel display panel such as an LCD, it may be generated along the characteristic shape of the internal pixels, for example, the shape of the outline contours of the internal pixels. Or other various shapes, first alignment assist information 173a and second alignment assist information 173b may be generated.

제1 정렬 보조 정보(173a) 및 제2 정렬 보조 정보(173b)는 제1 영상 획득 장치(110a) 및 제2 영상 획득 장치(110b)의 위치가 이동되어 제1 화상 표시 장치(170a) 및 제2 화상 표시 장치(170b)에 디스플레이되는 영상이 변경되더라도 고정적으로 제1 화상 표시 장치(170a) 및 제2 화상 표시 장치(170b)에 디스플레이된다.The first alignment information 173a and the second alignment assistance information 173b are used when the positions of the first image acquiring device 110a and the second image acquiring device 110b are shifted, Even if the image displayed on the two-image display device 170b is changed, it is fixedly displayed on the first image display device 170a and the second image display device 170b.

다음으로, 수직 및 수평 방향에 대해서 서로에 대해서 상대적인 위치가 결정된 제1 영상 획득 장치(110a) 및 제2 영상 획득 장치(110b)를 통하여 제1 기판(120)을 촬영하여 획득한 제1 영상 및 제2 영상을 제1 화상 표시 장치(170a) 및 제2 화상 표시 장치(170b)에 표시한다(S130).Next, a first image obtained by photographing the first substrate 120 through the first image acquiring device 110a and the second image acquiring device 110b whose positions are determined relative to each other in the vertical and horizontal directions, The second image is displayed on the first image display device 170a and the second image display device 170b (S130).

예컨대 도 2에서 제1 기판(120)을 하방 측으로부터 각각 제1 영상 획득 장치(110a) 및 제2 영상 획득 장치(110b)를 통하여 제1 영상 및 제2 영상을 획득하고, 제1 영상을 제1 화상 표시 장치(170a)에 디스플레이하고 제2 영상을 제2 화상 표시 장치(170b)에 디스플레이한다.For example, in FIG. 2, a first image and a second image are acquired from the lower side of the first substrate 120 through the first image acquiring device 110a and the second image acquiring device 110b, respectively, 1 image display device 170a and displays the second image on the second image display device 170b.

다음으로, 제1 영상 및 제2 영상으로부터 획득한 제1 기판(120)의 패턴(130)의 이미지가 제1 정렬 보조 정보(173a) 및 제2 정렬 보조 정보(173b)에 정합되도록 제1 기판(120)을 이동하고 고정한다(S140).Next, the image of the pattern 130 of the first substrate 120 obtained from the first image and the second image is aligned with the first alignment assistant information 173a and the second alignment assistant information 173b, (120) is moved and fixed (S140).

예컨대 도 4를 참조하면, 제1 기판(120)의 패턴(130)의 이미지가 제1 정렬 보조 정보(173a)에 정합되도록, 제1 기판(120)을 이동하고 고정한다. 또한 제1 기판(120)의 패턴(130)의 이미지가 제2 정렬 보조 정보(173b)에 정합되도록, 제1 기판(120)을 이동하고 고정한다.For example, referring to FIG. 4, the first substrate 120 is moved and fixed such that the image of the pattern 130 of the first substrate 120 is aligned with the first alignment assistance information 173a. The first substrate 120 is moved and fixed such that the image of the pattern 130 of the first substrate 120 is aligned with the second alignment assistant information 173b.

제1 정렬 보조 정보(173a) 및 제2 정렬 보조 정보(173b) 모두에 제1 기판(120)의 패턴(130)의 이미지가 정합되도록 x, y. θ 3가지 방향에서 제1 기판(120)을 이동하여 제1 기판(120)의 위치를 결정할 수 있다.The x, y, and z coordinates of the pattern 130 of the first substrate 120 are matched to both the first alignment assistant information 173a and the second alignment assistant information 173b. the position of the first substrate 120 can be determined by moving the first substrate 120 in three directions.

즉 단계 S140에서는, 제1 정렬 보조 정보(173a) 및 제2 정렬 보조 정보(173b) 모두에 제1 기판(120)의 패턴(130)의 이미지가 정합되도록 제1 기판(120)을 수직, 수평 및 회전 이동할 수 있다.That is, in step S140, the first substrate 120 is vertically and horizontally aligned so that the images of the patterns 130 of the first substrate 120 are aligned with the first alignment assisting information 173a and the second alignment assisting information 173b. And rotate.

다음으로, 제1 화상 표시 장치(170a) 및 제2 화상 표시 장치(170b)에 각각 제3 정렬 보조 정보(176a) 및 제4 정렬 보조 정보(176b)를 고정적으로 표시한다(S150).Next, the third alignment assistant information 176a and the fourth alignment assistant information 176b are fixedly displayed on the first image display device 170a and the second image display device 170b, respectively (S150).

제3 정렬 보조 정보(176a) 및 제4 정렬 보조 정보(176b)는 제2 기판(140)의 위치를 정렬하기 위한 보조 정보로서, 예컨대 제3 정렬 보조 정보(176a)는 제1 화상 표시 장치(170a)에 디스플레이되고, 제4 정렬 보조 정보(176b)는 제2 화상 표시 장치(170b)에 디스플레이될 수 있다.The third alignment assistant information 176a and the fourth alignment assistant information 176b are auxiliary information for aligning the position of the second substrate 140. For example, 170a, and the fourth alignment assistant information 176b may be displayed on the second image display device 170b.

제3 정렬 보조 정보(176a) 및 제4 정렬 보조 정보(176b)는 제2 기판(140)의 패턴(150)의 형상에 따라서 결정되고 생성될 수 있다. 제2 기판(140)의 패턴(150)이 도 5에 도시되듯이 사선 형상의 바(bar) 형상인 경우, 예컨대 제3 정렬 보조 정보(176a) 및 제4 정렬 보조 정보(176b)는 도 3에 도시되듯이 소정의 각도를 가지는 직선 형상의 보조선일 수 있다.The third alignment assistant information 176a and the fourth alignment assistant information 176b may be determined and generated according to the shape of the pattern 150 of the second substrate 140. [ 5, the third alignment assistant information 176a and the fourth alignment assistant information 176b, for example, when the pattern 150 of the second substrate 140 is a slanting bar shape, And may be a rectilinear auxiliary line having a predetermined angle as shown in FIG.

또한 제3 정렬 보조 정보(176a) 및 제4 정렬 보조 정보(176b)는 예컨대 소정의 각도를 가지는 직선 형상의 보조선이 아니라 다른 형상, 예컨대 "+" 모양, "*"모양 등 다양한 형상을 가질 수도 있다.The third alignment assistant information 176a and the fourth alignment assistant information 176b may have various shapes such as a different shape such as a "+" shape and a "*" shape instead of a linear auxiliary line having a predetermined angle It is possible.

제3 정렬 보조 정보(176a) 및 제4 정렬 보조 정보(176b)는 제3 영상 획득 장치(110c) 및 제4 영상 획득 장치(110d)의 위치가 이동되어 제1 화상 표시 장치(170a) 및 제2 화상 표시 장치(170b)에 디스플레이되는 영상이 변경되더라도 고정적으로 제1 화상 표시 장치(170a) 및 제2 화상 표시 장치(170b)에 디스플레이된다.The third alignment assistant information 176a and the fourth alignment assistant information 176b are used when the positions of the third image acquiring device 110c and the fourth image acquiring device 110d are shifted, Even if the image displayed on the two-image display device 170b is changed, it is fixedly displayed on the first image display device 170a and the second image display device 170b.

한편 단계 S150에서, 제1 화상 표시 장치(170a) 및 제2 화상 표시 장치(170b)에 각각 제1 정렬 보조 정보(173a) 및 제2 정렬 보조 정보(173b)를 제3 정렬 보조 정보(176a) 및 제4 정렬 보조 정보(176b)와 함께 고정적으로 표시할 수도 있다.On the other hand, in step S150, the first and second alignment information 173a and 173b are assigned to the first image display device 170a and the second image display device 170b, respectively, And the fourth alignment assistant information 176b.

즉 예컨대 도 3에 표시되듯이 제1 화상 표시 장치(170a)에 제1 정렬 보조 정보(173a) 및 제3 정렬 보조 정보(176a)를 함께 표시하고, 제2 화상 표시 장치(170b)에 제2 정렬 보조 정보(173b) 및 제4 정렬 보조 정보(176b)를 함께 표시할 수 있다.For example, as shown in FIG. 3, first and second alignment information 173a and 176a are displayed together on the first image display device 170a, and the second image display device 170b is displayed on the second image display device 170a. The alignment assist information 173b and the fourth alignment assistant information 176b can be displayed together.

이 경우, 제1 정렬 보조 정보(173a) 및 제2 정렬 보조 정보(173b)의 속성을 변화시켜 각각 제1 화상 표시 장치(170a) 및 제2 화상 표시 장치(170b)에 제3 정렬 보조 정보(176a) 및 제4 정렬 보조 정보(176b)와 중첩하여 표시할 수 있다.In this case, the attributes of the first alignment assistant information 173a and the second alignment assistant information 173b are changed so that the third alignment assistant information 176a and the fourth alignment assistant information 176b.

예컨대 제1 정렬 보조 정보(173a)와 제3 정렬 보조 정보(176a)의 색상을 다르게 하여 쉽게 구별이 가능하도록 하여 제1 화상 표시 장치(170a)에 표시하고, 제2 정렬 보조 정보(173b) 및 제4 정렬 보조 정보(176b)의 색상을 다르게 하여 쉽게 구별이 가능하도록 하여 제2 화상 표시 장치(170b)에 표시할 수 있다.For example, the first alignment information 173a and the third alignment information 176a may be displayed in different colors on the first image display device 170a so that they can be distinguished easily, and the second alignment assistance information 173b and The color of the fourth alignment assistant information 176b can be different and can be easily distinguished and displayed on the second image display device 170b.

다음으로, 제2 기판(140)을 제1 기판(120) 상으로 이동한 후, 수직 및 수평 방향에 대해서 서로에 대해서 상대적인 위치가 결정되고 각각 제1 영상 획득 장치(110a) 및 제2 영상 획득 장치(110b)에 대해서 수직 방향의 위치가 고정된 제3 영상 획득 장치(110c) 및 제4 영상 획득 장치(110d)를 통하여 제2 기판(140)을 촬영하여 획득한 제3 영상 및 제4 영상을 각각 제1 화상 표시 장치(170a) 및 제2 화상 표시 장치(170b)에 표시한다(S160).Next, after moving the second substrate 140 onto the first substrate 120, the relative positions with respect to each other in the vertical and horizontal directions are determined, and the positions of the first image acquiring device 110a and the second image acquiring device The third image and the fourth image obtained by photographing the second substrate 140 through the third image acquiring device 110c and the fourth image acquiring device 110d whose positions are fixed in the vertical direction with respect to the device 110b, On the first image display device 170a and the second image display device 170b, respectively (S160).

예컨대 도 2에서 제2 기판(140)을 상방 측으로부터 각각 제3 영상 획득 장치(110c) 및 제4 영상 획득 장치(110d)를 통하여 제3 영상 및 제4 영상을 획득하고, 제3 영상을 제1 화상 표시 장치(170a)에 디스플레이하고 제4 영상을 제2 화상 표시 장치(170b)에 디스플레이한다.For example, in FIG. 2, the third image and the fourth image are obtained from the upper side of the second substrate 140 through the third image acquiring device 110c and the fourth image acquiring device 110d, respectively, 1 image display device 170a and displays the fourth image on the second image display device 170b.

한편 단계 S160에서 제1 영상 및 제2 영상을 각각 제1 화상 표시 장치(170a) 및 제2 화상 표시 장치(170b)에 표시할 수도 있다.In step S160, the first image and the second image may be displayed on the first image display device 170a and the second image display device 170b, respectively.

즉 제1 기판(120)과 제2 기판(140)의 정렬 상태를 보다 명확하게 확인하기 위해서, 제1 화상 표시 장치(170a)에는 제3 영상과 함께 제1 영상을 중첩하여 표시하고, 제2 화상 표시 장치(170b)에는 제4 영상과 함께 제2 영상을 중첩하여 표시할 수 있다.That is, in order to more clearly confirm the alignment state of the first substrate 120 and the second substrate 140, the first image is displayed on the first image display device 170a together with the third image, The image display device 170b can superimpose the second image together with the fourth image.

이 경우, 제1 영상과 제3 영상, 제2 영상과 제4 영상의 구별을 보다 명확하게 하기 위해서, 제1 영상 및 제2 영상의 속성을 변화시켜 각각 제1 화상 표시 장치(170a) 및 제2 화상 표시 장치(170b)에 제3 영상 및 제4 영상과 중첩하여 표시할 수 있다.In this case, in order to make the distinction between the first image and the third image and the second image and the fourth image more clear, the attributes of the first image and the second image are changed, It is possible to superimpose the third image and the fourth image on the two-image display device 170b.

즉 제1 영상과 제3 영상의 투명도, 색상 등의 속성을 다르게 하여 쉽게 구별이 가능하도록 하여 제1 화상 표시 장치(170a)에 표시하고, 제2 영상과 제4 영상의 투명도, 색상 등의 속성을 다르게 하여 쉽게 구별이 가능하도록 하여 제2 화상 표시 장치(170b)에 표시할 수 있다.That is, the first image and the third image are displayed on the first image display device 170a with different attributes such as transparency and color, so that the first image and the third image can be easily distinguished, and attributes such as transparency and color of the second image and the fourth image So that it can be easily distinguished and displayed on the second image display device 170b.

다음으로, 제3 영상 및 제4 영상으로부터 획득한 제2 기판(140)의 패턴(150)의 이미지가 제3 정렬 보조 정보(176a) 및 제4 정렬 보조 정보(176b)에 정합되도록 제2 기판(140)을 제1 기판(120)에 대하여 상대적으로 이동하여 정렬한다(S170).Next, the image of the pattern 150 of the second substrate 140 obtained from the third image and the fourth image is aligned with the third alignment assistant information 176a and the fourth alignment assistant information 176b, (140) is moved relative to the first substrate (120) and aligned (S170).

제3 정렬 보조 정보(176a) 및 제4 정렬 보조 정보(176b) 모두에 제2 기판(140)의 패턴(150)의 이미지가 정합되도록 x, y. θ 3가지 방향에서 제2 기판(140)을 이동하여 제2 기판(140)의 위치를 결정할 수 있다.X, y, and z are aligned so that the image of the pattern 150 of the second substrate 140 is matched to both the third alignment assistance information 176a and the fourth alignment assistance information 176b. the position of the second substrate 140 can be determined by moving the second substrate 140 in the?

즉 단계 S160에서는, 제3 정렬 보조 정보(176a) 및 제4 정렬 보조 정보(176b)모두에 제2 기판(140)의 패턴(150)의 이미지가 정합되도록 제2 기판(140)을 수직, 수평 및 회전 이동할 수 있다.That is, in step S160, the second substrate 140 is vertically and horizontally aligned such that the image of the pattern 150 of the second substrate 140 is aligned with both the third alignment assistant information 176a and the fourth alignment assistant information 176b And rotate.

특히 단계 S160에서 제1 화상 표시 장치(170a)에는 제3 영상과 함께 제1 영상을 중첩하여 표시하고, 제2 화상 표시 장치(170b)에는 제4 영상과 함께 제2 영상을 중첩하여 표시한 경우, 제1 기판(120)과 제2 기판(140)의 정렬 상태를 보다 명확하게 확인할 수 있다.Particularly, when the first image is superimposed on the first image display device 170a in step S160 and the second image is superimposed on the second image display device 170b together with the fourth image, , The alignment state of the first substrate 120 and the second substrate 140 can be confirmed more clearly.

한편 도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 기판 정렬 방법은 제1 기판(120)의 패턴(130)의 이미지를 기초로 제1 영상 획득 장치(110a) 및 제2 영상 획득 장치(110b)의 상대적인 위치를 결정하는 단계(S110)를 더 포함할 수 있다.1, a substrate alignment method according to an embodiment of the present invention includes aligning a first substrate 120 and a second substrate 120 with respect to a first substrate 120 and a second substrate 120, And determining a position (S110).

본 발명에 따르면, 제1 화상 표시 장치(170a) 및 제2 화상 표시 장치(170b)의 두 가지의 화상 표시 장치를 통하여 제1 기판(120)의 두 지점의 패턴(130)의 이미지를 획득하여 정렬을 수행한다. 따라서 미리 제1 영상 획득 장치(110a) 및 제2 영상 획득 장치(110b)의 상대적인 위치를 결정하면, 해당 위치에 맞도록 제1 기판(120)을 이동하여 고정할 수 있다.According to the present invention, an image of the pattern 130 at two points on the first substrate 120 is acquired through the two image display devices of the first image display device 170a and the second image display device 170b Perform sorting. Accordingly, if the relative positions of the first image acquiring device 110a and the second image acquiring device 110b are determined in advance, the first substrate 120 can be moved and fixed to match the corresponding positions.

바람직하게는 단계 S110은 제1 기판(120)의 특징적인 2개 지점의 패턴, 예컨대 좌측 최외각 영역의 패턴, 우측 최외각 영역의 패턴을 기준으로 하여 제1 영상 획득 장치(110a) 및 제2 영상 획득 장치(110b)의 상대적인 위치를 결정할 수 있다.Preferably, step S110 is performed to determine the pattern of the two characteristic points of the first substrate 120, for example, the pattern of the leftmost outermost region, the pattern of the rightmost outermost region, The relative position of the image acquisition device 110b can be determined.

보다 구체적으로 예컨대 제1 기판(120)이 LCD 패널인 경우 LCD 액티브 영역(active area)의 좌측 최외각 픽셀과 우측 최외각 픽셀의 두 가지 픽셀을 기준으로 할 수 있다.More specifically, for example, when the first substrate 120 is an LCD panel, two pixels, i.e., the leftmost outermost pixel and the rightmost outermost pixel of the LCD active area may be referred to.

한편 도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 기판 정렬 방법은 제1 기판(120)과 제2 기판(140)을 접합하는 단계(S180)를 더 포함할 수 있다.Referring to FIG. 1, the method of aligning a substrate according to the present invention may further include a step (S180) of joining a first substrate 120 and a second substrate 140 together.

즉 제1 기판(120)과 제2 기판(140)이 단계 S170을 통하여 정렬된 상태에서 제1 기판(120)과 제2 기판(140)을 접합할 수 있다.The first substrate 120 and the second substrate 140 may be bonded together in a state in which the first substrate 120 and the second substrate 140 are aligned through step S170.

제1 기판(120)은 예컨대 글래스 기판 또는 사파이어 기판일 수 있다. 또한 제1 기판(120)은 실리콘 기판일 수도 있다. 제1 기판(120)은 보다 구체적으로 LCD 패널, PDP 패널, OLED 패널 등의 평판 디스플레이를 위한 기판일 수 있다.The first substrate 120 may be, for example, a glass substrate or a sapphire substrate. Also, the first substrate 120 may be a silicon substrate. More specifically, the first substrate 120 may be a substrate for a flat panel display such as an LCD panel, a PDP panel, and an OLED panel.

제2 기판(140)은 예컨대 글래스 기판 또는 사파이어 기판일 수 있다. 또는 기타 실리콘 기판일 수도 있다. 또한 제2 기판(140)은 렌티큘러(lenticular) 필름을 포함하는 기판일 수도 있다.The second substrate 140 may be, for example, a glass substrate or a sapphire substrate. Or other silicon substrate. The second substrate 140 may be a substrate including a lenticular film.

한편 제1 기판(120)이 예컨대 렌티큘러 필름을 포함하는 기판이고, 제2 기판이 LCD 패널, PDP 패널, OLED 패널 등의 평판 디스플레이를 위한 기판일 수도 있음을 물론이다.Meanwhile, it goes without saying that the first substrate 120 may be a substrate including a lenticular film, and the second substrate may be a substrate for a flat panel display such as an LCD panel, a PDP panel, and an OLED panel.

따라서 도 1을 참조로 하는 본 발명의 실시예에서는, 제1 기판(120)이 LCD 패널을 위한 기판이고, 제2 기판(140)이 렌티큘러 필름을 포함하는 기판으로 도시되었지만, 제1 기판(120)이 예컨대 렌티큘러 필름을 포함하는 기판이고, 제2 기판이 LCD 패널, PDP 패널, OLED 패널 등의 평판 디스플레이를 위한 기판일 수도 있다.1, although the first substrate 120 is a substrate for an LCD panel and the second substrate 140 is a substrate including a lenticular film, the first substrate 120 For example, a lenticular film, and the second substrate may be a substrate for a flat panel display such as an LCD panel, a PDP panel, and an OLED panel.

한편 도 1에서는 제2 기판(140)의 패턴(150)이 제2 기판(140)의 위 부분에 형성되는 것으로 도시되었지만, 예컨대 제2 기판(140)의 패턴(150)이 제2 기판(140) 아래 부분에 형성되는 것도 가능하며, 이 경우에도 본 발명에 따른 기판 정렬 방법이 적용될 수 있다.Although the pattern 150 of the second substrate 140 is illustrated as being formed on the upper portion of the second substrate 140 in FIG. 1, for example, the pattern 150 of the second substrate 140 may be formed on the second substrate 140 ). In this case, the substrate alignment method according to the present invention can also be applied.

제1 기판(120)이 예컨대 LCD 패널이 형성된 글래스 기판이고, 제2 기판(140)은 렌티큘러 필름인 경우, 종래에는 렌티큘러 필름의 투명도가 낮아서 정렬 마크 또는 기준 마크를 확인하기 어려우므로 기판들의 정렬이 어렵다는 문제점이 있었다. 그러나 본 발명에 따르면 용이하게 기판들의 정렬을 수행할 수 있다.When the first substrate 120 is a glass substrate having an LCD panel and the second substrate 140 is a lenticular film, conventionally, since the transparency of the lenticular film is low, it is difficult to identify alignment marks or reference marks, There was a problem that it was difficult. However, according to the present invention, the alignment of the substrates can be easily performed.

비록 본 발명의 구성이 구체적으로 설명되었지만 이는 단지 본 발명을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가지는 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변형이 가능할 것이다.Although the present invention has been described in detail, it should be understood that the present invention is not limited thereto. Those skilled in the art will appreciate that various modifications may be made without departing from the essential characteristics of the present invention. Will be possible.

예컨대 본원에서는 단계 S110 내지 단계 S180이 순서대로 수행되는 것으로 설명하였지만 단계 S110과 S120, S130의 수행 순서는 변경이 가능하다. 또한 단계 S150과 S160의 수행 순서는 변경이 가능하다.For example, although it has been described herein that steps S110 to S180 are performed in order, the order of execution of steps S110, S120, and S130 can be changed. The order of steps S150 and S160 may be changed.

따라서 본 명세서에 개시된 실시예들은 본 발명을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 사상과 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 범위는 아래의 청구범위에 의해 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다. Therefore, the embodiments disclosed in the present specification are intended to illustrate rather than limit the present invention, and the scope and spirit of the present invention are not limited by these embodiments. The scope of the present invention should be construed according to the following claims, and all the techniques within the scope of equivalents should be construed as being included in the scope of the present invention.

본 발명에 따르면 기판 상에 형성된 패턴 및 화면 상에 표시되는 정렬 보조 정보를 이용하여 기판을 정렬하며 또한 정렬된 기판을 접합할 수 있는 기판 정렬 방법을 제공할 수 있다.According to the present invention, it is possible to provide a substrate alignment method capable of aligning a substrate using an alignment assistant information displayed on a screen and a pattern formed on the substrate, and also to assemble an aligned substrate.

특히 기판의 투명도가 매우 낮아서 정렬 마크 또는 기준 마크를 확인할 수 없는 경우에도 종래의 기판 정렬 방법과 달리 기판을 정렬하고 또한 정렬된 기판을 접합할 수 있다.In particular, even when the transparency of the substrate is so low that the alignment mark or the reference mark can not be confirmed, the substrate can be aligned and the aligned substrate can be bonded unlike the conventional substrate alignment method.

또한 기판 상에 정렬 마크 또는 기준 마크를 형성하기 위한 공정을 생략하면서도 기판을 정렬하고 또한 정렬된 기판을 접합할 수 있으므로, 제품의 제조 비용 및 제조 시간을 절감할 수 있다.Furthermore, since the substrate can be aligned and the aligned substrate can be bonded while omitting the step of forming alignment marks or reference marks on the substrate, the manufacturing cost and manufacturing time of the product can be reduced.

110a 내지 110d: 제1 영상 획득 장치 내지 제4 영상 획득 장치
120: 제1 기판 130: 제1 기판의 패턴
140: 제2 기판 150: 제2 기판의 패턴
170a 내지 170b: 제1 화상 표시 장치 내지 제2 화상 표시 장치
173a : 제1 정렬 보조 정보 173b: 제2 정렬 보조 정보
176a : 제3 정렬 보조 정보 176b: 제4 정렬 보조 정보110a to 110d: a first image acquiring device to a fourth image acquiring device
120: first substrate 130: pattern of first substrate
140: second substrate 150: pattern of the second substrate
170a to 170b: First image display device to second image display device
173a: first alignment assistance information 173b: second alignment assistance information
176a: third alignment assistance information 176b: fourth alignment assistance information

Claims (14)

제1 기판 및 제2 기판을 정렬하는 기판 정렬 방법으로서,
(a) 제1 화상 표시 장치 및 제2 화상 표시 장치에 각각 제1 정렬 보조 정보 및 제2 정렬 보조 정보를 고정적으로 표시하는 단계;
(b) 수직 및 수평 방향에 대해서 서로에 대해서 상대적인 위치가 결정된 제1 영상 획득 장치 및 제2 영상 획득 장치를 통하여 상기 제1 기판을 촬영하여 획득한 제1 영상 및 제2 영상을 각각 상기 제1 화상 표시 장치 및 상기 제2 화상 표시 장치에 표시하는 단계;
(c) 상기 제1 영상 및 상기 제2 영상으로부터 획득한 상기 제1 기판의 패턴 이미지가 상기 제1 정렬 보조 정보 및 상기 제2 정렬 보조 정보에 정합되도록 상기 제1 기판을 이동하고 고정하는 단계;
(d) 상기 제1 화상 표시 장치 및 상기 제2 화상 표시 장치에 각각 제3 정렬 보조 정보 및 제4 정렬 보조 정보를 고정적으로 표시하는 단계;
(e) 상기 제2 기판을 상기 제1 기판 상으로 이동한 후, 수직 및 수평 방향에 대해서 서로에 대해서 상대적인 위치가 결정되고 각각 상기 제1 영상 획득 장치 및 상기 제2 영상 획득 장치에 대해서 수직 방향의 위치가 고정된 제3 영상 획득 장치 및 제4 영상 획득 장치를 통하여 상기 제2 기판을 촬영하여 획득한 제3 영상 및 제4 영상을 각각 상기 제1 화상 표시 장치 및 상기 제2 화상 표시 장치에 표시하는 단계; 및
(f) 상기 제3 영상 및 상기 제4 영상으로부터 획득한 상기 제2 기판의 패턴 이미지가 상기 제3 정렬 보조 정보 및 상기 제4 정렬 보조 정보에 정합되도록 상기 제2 기판을 상기 제1 기판에 대하여 상대적으로 이동하여 정렬하는 단계;
를 포함하는 기판 정렬 방법.A substrate alignment method for aligning a first substrate and a second substrate,
(a) fixedly displaying first alignment assistance information and second alignment assistance information in a first image display device and a second image display device, respectively;
(b) a first image and a second image obtained by photographing the first substrate through a first image acquiring device and a second image acquiring device whose relative positions are determined with respect to each other in the vertical and horizontal directions, Displaying on an image display device and the second image display device;
(c) moving and fixing the first substrate such that a pattern image of the first substrate acquired from the first image and the second image matches the first alignment assist information and the second alignment assist information;
(d) fixedly displaying third alignment assistant information and fourth alignment assistant information in the first image display device and the second image display device, respectively;
(e) after moving the second substrate onto the first substrate, relative positions relative to each other with respect to the vertical and horizontal directions are determined, and the positions of the first substrate and the second substrate relative to each other in the vertical direction The third image and the fourth image obtained by photographing the second substrate through the third image acquiring device and the fourth image acquiring device having the fixed positions of the first image and the second image are respectively transferred to the first image display device and the second image display device Displaying; And
(f) comparing the pattern image of the second substrate obtained from the third image and the fourth image with the third alignment assistant information and the fourth alignment assistant information, Moving and aligning relative to each other;
≪ / RTI > 제1항에 있어서,
상기 단계 (f) 이후에,
(g) 상기 제1 기판과 상기 제2 기판을 접합하는 단계;
를 더 포함하는 기판 정렬 방법.The method according to claim 1,
After the step (f)
(g) bonding the first substrate and the second substrate;
≪ / RTI > 제1항에 있어서,
상기 단계 (c)는 상기 제1 기판을 수직, 수평 및 회전 이동하는 단계를 포함하는 것인 기판 정렬 방법.The method according to claim 1,
Wherein said step (c) comprises vertically, horizontally and rotationally moving said first substrate. 제1항에 있어서,
상기 단계 (f)는 상기 제2 기판을 수직, 수평 및 회전 이동하는 단계를 포함하는 것인 기판 정렬 방법.The method according to claim 1,
Wherein said step (f) comprises vertically, horizontally and rotationally moving said second substrate. 제1항에 있어서,
상기 단계 (d)는 상기 제1 화상 표시 장치 및 상기 제2 화상 표시 장치에 각각 상기 제1 정렬 보조 정보 및 상기 제2 정렬 보조 정보를 고정적으로 표시하는 단계를 더 포함하는 것인 기판 정렬 방법.The method according to claim 1,
Wherein the step (d) further comprises the step of fixedly displaying the first alignment assistant information and the second alignment assistant information in the first image display device and the second image display device, respectively. 제1항에 있어서,
상기 단계 (d)는 상기 제1 정렬 보조 정보 및 상기 제2 정렬 보조 정보의 속성을 변화시켜 각각 상기 제1 화상 표시 장치 및 상기 제2 화상 표시 장치에 상기 제3 정렬 보조 정보 및 상기 제4 정렬 보조 정보와 중첩하여 표시하는 단계를 더 포함하는 것인 기판 정렬 방법.The method according to claim 1,
Wherein the step (d) includes changing the attributes of the first alignment assistant information and the second alignment assistant information to the first image display device and the second image display device, respectively, And superimposing and displaying auxiliary information. 제1항에 있어서,
상기 단계 (e)는 상기 제1 영상 및 상기 제2 영상을 각각 상기 제1 화상 표시 장치 및 상기 제2 화상 표시 장치에 표시하는 단계를 더 포함하는 것인 기판 정렬 방법.The method according to claim 1,
Wherein the step (e) further comprises the step of displaying the first image and the second image on the first image display device and the second image display device, respectively. 제1항에 있어서,
상기 단계 (e)는 상기 제1 영상 및 상기 제2 영상의 속성을 변화시켜 각각 상기 제1 화상 표시 장치 및 상기 제2 화상 표시 장치에 상기 제3 영상 및 상기 제4 영상과 중첩하여 표시하는 단계를 더 포함하는 것인 기판 정렬 방법.The method according to claim 1,
Wherein the step (e) includes the steps of: changing attributes of the first image and the second image to overlap the third image and the fourth image on the first image display device and the second image display device, respectively Further comprising: 제1항에 있어서,
상기 제1 정렬 정보 내지 상기 제4 정렬 정보 중 적어도 하나는 "+" 형상의 보조선인 것인 기판 정렬 방법.The method according to claim 1,
Wherein at least one of the first alignment information and the fourth alignment information is a " + "shape auxiliary line. 제1항에 있어서,
상기 제1 정렬 정보 내지 상기 제4 정렬 정보 중 적어도 하나는 직선 형상의 보조선인 것인 기판 정렬 방법.The method according to claim 1,
Wherein at least one of the first alignment information and the fourth alignment information is a linear auxiliary line. 제1항에 있어서,
(h) 상기 제1 기판의 패턴 이미지를 기초로 상기 제1 영상 획득 장치 및 상기 제2 영상 획득 장치의 상기 상대적인 위치를 결정하는 단계;
를 더 포함하는 기판 정렬 방법.The method according to claim 1,
(h) determining the relative position of the first image acquiring device and the second image acquiring device based on the pattern image of the first substrate;
≪ / RTI > 제1항에 있어서,
상기 제1 정렬 정보 내지 상기 제2 정렬 정보는 상기 제1 기판의 패턴 이미지를 기초로 생성되고,
상기 제3 정렬 정보 내지 상기 제4 정렬 정보는 상기 제2 기판의 패턴 이미지를 기초로 생성되는 것인 기판 정렬 방법.The method according to claim 1,
Wherein the first alignment information to the second alignment information are generated based on a pattern image of the first substrate,
Wherein the third alignment information to the fourth alignment information are generated based on a pattern image of the second substrate. 제1항에 있어서,
상기 제1 기판 및 상기 제2 기판 중 적어도 하나는 평판 디스플레이용 기판인 것인 기판 정렬 방법.The method according to claim 1,
Wherein at least one of the first substrate and the second substrate is a substrate for a flat panel display. 제1항에 있어서,
상기 제1 기판 및 상기 제2 기판 중 적어도 하나는 렌티큘러 필름을 포함하는 것인 기판 정렬 방법.The method according to claim 1,
Wherein at least one of the first substrate and the second substrate comprises a lenticular film.
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