KR101496766B1 - 글로브박스 정제장치 및 정제장치 재생방법 - Google Patents

글로브박스 정제장치 및 정제장치 재생방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 반도체 소자, 유기EL 소자, 전지개발 등의 실험실 또는 연구실에서 주로 사용되는 글로브박스의 내부의 산소 및 수분을 제거하는 정제장치 및 정ㅈ장치를 재생하는 방법으로서, 하나의 정제장치 내부에 산소제거수단 및 수분제거수단이 구비되며, 산소제거수단 및 수분제거수단의 산소 및 수분흡수도가 포화상태에 도달하였을 때 흡수된 산소 및 수분을 배출, 재생하여 사용가능 상태로 환원할 수 있는 글로브박스 정제장치 및 정제장치의 재생방법에 관한 것이다.

Description

글로브박스 정제장치 및 정제장치 재생방법 {Device and recovery method for glove box purifier}
본 발명은 반도체 소자, 유기EL 소자, 전지개발 등의 실험실 또는 연구실에서 주로 사용되는 글로브박스의 내부의 산소 및 수분을 제거하는 정제장치 및 정제장치를 재생하는 방법으로서, 하나의 정제장치 내부에 산소제거수단 및 수분제거수단이 구비되며, 산소제거수단 및 수분제거수단의 산소 및 수분흡수도가 포화상태에 도달하였을 때 흡수된 산소 및 수분을 배출, 재생하여 사용가능 상태로 환원할 수 있는 글로브박스 정제장치 및 정제장치의 재생방법에 관한 것이다.
유기EL, LCD 및 2차 전지(Battery)등을 생산하는 산업 현장 및 이와 관련한 실험실 또는 연구실에서 진행되는 작업은 산소 및 수분이 없는 작업환경내에서 진행되어야 했다. 따라서 이러한 작업환경을 제공하기 위해서 주로 글로브박스(Glovebox)를 사용한다. 이때 글로브박스가 정밀하게 밀폐되었다고 하더라도 공정 또는 실험에 사용되는 재료등의 표면에 남아있는 미세한 산소 또는 수분으로 인하여 글로브박스 내부의 산소 및 수분의 농도가 증가할 수 있었다. 따라서 이러한 산소 및 수분을 지속적으로 제거하는 정제장치가 필요하였다.
글로브박스 내부의 산소 및 수분을 제거하기 위한 글로브박스의 정제장치가 한국공개특허 제10-2004-0028871호 (2004.04.03)로 개시된 바 있다. 종래의 기술은 산소제거 촉매제를 내장한 타워 및 수분제거 촉매제를 내장한 타워를 각각 형성하여 글로브박스 내부의 산소 및 수분을 제거한다.
이때 종래의 기술은 산소제거 촉매제를 내장한 타워 및 수분제거 촉매제를 내장한 타워를 각각 별도로 형성하게 되어 이에 따른 배관이 각각 연결되었으며, 정제장치의 재생을 위한 구성요소를 각각 구비해야 했다. 따라서 정제장치의 크기의 소형화가 어려웠으며, 별도의 장치를 필요로 하는 문제점이 있었다.
한국공개특허 제10-2004-0028871호 (2004.04.03)
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서 본 발명의 목적은, 종래의 산소제거와 수분제거를 위한 산소제거수단과 수분제거수단이 하나의 정제장치에 구비되어 크기를 줄일 수 있고, 복잡한 배관이 필요하지 않아 간편한 구조로 구성할 수 있어 유지보수에 이점이 있으며, 상기 산소제거수단과 수분제거수단이 교차로 연결되어 산소 및 수분의 제거 횟수를 늘릴 수 있어 보다 효과적으로 산소 및 수분을 제거할 수 있는 글로브박스 정제장치를 제공하는 것이다. 또한, 재생부를 통하여 별도의 장치 없이도 재생과정을 진행할 수 있어 유지보수에 장점을 갖는 글로브박스 정제장치를 제공하는 것이다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 글로브박스 정제장치 및 정제장치 재생방법은 글로브박스 내부의 기체를 정제하는 장치에 있어서,
몸체(110), 상기 몸체(110)의 외면을 관통하는 형태로 형성되고, 글로브박스의 내부와 연통되어, 글로브박스 내부의 기체가 상기 몸체(110)의 내부로 유입되는 기체유입로(120), 상기 몸체(110)의 내부에 구비되며 상기 기체유입로(120)와 연통되어, 유입되는 기체의 산소 및 수분을를 제거하는 필터부(130), 상기 필터부(130)와 결합하여 상기 필터부(130)를 재생하는 재생부(140), 상기 몸체(110)의 외면을 관통하는 형태로 형성되고 글로브박스의 내부와 연통되어 상기 필터부(130)를 통과한 기체가 글로브박스로 공급되는 기체배출로(150), 및 기체유동 경로 상에 적어도 하나 이상 구비되는 기체이동수단(160)로 구성된다.
이때, 상기 필터부(130)는 구리산화물 (coper oxide)로 형성된 산소제거부를 포함하는 산소제거수단(131), 제올라이트(zeolite)로 형성된 수분제거부를 포함하는 수분제거수단(132)으로 구성될 수 있다.
또한, 상기 산소제거수단(131)과 상기 수분제거수단(132)은 하나 또는 다수개가 교차되도록 적층되는 형태로 연결될 수 있다.
더불어, 상기 재생부(140)는 상기 산소제거수단(131)과 상기 수분제거수단(132)에 형성되어 상기 산소제거수단(131)과 상기 수분제거수단(132)을 가열하는 가열장치(141), 상기 산소제거수단(131)과 연통되어 재생가스 및 건조가스가 주입되는 제1가스주입로(142), 상기 수분제거수단(132)과 연통되어 건조가스가 주입되는 제2가스주입로(143), 상기 산소제거수단(131) 및 상기 수분제거수단(132)과 연통되어 수분을 외부로 배출하는 수분배출로(144), 상기 산소제거수단(131)과 연통되어 재생가스 및 건조가스를 배출하는 제1가스배출로(145), 및 상기 수분제거수단(132)과 연통되어 건조가스를 배출하는 제2가스배출로(146)를 포함하여 구성될 수 있다.
또한, 본 발명의 글로브박스 정제장치는 상기 산소제거수단(131)의 산소농도 및 상기 수분제거수단(132)의 수분농도를 통하여 상태를 확인하는 상태확인센서를 더 포함하여 구성될 수 있다.
이와 더불어, 글로브박스 정제장치의 재생방법에 있어서, 기체이동수단의 가동을 중단하고 글로브박스와 정제장치에 유동로로 형성되는 기체유입로 및 기체배출로를 폐쇄하는 정제장치 가동중단단계(S01), 산소제거수단 및 수분제거수단을 가열장치로 가열하며 제1가스주입구를 통하여 산소제거수단에 환원가스를 주입하는 재생단계(S02), 상기 재생단계(S02)에서 산소제거수단 및 수분제거수단에 발생된 수분과 잔여 환원가스를 외부로 배출하는 생성물배출단계(S03), 제1가스주입구 및 제2가스주입구를 통하여 건조가스를 주입하여 산소제거수단 및 수분제거수단을 건조하는 건조단계(S04), 산소제거수단 및 수분제거수단 내의 건조가스를 외부로 배출하는 건조가스 배출단계(S05), 산소제거수단의 산소농도 및 수분제거수단의 수분농도를 통하여 상태를 확인하는 상태확인센서를 이용하여 산소제거수단 및 수분제거수단의 상태를 정상, 재생필요로 판단하는 상태판단단계(S06), 상기 상태판단단계(S06)에서 정상으로 판단될 경우 기체이동수단을 재가동하고 글로브박스와 정제장치에 유동로로 형성되는 기체유입로 및 기체배출로를 개방하는 정제장치 재가동단계(S07)를 포함하여 구성된다.
이때, 재생필요로 판단된 경우 상기 재생단계(S02)부터 순차적으로 다시 진행할 수 있다.
본 발명의 글로브박스 정제장치는 종래의 산소제거와 수분제거를 위한 산소제거수단과 수분제거수단이 하나의 정제장치에 구비되어 크기를 줄일 수 있으며, 복잡한 배관이 필요하지 않아 간편한 구조로 구성할 수 있어 유지보수에 이점을 갖는다. 더불어 상기 산소제거수단과 수분제거수단이 교차로 연결되어 산소 및 수분의 제거 횟수를 늘릴 수 있어 보다 효과적으로 산소 및 수분을 제거할 수 있다.
또한 재생부를 통하여 별도의 장치 없이도 재생과정을 진행할 수 있어 유지보수에 장점을 갖는다.
도 1은 본 발명의 글로브박스 정제장치 사시도
도 2는 도 1의 AA' 방향 단면도
도 3은 본 발명의 글로브박스 정제장치 재생방법 흐름도
이하, 상술한 바와 같은 본 발명의 글로브박스 정제장치 및 정제장치 재생방법을 첨부된 도면을 참조로 상세히 설명한다. 다음에 소개되는 도면들은 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 예로서 제공되는 것이다. 따라서, 본 발명은 아래 제시되는 도면들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화 될 수도 있다. 또한 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.
도 1은 본 발명의 글로브박스 정제장치 사시도이고, 도 2는 도 1의 AA' 방향 단면도이며, 그리고 도 3은 본 발명의 글로브박스 정제장치 재생방법 흐름도이다.
도 1 내지 2에서 도시한 바와 같이, 본 발명의 글로브박스 정제장치는 몸체(110), 상기 몸체(110)의 외면을 관통하는 형태로 형성되고, 글로브박스의 내부와 연통되어, 글로브박스 내부의 기체가 상기 몸체(110)의 내부로 유입되는 기체유입로(120), 상기 몸체(110)의 내부에 구비되며 상기 기체유입로(120)와 연통되어, 유입되는 기체의 산소 및 수분을를 제거하는 필터부(130), 상기 필터부(130)와 결합하여 상기 필터부(130)를 재생하는 재생부(140), 상기 몸체(110)의 외면을 관통하는 형태로 형성되고 글로브박스의 내부와 연통되어 상기 필터부(130)를 통과한 기체가 글로브박스로 공급되는 기체배출로(150), 및 기체유동 경로 상에 적어도 하나 이상 구비되는 기체이동수단(160)로 구성된다.
이때, 상기 필터부(130)는 구리산화물 (coper oxide)로 형성된 산소제거부를 포함하는 산소제거수단(131)과 제올라이트(zeolite)로 형성된 수분제거부를 포함하는 수분제거수단(132)로 구성될 수 있다.
이러한 상기 산소제거수단(131)의 산소제거부는 구리산화물을 이용하여 나노스케일로 형성되어 기체와의 접촉 면적을 극대화 시키도록 형성되는 것이 바람직하다. 따라서 구리산화물로 구성되는 나노스케일의 팰릿 또는 구슬 형태로 형성될 수 있다. 그러나 상기 산소제거수단(131)은 이에 한정되는 것이 아니라 산소가 효율적으로 제거될 수 있는 다양한 재료 및 다양한 형태로 형성될 수 있다.
또한 상기 수분제거수단(132)의 수분제거부는 제올라이트로 형성되어 수분흡수성이 좋으며, 또한 가열을 통하여 재생할 때에 열에 의한 변형이 없어 활용도가 높다. 따라서 상기 수분제거수단(131)은 제올라이트로 형성되는 타원형 또는 면상의 필터로 형성되는 것이 바람직하다. 그러나 상기 수분제거수단(132)은 이에 한정되는 것이 아니라 수분을 효율적으로 흡수할 수 있는 다양한 재료 및 다양한 형태로 형성될 수 있다.
이때, 도 2에서 도시한 바와 같이, 상기 산소제거수단(131)과 상기 수분제거수단(132)은 하나 또는 다수개가 교차되도록 적층되는 형태로 연결될 수 있다. 이러한 구성을 통하여 종래의 기술에서 각각의 별도로 형성되던 상기 산소제거수단(131)과 상기 수분제거수단(132)가 하나로 결합되어 형성되어 장치의 크기를 최소화 할 수 있어 공간 활용에 이점을 갖는다. 또한 산소제거 및 수분제거를 반복적으로 수행할 수 있게 되어 산소제거 및 수분제거의 효율을 높일 수 있다는 장점을 갖는다.
더불어, 상기 재생부(140)는 상기 산소제거수단(131)과 상기 수분제거수단(132)에 형성되어 상기 산소제거수단(131)과 상기 수분제거수단(132)을 가열하는 가열장치(141), 상기 산소제거수단(131)과 연통되어 재생가스 및 건조가스가 주입되는 제1가스주입로(142), 상기 수분제거수단(132)과 연통되어 건조가스가 주입되는 제2가스주입로(143), 상기 산소제거수단(131) 및 상기 수분제거수단(132)과 연통되어 수분을 외부로 배출하는 수분배출로(144), 상기 산소제거수단(131)과 연통되어 재생가스 및 건조가스를 배출하는 제1가스배출로(145), 및 상기 수분제거수단(132)과 연통되어 건조가스를 배출하는 제2가스배출로(146)로 구성될 수 있다.
이러한 상기 재생부(140)를 통하여 본 발명의 글로브박스 정제장치는 상기 필터부(130)의 산소 및 수분 제거 효율이 저하 되었을 경우, 상기 필터부(130)를 교환하는 것이 아니라 재생을 통하여 재활용이 가능하도록 한다.
이때, 상기 재생부(140)에 사용되는 재생가스는 수소가 3~5% 포함된 가스를 사용할 수 있다. 이는
Figure 112013049227530-pat00001
의 반응을 이용하여 상기 산소제거수단(131)의 구리산화물에 흡착된 산소를 수소와 결합시켜 물과 구리산화물로 분리시켜 구리산화물의 산소흡수능력을 회복하는 방법을 이용하는 것이다.
또한 상기 가열장치(141)을 통하여 위에서 서술한 화학반응을 촉진시키며, 상기 수분제거수단(132)의 제올라이트에 흡착된 수분을 배출 시킬 수 있다. 이때 상기 가열장치(141)를 통하여 상기 필터부(130)의 온도를 150℃ ~ 250℃로 가열하여 화학반응 및 수분의 배출을 원활하게 하는 것이 바람직하다.
더불어, 상기 필터부(130)을 건조하는데 사용되는 건조가스는 질소 또는 아르곤 가스를 사용할 수 있다. 이를 통하여 상기 재생부(140)를 이용하여 상기 필터부(130) 를 재생할 때 발생되는 수분 및 부산물을 건조가스를 통하여 밀어내어 내부의 이물질을 최소하여 상기 필터부(130)의 재생효율을 극대화 할 수 있다. 이때, 상기 필터부(130)의 재생효율의 보다 향상하기 위해 상기 필터부(130)를 진공상태로 만들기 위하여 진공펌프를 더 포함할 수 있다.
또한, 본 발명의 글로브박스 정제장치는 상기 산소제거수단(131)의 산소농도 및 상기 수분제거수단(132)의 수분농도를 통하여 상태를 확인하는 상태확인센서를 더 포함하여 구성될 수 있다. 이러한 상태확인센서를 통하여 보다 정확한 상기 필터부(130)의 상태를 파악하고 최적의 시기에 재생을 하여 상기 필터부(130)의 내구성을 향상시킬 수 있으며, 재생시 재생정도를 즉시 확인할 수 있어 보다 효율적인 재생이 가능하다는 장점을 갖는다.
이러한 글로브박스 정제장치의 재생방법에 있어서, 도 3에서 도시한 바와 같이, 기체이동수단의 가동을 중단하고 글로브박스와 정제장치에 유동로로 형성되는 기체유입로 및 기체배출로를 폐쇄하는 정제장치 가동중단단계(S01), 산소제거수단 및 수분제거수단을 가열장치로 가열하며 제1가스주입구를 통하여 산소제거수단에 환원가스를 주입하는 재생단계(S02), 상기 재생단계(S02)에서 산소제거수단 및 수분제거수단에 발생된 수분과 잔여 환원가스를 외부로 배출하는 생성물배출단계(S03), 제1가스주입구 및 제2가스주입구를 통하여 건조가스를 주입하여 산소제거수단 및 수분제거수단을 건조하는 건조단계(S04), 산소제거수단 및 수분제거수단 내의 건조가스를 외부로 배출하는 건조가스 배출단계(S05), 산소제거수단의 산소농도 및 수분제거수단의 수분농도를 통하여 상태를 확인하는 상태확인센서를 이용하여 산소제거수단 및 수분제거수단의 상태를 정상, 재생필요로 판단하는 상태판단단계(S06), 상기 상태판단단계(S06)에서 정상으로 판단될 경우 기체이동수단을 재가동하고 글로브박스와 정제장치에 유동로로 형성되는 기체유입로 및 기체배출로를 개방하는 정제장치 재가동단계(S07)로 구성된다.
즉, 먼저 상기 정제장치 가동중단단계(S01)를 통해 글로브박스 내부의 기체중 산소 농도 및 수분 농도가 상승하여 글로브박스 정제장치의 정제효율이 정상범위 아래로 떨어졌다고 판단될 경우, 먼저 글로브박스의 사용을 중단하고 기체이동수단의 가동을 중단하여 기체의 순환을 중지한다. 더불어 글로브박스와 정제장치에 유동로로 형성되는 기체유입로 및 기체배출로를 폐쇄하여 글로브박스와 정제장치간의 기체 유동을 폐쇄하여 재생과정에서 기체의 유입이 발생되지 않도록 한다.
상기 재생단계(S02)를 통하여 산소제거수단 및 수분제거수단을 가열장치로 가열하며 제1가스주입구를 통하여 산소제거수단에 환원가스를 주입하게 된다. 이를 통하여 상기 산소제거수단에 흡착되어 있는 산소 및 수분제거수단에 흡착되어 있는 수분을 물의 형태로 산소제거수단 및 수분제거수단에서 제거하게 된다.
이후, 상기 생성물배출단계(S03)를 통하여 상기 재생단계(S02)에서 산소제거수단 및 수분제거수단에 발생된 수분과 잔여 환원가스를 외부로 배출하고, 상기 건조단계(S04) 제1가스주입구 및 제2가스주입구를 통하여 건조가스를 주입하여 산소제거수단 및 수분제거수단을 건조하며, 상기 건조가스 배출단계(S05)를 통하여 산소제거수단 및 수분제거수단 내의 건조가스를 외부로 배출한다. 이때 재생효율을 보다 높이기 위하여 산소제거수단 및 수분제거수단을 진공상태로 만드는 과정을 추가적으로 수행할 수 있다.
다음으로, 상기 상태판단단계(S06)를 통하여 산소제거수단의 산소농도 및 수분제거수단의 수분농도를 통하여 상태를 확인하는 상태확인센서를 이용하여 산소제거수단 및 수분제거수단의 상태를 정상, 재생필요로 판단한다. 이때 정상 또는 재청소 필요로 판단하는 기준이 되는 산소농도 및 수소농도는 사용자가 미리 입력한 기준을 바탕으로 판단을 하게 되며, 이에 이용되는 상태확인센서는 산소제거수단 및 수분제거수단과 직접 연결되어 있는 것이 바람직하다. 이를 통하여 산소제거수단 및 수분제거수단의 상태를 보다 정확하게 확인할 수 있게 되어 재생필요로 판단된 경우 상기 재생단계(S02)부터 순차적으로 다시 진행하여 보다 재생이 불완전할 경우 다시 재생단계를 거칠 수 있게되어 보다 확실한 재생이 가능하다.
이후, 상기 상태판단단계(S06)에서 정상으로 판단될 경우 상기 정제장치 재가동단계(S07)를 통하여 기체이동수단을 재가동하고 글로브박스와 정제장치에 유동로로 형성되는 기체유입로 및 기체배출로를 개방하여 상기 정제장치 가동중단단계(S01)에서 폐쇄한 글로브박스와 정제장치의 기체유동을 다시 개방하여 글로브박스의 기체의 산소 및 수분의 정제를 재시작한다.
이상과 같이 본 발명에서는 구체적인 구성 요소 등과 같은 특정 사항들과 한정된 실시예 도면에 의해 설명되었으나 이는 본 발명의 보다 전반적인 이해를 돕기 위해서 제공된 것 일뿐, 본 발명은 상기의 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다.
따라서, 본 발명의 사상은 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 아니 되며, 후술하는 특허 청구 범위뿐 아니라 이 특허 청구 범위와 균등하거나 등가적 변형이 있는 모든 것들은 본 발명 사상의 범주에 속한다고 할 것이다.
110: 몸체
120: 기체유입로
130: 필터부
131: 산소제거수단 132: 수분제거수단
140: 재생부
141: 가열장치 142: 제1가스주입로
143: 제2가스주입로 144: 수분배출로
145: 제1가스배출로 146: 제2가스배출로
150: 기체배출로
160: 기제이동수단
S01: 정제장치 가동중단단계
S02: 재생단계
S03: 생성물배출단계
S04: 건조단계
S05: 건조가스 배출단계
S06: 상태판단단계
S07: 재가동단계

Claims (7)

  1. 글로브박스 내부의 기체를 정제하는 장치에 있어서,

    몸체(110);

    상기 몸체(110)의 외면을 관통하는 형태로 형성되고, 글로브박스의 내부와 연통되어, 글로브박스 내부의 기체가 상기 몸체(110)의 내부로 유입되는 기체유입로(120);

    상기 몸체(110)의 내부에 구비되며 상기 기체유입로(120)와 연통되어, 유입되는 기체의 산소 및 수분을 제거하는 필터부(130);

    상기 필터부(130)와 결합하여 상기 필터부(130)를 재생하는 재생부(140);

    상기 몸체(110)의 외면을 관통하는 형태로 형성되고 글로브박스의 내부와 연통되어 상기 필터부(130)를 통과한 기체가 글로브박스로 공급되는 기체배출로(150); 및

    기체유동 경로 상에 적어도 하나 이상 구비되는 기체이동수단(160);으로 구성되며,

    상기 필터부(130)는

    구리산화물(coper oxide)로 형성된 산소제거부를 포함하는 산소제거수단(131),

    제올라이트(zeolite)로 형성된 수분제거부를 포함하는 수분제거수단(132)을 포함하며,

    상기 재생부(140)는

    상기 산소제거수단(131)과 상기 수분제거수단(132)에 형성되어 상기 산소제거수단(131)과 상기 수분제거수단(132)을 가열하는 가열장치(141),

    상기 산소제거수단(131)과 연통되어 재생가스 및 건조가스가 주입되는 제1가스주입로(142),

    상기 수분제거수단(132)과 연통되어 건조가스가 주입되는 제2가스주입로(143),

    상기 산소제거수단(131) 및 상기 수분제거수단(132)과 연통되어 수분을 외부로 배출하는 수분배출로(144),

    상기 산소제거수단(131)과 연통되어 재생가스 및 건조가스를 배출하는 제1가스배출로(145), 및

    상기 수분제거수단(132)과 연통되어 건조가스를 배출하는 제2가스배출로(146)으로 구성되는 것을
    특징으로 하는 글로브박스 정제장치.
  2. (삭제)
  3. 제 1항에 있어서,

    상기 산소제거수단(131)과 상기 수분제거수단(132)은 하나 또는 다수개가 교차되도록 적층되는 형태로 연결되는 것을 특징으로 하는 글로브박스 정제장치.
  4. (삭제)
  5. 제 1항에 있어서,

    본 발명의 글로브박스 정제장치는

    상기 산소제거수단(131)의 산소농도 및 상기 수분제거수단(132)의 수분농도를 통하여 상태를 확인하는 상태확인센서를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 글로브박스 정제장치.
  6. 글로브박스 정제장치의 재생방법에 있어서,
    기체이동수단의 가동을 중단하고 글로브박스와 정제장치에 유동로로 형성되는 기체유입로 및 기체배출로를 폐쇄하는 정제장치 가동중단단계(S01);
    산소제거수단 및 수분제거수단을 가열장치로 가열하며 제1가스주입구를 통하여 산소제거수단에 환원가스를 주입하는 재생단계(S02);
    상기 재생단계(S02)에서 산소제거수단 및 수분제거수단에 발생된 수분과 잔여 환원가스를 외부로 배출하는 생성물배출단계(S03);
    제1가스주입구 및 제2가스주입구를 통하여 건조가스를 주입하여 산소제거수단 및 수분제거수단을 건조하는 건조단계(S04);
    산소제거수단 및 수분제거수단 내의 건조가스를 외부로 배출하는 건조가스 배출단계(S05);
    산소제거수단의 산소농도 및 수분제거수단의 수분농도를 통하여 상태를 확인하는 상태확인센서를 이용하여 산소제거수단 및 수분제거수단의 상태를 정상, 재생필요로 판단하는 상태판단단계(S06);
    상기 상태판단단계(S06)에서 정상으로 판단될 경우 기체이동수단을 재가동하고 글로브박스와 정제장치에 유동로로 형성되는 기체유입로 및 기체배출로를 개방하는 정제장치 재가동단계(S07);
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 글로브박스 정제장치 재생방법.
  7. 제 6항에 있어서
    재생필요로 판단된 경우 상기 재생단계(S02)부터 순차적으로 다시 진행하는 것을 특징으로 하는 글로브박스 정제장치 재생방법.
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