KR101493654B1 - Disk resonator - Google Patents

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KR101493654B1
KR101493654B1 KR20140091356A KR20140091356A KR101493654B1 KR 101493654 B1 KR101493654 B1 KR 101493654B1 KR 20140091356 A KR20140091356 A KR 20140091356A KR 20140091356 A KR20140091356 A KR 20140091356A KR 101493654 B1 KR101493654 B1 KR 101493654B1
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최해진
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중앙대학교 산학협력단
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Abstract

The present invention relates to a disk resonator capable of being applied to a biosensor, a gas sensor, a pressure sensor, and a frequency filter. In particular, the disk resonator comprises: a disk equipped with a first electrode in which a bias supply is inputted; an electrode unit fixed by an elastic material; a towing unit having a capacitive gap existing between the disc and the electrode unit and towing the electrode unit through an electrostatic force to minimize the capacitive gap between the disc and the electrode unit; and a limiting unit for limiting the maximal movement of the electrode unit towards the disk. According to the present invention, by means of the towing unit, the capacitive gap formed between the disc and the electrode unit is decreased while the resonator is operated, so that a production gap is large but an operation gap is minimized. Accordingly, signals can be easily detected. Compared to existing techniques, gaps of several hundred nano units can be produced even with a simple structure and low costs.

Description

디스크 레조네이터{Disk resonator}Disk resonator

본 발명은 디스크 레조네이터에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 바이오 센서, 가스 센서, 압력 센서 및 주파수 필터 등으로 이용되는 디스크 레조네이터에 관한 것이다.The present invention relates to a disk resonator, and more particularly, to a disk resonator used in a biosensor, a gas sensor, a pressure sensor, a frequency filter, and the like.

미래형 바이오센서의 기능은 휴대용 더 나아가 생체 적응형의 작고 민감한 바이오센서와 유비쿼터스 기술을 이용하여 개인의 건강에 중요한 여러 가지 환경조건을 모니터링하는 방향으로 갈 것으로 예측된다. 따라서, 미래의 경쟁력 있고 보다 실용적인 바이오센서는 센서차체의 기능으로 고민감도, 부동화의 편의성, 정확성 (non-specific binding에 의한 검출오차 최소화), 신속성 (in-situ monitoring) 등을 필요로 하며, 센서의 응용범위 확장기술로 소형화의 용이성, 양산성, 지속가능성(sustainability), 생체적응성 (bio-adaptability), 진단 용이성, 등의 요구조건들을 동시에 만족하여야 한다.Future biosensor functions are expected to move toward monitoring various environmental conditions that are important for individual's health by using portable biosensor and ubiquitous technology, which are biocompatible, small and sensitive biosensors. Therefore, future competitive and more practical biosensors require sensor sensitivity, passivity, accuracy (minimization of detection error by non-specific binding), in-situ monitoring, etc., The application scope extension technology should meet the requirements of ease of miniaturization, mass production, sustainability, bio-adaptability, and ease of diagnosis.

세계 바이오센서 시장분석 보고서에 보고된 바와 같이 중요한 개념으로 떠오른 POC는 이러한 바이오센서의 모든 기능들을 요구하는 응용기술이며 이 기능들에 대한 최근 연구동향분석은 전년도 연구계획서에 이미 언급하였다. 한편, POC를 위한 바이오센서의 여러 기능들 중 진단용이성이 특히 중요하다고 할 수 있다.As reported in the global biosensor market analysis report, POC, which emerged as an important concept, is an application technology that requires all the functions of these biosensors, and recent research trend analysis of these functions has already been mentioned in the previous research plan. On the other hand, the ease of diagnosis among the various functions of the biosensor for POC is particularly important.

최근 폐암이나 당뇨병 환자들의 병변으로부터 벤젠, 톨루엔, 자일렌, 이소프렌 등의 휘발성 유기화합물(VOCs)이 생성됨을 입증하는 연구 결과가 발표되었으며, 이들 VOCs는 호흡기를 통해 외부에서 검출할 수 있다는 이론적인 가능성은 제시된 바 있다. Alkanes와 monomethylated alkanes는 폐암의 마커(marker)로 판명되었으며 formaldehyde는 유방암, isoprene은 혈중 콜리에스테롤, acetone은 Type I 당뇨의 마커로 지명되고 있다. 그러나, 이런 휘발성 유기화합물은 ppb 심지어 ppt 단위의 초저농도로 분산되어 있어 초기 고도의 농축과정을 거친 샘플만을 대상으로 gas chromatography-mass spectrometry with solid phase micro-extraction (GCMS-SPME), selected ion flow tube mass spectrometry (SIFT-MS), metalloporphyrin coated quartz crystal microbalance (MP-QCM), laser absorption spectrometry (LAS) 등 고가의 장비를 이용하여야만 검출이 가능하며 소규모 병/의원 또는 자가 건강 모니터링 과정을 통한 검출은 현재 거의 불가능하다고 알려져 있다.Recently, research has been published that demonstrate the production of volatile organic compounds (VOCs), such as benzene, toluene, xylene, and isoprene, from lesions in lung cancer and diabetes patients. These VOCs can be detected externally through the respiratory tract Has been presented. Alkanes and monomethylated alkanes have been identified as markers of lung cancer, formaldehyde as breast cancer, isoprene as blood coli sterol and acetone as type I diabetic marker. However, these volatile organic compounds are dispersed at an ultra-low concentration of ppb or even ppt. Therefore, only the samples which have undergone the initial high-concentration process are subjected to gas chromatography-mass spectrometry with solid phase micro-extraction (GCMS-SPME) It can be detected only by using expensive equipment such as mass spectrometry (SIFT-MS), metalloporphyrin coated quartz crystal microbalance (MP-QCM) and laser absorption spectrometry (LAS) It is said to be almost impossible.

본 발명은 원판 디스크와 전극부 간에 형성되는 용량성 간극의 간격을 적은 비용 및 간단한 구조만으로 최소화 할 수 있는 디스크 공진기를 제공한다.The present invention provides a disk resonator capable of minimizing a gap between capacitive gaps formed between a disk disk and an electrode portion with only a small cost and a simple structure.

본 발명에 따른 디스크 레조네이터는 바이어스 전원이 입력되는 제1전극을 구비하는 원판 디스크; 탄성재질에 의하여 고정되는 전극부; 상기 원판 디스크과 전극부 사이의 용량성 간극이 존재하고, 상기 전극부를 정전기력으로 견인하여 상기 원판 디스크와 상기 전극부간의 용량성 간극을 최소화시키는 견인부; 상기 전극부의 상기 원판 디스크 방향으로의 최대 이동을 제한하는 제한부;를 포함한다.A disk resonator according to the present invention includes: a disk having a first electrode for receiving a bias power; An electrode unit fixed by an elastic material; A trailing portion which has a capacitive gap between the disk and the electrode portion and pulls the electrode portion with an electrostatic force to minimize a capacitive gap between the disk and the electrode portion; And a restricting portion for restricting a maximum movement of the electrode portion in the direction of the disc.

또한 상기 전극부는, 상기 원판 디스크와 인접하게 구비되어 상기 원판 디스크와의 사이에 용량성 간극을 형성하는 제2 전극; 상기 제2 전극과 전기적으로 연결되는 전극 단자; 상기 제2 전극이 상기 원판 디스크 방향으로 탄성을 구비하도록 상기 전극부재를 고정하는 탄성부재를 포함할 수 있다.The electrode unit may include a second electrode adjacent to the disk and forming a capacitive gap with the disk; An electrode terminal electrically connected to the second electrode; And an elastic member fixing the electrode member such that the second electrode has elasticity in the direction of the disk disk.

또한 상기 제1 전극 및 상기 전극 단자 사이에는 교류 전원이 인가될 수 있다.Also, an AC power source may be applied between the first electrode and the electrode terminal.

또한 상기 제2 전극은 상기 원판 디스크의 에지의 형상에 대응하는 간극 형성부; 상기 간극 형성부로부터 일정간격 이격되도록 구비되는 이동부; 상기 간극형성부와 상기 이동부를 연결하는 연결부;를 포함할 수 있다.The second electrode may include a gap forming portion corresponding to a shape of an edge of the disk; A moving part spaced apart from the gap forming part by a predetermined distance; And a connecting portion connecting the gap forming portion and the moving portion.

또한 상기 제한부는 상기 이동부가 상기 원판 디스크 방향으로 이동하는 경로 상에 돌출된 형상으로 형성되어 상기 이동부가 상기 원판 디스크 방향으로 일정 거리 이상 이동하는 것을 제한할 수 있다.Also, the restricting portion may be formed in a protruding shape on the path of moving the moving part toward the disc disc, so that the moving part may be prevented from moving in the direction of the disc disc by a predetermined distance or more.

또한 상기 견인부는 상기 이동부를 정전기력에 의하여 상기 원판 디스크 방향으로 견인할 수 있다.Further, the pulling portion can pull the moving portion toward the disk by an electrostatic force.

또한 상기 견인부에는 직류 전원이 공급될 수 있다.Also, DC power may be supplied to the tow unit.

또한 상기 견인부와 상기 제한부는 일체형으로 형성될 수 있다.Further, the pulling portion and the restriction portion may be integrally formed.

본 발명에 따르면, 견인부에 의하여 원판 디스크와 전극부 간에 형성되는 용량성 간극의 간격이 레조네이터가 동작하는 중 줄어들도록 함으로써, 제작 시 간극은 크지만 동작 중 간극은 최소화하여 신호검출이 용이하도록 하였다. 이는 종래의 기술에 비하여 적은 비용 및 간단한 구조만으로도 수백 나노 단위의 간극 크기를 형성할 수 있는 효과가 있다.According to the present invention, since the space of the capacitive gap formed between the disk and the electrode portion by the pulling portion is reduced during the operation of the resonator, the gap during manufacturing is large, but the gap during operation is minimized to facilitate signal detection . This has the effect of forming a gap size of several hundred nano units with only a small cost and simple structure as compared with the conventional technology.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 디스크 레조네이터를 나타내는 사시도이다
도 2는 도 1의 디스크 레조네이터를 나타내는 평면도이다.
도 3은 도 1의 디스크 레조네이터의 일부를 나타내는 평면도이다.
도 4는 도 3의 디스크 레조네이터의 작동 모습을 나타내는 평면도이다.
도 5는 일 실시예에 따른 디스크 레조네이터의 모습을 나타내는 단면도이다.
도 6은 일 실시예에 따른 디스크 레조네이터의 공진주파수를 나타내는 그래프이다.1 is a perspective view showing a disk resonator according to an embodiment of the present invention
2 is a plan view showing the disk resonator of FIG.
3 is a plan view showing a part of the disk resonator of FIG.
4 is a plan view showing an operation of the disk resonator of FIG.
5 is a cross-sectional view illustrating a disk resonator according to an embodiment of the present invention.
6 is a graph illustrating a resonance frequency of a disk resonator according to an embodiment of the present invention.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명한다. 특별한 정의나 언급이 없는 경우에 본 설명에 사용하는 방향을 표시하는 용어는 도면에 표시된 상태를 기준으로 한다. 또한 각 실시예를 통하여 동일한 도면부호는 동일한 부재를 가리킨다. 한편, 도면상에서 표시되는 각 구성은 설명의 편의를 위하여 그 두께나 치수가 과장될 수 있으며, 실제로 해당 치수나 구성간의 비율로 구성되어야 함을 의미하지는 않는다.
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. In the absence of special definitions or references, the terms used in this description are based on the conditions indicated in the drawings. The same reference numerals denote the same members throughout the embodiments. For the sake of convenience, the thicknesses and dimensions of the structures shown in the drawings may be exaggerated, and they do not mean that the dimensions and the proportions of the structures should be actually set.

도 1 내지 도 6을 참조하여 일 실시예에 따른 디스크 레조네이터를 설명한다.A disk resonator according to an embodiment will be described with reference to FIGS. 1 to 6. FIG.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 디스크 레조네이터를 나타내는 사시도이고, 도 2는 도 1의 디스크 레조네이터를 나타내는 평면도이다. 또한 도 3은 도 1의 디스크 레조네이터의 일부를 나타내는 평면도이고, 도 4는 도 3의 디스크 레조네이터의 작동 모습을 나타내는 평면도이다. 또한 도 5는 일 실시예에 따른 디스크 레조네이터의 모습을 나타내는 단면도이고, 도 6은 일 실시예에 따른 디스크 레조네이터의 공진주파수를 나타내는 그래프이다.
FIG. 1 is a perspective view showing a disk resonator according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a plan view showing a disk resonator of FIG. FIG. 3 is a plan view showing a part of the disk resonator of FIG. 1, and FIG. 4 is a plan view showing an operation of the disk resonator of FIG. 5 is a cross-sectional view illustrating a disk resonator according to an embodiment of the present invention, and FIG. 6 is a graph illustrating a resonance frequency of a disk resonator according to an embodiment of the present invention.

본 발명의 일 실시예에 따른 디스크 레조네이터는 바이오 센서, 가스 센서 및 압력 센서 등으로 이용될 수 있다..The disk resonator according to an embodiment of the present invention may be used as a biosensor, a gas sensor, a pressure sensor, or the like.

도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 디스크 레조네이터(100)는 원판 디스크(50), 제1 전극(10), 전극부(20), 견인부(30)를 포함한다.1 and 2, the disk resonator 100 includes a disk 50, a first electrode 10, an electrode unit 20, and a traction unit 30.

원판 디스크(50)는 고유 주파수에 따라 확장과 수축을 반복하며 진동한다.The disc 50 oscillates repeatedly to expand and contract according to the natural frequency.

제1 전극(10)은 바이어스 전압을 원판 디스크(50)에 인가하여 원판 디스크(50)가 고유 진동수에 따라 진동하도록 한다. 제1 전극(10)은 원판 디스크(50)에 직접 연결되며, 본 실시예에서의 제1 전극(10)은 원판 디스크(50)에 교류 전압을 인가한다.The first electrode 10 applies a bias voltage to the disc 50 so that the disc 50 vibrates according to the natural frequency. The first electrode 10 is directly connected to the disc 50, and the first electrode 10 in the present embodiment applies an AC voltage to the disc 50.

도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이 전극부(20)는 제2 전극(21, 23, 25), 전극단자(27), 탄성부재(40)를 포함한다. 전극부(20)는 원판 디스크(50)와 용량성 간극을 형성하고, 제1 전극(10)과의 사이에 교류 전압을 인가하여 원판 디스크(50)가 고유 진동수에 따라 진동하도록 한다.2 and 3, the electrode unit 20 includes second electrodes 21, 23 and 25, an electrode terminal 27, and an elastic member 40. The electrode unit 20 forms a capacitive gap with the disc 50 and an AC voltage is applied between the electrode unit 20 and the first electrode 10 so that the disc 50 vibrates according to the natural frequency.

제2 전극(21, 23, 25)은 간극형성부(21), 이동부(25) 및 연결부(23)을 포함한다.The second electrodes 21, 23 and 25 include a gap forming portion 21, a moving portion 25, and a connecting portion 23.

간극형성부(21)는 원판 디스크(50)의 에지의 형상에 대응하는 형상으로 형성되어 원판 디스크(50)의 에지와 일정한 간격을 형성하도록 구비된다. 원판 디스크(50)와 간극형성부(21) 사이에 형성되는 간격은 용량성 간극이다.. The gap forming part 21 is formed in a shape corresponding to the shape of the edge of the disk 50 and is formed to form a certain gap with the edge of the disk 50. The gap formed between the disk disk 50 and the gap forming portion 21 is a capacitive gap.

제2 전극(21, 23, 25)는 원판 디스크(50)는 전극 단자(27) 또는 별도의 부재에 탄성부재(40)에 의하여 고정될 수 있다. 이 때 이동부(25)는 탄성부재(40)에 의하여 직접 고정되는 구성부로서 폭 방향으로 일정한 크기를 갖도록 형성된다.The second electrode 21, 23, 25 may be fixed to the disc 50 by the elastic member 40 at the electrode terminal 27 or a separate member. At this time, the moving part 25 is a component directly fixed by the elastic member 40 and is formed to have a constant size in the width direction.

이동부(25)와 간극 형성부(21)는 연결부(23)에 의하여 연결된다. 간극 형성부(21), 연결부(23) 및 이동부(25)는 전도성 재질로 형성됨으로써 인가되는 전력을 전극 단자(27)로 전달할 수 있도록 형성될 수 있다.The moving part 25 and the gap forming part 21 are connected by a connecting part 23. The gap forming portion 21, the connecting portion 23, and the moving portion 25 may be formed of a conductive material so that electric power can be transmitted to the electrode terminal 27.

전극 단자(27)는 제1 전극을 통하여 인가된 전력을 외부로 출력하는 단자 역할을 수행한다. 탄성부재(40)는 제2 전극이 상기 원판 디스크 방향으로 탄력있는 상태로 이동 가능하도록 고정시키는 구성부이다.
The electrode terminal 27 serves as a terminal for externally outputting power applied through the first electrode. The elastic member 40 is a component that fixes the second electrode so as to be movable in the elastic direction toward the disk disk.

본 실시예에 따른 견인부(30)는 직류 전력이 인가되어 이동부(25)를 견인하는 기능을 수행한다. 또한 견인부(30)는 간극 형성부(21)와 이동부(25) 사이로 돌출된 형상으로 형성되어 이동부(25)가 일정 거리 이상 원판 디스크(50) 방향으로 이동하지 않도록 제한하는 기능을 한다. 견인부(30)는 이와 같이 이동부(25)의 견인과 이동부(25)의 일정거리 이상의 이동을 제한하는 두 가지 기능을 수행하나, 이러한 기능은 별도의 구성으로 분리되는 것도 가능하다. 즉, 견인부(30)는 단순히 이동부(25)를 정전기력에 의하여 견인하는 기능만을 수행하고, 간극 형성부(21)와 이동부(25) 사이로 돌출된 형상의 별도의 제한부를 두는 것도 가능하다.
The pulling portion 30 according to the present embodiment performs a function of pulling the moving portion 25 by applying DC power. The pulling portion 30 has a shape protruding between the gap forming portion 21 and the moving portion 25 and functions to restrict the moving portion 25 from moving in the direction of the disk 50 . The pulling unit 30 performs two functions of pulling the moving unit 25 and restricting movement of the moving unit 25 beyond a predetermined distance, but the function of the pulling unit 30 can be separated into a separate configuration. That is, the pulling portion 30 may merely perform a function of pulling the moving portion 25 by the electrostatic force, and may have a separate limiting portion protruding between the gap forming portion 21 and the moving portion 25 .

구체적으로 도 4를 참조하여 설명하면, 견인부(30)에 직류전원이 인가되면, 견인부(30)는 이동부(27)를 끌어당기게 되며, 이동부(27)가 이동함에 따라 이동부(27)와 일체형으로 형성된 간극 형성부(21)가 중심방향 즉, 원판 디스크 방향으로 이동하게 된다.More specifically, referring to FIG. 4, when DC power is applied to the pulling portion 30, the pulling portion 30 pulls the moving portion 27, and as the moving portion 27 moves, The gap forming part 21 integrally formed with the disc-shaped disc 27 moves in the center direction, that is, in the disc disc direction.

이 때 견인부(30)가 이동부(27)가 미리 설정된 일정 거리 이상 원판 디스크 방향으로 이동하는 것을 제한하기 때문에 간극 형성부(21)는 원판 디스크에 접촉되지 않은 상태로 미세 간격을 형성하게 된다. 본 실시예에 따르면, 간극 형성부(21)와 원판 디스크의 에지 간에는 수백 나노 미터 정도의 간격을 형성하는 것이 가능하다.At this time, since the pulling portion 30 restricts the moving part 27 from moving toward the disk disk by a predetermined distance or more, the gap forming part 21 forms a fine gap without contacting the disk disk . According to this embodiment, it is possible to form an interval of about several hundred nanometers between the gap forming portion 21 and the edge of the disk.

종래에는 이와 같은 수백 나노미터의 간격을 형성하기 위해서는 고 비용 공정을 통하여만 가능하였고, 이 좁은 간격에 다양한 이물질이 부착되어 신호검출에 문제점이 있었다. 본 발명은 이와 같이 저비용에도 불구하고 신호검출에 유리한 최소화된 용량성 간극을 실현할 수 있고, 또한 디바이스가 구동하는 순간에만 이 좁은 간격이 형성되기 때문에 이물질에 의한 오 동작을 방지할 수 있다. Conventionally, in order to form such a gap of several hundred nanometers, only a high-cost process has been used, and various foreign substances have adhered to the narrow gap, thereby causing a problem in signal detection. The present invention can realize a minimized capacitive gap which is advantageous for signal detection in spite of the low cost and can prevent erroneous operation due to foreign matter because the narrow gap is formed only at the moment when the device is driven.

도 5를 참조하여 설명하면, 폴리 실리콘(Poly-Silicon) 및 SiO2 등으로 형성된 기판 상에 금(Au) 등의 전도성 레이어로 형성되는 패턴이 구비된다. 또한, 물과 혈액과 같은 유체환경에서도 신호검출이 가능하도록 SiO2 및 Si3N4 등을 이용하여 절연막을 형성한다. 이 때 절연막으로는 Si3N4뿐 아니라 다양한 재질로 형성이 가능하다.Referring to FIG. 5, a pattern formed of a conductive layer such as gold (Au) is formed on a substrate formed of polysilicon, SiO 2 or the like. In addition, SiO 2 and Si 3 N 4 are used to form an insulating film so that signals can be detected even in a fluid environment such as water and blood. In this case, the insulating film can be formed of various materials as well as Si 3 N 4 .

한편, 이와 같은 본 실시예에 따른 디스크 레조네이터는 최소화된 용량성 간극을 형성함으로써 도 6에 도시된 바와 같이 19.72055 MHz 이상에 달하는 공진주파수를 얻을 수 있었다.Meanwhile, the disk resonator according to the present embodiment has a minimized capacitive gap to obtain a resonant frequency of 19.72055 MHz or more as shown in FIG.

또한 본 발명에 따른 디스크 레조네이터는 질량 민감도(Mass sensitivity)가 약 18.9702 Hz/pg 이상에 달하여 종래의 디스크 공진기에 비하여 간단한 구조 및 비용에도 불구하고 검출 민감도가 증가하는 효과를 얻을 수 있다.
In addition, since the mass sensitivity of the disk resonator according to the present invention is about 18.9702 Hz / pg or more, the detection sensitivity can be increased despite the simple structure and cost as compared with the conventional disk resonator.

이상 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였으나, 본 발명의 기술적 사상이 상술한 바람직한 실시예에 한정되는 것은 아니며, 특허청구범위에 구체화된 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범주에서 다양하게 구현될 수 있다.While the present invention has been described with reference to exemplary embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, but, on the contrary, is intended to cover various modifications and equivalent arrangements included within the spirit and scope of the appended claims. have.

10: 제1 전극
20: 전극부
21: 간극 형성부
23: 연결부
25: 이동부
27: 전극 단자
30: 견인부
50: 원판 디스크
100: 디스크 레조네이터10: first electrode
20:
21:
23: Connection
25:
27: Electrode terminal
30:
50: Disc disc
100: disk resonator

Claims (8)

삭제delete 바이어스 전원이 입력되는 제1전극을 구비하는 원판 디스크;
상기 원판 디스크의 에지와 용량성 간극을 형성하는 전극부;
상기 전극부를 전자기력으로 견인하여 상기 원판 디스크와 상기 전극부간의 용량성 간극을 최소화시키는 견인부; 및
상기 전극부의 상기 원판 디스크 방향으로의 최대 이동을 제한하는 제한부;를 포함하며,
상기 전극부는,
상기 원판 디스크와 인접하게 구비되어 상기 원판 디스크와의 사이에 용량성 간극을 형성하는 제2 전극, 상기 제2 전극과 전기적으로 연결되는 전극 단자 및 상기 제2 전극이 상기 원판 디스크 방향으로 탄성을 구비하도록 상기 전극 단자와 상기 제2 전극 사이에 위치하는 탄성부재를 구비하는 디스크 레조네이터.A disc having a first electrode for receiving a bias power;
An electrode part forming a capacitive gap with an edge of the disk;
A traction unit for attracting the electrode unit by an electromagnetic force to minimize a capacitive gap between the disc and the electrode unit; And
And a restricting portion for restricting a maximum movement of the electrode portion in the direction of the disk,
The electrode unit includes:
A second electrode provided adjacent to the disk and forming a capacitive gap between the disk and the disk, an electrode terminal electrically connected to the second electrode, and a second electrode electrically connected to the disk, And an elastic member positioned between the electrode terminal and the second electrode. 제2항에 있어서,
상기 제1 전극 및 상기 전극 단자 사이에는 교류 전원이 인가되는 디스크 레조네이터.3. The method of claim 2,
And an AC power source is applied between the first electrode and the electrode terminal. 제2항에 있어서,
상기 제2 전극은 상기 원판 디스크의 에지의 형상에 대응하는 간극형성부;
상기 간극 형성부로부터 일정간격 이격되도록 구비되는 이동부;
상기 간극 형성부와 상기 이동부를 연결하는 연결부;를 포함하는 디스크 레조네이터.3. The method of claim 2,
The second electrode includes a gap forming portion corresponding to a shape of an edge of the disk;
A moving part spaced apart from the gap forming part by a predetermined distance;
And a connecting portion connecting the gap forming portion and the moving portion. 제4항에 있어서,
상기 제한부는 상기 이동부가 상기 원판 디스크 방향으로 이동하는 경로 상에 돌출된 형상으로 형성되어 상기 이동부가 상기 원판 디스크 방향으로 일정 거리 이상 이동하는 것을 제한하는 디스크 레조네이터.5. The method of claim 4,
Wherein the restricting portion is formed in a protruding shape on a path for moving the moving part in the direction of the disc disc so as to restrict movement of the moving part over a predetermined distance in the direction of the disc. 제5항에 있어서,
상기 견인부는 상기 이동부를 정전기력에 의하여 상기 원판 디스크 방향으로 견인하는 디스크 레조네이터.6. The method of claim 5,
And the pulling portion pulls the moving portion toward the disc by an electrostatic force. 제6항에 있어서,
상기 견인부에는 직류 전원이 공급되는 디스크 레조네이터.The method according to claim 6,
And a DC power source is supplied to the traction unit. 제6항에 있어서,
상기 견인부와 상기 제한부는 일체형으로 형성되는 디스크 레조네이터.The method according to claim 6,
Wherein the pulling portion and the restricting portion are integrally formed.
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원판디스크 레조네이터 기반 바이오센서의 설계 및 제작, 중앙대학교 학위논문, 유제준(2013.02) *
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