KR101479021B1 - Electrodeless light source device using microwave - Google Patents

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Abstract

마이크로웨이브를 이용한 무전극 광원장치가 개시된다. 본 발명의 일 측면에 따른 무전극 광원장치는, 마이크로웨이브에 의해 발광하는 무전극 램프와, 마이크로웨이브를 생성하는 마이크로웨이브 발생기와, 무전극 램프가 그 내부에 위치하고, 마이크로웨이브 발생기로부터 생성된 마이크로웨이브가 커플링되는 캐버티를 포함하고, 무전극 램프는 캐버티 내부에서 전기장의 세기가 최대로 되는 두 개 이상의 피크 포인트에 각각 구비되는 마이크로웨이브를 이용한다. An electrodeless light source device using a microwave is disclosed. According to an aspect of the present invention, there is provided an electrodeless light source device including: an electrodeless lamp that emits light by microwave; a microwave generator that generates a microwave; a microwave generator that is positioned inside the electrodeless lamp, Wave lamp includes a cavity to which a wave is coupled, and the electrodeless lamp uses a microwave that is provided at each of two or more peak points within the cavity at which the intensity of the electric field is maximized.

Description

마이크로웨이브를 이용한 무전극 광원장치{ELECTRODELESS LIGHT SOURCE DEVICE USING MICROWAVE}TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to an electrodeless light source device using a microwave,

본 발명은 마이크로웨이브를 이용한 무전극 광원장치에 관한 것이다.The present invention relates to an electrodeless light source device using a microwave.

일반적으로 액정표시소자는 두 장의 글라스기판 사이에 액정층이 형성되고, 두 장의 글라스기판의 내면에 상기 액정층에 전계를 걸기 위한 투명 전극, 상기 전계를 온오프시키기 위한 스위칭 소자, 컬러를 표시하기 위한 컬러필터 및 액정분자를 배향하기 위한 배향막 등이 형성된 구조를 갖는다. 두 장의 글라스기판 사이에 액정재료가 봉입되어 액정표시소자가 제작된다. 배향막은 기판 위에 도포된 폴리이미드 수지 등의 수지층으로 이루어지고, 배향막이 경화된 후에 러빙장치에 의한 러빙(rubbing) 처리에 의해 액정이 소정 방향으로 배향된다. In general, a liquid crystal display element is a liquid crystal display element in which a liquid crystal layer is formed between two glass substrates, a transparent electrode for applying an electric field to the liquid crystal layer on the inner surfaces of two glass substrates, a switching element for turning on and off the electric field, And an alignment film for aligning the liquid crystal molecules. A liquid crystal material is sealed between the two glass substrates to produce a liquid crystal display element. The alignment layer is made of a resin layer such as polyimide resin coated on the substrate. After the alignment layer is cured, the liquid crystal is oriented in a predetermined direction by a rubbing treatment by a rubbing device.

통상의 러빙장치는 러빙롤러가 글라스기판이 고정된 테이블의 상부에서 회전 가능하게 그 양단이 지지되고, 러빙포(기모포)가 양면 테이프 등에 의해 러빙롤러의 표면에 부착된다. 이와 같은 러빙롤러의 회전에 의해 러빙포가 글라스기판의 배향층 표면에 접촉하여 글라스기판의 표면을 일정한 방향으로 러빙함으로써 그 방향으로 액정재료가 배향되는 것이다.In a normal rubbing apparatus, both ends of a rubbing roller are rotatably supported on an upper portion of a table on which a glass substrate is fixed, and a rubbing cloth (base cloth) is attached to the surface of the rubbing roller by double- By the rotation of the rubbing roller, the rubbing cloth is brought into contact with the surface of the alignment layer of the glass substrate, and the surface of the glass substrate is rubbed in a predetermined direction to orient the liquid crystal material in that direction.

액정표시소자의 휘도나 응답성을 균일하게 유지하기 위해서는 러빙 처리시에 배향층의 표면을 균일하게 러빙하여 배향층의 표면에 방향성을 주어 액정이 균일하게 배향되도록 하는 것이 중요하다. 이로 인해, 러빙롤러와 글라스기판의 위치 결정, 특히 러빙롤러와 글라스기판 위의 배향막 사이의 이격거리를 균일하게 유지하는 것이 필수적이다. To uniformly maintain the brightness and responsiveness of the liquid crystal display element, it is important to uniformly rub the surface of the alignment layer during rubbing treatment so that the surface of the alignment layer is oriented to uniformly orient the liquid crystal. Therefore, it is necessary to uniformly maintain the distance between the rubbing roller and the glass substrate, especially the distance between the rubbing roller and the orientation film on the glass substrate.

최근 액정 표시소자는 그 크기가 점차 대형화 되어 가고 있기 때문에, 이와 같은 대형의 글라스기판을 러빙 처리하기 위한 러빙롤러의 길이 또한 글라스기판의 길이에 비례해서 증가하고 있다. In recent years, the size of the liquid crystal display device has been gradually increased. Therefore, the length of the rubbing roller for rubbing such a large glass substrate also increases in proportion to the length of the glass substrate.

상기한 바와 같은 러빙장치는 러빙롤러를 포함하는 헤드부가 기판을 고정하는 테이블의 상부에 위치하게 되는데, 이러한 구조의 러빙장치는 러빙롤러를 회전시켜 글라스기판을 러빙 처리하는 과정에서 스테이지 또는 러빙롤러가 별도의 이동 수단에 의해 일 방향으로 이동하므로 글라스기판의 일 면을 전체를 러빙 처리할 수 있다. In the rubbing apparatus described above, the head portion including the rubbing roller is positioned above the table on which the substrate is fixed. In the rubbing apparatus having such a structure, in the process of rubbing the glass substrate by rotating the rubbing roller, It is moved in one direction by a separate moving means, so that the entire surface of the glass substrate can be rubbed.

또한, 스테이지 즉 글라스기판과 러빙롤러가 이루는 각도를 변화시켜 글라스기판을 러빙 처리하는 각도를 일정 각도로 조절함으로써 화면의 왜곡현상이나 색 번짐 또는 화면 전환시 발생할 수 있는 잔상을 제거할 수 있다. In addition, by adjusting the angle of the stage, that is, the angle between the glass substrate and the rubbing roller, to rubbing the glass substrate at a certain angle, it is possible to eliminate the image distortion, color blurring,

이를 위해 종래의 러빙장치는 스테이지의 상부에 위치하는 헤드 프레임 하단의 크로스 롤러(cross roller)에 매달려 있는 러빙롤러를 포함하는 헤드부를 회전시키거나 또는 글라스기판이 고정된 스테이지 또는 테이블을 회전시켜서, 글라스기판과 러빙롤러가 이루는 각도를 변화시키고 있다. To this end, the conventional rubbing apparatus rotates a head portion including a rubbing roller suspended from a cross roller at the lower end of the head frame located at the upper portion of the stage, or rotates the stage or the table on which the glass substrate is fixed, The angle between the substrate and the rubbing roller is changed.

스테이지의 회전에 의해 글라스기판이 회전하는 경우, 러빙롤러와 글라스기판 일면과의 이격거리를 균일하게 유지하기 위해서, 스테이지의 높이를 균일하게 하는 것이 필수적이다. 그러나 러빙롤러는 글라스기판과 접촉한 상태에서 일정한 힘을 주면서 러빙공정을 수행하기 때문에, 회전이 가능한 스테이지의 높이를 일정하게 유지하는데 많은 어려움이 있는 것이 사실이다. When the glass substrate is rotated by the rotation of the stage, it is essential to make the height of the stage uniform so as to keep the spacing distance between the rubbing roller and the glass substrate uniform. However, since the rubbing roller performs a rubbing process while applying a constant force in a state of being in contact with the glass substrate, it is true that there is a great difficulty in maintaining a constant height of the rotatable stage.

그리고 최근에는 글라스기판의 배향막을 일정 방향으로 배향하기 위해서 러빙 롤러를 배향막에 접촉시켜 문지르는 기계적인 방법을 대신하여, 배향막에 소정의 파장의 편광빔을 조사하여 배향을 하는 광배향 방법이 사용되고 있다. In recent years, in place of a mechanical method of rubbing a rubbing roller against an alignment film in order to orient an alignment film of a glass substrate in a certain direction, a photo alignment method is used in which alignment film is irradiated with a polarized beam of a predetermined wavelength to orient the film.

광배향을 위해서, 일정한 세기의 빛을 조사하는 고압의 수은 램프 또는 메탈 할라이드 램프 등이 사용되고 있다. 광배향을 실시하기 위해서는, 램프에서 출력되는 광이 일정 세기 이상이 유지되어야 한다. 그러나 종래의 마이크로웨이브 방전을 이용한 램프는, 캐버티(cavity)에 일반적으로 하나의 램프가 구비되어 있기 때문에, 광의 세기를 높이는데 한계가 있었다. For light alignment, a high-pressure mercury lamp or a metal halide lamp that emits light with a constant intensity is used. In order to perform the light alignment, the light output from the lamp must be maintained at a constant intensity or more. However, conventional lamps using microwave discharge have a limitation in heightening the light intensity because a lamp is generally provided in a cavity.

미국 등록특허 US7906911US registered patent US7906911

따라서 본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위해 도출된 것으로서, 마이크로웨이브를 이용하여 충분한 광량을 확보할 수 있는 무전극 광원장치를 제공하고자 한다. SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, the present invention has been made keeping in mind the above problems occurring in the prior art, and an object of the present invention is to provide an electrodeless light source device capable of securing a sufficient amount of light by using a microwave.

본 발명의 다른 목적들은 이하에 서술되는 실시예를 통하여 더욱 명확해질 것이다.Other objects of the present invention will become more apparent through the embodiments described below.

본 발명의 일 측면에 따른 무전극 광원장치는, 마이크로웨이브에 의해 발광하는 무전극 램프와, 마이크로웨이브를 생성하는 마이크로웨이브 발생기와, 무전극 램프가 그 내부에 위치하고, 마이크로웨이브 발생기로부터 생성된 마이크로웨이브가 커플링되는 캐버티를 포함하고, 무전극 램프는 캐버티 내부에서 전기장의 세기가 최대로 되는 두 개 이상의 피크 포인트에 각각 구비되는 마이크로웨이브를 이용한다. According to an aspect of the present invention, there is provided an electrodeless light source device including: an electrodeless lamp that emits light by microwave; a microwave generator that generates a microwave; a microwave generator that is positioned inside the electrodeless lamp, Wave lamp includes a cavity to which a wave is coupled, and the electrodeless lamp uses a microwave that is provided at each of two or more peak points within the cavity at which the intensity of the electric field is maximized.

본 발명에 따른 무전극 광원장치는 다음과 같은 실시예들을 하나 또는 그 이상 구비할 수 있다. 예를 들면, 캐버티 내부에서 마이크로웨이브는 TM 모드에 의한 공진을 하고, 캐버티는 박스 형상을 가질 수 있다. The electrodeless light source device according to the present invention may include one or more of the following embodiments. For example, microwaves inside the cavity may resonate in the TM mode, and the cavity may have a box shape.

캐버티는, 고정측면을 구비하는 본체와, 이동측면을 구비하고 본체에 이동 가능하게 결합되는 이동부를 포함하고, 이동부의 이동에 의해서 고정측면과 이동측면 사이의 거리가 조정될 수 있다. The cavity includes a body having a fixed side and a movable portion having a movable side and movably coupled to the body, the distance between the fixed side and the movable side being adjustable by movement of the movable portion.

본 발명은 캐버티의 크기를 크게 하지 않으면서도 마이크로웨이브의 공진 특성을 이용하여 충분한 광량을 확보할 수 있는 무전극 광원장치를 제공할 수 있다.The present invention can provide an electrodeless light source device capable of securing a sufficient amount of light by utilizing the resonance characteristics of a microwave without increasing the size of the cavity.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 마이크로웨이브를 이용한 무전극 광원장치를 예시하는 사시도이다.
도 2는 도 1에 예시된 캐버티 내부에 무전극 램프가 배치된 상태를 예시하는 도면이다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 캐버티를 예시하는 사시도이다.
도 4는 도 3에 예시된 캐버티의 내부 구조를 예시하는 도면이다. 1 is a perspective view illustrating an microwave-assisted non-electrode light source device according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a view illustrating a state in which an electrodeless lamp is disposed inside the cavity illustrated in FIG. 1. FIG.
3 is a perspective view illustrating a cavity according to another embodiment of the present invention.
4 is a diagram illustrating the internal structure of the cavity illustrated in Fig.

본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시 예를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에서 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The present invention is capable of various modifications and various embodiments, and specific embodiments are illustrated in the drawings and will be described in detail in the detailed description. It is to be understood, however, that the invention is not to be limited to the specific embodiments, but includes all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terminology used in this application is used only to describe a specific embodiment and is not intended to limit the invention. The singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In the present application, the terms "comprises" or "having" and the like are used to specify that there is a feature, a number, a step, an operation, an element, a component or a combination thereof described in the specification, But do not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, elements, components, or combinations thereof.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. The terms first, second, etc. may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어 도면 부호에 상관없이 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 참조번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Reference will now be made in detail to embodiments of the present invention, examples of which are illustrated in the accompanying drawings, wherein like reference numerals refer to the like elements throughout the specification and claims. The description will be omitted.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 마이크로웨이브를 이용한 무전극 광원장치(100)를 예시하는 사시도이고, 도 2는 도 1에 예시된 캐버티(120)의 내부에 무전극 램프(130)가 배치된 상태를 예시하는 도면이다.FIG. 1 is a perspective view illustrating a microwave-type electrodeless light source device 100 according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a perspective view illustrating an electrodeless lamp 130 inside a cavity 120 illustrated in FIG. As shown in Fig.

도 1 내지 도 2를 참조하면, 본 실시예에 따른 마이크로웨이브를 이용한 무전극 광원장치(100)는 캐버티(120), 무전극램프(130), 도파로(140) 및 마이크로웨이브 발생기(150)를 포함한다. 1 and 2, a microwave-based electrodeless light source device 100 according to the present embodiment includes a cavity 120, an electrodeless lamp 130, a waveguide 140, and a microwave generator 150. The microwave- .

캐버티(120)는 속이 빈 공동에 해당하는 것으로 직육면체의 박스 형상을 갖는다. 캐버티(120)의 내부로 마이크로웨이브 발생기(150)에서 발생된 마이크로웨이브가 커플링(coupling)되고, 커플링된 마이크로웨이브는 TM(Transverse Magnetic) 모드에 의해 일정한 주기를 가지고 공진을 한다. 캐버티(120)의 내부에서 발생하는 마이크로웨이브의 공진에 의해서, 캐버티(120)의 내부에 위치하는 무전극 램프(130)가 발광을 하게 되는 것이다.The cavity 120 corresponds to a hollow cavity and has a box shape of a rectangular parallelepiped. The microwave generated in the microwave generator 150 is coupled to the interior of the cavity 120 and the coupled microwave resonates with a certain period by the TM (Transverse Magnetic) mode. The electrodeless lamp 130 located inside the cavity 120 emits light by the resonance of the microwave generated inside the cavity 120. [

캐버티(120)의 일 측면에는 커플러(122)가 형성되어 있다. 커플러(122)는 일정한 크기의 직사각형 슬롯(slot)에 해당할 수 있다. 커플러(122)는 도파로(140)와 연결되어 있기 때문에, 마이크로웨이브 발생기(150)에서 발생된 마이크로웨이브는 도파로(140)를 통해서 전달되어 커플러(122)를 통해서 캐버티(120)로 들어오게 된다. A coupler 122 is formed on one side of the cavity 120. The coupler 122 may correspond to a rectangular slot of a certain size. Since the coupler 122 is connected to the waveguide 140, the microwave generated in the microwave generator 150 is transmitted through the waveguide 140 and enters the cavity 120 through the coupler 122 .

캐버티(120)의 내부에는 포물선 형상의 반사경(124)이 구비되어 있다. 반사경(124)의 초점 위치에는 무전극 램프(130)가 위치할 수 있는데, 이로 인해 무전극 램프(130)에서 발광된 빛은 반사경(124)을 통해서 반사되어서 와이어 메쉬(126) 방향으로 입사할 수 있게 된다. Inside the cavity 120, a parabolic reflector 124 is provided. The non-electrode lamp 130 may be positioned at the focal point of the reflector 124 so that the light emitted from the non-electrode lamp 130 is reflected through the reflector 124 and incident on the wire mesh 126 .

와이어 메쉬(126)는 캐버티(120)의 일 측면에 구비되어 있는 것으로, 마이크로웨이브가 캐버티(120)의 외부로 방출되는 것을 차단하고, 무전극 램프(130)에서 발생된 빔(beam)이 캐버티(120)의 외부로 방출될 수 있게 한다.The wire mesh 126 is provided on one side of the cavity 120 to prevent the microwave from being emitted to the outside of the cavity 120 and to transmit the beam generated from the electrodeless lamp 130, To be discharged to the outside of the cavity 120.

캐버티(120)의 내부에서 마이크로웨이브는 TM 모드에 의해 일정한 주기를 가지고 공진을 한다. TMNMO 모드의 캐버티(120)의 내부에서, 전기장은 단일 방향을 갖고 전기장의 세기도 동일하다. 따라서 선형의 무전극 램프(130)가 캐버티(120)의 내부에서 전기장의 방향과 동일하게 위치하면, 무전극 램프(130)에 작용을 하는 전기장은 캐버티(120)의 길이 방향에 대해서 균일하고 무전극 램프(130)의 길이 방향 전체에 대해 균일한 강도를 갖게 된다. Inside the cavity 120, the microwave resonates with a constant period by the TM mode. Inside the cavity 120 of the TM NMO mode, the electric field has a single direction and the electric field intensity is the same. The electric field acting on the electrodeless lamp 130 is uniformly distributed in the longitudinal direction of the cavity 120. Therefore, when the linear electrode lamp 130 is positioned within the cavity 120 in the same direction as the electric field, And has a uniform intensity with respect to the entire longitudinal direction of the electrodeless lamp 130.

도 2를 참조하면, TM 모드에서 캐버티(120)의 내부의 전자기 파동은 전기장의 세기가 제로(null)이 되는 지점(zero-crossing point)를 기준으로 반사 특성이 발견됨을 알 수 있다. 도 2에서 캐버티(120)의 내부에는 전기장의 세기가 최대로 되는 2개의 지점 즉 피크 포인트(peak point)가 두 개 존재한다. 피크 포인트에는 전기장의 세기가 최대로 되기 때문에, 두 개의 무전극 램프(130)가 두 개의 피크 포인트에 각각 위치한다. 각각의 피크 포인트에 위치하는 무전극 램프(130)는, 피크 포인트 이외에 위치하는 경우에 비해서 발광 효율이 높게 나타난다. Referring to FIG. 2, in the TM mode, the electromagnetic wave inside the cavity 120 is found to have a reflection characteristic based on a zero-crossing point at which the intensity of the electric field becomes null. In FIG. 2, there are two points, that is, peak points, at which the intensity of the electric field is maximized inside the cavity 120. Since the peak point has the maximum intensity of the electric field, two electrodeless lamps 130 are located at two peak points, respectively. The electrodeless lamp 130 located at each peak point exhibits a higher luminous efficiency than when it is located at a point other than the peak point.

이와 같이, 하나의 캐버티(120)에 두 개의 무전극 램프(130)가 위치하기 때문에, 무전극 램프(130)가 하나인 경우에 비해서 광량의 세기를 확대할 수 있다. 또한, 하나의 캐버티(120) 내부에 두 개의 피크 포인트가 존재하기 때문에 두 개의 무전극 램프(130)를 이용하여 광량의 세기를 확대하면서도 캐버티(120)에 커플링되는 마이크로웨이브의 세기를 증가할 필요가 없게 된다. Since the two electrodeless lamps 130 are located in one cavity 120, the intensity of light can be increased as compared with the case where only one electrodeless lamp 130 is used. In addition, since two peak points exist in one cavity 120, the magnitude of the intensity of the microwave using the two electrodeless lamps 130 is increased while the intensity of the microwave coupled to the cavity 120 is increased There is no need to increase.

도 2에서 캐버티(120)의 중심을 통과하는 부분에서는 전기장의 세기가 제로(null)가 된다. In FIG. 2, the intensity of the electric field becomes null at a portion passing through the center of the cavity 120.

본 실시예에 따른 마이크로웨이브를 이용한 무전극 광원장치(100)는, 캐버티(120)의 내부에 두 개의 피크 포인트가 존재하여서 두 개의 무전극 램프(130)를 구비하는 것으로 예시하였다. 그러나 이는 예시적인 것으로, TM 모드의 특성에 따라서 캐버티(120)의 내부에는 세 개 이상의 피크 포인트가 존재할 수도 있으며, 이때, 캐버티(120)에는 세 개 이상의 무전극 램프(130)가 각각의 피크 포인트에 위치할 수 있다. The microwave-assisted non-electrode light source device 100 according to the present embodiment has two peak points inside the cavity 120 and has two non-electrode lamps 130. [ However, it is to be noted that three or more peak points may exist in the cavity 120 depending on the characteristics of the TM mode. In this case, three or more electrodeless lamps 130 may be disposed in the cavity 120, Can be located at the peak point.

그리고 캐버티(120)는 직육면체 형상을 갖는 것으로 예시하였지만, 원통 형상을 가질 수도 있음은 물론이다.Although the cavity 120 has been described as having a rectangular parallelepiped shape, it is needless to say that the cavity 120 may have a cylindrical shape.

무전극 램프(130)는 전극을 구비하지 않는 램프에 해당하는 것으로, 캐버티(120)의 내부에서 마이크로웨이브에 의해 발광을 하게 된다. 본 실시예에 따른 무전극 램프(130)는 마이크로웨이브에 의해 자외선(UV)을 방출할 수 있다. The electrodeless lamp 130 corresponds to a lamp not having an electrode, and emits light by a microwave in the cavity 120. The electrodeless lamp 130 according to the present embodiment may emit ultraviolet rays (UV) by a microwave.

도파로(140)는 마이크로웨이브 발생기(150)에서 생성된 마이크로웨이브를 캐버티(120)에 전달할 수 있는 통로를 제공한다. 도파로(140)는 동축케이블(coaxial cable)에 해당할 수 있다. 유연성을 갖는(flexible) 동축케이블은 마이크로웨이브 발생기(150)의 위치를 캐버티(120)에서 일정 거리만큼 이격되게 할 수 있기 때문에, 장치의 설계 및 배치에 편리성을 제공한다. The waveguide 140 provides a passage through which the microwave generated in the microwave generator 150 can be transmitted to the cavity 120. [ The waveguide 140 may correspond to a coaxial cable. Flexible coaxial cables provide convenience in design and placement of the device since the position of the microwave generator 150 can be spaced a distance from the cavity 120. [

마이크로웨이브 발생기(150)는 마그네트론에 해당하는 것으로 마이크로웨이브를 생성한다. The microwave generator 150 corresponds to a magnetron and generates microwaves.

이하에서는 도 3 내지 도 4를 참조하면서 본 발명의 다른 실시예에 따른 마이크로웨이브를 이용한 무전극 광원장치의 캐버티(220)에 대해서 설명하기로 한다. Hereinafter, the cavity 220 of the microwave-assisted non-electrode light source device according to another embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 3 to 4. FIG.

도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 캐버티(220)를 예시하는 사시도이고, 도 4는 도 3에 예시된 캐버티(220)의 내부 구조를 예시하는 도면이다.FIG. 3 is a perspective view illustrating a cavity 220 according to another embodiment of the present invention, and FIG. 4 is a view illustrating an internal structure of the cavity 220 illustrated in FIG.

마이크로웨이브의 공진을 위한 캐버티는 그 내부의 크기가 공진에 영향을 미친다. 따라서 캐버티(220)의 내부 크기가 변경되면 마이크로웨이브의 공진에도 변화가 발생한다. 그리고 캐버티(220)의 내부에 위치하는 무전극 램프(130)는, 발광을 시작할 때 및 발광을 시작한 후 발광 상태를 유지할 때 필요한 적정 마이크로웨이브의 세기가 다를 수 있다. Cavity for microwave resonance affects resonance inside size. Therefore, when the internal size of the cavity 220 is changed, the resonance of the microwave also changes. The electrodeless lamp 130 located inside the cavity 220 may have different intensity of an appropriate microwave to start emitting light and maintaining a light emitting state after starting light emission.

따라서 본 실시예에 따른 캐버티(220)는 이동부(228)를 구비하여 그 내부의 크기를 변경할 수 있도록 하여서, 무전극 램프(130)가 발광을 시작할 때와 발광을 시작한 후에 필요한 적정 공진 상태를 유발할 수 있도록 한다. Therefore, the cavity 220 according to the present embodiment includes the moving unit 228 to change the size of the inside of the cavity 228, so that when the electrodeless lamp 130 starts to emit light, .

캐버티(220)는 본체(222)와, 본체(222)에 대해 슬라이드(slide) 이동 가능하게 결합된 이동부(228)를 포함한다. 본체(222)는 고정측면(224)을 구비하고, 이동부(228)는 고정측면(224)에 대향되는 이동측면(232)을 구비한다. 이동부(228)의 이동에 의해서 고정측면(224)과 이동측면(232) 사이의 간격을 조정함으로써, 무전극 램프(130)의 발광이 시작될 때와 발광을 시작한 후 발광 상태를 유지할 때 적정한 공진 상태를 유지할 수 있게 된다. The cavity 220 includes a body 222 and a moving portion 228 that is slidably coupled to the body 222. The body 222 has a fixed side 224 and the movable part 228 has a moving side 232 opposite the fixed side 224. The gap between the stationary side surface 224 and the moving side surface 232 is adjusted by the movement of the moving part 228 so that when the light emission of the electrodeless lamp 130 is started and when the light emitting state is maintained after the light emission starts, State can be maintained.

상기에서는 본 발명의 일 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.While the present invention has been described with reference to exemplary embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, but, on the contrary, is intended to cover various modifications and equivalent arrangements included within the spirit and scope of the appended claims. It will be understood that the invention may be varied and varied without departing from the scope of the invention.

120. 220: 캐버티 122: 커플러
124: 반사경 126: 와이어 메쉬
130: 무전극 램프 140: 도파로
150: 마이크로웨이브 발생기 222: 본체
224: 고정측면 228: 이동부
232: 이동측면120. 220: Cavity 122: Coupler
124: reflector 126: wire mesh
130: Electrodeless lamp 140: Waveguide
150: Microwave generator 222:
224: fixed side 228: moving part
232: Moving side

Claims (3)

마이크로웨이브에 의해 발광하는 무전극 램프;
마이크로웨이브를 생성하는 마이크로웨이브 발생기; 및
상기 무전극 램프가 그 내부에 위치하고, 상기 마이크로웨이브 발생기로부터 생성된 마이크로웨이브가 커플링되는 캐버티를 포함하고,
상기 무전극 램프는 상기 캐버티 내부에서 전기장의 세기가 최대로 되는 두 개 이상의 피크 포인트에 각각 위치하며,
상기 캐버티는, 고정측면을 구비하는 본체와, 이동측면을 구비하고 상기 본체에 이동 가능하게 결합되는 이동부를 포함하고,
상기 이동부의 이동에 의해서 상기 고정측면과 상기 이동측면 사이의 거리가 조정되는 마이크로웨이브를 이용한 무전극 광원장치.An electrodeless lamp which emits light by microwaves;
A microwave generator for generating a microwave; And
And a cavity in which the electrodeless lamp is located and to which a microwave generated from the microwave generator is coupled,
Wherein the electrodeless lamp is located at two or more peak points within the cavity at which the intensity of the electric field is maximized,
Wherein the cavity includes a body having a fixed side, a movable portion having a movable side and movably coupled to the body,
Wherein a distance between the fixed side and the movable side is adjusted by movement of the movable part. 제1항에 있어서,
상기 캐버티 내부에서 마이크로웨이브는 TM 모드에 의한 공진을 하고,
상기 캐버티는 박스 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 마이크로웨이브를 이용한 무전극 광원장치.

The method according to claim 1,
The microwave inside the cavity resonates by the TM mode,
Wherein the cavity has a box shape.

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