KR101476098B1 - Method of inserting nano particles and manufacturing a photo functional layer using the same - Google Patents

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김양두
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고려대학교 산학협력단
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Abstract

According to a method for inserting nanoparticles, nanoparticles having a hollow structure are aligned on a base, and a preliminary polymer thin film formed of polymer is formed on the base with the nanoparticles aligned thereon. The upper portion of the preliminary polymer thin film is cured while being pressed so that a polymer thin film is formed on the base.

Description

나노 파티클의 삽입 방법 및 이를 이용한 광 기능층 구조물의 제조 방법{METHOD OF INSERTING NANO PARTICLES AND MANUFACTURING A PHOTO FUNCTIONAL LAYER USING THE SAME}TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to a method of inserting nanoparticles and a method of manufacturing the same,

본 발명은 나노 파티클의 삽입 방법 및 이를 이용한 광 기능층 구조물의 제조 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 중공 구조를 갖는 나노 파티클들을 대상체 내부에 삽입하는 나노 파티클의 삽입 방법 및 상기 나노 파티클의 삽입 방법을 이용하여 광 기능층 구조물을 제조하는 광 기능층의 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method of inserting nanoparticles and a method of manufacturing an optical functional layer structure using the same, and more particularly, to a method of inserting a nanoparticle having a hollow structure into a target object and a method of inserting the nanoparticle To a method of manufacturing an optical functional layer structure using the same.

태양 전지 및 발광 다이오드는 광을 흡수하거나 광을 발생하는 광전자 소자에 해당한다. 상기 태양 전지는 빛을 흡수하여 전기를 발생하는 한편, 상기 발광 다이오드는 여기 상태의 전자가 안정 상태로 이동하면서 광을 발생시킨다. Solar cells and light emitting diodes correspond to optoelectronic devices that absorb light or generate light. The solar cell absorbs light to generate electricity, while the light emitting diode generates light while electrons in the excited state move to a stable state.

상기 태양 전지에는 태양열에 의해 발생한 증기를 이용하여 터빈을 회전시겨 전기를 발생하는 태양열 전지와, 반도체의 성질을 이용하여 태양빛(photons)을 전기에너지로 변환시키는 태양광 전지로 구분될 수 있다.The solar cell can be classified into a solar cell that generates electricity by rotating the turbine using steam generated by the solar heat, and a solar cell that converts sunlight (photons) into electrical energy using the property of the semiconductor .

상기 태양광 전지의 일종으로 현재까지 가격대 발전량이 우수한 실리콘 기반 태양전지가 시장 및 연구 발전에 우위를 차지하고 있다. 하지만, 상기 실리콘 기반 태양전지는 그 제작 공정이 복잡하며 공정 비용이 비싸 원가 절감에 한계가 있으며 또한 사용 가능한 기판이 한정적이다. 이에 대한 대안으로서 개발된 박막형 태양전지는 유리, 금속, 고분자 등 다양한 기판에 제작이 가능하기에 다양한 분야에 적용이 가능하다. 또한, 제조 공정이 간단하여 제작 공정비용을 절감할 수 있는 장점을 지니고 있다. 하지만 상기 박막형 태양전지는 광흡수층을 매우 얇게 제작하기에 충분한 광흡수를 하지 못하며 이에 따라 효율이 낮다는 단점을 지니고 있다. 이러한 단점을 극복하기 위하여 입사광에 대하여 흡수층 내부에서 광 경로 확산에 의한 흡수율 증대가 요구된다.[0003] Silicon-based solar cells, which are a kind of the above-described photovoltaic cells and have excellent price-generating power up to now, are dominating the market and research. However, the above-described silicon-based solar cell has a complicated manufacturing process and has a limitation in cost reduction due to a high process cost, and also a usable substrate is limited. The thin film solar cell developed as an alternative to this can be applied to various fields because it can be manufactured on various substrates such as glass, metal, and polymer. In addition, the manufacturing process is simple and the manufacturing process cost can be reduced. However, the thin film solar cell has a disadvantage that it does not absorb light enough to make the light absorbing layer very thin, and accordingly, the efficiency is low. In order to overcome this disadvantage, it is required to increase the absorption rate by the light path diffusion in the absorption layer with respect to the incident light.

즉, 유기 태양전지에 포함된 광흡수층은 105cm-1의 높은 흡수도를 지니고 있다. 따라서, 상기 광흡수층은 100nm 두께 이상의 두께를 가질 경우, 상기 광흡수층은 충분하게 광흡수할 수 있다. 하지만 상기 광흡수층 내부에서 전자 이동도는 약 10-4cmV-1s-1 에 불과하여, 약 10nm 정도의 이동만이 가능하기에 100nm미만의 얇은 두께를 갖는 흡수층으로 제작이 요구된다. 따라서, 상기 광흡수층의 낮은 효율을 개선하기 위해서, 상기 광흡수층 내부에 광학적 기능을 갖는 패턴층의 삽입이 요구된다.That is, the light absorbing layer included in the organic solar cell has a high absorption of 10 5 cm -1 . Therefore, when the light absorbing layer has a thickness of 100 nm or more, the light absorbing layer can sufficiently absorb light. However, since the electron mobility in the light absorbing layer is only about 10 -4 cmV -1 s -1 , it is possible to move only about 10 nm. Therefore, it is required to fabricate an absorbing layer having a thin thickness of less than 100 nm. Therefore, in order to improve the low efficiency of the light absorbing layer, insertion of a pattern layer having an optical function into the light absorbing layer is required.

한편, 최근에 유연 소자에 대한 관심과 수요의 증가로 인하여 유연 기판을 포함하는 광전자 소자 제작에 대한 연구가 진행되고 있으며 상기 유연 기판에 적합한 유기 소자의 연구 또한 급증하고 있다. Meanwhile, due to interest in flexible devices and increase in demand, researches on fabrication of optoelectronic devices including flexible substrates are underway, and studies on organic devices suitable for the flexible substrates have also been rapidly increasing.

상기 유기 소자는 그 제작이 용이하며 대면적화가 가능하며 유연 기판 상부에 제작이 가능하여 다양한 분야에 적용이 가능하다는 장점을 지니고 있다. 하지만 이러한 여러 장점을 가진 유기소자 발광 효율이 낮다는 단점을 지니고 있다. The organic device is advantageous in that it can be easily manufactured, can be made large, and can be fabricated on a flexible substrate, so that it can be applied to various fields. However, it has a disadvantage that the luminous efficiency of the organic device having such various advantages is low.

특히, 발광다이오드의 성능은 크게 내부양자효율과 외부양자효율로 나뉘는데 내부양자효율은 주입된 전자에 따라 발생하는 광자의 양을 말하며 외부양자 효율은 생성된 광자가 소자의 외부로 추출되는 정도를 말한다. 상기 외부양자 효율은 광추출효율에 따라 결정된다. In particular, the performance of a light emitting diode is largely divided into internal quantum efficiency and external quantum efficiency. Internal quantum efficiency refers to the amount of photons generated according to injected electrons, and external quantum efficiency refers to the degree to which generated photons are extracted to the outside of the device . The external quantum efficiency is determined according to the light extraction efficiency.

상기 광추출 효율을 개선시키기 위하여 소자 표면에 패턴을 삽입하여 광의 난반사를 통하여 전반사를 효과적으로 줄이려는 연구가 진행되어 왔다. 특히, 유기 발광소자의 내부 전반사에 의한 효율 감소는 투명도전산화(transparent conductive oxide; TCO)막 및 기판 사이에서 대부분 발생한다. 따라서 기판 내부에 패턴을 형성할 경우, 상기 기판을 포함하는 유기발광소자가 매우 얇은 두께를 가짐에 따라 상기 기판의 평탄도가 악화됨으로써 상기 유기발광소자의 효율이 악화될 수 있다. 따라서, 개선된 평탄도 및 우수한 광학 기능을 갖는 광 기능층 구조물에 대한 연구가 요구되고 있다.In order to improve the light extraction efficiency, research has been conducted to insert a pattern on the device surface to effectively reduce total reflection through diffused reflection of light. In particular, efficiency reduction due to total internal reflection of the organic light emitting device occurs mostly between a transparent conductive oxide (TCO) film and a substrate. Accordingly, when the pattern is formed in the substrate, the flatness of the substrate is deteriorated as the organic light emitting device including the substrate has a very thin thickness, thereby deteriorating the efficiency of the organic light emitting device. Therefore, there is a demand for research on an optical functional layer structure having improved flatness and excellent optical function.

본 발명은 이와 같은 문제점을 감안한 것으로써, 본 발명의 일 목적은 대상체에 나노 파티클을 용이하게 삽입할 수 있는 나노 파티클의 삽입 방법을 제공하는 것이다.The present invention has been made in view of the above problems, and it is an object of the present invention to provide a method for inserting nanoparticles into a target object.

본 발명의 다른 목적은 상기 나노 파티클의 삽입 방법을 이용하여 내부에 나노 파티클이 삽입된 광 기능층 구조물을 제조하는 방법을 제공하는 것이다.It is another object of the present invention to provide a method of fabricating an optical functional layer structure having nanoparticles inserted therein using the method of inserting nanoparticles.

본 발명의 일 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시예에 따른 나노 파티클의 삽입 방법에 따르면, 베이스 상에 중공 구조의 나노 파티클들을 정렬시킨 후, 상기 나노 파티클들이 정렬된 베이스 상에 폴리머로 이루어진 예비 폴리머 박막을 형성한다. 상기 예비 폴리머 박막의 상부를 가압하면서 경화시켜 상기 베이스 상에 폴리머 박막을 형성한다. According to an aspect of the present invention, there is provided a method of inserting nanoparticles according to an embodiment of the present invention, comprising: aligning nanoparticles having a hollow structure on a base; To form a preliminary polymer thin film. The upper part of the preliminary polymer thin film is hardened while being pressed to form a polymer thin film on the base.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 베이스는 고분자 물질로 이루어지며, 상기 베이스 상에 중공 구조의 나노 파티클들을 정렬시키기 위하여, 상기 베이스 상에 상기 나노 파티클들이 분산된 용액을 상기 베이스 상에 공급하여 상기 베이스 상에 코팅막을 형성한 후, 상기 고분자 물질의 전이 온도 이상에서 상기 코팅막을 가압하여 상기 나노 파티클들을 상기 베이스의 상부 표면에 고정시킨다. In one embodiment of the present invention, the base is made of a polymer material, and in order to align the nanoparticles of the hollow structure on the base, a solution in which the nanoparticles are dispersed on the base is supplied onto the base After the coating film is formed on the base, the coating film is pressed at a temperature higher than the transition temperature of the polymer material to fix the nanoparticles on the upper surface of the base.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 베이스가 금속 또는 유리로 이루어지며, 상기 베이스 상에 중공 구조의 나노 파티클들을 정렬시키기 위하여, 상기 베이스 상에 액상을 갖는 예비 버퍼층을 형성한 후, 상기 나노 파티클들을 상기 예비 버퍼층 상에 정렬시킨다. 이후, 상기 예비 버퍼층을 경화시켜 상기 나노 파티클들이 상부 표면에 고정된 버퍼층을 형성한다. 여기서, 상기 버퍼층을 상기 베이스와 실질적으로 동일한 굴절율을 갖는 물질로 이루어 질 수 있다.In one embodiment of the present invention, the base is made of metal or glass. In order to align the nanoparticles of the hollow structure on the base, a pre-buffer layer having a liquid phase is formed on the base, Are aligned on the preliminary buffer layer. Thereafter, the buffer layer is cured to form a buffer layer on the upper surface of the nanoparticles. Here, the buffer layer may be made of a material having substantially the same refractive index as the base.

본 발명의 일 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시예에 따른 광기능층 구조물의 제조 방법에 따르면, 기판 상에 액상을 갖는 제1 예비 기능층을 형성한 후, 상기 제1 예비 기능층 상에 중공 구조의 나노 파티클들을 정렬시킨다. 상기 나노 파티클들이 정렬된 상기 제1 예비 기능층 상에 제2 예비 기능층을 형성한 후, 상기 제2 예비 기능층의 상부를 가압하면서 상기 제1 및 제2 예비 기능층들을 경화시켜 상기 기판 상에 상기 나노 파티클들이 내부에 분산된 기능층을 형성한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method of fabricating a photonic layer structure, comprising: forming a first preliminary functional layer having a liquid phase on a substrate; Align nanoparticles of hollow structure. Forming a second preliminary functional layer on the first preliminarily functional layer having the nanoparticles aligned and then curing the first and second preliminary functional layers while pressing the upper portion of the second preliminary functional layer, A functional layer in which the nanoparticles are dispersed is formed.

본 발명의 실시예에 있어서, 상기 기능층은 전자 수송층 또는 정공 수송층에 해당할 수 있다. 이와 다르게, 상기 기능층은 광흡수층에 해당할 수 있다.In an embodiment of the present invention, the functional layer may correspond to an electron transporting layer or a hole transporting layer. Alternatively, the functional layer may correspond to a light absorbing layer.

본 발명의 실시예에 있어서, 상기 제1 및 제2 예비 기능층들은 상호 동일한 물질로 이루어질 수 있다.In an embodiment of the present invention, the first and second spare functional layers may be made of the same material.

상술한 다층 구조의 선격자 편광자의 제조 방법에 따르면, 2회의 이방성 증착 공정을 통하여 상기 제1 나노 폴리머 패턴의 저부 및 상부에 각각 제1 격자 패턴들이 형성하고 상기 제2 나노 폴리머 패턴의 저부 및 상부에 각각 제2 격자 패턴들이 형성됨으로써 서로 다른 평면에 제1 및 제2 격자 패턴들이 형성되는 효과를 가질 수 있다. 따라서, 2회의 이방성 증착 공정을 통하여 4층의 격자 패턴을 갖는 다층 구조물 선격자 편광자가 제조될 수 있다. 나아가, 상기 제1 및 제2 나노 폴리머 패턴의 각형상을 조절함으로써 상기 제1 및 제2 격자 패턴들의 형상 및 배치가 용이하게 조절될 수 있다. 결과적으로 다층 구조물 선격자 편광자의 편광 기능이 용이하게 조절될 수 있다.According to the above-described method for producing a linear grating polarizer having a multilayer structure, first grid patterns are formed on the bottom and top of the first nanopolymer pattern through two anisotropic deposition processes, respectively, The first and second lattice patterns may be formed on different planes. Therefore, a multi-layered structure grating polarizer having a four-layered grating pattern can be manufactured through two anisotropic deposition processes. Furthermore, by adjusting the shape of each of the first and second nanopolymer patterns, the shape and arrangement of the first and second grid patterns can be easily adjusted. As a result, the polarizing function of the multi-layered linear polarizer can be easily controlled.

한편, 제1 및 제2 격자 패턴들 각각은 등방성 증착 공정 및 이방성 식각 공정을 통하여 상기 제1 및 제2 돌출부들 각각의 양 측벽들에 형성됨으로써 상기 제1 및 제2 격자 패턴들 각각은 상대적으로 미세한 두께 및 피치를 가질 수 있다. 따라서, 미세 피치 및 두께를 갖는 제1 및 제2 격자 패턴들이 용이하게 형성될 수 있다.Each of the first and second lattice patterns is formed on both side walls of each of the first and second protrusions through an isotropic deposition process and an anisotropic etching process so that each of the first and second lattice patterns is relatively It can have a fine thickness and pitch. Thus, the first and second grating patterns having fine pitches and thicknesses can be easily formed.

도 1 내지 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 나노 파티클의 삽입 방법을 설명하기 위한 단면도들이다.
도 6 내지 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 나노 파티클의 삽입 방법을 설명하기 위한 단면도들이다.
도 10 내지 도 13은 본 발명의 일 실시예에 따른 광 기능층 구조물의 제조 방법을 설명하기 위한 단면도들이다.
1 to 5 are cross-sectional views illustrating a method of inserting nanoparticles according to an embodiment of the present invention.
6 to 9 are cross-sectional views illustrating a method of inserting nanoparticles according to an embodiment of the present invention.
10 to 13 are cross-sectional views for explaining a method of manufacturing an optical functional layer structure according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 첨부된 도면에 있어서, 대상물들의 크기와 양은 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대 또는 축소하여 도시한 것이다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The present invention is capable of various modifications and various forms, and specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail in the text. It should be understood, however, that the invention is not intended to be limited to the particular forms disclosed, but includes all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention. In the accompanying drawings, the sizes and the quantities of objects are shown enlarged or reduced from the actual size for the sake of clarity of the present invention.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.The terms first, second, etc. may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. For example, without departing from the scope of the present invention, the first component may be referred to as a second component, and similarly, the second component may also be referred to as a first component.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "구비하다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 단계, 기능, 구성요소 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 다른 특징들이나 단계, 기능, 구성요소 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terminology used in this application is used only to describe a specific embodiment and is not intended to limit the invention. The singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In the present application, the terms "comprise", "comprising" and the like are intended to specify that there is a stated feature, step, function, element, or combination thereof, Quot; or " an " or < / RTI > combinations thereof.

한편, 다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
On the other hand, unless otherwise defined, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs. Terms such as those defined in commonly used dictionaries are to be interpreted as having a meaning consistent with the contextual meaning of the related art and are to be interpreted as either ideal or overly formal in the sense of the present application Do not.

나노 파티클의 삽입 방법How to insert nanoparticles

도 1 내지 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 나노 파티클의 삽입 방법을 설명하기 위한 단면도들이다.1 to 5 are cross-sectional views illustrating a method of inserting nanoparticles according to an embodiment of the present invention.

도 1 내지 도 2b를 참조하면, 베이스 상에 나노 파티클들을 정렬시킨다. 상기 베이스는 고분자 물질로 이루어질 수 있다. 이와 다르게, 상기 베이스는 유리 또는 금속으로 이루어 질 수 있다.Referring to Figures 1 and 2B, nanoparticles are aligned on a base. The base may be made of a polymer material. Alternatively, the base can be made of glass or metal.

상기 나노 파티클들은 그 내부에 중공이 형성된 중공 구조를 가질 수 있다. 이로써 상기 나노 파티클들이 우수한 광학 특성을 가질 수 있다.The nanoparticles may have a hollow structure in which a hollow is formed. Whereby the nanoparticles can have excellent optical properties.

상기 나노 파티클들은 은, 금, 백금, 니켈, 팔라듐, 황화납 등과 같은 금속 물질로 이루어질 수 있다. 이와 다르게, 상기 나노 파티클들은 구리 산화물,주석 산화물, 실리콘 산화물, 티타늄 산화물, 아연 산화물 등과 같은 산화물로 이루어질 수 있다.The nanoparticles may be formed of a metal material such as silver, gold, platinum, nickel, palladium, lead sulfide, or the like. Alternatively, the nanoparticles may be composed of oxides such as copper oxide, tin oxide, silicon oxide, titanium oxide, zinc oxide, and the like.

도 2a 및 2b를 참조하여 상기 베이스 상에 상기 나노 파티클들을 정렬시키기 위는 공정을 자세히 설명하기로 한다. 이때 상기 베이스는 고분자 물질로 이루어진다.The process for aligning the nanoparticles on the base will be described in detail with reference to FIGS. 2A and 2B. At this time, the base is made of a polymer material.

도 1을 참조하면, 상기 베이스 상에 나노 파티클들이 분산된 용액을 공급한다. 이로써 상기 베이스 상에 코팅막이 형성될 수 있다. Referring to FIG. 1, a solution in which nanoparticles are dispersed is supplied onto the base. Thus, a coating film can be formed on the base.

도 2a를 참조하면, 상기 베이스를 이루는 고분자 물질의 유리전이 온도 이상에서 가압 부재를 이용하여 상기 코팅막을 상기 베이스를 향하여 가압한다. 이로써 상기 베이스는 액화되며 이때, 상기 나노 파티클들을 상기 베이스의 상부 표면에 고정될 수 있다.Referring to FIG. 2A, the coating film is pressed toward the base using a pressing member at a temperature higher than the glass transition temperature of the polymer material forming the base. Whereby the base is liquefied, wherein the nanoparticles can be secured to the upper surface of the base.

도 2b를 참조하면, 상기 나노 파티클들을 상기 베이스의 상부 표면에 고정된 상태에서 상기 가압 부재를 이형한다. 이때, 상기 베이스를 냉각시켜 상기 나노 파티클들이 상기 베이스의 상부 표면에 고정된 상태를 유지할 수 있다.Referring to FIG. 2B, the pressing member is released while the nanoparticles are fixed to the upper surface of the base. At this time, the base may be cooled to keep the nanoparticles fixed on the upper surface of the base.

도 3을 참조하면, 상기 나노 파티클들이 고정된 상기 베이스 상에 예비 폴리머 박막을 형성한다. 상기 예비 폴리머 박막은 상기 베이스와 실질적으로 동일한 굴절율을 갖는 물질로 이루어질 수 있다. 이와 다르게, 상기 예비 폴리머 박막은 그 상부에 형성된 상부막과 실질적으로 동일한 굴절율을 갖는 물질로 이루어 질 수 있다. 또한 상기 예비 폴리머 박막은 열경화성 또는 UV 경화성 물질로 이루어질 수 있다. 이로써 상기 예비 폴리머 박막은 후속하여 열 또는 자외선을 이용한 경화 공정에서 경화될 수 있다. Referring to FIG. 3, a preliminary polymer thin film is formed on the base on which the nanoparticles are immobilized. The pre-polymer thin film may be made of a material having substantially the same refractive index as the base. Alternatively, the pre-polymer thin film may be made of a material having substantially the same refractive index as the top film formed thereon. The pre-polymer thin film may also be made of a thermosetting or UV curable material. Whereby the pre-polymer thin film can subsequently be cured in a curing process using heat or ultraviolet light.

한편, 상기 예비 폴리머 박막은 스핀 코팅 공정을 통하여 형성할 수 있다. 상기 스핀 코팅 공정을 통하여 상기 예비 폴리머 박막은 전체적으로 균일한 두께를 가질 수 있다. Meanwhile, the preliminary polymer thin film may be formed through a spin coating process. Through the spin coating process, the preliminary polymer thin film may have a uniform overall thickness.

도 4를 참조하면, 상기 예비 폴리머 박막을 상기 베이스를 향하여 가압 부재를 이용하여 가압하면서 상기 예비 폴리머 박막을 경화시킨다. 이로써 상기 예비 폴리머 박막은 폴리머 박막으로 변환된다. 이때 상기 나노 파티클들은 부분적으로 상기 폴리머 박막의 하부 표면에 위치할 수 있다. 이로써 상기 나노 파티클들은 상기 베이스 및 상기 폴리머 박막 사이의 계면에 위치할 수 있다. Referring to FIG. 4, the preliminary polymer thin film is pressed toward the base using a pressing member to cure the preliminary polymer thin film. Whereby the preliminary polymer thin film is converted into a polymer thin film. Wherein the nanoparticles may be partially located on the lower surface of the polymer film. Whereby the nanoparticles may be located at the interface between the base and the polymer film.

도 5를 참조하면, 상기 가압 부재를 상기 폴리머 박막으로부터 이형시킨다. 결과적으로 상기 나노 파티클들이 내부에 삽입된 구조물이 형성될 수 있다. 이로써중공 구조의 나노 파티클이 용이하게 삽입될 수 있다. Referring to Fig. 5, the pressing member is released from the polymer thin film. As a result, a structure in which the nanoparticles are inserted may be formed. As a result, the nanoparticles of the hollow structure can be easily inserted.

도 6 내지 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 나노 파티클의 삽입 방법을 설명하기 위한 단면도들이다.6 to 9 are cross-sectional views illustrating a method of inserting nanoparticles according to an embodiment of the present invention.

도 6을 참조하면, 베이스 상에 예비 버퍼층을 형성한다. 이때, 상기 베이스는 유리 또는 금속으로 이루어 질 수 있다. 상기 베이스의 상부 표면에 나노 파티클들을 삽입하는 데 어려움이 있으므로 상기 예비 버퍼층이 요구된다.Referring to FIG. 6, a preliminary buffer layer is formed on the base. At this time, the base may be made of glass or metal. There is a difficulty in inserting nanoparticles into the upper surface of the base, so that the above-mentioned spare buffer layer is required.

상기 예비 버퍼층은 예를 들면 고분자 물질로 이루어질 수 있다. 이로써 상기 예비 버퍼층은 후속하는 자외선 또는 열을 이용하는 경화 공정에 의하여 경화될 수 있다. The spare buffer layer may be made of a polymer material, for example. Whereby the pre-buffer layer can be cured by a subsequent curing process using ultraviolet light or heat.

이어서, 상기 예비 버퍼층 상에 상기 나노 파티클들을 정렬시킨다. 상기 나노 파티클들은 스프레이 공정을 통하여 상기 예비 버퍼층 상에 정렬될 수 있다. 또한 상기 나노 파티클들이 분산된 용액이 상기 예비 버퍼층 상에 공급됨으로써 상기 나노 파티클들이 정렬될 수 있다.Next, the nanoparticles are aligned on the preliminary buffer layer. The nanoparticles may be aligned on the pre-buffer layer through a spray process. Also, the nanoparticles may be aligned by supplying a solution in which the nanoparticles are dispersed on the preliminary buffer layer.

도 7을 참조하면, 상기 나노 파티클들이 정렬된 상기 예비 버퍼층 상에 예비 폴리머 박막을 형성한다. 상기 예비 폴리머 박막은 상기 베이스와 실질적으로 동일한 굴절율을 갖는 물질로 이루어질 수 있다. 이와 다르게, 상기 예비 폴리머 박막은 그 상부에 형성된 상부막과 실질적으로 동일한 굴절율을 갖는 물질로 이루어 질 수 있다. Referring to FIG. 7, a preliminary polymer thin film is formed on the preliminary buffer layer in which the nanoparticles are aligned. The pre-polymer thin film may be made of a material having substantially the same refractive index as the base. Alternatively, the pre-polymer thin film may be made of a material having substantially the same refractive index as the top film formed thereon.

또한 상기 예비 폴리머 박막은 열경화성 또는 UV 경화성 물질로 이루어질 수 있다. 이로써 상기 예비 폴리머 박막은 후속하여 열 또는 자외선을 이용한 경화 공정에서 경화될 수 있다. 그리고, 상기 예비 폴리머 박막은 상기 예비 버퍼층과 동일한 물질로 이루어질 수도 있다.The pre-polymer thin film may also be made of a thermosetting or UV curable material. Whereby the pre-polymer thin film can subsequently be cured in a curing process using heat or ultraviolet light. The preliminary polymer thin film may be made of the same material as the preliminary buffer layer.

한편, 상기 예비 폴리머 박막은 스핀 코팅 공정을 통하여 형성할 수 있다. 상기 스핀 코팅 공정을 통하여 상기 예비 폴리머 박막은 전체적으로 균일한 두께를 가질 수 있다.Meanwhile, the preliminary polymer thin film may be formed through a spin coating process. Through the spin coating process, the preliminary polymer thin film may have a uniform overall thickness.

도 8을 참조하면, 상기 예비 폴리머 박막을 상기 베이스를 향하여 가압 부재를 이용하여 가압하면서 상기 예비 폴리머 박막을 경화시킨다. 이로써 상기 예비 폴리머 박막은 폴리머 박막으로 변환된다. 또한 상기 예비 버퍼층 또한 함께 경화되어 버퍼층을 형성할 수 있다. 상기 예비 폴리머 박막 및 상기 예비 버퍼층은 열 또는 자외선을 이용한 경화 공정을 통하여 경화될 수 있다.Referring to FIG. 8, the preliminary polymer thin film is pressed toward the base using a pressing member to cure the preliminary polymer thin film. Whereby the preliminary polymer thin film is converted into a polymer thin film. The preliminary buffer layer may also be cured to form a buffer layer. The pre-polymer thin film and the pre-buffer layer may be cured through a curing process using heat or ultraviolet light.

이로써 상기 나노 파티클들은 부분적으로 상기 폴리머 박막의 내부에 위치할 수 있다. 이와 다르게, 상기 나노 파티클들은 상기 버퍼층 및 상기 폴리머 박막 사이의 계면에 위치할 수 있다. 상기 나노 파티클의 형성 위치는 상기 가압부재가 상기 예비 폴리머 박막을 가압하는 압력에 따라 달라질 수 있다.Whereby the nanoparticles may be partially located inside the thin film of the polymer. Alternatively, the nanoparticles may be located at the interface between the buffer layer and the polymer film. The formation position of the nanoparticles may vary depending on the pressure at which the pressing member presses the preliminary polymer thin film.

도 9를 참조하면, 상기 가압 부재를 상기 폴리머 박막으로부터 이형시킨다. 결과적으로 상기 나노 파티클들이 내부에 삽입된 구조물이 형성될 수 있다.
Referring to Fig. 9, the pressing member is released from the polymer thin film. As a result, a structure in which the nanoparticles are inserted may be formed.

광 기능층 구조물의 제조 방법Manufacturing method of optical functional layer structure

도 10 내지 도 13은 본 발명의 일 실시예에 따른 광 기능층 구조물의 제조 방법을 설명하기 위한 단면도들이다.10 to 13 are cross-sectional views for explaining a method of manufacturing an optical functional layer structure according to an embodiment of the present invention.

도 10을 참조하면, 기판의 상부에 제1 예비 기능층을 형성한다. 이때, 상기 기판은 유리 또는 금속으로 이루어 질 수 있다. 상기 기판 및 상기 제1 예비 기능층 사이에는 전극층이 개재될 수 있다. Referring to FIG. 10, a first preliminary functional layer is formed on a substrate. At this time, the substrate may be made of glass or metal. An electrode layer may be interposed between the substrate and the first preliminarily functional layer.

상기 제1 예비 기능층은 후속하는 제2 예비 기능층과 함께 경화되어 기능층으로 변환될 수 있다. 따라서, 상기 제1 예비 기능층은 상기 기능층의 두께보다 작을 두께로 형성될 수 있다.The first pre-functional layer may be cured with the subsequent second pre-functional layer and converted into a functional layer. Accordingly, the first preliminary functional layer may be formed to have a thickness smaller than the thickness of the functional layer.

상기 제1 예비 기능층은 스핀 코팅 공정을 통하여 형성될 수 있다. 상기 스핀 코팅 공정의 온도 및 회전수 등과 같은 공정 조건은 적절히 조절될 수 있다. The first preliminary functional layer may be formed through a spin coating process. The process conditions such as the temperature and the number of revolutions of the spin coating process can be appropriately controlled.

상기 제1 예비 기능층은 예를 들면 고분자 물질로 이루어질 수 있다. 이로써 상기 제1 예비 기능층은 후속하는 자외선 또는 열을 이용하는 경화 공정에 의하여 경화될 수 있다.The first preliminarily functional layer may be formed of, for example, a polymer material. Whereby the first preliminary functional layer can be cured by a subsequent curing process using ultraviolet light or heat.

이어서, 상기 제1 예비 기능층 상에 상기 나노 파티클들을 정렬시킨다. 상기 나노 파티클들은 스프레이 공정을 통하여 상기 제1 예비 기능층 상에 정렬될 수 있다. 또한 상기 나노 파티클들이 분산된 용액이 상기 제1 예비 기능층 상에 공급됨으로써 상기 나노 파티클들이 정렬될 수 있다.Next, the nanoparticles are aligned on the first spare functional layer. The nanoparticles may be aligned on the first spare functional layer through a spray process. The nanoparticles may be aligned by supplying a solution in which the nanoparticles are dispersed on the first preliminary functional layer.

도 11을 참조하면, 상기 나노 파티클들이 정렬된 상기 제1 예비 기능층 상에 제2 예비 기능층을 형성한다. 또한 상기 제2 예비 기능층은 열경화성 또는 UV 경화성 물질로 이루어질 수 있다. Referring to FIG. 11, a second preliminary functional layer is formed on the first preliminary functional layer in which the nanoparticles are aligned. Also, the second preliminary functional layer may be made of a thermosetting or UV curable material.

상기 제2 예비 기능층은 상기 제1 예비 기능층과 실질적으로 동일한 물질로 이루어질 수 있다. 이로써 상기 제1 및 제2 예비 기능층은 후속하여 열 또는 자외선을 이용한 경화 공정에서 경화되어 기능층으로 변환될 수 있다. The second preliminary functional layer may be made of substantially the same material as the first preliminary functional layer. The first and second pre-functional layers may then be cured and converted into functional layers in a curing process using heat or ultraviolet light.

한편, 상기 제2 예비 기능층은 스핀 코팅 공정을 통하여 형성할 수 있다. 상기 스핀 코팅 공정을 통하여 상기 제2 예비 기능층은 전체적으로 균일한 두께를 가질 수 있다.Meanwhile, the second preliminarily functional layer may be formed through a spin coating process. Through the spin coating process, the second preliminary functional layer may have a uniform overall thickness.

도 12를 참조하면, 상기 제2 예비 기능층을 상기 기판을 향하여 가압 부재를 이용하여 가압하면서 상기 제1 및 제2 예비 기능층을 경화시킨다. 이로써 상기 제제1 및 2 예비 기능층은 기능층으로 변환된다. 상기 제1 및 제2 예비 기능층들은 열 또는 자외선을 이용한 경화 공정을 통하여 경화될 수 있다.Referring to FIG. 12, the first and second preliminary functional layers are cured by pressing the second preliminary functional layer toward the substrate using a pressing member. Whereby the preparation 1 and 2 spare functional layers are converted into functional layers. The first and second pre-functional layers may be cured through a curing process using heat or ultraviolet light.

이로써 상기 나노 파티클들은 부분적으로 상기 기능층의 내부에 위치할 수 있다. Whereby the nanoparticles may be partially located inside the functional layer.

도 13을 참조하면, 상기 가압 부재를 상기 폴리머 박막으로부터 이형시킨다. 결과적으로 상기 나노 파티클들이 내부에 삽입된 기능층을 포함하는 광기능층 구조물이 제조될 수 있다.Referring to FIG. 13, the pressing member is released from the polymer thin film. As a result, a functional layer structure including the functional layer in which the nanoparticles are embedded can be fabricated.

상기 광기능층 구조물이 유기 발광 소자에 적용될 경우, 상기 기능층은 전자 수송층 또는 정공 수송층에 해당할 수 있다. 이로써 상기 기능층은 우수한 표면 평탄도(낮은 표면 거칠기)를 가지는 동시에 그 내부에 삽입된 나노 파티클들을 포함함에 따라 상기 유기발광 소자는 우수한 광추출 효율을 가져 소자의 광학적 특성 및 전기적 특성을 개선할 수 있다. When the photonic layer structure is applied to an organic light emitting device, the functional layer may correspond to an electron transport layer or a hole transport layer. As a result, the functional layer has excellent surface flatness (low surface roughness) and nanoparticles inserted therein, so that the organic light emitting device has excellent light extraction efficiency, thereby improving the optical and electrical characteristics of the device have.

상기 광기능층 구조물이 유기 태양 전지에 적용될 경우, 상기 기능층은 광흡수층에 해당할 수 있다. 이로써, 상기 기능층은 우수한 표면 평탄도(낮은 표면 거칠기)를 가지는 동시에 그 내부에 삽입된 나노 파티클들을 포함함에 따라 상기 유기 태양 전지는 우수한 광흡수 효율을 가져 개선된 광학적 특성 및 전기적 특성을 가질 수 있다. When the photonic layer structure is applied to an organic solar cell, the functional layer may correspond to a light absorbing layer. As a result, the functional layer has excellent surface flatness (low surface roughness) and nanoparticles inserted therein, so that the organic solar cell has excellent optical absorption efficiency and has improved optical and electrical properties have.

본 발명의 실시예들에 따른 나노 파티클의 삽입 방법 및 광기능층 구조물의 제조 방법은 유기 발광 소자, 박막 태양 전지 또는 유기 태양 전지에 적용될 수 있다. The method of inserting nanoparticles and the method of fabricating the optical functional layer structure according to embodiments of the present invention can be applied to organic light emitting devices, thin film solar cells, or organic solar cells.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the present invention as defined by the following claims. It can be understood that it is possible.

Claims (8)

베이스 상에 중공 구조의 나노 파티클들을 정렬시키는 단계;
상기 나노 파티클들이 정렬된 베이스 상에 폴리머로 이루어진 예비 폴리머 박막을 형성하는 단계; 및
상기 예비 폴리머 박막의 상부를 가압하면서 경화시켜 상기 베이스 상에 폴리머 박막을 형성하는 단계를 포함하는 나노 파티클의 삽입 방법.
Aligning the nanoparticles of the hollow structure on the base;
Forming a pre-polymer thin film of a polymer on the base on which the nanoparticles are aligned; And
And curing the upper portion of the preliminary polymer thin film while pressurizing to form a polymer thin film on the base.
제1항에 있어서, 상기 베이스는 고분자 물질로 이루어지며, 상기 베이스 상에 중공 구조의 나노 파티클들을 정렬시키는 단계는,
상기 베이스 상에 상기 나노 파티클들이 분산된 용액을 상기 베이스 상에 공급하여 상기 베이스 상에 코팅막을 형성하는 단계; 및
상기 고분자 물질의 전이 온도 이상에서 상기 코팅막을 가압하여 상기 나노 파티클들을 상기 베이스의 상부 표면에 고정시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노 파티클의 삽입 방법.
2. The method of claim 1, wherein the base is made of a polymeric material, and aligning the hollow nanoparticles on the base comprises:
Supplying a solution in which the nanoparticles are dispersed on the base onto the base to form a coating film on the base; And
And pressing the coating film at a temperature not lower than the transition temperature of the polymer material to fix the nanoparticles on the upper surface of the base.
제1항에 있어서, 상기 베이스가 금속 또는 유리로 이루어지며, 상기 베이스 상에 중공 구조의 나노 파티클들을 정렬시키는 단계는,
상기 베이스 상에 액상을 갖는 예비 버퍼층을 형성하는 단계;
상기 나노 파티클들을 상기 예비 버퍼층 상에 정렬시키는 단계; 및
상기 예비 버퍼층을 경화시켜 상기 나노 파티클들이 상부 표면에 고정된 버퍼층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노 파티클의 삽입 방법.
2. The method of claim 1, wherein the base is made of metal or glass, and aligning nanoparticles of hollow structure on the base comprises:
Forming a pre-buffer layer having a liquid phase on the base;
Aligning the nanoparticles on the pre-buffer layer; And
And curing the pre-buffer layer to form a buffer layer on the upper surface of the nanoparticles.
제3항에 있어서, 상기 버퍼층을 상기 베이스와 실질적으로 동일한 굴절율을 갖는 물질로 이루어 것을 특징으로 하는 나노 파티클의 삽입 방법.4. The method of claim 3, wherein the buffer layer is made of a material having substantially the same refractive index as the base. 기판 상에 액상을 갖는 제1 예비 기능층을 형성하는 단계;
상기 제1 예비 기능층 상에 중공 구조의 나노 파티클들을 정렬시키는 단계;
상기 나노 파티클들이 정렬된 상기 제1 예비 기능층 상에 제2 예비 기능층을 형성하는 단계; 및
상기 제2 예비 기능층의 상부를 가압하면서 상기 제1 및 제2 예비 기능층들을 경화시켜 상기 기판 상에 상기 나노 파티클들이 내부에 분산된 기능층을 형성하는 단계를 포함하는 광 기능층 구조물의 제조 방법.
Forming a first preliminary functional layer having a liquid phase on a substrate;
Aligning nanoparticles of a hollow structure on the first preliminarily functional layer;
Forming a second preliminary functional layer on the first preliminary functional layer in which the nanoparticles are aligned; And
And curing the first and second preliminarily functional layers while pressing the upper portion of the second preliminarily functional layer to form functional layers dispersed in the nanoparticles on the substrate Way.
제5항에 있어서, 상기 기능층은 전자 수송층 또는 정공 수송층에 해당하는 것을 특징으로 하는 광 기능층 구조물의 제조 방법.The method of claim 5, wherein the functional layer corresponds to an electron transporting layer or a hole transporting layer. 제5항에 있어서, 상기 기능층은 광흡수층에 해당하는 것을 특징으로 하는 광 기능층 구조물의 제조 방법. 6. The method of claim 5, wherein the functional layer corresponds to a light absorption layer. 제5항에 있어서, 상기 제1 및 제2 예비 기능층들은 상호 동일한 물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 광 기능층 구조물의 제조 방법.6. The method of claim 5, wherein the first and second pre-functional layers are made of the same material.
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