KR101474101B1 - Heat treatment apparatus - Google Patents

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가츠히사 가사나미
게이스케 니시무라
요시히코 우라사키
신이치 이케다
유야 나카니시
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고요 써모 시스템 가부시끼 가이샤
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Abstract

열처리 장치에 있어서, 피처리물을 수용하는 수납 용기의 치수 공차가 큰 경우에도, 수납 용기를 시일하기 위한 시일 부재를, 확실하게, 또한, 적은 수고로 수납 용기에 따르게 할 수 있도록 하는 것으로서, 열처리 장치(1)는, 튜브(2)와, 환상의 제2 시일 부재(22)와, 시일 유지 장치(71)를 구비한다. 제2 시일 부재(22)는 탄성을 가지는 재료를 이용하여 형성되고, 튜브(2)의 개구부(11)의 외주면(11a)에 끼워 맞춰진다. 시일 유지 장치(71)는, 둘레 방향(C1)으로 배열된 복수의 받침 부재(74)와, 복수의 받침 부재(74)를 유지하는 받침 부재 유지 기구(73)를 포함한다. 각 받침 부재(74)는 둘레 방향(C1)에 있어서의 제2 시일 부재(22)의 일부를 받치고 있다. 받침 부재 유지 기구(73)는 직경 방향(R1)에 있어서의 각 받침 부재(74)의 위치를 조정 가능하도록 구성되어 있다.A heat treatment apparatus capable of ensuring that a sealing member for sealing a storage container can conform to a storage container with a certain degree of reliability even when the storage container for containing the object to be processed has a large dimensional tolerance, The apparatus 1 includes a tube 2, an annular second seal member 22, and a seal holding device 71. The second seal member 22 is formed using a material having elasticity and is fitted to the outer peripheral surface 11a of the opening 11 of the tube 2. [ The seal holding device 71 includes a plurality of support members 74 arranged in the circumferential direction C1 and a support member holding mechanism 73 for holding a plurality of support members 74. [ Each supporting member 74 supports a part of the second sealing member 22 in the circumferential direction C1. The support member holding mechanism 73 is configured to adjust the position of each support member 74 in the radial direction R1.

Figure R1020130006356
Figure R1020130006356

Description

열처리 장치{HEAT TREATMENT APPARATUS}[0001] HEAT TREATMENT APPARATUS [0002]

본 발명은 가열된 분위기 하에서 피처리물을 처리하기 위한 열처리 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a heat treatment apparatus for treating an object to be treated in a heated atmosphere.

기판 등의 재료에 열처리를 행하기 위한 열처리 장치가 알려져 있다(예를 들면, 특허 문헌 1 참조). 열처리 장치의 일예로서, 특허 문헌 1에 기재된 감압 CVD 장치는 석영제의 반응관을 가지고 있다. 반응관은 원통형상의 부재이다. 반응관의 개구부는 도어에 의해서 닫힌다. 도어와 반응관의 사이에는 O링이 배치되어 있다. 구체적으로, O링은 반응관의 외주부에 끼워져 있다. 또한, 도어는 O링의 외주부를 둘러싸는 서포트를 가지고 있다. 당해 서포트는 O링과 접촉하고 있다. 이에 따라, 반응관의 개구부와 도어의 사이가, 반응관의 원주 방향의 전역에 걸쳐 시일되어 있다.BACKGROUND ART A heat treatment apparatus for performing heat treatment on a material such as a substrate is known (see, for example, Patent Document 1). As an example of the heat treatment apparatus, the low pressure CVD apparatus disclosed in Patent Document 1 has a quartz reaction tube. The reaction tube is a cylindrical member. The opening of the reaction tube is closed by a door. An O-ring is disposed between the door and the reaction tube. Specifically, the O-ring is fitted in the outer peripheral portion of the reaction tube. Further, the door has a support surrounding the outer periphery of the O-ring. The support is in contact with the O-ring. Accordingly, the opening of the reaction tube and the door are sealed over the entire circumferential direction of the reaction tube.

일본국 특허공개 소 61－294826호 공보([발명의 기술적 배경과 그 문제점])Japanese Patent Application Laid-Open No. 61-294826 (Technical Background and Problems of the Invention)

석영으로 반응관을 형성하는 경우, 약 2000도 정도의 고온으로 가열한 석영 재료를 원통형상으로 형성하게 된다. 이러한 특수한 조건 하에서 반응관을 형성할 필요가 있으므로, 반응관에 있어서의 진원도(眞圓度)를 높게 하는 것은 반드시 용이하지는 않다. 그 결과, 반응관은 진원도가 낮은 경우가 있다. 이 경우, 반응관의 개구부의 외주부는 진원이 아니다. 따라서, 반응관의 중심축선으로부터 반응관 개구부의 외주부까지의 거리는 불균일하다. 반응관은 처리하는 재료의 대형화에 따라, 대형화되어 있다. 따라서, 상기한 불균일의 정도는 더욱 커져 버린다. 이러한 반응관의 외주부에 O링을 끼워넣은 경우, O링의 일부는 반응관의 외주부로부터 들뜬 상태로 될 우려가 있다. 이러한 들뜸 현상이 존재하면, 반응관과 O링의 밀착 상태를 확실하게 유지할 수 없다. 그러나 O링의 들뜸을 방지하기 위한 대책에 대하여, 특허 문헌 1에서는 특별히 고려되어 있지 않다.When a reaction tube is formed of quartz, a quartz material heated at a high temperature of about 2000 degrees is formed into a cylindrical shape. Since it is necessary to form a reaction tube under such special conditions, it is not necessarily easy to increase the roundness in the reaction tube. As a result, the roundness of the reaction tube may be low. In this case, the outer peripheral portion of the opening of the reaction tube is not a true circle. Therefore, the distance from the central axis of the reaction tube to the outer peripheral portion of the reaction tube opening is non-uniform. The reaction tube has become larger in size as the material to be processed is increased. Therefore, the degree of the above-described unevenness becomes larger. When the O-ring is fitted to the outer peripheral portion of the reaction tube, a part of the O-ring may be in a state of being excited from the outer peripheral portion of the reaction tube. If such exothermic phenomenon exists, the state of adhesion between the reaction tube and the O-ring can not be reliably maintained. However, a countermeasure for preventing lifting of the O-ring is not particularly taken into consideration in Patent Document 1.

한편, 상기의 들뜸 현상을 방지하기 위해서, 개개의 반응관의 개구부의 진원도에 따라, O링을 반응관에 가압하는 서포트의 형상을, 그때마다 변경하는 것을 생각할 수 있다. 그러나 이러한 구성에서는, 서포트의 형상을, 1개마다 변경할 필요가 있어, 서포트의 제조에 수고가 든다.On the other hand, in order to prevent the lifting phenomenon, it is conceivable to change the shape of the support for pressing the O-ring to the reaction tube depending on the roundness of the opening of each reaction tube. However, in such a configuration, it is necessary to change the shape of the support every one, and it takes time to manufacture the support.

본 발명은 상기 사정을 감안함으로써, 열처리 장치에 있어서, 피처리물을 수용하는 수납 용기의 치수 공차가 큰 경우에도, 수납 용기를 시일하기 위한 시일 부재를, 확실하게, 또한, 적은 수고로 수납 용기에 따르게 할 수 있도록 하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION In view of the above circumstances, it is an object of the present invention to provide a heat treatment apparatus which is capable of reliably sealing a sealing member for sealing a storage container even when the dimensional tolerance of the storage container for containing the object to be processed is large, In accordance with the present invention.

(1) 상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명의 한 국면에 관련된 열처리 장치는, 수납 용기와, 환상의 시일 부재와, 시일 유지 장치를 구비한다. 상기 수납 용기는 통형상부를 가지고, 또한, 피처리물을 수용 가능하게 구성되어 있다. 상기 시일 부재는 탄성을 가지는 재료를 이용하여 형성되고, 상기 통형상부의 둘레면에 끼워맞춰진다. 상기 시일 유지 장치는 상기 시일 부재를 유지하기 위해서 설치되어 있다. 상기 시일 유지 장치는 상기 통형상부의 둘레 방향으로 배열된 복수의 받침 부재와, 복수의 상기 받침 부재를 유지하는 받침 부재 유지 기구를 포함한다.(1) In order to solve the above problems, a heat treatment apparatus according to one aspect of the present invention includes a storage container, an annular seal member, and a seal holding device. The storage container has a tubular portion and is configured to be able to receive the object to be processed. The seal member is formed using a material having elasticity, and is fitted to the peripheral surface of the tubular portion. The seal holding device is provided to hold the seal member. The seal holding device includes a plurality of support members arranged in the circumferential direction of the tubular portion, and a support member holding mechanism for holding the plurality of support members.

각 상기 받침 부재는 상기 둘레방향에 있어서의 상기 시일 부재의 일부를 받치고 있다. 상기 받침 부재 유지 기구는 각 상기 받침 부재의 위치를, 상기 둘레면에 가까워지는 방향 및 상기 둘레면으로부터 멀어지는 방향에 있어서 조정 가능하게 구성되어 있다.Each of the receiving members supports a part of the sealing member in the circumferential direction. The receiving member holding mechanism is configured to be able to adjust the position of each of the receiving members in a direction approaching the circumferential surface and a direction away from the circumferential surface.

이 구성에 의하면, 각 받침 부재는, 서로 독립되어, 통형상부의 둘레면에 대한 위치를 조정가능하게 구성되어 있다. 이 때문에, 각 받침 부재는 시일 부재를 확실하게, 통형상부의 둘레면에 가압할 수 있다. 따라서, 통형상부의 둘레면의 진원도가 낮은 경우에도, 시일 부재를, 통형상부의 둘레 방향의 전역에 걸쳐, 당해 통형상부의 둘레면에 확실하게 밀착할 수 있다. 또한, 통형상부의 진원도에 따른 형상의 받침 부재를 준비하는 수고가 걸리는 작업이 필요없다.According to this configuration, the respective receiving members are configured to be independent from each other and to adjust the position with respect to the peripheral surface of the tubular portion. Therefore, each of the receiving members can reliably press the seal member against the peripheral surface of the tubular portion. Therefore, even when the roundness of the peripheral surface of the tubular portion is low, the seal member can be surely brought into close contact with the peripheral surface of the tubular portion over the entire circumferential direction of the tubular portion. Further, it is not necessary to take laborious work to prepare the receiving member of the shape corresponding to the roundness of the cylindrical portion.

따라서, 본 발명에 의하면, 열처리 장치에 있어서, 피처리물을 수용하는 수납 용기의 치수 공차가 큰 경우에도, 수납 용기를 시일하기 위한 시일 부재를, 확실하게, 또한, 적은 수고로 수납 용기에 따르게 할 수 있다.Therefore, according to the present invention, in the heat treatment apparatus, even when the dimensional tolerance of the storage container containing the object to be treated is large, the seal member for sealing the storage container can be securely and reliably attached to the storage container can do.

(2) 바람직하게는, 상기 받침 부재 유지 기구는, 인접 부재와, 복수의 체결 부재를 포함한다. 상기 인접 부재는 상기 통형상부의 축방향과 평행한 방향에 있어서 각 상기 받침 부재와 인접한다. 복수의 상기 체결 부재는, 각 상기 받침 부재마다 설치되고, 대응하는 상기 받침 부재 및 상기 인접 부재를 서로 체결한다. 각 상기 받침 부재는, 상기 체결 부재에 의한 체결이 해제되어 있는 상태에서, 상기 인접 부재에 대하여, 상기 둘레면에 가까워지는 방향 및 상기 둘레면으로부터 멀어지는 방향으로 상대 이동 가능하다.(2) Preferably, the receiving member holding mechanism includes an adjacent member and a plurality of fastening members. And the adjacent member is adjacent to each of the receiving members in a direction parallel to the axial direction of the tubular portion. The plurality of fastening members are provided for each of the receiving members, and fasten the corresponding receiving members and the adjacent members to each other. Each of the receiving members is relatively movable with respect to the adjacent member in a direction approaching the circumferential surface and a direction away from the circumferential surface in a state in which the engagement by the coupling member is released.

이 구성에 의하면, 각 받침 부재는 체결 부재를 이용하여, 인접 부재에 체결된다. 이러한 간단한 구성으로, 각 받침 부재를 고정할 수 있다. 또한, 체결 부재에 의한 체결이 해제되어 있는 상태에서, 받침 부재를 인접 부재에 대하여 변위시킬 수 있다. 이에 따라, 각 받침 부재의 위치를 용이하게 조정할 수 있다.According to this configuration, each supporting member is fastened to the adjacent member using the fastening member. With this simple configuration, each supporting member can be fixed. Further, in a state in which the fastening by the fastening member is released, the receiving member can be displaced with respect to the adjacent member. Thus, the position of each supporting member can be easily adjusted.

(3) 더욱 바람직하게는, 상기 인접 부재는 상기 둘레 방향의 전역에 걸쳐, 상기 시일 부재와 접촉하고 있다.(3) More preferably, the adjacent member is in contact with the seal member over the entire circumferential direction.

이 구성에 의하면, 시일 부재 및 인접 부재는 협동하여, 수납 용기의 통형상부의 개구부의 주위를, 둘레 방향의 전역에 걸쳐 시일할 수 있다.According to this configuration, the seal member and the adjacent member cooperate to seal the periphery of the opening of the cylindrical portion of the storage container over the entire circumferential direction.

(4) 더욱 바람직하게는, 각 상기 받침 부재는, 상기 시일 부재를, 상기 인접 부재를 향해서 가압하기 위한 가압부를 가지고 있다.(4) More preferably, each of the receiving members has a pressing portion for pressing the sealing member toward the adjacent member.

이 구성에 의하면, 상기 시일 부재를, 더욱 확실하게 인접 부재에 접촉시킬 수 있다. 이에 따라, 시일 부재 및 인접 부재는, 수납 용기의 통형상부의 둘레면을 더욱 확실하게 시일할 수 있다.According to this configuration, the seal member can be brought into contact with the adjacent member more reliably. Thus, the seal member and the adjacent member can seal the peripheral surface of the cylindrical portion of the storage container more reliably.

(5) 바람직하게는, 상기 받침 부재 유지 기구는, 각 상기 받침 부재의 위치를, 상기 둘레면에 가까워지는 방향 및 상기 둘레면으로부터 멀어지는 방향에 있어서 규정하기 위한, 위치 결정 부재를 가지고 있다.(5) Preferably, the receiving member holding mechanism has a positioning member for defining the position of each of the receiving members in a direction approaching the peripheral surface and a direction away from the peripheral surface.

이 구성에 의하면, 위치 결정 부재는, 시일 부재를 통형상부의 둘레면에 밀착시키는데 적합한 위치에 각 받침 부재를 배치할 수 있다. 이에 따라, 시일 부재를, 더욱 확실하게, 수납 용기의 통형상부의 둘레면에 밀착시킬 수 있다.According to this configuration, the positioning member can be disposed at a position suitable for bringing the sealing member into close contact with the peripheral surface of the tubular portion. Thereby, the seal member can be more reliably brought into close contact with the peripheral surface of the cylindrical portion of the storage container.

(6) 더욱 바람직하게는, 상기 위치 결정 부재는, 각 받침 부재마다 설치된, 복수의 수나사 부재를 포함한다. 각 상기 나사 부재는, 상기 인접 부재에 형성되어 상기 둘레면에 가까워지는 방향 및 상기 둘레면으로부터 멀어지는 방향으로 연장되어 있는 나사 구멍에 결합되어 있고, 또한, 대응하는 받침 부재를, 상기 시일 부재를 향하여 가압하고 있다.(6) More preferably, the positioning member includes a plurality of male screw members provided for each receiving member. Each of the screw members is coupled to a threaded hole formed in the adjacent member and extending in a direction approaching the peripheral surface and in a direction away from the peripheral surface, And pressurized.

이 구성에 의하면, 수나사 부재를 나사구멍에 조여넣는 깊이를 조정함으로써, 받침 부재의 위치를 용이하게 미세 조정할 수 있다. 그 결과, 시일 부재를 통형상부의 둘레면에 적절한 강도로 가압할 수 있다.According to this configuration, the position of the receiving member can be easily and finely adjusted by adjusting the depth of tightening the male screw member into the screw hole. As a result, the seal member can be pressed to the peripheral surface of the tubular portion with an appropriate strength.

본 발명에 의하면, 열처리 장치에 있어서, 피처리물을 수용하는 수납 용기의 치수 공차가 큰 경우에도, 수납 용기를 시일하기 위한 시일 부재를, 확실하게, 또한, 적은 수고로 수납 용기에 따르게 할 수 있다. According to the present invention, in the heat treatment apparatus, even when the dimensional tolerance of the storage container containing the object to be processed is large, the seal member for sealing the storage container can be made to follow the storage container with reliability have.

도 1은 본 발명의 실시 형태에 관한 열처리 장치의 일부를 절단한 상태를 나타내는 단면도로, 열처리 장치를 측방으로부터 본 상태를 나타내고 있다.
도 2는 열처리 장치의 일부를 절단한 상태를 나타내는 단면도로, 열처리 장치를 비스듬히 본 상태를 나타내고 있다.
도 3은 도 1의 폐색 장치의 주변 확대도이다.
도 4는 냉각 장치의 주변 확대도이다.
도 5는 도 4의 IV－IV선에 따른 단면도이다.
도 6은 시일 장치의 주요부를 나타내는 사시도로, 시일 장치의 일부 부재의 도시는 생략하고 있다.
도 7은 도 6의 일부를 확대하여 나타내는 사시도이다.
도 8은 도 4의 VIII－VIII선에 따른 단면도이다.
도 9는 받침 부재의 위치 조정에 대하여 설명하기 위한 주요부의 단면도이다.
도 10은 본 발명의 변형예에 있어서의 주요부의 단면도이다.
도 11은 본 발명의 다른 변형예에 있어서의 주요부의 단면도이다.Fig. 1 is a cross-sectional view showing a state in which a part of a heat treatment apparatus according to an embodiment of the present invention is cut off, showing a state where the heat treatment apparatus is viewed from the side. Fig.
Fig. 2 is a cross-sectional view showing a state in which a part of the heat treatment apparatus is cut, and shows a state in which the heat treatment apparatus is obliquely viewed.
3 is a peripheral enlarged view of the occlusion device of FIG. 1;
4 is a peripheral enlarged view of the cooling device.
5 is a sectional view taken along the line IV-IV in Fig.
Fig. 6 is a perspective view showing a main part of the sealing device, and illustration of a part of the sealing device is omitted.
Fig. 7 is an enlarged perspective view of part of Fig. 6. Fig.
8 is a sectional view taken along the line VIII-VIII in Fig.
9 is a sectional view of a main part for explaining position adjustment of the receiving member.
10 is a cross-sectional view of a main part in a modified example of the present invention.
11 is a cross-sectional view of a main part in another modification of the present invention.

이하, 본 발명을 실시하기 위한 형태에 대하여 도면을 참조하면서 설명한다. 또한, 본 발명은 피처리물을 열처리하기 위한 열처리 장치로서 폭넓게 적용할 수 있다.Hereinafter, embodiments for carrying out the present invention will be described with reference to the drawings. Further, the present invention can be widely applied as a heat treatment apparatus for heat-treating a material to be treated.

［열처리 장치의 개략 구성][Outline of heat treatment apparatus]

도 1은 본 발명의 실시 형태에 관련된 열처리 장치(1)의 일부를 절단한 상태를 나타내는 단면도이며, 열처리 장치(1)를 측방으로부터 본 상태를 나타내고 있다. 도 2는 열처리 장치(1)의 일부를 절단한 상태를 나타내는 단면도이며, 열처리 장치를 비스듬히 본 상태를 나타내고 있다. 도 2에서는, 열처리 장치(1)의 일부를 생략하여 나타내고 있다.Fig. 1 is a cross-sectional view showing a state in which a part of a heat treatment apparatus 1 according to an embodiment of the present invention is cut off, and shows a state in which the heat treatment apparatus 1 is viewed from the side. Fig. Fig. 2 is a cross-sectional view showing a state in which a part of the heat treatment apparatus 1 is cut, and shows a state in which the heat treatment apparatus is obliquely viewed. In Fig. 2, a part of the heat treatment apparatus 1 is omitted.

도 1 및 도 2를 참조하여, 열처리 장치(1)는, 피처리물(100)의 표면에 열처리를 실시하는 것이 가능하게 구성되어 있다. 이 열처리로서, CVD(Chemical Vapor Deposition) 처리, 확산 처리, 어닐링 처리, 태양 전지의 제조 처리, 반도체 디바이스의 제조 처리 등을 예시할 수 있다. 본 실시 형태에서, 피처리물(100)은 유리 기판이다. 피처리물(100)은 예를 들면, 직사각형상으로 형성되어 있다. 열처리 장치(1)는, 피처리물(100)을, 반응성 가스의 분위기 하에서 열처리함으로써, 피처리물(100)의 표면에 박막을 형성한다. 또한, 열처리 장치(1)는 가로형 열처리 장치이다. 피처리물(100)은 열처리 장치(1)에 대하여 넣고 뺄 때, 수평 방향으로 변위된다.1 and 2, the heat treatment apparatus 1 is configured such that the surface of the article to be treated 100 can be subjected to heat treatment. Examples of the heat treatment include a CVD (chemical vapor deposition) process, a diffusion process, an annealing process, a solar cell manufacturing process, and a semiconductor device manufacturing process. In the present embodiment, the object to be processed 100 is a glass substrate. The object to be processed 100 is formed, for example, in a rectangular shape. The heat treatment apparatus 1 forms a thin film on the surface of the article to be treated 100 by subjecting the article to be treated 100 to a heat treatment in an atmosphere of a reactive gas. The heat treatment apparatus 1 is a horizontal heat treatment apparatus. The object to be processed 100 is horizontally displaced when it is inserted into and withdrawn from the heat treatment apparatus 1.

열처리 장치(1)는, 튜브(수납 용기)(2)와, 히터(3)와, 폐색 장치(4)와, 차열부(5)와, 팬 장치(6)와, 보호통(보호 부재)(7)을 구비하고 있다.The heat treatment apparatus 1 includes a tube (storage container) 2, a heater 3, a closure device 4, a heat shield 5, a fan device 6, 7).

튜브(2)는 피처리물(100)을 수납하기 위해서 설치되어 있다. 또한, 튜브(2)는, 튜브(2) 내에 수납된 피처리물(100)을, 가열된 분위기 하에서 열처리하기 위해서 설치되어 있다. 본 실시 형태에서, 튜브(2)는 석영을 이용하여 형성되어 있다. 튜브(2)는 중공에 형성되어 있다. 튜브(2)의 두께는 수십㎜ 정도로 설정되어 있다.The tube 2 is provided to receive the object to be processed 100. The tube 2 is provided so as to subject the object to be processed 100 stored in the tube 2 to heat treatment in a heated atmosphere. In the present embodiment, the tube 2 is formed using quartz. The tube 2 is formed in the hollow. The thickness of the tube 2 is set to about several tens mm.

튜브(2)는 튜브 본체(8)와 폐색부(9)를 가지고 있다.The tube (2) has a tube body (8) and a closure part (9).

튜브 본체(8)는, 원통형상으로 형성되어 있고, 가늘고 길게 연장되어 있다. 튜브 본체(8)의 길이 방향(L1)을, 이하, 「길이 방향(L1)」이라고 하는 경우가 있다. 튜브 본체(8)의 하부는 지지대(도시하지 않음)에 의해 지지되어 있다. 튜브 본체(8)의 일단부는 개구부(11)를 가지고 있다. 개구부(11)는 피처리물(100)을 통과시키는 것이 가능한 크기로 형성되어 있다. 피처리물(100)은 개구부(11)를 통하여 튜브(2)에 넣고 뺀다. 튜브 본체(8)의 하부 상에, 피처리물(100)이 배치된다. 피처리물(100)은, 예를 들면, 지지대(12)에 실린 상태에서, 튜브 본체(8)의 외측으로부터, 개구부(11)를 통하여, 튜브 본체(8) 내에 삽입된다. 지지대(12)에 있어서, 피처리물(100)은 수직 방향으로 연장된 상태로 복수 배치되어 있다. 튜브 본체(8)의 타단은 폐색부(9)와 연속해 있다. 폐색부(9)는 길이 방향(L1)을 따라 튜브 본체(8)로부터 멀어지는 방향을 향해, 부풀어 오른 형상으로 형성되어 있다. 폐색부(9)는 튜브 본체(8)의 타단을 막고 있다. 상기의 구성을 가지는 튜브(2)는 히터(3)에 의해 가열된다.The tube main body 8 is formed in a cylindrical shape and elongated elongated. The longitudinal direction L1 of the tube main body 8 may be referred to as " longitudinal direction L1 " hereinafter. The lower portion of the tube body 8 is supported by a support (not shown). One end of the tube body 8 has an opening 11. The opening 11 is formed in such a size as to allow the object to be processed 100 to pass therethrough. The object to be processed (100) is put into the tube (2) through the opening (11) and removed. On the lower portion of the tube body 8, the article to be treated 100 is disposed. The object to be processed 100 is inserted into the tube main body 8 from the outside of the tube main body 8 through the opening 11 in a state of being held on the support base 12, for example. In the support base 12, a plurality of the object to be processed 100 are arranged so as to extend in the vertical direction. The other end of the tube main body 8 is continuous with the occluding portion 9. The blocking portion 9 is formed in a swollen shape toward the direction away from the tube body 8 along the longitudinal direction L1. The closure part (9) blocks the other end of the tube body (8). The tube 2 having the above configuration is heated by the heater 3.

히터(3)는 튜브(2) 내의 분위기를 가열하기 위해서 설치되어 있다. 히터(3)는 예를 들면, 전열 히터이다. 히터(3)는, 전체적으로, 중공의 상자형 형상으로 형성되어 있고, 튜브(2)의 대부분을 수납하고 있다. 히터(3)는 지지대(도시하지 않음)에 의해 지지되어 있다. 히터(3)는, 튜브(2) 내의 분위기를, 수백도 정도로 가열하는 것이 가능하다.The heater (3) is provided to heat the atmosphere in the tube (2). The heater 3 is, for example, an electrothermal heater. The heater 3 as a whole is formed in a hollow box-like shape, and accommodates most of the tubes 2. The heater 3 is supported by a support (not shown). The heater 3 can heat the atmosphere in the tube 2 to several hundreds degrees.

히터(3)는, 상부 히터(13)와, 하부 히터(14)와, 단부 히터(15)와, 측부 히터(16)를 가지고 있다.The heater 3 has an upper heater 13, a lower heater 14, an end heater 15, and a side heater 16.

상부 히터(13)는 튜브 본체(8)의 상방에 배치되어 있고, 수평으로 연장되어 있다. 평면에서 봐서, 상부 히터(13)는 직사각형으로 형성되어 있다. 평면에서 봐서, 상부 히터(13)는 튜브(2) 중, 개구부(11)의 주변 부분 이외의 부분을 덮고 있다. 상부 히터(13)의 하방에, 하부 히터(14)가 배치되어 있다.The upper heater 13 is disposed above the tube main body 8 and extends horizontally. From the viewpoint of the plane, the upper heater 13 is formed in a rectangular shape. The upper heater 13 covers a portion of the tube 2 other than the peripheral portion of the opening 11, as viewed in plan. A lower heater 14 is disposed below the upper heater 13. As shown in Fig.

하부 히터(14)는 튜브 본체(8)의 하방에 배치되어 있고, 수평으로 연장되어 있다. 저면에서 봐서, 하부 히터(14)는 직사각형으로 형성되어 있다. 저면에서 봐서, 하부 히터(14)는 튜브(2) 중, 개구부(11)의 주변 부분 이외의 부분을 덮고 있다. 하부 히터(14)에 인접하도록 단부 히터(15)가 배치되어 있다.The lower heater 14 is disposed below the tube body 8 and extends horizontally. From the bottom view, the lower heater 14 is formed in a rectangular shape. From the bottom view, the lower heater 14 covers a portion of the tube 2 other than the peripheral portion of the opening 11. An end heater (15) is disposed adjacent to the lower heater (14).

단부 히터(15)는 튜브(2)의 폐색부(9)와 길이 방향(L1)으로 늘어서 배치되어 있고, 수직으로 연장되어 있다. 단부 히터(15)는 대략 직사각형으로 형성되어 있다. 단부 히터(15)는 튜브(2)의 폐색부(9)를, 튜브(2)의 후방으로부터 덮고 있다. 단부 히터(15)에 인접하도록, 측부 히터(16)가 배치되어 있다.The end heater 15 is arranged in the longitudinal direction L1 of the tube 2 and extends vertically. The end heater 15 is formed in a substantially rectangular shape. The end heater 15 covers the occluding portion 9 of the tube 2 from the rear side of the tube 2. A side heater 16 is disposed so as to be adjacent to the end heater 15.

측부 히터(16)는 튜브(2)의 튜브 본체(8) 및 폐색부(9)에 인접하여 배치되어 있고, 수직으로 연장되어 있다. 측부 히터(16)는 대략 직사각형으로 형성되어 있고, 길이 방향(L1)과 평행한 방향으로 연장되어 있다. 도시하지 않지만, 측부 히터(16)와 동일한 측부 히터가, 튜브(2)에 인접하여 배치되어 있다. 이들 한 쌍의 측부 히터의 사이에, 튜브(2)가 배치되어 있다. 전술한 것처럼, 상기의 구성을 가지는 히터(3)에 의해, 튜브(2) 내의 분위기가 가열된다. 튜브(2) 내의 분위기가 가열되어 있는 동안, 튜브(2)의 개구부(11)는 폐색 장치(4)에 의해 폐색되어 있다.The side heater 16 is disposed adjacent to the tube body 8 and the blocking portion 9 of the tube 2 and extends vertically. The side heater 16 is formed in a substantially rectangular shape and extends in a direction parallel to the longitudinal direction L1. Although not shown, the same side heater as that of the side heater 16 is disposed adjacent to the tube 2. A tube 2 is disposed between the pair of side heaters. As described above, the atmosphere in the tube 2 is heated by the heater 3 having the above-described configuration. While the atmosphere in the tube 2 is being heated, the opening 11 of the tube 2 is closed by the occlusion device 4.

도 3은 도 1의 폐색 장치(4)의 주변 확대도이다. 도 3을 참조하여, 폐색 장치(4)는, 냉각 부재(19)와, 도어 장치(20)와, 제1 시일 부재(21)와, 제2 시일 부재(22)를 가지는 시일 장치(23)를 포함하고 있다.3 is a peripheral enlarged view of the occlusion device 4 of Fig. 3, the closure device 4 includes a cooling device 19, a door device 20, a first sealing member 21, a sealing device 23 having a second sealing member 22, .

도 4는 냉각 부재(19)의 주변 확대도이다. 도 4를 참조하여, 냉각 부재(19)는, 제1 시일 부재(21) 및 제2 시일 부재(22)를 냉각하기 위해서 설치되어 있다. 냉각 부재(19)가 설치되어 있으므로, 제1 시일 부재(21), 및 제2 시일 부재(22)는 히터(3)로부터의 열에 의한 과열이 억제된다. 그 결과, 제1 시일 부재(21), 및 제2 시일 부재(22)의 열화를 억제할 수 있다. 냉각 부재(19)는 튜브(2)의 개구부(11)에 인접하여 배치되어 있다. 냉각 부재(19)는, 길이 방향(L1)에 있어서, 튜브(2)와 도어 장치(20)의 사이에 배치되어 있다. 냉각 부재(19)는 2개의 원통 부재를 조합한 형상을 가지고 있고, 튜브(2)와는 대략 동축에 배치되어 있다. 냉각 부재(19)는 금속 재료를 이용하여 형성되어 있다. 이 금속 재료는 예를 들면, 스테인리스재이다.4 is a peripheral enlarged view of the cooling member 19. Fig. 4, the cooling member 19 is provided for cooling the first seal member 21 and the second seal member 22. [ The first sealing member 21 and the second sealing member 22 are prevented from overheating due to heat from the heater 3 because the cooling member 19 is provided. As a result, deterioration of the first seal member 21 and the second seal member 22 can be suppressed. The cooling member 19 is disposed adjacent to the opening 11 of the tube 2. The cooling member 19 is disposed between the tube 2 and the door device 20 in the longitudinal direction L1. The cooling member 19 has a shape obtained by combining two cylindrical members, and is disposed substantially coaxially with the tube 2. [ The cooling member 19 is formed using a metal material. This metallic material is, for example, a stainless steel material.

냉각 부재(19)는, 내통(24)과, 외통(25)과, 제1 플랜지(26)와, 제2 플랜지(27)와, 냉각수로(28)를 가지고 있다.The cooling member 19 has an inner cylinder 24, an outer cylinder 25, a first flange 26, a second flange 27, and a cooling water passage 28.

내통(24)은 원통형상으로 형성되어 있다. 본 실시 형태에서는, 내통(24)의 내경, 즉, 내통(24)의 내주면의 직경은, 튜브 본체(8)의 내경보다도 작게 설정되어 있다. 내통(24)을 둘러싸도록 하여, 외통(25)이 배치되어 있다.The inner cylinder 24 is formed in a cylindrical shape. In this embodiment, the inner diameter of the inner cylinder 24, that is, the inner diameter of the inner cylinder 24 is set smaller than the inner diameter of the tube main body 8. And the outer cylinder 25 is arranged so as to surround the inner cylinder 24. [

외통(25)은 원통 형상으로 형성되어 있고, 내통(24)과, 동축에 배치되어 있다. 길이 방향(L1)에 있어서, 외통(25)의 위치와 내통(24)의 위치는 일치되어 있다. 외통(25)은 지지 부재(29)(도 1 참조)에 고정되어 있다. 이에 따라, 냉각 부재(19)는 지지 부재(29)에 의해 지지되어 있다. 외통(25)의 일단부(25a), 및 내통(24)의 일단부(24a)는 제1 플랜지(26)에 고정되어 있다.The outer cylinder 25 is formed in a cylindrical shape and is arranged coaxially with the inner cylinder 24. In the longitudinal direction L1, the position of the outer cylinder 25 and the position of the inner cylinder 24 coincide with each other. The outer cylinder 25 is fixed to the support member 29 (see Fig. 1). Accordingly, the cooling member 19 is supported by the support member 29. One end 25a of the outer cylinder 25 and one end 24a of the inner cylinder 24 are fixed to the first flange 26. [

제1 플랜지(26)는 도어 장치(20)의 후술하는 도어(36)와 접촉하는 부분으로서 설치되어 있다. 제1 플랜지(26)는 환형상으로 형성되어 있고, 내통(24) 및 외통(25)과 동축에 배치되어 있다. 제1 플랜지(26)는 용접 등에 의해, 내통(24) 및 외통(25)에 고정되어 있다. 이에 따라, 제1 플랜지(26)는 내통(24)의 일단부(24a)와 외통(25)의 일단부(25a)의 사이의 공간을, 길이 방향(L1)의 한쪽 측으로부터 막고 있다. 제1 플랜지(26) 중, 도어 장치(20)에 대향하는 부분에는, 환상의 홈(26a)이 형성되어 있다. 이 홈(26a)은 제1 플랜지(26)의 외주면에 개방되어 있다. 이 홈(26a)에는 환상의 플레이트(30)가 수용되어 있다. 플레이트(30)는 고정 부재로서의 나사 부재(31)를 이용하여, 제1 플랜지(26)에 고정되어 있다. 플레이트(30)에 인접하여, 제1 시일 부재(21)가 배치되어 있다.The first flange 26 is provided as a portion of the door device 20 which contacts the door 36 described later. The first flange 26 is formed in an annular shape, and is disposed coaxially with the inner cylinder 24 and the outer cylinder 25. The first flange 26 is fixed to the inner cylinder 24 and the outer cylinder 25 by welding or the like. The first flange 26 blocks the space between the one end 24a of the inner cylinder 24 and the one end 25a of the outer cylinder 25 from one side in the longitudinal direction L1. An annular groove 26a is formed in a portion of the first flange 26 opposed to the door device 20. The groove 26a is open to the outer peripheral surface of the first flange 26. [ An annular plate 30 is accommodated in the groove 26a. The plate 30 is fixed to the first flange 26 by using a screw member 31 as a fixing member. Adjacent to the plate 30, the first seal member 21 is disposed.

제1 시일 부재(21)는, 도어 장치(20)의 도어(36)와 냉각 부재(19)의 사이를, 기밀하게 시일하기 위해서 설치되어 있다. 본 실시 형태에서, 제1 시일 부재(21)는, 합성 고무 등을 이용하여 형성된 0링이며, 탄성 및 가요성을 가지고 있다. 제1 시일 부재(21)는 환상으로 형성되어 있다. 제1 시일 부재(21)는 제1 플랜지(26)의 홈(26a)에 끼워져 있고, 당해 제1 플랜지(26)와 플레이트(30)의 사이에 위치하고 있다. 이에 따라, 제1 시일 부재(21)는 제1 플랜지(26)에 유지되어 있다. 제1 플랜지(26)와 길이 방향(L1)으로 이격된 위치에, 제2 플랜지(27)가 배치되어 있다.The first seal member 21 is provided to hermetically seal the space between the door 36 of the door device 20 and the cooling member 19. In the present embodiment, the first seal member 21 is an O-ring formed using synthetic rubber or the like, and has elasticity and flexibility. The first seal member 21 is formed in an annular shape. The first seal member 21 is fitted in the groove 26a of the first flange 26 and is located between the first flange 26 and the plate 30. Accordingly, the first seal member 21 is held by the first flange 26. [ A second flange 27 is disposed at a position spaced apart from the first flange 26 in the longitudinal direction L1.

제2 플랜지(27)는 튜브(2)에 인접하는 부분으로서 설치되어 있다. 제2 플랜지(27)는 환상으로 형성되어 있고, 내통(24) 및 외통(25)과 동축에 배치되어 있다. 제2 플랜지(27)는, 일단면(27a)과, 타단면(27b)과, 홈부(27c)를 가지고 있다. The second flange 27 is provided as a portion adjacent to the tube 2. The second flange 27 is formed in an annular shape and disposed coaxially with the inner cylinder 24 and the outer cylinder 25. [ The second flange 27 has one end face 27a, another end face 27b, and a groove portion 27c.

일단면(27a)은, 용접 등에 의해, 내통(24) 및 외통(25)에 고정되어 있다. 이에 따라, 제2 플랜지(27)는, 내통(24)의 타단부(24b)와, 외통(25)의 타단부(25b)의 사이의 공간을, 길이 방향(L1)의 다른 쪽으로부터 막고 있다. 제2 플랜지(27)의 일부는, 튜브(2)에 대하여, 냉각 부재(19)의 직경 방향의 바깥쪽으로 돌출하도록 배치되어 있다. 즉, 제2 플랜지(27)의 외경은, 튜브 본체(8)의 외경보다도 크다. 제2 플랜지(27) 중, 튜브(2)에 대향하는 타단면(27b)에는, 환상의 홈(27c)이 형성되어 있다. 이 홈(27c)은 제2 플랜지(27)의 내주부에 형성되어 있다. 이 홈(27c)에는 받침 부재(32)가 배치되어 있다.The one surface 27a is fixed to the inner tube 24 and the outer tube 25 by welding or the like. The second flange 27 blocks the space between the other end portion 24b of the inner cylinder 24 and the other end portion 25b of the outer cylinder 25 from the other side in the longitudinal direction L1 . A part of the second flange 27 is arranged so as to protrude outward in the radial direction of the cooling member 19 with respect to the tube 2. That is, the outer diameter of the second flange 27 is larger than the outer diameter of the tube main body 8. An annular groove 27c is formed in the other end face 27b of the second flange 27 opposite to the tube 2. [ The groove 27c is formed in the inner peripheral portion of the second flange 27. [ The supporting member 32 is disposed in the groove 27c.

도 5는 도 4의 V－V선에 따른 단면도이다. 도 4 및 도 5를 참조하여, 받침 부재(32)는, 제2 플랜지(27)와 튜브(2)의 사이에 개재하는 부재로서 설치되어 있다. 이에 따라, 제2 플랜지(27)와 튜브(2)가 직접 접촉하는 것을 방지하고 있다. 받침 부재(32)는 복수 설치되어 있다. 복수의 받침 부재(32)는 제2 플랜지(27)의 둘레 방향으로 등간격으로 배치되어 있다. 인접하는 받침 부재(32, 32) 간에는, 간극(CL1)이 형성되어 있다. 각 받침 부재(32)의 표면은, 마찰 저항을 저감하기 위한 재료에 의해 형성되어 있다. 이러한 재료로서, PTFE(PolyTetraFluoroEthylene) 등의 불소 수지 재료를 예시할 수 있다.5 is a cross-sectional view taken along line V-V of Fig. 4 and 5, the receiving member 32 is provided as a member interposed between the second flange 27 and the tube 2. As shown in Fig. Thus, the second flange 27 and the tube 2 are prevented from coming into direct contact with each other. A plurality of support members 32 are provided. The plurality of support members 32 are arranged at regular intervals in the circumferential direction of the second flange 27. A clearance CL1 is formed between the adjacent supporting members 32, 32. The surface of each supporting member 32 is formed of a material for reducing frictional resistance. As such a material, a fluororesin material such as PTFE (PolyTetraFluoroEthylene) can be exemplified.

각 받침 부재(32)는 두께가 수mm 정도의 판 부재를 이용하여 형성된, 원호형상의 부재이다. 또한, 도 5에서는, 복수의 받침 부재(32) 중, 일부 받침 부재(32)를 도시하고 있다. 각 받침 부재(32)는, 고정 부재로서의 나사 부재(33)를 이용하여, 홈(27c)에 고정되어 있다. 각 받침 부재(32)는 제2 플랜지(27)로부터 튜브(2)를 향해 돌출되어 있고, 튜브 본체(8)의 일단면(8a)에 접촉하고 있다. 도 4를 참조하여, 제2 플랜지(27), 제1 플랜지(26), 내통(24) 및 외통(25)에 의해, 냉각수로(28)가 형성되어 있다.Each supporting member 32 is an arcuate member formed by using a plate member having a thickness of about several mm. 5, a part of the supporting members 32 among the plurality of supporting members 32 is shown. Each supporting member 32 is fixed to the groove 27c by using a screw member 33 as a fixing member. Each supporting member 32 protrudes from the second flange 27 toward the tube 2 and is in contact with the one end surface 8a of the tube body 8. [ 4, a cooling water passage 28 is formed by the second flange 27, the first flange 26, the inner cylinder 24, and the outer cylinder 25. As shown in Fig.

냉각수로(28)는 원통형상의 수로로서 설치되어 있다. 냉각수로(28)는 도시하지 않은 열 교환기와 접속되어 있다. 냉각수로(28)는, 이 열교환기로 냉각된 냉각수가 통과하도록 구성되어 있다. 이에 따라, 냉각수로(28)에 인접하여 배치된 제1 시일 부재(21), 및 제2 시일 부재(22)가 냉각된다.The cooling water passage 28 is provided as a cylindrical water passage. The cooling water passage 28 is connected to a heat exchanger (not shown). The cooling water passage (28) is configured so that the cooling water cooled by the heat exchanger passes. Thus, the first sealing member 21 and the second sealing member 22 disposed adjacent to the cooling water passage 28 are cooled.

제2 시일 부재(22)를 가지는 시일 장치(23)는, 튜브(2)와, 냉각 부재(19)의 사이를 시일하기 위해서 설치되어 있다. 시일 장치(23)는, 튜브(2)의 개구부(11)를 둘러싸도록 배치되어 있다. 시일 장치(23)는 제2 시일 부재(22)와 시일 유지 부재(35)를 가지고 있다. The sealing device 23 having the second sealing member 22 is provided to seal the space between the tube 2 and the cooling member 19. The sealing device 23 is arranged so as to surround the opening 11 of the tube 2. [ The sealing device 23 has a second sealing member 22 and a seal holding member 35.

제2 시일 부재(22)는, 냉각 부재(19)와 튜브(2)의 사이를, 기밀하게 시일하기 위해 설치되어 있다. 본 실시 형태에서, 제2 시일 부재(22)는 제1 시일 부재(21)와 동일한 구성을 가지고 있다. 즉, 제2 시일 부재(22)는, 합성고무 등을 이용하여 형성된 O링이며, 탄성 및 가요성을 가지고 있다. 제2 시일 부재(22)는 환상으로 형성되어 있다. 제2 시일 부재(22)는, 튜브 본체(8)의 개구부(11)의 외주면에 끼워져 있다. 제2 시일 부재(22)는 튜브 본체(8)의 일단면(8a)에 인접하여 배치되어 있다. 또한, 제2 시일 부재(22)는 제2 플랜지(27)의 타단면(27b)에 접촉하고 있다. 이에 따라, 제2 시일 부재(22)는, 튜브 본체(8)의 개구부(11)와 제2 플랜지(27)의 사이의 공간을, 튜브 본체(8)의 외측으로부터 막고 있다. 제2 시일 부재(22)는 시일 유지 부재(35)에 의해 유지되어 있다.The second seal member 22 is provided to airtightly seal the space between the cooling member 19 and the tube 2. In the present embodiment, the second seal member 22 has the same configuration as the first seal member 21. [ That is, the second seal member 22 is an O-ring formed using synthetic rubber or the like, and has elasticity and flexibility. The second seal member 22 is formed in an annular shape. The second seal member 22 is fitted to the outer peripheral surface of the opening 11 of the tube main body 8. The second seal member 22 is disposed adjacent to the one end face 8a of the tube main body 8. The second seal member 22 is in contact with the other end face 27b of the second flange 27. [ The second seal member 22 blocks the space between the opening 11 of the tube main body 8 and the second flange 27 from the outside of the tube main body 8. The second seal member 22 is held by the seal holding member 35.

시일 유지 부재(35)는 원환상으로 형성되어 있고, 제2 플랜지(27)에 고정되어 있다. 시일 유지 부재(35)의 내주부는, 제2 시일 부재(22)를, 튜브 본체(8) 측으로 가압하고 있다. 상기의 구성을 가지는 시일 장치(23)와는 길이 방향(L1)으로 이격한 위치에 도어 장치(20)가 배치되어 있다.The seal holding member 35 is formed in an annular shape and fixed to the second flange 27. The inner peripheral portion of the seal holding member 35 presses the second seal member 22 toward the tube body 8 side. The door device 20 is disposed at a position spaced apart from the sealing device 23 in the longitudinal direction L1.

도 1 및 도 3을 참조하여, 도어 장치(20)는, 도어(36)와, 도어 지지 장치(37)를 가지고 있다.Referring to Figs. 1 and 3, the door device 20 has a door 36 and a door supporting device 37. Fig.

도어(36)는, 냉각 부재(19)의 제1 플랜지(26)의 내측 공간을 길이 방향(L1)의 한쪽 측으로부터 막기 위해 설치되어 있다. 환언하면, 도어(36)는, 튜브(2)의 개구부(11)를, 길이 방향(L1)의 한쪽 측으로부터 막기 위해서 설치되어 있다. 도어(36)는, 예를 들면, 금속판을 이용하여 형성되어 있다. 본 실시 형태에서, 도어(36)는, 원판상으로 형성되어 있다. 도어(36)의 외주부(36a)는, 냉각 부재(19)의 제1 플랜지(26)에 접촉 가능하게 구성되어 있다. 도어(36)의 외주부(36a)가 제1 플랜지(26)에 접촉한 경우, 도어(36)와 제1 플랜지(26)의 사이는, 제1 시일 부재(21)에 의해 기밀하게 시일된다. 이 도어(36)는, 도어 지지 장치(37)에 의해 지지되어 있다. 도어 지지 장치(37)는, 도어(36)를 변위 가능하게 지지하기 위해서 설치되어 있다.The door 36 is provided to prevent the inner space of the first flange 26 of the cooling member 19 from one side in the longitudinal direction L1. In other words, the door 36 is provided to block the opening 11 of the tube 2 from one side in the longitudinal direction L1. The door 36 is formed using, for example, a metal plate. In the present embodiment, the door 36 is formed in a disc shape. The outer peripheral portion 36a of the door 36 is configured to be able to contact the first flange 26 of the cooling member 19. [ The gap between the door 36 and the first flange 26 is hermetically sealed by the first seal member 21 when the outer peripheral portion 36a of the door 36 contacts the first flange 26. [ The door 36 is supported by a door supporting device 37. The door support device 37 is provided to displaceably support the door 36.

도어 지지 장치(37)는, 지주(38)와, 구동 장치(39)를 가지고 있다.The door support device 37 has a support 38 and a drive device 39.

지주(38)는 상하 방향(Z1)(연직 방향)으로 연장되는 부재로서 설치되어 있다. 지주(38)는 도어(36)에 고정되어 있다. 지주(38)는 구동 장치(39)에 접속되어 있다.The column 38 is provided as a member extending in the vertical direction Z1 (vertical direction). The column (38) is fixed to the door (36). The column 38 is connected to the driving device 39. [

구동 장치(39)는 지주(38) 및 도어(36)를 변위시키기 위해서 설치되어 있다. 구동 장치(39)는 지주(38)를, 길이 방향(L1)으로 변위 가능하게 구성되어 있다. 또한, 구동 장치(39)는, 지주(38)를, 길이 방향(L1)과 직교하는 방향으로 변위 가능하게 구성되어 있다. 이에 따라, 구동 장치(39)는 제1 플랜지(26)로 둘러싸인 공간을 개방하도록 도어(36)를 변위시킬 수 있다. 즉, 구동 장치(39)는, 도어(36)를 개폐할 수 있다. 도어(36)가 열린 상태에서, 피처리물(100)을, 튜브(2)에 대하여 넣고 뺄 수 있다. 도어(36)는 차열부(5)를 유지하고 있다.The drive device 39 is provided to displace the strut 38 and the door 36. The driving device 39 is configured to be able to displace the strut 38 in the longitudinal direction L1. The driving device 39 is configured such that the struts 38 can be displaced in a direction orthogonal to the longitudinal direction L1. Thus, the drive device 39 can displace the door 36 to open the space surrounded by the first flange 26. [0064] That is, the drive device 39 can open and close the door 36. [ The object to be processed 100 can be inserted into and withdrawn from the tube 2 while the door 36 is open. The door (36) holds the car heat collecting part (5).

차열부(5)는, 히터(3)로부터의 열이, 제2 시일 부재(22), 냉각 부재(19), 제1 시일 부재(21), 및 도어(36) 등에 전해지는 것을 억제하기 위해서 설치되어 있다. 차열부(5)는 튜브(2)의 개구부(11)의 주변에 배치되어 있다.The heat shield portion 5 is provided to prevent the heat from the heater 3 from being transmitted to the second seal member 22, the cooling member 19, the first seal member 21, and the door 36 Is installed. The columnar heating portion 5 is arranged around the opening 11 of the tube 2.

도 3을 참조하여, 차열부(5)는, 스테이(41, 42)와 차열 부재(43)를 가지고 있다. Referring to Fig. 3, the car differential portion 5 has stays 41, 42 and a differential member 43.

스테이(41, 42)는, 차열 부재(43)를 지지하기 위해서 설치되어 있다. 각 스테이(41, 42)는 도어(36)에 고정되어 있고, 도어(36)로부터, 길이 방향(L1)을 따라, 튜브(2)측으로 연장되어 있다. 각 스테이(41, 42)는 길이 방향(L1)으로 늘어서는 복수의 오목부(44)를 가지고 있다. 오목부(44)는 위쪽을 향해 개방되어 있고, 차열 부재(43)를 끼우는 것이 가능하다.The stays 41 and 42 are provided to support the heat-shielding member 43. Each stay 41 and 42 is fixed to the door 36 and extends from the door 36 toward the tube 2 along the longitudinal direction L1. Each of the stays 41 and 42 has a plurality of concave portions 44 arranged in the longitudinal direction L1. The concave portion 44 is opened upward, and the heat shield member 43 can be sandwiched therebetween.

차열 부재(43)는 열 배리어를 형성하기 위해서 설치되어 있다. 차열 부재(43)는 1 또는 복수 개 설치되어 있다. 본 실시 형태에서, 차열 부재(43)는 7개 설치되어 있다. 각 차열 부재(43)는 원판상으로 형성되어 있다. 복수의 차열 부재(43)가, 길이 방향(L1)으로 이격하여 배치되어 있다. 각 차열 부재(43)에는 복수의 관통공이 형성되어 있다. 이러한 관통공에, 대응하는 스테이(41, 42)가 삽입되어 있다. 또한, 이들 관통공의 둘레 가장자리부는 오목부(44)에 끼워져 있다. 이에 따라, 각 차열 부재(43)는 길이 방향(L1)으로 위치 결정되어 있다. 각 차열 부재(43)는 오목부(44)에 떼어낼 수 있도록 끼워맞춰져 있다. 이에 따라, 길이 방향(L1)에 있어서의 각 차열 부재(43)의 위치를 용이하게 변경할 수 있다. 또한, 스테이(41, 42)에 부착되는 차열 부재(43)의 수를 용이하게 변경할 수 있다. 그 결과, 차열부(5)가 열을 차단하는 정도를 용이하게 조정할 수 있다. 차열부(5)에는 서브 히터(45)가 배치되어 있다. 서브 히터(45)는 발열체를 가지고 있고, 튜브(2) 내의 분위기를 가열 가능하게 구성되어 있다.The heat shield member 43 is provided to form a thermal barrier. One or a plurality of the heat shield members 43 are provided. In this embodiment, seven heat-generating members 43 are provided. Each heat-generating member 43 is formed in a disc shape. A plurality of heat-generating members 43 are arranged so as to be spaced apart from each other in the longitudinal direction L1. A plurality of through holes are formed in each heat-generating member (43). Corresponding stays 41 and 42 are inserted into these through holes. The peripheries of these through holes are sandwiched by the recesses 44. [ As a result, each heat-generating member 43 is positioned in the longitudinal direction L1. Each heat-generating member 43 is fitted to the recess 44 so as to be detachable. Thus, the position of each heat-generating member 43 in the longitudinal direction L1 can be easily changed. In addition, the number of heat-generating members 43 attached to the stays 41, 42 can be easily changed. As a result, it is possible to easily adjust the extent to which heat shield 5 blocks heat. A sub heater (45) is disposed in the car heat part (5). The sub heater 45 has a heating element and is configured to be able to heat the atmosphere in the tube 2. [

서브 히터(45)는, 한쌍의 제1 부분(45a, 45a)과 제2 부분(45b)을 가지고 있다.The sub heater 45 has a pair of first portions 45a and 45a and a second portion 45b.

각 제1 부분(45a, 45a)은, 길이 방향(L1)을 따라 연장되는 부분으로서 설치되어 있다. 각 제1 부분(45a, 45a)은, 도어(36)에 형성된 관통공을 관통하고, 또한, 각 차열 부재(43)에 형성된 관통공을 관통하고 있다. 각 제1 부분(45a, 45a)의 선단부에, 제2 부분(45b)이 접속되어 있다. 제2 부분(45b)은, 상하 방향(Z1)으로 연장되어 있다. 제2 부분(45b)은 각 차열 부재(43)에 대하여, 튜브(2)의 안쪽(길이 방향(L1)의 한쪽 측)에 배치되어 있다. 제2 부분(45b)은 발열체를 가지고 있다. 제2 부분(45b)의 발열체는 예를 들면, 팬 장치(6)의 주변 온도가 소정치 미만인 경우에 발열하도록 구성되어 있다. 상기의 구성을 가지는 서브 히터(45), 및 차열부(5)에 인접한 위치에, 팬 장치(6)가 배치되어 있다.Each of the first portions 45a and 45a is provided as a portion extending along the longitudinal direction L1. The first portions 45a and 45a pass through the through holes formed in the door 36 and also pass through the through holes formed in the respective heat conducting members 43. [ The second portion 45b is connected to the distal end of each of the first portions 45a and 45a. The second portion 45b extends in the vertical direction Z1. The second portion 45b is disposed on the inner side of the tube 2 (one side in the longitudinal direction L1) with respect to each heat-generating member 43. [ The second portion 45b has a heating element. The heating element of the second portion 45b is configured to generate heat when the ambient temperature of the fan unit 6 is less than a predetermined value, for example. A fan device 6 is disposed at a position adjacent to the sub heater 45 and the car-following unit 5 having the above-described configuration.

팬 장치(6)는 도어(36)에 지지되어 있고, 도어(36)와 함께 변위 가능하다. 팬 장치(6)는 튜브(2) 내에 기류(A1)를 일으키게 하기 위해서 설치되어 있다.The fan unit 6 is supported by the door 36 and is displaceable together with the door 36. The fan unit 6 is provided in the tube 2 so as to generate the air current A1.

팬 장치(6)는, 전동 모터(동력원)(46)와, 전동 장치(47)와, 샤프트 유닛(48)과, 팬(49)과, 베어링 유닛(50)을 가지고 있다.The fan unit 6 has an electric motor (power source) 46, a transmission 47, a shaft unit 48, a fan 49, and a bearing unit 50.

전동 모터(46)는, 예를 들면, 지주(38)에 지지되어 있다. 전동 모터(46)의 출력은, 전동 장치(47)를 통하여 샤프트 유닛(48)에 전달된다.The electric motor 46 is supported by a support 38, for example. The output of the electric motor 46 is transmitted to the shaft unit 48 via the transmission 47.

전동 장치(47)는, 예를 들면, 풀리 기구이다. 전동 장치(47)는, 제1 풀리(51)와, 제2 풀리(52)와, 벨트(53)를 가지고 있다. 제1 풀리(51)는, 전동 모터(46)의 출력축에 일체 회전 가능하게 연결되어 있다. 제2 풀리(52)는 샤프트 유닛(48)에 일체 회전 가능하게 연결되어 있다. 벨트(53)는, 제1 풀리(51)와, 제2 풀리(52)에 감겨져 있다.The transmission 47 is, for example, a pulley mechanism. The transmission 47 has a first pulley 51, a second pulley 52 and a belt 53. The first pulley 51, The first pulley 51 is integrally rotatably connected to the output shaft of the electric motor 46. The second pulley 52 is integrally rotatably connected to the shaft unit 48. The belt 53 is wound around the first pulley 51 and the second pulley 52.

샤프트 유닛(48)은 팬(49)의 회전축으로서 설치되어 있고, 회전축선(S1)을 가지고 있다. 회전축선(S1)은, 샤프트 유닛(48)의 중심 축선이기도 하다. 샤프트 유닛(48)은 팬(49)에 연결되어 있고, 전동 모터(46)로부터의 출력을, 팬(49)에 전달한다. 샤프트 유닛(48)은, 도어(36)에 형성된 관통공(36b)을 관통하고 있고, 도어(36)의 외측으로부터, 튜브(2) 내를 향해 연장되어 있다. 샤프트 유닛(48)의 일단부(48a)에, 제2 풀리(52)가 고정되어 있다. 샤프트 유닛(48)은 각 차열 부재(43)에 형성된 관통공(43a)을 관통하고 있다. 샤프트 유닛(48)의 타단부(48b)에는 팬(49)이 동축에 연결되어 있다.The shaft unit 48 is provided as a rotary shaft of the fan 49 and has a rotation axis line S1. The rotation axis line S1 is also the center axis of the shaft unit 48. [ The shaft unit 48 is connected to the fan 49 and transfers the output from the electric motor 46 to the fan 49. [ The shaft unit 48 extends through the through hole 36b formed in the door 36 and extends from the outside of the door 36 toward the inside of the tube 2. [ A second pulley 52 is fixed to one end 48a of the shaft unit 48. [ The shaft unit 48 passes through the through hole 43a formed in each heat-generating member 43. [ A fan 49 is coaxially connected to the other end 48b of the shaft unit 48.

팬(49)은 기류(A1)를 발생함으로써, 튜브(2) 내의 가스를 교반하도록 구성되어 있다. 이에 따라, 튜브(2) 내의 각종 가스의 농도 분포가, 더욱 균등하게 되고, 또한, 튜브(2) 내의 온도가, 더욱 균등하게 된다. 팬(49)은, 튜브(2) 내에 배치되어 있고, 회전축선(S1)을 중심으로 하여 회전 가능하다. 팬(49)과 도어(36)의 사이에 각 차열 부재(43)가 배치되도록 팬(49)은 배치되어 있다.The fan 49 is configured to stir the gas in the tube 2 by generating the airflow A1. As a result, the concentration distribution of various gases in the tube 2 becomes more uniform, and the temperature in the tube 2 becomes more even. The fan 49 is disposed in the tube 2 and is rotatable about the axis of rotation S1. The fan 49 is arranged so that each heat-generating member 43 is disposed between the fan 49 and the door 36. [

팬(49)은, 보스부(54)와, 복수의 날개(55)를 가지고 있다.The fan 49 has a boss portion 54 and a plurality of blades 55.

보스부(54)는, 통형상으로 형성되어 있고, 샤프트 유닛(48)의 타단부(48b)에 끼워맞춰져 있다. 복수의 날개(55)는 보스부(54)의 외주부에 고정되어 있고, 보스부(54)로부터 방사형상으로 연장되어 있다. 상기의 구성에 의해, 팬(49)이 회전하면, 당해 팬(49)으로부터 당해 팬(49)의 직경 방향 바깥쪽을 향하는 기류(A1)가 발생한다. 팬(49)을 회전시키기 위한 샤프트 유닛(48)은 베어링 유닛(50)에 의해, 회전 가능하게 지지되어 있다. 베어링 유닛(50)은 도어(36)의 외측에 배치되어 있다. 즉, 베어링 유닛(50)은 도어(36)의 일단면(36c) 측에 배치되어 있다.The boss portion 54 is formed in a cylindrical shape and fitted to the other end portion 48b of the shaft unit 48. [ The plurality of vanes 55 are fixed to the outer peripheral portion of the boss portion 54 and extend radially from the boss portion 54. [ With the above configuration, when the fan 49 rotates, the airflow A1 directed from the fan 49 toward the outer side in the radial direction of the fan 49 is generated. The shaft unit 48 for rotating the fan 49 is rotatably supported by the bearing unit 50. [ The bearing unit 50 is disposed outside the door 36. In other words, the bearing unit 50 is disposed on the side of the one end face 36c of the door 36.

베어링 유닛(50)은, 케이싱(56)과, 플랜지부(57)를 가지고 있다.The bearing unit (50) has a casing (56) and a flange portion (57).

케이싱(56)은 원통형상으로 형성되어 있다. 케이싱(56)은 샤프트 유닛(48)에 의해 관통되어 있다. 케이싱(56) 내에는, 베어링(도시하지 않음)이 배치되어 있다. 이 베어링은 샤프트 유닛(48)을 회전 가능하게 지지하고 있다. 케이싱(56)의 일단부에는 플랜지부(57)가 고정되어 있다.The casing 56 is formed in a cylindrical shape. The casing 56 is penetrated by the shaft unit 48. In the casing 56, a bearing (not shown) is disposed. The bearing rotatably supports the shaft unit 48. A flange portion (57) is fixed to one end of the casing (56).

플랜지부(57)는, 고정 부재로서의 나사 부재(58)에 의해, 시트부(59)에 고정되어 있다. 시트부(59)는, 도어(36)의 일단면(36c)에 고정된, 통형상의 부재이다. 시트부(59)는 샤프트 유닛(48)에 의해 관통되어 있다.The flange portion 57 is fixed to the seat portion 59 by a screw member 58 as a fixing member. The seat portion 59 is a tubular member fixed to one end face 36c of the door 36. [ The seat portion (59) is penetrated by the shaft unit (48).

도 3 및 도 4를 참조하여, 상기의 구성을 가지는 팬 장치(6)에 있어서, 팬(49)은 팬(49)의 직경 방향 바깥쪽을 향하는 기류(A1)를 발생한다. 이 기류(A1)에 있어서의 기체는, 히터(3)에 의해 가열되어 있고, 고온이다. 이 때문에, 기류(A1)로부터의 열은 제2 시일 부재(22)에 가능한한 전해지지 않는 것이 바람직하다. 또한, 기류(A1)에 있어서의 기체 중에는, 튜브(2) 내에서의 화학 반응 등으로 생긴 미세분말이 존재하고 있다. 이 미세분말이, 기류(A1)를 타고, 튜브(2)에 강한 기세로 충돌하는 것은 억제되어 있는 것이 바람직하다. 여기서, 열처리 장치(1)에는 보호통(7)이 설치되어 있다.3 and 4, in the fan apparatus 6 having the above-described configuration, the fan 49 generates the airflow A1 directed radially outward of the fan 49. [ The gas in the air stream A1 is heated by the heater 3 and is at a high temperature. Therefore, it is preferable that the heat from the airflow A1 is not transmitted to the second seal member 22 as much as possible. In the gas in the airflow A1, there is a fine powder formed by a chemical reaction or the like in the tube 2. It is preferable that this fine powder is prevented from colliding with the tube 2 with strong force on the air current A1. Here, the heat treatment apparatus 1 is provided with a protective box 7.

보호통(7)은 팬(49)에서 발생한 기류(A1)로부터의 열이, 제2 시일 부재(22)에 전해지는 것을 억제하기 위해서 설치되어 있다. 또한, 보호통(7)은, 기류(A1)가, 튜브(2)에 세게 닿는 것을 억제하기 위해서 설치되어 있다.The protective barrel 7 is provided to prevent heat from the air stream A1 generated in the fan 49 from being transmitted to the second seal member 22. [ The protective barrel 7 is provided so as to suppress the airflow A1 from hitting the tube 2 hard.

보호통(7)은 전체적으로 원통형상으로 형성되어 있다. 보호통(7)은, 수㎜의 두께를 가지는 박판 부재이다. 보호통(7)은, 튜브(2)의 개구부(11)의 주변에 배치되어 있고, 튜브(2)의 길이 방향(L1)과 평행하게 연장되어 있다. 보호통(7)의 일단부(7a)는 냉각 부재(19)의 제1 플랜지(26)의 내주부에, 고정 부재로서의 나사 부재(63)를 이용하여 고정되어 있다. 보호통(7)의 중간부(7b)는 냉각 부재(19)의 제2 플랜지(27)의 내주부에, 고정 부재로서의 나사 부재(64)를 이용하여 고정되어 있다. 보호통(7)의 타단부(7c)는 튜브(2) 내에 배치되어 있고, 또한, 튜브 본체(8)와는 이격되어 배치되어 있다.The protective barrel (7) is formed in a cylindrical shape as a whole. The protective bar 7 is a thin plate member having a thickness of several millimeters. The protective barrel 7 is disposed around the opening 11 of the tube 2 and extends parallel to the longitudinal direction L1 of the tube 2. [ One end 7a of the protective box 7 is fixed to the inner peripheral portion of the first flange 26 of the cooling member 19 by using a screw member 63 as a fixing member. The intermediate portion 7b of the protective box 7 is fixed to the inner peripheral portion of the second flange 27 of the cooling member 19 by using a screw member 64 as a fixing member. The other end 7c of the protective box 7 is disposed in the tube 2 and is disposed apart from the tube body 8. [

보호통(7)은, 가스 공급구(61)와, 배기구(62)를 가지고 있다. 가스 공급구(61)는, 가스 공급관(도시하지 않음)에 접속되어 있고, 피처리물(100)의 열처리에 이용되는 가스를 튜브(2) 내에 공급하는 것이 가능하다. 가스 공급관은 냉각 부재(19)를 관통하도록 연장되어 있다. 배기구(62)는, 배기관(도시하지 않음)에 접속되어 있고, 튜브(2) 내의 기체를 흡인하도록 구성되어 있다. 또한, 배기관은 냉각 부재(19)를 관통하도록 연장되어 있고, 진공 펌프 등의 흡인 장치에 접속되어 있다.The protective box 7 has a gas supply port 61 and an exhaust port 62. The gas supply port 61 is connected to a gas supply pipe (not shown), and it is possible to supply the gas used for the heat treatment of the object to be treated 100 into the tube 2. The gas supply pipe extends to penetrate the cooling member 19. The exhaust port 62 is connected to an exhaust pipe (not shown), and is configured to suck the gas in the tube 2. The exhaust pipe extends to penetrate the cooling member 19 and is connected to a suction device such as a vacuum pump.

보호통(7)은, 차열부(5)와, 서브 히터(45)를 둘러싸고 있다. 또한, 보호통(7)은 샤프트 유닛(48)의 일부와 팬(49)을 둘러싸고 있다. 또한, 보호통(7)은, 제2 시일 부재(22)와는, 보호통(7)의 직경 방향으로 늘어서 배치되어 있다. 상기의 구성에 의해, 팬(49)으로부터의 기류(A1)는, 보호통(7)에 닿은 후, 튜브(2)의 길이 방향(L1)과 평행한 방향으로 방향을 바꾸어, 튜브(2)의 안쪽(폐색부(9)측)으로 진행된다.The protective box 7 surrounds the car heat collecting part 5 and the sub heater 45. Further, the protective box 7 surrounds a part of the shaft unit 48 and the fan 49. The protective barrel 7 is arranged to extend in the radial direction of the protective barrel 7 from the second seal member 22. The airflow A1 from the fan 49 is directed in the direction parallel to the longitudinal direction L1 of the tube 2 after it touches the protective barrel 7, (Toward the occluding portion 9).

［열처리 장치의 주요 동작］[Main operation of heat treatment apparatus]

도 1을 참조하여, 이상의 구성에 의해, 열처리 장치(1)가, 피처리물(100)을 열처리할 때에는, 우선, 구동 장치(39)의 동작에 의해, 도어(36)가 열린다. 이 상태에서, 피처리물(100)은, 튜브(2) 내에 수납된다. 다음에, 구동 장치(39)의 동작에 의해, 도어(36)가 닫혀진다. 즉, 도어(36)는, 냉각 부재(19)의 개구를 닫음으로써, 튜브(2) 내의 공간을, 열처리 장치(1)의 외부 공간으로부터 차단한다.With reference to Fig. 1, when the heat treatment apparatus 1 heat-treats the object 100, first, the door 36 is opened by the operation of the drive unit 39. Fig. In this state, the article to be treated (100) is stored in the tube (2). Next, the door 36 is closed by the operation of the driving device 39. [ That is, the door 36 blocks the space in the tube 2 from the external space of the heat treatment apparatus 1 by closing the opening of the cooling member 19.

다음에, 튜브(2) 내의 공기가, 배기구(62)를 통하여 흡인됨으로써, 튜브(2) 내의 압력은 음압이 된다. 또한, 반응성 가스가, 가스 공급구(61)를 통하여, 튜브(2) 내에 공급된다. 이 상태에서, 히터(3)로부터의 열에 의해, 튜브(2) 내의 분위기가 가열된다. 그리고 전동 모터(46)의 출력에 의해, 팬(49)이 회전한다. 이에 따라, 튜브(2) 내에 기류(A1)가 생겨, 튜브(2) 내의 분위기는 교반된다. 이 상태에서, 피처리물(100)의 표면에 원소가 부착되어, 확산된다. 이때, 냉각수로(28)에는 냉각수가 통과하고 있다. 이에 따라, 제1 시일 부재(21), 및 제2 시일 부재(22)(도 4 참조)의 과열이 억제된다. 또한, 히터(3)로부터의 열은 차열부(5)에 의해, 각 시일 부재(21, 22) 및 도어(36) 등에 전해지는 것이 억제된다.Next, the air in the tube 2 is sucked through the air outlet 62, so that the pressure in the tube 2 becomes negative. Further, a reactive gas is supplied into the tube 2 through the gas supply port 61. In this state, the atmosphere in the tube 2 is heated by the heat from the heater 3. The output of the electric motor 46 causes the fan 49 to rotate. As a result, an air stream A1 is generated in the tube 2, and the atmosphere in the tube 2 is stirred. In this state, an element adheres to the surface of the article to be treated 100 and diffuses. At this time, the cooling water passes through the cooling water path 28. Thus, overheating of the first seal member 21 and the second seal member 22 (see Fig. 4) is suppressed. The heat from the heater 3 is suppressed from being transmitted to the seal members 21 and 22 and the door 36 by the heat shield 5.

피처리물(100)에 박막이 형성된 후, 히터(3)에 의한 가열이 정지된다. 그 후, 구동 장치(39)의 동작에 의해, 도어(36)가 열린다. 이 상태에서, 튜브(2) 내의 피처리물(100)은 튜브(2) 내로부터 취출된다.After the thin film is formed on the object to be processed 100, the heating by the heater 3 is stopped. Thereafter, by the operation of the drive device 39, the door 36 is opened. In this state, the object to be processed (100) in the tube (2) is taken out from the inside of the tube (2).

[시일 장치의 상세한 구성][Detailed configuration of sealing device]

다음에, 시일 장치(23)에 있어서의, 더욱 상세한 구성을 설명한다. 도 6은 시일 장치(23)의 주요부를 나타내는 사시도이고, 시일 장치(23)의 일부 도시는 생략하고 있다. 도 4 및 도 6에 나타내는 바와 같이, 시일 장치(23)는, 제2 시일 부재(22)와, 시일 유지 장치(71)와, 에어 블로우 장치(72)를 가지고 있다.Next, a more detailed configuration of the sealing device 23 will be described. 6 is a perspective view showing a main part of the sealing device 23, and a part of the sealing device 23 is omitted. 4 and 6, the sealing device 23 has a second sealing member 22, a seal holding device 71, and an air blowing device 72. As shown in Fig.

제2 시일 부재(22)의 구성에 대해서는 전술한 바와 같다. 이 제2 시일 부재(22)는 시일 유지 장치(71)에 의해서 유지되어 있다. 이에 따라, 제2 시일 부재(22)는 튜브(2)의 개구부(11)의 외주면(11a)과는, 튜브(2)의 둘레 방향(C1)의 전역에 걸쳐 밀착되어 있다. 또한, 제2 시일 부재(22)는 제2 플랜지(27)의 타단면(27b)과는 튜브(2)의 둘레 방향(C1)의 전역에 걸쳐 밀착되어 있다.The structure of the second seal member 22 is as described above. The second seal member 22 is held by the seal holding device 71. The second seal member 22 is in close contact with the outer peripheral surface 11a of the opening 11 of the tube 2 over the entire circumferential direction C1 of the tube 2. [ The second seal member 22 is in close contact with the other end face 27b of the second flange 27 over the entire circumferential direction C1 of the tube 2. [

시일 유지 장치(71)는 개구부(11)의 외주면(11a)과, 제2 플랜지(27)의 타단면(27b)의 사이의 영역을, 제2 시일 부재(22)에 의해서, 확실하게 기밀하게 시일시키기 위해서 설치되어 있다. 이에 따라, 튜브(2) 내의 기체는, 간극(CL1)(도 5 참조)을 통하여 튜브(2)의 외부의 공간으로 새는 것이 억제되어 있다. 개구부(11)의 외주면(11a)의 진원도가 낮은 경우에도, 시일 유지 장치(71)는 튜브(2)의 둘레 방향(C1)의 전역에 걸쳐, 제2 시일 부재(22)를, 개구부(11)의 외주면(11a)에 접촉시키도록 구성되어 있다.The seal holding device 71 can reliably and hermetically seal the area between the outer peripheral surface 11a of the opening 11 and the other end surface 27b of the second flange 27 with the second seal member 22 It is installed for sealing. Thus, the gas in the tube 2 is suppressed from leaking into the space outside the tube 2 through the gap CL1 (see Fig. 5). Even when the roundness of the outer circumferential surface 11a of the opening 11 is low, the seal holding device 71 can prevent the second sealing member 22 from moving in the direction of the opening 11 And the outer circumferential surface 11a.

또한, 이하에서는, 튜브(2)의 둘레 방향(C1)을, 간단히 「둘레 방향(C1)」이라고 하는 경우가 있다. 또한, 튜브(2)의 직경 방향(R1)을, 간단히 「직경 방향(R1)」이라고 하는 경우가 있다. 또한, 길이 방향(L1)은 튜브(2)의 축 방향 및 당해 축방향과 평행한 방향을 포함하고 있다.In the following, the circumferential direction C1 of the tube 2 may be simply referred to as " circumferential direction C1. &Quot; In addition, the diameter direction R1 of the tube 2 may be simply referred to as " diameter direction R1 ". In addition, the longitudinal direction L1 includes an axial direction of the tube 2 and a direction parallel to the axial direction.

시일 유지 장치(71)는, 상술한 시일 유지 부재(35)와, 받침 부재 유지 기구(73)를 가지고 있다.The seal holding device 71 has the seal holding member 35 and the holding member holding mechanism 73 described above.

시일 유지 부재(35)는, 제2 시일 부재(22)를 받침으로써, 당해 제2 시일 부재(22)를 유지하기 위해서 설치되어 있다. 시일 유지 부재(35)는 전체적으로 원환상으로 형성되어 있고, 제2 시일 부재(22)를 둘러싼 상태에서, 제2 플랜지(27)에 고정되어 있다.The seal holding member 35 is provided to hold the second seal member 22 by supporting the second seal member 22. [ The seal holding member 35 is formed in an annular shape as a whole and is fixed to the second flange 27 in a state surrounding the second seal member 22. [

시일 유지 부재(35)는 복수의 받침 부재(74)를 가지고 있고, 이들 복수의 받침 부재(74)에 의해서, 원환 형상의 시일 유지 부재(35)가 형성되어 있다.The seal retaining member 35 has a plurality of retaining members 74 and the annular seal retaining members 35 are formed by the plurality of retaining members 74. [

각 받침 부재(74)는 원호상으로 형성되어 있다. 각 받침 부재(74)의 곡율 중심은 예를 들면, 튜브(2)의 중심축선(S2) 상에 배치되어 있다. 본 실시 형태에서, 중심축선(S2)은 개구부(11)의 내주면의 중심축선이기도 하다. 각 받침 부재(74)는 둘레 방향(C1)에 있어서의 각도 범위가, 수십도 정도로 설정되어 있다. 이들 받침 부재(74)는 둘레 방향(C1)으로 배열되어 있고, 길이 방향(L1)에 있어서의 위치가 맞추어져 있다. 또한, 도 6은 1개의 받침 부재(74)가, 개구부(11)로부터 떼어진 상태를 나타내고 있다. 둘레 방향(C1)에 있어서, 인접하는 받침 부재(74)들은, 서로 접촉하지 않을 정도로, 인접하여 배치되어 있다. 각 받침 부재(74)의 구성은 동일하다.Each supporting member 74 is formed in an arc shape. The center of curvature of each supporting member 74 is arranged on the center axis S2 of the tube 2, for example. In the present embodiment, the central axis S2 is also the central axis of the inner peripheral surface of the opening 11. [ Each supporting member 74 is set to have an angle range in the circumferential direction C1 of several tens of degrees. These supporting members 74 are arranged in the circumferential direction C1, and their positions in the longitudinal direction L1 are aligned. Fig. 6 shows a state in which one supporting member 74 is detached from the opening 11. Fig. In the circumferential direction C1, the adjacent supporting members 74 are disposed adjacent to each other so as not to contact each other. The configuration of each supporting member 74 is the same.

도 7은 도 6의 일부를 확대하여 나타내는 사시도이다. 도 8은 도 4의 Ⅷ－Ⅷ선에 따르는 단면도이다. 도 4, 도 7 및 도 8을 참조하여, 받침 부재(74)는 스테인리스 등의 금속 재료를 이용하여 형성되어 있다. 받침 부재(74)는 둘레 방향(C1)에 있어서의, 제2 시일 부재(22)의 일부를 받치기 위하여 설치되어 있다.Fig. 7 is an enlarged perspective view of part of Fig. 6. Fig. 8 is a sectional view taken along the line VIII-VIII in Fig. 4, 7 and 8, the receiving member 74 is formed of a metal material such as stainless steel. The support member 74 is provided to support a part of the second seal member 22 in the circumferential direction C1.

받침 부재(74)는, 받침 부재 본체(75)와, 홈부(76)와, 플랜지부(77)를 가지고 있다.The support member 74 has a support member main body 75, a groove portion 76 and a flange portion 77. [

받침 부재 본체(75)는 제2 플랜지(27)와는 길이 방향 L1에 인접하여 배치되어 있다. 받침 부재(74)는 원호상의 박판에 의해 형성되어 있다. 받침 부재 본체(75)의 외주부의 위치는 제2 플랜지(27)의 외주부의 위치보다도, 직경 방향 R1의 바깥쪽이다. 받침 부재 본체(75)에는 나사구멍(78)이 형성되어 있다.The support member main body 75 is disposed adjacent to the second flange 27 in the longitudinal direction L1. The support member 74 is formed by a thin arc plate. The position of the outer peripheral portion of the support member main body 75 is outward in the radial direction R1 from the position of the outer peripheral portion of the second flange 27. [ A screw hole 78 is formed in the support member main body 75.

나사 구멍(78)은 받침 부재 유지 기구(73)의 후술하는 고정용 나사 부재(83)와 결합하기 위해서 형성되어 있다. 나사 구멍(78)은 받침 부재 본체(75)의 일단면(75a)에 형성되어 있고, 길이 방향(L1)으로 연장되어 있다. 나사 구멍(78)은 둘레 방향(C1)으로 이격하여, 복수(본 실시 형태에서는 1개의 받침 부재(74)에 대향하고 있는 부분에 3개) 형성되어 있다. 복수의 나사 구멍(78)은 둘레 방향(C1)으로 등간격으로 형성되어 있다. 받침 부재 본체(75)의 일단면(75a)은 상하 방향(Z1)으로 평행하게 연장되어 있다. 이 일단면(75a)은 제2 플랜지(27)의 타단면(27b)과 길이 방향(L1)으로 대향하고 있고, 당해 타단면(27b)과 면접촉하고 있다. 상기의 구성을 가지는 받침 부재 본체(75)의 내주부에 홈부(76)가 형성되어 있다.The screw hole 78 is formed to engage with a fixing screw member 83 described later of the supporting member holding mechanism 73. [ The screw hole 78 is formed in one end face 75a of the receiving member main body 75 and extends in the longitudinal direction L1. The screw holes 78 are spaced apart from each other in the circumferential direction C1, and are formed in a plurality (three in this embodiment, opposed to one support member 74). A plurality of screw holes 78 are formed at equal intervals in the circumferential direction C1. One end surface 75a of the support member main body 75 extends in parallel in the vertical direction Z1. The one end face 75a faces the other end face 27b of the second flange 27 in the longitudinal direction L1 and is in surface contact with the other end face 27b. A groove portion 76 is formed in the inner peripheral portion of the receiving member main body 75 having the above-described structure.

홈부(76)는 제2 시일 부재(22)가 배치되는 부분으로서 설치되어 있다. 홈부(76)는 둘레 방향(C1)에 있어서의 받침 부재(74)의 전역에 걸쳐 형성된 원호상의 부분이다. 홈부(76)는 직경 방향(R1)의 안쪽으로 개방되어 있고, 튜브(2)의 개구부(11)의 외주면(11a)과 마주 보고 있다. 또한, 홈부(76)는 길이 방향(L1)의 한쪽으로 개방되어 있고, 제2 플랜지(27)의 타단면(27b)과 마주 보고 있다.The groove portion 76 is provided as a portion where the second seal member 22 is disposed. The groove portion 76 is an arc-shaped portion formed over the entire area of the support member 74 in the circumferential direction C1. The groove portion 76 is opened inward in the radial direction R1 and faces the outer peripheral surface 11a of the opening portion 11 of the tube 2. [ The groove portion 76 is opened to one side in the longitudinal direction L1 and faces the other end face 27b of the second flange 27. [

홈부(76)는 제1 가압부(81)와 제2 가압부(82)를 가지고 있다.The groove portion 76 has a first pressing portion 81 and a second pressing portion 82.

제1 가압부(81)는 홈부(76)의 저면으로서 형성되어 있다. 제1 가압부(81)는 원통면의 일부에 의해서 형성되어 있다. 제1 가압부(81)는 직경 방향(R1)의 안쪽을 향하고 있고, 튜브(2)의 개구부(11)의 외주면(11a)과 마주 보고 있다. 제1 가압부(81)는 제2 시일 부재(22)와 접촉하여, 제2 시일 부재(22)를 받치고 있고, 당해 제2 시일 부재(22)를, 개구부(11)의 외주면(11a)을 향해서 가압하고 있다. 즉, 제1 가압부(81)는 길이 방향(L1)에 있어서의 제2 시일 부재(22)의 일부를, 직경 방향(R1)의 안쪽을 향해서 가압하고 있다. 길이 방향(L1)에 있어서, 제1 가압부(81)는 받침 부재 본체(75)의 일단면(75a)과, 제2 가압부(82)의 사이에 위치하고 있다. 제1 가압부(81)는 받침 부재 본체(75)의 일단면(75a)과 연속해 있고, 또한, 제2 가압부(82)와 연속해 있다.The first pressing portion 81 is formed as a bottom surface of the groove portion 76. The first pressing portion 81 is formed by a part of the cylindrical surface. The first pressing portion 81 faces inward in the radial direction R1 and faces the outer peripheral surface 11a of the opening portion 11 of the tube 2. [ The first pressing portion 81 is in contact with the second sealing member 22 to support the second sealing member 22 and the second sealing member 22 is fixed to the outer peripheral surface 11a of the opening 11 . That is, the first pressurizing portion 81 presses a part of the second seal member 22 in the longitudinal direction L1 toward the inside of the radial direction R1. The first pressing portion 81 is positioned between the one end surface 75a of the receiving member main body 75 and the second pressing portion 82 in the longitudinal direction L1. The first pressing portion 81 is continuous with the one end surface 75a of the supporting member main body 75 and is continuous with the second pressing portion 82. [

제2 가압부(82)는 홈부(76)의 내측면으로서 형성되어 있다. 제2 가압부(82)는 길이 방향 L1의 한쪽을 향하는 원호상의 면이다. 제2 가압부(82)는 제2 플랜지(27)의 타단면(27b)과, 길이 방향 L1으로 마주 보고 있다. 제2 가압부(82)는 제2 시일 부재(22)와 접촉하고 있고, 당해 제2 시일 부재(22)를, 제2 플랜지(27)의 타단면(27b)을 향해서 가압하고 있다. 즉, 제2 가압부(82)는, 제2 시일 부재(22)를, 길이 방향(L1)의 한쪽을 향해 가압하고 있다. 길이 방향(L1)에 있어서의 홈부(76)의 길이는, 자유 상태에 있어서의 제2 시일 부재(22)의 두께(T1)보다도 작게 설정되어 있다. 이에 따라, 제2 가압부(82)는, 제2 시일 부재(22)를, 타단면(27b)을 향해서 가압하는 것이 가능하다. 또한, 자유 상태란, 외력이 작용하고 있지 않은 상태를 말한다.The second pressing portion 82 is formed as an inner surface of the groove portion 76. The second pressing portion 82 is an arc-shaped surface facing one side in the longitudinal direction L1. The second pressing portion 82 faces the other end face 27b of the second flange 27 in the longitudinal direction L1. The second pressurizing portion 82 is in contact with the second seal member 22 and presses the second seal member 22 toward the other end face 27b of the second flange 27. [ That is, the second pressurizing portion 82 presses the second seal member 22 toward one side in the longitudinal direction L1. The length of the groove portion 76 in the longitudinal direction L1 is set to be smaller than the thickness T1 of the second seal member 22 in the free state. Thus, the second pressurizing portion 82 can press the second seal member 22 toward the other end face 27b. The free state refers to a state in which no external force is applied.

직경 방향(R1)에 있어서의 홈부(76)의 길이(홈부(76)의 깊이)는 자유 상태에 있어서의 제2 시일 부재(22)의 두께(T1)보다도 작게 설정되어 있다. 이에 따라, 받침 부재(74)의 제1 가압부(81)는 제2 시일 부재(22)를 직경 방향(R1)의 안쪽을 향하여 가압하면서, 개구부(11)의 외주면(11a)과 직접 접촉하는 것이 억제되어 있다. 홈부(76)에 대해서 길이 방향(L1)의 한쪽 측의 위치에 플랜지부(77)가 배치되어 있다.The depth of the groove portion 76 in the radial direction R1 is set smaller than the thickness T1 of the second seal member 22 in the free state. The first pressing portion 81 of the receiving member 74 directly contacts the outer peripheral surface 11a of the opening 11 while pressing the second sealing member 22 inward in the radial direction R1 Is suppressed. A flange portion 77 is disposed at a position on one side of the longitudinal direction L1 with respect to the groove portion 76. [

플랜지부(77)는 받침 부재 유지 기구(73)의 후술하는 위치 결정용 나사 부재(84)와 결합하는 부분으로서 설치되어 있다. 플랜지부(77)는 받침 부재 본체(75)의 외주부로부터, 길이 방향(L1)의 한쪽을 향해서 연장되는 원호상의 부분이다. 플랜지부(77)는 제2 플랜지(27)에 대하여, 직경 방향(R1)의 바깥쪽에 배치되어 있다. 플랜지부(77)는 제2 플랜지(27)와는 직접 접촉하지 않도록, 제2 플랜지(27)로부터 이격하여 배치되어 있다. 플랜지부(77)에는 관통공(77a)이 형성되어 있다.The flange portion 77 is provided as a portion of the supporting member holding mechanism 73 that engages with a positioning screw member 84 described later. The flange portion 77 is an arc-shaped portion extending from the outer peripheral portion of the support member main body 75 toward one side in the longitudinal direction L1. The flange portion 77 is disposed outside the second flange 27 in the radial direction R1. The flange portion 77 is disposed apart from the second flange 27 so as not to come into direct contact with the second flange 27. The flange portion 77 is formed with a through hole 77a.

관통공(77a)은 위치 결정용 나사 부재(84)가 삽입되는 구멍 부분으로서 형성되어 있다. 관통공(77a)은 플랜지부(77)를 직경 방향(R1)으로 관통하고 있다. 관통공(77a)은 받침 부재(74)마다 복수(본 실시 형태에서는 2개) 형성되어 있다. 복수의 관통공(77a)은 둘레 방향(C1)으로 이격하여 배치되어 있다. 상기의 구성을 가지는 받침 부재(74)는 받침 부재 유지 기구(73)에 의해서, 직경 방향(R1)의 위치를 조정 가능한 양태로 유지되어 있다. 즉, 받침 부재(74)는 외주면(11a) 중 당해 받침 부재(74)와 대향하는 부분에 대하여, 가까워지는 방향 및 멀어지는 방향으로 위치 조정되어 있다. 이와 같이, 직경 방향(R1)은 받침 부재(74)에 있어서, 외주면(11a)에 가까워지는 방향 및 외주면(11a)으로부터 멀어지는 방향이다.The through hole 77a is formed as a hole portion into which the positioning screw member 84 is inserted. The through hole 77a penetrates the flange portion 77 in the radial direction R1. Each of the through holes 77a is formed for each of the support members 74 (two in this embodiment). The plurality of through holes 77a are disposed apart from each other in the circumferential direction C1. The supporting member 74 having the above-described configuration is held in such a manner that the position of the radial direction R1 can be adjusted by the supporting member holding mechanism 73. [ That is, the support member 74 is adjusted in the direction of approaching and away from the portion of the outer circumferential surface 11a facing the support member 74. As described above, the radial direction R1 is a direction in which the receiving member 74 approaches the outer peripheral surface 11a and a direction away from the outer peripheral surface 11a.

받침 부재 유지 기구(73)는, 제2 플랜지(인접 부재)(27)와, 고정용 나사 부재(체결 부재)(83)와, 위치 결정용 나사 부재(위치 결정 부재)(84)를 가지고 있다.The supporting member holding mechanism 73 has a second flange (adjacent member) 27, a fixing screw member (fastening member) 83, and a positioning screw member (positioning member) 84 .

제2 플랜지(27)는 전술한 냉각 부재(19)의 일부를 구성함과 더불어, 받침 부재 유지 기구(73)의 일부를 구성하고 있다. 제2 플랜지(27)는 길이 방향(L1)에 있어서, 각 받침 부재(74)와 인접해 있다. 또한, 제2 플랜지(27)는 길이 방향(L1)에 있어서, 개구부(11)와 인접해 있다. 제2 플랜지(27)에는, 장공(長孔)(86)과, 나사 구멍(87)이 형성되어 있다.The second flange 27 forms a part of the above-described cooling member 19 and constitutes a part of the support member holding mechanism 73. The second flange 27 is adjacent to the respective receiving members 74 in the longitudinal direction L1. The second flange 27 is adjacent to the opening 11 in the longitudinal direction L1. An elongated hole 86 and a screw hole 87 are formed in the second flange 27.

장공(86)은 고정용 나사 부재(83)가 삽입되도록 구성되어 있다. 장공(86)은 직경 방향(R1)으로 가늘고 길게 연장되는 형상으로 형성되어 있고, 제2 플랜지(27)를, 길이 방향(L1)으로 관통하고 있다. 장공(86)은 각 받침 부재(74)에 대응하고, 복수(본 실시 형태에서는 3개) 형성되어 있다. 즉, 1개의 플랜지부(77)에 있어서, 3개의 장공(86)이, 당해 플랜지부(77)와 길이 방향(L1)으로 대향하고 있다. 복수의 장공(86)은 둘레 방향(C1)으로 등간격으로 형성되어 있다. 각 장공(86)에는 고정용 나사 부재(83)의 나사축이 삽입되어 있다. 직경 방향(R1)에 있어서의 각 장공(86)의 길이는 고정용 나사 부재(83)의 나사축의 직경보다도 크다. 장공(86)과는 둘레 방향(C1)의 위치가 다르게 하여, 제2 플랜지(27)의 나사구멍(87)이 형성되어 있다.The elongated hole 86 is configured such that the fixing screw member 83 is inserted. The elongated hole 86 is formed in a shape elongated in the radial direction R1 so as to penetrate the second flange 27 in the longitudinal direction L1. The long holes 86 correspond to the respective supporting members 74, and a plurality of (three in this embodiment) are formed. That is, in the one flange portion 77, the three long holes 86 are opposed to the flange portion 77 in the longitudinal direction L1. The plurality of long holes 86 are formed at equal intervals in the circumferential direction C1. The screw shaft of the fixing screw member 83 is inserted into each of the long holes 86. The length of each elongated hole 86 in the radial direction R1 is larger than the diameter of the screw shaft of the fixing screw member 83. [ The position of the circumferential direction C1 is different from that of the elongated hole 86 so that the screw hole 87 of the second flange 27 is formed.

이 나사 구멍(87)은 위치 결정용 나사 부재(84)와 나사 결합하기 위하여 형성되어 있다. 나사 구멍(87)은 제2 플랜지(27)의 외주면에 형성되어 있고, 직경 방향(R1)으로 연장되어 있다. 나사 구멍(87)은 각 받침 부재(74)에 대응하여, 복수(본 실시 형태에서는 2개) 형성되어 있다. 즉, 나사 구멍(87)은 1개의 받침 부재(74)마다 복수 설치되어 있다. 복수의 나사 구멍(87)은 둘레 방향(C1)으로 등간격으로 형성되어 있다. 각 나사 구멍(87)에는 위치 결정용 나사 부재(84)의 나사축이 삽입되어 있다.The screw hole 87 is formed for screwing with the positioning screw member 84. The screw hole 87 is formed in the outer peripheral surface of the second flange 27 and extends in the radial direction R1. A plurality of screw holes 87 are formed corresponding to the respective receiving members 74 (two in this embodiment). That is, a plurality of screw holes 87 are provided for each one supporting member 74. A plurality of screw holes 87 are formed at equal intervals in the circumferential direction C1. The threaded shaft of the positioning screw member 84 is inserted into each of the screw holes 87.

위치 결정용 나사 부재(84)는 수나사 부재이며, 직경 방향(R1)에 있어서의 받침 부재(74)의 위치를 규정하기 위해서 설치되어 있다. 위치 결정용 나사 부재(84)가 설치되어 있음으로써, 직경 방향(R1)에 있어서의 받침 부재(74)의 위치를 조정할 수 있다. 위치 결정용 나사 부재(84)는 복수 구비되어 있다. 각 위치 결정용 나사 부재(84)의 나사축은 받침 부재(74)의 대응하는 관통공(77a)을 관통하고 있고, 또한, 제2 플랜지(27)의 대응하는 나사 구멍(87)에 나사 결합되어 있다. 각 위치 결정용 나사 부재(84)의 머리부는, 대응하는 받침 부재(74)의 외주면을, 직경 방향(R1)의 외측으로부터 받치고 있고, 당해 받침 부재(74)를, 제2 시일 부재(22)를 향하여 가압하고 있다.The positioning screw member 84 is a male screw member and is provided to define the position of the receiving member 74 in the radial direction R1. Since the positioning screw member 84 is provided, the position of the receiving member 74 in the radial direction R1 can be adjusted. A plurality of positioning screw members 84 are provided. The screw shaft of each positioning screw member 84 passes through the corresponding through hole 77a of the receiving member 74 and is screwed into the corresponding screw hole 87 of the second flange 27 have. The head portion of each positioning screw member 84 supports the outer circumferential surface of the corresponding supporting member 74 from the outside in the radial direction R1 and supports the supporting member 74 to the second sealing member 22, As shown in Fig.

받침 부재(74)는 제2 시일 부재(22)로부터의 탄성 반발력을 받고 있어, 튜브(2)의 외주면(11a)에는 접촉하지 않는다. 각 위치 결정용 나사 부재(84)는 대응하는 나사 구멍(87)에 대하여 회전됨으로써, 당해 나사 구멍(87)에 나사조임되는 양(깊이)이 조정된다. 이에 따라, 직경 방향(R1)에 있어서의 받침 부재(74)의 위치가 조정된다. 상기의 위치 결정용 나사 부재(84)에 의해, 직경 방향(R1)의 위치가 규정된 받침 부재(74)는 고정용 나사 부재(83)에 의해 제2 플랜지(27)에 고정된다.The support member 74 receives elastic repulsive force from the second seal member 22 and does not contact the outer peripheral surface 11a of the tube 2. [ Each positioning screw member 84 is rotated with respect to the corresponding screw hole 87 so that the amount (depth) to be screwed into the screw hole 87 is adjusted. Thus, the position of the receiving member 74 in the radial direction R1 is adjusted. The receiving member 74 in which the position in the radial direction R1 is defined by the positioning screw member 84 is fixed to the second flange 27 by the fixing screw member 83. [

고정용 나사 부재(83)는 받침 부재(74)를 제2 플랜지(27)에 체결하기 위해서 설치되어 있다. 고정용 나사 부재(83)는 복수 구비되어 있고, 각 받침 부재(74)에 장착되어 있다. 각 고정용 나사 부재(83)의 나사축은 제2 플랜지(27)의 대응하는 장공(86)을 관통하고 있고, 또한, 받침 부재(74)의 대응하는 나사 구멍(78)에 나사 결합되어 있다. 각 고정용 나사 부재(83)에 의한, 제2 플랜지(27)와 대응하는 받침 부재(74)와의 체결이 해제된 상태에 있어서, 각 고정용 나사 부재(83)는 장공(86) 내를 직경 방향(R1)으로 이동 가능하다. 즉, 받침 부재(74)는 제2 플랜지(27)에 대하여, 직경 방향(R1)으로 상대 변위 가능하고, 각 받침 부재(74)는 제2 플랜지(27) 및 제2 시일 부재(22)에 대한 직경 방향(R1)의 위치를 변경 가능하다.The fixing screw member 83 is provided to fasten the supporting member 74 to the second flange 27. [ A plurality of fixing screw members 83 are provided, and are mounted on the respective support members 74. The screw shaft of each fixing screw member 83 penetrates through the corresponding elongated hole 86 of the second flange 27 and is also screwed into the corresponding screw hole 78 of the receiving member 74. Each fastening screw member 83 is inserted into the elongated hole 86 in the state that the fastening of the second flange 27 and the corresponding supporting member 74 by the respective fastening screw members 83 is released, It is movable in the direction R1. That is, the support member 74 can be relatively displaced in the radial direction R1 with respect to the second flange 27, and each support member 74 can be displaced relative to the second flange 27 and the second seal member 22 The position of the radial direction R1 can be changed.

상기의 구성에 의해, 제2 시일 부재(22)는 복수의 받침 부재(74)에 의해서, 튜브(2)의 외주면(11a)에 가압되고, 또한, 제2 플랜지(27)의 타단면(27b)에 가압되어 있다. 이에 따라, 제2 시일 부재(22)는 둘레 방향(C1)의 전역에 걸쳐, 튜브(2)의 개구부(11)의 외주면(11a)에 접촉하고, 또한 제2 플랜지(27)의 타단면(27b)에 접촉하고 있다. 상기의 구성을 가지는 시일 유지 장치(71)에는 에어 블로우 장치(72)가 부착되어 있다.The second seal member 22 is pressed against the outer peripheral surface 11a of the tube 2 by the plurality of supporting members 74 and the other end surface 27b of the second flange 27 As shown in Fig. The second seal member 22 is in contact with the outer peripheral surface 11a of the opening 11 of the tube 2 over the entire circumferential direction C1 and the other end surface 11b of the second flange 27 27b. An air blowing device 72 is attached to the seal holding device 71 having the above-described structure.

도 4를 참조하여, 에어 블로우 장치(72)는 튜브(2)의 외부로부터, 제2 시일 부재(22)의 주위의 영역을 향해, 공기를 불어내기 위하여 설치되어 있다. 에어 블로우 장치(72)는 에어용 관(89)과 스테이(90)를 가지고 있다.4, the air blowing device 72 is provided for blowing air from the outside of the tube 2 toward the area around the second seal member 22. [ The air blowing device 72 has a tube 89 for air and a stay 90.

에어용 관(89)은, 예를 들면, 원환상으로 형성되어 있고, 튜브(2)의 외주면(11)의 외주면(11a)을 둘러싸도록 하여 배치되어 있다. 에어용 관(89)은 받침 부재(74)에 인접하여 배치되어 있다. 에어용 관(89)에는 취출구(89a)가 형성되어 있다. 취출구(89a)는 에어용 관(89) 내의 공기를, 튜브(2)의 개구부(11)의 외주면(11a)을 향해서 불어내기 위하여 설치되어 있다.The air tube 89 is formed, for example, in an annular shape so as to surround the outer peripheral surface 11a of the outer peripheral surface 11 of the tube 2. The air tube 89 is disposed adjacent to the support member 74. An air outlet 89a is formed in the air pipe 89. [ The air outlet 89a is provided for blowing air in the air tube 89 toward the outer peripheral surface 11a of the opening 11 of the tube 2. [

취출구(89a)는 직경 방향(R1)의 안쪽을 향하고 있고, 외주면(11a)과 직경 방향(R1)으로 마주 보고 있다. 취출구(89a)는 둘레 방향(C1)으로 등간격으로 복수 형성되어 있다. 또한, 도 4에서는 복수의 취출구(89a) 중의 1개의 취출구(89a)를 도시하고 있다. 취출구(89a)는 받침 부재(74)와 길이 방향(L1)에 인접하는 위치에 형성되어 있다. 에어용 관(89)은 펌프 등의 기류 발생원(도시하지 않음)과 접속되어 있고, 에어용 관(89) 내를, 공기 등의 기류가 통과하도록 구성되어 있다. 에어용 관(89) 내의 기체는, 기류(A2)로서, 각 취출구(89a)로부터, 튜브(2)의 개구부(11)의 외주면(11a)을 향해서 불어내진다. 이에 따라, 각 취출구(89a)로부터의 기류(A2)는 튜브(2)의 개구부(11)의 외주면(11a)에 내뿜어진다. 또한, 기류(A2)는 외주면(11a)과 각 받침 부재(74)의 내주면(74a)의 사이의 간극(CL2)에 도달하여, 제2 시일 부재(22)를 냉각한다. 에어용 관(89)은 스테이(90)를 통하여, 받침 부재(74)에 지지되어 있다.The air outlet 89a faces inward in the radial direction R1 and faces the outer peripheral surface 11a in the radial direction R1. A plurality of air outlets 89a are formed at equal intervals in the circumferential direction C1. In Fig. 4, one outlet port 89a of the plurality of outlet ports 89a is shown. The air outlet 89a is formed at a position adjacent to the receiving member 74 in the longitudinal direction L1. The air pipe 89 is connected to an airflow source (not shown) such as a pump, and is configured to allow airflow such as air to pass through the air pipe 89. The gas in the air tube 89 is blown out from each of the air outlets 89a toward the outer peripheral surface 11a of the opening 11 of the tube 2 as the airflow A2. The airflow A2 from each of the air outlets 89a is blown out to the outer peripheral surface 11a of the opening 11 of the tube 2. [ The airflow A2 reaches the gap CL2 between the outer peripheral surface 11a and the inner peripheral surface 74a of each receiving member 74 to cool the second sealing member 22. [ The air pipe 89 is supported by the support member 74 via the stay 90. [

스테이(90)는 복수 설치되어 있고, 예를 들면, 각 받침 부재(74)에 부착되어 있다. 스테이(90)는 L자형상으로 형성되어 있고, 직경 방향(R1)을 따라서 가늘고 길게 연장되어 있다. 직경 방향(R1)에 있어서의 스테이(90)의 일단부에, 에어용관(89)이 고정되어 있다. 직경 방향(R1)에 있어서의 스테이(90)의 타단부는 스테이용 나사 부재(91)를 이용하여, 대응하는 받침 부재(74)의 외주부에 고정되어 있다. 에어용 관(89)은, 예를 들면, 가요성을 가지는 호스에 의해서 형성되어 있다. 이에 따라, 에어용관(89)은 직경 방향(R1)에 있어서의 받침 부재(74) 위치의 변경에 따라, 휘어지는 것이 가능하다.A plurality of stays 90 are provided and attached to, for example, the respective support members 74. The stay 90 is formed in an L shape and extends elongated along the radial direction R1. An air-communicating tube 89 is fixed to one end of the stay 90 in the radial direction R1. The other end of the stay 90 in the radial direction R1 is fixed to the outer peripheral portion of the corresponding supporting member 74 using the staple screw member 91. [ The air pipe 89 is formed by, for example, a flexible hose. Accordingly, the air tube 89 can be bent in accordance with the change of the position of the receiving member 74 in the radial direction R1.

［받침 부재의 위치 조정 동작］[Positioning operation of the supporting member]

도 9는 받침 부재(74)의 위치 조정에 대하여 설명하기 위한 주요부의 단면도이다. 도 9에 나타내는 바와 같이, 본 실시 형태에 있어서, 튜브(2)의 개구부(11)의 외주면(11a)의 진원도는 비교적 낮다. 이 때문에, 중심축선(S2)으로부터 외주면(11a)까지의 거리는 외주면(11a)의 장소에 따라 다르다. 본 실시 형태에서, 튜브(2)의 상단부(2a)에 있어서의 튜브(2)의 두께는 비교적 작다. 즉, 개구부(11)의 외주면(11a)의 상단부와 중심축선(S2)의 사이의 거리(D1)는 비교적 작은 값으로 되어 있다. 한편, 튜브(2)의 하단부(2b)에 있어서의 튜브(2)의 두께는 비교적 크다. 즉, 개구부(11)의 외주면(11a)의 하단부와 중심축선(S2)의 사이의 거리(D2)는 비교적 큰 값으로 되어 있다. 즉, 거리 D1＜거리 D2이다.9 is a cross-sectional view of a main part for explaining position adjustment of the receiving member 74. As shown in Fig. 9, the roundness of the outer peripheral surface 11a of the opening 11 of the tube 2 in the present embodiment is relatively low. Therefore, the distance from the central axis S2 to the outer peripheral surface 11a differs depending on the location of the outer peripheral surface 11a. In this embodiment, the thickness of the tube 2 at the upper end 2a of the tube 2 is relatively small. That is, the distance D1 between the upper end of the outer peripheral surface 11a of the opening 11 and the central axis S2 is a relatively small value. On the other hand, the thickness of the tube 2 at the lower end portion 2b of the tube 2 is relatively large. That is, the distance D2 between the lower end of the outer peripheral surface 11a of the opening 11 and the central axis S2 is a relatively large value. That is, the distance D1 < distance D2.

튜브(2)의 상단부(2a)에 인접해 있는 받침 부재(74(741))는, 당해 받침 부재(741)의 플랜지부(77)와, 제2 플랜지(27)의 직경 방향(R1)에 있어서의 거리가, 소정의 값(D3)이 되도록, 대응하는 위치 결정용 나사 부재(84)에 의해 위치가 설정되어 있다. 이에 따라, 받침 부재(741)는 제2 시일 부재(22) 중, 당해 받침 부재(741)와 마주 보는 부분을, 직경 방향(R1)의 안쪽, 및 길이 방향(L1)의 한쪽을 향해서 가압하고 있다.The support member 74 (741) adjacent to the upper end 2a of the tube 2 is supported by the flange portion 77 of the support member 741 and the radial direction R1 of the second flange 27 Is set by the corresponding positioning screw member 84 so that the distance in the direction of the arrow D2 is a predetermined value D3. The support member 741 presses the portion of the second seal member 22 facing the support member 741 toward one of the inside of the radial direction R1 and the longitudinal direction L1 have.

한편, 튜브(2)의 하단부(2b)에 인접해 있는 받침 부재(74(742))는, 당해 받침 부재(742)의 플랜지부(77)와, 제2 플랜지(27)의 직경 방향(R1)에 있어서의 거리가, 소정의 값(D4)이 되도록, 대응하는 위치 결정용 나사 부재(84)에 의해 위치가 설정되어 있다. 이 경우, 거리 D3＜거리 D4이다. 받침 부재(742)는 제2 시일 부재(22) 중, 당해 받침 부재(742)와 마주 보는 부분을, 직경 방향(R1)의 안쪽, 및 길이 방향(L1)의 한쪽을 향해 가압하고 있다.The support member 74 (742) adjacent to the lower end portion 2b of the tube 2 is connected to the flange portion 77 of the support member 742 in the radial direction R1 of the second flange 27 Is set to the predetermined value D4 by the corresponding positioning screw member 84. The positioning screw member 84, In this case, the distance D3 is smaller than the distance D4. The receiving member 742 presses the portion of the second sealing member 22 facing the receiving member 742 toward one of the inside of the diametrical direction R1 and the one of the longitudinal direction L1.

이상 설명한 것처럼, 열처리 장치(1)에 의하면, 각 받침 부재(74)는, 서로 독립하여, 직경 방향(R1)의 위치를 조정 가능하도록 구성되어 있다. 이 때문에, 각 받침 부재(74)는 제2 시일 부재(22) 중 직경 방향(R1)에 대향하고 있는 부분을, 확실하게, 개구부(11)의 외주면(11a)에 가압할 수 있다. 따라서, 튜브(2)의 튜브 본체(8)의 진원도, 특히 외주면(11a)의 진원도가 낮은 경우에도, 제2 시일 부재(22)를, 둘레 방향(C1)의 전역에 걸쳐, 당해 개구부(11)의 외주면(11a)에 확실하게 밀착할 수 있다. 또한, 개구부(11)의 진원도에 따른 형상의 받침 부재를 준비한다는, 수고가 걸리는 작업이 필요없다.As described above, according to the heat treatment apparatus 1, the respective receiving members 74 are configured to be able to adjust the position of the radial direction R1 independently of each other. Each of the receiving members 74 can reliably press the portion of the second seal member 22 facing the radial direction R1 against the outer peripheral surface 11a of the opening 11. Therefore, even when the roundness of the tube main body 8 of the tube 2, in particular, the roundness of the outer peripheral surface 11a is low, the second seal member 22 can be prevented from being deformed in the circumferential direction C1, The outer circumferential surface 11a of the base member 11 can be surely brought into close contact with the outer circumferential surface 11a. Further, there is no need for a laborious work of preparing the receiving member of the shape corresponding to the roundness of the opening 11.

따라서, 열처리 장치(1)에 있어서, 피처리물(100)을 수용하는 튜브(2)의 치수 공차가 큰 경우에도, 튜브(2)를 시일하기 위한 제2 시일 부재(22)를, 확실하게, 또한, 적은 수고로 튜브(2)에 따르게 할 수 있다.Therefore, even when the dimensional tolerance of the tube 2 accommodating the object to be processed 100 is large in the heat treatment apparatus 1, the second seal member 22 for sealing the tube 2 can be securely , And can be made to follow the tube 2 with a small effort.

또한, 열처리 장치(1)에 의하면, 각 받침 부재(74)는 고정용 나사 부재(83)를 이용하여, 제2 플랜지(27)에 체결된다. 이러한 간단한 구성으로, 각 받침 부재(74)를 고정할 수 있다. 또한, 고정용 나사 부재(83)에 의한 체결이 해제되어 있는 상태에 있어서, 각 받침 부재(74)를, 제2 플랜지(27)에 대해서 직경 방향(R1)으로 변위시킬 수 있다. 이에 따라, 직경 방향(R1)에 있어서의 각 받침 부재(74)의 위치를 용이하게 조정할 수 있다.According to the heat treatment apparatus 1, the respective receiving members 74 are fastened to the second flange 27 by using the fixing screw member 83. With this simple configuration, the respective receiving members 74 can be fixed. Each of the receiving members 74 can be displaced in the radial direction R1 with respect to the second flange 27 in a state in which the fastening by the fixing screw member 83 is released. Thus, the positions of the respective receiving members 74 in the radial direction R1 can be easily adjusted.

또한, 열처리 장치(1)에 의하면, 제2 플랜지(27)는, 둘레 방향(C1)의 전역에 걸쳐, 제2 시일 부재(22)와 접촉하고 있다. 이에 따라, 제2 시일 부재(22) 및 제2 플랜지(27)는, 협동하여, 튜브(2)의 개구부(11)의 주위를, 둘레 방향(C1)의 전역에 걸쳐 시일할 수 있다.According to the heat treatment apparatus 1, the second flange 27 is in contact with the second seal member 22 over the entire circumferential direction C1. The second seal member 22 and the second flange 27 can cooperate to seal the periphery of the opening 11 of the tube 2 over the entire circumferential direction C1.

또한, 열처리 장치(1)에 의하면, 각 받침 부재(74)는, 제2 시일 부재(22)를, 제2 플랜지(27)에 가압하기 위한 제2 가압부(82)를 가지고 있다. 이에 따라, 제2 시일 부재(22)를, 더욱 확실하게 제2 플랜지(27)에 접촉시킬 수 있다. 따라서, 제2 시일 부재(22) 및 제2 플랜지(27)는 튜브(2)의 개구부(11)의 주위를, 더욱 확실하게 시일할 수 있다.Each supporting member 74 has a second pressing portion 82 for pressing the second sealing member 22 against the second flange 27. The second pressing member 82 is provided with a second pressing portion 82 for pressing the second sealing member 22 against the second flange 27. [ As a result, the second seal member 22 can be brought into contact with the second flange 27 more reliably. The second seal member 22 and the second flange 27 can seal the periphery of the opening 11 of the tube 2 more reliably.

또한, 열처리 장치(1)에 의하면, 받침 부재 유지 기구(73)의 위치 결정용 나사 부재(84)는, 각 받침 부재(74)의 위치를, 직경 방향(R1)에 있어서 규정하도록 구성되어 있다. 이에 따라, 위치 결정용 나사 부재(84)는 제2 시일 부재(22)를 개구부(11)의 외주면(11a)에 밀착시키는데 적합한 위치에, 각 받침 부재(74)를 배치할 수 있다. 이에 따라, 제2 시일 부재(22)를, 더욱 확실하게, 튜브(2)의 개구부(11)의 외주면(11a)에 밀착시킬 수 있다.According to the heat treatment apparatus 1, the positioning screw member 84 of the receiving member holding mechanism 73 is configured to define the position of each receiving member 74 in the radial direction R1 . The positioning screw member 84 can arrange the respective receiving members 74 in positions suitable for bringing the second seal member 22 into close contact with the outer peripheral surface 11a of the opening 11. [ As a result, the second seal member 22 can be more reliably adhered to the outer peripheral surface 11a of the opening 11 of the tube 2.

또한, 각 위치 결정용 나사 부재(84)는 제2 플랜지(27)의 대응하는 나사 구멍(87)에 결합되어 있고, 또한, 대응하는 받침 부재(74)를 제2 시일 부재(22)에 가압하고 있다. 이러한 구성이면, 위치 결정용 나사 부재(84)를 나사 구멍(87)에 조여넣는 깊이를 조정함으로써, 받침 부재(74)의 위치를, 용이하게 미세 조정할 수 있다. 그 결과, 제2 시일 부재(22)를, 개구부(11)의 외주면(11a)에 적절한 강도로 가압할 수 있다.Each positioning screw member 84 is also engaged with a corresponding screw hole 87 of the second flange 27 and also presses the corresponding receiving member 74 against the second sealing member 22 . With this configuration, the position of the receiving member 74 can be easily and finely adjusted by adjusting the depth of tightening the positioning screw member 84 into the screw hole 87. [ As a result, the second seal member 22 can be pressed to the outer peripheral surface 11a of the opening 11 with an appropriate strength.

이상, 본 발명의 실시 형태에 대하여 설명했지만, 본 발명은 상술한 실시의 형태에 한정되는 것은 아니다. 본 발명은 특허 청구의 범위에 기재한 것에 한해 다양한 변경이 가능하다.The embodiments of the present invention have been described above, but the present invention is not limited to the embodiments described above. The present invention can be modified in various ways within the scope of the claims.

(1) 상술한 실시 형태에서, 튜브(2)는 원통형상인 형태를 예로 설명했다. 그러나 이대로가 아니어도 된다. 예를 들면, 튜브는 다각형의 통형상이어도 된다. 이 경우, 제2 시일 부재(제2 시일 부재(22)에 상당) 및 시일 유지 부재(시일 유지 부재(35)에 상당)는 튜브의 외주면의 형상에 따른 형상으로 형성된다.(1) In the above-described embodiment, the tube 2 has been described as an example of a cylindrical shape. But it does not have to be this way. For example, the tube may be a polygonal tube. In this case, the second seal member (corresponding to the second seal member 22) and the seal holding member (corresponding to the seal holding member 35) are formed in a shape corresponding to the shape of the outer peripheral surface of the tube.

(2) 상술의 실시 형태에서, 제2 시일 부재(22)는, 튜브(2)의 외주면(11a)에 끼워맞춰지는 형태를 예로 설명했다. 그러나 이대로가 아니어도 된다. 예를 들면, 제2 시일 부재(22)는 튜브(2)의 내주면에 끼워맞춰져도 된다. 이 경우, 각 받침 부재(74)의 외주면은 직경 방향(R1)에 있어서의 튜브(2)의 개구부(11)의 안쪽에 배치된다. 각 받침 부재(74)는 제2 시일 부재(22)를 개구부(11)의 내주면을 향하여 가압한다.(2) In the above-described embodiment, the second seal member 22 has been described as being fitted to the outer peripheral surface 11a of the tube 2 as an example. But it does not have to be this way. For example, the second seal member 22 may be fitted to the inner peripheral surface of the tube 2. In this case, the outer circumferential surface of each receiving member 74 is disposed inside the opening portion 11 of the tube 2 in the radial direction R1. Each supporting member 74 presses the second sealing member 22 toward the inner peripheral surface of the opening 11.

(3) 상술의 실시 형태에서, 받침 부재 유지 기구(73)는 고정용 나사 부재(83), 및 위치 결정용 나사 부재(84)를 이용하여, 받침 부재(74)를, 제2 시일 부재(22)에 고정하는 형태를 예로 설명했다. 그러나 이대로가 아니어도 된다. 예를 들면, 받침 부재 유지 기구(73)는 직경 방향(R1)으로 연장되는 레일 등, 나사 부재 이외의 부재를 이용하여 구성되어 있어도 된다.(3) In the embodiment described above, the receiving member holding mechanism 73 uses the fixing screw member 83 and the positioning screw member 84 to fix the receiving member 74 to the second sealing member 22) is described as an example. But it does not have to be this way. For example, the support member holding mechanism 73 may be constructed using members other than screw members, such as rails extending in the radial direction R1.

(4) 상기 실시 형태에서, 고정용 나사 부재(83)는, 받침 부재(74)와, 직경 방향(R1)으로 일체적으로 이동 가능한 형태를 예로 설명했다. 그러나 이대로가 아니어도 된다. 예를 들면, 도 10에 나타내는 바와 같이, 고정용 나사 부재(83)를, 받침 부재(74A)에 대하여, 직경 방향(R1)으로 상대 이동 가능하게 구성해도 된다. 또한, 이하에서는, 도 1~도 9에 나타내는 실시 형태와 다른 점에 대하여 설명하고, 상기 실시 형태와 동일한 구성에 대해서는, 도면에 동일한 부호를 붙여 설명을 생략한다. 받침 부재(74A)에는 장공(86A)이 형성되어 있다. 한편, 제2 플랜지(27A)에는 나사 구멍(78A)이 형성되어 있다. 고정용 나사 부재(83)는 장공(86A)에 삽입되고, 또한, 나사 구멍(78A)에 나사 결합된다. 이 경우, 스테이(90)는 고정용 나사 부재(83)와 접촉하지 않도록 배치된다.(4) In the above embodiment, the fixing screw member 83 has been described as an example in which the fixing screw member 83 can move integrally with the receiving member 74 in the radial direction R1. But it does not have to be this way. For example, as shown in Fig. 10, the fixing screw member 83 may be configured so as to be movable in the radial direction R1 relative to the receiving member 74A. In the following, points different from those of the embodiment shown in Figs. 1 to 9 will be described, and the same constituent elements as those of the above embodiment will be denoted by the same reference numerals and the description thereof will be omitted. A long hole 86A is formed in the receiving member 74A. On the other hand, a screw hole 78A is formed in the second flange 27A. The fixing screw member 83 is inserted into the elongated hole 86A and further screwed into the screw hole 78A. In this case, the stay 90 is disposed so as not to come into contact with the fixing screw member 83.

(5) 또한, 도 11에 나타내는 바와 같이, 고정용 나사 부재(83)는 받침 부재(74A), 및 제2 플랜지(27)의 쌍방에 대하여, 직경 방향(R1)으로 상대 이동 가능하게 구성되어 있어도 된다. 이 경우, 고정용 나사 부재(83)는 제2 플랜지(27)의 장공(86), 및, 받침 부재(74A)의 장공(86A)에 삽입된다. 이에 따라, 고정용 나사 부재(83)는, 제2 플랜지(27) 및 받침 부재(74A)를 관통하고 있다. 고정용 나사 부재(83)는 너트 부재(92)와 나사 결합함으로써, 제2 플랜지(27)와 받침 부재(74A)를 체결하고 있다. 이 경우, 직경 방향(R1)에 있어서, 받침 부재(74A)의 위치 조정이 가능한 범위를, 보다 크게 할 수 있다.(5) As shown in Fig. 11, the fixing screw member 83 is configured to be movable in the radial direction R1 relative to both the supporting member 74A and the second flange 27 . In this case, the fixing screw member 83 is inserted into the elongated hole 86 of the second flange 27 and the elongated hole 86A of the receiving member 74A. Thus, the fixing screw member 83 passes through the second flange 27 and the receiving member 74A. The fixing screw member 83 is screwed to the nut member 92 to fasten the second flange 27 and the receiving member 74A. In this case, the range in which the position of the receiving member 74A can be adjusted in the radial direction R1 can be made larger.

(6) 또한, 상기 실시 형태에서는, 받침 부재(74)를 제2 플랜지(27)에 체결하는 체결 부재로서, 고정용 나사 부재(83)를 이용하는 형태를 예로 설명했다. 그러나, 이대로가 아니어도 된다. 예를 들면, 받침 부재(74) 및 제2 플랜지(27)를 사이에 끼우는 클립형상의 체결 부재 등, 다른 체결 부재를 이용해도 된다.(6) In the above-described embodiment, a fixing screw member 83 is used as a fastening member for fastening the supporting member 74 to the second flange 27. [ However, it does not have to be this way. For example, another fastening member such as a clip-like fastening member sandwiching the receiving member 74 and the second flange 27 may be used.

(7) 또한, 상기 실시 형태에서는, 튜브(2)에 인접하는 인접 부재로서, 냉각 부재(19)를 이용하는 형태를 예로 설명했다. 그러나 이대로가 아니어도 된다. 예를 들면, 튜브(2)에 인접하는 부재로서, 튜브(2)의 개구부(11)를 막는 도어를 이용해도 된다.(7) In the above embodiment, the cooling member 19 is used as an adjacent member adjacent to the tube 2 as an example. But it does not have to be this way. For example, as a member adjacent to the tube 2, a door that closes the opening 11 of the tube 2 may be used.

(8) 상술의 실시 형태에서는, 받침 부재(74)가, 제1 가압부(81) 및 제2 가압부(82)를 가지는 형태를 예로 설명했다. 그러나 이대로가 아니어도 된다. 예를 들면, 제1 가압부(81) 및 제2 가압부(82) 중 적어도 한쪽은 생략되어도 된다.(8) In the above-described embodiment, the receiving member 74 has the first pressing portion 81 and the second pressing portion 82 as examples. But it does not have to be this way. For example, at least one of the first pressing portion 81 and the second pressing portion 82 may be omitted.

(9) 상술의 실시 형태에서는, 직경 방향(R1)에 있어서의 받침 부재(74)의 위치를, 위치 결정용 나사 부재(84)에 의해서 조정하는 형태를 예로 설명했다. 그러나, 이대로가 아니어도 된다. 예를 들면, 위치 결정용 나사 부재(84)는 생략되어도 된다.(9) In the above-described embodiment, the position of the receiving member 74 in the radial direction R1 is adjusted by the positioning screw member 84 as an example. However, it does not have to be this way. For example, the positioning screw member 84 may be omitted.

(10) 상술의 실시 형태에서는, 제2 시일 부재(22)를, O링에 의해서 형성하는 형태를 예로 설명했다. 그러나 이대로가 아니어도 된다. 예를 들면, 제2 시일 부재를, 탄성 및 가요성을 가지는, O링 이외의 시일 부재로 형성해도 된다.(10) In the above-described embodiment, the second seal member 22 is formed by an O-ring. But it does not have to be this way. For example, the second seal member may be formed of a seal member having elasticity and flexibility other than the O-ring.

(11) 상기 실시 형태에서, 제1 시일 부재(21)는, O링인 형태를 예로 설명했다. 그러나 이대로가 아니어도 된다. 제1 시일 부재(21)는, O링 이외의, 고체형상의 시일 부재 등이어도 된다.(11) In the above embodiment, the first seal member 21 is an O-ring type. But it does not have to be this way. The first seal member 21 may be a solid seal member other than the O-ring.

본 발명은 가열된 분위기 하에서 피처리물을 처리하기 위한 열처리 장치로서 폭넓게 적용할 수 있다. The present invention can be widely applied as a heat treatment apparatus for treating an object to be treated in a heated atmosphere.

1: 열처리 장치 2: 튜브(수납 용기)
8: 튜브 본체(통형상부) 11: 개구부
11a: 외주면(둘레면) 22: 제2 시일 부재(환상의 시일 부재)
27, 27A: 제2 플랜지(인접 부재) 71: 시일 유지 장치
73: 받침 부재 유지 기구 74, 74A: 받침 부재
82: 제2 가압부(가압부) 83: 고정용 나사 부재(체결 부재)
84: 위치 결정용 나사 부재(위치 결정 부재, 수나사 부재)
87: 나사 구멍 100: 피처리물
C1: 둘레 방향 L1: 길이 방향(축방향)
R1: 직경 방향(둘레면에 가까워지는 방향 및 둘레면으로부터 멀어지는 방향)1: heat treatment device 2: tube (storage container)
8: tube body (tubular portion) 11: opening
11a: outer circumferential surface (circumferential surface) 22: second seal member (annular seal member)
27, 27A: second flange (adjacent member) 71: seal holding device
73: Support member holding mechanism 74, 74A: Support member
82: second pressing portion (pressurizing portion) 83: fixing screw member (fastening member)
84: Positioning screw member (positioning member, male screw member)
87: screw hole 100: object to be processed
C1: circumferential direction L1: longitudinal direction (axial direction)
R1 is a radial direction (a direction approaching the circumferential surface and a direction away from the circumferential surface)

Claims (6)

통형상부를 가지고, 또한, 피처리물을 수용 가능하게 구성된 수납 용기와,
탄성을 가지는 재료를 이용하여 형성되고, 상기 통형상부의 둘레면에 끼워맞춰진 환상의 시일 부재와,
상기 시일 부재를 유지하기 위한 시일 유지 장치를 구비하고,
상기 시일 유지 장치는, 상기 통형상부의 둘레 방향으로 배열된 복수의 받침 부재와, 복수의 상기 받침 부재를 유지하는 받침 부재 유지 기구를 포함하고,
각 상기 받침 부재는, 상기 둘레 방향에 있어서의 상기 시일 부재의 일부를 받치고 있고,
상기 받침 부재 유지 기구는 각 상기 받침 부재의 위치를, 상기 둘레면에 가까워지는 방향 및 상기 둘레면으로부터 멀어지는 방향에 있어서 조정 가능하게 구성되어 있으며,
상기 받침 부재 유지 기구는, 각 상기 받침 부재의 위치를, 상기 둘레면에 가까워지는 방향 및 상기 둘레면으로부터 멀어지는 방향에 있어서 규정하기 위한 위치 결정 부재를 가지고 있는 것을 특징으로 하는 열처리 장치.A storage container having a tubular portion and configured to receive the object to be processed,
An annular seal member formed using a material having elasticity and fitted to the peripheral surface of the tubular portion;
And a seal holding device for holding the seal member,
Wherein the seal holding device includes a plurality of receiving members arranged in the circumferential direction of the tubular portion and a receiving member holding mechanism holding the plurality of receiving members,
Each of the receiving members supports a part of the sealing member in the circumferential direction,
Wherein the receiving member holding mechanism is configured to adjust the position of each of the receiving members in a direction approaching the peripheral surface and a direction away from the peripheral surface,
Wherein the support member holding mechanism has a positioning member for defining the position of each of the receiving members in a direction approaching the circumferential surface and a direction away from the circumferential surface. 청구항 1에 있어서,
상기 받침 부재 유지 기구는, 상기 통형상부의 축방향과 평행한 방향에 있어서 각 상기 받침 부재와 인접하는 인접 부재와, 각 상기 받침 부재마다 설치되어, 대응하는 상기 받침 부재 및 상기 인접 부재를 서로 체결하는 복수의 체결 부재를 포함하고,
각 상기 받침 부재는, 상기 체결 부재에 의한 체결이 해제되어 있는 상태에서, 상기 인접 부재에 대하여, 상기 둘레면에 가까워지는 방향 및 상기 둘레면으로부터 멀어지는 방향으로 상대 이동 가능한 것을 특징으로 하는 열처리 장치.The method according to claim 1,
Wherein the support member holding mechanism includes an adjacent member adjacent to each of the receiving members in a direction parallel to the axial direction of the tubular portion and a connecting member provided for each of the receiving members to fasten the corresponding receiving member and the adjacent member to each other A plurality of fastening members,
Wherein each of the receiving members is relatively movable with respect to the adjacent member in a direction approaching the circumferential surface and a direction away from the circumferential surface in a state in which the engagement by the coupling member is released. 청구항 2에 있어서,
상기 인접 부재는, 상기 둘레 방향의 전역에 걸쳐, 상기 시일 부재와 접촉하고 있는 것을 특징으로 하는 열처리 장치.The method of claim 2,
Wherein the adjacent member is in contact with the seal member over the entire circumferential direction. 청구항 3에 있어서,
각 상기 받침 부재는, 상기 시일 부재를, 상기 인접 부재를 향해서 가압하기 위한 가압부를 가지고 있는 것을 특징으로 하는 열처리 장치.The method of claim 3,
Wherein each of the receiving members has a pressing portion for pressing the sealing member toward the adjacent member. 삭제delete 삭제delete
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