KR101474101B1 - Heat treatment apparatus - Google Patents
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Abstract
열처리 장치에 있어서, 피처리물을 수용하는 수납 용기의 치수 공차가 큰 경우에도, 수납 용기를 시일하기 위한 시일 부재를, 확실하게, 또한, 적은 수고로 수납 용기에 따르게 할 수 있도록 하는 것으로서, 열처리 장치(1)는, 튜브(2)와, 환상의 제2 시일 부재(22)와, 시일 유지 장치(71)를 구비한다. 제2 시일 부재(22)는 탄성을 가지는 재료를 이용하여 형성되고, 튜브(2)의 개구부(11)의 외주면(11a)에 끼워 맞춰진다. 시일 유지 장치(71)는, 둘레 방향(C1)으로 배열된 복수의 받침 부재(74)와, 복수의 받침 부재(74)를 유지하는 받침 부재 유지 기구(73)를 포함한다. 각 받침 부재(74)는 둘레 방향(C1)에 있어서의 제2 시일 부재(22)의 일부를 받치고 있다. 받침 부재 유지 기구(73)는 직경 방향(R1)에 있어서의 각 받침 부재(74)의 위치를 조정 가능하도록 구성되어 있다.A heat treatment apparatus capable of ensuring that a sealing member for sealing a storage container can conform to a storage container with a certain degree of reliability even when the storage container for containing the object to be processed has a large dimensional tolerance, The apparatus 1 includes a tube 2, an annular second seal member 22, and a seal holding device 71. The second seal member 22 is formed using a material having elasticity and is fitted to the outer peripheral surface 11a of the opening 11 of the tube 2. [ The seal holding device 71 includes a plurality of support members 74 arranged in the circumferential direction C1 and a support member holding mechanism 73 for holding a plurality of support members 74. [ Each supporting member 74 supports a part of the second sealing member 22 in the circumferential direction C1. The support member holding mechanism 73 is configured to adjust the position of each support member 74 in the radial direction R1.
Description
본 발명은 가열된 분위기 하에서 피처리물을 처리하기 위한 열처리 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a heat treatment apparatus for treating an object to be treated in a heated atmosphere.
기판 등의 재료에 열처리를 행하기 위한 열처리 장치가 알려져 있다(예를 들면, 특허 문헌 1 참조). 열처리 장치의 일예로서, 특허 문헌 1에 기재된 감압 CVD 장치는 석영제의 반응관을 가지고 있다. 반응관은 원통형상의 부재이다. 반응관의 개구부는 도어에 의해서 닫힌다. 도어와 반응관의 사이에는 O링이 배치되어 있다. 구체적으로, O링은 반응관의 외주부에 끼워져 있다. 또한, 도어는 O링의 외주부를 둘러싸는 서포트를 가지고 있다. 당해 서포트는 O링과 접촉하고 있다. 이에 따라, 반응관의 개구부와 도어의 사이가, 반응관의 원주 방향의 전역에 걸쳐 시일되어 있다.BACKGROUND ART A heat treatment apparatus for performing heat treatment on a material such as a substrate is known (see, for example, Patent Document 1). As an example of the heat treatment apparatus, the low pressure CVD apparatus disclosed in Patent Document 1 has a quartz reaction tube. The reaction tube is a cylindrical member. The opening of the reaction tube is closed by a door. An O-ring is disposed between the door and the reaction tube. Specifically, the O-ring is fitted in the outer peripheral portion of the reaction tube. Further, the door has a support surrounding the outer periphery of the O-ring. The support is in contact with the O-ring. Accordingly, the opening of the reaction tube and the door are sealed over the entire circumferential direction of the reaction tube.
석영으로 반응관을 형성하는 경우, 약 2000도 정도의 고온으로 가열한 석영 재료를 원통형상으로 형성하게 된다. 이러한 특수한 조건 하에서 반응관을 형성할 필요가 있으므로, 반응관에 있어서의 진원도(眞圓度)를 높게 하는 것은 반드시 용이하지는 않다. 그 결과, 반응관은 진원도가 낮은 경우가 있다. 이 경우, 반응관의 개구부의 외주부는 진원이 아니다. 따라서, 반응관의 중심축선으로부터 반응관 개구부의 외주부까지의 거리는 불균일하다. 반응관은 처리하는 재료의 대형화에 따라, 대형화되어 있다. 따라서, 상기한 불균일의 정도는 더욱 커져 버린다. 이러한 반응관의 외주부에 O링을 끼워넣은 경우, O링의 일부는 반응관의 외주부로부터 들뜬 상태로 될 우려가 있다. 이러한 들뜸 현상이 존재하면, 반응관과 O링의 밀착 상태를 확실하게 유지할 수 없다. 그러나 O링의 들뜸을 방지하기 위한 대책에 대하여, 특허 문헌 1에서는 특별히 고려되어 있지 않다.When a reaction tube is formed of quartz, a quartz material heated at a high temperature of about 2000 degrees is formed into a cylindrical shape. Since it is necessary to form a reaction tube under such special conditions, it is not necessarily easy to increase the roundness in the reaction tube. As a result, the roundness of the reaction tube may be low. In this case, the outer peripheral portion of the opening of the reaction tube is not a true circle. Therefore, the distance from the central axis of the reaction tube to the outer peripheral portion of the reaction tube opening is non-uniform. The reaction tube has become larger in size as the material to be processed is increased. Therefore, the degree of the above-described unevenness becomes larger. When the O-ring is fitted to the outer peripheral portion of the reaction tube, a part of the O-ring may be in a state of being excited from the outer peripheral portion of the reaction tube. If such exothermic phenomenon exists, the state of adhesion between the reaction tube and the O-ring can not be reliably maintained. However, a countermeasure for preventing lifting of the O-ring is not particularly taken into consideration in Patent Document 1.
한편, 상기의 들뜸 현상을 방지하기 위해서, 개개의 반응관의 개구부의 진원도에 따라, O링을 반응관에 가압하는 서포트의 형상을, 그때마다 변경하는 것을 생각할 수 있다. 그러나 이러한 구성에서는, 서포트의 형상을, 1개마다 변경할 필요가 있어, 서포트의 제조에 수고가 든다.On the other hand, in order to prevent the lifting phenomenon, it is conceivable to change the shape of the support for pressing the O-ring to the reaction tube depending on the roundness of the opening of each reaction tube. However, in such a configuration, it is necessary to change the shape of the support every one, and it takes time to manufacture the support.
본 발명은 상기 사정을 감안함으로써, 열처리 장치에 있어서, 피처리물을 수용하는 수납 용기의 치수 공차가 큰 경우에도, 수납 용기를 시일하기 위한 시일 부재를, 확실하게, 또한, 적은 수고로 수납 용기에 따르게 할 수 있도록 하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION In view of the above circumstances, it is an object of the present invention to provide a heat treatment apparatus which is capable of reliably sealing a sealing member for sealing a storage container even when the dimensional tolerance of the storage container for containing the object to be processed is large, In accordance with the present invention.
(1) 상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명의 한 국면에 관련된 열처리 장치는, 수납 용기와, 환상의 시일 부재와, 시일 유지 장치를 구비한다. 상기 수납 용기는 통형상부를 가지고, 또한, 피처리물을 수용 가능하게 구성되어 있다. 상기 시일 부재는 탄성을 가지는 재료를 이용하여 형성되고, 상기 통형상부의 둘레면에 끼워맞춰진다. 상기 시일 유지 장치는 상기 시일 부재를 유지하기 위해서 설치되어 있다. 상기 시일 유지 장치는 상기 통형상부의 둘레 방향으로 배열된 복수의 받침 부재와, 복수의 상기 받침 부재를 유지하는 받침 부재 유지 기구를 포함한다.(1) In order to solve the above problems, a heat treatment apparatus according to one aspect of the present invention includes a storage container, an annular seal member, and a seal holding device. The storage container has a tubular portion and is configured to be able to receive the object to be processed. The seal member is formed using a material having elasticity, and is fitted to the peripheral surface of the tubular portion. The seal holding device is provided to hold the seal member. The seal holding device includes a plurality of support members arranged in the circumferential direction of the tubular portion, and a support member holding mechanism for holding the plurality of support members.
각 상기 받침 부재는 상기 둘레방향에 있어서의 상기 시일 부재의 일부를 받치고 있다. 상기 받침 부재 유지 기구는 각 상기 받침 부재의 위치를, 상기 둘레면에 가까워지는 방향 및 상기 둘레면으로부터 멀어지는 방향에 있어서 조정 가능하게 구성되어 있다.Each of the receiving members supports a part of the sealing member in the circumferential direction. The receiving member holding mechanism is configured to be able to adjust the position of each of the receiving members in a direction approaching the circumferential surface and a direction away from the circumferential surface.
이 구성에 의하면, 각 받침 부재는, 서로 독립되어, 통형상부의 둘레면에 대한 위치를 조정가능하게 구성되어 있다. 이 때문에, 각 받침 부재는 시일 부재를 확실하게, 통형상부의 둘레면에 가압할 수 있다. 따라서, 통형상부의 둘레면의 진원도가 낮은 경우에도, 시일 부재를, 통형상부의 둘레 방향의 전역에 걸쳐, 당해 통형상부의 둘레면에 확실하게 밀착할 수 있다. 또한, 통형상부의 진원도에 따른 형상의 받침 부재를 준비하는 수고가 걸리는 작업이 필요없다.According to this configuration, the respective receiving members are configured to be independent from each other and to adjust the position with respect to the peripheral surface of the tubular portion. Therefore, each of the receiving members can reliably press the seal member against the peripheral surface of the tubular portion. Therefore, even when the roundness of the peripheral surface of the tubular portion is low, the seal member can be surely brought into close contact with the peripheral surface of the tubular portion over the entire circumferential direction of the tubular portion. Further, it is not necessary to take laborious work to prepare the receiving member of the shape corresponding to the roundness of the cylindrical portion.
따라서, 본 발명에 의하면, 열처리 장치에 있어서, 피처리물을 수용하는 수납 용기의 치수 공차가 큰 경우에도, 수납 용기를 시일하기 위한 시일 부재를, 확실하게, 또한, 적은 수고로 수납 용기에 따르게 할 수 있다.Therefore, according to the present invention, in the heat treatment apparatus, even when the dimensional tolerance of the storage container containing the object to be treated is large, the seal member for sealing the storage container can be securely and reliably attached to the storage container can do.
(2) 바람직하게는, 상기 받침 부재 유지 기구는, 인접 부재와, 복수의 체결 부재를 포함한다. 상기 인접 부재는 상기 통형상부의 축방향과 평행한 방향에 있어서 각 상기 받침 부재와 인접한다. 복수의 상기 체결 부재는, 각 상기 받침 부재마다 설치되고, 대응하는 상기 받침 부재 및 상기 인접 부재를 서로 체결한다. 각 상기 받침 부재는, 상기 체결 부재에 의한 체결이 해제되어 있는 상태에서, 상기 인접 부재에 대하여, 상기 둘레면에 가까워지는 방향 및 상기 둘레면으로부터 멀어지는 방향으로 상대 이동 가능하다.(2) Preferably, the receiving member holding mechanism includes an adjacent member and a plurality of fastening members. And the adjacent member is adjacent to each of the receiving members in a direction parallel to the axial direction of the tubular portion. The plurality of fastening members are provided for each of the receiving members, and fasten the corresponding receiving members and the adjacent members to each other. Each of the receiving members is relatively movable with respect to the adjacent member in a direction approaching the circumferential surface and a direction away from the circumferential surface in a state in which the engagement by the coupling member is released.
이 구성에 의하면, 각 받침 부재는 체결 부재를 이용하여, 인접 부재에 체결된다. 이러한 간단한 구성으로, 각 받침 부재를 고정할 수 있다. 또한, 체결 부재에 의한 체결이 해제되어 있는 상태에서, 받침 부재를 인접 부재에 대하여 변위시킬 수 있다. 이에 따라, 각 받침 부재의 위치를 용이하게 조정할 수 있다.According to this configuration, each supporting member is fastened to the adjacent member using the fastening member. With this simple configuration, each supporting member can be fixed. Further, in a state in which the fastening by the fastening member is released, the receiving member can be displaced with respect to the adjacent member. Thus, the position of each supporting member can be easily adjusted.
(3) 더욱 바람직하게는, 상기 인접 부재는 상기 둘레 방향의 전역에 걸쳐, 상기 시일 부재와 접촉하고 있다.(3) More preferably, the adjacent member is in contact with the seal member over the entire circumferential direction.
이 구성에 의하면, 시일 부재 및 인접 부재는 협동하여, 수납 용기의 통형상부의 개구부의 주위를, 둘레 방향의 전역에 걸쳐 시일할 수 있다.According to this configuration, the seal member and the adjacent member cooperate to seal the periphery of the opening of the cylindrical portion of the storage container over the entire circumferential direction.
(4) 더욱 바람직하게는, 각 상기 받침 부재는, 상기 시일 부재를, 상기 인접 부재를 향해서 가압하기 위한 가압부를 가지고 있다.(4) More preferably, each of the receiving members has a pressing portion for pressing the sealing member toward the adjacent member.
이 구성에 의하면, 상기 시일 부재를, 더욱 확실하게 인접 부재에 접촉시킬 수 있다. 이에 따라, 시일 부재 및 인접 부재는, 수납 용기의 통형상부의 둘레면을 더욱 확실하게 시일할 수 있다.According to this configuration, the seal member can be brought into contact with the adjacent member more reliably. Thus, the seal member and the adjacent member can seal the peripheral surface of the cylindrical portion of the storage container more reliably.
(5) 바람직하게는, 상기 받침 부재 유지 기구는, 각 상기 받침 부재의 위치를, 상기 둘레면에 가까워지는 방향 및 상기 둘레면으로부터 멀어지는 방향에 있어서 규정하기 위한, 위치 결정 부재를 가지고 있다.(5) Preferably, the receiving member holding mechanism has a positioning member for defining the position of each of the receiving members in a direction approaching the peripheral surface and a direction away from the peripheral surface.
이 구성에 의하면, 위치 결정 부재는, 시일 부재를 통형상부의 둘레면에 밀착시키는데 적합한 위치에 각 받침 부재를 배치할 수 있다. 이에 따라, 시일 부재를, 더욱 확실하게, 수납 용기의 통형상부의 둘레면에 밀착시킬 수 있다.According to this configuration, the positioning member can be disposed at a position suitable for bringing the sealing member into close contact with the peripheral surface of the tubular portion. Thereby, the seal member can be more reliably brought into close contact with the peripheral surface of the cylindrical portion of the storage container.
(6) 더욱 바람직하게는, 상기 위치 결정 부재는, 각 받침 부재마다 설치된, 복수의 수나사 부재를 포함한다. 각 상기 나사 부재는, 상기 인접 부재에 형성되어 상기 둘레면에 가까워지는 방향 및 상기 둘레면으로부터 멀어지는 방향으로 연장되어 있는 나사 구멍에 결합되어 있고, 또한, 대응하는 받침 부재를, 상기 시일 부재를 향하여 가압하고 있다.(6) More preferably, the positioning member includes a plurality of male screw members provided for each receiving member. Each of the screw members is coupled to a threaded hole formed in the adjacent member and extending in a direction approaching the peripheral surface and in a direction away from the peripheral surface, And pressurized.
이 구성에 의하면, 수나사 부재를 나사구멍에 조여넣는 깊이를 조정함으로써, 받침 부재의 위치를 용이하게 미세 조정할 수 있다. 그 결과, 시일 부재를 통형상부의 둘레면에 적절한 강도로 가압할 수 있다.According to this configuration, the position of the receiving member can be easily and finely adjusted by adjusting the depth of tightening the male screw member into the screw hole. As a result, the seal member can be pressed to the peripheral surface of the tubular portion with an appropriate strength.
본 발명에 의하면, 열처리 장치에 있어서, 피처리물을 수용하는 수납 용기의 치수 공차가 큰 경우에도, 수납 용기를 시일하기 위한 시일 부재를, 확실하게, 또한, 적은 수고로 수납 용기에 따르게 할 수 있다. According to the present invention, in the heat treatment apparatus, even when the dimensional tolerance of the storage container containing the object to be processed is large, the seal member for sealing the storage container can be made to follow the storage container with reliability have.
도 1은 본 발명의 실시 형태에 관한 열처리 장치의 일부를 절단한 상태를 나타내는 단면도로, 열처리 장치를 측방으로부터 본 상태를 나타내고 있다.
도 2는 열처리 장치의 일부를 절단한 상태를 나타내는 단면도로, 열처리 장치를 비스듬히 본 상태를 나타내고 있다.
도 3은 도 1의 폐색 장치의 주변 확대도이다.
도 4는 냉각 장치의 주변 확대도이다.
도 5는 도 4의 IV-IV선에 따른 단면도이다.
도 6은 시일 장치의 주요부를 나타내는 사시도로, 시일 장치의 일부 부재의 도시는 생략하고 있다.
도 7은 도 6의 일부를 확대하여 나타내는 사시도이다.
도 8은 도 4의 VIII-VIII선에 따른 단면도이다.
도 9는 받침 부재의 위치 조정에 대하여 설명하기 위한 주요부의 단면도이다.
도 10은 본 발명의 변형예에 있어서의 주요부의 단면도이다.
도 11은 본 발명의 다른 변형예에 있어서의 주요부의 단면도이다.Fig. 1 is a cross-sectional view showing a state in which a part of a heat treatment apparatus according to an embodiment of the present invention is cut off, showing a state where the heat treatment apparatus is viewed from the side. Fig.
Fig. 2 is a cross-sectional view showing a state in which a part of the heat treatment apparatus is cut, and shows a state in which the heat treatment apparatus is obliquely viewed.
3 is a peripheral enlarged view of the occlusion device of FIG. 1;
4 is a peripheral enlarged view of the cooling device.
5 is a sectional view taken along the line IV-IV in Fig.
Fig. 6 is a perspective view showing a main part of the sealing device, and illustration of a part of the sealing device is omitted.
Fig. 7 is an enlarged perspective view of part of Fig. 6. Fig.
8 is a sectional view taken along the line VIII-VIII in Fig.
9 is a sectional view of a main part for explaining position adjustment of the receiving member.
10 is a cross-sectional view of a main part in a modified example of the present invention.
11 is a cross-sectional view of a main part in another modification of the present invention.
이하, 본 발명을 실시하기 위한 형태에 대하여 도면을 참조하면서 설명한다. 또한, 본 발명은 피처리물을 열처리하기 위한 열처리 장치로서 폭넓게 적용할 수 있다.Hereinafter, embodiments for carrying out the present invention will be described with reference to the drawings. Further, the present invention can be widely applied as a heat treatment apparatus for heat-treating a material to be treated.
[열처리 장치의 개략 구성][Outline of heat treatment apparatus]
도 1은 본 발명의 실시 형태에 관련된 열처리 장치(1)의 일부를 절단한 상태를 나타내는 단면도이며, 열처리 장치(1)를 측방으로부터 본 상태를 나타내고 있다. 도 2는 열처리 장치(1)의 일부를 절단한 상태를 나타내는 단면도이며, 열처리 장치를 비스듬히 본 상태를 나타내고 있다. 도 2에서는, 열처리 장치(1)의 일부를 생략하여 나타내고 있다.Fig. 1 is a cross-sectional view showing a state in which a part of a heat treatment apparatus 1 according to an embodiment of the present invention is cut off, and shows a state in which the heat treatment apparatus 1 is viewed from the side. Fig. Fig. 2 is a cross-sectional view showing a state in which a part of the heat treatment apparatus 1 is cut, and shows a state in which the heat treatment apparatus is obliquely viewed. In Fig. 2, a part of the heat treatment apparatus 1 is omitted.
도 1 및 도 2를 참조하여, 열처리 장치(1)는, 피처리물(100)의 표면에 열처리를 실시하는 것이 가능하게 구성되어 있다. 이 열처리로서, CVD(Chemical Vapor Deposition) 처리, 확산 처리, 어닐링 처리, 태양 전지의 제조 처리, 반도체 디바이스의 제조 처리 등을 예시할 수 있다. 본 실시 형태에서, 피처리물(100)은 유리 기판이다. 피처리물(100)은 예를 들면, 직사각형상으로 형성되어 있다. 열처리 장치(1)는, 피처리물(100)을, 반응성 가스의 분위기 하에서 열처리함으로써, 피처리물(100)의 표면에 박막을 형성한다. 또한, 열처리 장치(1)는 가로형 열처리 장치이다. 피처리물(100)은 열처리 장치(1)에 대하여 넣고 뺄 때, 수평 방향으로 변위된다.1 and 2, the heat treatment apparatus 1 is configured such that the surface of the article to be treated 100 can be subjected to heat treatment. Examples of the heat treatment include a CVD (chemical vapor deposition) process, a diffusion process, an annealing process, a solar cell manufacturing process, and a semiconductor device manufacturing process. In the present embodiment, the object to be processed 100 is a glass substrate. The object to be processed 100 is formed, for example, in a rectangular shape. The heat treatment apparatus 1 forms a thin film on the surface of the article to be treated 100 by subjecting the article to be treated 100 to a heat treatment in an atmosphere of a reactive gas. The heat treatment apparatus 1 is a horizontal heat treatment apparatus. The object to be processed 100 is horizontally displaced when it is inserted into and withdrawn from the heat treatment apparatus 1.
열처리 장치(1)는, 튜브(수납 용기)(2)와, 히터(3)와, 폐색 장치(4)와, 차열부(5)와, 팬 장치(6)와, 보호통(보호 부재)(7)을 구비하고 있다.The heat treatment apparatus 1 includes a tube (storage container) 2, a
튜브(2)는 피처리물(100)을 수납하기 위해서 설치되어 있다. 또한, 튜브(2)는, 튜브(2) 내에 수납된 피처리물(100)을, 가열된 분위기 하에서 열처리하기 위해서 설치되어 있다. 본 실시 형태에서, 튜브(2)는 석영을 이용하여 형성되어 있다. 튜브(2)는 중공에 형성되어 있다. 튜브(2)의 두께는 수십㎜ 정도로 설정되어 있다.The
튜브(2)는 튜브 본체(8)와 폐색부(9)를 가지고 있다.The tube (2) has a tube body (8) and a closure part (9).
튜브 본체(8)는, 원통형상으로 형성되어 있고, 가늘고 길게 연장되어 있다. 튜브 본체(8)의 길이 방향(L1)을, 이하, 「길이 방향(L1)」이라고 하는 경우가 있다. 튜브 본체(8)의 하부는 지지대(도시하지 않음)에 의해 지지되어 있다. 튜브 본체(8)의 일단부는 개구부(11)를 가지고 있다. 개구부(11)는 피처리물(100)을 통과시키는 것이 가능한 크기로 형성되어 있다. 피처리물(100)은 개구부(11)를 통하여 튜브(2)에 넣고 뺀다. 튜브 본체(8)의 하부 상에, 피처리물(100)이 배치된다. 피처리물(100)은, 예를 들면, 지지대(12)에 실린 상태에서, 튜브 본체(8)의 외측으로부터, 개구부(11)를 통하여, 튜브 본체(8) 내에 삽입된다. 지지대(12)에 있어서, 피처리물(100)은 수직 방향으로 연장된 상태로 복수 배치되어 있다. 튜브 본체(8)의 타단은 폐색부(9)와 연속해 있다. 폐색부(9)는 길이 방향(L1)을 따라 튜브 본체(8)로부터 멀어지는 방향을 향해, 부풀어 오른 형상으로 형성되어 있다. 폐색부(9)는 튜브 본체(8)의 타단을 막고 있다. 상기의 구성을 가지는 튜브(2)는 히터(3)에 의해 가열된다.The tube
히터(3)는 튜브(2) 내의 분위기를 가열하기 위해서 설치되어 있다. 히터(3)는 예를 들면, 전열 히터이다. 히터(3)는, 전체적으로, 중공의 상자형 형상으로 형성되어 있고, 튜브(2)의 대부분을 수납하고 있다. 히터(3)는 지지대(도시하지 않음)에 의해 지지되어 있다. 히터(3)는, 튜브(2) 내의 분위기를, 수백도 정도로 가열하는 것이 가능하다.The heater (3) is provided to heat the atmosphere in the tube (2). The
히터(3)는, 상부 히터(13)와, 하부 히터(14)와, 단부 히터(15)와, 측부 히터(16)를 가지고 있다.The
상부 히터(13)는 튜브 본체(8)의 상방에 배치되어 있고, 수평으로 연장되어 있다. 평면에서 봐서, 상부 히터(13)는 직사각형으로 형성되어 있다. 평면에서 봐서, 상부 히터(13)는 튜브(2) 중, 개구부(11)의 주변 부분 이외의 부분을 덮고 있다. 상부 히터(13)의 하방에, 하부 히터(14)가 배치되어 있다.The
하부 히터(14)는 튜브 본체(8)의 하방에 배치되어 있고, 수평으로 연장되어 있다. 저면에서 봐서, 하부 히터(14)는 직사각형으로 형성되어 있다. 저면에서 봐서, 하부 히터(14)는 튜브(2) 중, 개구부(11)의 주변 부분 이외의 부분을 덮고 있다. 하부 히터(14)에 인접하도록 단부 히터(15)가 배치되어 있다.The
단부 히터(15)는 튜브(2)의 폐색부(9)와 길이 방향(L1)으로 늘어서 배치되어 있고, 수직으로 연장되어 있다. 단부 히터(15)는 대략 직사각형으로 형성되어 있다. 단부 히터(15)는 튜브(2)의 폐색부(9)를, 튜브(2)의 후방으로부터 덮고 있다. 단부 히터(15)에 인접하도록, 측부 히터(16)가 배치되어 있다.The
측부 히터(16)는 튜브(2)의 튜브 본체(8) 및 폐색부(9)에 인접하여 배치되어 있고, 수직으로 연장되어 있다. 측부 히터(16)는 대략 직사각형으로 형성되어 있고, 길이 방향(L1)과 평행한 방향으로 연장되어 있다. 도시하지 않지만, 측부 히터(16)와 동일한 측부 히터가, 튜브(2)에 인접하여 배치되어 있다. 이들 한 쌍의 측부 히터의 사이에, 튜브(2)가 배치되어 있다. 전술한 것처럼, 상기의 구성을 가지는 히터(3)에 의해, 튜브(2) 내의 분위기가 가열된다. 튜브(2) 내의 분위기가 가열되어 있는 동안, 튜브(2)의 개구부(11)는 폐색 장치(4)에 의해 폐색되어 있다.The
도 3은 도 1의 폐색 장치(4)의 주변 확대도이다. 도 3을 참조하여, 폐색 장치(4)는, 냉각 부재(19)와, 도어 장치(20)와, 제1 시일 부재(21)와, 제2 시일 부재(22)를 가지는 시일 장치(23)를 포함하고 있다.3 is a peripheral enlarged view of the
도 4는 냉각 부재(19)의 주변 확대도이다. 도 4를 참조하여, 냉각 부재(19)는, 제1 시일 부재(21) 및 제2 시일 부재(22)를 냉각하기 위해서 설치되어 있다. 냉각 부재(19)가 설치되어 있으므로, 제1 시일 부재(21), 및 제2 시일 부재(22)는 히터(3)로부터의 열에 의한 과열이 억제된다. 그 결과, 제1 시일 부재(21), 및 제2 시일 부재(22)의 열화를 억제할 수 있다. 냉각 부재(19)는 튜브(2)의 개구부(11)에 인접하여 배치되어 있다. 냉각 부재(19)는, 길이 방향(L1)에 있어서, 튜브(2)와 도어 장치(20)의 사이에 배치되어 있다. 냉각 부재(19)는 2개의 원통 부재를 조합한 형상을 가지고 있고, 튜브(2)와는 대략 동축에 배치되어 있다. 냉각 부재(19)는 금속 재료를 이용하여 형성되어 있다. 이 금속 재료는 예를 들면, 스테인리스재이다.4 is a peripheral enlarged view of the cooling
냉각 부재(19)는, 내통(24)과, 외통(25)과, 제1 플랜지(26)와, 제2 플랜지(27)와, 냉각수로(28)를 가지고 있다.The cooling
내통(24)은 원통형상으로 형성되어 있다. 본 실시 형태에서는, 내통(24)의 내경, 즉, 내통(24)의 내주면의 직경은, 튜브 본체(8)의 내경보다도 작게 설정되어 있다. 내통(24)을 둘러싸도록 하여, 외통(25)이 배치되어 있다.The
외통(25)은 원통 형상으로 형성되어 있고, 내통(24)과, 동축에 배치되어 있다. 길이 방향(L1)에 있어서, 외통(25)의 위치와 내통(24)의 위치는 일치되어 있다. 외통(25)은 지지 부재(29)(도 1 참조)에 고정되어 있다. 이에 따라, 냉각 부재(19)는 지지 부재(29)에 의해 지지되어 있다. 외통(25)의 일단부(25a), 및 내통(24)의 일단부(24a)는 제1 플랜지(26)에 고정되어 있다.The
제1 플랜지(26)는 도어 장치(20)의 후술하는 도어(36)와 접촉하는 부분으로서 설치되어 있다. 제1 플랜지(26)는 환형상으로 형성되어 있고, 내통(24) 및 외통(25)과 동축에 배치되어 있다. 제1 플랜지(26)는 용접 등에 의해, 내통(24) 및 외통(25)에 고정되어 있다. 이에 따라, 제1 플랜지(26)는 내통(24)의 일단부(24a)와 외통(25)의 일단부(25a)의 사이의 공간을, 길이 방향(L1)의 한쪽 측으로부터 막고 있다. 제1 플랜지(26) 중, 도어 장치(20)에 대향하는 부분에는, 환상의 홈(26a)이 형성되어 있다. 이 홈(26a)은 제1 플랜지(26)의 외주면에 개방되어 있다. 이 홈(26a)에는 환상의 플레이트(30)가 수용되어 있다. 플레이트(30)는 고정 부재로서의 나사 부재(31)를 이용하여, 제1 플랜지(26)에 고정되어 있다. 플레이트(30)에 인접하여, 제1 시일 부재(21)가 배치되어 있다.The
제1 시일 부재(21)는, 도어 장치(20)의 도어(36)와 냉각 부재(19)의 사이를, 기밀하게 시일하기 위해서 설치되어 있다. 본 실시 형태에서, 제1 시일 부재(21)는, 합성 고무 등을 이용하여 형성된 0링이며, 탄성 및 가요성을 가지고 있다. 제1 시일 부재(21)는 환상으로 형성되어 있다. 제1 시일 부재(21)는 제1 플랜지(26)의 홈(26a)에 끼워져 있고, 당해 제1 플랜지(26)와 플레이트(30)의 사이에 위치하고 있다. 이에 따라, 제1 시일 부재(21)는 제1 플랜지(26)에 유지되어 있다. 제1 플랜지(26)와 길이 방향(L1)으로 이격된 위치에, 제2 플랜지(27)가 배치되어 있다.The
제2 플랜지(27)는 튜브(2)에 인접하는 부분으로서 설치되어 있다. 제2 플랜지(27)는 환상으로 형성되어 있고, 내통(24) 및 외통(25)과 동축에 배치되어 있다. 제2 플랜지(27)는, 일단면(27a)과, 타단면(27b)과, 홈부(27c)를 가지고 있다. The
일단면(27a)은, 용접 등에 의해, 내통(24) 및 외통(25)에 고정되어 있다. 이에 따라, 제2 플랜지(27)는, 내통(24)의 타단부(24b)와, 외통(25)의 타단부(25b)의 사이의 공간을, 길이 방향(L1)의 다른 쪽으로부터 막고 있다. 제2 플랜지(27)의 일부는, 튜브(2)에 대하여, 냉각 부재(19)의 직경 방향의 바깥쪽으로 돌출하도록 배치되어 있다. 즉, 제2 플랜지(27)의 외경은, 튜브 본체(8)의 외경보다도 크다. 제2 플랜지(27) 중, 튜브(2)에 대향하는 타단면(27b)에는, 환상의 홈(27c)이 형성되어 있다. 이 홈(27c)은 제2 플랜지(27)의 내주부에 형성되어 있다. 이 홈(27c)에는 받침 부재(32)가 배치되어 있다.The one
도 5는 도 4의 V-V선에 따른 단면도이다. 도 4 및 도 5를 참조하여, 받침 부재(32)는, 제2 플랜지(27)와 튜브(2)의 사이에 개재하는 부재로서 설치되어 있다. 이에 따라, 제2 플랜지(27)와 튜브(2)가 직접 접촉하는 것을 방지하고 있다. 받침 부재(32)는 복수 설치되어 있다. 복수의 받침 부재(32)는 제2 플랜지(27)의 둘레 방향으로 등간격으로 배치되어 있다. 인접하는 받침 부재(32, 32) 간에는, 간극(CL1)이 형성되어 있다. 각 받침 부재(32)의 표면은, 마찰 저항을 저감하기 위한 재료에 의해 형성되어 있다. 이러한 재료로서, PTFE(PolyTetraFluoroEthylene) 등의 불소 수지 재료를 예시할 수 있다.5 is a cross-sectional view taken along line V-V of Fig. 4 and 5, the receiving
각 받침 부재(32)는 두께가 수mm 정도의 판 부재를 이용하여 형성된, 원호형상의 부재이다. 또한, 도 5에서는, 복수의 받침 부재(32) 중, 일부 받침 부재(32)를 도시하고 있다. 각 받침 부재(32)는, 고정 부재로서의 나사 부재(33)를 이용하여, 홈(27c)에 고정되어 있다. 각 받침 부재(32)는 제2 플랜지(27)로부터 튜브(2)를 향해 돌출되어 있고, 튜브 본체(8)의 일단면(8a)에 접촉하고 있다. 도 4를 참조하여, 제2 플랜지(27), 제1 플랜지(26), 내통(24) 및 외통(25)에 의해, 냉각수로(28)가 형성되어 있다.Each supporting
냉각수로(28)는 원통형상의 수로로서 설치되어 있다. 냉각수로(28)는 도시하지 않은 열 교환기와 접속되어 있다. 냉각수로(28)는, 이 열교환기로 냉각된 냉각수가 통과하도록 구성되어 있다. 이에 따라, 냉각수로(28)에 인접하여 배치된 제1 시일 부재(21), 및 제2 시일 부재(22)가 냉각된다.The cooling
제2 시일 부재(22)를 가지는 시일 장치(23)는, 튜브(2)와, 냉각 부재(19)의 사이를 시일하기 위해서 설치되어 있다. 시일 장치(23)는, 튜브(2)의 개구부(11)를 둘러싸도록 배치되어 있다. 시일 장치(23)는 제2 시일 부재(22)와 시일 유지 부재(35)를 가지고 있다. The sealing
제2 시일 부재(22)는, 냉각 부재(19)와 튜브(2)의 사이를, 기밀하게 시일하기 위해 설치되어 있다. 본 실시 형태에서, 제2 시일 부재(22)는 제1 시일 부재(21)와 동일한 구성을 가지고 있다. 즉, 제2 시일 부재(22)는, 합성고무 등을 이용하여 형성된 O링이며, 탄성 및 가요성을 가지고 있다. 제2 시일 부재(22)는 환상으로 형성되어 있다. 제2 시일 부재(22)는, 튜브 본체(8)의 개구부(11)의 외주면에 끼워져 있다. 제2 시일 부재(22)는 튜브 본체(8)의 일단면(8a)에 인접하여 배치되어 있다. 또한, 제2 시일 부재(22)는 제2 플랜지(27)의 타단면(27b)에 접촉하고 있다. 이에 따라, 제2 시일 부재(22)는, 튜브 본체(8)의 개구부(11)와 제2 플랜지(27)의 사이의 공간을, 튜브 본체(8)의 외측으로부터 막고 있다. 제2 시일 부재(22)는 시일 유지 부재(35)에 의해 유지되어 있다.The
시일 유지 부재(35)는 원환상으로 형성되어 있고, 제2 플랜지(27)에 고정되어 있다. 시일 유지 부재(35)의 내주부는, 제2 시일 부재(22)를, 튜브 본체(8) 측으로 가압하고 있다. 상기의 구성을 가지는 시일 장치(23)와는 길이 방향(L1)으로 이격한 위치에 도어 장치(20)가 배치되어 있다.The
도 1 및 도 3을 참조하여, 도어 장치(20)는, 도어(36)와, 도어 지지 장치(37)를 가지고 있다.Referring to Figs. 1 and 3, the
도어(36)는, 냉각 부재(19)의 제1 플랜지(26)의 내측 공간을 길이 방향(L1)의 한쪽 측으로부터 막기 위해 설치되어 있다. 환언하면, 도어(36)는, 튜브(2)의 개구부(11)를, 길이 방향(L1)의 한쪽 측으로부터 막기 위해서 설치되어 있다. 도어(36)는, 예를 들면, 금속판을 이용하여 형성되어 있다. 본 실시 형태에서, 도어(36)는, 원판상으로 형성되어 있다. 도어(36)의 외주부(36a)는, 냉각 부재(19)의 제1 플랜지(26)에 접촉 가능하게 구성되어 있다. 도어(36)의 외주부(36a)가 제1 플랜지(26)에 접촉한 경우, 도어(36)와 제1 플랜지(26)의 사이는, 제1 시일 부재(21)에 의해 기밀하게 시일된다. 이 도어(36)는, 도어 지지 장치(37)에 의해 지지되어 있다. 도어 지지 장치(37)는, 도어(36)를 변위 가능하게 지지하기 위해서 설치되어 있다.The
도어 지지 장치(37)는, 지주(38)와, 구동 장치(39)를 가지고 있다.The
지주(38)는 상하 방향(Z1)(연직 방향)으로 연장되는 부재로서 설치되어 있다. 지주(38)는 도어(36)에 고정되어 있다. 지주(38)는 구동 장치(39)에 접속되어 있다.The
구동 장치(39)는 지주(38) 및 도어(36)를 변위시키기 위해서 설치되어 있다. 구동 장치(39)는 지주(38)를, 길이 방향(L1)으로 변위 가능하게 구성되어 있다. 또한, 구동 장치(39)는, 지주(38)를, 길이 방향(L1)과 직교하는 방향으로 변위 가능하게 구성되어 있다. 이에 따라, 구동 장치(39)는 제1 플랜지(26)로 둘러싸인 공간을 개방하도록 도어(36)를 변위시킬 수 있다. 즉, 구동 장치(39)는, 도어(36)를 개폐할 수 있다. 도어(36)가 열린 상태에서, 피처리물(100)을, 튜브(2)에 대하여 넣고 뺄 수 있다. 도어(36)는 차열부(5)를 유지하고 있다.The
차열부(5)는, 히터(3)로부터의 열이, 제2 시일 부재(22), 냉각 부재(19), 제1 시일 부재(21), 및 도어(36) 등에 전해지는 것을 억제하기 위해서 설치되어 있다. 차열부(5)는 튜브(2)의 개구부(11)의 주변에 배치되어 있다.The
도 3을 참조하여, 차열부(5)는, 스테이(41, 42)와 차열 부재(43)를 가지고 있다. Referring to Fig. 3, the car
스테이(41, 42)는, 차열 부재(43)를 지지하기 위해서 설치되어 있다. 각 스테이(41, 42)는 도어(36)에 고정되어 있고, 도어(36)로부터, 길이 방향(L1)을 따라, 튜브(2)측으로 연장되어 있다. 각 스테이(41, 42)는 길이 방향(L1)으로 늘어서는 복수의 오목부(44)를 가지고 있다. 오목부(44)는 위쪽을 향해 개방되어 있고, 차열 부재(43)를 끼우는 것이 가능하다.The stays 41 and 42 are provided to support the heat-shielding
차열 부재(43)는 열 배리어를 형성하기 위해서 설치되어 있다. 차열 부재(43)는 1 또는 복수 개 설치되어 있다. 본 실시 형태에서, 차열 부재(43)는 7개 설치되어 있다. 각 차열 부재(43)는 원판상으로 형성되어 있다. 복수의 차열 부재(43)가, 길이 방향(L1)으로 이격하여 배치되어 있다. 각 차열 부재(43)에는 복수의 관통공이 형성되어 있다. 이러한 관통공에, 대응하는 스테이(41, 42)가 삽입되어 있다. 또한, 이들 관통공의 둘레 가장자리부는 오목부(44)에 끼워져 있다. 이에 따라, 각 차열 부재(43)는 길이 방향(L1)으로 위치 결정되어 있다. 각 차열 부재(43)는 오목부(44)에 떼어낼 수 있도록 끼워맞춰져 있다. 이에 따라, 길이 방향(L1)에 있어서의 각 차열 부재(43)의 위치를 용이하게 변경할 수 있다. 또한, 스테이(41, 42)에 부착되는 차열 부재(43)의 수를 용이하게 변경할 수 있다. 그 결과, 차열부(5)가 열을 차단하는 정도를 용이하게 조정할 수 있다. 차열부(5)에는 서브 히터(45)가 배치되어 있다. 서브 히터(45)는 발열체를 가지고 있고, 튜브(2) 내의 분위기를 가열 가능하게 구성되어 있다.The
서브 히터(45)는, 한쌍의 제1 부분(45a, 45a)과 제2 부분(45b)을 가지고 있다.The
각 제1 부분(45a, 45a)은, 길이 방향(L1)을 따라 연장되는 부분으로서 설치되어 있다. 각 제1 부분(45a, 45a)은, 도어(36)에 형성된 관통공을 관통하고, 또한, 각 차열 부재(43)에 형성된 관통공을 관통하고 있다. 각 제1 부분(45a, 45a)의 선단부에, 제2 부분(45b)이 접속되어 있다. 제2 부분(45b)은, 상하 방향(Z1)으로 연장되어 있다. 제2 부분(45b)은 각 차열 부재(43)에 대하여, 튜브(2)의 안쪽(길이 방향(L1)의 한쪽 측)에 배치되어 있다. 제2 부분(45b)은 발열체를 가지고 있다. 제2 부분(45b)의 발열체는 예를 들면, 팬 장치(6)의 주변 온도가 소정치 미만인 경우에 발열하도록 구성되어 있다. 상기의 구성을 가지는 서브 히터(45), 및 차열부(5)에 인접한 위치에, 팬 장치(6)가 배치되어 있다.Each of the
팬 장치(6)는 도어(36)에 지지되어 있고, 도어(36)와 함께 변위 가능하다. 팬 장치(6)는 튜브(2) 내에 기류(A1)를 일으키게 하기 위해서 설치되어 있다.The
팬 장치(6)는, 전동 모터(동력원)(46)와, 전동 장치(47)와, 샤프트 유닛(48)과, 팬(49)과, 베어링 유닛(50)을 가지고 있다.The
전동 모터(46)는, 예를 들면, 지주(38)에 지지되어 있다. 전동 모터(46)의 출력은, 전동 장치(47)를 통하여 샤프트 유닛(48)에 전달된다.The
전동 장치(47)는, 예를 들면, 풀리 기구이다. 전동 장치(47)는, 제1 풀리(51)와, 제2 풀리(52)와, 벨트(53)를 가지고 있다. 제1 풀리(51)는, 전동 모터(46)의 출력축에 일체 회전 가능하게 연결되어 있다. 제2 풀리(52)는 샤프트 유닛(48)에 일체 회전 가능하게 연결되어 있다. 벨트(53)는, 제1 풀리(51)와, 제2 풀리(52)에 감겨져 있다.The
샤프트 유닛(48)은 팬(49)의 회전축으로서 설치되어 있고, 회전축선(S1)을 가지고 있다. 회전축선(S1)은, 샤프트 유닛(48)의 중심 축선이기도 하다. 샤프트 유닛(48)은 팬(49)에 연결되어 있고, 전동 모터(46)로부터의 출력을, 팬(49)에 전달한다. 샤프트 유닛(48)은, 도어(36)에 형성된 관통공(36b)을 관통하고 있고, 도어(36)의 외측으로부터, 튜브(2) 내를 향해 연장되어 있다. 샤프트 유닛(48)의 일단부(48a)에, 제2 풀리(52)가 고정되어 있다. 샤프트 유닛(48)은 각 차열 부재(43)에 형성된 관통공(43a)을 관통하고 있다. 샤프트 유닛(48)의 타단부(48b)에는 팬(49)이 동축에 연결되어 있다.The
팬(49)은 기류(A1)를 발생함으로써, 튜브(2) 내의 가스를 교반하도록 구성되어 있다. 이에 따라, 튜브(2) 내의 각종 가스의 농도 분포가, 더욱 균등하게 되고, 또한, 튜브(2) 내의 온도가, 더욱 균등하게 된다. 팬(49)은, 튜브(2) 내에 배치되어 있고, 회전축선(S1)을 중심으로 하여 회전 가능하다. 팬(49)과 도어(36)의 사이에 각 차열 부재(43)가 배치되도록 팬(49)은 배치되어 있다.The
팬(49)은, 보스부(54)와, 복수의 날개(55)를 가지고 있다.The
보스부(54)는, 통형상으로 형성되어 있고, 샤프트 유닛(48)의 타단부(48b)에 끼워맞춰져 있다. 복수의 날개(55)는 보스부(54)의 외주부에 고정되어 있고, 보스부(54)로부터 방사형상으로 연장되어 있다. 상기의 구성에 의해, 팬(49)이 회전하면, 당해 팬(49)으로부터 당해 팬(49)의 직경 방향 바깥쪽을 향하는 기류(A1)가 발생한다. 팬(49)을 회전시키기 위한 샤프트 유닛(48)은 베어링 유닛(50)에 의해, 회전 가능하게 지지되어 있다. 베어링 유닛(50)은 도어(36)의 외측에 배치되어 있다. 즉, 베어링 유닛(50)은 도어(36)의 일단면(36c) 측에 배치되어 있다.The
베어링 유닛(50)은, 케이싱(56)과, 플랜지부(57)를 가지고 있다.The bearing unit (50) has a casing (56) and a flange portion (57).
케이싱(56)은 원통형상으로 형성되어 있다. 케이싱(56)은 샤프트 유닛(48)에 의해 관통되어 있다. 케이싱(56) 내에는, 베어링(도시하지 않음)이 배치되어 있다. 이 베어링은 샤프트 유닛(48)을 회전 가능하게 지지하고 있다. 케이싱(56)의 일단부에는 플랜지부(57)가 고정되어 있다.The
플랜지부(57)는, 고정 부재로서의 나사 부재(58)에 의해, 시트부(59)에 고정되어 있다. 시트부(59)는, 도어(36)의 일단면(36c)에 고정된, 통형상의 부재이다. 시트부(59)는 샤프트 유닛(48)에 의해 관통되어 있다.The
도 3 및 도 4를 참조하여, 상기의 구성을 가지는 팬 장치(6)에 있어서, 팬(49)은 팬(49)의 직경 방향 바깥쪽을 향하는 기류(A1)를 발생한다. 이 기류(A1)에 있어서의 기체는, 히터(3)에 의해 가열되어 있고, 고온이다. 이 때문에, 기류(A1)로부터의 열은 제2 시일 부재(22)에 가능한한 전해지지 않는 것이 바람직하다. 또한, 기류(A1)에 있어서의 기체 중에는, 튜브(2) 내에서의 화학 반응 등으로 생긴 미세분말이 존재하고 있다. 이 미세분말이, 기류(A1)를 타고, 튜브(2)에 강한 기세로 충돌하는 것은 억제되어 있는 것이 바람직하다. 여기서, 열처리 장치(1)에는 보호통(7)이 설치되어 있다.3 and 4, in the
보호통(7)은 팬(49)에서 발생한 기류(A1)로부터의 열이, 제2 시일 부재(22)에 전해지는 것을 억제하기 위해서 설치되어 있다. 또한, 보호통(7)은, 기류(A1)가, 튜브(2)에 세게 닿는 것을 억제하기 위해서 설치되어 있다.The
보호통(7)은 전체적으로 원통형상으로 형성되어 있다. 보호통(7)은, 수㎜의 두께를 가지는 박판 부재이다. 보호통(7)은, 튜브(2)의 개구부(11)의 주변에 배치되어 있고, 튜브(2)의 길이 방향(L1)과 평행하게 연장되어 있다. 보호통(7)의 일단부(7a)는 냉각 부재(19)의 제1 플랜지(26)의 내주부에, 고정 부재로서의 나사 부재(63)를 이용하여 고정되어 있다. 보호통(7)의 중간부(7b)는 냉각 부재(19)의 제2 플랜지(27)의 내주부에, 고정 부재로서의 나사 부재(64)를 이용하여 고정되어 있다. 보호통(7)의 타단부(7c)는 튜브(2) 내에 배치되어 있고, 또한, 튜브 본체(8)와는 이격되어 배치되어 있다.The protective barrel (7) is formed in a cylindrical shape as a whole. The
보호통(7)은, 가스 공급구(61)와, 배기구(62)를 가지고 있다. 가스 공급구(61)는, 가스 공급관(도시하지 않음)에 접속되어 있고, 피처리물(100)의 열처리에 이용되는 가스를 튜브(2) 내에 공급하는 것이 가능하다. 가스 공급관은 냉각 부재(19)를 관통하도록 연장되어 있다. 배기구(62)는, 배기관(도시하지 않음)에 접속되어 있고, 튜브(2) 내의 기체를 흡인하도록 구성되어 있다. 또한, 배기관은 냉각 부재(19)를 관통하도록 연장되어 있고, 진공 펌프 등의 흡인 장치에 접속되어 있다.The
보호통(7)은, 차열부(5)와, 서브 히터(45)를 둘러싸고 있다. 또한, 보호통(7)은 샤프트 유닛(48)의 일부와 팬(49)을 둘러싸고 있다. 또한, 보호통(7)은, 제2 시일 부재(22)와는, 보호통(7)의 직경 방향으로 늘어서 배치되어 있다. 상기의 구성에 의해, 팬(49)으로부터의 기류(A1)는, 보호통(7)에 닿은 후, 튜브(2)의 길이 방향(L1)과 평행한 방향으로 방향을 바꾸어, 튜브(2)의 안쪽(폐색부(9)측)으로 진행된다.The
[열처리 장치의 주요 동작][Main operation of heat treatment apparatus]
도 1을 참조하여, 이상의 구성에 의해, 열처리 장치(1)가, 피처리물(100)을 열처리할 때에는, 우선, 구동 장치(39)의 동작에 의해, 도어(36)가 열린다. 이 상태에서, 피처리물(100)은, 튜브(2) 내에 수납된다. 다음에, 구동 장치(39)의 동작에 의해, 도어(36)가 닫혀진다. 즉, 도어(36)는, 냉각 부재(19)의 개구를 닫음으로써, 튜브(2) 내의 공간을, 열처리 장치(1)의 외부 공간으로부터 차단한다.With reference to Fig. 1, when the heat treatment apparatus 1 heat-treats the
다음에, 튜브(2) 내의 공기가, 배기구(62)를 통하여 흡인됨으로써, 튜브(2) 내의 압력은 음압이 된다. 또한, 반응성 가스가, 가스 공급구(61)를 통하여, 튜브(2) 내에 공급된다. 이 상태에서, 히터(3)로부터의 열에 의해, 튜브(2) 내의 분위기가 가열된다. 그리고 전동 모터(46)의 출력에 의해, 팬(49)이 회전한다. 이에 따라, 튜브(2) 내에 기류(A1)가 생겨, 튜브(2) 내의 분위기는 교반된다. 이 상태에서, 피처리물(100)의 표면에 원소가 부착되어, 확산된다. 이때, 냉각수로(28)에는 냉각수가 통과하고 있다. 이에 따라, 제1 시일 부재(21), 및 제2 시일 부재(22)(도 4 참조)의 과열이 억제된다. 또한, 히터(3)로부터의 열은 차열부(5)에 의해, 각 시일 부재(21, 22) 및 도어(36) 등에 전해지는 것이 억제된다.Next, the air in the
피처리물(100)에 박막이 형성된 후, 히터(3)에 의한 가열이 정지된다. 그 후, 구동 장치(39)의 동작에 의해, 도어(36)가 열린다. 이 상태에서, 튜브(2) 내의 피처리물(100)은 튜브(2) 내로부터 취출된다.After the thin film is formed on the object to be processed 100, the heating by the
[시일 장치의 상세한 구성][Detailed configuration of sealing device]
다음에, 시일 장치(23)에 있어서의, 더욱 상세한 구성을 설명한다. 도 6은 시일 장치(23)의 주요부를 나타내는 사시도이고, 시일 장치(23)의 일부 도시는 생략하고 있다. 도 4 및 도 6에 나타내는 바와 같이, 시일 장치(23)는, 제2 시일 부재(22)와, 시일 유지 장치(71)와, 에어 블로우 장치(72)를 가지고 있다.Next, a more detailed configuration of the sealing
제2 시일 부재(22)의 구성에 대해서는 전술한 바와 같다. 이 제2 시일 부재(22)는 시일 유지 장치(71)에 의해서 유지되어 있다. 이에 따라, 제2 시일 부재(22)는 튜브(2)의 개구부(11)의 외주면(11a)과는, 튜브(2)의 둘레 방향(C1)의 전역에 걸쳐 밀착되어 있다. 또한, 제2 시일 부재(22)는 제2 플랜지(27)의 타단면(27b)과는 튜브(2)의 둘레 방향(C1)의 전역에 걸쳐 밀착되어 있다.The structure of the
시일 유지 장치(71)는 개구부(11)의 외주면(11a)과, 제2 플랜지(27)의 타단면(27b)의 사이의 영역을, 제2 시일 부재(22)에 의해서, 확실하게 기밀하게 시일시키기 위해서 설치되어 있다. 이에 따라, 튜브(2) 내의 기체는, 간극(CL1)(도 5 참조)을 통하여 튜브(2)의 외부의 공간으로 새는 것이 억제되어 있다. 개구부(11)의 외주면(11a)의 진원도가 낮은 경우에도, 시일 유지 장치(71)는 튜브(2)의 둘레 방향(C1)의 전역에 걸쳐, 제2 시일 부재(22)를, 개구부(11)의 외주면(11a)에 접촉시키도록 구성되어 있다.The
또한, 이하에서는, 튜브(2)의 둘레 방향(C1)을, 간단히 「둘레 방향(C1)」이라고 하는 경우가 있다. 또한, 튜브(2)의 직경 방향(R1)을, 간단히 「직경 방향(R1)」이라고 하는 경우가 있다. 또한, 길이 방향(L1)은 튜브(2)의 축 방향 및 당해 축방향과 평행한 방향을 포함하고 있다.In the following, the circumferential direction C1 of the
시일 유지 장치(71)는, 상술한 시일 유지 부재(35)와, 받침 부재 유지 기구(73)를 가지고 있다.The
시일 유지 부재(35)는, 제2 시일 부재(22)를 받침으로써, 당해 제2 시일 부재(22)를 유지하기 위해서 설치되어 있다. 시일 유지 부재(35)는 전체적으로 원환상으로 형성되어 있고, 제2 시일 부재(22)를 둘러싼 상태에서, 제2 플랜지(27)에 고정되어 있다.The
시일 유지 부재(35)는 복수의 받침 부재(74)를 가지고 있고, 이들 복수의 받침 부재(74)에 의해서, 원환 형상의 시일 유지 부재(35)가 형성되어 있다.The
각 받침 부재(74)는 원호상으로 형성되어 있다. 각 받침 부재(74)의 곡율 중심은 예를 들면, 튜브(2)의 중심축선(S2) 상에 배치되어 있다. 본 실시 형태에서, 중심축선(S2)은 개구부(11)의 내주면의 중심축선이기도 하다. 각 받침 부재(74)는 둘레 방향(C1)에 있어서의 각도 범위가, 수십도 정도로 설정되어 있다. 이들 받침 부재(74)는 둘레 방향(C1)으로 배열되어 있고, 길이 방향(L1)에 있어서의 위치가 맞추어져 있다. 또한, 도 6은 1개의 받침 부재(74)가, 개구부(11)로부터 떼어진 상태를 나타내고 있다. 둘레 방향(C1)에 있어서, 인접하는 받침 부재(74)들은, 서로 접촉하지 않을 정도로, 인접하여 배치되어 있다. 각 받침 부재(74)의 구성은 동일하다.Each supporting
도 7은 도 6의 일부를 확대하여 나타내는 사시도이다. 도 8은 도 4의 Ⅷ-Ⅷ선에 따르는 단면도이다. 도 4, 도 7 및 도 8을 참조하여, 받침 부재(74)는 스테인리스 등의 금속 재료를 이용하여 형성되어 있다. 받침 부재(74)는 둘레 방향(C1)에 있어서의, 제2 시일 부재(22)의 일부를 받치기 위하여 설치되어 있다.Fig. 7 is an enlarged perspective view of part of Fig. 6. Fig. 8 is a sectional view taken along the line VIII-VIII in Fig. 4, 7 and 8, the receiving
받침 부재(74)는, 받침 부재 본체(75)와, 홈부(76)와, 플랜지부(77)를 가지고 있다.The
받침 부재 본체(75)는 제2 플랜지(27)와는 길이 방향 L1에 인접하여 배치되어 있다. 받침 부재(74)는 원호상의 박판에 의해 형성되어 있다. 받침 부재 본체(75)의 외주부의 위치는 제2 플랜지(27)의 외주부의 위치보다도, 직경 방향 R1의 바깥쪽이다. 받침 부재 본체(75)에는 나사구멍(78)이 형성되어 있다.The support member
나사 구멍(78)은 받침 부재 유지 기구(73)의 후술하는 고정용 나사 부재(83)와 결합하기 위해서 형성되어 있다. 나사 구멍(78)은 받침 부재 본체(75)의 일단면(75a)에 형성되어 있고, 길이 방향(L1)으로 연장되어 있다. 나사 구멍(78)은 둘레 방향(C1)으로 이격하여, 복수(본 실시 형태에서는 1개의 받침 부재(74)에 대향하고 있는 부분에 3개) 형성되어 있다. 복수의 나사 구멍(78)은 둘레 방향(C1)으로 등간격으로 형성되어 있다. 받침 부재 본체(75)의 일단면(75a)은 상하 방향(Z1)으로 평행하게 연장되어 있다. 이 일단면(75a)은 제2 플랜지(27)의 타단면(27b)과 길이 방향(L1)으로 대향하고 있고, 당해 타단면(27b)과 면접촉하고 있다. 상기의 구성을 가지는 받침 부재 본체(75)의 내주부에 홈부(76)가 형성되어 있다.The
홈부(76)는 제2 시일 부재(22)가 배치되는 부분으로서 설치되어 있다. 홈부(76)는 둘레 방향(C1)에 있어서의 받침 부재(74)의 전역에 걸쳐 형성된 원호상의 부분이다. 홈부(76)는 직경 방향(R1)의 안쪽으로 개방되어 있고, 튜브(2)의 개구부(11)의 외주면(11a)과 마주 보고 있다. 또한, 홈부(76)는 길이 방향(L1)의 한쪽으로 개방되어 있고, 제2 플랜지(27)의 타단면(27b)과 마주 보고 있다.The
홈부(76)는 제1 가압부(81)와 제2 가압부(82)를 가지고 있다.The
제1 가압부(81)는 홈부(76)의 저면으로서 형성되어 있다. 제1 가압부(81)는 원통면의 일부에 의해서 형성되어 있다. 제1 가압부(81)는 직경 방향(R1)의 안쪽을 향하고 있고, 튜브(2)의 개구부(11)의 외주면(11a)과 마주 보고 있다. 제1 가압부(81)는 제2 시일 부재(22)와 접촉하여, 제2 시일 부재(22)를 받치고 있고, 당해 제2 시일 부재(22)를, 개구부(11)의 외주면(11a)을 향해서 가압하고 있다. 즉, 제1 가압부(81)는 길이 방향(L1)에 있어서의 제2 시일 부재(22)의 일부를, 직경 방향(R1)의 안쪽을 향해서 가압하고 있다. 길이 방향(L1)에 있어서, 제1 가압부(81)는 받침 부재 본체(75)의 일단면(75a)과, 제2 가압부(82)의 사이에 위치하고 있다. 제1 가압부(81)는 받침 부재 본체(75)의 일단면(75a)과 연속해 있고, 또한, 제2 가압부(82)와 연속해 있다.The first
제2 가압부(82)는 홈부(76)의 내측면으로서 형성되어 있다. 제2 가압부(82)는 길이 방향 L1의 한쪽을 향하는 원호상의 면이다. 제2 가압부(82)는 제2 플랜지(27)의 타단면(27b)과, 길이 방향 L1으로 마주 보고 있다. 제2 가압부(82)는 제2 시일 부재(22)와 접촉하고 있고, 당해 제2 시일 부재(22)를, 제2 플랜지(27)의 타단면(27b)을 향해서 가압하고 있다. 즉, 제2 가압부(82)는, 제2 시일 부재(22)를, 길이 방향(L1)의 한쪽을 향해 가압하고 있다. 길이 방향(L1)에 있어서의 홈부(76)의 길이는, 자유 상태에 있어서의 제2 시일 부재(22)의 두께(T1)보다도 작게 설정되어 있다. 이에 따라, 제2 가압부(82)는, 제2 시일 부재(22)를, 타단면(27b)을 향해서 가압하는 것이 가능하다. 또한, 자유 상태란, 외력이 작용하고 있지 않은 상태를 말한다.The second
직경 방향(R1)에 있어서의 홈부(76)의 길이(홈부(76)의 깊이)는 자유 상태에 있어서의 제2 시일 부재(22)의 두께(T1)보다도 작게 설정되어 있다. 이에 따라, 받침 부재(74)의 제1 가압부(81)는 제2 시일 부재(22)를 직경 방향(R1)의 안쪽을 향하여 가압하면서, 개구부(11)의 외주면(11a)과 직접 접촉하는 것이 억제되어 있다. 홈부(76)에 대해서 길이 방향(L1)의 한쪽 측의 위치에 플랜지부(77)가 배치되어 있다.The depth of the
플랜지부(77)는 받침 부재 유지 기구(73)의 후술하는 위치 결정용 나사 부재(84)와 결합하는 부분으로서 설치되어 있다. 플랜지부(77)는 받침 부재 본체(75)의 외주부로부터, 길이 방향(L1)의 한쪽을 향해서 연장되는 원호상의 부분이다. 플랜지부(77)는 제2 플랜지(27)에 대하여, 직경 방향(R1)의 바깥쪽에 배치되어 있다. 플랜지부(77)는 제2 플랜지(27)와는 직접 접촉하지 않도록, 제2 플랜지(27)로부터 이격하여 배치되어 있다. 플랜지부(77)에는 관통공(77a)이 형성되어 있다.The
관통공(77a)은 위치 결정용 나사 부재(84)가 삽입되는 구멍 부분으로서 형성되어 있다. 관통공(77a)은 플랜지부(77)를 직경 방향(R1)으로 관통하고 있다. 관통공(77a)은 받침 부재(74)마다 복수(본 실시 형태에서는 2개) 형성되어 있다. 복수의 관통공(77a)은 둘레 방향(C1)으로 이격하여 배치되어 있다. 상기의 구성을 가지는 받침 부재(74)는 받침 부재 유지 기구(73)에 의해서, 직경 방향(R1)의 위치를 조정 가능한 양태로 유지되어 있다. 즉, 받침 부재(74)는 외주면(11a) 중 당해 받침 부재(74)와 대향하는 부분에 대하여, 가까워지는 방향 및 멀어지는 방향으로 위치 조정되어 있다. 이와 같이, 직경 방향(R1)은 받침 부재(74)에 있어서, 외주면(11a)에 가까워지는 방향 및 외주면(11a)으로부터 멀어지는 방향이다.The through
받침 부재 유지 기구(73)는, 제2 플랜지(인접 부재)(27)와, 고정용 나사 부재(체결 부재)(83)와, 위치 결정용 나사 부재(위치 결정 부재)(84)를 가지고 있다.The supporting
제2 플랜지(27)는 전술한 냉각 부재(19)의 일부를 구성함과 더불어, 받침 부재 유지 기구(73)의 일부를 구성하고 있다. 제2 플랜지(27)는 길이 방향(L1)에 있어서, 각 받침 부재(74)와 인접해 있다. 또한, 제2 플랜지(27)는 길이 방향(L1)에 있어서, 개구부(11)와 인접해 있다. 제2 플랜지(27)에는, 장공(長孔)(86)과, 나사 구멍(87)이 형성되어 있다.The
장공(86)은 고정용 나사 부재(83)가 삽입되도록 구성되어 있다. 장공(86)은 직경 방향(R1)으로 가늘고 길게 연장되는 형상으로 형성되어 있고, 제2 플랜지(27)를, 길이 방향(L1)으로 관통하고 있다. 장공(86)은 각 받침 부재(74)에 대응하고, 복수(본 실시 형태에서는 3개) 형성되어 있다. 즉, 1개의 플랜지부(77)에 있어서, 3개의 장공(86)이, 당해 플랜지부(77)와 길이 방향(L1)으로 대향하고 있다. 복수의 장공(86)은 둘레 방향(C1)으로 등간격으로 형성되어 있다. 각 장공(86)에는 고정용 나사 부재(83)의 나사축이 삽입되어 있다. 직경 방향(R1)에 있어서의 각 장공(86)의 길이는 고정용 나사 부재(83)의 나사축의 직경보다도 크다. 장공(86)과는 둘레 방향(C1)의 위치가 다르게 하여, 제2 플랜지(27)의 나사구멍(87)이 형성되어 있다.The
이 나사 구멍(87)은 위치 결정용 나사 부재(84)와 나사 결합하기 위하여 형성되어 있다. 나사 구멍(87)은 제2 플랜지(27)의 외주면에 형성되어 있고, 직경 방향(R1)으로 연장되어 있다. 나사 구멍(87)은 각 받침 부재(74)에 대응하여, 복수(본 실시 형태에서는 2개) 형성되어 있다. 즉, 나사 구멍(87)은 1개의 받침 부재(74)마다 복수 설치되어 있다. 복수의 나사 구멍(87)은 둘레 방향(C1)으로 등간격으로 형성되어 있다. 각 나사 구멍(87)에는 위치 결정용 나사 부재(84)의 나사축이 삽입되어 있다.The
위치 결정용 나사 부재(84)는 수나사 부재이며, 직경 방향(R1)에 있어서의 받침 부재(74)의 위치를 규정하기 위해서 설치되어 있다. 위치 결정용 나사 부재(84)가 설치되어 있음으로써, 직경 방향(R1)에 있어서의 받침 부재(74)의 위치를 조정할 수 있다. 위치 결정용 나사 부재(84)는 복수 구비되어 있다. 각 위치 결정용 나사 부재(84)의 나사축은 받침 부재(74)의 대응하는 관통공(77a)을 관통하고 있고, 또한, 제2 플랜지(27)의 대응하는 나사 구멍(87)에 나사 결합되어 있다. 각 위치 결정용 나사 부재(84)의 머리부는, 대응하는 받침 부재(74)의 외주면을, 직경 방향(R1)의 외측으로부터 받치고 있고, 당해 받침 부재(74)를, 제2 시일 부재(22)를 향하여 가압하고 있다.The
받침 부재(74)는 제2 시일 부재(22)로부터의 탄성 반발력을 받고 있어, 튜브(2)의 외주면(11a)에는 접촉하지 않는다. 각 위치 결정용 나사 부재(84)는 대응하는 나사 구멍(87)에 대하여 회전됨으로써, 당해 나사 구멍(87)에 나사조임되는 양(깊이)이 조정된다. 이에 따라, 직경 방향(R1)에 있어서의 받침 부재(74)의 위치가 조정된다. 상기의 위치 결정용 나사 부재(84)에 의해, 직경 방향(R1)의 위치가 규정된 받침 부재(74)는 고정용 나사 부재(83)에 의해 제2 플랜지(27)에 고정된다.The
고정용 나사 부재(83)는 받침 부재(74)를 제2 플랜지(27)에 체결하기 위해서 설치되어 있다. 고정용 나사 부재(83)는 복수 구비되어 있고, 각 받침 부재(74)에 장착되어 있다. 각 고정용 나사 부재(83)의 나사축은 제2 플랜지(27)의 대응하는 장공(86)을 관통하고 있고, 또한, 받침 부재(74)의 대응하는 나사 구멍(78)에 나사 결합되어 있다. 각 고정용 나사 부재(83)에 의한, 제2 플랜지(27)와 대응하는 받침 부재(74)와의 체결이 해제된 상태에 있어서, 각 고정용 나사 부재(83)는 장공(86) 내를 직경 방향(R1)으로 이동 가능하다. 즉, 받침 부재(74)는 제2 플랜지(27)에 대하여, 직경 방향(R1)으로 상대 변위 가능하고, 각 받침 부재(74)는 제2 플랜지(27) 및 제2 시일 부재(22)에 대한 직경 방향(R1)의 위치를 변경 가능하다.The fixing
상기의 구성에 의해, 제2 시일 부재(22)는 복수의 받침 부재(74)에 의해서, 튜브(2)의 외주면(11a)에 가압되고, 또한, 제2 플랜지(27)의 타단면(27b)에 가압되어 있다. 이에 따라, 제2 시일 부재(22)는 둘레 방향(C1)의 전역에 걸쳐, 튜브(2)의 개구부(11)의 외주면(11a)에 접촉하고, 또한 제2 플랜지(27)의 타단면(27b)에 접촉하고 있다. 상기의 구성을 가지는 시일 유지 장치(71)에는 에어 블로우 장치(72)가 부착되어 있다.The
도 4를 참조하여, 에어 블로우 장치(72)는 튜브(2)의 외부로부터, 제2 시일 부재(22)의 주위의 영역을 향해, 공기를 불어내기 위하여 설치되어 있다. 에어 블로우 장치(72)는 에어용 관(89)과 스테이(90)를 가지고 있다.4, the
에어용 관(89)은, 예를 들면, 원환상으로 형성되어 있고, 튜브(2)의 외주면(11)의 외주면(11a)을 둘러싸도록 하여 배치되어 있다. 에어용 관(89)은 받침 부재(74)에 인접하여 배치되어 있다. 에어용 관(89)에는 취출구(89a)가 형성되어 있다. 취출구(89a)는 에어용 관(89) 내의 공기를, 튜브(2)의 개구부(11)의 외주면(11a)을 향해서 불어내기 위하여 설치되어 있다.The
취출구(89a)는 직경 방향(R1)의 안쪽을 향하고 있고, 외주면(11a)과 직경 방향(R1)으로 마주 보고 있다. 취출구(89a)는 둘레 방향(C1)으로 등간격으로 복수 형성되어 있다. 또한, 도 4에서는 복수의 취출구(89a) 중의 1개의 취출구(89a)를 도시하고 있다. 취출구(89a)는 받침 부재(74)와 길이 방향(L1)에 인접하는 위치에 형성되어 있다. 에어용 관(89)은 펌프 등의 기류 발생원(도시하지 않음)과 접속되어 있고, 에어용 관(89) 내를, 공기 등의 기류가 통과하도록 구성되어 있다. 에어용 관(89) 내의 기체는, 기류(A2)로서, 각 취출구(89a)로부터, 튜브(2)의 개구부(11)의 외주면(11a)을 향해서 불어내진다. 이에 따라, 각 취출구(89a)로부터의 기류(A2)는 튜브(2)의 개구부(11)의 외주면(11a)에 내뿜어진다. 또한, 기류(A2)는 외주면(11a)과 각 받침 부재(74)의 내주면(74a)의 사이의 간극(CL2)에 도달하여, 제2 시일 부재(22)를 냉각한다. 에어용 관(89)은 스테이(90)를 통하여, 받침 부재(74)에 지지되어 있다.The
스테이(90)는 복수 설치되어 있고, 예를 들면, 각 받침 부재(74)에 부착되어 있다. 스테이(90)는 L자형상으로 형성되어 있고, 직경 방향(R1)을 따라서 가늘고 길게 연장되어 있다. 직경 방향(R1)에 있어서의 스테이(90)의 일단부에, 에어용관(89)이 고정되어 있다. 직경 방향(R1)에 있어서의 스테이(90)의 타단부는 스테이용 나사 부재(91)를 이용하여, 대응하는 받침 부재(74)의 외주부에 고정되어 있다. 에어용 관(89)은, 예를 들면, 가요성을 가지는 호스에 의해서 형성되어 있다. 이에 따라, 에어용관(89)은 직경 방향(R1)에 있어서의 받침 부재(74) 위치의 변경에 따라, 휘어지는 것이 가능하다.A plurality of
[받침 부재의 위치 조정 동작][Positioning operation of the supporting member]
도 9는 받침 부재(74)의 위치 조정에 대하여 설명하기 위한 주요부의 단면도이다. 도 9에 나타내는 바와 같이, 본 실시 형태에 있어서, 튜브(2)의 개구부(11)의 외주면(11a)의 진원도는 비교적 낮다. 이 때문에, 중심축선(S2)으로부터 외주면(11a)까지의 거리는 외주면(11a)의 장소에 따라 다르다. 본 실시 형태에서, 튜브(2)의 상단부(2a)에 있어서의 튜브(2)의 두께는 비교적 작다. 즉, 개구부(11)의 외주면(11a)의 상단부와 중심축선(S2)의 사이의 거리(D1)는 비교적 작은 값으로 되어 있다. 한편, 튜브(2)의 하단부(2b)에 있어서의 튜브(2)의 두께는 비교적 크다. 즉, 개구부(11)의 외주면(11a)의 하단부와 중심축선(S2)의 사이의 거리(D2)는 비교적 큰 값으로 되어 있다. 즉, 거리 D1<거리 D2이다.9 is a cross-sectional view of a main part for explaining position adjustment of the receiving
튜브(2)의 상단부(2a)에 인접해 있는 받침 부재(74(741))는, 당해 받침 부재(741)의 플랜지부(77)와, 제2 플랜지(27)의 직경 방향(R1)에 있어서의 거리가, 소정의 값(D3)이 되도록, 대응하는 위치 결정용 나사 부재(84)에 의해 위치가 설정되어 있다. 이에 따라, 받침 부재(741)는 제2 시일 부재(22) 중, 당해 받침 부재(741)와 마주 보는 부분을, 직경 방향(R1)의 안쪽, 및 길이 방향(L1)의 한쪽을 향해서 가압하고 있다.The support member 74 (741) adjacent to the
한편, 튜브(2)의 하단부(2b)에 인접해 있는 받침 부재(74(742))는, 당해 받침 부재(742)의 플랜지부(77)와, 제2 플랜지(27)의 직경 방향(R1)에 있어서의 거리가, 소정의 값(D4)이 되도록, 대응하는 위치 결정용 나사 부재(84)에 의해 위치가 설정되어 있다. 이 경우, 거리 D3<거리 D4이다. 받침 부재(742)는 제2 시일 부재(22) 중, 당해 받침 부재(742)와 마주 보는 부분을, 직경 방향(R1)의 안쪽, 및 길이 방향(L1)의 한쪽을 향해 가압하고 있다.The support member 74 (742) adjacent to the
이상 설명한 것처럼, 열처리 장치(1)에 의하면, 각 받침 부재(74)는, 서로 독립하여, 직경 방향(R1)의 위치를 조정 가능하도록 구성되어 있다. 이 때문에, 각 받침 부재(74)는 제2 시일 부재(22) 중 직경 방향(R1)에 대향하고 있는 부분을, 확실하게, 개구부(11)의 외주면(11a)에 가압할 수 있다. 따라서, 튜브(2)의 튜브 본체(8)의 진원도, 특히 외주면(11a)의 진원도가 낮은 경우에도, 제2 시일 부재(22)를, 둘레 방향(C1)의 전역에 걸쳐, 당해 개구부(11)의 외주면(11a)에 확실하게 밀착할 수 있다. 또한, 개구부(11)의 진원도에 따른 형상의 받침 부재를 준비한다는, 수고가 걸리는 작업이 필요없다.As described above, according to the heat treatment apparatus 1, the respective receiving
따라서, 열처리 장치(1)에 있어서, 피처리물(100)을 수용하는 튜브(2)의 치수 공차가 큰 경우에도, 튜브(2)를 시일하기 위한 제2 시일 부재(22)를, 확실하게, 또한, 적은 수고로 튜브(2)에 따르게 할 수 있다.Therefore, even when the dimensional tolerance of the
또한, 열처리 장치(1)에 의하면, 각 받침 부재(74)는 고정용 나사 부재(83)를 이용하여, 제2 플랜지(27)에 체결된다. 이러한 간단한 구성으로, 각 받침 부재(74)를 고정할 수 있다. 또한, 고정용 나사 부재(83)에 의한 체결이 해제되어 있는 상태에 있어서, 각 받침 부재(74)를, 제2 플랜지(27)에 대해서 직경 방향(R1)으로 변위시킬 수 있다. 이에 따라, 직경 방향(R1)에 있어서의 각 받침 부재(74)의 위치를 용이하게 조정할 수 있다.According to the heat treatment apparatus 1, the respective receiving
또한, 열처리 장치(1)에 의하면, 제2 플랜지(27)는, 둘레 방향(C1)의 전역에 걸쳐, 제2 시일 부재(22)와 접촉하고 있다. 이에 따라, 제2 시일 부재(22) 및 제2 플랜지(27)는, 협동하여, 튜브(2)의 개구부(11)의 주위를, 둘레 방향(C1)의 전역에 걸쳐 시일할 수 있다.According to the heat treatment apparatus 1, the
또한, 열처리 장치(1)에 의하면, 각 받침 부재(74)는, 제2 시일 부재(22)를, 제2 플랜지(27)에 가압하기 위한 제2 가압부(82)를 가지고 있다. 이에 따라, 제2 시일 부재(22)를, 더욱 확실하게 제2 플랜지(27)에 접촉시킬 수 있다. 따라서, 제2 시일 부재(22) 및 제2 플랜지(27)는 튜브(2)의 개구부(11)의 주위를, 더욱 확실하게 시일할 수 있다.Each supporting
또한, 열처리 장치(1)에 의하면, 받침 부재 유지 기구(73)의 위치 결정용 나사 부재(84)는, 각 받침 부재(74)의 위치를, 직경 방향(R1)에 있어서 규정하도록 구성되어 있다. 이에 따라, 위치 결정용 나사 부재(84)는 제2 시일 부재(22)를 개구부(11)의 외주면(11a)에 밀착시키는데 적합한 위치에, 각 받침 부재(74)를 배치할 수 있다. 이에 따라, 제2 시일 부재(22)를, 더욱 확실하게, 튜브(2)의 개구부(11)의 외주면(11a)에 밀착시킬 수 있다.According to the heat treatment apparatus 1, the
또한, 각 위치 결정용 나사 부재(84)는 제2 플랜지(27)의 대응하는 나사 구멍(87)에 결합되어 있고, 또한, 대응하는 받침 부재(74)를 제2 시일 부재(22)에 가압하고 있다. 이러한 구성이면, 위치 결정용 나사 부재(84)를 나사 구멍(87)에 조여넣는 깊이를 조정함으로써, 받침 부재(74)의 위치를, 용이하게 미세 조정할 수 있다. 그 결과, 제2 시일 부재(22)를, 개구부(11)의 외주면(11a)에 적절한 강도로 가압할 수 있다.Each
이상, 본 발명의 실시 형태에 대하여 설명했지만, 본 발명은 상술한 실시의 형태에 한정되는 것은 아니다. 본 발명은 특허 청구의 범위에 기재한 것에 한해 다양한 변경이 가능하다.The embodiments of the present invention have been described above, but the present invention is not limited to the embodiments described above. The present invention can be modified in various ways within the scope of the claims.
(1) 상술한 실시 형태에서, 튜브(2)는 원통형상인 형태를 예로 설명했다. 그러나 이대로가 아니어도 된다. 예를 들면, 튜브는 다각형의 통형상이어도 된다. 이 경우, 제2 시일 부재(제2 시일 부재(22)에 상당) 및 시일 유지 부재(시일 유지 부재(35)에 상당)는 튜브의 외주면의 형상에 따른 형상으로 형성된다.(1) In the above-described embodiment, the
(2) 상술의 실시 형태에서, 제2 시일 부재(22)는, 튜브(2)의 외주면(11a)에 끼워맞춰지는 형태를 예로 설명했다. 그러나 이대로가 아니어도 된다. 예를 들면, 제2 시일 부재(22)는 튜브(2)의 내주면에 끼워맞춰져도 된다. 이 경우, 각 받침 부재(74)의 외주면은 직경 방향(R1)에 있어서의 튜브(2)의 개구부(11)의 안쪽에 배치된다. 각 받침 부재(74)는 제2 시일 부재(22)를 개구부(11)의 내주면을 향하여 가압한다.(2) In the above-described embodiment, the
(3) 상술의 실시 형태에서, 받침 부재 유지 기구(73)는 고정용 나사 부재(83), 및 위치 결정용 나사 부재(84)를 이용하여, 받침 부재(74)를, 제2 시일 부재(22)에 고정하는 형태를 예로 설명했다. 그러나 이대로가 아니어도 된다. 예를 들면, 받침 부재 유지 기구(73)는 직경 방향(R1)으로 연장되는 레일 등, 나사 부재 이외의 부재를 이용하여 구성되어 있어도 된다.(3) In the embodiment described above, the receiving
(4) 상기 실시 형태에서, 고정용 나사 부재(83)는, 받침 부재(74)와, 직경 방향(R1)으로 일체적으로 이동 가능한 형태를 예로 설명했다. 그러나 이대로가 아니어도 된다. 예를 들면, 도 10에 나타내는 바와 같이, 고정용 나사 부재(83)를, 받침 부재(74A)에 대하여, 직경 방향(R1)으로 상대 이동 가능하게 구성해도 된다. 또한, 이하에서는, 도 1~도 9에 나타내는 실시 형태와 다른 점에 대하여 설명하고, 상기 실시 형태와 동일한 구성에 대해서는, 도면에 동일한 부호를 붙여 설명을 생략한다. 받침 부재(74A)에는 장공(86A)이 형성되어 있다. 한편, 제2 플랜지(27A)에는 나사 구멍(78A)이 형성되어 있다. 고정용 나사 부재(83)는 장공(86A)에 삽입되고, 또한, 나사 구멍(78A)에 나사 결합된다. 이 경우, 스테이(90)는 고정용 나사 부재(83)와 접촉하지 않도록 배치된다.(4) In the above embodiment, the fixing
(5) 또한, 도 11에 나타내는 바와 같이, 고정용 나사 부재(83)는 받침 부재(74A), 및 제2 플랜지(27)의 쌍방에 대하여, 직경 방향(R1)으로 상대 이동 가능하게 구성되어 있어도 된다. 이 경우, 고정용 나사 부재(83)는 제2 플랜지(27)의 장공(86), 및, 받침 부재(74A)의 장공(86A)에 삽입된다. 이에 따라, 고정용 나사 부재(83)는, 제2 플랜지(27) 및 받침 부재(74A)를 관통하고 있다. 고정용 나사 부재(83)는 너트 부재(92)와 나사 결합함으로써, 제2 플랜지(27)와 받침 부재(74A)를 체결하고 있다. 이 경우, 직경 방향(R1)에 있어서, 받침 부재(74A)의 위치 조정이 가능한 범위를, 보다 크게 할 수 있다.(5) As shown in Fig. 11, the fixing
(6) 또한, 상기 실시 형태에서는, 받침 부재(74)를 제2 플랜지(27)에 체결하는 체결 부재로서, 고정용 나사 부재(83)를 이용하는 형태를 예로 설명했다. 그러나, 이대로가 아니어도 된다. 예를 들면, 받침 부재(74) 및 제2 플랜지(27)를 사이에 끼우는 클립형상의 체결 부재 등, 다른 체결 부재를 이용해도 된다.(6) In the above-described embodiment, a fixing
(7) 또한, 상기 실시 형태에서는, 튜브(2)에 인접하는 인접 부재로서, 냉각 부재(19)를 이용하는 형태를 예로 설명했다. 그러나 이대로가 아니어도 된다. 예를 들면, 튜브(2)에 인접하는 부재로서, 튜브(2)의 개구부(11)를 막는 도어를 이용해도 된다.(7) In the above embodiment, the cooling
(8) 상술의 실시 형태에서는, 받침 부재(74)가, 제1 가압부(81) 및 제2 가압부(82)를 가지는 형태를 예로 설명했다. 그러나 이대로가 아니어도 된다. 예를 들면, 제1 가압부(81) 및 제2 가압부(82) 중 적어도 한쪽은 생략되어도 된다.(8) In the above-described embodiment, the receiving
(9) 상술의 실시 형태에서는, 직경 방향(R1)에 있어서의 받침 부재(74)의 위치를, 위치 결정용 나사 부재(84)에 의해서 조정하는 형태를 예로 설명했다. 그러나, 이대로가 아니어도 된다. 예를 들면, 위치 결정용 나사 부재(84)는 생략되어도 된다.(9) In the above-described embodiment, the position of the receiving
(10) 상술의 실시 형태에서는, 제2 시일 부재(22)를, O링에 의해서 형성하는 형태를 예로 설명했다. 그러나 이대로가 아니어도 된다. 예를 들면, 제2 시일 부재를, 탄성 및 가요성을 가지는, O링 이외의 시일 부재로 형성해도 된다.(10) In the above-described embodiment, the
(11) 상기 실시 형태에서, 제1 시일 부재(21)는, O링인 형태를 예로 설명했다. 그러나 이대로가 아니어도 된다. 제1 시일 부재(21)는, O링 이외의, 고체형상의 시일 부재 등이어도 된다.(11) In the above embodiment, the
본 발명은 가열된 분위기 하에서 피처리물을 처리하기 위한 열처리 장치로서 폭넓게 적용할 수 있다. The present invention can be widely applied as a heat treatment apparatus for treating an object to be treated in a heated atmosphere.
1: 열처리 장치 2: 튜브(수납 용기)
8: 튜브 본체(통형상부) 11: 개구부
11a: 외주면(둘레면) 22: 제2 시일 부재(환상의 시일 부재)
27, 27A: 제2 플랜지(인접 부재) 71: 시일 유지 장치
73: 받침 부재 유지 기구 74, 74A: 받침 부재
82: 제2 가압부(가압부) 83: 고정용 나사 부재(체결 부재)
84: 위치 결정용 나사 부재(위치 결정 부재, 수나사 부재)
87: 나사 구멍 100: 피처리물
C1: 둘레 방향 L1: 길이 방향(축방향)
R1: 직경 방향(둘레면에 가까워지는 방향 및 둘레면으로부터 멀어지는 방향)1: heat treatment device 2: tube (storage container)
8: tube body (tubular portion) 11: opening
11a: outer circumferential surface (circumferential surface) 22: second seal member (annular seal member)
27, 27A: second flange (adjacent member) 71: seal holding device
73: Support
82: second pressing portion (pressurizing portion) 83: fixing screw member (fastening member)
84: Positioning screw member (positioning member, male screw member)
87: screw hole 100: object to be processed
C1: circumferential direction L1: longitudinal direction (axial direction)
R1 is a radial direction (a direction approaching the circumferential surface and a direction away from the circumferential surface)
Claims (6)
탄성을 가지는 재료를 이용하여 형성되고, 상기 통형상부의 둘레면에 끼워맞춰진 환상의 시일 부재와,
상기 시일 부재를 유지하기 위한 시일 유지 장치를 구비하고,
상기 시일 유지 장치는, 상기 통형상부의 둘레 방향으로 배열된 복수의 받침 부재와, 복수의 상기 받침 부재를 유지하는 받침 부재 유지 기구를 포함하고,
각 상기 받침 부재는, 상기 둘레 방향에 있어서의 상기 시일 부재의 일부를 받치고 있고,
상기 받침 부재 유지 기구는 각 상기 받침 부재의 위치를, 상기 둘레면에 가까워지는 방향 및 상기 둘레면으로부터 멀어지는 방향에 있어서 조정 가능하게 구성되어 있으며,
상기 받침 부재 유지 기구는, 각 상기 받침 부재의 위치를, 상기 둘레면에 가까워지는 방향 및 상기 둘레면으로부터 멀어지는 방향에 있어서 규정하기 위한 위치 결정 부재를 가지고 있는 것을 특징으로 하는 열처리 장치.A storage container having a tubular portion and configured to receive the object to be processed,
An annular seal member formed using a material having elasticity and fitted to the peripheral surface of the tubular portion;
And a seal holding device for holding the seal member,
Wherein the seal holding device includes a plurality of receiving members arranged in the circumferential direction of the tubular portion and a receiving member holding mechanism holding the plurality of receiving members,
Each of the receiving members supports a part of the sealing member in the circumferential direction,
Wherein the receiving member holding mechanism is configured to adjust the position of each of the receiving members in a direction approaching the peripheral surface and a direction away from the peripheral surface,
Wherein the support member holding mechanism has a positioning member for defining the position of each of the receiving members in a direction approaching the circumferential surface and a direction away from the circumferential surface.
상기 받침 부재 유지 기구는, 상기 통형상부의 축방향과 평행한 방향에 있어서 각 상기 받침 부재와 인접하는 인접 부재와, 각 상기 받침 부재마다 설치되어, 대응하는 상기 받침 부재 및 상기 인접 부재를 서로 체결하는 복수의 체결 부재를 포함하고,
각 상기 받침 부재는, 상기 체결 부재에 의한 체결이 해제되어 있는 상태에서, 상기 인접 부재에 대하여, 상기 둘레면에 가까워지는 방향 및 상기 둘레면으로부터 멀어지는 방향으로 상대 이동 가능한 것을 특징으로 하는 열처리 장치.The method according to claim 1,
Wherein the support member holding mechanism includes an adjacent member adjacent to each of the receiving members in a direction parallel to the axial direction of the tubular portion and a connecting member provided for each of the receiving members to fasten the corresponding receiving member and the adjacent member to each other A plurality of fastening members,
Wherein each of the receiving members is relatively movable with respect to the adjacent member in a direction approaching the circumferential surface and a direction away from the circumferential surface in a state in which the engagement by the coupling member is released.
상기 인접 부재는, 상기 둘레 방향의 전역에 걸쳐, 상기 시일 부재와 접촉하고 있는 것을 특징으로 하는 열처리 장치.The method of claim 2,
Wherein the adjacent member is in contact with the seal member over the entire circumferential direction.
각 상기 받침 부재는, 상기 시일 부재를, 상기 인접 부재를 향해서 가압하기 위한 가압부를 가지고 있는 것을 특징으로 하는 열처리 장치.The method of claim 3,
Wherein each of the receiving members has a pressing portion for pressing the sealing member toward the adjacent member.
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