KR101473687B1 - 광원 분할 장치 - Google Patents

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KR101473687B1
KR101473687B1 KR20130103132A KR20130103132A KR101473687B1 KR 101473687 B1 KR101473687 B1 KR 101473687B1 KR 20130103132 A KR20130103132 A KR 20130103132A KR 20130103132 A KR20130103132 A KR 20130103132A KR 101473687 B1 KR101473687 B1 KR 101473687B1
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ferroelectric
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강용철
이한영
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전자부품연구원
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Abstract

본 발명은 레이저 센서의 측정에 사용되는 레이저를 다중으로 분할 시켜 원하는 위치에 출력하는 광원 분할 장치에 관한 것으로, 광 정렬이 용이하도록 간단한 구조의 광학계를 이용하여 하나의 광원을 다중으로 분할 시킬 수 있는 광원 분할 장치를 제공하기 위한 것이다. 본 발명에 따른 광원 분할 장치는 광원을 생성하여 출사하는 광원출사부와, 광원출사부로부터 하나의 광원을 전달받아 다중의 광원으로 분할시키는 스플리터부와, 스플리터부로부터 분할된 광원을 전달받아 분할된 광원을 원하는 각도로 출력하는 복수개의 조준렌즈부를 포함하고, 스플리터부는 광원출사부로부터 광원을 전달받고, 하나의 광도파로에서 복수개의 광도파로로 분할되는 구조를 가지는 실리카 광도파로가 형성된 실리카 기반 광도파로 소자와, 실리카 기반 광도파로 소자의 출력되는 면에 접합되며, 실리카 광도파로로부터 광원을 전달받고, 복수개로 분할된 실리카 광도파로에 각각 연결된 직선형 광도파로가 형성되어, 전달받은 광원을 조준렌즈부로 출력하는 강유전체 기반 광도파로 소자를 포함한다.

Description

광원 분할 장치{Device for dividing optical source}
본 발명은 광원 분할 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 레이저 센서의 측정에 사용되는 레이저를 다중으로 분할 시켜 원하는 위치에 출력하는 광원 분할 장치에 관한 것이다.
기술이 첨단화되어 가면서 레이저를 이용한 센서를 통해 거리, 높이 또는 크기 등과 같은 물리량을 정확하게 측정할 수 있는 기술이 널리 보급되고 있다.
레이저를 이용하는 센서는 레이저 빔이 가지는 뛰어난 분해능으로 인해 그 측정의 정밀도가 매우 높은 장점이 있다.
그 중 라이다(Light Detection and Rangung ; LIDAR)기술은 바람 정보와 함께 먼지, 연기, 에어로졸, 구름 입자 등의 존재와 이동을 측정하기 위한 레이더로서 사용한다. 최근에는 레이저를 사용하는 라이다기술을 이용하여 거리를 측정하는 사례가 많아지고 있다. 레이저 라이다는 차량에 설치하여 주위에 있는 물체의 거리를 측정하거나, 상대 속도를 측정하는데 적용되고 있다. 레이저 라이다는 차량의 전방 및 좌우 옆 차선에서 들어오는 차량 또는 장애물의 거리를 감지하여 사고를 미연에 방지할 수 있도록 전방 및 좌우를 감지할 수 있도록 제작된다. 이와 같이, 레이저 라이다는 전방 및 좌우를 감지할 수 있도록 하기 위해서 레이저 라이다를 복수개로 구성하여 설치하였다. 그러나, 이와 같이 복수개의 레이저 라이다를 설치하는 경우, 공간을 많이 차지하고, 비용이 많이 소모되는 문제점이 있다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위해서, 하나의 광원을 전방 및 좌우로 분할할 수 있는 장치가 고안되었다.
종래의 하나의 광원을 다중으로 분할하는 광원 분할 장치는 다중의 반사경으로 이루어진 스플리터를 이용하여 공간상에서 광원을 분할 시켰다. 이와 같이 종래의 광원 분할 장치는 공간상에서 광원이 분할됨에 따라 광학계(Optical system)가 미소하게 움직이거나 틀어지게 될 경우, 분할된 광원의 분할비, 분할된 광원의 모양 등이 변하는 문제점이 있었다. 특히, 종래의 광원 분할 장치는 차량과 같이 지속적인 진동이 있는 물체에 탑재한 경우, 그 성능을 보장하기가 어려운 문제점이 있었다. 또한, 종래의 광원 분할 장치는 여러 종류의 광학계를 사용함에 따라 광 정렬에 많은 어려움이 있기 때문에 부피와 단가가 증가하는 문제점이 있었다.
대한민국 등록특허공보 제10-0336307호(2002.04.29.)
따라서, 본 발명의 목적은 광 정렬이 용이하도록 간단한 구조의 광학계를 이용하여 하나의 광원을 다중으로 분할 시킬 수 있는 광원 분할 장치를 제공하는 데 있다.
본 발명의 다른 목적은 진동에도 안정적으로 동작할 수 있는 광원 분할 장치를 제공하는 데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 광 손실을 최소화하고 광 효율을 극대화 시킬 수 있는 광원 분할 장치를 제공하는 데 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 광원을 생성하여 출사하는 광원출사부와, 상기 광원출사부로부터 하나의 광원을 전달받아 다중의 광원으로 분할시키는 스플리터부와, 상기 스플리터부로부터 분할된 광원을 전달받아 상기 분할된 광원을 원하는 각도로 출력하는 복수개의 조준렌즈부를 포함하고, 상기 스플리터부는 상기 광원출사부로부터 광원을 전달받고, 하나의 광도파로에서 복수개의 광도파로로 분할되는 구조를 가지는 실리카 광도파로가 형성된 실리카 기반 광도파로 소자와, 상기 실리카 기반 광도파로 소자의 출력되는 면에 접합되며, 상기 실리카 광도파로로부터 광원을 전달받고, 복수개로 분할된 상기 실리카 광도파로에 각각 연결된 직선형 광도파로가 형성되어, 상기 전달받은 광원을 조준렌즈부로 출력하는 강유전체 기반 광도파로 소자를 포함하는 것을 특징으로 하는 광원 분할 장치를 제공한다.
본 발명에 따른 광원 분할 장치에 있어서, 상기 광원출사부로는 반도체 레이저 다이오드를 사용하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 광원 분할 장치에 있어서, 상기 실리카 기반의 광도파로 소자는 하부 실리카 클래드층과 상기 하부 실리카 클래드층 위에 실리카 코어층을 형성한 후 패터닝하여 형성되고, 하나의 입력에서 복수개로 분할되어 출력되는 구조를 가지는 실리카 광도파로와, 상기 하부 실리카 클래드층 위에 상기 실리카 광도파로를 덮도록 형성되는 상부 실리카 클래드층을 포함하고, 상기 실리카 광도파로는 실리카 또는 폴리머가 혼합된 SiO2인 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 광원 분할 장치에 있어서, 상기 강유전체 기반 광도파로 소자는 강유전체 기판, 상기 강유전체 기판 위에 금속을 증착한 후 상기 강유전체 기판 내부로 확산하여 형성되고, 상기 실리카 광도파로의 출력부와 연결되어 분할된 광원을 상기 조준렌즈부로 전달하는 직선형 광도파로를 포함하고, 상기 강유전체 기판의 소재는 LiNbO3 또는 LiTiO3 이고, 상기 직선형 광도파로 소재는 Ti인 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 광원 분할 장치에 있어서, 상기 실리카 기반 광도파로 소자와 상기 강유전체 기반 광도파로 소자는 에폭시 접착제를 매개로 접합되는 것을 특징으로 한다.
광원출사부로부터 하나의 광원을 전달받아 다중의 광원으로 분할시키고, 분할된 광원을 원하는 각도로 출력하는 복수개의 조준렌즈부로 전달하는 광원 분할 장치용 스플리터에 있어서, 상기 광원출사부로부터 광원을 전달받고, 하나의 광도파로에서 복수개의 광도파로로 분할되는 구조를 가지는 실리카 광도파로가 형성된 실리카 기반 광도파로 소자와, 상기 실리카 기반 광도파로 소자의 출력되는 면에 접합되며, 상기 실리카 광도파로로부터 광원을 전달받고, 복수개로 분할된 상기 실리카 광도파로에 각각 연결된 직선형 광도파로가 형성되어, 상기 전달받은 광원을 조준렌즈부로 출력하는 강유전체 기반 광도파로 소자를 포함한다.
본 발명에 따른 광원 분할 장치는 광도파로를 이용하여 하나의 광원을 다중으로 분할 시키기 때문에 광 정렬이 용이하여 센서의 부피와 단가를 줄일 수 있고, 진동에도 안정적으로 동작할 수 있다.
본 발명에 따른 광원 분할 장치는 실리카 기반의 광도파로 소자와 강유전체 기반 광도파로 소자의 접합에 의해 실리카 기반 광도파로 광도파로에서 복수개의 광도파로로 분할되는 구조를 가지는 실리카 광도파로와 강유전체 기반 광도파로 소자의 직선형 광도파로가 서로 연결된 구조를 갖기 때문에, 실리카 광도파로를 패터닝으로 형성하기 때문에 광분기비를 정확히 조절할 수 있고, 굴절율이 높은 강유전체 기판에 형성된 직선형 광도파로에 의해 우수한 광학적 특성을 가질 수 있다.
즉 실리카 기반의 광도파로 소자는 실리카를 기반으로 하며 패터닝을 통하여 형성할 수 있기 때문에 광 손실을 낮출 수 있고, 광 분기 비율을 정확하게 조절할 수 있다. 또한, 직선형 광도파로는 굴절율이 높은 강유전체 기판에 형성되어 광원의 진동수를 2배로 증가시킬 수 있기 때문에 광 효율을 높일 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 광원 분할 장치의 모식도이다.
도 2는 도 1의 2-2선 단면도로서, 본 발명의 실시예에 따른 스플리터부의 실리카 기반 광도파로 소자를 보여주는 단면도이다.
도 3은 도 1의 3-3선 단면도로서, 본 발명의 실시예에 따른 스플리터부의 강유전체 기반 광도파로 소자를 보여주는 단면도이다.
하기의 설명에서는 본 발명의 실시 예를 이해하는데 필요한 부분만이 설명되며, 그 이외 부분의 설명은 본 발명의 요지를 흩트리지 않도록 생략될 것이라는 것을 유의하여야 한다.
이하에서 설명되는 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념으로 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다. 따라서 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 바람직한 실시예에 불과할 뿐이고, 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.
이하 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 광원 분할 장치를 더욱 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 광원 분할 장치(100)의 모식도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 광원 분할 장치(100)는 광원출사부(10), 스플리터부(20) 및 조준렌즈부(50)를 포함한다.
광원출사부(10)는 광원을 생성시키고 생성된 광원을 출사할 수 있다. 출사된 광원은 스플리터부(20)로 전달될 수 있다. 광원출사부(10)로는 반도체 레이저 다이오드를 사용할 수 있으며, 이에 한정된 것은 아니고, 가스 레이저와 같은 다른 타입의 레이저 광원을 사용할 수도 있다.
스플리터부(20)는 광원출사부(10)로부터 하나의 광원을 전달받아 다중의 광원으로 분할시킬 수 있다.
본 실시예에 따른 스플리터부(20)는 실리카 기반 광도파로 소자(30)와 강유전체 기반 광도파로 소자(40)가 접합된 구조를 갖는다. 즉 스플리터부(20)는 실리카 기반 광도파로 소자(30)가 갖는 특성과, 강유전체 기반 광도파(40)로 소자가 갖는 특성을 모두 활용할 수 있다.
이러한 스플리터부(20)의 실리카 기반 광도파로 소자(30)는 하나의 광도파로에서 복수개로 분할되는 광도파로 구조를 가지는 실리카 광도파로(32)가 형성되어 있다. 그리고 강유전체 기반 광도파로 소자(30)는 실리카 기반 광도파로 소자(32)의 출력되는 면에 접합되며, 복수개로 분할된 실리카 광도파로(32)에 각각 연결된 직선형 광도파로(42)가 형성되어 있다. 실리카 광도파로(32)는 입력부(34)와, 입력부(34)에서 분할된 복수개의 분할부(35)를 포함한다. 분할부(35)는 입력부(34)에서 입력된 광원을 다중으로 분할시킨다. 따라서, 실리카 광도파로(32)는 하나의 광원을 입력받아 다중으로 분할시킬 수 있다.
강유전체 기반 광도파로 소자(40)는 강유전체 기판(41)에 직선형 광도파로(42)가 형성된 구조를 갖는다. 강유전체 기반 광도파로 소자(40)는 실리카 광도파로(32)의 분할부(35)와 연결한다. 즉 직선형 광도파로(42)는 분할된 분할부(35)의 개수와 동일하다. 직선형 광도파로(42)는 실리카 광도파로(32)로부터 분할된 광원을 조준렌즈부(50)로 전달할 수 있다. 이와 같이 직선형 광도파로(42)는 굴절율이 높은 강유전체 기판(41)에 형성되어 있기 때문에 광원의 진동수를 2배로 증가시킬 수 있다.
그리고 실리카 기반 광도파로 소자(30)와 강유전체 기반 광도파로 소자(40)는 에폭시 접착제를 매개로 접합될 수 있다.
조준렌즈부(50)는 스플리터부(20)로부터 분할된 광원의 개수와 동일하게 구비되어, 분할된 광원을 전달받아, 분할된 광원을 원하는 각도로 출력한다. 즉 조준렌즈부(50)는 강유전체 기반 광도파로 소자(40)의 직선형 광도파로(42)의 출력부와 표적 사이에 설되는 광학적 경로 상에 위치 할 수 있다. 출력된 다수개의 광원을 각도의 변환을 통해서 원하는 위치에 광원을 출력시킬 수 있다. 예컨데 광원 분할 장치(100)가 차량에 설치되어 주위에 있는 물체의 거리를 측정하거나, 상대 속도를 측정하는데 사용될 경우, 복수개의 조준렌즈부(50)의 일부는 전방을 향하도록 배치되고, 일부는 좌측을 조준할 수 있도록 좌측으로 각도를 조정하여 배치되고, 일부는 우측을 조준할 수 있도록 우측으로 각도를 조정하여 배치될 수 있다. 조준렌즈부(50)는 센서로 사용될 경우, 직선형 광도파로(42)로부터 출력된 광원을 목표물에 시준/포커싱하고, 목표물에 의해 반사된 광원을 수신하도록 설치할 수 있다. 수신된 광원은 측정 수단을 통해 목표물과의 거리나 상대속도를 측정할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 광원 분할 장치(100)는 다음과 같이 광원을 전달한다. 먼저 광원출사부(10)를 통해 광원을 생성하고 실리카 기반 광도파로 소자(30)의 입력부(34)로 전달된다. 광원출사부(10)로부터 전달받은 광원은 실리카 기반 광도파로 소자(30)의 입력부(34)를 통하여 분할부(35)로 전달된다. 즉 실리카 기반 광도파로 소자(30)의 입력부(34)에 광원이 입력되면, 입력부(34)에 연결된 복수개로 분할된 분할부(35)를 통하여 분할된다. 분할된 광원은 강유전체 기반 광도파로 소자(40)의 직선형 광도파로(42)를 통과하여 조준렌즈부(50)로 전달된다.
도 2는 도 1의 2-2선 단면도로서, 본 발명의 실시예에 따른 스플리터부(20)의 실리카 기반 광도파로 소자(30)를 보여주는 단면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 실리카 기반 광도파로 소자(30)는 하부 실리카 클래드층(31), 실리카 광도파로(32) 및 상부 실리카 클래드층(33)을 포함한다.
실리카 광도파로(32)는 하부 실리카 클래드층(31) 위에 실리카 코어층을 형성한 후 패터닝하여 형성된 다중으로 분할된 분할부(35)를 가진다. 즉 하부 실리카 클래드층(31) 위에 실리카 코어층을 증착하여 형성할 수 있다. 예컨데 실리카 코어층은 화염가수분해법(Flame Hydrolysis Deposition ; FHD)에 의하여 하부 실리카 클래드층(31) 위에 증착한 후, 열산화(Thermal Oxidation)에 의해 형성할 수 있다. 그리고 실리카 코어층을 유도결합플라즈마(Inductive Coupled Plasma) 장비를 이용한 건식식각 방식을 이용하여 패터닝하여 실리카 광도파로(32)를 형성할 수 있다.
이때 분할부(35)를 포함한 실리카 광도파로(32)를 패터닝을 통하여 형성하기 때문에, 분할부(35)에서의 광 손실을 낮출 수 있고, 광 분기 비율을 정확하게 조절할 수 있다.
실리카 광도파로(32)의 소재로는 실리카 또는 폴리머가 혼합된 SiO2이 사용될 수 있으며, 이것에 한정되는 것은 아니다.
그리고 상부 실리카 클래드층(33)은 하부 실리카 클래드층(31) 위에 실리카 광도파로(32)를 덮도록 형성된다. 이때 실리카 광도파로(32)로 전달되는 광의 손실을 억제하기 위해서, 하부 실리카 클래드층(31) 및 상부실리카 클래드층(33)은 실리카 광도파로(32)에 비해서 상대적으로 낮은 굴절률을 갖고 있다.
도 3은 도 1의 3-3선 단면도로서, 본 발명의 실시예에 따른 스플리터부(20)의 강유전체 기반 광도파로 소자(40)를 보여주는 단면도이다.
도 1 및 도 3을 참조하면 본 발명의 실시예에 따른 강유전체 기반 광도파로 소자(40)는 강유전체 기판(41)과, 강유전체 기판(41) 위에 금속을 증착한 후 강유전체 기판(41) 내부로 확산하여 형성된 직선형 광도파로(42)를 포함한다.
이때 강유전체 기판(41)의 소재로는 LiNbO3 또는 LiTiO3이 사용될 수 있으며, 이것에 한정된 것은 아니다. 직선형 광도파로(42)의 소재로는 Ti가 사용될 수 있으며, 이것에 한정되는 것은 아니다.
직선형 광도파로(42)는 분할부(35)의 단부에 연결될 수 있도록 분할부(35)와 동일 위치에 형성된다.
Ti를 기반으로 한 직선형 광도파로(42)는 다음과 같이 형성할 수 있다. 강유전체 기판(41)에 포토레지스트를 일정한 두께로 균일하게 스핀코팅을 한다. 즉, 직선형 광도파로(42)에 대응하는 도파로 패턴이 형성되어 있는 마스크를 노광기에 장착하여 도파로 패턴을 포토레지스트에 전사한다. 포토레지스트 현상액을 사용하여 도파로 패턴 형상의 포토레지스트를 제거하고 Ti를 강유전체 기판(41)과 포토레지스트 사이에 이-빔(E-beam) 등의 장비를 사용하여 증착한다. 남아있는 포토레지스트를 제거하고 Ti 소재의 도파로 패턴만이 강유전체 기판(41) 위에 남도록 제작한다. 그리고 1000~1060℃의 온도의 챔버에 강유전체 기판(41)을 넣어 Ti가 강유전체 기판(41) 내에 확산되도록 하여 강유전체 기판(41) 내에 직선형 광도파로(42)를 형성할 수 있다.
이와 같이 본 발명의 실시예에 따른 스플리터부(20)는 실리카 기반 광도파로 소자(30)와 강유전체 기반 광도파로 소자(40)의 접합에 의해 실리카 기반 광도파로 소자(30)의 분할부(35)와 강유전체 기반 광도파로 소자(40)의 직선형 광도파로(42)가 서로 연결된 구조를 갖는다. 이때 분할부(35)를 패터닝으로 형성하기 때문에 광분기비를 정확히 조절할 수 있다. 또한 강유전체 기판(41)에 형성된 직선형 광도파로(42)를 사용하기 때문에 광원의 진동수를 2배로 증가시킬 수 있다.
따라서, 본 발명의 실시예에 따른 광원 분할 장치(100)는 실리카 기반의 광도파로 소자(30)와 강유전체 기반 광도파로 소자(40)의 접합에 의해 실리카 기반 광도파로 소자(30)의 하나의 입력에서 복수개로 출력되는 실리카 광도파로와 강유전체 기반 광도파로 소자(40)의 직선형 광도파로(42)가 서로 연결된 구조를 갖기 때문에, 실리카 광도파로(32)를 패터닝으로 형성하기 때문에 광분기비를 정확히 조절할 수 있고, 굴절율이 높은 강유전체 기판에 형성된 직선형 광도파로에 의해 우수한 광학적 특성을 가질 수 있다.
즉 실리카 기반의 광도파로 소자(30)는 실리카를 기반으로 하며 패터닝을 통하여 형성할 수 있기 때문에 광 손실을 낮출 수 있고, 광 분기 비율을 정확하게 조절할 수 있다. 또한, 직선형 광도파로(42)는 굴절율이 높은 강유전체 기판(41)에 형성되어 광원의 진동수를 2배로 증가시킬 수 있기 때문에 광 효율을 높일 수 있다.
또한 본 발명의 실시예에 따른 광원 분할 장치(100)는 광도파로를 이용하여 하나의 광원을 다중으로 분할 시키기 때문에 광 정렬이 용이하여 센서의 부피와 단가를 줄일 수 있고, 진동에도 안정적으로 동작할 수 있다.
한편, 본 도면에 개시된 실시예는 이해를 돕기 위해 특정 예를 제시한 것에 지나지 않으며, 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것은 아니다. 여기에 개시된 실시예 이외에도 본 발명의 기술적 사상에 바탕을 둔 다른 변형예들이 실시 가능하다는 것은, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게는 자명한 것이다.
10 : 광원출사부 20 : 스플리터부
30 : 실리카 기반 광도파로 소자 31 : 하부 실리카 클래드층
32 : 실리카 광도파로 33 : 실리카 클래드층
34 : 입력부 35 : 분할부
40 : 강유전체 기반 광도파로 소자 41 : 강유전체 기판
42 : 광도파로 소자 50 : 조준렌즈부
100 : 광원 분할 장치

Claims (6)

  1. 광원을 생성하여 출사하는 광원출사부;
    상기 광원출사부로부터 하나의 광원을 전달받아 다중의 광원으로 분할시키는 스플리터부;
    상기 스플리터부로부터 분할된 광원을 전달받아 상기 분할된 광원을 원하는 각도로 출력하는 복수개의 조준렌즈부;를 포함하고,
    상기 스플리터부는,
    상기 광원출사부로부터 광원을 전달받고, 하나의 광도파로에서 복수개의 광도파로로 분할되는 구조를 가지는 실리카 광도파로가 형성된 실리카 기반 광도파로 소자;
    상기 실리카 기반 광도파로 소자의 출력되는 면에 접합되며, 상기 실리카 광도파로로부터 광원을 전달받고, 복수개로 분할된 상기 실리카 광도파로에 각각 연결된 직선형 광도파로가 형성되어, 상기 전달받은 광원을 조준렌즈부로 출력하는 강유전체 기반 광도파로 소자; 를 포함하고,
    상기 실리카 기반 광도파로 소자는,
    하부 실리카 클래드층;
    상기 하부 실리카 클래드층 위에 실리카 코어층을 형성한 후 패터닝하여 형성되고, 하나의 입력에서 복수개로 분할되어 출력되는 구조를 가지는 실리카 광도파로;
    상기 하부 실리카 클래드층 위에 상기 실리카 광도파로를 덮도록 형성되는 상부 실리카 클래드층; 을 포함하고
    상기 강유전체 기반 광도파로 소자는,
    강유전체 기판;
    상기 강유전체 기판 위에 금속을 증착한 후 상기 강유전체 기판 내부로 확산하여 형성되고, 상기 실리카 광도파로의 출력부와 연결되어 분할된 광원을 상기 조준렌즈부로 전달하는 직선형 광도파로;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 광원 분할 장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 광원출사부로는 반도체 레이저 다이오드를 사용하는 것을 특징으로 하는 광원 분할 장치.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 실리카 광도파로는 실리카 또는 폴리머가 혼합된 SiO2인 것을 특징으로 하는 광원 분할 장치.
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 강유전체 기판의 소재는 LiNbO3 또는 LiTiO3 이고, 상기 직선형 광도파로 소재는 Ti인 것을 특징으로 하는 광원 분할 장치.
  5. 제1 항에 있어서,
    상기 실리카 기반 광도파로 소자와 상기 강유전체 기반 광도파로 소자는 에폭시 접착제를 매개로 접합되는 것을 특징으로 하는 광원 분할 장치.
  6. 광원출사부로부터 하나의 광원을 전달받아 다중의 광원으로 분할시키고, 분할된 광원을 원하는 각도로 출력하는 복수개의 조준렌즈부로 전달하는 광원 분할 장치용 스플리터에 있어서,
    상기 광원출사부로부터 광원을 전달받고, 하나의 광도파로에서 복수개의 광도파로로 분할되는 구조를 가지는 실리카 광도파로가 형성된 실리카 기반 광도파로 소자;
    상기 실리카 기반 광도파로 소자의 출력되는 면에 접합되며, 상기 실리카 광도파로로부터 광원을 전달받고, 복수개로 분할된 상기 실리카 광도파로에 각각 연결된 직선형 광도파로가 형성되어, 상기 전달받은 광원을 조준렌즈부로 출력하는 강유전체 기반 광도파로 소자; 를 포함하고,
    상기 실리카 기반의 광도파로 소자는,
    하부 실리카 클래드층;
    상기 하부 실리카 클래드층 위에 실리카 코어층을 형성한 후 패터닝하여 형성되고, 하나의 입력에서 복수개로 분할되어 출력되는 구조를 가지는 실리카 광도파로;
    상기 하부 실리카 클래드층 위에 상기 실리카 광도파로를 덮도록 형성되는 상부 실리카 클래드층; 을 포함하고
    상기 강유전체 기반 광도파로 소자는,
    강유전체 기판;
    상기 강유전체 기판 위에 금속을 증착한 후 상기 강유전체 기판 내부로 확산하여 형성되고, 상기 실리카 광도파로의 출력부와 연결되어 분할된 광원을 상기 조준렌즈부로 전달하는 직선형 광도파로;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 광원 분할 장치용 스플리터.
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JP2002357732A (ja) 2001-05-31 2002-12-13 Hitachi Cable Ltd 光導波路回路

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