KR101471101B1 - Equipped with a cradle for stage of the porous plate - Google Patents

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Abstract

A holder for a stage provided with a porous plate according to the present invention includes is a holder (1) for a stage that is provided in equipment for measuring the specifications of a reception target (P) or inspects a surface of the reception target (P). The present invention includes a box-shaped holder main body (10) that is received by of a ground surface or an installation section (B) of a lathe; a pneumatic pressure supply unit (20) that is received in an upper portion of the holder main body (10) and has a moving hole (21) punched in a central portion; an I-shaped moving carriage (30) that vertically penetrates the pneumatic pressure supply unit (20) and is horizontally moved due to the load of the reception target (P); and multiple porous plates (40) that are received by an inner side surface of the moving carriage (30) and separate the moving carriage (30) from the pneumatic pressure supply unit (20) by using the supplied pneumatic pressure so as to measure the specifications of the reception target (P) or inspects the surface of the reception target (P). The multiple stage holders having the moving carriage moving in XY axes are provided so that the reception target of irregular shape where an eccentric load is generated can be received with ease. Also, the porous plate is provided for friction force minimization.

Description

다공질 플레이트가 구비된 스테이지용 거치대 { Equipped with a cradle for stage of the porous plate }[0001] DESCRIPTION [0002] Equipped with a porous plate,

본 발명은 다공질 플레이트가 구비된 스테이지용 거치대에 관한 것으로 더욱 상세하게는 피안착물의 규격을 측정하거나 표면을 검사하는 스테이지용 거치대에서 편심하중이 발생되는 불규칙 형상의 피안착물이 용이하게 안착되도록 XY축으로 이동되는 이동캐리지로 이루어진 다수개의 거치대가 배치되고, 이동시 마찰력이 최소화되도록 다공질형상의 플레이트가 구비되며, 피안착물이 제거된 후 자연적으로 복귀되도록 이동캐리지의 하부에 복귀탄성체가 구비된 다공질 플레이트가 구비된 스테이지용 거치대에 관한 것이다.The present invention relates to a stage for a stage equipped with a porous plate and, more particularly, to a stage for measuring the size of a surface complex or for inspecting the surface of the stage, And a porous plate provided with a returning elastic body at a lower portion of the movable carriage so as to be naturally returned after the removal of the folding complex is provided, The present invention relates to a stage for a stage.

최근에 들어 고정밀도의 선진 연구분야 및 산업현장에서 초정밀 위치제어 스테이지(stage)가 개발되고 있는데, 이러한 초정밀 위치제어 스테이지에는 XY평면에 대하여 X축 및 Y축으로 이송가능한 캐리지(carriage)가 구비되며, 상기 캐리지에는 목적하는 바에 따라 검사, 측정 및 가공을 위한 다양한 공정장치가 선택적으로 부설될 수 있었다.In recent years, ultra-precise position control stages have been developed in high-precision advanced research fields and industrial fields. In this precise position control stage, a carriage which can be moved in the X and Y axes with respect to the XY plane is provided , The carriage can be selectively installed with various processing apparatuses for inspection, measurement and processing according to the purpose.

이러한 종래의 위치제어 스테이지에 관한 기술문헌으로 미국특허 제4648724호가 개시되었고, 도 1에서는 상기 미국특허에 대한 평면도를 도시하였다.[0005] U.S. Patent No. 4648724 is disclosed as a technical document relating to such a conventional position control stage, and FIG. 1 shows a plan view of the above-mentioned U.S. Patent.

여기서, 종래의 위치제어 스테이지는 도 1에 도시된 바와 같이 XY축방향으로 이동하는 캐리지(2)와, 상기 캐리지(2)를 X축 방향으로 안내하는 X축안내부재(3)와, Y축 방향으로 안내하는 Y축안내부재(4)를 포함하며, 상기 X축 및 Y축 안내부재(3,4)에는 리니어모터(M)가 연결됨으로써 상기 캐리지(2)를 정해진 방향으로 구동시키게 된다.1, the conventional position control stage includes a carriage 2 that moves in the XY-axis direction, an X-axis guide member 3 that guides the carriage 2 in the X-axis direction, a Y- Axis guide member 4 for guiding the carriage 2 in a predetermined direction by connecting a linear motor M to the X- and Y-axis guide members 3 and 4.

한편, 종래의 스테이지 중 정밀성이 필요한 검사 및 측정용 스테이지는 상기 피안착물에서 발생되는 하중에 매우 큰 영향을 받게 되는 한편, 상기 피안착물의 형상이 불규칙하게 형성될 경우 상기 스테이지에 편심하중이 발생됨으로써, 이를 적절하게 분산시킬 수 있도록 상기 스테이지를 다수개의 거치대로 분리 형성시켜 발생된 편심하중에 개별적으로 대응하는 검사 및 측정용 스테이지 거치대가 개발되었다.On the other hand, the inspection and measurement stage requiring precision in the conventional stage is greatly affected by the load generated in the landing complex, and when the shape of the landing complex is irregularly formed, an eccentric load is generated in the stage A stage holder for inspection and measurement has been developed which individually corresponds to the eccentric load generated by separating the stage by a plurality of stand so that the stage can be appropriately dispersed.

여기서, 검사 및 측정용 스테이지 거치대는 도 2에 도시된 바와 같이 불규칙한 형상의 피안착물(P)이 안착될 경우 발생되는 편심하중에 대응되도록 개별적으로 형성된 다수개의 거치대(1)가 구비되어 편심하중에 대하여 Z축 또는 XY축으로 각각 다르게 이동시켜 상기 피안착물(P)을 안전하게 안착시킬 수 있게 된다. Here, as shown in FIG. 2, the stage holder for inspection and measurement is provided with a plurality of cradles 1 individually formed so as to correspond to the eccentric load generated when the topical complex P having an irregular shape is seated, The Z-axis or the X-axis, respectively, so that the topical complex P can be securely placed.

그러나, 종래의 스테이지용 거치대는 정밀성이 필요한 것에 반해 상기 X축안내부재(3)와 Y축안내부재(4)를 타고 이동하는 캐리지(2)에 소정의 마찰력이 발생됨으로써, 정밀성이 떨어지는 문제점이 있었다.However, while the conventional stage holder for a stage requires precision, a predetermined frictional force is generated in the carriage 2 moving on the X-axis guide member 3 and the Y-axis guide member 4, there was.

또한, 종래의 스테이지용 거치대는 전기적으로 구동력을 발생시키는 리니어모터(M)에 의하여 각 방향으로 이동됨으로써, 구성요소 간의 결합 및 연결관계가 복잡해지고, 상기 피안착물(P)의 하중만으로 상기 거치대를 간편하게 이동시킬 수 없는 사용성이 불편하다는 문제점이 있었다. In addition, since the conventional stage holder is moved in each direction by the linear motor M that generates electric driving force, the coupling and connection relationship between the elements become complicated, and the load of the above- There is a problem that the usability that can not be easily moved is inconvenient.

본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위해 창작된 것으로 본 발명의 목적은 피안착물의 규격을 측정하거나 표면을 검사하는 스테이지용 거치대에서 XY축으로 이동되는 이동캐리지로 이루어진 다수개의 스테이지용 거치대를 배치하여 편심하중이 발생되는 불규칙 형상의 피안착물을 용이하게 안착시키고, 다공질형상의 플레이트를 구비하여 마찰력을 최소화하며, 이동캐리지의 하부에 복귀탄성체를 구비하여 피안착물이 제거된 후 자연적으로 복귀시키는 다공질 플레이트가 구비된 스테이지용 거치대를 제공함에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in order to solve the problems of the prior art as described above, and an object of the present invention is to provide a stage for measuring a surface roughness or a surface of a stage, And a porous plate is provided to minimize frictional force, and a return elastic body is provided at a lower portion of the movable carriage to naturally move after the puckering complex is removed And a porous plate for returning the porous plate.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 다공질 플레이트가 구비된 스테이지용 거치대는 피안착물의 규격을 측정하거나 표면을 검사하는 장치에 구비된 스테이지용 거치대로서 지면 또는 선반의 설치부에 안착되는 박스형상의 거치대본체와; 상기 거치대본체의 상부에 안착되며 중심부에 이동공이 천공된 공압공급부와; 상기 공압공급부에 수직으로 관통되며 상기 피안착물의 하중에 의해 수평방향으로 이동되도록 상기 이동공에 수직으로 관통된 봉형상의 이동연결봉과, 상기 이동연결봉의 상단에 연결되며 상기 공압공급부의 상면에 안착된 상부안착판과, 상기 이동연결봉의 하단에 연결되며 상기 공압공급부의 하면에 안착된 하부안착판으로 이루어진 이동캐리지와; 상기 상부안착판의 하면과 하부안착판의 상면에 안착되며 상기 공압공급부를 통하여 공급된 공압으로 상기 이동캐리지와 공압공급부를 이격시키는 다수개의 다공질 플레이트;로 구성된 것을 특징으로 한다.In order to accomplish the above object, a holder for a stage provided with a porous plate according to the present invention is a holder for a stage provided in an apparatus for measuring dimensions of a surface complex or inspecting a surface thereof, A body of the holder; A pneumatic supply unit that is seated on the upper portion of the cradle body and has a moving hole drilled in the center thereof; A rod-shaped moving connection rod vertically penetrating through the pneumatic supply part and vertically penetrating the moving hole so as to be moved in a horizontal direction by a load of the topical complex; A moving carriage comprising an upper seating plate and a lower seating plate connected to a lower end of the moving connection rod and seated on a lower surface of the pneumatic feeding unit; And a plurality of porous plates seated on the lower surface of the upper seating plate and the upper surface of the lower seating plate and spaced apart from the moving carriage and the pneumatic supply unit by the pneumatic pressure supplied through the pneumatic supply unit.

상기 이동연결봉의 하단부에는 상기 하부안착판의 안착되는 높이가 가변되도록 너트형상의 높이가변너트가 형성되고, 상기 높이가변너트의 일측면에는 상기 높이가변너트의 회전을 방지하는 너트고정볼트가 관통된 것을 특징으로 한다.A height variable nut having a nut shape is formed at a lower end portion of the movable connecting rod so as to vary the height at which the lower seating plate is seated and a nut fixing bolt for preventing rotation of the height varying nut is inserted into one side of the height varying nut .

상기 다공질 플레이트는 상기 공압공급부의 상면에 매립된 링형상의 상부플레이트와, 상기 공압공급부의 하면에 매립된 링형상의 하부플레이트로 구성된 것을 특징으로 한다.The porous plate is composed of a ring-shaped upper plate embedded in the upper surface of the pneumatic supply part and a ring-shaped lower plate embedded in the lower surface of the pneumatic supply part.

상기 공압공급부는 상기 다공질 플레이트에 공압이 공급되도록 외부 호스와 연결된 공압인입부와, 상기 공압인입부에서 내부로 천공되는 유입로와, 상기 유입로와 연통되며 상기 다공질 플레이트의 일면에 공압이 공급되도록 요입된 다수개의 공압가압홈으로 이루어진 것을 특징으로 한다.Wherein the pneumatic supply portion includes a pneumatic inlet portion connected to the outer hose so as to supply pneumatic pressure to the porous plate, an inflow passage pierced in the pneumatic inlet portion, and a pneumatic pressure supply portion communicated with the inflow path, And a plurality of pneumatic pressurizing grooves formed therein.

상기 거치대본체의 상면에는 상기 이동캐리지가 이동될 경우 상기 하부안착판의 이동이 간섭되지 않도록 하측으로 요입된 하부판이동부가 형성된 것을 특징으로 한다.And an upper portion of the lower plate is recessed downward so that movement of the lower seating plate is not interfered when the moving carriage is moved.

상기 하부판이동부의 바닥면에는 상기 이동캐리지의 이동시 탄성력이 발생되도록 상기 하부안착판과 연결된 복귀탄성체가 구비된 것을 특징으로 한다.And a returning elastic body connected to the lower seating plate is provided on a bottom surface of the lower plate moving part so that an elastic force is generated when the moving carriage moves.

이와 같이 본 발명에 따른 다공질 플레이트가 구비된 스테이지용 거치대의 효과는 다음과 같다.The effect of the stage for a stage equipped with the porous plate according to the present invention is as follows.

첫째, 피안착물의 규격을 측정하거나 표면을 검사하는 장치에 구비된 스테이지용 거치대에서 XY축으로 이동되는 이동캐리지로 이루어진 다수개의 스테이지용 거치대를 배치함으로써, 편심하중이 발생되는 불규칙 형상의 피안착물을 용이하게 안착시킬 수 있고,First, by arranging a plurality of stages for a stage, which is composed of a moving carriage moved in the XY-axis, in a stage for a stage provided in an apparatus for measuring the dimensions of the surface complex or for inspecting the surface, irregular- Can be easily seated,

둘째, 상면과 하면으로 공압이 분사되는 공압공급부의 중심면으로 관통되며 공압공급부의 상면과 하면에 동시에 안착되는 이동캐리지를 구비하되, 그 안착부에 공압이 통과하는 다공질형상의 다공질 플레이트를 구비함으로써, 외부에서 공급되는 공압을 이용하여 이동캐리지와 공압공급부의 일면을 부상시켜 마찰력을 발생시키지 않으며 이동캐리지를 이동시킬 수 있으며,Second, there is provided a moving carriage which penetrates through a central surface of a pneumatic supply part injected with air pressure into upper and lower surfaces and is simultaneously mounted on the upper and lower surfaces of a pneumatic supply part, and a porous plate having a porous shape through which air pressure passes is provided , One side of the moving carriage and the pneumatic feeding portion floats by using the air pressure supplied from the outside to move the moving carriage without generating frictional force,

셋째, 이동캐리지의 높이가 가변되도록 이동연결봉의 하단부에 하부안착판의 높이를 가변시키는 너트형상의 높이가변너트가 형성됨으로써, 이동캐리지와 공압공급부의 접촉면의 높이를 세밀하게 조절하여 이동캐리지의 자유이동에 발생되는 힘을 용이하게 조절할 수 있고,Third, the height of the movable carriage is varied so that the height of the movable carriage is varied. The height of the contact surface between the moving carriage and the pneumatic pressure supply unit is finely adjusted, The force generated in the movement can be easily adjusted,

넷째, 다공질 플레이트에 공급되는 공압이 공급면적에 대하여 균일하게 공급되도록 다수개의 공압가압홈이 형성됨으로써, 다공질 플레이트의 훼손이 일면으로 편중되는 것을 방지하는 것과 더불어 다공질 플레이트를 균일하게 작용시킬 수 있으며,Fourthly, since a plurality of pneumatic pressure application grooves are formed so as to uniformly supply the pneumatic pressure supplied to the porous plate to the supply area, it is possible to prevent the porous plate from being biased to one side,

다섯째, 다공질 플레이트에 의하여 자유이동되는 이동캐리지가 원위치로 복귀될 수 있도록 하부안착판과 연결된 복귀탄성체를 구비함으로써, 피안착물이 제거된 후 자연적으로 원위치로 복귀하도록 구성하여 사용성이 매우 편해질 수 있는 효과가 있다.Fifth, by providing the returning elastic body connected to the lower seating plate so that the moving carriage freely moved by the porous plate can be returned to the original position, it is possible to return to the home position naturally after the removal of the facing complex, .

도 1은 종래의 위치제어 스테이지를 나타내 보인 평면도이고,
도 2는 종래의 검사 및 측정용 스테이지 거치대를 나타내 보인 정면도이며,
도 3은 본 발명에 따른 다공질 플레이트가 구비된 스테이지용 거치대를 나타내 보인 설치사시도이고,
도 4는 본 발명에 따른 다공질 플레이트가 구비된 스테이지용 거치대를 나타내 보인 분해사시도이며,
도 5는 본 발명에 따른 다공질 플레이트가 구비된 스테이지용 거치대를 나타내 보인 일단면도이고,
도 6은 본 발명에 따른 일 실시예를 나타내 보인 일 단면 사용상태도이다.1 is a plan view showing a conventional position control stage,
2 is a front view showing a conventional stage holder for inspection and measurement,
FIG. 3 is an installation perspective view showing a holder for a stage having a porous plate according to the present invention,
4 is an exploded perspective view showing a stage for a stage having a porous plate according to the present invention,
5 is a cross-sectional view illustrating a stage for a stage having a porous plate according to the present invention,
FIG. 6 is a sectional view showing one embodiment according to the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예를 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명에 따른 다공질 플레이트가 구비된 스테이지용 거치대는 도 3 내지 도 4에 도시된 바와 같이 피안착물(P)의 규격을 측정하거나 표면을 검사하는 장치에 구비된 스테이지용 거치대(1)로서 지면 또는 선반의 설치부(B)에 안착되는 박스형상의 거치대본체(10)와; 상기 거치대본체(10)의 상부에 안착되며 중심부에 이동공(21)이 천공된 공압공급부(20)와; 상기 공압공급부(20)에 수직으로 관통되며 상기 피안착물(P)의 하중에 의해 수평방향으로 이동되도록 상기 이동공(21)에 수직으로 관통된 봉형상의 이동연결봉(31)과, 상기 이동연결봉(31)의 상단에 연결되며 상기 공압공급부(20)의 상면에 안착된 상부안착판(32)과, 상기 이동연결봉(31)의 하단에 연결되며 상기 공압공급부(20)의 하면에 안착된 하부안착판(33)으로 이루어진 이동캐리지(30)와; 상기 상부안착판(32)의 하면과 하부안착판(33)의 상면에 안착되며 상기 공압공급부(20)를 통하여 공급된 공압으로 상기 이동캐리지(30)와 공압공급부(20)를 이격시키는 다수개의 다공질 플레이트(40);로 구성된다.As shown in FIGS. 3 to 4, the stage for a stage equipped with the porous plate according to the present invention is a stand for a stage 1 provided in an apparatus for measuring the dimensions of the surface complex P or inspecting the surface thereof, A box-shaped holder base body (10) which is seated on a mounting portion (B) of the shelf; A pneumatic supply part 20 which is seated on the upper part of the cradle body 10 and in which a moving hole 21 is drilled; A rod-like moving connecting rod 31 vertically penetrating the pneumatic supply part 20 and vertically penetrating the moving hole 21 so as to be horizontally moved by the load of the top surface complex P, And an upper seating plate 32 connected to an upper end of the pneumatic supply unit 20 and connected to an upper end of the pneumatic pressure supply unit 20 and connected to a lower end of the moving connection rod 31, A moving carriage (30) consisting of a plate (33); A plurality of pneumatic pressurizing units 20 mounted on the lower surface of the upper seating plate 32 and the upper seating plate 33 and spaced apart from the moving carriage 30 and the pneumatic feeding unit 20 by pneumatic pressure supplied through the pneumatic feeding unit 20 And a porous plate (40).

한편, 상기 거치대본체(10)의 각 모서리부에는 상기 설치부(B)에 안착된 후 고정될 수 있도록 다수의 결합볼트(B1)가 체결되는 체결공(미도시)이 형성되고, 상기 거치대본체(10)의 하부 일면에는 상부방향을 관통되며 상기 거치대본체(10)와 공압공급부(20)를 상호 체결하는 결합볼트(B2)가 구비되는 것이 바람직하다.In addition, fastening holes (not shown) for fastening a plurality of coupling bolts B1 are formed on the corner portions of the mount base 10 so as to be fixed to the mounting portions B, It is preferable that a coupling bolt B2 penetrating the upper direction and fastening the cradle unit main body 10 and the pneumatic supply unit 20 to each other is provided on the lower surface of the base 10.

또한, 상기 이동연결봉(31)의 상부에는 상기 상부안착판(32)과 결합되도록 관통되는 결합볼트(B3)가 구비되는 것도 바람직하다.Further, it is preferable that an upper portion of the moving connecting rod 31 is provided with an engaging bolt B3 to be engaged with the upper seating plate 32. [

그리고 상기 이동연결봉(31)의 하단부에는 도 5에 도시된 바와 같이 상기 하부안착판(33)의 안착되는 높이가 가변되도록 너트형상의 높이가변너트(34)가 형성되고, 상기 높이가변너트(34)의 일측면에는 상기 높이가변너트(34)의 회전을 방지하는 너트고정볼트(35)가 관통된다.As shown in FIG. 5, a nut-shaped height varying nut 34 is formed at a lower end of the moving connecting rod 31 so as to vary the height at which the lower seating plate 33 is seated. The height varying nut 34 A nut fixing bolt 35 for preventing rotation of the height varying nut 34 is inserted.

한편, 상기 높이가변너트(34)의 일측면에는 상기 너트고정볼트(35)가 체결되는 너트고정공(34a)이 형성되는 것이 바람직하다.Meanwhile, a nut fixing hole 34a may be formed on one side of the height varying nut 34, to which the nut fixing bolt 35 is fastened.

또한, 상기 다공질 플레이트(40)는 상기 공압공급부(20)의 상면에 매립된 링형상의 상부플레이트(41)와, 상기 공압공급부(20)의 하면에 매립된 링형상의 하부플레이트(42)로 구성된다.The porous plate 40 includes a ring-shaped upper plate 41 embedded in the upper surface of the pneumatic feeder 20 and a ring-shaped lower plate 42 embedded in the lower surface of the pneumatic feeder 20 .

여기서, 상기 상부플레이트(41)와 하부플레이트(42)의 높이는 상기 공압공급부(20)의 상면과 하면보다 정해진 높이(h)만큼 높게 형성되는 것이 바람직하다.The height of the upper plate 41 and the lower plate 42 is preferably higher than the upper and lower surfaces of the pneumatic feeder 20 by a predetermined height h.

그리고, 상기 공압공급부(20)는 상기 다공질 플레이트(40)에 공압이 공급되도록 외부 호스와 연결된 공압인입부(22)와, 상기 공압인입부(22)에서 내부로 천공되는 유입로(23)와, 상기 유입로(23)와 연통되며 상기 다공질 플레이트(40)의 일면에 공압이 공급되도록 요입된 다수개의 공압가압홈(24)으로 이루어진다.The pneumatic supply unit 20 includes a pneumatic inlet 22 connected to the outer hose so as to supply pneumatic pressure to the porous plate 40, an inflow passage 23 pierced in the pneumatic inlet 22, , And a plurality of pneumatic pressure grooves (24) communicating with the inflow passage (23) and recessed to supply air pressure to one surface of the porous plate (40).

한편, 상기 다수개의 공압가압홈(24)은 상기 유입로(23)를 통하여 공급된 공압이 골고루 분산되도록 상호 연통되는 연통홈(미도시)이 형성되는 것이 바람직하다.The plurality of pneumatic pressure application grooves 24 may be formed with communication grooves (not shown) communicating with each other to distribute the pneumatic pressure uniformly distributed through the inflow path 23.

그리고, 상기 거치대본체(10)의 상면에는 상기 이동캐리지(30)가 이동될 경우 상기 하부안착판(33)의 이동이 간섭되지 않도록 하측으로 요입된 하부판이동부(11)가 형성된다.The upper plate 11 is formed on the upper surface of the base 10 so as not to interfere with the movement of the lower seating plate 33 when the moving carriage 30 is moved.

또한, 상기 하부판이동부(11)의 중심면에는 상기 이동연결봉(31)이 이동될 경우 상기 이동연결봉(31)의 이동이 간섭되지 않도록 하측으로 요입된 요입부(미도시)가 형성되는 것이 바람직하다.In addition, it is preferable that a recessed portion (not shown) recessed downward is formed on the central face of the lower plate moving part 11 so as not to interfere with the movement of the moving connecting rod 31 when the moving connecting rod 31 is moved Do.

이때, 상기 하부판이동부(11)의 바닥면에는 상기 이동캐리지(30)의 이동시 탄성력이 발생되도록 상기 하부안착판(33)과 연결된 복귀탄성체(50)가 구비되되, 상기 요입부(미도시)의 바닥면에도 상기 이동연결봉(31)의 하면과 연결되는 복귀탄성체(50)가 구비되는 것도 바람직하다.
At this time, a return elastic body 50 connected to the lower seating plate 33 is provided on the bottom surface of the lower plate moving part 11 so as to generate an elastic force when the moving carriage 30 moves, and the recessed part (not shown) And a return elastic member 50 connected to the bottom surface of the moving connecting rod 31 is also provided on the bottom surface of the movable connecting rod 31.

상기와 같은 구성으로 이루어진 다공질 플레이트가 구비된 스테이지용 거치대의 작용을 살펴보면 아래와 같다.Hereinafter, the operation of the holder for a stage having the porous plate constructed as above will be described.

본 발명에 따른 다공질 플레이트가 구비된 스테이지용 거치대는 도 5 내지 도 6에 도시된 바와 같이 피안착물(P)의 규격을 측정하거나 표면을 검사하는 장치에 구비된 스테이지용 거치대(1)로서 XY축으로 이동되는 이동캐리지(30)와 상기 이동캐리지(30)와 공압공급부(20)를 상호 부상시키는 다공질 플레이트(40)가 구비된 스테이지용 거치대(1)를 다수개 배치한 후 그 상부에 편심하중이 발생되는 불규칙형상의 피안착물(P)을 용이하게 안착시킬 수 있게 된다.As shown in FIGS. 5 to 6, the stage for a stage equipped with the porous plate according to the present invention is a stage stand 1 for measuring the standard of the surface complex P or inspecting the surface thereof, And a porous plate 40 for moving the movable carriage 30 and the pneumatic feed part 20 to each other are arranged on the upper part of the movable carriage 30 and the eccentric load So that it is possible to easily place the generated topological complex P having irregular shape.

여기서, 상기 스테이지용 거치대(1)는 상면과 하면으로 공압이 분사되는 공압공급부(20)의 중심면으로 관통되며 상기 공압공급부(20)의 상면과 하면에 동시에 안착되는 이동캐리지(30)를 구비하되, 그 안착부에 공압이 통과하는 다공질형상의 다공질 플레이트(40)를 구비함으로써, 외부에서 공급되는 공압을 이용하여 상기 이동캐리지(30)와 공압공급부(20)의 일면을 부상시켜 상기 이동캐리지(30)를 XY축 방향으로 자유이동시킬 수 있게 된다.Here, the stage holder 1 includes a movable carriage 30 that penetrates through the center surface of the pneumatic supply portion 20 through which pneumatic pressure is injected to the top and bottom surfaces, and is simultaneously mounted on the top and bottom surfaces of the pneumatic supply portion 20 The porous plate 40 having the porous shape through which the air pressure passes is used to float one side of the moving carriage 30 and the pneumatic feeding part 20 by using the air pressure supplied from the outside, (30) in the XY-axis direction.

여기서, 상기 이동연결봉(31)의 하단부에 상기 하부안착판(33)의 높이가 가변되도록 너트형상의 높이가변너트(34)가 형성됨으로써, 상기 이동캐리지(30)와 공압공급부(20)의 일면간의 부상높이를 세밀하게 조절할 수 있고, 이로 인하여 상기 이동캐리지(30)의 자유이동에 발생되는 힘을 용이하게 조절할 수 있게 된다.The movable connecting rod 31 is formed at its lower end with a nut-shaped height varying nut 34 so as to vary the height of the lower seating plate 33. The moving carriage 30 and the pneumatic supplying part 20 The lifting height of the movable carriage 30 can be finely adjusted, and the force generated in the free movement of the movable carriage 30 can be easily adjusted.

그리고, 상기 공압공급부(20)에는 상기 다공질 플레이트(40)에 공급되는 공압이 공급면적에 대하여 균일하게 공급되도록 다수개의 공압가압홈(24)이 형성됨으로써, 상기 다공질 플레이트(40)의 훼손이 일면으로 편중되는 것을 방지하는 것과 더불어 다공질 플레이트(40)를 균일하게 작용시킬 수 있게 된다.A plurality of pneumatic pressure application grooves 24 are formed in the pneumatic supply part 20 such that the pneumatic pressure supplied to the porous plate 40 is uniformly supplied to the supply area. So that the porous plate 40 can be uniformly operated.

또한, 상기 다공질 플레이트(40)에 의하여 자유이동되는 이동캐리지(30)가 원위치로 복귀될 수 있도록 상기 하부안착판(33)과 연결된 복귀탄성체(50)를 구비함으로써, 상기 피안착물(P)이 제거된 후 자연적으로 원위치로 복귀하도록 구성하여 사용성이 매우 편해질 수 있게 된다.The returnable elastic body 50 connected to the lower seating plate 33 is provided so that the movable carriage 30 freely moved by the porous plate 40 can be returned to the original position. It is naturally restored to the home position after the removal, so that the usability can be greatly improved.

본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 청구범위 기재의 범위 내에 있게 된다.It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined in the appended claims and their equivalents. Of course, such modifications are within the scope of the claims.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
1 : 스테이지용 거치대 10 : 거치대본체
11 : 하부판이동부 20 : 공압공급부
21 : 이동공 22 : 공압인입부
23 : 유입로 24 : 공압가압홈
30 : 이동캐리지 31 : 이동연결봉
32 : 상부안착판 33 : 하부안착판
34 : 높이가변너트 34a : 너트고정공
35 : 너트고정볼트 40 : 다공질 플레이트
41 : 상부플레이트 42 : 하부플레이트
50 : 복귀탄성체 B : 설치부
P : 피안착물Description of the Related Art
1: Stage for stage 10: Stage body
11: Lower plate moving part 20: Pneumatic supply part
21: moving ball 22: air pressure inlet
23: inlet line 24: pneumatic pressure grooves
30: moving carriage 31: moving connecting rod
32: upper seating plate 33: lower seating plate
34: height variable nut 34a: nut fixing hole
35: nut fixing bolt 40: porous plate
41: upper plate 42: lower plate
50: Returning elastic body B:
P: Peak complex

Claims (6)

피안착물(P)의 규격을 측정하거나 표면을 검사하는 장치에 구비된 스테이지용 거치대(1)에 있어서,
지면 또는 선반의 설치부(B)에 안착되는 박스형상의 거치대본체(10)와;
상기 거치대본체(10)의 상부에 안착되며 중심부에 이동공(21)이 천공된 공압공급부(20)와;
상기 공압공급부(20)에 수직으로 관통되며 상기 피안착물(P)의 하중에 의해 수평방향으로 이동되도록 상기 이동공(21)에 수직으로 관통된 봉형상의 이동연결봉(31)과, 상기 이동연결봉(31)의 상단에 연결되며 상기 공압공급부(20)의 상면에 안착된 상부안착판(32)과, 상기 이동연결봉(31)의 하단에 연결되며 상기 공압공급부(20)의 하면에 안착된 하부안착판(33)으로 이루어진 이동캐리지(30)와;
상기 상부안착판(32)의 하면과 하부안착판(33)의 상면에 안착되며 상기 공압공급부(20)를 통하여 공급된 공압으로 상기 이동캐리지(30)와 공압공급부(20)를 이격시키는 다수개의 다공질 플레이트(40);로 구성된 것을 특징으로 하는 다공질 플레이트가 구비된 스테이지용 거치대.A stage (1) for a stage provided in an apparatus for measuring a surface of a complex (P) or for inspecting a surface thereof,
A box-shaped cradle body 10 which is seated on a floor or a mounting portion B of the shelf;
A pneumatic supply part 20 which is seated on the upper part of the cradle body 10 and in which a moving hole 21 is drilled;
A rod-like moving connecting rod 31 vertically penetrating the pneumatic supply part 20 and vertically penetrating the moving hole 21 so as to be horizontally moved by the load of the top surface complex P, And an upper seating plate 32 connected to an upper end of the pneumatic supply unit 20 and connected to an upper end of the pneumatic pressure supply unit 20 and connected to a lower end of the moving connection rod 31, A moving carriage (30) consisting of a plate (33);
A plurality of pneumatic pressurizing units 20 mounted on the lower surface of the upper seating plate 32 and the upper seating plate 33 and spaced apart from the moving carriage 30 and the pneumatic feeding unit 20 by pneumatic pressure supplied through the pneumatic feeding unit 20 And a porous plate (40) formed on the porous plate (40). 제 1 항에 있어서,
상기 이동연결봉(31)의 하단부에는 상기 하부안착판(33)의 안착되는 높이가 가변되도록 너트형상의 높이가변너트(34)가 형성되고, 상기 높이가변너트(34)의 일측면에는 상기 높이가변너트(34)의 회전을 방지하는 너트고정볼트(35)가 관통된 것을 특징으로 하는 다공질 플레이트가 구비된 스테이지용 거치대.The method according to claim 1,
A nut-shaped height varying nut 34 is formed at a lower end of the movable connecting rod 31 so as to vary the height at which the lower seating plate 33 is seated. And a nut fixing bolt (35) for preventing the rotation of the nut (34) is inserted. 제 1 항에 있어서,
상기 다공질 플레이트(40)는 상기 공압공급부(20)의 상면에 매립된 링형상의 상부플레이트(41)와, 상기 공압공급부(20)의 하면에 매립된 링형상의 하부플레이트(42)로 구성된 것을 특징으로 하는 다공질 플레이트가 구비된 스테이지용 거치대.The method according to claim 1,
The porous plate 40 includes a ring-shaped upper plate 41 embedded in the upper surface of the pneumatic feeder 20 and a ring-shaped lower plate 42 embedded in the lower surface of the pneumatic feeder 20 Characterized in that the stage plate is provided with a porous plate. 제 1 항에 있어서,
상기 공압공급부(20)는 상기 다공질 플레이트(40)에 공압이 공급되도록 외부 호스와 연결된 공압인입부(22)와, 상기 공압인입부(22)에서 내부로 천공되는 유입로(23)와, 상기 유입로(23)와 연통되며 상기 다공질 플레이트(40)의 일면에 공압이 공급되도록 요입된 다수개의 공압가압홈(24)으로 이루어진 것을 특징으로 하는 다공질 플레이트가 구비된 스테이지용 거치대.The method according to claim 1,
The pneumatic supply unit 20 includes a pneumatic inlet 22 connected to the external hose to supply pneumatic pressure to the porous plate 40, an inlet 23 pierced in the pneumatic inlet 22, And a plurality of pneumatic pressure grooves (24) communicating with the inflow path (23) and recessed to supply air pressure to one surface of the porous plate (40). 제 1 항에 있어서,
상기 거치대본체(10)의 상면에는 상기 이동캐리지(30)가 이동될 경우 상기 하부안착판(33)의 이동이 간섭되지 않도록 하측으로 요입된 하부판이동부(11)가 형성된 것을 특징으로 하는 다공질 플레이트가 구비된 스테이지용 거치대.The method according to claim 1,
Wherein a lower plate moving part (11) is formed on an upper surface of the cradle body (10) so as not to interfere with movement of the lower seating plate (33) when the moving carriage (30) A holder for the stage. 제 5 항에 있어서,
상기 하부판이동부(11)의 바닥면에는 상기 이동캐리지(30)의 이동시 탄성력이 발생되도록 상기 하부안착판(33)과 연결된 복귀탄성체(50)가 구비된 것을 특징으로 하는 다공질 플레이트가 구비된 스테이지용 거치대.6. The method of claim 5,
And a return elastic body (50) connected to the lower seating plate (33) is provided on the bottom surface of the lower plate moving part (11) so that an elastic force is generated when the moving carriage (30) Holder for.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN116852082A (en) * 2023-09-05 2023-10-10 江苏瑞德机械有限公司 Automatic bearing pressing machine
CN117030923A (en) * 2023-10-08 2023-11-10 飞马新材料(山东)股份有限公司 Fire-retardant performance detection device of fire-proof clothing material

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09210645A (en) * 1996-02-06 1997-08-12 Toshiba Mach Co Ltd Method for inspecting xy stage and flat-plate-shaped object to be inspected
KR20100136660A (en) * 2009-06-19 2010-12-29 이춘무 The air bearing for linear stage
KR20110070346A (en) * 2009-12-18 2011-06-24 (주)트리엔 The linear stage
KR20130001840U (en) * 2011-09-08 2013-03-18 엘엔케이 주식회사 An Air Spindle having poriferous Air-plate

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09210645A (en) * 1996-02-06 1997-08-12 Toshiba Mach Co Ltd Method for inspecting xy stage and flat-plate-shaped object to be inspected
KR20100136660A (en) * 2009-06-19 2010-12-29 이춘무 The air bearing for linear stage
KR20110070346A (en) * 2009-12-18 2011-06-24 (주)트리엔 The linear stage
KR20130001840U (en) * 2011-09-08 2013-03-18 엘엔케이 주식회사 An Air Spindle having poriferous Air-plate

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN116852082A (en) * 2023-09-05 2023-10-10 江苏瑞德机械有限公司 Automatic bearing pressing machine
CN116852082B (en) * 2023-09-05 2023-11-28 江苏瑞德机械有限公司 Automatic bearing pressing machine
CN117030923A (en) * 2023-10-08 2023-11-10 飞马新材料(山东)股份有限公司 Fire-retardant performance detection device of fire-proof clothing material
CN117030923B (en) * 2023-10-08 2023-12-15 飞马新材料(山东)股份有限公司 Fire-retardant performance detection device of fire-proof clothing material

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